KR102093357B1

KR102093357B1 - Actuator control apparatus

Info

Publication number: KR102093357B1
Application number: KR1020190116963A
Authority: KR
Inventors: 이순학
Original assignee: 이순학
Priority date: 2019-09-23
Filing date: 2019-09-23
Publication date: 2020-03-25

Abstract

The present invention relates to an actuator control apparatus, wherein a reflector (21) is provided on a floor of an under-housing (20), and a light-emitting element (61) and a light-receiving element (62) are provided in an upper portion of the under-housing (20) corresponding to the reflector (21) to allow irradiation and reception of light toward the reflector (21). Therefore, when light of the light-emitting element (61) is received in the light-receiving element (62), the actuator control apparatus is configured to determine a normal state as a controller (70). Moreover, when light of the light-emitting element (61) is not received in the light-receiving element (62), an abnormal state is determined. Therefore, a state change in a sealed space of an actuator (10) can be more delicately and quickly checked to stably operate the whole facility.

Description

ACTUATOR CONTROL APPARATUS

본 발명은 엑츄에이터 컨트롤 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 언더하우징의 바닥에 반사경을 마련하고, 이 반사경에 대응되는 언더하우징의 상부에 발광소자 및 수광소자를 마련하여, 반사경을 향한 빛의 조사 및 수신을 가능케 하여, 컨트롤러로서 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신할 경우 정상상태로 판단토록 하는 반면 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단토록 함으로써, 엑츄에이터의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 보다 섬세하고 신속하게 확인케 하여 전체 설비의 안정적 운영을 실현할 수 있도록 한 엑츄에이터 컨트롤 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an actuator control device, and more specifically, to provide a reflector on the bottom of the underhousing, and to provide a light emitting element and a light receiving element on top of the underhousing corresponding to the reflector, irradiation of light toward the reflector and By enabling the reception, the light from the light emitting element as a controller is judged to be in a normal state when it is received from the light receiving element, while the light from the light emitting element is judged to be abnormal when it is not received from the light receiving element, thereby allowing the light to be judged in an abnormal state. It relates to an actuator control device that enables a more delicate and quick confirmation of the state change to realize stable operation of the entire facility.

일반적으로 엑츄에이터는 전기에너지를 기계에너지로 변환하여 사물을 쥔다든가 방향을 바꾼다든가 위치를 변동시키는데 이용되는 산업용 로봇의 부속장치에서부터 모터의 정회전 또는 역회전을 조절하여 공기나 유체의 흐름을 조절(특히, 반도체 웨이퍼 세척분야)하는 밸브 등에 이르기까지 다양한 분야에 활용되고 있다.In general, the actuator converts electrical energy into mechanical energy to control the forward or reverse rotation of the motor by controlling the forward or reverse rotation of the motor from the attachment of the industrial robot used to change the position or to grasp the object or change the direction. In particular, it has been used in various fields ranging from semiconductor wafer cleaning fields to valves.

하나의 예로서, 모터의 정역회전을 조절하여 공기나 유체 등의 흐름을 조절하는 밸브의 제어에 이용되는 엑츄에이터를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.As an example, an actuator used for control of a valve that regulates the flow of air or fluid by controlling forward and reverse rotation of a motor will be described with reference to FIG. 1 as follows.

도 1은 선행기술문헌 1(대한민국 등록특허공보 제1600348호; 엑츄에이터 컨트롤 장치)에 종래 기술로 소개된 일반적인 엑츄에이터(10)의 사용상태를 설명하기 위한 밸브(V)를 포함한 사시도이다.1 is a perspective view including a valve (V) for explaining the state of use of the general actuator 10 introduced in the prior art in prior art document 1 (Republic of Korea Patent Registration No. 1600348; actuator control device).

도 1에 도시된 바와 같이 엑츄에이터(10)는 온수 또는 냉수의 유량을 투웨이(Two Way)로 된 밸브(V)를 통하여 공급하고자 할 때 모터(M)에 의해 정역 회전되는 스템(S)에 연결된 디스크(D)의 회전각도를 적절하게 조절하여 유량을 제한하는데 활용된다.As shown in FIG. 1, the actuator 10 is connected to a stem S that is rotated forward and backward by a motor M when it wants to supply a flow rate of hot or cold water through a valve V of a two way. It is used to limit the flow rate by appropriately adjusting the rotation angle of the disc D.

이때, 유량을 제한하는 디스크(D)의 회전각도는 모터(M)에 의해 정역 회전되는 스템(S)에 의해 조절되고, 이러한 모터(M)의 동작은 엑츄에이터(10)와 연동하면서 제어된다.At this time, the rotation angle of the disk D to limit the flow rate is controlled by the stem S that is rotated forward and backward by the motor M, and the operation of the motor M is controlled while interlocking with the actuator 10.

도 2는 선행기술문헌 2(대한민국 등록특허공보 제1385179호)에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치를 나타내는 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the actuator control device according to the prior art document 2 (Republic of Korea Patent No. 1385179).

선행기술문헌 2에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 엑츄에이터(10)로서 스템(S)을 정역 회전시켜 밸브(V)를 개폐할 수 있도록 설계된다.The actuator control device according to the prior art document 2 is designed to open and close the valve V by rotating the stem S forward and backward as the actuator 10 as shown in FIG. 2.

도 3a는 선행기술문헌 1 및 선행기술문헌 2의 엑츄에이터 컨트롤 장치의 사용 모습을 촬영한 사진이고, 도 3b는 선행기술문헌 1 및 선행기술문헌 2의 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 밸브(V)를 하나의 예로서 나타내는 종단면도이다.Figure 3a is a photograph of the use of the actuator control device of the prior art document 1 and prior art document 2, Figure 3b is a valve (V) applied to the actuator control device of the prior art documents 1 and 2 prior art document one It is a longitudinal sectional view shown as an example.

선행기술문헌 1 및 선행기술문헌 2의 엑츄에이터 컨트롤 장치는 도 3a에 도시된 바와 같이 밸브(V)의 스템(S)이 외부로 노출된 상태로 엑츄에이터(10)에 결합되어 정역 회전되는데, 이러할 경우 도 3b에 도시된 바와 같이 스템(S)의 회전 누적에 따라 패킹(P)이 마모되면서 유체가 스템(S)의 노출된 부위의 외부로 누출(Neck Leak)되는 현상이 빈번하게 일어날 수밖에 없다.The actuator control device of the prior art document 1 and the prior art document 2 is coupled to the actuator 10 in a state in which the stem S of the valve V is exposed to the outside, as shown in FIG. 3A, and rotates forward and backward. As shown in FIG. 3B, as the packing P wears out due to the accumulation of rotation of the stem S, a phenomenon in which the fluid leaks to the outside of the exposed portion of the stem S is often inevitable.

예를 들어, 반도체 설비 중 칠러(Chiller; 냉각장치)에서 유체, 즉 냉각수[증류수, 에틸렌 글리콜(Ethylen Grycol), 갈덴용액 등]의 리크(Neck Leak)가 발생될 경우 심각한 문제를 유발시킬 수 있어 가능한 한 신속하게 누액을 감지할 수 있어야 한다.For example, if a leak occurs in a chiller (chiller) in a semiconductor equipment, that is, a coolant (distilled water, distilled water, Ethylen Grycol, galdenic solution, etc.), it can cause serious problems. It should be possible to detect leaks as quickly as possible.

도 4는 통상의 반도체 설비(Chiller)에서 리크시 누액을 검출하는 방법을 설명하기 위한 원리도이다.4 is a principle diagram for explaining a method of detecting leakage when leaking in a conventional semiconductor facility (Chiller).

통상의 반도체 설비(Chiller)는 누액이 없을 경우 도 4의 (A)에 도시된 바와 같이 전류가 흐르지 않으므로 5V의 전압이 출력되어 정상동작임을 확인할 수 있도록 하는 반면 리크시에는 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이 전류가 흐르게 되어 0V의 전압이 됨으로써 리크를 확인[비정상동작 판단; 증류수는 전류가 통전되므로 탐지센서에 증류수가 접촉될 경우 전류가 흘러 출력전압의 변화여부(0V)로 리크를 판단]할 수 있도록 한다.In a normal semiconductor facility (Chiller), when there is no leakage, the current does not flow as shown in FIG. As shown in the figure, the current flows and becomes a voltage of 0 V, thereby confirming the leak [abnormal operation judgment; Since the distilled water is energized, when distilled water comes into contact with the detection sensor, current flows to determine whether the output voltage changes (0V) to determine the leak].

그런데, 이와 같은 통상의 반도체 설비에서 리크시의 누액을 검출하는 방법은 밸브(V)의 스템(S)을 따라 외부로 누액이 누적될 때까지 검출시간이 지체되어 확인의 신속성이 떨어질 뿐만 아니라 특히 증류수나 에틸렌 글리콜과 달리 갈덴용액은 전류가 흐르지 않아 누액의 검출 자체가 실현되지 않는 문제점을 안고 있다.
However, in such a conventional semiconductor facility, the method of detecting leakage at the time of leak is delayed until the leakage of liquid accumulates outward along the stem S of the valve V, and the speed of confirmation is not only lowered. Unlike distilled water or ethylene glycol, the galdenic solution has a problem in that no current flows and detection of leakage is not realized.

대한민국 등록특허공보 제1600348호 - 엑츄에이터 컨트롤 장치Republic of Korea Patent Registration No. 1600348-Actuator control device 대한민국 등록특허공보 제1385179호 - 엑츄에이터 컨트롤 장치Republic of Korea Patent No. 1385179-Actuator control device

본 발명의 목적은 밸브를 단속시키는 엑츄에이터의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 발광소자 및 수광소자로서 감지하여 정상상태 및 비정상태를 판단토록 함으로써 예를 들어 반도체 설비에서의 보다 정밀하고도 철저한 오류 관리를 실현케 한 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to detect a state change in a closed space of an actuator that interrupts a valve as a light emitting element and a light receiving element to determine normal and abnormal conditions, for example, to perform more precise and thorough error management in semiconductor equipment. The present invention is to provide an actuator control device.

본 발명의 목적은 언더하우징의 바닥에 반사경을 마련하고, 이 반사경에 대응되는 언더하우징의 상부에 발광소자 및 수광소자를 마련하여, 반사경을 향한 빛의 조사 및 수신을 가능케 하여, 컨트롤러로서 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신할 경우 정상상태로 판단토록 하는 반면 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단토록 함으로써, 엑츄에이터의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 보다 섬세하고 신속하게 확인케 하여 전체 설비의 안정적 운영을 실현할 수 있도록 한 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a reflector at the bottom of the underhousing, and to provide a light emitting element and a light receiving element on top of the underhousing corresponding to the reflector, to enable irradiation and reception of light toward the reflector, and a light emitting element as a controller When light from the light receiving element is judged to be normal, while light from the light receiving element is judged to be abnormal when it is not received by the light receiving element, it is possible to check the state change in the closed space of the actuator more delicately and quickly. In order to realize the stable operation of the entire facility, the actuator control device is provided.

본 발명의 목적은 전류가 흐르는 증류수나 에틸렌 글리콜뿐만 아니라 전류가 흐르지 않는 갈덴용액까지 반사경을 기점으로 발광소자의 입사각 및 수광소자의 반사각의 세밀한 변화를 감지해 낼 수 있도록 하여 어떠한 용액일지라도 그 누액 여부를 더욱 정밀하게 판단할 수 있도록 한 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.The object of the present invention is to detect the minute change of any solution by allowing a detailed change in the angle of incidence of the light-emitting element and the reflection angle of the light-receiving element, starting from a reflector, not only to distilled water or ethylene glycol with flowing current, but also to a galdenic solution with no current flowing. It is to provide an actuator control device that can be determined more accurately.

본 발명의 목적은 알루미늄재질의 언더하우징의 바닥의 연마로 반사경을 마련하여 생산성까지 보장할 수 있는 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide an actuator control device capable of guaranteeing productivity even by providing a reflector by polishing the bottom of an aluminum housing.

본 발명의 목적은 스템 및 샤프트가 밸브의 상향뭉치 및 언더하우징의 하향뭉치 속에서 서로 결합되어 밀폐상태로 내장되도록 함으로써 밸브홀로부터 유체가 외부로 전혀 누액되지 않으면서 스템 및 샤프트를 따라 오직 엑츄에이터의 언더하우징 속으로 안내됨과 동시에 반사경에 곧바로 머물 수 있도록 하여 미세한 누액마저도 실시간으로 감지해 낼 수 있는 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.The object of the present invention is that the stem and the shaft are coupled to each other in the upward bundle of the valve and the downward bundle of the under-housing so that the fluid from the valve hole is not leaked to the outside at all, so that only the actuator along the stem and shaft It is to provide an actuator control device capable of detecting even minute leakage in real time by being guided into the under-housing and staying in the reflector immediately.

본 발명의 목적은 전류의 통전 여부와 상관없이 어떠한 용액(심지어는 갈덴용액까지)일지라도 누액의 신속한 감지를 보장할 수 있는 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide an actuator control device capable of ensuring rapid detection of leakage of any solution (even a galdenic solution) regardless of whether or not current is applied.

본 발명의 목적은 밸브의 밸브홀로부터 언더하우징의 바닥에 이르기까지의 단일통로에 스템 및 샤프트가 밀폐된 상태로 내장되어 밸브홀을 따라 흐르는 유체가 오랜 사용으로 인해 스템의 오링 사이로 누액이 발생될지라도 곧바로 엑츄에이터의 언더하우징 속으로 안내되면서 보다 신속한 누액감지를 실현토록 함으로써 전체 설비의 안전한 운전을 철저히 가능케 한 엑츄에이터 컨트롤 장치를 제공함에 있다.
The object of the present invention is that the stem and the shaft are built in a closed state in a single passage from the valve hole of the valve to the bottom of the under-housing, and fluid flowing along the valve hole may leak between the O-rings of the stem due to long-term use. The present invention provides an actuator control device that thoroughly guides the under-housing of the actuator and realizes faster leak detection, thereby enabling safe operation of the entire facility.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,The present invention for achieving the above object,

상호 결합되는 언더하우징 및 어퍼하우징 속에 내장되어 기어모듈을 매개로 샤프트에 회전력을 공급하는 모터를 구비한 엑츄에이터와, 유체의 흐름을 단속시키는 개폐수단에 고정되어 상기 샤프트의 회전에 연동되는 스템을 지닌 밸브를 포함하는 엑츄에이터 컨트롤 장치에 있어서,The actuator is provided in the under housing and the upper housing which are mutually coupled, and has an actuator having a motor that supplies rotational force to the shaft via a gear module, and a stem fixed to opening and closing means for controlling the flow of fluid to interlock with rotation of the shaft. In the actuator control device comprising a valve,

상기 언더하우징의 바닥에 마련된 반사경과,A reflector provided on the bottom of the under-housing,

상기 반사경에 대응되는 상기 언더하우징의 상부에 마련되어 상기 반사경을 향해 빛을 조사하여 수신하는 발광소자 및 수광소자와,A light emitting element and a light receiving element provided on an upper portion of the under housing corresponding to the reflecting mirror and irradiating light toward the reflecting mirror to receive the light;

상기 발광소자로부터 조사된 빛을 상기 수광소자에서 수신할 경우 정상상태로 판단하는 반면 상기 발광소자로부터 조사된 빛을 상기 수광소자에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단하는 컨트롤러를 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 기본 특징으로 한다.
And a controller for determining that the light irradiated from the light emitting element is in a normal state when it is received by the light receiving element, while determining that the light irradiated from the light emitting element is in an abnormal state when it is not being received by the light receiving element. The basic features of the top.

본 발명은 밸브를 단속시키는 엑츄에이터의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 발광소자 및 수광소자로서 감지하여 정상상태 및 비정상태를 판단토록 함으로써 예를 들어 반도체 설비에서의 보다 정밀하고도 철저한 오류 관리를 실현케 하는 효과가 있다.The present invention detects a state change in a closed space of an actuator that interrupts a valve as a light emitting device and a light receiving device to determine a normal state and an abnormal state, thereby realizing more precise and thorough error management in, for example, semiconductor equipment. It has the effect.

본 발명은 언더하우징의 바닥에 반사경을 마련하고, 이 반사경에 대응되는 언더하우징의 상부에 발광소자 및 수광소자를 마련하여, 반사경을 향한 빛의 조사 및 수신을 가능케 하여, 컨트롤러로서 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신할 경우 정상상태로 판단토록 하는 반면 발광소자의 빛을 수광소자에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단토록 함으로써, 엑츄에이터의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 보다 섬세하고 신속하게 확인케 하여 전체 설비의 안정적 운영을 실현할 수 있도록 하는 효과가 있다.The present invention provides a reflector at the bottom of the underhousing, and a light emitting element and a light receiving element are provided at the top of the underhousing corresponding to the reflector to enable irradiation and reception of light toward the reflector, so that the light of the light emitting element as a controller When the light-receiving element receives light, it is judged to be in a normal state, whereas when the light-receiving element does not receive light, the light-receiving element is judged to be in an abnormal state. It has the effect of enabling stable operation of the entire facility.

본 발명은 전류가 흐르는 증류수나 에틸렌 글리콜뿐만 아니라 전류가 흐르지 않는 갈덴용액까지 반사경을 기점으로 발광소자의 입사각 및 수광소자의 반사각의 세밀한 변화를 감지해 낼 수 있도록 하여 어떠한 용액일지라도 그 누액 여부를 더욱 정밀하게 판단할 수 있는 효과가 있다.The present invention enables to detect minute changes in any solution even by distilled water or ethylene glycol in which current flows, as well as in the galdenic solution in which current does not flow, starting from the reflector and detecting the small change in the incident angle of the light emitting element and the reflection angle of the light receiving element. There is an effect that can be accurately judged.

본 발명은 알루미늄재질의 언더하우징의 바닥의 연마로 반사경을 마련하여 생산성까지 보장할 수 있는 효과가 있다.The present invention has an effect capable of guaranteeing productivity even by providing a reflector by polishing the bottom of an aluminum housing.

본 발명은 스템 및 샤프트가 밸브의 상향뭉치 및 언더하우징의 하향뭉치 속에서 서로 결합되어 밀폐상태로 내장되도록 함으로써 밸브홀로부터 유체가 외부로 전혀 누액되지 않으면서 스템 및 샤프트를 따라 오직 엑츄에이터의 언더하우징 속으로 안내됨과 동시에 반사경에 곧바로 머물 수 있도록 하여 미세한 누액마저도 실시간으로 감지해 낼 수 있는 효과가 있다The present invention allows the stem and the shaft to be coupled to each other in the upward bundle of the valve and the downward bundle of the underhousing so that the fluid from the valve hole does not leak to the outside, and only the underhousing of the actuator along the stem and shaft. It is effective to detect even minute leakage in real time by being guided inside and staying directly in the reflector.

본 발명은 전류의 통전 여부와 상관없이 어떠한 용액(심지어는 갈덴용액까지)일지라도 누액의 신속한 감지를 보장할 수 있는 효과가 있다.The present invention has an effect capable of ensuring rapid detection of leakage of any solution (even a galdenic solution) regardless of whether or not current is applied.

본 발명은 밸브의 밸브홀로부터 언더하우징의 바닥에 이르기까지의 단일통로에 스템 및 샤프트가 밀폐된 상태로 내장되어 밸브홀을 따라 흐르는 유체가 오랜 사용으로 인해 스템의 오링 사이로 누액이 발생될지라도 곧바로 엑츄에이터의 언더하우징 속으로 안내되면서 보다 신속한 누액감지를 실현토록 함으로써 전체 설비의 안전한 운전을 철저히 가능케 하는 효과가 있다.
In the present invention, the stem and the shaft are built in a closed state in a single passage from the valve hole of the valve to the bottom of the under-housing, even if leakage occurs between the O-rings of the stem due to long-term use of the fluid flowing along the valve hole. As it is guided into the under-housing of the actuator, it is possible to realize a more rapid leak detection, thereby enabling safe operation of the entire facility.

도 1은 선행기술문헌 1에 종래 기술로 소개된 일반적인 엑츄에이터의 사용상태를 설명하기 위한 밸브를 포함한 사시도.
도 2는 선행기술문헌 2에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치를 나타내는 사시도.
도 3a는 선행기술문헌 1 및 선행기술문헌 2의 엑츄에이터 컨트롤 장치를 사용예로서 촬영한 사진.
도 3b는 선행기술문헌 1 및 선행기술문헌 2의 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 밸브를 하나의 예로서 나타내는 종단면도.
도 4는 통상의 반도체 설비에서 리크시 누액을 검출하는 방법을 설명하기 위한 원리도.
도 5a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 나타내는 사시도.
도 5b는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 나타내는 정면도 및 부분 분해사시도.
도 5c 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치를 나타내는 사진.
도 5d 및 도 5e는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터를 나타내는 분해사시도.
도 6a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징을 비롯한 발광소자 및 수광소자를 나타내는 분해사시도.
도 6b 및 도 6c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징을 비롯한 발광소자 및 수광소자를 나타내는 사시도 및 요부 확대사시도.
도 7은 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 발광소자 및 수광소자의 동작을 나타내는 원리도.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 나타내는 분해사시도.
도 8d는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 나타내는 투시도 및 요부 분해사시도.
도 9a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 나타내는 사시도.
도 9b 내지 도 9d는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터 및 밸브를 다양한 각도에서 촬영한 사진.
도 10a 및 도 10b는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징 및 도광캡을 나타내는 사진.
도 10c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 도광캡을 나타내는 사진.1 is a perspective view including a valve for explaining the state of use of a general actuator introduced in the prior art in the prior art document 1.
Figure 2 is a perspective view showing an actuator control device according to the prior art document 2.
Figure 3a is a photograph taken as an example of using the actuator control device of the prior art document 1 and prior art document 2.
Figure 3b is a longitudinal sectional view showing a valve applied to the actuator control device of the prior art document 1 and prior art document 2 as an example.
4 is a principle diagram for explaining a method of detecting leakage when leaking in a conventional semiconductor facility.
Figure 5a is a perspective view showing an actuator and a valve applied to the actuator control device according to the present invention.
Figure 5b is a front view and a partial exploded perspective view showing the actuator and the valve applied to the actuator control device according to the present invention.
Figure 5c is a photograph showing the actuator control device according to the present invention.
Figure 5d and Figure 5e is an exploded perspective view showing the actuator applied to the actuator control device according to the present invention.
Figure 6a is an exploded perspective view showing a light-emitting element and a light-receiving element including an under-housing applied to the actuator control device according to the present invention.
6B and 6C are perspective and enlarged perspective views of main parts showing a light emitting device and a light receiving device including an under housing applied to an actuator control device according to the present invention.
7 is a principle diagram showing the operation of the light-emitting element and the light-receiving element applied to the actuator control device according to the present invention.
8A to 8C are exploded perspective views showing an actuator and a valve applied to an actuator control device according to the present invention.
8D is a perspective view and an exploded perspective view showing an actuator and a valve applied to an actuator control device according to the present invention.
9A is a perspective view showing an actuator and a valve applied to an actuator control device according to the present invention.
9B to 9D are photographs of actuators and valves applied to an actuator control device according to the present invention, taken at various angles.
10A and 10B are photographs showing an under housing and a light guide cap applied to an actuator control device according to the present invention.
Figure 10c is a photograph showing a light guide cap applied to the actuator control device according to the present invention.

본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하면서 설명하기로 하고, 그 실시예로는 다수 개가 존재할 수 있으며, 이러한 실시예를 통하여 본 발명의 목적, 특징 및 이점들을 더욱 잘 이해할 수 있게 된다.A preferred embodiment of the actuator control device according to the present invention will be described with reference to the drawings, and a number of the embodiments may exist, and through this embodiment, the objects, features, and advantages of the present invention can be better understood. There will be.

도 5a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 나타내는 사시도이고, 도 5b는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 나타내는 정면도 및 부분 분해사시도이고, 도 5c 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치를 나타내는 사진이며, 도 5d 및 도 5e는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10)를 나타내는 분해사시도이다.5A is a perspective view showing an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention, and FIG. 5B is a front view showing an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention. Figures and partial exploded perspective view, Figure 5c is a photograph showing the actuator control device according to the present invention, Figures 5d and 5e is an exploded perspective view showing the actuator 10 applied to the actuator control device according to the present invention.

본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치는 도 5a 내지 도 5e에 도시된 바와 같이 상호 결합되는 언더하우징(20) 및 어퍼하우징(30) 속에 내장되어 기어모듈(41)을 매개로 샤프트(41a)에 회전력을 공급하는 모터(40)를 구비한 엑츄에이터(10)와, 유체의 흐름을 단속시키는 개폐수단(51)에 고정되어 샤프트(41a)의 회전에 연동되는 스템(52)을 지닌 밸브(50)를 포함한다.The actuator control device according to the present invention is built in the under-housing 20 and the upper housing 30 that are mutually coupled as shown in FIGS. 5A to 5E to apply rotational force to the shaft 41a via the gear module 41. It includes an actuator (10) having a motor (40) to supply, and a valve (50) having a stem (52) fixed to the opening / closing means (51) that regulates the flow of fluid and interlocked with the rotation of the shaft (41a). do.

엑츄에이터(10)의 모터(40)는 정역 회전될 수 있고, 모터(40)의 정역 회전 범위에 따라 기어모듈(41), 예를 들어 감속기어들로 이루어진 기어모듈(41)을 통해 샤프트(41a)가 정역 회전되면서 스템(52)을 연동시켜 개폐수단(51; 디스크 또는 볼)의 회전 반경을 결정함으로써 유체를 단속시키거나 유량을 결정할 수 있게 된다.The motor 40 of the actuator 10 may be rotated forward and backward, and the shaft 41a may be rotated through the gear module 41, for example, a gear module 41 made of reduction gears according to the forward and reverse rotation ranges of the motor 40. ) Is rotated in the forward and reverse direction to interlock the stem 52 to determine the turning radius of the opening / closing means 51 (disk or ball) to interrupt the fluid or to determine the flow rate.

도 6a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징(20)을 비롯한 발광소자(61) 및 수광소자(62)를 나타내는 분해사시도이고, 도 6b 및 도 6c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징(20)을 비롯한 발광소자(61) 및 수광소자(62)를 나타내는 사시도 및 요부 확대사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 발광소자(61) 및 수광소자(62)의 동작을 나타내는 원리도이다.6A is an exploded perspective view showing a light emitting element 61 and a light receiving element 62 including an under housing 20 applied to an actuator control device according to the present invention, and FIGS. 6B and 6C are an actuator control device according to the present invention It is a perspective view and an enlarged perspective view showing the light emitting element 61 and the light receiving element 62 including the applied under housing 20, and FIG. 7 is a light emitting element 61 and the light receiving element 62 applied to the actuator control device according to the present invention ) Is a principle diagram showing the operation.

본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치는 도 5a 내지 도 7에 도시된 바와 같이 언더하우징(20)의 바닥에 마련된 반사경(21)과, 반사경(21)에 대응되는 언더하우징(20)의 상부에 마련되어 반사경(21)을 향해 빛을 조사하여 수신하는 발광소자(61) 및 수광소자(62)와, 발광소자(61)로부터 조사된 빛을 수광소자(62)에서 수신할 경우 정상상태로 판단하는 반면 발광소자(61)로부터 조사된 빛을 수광소자(62)에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단하는 컨트롤러(70)를 포함한다.The actuator control device according to the present invention is provided on the upper portion of the reflector 21 provided on the bottom of the under-housing 20 and the under-housing 20 corresponding to the reflector 21, as shown in FIGS. 5A to 7 When the light-receiving element 61 and the light-receiving element 62 to receive and irradiate light toward (21) and the light irradiated from the light-emitting element 61 are received by the light-receiving element 62, it is judged as a normal state, while emitting And a controller 70 that determines that the light irradiated from the element 61 is abnormal when the light receiving element 62 cannot receive the light.

본 발명에서는 밸브(50)를 단속시키는 엑츄에이터(10)의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 발광소자(61) 및 수광소자(62)로서 감지하여 정상상태 및 비정상태를 판단토록 함으로써 예를 들어 반도체 설비에서의 보다 정밀하고도 철저한 오류 관리를 실현케 한 것이다.In the present invention, for example, by sensing the state change in the enclosed space of the actuator 10 that interrupts the valve 50 as the light-emitting element 61 and the light-receiving element 62 to determine the normal state and the abnormal state, for example, semiconductor equipment This is to enable more precise and thorough error management.

예를 들어, 도 7의 (A)에 도시된 바와 같이 발광소자(61)로부터 조사된 빛이 반사되어 수광소자(62)에서 수신할 경우 5V의 전압이 출력되도록 하여 정상동작임을 판별토록 하고, 도 7의 (B)에 도시된 바와 같이 발광소자(61)로부터 조사된 빛이 예를 들어 유체에 의해 굴절되어 수광소자(62)에서 수신하지 못할 경우 OV의 전압이 되어 비정상동작으로 판별토록 함으로써, 엑츄에이터(10)의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 더욱 적극적으로 확인하여 전체 설비를 보다 안정적으로 운영케 한 것이다.For example, as shown in (A) of FIG. 7, when the light irradiated from the light emitting element 61 is reflected and received by the light receiving element 62, a voltage of 5V is output so that it is determined that the operation is normal. As shown in (B) of FIG. 7, when the light irradiated from the light emitting element 61 is refracted by, for example, a fluid and is not received by the light receiving element 62, it becomes the voltage of the OV and is determined to be abnormal. , It is to check the state change in the closed space of the actuator 10 more actively to make the entire facility more stable.

이러한 원리가 적용될 수 있도록 본 발명에서는 유체는 중력에 따라 가장 낮은 곳에 머무는 점을 이용하여 언더하우징(20)의 바닥에 반사경(21)을 마련하고, 이 반사경(21)에 대응되는 언더하우징(20)의 상부에 발광소자(61) 및 수광소자(62)를 마련하여, 반사경(21)을 향한 빛의 조사 및 수신을 가능케 하여, 컨트롤러(70)로서 발광소자(61)의 빛을 수광소자(62)에서 수신할 경우 정상상태로 판단토록 하는 반면 발광소자(61)의 빛을 수광소자(62)에서 수신하지 못할 경우 비정상상태로 판단토록 함으로써, 엑츄에이터(10)의 밀폐된 공간 속의 상태 변화를 보다 섬세하고 신속하게 확인케 하여 전체 설비의 안정적 운영을 실현할 수 있도록 하는 것이다.In order to apply this principle, in the present invention, the fluid is provided with a reflector 21 at the bottom of the under-housing 20 by using a point that stays at the lowest position according to gravity, and the under-housing 20 corresponding to the reflector 21 ), The light emitting element 61 and the light receiving element 62 are provided to enable irradiation and reception of light toward the reflector 21, so that the light of the light emitting element 61 as the controller 70 is a light receiving element ( 62), when the light is received from the light receiving element 62, it is judged as an abnormal state, while the light from the light emitting element 61 is judged to be in a normal state, thereby changing the state in the closed space of the actuator 10. It is to make it more delicate and quick to realize stable operation of the entire facility.

특히, 전류가 흐르는 증류수나 에틸렌 글리콜뿐만 아니라 전류가 흐르지 않는 갈덴용액까지 반사경(21)을 기점으로 발광소자(61)의 입사각 및 수광소자(62)의 반사각의 세밀한 변화를 감지해 낼 수 있도록 하여 어떠한 용액일지라도 그 누액 여부를 더욱 정밀하게 판단할 수 있어 더욱 바람직하게 된다.In particular, it is possible to detect minute changes in the angle of incidence of the light-emitting element 61 and the angle of reflection of the light-receiving element 62 from the reflector 21 as a starting point to distilled water or ethylene glycol in which current flows, as well as a galdenic solution in which no current flows. Any solution is more preferable because it is possible to more accurately determine whether or not the leakage.

이때, 발광소자(61) 및 수광소자(62)는 반사경(21)을 향한 입사각 및 반사경(21)으로부터의 반사각에 각각 일치되도록 언더하우징(20)의 상부에 거치된 수평기판(60)의 하부에 장착되도록 하여 조립성 및 생산성을 보장한다.At this time, the light emitting element 61 and the light receiving element 62 are lower portions of the horizontal substrate 60 mounted on the upper portion of the under-housing 20 so as to coincide with the angle of incidence toward the reflector 21 and the angle of reflection from the reflector 21, respectively. To ensure assembly and productivity.

나아가, 반사경(21)은 언더하우징(20)의 바닥의 연마로 마련하여 부품을 추가하지 않아도 되어, 예를 들어 알루미늄재질의 언더하우징(20)의 바닥의 연마만으로도 충분토록 함으로써 생산성까지 보장할 수 있도록 한다.Furthermore, the reflector 21 is provided by polishing the bottom of the under-housing 20 so that no parts need to be added. For example, the productivity of the under-housing 20 of aluminum is sufficient even by polishing the bottom of the under-housing 20. To make.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 나타내는 분해사시도이고, 도 8d는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 나타내는 투시도 및 요부 분해사시도이다.8A to 8C are exploded perspective views showing an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention, and FIG. 8D is an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention. It is a perspective view showing) and an exploded perspective view.

도 5a 내지 도 8d에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 밸브(50)는 스템(52)을 통과시켜 상향 돌출되도록 내장한 상향뭉치(53)를 구비하고, 언더하우징(20)은 스템(52)에 결합되는 샤프트(41a)를 내장하여 상향뭉치(53)에 밀폐상태로 결합되는 하향뭉치(22)를 구비한다.5A to 8D, the valve 50 applied to the actuator control device according to the present invention is provided with an upward bundle 53 built in to protrude upward through the stem 52, and the under-housing 20 The shaft 41a coupled to the stem 52 is provided with a downward bundle 22 coupled to the upward bundle 53 in a closed state.

스템(52) 및 샤프트(41a)가 밸브(50)의 상향뭉치(53) 및 언더하우징(20)의 하향뭉치(22) 속에서 서로 결합되어 밀폐상태로 내장되도록 함으로써 밸브홀(50a)로부터 유체가 외부로 전혀 누액되지 않으면서 스템(52) 및 샤프트(41a)를 따라 오직 엑츄에이터(10)의 언더하우징(20) 속으로 안내됨과 동시에 반사경(21)에 곧바로 머물 수 있도록 하여 미세한 누액마저도 실시간으로 감지해 낼 수 있게 되는 것이다[전류의 통전 여부와 상관없이 어떠한 용액(심지어는 갈덴용액까지)일지라도 누액의 신속한 감지를 보장할 수 있어 더욱 바람직하게 된다].The stem 52 and the shaft 41a are coupled to each other in the upward bundle 53 of the valve 50 and the downward bundle 22 of the under-housing 20 so as to be embedded in a closed state, thereby allowing fluid from the valve hole 50a. It is guided directly into the under-housing 20 of the actuator 10 along the stem 52 and the shaft 41a without leaking to the outside at the same time. It is possible to detect [any solution (even up to a galdenic solution) regardless of whether the current is energized, it is possible to ensure the rapid detection of leakage, which is more preferable].

더욱 바람직하게, 상향뭉치(53) 및 하향뭉치(22)는 스템(52) 및 샤프트(41a)를 밀폐상태로 내장시키기 위하여 밸브(50)의 밸브홀(50a)로부터 언더하우징(20)의 바닥에 이르기까지 단일통로(T)를 확보하고, 스템(52)은 오링(52a)이 끼워져 단일통로(T)를 실링시킬 수 있도록 한다.More preferably, the upper bundle 53 and the lower bundle 22 are the bottom of the under-housing 20 from the valve hole 50a of the valve 50 to embed the stem 52 and the shaft 41a in a closed state. To ensure a single passage (T), the stem 52 is fitted with an O-ring (52a) to allow the sealing of the single passage (T).

상향뭉치(53) 및 하향뭉치(22)는 스템(52) 및 샤프트(41a)를 밀폐상태로 내장시키기 위하여 밸브(50)의 밸브홀(50a)로부터 언더하우징(20)의 바닥에 이르기까지 단일통로(T)를 확보하고, 스템(52)은 오링(52a)이 끼워져 단일통로(T)를 실링시킬 수 있도록 하는 것이다.The upper bundle 53 and the lower bundle 22 are single from the valve hole 50a of the valve 50 to the bottom of the under housing 20 in order to enclose the stem 52 and the shaft 41a in a closed state. The passage T is secured, and the stem 52 is such that the O-ring 52a is fitted to seal the single passage T.

밸브(50)의 밸브홀(50a)로부터 언더하우징(20)의 바닥에 이르기까지의 단일통로(T)에 스템(52) 및 샤프트(41a)가 밀폐된 상태로 내장되어 밸브홀(50a)을 따라 흐르는 유체가 오랜 사용으로 인해 스템(52)의 오링(52a) 사이로 누액이 발생될지라도 곧바로 엑츄에이터(10)의 언더하우징(20) 속으로 안내되면서 보다 신속한 누액감지를 실현토록 함으로써 전체 설비의 안전한 운전을 철저히 가능케 하는 것이다.The stem 52 and the shaft 41a are sealed in a single passage T from the valve hole 50a of the valve 50 to the bottom of the under-housing 20, and the valve hole 50a is opened. Even if the fluid flowing along is leaked between the O-rings 52a of the stem 52 due to long-term use, it is guided directly into the under-housing 20 of the actuator 10, thereby realizing a faster leak detection, thereby ensuring the safety of the entire facility. It is to make driving thoroughly possible.

이때, 상향뭉치(53) 및 하향뭉치(22) 사이에 패킹(P)이 개재됨과 동시에 상향뭉치(53)로부터 하향뭉치(22)를 향하여 조여지는 볼트(B)를 더 포함하여 밸브(50)의 밸브홀(50a)로부터 언더하우징(20)의 바닥에 이르기까지의 단일통로(T)를 실링으로 보장함과 동시에 조립성까지 크게 향상시킬 수 있도록 한다.At this time, the valve (50) further comprises a bolt (B) that is tightened toward the downward bundle (22) from the upward bundle (53) while the packing (P) is interposed between the upward bundle (53) and the downward bundle (22). A single passage T from the valve hole 50a to the bottom of the under-housing 20 is ensured by sealing, and at the same time, it is possible to greatly improve assembly.

도 9a는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 나타내는 사시도이고, 도 9b 내지 도 9d는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 엑츄에이터(10) 및 밸브(50)를 다양한 각도에서 촬영한 사진이다.9A is a perspective view showing an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention, and FIGS. 9B to 9D are an actuator 10 and a valve 50 applied to an actuator control device according to the present invention. Is a picture taken from various angles.

본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치는 도 5a 내지 도 9d에 도시된 바와 같이 언더하우징(20)의 측벽에 뚫려져 모터(40)에 전원을 공급하는 케이블(C)이 통과되는 사이드터널(23)과, 사이드터널(23)에 끼워짐과 동시에 케이블(C)을 통과시키는 한편 케이블(C)을 통해 전원을 공급받아 점멸되는 LED(L)의 빛을 도광시켜 확산시키는 도광캡(90)을 포함한다.The actuator control device according to the present invention is drilled on the side wall of the under-housing 20 as shown in FIGS. 5A to 9D and the side tunnel 23 through which the cable C for supplying power to the motor 40 passes. , Includes a light guide cap (90) that passes through the cable (C) at the same time as being inserted into the side tunnel (23) while guiding and diffusing the light of the flashing LED (L) while receiving power through the cable (C). .

사이드터널(23)에 끼워지는 도광캡(90)으로서 케이블(C)을 더욱 안전하게 보호할 수 있고, 특히 도광캡(90)으로 LED(L)의 빛을 도광시켜 확산시킬 수 있도록 하여 케이블(C)의 피복과 함께 빛이 더욱 먼 거리까지 반사되어 예를 들어 엑츄에이터(10) 내부의 상태를 LED(L)의 빛으로서 표출시키고자 할 때 더 멀리 더 넓게 구현되어 다양한 각도에서의 시인성을 보장할 수 있어 특히 바람직하게 된다.As the light guide cap 90 fitted to the side tunnel 23, the cable C can be more safely protected, and in particular, the light guide LED 90 can be guided to diffuse the light of the LED L, thereby allowing the cable C to be diffused. ) And the light is reflected to a longer distance with the coating of, for example, when trying to express the state inside the actuator 10 as the light of the LED (L), it is implemented farther and wider to ensure visibility at various angles. Can be particularly preferred.

도 10a 및 도 10b는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 언더하우징(20) 및 도광캡(90)을 나타내는 사진이고, 도 10c는 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 도광캡(90)을 나타내는 사진이다.10A and 10B are photographs showing the under-housing 20 and the light guide cap 90 applied to the actuator control device according to the present invention, and FIG. 10C shows the light guide cap 90 applied to the actuator control device according to the present invention. It is a picture.

본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치에 적용된 도광캡(90)은 도 5a 내지 도 10c에 도시된 바와 같이 LED(L)가 끼워지도록 일체화된 코너벌브(91)를 구비한다.The light guide cap 90 applied to the actuator control device according to the present invention includes a corner bulb 91 integrated to fit the LED L as shown in FIGS. 5A to 10C.

도광캡(90) 자체에 코너벌브(91)를 마련하여 LED(L)가 끼워지도록 함으로써, 예를 들어 폴리카보네이트 재질의 도광캡(90)으로 빛의 도광 및 확산을 더욱 가중되도록 함으로써 외부에서의 시인성의 극대화를 도모할 수 있도록 하는 것이다.By providing a corner bulb 91 on the light guide cap 90 itself so that the LED (L) is fitted, for example, the light guiding and diffusion of light is further weighted by the light guide cap 90 made of polycarbonate. It is to make it possible to maximize the visibility.

구체적으로, 도광캡(90)은 사이드터널(23)에 억지 끼워져 LED(L)의 빛을 사이드터널(23)의 길이방향으로 도광시켜 확산시키는 내도광벽(92)과, 이 내도광벽(92)으로부터 외향 돌출되어 사이드터널(23)의 바깥으로 노출되면서 LED(L)의 빛을 사이드터널(23)의 측방향으로 도광시켜 확산시키는 외도광턱(93)을 포함한다.Specifically, the light guide cap 90 is fitted to the side tunnel 23 to guide the light of the LED (L) in the longitudinal direction of the side tunnel 23 and diffuses the light guide wall 92 and the light guide wall ( 92) while protruding outward from the side tunnel 23 and exposed to the outside of the side tunnel 23, the light guide of the side tunnel 23 is guided and diffused.

도광캡(90)의 내도광벽(92)에 의해 LED(L)의 빛이 직진 도광 및 확산되어 케이블(C)을 감싸고 있는 피복의 반사까지 활용토록 하여 빛의 시인성을 더욱 보장하고, 나아가 도광캡(90)의 외도광턱(93)에 의해 LED(L)의 빛이 굴절 도광 및 확산되어 전방위에서의 빛의 시인성을 보장하여, 엑츄에이터(10) 내부의 상태를 LED(L)의 빛으로서 표출시키고자 할 때 더 멀리 더 넓게 구현되도록 함으로써 보다 다양한 각도에서의 빛을 이용한 시그널을 확인할 수 있도록 하는 것이다.The light of the LED (L) is directly guided and diffused by the light guide wall 92 of the light guide cap 90 to utilize the reflection of the sheath surrounding the cable C to further ensure the visibility of the light, and further guide the light. The light of the LED (L) is refracted by light and diffused by the external light jaw (93) of the cap (90) to ensure the visibility of light in all directions, thereby expressing the state inside the actuator (10) as the light of the LED (L) When you want to do it, it is possible to realize the signal using light from various angles by making it more widely implemented.

그리고, 본 발명에 따른 엑츄에이터 컨트롤 장치는 사이드터널(23)의 안쪽 언더하우징(20)의 측벽을 따라 마련된 수직홈(24)과, 이 수직홈(24)에 끼워짐과 동시에 LED(L)를 탑재하면서 에폭시로 사이드터널(23)과 함께 밀폐되는 수직기판(80)을 포함하여, 코너벌브(91)로의 LED(L)의 장착을 더욱 용이하게 하면서 에폭시와 함께 한 수직기판(80)에 의해 사이드터널(23)의 완벽한 실링을 가능케 하여 바람직하게 된다.
And, the actuator control device according to the present invention, the vertical groove 24 provided along the side wall of the inner under-housing 20 of the side tunnel 23 and the LED (L) at the same time as being fitted into the vertical groove 24 Including the vertical substrate 80 sealed with the side tunnel 23 with epoxy while mounted, by the vertical substrate 80 with the epoxy while making the mounting of the LED (L) to the corner bulb 91 more easily This makes it possible to make a perfect sealing of the side tunnel 23, which is preferable.

본 발명은 전기에너지를 기계에너지로 변환하여 사물을 쥔다든가 방향을 바꾼다든가 위치를 변동시키는데 이용되는 산업용 로봇의 부속장치에서부터 모터의 정회전 또는 역회전을 조절하여 공기나 유체(반도체 세척분야) 등의 흐름을 조절하는 밸브 등에 이르기까지 다양한 기술분야에 이용될 수 있다.
The present invention converts electrical energy into mechanical energy to control the forward or reverse rotation of a motor from an accessory device of an industrial robot used to grasp an object or change a direction or change its position, such as air or fluid (semiconductor washing field). It can be used in a variety of technical fields, such as valves to control the flow of.

10 : 엑츄에이터 20 : 언더하우징
21 : 반사경 22 : 하향뭉치
23 : 사이드터널 24 : 수직홈
30 : 어퍼하우징 40 : 모터
41 : 기어모듈 41a : 샤프트
50 : 밸브 50a : 밸브홀
51 : 개폐수단 52 : 스템
52a : 오링 53 : 상향뭉치
60 : 수평기판 61 : 발광소자
62 : 수광소자 70 : 컨트롤러
80 : 수직기판 90 : 도광캡
91 : 코너벌브 92 : 내도광벽
93 : 외도광턱 T : 단일통로
B : 볼트 L : LED
C : 케이블 P : 패킹10: actuator 20: under housing
21: reflector 22: downward bundle
23: side tunnel 24: vertical groove
30: upper housing 40: motor
41: gear module 41a: shaft
50: valve 50a: valve hole
51: opening and closing means 52: stem
52a: O-ring 53: upward bundle
60: horizontal substrate 61: light emitting element
62: light receiving element 70: controller
80: vertical substrate 90: light guide cap
91: corner bulb 92: inner light wall
93: Oedo light tuck: Single passage
B: Bolt L: LED
C: Cable P: Packing

Claims

The actuator 10 is provided in the under-housing 20 and the upper housing 30 that are mutually coupled to the motor 40 for supplying the rotational force to the shaft 41a via the gear module 41, and the flow of fluid In the actuator control device including a valve (50) having a stem (52) fixed to the opening and closing means (51) for intermittent interlocking with the rotation of the shaft (41a),
A reflector 21 provided on the bottom of the under-housing 20 and a light-emitting element provided on an upper portion of the under-housing 20 corresponding to the reflector 21 to irradiate and receive light toward the reflector 21 ( 61) and the light receiving element (62), when the leakage of fluid from the valve (50) to be confirmed by the reflector (21) provided on the bottom of the under-housing (20) but the light emitted from the light emitting element (61) When receiving from the light-receiving element 62, it is determined that it is in a normal state, while the light irradiated from the light-emitting element 61 is not received by the light-receiving element 62 due to leakage of fluid from the valve 50. It includes a controller 70 to determine the abnormal state,
The under housing 20 is made of aluminum material,
The reflector 21 is an actuator control device characterized in that it is provided by grinding the bottom made of an aluminum material of the under-housing (20).

According to claim 1,
The light-emitting element 61 and the light-receiving element 62 are horizontal substrates 60 mounted on the top of the under-housing 20 so as to coincide with the angle of incidence toward the reflector 21 and the angle of reflection from the reflector 21, respectively. Actuator control device, characterized in that mounted on the lower portion.

delete

The method according to claim 1 or 2,
The valve 50 is provided with a built-in upward bundle 53 to protrude upward through the stem 52,
The under-housing (20) is equipped with the shaft (41a) coupled to the stem (52), the actuator control device characterized in that it comprises a downward bundle (22) coupled in a closed state to the upper bundle (53). .

According to claim 4,
The upper bundle 53 and the lower bundle 22 are the bottom of the under-housing 20 from the valve hole 50a of the valve 50 to embed the stem 52 and the shaft 41a in a closed state. Secure a single passage (T) to
The stem 52 is an actuator control device characterized in that the O-ring (52a) is fitted to seal the single passage (T).

The method of claim 5,
It characterized in that it further comprises a bolt (B) tightened toward the downward bundle (22) from the upper bundle (53) and the packing (P) is interposed between the upward bundle (53) and the downward bundle (22). Actuator control device.