KR102114030B1 - Paste Dispenser - Google Patents

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KR102114030B1
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Abstract

본 발명은, 기판 상에 페이스트를 도포하는 헤드 유닛의 노즐 내부에서 회전량에 따른 양의 페이스트를 토출시키는 스크루가 노즐 내 페이스트 토출 측 영역에서 감소된 양으로 페이스트를 이송할 수 있도록 구성(스크루 날개의 피치 감소 및/또는 스크루 축의 외주 커짐)되기 때문에 페이스트 토출량을 보다 정밀하게 제어할 수 있고, 서로 대면하고 서로간의 걸림작용으로 회전력을 전달하는 한 쌍의 전동부재 및 서로 짝을 이루어 자력으로 전동부재의 분리를 방지하는 한 쌍의 자성체로 구성된 조인트에 의하여 스크루의 축에 모터의 구동축이 연결되기 때문에 스크루와 모터를 용이하게 결합 및 분리할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공한다.The present invention is configured such that a screw for discharging an amount of paste in accordance with the amount of rotation within the nozzle of the head unit applying the paste on the substrate can transfer the paste in a reduced amount in the area of discharging the paste in the nozzle (screw wing Because the pitch decreases and / or the outer periphery of the screw shaft becomes larger), the amount of paste discharge can be more precisely controlled, and a pair of transmission members that face each other and transmit rotational force by engaging action with each other, and a transmission member by pairing each other with magnetic force Since the drive shaft of the motor is connected to the shaft of the screw by a joint composed of a pair of magnetic bodies that prevents separation of, a paste dispenser that can easily couple and separate the screw and the motor is provided.

Description

페이스트 디스펜서 {Paste Dispenser}Paste Dispenser

본 발명은 기판 상에 실링(sealing), 접착 등을 위하여 페이스트를 도포하는 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser for applying a paste for sealing, adhesion, etc. on a substrate.

근래에 들어, 디스플레이의 경량화, 평면화, 휴대화 등이 요구되면서 브라운관(Cathode Ray Tube；CRT)을 대신하여 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display；LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel；PDP), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display；FED), 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode；OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display；FPD)가 크게 주목을 받고 있다.In recent years, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and field emission have been replaced in place of cathode ray tubes (CRTs) as display weights have been reduced, flattened, and portable. Flat panel displays (FPDs) such as display (Field Emission Display; FED) and organic light emitting diode (OLED) have attracted great attention.

이와 같은 평판 디스플레이(FPD)들 중에서 액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 장치이다. 이러한 액정 디스플레이에 적용되는 액정패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Among such flat panel displays (FPDs), a liquid crystal display (LCD) supplies data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form to control a light transmittance of liquid crystal cells so that a desired image can be displayed. Device. Looking at the manufacturing method of the liquid crystal panel applied to such a liquid crystal display is as follows.

상부기판에 컬러필터와 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향하는 하부기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor；TFT)와 화소전극을 형성한다. 다음, 기판들에 각각 배향막을 도포하고, 이들 사이에 형성할 액정층 내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위하여 배향막을 러빙(rubbing)한다. 그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하고 액정이 외부로 새는 것을 방지하며 기판들 사이를 밀봉하기 위하여 어느 하나 또는 양쪽 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 후, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정으로 진행된다.A color filter and a common electrode are formed on the upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on the lower substrate facing the upper substrate. Next, an alignment film is applied to the substrates, and the alignment film is rubbed to provide a pre-tilt angle and an alignment direction to liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween. Then, to maintain a gap between the substrates, to prevent the liquid crystal from leaking to the outside, and to seal the substrates, paste the paste on any one or both substrates in a predetermined pattern to form a paste pattern, and then between the substrates The process proceeds to form a liquid crystal layer.

살펴본 액정패널 제조방법에서, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 공정에는 페이스트 디스펜서가 사용된다. 페이스트 디스펜서는, 베이스 프레임 상에 설치된 스테이지, 스테이지 상에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하는 헤드 유닛, 헤드 유닛을 지지하는 헤드 유닛 지지대를 포함한다. 헤드 유닛은 시린지(syringe)와 노즐을 포함하는데, 시린지에는 페이스트가 충전되고, 노즐은 시린지로부터의 페이스트를 토출한다. 이러한 페이스트 디스펜서는 기판과 노즐의 상대위치를 변화시키면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.In the above-described liquid crystal panel manufacturing method, a paste dispenser is used in a process of forming a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a stage installed on a base frame, a head unit for applying paste on a substrate loaded on the stage, and a head unit support for supporting the head unit. The head unit includes a syringe and a nozzle, wherein the syringe is filled with paste, and the nozzle discharges the paste from the syringe. The paste dispenser forms a paste pattern on the substrate while changing the relative positions of the substrate and the nozzle.

노즐을 통한 페이스트의 토출에는 공압이나 토출 스크루가 이용된다. 공압을 이용하는 방식은 시린지에 공압라인을 통하여 압축공기를 공급하도록 구성되어, 페이스트는 시린지에 공급되는 압축공기의 압력으로 토출된다. 토출 스크루를 이용하는 방식은 노즐의 내부에 배치된 토출 스크루를 모터로부터의 동력으로 회전시키면 토출 스크루의 회전량에 따른 양의 페이스트가 토출 스크루의 이송작용으로 토출되는 구성을 가진다.Pneumatic or discharge screws are used to discharge the paste through the nozzle. The method using pneumatics is configured to supply compressed air through a pneumatic line to the syringe, and the paste is discharged at the pressure of the compressed air supplied to the syringe. The method using the discharge screw has a configuration in which when the discharge screw disposed inside the nozzle is rotated with power from a motor, a positive amount of paste according to the rotation amount of the discharge screw is discharged by the transfer action of the discharge screw.

공압 이용방식의 경우에는 기체가 가지는 큰 압축성 등으로 인하여 정확하게 제어하기 어렵기 때문에, 페이스트의 토출 개시와 중단에 대한 보다 신속한 응답성을 기대할 수 없고, 토출되는 페이스트의 양을 보다 정밀하게 제어하기 곤란하다는 문제점이 있다. 토출 스크루 이용방식은 공압 이용방식에 비하여 구조적으로 단순하고 향상된 작동성을 기대할 수 있다. 그러나, 토출 스크루 이용방식의 경우에도 근래 들어 미세한 단면적을 가지는 페이스트 패턴에 대한 필요성이 차츰 증가됨에 따라 한층 향상된 정밀성을 보장하기 위한 노력의 일환으로서 페이스트 토출성능을 결정짓는 중요인자인 토출 스크루 등의 구조적 개선이 요구되는 실정이다. 또한, 토출 스크루 이용방식은 토출 스크루와 모터 간의 동력전달을 위한 연결구조를 단순화하기 위한 개선책 마련도 요구되고 있다.In the case of the pneumatic use method, it is difficult to accurately control due to the large compressibility of the gas and the like, so it is not possible to expect a quicker response to the start and stop of the discharge of the paste, and it is difficult to control the amount of the discharged paste more precisely. There is a problem. The discharge screw usage method can be expected to be structurally simple and improved operability compared to the pneumatic usage method. However, even in the case of the use of the discharge screw, as the need for a paste pattern having a fine cross-sectional area has gradually increased in recent years, as a part of efforts to ensure improved precision, the structure of the discharge screw, which is an important factor in determining the discharge performance of the paste, etc. Improvement is required. In addition, the method of using the discharge screw is also required to prepare an improvement method to simplify the connection structure for power transmission between the discharge screw and the motor.

한편, 공압 이용방식은 공압라인 상에 밸브(솔레노이드 밸브)가 설치되는바, 밸브의 개폐 작동과정에서 밸브의 서로 접촉하는 구성으로부터 마찰에 의하여 발생되는 이물질이 공압라인을 따라 시린지로 그대로 유입되어 페이스트에 이물질이 혼입됨으로써 페이스트 불량이 야기될 수 있다. 토출 스크루 이용방식도 노즐과 토출 스크루의 중심이 불일치하는 경우 토출 스크루가 노즐의 내벽과 마찰하면서 이물질이 발생되어 페이스트에 이물질이 혼입되는 문제점이 있다.On the other hand, in the pneumatic use method, since a valve (solenoid valve) is installed on the pneumatic line, foreign substances generated by friction from the components contacting each other during the opening and closing operation of the valve flow into the syringe along the pneumatic line and paste. Paste may be caused by foreign substances being mixed in. When using a discharge screw, there is also a problem in that when the center of the nozzle and the discharge screw are inconsistent, the discharge screw rubs against the inner wall of the nozzle to generate foreign substances and mix the foreign substances into the paste.

본 발명의 목적은 토출 스크루를 이용하여 페이스트를 보다 정밀하게 토출할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a paste dispenser capable of more accurately discharging a paste using a discharge screw.

본 발명의 다른 목적은 토출 스크루와 모터를 용이하게 연결할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a paste dispenser that can easily connect a discharge screw and a motor.

본 발명의 또 다른 목적은 토출 스크루와 노즐의 마찰에 따른 이물질의 발생을 최소화할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a paste dispenser capable of minimizing the generation of foreign substances due to friction between the discharge screw and the nozzle.

본 발명이 해결하려는 과제는 상기 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 아래 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the above problem, and other problems not mentioned will be clearly understood from the following description by those skilled in the art to which the present invention pertains.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 페이스트가 토출되도록 구성되는 노즐; 페이스트가 저장되며 하단부에 노즐이 연결되는 시린지; 노즐 및 시린지를 일체로 관통하고, 시린지의 상측으로 노출되는 상단을 갖는 스크루 축과, 노즐의 내부에서 스크루 축의 외주에 마련된 스크루 날개를 포함하는 토출 스크루; 및 스크루 축의 상단과 연결되며 스크루 축을 노즐 및 시린지의 내부에서 회전시키는 스크루 구동수단을 포함할 수 있고, 노즐 및 시린지는 일렬로 연결될 수 있고, 스크루 축은 노즐 및 시린지를 관통하여 연장될 수 있고, 스크루 날개를 구비하는 스크루 축의 제1 부는 노즐의 내부에 배치될 수 있고, 스크루 날개를 구비하지 않는 스크루 축의 제2 부는 시린지의 내부에 배치될 수 있으며, 스크루 구동수단에 의해 스크루 축이 회전될 때, 스크루 축의 제2 부는 시린지의 내부에서 회전되면서 시린지의 내부에 페이스트의 선회류를 형성할 수 있다.Paste dispenser according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the nozzle configured to discharge the paste; A syringe in which the paste is stored and the nozzle is connected to the lower end; A discharge screw including a screw shaft having an upper end exposed integrally through the nozzle and the syringe, and a screw blade provided on the outer circumference of the screw shaft inside the nozzle; And it is connected to the upper end of the screw shaft and may include screw driving means for rotating the screw shaft inside the nozzle and the syringe, the nozzle and the syringe may be connected in series, the screw shaft may extend through the nozzle and the syringe, and the screw The first part of the screw shaft with the wing can be disposed inside the nozzle, the second part of the screw shaft without the screw wing can be disposed inside the syringe, and when the screw shaft is rotated by the screw driving means, The second part of the screw shaft is rotated inside the syringe to form a swirling flow of paste inside the syringe.

스크루 날개는 노즐 내의 페이스트 유입 측 영역에 비하여 노즐 내의 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 감소된 피치를 가지도록 형성되어 페이스트 유입 측 영역에 비하여 페이스트 토출 측 영역에서 더 적은 양의 페이스트를 이송할 수 있다.The screw blade is formed to have a relatively reduced pitch in the paste discharge side region in the nozzle compared to the paste inflow side region in the nozzle, so that a smaller amount of paste can be transferred in the paste discharge side region than the paste inflow side region.

스크루 축은 페이스트 유입 측 영역에 비하여 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 더 커진 외주를 가지도록 형성될 수 있다.The screw shaft may be formed to have a relatively larger circumference in the paste discharge side region than the paste inflow side region.

스크루 축은 노즐 내의 페이스트 유입 측 영역에 비하여 노즐 내의 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 커진 외주를 가지도록 형성되어 페이스트 유입 측 영역에 비하여 페이스트 토출 측 영역에서 더 적은 양의 페이스트를 이송할 수 있다.The screw shaft is formed to have a relatively large outer periphery in the paste discharge side region in the nozzle compared to the paste inlet side region in the nozzle, so that a smaller amount of paste can be transferred in the paste discharge side region than the paste inlet side region.

스크루 구동수단은 구동축을 포함할 수 있고, 구동축과 스크루 축은 조인트에 의하여 분리 가능하도록 연결될 수 있다.The screw driving means may include a driving shaft, and the driving shaft and the screw shaft may be detachably connected by a joint.

조인트는, 구동축에 장착되고 구동축과 연결되는 부분에 대향하는 부분에 형성되는 수용홈을 갖는 제1자성체; 제1자성체의 수용홈에 일부가 돌출되도록 삽입되는 제1전동부재; 스크루 축에 장착되고 스크루 축에 연결되는 부분에 대향하는 부분에 형성되는 삽입홈을 갖는 제2자성체; 및 제2자성체의 삽입홈의 내부에 배치되는 제2전동부재를 포함할 수 있고, 제1자성체 및 제2자성체는 서로 짝을 이루도록 배치될 수 있고, 제1전동부재 및 제2전동부재는 서로 대면하도록 제1자성체 및 제2자성체에 각각 장착될 수 있고, 제1전동부재 및 제2전동부재는 서로 간의 걸림작용으로 회전력을 전달하는 걸림부를 각각 가질 수 있으며, 제1자성체 및 제2자성체가 자력에 의해 서로 결합될 때, 제1전동부재의 걸림부와 제2전동부재의 걸림부가 서로 걸리고, 제1전동부재가 제2자성체의 삽입홈의 내부에 삽입되어, 제1전동부재 및 제2전동부재가 분리되는 것이 방지될 수 있다.The joint includes: a first magnetic body having a receiving groove formed in a portion opposite to a portion mounted on the driving shaft and connected to the driving shaft; A first transmission member which is inserted so as to protrude partly into the receiving groove of the first magnetic body; A second magnetic body having an insertion groove formed in a portion opposite to a portion mounted to the screw shaft and connected to the screw shaft; And it may include a second transmission member disposed inside the insertion groove of the second magnetic body, the first magnetic body and the second magnetic body may be arranged to mate with each other, the first transmission member and the second transmission member to each other Each of the first magnetic body and the second magnetic body may be mounted to face each other, and the first and second magnetic members may each have locking portions that transmit rotational force through a locking action between the first magnetic body and the second magnetic body. When coupled to each other by magnetic force, the engaging portion of the first transmission member and the engaging portion of the second transmission member are engaged with each other, and the first transmission member is inserted into the insertion groove of the second magnetic body, so that the first transmission member and the second The transmission member can be prevented from being separated.

조인트는, 구동축에 장착된 제1자성체; 및 스크루 축에 장착되고 제1자성체와 대응하며 제1자성체가 회전 시 자력에 의하여 회전되는 제2자성체를 포함할 수 있다.The joint includes: a first magnetic body mounted on a drive shaft; And a second magnetic body mounted on the screw shaft, corresponding to the first magnetic body, and rotating by the magnetic force when the first magnetic body rotates.

본 발명은 노즐 내 페이스트 토출 측 영역에서 스크루 축이 상대적으로 커진 외주를 가지고 스크루 날개가 상대적으로 감소된 피치를 가지도록 형성되어 스크루 날개가 토출 측 영역에서 상대적으로 축소된 접촉면적으로 페이스트와 접촉함과 아울러 상대적으로 감소된 이송거리로 페이스트를 이송하기 때문에 토출 측 영역에서의 페이스트 이송량이 감소되고, 이에 따라 토출 측 영역에서의 페이스트 토출압력이 유입 측 영역에 비하여 높아짐으로써 페이스트를 보다 정밀하게 토출시킬 수 있으므로 미세한 단면적의 페이스트 패턴을 형성하는 데 유리하다는 이점이 있다.The present invention is formed so that the screw shaft has a relatively large outer periphery in the area of the discharge side of the paste in the nozzle and the screw blades have a relatively reduced pitch, so that the screw blades contact the paste with a relatively reduced contact area in the discharge side region. In addition, since the paste is transferred at a relatively reduced transport distance, the amount of paste transfer in the discharge-side region is reduced, and accordingly, the discharge pressure of the paste in the discharge-side region is higher than that of the inflow-side region, so that the paste can be discharged more precisely. It is advantageous in forming a paste pattern having a fine cross-sectional area.

또한, 스크루 축이 노즐로부터 시린지를 통과하도록 상측으로 연장되기 때문에 스크루 축의 중심이 노즐의 중심으로부터 다소 벗어나 불일치하더라도 페이스트의 토출 시 스크루 축이 페이스트의 선회류에 의하여 선회류 중심에 위치되면서 노즐의 중심과 일치되므로 별도의 센터링 작업 없이 토출 스크루와 노즐의 중심을 일치시켜서 토출 스크루가 노즐의 내벽과 마찰함에 따른 이물질 발생을 방지할 수 있고, 이에 따라 페이스트에 이물질이 혼입되는 것을 최소화할 수 있다.In addition, since the screw shaft extends upward so as to pass through the syringe from the nozzle, even if the center of the screw shaft is slightly inconsistently deviated from the center of the nozzle, the screw shaft is positioned at the center of the swirl flow by the swirl flow of the paste and the center of the nozzle Since it matches with the center of the discharge screw and the nozzle without a separate centering operation, it is possible to prevent foreign matters from being generated when the discharge screw rubs against the inner wall of the nozzle, thereby minimizing contamination of foreign matter into the paste.

또한, 서로 대면하고 서로간의 걸림작용으로 회전력을 전달하는 한 쌍의 전동부재 및 서로 짝을 이루어 자력으로 전동부재의 분리를 방지하는 한 쌍의 자성체로 구성된 조인트에 의하여 스크루 축에 구동축이 연결되기 때문에 스크루 축과 구동축을 용이하게 결합 및 분리할 수 있고, 이에 따라 토출 스크루 등의 유지, 보수 및 페이스트 충전을 용이하게 행할 수 있다.In addition, since the drive shaft is connected to the screw shaft by a joint consisting of a pair of transmission members that face each other and transmit rotational force through each other's locking action and a pair of magnetic bodies that are paired to prevent separation of the transmission member by magnetic force. The screw shaft and the drive shaft can be easily combined and separated, and accordingly, maintenance, repair, and paste filling of the discharge screw or the like can be easily performed.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 헤드 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 헤드 유닛의 시린지, 노즐, 토출 스크루, 구동모터 등을 나타내는 부분 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 노즐 측 부분을 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 조인트를 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing a paste dispenser according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the head unit shown in FIG. 1.
3 is a partial cross-sectional view showing a syringe, a nozzle, a discharge screw, and a driving motor of the head unit shown in FIG. 2.
4 is a cross-sectional view showing a nozzle side portion shown in FIG. 3.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the joint shown in FIG. 3.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For reference, the size of a component, the thickness of a line, and the like shown in the drawings referred to for explaining the present invention may be exaggerated for convenience of understanding. In addition, the terms used in the description of the present invention are defined in consideration of the functions in the present invention and may vary according to a user, an operator's intention, and customs. Accordingly, the definition of this term should be based on the contents of the present specification.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a paste dispenser according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 베이스 프레임(10), 베이스 프레임(10) 상에 설치되고 기판(도 2의 도면부호 S 참조)(이하, 도면부호의 병기 생략)이 로딩되는 스테이지(20)와, X축방향으로 스테이지(20)의 양쪽에 설치되며 Y축방향으로 연장된 한 쌍의 가이드레일(30), 한 쌍의 가이드레일(30)에 양단부가 지지되어 스테이지(20)의 상측에 설치되고 X축방향으로 연장된 헤드 유닛 지지프레임(40), 헤드 유닛 지지프레임(40)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치된 단수 또는 복수의 헤드 유닛(50), 스테이지(20)에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하기 위하여 각 구성의 동작을 컨트롤하는 제어유닛(도시되지 않음)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the paste dispenser according to the present invention is installed on a base frame 10, a base frame 10, and a substrate (see reference numeral S in FIG. 2) (hereinafter, the description of the reference numerals is omitted) Both stages are supported by the loaded stage 20 and a pair of guide rails 30 and a pair of guide rails 30 installed on both sides of the stage 20 in the X-axis direction and extending in the Y-axis direction. The head unit support frame 40 installed on the upper side of the stage 20 and extending in the X-axis direction, the number of stages or a plurality of head units 50 and stages movably installed in the X-axis direction on the head unit support frame 40 It includes a control unit (not shown) for controlling the operation of each configuration in order to apply the paste on the substrate loaded on (20).

베이스 프레임(10) 상에는 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축 테이블(21) 및 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축 테이블(22)이 설치되어, 스테이지(20)는 X축 테이블(21) 및 Y축 테이블(22)에 의하여 X, Y축방향으로 이동될 수 있다. 물론, 실시조건 등에 따라서는 X축 테이블(21)과 Y축 테이블(22) 중 어느 하나만을 적용하여 스테이지(20)가 X축 또는 Y축방향으로만 이동 가능하도록 구성할 수도 있다.On the base frame 10, an X-axis table 21 for moving the stage 20 in the X-axis direction and a Y-axis table 22 for moving the stage 20 in the Y-axis direction are provided, so that the stage 20 is The X-axis table 21 and the Y-axis table 22 may move in the X and Y-axis directions. Of course, the stage 20 may be configured to be movable only in the X-axis or Y-axis direction by applying only one of the X-axis table 21 and the Y-axis table 22 according to the embodiment conditions.

헤드 유닛 지지프레임(40)의 양단부에는 가이드레일(30)과 연결되는 가동자(41)가 설치되어, 헤드 유닛 지지프레임(40)은 가이드레일(30)과 가동자(41)의 상호작용에 의하여 가이드레일(30)의 길이방향인 Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따르면, 헤드 유닛(50)은 헤드 유닛 지지프레임(40)과 함께 Y축방향으로 이동될 수 있다.Movers 41 connected to the guide rails 30 are installed at both ends of the head unit support frame 40, so that the head unit support frames 40 interact with the guide rails 30 and the movers 41. By this, it can be moved in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the guide rail 30. According to this, the head unit 50 may be moved in the Y-axis direction together with the head unit support frame 40.

헤드 유닛 지지프레임(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드 유닛 가이드(42)가 설치되고, 헤드 유닛(50)에는 헤드 유닛 가이드(42)와 연결되는 헤드 유닛 이동장치(51)가 설치되어, 헤드 유닛(50)은 헤드 유닛 가이드(42)와 헤드 유닛 이동장치(51)의 상호작용에 의하여 헤드 유닛 가이드(42)의 길이방향인 X축방향으로 이동될 수 있다.The head unit support frame 40 is provided with a head unit guide 42 disposed in the X-axis direction, and a head unit moving device 51 connected to the head unit guide 42 is installed in the head unit 50, The head unit 50 may be moved in the X-axis direction which is the longitudinal direction of the head unit guide 42 by the interaction of the head unit guide 42 and the head unit moving device 51.

이상에 따르면, 헤드 유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY장비 좌표계에 따라 X축 및/또는 Y축방향으로 이동될 수 있다.According to the above, the head unit 50 may be moved in the X-axis and / or Y-axis direction according to the XY equipment coordinate system defined by the X and Y axes.

도 2는 헤드 유닛(50)의 전체적인 구성을 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing the overall configuration of the head unit 50.

도 2에 도시된 바와 같이, 헤드 유닛(50)은, 상하로 길게 형성되며 내부에 페이스트가 충전되는 시린지(52), 시린지(52)의 하단부에 시린지(52)와 공간적으로 통하도록 연결되어 시린지(52)로부터의 페이스트가 유입되고 유입된 페이스트가 토출되는 노즐(53), 노즐(53)에 인접하도록 배치되어 노즐(53)과 기판 사이의 간격을 측정하는 변위센서(54), 노즐(53)과 변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축 구동유닛(55), 노즐(53)과 변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축 구동유닛(56)을 포함한다.As shown in FIG. 2, the head unit 50 is formed to be elongated up and down, and the syringe 52 is filled with a paste therein, and is connected to the syringe 52 at the lower end of the syringe 52 to spatially communicate with the syringe. Displacement sensor 54 and nozzle 53 that measure the gap between the nozzle 53 and the substrate, which is disposed adjacent to the nozzle 53 and the nozzle 53 through which the paste from 52 is introduced and the introduced paste is discharged. ) And the Y-axis driving unit 55 for moving the displacement sensor 54 in the Y-axis direction, and the Z-axis driving unit 56 for moving the nozzle 53 and the displacement sensor 54 in the Z-axis direction.

변위센서(54)는, 레이저 발광부(541), 레이저 발광부(541)로부터 소정의 간격 이격되며 기판에서 반사되는 레이저 발광부(541)로부터의 레이저를 입력받는 수광부(542)를 포함한다. 변위센서(54)는 기판에서 반사된 후 수광부(542)에 결상되는 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력함으로써 기판과 노즐(53) 사이의 간격을 계측할 수 있게 한다.The displacement sensor 54 includes a laser light emitting unit 541 and a light receiving unit 542 that receives a laser from a laser light emitting unit 541 spaced apart at a predetermined distance from the laser light emitting unit 541 and reflected from the substrate. The displacement sensor 54 outputs an electrical signal according to the imaging position of the laser imaged on the light-receiving unit 542 after being reflected from the substrate to the control unit, so that the distance between the substrate and the nozzle 53 can be measured.

헤드 유닛(50)에는 기판 상에 형성된 페이스트 패턴(P)(이하, 도면부호의 병기 생략)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치된다. 단면적센서(57)는 기판에 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴을 스캔하는 방식으로 페이스트 패턴의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)에 의하여 측정된 페이스트 패턴의 단면적에 관한 데이터는 페이스트 패턴의 불량 여부를 검출하는 데 이용될 수 있다.The head unit 50 is provided with a cross-sectional area sensor 57 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern P (hereinafter, a description of a symbol is omitted) formed on the substrate. The cross-sectional area sensor 57 measures the cross-sectional area of the paste pattern by continuously emitting a laser to the substrate to scan the paste pattern. Data on the cross-sectional area of the paste pattern measured by the cross-sectional area sensor 57 may be used to detect whether the paste pattern is defective.

도 3은 시린지(52)와 노즐(53) 그리고 그 주변구성을 나타내는 부분단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 노즐(53) 측 부분을 나타내는 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view showing the syringe 52 and the nozzle 53 and their surroundings, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing the nozzle 53 side portion shown in FIG. 3.

도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 시린지(52)는, 상하의 양단이 개방된 구조를 가지는 시린지 바디(521), 시린지 바디(521)의 개방된 상단에 결합된 시린지 캡(522)을 포함한다. 노즐(53)은 페이스트가 토출되는 노즐 팁(53T) 및 노즐 팁(53T)을 유지하는 노즐 팁 홀더(53H)를 포함한다. 노즐 팁 홀더(53H)의 상단에는 시린지 바디(521)의 개방된 하단으로부터의 페이스트가 유입되는 유입구(531)가 마련되고, 노즐 팁 홀더(53H)의 하단에는 노즐 팁(53T)이 결합되는 토출구(532)가 마련되며, 노즐 팁 홀더(53H)의 유입구(531)와 토출구(532) 사이에는 유입구(531)와 토출구(532)를 연결하는 연결유로(533)가 마련된다.As shown in FIGS. 3 and 4, the syringe 52 includes a syringe body 521 having both upper and lower ends open, and a syringe cap 522 coupled to an open top of the syringe body 521. do. The nozzle 53 includes a nozzle tip 53T through which the paste is discharged and a nozzle tip holder 53H holding the nozzle tip 53T. The top of the nozzle tip holder 53H is provided with an inlet 531 through which paste from the open bottom of the syringe body 521 is introduced, and an outlet through which the nozzle tip 53T is coupled at the bottom of the nozzle tip holder 53H. (532) is provided, between the inlet 531 and the outlet 532 of the nozzle tip holder (53H) is provided with a connecting passage 533 connecting the inlet 531 and the outlet 532.

특히, 노즐 팁 홀더(53H)의 내부인 연결유로(533) 상에는 페이스트를 노즐 팁(53T)을 통하여 토출시키는 토출 스크루(58)가 구비되고, 토출 스크루(58)는 스크루 구동수단에 의하여 회전된다.In particular, a discharge screw 58 for discharging the paste through the nozzle tip 53T is provided on the connection passage 533 that is inside the nozzle tip holder 53H, and the discharge screw 58 is rotated by a screw driving means .

토출 스크루(58)는, 노즐 팁 홀더(53H)의 유입구(531) 측에서 토출구(532) 측 방향인 상하방향으로 배치되고 회전 가능하도록 설치된 스크루 축(581), 스크루 축(581)의 외주에 마련된 나선형 구조의 스크루 날개(582)를 포함한다. 이러한 토출 스크루(58)는, 노즐 팁 홀더(53H)의 내부에서 페이스트가 유입되는 유입 측 영역(A1)에 위치하는 제1스크루부(58-1), 제1스크루부(58-1)로부터 하측으로 연장되어 노즐 팁 홀더(53H)의 내부에서 페이스트가 토출되는 토출 측 영역(A2)에 위치하는 제2스크루부(58-2)로 구분된다. 스크루 날개(582)는 바깥지름이 일정하도록 형성되는 것이 바람직하다.The discharge screw 58 is disposed on the outer circumference of the screw shaft 581 and the screw shaft 581 provided so as to be rotatable and disposed in the vertical direction that is the direction of the discharge port 532 from the inlet 531 side of the nozzle tip holder 53H. It includes a screw wing 582 of a spiral structure provided. The discharge screw 58 is from the first screw portion 58-1 and the first screw portion 58-1 located in the inflow side region A1 where the paste flows in from inside the nozzle tip holder 53H. It is extended to the lower side and is divided into a second screw portion 58-2 located in the discharge-side area A2 where the paste is discharged from the inside of the nozzle tip holder 53H. The screw wing 582 is preferably formed so that the outer diameter is constant.

이와 같은 토출 스크루(58)는 토출 측 영역(A2)에서의 제2스크루부(58-2)에 의한 페이스트 이송량이 유입 측 영역(A1)에서의 제1스크루부(58-1)에 의한 페이스트 이송량에 비하여 감소되는 구성을 가진다. 즉, 토출 측 영역(A2)에서 상대적으로 더 적은 양의 페이스트를 이송하도록 구성되는 것이다. 이를 위하여, 스크루 축(581)은 제2스크루부(58-2)에서 상대적으로 커진 외주를 가지도록 형성되고, 스크루 날개(582)는 제2스크루부(58-2)에서 상대적으로 감소된 피치를 가지도록 형성된다.In the discharge screw 58, the amount of paste transferred by the second screw portion 58-2 in the discharge side region A2 is the paste by the first screw portion 58-1 in the inlet side region A1. It has a configuration that is reduced compared to the feed amount. That is, it is configured to transfer a relatively small amount of paste in the discharge side region A2. To this end, the screw shaft 581 is formed to have a relatively large outer periphery at the second screw portion 58-2, and the screw blade 582 is relatively reduced pitch at the second screw portion 58-2. It is formed to have.

스크루 축(581)이 제2스크루부(58-2)에서 상대적으로 커진 외주를 가지도록 하기 위하여, 스크루 축(581)의 외주를 제1스크루부(58-1)에서 제2스크루부(58-2) 측으로 갈수록 점차 커지는 형상으로 형성할 수 있다. 또는, 스크루 축(581)이 제1스크루부(58-1)와 제2스크루부(58-2)에서 서로 다른 일정한 외주를 가지도록 하되, 제2스크루부(58-2)의 외주가 더 크도록 형성할 수도 있다. 이렇게 스크루 축(581)을 형성하면, 스크루 날개(582)는 토출 측 영역(A2)에서 스크루 축(581)의 외주가 커진 만큼 페이스트와의 접촉면적이 축소된다. 이에 따라, 토출 측 영역(A2)에서 스크루 날개(582)의 작용으로 토출구(532) 측으로 이송되는 페이스트의 양을 상대적으로 감소시킬 수 있고, 결과적으로 노즐(53)을 통하여 페이스트를 정밀하게 토출시킬 수 있다. 즉, 노즐(53) 내 토출 스크루(58)에 의한 페이스트 이송량이 유입 측 영역(A1)에서는 많은 반면에 토출 측 영역(A2)에서는 상대적으로 적으므로 토출 측 영역(A2)에 가해지는 페이스트 토출압력이 고압으로 되어 페이스트의 정밀한 토출이 가능한 것이다.In order for the screw shaft 581 to have a relatively large outer periphery at the second screw portion 58-2, the outer periphery of the screw shaft 581 is first to second screw portions 58-1 to 58 -2) It can be formed into a shape that gradually increases toward the side. Alternatively, the screw shaft 581 may have a different outer periphery from the first screw portion 58-1 and the second screw portion 58-2, but the outer periphery of the second screw portion 58-2 is further It can also be formed to be large. When the screw shaft 581 is formed in this way, the screw blade 582 reduces the contact area with the paste as the outer periphery of the screw shaft 581 increases in the discharge-side region A2. Accordingly, the amount of paste transferred to the discharge port 532 side by the action of the screw blade 582 in the discharge side region A2 can be relatively reduced, and as a result, the paste can be accurately discharged through the nozzle 53. Can be. That is, the amount of paste transferred by the discharge screw 58 in the nozzle 53 is large in the inflow-side region A1, but is relatively small in the discharge-side region A2, so that the paste discharge pressure applied to the discharge-side region A2 This high pressure allows precise discharge of the paste.

스크루 날개(582)가 제2스크루부(58-2)에서 상대적으로 감소된 피치를 가지도록 하기 위하여, 스크루 날개(582)가 제1스크루부(58-1)와 제2스크루부(58-2)에서 서로 다른 일정한 피치를 가지도록 하되, 제2스크루부(58-2)의 피치가 더 감소되도록 형성할 수 있다. 또는, 스크루 날개(582)의 피치를 제1스크루부(58-1)에서 제2스크루부(58-2) 측으로 갈수록 점차 감소되는 형상으로 형성할 수도 있다. 이렇게 스크루 날개(582)를 형성하면, 스크루 날개(582)는 토출 측 영역(A2)에서 피치가 감소된 만큼 회전량에 따른 이송거리가 감소된다. 이에 따라, 토출 측 영역(A2)에서 스크루 날개(582)의 작용에 의하여 토출구(532) 측으로 이송되는 페이스트의 양을 상대적으로 감소시킬 수 있고, 결과적으로 토출 측 영역(A2)에 가해지는 페이스트 토출압력이 고압으로 되어 노즐(53)을 통하여 페이스트를 정밀하게 토출시킬 수 있다.In order for the screw blade 582 to have a relatively reduced pitch at the second screw portion 58-2, the screw blade 582 has a first screw portion 58-1 and a second screw portion 58-. 2) to have a different constant pitch, it may be formed so that the pitch of the second screw portion 58-2 is further reduced. Alternatively, the pitch of the screw blade 582 may be formed in a shape that gradually decreases from the first screw portion 58-1 toward the second screw portion 58-2. When the screw blade 582 is formed in this way, the screw blade 582 reduces the feed distance according to the rotation amount as the pitch is reduced in the discharge-side area A2. Accordingly, the amount of paste transferred to the discharge port 532 side by the action of the screw blade 582 in the discharge side area A2 can be relatively reduced, and consequently, the discharge of the paste applied to the discharge side area A2 As the pressure becomes high pressure, the paste can be accurately discharged through the nozzle 53.

도 3, 도 4를 참조하면, 토출 스크루(58)의 스크루 축(581)은 상측으로 연장되어 시린지 바디(521)의 내부를 통과하고 시린지 캡(522)을 관통하여 상단이 시린지(52)의 상측으로 노출된다. 상측으로 연장된 스크루 축(581)의 연장 부분은 일체형일 수도 있고 별도의 축을 결합하는 식으로 마련할 수도 있다. 스크루 축(581)의 연장 부분은 베어링 등 축 지지수단에 의하여 회전 가능하게 지지될 수 있다. 스크루 구동수단은 시린지(52)의 상측으로 노출된 스크루 축(581)의 상단부에 연결되는 구동모터(M)로 구성될 수 있다. 구동모터(M)로는 토출 스크루(58)의 회전량을 정밀하게 제어할 수 있다면 어떠한 타입이라도 적용될 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, the screw shaft 581 of the discharge screw 58 extends upwardly to pass through the interior of the syringe body 521 and penetrate the syringe cap 522 so that the upper end of the syringe 52 It is exposed upward. The extending portion of the screw shaft 581 extending upward may be integral or may be provided in a manner of combining separate shafts. The extended portion of the screw shaft 581 may be rotatably supported by a shaft support means such as a bearing. The screw driving means may be composed of a driving motor (M) connected to the upper end of the screw shaft 581 exposed to the upper side of the syringe (52). As the driving motor M, any type can be applied as long as the rotation amount of the discharge screw 58 can be precisely controlled.

구동모터(M)를 작동시키면 구동모터(M)의 회전력이 스크루 축(581)에 전달되어 토출 스크루(58)가 회전된다. 이 때, 페이스트는 토출 스크루(58)의 회전력, 페이스트의 점성 등에 의하여 시린지(52) 및 노즐 팁 홀더(53H)의 내부에서 선회되고, 토출 스크루(58)는 스크루 축(581)의 중심이 노즐 팁 홀더(53H)의 중심으로부터 다소 벗어나 불일치하더라도 페이스트의 선회류에 의하여 선회류의 중심에 위치되면서 노즐 팁 홀더(53H)의 중심과 일치된다. 즉, 토출 스크루(58)와 노즐 팁 홀더(53H)의 중심이 다소 불일치하더라도 별도의 센터링 작업 없이 페이스트 토출 시 토출 스크루(58)와 노즐 팁 홀더(53H)의 중심을 일치시킬 수 있는 것이다. 이러한 센터링구조에 의하면, 회전되는 토출 스크루(58)가 노즐 팁 홀더(53H)와의 중심이 다소 불일치함에 따라 노즐 팁 홀더(53H)의 내벽과 마찰하면서 이물질이 발생되어 페이스트에 이물질이 혼입되는 것을 최소화할 수 있다.When the driving motor M is operated, the rotational force of the driving motor M is transmitted to the screw shaft 581 so that the discharge screw 58 is rotated. At this time, the paste is rotated inside the syringe 52 and the nozzle tip holder 53H due to the rotational force of the discharge screw 58, the viscosity of the paste, etc., and the discharge screw 58 has a center of the screw shaft 581 at the nozzle. Even if there is a slight discrepancy from the center of the tip holder 53H, it is positioned at the center of the swirl flow by the swirl flow of the paste and coincides with the center of the nozzle tip holder 53H. That is, even if the centers of the discharge screws 58 and the nozzle tip holders 53H are somewhat inconsistent, the centers of the discharge screws 58 and the nozzle tip holders 53H can be matched when the paste is discharged without a separate centering operation. According to this centering structure, as the rotating discharge screw 58 is somewhat inconsistent with the center of the nozzle tip holder 53H, foreign matter is generated while rubbing with the inner wall of the nozzle tip holder 53H, thereby minimizing contamination of foreign matter into the paste. can do.

참고로, 토출 스크루(58)의 센터링이 용이하게 이루어지도록 하기 위하여 스크루 축(581)의 연장 부분을 보다 길게 할 수도 있고, 아울러 스크루 축(581)의 연장 부분을 얇게 형성하거나 함으로써 소정의 유연성을 가지도록 형성할 수도 있다.For reference, in order to facilitate the centering of the discharge screw 58, the extension portion of the screw shaft 581 can be made longer, and a predetermined flexibility can be obtained by forming the extension portion of the screw shaft 581 thinly. It can also be formed to have.

도 3에 도시된 바와 같이, 구동모터(M)의 구동축(모터 축)은 스크루 축(581)에 조인트(59)에 의하여 분리 가능하게 연결된다. 이는 스크루 축(581)을 용이하게 유지 및 보수하고, 시린지 바디(521)의 개방된 상측을 통하여 페이스트를 용이하게 충전하기 위한 구조이다.As shown in FIG. 3, the drive shaft (motor shaft) of the drive motor M is detachably connected to the screw shaft 581 by a joint 59. This is a structure for easily maintaining and repairing the screw shaft 581 and easily filling the paste through the open upper side of the syringe body 521.

도 5는 조인트(59)를 나타내는 단면도로, 도 5에 도시된 바와 같이, 조인트(59)는 제1전동부재(591) 및 제2전동부재(592), 제1자성체(593) 및 제2자성체(594)를 포함한다.5 is a cross-sectional view showing a joint 59, as shown in FIG. 5, the joint 59 is the first transmission member 591 and the second transmission member 592, the first magnetic body 593 and the second It includes a magnetic body (594).

제1전동부재(591)는 구동모터(M)의 구동축 끝 부분에 장착되고, 제2전동부재(592)는 토출 스크루(58)의 스크루 축(581) 끝 부분에 제1전동부재(591)와 서로 대면하도록 장착된다. 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)의 서로 대면하는 부분이 마찰함으로써 구동모터(M)로부터의 회전력을 토출 스크루(58) 측에 전달할 수도 있다. 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592) 간에 회전력을 보다 확실히 전달하기 위하여, 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)는 회전 시 서로 걸림되는 걸림부를 각각 가진다. 도 5에는 제1전동부재(591)에 걸림부로서 다각형 구조의 홈부가 형성되고 제2전동부재(592)에 걸림부로서 제1전동부재(591)의 홈부에 삽입되는 돌기부가 형성된 것으로 도시되어 있으나, 걸림부인 홈부와 돌기부의 위치는 서로 바뀔 수도 있고, 걸림부의 형상은 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592) 간에 회전력을 걸림작용으로 전달할 수 있는 범위 이내에서 다양하게 변경될 수 있다.The first transmission member 591 is mounted at the end of the drive shaft of the driving motor M, and the second transmission member 592 is the first transmission member 591 at the end of the screw shaft 581 of the discharge screw 58 And are mounted to face each other. It is also possible to transfer the rotational force from the drive motor M to the discharge screw 58 side by friction between the first power member 591 and the second power member 592 facing each other. In order to more reliably transmit the rotational force between the first transmission member 591 and the second transmission member 592, the first transmission member 591 and the second transmission member 592 each have locking portions that engage with each other during rotation. FIG. 5 shows that a groove portion having a polygonal structure is formed as a locking portion in the first transmission member 591 and a protrusion portion inserted into the groove portion of the first transmission member 591 as a locking portion in the second transmission member 592 is formed. However, the positions of the groove portion and the projection portion which are the locking portions may be changed from each other, and the shape of the locking portion may be variously changed within a range capable of transmitting rotational force between the first transmission member 591 and the second transmission member 592 by a locking action. Can be.

제1자성체(593)와 제2자성체(594)는 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)에 각각 장착되며 서로 짝을 이루어서 자력에 의하여 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)의 분리를 방지한다. 제1자성체(593)는 구동모터(M)의 구동축과 제1전동부재(591) 사이에, 제2자성체(594)는 스크루 축(581)과 제2전동부재(592) 사이에 각각 개재될 수 있다. 제1자성체(593), 제2자성체(594)는 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)가 대면 시 서로 근접하거나 접촉할 수 있는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 제1자성체(593)와 제2자성체(594)는 이렇게 제1전동부재(591)와 제2전동부재(592)의 분리를 방지하면서 자력에 의하여 회전력을 전달한다.The first magnetic body 593 and the second magnetic body 594 are respectively mounted on the first electric member 591 and the second electric member 592, and are paired with each other so that the first electric member 591 and the second magnetic member are magnetically coupled. The separation of the transmission member 592 is prevented. The first magnetic body 593 is interposed between the drive shaft of the drive motor M and the first electric member 591, and the second magnetic body 594 is interposed between the screw shaft 581 and the second electric member 592, respectively. Can be. The first magnetic body 593 and the second magnetic body 594 are preferably formed in a shape in which the first transmission member 591 and the second transmission member 592 can be in close contact with each other when they face each other. The first magnetic body 593 and the second magnetic body 594 transmit the rotational force by magnetic force while preventing separation of the first transmission member 591 and the second transmission member 592.

제1자성체(593)와 제2자성체(594) 중 어느 하나는 자석(영구자석, 또는 전원이 공급되면 자기화되는 전자석)이고 다른 하나는 이에 부착되는 자석(영구자석 또는 전자석)이나 금속부재일 수 있다.One of the first magnetic body 593 and the second magnetic body 594 is a magnet (permanent magnet, or an electromagnet that is magnetized when power is supplied) and the other is a magnet (permanent magnet or electromagnet) or a metal member attached thereto. Can be.

실시조건 등에 따라서는, 조인트(59)는 제1전동부재(591), 제2전동부재(592) 없이 제1자성체(593)와 제2자성체(594)로 구성되어 제1자성체(593)가 회전 시 자력에 의하여 제2자성체(594)가 함께 회전되도록 할 수도 있다.Depending on the operating conditions, the joint 59 is composed of a first magnetic material 593 and a second magnetic material 594 without a first transmission member 591 and a second transmission member 592, the first magnetic material 593 When rotating, the second magnetic body 594 may be rotated together by a magnetic force.

살펴본 바와 같은 본 발명은 제2스크루부(58-2)에서 스크루 축(581)이 상대적으로 커진 외주를 가지고 스크루 날개(582)가 상대적으로 감소된 피치를 가짐으로써 토출 측 영역(A2)에서 스크루 날개(582)의 페이스트와의 접촉면적이 축소되고 회전량에 따른 페이스트 이송거리가 감소된 점 때문에, 유입 측 영역(A1)에서는 상대적으로 많은 양의 페이스트가 이송되어 노즐 팁 홀더(53H)의 유입구(531)를 통해서는 페이스트를 신속히 유입시킬 수 있고, 반면 토출 측 영역(A2)에서는 상대적으로 적은 양의 페이스트가 이송됨에 따라 토출 측 영역(A2)에 가해지는 페이스트 토출압력이 고압으로 됨으로써 노즐 팁(53T)을 통해서는 페이스트를 정밀하게 토출시킬 수 있다. 그러므로, 본 발명은 미세한 단면적에 대한 페이스트 패턴에 대해서도 정밀하게 형성할 수 있다.The present invention as described above, the screw shaft 581 in the second screw portion 58-2 has a relatively large outer periphery and the screw blade 582 has a relatively reduced pitch, thereby discharging the screw in the discharge side region A2. Due to the fact that the contact area of the wing 582 with the paste is reduced and the paste transfer distance according to the amount of rotation is reduced, a relatively large amount of paste is transferred from the inlet side area A1 to the inlet of the nozzle tip holder 53H. The paste can be quickly introduced through 531, while the nozzle discharge tip becomes high in the discharge pressure applied to the discharge side region A2 as a relatively small amount of paste is transferred in the discharge side region A2. The paste can be accurately discharged through (53T). Therefore, the present invention can be precisely formed even for a paste pattern with a fine cross-sectional area.

페이스트 토출 중단 시에는 토출 스크루(58)를 페이스트 토출 시와 반대방향으로 일정 시간 회전시켜서 토출되는 페이스트를 노즐(53)의 내부로 끌어들이면 기판 상에 페이스트가 부적절하게 추가 토출되는 현상을 방지할 수 있다.When the discharge of the paste is stopped, the discharge screw 58 is rotated in the opposite direction to that of the discharge of the paste for a certain period of time to draw the discharged paste into the inside of the nozzle 53, thereby preventing the paste from being inappropriately discharged on the substrate. have.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.As described above, the present invention has been described, but the present invention is not limited by the embodiments disclosed in the specification and the accompanying drawings, and may be variously modified by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.

20 : 스테이지 50 : 헤드 유닛
52 : 시린지 53 : 노즐
53H : 노즐 팁 홀더 53T : 노즐 팁
58 : 토출 스크루 581 : 스크루 축
582 : 스크루 날개 59 : 조인트
591 : 제1전동부재 592 : 제2전동부재
593 : 제1자성체 594 : 제2자성체
A1 : 유입 측 영역 A2 : 토출 측 영역
M : 구동모터20: stage 50: head unit
52: syringe 53: nozzle
53H: Nozzle tip holder 53T: Nozzle tip
58: discharge screw 581: screw shaft
582: screw wing 59: joint
591: first transmission member 592: second transmission member
593: first magnetic material 594: second magnetic material
A1: Inlet side area A2: Discharge side area
M: Driving motor

Claims (7)

페이스트가 토출되도록 구성되는 노즐;
페이스트가 저장되며 하단부에 노즐이 연결되는 시린지;
상기 노즐 및 상기 시린지를 일체로 관통하고, 상기 시린지의 상측으로 노출되는 상단을 갖는 스크루 축과, 상기 노즐의 내부에서 상기 스크루 축의 외주에 마련된 스크루 날개를 포함하는 토출 스크루; 및
상기 스크루 축의 상단과 연결되며 상기 스크루 축을 상기 노즐 및 상기 시린지의 내부에서 회전시키는 스크루 구동수단을 포함하고,
상기 노즐 및 상기 시린지는 일렬로 연결되고,
상기 스크루 축은 상기 노즐 및 상기 시린지를 관통하여 연장되고,
상기 스크루 날개를 구비하는 상기 스크루 축의 제1 부는 상기 노즐의 내부에 배치되고, 상기 스크루 날개를 구비하지 않는 상기 스크루 축의 제2 부는 상기 시린지의 내부에 배치되며,
상기 스크루 구동수단에 의해 상기 스크루 축이 회전될 때, 상기 스크루 축의 제2 부는 상기 시린지의 내부에서 회전되면서 상기 시린지의 내부에 페이스트의 선회류를 형성하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.A nozzle configured to discharge the paste;
A syringe in which the paste is stored and the nozzle is connected to the lower end;
A discharge screw including a screw shaft having an upper end exposed through the nozzle and the syringe integrally and exposed to an upper side of the syringe, and a screw blade provided on an outer circumference of the screw shaft inside the nozzle; And
It is connected to the upper end of the screw shaft and includes a screw driving means for rotating the screw shaft inside the nozzle and the syringe,
The nozzle and the syringe are connected in series,
The screw shaft extends through the nozzle and the syringe,
The first portion of the screw shaft having the screw blade is disposed inside the nozzle, and the second portion of the screw shaft without the screw blade is disposed inside the syringe,
When the screw shaft is rotated by the screw driving means, the second dispenser of the screw shaft is rotated inside the syringe to form a swirling flow of paste inside the syringe. 청구항 1에 있어서,
상기 스크루 날개는 상기 노즐 내의 페이스트 유입 측 영역에 비하여 상기 노즐 내의 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 감소된 피치를 가지도록 형성되어 상기 페이스트 유입 측 영역에 비하여 상기 페이스트 토출 측 영역에서 더 적은 양의 페이스트를 이송하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1,
The screw blade is formed to have a relatively reduced pitch in the paste discharge side region in the nozzle compared to the paste inflow side region in the nozzle, so that a smaller amount of paste in the paste discharge side region is compared to the paste inflow side region. Paste dispenser to transfer. 청구항 2에 있어서,
상기 스크루 축은 상기 페이스트 유입 측 영역에 비하여 상기 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 더 커진 외주를 가지도록 형성된 페이스트 디스펜서.The method according to claim 2,
The screw shaft is a paste dispenser formed to have a relatively larger circumference in the paste discharge side region than the paste inflow side region. 청구항 1에 있어서,
상기 스크루 축은 상기 노즐 내의 페이스트 유입 측 영역에 비하여 상기 노즐 내의 페이스트 토출 측 영역에서 상대적으로 커진 외주를 가지도록 형성되어 상기 페이스트 유입 측 영역에 비하여 상기 페이스트 토출 측 영역에서 더 적은 양의 페이스트를 이송하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1,
The screw shaft is formed to have a relatively large outer periphery in the paste discharging side region in the nozzle compared to the paste inlet side region in the nozzle to transfer a smaller amount of paste in the paste discharging side region compared to the paste inlet side region. Paste dispenser. 청구항 1에 있어서,
상기 스크루 구동수단은 구동축을 포함하고,
상기 구동축과 상기 스크루 축은 조인트에 의하여 분리 가능하도록 연결된 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1,
The screw driving means includes a drive shaft,
The drive shaft and the screw shaft are paste dispensers connected to be separated by a joint. 청구항 5에 있어서,
상기 조인트는,
상기 구동축에 장착되고, 상기 구동축과 연결되는 부분에 대향하는 부분에 형성되는 수용홈을 갖는 제1자성체;
상기 제1자성체의 상기 수용홈에 일부가 돌출되도록 삽입되는 제1전동부재;
상기 스크루 축에 장착되고, 상기 스크루 축에 연결되는 부분에 대향하는 부분에 형성되는 삽입홈을 갖는 제2자성체; 및
상기 제2자성체의 상기 삽입홈의 내부에 배치되는 제2전동부재를 포함하고,
상기 제1자성체 및 상기 제2자성체는 서로 짝을 이루도록 배치되고,
상기 제1전동부재 및 상기 제2전동부재는 서로 대면하도록 상기 제1자성체 및 상기 제2자성체에 각각 장착되고,
상기 제1전동부재 및 상기 제2전동부재는 서로 간의 걸림작용으로 회전력을 전달하는 걸림부를 각각 가지며,
상기 제1자성체 및 상기 제2자성체가 자력에 의해 서로 결합될 때, 상기 제1전동부재의 상기 걸림부와 상기 제2전동부재의 상기 걸림부가 서로 걸리고, 상기 제1전동부재가 상기 제2자성체의 상기 삽입홈의 내부에 삽입되어, 상기 제1전동부재 및 상기 제2전동부재가 분리되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 5,
The joint,
A first magnetic body mounted on the drive shaft and having a receiving groove formed in a portion opposite to a portion connected to the drive shaft;
A first transmission member which is inserted so as to protrude partly from the receiving groove of the first magnetic body;
A second magnetic body mounted on the screw shaft and having an insertion groove formed in a portion opposite to a portion connected to the screw shaft; And
And a second transmission member disposed inside the insertion groove of the second magnetic body,
The first magnetic body and the second magnetic body are arranged to mate with each other,
The first transmission member and the second transmission member are respectively mounted on the first magnetic body and the second magnetic body so as to face each other,
The first transmission member and the second transmission member each have a locking portion for transmitting rotational force by a locking action between each other,
When the first magnetic body and the second magnetic body are coupled to each other by magnetic force, the engaging portion of the first moving member and the engaging portion of the second moving member are engaged with each other, and the first moving member is the second magnetic body It is inserted into the insertion groove of the paste dispenser, characterized in that the first transmission member and the second transmission member is prevented from being separated. 청구항 5에 있어서,
상기 조인트는,
상기 구동축에 장착된 제1자성체; 및
상기 스크루 축에 장착되고 상기 제1자성체와 대응하며 상기 제1자성체가 회전 시 자력에 의하여 회전되는 제2자성체를 포함하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 5,
The joint,
A first magnetic body mounted on the drive shaft; And
A paste dispenser comprising a second magnetic body mounted on the screw shaft, corresponding to the first magnetic body, and rotating with the magnetic force when the first magnetic body rotates.
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