KR102147846B1 - Organic light emitting display apparatus - Google Patents

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KR102147846B1
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Abstract

다양한 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 상기 유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 상의 유기 발광 소자층, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 제1 방향으로 연장되는 제1 센싱 셀들, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들, 및 상기 제1 센싱 셀들과 상기 제1 연결 패턴들 사이에 개재되는 박막 봉지층을 포함한다.An organic light-emitting display device according to various embodiments is provided. The organic light-emitting display device includes a substrate, an organic light-emitting device layer on the substrate, first sensing cells disposed on the organic light-emitting device layer and extending in a first direction, and disposed on the organic light-emitting device layer, and the first And first connection patterns connecting sensing cells, and a thin film encapsulation layer interposed between the first sensing cells and the first connection patterns.

Description

유기 발광 표시 장치{Organic light emitting display apparatus}Organic light emitting display apparatus

본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device.

유기 발광 표시 장치는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극, 및 이들 사이에 개재된 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 소자를 구비하며, 상기 정공 주입 전극에서 주입되는 정공과 상기 전자 주입 전극에서 주입되는 전자가 상기 유기 발광층에서 결합하여 생성된 엑시톤(exiton)이 여기 상태(exited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어지면서 빛을 발생시키는 자발광형 표시 장치이다.The organic light emitting display device includes an organic light emitting device including a hole injection electrode, an electron injection electrode, and an organic emission layer interposed therebetween, and holes injected from the hole injection electrode and electrons injected from the electron injection electrode are It is a self-emission type display device that generates light while excitons generated by combining in an organic emission layer fall from an excited state to a ground state.

자발광형 표시 장치인 유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 넓은 시야각, 높은 콘트라스트(contrast) 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성으로 인해 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.The organic light-emitting display device, which is a self-luminous display device, does not require a separate light source, so it can be driven at a low voltage and can be configured as a lightweight and thin type. Due to high quality characteristics such as a wide viewing angle, high contrast, and fast response speed, It is drawing attention as a next-generation display device.

그러나, 유기 발광 표시 장치는 외부의 수분이나 산소 등에 의해 열화되는 특성을 가지므로, 외부의 수분이나 산소 등으로부터 유기 발광 소자를 보호하기 위하여 유기 발광 소자를 밀봉한다.However, since the OLED display has a property of being deteriorated by external moisture or oxygen, the organic light emitting element is sealed to protect the organic light emitting element from external moisture or oxygen.

최근, 유기 발광 표시 장치의 박형화 및/또는 플렉서블화를 위하여, 유기 발광 소자를 밀봉하는 수단으로 복수의 무기막들 또는 유기막과 무기막을 포함하는 복수의 층으로 구성된 박막 봉지(TFE; thin film encapsulation)가 이용되고 있다.Recently, in order to reduce the thickness and/or flexibility of the organic light emitting display device, a thin film encapsulation (TFE; thin film encapsulation (TFE)) composed of a plurality of inorganic layers or a plurality of layers including an organic layer and an inorganic layer as a means for sealing an organic light emitting device. ) Is being used.

한편, 터치 패널은 디스플레이에 표시되어 있는 버튼을 손가락으로 접촉하는 것만으로 대화적, 직감적으로 조작함으로써 남녀노소 누구나 쉽게 사용할 수 있는 입력장치이기 때문에, 현재 은행이나 관공서의 발급 장치, 각종 의료장비, 관광 및 주요 기관의 안내, 교통안내 등 많은 분야에서 적용되고 있다. On the other hand, the touch panel is an input device that can be easily used by anyone, regardless of age or gender, by simply touching a button displayed on the display with a finger, and thus issuing devices of banks and government offices, various medical equipment, and tourism. And it is applied in many fields such as guidance of major institutions and traffic guidance.

그러나, 터치 패널을 외장형으로 제조한 후, 터치 패널을 유기 발광 표시 장치에 부착하는 방식을 채용하고 있다. 이 방식을 적용할 경우, 두께가 증가하고, 부착 공정이 추가되고, 이 공정에서 이물이 추가될 수도 있고, 비용이 높아지는 등의 문제가 있다.However, after manufacturing the touch panel as an external type, a method of attaching the touch panel to the organic light emitting display device is employed. When this method is applied, there are problems such as an increase in thickness, an adhesion process is added, a foreign material may be added in this process, and a cost is increased.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 터치 구조가 형성된 박막 봉지층을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, a problem to be solved by the present invention is to solve such a problem, and to provide an organic light emitting display device including a thin film encapsulation layer having a touch structure formed thereon.

본 개시의 일 양상에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 상의 유기 발광 소자층, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 제1 방향을 따라 이격하여 배열되는 제1 센싱 셀들, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들, 및 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 서로 교대로 적층되는 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함하는 박막 봉지층을 포함한다. 상기 박막 봉지층의 상기 적어도 하나의 무기막과 상기 적어도 하나의 유기막 중 적어도 하나의 절연막은 터치 절연막으로서 상기 제1 센싱 셀들과 상기 제1 연결 패턴들 사이에 개재된다.An organic light emitting diode display according to an aspect of the present disclosure includes a substrate, an organic light emitting element layer on the substrate, first sensing cells disposed on the organic light emitting element layer and spaced apart in a first direction, and the organic light emitting element A thin film including first connection patterns disposed on a layer and connecting the first sensing cells, and at least one inorganic layer and at least one organic layer disposed on the organic light emitting device layer and alternately stacked with each other It includes an encapsulation layer. At least one of the at least one inorganic layer and the at least one organic layer of the thin film encapsulation layer is a touch insulating layer and is interposed between the first sensing cells and the first connection patterns.

본 개시의 일 양상에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판 상의 화소 전극, 상기 화소 전극 상의 유기 발광층, 상기 유기 발광층 상의 대향 전극, 상기 대향 전극 상에 배치되고, 서로 교대로 적층된 복수의 무기막과 복수의 유기막을 포함하는 박막 봉지층, 및 상기 대향 전극 상에 배치되고, 상기 복수의 무기막 중 하나의 무기막인 터치 절연막을 포함하는 터치 감지층을 포함한다.In an organic light emitting display device according to an aspect of the present disclosure, a plurality of inorganic layers and a plurality of inorganic layers are alternately stacked on a pixel electrode on a substrate, an organic emission layer on the pixel electrode, an opposite electrode on the organic emission layer, and the opposite electrode. A thin film encapsulation layer including an organic layer of, and a touch sensing layer disposed on the counter electrode and including a touch insulating layer that is one inorganic layer among the plurality of inorganic layers.

본 개시의 일 양상에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 상의 유기 발광 소자층, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 서로 교대로 적층된 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함하는 박막 봉지층, 및 상기 적어도 하나의 무기막 중 하나인 터치 절연막을 포함하는 터치 감지층을 포함한다. 상기 박막 봉지층의 상기 적어도 하나의 무기막과 상기 적어도 하나의 유기막 중 적어도 하나는 상기 터치 감지층 상에 배치된다.An organic light emitting diode display according to an aspect of the present disclosure includes a substrate, an organic light emitting element layer on the substrate, at least one inorganic layer and at least one organic layer disposed on the organic light emitting element layer and alternately stacked with each other. It includes a thin film encapsulation layer, and a touch sensing layer including a touch insulating layer that is one of the at least one inorganic layer. At least one of the at least one inorganic layer and the at least one organic layer of the thin film encapsulation layer is disposed on the touch sensing layer.

본 개시의 일 양상에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 상의 유기 발광 소자층, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 제1 방향으로 연장되는 제1 센싱 셀들, 상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들, 및 상기 제1 센싱 셀들과 상기 제1 연결 패턴들 사이에 개재되는 박막 봉지층을 포함한다.An organic light emitting diode display according to an aspect of the present disclosure includes a substrate, an organic light emitting element layer on the substrate, first sensing cells disposed on the organic light emitting element layer and extending in a first direction, and on the organic light emitting element layer. It is disposed, and includes first connection patterns connecting the first sensing cells, and a thin film encapsulation layer interposed between the first sensing cells and the first connection patterns.

본 발명의 유기 발광 표시 장치에 따르면, 터치 기능을 포함한 플렉서블 유기 발광 표시 장치를 달성할 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따르면, 전체 두께가 최소화될 수 있고, 부착 공정을 생략하여 제조 수율이 높아질 수 있으며, 제조 비용이 감소될 수 있다.According to the organic light emitting display device of the present invention, a flexible organic light emitting display device including a touch function can be achieved. In addition, according to the present invention, the overall thickness can be minimized, the manufacturing yield can be increased by omitting the attachment process, and the manufacturing cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치의 일 화소 영역을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층의 개략적인 평면도이다.
도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 절취한 단면도이다.
도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5a는 본 발명의 다른 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층의 개략적인 평면도이다.
도 5b는 도 5a의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 절취한 단면도이다.
도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view illustrating a pixel area of the organic light emitting diode display of FIG. 1.
3A is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention.
3B is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
4A is a schematic plan view of a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention.
4B is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 4A.
4C are cross-sectional views illustrating a method of forming a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention.
5A is a schematic plan view of a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
5B is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 5A.
5C are cross-sectional views illustrating a method of forming a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 아래에 제시되는 실시예들은 여러 다른 형태로 변형될 수 있고, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention are provided to more completely describe the present invention to those of ordinary skill in the art. The embodiments presented below may be modified in many different forms, and the scope of the present invention is not limited to the following embodiments, and all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention It should be understood to include.

첨부된 도면들을 설명하면서 유사한 구성요소에 대해 유사한 참조 부호를 사용한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확한 이해를 돕기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시될 수 있다.Like reference numerals are used for similar elements while describing the accompanying drawings. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures may be enlarged or reduced than the actual size to aid a clear understanding of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 오로지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것이며, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백히 다른 경우를 제외하고는 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 나열된 특징들의 존재를 특정하는 것이지, 하나 이상의 다른 특징들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 본 명세서에서, 용어 "및/또는"은 열거된 특징들 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합들을 포함하기 위해 사용된다. 본 명세서에서, "제1", "제2" 등의 용어가 다양한 특징들을 설명하기 위하여 하나의 특징을 다른 특징과 구별하기 위한 의도로만 사용되며, 이러한 특징들은 이들 용어에 의해 한정되지 않는다. 아래의 설명에서 제1 특징이 제2 특징과 연결, 결합 또는 접속된다고 기재되는 경우, 이는 제1 특징과 제2 특징 사이에 제3 특징이 개재될 수 있다는 것을 배제하지 않는다. 또한, 제1 요소가 제2 요소 상에 배치된다고 기재될 때, 제3 요소가 제1 요소와 제2 요소 사이에 개재되는 것을 배제하지 않는다. 다만, 제1 요소가 제2 요소 상에 직접 배치된다고 기재될 때에는, 제3 요소가 제1 요소와 제2 요소 사이에 개재되는 것을 배제한다.The terms used in this specification are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions, except when clearly different from the context. In this specification, terms such as "comprises" or "have" are to be understood as specifying the existence of the listed features, and not precluding the possibility of adding or adding one or more other features. In this specification, the term “and/or” is used to include any one and all combinations of one or more of the listed features. In the present specification, terms such as “first” and “second” are used only for the purpose of distinguishing one feature from another in order to describe various features, and such features are not limited by these terms. When it is described in the following description that the first feature is connected, combined or connected with the second feature, this does not exclude that a third feature may be interposed between the first feature and the second feature. Further, when it is described that the first element is disposed on the second element, it does not exclude that the third element is interposed between the first element and the second element. However, when it is described that the first element is disposed directly on the second element, it is excluded that the third element is interposed between the first element and the second element.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1000)를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치(1000)의 일 화소 영역을 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display 1000 according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a pixel area of the organic light emitting display device 1000 of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 관한 유기 발광 표시 장치(1000)는 기판(110), 기판(110) 상의 표시부(100), 및 표시부(100) 상의 박막 봉지층(200)을 포함한다. 표시부(100)는 유기 발광 소자층(130)을 포함한다. 박막 봉지층(200)은 서로 교대로 적층된 복수의 무기막들(211, 223, 233) 및 복수의 유기막들(213, 231)을 포함한다. 박막 봉지층(200)은 터치 감지층(220)을 포함할 수 있다. 터치 감지층(220)은 제2 무기막(233), 및 제2 무기막(233)의 아래와 위에 각각 배치되는 제1 터치 도전막(221) 및 제2 터치 도전막(225)을 포함할 수 있다. 터치 감지층(220)에 포함되는 제2 무기막(233)은 아래의 설명에서 터치 무기막(233)으로 지칭될 수도 있다. 터치 감지층(220)은 사람의 손가락 또는 터치용 물체가 유기 발광 표시 장치(1000)를 직접 접촉한 접촉 위치를 감지하기 위해, 접촉 위치를 전기적 신호로 변환할 수 있다. 예컨대, 터치 감지층(220)은 정전용량 방식의 터치 구조를 포함할 수 있다.1 and 2, an organic light emitting display device 1000 according to an exemplary embodiment includes a substrate 110, a display unit 100 on the substrate 110, and a thin film encapsulation layer 200 on the display unit 100. Include. The display unit 100 includes an organic light emitting device layer 130. The thin film encapsulation layer 200 includes a plurality of inorganic layers 211, 223, 233 and a plurality of organic layers 213 and 231 alternately stacked with each other. The thin film encapsulation layer 200 may include a touch sensing layer 220. The touch sensing layer 220 may include a second inorganic layer 233, and a first touch conductive layer 221 and a second touch conductive layer 225 disposed below and above the second inorganic layer 233, respectively. have. The second inorganic layer 233 included in the touch sensing layer 220 may be referred to as a touch inorganic layer 233 in the following description. The touch sensing layer 220 may convert a contact position into an electrical signal in order to detect a contact position in which a human finger or a touch object directly contacts the organic light emitting display device 1000. For example, the touch sensing layer 220 may include a capacitive touch structure.

기판(110)은 가요성 기판일 수 있다. 기판(110)은 폴리이미드(PI; polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET; polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN; polyethylene naphtalate), 폴리카보네이트(PC; polycarbonate), 폴리아릴레이트(PAR; polyarylate), 폴리에테르이미드(PEI; polyetherimide), 및 폴리에테르술폰(PES; polyethersulphone) 등과 같이 내열성 및 내구성이 우수한 플라스틱을 소재로 만들어 질 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 금속 포일이나 박막 유리(thin glass)와 같은 가요성 있는 다양한 소재가 사용될 수 있다. 한편, 기판(110)은 리지드 기판일 수도 있으며, 이때 기판(110)은 SiO2를 주성분으로 하는 유리 재질로 이루어질 수도 있다.The substrate 110 may be a flexible substrate. The substrate 110 includes polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphtalate (PEN), polycarbonate (PC), polyarylate (PAR), and It may be made of a plastic material having excellent heat resistance and durability, such as polyetherimide (PEI) and polyethersulphone (PES). However, the present invention is not limited thereto, and various flexible materials such as metal foil or thin glass may be used. Meanwhile, the substrate 110 may be a rigid substrate, and at this time, the substrate 110 may be made of a glass material containing SiO 2 as a main component.

화상이 기판(110)방향으로 구현되는 배면 발광형(bottom emission type)인 경우에 기판(110)은 투명한 재질로 형성해야 한다. 그러나, 화상이 기판(110)의 반대 방향으로 구현되는 전면 발광형(top emission type)인 경우에 기판(110)은 반드시 투명한 재질로 형성할 필요는 없다. 이 경우 금속으로 기판(110)을 형성할 수 있다. 금속으로 기판(110)을 형성할 경우 기판(110)은 탄소, 철, 크롬, 망간, 니켈, 티타늄, 몰리브덴, 및 스테인레스 스틸(SUS)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.When the image is a bottom emission type implemented in the direction of the substrate 110, the substrate 110 must be formed of a transparent material. However, when the image is a top emission type implemented in the opposite direction to the substrate 110, the substrate 110 does not necessarily need to be formed of a transparent material. In this case, the substrate 110 may be formed of metal. When the substrate 110 is formed of a metal, the substrate 110 may include at least one selected from the group consisting of carbon, iron, chromium, manganese, nickel, titanium, molybdenum, and stainless steel (SUS), but is limited thereto. It does not become.

기판(110)의 상면에는 표시부(100)가 배치될 수 있다. 본 명세서에서 언급되는 표시부(100)라는 용어는 유기 발광 소자(OLED) 및 이를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(TFT) 어레이를 통칭하는 것으로, 화상을 표시하는 부분과 화상을 표시하기 위한 구동부분을 함께 의미하는 것이다. The display unit 100 may be disposed on the upper surface of the substrate 110. The term display unit 100 referred to herein refers to an organic light-emitting device (OLED) and a thin film transistor (TFT) array for driving the same, and refers to a part displaying an image and a driving part for displaying an image together. Is to do.

표시부(100)는 평면상에서 볼 때 복수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열된다. 각 화소는 유기 발광 소자(OLED) 및 유기 발광 소자(OLED)와 전기적으로 연결된 전자 소자를 포함한다. 전자 소자는 구동 박막 트랜지스터와 스위칭 박막 트랜지스터를 포함하는 적어도 두 개의 박막 트랜지스터(TFT), 및 스토리지 커패시터 등을 포함할 수 있다. 전자 소자는 배선들과 전기적으로 연결되어 표시부(100) 외부의 구동부로부터 전기적인 신호를 전달받아 구동한다. 이렇게 유기 발광 소자(OLED)와 전기적으로 연결된 전자 소자 및 배선들의 배열을 박막 트랜지스터(TFT) 어레이라 지칭한다. In the display unit 100, a plurality of pixels are arranged in a matrix when viewed from the top. Each pixel includes an organic light emitting device (OLED) and an electronic device electrically connected to the organic light emitting device (OLED). The electronic device may include at least two thin film transistors (TFTs) including a driving thin film transistor and a switching thin film transistor, and a storage capacitor. The electronic device is electrically connected to the wirings and is driven by receiving an electrical signal from a driving unit outside the display unit 100. The arrangement of electronic devices and wires electrically connected to the organic light-emitting device (OLED) is referred to as a thin film transistor (TFT) array.

표시부(100)는 박막 트랜지스터(TFT) 어레이를 포함하는 소자/배선층(120), 및 유기 발광 소자(OLED) 어레이를 포함하는 유기 발광 소자층(130)을 포함한다.The display unit 100 includes a device/wiring layer 120 including a thin film transistor (TFT) array, and an organic light emitting device layer 130 including an organic light emitting device (OLED) array.

소자/배선층(120)에는 유기 발광 소자(OLED)를 구동시키는 구동 박막 트랜지스터(TFT), 스위칭 박막 트랜지스터(미 도시), 커패시터(미 도시), 상기 박막 트랜지스터들 또는 상기 커패시터에 연결되는 배선들(미 도시)이 포함될 수 있다. 도 2에는 유기 발광 소자(OLED)와 유기 발광 소자(OLED)를 구동하는 구동 박막 트랜지스터(TFT)만 도시되어 있는데, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 본 발명은 도시된 바에 한정되지 않으며, 다수의 박막 트랜지스터(TFT), 스토리지 커패시터 및 각종 배선들이 더 포함될 수 있다는 것은 본 기술분야의 당업자들에게 자명하다.The device/wiring layer 120 includes a driving thin film transistor (TFT) for driving an organic light emitting diode (OLED), a switching thin film transistor (not shown), a capacitor (not shown), the thin film transistors, or wirings connected to the capacitor ( Not shown) may be included. In FIG. 2, only an organic light-emitting device (OLED) and a driving thin-film transistor (TFT) for driving the organic light-emitting device (OLED) are shown, but this is for convenience of description only, and the present invention is not limited to the illustrated bar, It is obvious to those skilled in the art that a thin film transistor (TFT), a storage capacitor, and various wirings may be further included.

기판(110)의 상면에는 평활성을 주고 불순물의 침투를 차단하기 위하여 버퍼층(127)이 배치될 수 있다. 버퍼층(127)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 및/또는 실리콘 산질화물 등을 포함할 수 있으며, PECVD(plasma enhanced chemical vapor deosition)법, APCVD(atmospheric pressure CVD)법, LPCVD(low pressure CVD)법 등과 같은 다양한 증착 방법에 의해 증착될 수 있다. 버퍼층(127)은 생략될 수도 있다.A buffer layer 127 may be disposed on the upper surface of the substrate 110 to provide smoothness and block penetration of impurities. The buffer layer 127 may include silicon oxide, silicon nitride, and/or silicon oxynitride, and the like, a plasma enhanced chemical vapor deosition (PECVD) method, an atmospheric pressure CVD (APCVD) method, a low pressure CVD (LPCVD) method, and the like. It can be deposited by the same various deposition methods. The buffer layer 127 may be omitted.

버퍼층(127) 상부의 소정 영역에는 활성층(121)이 배치될 수 있다. 활성층(121)은 실리콘(silicon), 산화물 반도체 등과 같은 무기 반도체 또는 유기 반도체 등을 버퍼층(127) 상의 기판(110) 전면에 형성한 후 포토리소그래피 공정 및 식각 공정을 이용하여 패터닝함으로써, 형성될 수 있다. The active layer 121 may be disposed in a predetermined area above the buffer layer 127. The active layer 121 may be formed by forming an inorganic semiconductor such as silicon or an oxide semiconductor or an organic semiconductor on the entire surface of the substrate 110 on the buffer layer 127 and then patterning using a photolithography process and an etching process. have.

실리콘 물질로 활성층(121)을 형성하는 경우, 비정질 실리콘층을 기판(110) 전면에 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정 실리콘층을 형성하고, 이를 패터닝한 후 주변 영역들에 불순물을 도핑하여 소스 영역, 드레인 영역 및 그 사이의 채널 영역을 포함하는 활성층(121)이 형성될 수 있다.When the active layer 121 is formed of a silicon material, an amorphous silicon layer is formed on the entire surface of the substrate 110, crystallized to form a polycrystalline silicon layer, patterned, and doped with impurities in the surrounding regions to form a source region An active layer 121 including a drain region and a channel region therebetween may be formed.

이렇게 형성된 활성층(121) 상에, 예컨대, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 및/또는 실리콘 산질화물과 같은 절연 물질을 포함하는 게이트 절연막(129a)이 배치될 수 있다. 게이트 절연막(129a) 상부의 소정 영역에는 게이트 전극(123)이 배치될 수 있다. 게이트 전극(123)은 박막 트랜지스터(TFT)를 제어하기 위한 제어 신호가 인가되는 게이트 라인(미 도시)과 연결될 수 있다.A gate insulating layer 129a including an insulating material such as silicon oxide, silicon nitride, and/or silicon oxynitride may be disposed on the thus formed active layer 121. A gate electrode 123 may be disposed in a predetermined area above the gate insulating layer 129a. The gate electrode 123 may be connected to a gate line (not shown) to which a control signal for controlling the thin film transistor TFT is applied.

게이트 전극(123)의 상부에는 층간 절연막(129b)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(129b)은 활성층(121)의 소스 영역과 드레인 영역을 노출하는 콘택 홀을 포함하며, 소스 전극(125a) 및 드레인 전극(125b)은 각각 층간 절연막(129b)의 콘택 홀을 통해 활성층(121)의 소스 영역 및 드레인 영역에 전기적으로 연결될 수 있다. 이렇게 형성된 박막 트랜지스터(TFT)는 패시베이션막(129c)으로 덮여 보호될 수 있다.An interlayer insulating layer 129b may be disposed on the gate electrode 123. The interlayer insulating layer 129b includes a contact hole exposing the source region and the drain region of the active layer 121, and the source electrode 125a and the drain electrode 125b each pass through the contact hole of the interlayer insulating layer 129b. 121) may be electrically connected to the source region and the drain region. The thin film transistor TFT thus formed may be covered and protected by the passivation layer 129c.

패시베이션막(129c)은 무기 절연막 및/또는 유기 절연막을 포함할 수 있다. 패시베이션막(129c)에 사용될 수 있는 무기 절연막의 예는 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiON), 알루미늄 산화물(Al2O3), 티타늄 산화물(TiO2), 탄탈륨 산화물(Ta2O5), 하프늄 산화물(HfO2), 지르코늄 산화물(ZrO2), BST(Barium Strontium Titanate), PZT(Lead Zirconate-Titanate) 등을 포함할 수 있다. 또한, 패시베이션막(129c)에 사용될 수 있는 유기 절연막의 예들은 일반 범용고분자(PMMA, PS), 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다. 한편, 패시베이션막(129c)은 무기 절연막과 유기 절연막의 복합 적층 구조를 가질 수도 있다.The passivation layer 129c may include an inorganic insulating layer and/or an organic insulating layer. Examples of inorganic insulating films that can be used for the passivation film 129c are silicon oxide (SiO 2 ), silicon nitride (SiN x ), silicon oxynitride (SiON), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and titanium oxide (TiO 2 ). , Tantalum oxide (Ta 2 O 5 ), hafnium oxide (HfO 2 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), BST (Barium Strontium Titanate), PZT (Lead Zirconate-Titanate), and the like. In addition, examples of organic insulating films that can be used for the passivation film 129c are general general purpose polymers (PMMA, PS), polymer derivatives having a phenolic group, acrylic polymers, imide polymers, arylether polymers, amide polymers, fluorine based polymers. It may include polymers, p-xylene polymers, vinyl alcohol polymers, and blends thereof. Meanwhile, the passivation layer 129c may have a composite stacked structure of an inorganic insulating layer and an organic insulating layer.

패시베이션막(129c) 상부의 발광 영역에는 유기 발광 소자(OLED)가 배치될 수 있다.The organic light-emitting device OLED may be disposed in the light-emitting area above the passivation layer 129c.

유기 발광 소자층(130)은 패시베이션막(129c) 상에 형성된 화소 전극(131), 이에 대향하도록 배치되는 대향 전극(135) 및 이들 사이에 개재되는 중간층(133)을 포함할 수 있다.The organic light-emitting device layer 130 may include a pixel electrode 131 formed on the passivation layer 129c, a counter electrode 135 disposed to face the pixel electrode 131, and an intermediate layer 133 interposed therebetween.

화소 전극(131)과 대향 전극(135) 사이에 전압이 인가되면, 중간층(133)은 빛을 방출할 수 있다. 중간층(133)은 청색광, 녹색광, 적색광, 또는 백색광을 방출할 수 있다.When a voltage is applied between the pixel electrode 131 and the counter electrode 135, the intermediate layer 133 may emit light. The intermediate layer 133 may emit blue light, green light, red light, or white light.

중간층(133)이 백색광을 방출할 경우, 컬러 이미지를 표현하기 위해, 유기 발광 표시 장치는 청색, 녹색, 및 적색 컬러 필터를 더 포함할 수 있다.When the intermediate layer 133 emits white light, the organic light-emitting display device may further include blue, green, and red color filters to represent a color image.

유기 발광 표시 장치는 발광 방향에 따라 배면 발광 타입(bottom emission type), 전면 발광 타입(top emission type) 및 양면 발광 타입(dual emission type) 등으로 구별될 수 있다. 배면 발광 타입의 유기 발광 표시 장치에서는 화소 전극(131)이 광투과 전극으로 구비되고 대향 전극(135)은 반사 전극으로 구비된다. 전면 발광 타입의 유기 발광 표시 장치에서는 화소 전극(131)이 반사 전극으로 구비되고 대향 전극(135)이 반투과 전극으로 구비된다. 본 발명에서는 유기 발광 소자(OLED)가 박막 봉지층(200)의 방향으로 발광하는 전면 발광 타입을 기준으로 설명한다.The organic light emitting display device may be classified into a bottom emission type, a top emission type, and a dual emission type according to the emission direction. In a bottom emission type organic light emitting display device, the pixel electrode 131 is provided as a light-transmitting electrode, and the counter electrode 135 is provided as a reflective electrode. In the top emission type organic light emitting display device, the pixel electrode 131 is provided as a reflective electrode, and the counter electrode 135 is provided as a transflective electrode. In the present invention, description will be made based on a top emission type in which the organic light emitting diode (OLED) emits light in the direction of the thin film encapsulation layer 200.

화소 전극(131)은 반사 전극일 수 있다. 화소 전극(131)은 반사층과 일함수가 높은 투명 또는 반투명 전극층의 적층 구조를 포함할 수 있다. 반사층은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다. 투명 또는 반투명 전극층은 인듐 주석 산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐 아연 산화물(IZO; indium zinc oxide), 아연 산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐 산화물(In2O3; indium oxide), 인듐 갈륨 산화물(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄 아연 산화물(AZO; aluminum zinc oxide) 등과 같은 투명 도전성 산화물 물질들 중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다. 화소 전극(131)은 각 화소에 대응하는 아일랜드 형태로 패터닝되어 형성될 수 있다. 또한, 화소 전극(131)은 애노드(anode) 전극으로 기능할 수 있다. The pixel electrode 131 may be a reflective electrode. The pixel electrode 131 may include a stacked structure of a reflective layer and a transparent or translucent electrode layer having a high work function. The reflective layer may include Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, or an alloy thereof. Transparent or translucent electrode layers include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In 2 O 3 ; indium oxide), and indium gallium. It may include at least one material selected from transparent conductive oxide materials such as indium gallium oxide (IGO) and aluminum zinc oxide (AZO). The pixel electrode 131 may be formed by patterning in an island shape corresponding to each pixel. In addition, the pixel electrode 131 may function as an anode electrode.

한편, 화소 전극(131) 상에는 화소 전극(131)의 가장자리를 덮고 화소 전극(131)의 중앙부를 노출하는 소정의 개구부를 포함하는 화소 정의막(140)이 배치될 수 있다. 상기 개구부에 의해 한정되는 영역 상에 빛을 발광하는 유기 발광층을 포함하는 중간층(133)이 배치될 수 있다. 중간층(133)이 배치된 영역은 발광 영역으로 정의될 수 있다. 한편, 화소 정의막(140)의 상기 개구분 내에 발광 영역을 형성하는 경우, 발광 영역들의 사이에는 화소 정의막(140)에 의해 돌출된 영역이 배치되며, 이 돌출된 영역에는 유기 발광층이 형성되지 않으므로 비발광 영역으로 정의될 수 있다.Meanwhile, on the pixel electrode 131, a pixel defining layer 140 including a predetermined opening covering an edge of the pixel electrode 131 and exposing a central portion of the pixel electrode 131 may be disposed. An intermediate layer 133 including an organic emission layer emitting light may be disposed on an area defined by the opening. The region where the intermediate layer 133 is disposed may be defined as a light emitting region. On the other hand, when the light emitting region is formed within the opening of the pixel defining layer 140, a region protruding by the pixel defining layer 140 is disposed between the light emitting regions, and an organic light emitting layer is not formed in the protruding region. Therefore, it can be defined as a non-emission area.

대향 전극(135)은 투과형 전극으로 형성될 수 있다. 대향 전극(135)은 일함수가 작은 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg, Ag 등과 같은 금속을 얇게 형성한 반투과막 일 수 있다. 얇은 금속 반투과막의 고저항 문제를 보완하기 위해, 금속 반투과막 상에 투명 도전성 산화물로 이루어진 투명 도전막이 적층될 수 있다. 대향 전극(135)은 공통 전극의 형태로 기판(110) 전면에 걸쳐 형성될 수 있다. 또한, 이와 같은 대향 전극(135)은 캐소드(cathode) 전극으로 기능할 수 있다.The counter electrode 135 may be formed as a transmissive electrode. The counter electrode 135 may be a semi-transmissive film formed of a thin metal such as Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg, Ag, etc. having a small work function. In order to compensate for the high resistance problem of the thin metal transflective layer, a transparent conductive layer made of a transparent conductive oxide may be stacked on the metal transflective layer. The counter electrode 135 may be formed over the entire surface of the substrate 110 in the form of a common electrode. In addition, the counter electrode 135 may function as a cathode electrode.

상기와 같은 화소 전극(131)과 대향 전극(135)은 그 극성이 서로 반대가 될 수도 있다.The polarities of the pixel electrode 131 and the counter electrode 135 as described above may be opposite to each other.

중간층(133)은 빛을 발광하는 유기 발광층을 포함하며, 유기 발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물을 사용할 수 있다. 유기 발광층이 저분자 유기물로 형성된 저분자 유기층인 경우에는 유기 발광층을 중심으로 화소 전극(131)의 방향으로 홀 수송층(hole transport layer: HTL) 및 홀 주입층(hole injection layer:HIL) 등이 배치되고, 대향 전극(135)의 방향으로 전자 수송층(electron transport layer: ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer:EIL) 등이 배치될 수 있다. 물론, 이들 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 외에 다른 기능 층들이 적층될 수도 있다.The intermediate layer 133 includes an organic emission layer that emits light, and the organic emission layer may be a low molecular organic material or a high molecular organic material. When the organic light emitting layer is a low molecular weight organic layer formed of a low molecular weight organic material, a hole transport layer (HTL) and a hole injection layer (HIL), etc. are disposed in the direction of the pixel electrode 131 centering on the organic light emitting layer, An electron transport layer (ETL) and an electron injection layer (EIL) may be disposed in the direction of the counter electrode 135. Of course, functional layers other than these hole injection layers, hole transport layers, electron transport layers, and electron injection layers may be stacked.

한편, 유기 발광층이 고분자 유기물로 형성된 고분자 유기층의 경우에는 유기 발광층을 중심으로 화소 전극(131)의 방향으로 홀 수송층만이 구비될 수 있다. 고분자 홀 수송층은 폴리에틸렌 디히드록시티오펜(PEDOT: poly-(2,4)-ethylene-dihydroxy thiophene)이나, 폴리아닐린(PANI: polyaniline) 등을 사용하여 잉크젯 프린팅이나 스핀 코팅의 방법에 의해 화소 전극(131) 상부에 형성될 수 있다.Meanwhile, in the case of a polymer organic layer in which the organic emission layer is formed of a polymer organic material, only a hole transport layer may be provided in the direction of the pixel electrode 131 centering on the organic emission layer. The polymer hole transport layer uses polyethylene dihydroxythiophene (PEDOT: poly-(2,4)-ethylene-dihydroxy thiophene), polyaniline (PANI), or the like by inkjet printing or spin coating. 131) may be formed on the top.

본 실시예에서는, 유기 발광 소자층(130)이 구동 박막트랜지스터(TFT)가 배치된 소자/배선층(120) 상에 배치된 구조에 관하여 기재하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(131)이 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(121)과 동일층에 형성된 구조, 또는 화소 전극(131)이 박막트랜지스터(TFT)의 게이트 전극(123)과 동일층에 형성된 구조, 또는 화소 전극(131)이 소스 전극 및 드레인 전극(125a, 125b)과 동일 층에 형성된 구조 등 다양한 형태로 변형이 가능하다.In this embodiment, the organic light-emitting device layer 130 is described with respect to the structure in which the driving thin film transistor (TFT) is disposed on the device/wiring layer 120, but the present invention is not limited thereto, and the organic light-emitting device A structure in which the pixel electrode 131 of the (OLED) is formed on the same layer as the active layer 121 of the thin film transistor (TFT), or the pixel electrode 131 is formed on the same layer as the gate electrode 123 of the thin film transistor (TFT). A structure, or a structure in which the pixel electrode 131 is formed on the same layer as the source and drain electrodes 125a and 125b, may be modified in various forms.

또한, 본 실시예에서 구동 박막트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(123)이 활성층(121) 상에 배치되지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며 게이트 전극(123)이 활성층(121)의 하부에 배치될 수도 있다.In addition, in the driving thin film transistor (TFT) in this embodiment, the gate electrode 123 is disposed on the active layer 121, but the present invention is not limited thereto, and the gate electrode 123 is disposed under the active layer 121. May be.

이러한 표시부(100)를 덮도록 기판(110) 상에는 박막 봉지층(200)이 배치될 수 있다. 표시부(100)에 포함된 유기 발광 소자(OLED)는 유기물로 구성되어 외부의 수분이나 산소에 의해 쉽게 열화될 수 있다. 따라서 이러한 표시부(100)를 보호하기 위해 표시부(100)를 밀봉해야 한다. 박막 봉지층(200)은 표시부(100)를 밀봉하는 수단으로 복수의 무기막들 및 복수의 유기막들을 교대로 적층한 구조를 가질 수 있다.A thin film encapsulation layer 200 may be disposed on the substrate 110 to cover the display unit 100. The organic light emitting diode (OLED) included in the display unit 100 is made of an organic material and may be easily deteriorated by external moisture or oxygen. Therefore, the display unit 100 must be sealed to protect the display unit 100. The thin film encapsulation layer 200 may have a structure in which a plurality of inorganic layers and a plurality of organic layers are alternately stacked as a means for sealing the display unit 100.

본 실시예의 유기 발광 표시 장치(1000)에서, 기판(110)을 가요성 기판으로 구성하고, 봉지 수단으로 박막 봉지층(200)을 이용함으로써, 유기 발광 표시 장치(1000)의 가요성 및 박형화를 용이하게 구현할 수 있다.In the organic light emitting display device 1000 of the present embodiment, by configuring the substrate 110 as a flexible substrate and using the thin film encapsulation layer 200 as a sealing means, the flexibility and thickness of the organic light emitting display device 1000 can be reduced. It can be easily implemented.

이와 같이 표시부(100)를 밀봉 기판이 아닌 박막 봉지층(200)으로 밀봉함으로써 유기 발광 표시 장치(1000)의 박형화 및 플렉시블화가 가능하게 된다.In this way, by sealing the display unit 100 with the thin film encapsulation layer 200 instead of the sealing substrate, the organic light emitting display device 1000 can be made thinner and flexible.

박막 봉지층(200)은 복수의 무기막들(211, 223, 233), 및 복수의 유기막들(213, 231)을 포함할 수 있다. 무기막들(211, 223, 233)과 유기막들(213, 231)은 서로 교대로 적층될 수 있다. The thin film encapsulation layer 200 may include a plurality of inorganic layers 211, 223, and 233, and a plurality of organic layers 213 and 231. The inorganic layers 211, 223 and 233 and the organic layers 213 and 231 may be alternately stacked with each other.

무기막들(211, 223, 233)은 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 예컨대, 무기막들(211, 223, 233)은 알루미늄 산화물, 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물으로 이루어질 수 있다. 다른 예에 따르면, 무기막들(211, 223, 233)은 복수의 무기 절연층들의 적층 구조를 포함할 수 있다. 무기막들(211, 223, 233)은 외부의 수분 및/또는 산소 등이 유기 발광 소자층(130)에 침투하는 것을 억제하는 기능을 수행할 수 있다.The inorganic layers 211, 223, and 233 may be formed of metal oxide, metal nitride, metal carbide, or a combination thereof. For example, the inorganic layers 211, 223, and 233 may be made of aluminum oxide, silicon oxide, or silicon nitride. According to another example, the inorganic layers 211, 223, and 233 may include a stacked structure of a plurality of inorganic insulating layers. The inorganic layers 211, 223, 233 may perform a function of suppressing penetration of external moisture and/or oxygen into the organic light emitting element layer 130.

유기막들(213, 231)은 고분자 유기 화합물일 수 있다. 예컨대, 유기막들(213, 231)은 에폭시, 아크릴레이트 또는 우레탄아크릴레이트 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 유기막들(213, 231)은 무기막들(211, 223, 233)의 내부 스트레스를 완화하거나, 무기막들(211, 223, 233)의 결함을 보완하고 평탄화하는 기능을 수행할 수 있다.The organic layers 213 and 231 may be a high molecular organic compound. For example, the organic layers 213 and 231 may include any one of epoxy, acrylate, or urethane acrylate. The organic layers 213 and 231 may relieve internal stress of the inorganic layers 211, 223, and 233, or compensate and planarize defects in the inorganic layers 211, 223 and 233.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 박막 봉지층(200) 사이에 개재되는 제1 터치 도전막(221) 및 제2 터치 도전막(225)을 포함하며, 제1 터치 도전막(221), 제2 무기막(223) 및 제2 터치 도전막(225)은 터치 감지층(220)을 구성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, including a first touch conductive film 221 and a second touch conductive film 225 interposed between the thin film encapsulation layer 200, the first touch conductive film 221, 2 The inorganic layer 223 and the second touch conductive layer 225 may constitute the touch sensing layer 220.

본 발명의 일 실시예에 따른 터치 감지층(220)은 제1 방향으로 연장되는 제1 센싱 패턴들과 제2 방향으로 연장되는 제2 센싱 패턴들을 포함할 수 있다. 제1 방향과 제2 방향은 서로 직교하는 방향일 수 있으며, 제1 센싱 패턴들과 제2 센싱 패턴들은 서로 절연되면서 직교할 수 있다. 사람의 손이나 터치용 물체가 터치 감지층(220) 상의 박막 봉지층(200)을 접촉하면, 제1 센싱 패턴들과 제2 센싱 패턴들 사이에 정전용량이 변화가 발생한다. 정전용량의 변화가 발생한 제1 센싱 패턴들과 제2 센싱 패턴들을 감지함으로써, 접촉 위치가 결정될 수 있다.The touch sensing layer 220 according to an embodiment of the present invention may include first sensing patterns extending in a first direction and second sensing patterns extending in a second direction. The first and second directions may be orthogonal to each other, and the first sensing patterns and the second sensing patterns may be insulated from each other and may be orthogonal. When a person's hand or a touch object contacts the thin film encapsulation layer 200 on the touch sensing layer 220, a change in capacitance occurs between the first sensing patterns and the second sensing patterns. The contact position may be determined by sensing the first sensing patterns and the second sensing patterns in which the capacitance change occurs.

일 예에 따르면, 제1 센싱 패턴들은 제1 터치 도전막(221)에 형성될 수 있고, 제2 센싱 패턴들은 제2 터치 도전막(225)에 형성될 수 있다. 제2 무기막(223)은 제1 터치 도전막(221)과 제2 터치 도전막(225) 사이에 개재될 수 있다. 이 경우, 제1 터치 도전막(221) 및 제2 터치 도전막(225)은 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있다. 투명 도전성 산화물의 예들은 인듐 주석 산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐 아연 산화물(IZO; indium zinc oxide), 아연 산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐 산화물(In2O3; indium oxide), 인듐 갈륨 산화물(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄 아연 산화물(AZO; aluminum zinc oxide)을 포함할 수 있다.According to an example, first sensing patterns may be formed on the first touch conductive layer 221, and second sensing patterns may be formed on the second touch conductive layer 225. The second inorganic layer 223 may be interposed between the first touch conductive layer 221 and the second touch conductive layer 225. In this case, the first touch conductive layer 221 and the second touch conductive layer 225 may be formed of a transparent conductive oxide. Examples of transparent conductive oxides include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In 2 O 3 ; indium oxide), and indium. It may include gallium oxide (IGO; indium gallium oxide) and aluminum zinc oxide (AZO).

다른 예에 따르면, 제1 센싱 패턴은 제1 센싱 셀들과 이를 연결하는 제1 연결 패턴들을 포함할 수 있고, 제2 센싱 패턴은 제2 센싱 셀들과 이를 연결하는 제2 연결 패턴들을 포함할 수 있다. 제1 센싱 셀들과 제2 센싱 셀들은 제1 터치 도전막(221)에 형성될 수 있다. 또한, 제1 연결 패턴들은 제1 터치 도전막(221)에 형성되고, 제2 연결 패턴은 제2 터치 도전막(225)에 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 터치 도전막(221)은 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있다. 제2 터치 도전막(225)은 저저항 금속 물질로 이루어질 수 있다. 이에 대해서는 도 4a 내지 도 4c를 참조로 아래에서 자세히 설명한다.According to another example, the first sensing pattern may include first sensing cells and first connection patterns connecting them, and the second sensing pattern may include second sensing cells and second connection patterns connecting them. . The first sensing cells and the second sensing cells may be formed on the first touch conductive layer 221. Further, the first connection patterns may be formed on the first touch conductive layer 221, and the second connection pattern may be formed on the second touch conductive layer 225. In this case, the first touch conductive layer 221 may be formed of a transparent conductive oxide. The second touch conductive layer 225 may be made of a low-resistance metal material. This will be described in detail below with reference to FIGS. 4A to 4C.

또 다른 예에 따르면, 제1 센싱 패턴은 제1 센싱 셀들과 이를 연결하는 제1 연결 패턴들을 포함할 수 있고, 제2 센싱 패턴은 제2 센싱 셀들과 이를 연결하는 제2 연결 패턴들을 포함할 수 있다. 제1 센싱 셀들과 제2 센싱 셀들은 제2 터치 도전막(225)에 형성될 수 있다. 또한, 제1 연결 패턴들은 제2 터치 도전막(225)에 형성되고, 제2 연결 패턴은 제1 터치 도전막(221)에 형성될 수 있다. 이 경우, 제2 터치 도전막(225)은 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있다. 제1 터치 도전막(221)은 저저항 금속 물질로 이루어질 수 있다. 이에 대해서는 도 5a 내지 도 5c를 참조로 아래에서 자세히 설명한다.According to another example, the first sensing pattern may include first sensing cells and first connection patterns connecting them, and the second sensing pattern may include second sensing cells and second connection patterns connecting the same. have. The first sensing cells and the second sensing cells may be formed on the second touch conductive layer 225. In addition, first connection patterns may be formed on the second touch conductive layer 225, and the second connection pattern may be formed on the first touch conductive layer 221. In this case, the second touch conductive layer 225 may be formed of a transparent conductive oxide. The first touch conductive layer 221 may be made of a low resistance metal material. This will be described in detail below with reference to FIGS. 5A to 5C.

본 발명에 따르면, 박막 봉지층(200)은 무기막들(211, 223, 233)과 유기막들(213, 231)뿐만 아니라, 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있는 제1 터치 도전막(221) 및/또는 제2 터치 도전막(225)을 포함한다. 따라서, 유기 발광 표시 장치(1000)는 기구적으로 더욱 견고한 구조를 가질 수 있으며, 투습 방지 성능 및 밀봉 성능이 더욱 개선될 수 있다. 뿐만 아니라, 박막 봉지층(200)을 구성하는 복수의 무기막들(211, 223, 233) 중 하나의 무기막(223)을 터치 감지층(220)으로 이용함으로써, 제조 공정을 단순활 할 수 있다. 또한, 터치 패널을 사용하지 않고, 박막 봉지층(200) 내의 터치 감지층(220)을 이용하여 터치 기능을 구현할 수 있기 때문에, 더욱 얇게 유기 발광 표시 장치(1000)를 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 가요성을 유지할 수 있다.According to the present invention, the thin film encapsulation layer 200 includes not only inorganic layers 211, 223, 233 and organic layers 213, 231, but also a first touch conductive layer 221 that may be formed of a transparent conductive oxide, and /Or a second touch conductive layer 225 is included. Accordingly, the organic light emitting display device 1000 may have a mechanically more robust structure, and moisture permeation prevention performance and sealing performance may be further improved. In addition, the manufacturing process can be simplified by using one inorganic film 223 among the plurality of inorganic films 211, 223, 233 constituting the thin film encapsulation layer 200 as the touch sensing layer 220. have. In addition, since the touch function can be implemented using the touch sensing layer 220 in the thin film encapsulation layer 200 without using a touch panel, the organic light emitting display device 1000 can be manufactured to be thinner, Can maintain flexibility.

도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(2000)를 개략적으로 도시한 단면도이다. 3A is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode display 2000 according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치(1000)와 다른 차이점을 중심으로 다양한 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치들을 설명한다.Organic light-emitting display devices according to various embodiments will be described focusing on differences from the organic light-emitting display device 1000 illustrated in FIGS. 1 and 2.

도 3a를 참조하면, 박막 봉지층(200a)이 무기막(215)과 유기막(217)을 더 포함한다는 점을 제외한 유기 발광 표시 장치(2000)의 다른 구성은 도 1 및 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치(1000)와 동일하다.Referring to FIG. 3A, other configurations of the organic light emitting display device 2000 except that the thin film encapsulation layer 200a further includes an inorganic layer 215 and an organic layer 217 are illustrated in FIGS. 1 and 2. It is the same as the organic light emitting display device 1000.

표시부(100)와 터치 감지층(220) 사이에 2개의 무기막(211, 215)과 2개의 유기막(213, 217)이 교대로 적층될 수 있다. 본 실시예에서는 2개의 무기막(211, 215)과 2개의 유기막(213, 217)이 터치 감지층(220) 아래에 적층되는 것으로 도시되지만, 이는 예시적이며, 더 많은 개수의 무기막과 유기막이 표시부(100)와 터치 감지층(220) 사이에 적층될 수 있다.Two inorganic layers 211 and 215 and two organic layers 213 and 217 may be alternately stacked between the display unit 100 and the touch sensing layer 220. In this embodiment, two inorganic layers 211 and 215 and two organic layers 213 and 217 are shown to be stacked under the touch sensing layer 220, but this is exemplary, and a larger number of inorganic layers and An organic layer may be stacked between the display unit 100 and the touch sensing layer 220.

뿐만 아니라, 터치 감지층(220) 상에 하나의 유기막(231)과 하나의 무기막(233)이 적층되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적이다. 더 많은 개수의 무기막과 유기막이 터치 감지층(220) 상에 적층될 수 있다.In addition, although it is shown that one organic layer 231 and one inorganic layer 233 are stacked on the touch sensing layer 220, this is exemplary. A larger number of inorganic and organic layers may be stacked on the touch sensing layer 220.

뿐만 아니라, 무기막들(211, 215, 223, 233)과 유기막들(213, 217, 231)의 적층 순서도 달라질 수 있다. 본 실시예에서는 표시부(100) 상에 무기막(211)이 적층된 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적이며, 표시부(100) 상에 유기막(213)이 먼저 적층될 수도 있다. 또한, 박막 봉지층(200a)의 최상위층이 무기막(233)인 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적이며, 유기막(231)이 최상위층일 수도 있다.In addition, the stacking order of the inorganic layers 211, 215, 223, 233 and the organic layers 213, 217, 231 may be changed. In the present embodiment, the inorganic layer 211 is stacked on the display unit 100, but this is exemplary, and the organic layer 213 may be first stacked on the display unit 100. Further, although the uppermost layer of the thin film encapsulation layer 200a is shown as the inorganic layer 233, this is exemplary, and the organic layer 231 may be the uppermost layer.

또한, 터치 감지층(220)이 유기막(217) 상에 직접 배치되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적이며, 터치 감지층(220)이 무기막(215) 상에 직접 배치되거나, 터치 감지층(220)과 유기막(217) 사이에 다른 무기막이 개재될 수도 있다.In addition, although it is shown that the touch sensing layer 220 is directly disposed on the organic layer 217, this is exemplary, and the touch sensing layer 220 is directly disposed on the inorganic layer 215 or the touch sensing layer Another inorganic layer may be interposed between the 220 and the organic layer 217.

또한, 터치 감지층(220) 상에 유기막(231)이 직접 배치되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적이며, 터치 감지층(220) 상에 무기막(233)이 직접 배치되거나, 터치 감지층(220)과 유기막(231) 사이에 다른 무기막이 개재될 수도 있다.In addition, although it is shown that the organic layer 231 is directly disposed on the touch sensing layer 220, this is exemplary, and the inorganic layer 233 is directly disposed on the touch sensing layer 220 or the touch sensing layer Another inorganic layer may be interposed between the 220 and the organic layer 231.

도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)를 개략적으로 도시한 단면도이다. 3B is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device 3000 according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3b를 참조하면, 표시부(100)와 박막 봉지층(200) 사이에 보호층(150)이 배치되고, 박막 봉지층(200) 상에 광학 부재(240)가 배치된다는 점을 제외한 유기 발광 표시 장치(3000)의 다른 구성은 도 1 및 도 2의 실시예에 관한 유기 발광 표시 장치(1000)와 동일하다.Referring to FIG. 3B, an organic light emitting display except that the protective layer 150 is disposed between the display unit 100 and the thin film encapsulation layer 200, and the optical member 240 is disposed on the thin film encapsulation layer 200. Other configurations of the device 3000 are the same as those of the organic light-emitting display device 1000 of the embodiments of FIGS. 1 and 2.

보호층(150)은 캡핑층(151) 및 차단층(152)을 포함할 수 있다. 캡핑층(151)은 a-NPD, NPB, TPD, m-MTDATA, Alq3 또는 CuPc 등의 유기물로 형성될 수 있다. 캡핑층(151)은 유기 발광 소자층(130)를 보호하는 기능 이외에 유기 발광 소자층(130)로부터 발생한 광이 효율적으로 방출될 수 있도록 도와주는 역할을 한다.The protective layer 150 may include a capping layer 151 and a blocking layer 152. The capping layer 151 may be formed of an organic material such as a-NPD, NPB, TPD, m-MTDATA, Alq3, or CuPc. In addition to protecting the organic light emitting device layer 130, the capping layer 151 serves to help light generated from the organic light emitting device layer 130 to be efficiently emitted.

차단층(152)은 LiF, MgF2 또는 CaF2 등의 무기물로 형성될 수 있다. 차단층(152)은 박막 봉지층(200)을 형성하는 과정에서 사용되는 플라즈마가 유기 발광 소자층(130)에 침투하여 중간층(133) 및 대향 전극(135)에 손상을 일으키지 않도록 플라즈마를 차단하는 역할을 한다.The blocking layer 152 may be formed of an inorganic material such as LiF, MgF 2 or CaF 2 . The blocking layer 152 blocks the plasma so that the plasma used in the process of forming the thin film encapsulation layer 200 does not penetrate the organic light emitting element layer 130 and cause damage to the intermediate layer 133 and the counter electrode 135. Plays a role.

박막 봉지층(200) 상에는 광학 부재(240)가 배치될 수 있다. 광학 부재(240)는 위상 지연판(241)과 편광판(242)을 포함할 수 있다. 위상 지연판(241)은 1/4 파장판(λ/4 plate)일 수 있다.An optical member 240 may be disposed on the thin film encapsulation layer 200. The optical member 240 may include a phase retardation plate 241 and a polarizing plate 242. The phase retardation plate 241 may be a 1/4 wave plate (λ/4 plate).

본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(3000)의 광학 부재(240)는 외광 반사를 억제하여, 유기 발광 표시 장치(3000)의 시인성과 콘트라스트를 향상시키는 역할을 할 수 있다.The optical member 240 of the organic light-emitting display device 3000 according to the present exemplary embodiment may suppress reflection of external light, thereby improving visibility and contrast of the organic light-emitting display device 3000.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층의 개략적인 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 절취한 단면도이다.4A is a schematic plan view of a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 4A.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층(200) 내에 배치되는 터치 감지층(220a)은 제1 센싱 패턴들(41) 및 제2 센싱 패턴들(42)을 포함한다.4A and 4B, the touch sensing layer 220a disposed in the thin film encapsulation layer 200 according to an embodiment of the present invention includes first sensing patterns 41 and second sensing patterns 42. Includes.

제1 센싱 패턴들(41)은 제1 방향(예컨대, X 방향)으로 연장될 수 있다. 제1 센싱 패턴들(41)은 제1 방향과 교차되는 제2 방향(예컨대, Y 방향)을 따라 복수로 배열된다. 제1 센싱 패턴(41)은 제1 방향을 따라 소정 간격으로 이격된 복수개의 제1 센싱 셀들(41c), 및 제1 센싱 셀들(41c)을 연결하는 제1 연결 패턴들(41br)을 포함할 수 있다. 제1 연결 패턴들(41br)은 제1 센싱 셀들(41c)과 다른 층에 배치될 수 있으며, 제1 연결 패턴들(41br)은 제2 무기막(223)을 관통하는 콘택 플러그(41p)를 이용하여 브릿지 형태로 제1 센싱 셀들(41c)을 전기적으로 연결할 수 있다.The first sensing patterns 41 may extend in a first direction (eg, an X direction). The first sensing patterns 41 are arranged in a plurality along a second direction (eg, Y direction) crossing the first direction. The first sensing pattern 41 includes a plurality of first sensing cells 41c spaced apart at a predetermined interval along the first direction, and first connection patterns 41br connecting the first sensing cells 41c. I can. The first connection patterns 41br may be disposed on a different layer from the first sensing cells 41c, and the first connection patterns 41br may include a contact plug 41p penetrating the second inorganic layer 223. By using a bridge, the first sensing cells 41c may be electrically connected.

제2 센싱 패턴들(42)은 제2 방향으로 연장될 수 있다. 제2 센싱 패턴들(42)은 제1 방향을 따라 복수로 배열된다. 제2 센싱 패턴(42)은 제2 방향을 따라 소정 간격을 이격된 복수개의 제2 센싱 셀들(42c), 및 제2 센싱 셀들(42c)을 연결하는 제2 연결 패턴들(42br)을 포함할 수 있다. 제2 센싱 셀들(42c)은 상기 제1 센싱 셀들(41c)과 중첩되지 않도록 상기 제1 센싱 셀들(41c) 사이에 분산하여 배치될 수 있다. 제2 연결 패턴들(42br)은 제2 센싱 셀들(42c)과 동일 층에 배치될 수 있으며, 제2 연결 패턴들(42br)과 제2 센싱 셀들(42c)은 일체로 형성될 수 있다.The second sensing patterns 42 may extend in the second direction. The second sensing patterns 42 are arranged in plural along the first direction. The second sensing pattern 42 may include a plurality of second sensing cells 42c spaced apart by a predetermined distance along the second direction, and second connection patterns 42br connecting the second sensing cells 42c. I can. The second sensing cells 42c may be distributed and disposed between the first sensing cells 41c so as not to overlap with the first sensing cells 41c. The second connection patterns 42br may be disposed on the same layer as the second sensing cells 42c, and the second connection patterns 42br and the second sensing cells 42c may be integrally formed.

도 4a에 도시된 바와 같이, 제1 센싱 셀들(41c) 및 제2 센싱 셀들(42c)은 마름모 형상을 가질 수 있지만, 이는 예시적이며, 다른 형상을 가질 수도 있다. 또한, 제1 센싱 셀들(41c)과 제2 센싱 셀들(42c)은 서로 다른 형상을 가질 수도 있다.As illustrated in FIG. 4A, the first sensing cells 41c and the second sensing cells 42c may have a rhombus shape, but this is exemplary and may have other shapes. In addition, the first sensing cells 41c and the second sensing cells 42c may have different shapes.

제1 센싱 셀들(41c), 제2 센싱 셀들(42c) 및 제2 연결 패턴들(42br)은 제1 유기막(213) 상에 배치될 수 있으며, 제1 터치 도전막(221a)을 구성할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제1 터치 도전막(221a)은 투명 도전성 산화물로 형성될 수 있다. The first sensing cells 41c, the second sensing cells 42c, and the second connection patterns 42br may be disposed on the first organic layer 213 and constitute the first touch conductive layer 221a. I can. As described above, the first touch conductive layer 221a may be formed of a transparent conductive oxide.

제1 연결 패턴들(41br)과 콘택 플러그(41p)는 제2 터치 도전막(225a)을 구성할 수 있으며, 투명 도전성 물질로 형성되거나 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴(Mo/Al/Mo) 등과 같은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 제2 무기막(223)과 제2 터치 도전막(225a)은 제2 유기막(231)에 의해 덮일 수 있다.The first connection patterns 41br and the contact plug 41p may constitute the second touch conductive layer 225a, and may be formed of a transparent conductive material or may be formed of molybdenum (Mo), silver (Ag), titanium (Ti), or It may be formed of a low-resistance metal material such as copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum/aluminum/molybdenum (Mo/Al/Mo). The second inorganic layer 223 and the second touch conductive layer 225a may be covered by the second organic layer 231.

도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.4C are cross-sectional views illustrating a method of forming a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention.

도 4c의 (a)를 참조하면, 제1 유기막(213) 상에 제1 터치 도전막(221a)이 형성될 수 있다. 제1 터치 도전막(221a)은 제1 센싱 셀들(41c), 제2 센싱 셀들(42c) 및 제2 연결 패턴들(42br)을 포함할 수 있다. 제1 터치 도전막(221a)은 투명 도전성 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 유기막(213) 상에 투명 도전성 물질층이 적층될 수 있다. 투명 도전성 물질층은 제1 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 센싱 셀들(41c), 제2 센싱 셀들(42c) 및 제2 연결 패턴들(42br)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4C (a), a first touch conductive layer 221a may be formed on the first organic layer 213. The first touch conductive layer 221a may include first sensing cells 41c, second sensing cells 42c, and second connection patterns 42br. The first touch conductive layer 221a may be formed of a transparent conductive material. Specifically, a transparent conductive material layer may be stacked on the first organic layer 213. The transparent conductive material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a first photo mask (not shown), and the first sensing cells 41c, the second sensing cells 42c, and the second connection patterns ( 42br) can be formed.

도 4c의 (b)를 참조하면, 제1 터치 도전막(221a) 상에 제2 무기막(223)이 형성될 수 있다. 제2 무기막(223)은 제1 센싱 셀들(41c)의 일부 상면을 노출하는 콘택 홀들(223h)을 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 무기막(223)은 무기 절연 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 터치 도전막(221a) 상에 무기 절연 물질층이 적층될 수 있다. 무기 절연 물질층은 제2 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 센싱 셀들(41c)의 일부 상면을 노출하는 콘택 홀들(223h)이 형성될 수 있다.Referring to (b) of FIG. 4C, a second inorganic layer 223 may be formed on the first touch conductive layer 221a. The second inorganic layer 223 may include contact holes 223h exposing some upper surfaces of the first sensing cells 41c. As described above, the second inorganic layer 223 may be formed of an inorganic insulating material. Specifically, an inorganic insulating material layer may be stacked on the first touch conductive layer 221a. The inorganic insulating material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a second photo mask (not shown), and contact holes 223h exposing some top surfaces of the first sensing cells 41c may be formed. have.

도 4c의 (c)를 참조하면, 제2 무기막(223) 상에 제2 터치 도전막(225a)이 형성될 수 있다. 제2 터치 도전막(225a)은 제1 연결 패턴들(41br) 및 제2 무기막(223)의 콘택 홀들(223h)을 매립하는 콘택 플러그(41p)를 포함할 수 있다. 제2 터치 도전막(225a)은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 무기막(223) 상에 콘택 홀들(223h)을 매립하도록 저저항 금속 물질층이 적층될 수 있다. 저저항 금속 물질층은 제3 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 연결 패턴들(41br) 및 콘택 플러그(41p)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4C(c), a second touch conductive layer 225a may be formed on the second inorganic layer 223. The second touch conductive layer 225a may include first connection patterns 41br and a contact plug 41p filling the contact holes 223h of the second inorganic layer 223. The second touch conductive layer 225a may be formed of a low resistance metal material. Specifically, a low-resistance metal material layer may be stacked on the second inorganic layer 223 to fill the contact holes 223h. The low-resistance metal material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a third photo mask (not shown), and first connection patterns 41br and a contact plug 41p may be formed.

도 4c의 (d)를 참조하면, 제2 무기막(223)과 제2 터치 도전막(225a) 상에 제2 유기막(231)이 형성될 수 있다. 이러한 공정을 통해, 도 4b에 도시된 바와 같은, 박막 봉지층(200) 내에 배치되는 터치 감지층(220a)이 형성될 수 있다.Referring to (d) of FIG. 4C, a second organic layer 231 may be formed on the second inorganic layer 223 and the second touch conductive layer 225a. Through this process, the touch sensing layer 220a disposed in the thin film encapsulation layer 200 as shown in FIG. 4B may be formed.

도 5a는 본 발명의 다른 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층의 개략적인 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 절취한 단면도이다.5A is a schematic plan view of a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 5A.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따라 박막 봉지층(200) 내에 배치되는 터치 감지층(220b)은 제1 센싱 패턴들(51) 및 제2 센싱 패턴들(52)을 포함한다.5A and 5B, the touch sensing layer 220b disposed in the thin film encapsulation layer 200 according to another embodiment of the present invention includes first sensing patterns 51 and second sensing patterns 52. Includes.

제1 센싱 패턴들(51)은 제1 방향(예컨대, X 방향)으로 연장될 수 있다. 제1 센싱 패턴들(51)은 제1 방향과 교차되는 제2 방향(예컨대, Y 방향)을 따라 복수로 배열된다. 제1 센싱 패턴(51)은 제1 방향을 따라 소정 간격으로 이격된 복수개의 제1 센싱 셀들(51c), 및 제1 센싱 셀들(51c)을 연결하는 제1 연결 패턴들(51br)을 포함할 수 있다. 제1 연결 패턴들(51br)은 제1 센싱 셀들(51c)과 다른 층에 배치될 수 있으며, 제1 센싱 셀들(51c)은 제2 무기막(223)을 관통하는 콘택 플러그(51p)를 이용하여 제1 연결 패턴들(51br)에 전기적으로 연결될 수 있다. 그 결과, 제1 방향으로 배열된 제1 센싱 셀들(51c)은 제1 연결 패턴들(51br)을 통해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The first sensing patterns 51 may extend in a first direction (eg, an X direction). The first sensing patterns 51 are arranged in plural along a second direction (eg, Y direction) crossing the first direction. The first sensing pattern 51 includes a plurality of first sensing cells 51c spaced apart at a predetermined interval along a first direction, and first connection patterns 51br connecting the first sensing cells 51c. I can. The first connection patterns 51br may be disposed on a different layer from the first sensing cells 51c, and the first sensing cells 51c use a contact plug 51p penetrating the second inorganic layer 223 Thus, it may be electrically connected to the first connection patterns 51br. As a result, the first sensing cells 51c arranged in the first direction may be electrically connected to each other through the first connection patterns 51br.

제2 센싱 패턴들(52)은 제2 방향으로 연장될 수 있다. 제2 센싱 패턴들(52)은 제1 방향을 따라 복수로 배열된다. 제2 센싱 패턴(52)은 제2 방향을 따라 소정 간격을 이격된 복수개의 제2 센싱 셀들(52c), 및 제2 센싱 셀들(52c)을 연결하는 제2 연결 패턴들(52br)을 포함할 수 있다. 제2 센싱 셀들(52c)은 상기 제1 센싱 셀들(51c)과 중첩되지 않도록 상기 제1 센싱 셀들(51c) 사이에 분산하여 배치될 수 있다. 제2 연결 패턴들(52br)은 제2 센싱 셀들(52c)과 동일 층에 배치될 수 있으며, 제2 연결 패턴들(52br)과 제2 센싱 셀들(52c)은 일체로 형성될 수 있다.The second sensing patterns 52 may extend in the second direction. The second sensing patterns 52 are arranged in plural along the first direction. The second sensing pattern 52 includes a plurality of second sensing cells 52c spaced apart by a predetermined distance along the second direction, and second connection patterns 52br connecting the second sensing cells 52c. I can. The second sensing cells 52c may be distributed and disposed between the first sensing cells 51c so as not to overlap with the first sensing cells 51c. The second connection patterns 52br may be disposed on the same layer as the second sensing cells 52c, and the second connection patterns 52br and the second sensing cells 52c may be integrally formed.

제1 연결 패턴들(51br)은 제1 유기막(213) 상에 배치될 수 있으며, 제1 터치 도전막(221b)을 구성할 수 있다. 제1 터치 도전막(221b)은 투명 도전성 물질로 형성되거나 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴(Mo/Al/Mo) 등과 같은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다.The first connection patterns 51br may be disposed on the first organic layer 213 and may form a first touch conductive layer 221b. The first touch conductive layer 221b is formed of a transparent conductive material, or molybdenum (Mo), silver (Ag), titanium (Ti), copper (Cu), aluminum (Al), molybdenum/aluminum/molybdenum (Mo/Al/ It may be formed of a low-resistance metal material such as Mo).

제1 센싱 셀들(51c), 콘택 플러그(51p), 제2 센싱 셀들(52c) 및 제2 연결 패턴들(52br)은 제2 터치 도전막(225b)을 구성할 수 있다. 제2 터치 도전막(225b)은 투명 도전성 산화물로 형성될 수 있다. 제2 무기막(223)과 제2 터치 도전막(225b)은 제2 유기막(231)에 의해 덮일 수 있다.The first sensing cells 51c, the contact plug 51p, the second sensing cells 52c, and the second connection patterns 52br may form the second touch conductive layer 225b. The second touch conductive layer 225b may be formed of a transparent conductive oxide. The second inorganic layer 223 and the second touch conductive layer 225b may be covered by the second organic layer 231.

도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따라 박막 봉지층 내에 배치되는 터치 감지층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.5C are cross-sectional views illustrating a method of forming a touch sensing layer disposed in a thin film encapsulation layer according to an embodiment of the present invention.

도 5c의 (a)를 참조하면, 제1 유기막(213) 상에 제1 터치 도전막(221b)이 형성될 수 있다. 제1 터치 도전막(221b)은 제1 연결 패턴들(51br)을 포함할 수 있다. 제1 터치 도전막(221b)은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 유기막(213) 상에 저저항 금속 물질층이 적층될 수 있다. 저저항 금속 물질층은 제1 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 연결 패턴들(51br)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5C(a), a first touch conductive layer 221b may be formed on the first organic layer 213. The first touch conductive layer 221b may include first connection patterns 51br. The first touch conductive layer 221b may be formed of a low resistance metal material. Specifically, a low-resistance metal material layer may be stacked on the first organic layer 213. The low-resistance metal material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a first photo mask (not shown), and first connection patterns 51br may be formed.

도 5c의 (b)를 참조하면, 제1 터치 도전막(221b) 상에 제2 무기막(223)이 형성될 수 있다. 제2 무기막(223)은 제1 연결 패턴들(51br)의 일부 상면을 노출하는 콘택 홀들(223h)을 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 무기막(223)은 무기 절연 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 터치 도전막(221b) 상에 무기 절연 물질층이 적층될 수 있다. 무기 절연 물질층은 제2 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 연결 패턴들(51br)의 일부 상면을 노출하는 콘택 홀들(223h)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5C(b), a second inorganic layer 223 may be formed on the first touch conductive layer 221b. The second inorganic layer 223 may include contact holes 223h exposing some upper surfaces of the first connection patterns 51br. As described above, the second inorganic layer 223 may be formed of an inorganic insulating material. Specifically, an inorganic insulating material layer may be stacked on the first touch conductive layer 221b. The inorganic insulating material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a second photo mask (not shown), and contact holes 223h exposing some upper surfaces of the first connection patterns 51br are formed. I can.

도 5c의 (c)를 참조하면, 제2 무기막(223) 상에 제2 터치 도전막(225b)이 형성될 수 있다. 제2 터치 도전막(225b)은 제1 센싱 셀들(51c), 제2 무기막(223)의 콘택 홀들(223h)을 매립하는 콘택 플러그(51p), 제2 센싱 셀들(52c) 및 제2 연결 패턴들(52br)를 포함할 수 있다. 제2 터치 도전막(225b)은 투명 도전성 물질로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 무기막(223) 상에 콘택 홀들(223h)을 매립하도록 투명 도전성 물질층이 적층될 수 있다. 투명 도전성 물질층은 제3 포토 마스크(미 도시)를 이용한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정을 통해 패터닝될 수 있으며, 제1 센싱 셀들(51c), 콘택 플러그(51p), 제2 센싱 셀들(52c) 및 제2 연결 패턴들(52br)이 형성될 수 있다.Referring to (c) of FIG. 5C, a second touch conductive layer 225b may be formed on the second inorganic layer 223. The second touch conductive layer 225b includes the first sensing cells 51c, the contact plug 51p filling the contact holes 223h of the second inorganic layer 223, the second sensing cells 52c, and the second connection Patterns 52br may be included. The second touch conductive layer 225b may be formed of a transparent conductive material. Specifically, a transparent conductive material layer may be stacked on the second inorganic layer 223 to fill the contact holes 223h. The transparent conductive material layer may be patterned through a photolithography process and an etching process using a third photo mask (not shown), and the first sensing cells 51c, the contact plug 51p, the second sensing cells 52c, and Second connection patterns 52br may be formed.

도 5c의 (d)를 참조하면, 제2 무기막(223)과 제2 터치 도전막(225b) 상에 제2 유기막(231)이 형성될 수 있다. 이러한 공정을 통해, 도 5b에 도시된 바와 같은, 박막 봉지층(200) 내에 배치되는 터치 감지층(220b)이 형성될 수 있다.Referring to (d) of FIG. 5C, a second organic layer 231 may be formed on the second inorganic layer 223 and the second touch conductive layer 225b. Through this process, the touch sensing layer 220b disposed in the thin film encapsulation layer 200 as shown in FIG. 5B may be formed.

본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.In the present specification, the present invention has been described centering on limited embodiments, but various embodiments are possible within the scope of the present invention. In addition, although not described, it will be said that an equivalent means is also incorporated in the present invention as it is. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be determined by the following claims.

100: 표시부 110: 기판
120: 소자/배선층 130: 유기 발광 소자층
131: 화소 전극 133: 중간층
135: 대향 전극 140: 화소 정의막
150: 보호층 200, 200a: 박막 봉지층
211, 215, 223, 233: 무기막들 213, 217, 231: 유기막들
220, 220a, 220b: 터치 감지층 221, 221a, 221b: 제1 터치 도전막
225, 225a, 225b: 제2 터치 도전막 240: 광학 부재
1000, 2000, 3000: 유기 발광 표시 장치100: display unit 110: substrate
120: device/wiring layer 130: organic light emitting device layer
131: pixel electrode 133: intermediate layer
135: counter electrode 140: pixel defining layer
150: protective layer 200, 200a: thin film encapsulation layer
211, 215, 223, 233: inorganic layers 213, 217, 231: organic layers
220, 220a, 220b: touch sensing layer 221, 221a, 221b: first touch conductive layer
225, 225a, 225b: second touch conductive film 240: optical member
1000, 2000, 3000: organic light emitting display device

Claims (10)

기판;
상기 기판 상의 유기 발광 소자층;
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 제1 방향을 따라 이격하여 배열되는 제1 센싱 셀들;
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들; 및
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 서로 교대로 적층되는 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함하는 박막 봉지층을 포함하고,
상기 박막 봉지층의 상기 적어도 하나의 무기막과 상기 적어도 하나의 유기막 중 적어도 하나의 절연막은 터치 절연막으로서 상기 제1 센싱 셀들과 상기 제1 연결 패턴들 사이에 개재되고,
상기 터치 절연막을 관통하여, 상기 제1 센싱 셀들의 일부 영역과 상기 제1 연결 패턴들을 전기적으로 연결하는 콘택 플러그들을 더 포함하며,
상기 터치 절연막은 상기 제1 연결 패턴들 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들은 상기 터치 절연막 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들은 상기 콘택 플러그들과 함께 하나의 도전층을 구성하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.Board;
An organic light emitting device layer on the substrate;
First sensing cells disposed on the organic light-emitting device layer and spaced apart from each other in a first direction;
First connection patterns disposed on the organic light-emitting device layer and connecting the first sensing cells; And
A thin film encapsulation layer disposed on the organic light emitting device layer and including at least one inorganic film and at least one organic film alternately stacked with each other,
At least one insulating layer of the at least one inorganic layer and the at least one organic layer of the thin film encapsulation layer is a touch insulating layer and is interposed between the first sensing cells and the first connection patterns,
Further comprising contact plugs passing through the touch insulating layer and electrically connecting the partial regions of the first sensing cells and the first connection patterns,
The touch insulating layer is disposed on the first connection patterns, the first sensing cells are disposed on the touch insulating layer, and the first sensing cells form one conductive layer together with the contact plugs. An organic light-emitting display device comprising: a. 제1 항에 있어서,
상기 제1 센싱 셀들과 동일 층에 배치되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배열되는 복수의 제2 센싱 셀들; 및
상기 제1 센싱 셀들과 동일 층에 배치되고, 상기 제2 센싱 셀들을 연결하는 복수의 제2 연결 패턴들을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
A plurality of second sensing cells disposed on the same layer as the first sensing cells and arranged in a second direction different from the first direction; And
The organic light emitting diode display device is disposed on the same layer as the first sensing cells, and further includes a plurality of second connection patterns connecting the second sensing cells. 제2 항에 있어서,
상기 복수의 제2 센싱 셀들 및 상기 복수의 제2 연결 패턴들은 상기 상기 터치 절연막 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 2,
The plurality of second sensing cells and the plurality of second connection patterns are disposed on the touch insulating layer. 삭제delete 삭제delete 기판 상의 화소 전극;
상기 화소 전극 상의 유기 발광층;
상기 유기 발광층 상의 대향 전극;
상기 대향 전극 상에 배치되고, 서로 교대로 적층된 복수의 무기막과 복수의 유기막을 포함하는 박막 봉지층; 및
상기 대향 전극 상에 배치되고, 상기 복수의 무기막 중 하나의 무기막인 터치 절연막을 포함하는 터치 감지층을 포함하고,
상기 터치 감지층은,
상기 대향 전극 상에 배치되고, 제1 방향을 따라 배열되는 제1 센싱 셀들, 제2 방향을 따라 배열되는 제2 센싱 셀들, 및 상기 제2 센싱 셀들을 연결하는 제2 연결 패턴들을 포함하는 제1 터치 도전층; 및
상기 대향 전극 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들을 포함하는 제2 터치 도전층;
상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층 사이에 개재되는 상기 터치 절연막; 및
상기 터치 절연막을 관통하여, 상기 제1 센싱 셀들의 일부 영역과 상기 제1 연결 패턴들을 전기적으로 연결하는 콘택 플러그들을 포함하며,
상기 터치 절연막은 상기 제1 연결 패턴들 상에 배치되고,
상기 제1 센싱 셀들, 상기 제2 센싱 셀들, 및 상기 제2 연결 패턴들은 상기 터치 절연막 상에 배치되고,
상기 제1 센싱 셀들은 상기 콘택 플러그들과 함께 하나의 도전층을 구성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.A pixel electrode on the substrate;
An organic emission layer on the pixel electrode;
An opposite electrode on the organic emission layer;
A thin film encapsulation layer disposed on the counter electrode and including a plurality of inorganic layers and a plurality of organic layers alternately stacked with each other; And
It is disposed on the opposite electrode, and includes a touch sensing layer including a touch insulating film that is one inorganic film among the plurality of inorganic films,
The touch sensing layer,
A first sensing cell disposed on the opposite electrode and including first sensing cells arranged in a first direction, second sensing cells arranged in a second direction, and second connection patterns connecting the second sensing cells A touch conductive layer; And
A second touch conductive layer disposed on the opposite electrode and including first connection patterns connecting the first sensing cells;
The touch insulating layer interposed between the first touch conductive layer and the second touch conductive layer; And
And contact plugs passing through the touch insulating layer and electrically connecting some regions of the first sensing cells and the first connection patterns,
The touch insulating layer is disposed on the first connection patterns,
The first sensing cells, the second sensing cells, and the second connection patterns are disposed on the touch insulating layer,
The first sensing cells form one conductive layer together with the contact plugs. 삭제delete 기판;
상기 기판 상의 유기 발광 소자층;
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 서로 교대로 적층된 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함하는 박막 봉지층; 및
상기 적어도 하나의 무기막 중 하나인 터치 절연막을 포함하는 터치 감지층을 포함하고,
상기 터치 감지층은,
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 제1 방향을 따라 이격하여 배열되는 제1 센싱 셀들;
상기 유기 발광 소자층 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들을 연결하는 제1 연결 패턴들;
상기 제1 센싱 셀들과 상기 제1 연결 패턴들 사이에 개재되는 상기 터치 절연막; 및
상기 터치 절연막을 관통하여, 상기 제1 센싱 셀들의 일부 영역과 상기 제1 연결 패턴들을 전기적으로 연결하는 콘택 플러그들을 포함하고,
상기 터치 절연막은 상기 제1 연결 패턴들 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들은 상기 터치 절연막 상에 배치되고, 상기 제1 센싱 셀들은 상기 콘택 플러그들과 함께 하나의 도전층을 구성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.Board;
An organic light emitting device layer on the substrate;
A thin film encapsulation layer disposed on the organic light-emitting device layer and including at least one inorganic film and at least one organic film alternately stacked with each other; And
Including a touch sensing layer including a touch insulating layer as one of the at least one inorganic layer,
The touch sensing layer,
First sensing cells disposed on the organic light-emitting device layer and spaced apart from each other in a first direction;
First connection patterns disposed on the organic light-emitting device layer and connecting the first sensing cells;
The touch insulating layer interposed between the first sensing cells and the first connection patterns; And
And contact plugs penetrating the touch insulating layer to electrically connect partial regions of the first sensing cells and the first connection patterns,
The touch insulating layer is disposed on the first connection patterns, the first sensing cells are disposed on the touch insulating layer, and the first sensing cells form one conductive layer together with the contact plugs. Organic light emitting display device. 제8 항에 있어서,
상기 박막 봉지층의 상기 적어도 하나의 무기막과 상기 적어도 하나의 유기막 중 적어도 하나는 상기 터치 감지층 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 8,
At least one of the at least one inorganic layer and the at least one organic layer of the thin film encapsulation layer is disposed on the touch sensing layer. 제9 항에 있어서,
상기 제1 센싱 셀들과 동일 층에 배치되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배열되는 제2 센싱 셀들; 및
상기 제1 센싱 셀들과 동일 층에 배치되고, 상기 제2 센싱 셀들을 연결하는 제2 연결 패턴들을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 9,
Second sensing cells disposed on the same layer as the first sensing cells and arranged in a second direction different from the first direction; And
An organic light emitting diode display device that is disposed on the same layer as the first sensing cells and further includes second connection patterns connecting the second sensing cells.
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