KR102129709B1 - Tray of carrying quartz crystal of transferring the crystal - Google Patents

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KR102129709B1 KR1020200007079A KR20200007079A KR102129709B1 KR 102129709 B1 KR102129709 B1 KR 102129709B1 KR 1020200007079 A KR1020200007079 A KR 1020200007079A KR 20200007079 A KR20200007079 A KR 20200007079A KR 102129709 B1 KR102129709 B1 KR 102129709B1
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강영귀
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Abstract

The present invention suggests a tray for carrying quartz crystal and a method of transferring quartz crystal to prevent damage to quartz crystal due to dropping of quartz crystal, contamination of a surface, scratch, etc. and accurately align and move quartz crystal to a quartz crystal holder within a short time. The quartz crystal tray for moving a plurality of quartz crystals to a quartz crystal holder for measuring a deposition thickness at the same time comprises: a tray body; a quartz crystal receiving groove formed in the tray body and carrying the plurality of quartz crystals; and a holder receiving groove in which the quartz crystal receiving groove is expanded and the quartz crystal holder is received.

Description

석영소자를 수용하는 트레이 및 그 석영소자를 옮기는 방법{Tray of carrying quartz crystal of transferring the crystal}Tray for carrying quartz elements and a method for transferring the quartz elements {Tray of carrying quartz crystal of transferring the crystal}

본 발명은 석영소자를 수용하는 트레이 및 석영소자를 옮기는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 석영의 압전효과 및 공진주파수를 활용하여 증착 박막의 두께를 측정하기 위한 석영소자를 수용하는 트레이 및 그 석영소자를 옮기는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a tray for accommodating a quartz element and a method for moving the quartz element, and more specifically, a tray for accommodating a quartz element for measuring the thickness of the deposited thin film by utilizing the piezoelectric effect and resonant frequency of quartz and the quartz It relates to a method for moving the device.

증착된 박막의 증착두께를 측정하기 위하여, 압전효과(piezoelectric effect)가 있는 석영(quartz)을 두께측정을 위한 센서 재질로 활용하고 있다. 구체적으로, 원형의 석영디스크(quartz disc) 양면에 전극이 포함된 석영소자에 교류전압을 인가하면, 상기 석영디스크는 고유의 공진주파수로 진동하는 압전효과(piezo effect)가 일어난다. 석영디스크의 공진주파수는 석영디스크의 두께, 전극의 물성 및 증착두께에 따라 달라진다. 이러한 공진주파수를 활용하여 증착두께를 측정하는 센서를 석영 미세저울(Quartz Crystal Microbalance; QCM)이라고 한다. 이때, 전극에는 금(gold), 은(silver) 및 그들의 합금 등으로 코팅되어 이루어진다. 석영 미세저울에 대해서는 미국등록특허 제5,112,642, 미국등록특허 제5,869,763호 등에 상세하게 개시되어 있다. In order to measure the deposition thickness of the deposited thin film, quartz with a piezoelectric effect is used as a sensor material for thickness measurement. Specifically, when an AC voltage is applied to a quartz element including an electrode on both sides of a circular quartz disc, the quartz disc has a piezo effect that vibrates at a unique resonance frequency. The resonant frequency of the quartz disc depends on the thickness of the quartz disc, the physical properties of the electrode and the deposition thickness. A sensor that measures the deposition thickness using this resonant frequency is called a quartz crystal microbalance (QCM). At this time, the electrode is made of gold (gold), silver (silver), and an alloy thereof. The quartz microbalance is disclosed in detail in U.S. Patent No. 5,112,642, U.S. Patent No. 5,869,763, and the like.

한편, 복수개의 석영소자는 석영소자 홀더에 탑재되며, 석영소자 홀더는 증착용 챔버에 장입된다. 복수개의 석영소자의 탑재는 신규 석영소자가 요구되거나 기존의 석영소자를 교체할 때 발생한다. 종래에는 복수개의 석영소자는 대략 10여개이며, 상기 복수개의 석영소자를 수작업으로 석영소자 홀더에 낱개 단위로 하나씩 이동시켰다. 수작업에 의한 석영소자의 이동은 진공 펜(vacuum pen), 플라스틱 트위저(plastic tweezer) 등을 활용한다. 그런데, 수작업으로 석영소자를 옮기면, 석영소자를 떨어뜨리거나 표면의 오염, 스크래치 등으로 인하여 석영소자의 훼손이 일어난다. 또한, 수작업을 이용하면, 석영소자 홀더에서의 탑재 위치의 정렬이 쉽지 않고 많은 시간이 소요된다. Meanwhile, a plurality of quartz elements are mounted in a quartz element holder, and the quartz element holder is loaded in a deposition chamber. The mounting of a plurality of quartz elements occurs when a new quartz element is required or when an existing quartz element is replaced. Conventionally, a plurality of quartz elements are approximately 10, and the plurality of quartz elements are manually moved one by one to the quartz element holder. The movement of the quartz element by hand utilizes a vacuum pen, plastic tweezer, and the like. However, when the quartz element is manually moved, the quartz element is damaged due to dropping of the quartz element, contamination of the surface, or scratch. In addition, if manual work is used, alignment of the mounting position in the quartz element holder is not easy and takes a lot of time.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 석영소자를 떨어뜨리거나 표면의 오염, 스크래치 등으로 인하여 석영소자의 훼손이 일어나지 않도록 하고, 짧은 시간 내에 석영소자 홀더에 석영소자를 정확하게 정렬하여 이동시키는 석영소자 수용하는 트레이 및 그 석영소자를 옮기는 방법을 제공하는 데 있다.The problem to be solved by the present invention is to prevent the quartz element from being damaged due to dropping of the quartz element, contamination of the surface, scratches, etc., and to accommodate the quartz element to be accurately aligned and moved to the quartz element holder within a short time. It is to provide a method for moving the tray and the quartz element.

본 발명의 과제를 해결하기 위한 석영소자를 수용하는 트레이는 증착두께를 측정하기 위한 석영소자 홀더에 복수개의 석영소자를 일시에 이동시키는 석영소자 트레이에 있어서, 상기 석영소자 트레이는 트레이 몸체와, 상기 트레이 몸체에 형성되고 상기 복수개의 석영소자가 수용되는 석영소자 수용홈 및 상기 석영소자 수용홈이 확장된 형태이고 상기 석영소자 홀더가 수용되는 홀더 수용홈을 포함한다.In order to solve the problem of the present invention, a tray for accommodating a quartz element is provided in a quartz element tray for temporarily moving a plurality of quartz elements to a quartz element holder for measuring deposition thickness, wherein the quartz element tray comprises a tray body and the It is formed in a tray body and includes a quartz element receiving groove in which the plurality of quartz elements are accommodated, and a holder receiving groove in which the quartz element receiving groove is extended and the quartz element holder is accommodated.

본 발명의 트레이에 있어서, 상기 트레이는 플라스틱으로 이루어질 수 있다. 상기 트레이 몸체에는 상기 석영소자 홀더의 정렬핀이 정렬되는 정렬홈을 포함할 수 있다. 상기 석영소자 수용홈의 내측에는 파지부를 포함할 수 있다. 상기 석영소자 트레이에 이웃하는 석영소자 트레이는 상기 석영소자 트레이의 후면방향으로 적층될 수 있다. 상기 석영소자 수용홈의 내측에는 이웃하는 석영소자를 접촉하여 고정시키는 석영소자 고정홈을 포함할 수 있다.In the tray of the present invention, the tray may be made of plastic. The tray body may include an alignment groove in which the alignment pin of the quartz element holder is aligned. Inside the quartz element receiving groove may include a gripping portion. The quartz element tray adjacent to the quartz element tray may be stacked in the rear direction of the quartz element tray. An inside of the quartz element receiving groove may include a quartz element fixing groove for contacting and fixing neighboring quartz elements.

본 발명의 다른 과제를 해결하기 위한 석영소자를 수용하는 트레이의 석영소자를 옮기는 방법은 먼저, 석영소자 트레이에 복수개의 석영소자를 수용한다. 그후, 상기 석영소자 트레이 및 석영소자 홀더가 서로 정렬되도록 하면서, 상기 석영소자 홀더를 상기 석영소자 트레이의 홀더 수용홈에 삽입한다. 상기 석영소자 트레이의 파지부를 잡고 상기 석영소자 트레이 및 석영소자 홀더를 뒤집는다. 상기 석영소자 트레이에 수용된 상기 복수개의 석영소자를 상기 석영소자 홀더로 옮긴다.In order to solve another problem of the present invention, a method of moving a quartz element of a tray containing a quartz element, first, accommodates a plurality of quartz elements in the quartz element tray. Then, while the quartz element tray and the quartz element holder are aligned with each other, the quartz element holder is inserted into the holder receiving groove of the quartz element tray. Hold the gripping portion of the quartz element tray and turn the quartz element tray and the quartz element holder over. The plurality of quartz elements accommodated in the quartz element tray are moved to the quartz element holder.

본 발명의 증착두께를 측정하기 위한 석영소자를 수용하는 트레이 및 그 석영소자를 옮기는 방법에 의하면, 석영소자 홀더에 대응하는 복수개의 석영소자를 수용하는 트레이를 활용함으로써, 석영소자의 훼손이 일어나지 않도록 하고, 짧은 시간 내에 석영소자 홀더에 정확하게 정렬하여 이동시킨다. According to the tray for accommodating a quartz element for measuring the deposition thickness of the present invention and a method for moving the quartz element, by using a tray for accommodating a plurality of quartz elements corresponding to a quartz element holder, the quartz element is not damaged. Then, it is accurately aligned and moved to the quartz element holder within a short time.

도 1은 본 발명에 의한 석영소자를 수용하는 석영소자 트레이를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 석영소자 트레이에 탑재되는 석영소자를 나타내는 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 의한 석영소자 트레이를 이용하여 석영소자를 석영소자 홀더로 이동시키는 과정을 나타내는 도면들이다.1 is a perspective view for explaining a quartz element tray for receiving a quartz element according to the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1.
3 is an exploded perspective view showing a quartz element mounted on a quartz element tray according to the present invention.
4 is a view showing a process of moving the quartz element to the quartz element holder using the quartz element tray according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 한편, 상부, 하부, 정면 등과 같이 위치를 지적하는 용어들은 도면에 나타낸 것과 관련될 뿐이다. 실제로, 트레이는 임의의 선택적인 방향으로 사용될 수 있으며, 실제 사용할 때 공간적인 방향은 트레이의 방향 및 회전에 따라 변한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. On the other hand, terms indicating the location, such as upper, lower, front, etc., are only related to those shown in the drawings. In practice, the tray can be used in any optional direction, and in actual use, the spatial direction changes with the direction and rotation of the tray.

본 발명의 실시예는 석영소자 홀더에 대응하는 복수개의 석영소자를 수용하는 트레이를 활용함으로써, 석영소자의 훼손이 일어나지 않도록 하고, 짧은 시간 내에 석영소자 홀더에 정확하게 정렬하여 옮기는 트레이 및 및 석영소자를 옮기는 방법을 제시한다. 이를 위해, 복수개의 석영소자를 수용하는 트레이의 구조에 대하여 구체적으로 알아보고, 상기 트레이를 이용하여 석영소자를 석영소자 홀더로 이동시키는 과정을 상세하게 설명하기로 한다. 여기서, 석영소자는 고유의 공진주파수로 진동하는 압전효과를 이용하여 증착두께를 측정하는 센서의 역할을 하는 석영 미세저울(Quartz Crystal Microbalance; QCM)에 적용된다. 본 발명의 석영소자 트레이는 석영소자를 수용하고 이동하기 위한 것이다.An embodiment of the present invention utilizes a tray that accommodates a plurality of quartz elements corresponding to the quartz element holder, so that the quartz element is not damaged, and the tray and quartz elements that are accurately aligned and moved to the quartz element holder within a short time How to move. To this end, a structure of a tray accommodating a plurality of quartz elements will be described in detail, and the process of moving the quartz element to the quartz element holder using the tray will be described in detail. Here, the quartz element is applied to a quartz microbalance (QCM) that serves as a sensor for measuring deposition thickness using a piezoelectric effect that vibrates at a unique resonance frequency. The quartz element tray of the present invention is for accommodating and moving the quartz element.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 석영소자를 수용하는 석영소자 트레이를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단한 단면도이다. 다만, 엄밀한 의미의 도면을 표현한 것이 아니며, 설명의 편의를 위하여 도면에 나타나지 않은 구성요소가 있을 수 있다. 1 is a perspective view for explaining a quartz element tray accommodating a quartz element according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1. However, the drawings are not expressed in a strict sense, and for convenience of description, there may be components not shown in the drawings.

도 1 및 도 2에 의하면, 복수개의 석영소자(20)는 석영소자 트레이(10)에 수용된다. 도면에서는 10개의 석영소자(20)가 수용되는 사례를 제시하였으나, 수용되는 석영소자(20)의 개수는 증착공정, 석영소자 트레이(10)의 크기 등에 따라 조절될 수 있다. 복수개의 석영소자(20)는 신규 석영소자(20)가 요구되거나 기존의 석영소자(20)를 교체할 때 발생한다. 석영소자 트레이(10)에 수용된 복수개의 석영소자(20)는 추후에 설명할 석영소자 홀더(도 4의 QH)에 옮겨진 후에 증착용 챔버에 장입된다. 본 발명의 실시예에 의한 석영소자 트레이(10)는 복수개의 석영소자(20)를 석영소자 홀더(QH)에 이동시키는 역할을 한다. 종래에는 복수개의 석영소자(20)를 진공 펜(vacuum pen), 플라스틱 트위저(plastic tweezer) 등을 활용하여, 석영소자 홀더(QH)에 수작업으로 낱개 단위로 하나씩 옮겼다. 본 발명의 석영소자 트레이(10)는 수작업으로 인하여 발생하는 종래의 문제점을 해결한다.1 and 2, the plurality of quartz elements 20 are accommodated in the quartz element tray 10. In the figure, an example in which 10 quartz elements 20 are accommodated is presented, but the number of quartz elements 20 accommodated may be adjusted according to a deposition process, the size of the quartz element tray 10, and the like. The plurality of quartz elements 20 occurs when a new quartz element 20 is required or when the existing quartz element 20 is replaced. The plurality of quartz elements 20 accommodated in the quartz element tray 10 are transferred to a quartz element holder (QH in FIG. 4) to be described later, and then loaded into the deposition chamber. Quartz element tray 10 according to an embodiment of the present invention serves to move the plurality of quartz elements 20 to the quartz element holder (QH). Conventionally, a plurality of quartz elements 20 were manually moved one by one to the quartz element holder QH by using a vacuum pen, a plastic tweezer, or the like. The quartz element tray 10 of the present invention solves the conventional problems caused by manual operation.

석영소자 트레이(10)는 바람직하게는 플라스틱 시트가 성형되어 제조되며, 공지된 방법을 적용하여 제조될 수 있다. 석영소자 트레이(10)는 트레이 몸체(11), 파지부(12), 석영소자 수용홈(14), 홀더 수용홈(15) 및 정렬홈(16)을 포함한다. 트레이 몸체(11)는 석영소자 트레이(10)의 전체 형상을 정의한다. 파지부(12)는 석영소자 수용홈(14)의 내측에 위치하고 작업자가 트레이(10)를 손으로 잡을 수 있도록 한다. 석영소자 수용홈(14)에는 석영소자(20)가 수용되고, 홀더 수용홈(15)에는 석영소자 홀더(QH)가 수용된다. 홀더 수용홈(15)는 석영소자 수용홈(14)에 비해 확장된 형태이다. 정렬홈(16)에는 석영소자 홀더(QH)의 정렬핀(도 4의 QH2)이 정렬된다. 석영소자 트레이(10)에서, 석영소자(20)가 석영소자 수용홈(14)에 장입되는 방향을 전면방향(10A)이라고 하고, 전면방향(10A)의 반대방향을 후면방향(10B)이라고 한다. The quartz element tray 10 is preferably manufactured by molding a plastic sheet, and can be manufactured by applying a known method. The quartz element tray 10 includes a tray body 11, a gripping portion 12, a quartz element receiving groove 14, a holder receiving groove 15, and an alignment groove 16. The tray body 11 defines the overall shape of the quartz element tray 10. The gripping portion 12 is located inside the quartz element accommodating groove 14 so that an operator can hold the tray 10 by hand. The quartz element 20 is accommodated in the quartz element receiving groove 14, and the quartz element holder QH is accommodated in the holder receiving groove 15. The holder receiving groove 15 is an extended form compared to the quartz element receiving groove 14. In the alignment groove 16, an alignment pin (QH2 in FIG. 4) of the quartz element holder QH is aligned. In the quartz element tray 10, the direction in which the quartz element 20 is charged into the quartz element receiving groove 14 is called the front direction 10A, and the opposite direction of the front direction 10A is called the rear direction 10B. .

석영소자(20)는 전면방향(10A)으로 탑재되며, 이웃하는 석영소자 트레이(10)는 후면방향(10B)으로 적층된다. 실제 현장에서는 석영소자 트레이(10)는 적층되어 조달된다. 도면에서, 적층되는 석영소자 트레이(10)는 나타내지는 않았다. 경우에 따라, 석영소자 수용홈(14)의 내측에는 적층된 석영소자 트레이(10)에 수용된 석영소자(20)를 고정시키기 위한 석영소자 고정홈(13)을 포함할 수 있다. 석영소자 고정홈(13)의 저면부는 이웃하는 석영소자(20)와 접촉하여, 이웃하는 석영소자(20)를 눌러서 움직이지 않도록 고정한다. 이와 같이, 이웃하는 석영소자(20)는 석영소자 고정홈(13)에 접촉되어 고정되므로, 이웃하는 석영소자(20)는 움직이지 않게 고정된다. 석영소자 홀더(QH)에 석영소자(20)를 이동시키기 위해서는, 적층된 석영소자 트레이(10) 중에서 최상부에 있는 석영소자 트레이(10)의 석영소자(20)를 석영소자 홀더(QH)로 옮긴다. The quartz element 20 is mounted in the front direction 10A, and the adjacent quartz element tray 10 is stacked in the rear direction 10B. In the actual field, the quartz element tray 10 is stacked and procured. In the drawing, the stacked quartz element tray 10 is not shown. In some cases, the inside of the quartz element receiving groove 14 may include a quartz element fixing groove 13 for fixing the quartz element 20 accommodated in the stacked quartz element tray 10. The bottom surface of the quartz element fixing groove 13 is in contact with the neighboring quartz element 20, and is fixed so as not to move by pressing the neighboring quartz element 20. In this way, the neighboring quartz element 20 is fixed in contact with the quartz element fixing groove 13, so that the neighboring quartz element 20 is fixed so as not to move. In order to move the quartz element 20 to the quartz element holder QH, the quartz element 20 of the uppermost quartz element tray 10 among the stacked quartz element trays 10 is moved to the quartz element holder QH. .

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 석영소자 트레이(10)에 탑재되는 석영소자(20)를 나타내는 분해사시도이다. 이때, 석영소자 트레이(10)는 도 1 및 도 2를 참조하기로 한다.3 is an exploded perspective view showing a quartz element 20 mounted on a quartz element tray 10 according to an embodiment of the present invention. At this time, the quartz element tray 10 will be referred to FIGS. 1 and 2.

도 3에 의하면, 석영소자(20)는 전면전극(21), 제1 접착층(22), 원형의 석영디스크(23), 제2 접착층(25) 및 후면전극(26)을 포함한다. 석영디스크(23)는 압전효과를 가진 물질로 이루어지며, 석영(quartz vibrator)으로 이루진다. 또한, 석영디스크(23)의 둘레에는 석영디스크(23)의 기계적인 물성을 안정화시키기 위한 코팅층(24)을 구비할 수 있다. 전면전극(21)은 석영디스크(23)의 전면에 도전성 물질이 접착된 것이다. 후면전극(26)은 전압을 인가하기 위하여, 도전성 물질이 전면전극(21)의 반대편에 패턴 형태로 접착된 것이다. 상기 도전성 물질은 다양하게 변형될 수 있으나, 금(Au), 은(Ag) 또는 그들의 조합이 바람직하다. 도면에서는 패턴 형태의 후면전극(26)을 제시하였으나, 경우에 따라 전면전극(21)과 같이 석영디스크(23)에 형성될 수 있다. According to FIG. 3, the quartz element 20 includes a front electrode 21, a first adhesive layer 22, a circular quartz disc 23, a second adhesive layer 25 and a back electrode 26. The quartz disc 23 is made of a material having a piezoelectric effect, and is made of quartz (quartz vibrator). In addition, a coating layer 24 for stabilizing the mechanical properties of the quartz disc 23 may be provided around the quartz disc 23. The front electrode 21 is a conductive material adhered to the front surface of the quartz disk 23. In order to apply a voltage to the back electrode 26, a conductive material is adhered to the opposite side of the front electrode 21 in a pattern. The conductive material may be variously modified, but gold (Au), silver (Ag), or a combination thereof is preferred. Although the back electrode 26 in the form of a pattern is shown in the drawing, it may be formed on the quartz disc 23 as in the case of the front electrode 21 in some cases.

본 발명의 실시예에 의한 석영소자는 압전효과(piezoelectric effect)를 활용한다. 구체적으로, 상기 압전효과로 인하여 석영디스크(23)의 양면의 전면 및 후면전극(21, 26)에 교류전압을 인가하면, 석영디스크(23)의 특성에 따른 고유 공진주파수로 진동을 하는 특성을 가진다. 석영디스크(23)에 기인하는 석영소자(20)의 고유 공진주파수는 석영디스크(23), 전면 및 후면전극(21, 26)과, 제1 및 제2 접착층(22, 25)의 물질, 두께 등에 따라 달라진다. 석영소자(20)가 증착챔버에 장입되기 이전의 고유 공진주파수를 초기 고유 공진주파수라고 한다. 초기 고유 공진주파수는 석영소자 트레이(10)에 수용된 석영소자(20)의 공진주파수이며, 석영소자(20)를 제작하는 당시에 결정된다. The quartz element according to the embodiment of the present invention utilizes a piezoelectric effect. Specifically, when the AC voltage is applied to the front and rear electrodes 21 and 26 on both sides of the quartz disc 23 due to the piezoelectric effect, the characteristic of vibrating at a natural resonance frequency according to the characteristics of the quartz disc 23 is shown. Have The natural resonant frequency of the quartz device 20 due to the quartz disk 23 is the material and thickness of the quartz disk 23, the front and rear electrodes 21, 26, and the first and second adhesive layers 22, 25. It depends on the back. The natural resonance frequency before the quartz element 20 is charged into the deposition chamber is referred to as an initial natural resonance frequency. The initial natural resonance frequency is the resonance frequency of the quartz element 20 accommodated in the quartz element tray 10, and is determined at the time of manufacturing the quartz element 20.

석영소자(20)가 증착챔버에 장입된 후에 증착이 시행되면, 석영소자(20)의 전면전극(21) 표면에 증착물질이 증착되면 고유 공진주파수의 변화가 일어난다. 증착물질의 증착으로 인하여 변화하는 공진주파수를 증착 고유 공진주파수라고 한다. 증착이 되며, 석영소자(20)는 초기 고유 공진주파수로부터 증착 고유 공진주파수로의 주파수 전이(shift)를 측정한다. 주파수 전이(shift)는 증착두께에 대응하며, 증착두께를 측정하는 센서를 석영 미세저울(Quartz Crystal Microbalance; QCM)이라고 한다. 이때, 석영디스크(23)의 전기적인 공진회로에서 발생되는 발진주파수는 석영디스크(23)의 고유 공진주파수를 결정하며, 상기 측정은 예를 들어 압전 석영제어발진기로 수행할 수 있다. When deposition is performed after the quartz element 20 is loaded into the deposition chamber, a change in the natural resonance frequency occurs when a deposition material is deposited on the surface of the front electrode 21 of the quartz element 20. The resonance frequency that changes due to the deposition of the deposition material is called the deposition resonant frequency. The deposition is performed, and the quartz element 20 measures a frequency shift from the initial natural resonance frequency to the deposition natural resonance frequency. The frequency shift corresponds to the deposition thickness, and a sensor for measuring the deposition thickness is called a quartz microbalance (QCM). At this time, the oscillation frequency generated in the electrical resonant circuit of the quartz disk 23 determines the natural resonance frequency of the quartz disk 23, and the measurement can be performed by, for example, a piezoelectric quartz control oscillator.

도 4는 본 발명의 실시예에 의한 석영소자 트레이(10)를 이용하여 석영소자(20)를 석영소자 홀더(QH)로 이동시키는 과정을 나타내는 도면들이다. 이때, 석영소자 트레이(10)는 도 1 및 도 2를 참조하기로 한다.4 is a view showing a process of moving the quartz element 20 to the quartz element holder (QH) using the quartz element tray 10 according to an embodiment of the present invention. At this time, the quartz element tray 10 will be referred to FIGS. 1 and 2.

도 4에 의하면, 석영소자(20)를 석영소자 홀더(QH)로 옮기는 방법은 먼저, 석영소자 트레이(10)에 수용된 석영소자(20) 및 석영소자 홀더(QH)가 서로 정렬되도록 홀더 수용홈(15)에 삽입된다(a). 이때, 석영소자 홀더(QH)의 정렬핀(QH2)은 석영소자 트레이(10)의 정렬홈(16)에 정렬된다. 상기 삽입이 완료되면, 석영소자(20)의 전면전극(21)은 석영소자 홀더(QH)에 존재하는 탑재홀(QH1)을 통하여 노출된다. 홀더 수용홈(15) 및 정렬홈(16)은 석영소자 홀더(QH)가 정확하게 정렬되어 삽입되도록 사전에 설계되어 있다. 석영소자 홀더(QH)가 홀더 수용홈(15)에 삽입하면, 복수개의 석영소자(20)는 석영소자 홀더(QH)의 탑재홀(QH1)에 한꺼번에 정렬되어 이동시킨다. 그후, 파지부(12)를 잡아 뒤집고(b), 석영소자 트레이(10)에 수용된 석영소자(20)는 중력 등에 의해 석영소자 홀더(QH)로 옮겨진다(c). 석영소자(20)가 석영소자 홀더(QH)로 옮겨져서 탑재되면, 석영소자(20)의 후면전극(26)이 노출된다. 석영소자(20)가 탑재된 석영소자 홀더(QH)는 증착챔버에 장입된다.According to Figure 4, the method for moving the quartz element 20 to the quartz element holder (QH), first, the holder receiving groove so that the quartz element 20 and the quartz element holder (QH) accommodated in the quartz element tray 10 are aligned with each other (15). At this time, the alignment pin QH2 of the quartz element holder QH is aligned with the alignment groove 16 of the quartz element tray 10. When the insertion is completed, the front electrode 21 of the quartz element 20 is exposed through the mounting hole QH1 present in the quartz element holder QH. The holder receiving groove 15 and the alignment groove 16 are designed in advance so that the quartz element holder QH is accurately aligned and inserted. When the quartz element holder QH is inserted into the holder receiving groove 15, the plurality of quartz elements 20 are aligned and moved to the mounting hole QH1 of the quartz element holder QH at one time. Thereafter, the gripping portion 12 is grasped and turned over (b), and the quartz element 20 accommodated in the quartz element tray 10 is moved to the quartz element holder QH by gravity or the like (c). When the quartz element 20 is moved to the quartz element holder QH and mounted, the back electrode 26 of the quartz element 20 is exposed. The quartz element holder QH on which the quartz element 20 is mounted is loaded into the deposition chamber.

본 발명의 실시예에 의한 석영소자 트레이(10)는 복수개의 석영소자(20)를 낱개 단위가 아닌 전체를 일시에 석영소자 홀더(QH)로 이동되므로, 공정시간을 줄일 수 있다. 복수개의 석영소자(20)는 정렬된 상태로 옮겨지므로, 석영소자 홀더(QH)에 석영소자(20)를 정확하게 정렬하여 이동시킬 수 있다. 또한, 석영소자(20)를 수작업이 아닌 석영소자 트레이(10)를 매개로 하여 석영소자 홀더(QH)로 이동시키므로, 수작업으로 인하여 발생하는 석영소자의 훼손을 방지할 수 있다. Quartz element tray 10 according to an embodiment of the present invention is a plurality of quartz elements 20 are moved to the quartz element holder (QH) at a time rather than a single unit, it is possible to reduce the processing time. Since the plurality of quartz elements 20 are moved in an aligned state, the quartz elements 20 can be accurately aligned and moved in the quartz element holder QH. In addition, since the quartz element 20 is moved to the quartz element holder QH via the quartz element tray 10 rather than manually, it is possible to prevent damage to the quartz element caused by manual operation.

이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다. Above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical spirit of the present invention. It is possible.

10; 석영소자 트레이 11; 트레이 몸체
12; 파지부 13; 석영소자 고정홈
14; 석영소자 수용홈 15; 홀더 수용홈
16; 정렬홈 20; 석영소자
21, 26; 전면 및 후면전극
22, 25; 제1 및 제2 접착층
23; 석영디스크 24; 코팅층
QH; 석영소자 홀더 QH1; 장착홀
QH2; 정렬핀10; Quartz element tray 11; Tray body
12; Gripping part 13; Quartz element fixing groove
14; Quartz element receiving groove 15; Holder receiving groove
16; Alignment groove 20; Quartz element
21, 26; Front and rear electrodes
22, 25; First and second adhesive layers
23; Quartz disc 24; Coating layer
QH; Quartz element holder QH1; Mounting hole
QH2; Alignment pin

Claims (10)

증착두께를 측정하기 위한 석영소자 홀더에 복수개의 석영소자를 일시에 이동시키는 석영소자 트레이에 있어서,
상기 석영소자 트레이는,
트레이 몸체;
상기 트레이 몸체에 형성되고, 상기 복수개의 석영소자가 수용되는 석영소자 수용홈; 및
상기 석영소자 수용홈이 확장된 형태이고, 상기 석영소자 홀더가 수용되는 홀더 수용홈을 포함하고,
상기 석영소자 트레이의 중심부에는 파지부가 위치하고, 상기 파지부와 상기 석영소자 수용홈은 동심원을 이루며, 상기 석영소자 수용홈은 상기 파지부의 외측에 배치되고, 상기 석영소자 수용홈의 안쪽에는 저면부가 이웃하는 석영소자를 접촉하여 상기 이웃하는 석영소자를 눌러서 움직이지 않도록 고정시키는 석영소자 고정홈을 포함하고, 상기 저면부는 편평한 면을 이루는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이. In the quartz element tray for temporarily moving a plurality of quartz elements in a quartz element holder for measuring the deposition thickness,
The quartz element tray,
Tray body;
A quartz element accommodating groove formed in the tray body and accommodating the plurality of quartz elements; And
The quartz element receiving groove is an extended form, and includes a holder receiving groove in which the quartz element holder is accommodated,
A gripping portion is located at the center of the quartz element tray, the gripping portion and the quartz element receiving groove form a concentric circle, the quartz element receiving groove is disposed outside the gripping portion, and a bottom surface portion is located inside the quartz element receiving groove. A tray containing a quartz element, comprising: a quartz element fixing groove for contacting an adjacent quartz element and fixing the neighboring quartz element so that it does not move, and the bottom part forms a flat surface. 제1항에 있어서, 상기 트레이는 플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이. The tray according to claim 1, wherein the tray is made of plastic. 제1항에 있어서, 상기 트레이 몸체에는 상기 석영소자 홀더의 정렬핀이 정렬되는 정렬홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이. The tray according to claim 1, wherein the tray body includes an alignment groove in which the alignment pins of the quartz element holder are aligned. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 석영소자 트레이에 이웃하는 석영소자 트레이는 상기 석영소자 트레이의 후면방향으로 적층되는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이. The tray according to claim 1, wherein the quartz element tray adjacent to the quartz element tray is stacked in the rear direction of the quartz element tray. 삭제delete 석영소자 트레이의 석영소자 수용홈에 복수개의 석영소자를 수용하는 단계;
상기 석영소자 트레이 및 석영소자 홀더가 서로 정렬되도록 하면서, 상기 석영소자 홀더를 상기 석영소자 트레이의 홀더 수용홈에 삽입하는 단계;
상기 석영소자 트레이의 파지부를 잡고 상기 석영소자 트레이 및 석영소자 홀더를 뒤집는 단계; 및
상기 석영소자 트레이에 수용된 상기 복수개의 석영소자를 상기 석영소자 홀더로 옮기는 단계를 포함하고,
상기 석영소자 트레이의 중심부에는 파지부가 위치하고, 상기 파지부와 상기 석영소자 수용홈은 동심원을 이루며, 상기 석영소자 수용홈은 상기 파지부의 외측에 배치되고, 상기 석영소자 수용홈의 안쪽에는 저면부가 이웃하는 석영소자를 접촉하여 상기 이웃하는 석영소자를 눌러서 움직이지 않도록 고정시키는 석영소자 고정홈을 포함하고, 상기 저면부는 편평한 면을 이루는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이의 석영소자를 옮기는 방법.Receiving a plurality of quartz elements in a quartz element receiving groove of the quartz element tray;
Inserting the quartz element holder into the holder receiving groove of the quartz element tray while the quartz element tray and the quartz element holder are aligned with each other;
Holding the gripping portion of the quartz element tray and turning the quartz element tray and the quartz element holder over; And
And moving the plurality of quartz elements accommodated in the quartz element tray to the quartz element holder,
A gripping portion is located at the center of the quartz element tray, the gripping portion and the quartz element receiving groove form a concentric circle, the quartz element receiving groove is disposed outside the gripping portion, and a bottom surface portion is located inside the quartz element receiving groove. A method of moving a quartz element of a tray containing a quartz element, comprising: a quartz element fixing groove for contacting an adjacent quartz element and fixing the neighboring quartz element so that it does not move, and the bottom portion forms a flat surface. . 제7항에 있어서, 상기 트레이 몸체에는 상기 석영소자 홀더의 정렬핀이 정렬되는 정렬홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이의 석영소자를 옮기는 방법. The method of claim 7, wherein the tray body includes an alignment groove in which the alignment pins of the quartz element holder are aligned. 삭제delete 제7항에 있어서, 상기 석영소자 트레이에 수용된 복수개의 상기 석영소자는 일시에 상기 석영소자 홀더로 옮겨지는 것을 특징으로 하는 석영소자를 수용하는 트레이의 석영소자를 옮기는 방법. The method of claim 7, wherein the plurality of quartz elements accommodated in the quartz element tray are temporarily moved to the quartz element holder.
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