KR102096943B1 - apparatus for treating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 프리롤러를 포함하여 기판을 이송하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와; 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 상에 놓여지는 지지 유닛과; 상기 이송 샤프트와 상기 지지 유닛 사이에 배치되는 베어링 부재와; 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 사이에서 상기 지지 유닛에 설치되어 기판의 하면과 접촉되는 프리롤러를 포함한다.The present invention relates to an apparatus for processing a substrate, and to a substrate processing apparatus for transferring a substrate including a pre-roller.
A substrate processing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of rotatable transport shafts arranged side by side along a first direction in which a substrate is transferred, and provided with a plurality of rollers contacting a lower surface of the substrate; A support unit placed on two adjacent transfer shafts; A bearing member disposed between the transfer shaft and the support unit; And a pre-roller installed in the support unit between two adjacent transfer shafts and contacting a lower surface of the substrate.

Description

기판 처리 장치{apparatus for treating substrate}Apparatus for treating substrate

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프리롤러를 포함하여 기판을 이송하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for processing a substrate, and more particularly, to a substrate processing apparatus for transferring a substrate including a pre-roller.

표시 장치 또는 반도체 장치의 제조에 이용되는 기판 상에 패턴을 형성하기 위해, 기판 상에 증착, 베이킹, 세정 및 건조 등의 공정을 수행한다. 상기 기판 상에 증착, 베이킹, 세정 및 건조 등의 공정은 챔버 내에서 상기 기판을 이송하면서 수행된다. In order to form a pattern on a substrate used for manufacturing a display device or a semiconductor device, processes such as vapor deposition, baking, cleaning and drying are performed on the substrate. Processes such as deposition, baking, cleaning and drying on the substrate are performed while transferring the substrate in a chamber.

이러한 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 상기 기판의 하면에 접촉하여 회전함으로써 상기 기판을 이송하는 롤러들, 및 상기 롤러들이 설치되며 회전하는 샤프트를 포함한다. 상기 롤러들 및 상기 샤프트는 상기 기판의 전체 면적에 걸쳐 배치되고, 상기 기판의 면적이 커질수록 상기 샤프트의 길이가 증가하고, 상기 샤프트 및 롤러들을 결합하는 결합 부재의 개수가 증가한다. The substrate transport apparatus for transporting the substrate includes rollers for transporting the substrate by rotating in contact with a lower surface of the substrate, and a shaft in which the rollers are installed and rotate. The rollers and the shaft are disposed over the entire area of the substrate, and as the area of the substrate increases, the length of the shaft increases, and the number of coupling members joining the shaft and rollers increases.

특히, 각각의 공정이 수행되는 챔버와 챔버 사이에서는 기판이 그 사이를 통과할 때 추가적인 기판 이송 수단이 구비되지 않거나, 별도의 동력 전달원이 필요 없는 프리롤러 등이 설치되는 경우가 있다. In particular, there is a case where a substrate is passed between the chamber in which each process is performed and an additional substrate transfer means is not provided or a pre-roller or the like that does not require a separate power transmission source is installed.

프리롤러가 배치되는 경우 챔버 내의 모든 이송 샤프트 설치 후 별도의 프리롤러 브라켓을 설치한 다음, 그 위에 기판을 올려 놓은 후 작업자에 의해 수작업으로 세팅하게 된다. 이러한 작업은 공간 부족으로 프리롤러를 설치하기 어려울 뿐만 아니라 정확한 세팅이 이루어지지 않는다. 더불어, 프리롤러가 제대로 세팅되지 않을 경우 이송되는 기판의 깨짐이 발생할 가능성도 있는 문제가 있었다.When the pre-roller is arranged, after installing all the transfer shafts in the chamber, a separate pre-roller bracket is installed, and then a substrate is placed on it to be manually set by the operator. This is not only difficult to install the pre-roller due to lack of space, but also does not make accurate settings. In addition, there is a problem that the substrate may be broken if the pre-roller is not set properly.

본 발명은 어느 작업자가 프리롤러를 설치하여도 동일하게 세팅되도록 설치표준화를 제공하여 설치 편의성을 증대시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of increasing installation convenience by providing installation standardization so that any operator installs a pre-roller and is set identically.

또한, 본 발명은 프리롤러 설치의 정확성을 확보하고 기판의 깨질 위험성을 최소화하여 이송되는 기판의 안전성을 담보할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of securing the accuracy of the pre-roller installation and minimizing the risk of substrate breakage, thereby ensuring the safety of the transferred substrate.

상기와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와; 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 상에 놓여지는 지지 유닛과; 상기 이송 샤프트와 상기 지지 유닛 사이에 배치되는 베어링 부재와; 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 사이에서 상기 지지 유닛에 설치되어 기판의 하면과 접촉되는 프리롤러를 포함한다.A substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention for realizing the above technical problem is arranged in parallel along a first direction in which the substrate is transferred, and a plurality of rotatable rollers installed in contact with a lower surface of the substrate are installed A transfer shaft of; A support unit placed on two adjacent transfer shafts; A bearing member disposed between the transfer shaft and the support unit; And a pre-roller installed in the support unit between two adjacent transfer shafts and contacting a lower surface of the substrate.

일 예에 의하면, 상기 지지 유닛은, 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트의 사이에 배치되는 지지바와, 상기 지지바의 일단에서 상기 이송 샤프트 상에 위치되는 상부 제1 걸림대와, 상기 지지바의 타단에서 상기 이송 샤프트 상에 위치되는 상부 제2 걸림대를 포함하되, 상기 베어링 부재와 상기 상부 제1 걸림대 사이에 위치되는 제1 베어링과, 상기 베어링 부재와 상기 상부 제2 걸림대 사이에 위치되는 제2 베어링을 포함한다. According to an example, the support unit includes a support bar disposed between two adjacent transfer shafts, an upper first stopper positioned on the transfer shaft at one end of the support bar, and at the other end of the support bar. An upper second stopper positioned on the transfer shaft, the first bearing positioned between the bearing member and the upper first stopper, and the second bearing located between the bearing member and the upper second stopper. Includes.

일 예에 의하면, 상기 지지 유닛은, 상기 상부 제1 걸림대와 대향되어, 상기 제1 베어링의 외주연을 하부에서 감싸는 하부 제1 걸림대와, 상기 상부 제2 걸림대와 대향되어, 상기 제2 베어링의 외주연을 하부에서 감싸는 하부 제2 걸림대를 더 포함한다.According to an example, the support unit is opposite to the upper first locking block, facing the lower first locking block surrounding the outer periphery of the first bearing, and the upper second locking block, and facing the upper second locking block of the second bearing It further includes a lower second hook that wraps the outer periphery from the bottom.

일 예에 의하면, 상기 지지 유닛의 상단은 상기 이송 샤프트에 설치된 상기 롤러의 상단보다 낮은 높이에 위치된다.According to an example, the upper end of the support unit is located at a lower height than the upper end of the roller installed on the transport shaft.

일 예에 의하면, 상기 이송 샤프트에 설치된 상기 롤러와 상기 프리롤러의 상단은 동일한 높이이다.According to an example, the upper end of the roller and the pre-roller installed on the transport shaft are the same height.

일 예에 의하면, 상기 프리롤러는, 상기 지지 유닛에 제1 방향으로 다수가 설치된다.According to an example, the pre-roller is provided with a plurality in the first direction in the support unit.

일 예에 의하면, 상기 지지 유닛은, 상부에서 바라볼 때 상기 제1 방향과 수직한 제 2방향으로 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트를 따라 다수가 설치된다.According to an example, the support unit, when viewed from the top, is installed along a plurality of two transfer shafts adjacent in a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 어느 작업자가 프리롤러를 설치하여도 동일하게 세팅되도록 설치표준화를 제공하여 설치 편의성을 증대시킬 수 있다. The substrate processing apparatus according to the embodiment of the present invention can increase installation convenience by providing installation standardization so that any operator installs the pre-roller in the same way.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 프리롤러 설치의 정확성을 확보하고 기판의 깨질 위험성을 최소화하여 이송되는 기판의 안전성을 담보할 수 있는 효과가 있다. In addition, the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention has the effect of ensuring the accuracy of the pre-roller installation and minimizing the risk of breaking the substrate to ensure the safety of the transferred substrate.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will become apparent to those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 모습을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 지지 유닛과 프리롤러를 확대하여 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1의 지지 유닛과 프리롤러를 도시한 측면도이다.1 is a perspective view showing a schematic view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged perspective view showing the support unit and the pre-roller of FIG. 1.
3 is a side view showing the support unit and the pre-roller of FIG. 1.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다. Hereinafter, a substrate processing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related known configurations or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted. Therefore, the shape of the illustrated components in the drawings is exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 모습을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 지지 유닛과 프리롤러를 확대하여 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1의 지지 유닛과 프리롤러를 도시한 측면도이다.1 is a perspective view showing a schematic view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an enlarged support unit and a pre-roller of FIG. 1, and FIG. 3 is a support unit of FIG. 1 And a side view showing the pre-roller.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 이송 샤프트(100), 지지 유닛(200), 베어링 부재(300), 그리고 프리롤러(400)를 포함한다. 이하, 첨부된 도면들을 참조하여 각 구성에 대하여 상세히 설명한다.1 to 3, the substrate processing apparatus 10 includes a transfer shaft 100, a support unit 200, a bearing member 300, and a pre-roller 400. Hereinafter, each configuration will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이송 샤프트(100)는 기판이 이송되는 제1 방향(12)을 따라 나란하게 복수 개가 배열된다. 각각의 이송 샤프트(100)에는 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러(110)들이 설치된다. 롤러(110)들은 이송 샤프트(100)의 외주연에 고정결합된다. 롤러(110)들은 이송 샤프트(100)의 길이 방향을 따라 일정 간격 이격되어 복수 개가 설치된다. 롤러(110)들은 이송 샤프트(100)가 구동부를 통해 회전함에 따라 이송 샤프트(100)와 함께 회전한다. A plurality of transfer shafts 100 are arranged side by side along the first direction 12 in which the substrate is transferred. Each of the transfer shafts 100 is provided with a plurality of rollers 110 in contact with the lower surface of the substrate. The rollers 110 are fixedly coupled to the outer periphery of the transfer shaft 100. A plurality of rollers 110 are spaced apart at regular intervals along the longitudinal direction of the transfer shaft 100. The rollers 110 rotate together with the transfer shaft 100 as the transfer shaft 100 rotates through the driving unit.

지지 유닛(200)은 인접하는 두 개의 이송 샤프트(100a,100b) 상에 놓여진다. 베어링 부재(300)는 이송 샤프트(100a,100b)와 지지 유닛(200) 사이에 배치된다. 베어링 부재(300)는 제1 베어링(310)과 제2 베어링(320)을 포함한다. 베어링 부재(300)는 이송 샤프트(100a,100b)의 회전시에도 지지 유닛(200)이 이송 샤프트(100a,100b) 상에 위치될 수 있도록 해준다. The support unit 200 is placed on two adjacent transport shafts 100a and 100b. The bearing member 300 is disposed between the transfer shafts 100a and 100b and the support unit 200. The bearing member 300 includes a first bearing 310 and a second bearing 320. The bearing member 300 allows the support unit 200 to be positioned on the transport shafts 100a and 100b even when the transport shafts 100a and 100b are rotated.

도 2를 참조하면, 지지 유닛(200)은 지지바(210), 상부 제1 걸림대(220), 상부 제2 걸림대(230), 제1 베어링(310), 제2 베어링(320), 하부 제1 걸림대(240) 및 하부 제2 걸림대(250)을 포함한다.  Referring to FIG. 2, the support unit 200 includes a support bar 210, an upper first locking block 220, an upper second locking block 230, a first bearing 310, a second bearing 320, and a lower product. It includes a 1 hanger 240 and the lower second hanger 250.

지지바(210)는 인접하는 두 개의 이송 샤프트(100a,100b)의 사이에 배치된다. 즉, 지지바(210)는 인접하는 두 개의 이송 샤프트(100a,100b) 사이를 연결한다. 지지바(210)는 바(bar) 또는 플레이트 형상으로 형성된다. The support bar 210 is disposed between two adjacent transfer shafts 100a and 100b. That is, the support bar 210 connects between two adjacent transport shafts 100a and 100b. The support bar 210 is formed in a bar or plate shape.

상부 제1 걸림대(220)는 지지바(210)의 일단에서 이송 샤프트(100a) 상에 위치된다. 상부 제2 걸림대(230)는 지지바(210)의 타단에서 이송 샤프트(100b) 상에 위치된다. The upper first locking block 220 is located on the transfer shaft 100a at one end of the support bar 210. The upper second stopper 230 is located on the transfer shaft 100b at the other end of the support bar 210.

제1 베어링(310)은 베어링 부재(300)와 상부 제1 걸림대(220) 사이에 위치된다. 제2 베어링(320)은 베어링 부재(300)와 상부 제2 걸림대(230) 사이에 위치된다. The first bearing 310 is positioned between the bearing member 300 and the upper first locking block 220. The second bearing 320 is located between the bearing member 300 and the upper second locking block 230.

도시된 바와 같이, 상부 제1 걸림대(220)와 상부 제2 걸림대(230)는 위로 볼록하게 형성된다. 즉, 상부 제1 걸림대(220)와 상부 제2 걸림대(230)는 위로 볼록한 상부 제1 걸림홈(220a)과 상부 제2 걸림홈(230a)을 갖는다. 상부 제1 걸림홈(220a)과 상부 제2 걸림홈(230a)에는 제1 베어링(310)과 제2 베어링(320)의 상부가 각각 삽입된다. As illustrated, the upper first locking block 220 and the upper second locking block 230 are convex upward. That is, the upper first locking block 220 and the upper second locking block 230 have an upper convex upper first locking groove 220a and an upper second locking groove 230a. The upper portions of the first bearing 310 and the second bearing 320 are respectively inserted into the upper first locking groove 220a and the upper second locking groove 230a.

하부 제1 걸림대(240)는 상부 제1 걸림대(220)와 대향되어 배치된다. 하부 제1 걸림대(240)는 제1 베어링(310)의 외주연을 하부에서 감싸며 결합된다. 하부 제2 걸림대(250)는 상부 제2 걸림대(220)와 대향되어 배치된다. 하부 제2 걸림대(250)는 제2 베어링(320)의 외주연을 하부에서 감싸며 결합된다. 하부 제1 걸림대(240)와 하부 제2 걸림대(250)는 제1 베어링(310)과 제2 베어링(320)을 하부에서 감싸서 제1 베어링(310)과 제2 베어링(320)을 파티클이나 충격 등으로부터 보호한다.The lower first hook 240 is disposed to face the upper first hook 220. The lower first hook 240 wraps the outer periphery of the first bearing 310 from the bottom and is coupled. The lower second locking table 250 is disposed to face the upper second locking table 220. The lower second hook 250 surrounds the outer periphery of the second bearing 320 from the bottom and is coupled. The lower first locking block 240 and the lower second locking block 250 wrap the first bearing 310 and the second bearing 320 from the bottom, thereby enclosing the first bearing 310 and the second bearing 320 with particles or impact. Protect from back.

도시된 바와 같이, 하부 제1 걸림대(240)와 하부 제2 걸림대(250)는 아래로 볼록하게 형성된다. 즉, 하부 제1 걸림대(240)와 하부 제2 걸림대(250)는 아래로 볼록한 하부 제1 걸림홈(240a)과 하부 제2 걸림홈(250a)을 갖는다. 하부 제1 걸림홈(240a)과 하부 제2 걸림홈(250a)에는 제1 베어링(310)과 제2 베어링(320)의 하부가 각각 삽입된다. As illustrated, the lower first locking block 240 and the lower second locking block 250 are convex downward. That is, the lower first hook 240 and the lower second hook 250 have a convex lower first locking groove 240a and a lower second locking groove 250a. Lower portions of the first bearing 310 and the second bearing 320 are inserted into the lower first locking groove 240a and the lower second locking groove 250a, respectively.

프리롤러(400)는 인접하는 두 개의 이송 샤프트(100a,100b)의 사이에서 지지 유닛(200)에 설치된다. 프리롤러(400)는 이송 샤프트(100a,100b)에 설치된 다수의 롤러(110)들과 같이 이송되는 기판의 하면과 접촉된다. 프리롤러(400)는 별도의 구동부가 제공되지 않는 롤러이다. The pre-roller 400 is installed in the support unit 200 between two adjacent transfer shafts 100a and 100b. The pre-roller 400 is in contact with the lower surface of the substrate being transferred, such as a plurality of rollers 110 installed on the transfer shafts 100a and 100b. The pre-roller 400 is a roller that is not provided with a separate driving unit.

프리롤러(400)는 지지 유닛(200) 상에 지지대(270)와 프리롤러 회전축(260)을 통해 설치된다. The pre-roller 400 is installed on the support unit 200 through a support 270 and a pre-roller rotating shaft 260.

지지대(270)는 지지바(210)의 상면 또는 제1 방향(12)과 수직한 제2 방향(14)의 양단에서 상부로 평행하게 연장된다. 프리롤러 회전축(260)은 마주보는 지지대(270)의 상단을 상호 연결하도록 위치된다. 프리롤러(400)는 프리롤러 회전축(260)에 회전가능하도록 설치된다. The support 270 extends parallel to the upper surface of the support bar 210 or from both ends of the second direction 14 perpendicular to the first direction 12. The pre-roller rotating shaft 260 is positioned to interconnect the upper ends of the opposing supports 270. The pre-roller 400 is installed to be rotatable on the pre-roller rotating shaft 260.

도시되지는 않았지만 프리롤러(400)가 결합되는 다른 예로서, 프리롤러(400)는 지지바(210)에 홈이 형성되어 그 홈에 삽입되는 방식으로 설치될 수도 있다. 이때, 지지바(210)의 두께나 홈의 깊이, 프리롤러(400)가 삽입되는 깊이 등은 적절히 조절가능할 수 있다. Although not shown, as another example in which the pre-roller 400 is coupled, the pre-roller 400 may be installed in a manner in which a groove is formed in the support bar 210 and inserted into the groove. At this time, the thickness of the support bar 210, the depth of the groove, the depth into which the pre-roller 400 is inserted, etc. may be appropriately adjustable.

본 발명에서 지지 유닛(200)의 상단은 이송 샤프트(100a,100b)에 설치된 롤러(110)의 상단보다 낮은 높이에 위치된다. 또한, 이송 샤프트(100a,100b)에 설치된 롤러(110)와 프리롤러(400)의 상단은 동일한 높이이다. 이는 이송되는 기판이 프리롤러(400)가 설치되는 지지 유닛(200)의 방해를 받지 않기 위함이다. 더불어, 이송 샤프트(100a,100b)에 설치된 롤러(110)와 지지 유닛(200)에 배치된 프리롤러(400)는 동일한 높이이어야 높이의 편차없이 기판의 안정적인 이송이 가능하다.In the present invention, the upper end of the support unit 200 is positioned at a lower height than the upper end of the roller 110 installed on the transport shafts 100a and 100b. In addition, the upper ends of the rollers 110 and the pre-rollers 400 installed on the transfer shafts 100a and 100b are the same height. This is to prevent the substrate being transferred from being disturbed by the support unit 200 on which the pre-roller 400 is installed. In addition, the rollers 110 installed on the transfer shafts 100a and 100b and the pre-roller 400 disposed on the support unit 200 must be at the same height to enable stable transfer of the substrate without variation in height.

도 2 내지 도 3을 참조하면, 프리롤러(400)는 지지 유닛(200)에 제1 방향(12)으로 복수 개가 설치된다. 프리롤러(400)는 지지 유닛(200)에 하나가 설치될 수도 있으나, 안정적인 기판 이송을 위해 다수가 설치될 수 있다. 즉, 각각의 지지 유닛(200)에는 프리롤러(400)가 적어도 하나 이상 배치된다. 2 to 3, a plurality of pre-rollers 400 are installed in the first direction 12 in the support unit 200. One pre-roller 400 may be installed in the support unit 200, but a plurality of pre-rollers may be installed for stable substrate transfer. That is, at least one pre-roller 400 is disposed in each support unit 200.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 지지 유닛(200)은 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 제2 방향(14)으로 인접하는 두 개의 이송 샤프트(100a,100b)를 따라 다수가 설치된다. In addition, as shown in Figure 1, the support unit 200 along the two transfer shafts (100a, 100b) adjacent in the second direction (14) perpendicular to the first direction (12) when viewed from the top Many are installed.

상기와 같은 프리롤러(400)를 포함한 지지 유닛(200)은 인접하는 두 챔버 사이, 즉 챔버와 챔버간의 이격된 간격에서 이송되는 기판이 보다 안정적으로 지지 및 반송될 수 있도록 설치된다. 그러나, 인접하는 두 챔버 사이에서 뿐만 아니라 필요에 따라 인접하는 챔버 내의 두 개의 이송 샤프트(100a,100b) 사이에 배치되는 것도 가능하다. 더불어, 프리롤러(400)를 설치할 필요가 있고 지지 유닛(200)이 놓여질 수 있는 구조라면 어느 장치에서도 이용될 수 있다.The support unit 200 including the pre-roller 400 as described above is installed so that the substrate transferred between two adjacent chambers, i.e., spaced apart between the chambers, can be supported and transported more stably. However, it is also possible to be arranged not only between two adjacent chambers, but also between two transfer shafts 100a, 100b in the adjacent chambers as needed. In addition, if it is necessary to install the pre-roller 400 and the structure in which the support unit 200 can be placed, it can be used in any device.

상술한 바와 같이, 본 발명은 어느 작업자가 프리롤러를 설치하여도 동일하게 세팅되도록 설치표준화를 제공하여 설치 편의성을 증대시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 프리롤러 설치의 정확성을 확보하고 기판의 깨질 위험성을 최소화하여 이송되는 기판의 안전성을 담보할 수 있는 효과가 있다. As described above, the present invention can increase installation convenience by providing installation standardization so that any operator installs the pre-roller and is set identically. In addition, the present invention has the effect of ensuring the accuracy of the pre-roller installation and minimizing the risk of breakage of the substrate to ensure the safety of the transferred substrate.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical spirits within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

10 : 기판 처리 장치 100,100a,100b : 이송 샤프트
110 : 롤러 200 : 지지 유닛
210 : 지지바 220 : 상부 제1 걸림대
230 : 상부 제2 걸림대 240 : 하부 제1 걸림대
250 : 하부 제2 걸림대 260 : 프리롤러 회전축
270 : 지지대 300 : 베어링 부재
310 : 제1 베어링 320 : 제2 베어링
400 : 프리롤러10: substrate processing apparatus 100,100a, 100b: transfer shaft
110: roller 200: support unit
210: support bar 220: upper first hook
230: upper second hook 240: lower first hook
250: lower second hook 260: pre-roller rotating shaft
270: support 300: bearing member
310: first bearing 320: second bearing
400: free roller

Claims (7)

기판을 처리하는 장치에 있어서,
기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와;
인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 상에 놓여지는 지지 유닛과;
상기 이송 샤프트와 상기 지지 유닛 사이에 배치되는 베어링 부재와;
인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트 사이에서 상기 지지 유닛에 설치되어 기판의 하면과 접촉되는 프리롤러를 포함하는 기판 처리 장치.In the apparatus for processing a substrate,
A plurality of rotatable transport shafts arranged side by side along a first direction in which the substrate is transferred, and provided with a plurality of rollers contacting a lower surface of the substrate;
A support unit placed on two adjacent transfer shafts;
A bearing member disposed between the transfer shaft and the support unit;
And a pre-roller installed on the support unit between two adjacent transfer shafts and contacting a lower surface of the substrate. 제 1항에 있어서,
상기 지지 유닛은,
인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트의 사이에 배치되는 지지바와,
상기 지지바의 일단에서 상기 이송 샤프트 상에 위치되는 상부 제1 걸림대와,
상기 지지바의 타단에서 상기 이송 샤프트 상에 위치되는 상부 제2 걸림대를 포함하되,
상기 베어링 부재와 상기 상부 제1 걸림대 사이에 위치되는 제1 베어링과,
상기 베어링 부재와 상기 상부 제2 걸림대 사이에 위치되는 제2 베어링을 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The support unit,
A support bar disposed between two adjacent transfer shafts,
An upper first stopper positioned on the transfer shaft at one end of the support bar,
In the other end of the support bar includes an upper second locking block located on the transfer shaft,
A first bearing positioned between the bearing member and the upper first stopper,
And a second bearing positioned between the bearing member and the upper second hook. 제 2항에 있어서,
상기 지지 유닛은,
상기 상부 제1 걸림대와 대향되어, 상기 제1 베어링의 외주연을 하부에서 감싸는 하부 제1 걸림대와,
상기 상부 제2 걸림대와 대향되어, 상기 제2 베어링의 외주연을 하부에서 감싸는 하부 제2 걸림대를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 2,
The support unit,
A lower first engaging stand facing the upper first engaging stand and surrounding the outer periphery of the first bearing from the lower side;
A substrate processing apparatus further comprising a lower second engaging table facing the upper second engaging table and surrounding the outer periphery of the second bearing from the lower side. 제 1항에 있어서,
상기 지지 유닛의 상단은 상기 이송 샤프트에 설치된 상기 롤러의 상단보다 낮은 높이에 위치되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The upper end of the support unit is positioned at a lower height than the upper end of the roller installed on the transfer shaft. 제 1항에 있어서,
상기 이송 샤프트에 설치된 상기 롤러와 상기 프리롤러의 상단은 동일한 높이인 기판 처리 장치.According to claim 1,
The upper end of the roller and the pre-roller installed in the transfer shaft is the same substrate processing apparatus. 제 1항에 있어서,
상기 프리롤러는,
상기 지지 유닛에 상기 제1 방향으로 다수가 설치되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The pre-roller,
A substrate processing apparatus in which a plurality of the support units are installed in the first direction. 제 1항에 있어서,
상기 지지 유닛은,
상부에서 바라볼 때 상기 제1 방향과 수직한 제 2방향으로 인접하는 두 개의 상기 이송 샤프트를 따라 다수가 설치되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The support unit,
A substrate processing apparatus in which a plurality are installed along two transfer shafts adjacent in a second direction perpendicular to the first direction when viewed from the top.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832472B1 (en) 2006-09-06 2008-05-27 삼성전자주식회사 The substrate transfer
JP5164766B2 (en) 2008-09-25 2013-03-21 株式会社関西技研 Long work reversing roller

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101427596B1 (en) * 2007-07-26 2014-08-08 삼성디스플레이 주식회사 Substrate conveyor
KR100955490B1 (en) * 2008-05-21 2010-04-30 세메스 주식회사 Method and apparatus for baking substrates used in manufacturing flat panel display

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100832472B1 (en) 2006-09-06 2008-05-27 삼성전자주식회사 The substrate transfer
JP5164766B2 (en) 2008-09-25 2013-03-21 株式会社関西技研 Long work reversing roller

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