KR102119194B1 - Operation method of laser apparatus used in printing electronic system - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은, 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계; 레이저 제어부에 의해 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계; 레이저 제어부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 상기 레이저 가변부에 전달하는 단계: 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계; 레이저 조향부에 의해 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계; 및 레이저 제어부에 의해 비전센서부에서 이미지를 전달받아 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하는 단계;를 포함할 수 있다.A method of operating a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention includes: obtaining an image of a printing pattern formed on an object by a vision sensor unit; Determining whether to repair or sinter the printing pattern by analyzing the image acquired by the vision sensor unit by the laser control unit; Transferring whether to repair or sinter the printing pattern by the laser control unit to the laser variable unit: Adjusting the intensity of the laser beam, the size of the wavelength or the width of the pulse according to whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable unit. step; Receiving a repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit by the laser steering unit to vary a traveling direction of the laser beam; And receiving an image from the vision sensor unit by the laser control unit and adjusting the distance between the laser steering unit and the object.

Figure R1020170179114
Figure R1020170179114

Description

인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법{Operation method of laser apparatus used in printing electronic system}{Operation method of laser apparatus used in printing electronic system}

본 발명은 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄 전자 시스템을 이용하여 디스플레이 등에 프린팅 된 패턴 또는 라인을 연결하거나 수리할 뿐만 아니라 소결할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 제공한다.The present invention relates to a method of operating a laser device for a printed electronic system, and more specifically, a laser device for a printed electronic system capable of sintering as well as connecting or repairing printed patterns or lines on a display or the like using a printed electronic system. How it works.

디스플레이 기기의 대면적화 노력은 전세계 디스플레이 업체들의 미래 생존 가능성을 결정지을 만큼 중요한 기술적 목표로 대두되고 있다. 이러한 대면적 디스플레이 구현 기술에서 생산성 증대 및 가격경쟁력 확보라는 관점에서 3m가 넘는 대면적 기판 상에 다양한 재료들의 패턴 형상을 완벽하게 구현한다는 것은 기술적으로 매우 어려운 문제이다. 이러한 현실에서 불량을 최대한 효율적으로 리페어(repair, 수리)할 수 있는 기술은 향후 대면적 디스플레이 기기 구현에 핵심이 되는 기술이라고 할 수 있다.Efforts to increase the size of display devices have emerged as an important technical goal to determine the future viability of display companies worldwide. From the viewpoint of increasing productivity and securing price competitiveness in such a large-area display realization technology, it is a technically very difficult problem to perfectly implement a pattern shape of various materials on a large-area substrate over 3 m. In this reality, a technique capable of repairing defects as efficiently as possible can be said to be a key technique for realizing a large-area display device in the future.

한편, 차세대 디스플레이 기기의 대면적화에도 불구하고 고해상도 구현을 위해 디스플레이 패널 회로 (TFT) 및 OLED 디스플레이 패널 회로(OTFT)의 형성에 있어 6μm 이하의 배선 및 배선간격 60μm 이하의 고집적 초미세 회로 배선이 요구되고 있다. 이러한 고집적 초미세 패턴 제품의 불량 개선을 위한 기존의 Laser CVD 수리 기술을 통한 re-routing bridge 수리배선 형성 방법은 기술적 한계에 도달한 상태이기 때문에 새로운 수리 방법을 통한 리페어 기술의 개발 요구가 절실한 상황이다.On the other hand, despite the large area of next-generation display devices, high-density ultra-fine circuit wiring of 6 μm or less and wiring spacing of 60 μm or less are required to form a display panel circuit (TFT) and an OLED display panel circuit (OTFT) to realize high resolution. Is becoming. In order to improve the defects of such highly integrated ultra-fine pattern products, the method of forming a re-routing bridge repair wiring through the existing laser CVD repair technology has reached the technical limit, and the demand for the development of repair technology through a new repair method is urgent. .

또한, LCD 및 OLED 디스플레이 패널 내부 회로 배선 이외에도 베젤(bezel)이 좁은 디스플레이 기기 구현을 위해 베젤의 내부 선폭 및 배선 간격을 10μm 이하로 구현하려는 노력이 증대되고 있는 현실이다. 이러한 고집적 초미세 베젤 배선의 리페어 기술 개발에 대한 요구도 증대 되고 있다.In addition, in addition to the internal circuit wiring of the LCD and OLED display panel, efforts to implement the internal line width and wiring spacing of the bezel to 10 μm or less for realizing a display device having a narrow bezel are increasing. The demand for the development of repair technology for such highly integrated ultra-fine bezel wiring is also increasing.

이러한 차세대 디스플레이 기기의 대면적화를 위해서 인쇄 전자 시스템을 이용하여 디스플레이 패널 회로 등을 형성하는 것이 제안되고 있다. 그런데, 기존의 인쇄 전자 시스템에서는 고집적 초미세 회로 배선을 수리하기 위해서 별도의 고온 진공 챔버(Vacuum chamber), 고온 히터 챔버(Heater chamber), 레이저 장비를 구비해야 하기 때문에 하나의 시스템에서 대형화된 LCD 및 OLED 디스플레이 패널 내부 회로인 고집적 초미세 회로를 수리할 수 없다는 문제가 있다.It is proposed to form a display panel circuit or the like using a printed electronic system in order to increase the size of such a next-generation display device. However, in a conventional printed electronic system, a separate high-temperature vacuum chamber, high-temperature heater chamber, and laser equipment must be provided to repair highly integrated ultra-fine circuit wiring. There is a problem that a highly integrated ultra-fine circuit, which is an internal circuit of an OLED display panel, cannot be repaired.

따라서, 인쇄 전자 시스템에 적용할 수 있는 레이저 장치의 필요성이 커지고 있다.Accordingly, there is an increasing need for a laser device applicable to a printed electronic system.

관련 선행기술로는 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0015557호(발명의 명칭; 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치, 공개일자; 2008년 2월 20일)가 있다.A related prior art is Republic of Korea Patent Publication No. 10-2008-0015557 (name of invention; repair device of a flat panel display substrate circuit, publication date; February 20, 2008).

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 인쇄 전자 시스템에 탑재하거나 장착할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 제공한다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and provides a method of operating a laser device for a printed electronic system that can be mounted or mounted on a printed electronic system.

본 발명은 인쇄 전자 시스템에 의해서 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 소결할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 제공한다.The present invention provides a method of operating a laser device for a printed electronic system capable of repairing or sintering a printing pattern formed by the printed electronic system.

본 발명은 레이저 소결(신터링)을 이용하여 전도성 잉크를 소결시켜서 통전이 가능한 수리 배선을 형성할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 제공한다.The present invention provides a method of operating a laser device for a printed electronic system capable of sintering a conductive ink using laser sintering (sintering) to form a repairable wiring capable of being energized.

상기한 바와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치는, 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 및 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부;를 포함하며, 상기 레이저 제어부는 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어할 수 있다.A laser apparatus for a printed electronic system according to an exemplary embodiment of the present invention for achieving the above-described problems includes: a laser generator for oscillating a laser beam; A laser variable unit for varying the intensity or wavelength of the laser beam oscillated by the laser generator; A laser control unit for controlling the intensity of the laser beam or the size of the wavelength varied in the laser variable unit; And a laser steering unit for varying a traveling direction of the laser beam so that the laser beam from the laser variable unit faces the object, wherein the laser control unit includes the intensity or wavelength of the laser beam according to the state of the printing pattern formed on the object. You can control the size of.

상기 레이저 가변부는 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화시킬 수 있다.The laser variable part may expand the laser beam oscillated by the laser generator or optimize the intensity or wavelength of the laser beam.

상기 레이저 가변부는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함할 수 있다.The laser variable portion may include at least one or two collimation lenses and a mask disposed in front of the collimation lens.

상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이상기한 바와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은, 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부; 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부;를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서, 상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 상기 레이저 가변부에 전달하는 단계: 상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계; 상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계; 및 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 이미지를 전달받아 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하는 단계;를 포함할 수 있다.The laser steering unit from the laser variable unit operating method of the laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention for achieving the above-described problems, a laser generator for generating a laser beam; A laser variable unit for varying the intensity or wavelength of the laser beam oscillated by the laser generator; A laser control unit for controlling the intensity of the laser beam or the size of the wavelength varied in the laser variable unit; A laser steering unit for varying a traveling direction of the laser beam so that the laser beam from the laser variable unit is directed to the object; And a vision sensor unit that acquires an image of the printing pattern including whether the printing pattern is defective, whether the pattern is disconnected, or the size of the pattern. The printed electronic system comprising: a printing pattern formed on an object by the vision sensor unit. Obtaining an image; Determining whether to repair or sinter the printing pattern by analyzing the image acquired by the vision sensor unit by the laser control unit; The laser control unit transmits whether the printing pattern is repaired or sintered to the laser variable unit: The laser variable unit determines the intensity, wavelength, or pulse width of the laser beam according to whether the printing pattern is repaired or sintered. Adjusting; Receiving a repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit by the laser steering unit to vary a traveling direction of the laser beam; And receiving an image from the vision sensor unit by the laser control unit and adjusting a distance between the laser steering unit and the object.

상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계에서, 상기 비전센서부는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부에 전달할 수 있다.In the step of acquiring an image of a printing pattern formed on an object by the vision sensor unit, the vision sensor unit may acquire an image of a repair or sintering state of the printing pattern and transmit it to the laser controller.

상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계에서, 상기 레이저 가변부는 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함하고, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절할 수 있다.In the step of adjusting the intensity of the laser beam, the size of the wavelength or the width of the pulse according to whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable part, the laser variable part may include at least one or two collimation lenses and the collimation. It includes a mask disposed in front of the lens, the laser control unit can adjust the distance between the collimation lens of the laser variable portion or the distance between the mask and the collimation lens according to the result detected by the vision sensor unit have.

상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계에서, 상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너, 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함하며, 상기 레이저 제어부는 상기 미러 구동부의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시킬 수 있다.In the step of varying the traveling direction of the laser beam by receiving the repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit by the laser steering unit, the laser steering unit is a mirror for varying the traveling direction of the laser beam from the laser variable unit Alternatively, a galvano scanner, a mirror, or a mirror driving unit for changing the angle or position of the galvano scanner, and the laser control unit may control the operation state of the mirror driving unit to change the traveling direction of the laser beam.

상기 레이저 제어부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절할 수 있다.The laser control unit may adjust the reflection angle of the mirror or the galvano scanner.

상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계에서, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리 또는 높이를 조절할 수 있다.In the step of determining whether to repair or sinter the printing pattern by analyzing the image obtained from the vision sensor unit by the laser control unit, the laser control unit and the laser steering unit according to the result detected by the vision sensor unit The distance or height between objects can be adjusted.

상기 레이저 제어부는 상기 콜리메이션 렌즈를 구동하여 상기 마스크에 투사되는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있다.The laser control unit may drive the collimation lens to change the laser beam diameter projected onto the mask.

상기 레이저 가변부는 상기 대상물에 인쇄되는 프린팅 패턴의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절할 수 있다.The laser variable unit may adjust the state of the laser beam emitted from the laser generation unit according to the size, shape, defect or disconnection of the printing pattern printed on the object.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은 레이저를 조사하여 디스플레이 기기의 고집적 초미세 패턴화로 인한 불량 배선 수리를 위해 불량부위에 직접 수리배선을 형성할 수 있다.As described above, the operation method of the laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention is to irradiate a laser to form a repair wiring directly on a defective portion for repairing defective wiring due to highly integrated ultra fine patterning of the display device. Can be.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은 배선의 수리 상태를 실시간으로 정확하게 모니터링할 수 있기 때문에 수리의 정확성을 높이고 끊어진 라인을 다시 수리해야 하는 번거로움을 줄일 수 있다.The operation method of the laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention can accurately monitor the repair status of a wire in real time, thereby improving the accuracy of repair and reducing the hassle of repairing a broken line again.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은 레이저 신터링을 이용하여 리페어 잉크를 소결시켜서 통전이 가능한 수리 배선을 신속하게 형성할 수 있다.A method of operating a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention can rapidly form a repair wiring capable of energization by sintering repair ink using laser sintering.

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은 인쇄 전자 시스템에 탑재되거나 장착된 상태로 사용 가능하기 때문에 프린팅 패턴을 수리하거나 잉크를 소결하는데 소요되는 시간을 줄이고 유지 보수 작업의 편의성을 높일 수 있다.The operation method of the laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention can be used while being mounted or mounted on a printed electronic system, thereby reducing the time required for repairing a printing pattern or sintering an ink, and Convenience can be increased.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치가 구비된 인쇄 전자 시스템을 도시한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 인쇄 전자 시스템을 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치의 정면도이다.
도 5는 도 4에 따른 레이저 장치의 측면도이다.
도 6은 도 4에 따른 레이저 장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.1 is a view schematically showing the configuration of a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view showing a printed electronic system equipped with a laser device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side view showing the printed electronic system shown in FIG. 2.
4 is a front view of a laser device according to an embodiment of the present invention.
5 is a side view of the laser device according to FIG. 4.
6 is a plan view of the laser device according to FIG. 4.
7 is a flowchart illustrating a method of operating a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited or limited by the embodiments. The same reference numerals in each drawing denote the same members.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치가 구비된 인쇄 전자 시스템을 도시한 정면도, 도 3은 도 2에 도시한 인쇄 전자 시스템을 도시한 측면도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치의 정면도, 도 5는 도 4에 따른 레이저 장치의 측면도, 도 6은 도 4에 따른 레이저 장치의 평면도, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.1 is a view schematically showing the configuration of a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view showing a printed electronic system provided with a laser device according to an embodiment of the present invention , FIG. 3 is a side view showing the printed electronic system shown in FIG. 2, FIG. 4 is a front view of the laser device according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a side view of the laser device according to FIG. 4, and FIG. 6 is a view The top view of the laser apparatus according to 4, FIG. 7 is a flowchart illustrating a method of operating the laser apparatus for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)는, 레이저 빔(laser beam)을 발진시키는 레이저 생성부(130), 상기 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부(120), 상기 레이저 가변부(120)에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부(140) 및 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔이 대상물(W)을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부(102)를 포함하여 구성될 수 있다.1 to 6, the laser apparatus 100 for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention includes a laser generator 130 that oscillates a laser beam, and the laser generator 130 ), the laser variable unit 120 for varying the intensity or wavelength of the laser beam oscillated, the laser control unit 140 for controlling the intensity or wavelength of the laser beam variable in the laser variable unit 120 and the variable laser It may be configured to include a laser steering unit 102 for varying the traveling direction of the laser beam so that the laser beam from the unit 120 is directed to the object (W).

여기서, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어할 수 있다.Here, the laser control unit 140 may control the intensity of the laser beam or the size of the wavelength according to the state of the printing pattern formed on the object W.

상기 레이저 생성부(130)는 레이저(L1)를 발진시키는 부분으로서, 다양한 형태의 레이저를 생성할 수 있다. 예를 들면, 루비 레이저, He-Ne 레이저, 반도체 레이저, 색소 레이저 등 다양한 형태의 레이저 빔을 발진시킬 수 있다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 인쇄 전자 시스템에 적용되기 때문에, 레이저 생성부(130)는 인쇄 전자 시스템에 의해서 프린팅 된 패턴의 리페어(repair) 또는 프링팅 잉크의 소결(sinter)에 적합한 종류의 레이저 빔을 생성하는 것이 바람직하다.The laser generation unit 130 is a portion that oscillates the laser L1, and may generate various types of lasers. For example, various types of laser beams such as a ruby laser, a He-Ne laser, a semiconductor laser, and a dye laser can be generated. However, since the laser device 100 according to an embodiment of the present invention is applied to a printed electronic system, the laser generation unit 130 repairs a pattern printed by the printed electronic system or sintering the printing ink It is desirable to generate a laser beam of a kind suitable for (sinter).

상기 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔은 레이저 빔의 진행 경로 상에 마련된 레이저 가변부(120)로 입력될 수 있다.The laser beam generated by the laser generation unit 130 may be input to the laser variable unit 120 provided on the path of the laser beam.

상기 레이저 가변부(120)는 상기 레이저 생성부(130)에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화시킬 수 있고, 레이저 생성부(130)에서 연속적으로 발진 또는 펄스 발진을 할 수 있다. 이를 위해, 상기 레이저 가변부(120)는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(collimation lens, 125) 및 상기 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 마스크(126)를 포함할 수 있다.The laser variable unit 120 may extend the laser beam oscillated by the laser generator 130 or optimize the intensity or wavelength of the laser beam, and the laser generator 130 may continuously perform oscillation or pulse oscillation. Can be. To this end, the laser variable part 120 may include at least one or two collimation lenses 125 and a mask 126 disposed in front of the collimation lens 125.

또한, 상기 레이저 가변부(120)는 마스크(126) 대신 포커싱 렌즈(Focusing lens)를 포함할 수도 있다. 즉, 레이저 가변부(120)는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 포커싱 렌즈(126)를 통하여 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 최적화시킬 수 있다.Also, the laser variable part 120 may include a focusing lens instead of the mask 126. That is, the laser variable unit 120, the at least one or two collimation lenses 125 and the collimation lens 125 through the focusing lens 126 disposed in front of the intensity or wavelength of the laser beam. Can be optimized.

상기 레이저 가변부(120)는 인쇄 전자 시스템에 의해 대상물(W)에 프린팅(인쇄) 된 패턴 예를 들면, 고집적 초미세 회로 배선의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절하는 부분으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)의 핵심 구성이라고 할 수 있다.The laser variable unit 120 is a pattern printed (printed) on the object (W) by the printed electronic system, for example, the size, shape, defects of the highly integrated ultra fine circuit wiring or whether the laser beam is oscillated according to whether it is disconnected. As a part for adjusting the state, it can be referred to as a core configuration of the laser device 100 according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 상기 레이저 가변부(120)는 레이저 빔의 진행 방향을 따라 일정한 간격으로 이격 배치된 적어도 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 레이저 빔의 진행 방향을 따라 콜리메이션 렌즈(125)의 앞쪽에 배치된 마스크(126)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the laser variable unit 120 includes at least two collimation lenses 125 spaced apart at regular intervals along the direction of progression of the laser beam and collimation lenses 125 along the direction of progression of the laser beam. It may include a mask 126 disposed in front of.

여기서, 상기 레이저 가변부(120)는 이격 배치된 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나, 마스크(126)와 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절함으로써 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기, 펄스의 폭 등을 조절하거나 변경할 수 있다.Here, the laser variable unit 120 is to adjust the distance between the collimation lens 125 spaced apart, or by adjusting the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 of the intensity or wavelength of the laser beam. You can adjust or change the size and pulse width.

상기 레이저 가변부(120)는 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나 마스크(126)와 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하기 위한 거리 가변부(미도시)를 더 포함할 수 있다. The laser variable part 120 may further include a variable distance part (not shown) for adjusting the distance between the collimation lens 125 or the distance between the mask 126 and the collimation lens 125. have.

한편, 상기 콜리메이션 렌즈(125) 대신 가변 초점렌즈(미도시)가 사용될 수도 있다. 즉, 상기 콜리메이션 렌즈(125)와 같이 초점거리가 일정한 값으로 고정된 렌즈를 사용하는 것이 아니라 초점거리가 변하는 가변 초점렌즈를 사용할 수도 있다. 가변 초점렌즈를 사용하여 렌즈의 초점거리를 변화시킴으로써 레이저 가변부(120)에서 발사되는 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭 등을 조절할 수 있다. 이때, 상기 레이저 가변부(120)는 가변 초점렌즈의 초점거리를 가변하기 위한 초점가변 구동부(미도시)를 더 구비할 수도 있다. 여기서, 상기 초점가변 구동부는 구동 모터(미도시)로 마련될 수 있다.Meanwhile, a variable focus lens (not shown) may be used instead of the collimation lens 125. That is, it is possible to use a variable focal length lens with a variable focal length, rather than using a lens with a fixed focal length, such as the collimation lens 125. By changing the focal length of the lens using a variable focus lens, the intensity of the laser beam emitted from the laser variable part 120, the size of the wavelength, or the width of the pulse may be adjusted. At this time, the laser variable unit 120 may further include a focus variable driving unit (not shown) for changing the focal length of the variable focus lens. Here, the focus variable driving unit may be provided as a driving motor (not shown).

상기 구동모터 또는 상기 초점가변 구동부는 상기 레이저 제어부(140)에 의해서 작동되거나 작동되지 않을 수 있다.The driving motor or the focus-variable driving unit may or may not be operated by the laser control unit 140.

상기 레이저 제어부(140)는, 상기 레이저 가변부(120)의 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나 상기 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 소결할 수 있다. 또한, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 구동모터 또는 상기 초점가변 구동부를 선택적으로 작동시킴으로써 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결할 수 있다.The laser control unit 140 controls the distance between the collimation lens 125 of the laser variable unit 120 or the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 to control the object. The printing pattern formed in (W) can be repaired or sintered. In addition, the laser control unit 140 may selectively repair the printing pattern formed on the object W or sinter the printing ink by selectively operating the driving motor or the focus variable driving unit.

상기 레이저 가변부(120)의 마스크(126)는 상전사 마스크로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 콜리메이션 렌즈(125)는 레이저의 펄스 폭을 조절하는 것이 가능하다. 상기 레이저 제어부(140)에 의해서 콜리메이션 렌즈(125)를 구동시킴으로써 마스크(126)에 투사하는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있고, 마스크(126)로 절출된 레이저 빔은 진원성이 높은 레이저 빔이 될 수 있다.Preferably, the mask 126 of the laser variable part 120 is composed of a phase transfer mask. The collimation lens 125 can control the pulse width of the laser. By driving the collimation lens 125 by the laser control unit 140, the diameter of the laser beam projected on the mask 126 can be changed, and the laser beam cut out by the mask 126 becomes a laser beam with high roundness. Can be.

한편, 상기 레이저 조향부(102)는 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러(102a) 또는 갈바노 스캐너(미도시)를 포함할 수 있다. 레이저 조향부(102)의 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너는 레이저 가변부(120)에서 나오는 레이저 빔의 진행 방향을 변경하여 대상물(W)을 향하도록 한다.On the other hand, the laser steering unit 102 may include a mirror (102a) or a galvano scanner (not shown) to change the traveling direction of the laser beam from the laser variable unit 120. The mirror 102a of the laser steering unit 102 or the galvano scanner changes the traveling direction of the laser beam emitted from the laser variable unit 120 so as to face the object W.

상기 레이저 조향부(102)는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부(102b)를 포함할 수 있다. The laser steering unit 102 may include a mirror 102a or a mirror driving unit 102b for changing the angle or position of the galvano scanner.

또한, 레이저 조향부(102)는 진행 방향이 변경된 레이저 빔을 최종적으로 대상물(W)을 향해 발사시키는 렌즈(101)를 더 포함할 수 있다. 렌즈(101)는 fθ렌즈를 사용하는 것이 바람직하다. 렌즈(101)에서 최종적으로 발사는 레이저 빔(L2)은 대상물(W)을 향하게 된다.In addition, the laser steering unit 102 may further include a lens 101 for finally emitting a laser beam whose direction of travel is changed toward the object W. It is preferable that the lens 101 is an fθ lens. The laser beam (L2) is finally emitted from the lens 101 is directed to the object (W).

여기서, 미러 구동부(102b)는 레이저 제어부(140)로부터 제어 신호를 받아서 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도 등을 조절할 수 있다.Here, the mirror driving unit 102b may receive a control signal from the laser control unit 140 to adjust the reflection angle of the mirror 102a or the galvano scanner.

상기 레이저 조향부(102)는 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔을 고속으로 회전하는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너와 렌즈(101)에서 대상물(W) 상의 스캔 영역에서 고속으로 위치 결정할 수 있다.The laser steering unit 102 is positioned at a high speed in the scan area on the object (W) in the mirror (102a) or the galvano scanner and the lens 101 to rotate the laser beam from the laser variable portion 120 at high speed. Can be.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는, 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 감지하는 비전센서부(400)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the laser apparatus 100 according to an embodiment of the present invention further includes a vision sensor unit 400 that detects whether a printing pattern formed on the object W is defective, whether the pattern is disconnected, or the size of the pattern. can do.

상기 비전센서부(400)는 비전카메라(vision camera) 등으로 형성될 수 있으며, 대상물(W)에 형성되는 프린팅 패턴의 결함 유무 등에 대한 이미지를 획득하거나, 대상물(W)에 조사되는 레이저 빔의 상태 등에 대한 이미지를 획득할 수 있다. The vision sensor unit 400 may be formed of a vision camera, or the like, to acquire an image of the presence or absence of a defect in the printing pattern formed on the object W, or of the laser beam irradiated to the object W. It is possible to acquire an image of a state or the like.

상기 비전센서부(400)는 획득한 이미지 등의 데이터를 레이저 제어부(140)로 전송하고, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 조향부(102)와 상기 대상물(W) 사이의 거리를 조절하거나 상기 레이저 가변부(120)의 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리 또는 상기 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절할 수 있다.The vision sensor unit 400 transmits data such as the acquired image to the laser control unit 140, and the laser control unit 140 is the laser steering unit 102 according to the result detected by the vision sensor unit 400 ) And the distance between the object (W) or the distance between the collimation lens 125 of the laser variable part 120 or the distance between the mask 126 and the collimation lens 125. Can be.

도 1을 참조하면, 레이저 빔(L2)이 조사되는 대상물(W)은 플레이트(P) 위에 놓이게 되며, 플레이트(P)는 X축 및 Y축 방향으로 움직이면서 레이저 빔(L2)의 위치를 조절할 수 있다.Referring to FIG. 1, the object W to which the laser beam L2 is irradiated is placed on the plate P, and the plate P moves in the X-axis and Y-axis directions to adjust the position of the laser beam L2. have.

이하에서는 도 2 내지 도 6면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)가 인쇄 전자 시스템에 설치된 경우에 대해서 설명한다.Hereinafter, a case in which the laser device 100 according to an embodiment of the present invention is installed in a printed electronic system will be described with reference to FIGS. 2 to 6.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 인쇄 전자 시스템의 케이스(1) 내에 마련될 수 있다. 2 and 3, a laser device 100 according to an embodiment of the present invention may be provided in a case 1 of a printed electronic system.

케이스(1)에는 개폐 가능한 도어(2)가 마련되고, 도어(2)에는 관측창(3)이 마련될 수 있다. 도어(2)는 케이스(1)의 내부를 볼 수 없는 불투명재질로 형성되고 관측창(3)은 케이스(1)의 내부를 볼 수 있도록 투명재질로 형성되는 것이 바람직하다. 작업자는 관측창(3)을 통해서 케이스(1)의 내부에 마련된 레이저 장치(100)의 작업 상태를 육안으로 관찰할 수 있다. 이때, 관측창(3)은 작업자의 눈을 보호할 수 있는 재질로 형성되는 것이 바람직하다.The case 1 may be provided with a door 2 that can be opened and closed, and the observation window 3 may be provided in the door 2. The door 2 is preferably formed of an opaque material that cannot see the inside of the case 1, and the observation window 3 is preferably formed of a transparent material so that the inside of the case 1 can be seen. The operator can visually observe the working state of the laser device 100 provided inside the case 1 through the observation window 3. At this time, the observation window 3 is preferably formed of a material that can protect the operator's eyes.

한편, 케이스(1)의 좌측 하단에는 인쇄 전자 시스템(미도시) 또는 레이저 장치(100)에 전원을 공급하는 전원부(300)가 마련될 수 있다.Meanwhile, a power supply unit 300 for supplying power to the printed electronic system (not shown) or the laser device 100 may be provided at the bottom left of the case 1.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 케이스(1)의 내부에 장착되는데, 장착 프레임(107)을 이용하여 케이스(1)의 내부에 장착될 수 있다. 즉, 장착 프레임(107)에 레이저 장치(100)가 결합되고, 장착 프레임(107)은 케이스(1)의 메인 프레임(미도시)에 결합될 수 있다.The laser device 100 according to an embodiment of the present invention is mounted inside the case 1, and may be mounted inside the case 1 using the mounting frame 107. That is, the laser device 100 is coupled to the mounting frame 107, and the mounting frame 107 may be coupled to the main frame (not shown) of the case 1.

한편, 레이저 장치(100)는, 대상물(W)과 레이저 조향부(102) 사이의 거리 즉, 레이저 조향부(102)의 높이를 조절할 수 있도록 수직 가이드 로드(105), 수직 가이드 로드(105)를 회전 지지하는 베어링(106) 및 높이 조절 핸들(104)을 더 포함할 수 있다. 이때, 레이저 장치(100)는 장착 프레임(107)에서 상하 방향으로 움직일 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다.On the other hand, the laser apparatus 100, the vertical guide rod 105, the vertical guide rod 105 to adjust the distance between the object (W) and the laser steering unit 102, that is, the height of the laser steering unit 102 It may further include a bearing 106 and the height adjustment handle 104 for rotating support. At this time, the laser device 100 is preferably provided to be able to move in the vertical direction on the mounting frame 107.

도 3을 참조하면, 장착 프레임(107)은 케이스(1)에 상단 및 측단이 결합될 수 있다. 레이저 장치(100)의 레이저 가변부(120) 및 레이저 생성부(130)는 보호 케이스(200) 내부에 마련되고, 레이저 조향부(102)는 보호 케이스(200)의 외부에 마련될 수 있다.Referring to Figure 3, the mounting frame 107 may be coupled to the top and side ends of the case (1). The laser variable part 120 and the laser generator 130 of the laser device 100 may be provided inside the protective case 200, and the laser steering part 102 may be provided outside the protective case 200.

보호 케이스(200)에는 수직 가이드 로드(105)의 외주면에 삽입되는 가이드 부시(108)가 마련될 수 있다. 수직 가이드 로드(105)의 외주면 및 가이드 부시(108)의 내주면에는 서로 맞물리는 나사산이 형성되는 것이 바람직하다. 작업자가 높이 조절 핸들(104)을 돌리게 되면 수직 가이드 로드(105)가 회전하게 되고 수직 가이드 로드(105)의 외주면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사산이 내주면에 형성된 가이드 부시(108)가 수직 가이드 로드(105) 상에서 상하로 움직이게 되고, 이에 따라 레이저 장치(100)의 높이가 조절될 수 있다.The protective case 200 may be provided with a guide bush 108 that is inserted into the outer circumferential surface of the vertical guide rod 105. On the outer circumferential surface of the vertical guide rod 105 and the inner circumferential surface of the guide bush 108, it is preferable that threads that engage with each other are formed. When the operator rotates the height adjustment handle 104, the vertical guide rod 105 is rotated, and the guide bush 108 formed on the inner circumferential surface of the thread engaged with the thread formed on the outer circumferential surface of the vertical guide rod 105 has a vertical guide rod ( 105) moves up and down, and accordingly, the height of the laser device 100 may be adjusted.

한편, 레이저 조향부(102)는 렌즈(101)와 연결되는 수직 경통부(110)를 더 포함할 수 있다. 또한, 높이 조절 핸들(104)에는 파지부(104a)가 돌출 형성될 수 있다.Meanwhile, the laser steering unit 102 may further include a vertical barrel 110 connected to the lens 101. In addition, the grip portion 104a may be protruded from the height adjustment handle 104.

도 4 내지 도 6에는 인쇄 전자 시스템에 장착되는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)의 보다 자세한 형태가 도시되어 있다.4 to 6 show a more detailed form of the laser device 100 according to an embodiment of the present invention mounted on a printed electronic system.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 장착 프레임(107)에는 케이스(1)와의 결합을 위해 나사 등 체결수단이 삽입되는 체결공(170a)이 형성될 수 있다. 또한, 장착 프레임(107)의 하단에는 베어링(106)을 지지하는 고정 로드(109)가 연결될 수 있는데, 고정 로드(109)의 하단은 베어링(106)과의 연결을 위해서 수평방향으로 절곡 형성되는 것이 바람직하다.4 to 6, a fastening hole 170a into which a fastening means such as a screw is inserted may be formed in the mounting frame 107 for coupling with the case 1. In addition, a fixed rod 109 for supporting the bearing 106 may be connected to the lower end of the mounting frame 107, and the lower end of the fixed rod 109 is bent in a horizontal direction for connection with the bearing 106. It is preferred.

상기 레이저 조향부(102)의 일측에는 제어신호 또는 전기신호를 입력하기 위한 케이블 연결포트(103)가 마련될 수 있다.A cable connection port 103 for inputting a control signal or an electric signal may be provided on one side of the laser steering unit 102.

상기 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120) 사이에는 수평 경통부(123)가 마련될 수 있다. 즉, 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120)는 수평 경통부(123)에 의해서 서로 연결될 수 있다.A horizontal barrel 123 may be provided between the laser steering unit 102 and the laser variable unit 120. That is, the laser steering unit 102 and the laser variable unit 120 may be connected to each other by a horizontal barrel 123.

상기 레이저 가변부(120)는 보호 케이스(200) 내부에 레이저 가변부(120)를 고정하는 지지부(124)를 포함할 수 있다. 지지부(124)의 하단은 보호 케이스(200)의 바닥에 고정되며 상단에는 레이저 가변부(120)의 연장 하우징(121)이 고정될 수 있다.The laser variable part 120 may include a support part 124 for fixing the laser variable part 120 inside the protective case 200. The lower end of the support part 124 is fixed to the bottom of the protective case 200, and the extended housing 121 of the laser variable part 120 may be fixed to the upper end.

상기 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120)는 수평 경통부(123)에 의해서 연결되는 반면에, 레이저 가변부(120)와 레이저 생성부(130)는 서로 연결되지 않고 이격된 상태로 보호 케이스(200)의 내부에 마련될 수 있다.While the laser steering unit 102 and the laser variable unit 120 are connected by a horizontal barrel 123, the laser variable unit 120 and the laser generator 130 are not connected to each other and are protected from being spaced apart. It may be provided inside the case 200.

상기 레이저 생성부(130)에는 냉각을 위한 방열슬릿(135)이 복수개 형성될 수 있다. 레이저 생성부(130)의 앞단에는 레이저 로드(131)가 형성되고, 레이저 로드(131)의 앞단에 레이저 발진부(132)가 형성될 수 있다.A plurality of heat dissipation slits 135 for cooling may be formed in the laser generation unit 130. The laser rod 131 may be formed at the front end of the laser generator 130, and the laser oscillation unit 132 may be formed at the front end of the laser rod 131.

레이저 발진부(132)에서 나온 레이저 빔(L1)은 연장 하우징(121)을 통해 레이저 가변부(120)에 전달될 수 있다.The laser beam L1 from the laser oscillation unit 132 may be transmitted to the laser variable unit 120 through the extension housing 121.

한편, 높이 조절 핸들(104) 대신 높이 조절 모터(미도시)가 마련될 수도 있다. 상기 높이 조절 모터는 레이저 제어부(140)에 의해서 작동이 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저 제어부(140)는, 비전센서부(400)에서 획득된 대상물(W)의 이미지를 분석하여 렌즈(101)와 대상물(W) 사이의 거리를 계산하고, 그 계산된 결과에 따른 구동신호를 상기 높이 조절 모터에 전달하여 대상물(W)과 렌즈(101) 사이의 거리 또는 레이저 장치(100)의 높이를 조절할 수도 있다.Meanwhile, a height adjustment motor (not shown) may be provided instead of the height adjustment handle 104. The height adjustment motor can be controlled by the laser control unit 140. For example, the laser control unit 140 analyzes the image of the object W obtained from the vision sensor unit 400 to calculate the distance between the lens 101 and the object W, and the calculated result The driving signal according to the signal may be transmitted to the height adjustment motor to adjust the distance between the object W and the lens 101 or the height of the laser device 100.

상기에서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치는, 인쇄 전자 시스템에 의해서 대면적 디스플레이 등 대상물에 프린팅 된 패턴에 레이저를 발사하여 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결할 수 있으며, 작업의 종류 또는 패턴의 결함 유무, 결함 상태 등에 따라 레이저의 강도, 파장의 크기 또는 펄스 폭 등을 가변할 수 있기 때문에, 하나의 인쇄 전자 시스템으로 다양한 작업을 할 수 있게 된다.The laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention described above may repair a pattern or sinter printing ink by firing a laser on a pattern printed on an object such as a large area display by the printed electronic system, Since the intensity of the laser, the size of the wavelength, or the pulse width can be varied according to the type of work or the presence or absence of defects in the pattern, the state of defects, etc., various operations can be performed with one printed electronic system.

이하에서는 상기한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)의 작동 방법에 대해서 설명한다. Hereinafter, an operation method of the laser device 100 for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention will be described.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a method of operating a laser device for a printed electronic system according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)의 작동 방법은, 레이저 빔(L1)을 발진시키는 레이저 생성부(130); 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부(120); 레이저 가변부(120)에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부(140); 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부(102); 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부(400);를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서, 비전센서부(400)에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계(1100); 레이저 제어부(140)에 의해 비전센서부(400)에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계(1200); 레이저 제어부(140)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 레이저 가변부(120)에 전달하는 단계(1300): 레이저 가변부(120)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계(1400); 레이저 조향부(102)에 의해 레이저 제어부(140)에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계(1500); 및 레이저 제어부(140)에 의해 비전센서부(400)에서 이미지를 전달받아 레이저 조향부(102)와 대상물(W) 사이의 거리를 조절하는 단계(1600);를 포함할 수 있다.1 to 7, an operation method of the laser apparatus 100 for a printed electronic system according to an exemplary embodiment of the present invention includes: a laser generator 130 that oscillates a laser beam L1; A laser variable unit 120 for varying the intensity or wavelength of the laser beam oscillated by the laser generator 130; A laser control unit 140 for controlling the intensity of the laser beam or the size of the wavelength varied in the laser variable unit 120; A laser steering unit 102 for varying the traveling direction of the laser beam so that the laser beam from the laser variable unit 120 faces the object; And a vision sensor unit 400 that acquires an image of the printing pattern including whether the printing pattern is defective, whether the pattern is disconnected, or the size of the pattern. In the printed electronic system, the object by the vision sensor unit 400 Obtaining an image of the printing pattern formed in (1100); Analyzing the image acquired by the vision sensor unit 400 by the laser control unit 140 and determining whether the printing pattern is repaired or sintered (1200); Step (1300) of transmitting or repairing or sintering the printing pattern by the laser control unit 140 to the laser variable unit 120: The intensity of the laser beam according to whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable unit 120 , Adjusting the size of the wavelength or the width of the pulse (1400); Receiving the repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit 140 by the laser steering unit 102 to vary the traveling direction of the laser beam (1500); And receiving an image from the vision sensor unit 400 by the laser control unit 140 to adjust the distance between the laser steering unit 102 and the object W 1600.

상기 비전센서부(400)에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계(1100)에서, 상기 비전센서부(400)는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부(140)에 전달할 수 있다.In step 1100 of acquiring an image of a printing pattern formed on an object by the vision sensor unit 400, the vision sensor unit 400 acquires an image of a repair or sintering state of the printing pattern, and the laser control unit (140).

상기 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 획득한 프린팅 패턴의 이미지(영상 포함)를 전달받고, 그 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어(수리) 또는 소결(sintering)이 필요한지 판단할 수 있다. The laser control unit 140 may receive an image (including an image) of the printing pattern obtained from the vision sensor unit 400 and analyze the image to determine whether repair (repair) or sintering of the printing pattern is necessary. have.

또한, 사용자가 직접 레이저 제어부(140)에 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 작업에 대한 명령을 입력할 수도 있다. 사용자가 명령을 입력하는 경우에, 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 획득한 이미지 분석 결과에 우선하여 사용자의 명령을 수행하는 것이 바람직하다.In addition, the user may directly input a command for the repair or sintering operation of the printing pattern to the laser control unit 140. When the user inputs a command, it is preferable that the laser control unit 140 performs the user's command in preference to the image analysis result obtained from the vision sensor unit 400.

상기 레이저 제어부(140)는 대상물(W)에 인쇄된 프린팅 패턴에 단선 등 결함이 있는 경우에 이를 리페어하기 위해 필요한 레이저의 강도, 폭 또는 파장 등을 제어할 수 있다. 또한, 레이저가 대상물(W)에 인쇄된 프린팅 패턴을 소결하기에 적합한 강도, 폭 또는 파장 등을 가지도록 제어할 수 있다.The laser control unit 140 may control the intensity, width, or wavelength of a laser required to repair a defect such as disconnection in the printing pattern printed on the object W. In addition, the laser can be controlled to have an intensity, width, or wavelength suitable for sintering the printing pattern printed on the object W.

상기 레이저 제어부(140)는 리페어 또는 소결 작업에 따른 레이저의 강도, 폭 또는 파장 등의 정보 내지 명령을 레이저 가변부(120)로 전송할 수 있다.The laser control unit 140 may transmit information or commands such as the intensity, width, or wavelength of the laser according to the repair or sintering operation to the laser variable unit 120.

상기 레이저 가변부(120)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계(1400)에서, 레이저 가변부(120)는 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 마스크(126)를 포함하고, 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 레이저 가변부(120)의 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리 또는 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절할 수 있다. In the step (1400) of adjusting the intensity of the laser beam, the size of the wavelength, or the width of the pulse according to whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable unit 120, the laser variable unit 120 has at least one or It includes two collimation lenses 125 and a mask 126 disposed in front of the collimation lens 125, and the laser control unit 140 is a laser variable unit (depending on the result detected by the vision sensor unit 400). The distance between the collimation lens 125 of 120 or the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 may be adjusted.

즉, 상기 레이저 가변부(120)는 레이저 제어부(140)에서 전달받은 정보 내지 명령 예를 들면, 프린팅 패턴의 리페어 위치, 크기, 소결 정도 등에 적합하도록 레이저의 상태를 가변할 수 있다. 레이저 가변부(120)의 작동에 대해서는 레이저 장치(100) 관련 부분에서 설명한 바와 같으므로 반복적인 내용은 생략한다.That is, the laser variable unit 120 may change the state of the laser to be suitable for information or commands received from the laser control unit 140, for example, the repair position, size, and sintering degree of the printing pattern. The operation of the laser variable unit 120 is the same as that described in the relevant section of the laser device 100, and therefore repeated content is omitted.

상기 레이저 조향부(102)에 의해 상기 레이저 제어부(140)에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계(1500)에서, 상기 레이저 조향부(102)는 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너, 상기 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부(102b)를 포함하며, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 미러 구동부(102b)의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시킬 수 있다.In the step (1500) of receiving the repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit 140 by the laser steering unit 102 to change the traveling direction of the laser beam, the laser steering unit 102 is the laser Includes a mirror 102a or a galvano scanner that changes the traveling direction of the laser beam from the variable unit 120, a mirror driving unit 102b for changing the angle or position of the mirror 102a or the galvano scanner In addition, the laser control unit 140 may control the operation state of the mirror driving unit 102b to change the traveling direction of the laser beam.

즉, 상기 레이저 제어부(140)는 미러 구동부(102b)에 제어 신호를 전달하고 제어 신호를 전달받은 미러 구동부(102b)가 상기 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절할 수 있다.That is, the laser control unit 140 may transmit a control signal to the mirror driving unit 102b and the mirror driving unit 102b receiving the control signal may adjust the reflection angle of the mirror 102a or the galvano scanner.

한편, 상기 레이저 제어부(140)에 의해 상기 비전센서부(400)에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계(1200)에서, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부(102)와 상기 대상물(W) 사이의 거리 또는 높이를 조절할 수 있다.On the other hand, by analyzing the image acquired by the vision sensor unit 400 by the laser control unit 140 to determine whether to repair or sinter the printing pattern (1200), the laser control unit 140 is the vision sensor The distance or height between the laser steering unit 102 and the object W may be adjusted according to a result detected by the unit 400.

상기에서 설명한 바와 같이, 레이저 조향부(102)는 대상물(W)를 향해 하강 또는 상승하면서 대상물(W)과의 거리 또는 높이를 조절할 수 있도록 마련될 수 있다. As described above, the laser steering unit 102 may be provided to adjust the distance or height with the object W while descending or rising toward the object W.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는, 대상물(W)과 레이저 조향부(102) 사이의 거리 즉, 레이저 조향부(102)의 높이를 조절할 수 있도록 수직 가이드 로드(105), 수직 가이드 로드(105)를 회전 지지하는 베어링(106) 및 높이 조절 핸들(104)을 더 포함할 수 있는데, 높이 조절 핸들(104) 대신 높이 조절 모터(미도시)가 마련될 수 있다. 이 때, 상기 높이 조절 모터는 레이저 제어부(140)로부터 제어 신호를 전달받을 수 있다. 이와 같이 구성하면, 레이저 제어부(140)는 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 작업에 필요한 정보를 제어 신호의 형태로 상기 높이 조절 모터에 전달할 수 있고, 전달 받은 제어 신호에 따라 상기 높이 조절 모터는 레이저 조향부(102)의 높이를 자동으로 조절할 수 있다.The laser apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the vertical guide rod 105 to adjust the distance between the object (W) and the laser steering unit 102, that is, the height of the laser steering unit 102, A bearing 106 for rotationally supporting the vertical guide rod 105 and a height adjustment handle 104 may be further included, but a height adjustment motor (not shown) may be provided instead of the height adjustment handle 104. At this time, the height adjustment motor may receive a control signal from the laser control unit 140. When configured in this way, the laser control unit 140 may transmit information required for repair or sintering of the printing pattern to the height adjustment motor in the form of a control signal, and the height adjustment motor may be a laser steering unit according to the received control signal. The height of 102 can be adjusted automatically.

한편, 레이저 제어부(140)는 콜리메이션 렌즈(125)를 구동하여 마스크(126)에 투사되는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있다. 즉, 레이저 제어부(140)에 의해서 콜리메이션 렌즈(125)를 구동시킴으로써 마스크(126)에 투사하는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있고, 마스크(126)로 절출된 레이저 빔은 진원성이 높은 레이저 빔이 될 수 있다.Meanwhile, the laser control unit 140 may drive the collimation lens 125 to change the laser beam diameter projected on the mask 126. That is, the laser beam diameter projected on the mask 126 may be changed by driving the collimation lens 125 by the laser control unit 140, and the laser beam cut out by the mask 126 may have a high roundness laser beam. Can be.

상기 레이저 가변부(120)는 상기 대상물(W)에 인쇄되는 프린팅 패턴의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 상기 레이저 생성부(130)에서 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절할 수 있다.The laser variable unit 120 may adjust the state of the laser beam emitted from the laser generation unit 130 according to the size, shape, defect or disconnection of the printing pattern printed on the object W.

이상과 같이 본 발명의 일실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 청구범위뿐 아니라 이 청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.As described above, in one embodiment of the present invention, it has been described by specific matters such as specific components, etc. and limited embodiments and drawings, but this is provided only to help a more comprehensive understanding of the present invention, and the present invention It is not limited, and those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications and variations from these descriptions. Accordingly, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and should be defined, and all claims that are equivalent or equivalent to these claims, as well as the claims to be described later, belong to the scope of the spirit of the present invention.

100: 레이저 장치
101: 렌즈
102: 레이저 조향부
120: 레이저 가변부
125: 콜리메이션 렌즈
126: 마스크
130: 레이저 생성부
140: 레이저 제어부
200: 보호 케이스
400: 비전센서부100: laser device
101: lens
102: laser steering
120: laser variable portion
125: collimation lens
126: mask
130: laser generation unit
140: laser control
200: protective case
400: vision sensor unit

Claims (8)

레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부; 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부;를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서,
상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 상기 레이저 가변부에 전달하는 단계: 상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계; 상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계; 및 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 이미지를 전달받아 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하는 단계;를 포함하며,
상기 레이저 생성부, 상기 레이저 가변부, 상기 레이저 제어부, 상기 레이저 조향부 및 상기 비전센서부는, 상기 인쇄 전자 시스템의 케이스 내에 마련되고,
상기 인쇄 전자 시스템은, 상기 대상물에 고집적 초미세 회로를 형성함과 아울러 상기 고집적 초미세 회로의 프린팅 패턴을 리페어하거나 소결하되, 레이저 신터링을 이용하여 불량 배선의 부위에 전도성 프린팅 잉크를 소결시켜 통전 가능한 수리 배선을 형성하며,
상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계에서,
상기 레이저 제어부는, 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 가변부의 작동을 조절하되, 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하고,
상기 레이저 가변부는, 일정 간격으로 이격 배치되어 레이저의 펄스 폭의 조절하는 2개의 콜리메이션 렌즈, 레이저 빔의 진행 방향을 따라 상기 2개의 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크 및 상기 2개의 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하거나 상기 마스크와 상기 2개의 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하는 거리 가변부를 포함하여, 상기 대상물에 프린팅 된 고집적 초미세 회로 배선의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화 시키며, 상기 레이저 제어부에 의해서 구동된 상기 2개의 콜리메이션 렌즈를 통해 상기 마스크로 투사되는 레이저 빔의 지름을 변경시키고 상기 마스크를 통해서 진원성이 높은 레이저 빔을 절출시키는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
A laser generator that oscillates a laser beam; A laser variable unit for varying the intensity or wavelength of the laser beam oscillated by the laser generator; A laser control unit for controlling the intensity of the laser beam or the size of the wavelength varied in the laser variable unit; A laser steering unit for varying a traveling direction of the laser beam so that the laser beam from the laser variable unit is directed to the object; And a vision sensor unit for acquiring an image of the printing pattern including whether the printing pattern is defective, whether the pattern is disconnected, or the size of the pattern.
Obtaining an image of a printing pattern formed on an object by the vision sensor unit; Determining whether to repair or sinter the printing pattern by analyzing the image acquired by the vision sensor unit by the laser control unit; The laser control unit transmits whether the printing pattern is repaired or sintered to the laser variable unit: The laser variable unit determines the intensity, wavelength, or pulse width of the laser beam depending on whether the printing pattern is repaired or sintered. Adjusting; Receiving a repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit by the laser steering unit to vary a traveling direction of the laser beam; And receiving an image from the vision sensor unit by the laser control unit and adjusting a distance between the laser steering unit and the object.
The laser generation unit, the laser variable unit, the laser control unit, the laser steering unit and the vision sensor unit is provided in the case of the printed electronic system,
The printed electronic system forms a highly integrated ultra-fine circuit on the object and repairs or sinters the printing pattern of the highly integrated ultra-fine circuit, but uses laser sintering to sinter the conductive printing ink on the portion of the defective wiring to conduct electricity. Form possible repair wiring,
In the step of adjusting the intensity of the laser beam, the size of the wavelength or the width of the pulse according to whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable portion,
The laser control unit controls the operation of the laser variable unit according to a result detected by the vision sensor unit, and controls the intensity or wavelength of the laser beam according to the state of the printing pattern formed on the object,
The laser variable portion is disposed at regular intervals, two collimation lenses for adjusting the pulse width of the laser, a mask disposed in front of the two collimation lenses along the traveling direction of the laser beam, and the two collimation lenses According to the size, shape, defect or disconnection of the highly integrated ultra-fine circuit wiring printed on the object, including a distance variable portion for adjusting the distance between or adjusting the distance between the mask and the two collimation lenses Extends the laser beam oscillated by the laser generator or optimizes the intensity or wavelength of the laser beam, changes the diameter of the laser beam projected to the mask through the two collimation lenses driven by the laser controller, and changes the mask A method of operating a laser device for a printed electronic system, characterized in that a laser beam with high roundness is cut through.
제1항에 있어서,
상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계에서, 상기 비전센서부는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부에 전달하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
According to claim 1,
In the step of acquiring the image of the printing pattern formed on the object by the vision sensor unit, the vision sensor unit obtains an image of the repair or sintered state of the printing pattern and transmits it to the laser control unit. How the laser device works.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계에서,
상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너, 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함하며,
상기 레이저 제어부는 상기 미러 구동부의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
According to claim 1,
In the step of varying the traveling direction of the laser beam receiving the repair or sintering of the printing pattern from the laser control unit by the laser steering unit,
The laser steering unit includes a mirror or a galvano scanner that changes the traveling direction of the laser beam from the laser variable unit, a mirror driving unit for changing the angle or position of the mirror or the galvano scanner,
The laser control unit controls the operation state of the mirror driving unit to change the traveling direction of the laser beam.
제4항에 있어서,
상기 레이저 제어부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
The method of claim 4,
The laser control unit is a method of operating a laser device for a printed electronic system, characterized in that for adjusting the reflection angle of the mirror or the galvano scanner.
제4항에 있어서,
상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계에서, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리 또는 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
The method of claim 4,
In the step of determining whether to repair or sinter the printing pattern by analyzing the image acquired by the vision sensor unit by the laser control unit, the laser control unit and the laser steering unit according to the result detected by the vision sensor unit A method of operating a laser device for a printed electronic system, characterized by adjusting the distance or height between objects.
삭제delete 제1항, 제2항, 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레이저 가변부는 상기 대상물에 인쇄되는 프린팅 패턴의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.According to any one of claims 1, 2, 4 to 6,
The laser variable portion operating method of the laser device for a printed electronic system, characterized in that for adjusting the state of the laser beam oscillated by the laser generation unit according to the size, shape, defect or disconnection of the printing pattern printed on the object. .
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