KR102088612B1 - Reliability testing equipment for flexible material - Google Patents

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KR102088612B1 KR1020180065218A KR20180065218A KR102088612B1 KR 102088612 B1 KR102088612 B1 KR 102088612B1 KR 1020180065218 A KR1020180065218 A KR 1020180065218A KR 20180065218 A KR20180065218 A KR 20180065218A KR 102088612 B1 KR102088612 B1 KR 102088612B1
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Abstract

신뢰성 검사 장치를 개시한다. 본 발명의 신뢰성 검사 장치는 제1 방향으로 잡아당기는 제1 구동력을 제공하는 제1 모터부, 일측이 제1 모터부의 하부에 연결되고, 제1 구동력에 의한 직선 운동 경로를 제공하는 스탠드부, 검사 대상물의 일 측이 연결되고, 기 결정된 인장력을 유지한 상태로 검사 대상물을 직선 운동 경로를 따라 이송시키는 제1 이송부, 상부면에 스탠드부의 저면이 연결되고 스탠드부를 지지하는 지지부, 지지부의 상부면에 수평하게 제2 방향으로 연장되고, 검사 대상물의 타 측이 감길 수 있도록 연결되는 샤프트부, 일측이 샤프트부에 연결되서 샤프트부를 회전시키는 제2 구동력을 제공하는 제2 모터부 및 제2 모터부로부터 전달된 제2 구동력에 의해서 기 결정된 회전 속도를 유지한 상태로 샤프트부를 회전시키는 제2 이송부를 포함하고, 제1 구동력 및 제2 구동력에 의해서 검사 대상물을 감거나 펴는 동작을 반복적으로 실행한다.A reliability inspection device is disclosed. Reliability inspection device of the present invention, the first motor portion providing a first driving force to pull in the first direction, one side is connected to the lower portion of the first motor portion, the stand portion providing a linear motion path by the first driving force, inspection One side of the object is connected, the first conveying part for conveying the inspection object along a linear motion path while maintaining a predetermined tensile force, the bottom surface of the stand part is connected to the upper surface, the support part supporting the stand part, the upper surface of the support part From the second motor portion and the second motor portion extending horizontally in the second direction and connected to the other side of the inspection object to be wound, one side is connected to the shaft portion to provide a second driving force to rotate the shaft portion It includes a second transfer unit for rotating the shaft portion in a state maintaining a predetermined rotational speed by the transmitted second driving force, the first driving force and the second driving force It executes a forward or expanding operation the target object by repeatedly.

Description

플렉서블 소재에 대한 신뢰성 검사 장치{RELIABILITY TESTING EQUIPMENT FOR FLEXIBLE MATERIAL}RELIABILITY TESTING EQUIPMENT FOR FLEXIBLE MATERIAL}

본 발명은 신뢰성 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉서블 소재(필름, 디스플레이 패널, 기판 등)에 대한 신뢰성을 검사하기 위한 신뢰성 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a reliability inspection device, and more particularly, to a reliability inspection device for inspecting the reliability of a flexible material (film, display panel, substrate, etc.).

최근들어 플렉서블 디스플레이에 대한 수요가 증가하면서 유연 기판, 유연 패널, 유연 필름 등에 대한 개발이 활발하게 진행되고 있다. 유연 기판(flexible substrate)은 종래의 경질 기판(rigid substrate)와 비교하여 유연성을 특징으로 하므로, 유연 기판에 대한 신뢰성 검사는 종래의 경질 기판에 대한 신뢰성 검사 방시과는 차이점이 존재한다. 이러한 차이점을 극복하기 위하여 유연 기판, 유연 필름 등에 대한 새로운 방식의 신뢰성 측정(검사) 장비에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다.Recently, as the demand for flexible displays has increased, development of flexible substrates, flexible panels, and flexible films has been actively conducted. Since a flexible substrate is characterized by flexibility compared to a conventional rigid substrate, the reliability test for the flexible substrate has a difference from the conventional reliability test method for the rigid substrate. In order to overcome these differences, development of a new type of reliability measurement (inspection) equipment for flexible substrates, flexible films, and the like has been actively conducted.

선행특허 1은 플렉서블 디스플레이의 회전벤딩 테스트 장치에 관한 것으로서, 플레서블 디스플레이에 반복적인 회전벤딩 응력을 가함으로써 벤딩에 따른 기계적 변형 여부를 측정하는 플레서블 디스플레이의 회전벤딩 테스트 장치를 개시하고 있다. 선행문헌 1의 경우에는 회전벤딩 응력을 가하여 플렉서블 디스플레이에 기계적 변형 여부를 측정할 수 있으나, 정밀하게 회전벤딩 응력을 정밀하게 제어할 수 없으므로, 테스트 후 정확한 결과 예측이 어렵다는 문제점이 존재한다.선행문헌 3은 폴더블 디스플레이 장치 및 이의 검사 장치에 관한 것이다. 선행문헌 3의 경우에도 와인딩과 언와인딩을 할 수 있으므로 유연한 디스플레이를 검사할 수 있으나, 정밀하게 와인딩과 언와인딩을 제어할 수 없으므로 정밀한 신뢰성 측정이 어렵다는 문제점이 지적된다.Prior Patent 1 relates to a rotational bending test device for a flexible display, and discloses a rotational bending test device for a flexible display that measures whether a mechanical deformation is caused by bending by repeatedly applying a bending stress to the flexible display. In the case of the prior document 1, it is possible to measure the mechanical deformation of the flexible display by applying a rotational bending stress, but since it is impossible to precisely control the rotational bending stress precisely, there is a problem that it is difficult to predict an accurate result after the test. 3 relates to a foldable display device and its inspection device. In the case of the prior document 3, since it is possible to wind and unwind, it is possible to inspect a flexible display, but it is pointed out that it is difficult to accurately measure the reliability since it is impossible to precisely control the winding and unwinding.

선행문헌 1 : 한국등록특허 제10-1618079호(공고일 : 2016년05월04일)Prior Literature 1: Korean Registered Patent No. 10-1618079 (Publication Date: May 04, 2016) 선행문헌 2 : 한국등록특허 제10-1295887호(공고일 : 2013년08월06일)Prior Literature 2: Korean Registered Patent No. 10-1295887 (Publication Date: August 6, 2013) 선행문헌 3 : 한국공개특허 제10-2017-0073958호(공개일 : 2017년06월29일)Prior Literature 3: Korean Patent Publication No. 10-2017-0073958 (Publication date: June 29, 2017)

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 유연 기판, 유연 패널 등을 정밀하게 와인딩 또는 언와인딩하도록 제어함으로써, 유연 기판에 가해지는 응력을 매우 정밀하게 제어할 수 있고, 그러한 제어하에서 얻어지는 결과를 분석함으로써 유연 기판 테스트 결과의 정확도를 높일 수 있는 신뢰성 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention for solving the above-mentioned problems can be controlled by precisely winding or unwinding a flexible substrate, a flexible panel, or the like, thereby controlling the stress applied to the flexible substrate very precisely, and analyzing the results obtained under such control. An object of the present invention is to provide a reliability inspection device capable of increasing the accuracy of flexible substrate test results.

상기 목적을 달성하기 위해서 안출된 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치는, 제1 방향으로 잡아당기는 제1 구동력을 제공하는 제1 모터부; 일측이 상기 제1 모터부의 하부에 연결되고, 상기 제1 구동력에 의해서 직선 운동 경로를 제공하는 스탠드부; 검사 대상물의 일 측이 연결되고, 기 결정된 장력을 유지한 상태로 상기 검사 대상물을 상기 직선 운동 경로를 따라 이송시키는 제1 이송부; 상부면에 스탠드부의 저면이 연결되고 상기 스탠드부를 지지하는 지지부; 상기 지지부의 상부면에 수평하게 제2 방향으로 연장되고, 상기 검사 대상물이 감길 수 있도록 연결되는 샤프트부; 일측이 상기 샤프트부에 연결되서 상기 샤프트부를 회전시키는 제2 구동력을 제공하는 제2 모터부; 상기 제2 모터부로부터 전달된 상기 제2 구동력에 의해서 기 결정된 회전 토크를 유지한 상태로 상기 샤프트부를 회전시키는 제2 이송부; 및 상기 제1 모터부 및 상기 제2 모터부의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.Reliability test apparatus according to an embodiment of the present invention is devised to achieve the above object, a first motor unit for providing a first driving force for pulling in a first direction; A stand portion having one side connected to a lower portion of the first motor portion and providing a linear motion path by the first driving force; A first conveying unit which is connected to one side of the object to be inspected and conveys the object to be inspected along the linear motion path while maintaining a predetermined tension; A support portion having a bottom surface connected to an upper surface and supporting the stand portion; A shaft portion extending horizontally to the upper surface of the support portion in a second direction and connected to allow the inspection object to be wound; A second motor part connected to the shaft part to provide a second driving force for rotating the shaft part; A second conveying unit for rotating the shaft unit while maintaining a predetermined rotation torque by the second driving force transmitted from the second motor unit; And a control unit controlling the operation of the first motor unit and the second motor unit.

이 경우에, 상기 제어부는 상기 제1 구동력 및 상기 제2 구동력의 크기, 속도, 방향을 조절하여 상기 검사 대상물을 감거나 펴는 동작을 반복적으로 실행한다.In this case, the controller repeatedly performs an operation of winding or unfolding the inspection object by adjusting the magnitude, speed, and direction of the first driving force and the second driving force.

한편, 상기 제1 이송부는, 상기 검사 대상물의 일 측을 고정시키는 고정 부재, 상기 스탠드부와 연결되서 이송력을 제공하는 이송 부재 및 상기 고정 부재 및 상기 이송 부재 사이에 구비되는 제1 로드셀을 포함한다.On the other hand, the first transfer unit includes a fixed member for fixing one side of the inspection object, a transfer member connected to the stand unit to provide a transfer force, and a first load cell provided between the fixed member and the transfer member do.

한편, 상기 스탠드부는, 상기 이송 부재와 연결되서 상기 제1 구동력을 전달하는 이송 벨트를 더 포함한다.Meanwhile, the stand portion further includes a transfer belt connected to the transfer member to transmit the first driving force.

이 경우에, 상기 스탠드부는, 상기 고정 부재의 접근을 감지하여 상기 검사 대상물의 감기는 횟수를 측정하는 카운터를 더 구비한다.In this case, the stand unit further includes a counter for sensing the approach of the fixing member and measuring the number of times the object is wound.

한편, 상기 제어부는, 상기 고정 부재와 상기 이송 부재 사이에 작용하는 장력을 상기 제1 로드셀에 의해서 센싱하도록 제어한다.On the other hand, the control unit is controlled to sense the tension acting between the fixing member and the transfer member by the first load cell.

이 경우에, 상기 제어부는, 상기 제1 로드셀에 의해서 센싱된 장력의 크기가 기 결정된 값의 범위를 벗어나는 경우에, 상기 제1 모터 또는 상기 제2 모터의 동작을 제어한다.In this case, the control unit controls the operation of the first motor or the second motor when the magnitude of the tension sensed by the first load cell is outside the range of a predetermined value.

한편, 상기 제2 이송부는, 상기 샤프트부의 일 측에 연결되는 제1 샤프트 고정 부재, 상기 제1 샤프트 고정 부재를 관통한 상기 샤프트부의 일 측에 연결되는 제2 제2 샤프트 고정 부재 및 상기 제2 회전 베어링의 일측에 구비되는 제2 로드셀을 포함한다.On the other hand, the second transfer unit, a first shaft fixing member connected to one side of the shaft portion, a second second shaft fixing member connected to one side of the shaft portion passing through the first shaft fixing member and the second And a second load cell provided on one side of the rotating bearing.

이 경우에, 상기 제어부는, 상기 샤프트부에 작용하는 토크의 크기를 상기 제2 로드셀에 의해서 센싱하도록 제어한다.In this case, the control unit controls to sense the magnitude of the torque acting on the shaft portion by the second load cell.

이 경우에, 상기 제어부는, 상기 제2 로드셀에 의해서 센싱된 회전 토크의 크기가 기 결정된 값의 범위를 벗어나는 경우에, 상기 제1 모터 또는 상기 제2 모터의 동작을 제어한다.In this case, the control unit controls the operation of the first motor or the second motor when the magnitude of the rotation torque sensed by the second load cell is outside the range of a predetermined value.

본 발명의 다양한 실시 예에 따르면, 유연 기판, 유연 패널 등을 정밀하게 와인딩 또는 언와인딩하도록 제어함으로써, 유연 기판에 가해지는 응력을 매우 정밀하게 제어할 수 있고, 그러한 제어하에서 얻어지는 결과를 분석함으로써 유연 기판 테스트 결과의 정확도를 높일 수 있다.According to various embodiments of the present invention, by controlling the flexible substrate, the flexible panel, and the like to be precisely wound or unwinded, stress applied to the flexible substrate can be controlled very precisely, and the results obtained under such control can be analyzed to be flexible The accuracy of the substrate test results can be improved.

도 1은 본 발명의 신뢰성 검사 장치를 예시적으로 설명하기 위한 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 평면도,
도 3은 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 정면도,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 제1 모터부, 스탠드부 및 제1 이송부의 일부를 예시적으로 설명하기 위한 도면,
도 5는 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 배면도,
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 제1 이송부 부분을 확대하여 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 지지부와 스탠드부의 일부를 예시적으로 도시한 도면,
도 8은 도 7에 도시된 지지부의 하부면을 도시한 도면, 그리고,
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2 모터부, 제2 이송부의 일부를 예시적으로 설명하기 위한 도면.1 is a perspective view for illustratively illustrating the reliability inspection device of the present invention,
2 is a plan view of the reliability test apparatus shown in FIG. 1,
3 is a front view of the reliability inspection apparatus shown in FIG. 1,
4 is a view for explaining a part of the first motor unit, the stand unit and the first transfer unit of the reliability inspection apparatus according to an embodiment of the present invention by way of example,
5 is a rear view of the reliability test apparatus shown in FIG. 1,
6 is an enlarged view of a portion of a first transfer part of a reliability inspection device according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a portion of the support and the stand of the reliability test apparatus according to an embodiment of the present invention by way of example,
8 is a view showing a lower surface of the support shown in FIG. 7, and
9 is a view for exemplarily explaining a part of a second motor part and a second transfer part according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 다양한 실시 예를 구체적으로 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 다양한 실시 예에서 도면의 축적이나 비율은 예시적인 것에 불과하고, 실시 예에 따라 도면에 도시된 본 발명의 구성요소는 모양, 형태, 치수 또는 크기가 다르게 설계될 수 있다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited or limited by the embodiments. In addition, in various embodiments of the present invention, the accumulation or proportions of the drawings are merely exemplary, and the components of the present invention illustrated in the drawings may be designed in different shapes, shapes, dimensions, or sizes according to embodiments.

도 1은 본 발명의 신뢰성 검사 장치를 예시적으로 설명하기 위한 사시도이다. 도 1을 참고하면, 신뢰성 검사 장치(100)는 제1 모터부(110), 스탠드부(120), 제1 이송부(130), 지지부(140), 샤프트부(150), 제2 모터부(160), 제2 이송부(170) 및 제어부(180)를 포함한다.1 is a perspective view for illustratively explaining the reliability inspection device of the present invention. Referring to FIG. 1, the reliability inspection device 100 includes a first motor unit 110, a stand unit 120, a first transfer unit 130, a support unit 140, a shaft unit 150, and a second motor unit ( 160), a second transfer unit 170 and a control unit 180.

제1 모터부(110)는 상부 방향으로 잡아당기는 힘을 제공한다. 즉, 제1 모터부(110)는 스탠드부(120)의 상부에 위치하고, 스탠드부(120)에 이동가능하게 연결되는 제1 이송부(130)에 제1 구동력을 제공함으로써 제1 이송부(130)에 연결된 검사 대상물을 윗쪽으로 잡아당겨 올릴 수 있다.The first motor unit 110 provides a force to pull upward. That is, the first motor unit 110 is located at the top of the stand unit 120, the first transfer unit 130 by providing a first driving force to the first transfer unit 130 is movably connected to the stand unit 120 The inspection object connected to can be pulled upward.

스탠드부(120)는 지면에 대해서 수직하게 연장된 구조체이다. 즉, 스탠드부(120)는 제1 이송부(130)에 왕복 운동 경로를 제공해 준다. 스탠드부(120)는 측면에 이송 벨트를 더 구비할 수 있고, 이송 벨트에 의해서 제1 이송부(130)에 제1 구동력을 전달하여 상부 방향으로 이동시킨다.The stand unit 120 is a structure extending perpendicular to the ground. That is, the stand unit 120 provides a reciprocating motion path to the first transfer unit 130. The stand unit 120 may further include a transfer belt on the side surface, and transfer the first driving force to the first transfer unit 130 by the transfer belt to move in the upper direction.

제1 이송부(130)는 검사 대상물의 일 측과 연결되서 검사 대상물이 아래로 감길 경우에는 일정한 장력을 유지시키면서 아래 방향으로 이동시킨다. 제1 이송부(130)는 검사 대상물이 윗쪽으로 이동할 경우에는 일정한 장력을 유지시키면서 제1 모터부(110)에 의해서 제공되는 제1 구동력에 의해서 검사 대상물을 윗쪽으로 이송시킨다. 다시 말해서, 제1 이송부(130)는 스탠드부(120)에 의해서 제공되는 왕복 운동 경로를 따라 제1 모터부(110)에 의해서 공급되는 제1 구동력으로 검사 대상물을 상부 또는 하부로 이동시킨다. 이러한 제1 이송부(130)의 보다 구체적인 구조는 별도의 도면을 참고하여 이하에서 설명한다.The first transfer unit 130 is connected to one side of the inspection object and moves downward while maintaining a constant tension when the inspection object is wound downward. The first transfer unit 130 transfers the inspection object upward by the first driving force provided by the first motor unit 110 while maintaining a constant tension when the inspection object moves upward. In other words, the first transfer unit 130 moves the inspection object to the upper or lower portion with the first driving force supplied by the first motor unit 110 along the reciprocating motion path provided by the stand unit 120. The more specific structure of the first transfer unit 130 will be described below with reference to a separate drawing.

지지부(140)는 스탠드부(130)의 일측이 고정되고, 제1 모터부(110), 스탠드부(120) 및 제1 이송부(130)를 지면으로부터 이격된 상태로 지지한다. 지지부(140)는 스탠드부(120)를 지지하고, 상부면에 수평방향으로 연장되는 샤프트부(150)를 지지할 수 있다. 지지부(140)는 하부면에 적어도 복수개소에 받침을 구비한다. 이에 대해서는 별도의 도면을 참고하여 이하에서 설명한다.The support part 140 is fixed to one side of the stand 130, and supports the first motor part 110, the stand part 120, and the first transfer part 130 in a state spaced apart from the ground. The support part 140 supports the stand part 120 and supports a shaft part 150 extending in a horizontal direction on the upper surface. The supporting part 140 is provided with at least a plurality of supports on the lower surface. This will be described below with reference to a separate drawing.

샤프트부(150)는 제2 모터부(160)에 의해서 제공되는 회전력을 이용하여 기 결정된 방향으로 회전운동을 한다. 샤프트부(150)는 검사 대상물의 일측단에 연결되고, 검사 대상물을 와인딩하거나 언와인딩한다. 샤프트부(150)의 회전 방향, 회전 토크, 회전 속도 등을 제어할 수 있고, 이에 대해서는 이하에서 별도로 설명한다.The shaft unit 150 rotates in a predetermined direction by using the rotational force provided by the second motor unit 160. The shaft part 150 is connected to one end of the inspection object, and winds or unwinds the inspection object. The rotation direction, rotation torque, rotation speed, etc. of the shaft unit 150 can be controlled, which will be described separately below.

제2 모터부(160)는 제2 이송부(170)를 통해서 샤프트부(150)를 회전시키기 위한 제2 구동력을 제공한다. 제2 모터부(160)는 제어부(180)의 제어에 따라 샤프트부(150)의 회전 속도, 회전 토크, 회전 방향 등이 변경될 수 있다. 예를 들어, 검사 대상물을 와인딩하는 경우에는 제2 모터부(160)는 와이딩 방향으로 샤프트부(150)를 회전시킨다. 반대로 언와인딩하는 경우에는 제2 모터부(160)는 언와이딩 방향(와이딩의 반대 방향)으로 샤프트부(150)를 회전시킬 수 있다.The second motor unit 160 provides a second driving force for rotating the shaft unit 150 through the second transfer unit 170. The second motor unit 160 may change the rotation speed, rotation torque, rotation direction, etc. of the shaft unit 150 under the control of the controller 180. For example, when winding the inspection object, the second motor unit 160 rotates the shaft unit 150 in the winding direction. Conversely, when unwinding, the second motor unit 160 may rotate the shaft unit 150 in the unwinding direction (opposite direction of the winding).

제2 이송부(170)는 샤프트부(150)에 의해서 관통되고, 제2 모터부(160)에 의해서 제공되는 제2 구동력을 샤프트부(150)에 전달한다. 제2 이송부(170)는 제1, 2 샤프트 고정 부재와 제1, 2 샤프트 고정 부재를 관통하는 샤프트부(150)의 회전 속도, 회전 토크, 회전 방향을 센싱할 수 있다. The second transfer part 170 is penetrated by the shaft part 150 and transmits the second driving force provided by the second motor part 160 to the shaft part 150. The second transfer unit 170 may sense the rotation speed, rotation torque, and rotation direction of the shaft unit 150 passing through the first and second shaft fixing members and the first and second shaft fixing members.

제어부(180)는 제1 모터부(110) 및 제2 모터부(160)의 동작을 제어함으로써, 검사 대상물을 와인딩하거나 언와인딩할 경우에 정밀하게 제어할 수 있다. 구체적으로 제어부(180)는 제1 이송부(130) 및 제2 이송부(170)에 구비된 센서를 통해서 검사 대상물에 가해지는 응력을 직간접적으로 측정할 수 있고, 측정된 응력을 미리 설정된 값에 부합되도록 제1 모터부(110) 및 제2 모터부(160)의 동작을 제어할 수 있다. 본 발명의 경우에는 제어부(180)가 제1 모터부(110)와 제2 모터부(160)의 동작 제어를 통해서 와인딩 또는 언와인딩을 정밀하게 제어함으로써 검사 대상물에 가해지는 응력에 대한 통제가 가능하여 검사 결과에 신뢰도를 높일 수 있다.The control unit 180 may precisely control when the object to be inspected is wound or unwound by controlling the operations of the first motor unit 110 and the second motor unit 160. Specifically, the control unit 180 may directly or indirectly measure the stress applied to the inspection object through the sensors provided in the first transfer unit 130 and the second transfer unit 170, and the measured stress conforms to a preset value. The operation of the first motor unit 110 and the second motor unit 160 can be controlled as much as possible. In the case of the present invention, the control unit 180 can control the stress applied to the inspection object by precisely controlling the winding or unwinding through the operation control of the first motor unit 110 and the second motor unit 160. This increases the reliability of the test results.

도 2는 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 평면도이다. 도 2를 참고하면, 신뢰성 검사 장치(100)는 지지부(140)의 상부로 당기는 힘을 제공하는 제1 모터부(110)를 구비하고, 지지부(140)의 수평 방향으로는 회전 구동력을 제공하는 제2 모터부(160)를 구비한다. 제1 모터부(110)에 의한 당기는 힘과 제2 모터부(160)에 의한 회전시키는 힘을 각각 센싱할 수 있고, 센싱값에 기초하여 제1 모터부(110)와 제2 모터부(160)를 개별적으로 제어할 수 있으므로, 와이딩 또는 언와이딩 동작 시에 검사 대상물에 가해지는 응력을 일정하게 유지한 검사를 실시할 수 있다.FIG. 2 is a plan view of the reliability inspection device illustrated in FIG. 1. Referring to FIG. 2, the reliability inspection apparatus 100 includes a first motor unit 110 that provides a pulling force to the upper portion of the support unit 140, and provides rotational driving force in the horizontal direction of the support unit 140. A second motor unit 160 is provided. The pulling force by the first motor unit 110 and the rotational force by the second motor unit 160 may be sensed, respectively, and the first motor unit 110 and the second motor unit 160 may be sensed based on the sensing value. ) Can be individually controlled, so that it is possible to carry out an inspection in which the stress applied to the inspection object is kept constant during the winding or unwinding operation.

도 3은 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 정면도이다. 도 3을 참고하면, 검사 대상물(Target)은 지지부(140)에 근접한 부분이 와인딩된다. 검사 대상물(Target)이 샤프트부(150)에 의해서 순차적으로 감기면, 제1 이송부(130)가 지지부(140)에 근접하게 된다. 제1 이송부(130)가 지지부(140)에 최대한 근접할 경우에 와이딩 동작을 중단하고, 와인딩된 숫자를 카운터에 의해서 카운팅한다. 이하에서는 당기는 힘을 제공하는 구성과 감는 힘을 제공하는 구성을 각각 구체적으로 살펴본다.3 is a front view of the reliability inspection apparatus shown in FIG. 1. Referring to FIG. 3, an object to be inspected (Target) is wound near a portion of the support 140. When the inspection target (Target) is sequentially wound by the shaft unit 150, the first transfer unit 130 is brought close to the support unit 140. When the first transfer unit 130 is as close as possible to the support unit 140, the winding operation is stopped, and the wound number is counted by the counter. Hereinafter, the configuration providing the pulling force and the configuration providing the winding force will be described in detail.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 제1 모터부, 스탠드부 및 제1 이송부의 일부를 예시적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 4를 참고하면, 신뢰성 검사 장치(100)의 최상부에 제1 모터부(110)를 구비하므로, 제1 모터부(110)는 제1 이송부(130)를 상부 또는 하부로 이동시키기 위한 제1 구동력을 제공한다. 제1 모터부(110)는 제1 이송부(130)가 상부로 이동하기 위한 제1 구동력(F1)을 제공한다. 또는 제1 모터부(100)는 제1 이송부(130)가 하부로 이동할 경우에는 검사 대상물에 가해지는 응력이 일정하게 유지되도록 검사 대상물의 일 측면을 잡아당기는 힘(F2)을 제공한다. 여기서 F1은 F2보다 크고, 방향은 동일하다. 제1 모터부(110)는 상부로 당기는 힘을 제공하고, 스탠드부(120)는 제1 이송부(130)가 상부 또는 하부로 왕복 운동을 위한 경로를 제공한다. 스탠드부(120)에서 제공하는 왕복 운동 경로는 레일 방식, 이송 벨트 방식 이들의 혼합된 방식 등으로 구현될 수 있다.4 is a view for exemplarily explaining a part of a first motor part, a stand part, and a first transfer part of a reliability inspection device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, since the first motor unit 110 is provided at the top of the reliability inspection apparatus 100, the first motor unit 110 is a first for moving the first transfer unit 130 upward or downward. Provides driving force. The first motor unit 110 provides a first driving force F 1 for the first transfer unit 130 to move upward. Alternatively, when the first transfer unit 130 moves downward, the first motor unit 100 provides a force F 2 that pulls one side of the inspection object so that the stress applied to the inspection object is kept constant. Here, F 1 is larger than F 2 , and the direction is the same. The first motor unit 110 provides a pulling force upward, and the stand unit 120 provides a path for the first transfer unit 130 to move upward or downward. The reciprocating motion path provided by the stand 120 may be implemented by a rail method, a transfer belt method, or a mixed method thereof.

도 5는 도 1에 도시된 신뢰성 검사 장치의 배면도이다. 도 5를 참고하면, 스탠드부(120)의 일 측면에는 제1 구동력에 기초하여 제1 이송부(130)를 상부 또는 하부로 이송시키기 위한 구동력 전달 수단으로써, 이송 벨트(121)를 더 구비할 수 있다. 이송 벨트(121)는 일 측이 이송 부재(132)에 연결되고 타측이 스탠드부(120)에 이동 가능하도록 연결되서 이송 부재(132)의 상하 이동을 위한 제1 구동력을 전달한다. 도 5에 도시된 Z축 방향은 제1 모터부(110)에 의해서 제공되는 왕복 운동 경로이고, 왕복 운동 경로에 따라 제1 이송부(130)는 왕복 운동을 한다. X축 방향은 지지부(140)에서 제2 모터부(160) 방향으로 샤프트부(150)가 연장되는 방향이다.5 is a rear view of the reliability inspection apparatus shown in FIG. 1. Referring to FIG. 5, one side of the stand unit 120 may further include a transfer belt 121 as a driving force transmission means for transferring the first transfer unit 130 to the upper or lower portion based on the first driving force. have. The transfer belt 121 has one side connected to the transfer member 132 and the other side movably connected to the stand portion 120 to transmit a first driving force for vertical movement of the transfer member 132. The Z-axis direction illustrated in FIG. 5 is a reciprocating motion path provided by the first motor unit 110, and the first transport unit 130 reciprocates according to the reciprocating motion path. The X-axis direction is a direction in which the shaft portion 150 extends from the support portion 140 to the second motor portion 160.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 제1 이송부의 일부를 확대하여 도시한 도면이다. 도 6을 참고하면, 제1 이송부(130)는 검사 대상물의 일측을 고정시키는 고정 부재(131), 스탠드부(120)에 이동가능하게 연결되서 스탠드부(120)를 상하 방향으로 이송시키는 이송 부재(132) 및 고정 부재(131)와 이송 부재(132) 사이에 연결되서 이송 부재(132)와 고정 부재(131) 사이에 작용하는 장력을 센싱하는 제1 로드셀(133)을 포함한다. 6 is an enlarged view illustrating a part of a first transfer unit of a reliability inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, the first transfer unit 130 is a fixing member 131 for fixing one side of the inspection object, and a transfer member movably connected to the stand unit 120 to transfer the stand unit 120 in the vertical direction. And a first load cell 133 connected between the fixing member 131 and the conveying member 132 and sensing a tension acting between the conveying member 132 and the retaining member 131.

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 신뢰성 검사 장치의 지지부와 스탠드부의 일부를 예시적으로 도시한 도면이다. 도 7을 참고하면, 지지부(140)의 플레이트 부재(141)의 일부 영역에는 스탠드부(120)의 종단면이 조립 연결된다. 지지부(140)의 플레이트 부재(141)의 상부에는 샤프트부(150)가 수평 방향으로 설치된다. 지지부(140)의 플레이트 부재(141)의 양측면에는 샤프트부(150)의 2개 지점을 회전 가능하도록 지지하는 지지 부재(142)를 구비한다. 지지부(140)의 하부에는 복수의 개소에 지지부(140)를 표면으로부터 이격시켜 지지하는 다리 부재(143)를 구비한다. 이러한 다리 부재(143)는 4개소에 설치될 경우에 4개의 다리 부재(143-1 내지 143-4)로 구성될 수 있다(도 8 참조). 7 is a view exemplarily showing a part of a support part and a stand part of a reliability inspection device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 7, a longitudinal section of the stand 120 is assembled and connected to some regions of the plate member 141 of the support 140. On the upper portion of the plate member 141 of the support 140, the shaft 150 is installed in the horizontal direction. Both sides of the plate member 141 of the support 140 are provided with support members 142 for rotatably supporting two points of the shaft 150. The lower part of the support part 140 is provided with a leg member 143 that supports the support part 140 spaced apart from the surface at a plurality of places. The leg member 143 may be composed of four leg members 143-1 to 143-4 when installed in four places (see FIG. 8).

도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2 모터부, 제2 이송부의 일부를 예시적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 9를 참고하면, 제2 모터부(160)는 샤프트부(150)를 회전시키기 위한 제2 구동력을 제공한다. 제2 모터부(160)는 제2 이송부(170)를 통해서 샤프트부(150)에 회전력을 제공할 수 있다. 제2 이송부(170)는 제1 샤프트 고정 부재(171), 제2 샤프트 고정 부재(172) 및 제2 로드셀(173)을 포함한다. 제2 이송부(170)에 연결된 제2 모터부(160)는 제2 이송부(170)에 제2 구동력을 제공한다. 제2 구동력이 제1 샤프트 고정 부재(171) 및 제2 사프트 고정 부재(172)에 의해서 맞물려 있는 샤프트부(150)를 회전시키는 회전력으로 변환된다. 즉, 제2 구동력은 제1 샤프트 고정 부재(171)와 제2 샤프트 고정 부재(172) 사이에 맞물려 있는 샤프트부(150)를 기 결정된 방향으로 회전시킬 수 있다. 9 is a view for exemplarily explaining a part of a second motor part and a second transfer part according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 9, the second motor unit 160 provides a second driving force for rotating the shaft unit 150. The second motor unit 160 may provide rotational force to the shaft unit 150 through the second transfer unit 170. The second transfer part 170 includes a first shaft fixing member 171, a second shaft fixing member 172 and a second load cell 173. The second motor unit 160 connected to the second transfer unit 170 provides a second driving force to the second transfer unit 170. The second driving force is converted into a rotational force that rotates the shaft portion 150 engaged by the first shaft fixing member 171 and the second shaft fixing member 172. That is, the second driving force may rotate the shaft portion 150 engaged between the first shaft fixing member 171 and the second shaft fixing member 172 in a predetermined direction.

이때, 제어부(180)는 제2 모터부(160)에서 제2 샤프트 고정 부재(173)로 제공되는 제2 구동력을 제2 로드셀(173)에 의해서 센싱함으로써 샤프트부(150)의 회전 방향, 회전 속도, 및 회전 토크의 크기를 확인할 수 있다. 제어부(180)는 회전 방향, 회전 속도, 회전 토크를 제어함으로써 검사 대상물을 와인딩하거나 언와인딩할 경우에 검사 대상물에 작용하는 응력이 일정하게 유지되도록 제어할 수 있다.At this time, the controller 180 senses the second driving force provided from the second motor unit 160 to the second shaft fixing member 173 by the second load cell 173, thereby rotating and rotating the shaft 150 The speed and the magnitude of the rotation torque can be checked. The control unit 180 may control the stress applied to the inspection object to be kept constant when winding or unwinding the inspection object by controlling the rotation direction, rotation speed, and rotation torque.

비록 본 발명의 예시적인 실시예 및 적용예가 도시되고 설명되었더라도, 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 범위에서 많은 변화 및 수정이 가능하고, 이러한 변형은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있습니다. 따라서, 설명된 실시예는 예시적이지 제한적인 것이 아니며, 본 발명은 첨부된 상세한 설명에 의해서 제한되는 것이 아니지만 청구항의 기술적 범위 내에서 수정가능하다.Although exemplary embodiments and application examples of the present invention are illustrated and described, many changes and modifications are possible without departing from the scope of the technical spirit of the present invention, and such modifications can be made to those skilled in the art to which the present invention pertains. It can be clearly understood. Accordingly, the described embodiments are to be considered as illustrative and not restrictive, and the invention is not to be limited by the following detailed description, but may be modified within the technical scope of the claims.

100 : 신뢰성 검사 장치 110 : 제1 모터부
120 : 스탠드부 130 : 제1 이송부
131 : 고정 부재 132 : 이송 부재
133 : 제1 로드셀 140 : 지지부
141 : 플레이트 부재 142 : 회전 부재
143 : 다리 부재 150 : 샤프트부
160 : 제2 모터부 170 : 제2 이송부
171 : 제1 샤프트 고정 부재 172 : 제2 샤프트 고정 부재
173 : 제2 로드셀 180 : 제어부100: reliability inspection device 110: first motor unit
120: stand 130: first transfer unit
131: fixing member 132: conveying member
133: first load cell 140: support
141: plate member 142: rotating member
143: leg member 150: shaft portion
160: second motor unit 170: second transfer unit
171: first shaft fixing member 172: second shaft fixing member
173: second load cell 180: control unit

Claims (10)

신뢰성 검사 장치에 있어서,
상기 신뢰성 검사 장치의 설치면에 대해서 수직 상부 방향으로 잡아당기는 제1 구동력을 제공하는 제1 모터부;
일측이 상기 제1 모터부의 하부에 연결되고, 상기 제1 구동력에 의해서 직선 운동 경로를 제공하는 스탠드부;
검사 대상물의 일 측이 연결되고, 기 결정된 장력을 유지한 상태로 상기 검사 대상물을 상기 직선 운동 경로를 따라 이송시키는 제1 이송부;
상부면에 스탠드부의 저면이 연결되고 상기 스탠드부를 지지하는 지지부;
상기 지지부의 상부면에 수평하고, 상기 스탠드부에 대해서 수직 방향으로 연장되고, 상기 검사 대상물의 타측이 감길 수 있도록 연결되는 샤프트부;
일측이 상기 샤프트부에 연결되서 상기 샤프트부를 회전시키는 제2 구동력을 제공하는 제2 모터부;
상기 제2 모터부로부터 전달된 상기 제2 구동력에 의해서 기 결정된 회전 토크를 유지한 상태로 상기 샤프트부를 회전시키는 제2 이송부; 및
상기 제1 모터부 및 상기 제2 모터부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 신뢰성 검사 장치.In the reliability inspection device,
A first motor unit providing a first driving force that is pulled upward in a vertical direction with respect to an installation surface of the reliability inspection device;
A stand portion having one side connected to a lower portion of the first motor portion and providing a linear motion path by the first driving force;
A first transfer unit which is connected to one side of the object to be inspected, and conveys the object to be inspected along the linear motion path while maintaining a predetermined tension;
A support portion having a bottom surface connected to an upper surface and supporting the stand portion;
A shaft portion horizontal to the upper surface of the support portion, extending in a vertical direction with respect to the stand portion, and connected to the other side of the inspection object to be wound;
A second motor part connected to the shaft part to provide a second driving force for rotating the shaft part;
A second conveying unit for rotating the shaft unit while maintaining a rotation torque predetermined by the second driving force transmitted from the second motor unit; And
Reliability inspection device including a control unit for controlling the operation of the first motor unit and the second motor unit. 제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 구동력 및 상기 제2 구동력의 크기, 속도, 방향을 조절하여 상기 검사 대상물을 감거나 펴는 동작을 반복적으로 실행하는 신뢰성 검사 장치. According to claim 1,
The control unit repeatedly controls the size, speed, and direction of the first driving force and the second driving force to repeatedly perform the operation of winding or unfolding the inspection object. 제1 항에 있어서,
상기 제1 이송부는, 상기 검사 대상물의 일 측을 고정시키는 고정 부재, 상기 스탠드부와 연결되서 이송력을 제공하는 이송 부재 및 상기 고정 부재 및 상기 이송 부재 사이에 구비되는 제1 로드셀을 포함하는 신뢰성 검사 장치.According to claim 1,
The first transfer unit, a reliability member comprising a fixing member for fixing one side of the inspection object, a transfer member connected to the stand portion to provide a transfer force, and a first load cell provided between the fixing member and the transfer member Inspection device. 제3 항에 있어서,
상기 스탠드부는, 상기 이송 부재와 연결되서 상기 제1 구동력을 전달하는 이송 벨트를 더 포함하는 신뢰성 검사 장치According to claim 3,
The stand unit, connected to the transfer member further comprises a transfer belt for transmitting the first driving force reliability inspection device 제4 항에 있어서,
상기 스탠드부는, 상기 고정 부재의 접근을 감지하여 상기 검사 대상물의 감기는 횟수를 측정하는 카운터를 더 구비하는 신뢰성 검사 장치.According to claim 4,
The stand unit, further comprising a counter for detecting the approach of the fixing member to measure the number of times the object is wound. 제4 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 고정 부재와 상기 이송 부재 사이에 작용하는 장력을 상기 제1 로드셀에 의해서 센싱하도록 제어하는 신뢰성 검사 장치.According to claim 4,
The control unit, the reliability checking device for controlling to sense the tension acting between the fixing member and the transfer member by the first load cell. 제6 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 제1 로드셀에 의해서 센싱된 장력의 크기가 기 결정된 값의 범위를 벗어나는 경우에, 상기 제1 모터 또는 상기 제2 모터의 동작을 제어하는 신뢰성 검사 장치.The method of claim 6,
The control unit, when the magnitude of the tension sensed by the first load cell is outside the range of a predetermined value, the reliability check device for controlling the operation of the first motor or the second motor. 제1 항에 있어서,
상기 제2 이송부는, 상기 샤프트부의 일 측에 연결되는 제1 샤프트 고정 부재, 상기 제1 샤프트 고정 부재를 관통한 상기 샤프트부의 일 측에 연결되는 제2 제2 샤프트 고정 부재 및 제2 회전 베어링의 일측에 구비되는 제2 로드셀을 포함하는 신뢰성 검사 장치According to claim 1,
The second transfer part includes a first shaft fixing member connected to one side of the shaft portion, a second second shaft fixing member connected to one side of the shaft portion passing through the first shaft fixing member, and a second rotating bearing. Reliability test device including a second load cell provided on one side 제8 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 샤프트부에 작용하는 토크의 크기를 상기 제2 로드셀에 의해서 센싱하도록 제어하는 신뢰성 검사 장치.The method of claim 8,
The control unit, the reliability check device for controlling to sense the magnitude of the torque acting on the shaft portion by the second load cell. 제9 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 제2 로드셀에 의해서 센싱된 회전 토크의 크기가 기 결정된 값의 범위를 벗어나는 경우에, 상기 제1 모터 또는 상기 제2 모터의 동작을 제어하는 신뢰성 검사 장치.The method of claim 9,
The control unit, when the magnitude of the rotation torque sensed by the second load cell is outside the range of a predetermined value, the reliability checking device for controlling the operation of the first motor or the second motor.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100415287B1 (en) * 2001-06-30 2004-01-16 이용만 Universal testing machine having a guide frame
KR101362115B1 (en) 2009-05-22 2014-02-21 고쿠사이 게이소쿠키 가부시키가이샤 Hydraulic system and general-purpose test device
KR101375077B1 (en) * 2013-10-30 2014-03-17 주식회사 지엔티시스템즈 Bending examination apparatus for flexible display and examination method using this
KR101618079B1 (en) 2014-06-25 2016-05-04 (주)에이치피케이 The circulation bending test device for flexible display

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100231100B1 (en) * 1997-11-14 1999-11-15 유채준 Mechanical characteristic test apparatus of optical parts
KR101295887B1 (en) 2010-04-13 2013-08-12 한국전자통신연구원 Bending test apparatus for flexible devices
KR102452199B1 (en) 2015-12-21 2022-10-06 엘지디스플레이 주식회사 Rollable display apparatus and apparatus for inspection the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100415287B1 (en) * 2001-06-30 2004-01-16 이용만 Universal testing machine having a guide frame
KR101362115B1 (en) 2009-05-22 2014-02-21 고쿠사이 게이소쿠키 가부시키가이샤 Hydraulic system and general-purpose test device
KR101375077B1 (en) * 2013-10-30 2014-03-17 주식회사 지엔티시스템즈 Bending examination apparatus for flexible display and examination method using this
KR101618079B1 (en) 2014-06-25 2016-05-04 (주)에이치피케이 The circulation bending test device for flexible display

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