KR102127335B1 - 반도체 모듈 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 반도체 모듈은 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 메모리 소자들 중에서 적어도 하나를 커넥터와 연결시키는 열전달부를 포함할 수 있다. 열전달부는 기판보다 높은 열전도율을 가질 수 있다. 반도체 모듈의 동작 시, 커넥터의 온도는 소자들의 온도보다 낮을 수 있다. 소자들에서 발생하는 열은 열전달부를 통하여 커넥터로 용이하게 방출될 수 있다. 따라서, 반도체 모듈의 열 성능 및 동작 신뢰성이 개선될 수 있다.
Description
본 발명은 반도체에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 솔리드 스테이트 드라이브 모듈에 관한 것이다.
최근 솔리드 스테이트 드라이브(SSD: Solid State Drive)와 같은 대용량 디지털 미디어 저장장치가 새로 등장하고 있다. 솔리드 스테이트 드라이브는 기존의 하드디스크보다 3~5배나 빠른 쓰기 및 읽기의 속도를 가지고 있다. 솔리드 스테이트 드라이브는 저전력으로 동작하므로, 노트북과 같이 낮은 전력이 요구되는 디지털 기기에 효과적으로 적용될 수 있다. 그러나, 솔리드 스테이트 드라이브는 고속화 및 용량증가로 인한 소모 전력의 증가로 인한 구성요소들의 발열문제가 부각되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 열 방출 및 신뢰성이 개선된 반도체 모듈을 제공하는데 있다.
본 발명은 반도체 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 개념에 따른 반도체 모듈은 기판; 상기 기판 하면 상에 각각 실장된 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 제1 메모리 소자; 상기 기판의 하면 상에서 상기 제어 소자와 접촉하는 하부 열전달부; 및 상기 기판의 측면 상에 제공되며, 상기 하부 열전달부와 연결되는 커넥터를 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 하부 열전달부는 기판보다 높은 열전도율을 가질 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 하부 열전달부는 하부 열통로; 및 상기 하부 열통로 및 상기 커넥터 사이, 그리고 상기 하부 열통로 및 상기 제어 소자 사이에 개재된 하부 패드를 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 하부 열전달부는 상기 제1 메모리 소자 상으로 신장되고, 상기 패드는 상기 제1 메모리 소자 및 상기 커넥터 사이로 신장될 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 기판의 하면 상에서 상기 기판 및 상기 커넥터 각각과 접촉하는 배선들을 더 포함하되, 상기 배선들은 신호/전원 배선 및 접지 배선을 포함하고, 상기 접지 배선은 상기 하부 열전달부와 접촉하되, 상기 신호/전원 배선은 상기 하부 열전달부와 이격될 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 기판의 상면 상의 수동소자 패드; 수동소자 패드 상의 수동소자; 상기 수동소자 상의 열전패드; 그리고 상기 열전패드와 접하고 상기 기판, 상기 수동소자패드, 상기 수동소자, 및 상기 열전패드를 둘러싸는 케이스를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 개념에 따른 반도체 모듈은 기판, 상기 기판 하면 상에 각각 실장된 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 제1 메모리 소자; 상기 기판의 상면 상에 실장된 제2 메모리 소자; 상기 기판의 상면 상에 배치되어, 상기 제2 메모리 소자와 접촉하는 상부 열전달부; 및 상기 기판의 측면 상에 제공되어, 상기 상부 열전달부와 연결되는 커넥터를 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 하부 열전달부는 기판보다 높은 열전도율을 가질 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 커넥터, 상기 제어 소자, 상기 버퍼 반도체 소자, 및 상기 제1 메모리 소자 중에서 적어도 하나와 접촉하는 하부 열전달부를 더 포함할 수 있다.
실시예에 따르면, 상기 상부 열전달부는 상기 기판의 측면을 따라 연장되어 상기 하부 열전달부와 연결되며, 상기 기판은 상기 상부 열전달부 및 상기 하부 열전달부에 의해 둘러싸일 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 모듈은 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 메모리 소자들 중에서 적어도 하나를 커넥터와 연결시키는 열전달부를 포함할 수 있다. 반도체 모듈 구동 시, 커넥터는 열전달부와 연결된 적어도 하나의 소자들보다 더 낮은 온도를 가질 수 있다. 열전달부는 공기보다 낮은 열전도율을 가질 수 있다. 반도체 모듈의 소자들에서 발생한 열은 열 전달부를 통하여 커넥터로 용이하게 방출될 수 있다. 이에 따라, 반도체 모듈의 열 방출 및 신뢰성이 개선될 수 있다.
본 발명의 보다 완전한 이해와 도움을 위해, 참조가 아래의 설명에 첨부도면과 함께 주어져 있고 참조번호가 이래에 나타나 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시예들에 따른 열통로의 제 2면을 나타낸 단면도 이다.
도 3 내지 도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도들이다.
도 13 및 도 14는 실시예들에 따른 배선들을 도시한 평면도들이다.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접지 배선 및 신호/전원 배선을 각각 확대하여 도시한 단면도들이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도들이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도들이다.
도 18는 도 17을 D1방향에서 바라본 단면도이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시예들에 따른 열통로의 제 2면을 나타낸 단면도 이다.
도 3 내지 도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도들이다.
도 13 및 도 14는 실시예들에 따른 배선들을 도시한 평면도들이다.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접지 배선 및 신호/전원 배선을 각각 확대하여 도시한 단면도들이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도들이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도들이다.
도 18는 도 17을 D1방향에서 바라본 단면도이다.
본 발명의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명한다. 그러나 본 발명은, 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 여러가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시예들의 설명을 통해 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 당해 기술분야에서 통상의 기술을 가진 자는 본 발명의 개념이 어떤 적합한 환경에서 수행될 수 있다는 것을 이해할 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 ‘포함한다(comprises)’ 및/또는 ‘포함하는(comprising)’은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 명세서에서 어떤 막(또는 층)이 다른 막(또는 층) 또는 기판상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막(또는 층) 또는 기판상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막(또는 층)이 개재될 수도 있다.
본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 영역, 막들(또는 층들) 등을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 영역, 막들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 소정 영역 또는 막(또는 층)을 다른 영역 또는 막(또는 층)과 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에의 제1막질로 언급된 막질이 다른 실시 예에서는 제2막질로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다
본 발명의 실시예들에서 사용되는 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 통상적으로 알려진 의미로 해석될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 모듈들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 반도체 모듈(1)은 기판(100)과 연결된 커넥터(200), 기판(100) 상의 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 및 상부 열전달부(610)를 포함할 수 있다. 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 및 제2 메모리 소자(550)는 본딩와이어, 솔더볼, 플립칩(flip-chip) 본딩 부재, 범프, TSV(though silicon via)와 같은 전도성 비아 및/또는 이들의 조합에 의하여 기판(100)과 전기적으로 연결될 수 있다.
기판(100)은 인쇄회로기판(PCB)일 수 있다. 기판(100)은 하면(100b), 하면(100b)과 대향하는 상면(100a), 및 하면(100b)의 엣지 및 상면(100a)의 엣지를 잇는 제1 측면(100c)을 포함할 수 있다. 기판(100)은 세라믹, 실리콘 및/또는 유리를 포함할 수 있다.
제어 소자(300)가 기판(100)의 하면(100b) 상에 실장될 수 있다. 제어 소자(300)는 제1 메모리 소자(500) 및/또는 제2 메모리 소자(550)로의 데이터 전송을 제어할 수 있다. 제어 소자(300)는 반도체 다이 또는 반도체 패키지일 수 있다.
버퍼 반도체 소자(400)가 기판(100)의 하면(100b) 상에 실장될 수 있다. 버퍼 반도체 소자(400)는 제1 메모리 소자(500) 및/또는 제2 메모리 소자(550)에 저장될 데이터를 임시로 저장하거나, 독출된 데이터를 임시로 저장할 수 있다. 버퍼 반도체 소자(400)는 하나 또는 복수 개의 반도체 다이 또는 패키지를 포함할 수 있다. 버퍼 반도체 소자(400)는 랜덤억세스가 가능한 휘발성 메모리, 예를 들어 DRAM, SRAM, SDRAM, 또는 DDR등을 포함할 수 있다.
제1 메모리 소자(500)가 기판(100)의 하면(100b) 상에 실장될 수 있다. 제1 메모리 소자(500)는 데이터를 저장할 수 있는 저장 장치로서, 하나 또는 복수 개의 반도체 패키지를 포함할 수 있다. 제1 메모리 소자(500)는 비휘발성 메모리, 예를 들어, NAND 플래시 메모리, PRAM(Phase-change random access memory), RRAM(Resistive RAM), FeRAM(Ferroelectric RAM), 및 MRAM(Magnetic RAM) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
제2 메모리 소자(550)가 기판(100)의 상면(100a) 상에 실장될 수 있다. 제2 메모리 소자(550)는 제1 메모리 소자(500)와 동일하거나 유사한 종류의 소자일 수 있다.
커넥터(200)가 기판(100)의 제1 측면(100c) 상에 제공될 수 있다. 커넥터(200)는 사타커넥터(Serial Advanced Technology Attachment, SATA) 또는 사스(Serial Attached SCSI, SAS) 커넥터일 수 있다. 커넥터(200)는 반도체 모듈(1)을 외부장치와 연결시킬 수 있다. 반도체 모듈(1)의 구동 시, 커넥터(200)의 온도는 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 및 제2 메모리 소자(550)의 온도보다 낮을 수 있다. 커넥터(200)는 상부 열전달부(610)과 접촉할 수 있다.
상부 열전달부(610)가 기판(100)의 상면(100a) 상에 배치되어, 제2 메모리 소자(550)와 접촉할 수 있다. 상부 열전달부(610)는 상부 열통로(611) 및 상부 패드(615)를 포함할 수 있다. 상부 열전달부(610)은 공기(대략 0.029W/mk) 및 기판(100)보다 높은 열전도율을 가질 수 있다. 일 예로, 상부 열통로(611)는 전도성 높은 물질, 예를 들어, 금속 또는 그라파이트(graphite)를 포함할 수 있다. 다른 예로, 상부 열통로(611)는 히트파이프(Heat pipe) 또는 써머일렉트릭쿨러(thermal electric cooler, TEC)를 포함할 수 있다. 반도체 모듈(1)의 구동 시, 제2 메모리 소자(550)에서 발생한 열은 상부 열전달부(610)를 통하여, 커넥터(200)로 방출될 수 있다. 더불어, 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 및 제1 메모리 소자(500)에서 발생한 열은 기판(100) 및 상부 열전달부(610)를 통하여 커넥터(200)로 방출될 수 있다.
상부 열통로(611)는 바(bar) 형태, 판상(plate) 형태, 또는 굽은 형태 등 다양한 형태를 가질 수 있다. 상부 열통로(611)는 커넥터(200)의 상면 또는 제2 메모리 소자(550)의 상면으로 더 연장될 수 있다. 상부 열통로(611)는 서로 대향하는 제1 면(611a) 및 제2 면(611b)을 포함할 수 있다. 상부 열통로(611)의 제2 면(611b)은 기판(100)의 상면(100a)에 인접할 수 있다. 상부 열통로(611)의 제2 면(611b)은 편평할 수 있다. 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 외부로 노출될 수 있다. 일 예에 따르면, 상부 열통로(611)는 반도체 모듈(1)의 케이스 역할을 하여, 외부로부터 반도체 모듈(1)을 보호할 수 있다.
도 2a는 내지 2c는 본 발명의 실시예들에 따른 상부 열통로를 나타낸 단면도이다.
도 2a를 참조하면, 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 그루브(groove) 형상을 가질 수 있다. 도 2b를 참조하면, 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 지그재그 형상을 가질 수 있다. 도 2c를 참조하면, 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 요철 형상을 가질 수 있다. 상부 열통로(611)로 전달된 열의 일부는 제1 면(611a)을 통하여 외부로 방출될 수도 있다. 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)이 도 2a 내지 도 2c와 같은 형상을 가짐에 따라, 상부 열통로(611) 및 외부공기와의 접촉면적이 증가할 수 있다. 이에 따라, 반도체 모듈(1)의 열방출이 더욱 개선될 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 상부 패드(615)가 상부 열통로(611)와 커넥터(200) 사이, 상부 열통로(611)와 제2 메모리 소자(550) 사이, 및 상부 열통로(611)와 기판(100)의 상면(100a) 사이에 각각 개재될 수 있다. 상부 패드(615)는 열 인터페이스 물질(Thermal interface material, TIM)을 포함할 수 있다. 상부 열통로(611) 및 기판(100) 사이에 제공된 상부 패드(615)는 절연물질을 포함할 수도 있다. 외부 장치와 결합할 때, 반도체 모듈(1)에 가해지는 충격이 상부 패드(615)에 의해 완화될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 3을 참조하면, 반도체 모듈(2)은 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 상부 열전달부(610), 및 케이스(700)를 포함할 수 있다.
케이스(700)는 반도체 모듈(2)을 둘러싸도록 제공될 수 있다. 케이스(700)는 외부로부터 반도체 모듈(2)을 보호하며, 경우에 따라서 그 일부가 생략될 수도 있다. 케이스(700)는 금속물질 및/또는 폴리머를 포함할 수 있다.
상부 열전달부(610)는 기판(100)의 상면(100a) 상에서 커넥터(200)와 제2 메모리 소자(550) 사이에 배치될 수 있다. 상부 열전달부(610)는 상부 열통로(611), 상부 보조 열통로(613), 및 상부 패드(615)를 포함할 수 있다. 상부 열통로(611)의 제1 면(611a) 및 제2 면(611b)은 편평할 수 있다. 상부 보조 열통로(613)는 상부 열통로(611) 및 케이스(700) 사이에 개재될 수 있다. 상부 열통로(611)는 상부 보조 열통로(613)에 의해 케이스(700)와 연결될 수 있다. 상부 보조 열통로(613)의 상부면(613a) 및 하부면(613b)은 편평할 수 있다. 상부 보조 열통로(613)는 상부 열통로(611)와 동일하거나 유사한 물질을 포함할 수 있다. 반도체 모듈(2)의 구동 시, 제2 메모리 소자(550)에서 발생한 열은 상부 열전달부(610) 및 케이스(700)를 통하여 커넥터(200)로 방출될 수 있다. 상부 열전달부(610)로 전달된 열의 일부는 케이스(700)를 통하여 외부로 방출되어, 반도체 모듈(1)의 열방출이 더욱 개선될 수 있다. 다른 예로, 상부 보조 열통로(613)은 생략되고, 상부 열통로(611)가 케이스(700)에 접촉할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 이하, 앞서 설명한 바와 중복되는 내용은 생략한다.
도 4를 참조하면, 반도체모듈(3)은 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 및 케이스(700)를 포함할 수 있다.
하부 열전달부(620)는 기판(100)의 상면(100a) 상에 배치되어, 커넥터(200) 및 제어 소자(300)에 각각 접촉할 수 있다. 하부 열전달부(620)는 하부 열통로(621), 하부 보조 열통로(623), 및 상부 패드(625)를 포함할 수 있다. 일 예로, 하부 열통로(621)는 커넥터(200)의 하부면(200b) 상으로 더 연장될 수 있다. 하부 열통로(621)는 바(bar) 형태, 판상(plate) 형태, 또는 굽은 형태 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 하부 보조 열통로(623)가 하부 열통로(621) 및 케이스(700) 사이에 제공될 수 있다. 다른 예로, 하부 보조 열통로(623)가 생략되고, 하부 열통로(621)가 케이스(700)에 접할 수 있다. 또 다른 예로, 하부 보조 열통로(623) 및 케이스(700)가 생략될 수 있다. 이 때, 하부 열통로(621)의 제2 면(621b)은 외부로 노출될 수 있다. 제2 면(621b)은 도 2a 내지 도 2c의 상부 열통로(611)의 제1 면(621a)의 예에서 설명한 바와 같은 그루브(groove)형상, 요철형상, 또는 지그재그 형상 등을 가질 수 있다. 이 경우, 하부 열통로(621)는 케이스의 역할을 할 수 있다. 상부 패드(625)가 하부 열통로(621) 및 커넥터(200) 사이 그리고 하부 열통로(621) 및 제어 소자(300) 사이에 제공될 수 있다. 상부 패드(625)는 열 인터페이스 물질(TIM) 또는 절연물질을 포함할 수 있다.
반도체 모듈(2)의 구동 시, 커넥터(200)의 온도는 제어 소자(300)의 온도보다 낮을 수 있다. 제어 소자(300)에서 발생한 열은 하부 열전달부(620)를 통하여 커넥터(200)로 방출될 수 있다. 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 및 제2 메모리 소자(550)에서 발생한 열은 기판(100)을 통하여 하부 열전달부(620)로 전달될 수 있다. 하부 열통로(621)로 전달된 열의 일부는 하부 보조 열통로(623)를 통하여 케이스(700)로 방출될 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 앞서 설명한 바와 중복되는 내용은 생략한다.
도 5를 참조하면, 반도체 모듈(4)은 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 및 케이스(700)를 포함할 수 있다
하부 열전달부(620)는 기판(100)의 하면(100b) 상에 배치되어, 커넥터(200), 제어 소자(300), 및 버퍼 반도체 소자(400)와 접촉할 수 있다. 반도체 모듈(4)의 구동 시, 제어 소자(300), 및 버퍼 반도체 소자(400)에서 발생한 열은 하부 열전달부(620)를 통하여 커넥터(200)로 방출될 수 있다. 하부 패드(625)가 하부 열통로(621) 및 커넥터(200) 사이, 하부 열통로(621) 및 제어 소자(300) 사이, 그리고 하부 열통로(621) 및 버퍼 반도체 소자(400) 사이에 제공될 수 있다. 다른 예로, 하부 열전달부(620)는 제어 소자(300)와 접하지 않을 수 있다.
케이스(700)는 하부 열전달부(620)와 접촉할 수 있다. 다른 예로, 케이스(700) 및 하부 보조 열통로(623)은 생략될 수 있다. 이 경우, 하부 열통로(621)의 제2 면(621b)은 외부로 노출되고, 도 2a 내지 도 2c 의 예에서 설명한 그루브(groove)형상, 요철형상, 또는 지그재그 형상 등을 가질 수 있다. 이 때, 하부 열통로(621)는 케이스로 기능할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 앞서 설명한 바와 중복되는 내용은 생략한다.
도 6을 참조하면, 반도체모듈(5)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 및 케이스(700)를 포함할 수 있다.
하부 열전달부(620)는 기판(100)의 일면(100a) 상에 배치되어, 커넥터(200) 및 제1 메모리 소자(500) 각각과 접할 수 있다. 반도체 모듈(5)의 구동 시, 제1 메모리 소자(500)에서 발생한 열은 하부 열전달부(620)를 통하여 커넥터(200)로 전달될 수 있다. 하부 열전달부(620)는 하부 열통로(621), 하부 보조 열통로(623), 및 하부 패드(625)를 포함할 수 있다. 하부 열통로(621)는 메모리 소자(500) 및 커넥터(200) 사이에 제공될 수 있다. 다른 예로, 하부 보조 열통로(623)가 생략되고, 하부 열통로(621)가 케이스(700)에 접할 수 있다. 또 다른 예로, 하부 보조 열통로(623) 및 케이스(700)는 생략될 수 있다. 이 때, 하부 열통로(621)은 케이스(700)의 역할을 할 수 있다. 하부 열전달부(620)는 컨트롤러(300)와 접하여, 컨트롤러(300)에서 발생한 열을 커넥터(200)로 전달할 수 있다. 하부 열전달부(620)는 버퍼 반도체(400) 접촉할 수 있다. 버퍼 반도체(400)에서 발생한 열은 하부 열전달부(620)를 통하여 커넥터(200)로 전달할 수 있다. 하부 패드(625)는 하부 열통로(621) 및 커넥터(200) 사이, 하부 열통로(621) 및 컨트롤러(300) 사이, 그리고 하부 열통로(621) 및 버퍼 반도체(400) 사이에 제공될 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 7을 참조하면, 반도체모듈(6)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 상부 열전달부(610) 및 케이스(700)를 포함할 수 있다. 하부 열전달부(620)는 도 4의 예로써 설명한 하부 열전달부(620)와 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 하부 열전달부(620)는 제어 소자(300) 및 커넥터(200) 각각과 접촉할 수 있다. 상부 열전달부(610)는 도 1 또는 도 3의 예로써 설명한 바와 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 상부 열전달부(610)은 기판(100)의 상면(100a) 상에 배치되어, 커넥터(200) 및 제2 메모리 소자(550) 각각과 접촉할 수 있다.
케이스(700)는 하부 열전달부(620) 및 상부 열전달부(610) 각각과 접촉할 수 있다. 케이스(700)는 기판(100)의 상면(100a), 하면(100b), 및 제2 측면(100d) 상에 제공되어, 기판(100)을 둘러싸을 수 있다. 제2 측면(100d)은 제1 측면(100c)에 대향할 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 8을 참조하면, 반도체모듈(7)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 상부 열전달부(610) 및 케이스(700)를 포함할 수 있다.
상부 열전달부(610)은 도 3의 예로써 설명한 상부 열전달부(610)와 동일 또는 유사할 수 있다. 하부 열전달부(620)는 도 5의 예로써 설명한 바와 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 하부 열전달부(620)는 기판(100)의 하면(100b) 상에 제공되고, 커넥터(200), 제어 소자(300) 및 버퍼 반도체 소자(400) 각각과 접촉할 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 9를 참조하면, 반도체모듈(8)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 상부 열전달부(610) 및 케이스(700)를 포함할 수 있다.
하부 열전달부(620)는 앞서 도 6의 예로써 설명한 하부 열전달부(620)와 동일 또는 유사할 수 있다. 예를 들어, 하부 열전달부(620)는 기판(100)의 하면(100b) 상에서 커넥터(200) 및 제1 메모리 소자(500) 사이에 배치될 수 있다. 하부 열전달부(620)는 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 및 제1 메모리 소자(500) 중에서 적어도 하나와 접촉할 수 있다. 상부 열전달부(610)는 도 1의 예 또는 도 3의 예에서 설명한 바와 동일 또는 유사할 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 10을 참조하면, 반도체모듈(9)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 및 상부 열전달부(610)를 포함할 수 있다.
하부 열전달부(620)는 하부 열통로(621) 및 하부 패드(625)를 포함할 수 있다. 상부 열전달부(610)는 상부 열통로(611) 및 상부 패드(615)를 포함할 수 있다. 하부 열통로(621) 및 상부 열통로(611)은 기판(100)을 둘러싸며, 케이스의 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 하부 열통로(621)는 기판(100)의 하면(100b) 상에 제공되며, 기판(100)의 제2 측면(100d) 상으로 더 연장될 수 있다. 다른 예로, 상부 열통로(611)는 기판(100)의 상면(100a) 상에 제공되며, 기판(100)의 제2 측면(100d)을 따라 더 연장될 수 있다. 하부 열통로(621)은 상부 열통로(611)와 연결될 수 있다. 하부 열통로(621)의 제2 면(621b) 및 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 외부로 노출될 수 있다. 하부 열통로(621)의 제2 면(621b) 및 상부 열통로(611)의 제1 면(611a)은 도 2a 내지 2c의 예로써 설명한 바와 같은 그루브(groove)형상, 요철형상, 또는 지그재그 형상 등을 가질 수 있다. 이에 따라, 하부 열통로(621) 및 외부 공기, 그리고 상부 열통로(611) 및 외부 공기와의 접촉면적이 증가할 수 있다. 반도체모듈(9)의 구동 시, 소자들(300, 400, 500, 550)에서 발생한 열은 열전달부들(610, 620)을 통하여 커넥터(200)뿐만 아니라 외부 공기로도 방출될 수 있다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 11을 참조하면, 반도체모듈(10)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 하부 열전달부(620), 케이스(700), 수동소자(800), 수동소자 패드(810), 및 열전패드(820)를 포함할 수 있다. 실시예에 따른 반도체 모듈(10)은 대용량(예를 들어, 200G이상) 모듈일 수 있다. 하부 열전달부(620)는 도 4 내지 도 6의 예들로써 설명한 바와 동일 도는 유사할 수 있다.
수동소자(800)는 기판(100)의 상면(100a) 상에 제공될 수 있다. 수동소자(800)는 슈퍼 캐패시터 소자를 포함할 수 있다. 수동소자(800)는 기판(100)과 전기적으로 연결될 수 있다. 수동소자(800)는 전력 고장 발생 시 보충전력을 공급하여 데이터 손실을 방지할 수 있다. 수동소자 패드(810)는 기판(100) 및 수동소자(800) 사이에 개재될 수 있다. 일 예로, 수동소자 패드(810)는 열 인터페이스 물질(TIM)을 포함할 수 있다. 수동소자(800)에 가해지는 충격은 수동소자 패드(810)에 의하여 흡수될 수 있다. 열전패드(820)가 수동소자(800) 및 케이스(700) 사이에 제공될 수 있다. 열전패드(820)는 열 인터페이스 물질(TIM)을 포함할 수 있다. 반도체모듈(10)의 구동 시, 수동소자(800)에서 발생한 열이 열전패드(820)를 통하여 케이스(700)로 방출될 수 있다. 또한, 열전패드(820)는 수동소자(800)에 가해지는 충격을 흡수할 수 있다.
표 1은 반도체 모듈(10)의 구동 시, 열전달부들(610, 620)의 구성에 따른 제어소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 및 수동 소자(800)의 온도를 나타낸 시뮬레이션 결과이다. 비교예는 하부 열전달부(620) 및 상부 열전달부(610)을 포함하지 않은 반도체 모듈(10)의 시뮬레이션 결과이다. 실험예들은 하부 열전달부(620)를 포함한 반도체 모듈(10)의 시뮬레이션 결과이다. 실험예 4 및 실험예5들은 기판(100)의 상면(100a) 상에 상부 열전달부(610)를 더 포함한 반도체 모듈(10)의 시뮬레이션 결과이다.
열전달부의 구성 | 반도체 모듈 구동 시, 소자들의 온도(℃) | |||||
하부 열전달의 열통로 | 상부 열전달의 열통로 | 제어 소자 |
버퍼 반도체 소자 |
제1 메모리 소자 |
수동 소자 |
|
비교예 | - | - | 72.1 | 68.0 | 65.5 | 57.0 |
실험예1 | 히트파이프 | - | 66.9 | 65.5 | 63.8 | 54.8 |
실험예2 | 그라파이트 | - | 69.0 | 65.5 | 63.1 | 54.9 |
실험예3 | 구리 | - | 66.7 | 64.5 | 62.1 | 53.4 |
실험예4 | 구리 | 그라파이트 | 65.4 | 65.4 | 61.4 | 55.6 |
실험예5 | 구리 | 히트파이브 | 63.6 | 62.2 | 59.9 | 56.5 |
표 1에 따르면, 반도체 모듈(10)의 구동 시, 실험예 1 내지 5의 소자들(300, 400, 500, 800)의 온도는, 비교예의 소자들(300, 400, 500, 800)의 온도보다 더 낮다. 반도체 모듈(10)은 하부 열전달부(620)을 포함함에 따라, 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 수동소자(800)의 열방출이 향상됨을 확인할 수 있다. 실험예 4 및 5의 시뮬레이션 결과를 살펴보면, 상부 열전달부(610)를 더 포함하는 경우, 소자들(300, 400, 500, 800)의 열방출이 더욱 향상됨을 알 수 있다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 12를 참조하면, 반도체모듈(11)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 상부 열전달부(610) 및 케이스(700)를 포함할 수 있다. 하부 열전달부(620)은 앞서 도 4 내지 도 6의 예들로써 설명한 바와 동일 또는 유사할 수 있다. 다른 예로, 상부 열전달부(610) 또는 케이스(700)는 생략될 수 있다.
배선들(150)이 기판(100)의 하면(100b) 상에 제공될 수 있다. 커넥터(200)는 배선들(150)에 의하여 기판(100)과 전기적으로 연결될 수 있다. 소자들(300, 400, 500, 550)에서 발생한 열은 기판(100) 및 배선들(150)을 통하여 하부 열전달부(620)로 전달될 수 있다. 배선 패드(157)가 하부 열전달부(620) 및 배선들(150) 사이에 개재될 수 있다. 배선 패드(157)는 전기 절연성 열전달물질(TIM)을 포함할 수 있다. 배선 패드(157)는 배선들(150) 중에서 적어도 하나와 접촉할 수 있다. 다른 예로, 배선 패드(157)은 제공되지 않을 수 있다.
도 13 및 도 14는 실시예들에 따른 배선들을 도시한 평면도들로, D2방향에서 바라본 배선들을 도시하였다.
도 13을 도 12와 함께 참조하면, 배선 패드들(157)이 기판(100)의 하면(100b) 상에서 접지 배선(151)을 덮을 수 있다. 접지 배선(151)은 배선 패드(157)에 의하여 하부 열전달부(620)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 소자들(300, 400, 500, 550)에서 발생한 열이 접지 배선(151) 및 배선 패드(157)를 통하여 하부 열전달부(620)로 용이하게 방출될 수 있다. 배선 패드(157)는 전원/신호 배선(153)과 연결되지 않을 수 있다.
도 14를 도 12와 함께 참조하면, 배선 패드(157)는 접지 배선(151), 전원/신호 배선(153)을 덮을 수 있다. 접지 배선(151) 및 전원/신호 배선(153)은 배선 패드(157)에 의하여 하부 열전달부(620)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 소자들(300, 400, 500, 550)의 열방출이 더욱 향상될 수 있다. 각각의 배선들(150) 사이에 배선 패드(157)가 개재될 수 있다. 이에 따라, 배선들(150) 사이에서 전기적 쇼트의 발생이 방지될 수 있다.
도 15a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접지 배선을 확대하여 도시한 단면도이고, 도 15b는 전원/신호 배선을 확대하여 도시한 단면도이다. 이하, 앞서 설명한 바와 중복되는 내용은 생략한다.
도 15a를 도 12와 함께 참조하면, 배선들(150)이 기판(100)의 하면(100b) 상에 제공될 수 있다. 커넥터(200)는 배선들(150)에 의하여 기판(100)과 전기적으로 연결될 수 있다. 접지 배선(151)은 하부 열전달부(620)와 접촉할 수 있다. 소자들(300, 400, 500, 550)에서 발생한 열은 기판(100) 및 접지 배선(151)을 통하여 하부 열전달부(620)로 전달될 수 있다. 이 때, 도 13 및 도 14의 예와 달리, 배선 패드(157)가 제공되지 않을 수 있다. 접지 배선(151)이 하부 열전달부(620)와 직접 접촉함에 따라, 반도체 모듈에서 전자기장 간섭(EMI) 현상이 방지되고, 반도체 모듈(11)의 전기적 특성이 향상될 수 있다.
도 15b를 도 12와 함께 참조하면, 하부 열전달부(620)는 리세스부(620r)을 가질 수 있다. 리세스부(620r)은 전원/신호 배선(153)의 하면에 형성될 수 있다. 하부 열전달부(620)는 리세스부(620r)을 가짐에 따라, 전원/신호 배선(153)과 이격될 수 있다. 이에 따라, 전원/신호 배선(153)은 하부 열전달부(620)와 전기적으로 단절될 수 있다. 배선 패드(157)는 제공되지 않을 수 있다. 다른 예로, 하부 열전달부(621)는 케넥터(200)의 측면과 이격될 수 있다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 본 실시예에 대한 설명에 있어서 이전의 설명과 중복되는 내용은 생략하거나 간소화하기로 한다.
도 16을 참조하면, 반도체모듈(12)은 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 및 상부 열전달부(610)를 포함할 수 있다. 하부 열전달부(620) 및 상부 열전달부(610)는 기판(100)을 둘러싸며, 케이스의 역할을 할 수 있다.
커넥터(200)는 상부면(200a), 하부면(200b), 제1 측면(200c), 및 제1 측면(200c)과 대향되는 제2 측면(200d)을 가질 수 있다. 제1 측면(200c)은 기판(100)을 향할 수 있다. 상부 홈(201)이 제1 측면(200c)의 상단에 제공되고, 하부 홈(203)이 1 측면(200c)의 하단에 제공될 수 있다. 일 예로, 상부 홈(201) 및 하부 홈(203) 각각은 제1 측면(200c)에서, 제2 측면(200d)을 향하여 리세스될 수 있다.
하부 열전달부(620)는 커넥터(200)의 제1 측면(200c)의 하단, 하부면(200b), 및 제2 측면(200d)의 하단과 접촉할 수 있다. 하부 패드(625)는 기판(100)의 하면(100b) 상에서 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 및 제1 메모리 소자(500)와 접촉할 수 있다. 하부 패드(625)는 하부 열통로(621) 및 커넥터(200) 사이에 개재될 수 있다. 예를 들어, 하부 패드(625)는 커넥터(200)의 제1 측면(200c) 하단, 하부면(200b), 또는 제2 측면(200d)의 하단을 덮을 수 있다. 하부 열전달부(620)는 후크(hook) 형상의 하부 고정부(627)를 가질 수 있다. 하부 고정부(627)는 커넥터(200)의 하부 홈(203)으로 연장되어, 커넥터(200)와 결합할 수 있다. 하부 고정부(627)에 의하여, 하부 열전달부(627)는 커넥터(200)와 보다 견고하게 연결될 수 있다. 또한, 하부 열전달부(620) 및 커넥터(200)의 접촉면적이 증가하여, 소자들(300, 400, 500)에서 발생하는 열이 하부 열전달부(620)를 통하여 커넥터(200)로 더욱 용이하게 전달될 수 있다.
상부 열전달부(610)는 커넥터(200)의 제1 측면(200c)의 상단, 상부면(200a), 및 제2 측면(200d)과 접촉할 수 있다. 상부 패드(615)는 기판(100) 상에 제공될 수 있다. 상부 패드(615)는 커넥터(200)의 제1 측면(200c)의 상단, 상부면(200a), 또는 제2 측면(200d)을 덮을 수 있다. 상부 열전달부(610)는 후크 형상의 상부 고정부(617)를 가질 수 있다. 예를 들어, 상부 고정부(617)는 커넥터(200)의 상부 홈(201)으로 연장될 수 있다. 상부 고정부(617)에 의하여, 상부 열전달부(610)는 커넥터(200)와 견고하게 결합할 수 있다. 또한, 상부 열전달부(610) 및 커넥터(200)의 접촉면적이 증가하여, 하부 열전달부(620)로 전달된 열이 커넥터(200)로 더욱 용이하게 방출될 수 있다.
다른 예로, 하부 고정부(207) 또는 상부 고정부(217) 중에서 어느 하나는 생략될 수 있다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다. 도 18는 도 17을 D1방향에서 바라본 단면도이다. 이하, 앞서 설명한 바와 중복되는 내용은 생략한다.
도 17을 참조하면, 기판(100), 커넥터(200), 제어 소자(300), 버퍼 반도체 소자(400), 제1 메모리 소자(500), 제2 메모리 소자(550), 하부 열전달부(620), 상부 열전달부(610), 및 케이스(700)를 포함할 수 있다. 다른 예로, 하부 열전달부(620) 또는 상부 열전달부(610)는 생략될 수 있다.
커넥터(200)는 제1 측면(200c), 제1 측면(200c)과 대향하는 제2 측면(200d), 제3 측면(200e), 및 제3 측면(200e)과 대향하는 제4 측면(200f)을 가질 수 있다.
케이스(700)는 제1 내지 제4 케이스들(701, 703, 705, 707)을 포함할 수 있다. 케이스(700)는 랜치(latch)형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 케이스(701)는 커넥터(200)의 상부면(200a)의 일부를 덮으며, 상부면(200a) 상으로 돌출될 수 있다. 제2 케이스(703)는 커넥터(200)의 하부면(200b)의 일부를 덮으며, 하부면(200b) 상으로 돌출될 수 있다. 제3 케이스(705)는 커넥터(200)의 제3 측면(200e)을 덮으며, 상부면(200a)의 일부 및 하부면(200b)의 일부 상으로 연장될 수 있다. 제4 케이스(707)는 커넥터(200)의 제4 측면(200f)을 덮으며, 상부면(200a)의 일부 및 하부면(200b)의 일부 상으로 연장될 수 있다.
상부 열전달부(610)는 커넥터(200)의 상부면(200a) 상에 제공되며, 커넥터(200)의 노출된 상부면(200a), 및 제1, 3, 4 케이스들(701, 705, 707)과 접촉할 수 있다. 다른 예로, 상부 패드(615)는 커넥터(200)의 하부면(200b) 상에 제공되지 않을 수 있다. 하부 열전달부(620)는 커넥터(200)의 하부면(200b) 상에 제공되며, 커넥터(200)의 노출된 하부면(200b), 및 제2 내지 4 케이스들(703, 705, 707)과 접촉할 수 있다. 다른 예로, 하부 패드(625)는 커넥터(200)의 상부면(200a) 상에 제공되지 않을 수 있다. 본 실시예에서, 열전달부들(610, 620) 및 케이스(700)의 접촉면적이 증대될 수 있다. 커넥터(200)는 케이스(700)뿐만 아니라 상부 열전달부(610) 및 하부 열전달부(620)와 견고하게 결합될 수 있다.
Claims (10)
- 기판;
상기 기판 하면 상에 각각 실장된 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 제1 메모리 소자;
상기 기판의 하면 상에서 상기 제어 소자와 접촉하는 하부 열전달부;
상기 기판의 측면 상에 제공되며, 상기 하부 열전달부와 연결되고 상기 기판과 전기적으로 연결되는 커넥터;
상기 기판의 상면 상의 수동소자 패드;
상기 수동소자 패드 상의 수동소자;
상기 수동소자 상의 열전패드; 및
상기 열전패드와 접하고 상기 기판, 상기 수동소자패드, 상기 수동소자, 및 상기 열전패드를 둘러싸는 케이스를 포함하는 반도체 모듈.
- 제 1항에 있어서,
상기 하부 열전달부는 상기 기판보다 높은 열전도율을 가지는 반도체 모듈. - 제 1항에 있어서,
상기 하부 열전달부는:
하부 열통로; 및
상기 하부 열통로 및 상기 커넥터 사이, 그리고 상기 하부 열통로 및 상기 제어 소자 사이에 개재된 하부 패드를 포함하는 반도체 모듈. - 제 3항에 있어서,
상기 하부 열전달부는 상기 제1 메모리 소자 상으로 신장되고,
상기 패드는 상기 제1 메모리 소자 및 상기 커넥터 사이로 신장된 반도체 모듈. - 제 1항에 있어서,
상기 기판의 하면 상에서 상기 기판 및 상기 커넥터 각각과 접촉하는 배선들을 더 포함하되,
상기 배선들은 신호/전원 배선 및 접지 배선을 포함하고, 상기 접지 배선은 상기 하부 열전달부와 접촉하되, 상기 신호/전원 배선은 상기 하부 열전달부와 이격되는 반도체 모듈. - 삭제
- 기판,
상기 기판 하면 상에 각각 실장된 제어 소자, 버퍼 반도체 소자, 및 제1 메모리 소자;
상기 기판의 상면 상에 실장된 제2 메모리 소자;
상기 기판의 상면 상에 배치되어, 상기 제2 메모리 소자와 접촉하는 상부 열전달부; 및
상기 기판의 측면 상에 제공되어, 상기 상부 열전달부와 연결되고 상기 기판과 전기적으로 연결되는 커넥터;
상기 기판의 상면 상의 수동소자 패드;
상기 수동소자 패드 상의 수동소자;
상기 수동소자 상의 열전패드; 및
상기 열전패드와 접하고 상기 기판, 상기 수동소자패드, 상기 수동소자, 및 상기 열전패드를 둘러싸는 케이스를 포함하는 반도체 모듈. - 제 7항에 있어서,
상기 상부 열전달부는 상기 기판보다 높은 열전도율을 가지는 반도체 모듈. - 제 7항에 있어서,
상기 커넥터, 상기 제어 소자, 상기 버퍼 반도체 소자, 및 상기 제1 메모리 소자 중에서 적어도 하나와 접촉하는 하부 열전달부를 더 포함하는 반도체 모듈. - 제 9항에 있어서,
상기 상부 열전달부는 상기 기판의 측면을 따라 연장되어 상기 하부 열전달부와 연결되며,
상기 기판은 상기 상부 열전달부 및 상기 하부 열전달부에 의해 둘러싸인 반도체 모듈.
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