KR102061614B1 - Active type skin contact sensor - Google Patents

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KR102061614B1 KR1020170171226A KR20170171226A KR102061614B1 KR 102061614 B1 KR102061614 B1 KR 102061614B1 KR 1020170171226 A KR1020170171226 A KR 1020170171226A KR 20170171226 A KR20170171226 A KR 20170171226A KR 102061614 B1 KR102061614 B1 KR 102061614B1
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Abstract

능동형 피부 접촉 센서는 지지층, 상기 지지층 상에 구비되며 피부와 접촉하는 접촉층, 상기 접촉층 표면에 상기 피부와 접촉하여 밀폐 공간을 형성하는 오목형 챔버 및 상기 챔버 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 구비하는 적어도 하나의 접촉력 조절부, 및 상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함한다.The active skin contact sensor is provided on a support layer, the support layer and the contact layer in contact with the skin, a concave chamber in contact with the skin to form a closed space on the surface of the contact layer and the pressure in the chamber by changing the pressure with the skin At least one contact force control unit having a driving unit for adjusting the contact force, and a sensor for measuring the condition of the skin.

Description

능동형 피부 접촉 센서{ACTIVE TYPE SKIN CONTACT SENSOR}Active Skin Contact Sensor {ACTIVE TYPE SKIN CONTACT SENSOR}

본 발명은 능동형 피부 접촉 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 피부에 접촉하여 생리적 데이터를 측정하기 위한 능동형 피부 접촉 센서에 관한 것이다.The present invention relates to an active skin contact sensor. More specifically, the present invention relates to an active skin contact sensor for measuring physiological data in contact with the skin.

신체 및 정신 건강에 대한 관심이 증가하고, 생체신호 감지 기술이 발달됨에 따라 최근 피부 표면의 생체신호를 측정하는 기술에 많은 연구들이 진행되고 있다. 피부 표면에서 생체신호를 측정하는 방식의 경우 움직임에 의한 신호의 오차가 크게 발생한다. 이에 일상생활에서 사용하기 위한 방안으로 피부에 부착할 수 있는 외부 장치(접착제, 밴드 등의 고정기구)를 통해서 노이즈를 줄이는 방법을 선택하고 있다. 하지만 화학 접착제를 사용하는 방식의 경우 피부 접촉 시 피부 손상의 위험성이 있고 재사용이 불가능하다는 단점이 있다.As interest in physical and mental health has increased and biosignal sensing technology has been developed, many studies have recently been conducted on techniques for measuring biosignals on the skin surface. In the case of measuring the bio-signal on the skin surface, the error of the signal due to the movement is large. In order to use it in everyday life, the noise reduction method is selected through external devices (fixing devices such as adhesives and bands) that can be attached to the skin. However, the method using a chemical adhesive has the disadvantage that there is a risk of skin damage when the skin contact and it is impossible to reuse.

특허문헌 1: 한국공개특허공보 10-2016-0094591호Patent Document 1: Korea Patent Publication No. 10-2016-0094591

본 발명의 일 과제는 피부에 부착되어 피부 표면으로부터 잡음이 최소화된 생체 신호를 측정하고 탈부착이 용이하여 일상생활에서 사용될 수 있는 능동형 피부 접촉 센서를 제공하는 데 있다.One object of the present invention is to provide an active skin contact sensor that can be used in everyday life by measuring the biological signal minimized noise from the skin surface is attached to the skin and easy to attach and detach.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서는 지지층, 상기 지지층 상에 구비되며 피부와 접촉하는 접촉층, 상기 접촉층 표면에 상기 피부와 접촉하여 밀폐 공간을 형성하는 오목형 챔버 및 상기 챔버 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 구비하는 적어도 하나의 접촉력 조절부, 및 상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함한다.Active skin contact sensor according to an exemplary embodiment for achieving the object of the present invention is a support layer, a contact layer provided on the support layer and in contact with the skin, the contact layer surface in contact with the skin to form a closed space At least one contact force adjusting unit having a concave chamber to form and a driving unit for changing the pressure in the chamber to adjust the contact force with the skin, and a sensor for measuring the state of the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 챔버 내의 온도를 가변시키기 위한 히터를 포함할 수 있다.In example embodiments, the driving unit may include a heater for varying a temperature in the chamber.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 챔버 내에 유체를 공급하여 압력을 가변시키기 위한 유압 제어 채널을 포함할 수 있다.In example embodiments, the driving unit may include a hydraulic control channel for supplying a fluid into the chamber to change the pressure.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 접촉력 조절부는 상기 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 연장하며 상기 접촉층 표면으로부터 돌출 형성된 돌출부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the contact force controller may further include a protrusion extending along an open upper circumference of the chamber and protruding from the surface of the contact layer.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 능동형 피부 접촉 센서는 상기 챔버의 개방된 상단 둘레에 형성된 검출 전극을 포함하고 상기 피부와의 접촉 여부를 검출하기 위한 접촉 검출부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the active skin contact sensor may include a detection electrode formed around an open upper end of the chamber, and may further include a contact detector for detecting contact with the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 검출 전극은 상기 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 이격 배치되는 전극 패턴들을 포함할 수 있다In example embodiments, the detection electrode may include electrode patterns spaced apart along an open upper circumference of the chamber.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 센서는 상기 피부의 온도, 습도, 전기 전도도, pH, 탄성도, 맥파 및 피부 표면의 화학 성분 중 적어도 어느 하나를 검출할 수 있다.In example embodiments, the sensor may detect at least one of the temperature, humidity, electrical conductivity, pH, elasticity, pulse wave, and chemical composition of the skin of the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 센서는 상기 지지층에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 제1 센서 및 상기 접촉층 표면에 구비되어 피부 상태를 측정하기 위한 제2 센서를 포함할 수 있다.In example embodiments, the sensor may include a first sensor provided in the support layer to measure pulse waves and a second sensor provided on a surface of the contact layer to measure skin conditions.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 챔버는 복수 개가 어레이 형태로 배열될 수 있다.In example embodiments, the chamber may be arranged in a plurality of arrays.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 능동형 피부 접촉 센서는 상기 구동부 및 상기 센서에 연결되어 제어 신호 및 검출 신호를 처리하기 위한 제어 회로부를 더 포함할 수 있다. In example embodiments, the active skin contact sensor may further include a control circuit part connected to the driver and the sensor to process a control signal and a detection signal.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서는 피부와 접촉하는 박막 구조물, 상기 박막 구조물 표면에 상단이 개방되도록 형성된 흡착 챔버 및 상기 흡착 챔버 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 구비하는 적어도 하나의 접촉력 조절부, 및 상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함한다.Active skin contact sensor according to an exemplary embodiment for achieving the object of the present invention by changing the pressure in the adsorption chamber and the thin film structure in contact with the skin, the adsorption chamber formed so that the top is opened on the surface of the thin film structure At least one contact force control unit having a driving unit for adjusting the contact force with the skin, and a sensor for measuring the state of the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 열공압 또는 공압 방식으로 상기 흡착 챔버 내의 압력을 변화시킬 수 있다.In example embodiments, the driving unit may change the pressure in the adsorption chamber in a thermo pneumatic or pneumatic manner.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 흡착 챔버 내의 온도를 가변시키기 위한 히터를 포함할 수 있다.In example embodiments, the driving unit may include a heater for varying a temperature in the adsorption chamber.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 흡착 챔버 내에 유체를 공급하여 압력을 가변시키기 위한 유압 제어 채널을 포함할 수 있다.In example embodiments, the driving unit may include a hydraulic control channel for supplying a fluid into the adsorption chamber to vary the pressure.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 접촉력 조절부는 상기 흡착 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 연장하며 상기 접촉층 표면으로부터 돌출 형성된 돌출부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the contact force controller may further include a protrusion extending along an open upper circumference of the adsorption chamber and protruding from the contact layer surface.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 능동형 피부 접촉 센서는 상기 흡착 챔버의 개방된 상단 둘레에 형성된 검출 전극을 포함하고 상기 피부와의 접촉 여부를 검출하기 위한 접촉 검출부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the active skin contact sensor may include a detection electrode formed around an open upper end of the adsorption chamber, and may further include a contact detector for detecting contact with the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 센서는 상기 피부의 온도, 습도, 전기 전도도, pH, 탄성도, 맥파 및 피부 표면의 화학 성분 중 적어도 어느 하나를 검출할 수 있다.In example embodiments, the sensor may detect at least one of the temperature, humidity, electrical conductivity, pH, elasticity, pulse wave, and chemical composition of the skin of the skin.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 센서는 피부 상태를 측정하기 위한 제1 센서 및 맥파를 측정하기 위한 제2 센서를 포함할 수 있다.In example embodiments, the sensor may include a first sensor for measuring a skin condition and a second sensor for measuring a pulse wave.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흡착 챔버는 복수 개가 어레이 형태로 배열될 수 있다.In example embodiments, a plurality of adsorption chambers may be arranged in an array form.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 능동형 피부 접촉 센서는 상기 구동부 및 상기 센서에 연결되어 제어 신호 및 검출 신호를 처리하기 위한 제어 회로부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the active skin contact sensor may further include a control circuit part connected to the driver and the sensor to process a control signal and a detection signal.

예시적인 실시예들에 따르면, 인간 자율 신경계의 활동 정도를 나타내는 생리적 데이터로 알려진 피부 전도도, 피부 온도, 맥파를 측정할 수 있는 소형화되고 집적화된 단일 소자를 제공할 수 있다. 따라서, 생리적 데이터 수집을 위하여 기존의 장비 부착이 피험자의 감정에 주는 영향을 최소화할 수 있다.According to exemplary embodiments, it is possible to provide a miniaturized and integrated single device capable of measuring skin conductivity, skin temperature, and pulse wave, which are known as physiological data indicating the degree of activity of the human autonomic nervous system. Therefore, it is possible to minimize the effect of the existing equipment attached to the subject's emotion for physiological data collection.

또한, 구동부와 챔버로 구성된 접촉력 조절부를 통해 외부 피측정체와의 부착력을 조절할 수 있으며 고정 기구 없이 부착 및 탈착이 용이한 소자를 실용화할 수 있다. 뿐만 아니라 센서를 집적하여 잡음이 적은 신호를 얻을 수 있다. In addition, the contact force control unit composed of the driving unit and the chamber can adjust the attachment force with the external object to be measured and can be put to practical use of the device that is easy to attach and detach without a fixing mechanism. In addition, the sensor can be integrated to obtain a low noise signal.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously expanded within a range without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 A-A'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1의 능동형 피부 접촉 센서에 부착된 피부에 의해 형성된 챔버 내의 밀폐 공간을 나타내는 단면도이다.
도 5는 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 접촉력 조절부를 나타내는 단면도이다.
도 6은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 접촉 검출부를 나타내는 평면도이다.
도 7은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 분해 사시도이다.
도 8은 도 7의 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 7의 능동형 피부 접촉 센서의 접촉력 조절부를 나타내는 단면도이다.
도 10은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다.
도 11은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다.
도 12는 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다.
도 13은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다.
1 is an exploded perspective view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.
FIG. 2 is a plan view illustrating the active skin contact sensor of FIG. 1. FIG.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2.
4 is a cross-sectional view illustrating a closed space in a chamber formed by skin attached to the active skin contact sensor of FIG. 1.
5 is a cross-sectional view illustrating a contact force controller of an active skin contact sensor according to example embodiments.
6 is a plan view illustrating a contact detector of an active skin contact sensor according to example embodiments.
7 is an exploded perspective view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.
8 is a plan view illustrating a support layer of the active skin contact sensor of FIG. 7.
9 is a cross-sectional view illustrating a contact force adjusting unit of the active skin contact sensor of FIG. 7.
10 is a plan view illustrating a support layer of an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.
11 is a plan view illustrating a support layer of an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.
12 is a plan view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.
13 is a plan view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 각 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.In each of the drawings of the present invention, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

본 발명에서, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.In the present invention, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다.With respect to the embodiments of the present invention disclosed in the text, specific structural to functional descriptions are merely illustrated for the purpose of describing embodiments of the present invention, embodiments of the present invention may be implemented in various forms and It should not be construed as limited to the embodiments described in.

즉, 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.That is, the present invention may be modified in various ways and may have various forms. Specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는 도 1의 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다. 도 3은 도 2의 A-A'라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 4는 도 1의 능동형 피부 접촉 센서에 부착된 피부에 의해 형성된 챔버 내의 밀폐 공간을 나타내는 단면도이다. 도 5는 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 접촉력 조절부를 나타내는 단면도이다. 도 6은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 접촉 검출부를 나타내는 평면도이다.1 is an exploded perspective view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. FIG. 2 is a plan view illustrating the active skin contact sensor of FIG. 1. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2. 4 is a cross-sectional view illustrating a closed space in a chamber formed by skin attached to the active skin contact sensor of FIG. 1. 5 is a cross-sectional view illustrating a contact force controller of an active skin contact sensor according to example embodiments. 6 is a plan view illustrating a contact detector of an active skin contact sensor according to example embodiments.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서(10)는 박막 구조물(100), 박막 구조물(100) 표면에 구비되어 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 접촉력 조절부들(200), 및 상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함할 수 있다.1 to 6, the active skin contact sensor 10 is provided on the surface of the thin film structure 100, the thin film structure 100, and the contact force adjusting units 200 for adjusting the contact force with the skin, and the skin It may include a sensor for measuring the state of.

예시적인 실시예들에 있어서, 박막 구조물(100)은 적어도 하나의 개구부(112)를 갖는 기판(110), 및 기판(110) 상에 순차적으로 적층된 지지층(120) 및 접촉층(130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 박막 구조물은 피부 형상에 따라 변형이 가능한 유연한 물질을 포함할 수 있다. 상기 박막 구조물은 손가락, 손바닥, 손목, 발가락, 발목 또는 발바닥에 부착될 수 있다. 이와 다르게, 박막 구조물(100)은 기판(110)이 생략되고 지지층(120) 및 접촉층(130)만을 포함할 수 있다.In example embodiments, the thin film structure 100 may include a substrate 110 having at least one opening 112, and a support layer 120 and a contact layer 130 sequentially stacked on the substrate 110. It may include. For example, the thin film structure may include a flexible material that can be modified according to the skin shape. The thin film structure may be attached to a finger, palm, wrist, toe, ankle or sole. Alternatively, the thin film structure 100 may include the support layer 120 and the contact layer 130 without the substrate 110.

박막 구조물(100)은 제1 영역(R) 및 제2 영역(S)을 포함할 수 있다. 제1 영역(R)은 개구부(112)에 대응하는 변형 영역이고, 제2 영역(S)은 개구부(112) 주변의 영역에 대응하는 지지 영역일 수 있다. 따라서, 박막 구조물(100)의 제1 영역(R)은 외부 압력에 의해 개구부(112) 내로 변형할 수 있다. 예를 들면, 지지 영역(S)은 변형 영역(R)을 둘러싸는 제1 내지 제4 영역들을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 영역들은 서로 마주보고, 제3 및 제4 영역들을 상기 제1 및 제2 영역들에 인접하고 서로 마주보도록 위치할 수 있다.The thin film structure 100 may include a first region R and a second region S. FIG. The first region R may be a deformation region corresponding to the opening 112, and the second region S may be a support region corresponding to an area around the opening 112. Therefore, the first region R of the thin film structure 100 may be deformed into the opening 112 by external pressure. For example, the support region S may include first to fourth regions surrounding the deformation region R. FIG. The first and second regions may face each other and the third and fourth regions may be positioned adjacent to and opposite to the first and second regions.

예시적인 실시예들에 있어서, 접촉력 조절부(200)는 접촉층(130) 표면에 상기 피부와 접촉하여 밀폐 공간(A)을 형성하는 오목형 챔버(210) 및 챔버(210) 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 포함할 수 있다.In example embodiments, the contact force adjusting unit 200 may change the pressure in the concave chamber 210 and the chamber 210 to form a closed space A in contact with the skin on the surface of the contact layer 130. It may include a drive for adjusting the contact force with the skin.

챔버(210)는 접촉층(130) 표면으로부터 리세스된 오목한 형상을 가질 수 있다. 챔버(210)는 접촉층(130)을 관통하는 개구부를 포함할 수 있다. 상기 개구부는 개방된 상단 및 개방된 하단을 가질 수 있다. 챔버(210)의 상단은 피부(S)와 접촉하여 밀폐 공간을 형성하고, 챔버(210)의 상기 밀폐 공간의 압력이 음압으로 가변되어 피부(S)를 흡착하는 흡착 챔버의 역할을 할 수 있다. 챔버(210)에 의해 지지층(120)의 표면 일부가 노출될 수 있다.The chamber 210 may have a concave shape recessed from the surface of the contact layer 130. The chamber 210 may include an opening penetrating the contact layer 130. The opening may have an open top and an open bottom. The upper end of the chamber 210 may form a closed space in contact with the skin S, and the pressure of the closed space of the chamber 210 may be changed to a negative pressure to serve as an adsorption chamber that adsorbs the skin S. . A portion of the surface of the support layer 120 may be exposed by the chamber 210.

복수 개의 챔버들(210)이 접촉층(130) 표면에 형성될 수 있다. 챔버들(210)은 어레이 형태로 배열될 수 있다. 챔버들(210)은 지지 영역(S)의 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역에 각각 배치될 수 있다. 챔버(210)는 원통형 형상, 다각형 형상, 원뿔대 형상, 또는 다각뿔대 형상을 가질 수 있다. 챔버(210)의 단면은 원형 또는 다각형 형상을 가질 수 있다. A plurality of chambers 210 may be formed on the surface of the contact layer 130. The chambers 210 may be arranged in an array. Chambers 210 may be disposed in the first area and the second area of the support area S, respectively. The chamber 210 may have a cylindrical shape, a polygonal shape, a truncated cone shape, or a polygonal truncated cone shape. The cross section of the chamber 210 may have a circular or polygonal shape.

상기 구동부는 챔버(210) 내의 온도를 가변시키기 위한 히터(220)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 히터(220)는 챔버(210)에 의해 노출되는 지지층(120)의 일면 상에 설치될 수 있다. 상기 히터는 가열되어 챔버(210) 내의 온도를 증가시킬 수 있다.The driving unit may include a heater 220 for varying the temperature in the chamber 210. For example, the heater 220 may be installed on one surface of the support layer 120 exposed by the chamber 210. The heater may be heated to increase the temperature in the chamber 210.

피부(S)와의 접촉 이전에 히터(220)를 가열시켜 챔버(210) 내의 온도를 증가시키고, 피부(S)가 챔버(210)와 접촉하여 밀폐 공간(A)을 형성한 후에 히터(220)를 오프(OFF)시키면 밀폐 공간(A) 내의 공기의 온도가 감소하면서 챔버(210) 내의 압력이 감소하게 된다. 이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이, 피부(S)와의 접촉력을 증가시킬 수 있다.The heater 220 is heated before the contact with the skin S to increase the temperature in the chamber 210, and after the skin S is in contact with the chamber 210 to form a closed space A, the heater 220. When OFF is turned off, the pressure in the chamber 210 decreases while the temperature of the air in the sealed space A decreases. Accordingly, as shown in FIG. 4, the contact force with the skin S may be increased.

이와 반대로, 피부(S)가 챔버(210)와 접촉하여 밀폐 공간(A)을 형성한 후에 히터(220)를 온(ON)시키면 챔버(210) 내의 압력이 증가하게 된다. 이에 따라, 피부(S)와의 접촉력을 감소시켜, 피부(S)를 박막 구조물(100)로부터 쉽게 탈착시킬 수 있다.On the contrary, after the skin S contacts the chamber 210 to form the closed space A, when the heater 220 is turned on, the pressure in the chamber 210 increases. Accordingly, by reducing the contact force with the skin (S), it is possible to easily detach the skin (S) from the thin film structure (100).

이에 따라, 접촉력 조절부(200)는 열공압을 이용하여 피부(S)와의 접촉 상태를 단속할 수 있다.Accordingly, the contact force adjusting unit 200 may control the contact state with the skin S by using hot pneumatic pressure.

상기 챔버의 크기, 상기 챔버들의 개수, 상기 챔버의 밀폐 공간 내의 압력은 상기 접촉 센서의 무게, 상기 피부와의 접촉력 등을 고려하여 결정될 수 있다. 또한, 상기 박막 구조물은 피대상체의 부착에 용이한 재료를 포함할 수 있다.The size of the chamber, the number of the chambers, the pressure in the closed space of the chamber may be determined in consideration of the weight of the contact sensor, the contact force with the skin, and the like. In addition, the thin film structure may include a material that is easy to attach the object.

도 5에 도시된 바와 같이, 예시적인 실시예들에 있어서, 접촉력 조절부(200)는 챔버(210)의 개방된 상단 둘레를 따라 연장하며 접촉층(130) 표면으로부터 돌출 형성된 돌출부(212)를 더 포함할 수 있다. 돌출부(212)는 챔버(210)의 가장자리에 형성되어 피부와의 접촉력을 증가시킬 수 있다.As shown in FIG. 5, in exemplary embodiments, the contact force adjusting unit 200 extends along an open upper circumference of the chamber 210 and defines a protrusion 212 protruding from the surface of the contact layer 130. It may further include. The protrusion 212 may be formed at the edge of the chamber 210 to increase the contact force with the skin.

도 6에 도시된 바와 같이, 능동형 피부 접촉 센서(10)는 상기 피부와의 접촉 여부를 검출하기 위한 접촉 검출부(400)를 더 포함할 수 있다. 접촉 검출부(400)는 챔버(210)의 개방된 상단 둘레에 형성된 검출 전극을 포함할 수 있다. 상기 검출 전극은 챔버(210)의 개방된 상단 둘레를 따라 이격 배치되는 전극 패턴들을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 6, the active skin contact sensor 10 may further include a contact detector 400 for detecting whether the skin is in contact with the skin. The contact detector 400 may include a detection electrode formed around an open upper end of the chamber 210. The detection electrode may include electrode patterns spaced apart along the open upper circumference of the chamber 210.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 센서는 상기 피부의 온도, 습도, 전기 전도도, pH, 탄성도, 맥파 및 피부 표면의 화학 성분 중 적어도 어느 하나를 검출할 수 있다. 상기 센서는 지지층(120)에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 제1 센서 및 접촉층(130) 표면에 구비되어 피부 상태를 측정하기 위한 제2 센서를 포함할 수 있다. In example embodiments, the sensor may detect at least one of the temperature, humidity, electrical conductivity, pH, elasticity, pulse wave, and chemical composition of the skin of the skin. The sensor may include a first sensor provided on the support layer 120 and a second sensor provided on the surface of the contact layer 130 to measure a skin condition.

상기 제1 센서는 변형 영역(R)에 구비되어 외부 압력에 의한 변형 영역(R)의 변형을 측정할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 센서는 변형 영역(R) 내에서 지지층(120)을 사이에 두고 서로 이격 배치된 제1 압전 전극(300a) 및 제2 압전 전극(300b)을 구비하는 맥파 측정 센서(300)를 포함할 수 있다.The first sensor may be provided in the deformation region R to measure deformation of the deformation region R by external pressure. Specifically, the first sensor 300 includes a pulse wave measuring sensor 300 including a first piezoelectric electrode 300a and a second piezoelectric electrode 300b spaced apart from each other with the support layer 120 interposed therebetween in the deformation region R. ) May be included.

지지층(120)은 절연 물질을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 압전 전극들(300a, 300b)은 지지층(120)에 의해 서로 절연되고 이격될 수 있다. 제1 압전 전극(300a)은 지지층(120)의 상부면 상에 형성되고 제2 압전 전극(300b)은 지지층(120)의 하부면 상에 형성될 수 있다. 접촉층(130)은 제1 압전 전극(300a) 상에 형성되어 외부로부터 제2 압전 전극(300a)을 절연시킬 수 있다.The support layer 120 may include an insulating material. The first and second piezoelectric electrodes 300a and 300b may be insulated and spaced apart from each other by the support layer 120. The first piezoelectric electrode 300a may be formed on the upper surface of the support layer 120, and the second piezoelectric electrode 300b may be formed on the lower surface of the support layer 120. The contact layer 130 may be formed on the first piezoelectric electrode 300a to insulate the second piezoelectric electrode 300a from the outside.

박막 구조물(100)의 변형 영역(R)이 피부의 국소 영역에 접촉되면, 맥파로 인하여 상기 박막 구조물에 압력이 가해져서 상기 박막 구조물은 변형이 일어날 수 있다. 이 때, 제1 및 제2 압전 전극들(300a, 300b) 사이의 전압차를 측정하여 맥파의 세기 및 주파수를 측정할 수 있다.When the deformation region R of the thin film structure 100 is in contact with a local area of the skin, pressure may be applied to the thin film structure due to the pulse wave so that the thin film structure may be deformed. At this time, the intensity and frequency of the pulse wave may be measured by measuring the voltage difference between the first and second piezoelectric electrodes 300a and 300b.

지지층(120)은 제1 두께를 가질 수 있고, 접촉층(130)은 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 가질 수 있다. 지지층(120), 접촉층(130)과 제1 및 제2 압전 전극들(300a, 300b)의 재질 및 두께, 그리고 기판(100)의 구조를 변화시켜 맥파 측정 센서(300)의 압력 측정 가능 범위, 감도 등을 변화시킬 수 있다. 따라서, 맥파 측정 센서(300)의 크기, 압력 측정 가능 범위 등을 이용하고자 하는 어플리케이션에 적합하도록 변화시킬 수 있다.The support layer 120 may have a first thickness, and the contact layer 130 may have a second thickness smaller than the first thickness. The pressure measurement range of the pulse wave measuring sensor 300 by changing the material and thickness of the support layer 120, the contact layer 130, the first and second piezoelectric electrodes 300a and 300b, and the structure of the substrate 100. , Sensitivity and the like can be changed. Therefore, the size of the pulse wave measuring sensor 300, the pressure measuring range, and the like may be changed to be suitable for an application to be used.

예를 들면, 동맥압의 변화를 감지하여 맥파를 측정하는 경우, 동맥압의 인체의 위치에 관계없이 거의 동일하다고 알려져 있으므로, 정상인의 혈압 범위로 알려진 약 80 내지 120mmHg의 압력 범위를 포함하며, 운동 시 그리고 저혈압의 경우를 고려하여 약 40 내지 240mmHg의 압력 범위를 측정할 수 있도록 소자의 구조 및 재료를 결정할 수 있다.For example, when measuring pulse wave by detecting a change in arterial pressure, since the arterial pressure is known to be almost the same regardless of the position of the human body, it includes a pressure range of about 80 to 120 mmHg, which is known as a normal blood pressure range, and during exercise and Considering the case of hypotension, the structure and material of the device can be determined so that a pressure range of about 40 to 240 mmHg can be measured.

상기 제2 센서는 박막 구조물(100)의 지지 영역(S) 상에 구비되며 피부와 접촉하여 피부 전도도를 측정하기 위한 피부 전도도 센서(320)를 포함할 수 있다.The second sensor may be provided on the support area S of the thin film structure 100 and may include a skin conductivity sensor 320 for measuring skin conductivity in contact with the skin.

피부 전도도 센서(320)는 양극 방식의 제1 및 제2 측정 전극들(320a, 320b)을 포함할 수 있다. 제1 측정 전극(320a) 및 제2 측정 전극(320b)은 박막 구조물(100)의 지지 영역(S) 상에 형성될 수 있다. 제1 및 제2 측정 전극들(320a, 320b)은 접촉층(130) 상에 변형 영역(R)을 사이에 두고 서로 이격될 수 있다.The skin conductivity sensor 320 may include bipolar first and second measurement electrodes 320a and 320b. The first measurement electrode 320a and the second measurement electrode 320b may be formed on the support region S of the thin film structure 100. The first and second measurement electrodes 320a and 320b may be spaced apart from each other with the strain region R interposed on the contact layer 130.

또한, 상기 제2 센서는 피부 온도를 측정하기 위한 온도 측정 센서(330)를 더 포함할 수 있다. 온도 측정 센서(330)는 박막 구조물(100)의 지지 영역(S) 상에 형성된 온도 측정 전극을 포함할 수 있다.In addition, the second sensor may further include a temperature measuring sensor 330 for measuring skin temperature. The temperature measuring sensor 330 may include a temperature measuring electrode formed on the support region S of the thin film structure 100.

예를 들면, 제1 측정 전극(320a)은 지지 영역(S)의 상기 제1 영역 상에 배치될 수 있고, 제2 측정 전극(320b)은 지지 영역(S)의 상기 제2 영역 상에 배치될 수 있다. 상기 온도 측정 전극은 지지 영역(S)의 상기 제3 영역 상에 배치될 수 있다.For example, a first measuring electrode 320a may be disposed on the first area of the support area S, and a second measuring electrode 320b is disposed on the second area of the support area S. Can be. The temperature measuring electrode may be disposed on the third region of the support region S.

피부 전도도는 사람의 피부 위에서의 전기적 변화를 나타내는 물리량일 수 있다. 사람이 스트레스를 받을 시 사람의 자율 신경계의 교감신경이 흥분하게 되는데, 이 교감 신경의 흥분에 따라 에크린 땀샘의 활동이 활발해 질 수 있다. 에크린 땀샘은 사람의 손바닥 및 발바닥에 주로 분포해 있기 때문에, 사람의 손바닥 및 발바닥의 땀샘의 활동을 측정하면 스트레스에 의한 교감 신경계의 흥분 정도를 알 수 있다.Skin conductivity may be a physical quantity representing an electrical change on a person's skin. When a person is stressed, the sympathetic nerves of the human autonomic nervous system are excited, and the excitation of the sympathetic nerve can activate the activity of the eccrine sweat glands. Since the eccrine glands are mainly distributed in the palms and soles of a person, measuring the activity of the sweat glands in the palms and soles of a person can indicate the degree of excitability of the sympathetic nervous system due to stress.

양극 방식의 제1 및 제2 측정 전극들(320a, 320b)은 교감 신경의 흥분에 따라 변화하는 에크린 땀샘의 활동에 따른 피부 습도 변화에 따라 발생하는 피부 표면의 저항의 크기 변화를 감지할 수 있다.The first and second measuring electrodes 320a and 320b of the anode type may detect a change in the resistance of the skin surface caused by a change in skin humidity caused by the activity of the eccrine sweat glands which changes according to the excitability of the sympathetic nerve. have.

상기 제2 센서는 박막 구조물(100)의 변형 영역(R) 상에 구비되었지만, 이에 제한되지는 않고, 상기 제2 센서는 박막 구조물(100)의 지지 영역(S) 상에 구비될 수 있다. 또한, 기판(110)이 생략된 경우, 상기 제2 센서의 위치는 특정 영역에 제한되지 않음을 이해할 수 있을 것이다. The second sensor is provided on the deformation region R of the thin film structure 100, but is not limited thereto, and the second sensor may be provided on the support area S of the thin film structure 100. In addition, when the substrate 110 is omitted, it will be understood that the position of the second sensor is not limited to a specific region.

예시적인 실시예들에 있어서, 능동형 피부 접촉 센서(10)는 상기 구동부 및 상기 센서에 연결되어 제어 신호 및 검출 신호를 처리하기 위한 제어 회로부를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 기판(110)에는 상기 제어 회로부를 위한 회로가 형성되거나 칩셋이 실장될 수 있다. 또한, 상기 칩셋에 전원을 인가하기 위한 배터리가 실장될 수 있다.In example embodiments, the active skin contact sensor 10 may further include a control circuit part connected to the driver and the sensor to process a control signal and a detection signal. For example, a circuit for the control circuit unit may be formed on the substrate 110 or a chipset may be mounted. In addition, a battery for applying power to the chipset may be mounted.

도 7은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 분해 사시도이다. 도 8은 도 7의 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다. 도 9는 도 7의 능동형 피부 접촉 센서의 접촉력 조절부를 나타내는 단면도이다. 상기 능동형 피부 접촉 센서는 접촉력 조절부의 구성을 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 능동형 피부 접촉 센서와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.7 is an exploded perspective view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. 8 is a plan view illustrating a support layer of the active skin contact sensor of FIG. 7. 9 is a cross-sectional view illustrating a contact force adjusting unit of the active skin contact sensor of FIG. 7. The active skin contact sensor is substantially the same as or similar to the active skin contact sensor described with reference to FIG. 1 except for the configuration of the contact force adjusting unit. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 7 내지 도 9를 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서(11)의 접촉력 조절부(200)는 접촉층(130) 표면에 상기 피부와 접촉하여 밀폐 공간(A)을 형성하는 오목형 챔버(210) 및 챔버(210) 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 상기 구동부는 챔버(210) 내에 유체를 공급하여 압력을 가변시키기 위한 유압 제어 채널(230)을 포함할 수 있다.7 to 9, the contact force adjusting unit 200 of the active skin contact sensor 11 contacts the skin on the surface of the contact layer 130 to form a confined space A to form a concave chamber 210. And a driving unit for controlling the contact force with the skin by changing the pressure in the chamber 210. The driving unit may include a hydraulic control channel 230 for supplying a fluid into the chamber 210 to change the pressure.

예를 들면, 유압 제어 채널(230)은 챔버(210)에 의해 노출된 지지층(120)의 표면에 형성된 리세스를 포함할 수 있다. 상기 리세스는 챔버(210)의 하단에 연통될 수 있다. 유압 제어 채널(230)은 연결 채널(232)을 통해 유압 제어 장치(234)에 연결될 수 있다. 유압 제어 장치(234)는 유압 제어 채널(230)을 통해 챔버(210)의 내에 양압 또는 음압을 형성할 수 있다.For example, the hydraulic control channel 230 may include a recess formed in the surface of the support layer 120 exposed by the chamber 210. The recess may be in communication with the bottom of the chamber 210. The hydraulic control channel 230 may be connected to the hydraulic control device 234 through the connection channel 232. The hydraulic control apparatus 234 may generate a positive pressure or a negative pressure in the chamber 210 through the hydraulic control channel 230.

피부가 챔버(210)와 접촉하여 밀폐 공간을 형성한 후에 유압 제어 채널(230)을 통해 상기 밀폐 공간 내의 압력을 감소시켜 상기 피부와의 접촉력을 증가시킬 수 있다. 이와 반대로, 피부가 챔버(210)와 접촉하여 밀폐 공간을 형성한 후에 유압 제어 채널(230)을 통해 상기 밀폐 공간 내의 압력을 증가시켜 상기 피부와의 접촉력을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 접촉력 조절부(200)는 공압과 같은 유압을 이용하여 피부(S)와의 접촉 상태를 단속할 수 있다.After the skin contacts the chamber 210 to form a closed space, the pressure in the closed space may be reduced through the hydraulic control channel 230 to increase the contact force with the skin. On the contrary, after the skin contacts the chamber 210 to form a closed space, the pressure in the closed space may be increased through the hydraulic control channel 230 to reduce the contact force with the skin. Accordingly, the contact force adjusting unit 200 may control the contact state with the skin S by using hydraulic pressure such as pneumatic pressure.

도 10은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다. 상기 능동형 피부 접촉 센서는 맥파 측정 센서의 구성을 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 능동형 피부 접촉 센서와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.10 is a plan view illustrating a support layer of an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. The active skin contact sensor is substantially the same as or similar to the active skin contact sensor described with reference to FIG. 1 except for the configuration of the pulse wave measuring sensor. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 10을 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서의 맥파 측정 센서는 지지층(120) 상에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 적어도 하나의 압저항 전극(302)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, the pulse wave measuring sensor of the active skin contact sensor may include at least one piezoresistive electrode 302 provided on the support layer 120 to measure pulse wave.

예를 들면, 4개의 압저항 전극들(302)은 변형 영역(R)의 경계 부분에 대응하도록 지지층(120) 상에 배치될 수 있다. 지지층(120) 상에는 측정 패드들(306) 및 연결 배선들(304)이 패터닝되어 형성될 수 있다. 압저항 전극들(302)은 연결 배선들(304)에 의해 측정 패드들(306)에 각각 연결되어 외부 압력에 의해 변형 영역(R)이 변형될 때 압저항 전극들(302)의 저항 변화를 측정할 수 있다.For example, four piezoresistive electrodes 302 may be disposed on the support layer 120 to correspond to the boundary portion of the deformation region R. For example, as illustrated in FIG. The measurement pads 306 and the connection wires 304 may be patterned on the support layer 120. The piezoresistive electrodes 302 are respectively connected to the measurement pads 306 by the connection wires 304 so as to change the resistance of the piezoresistive electrodes 302 when the deformation region R is deformed by external pressure. It can be measured.

압저항 전극들(302)은 변형 영역(R)의 경계 부분, 즉 압력 변화에 따른 기계적 스트레스의 변화가 가장 큰 부분에 배치시켜 가해지는 압력의 크기를 측정할 수 있다.The piezoresistive electrodes 302 may measure the magnitude of the pressure applied by arranging the boundary portion of the deformation region R, that is, the portion where the change in mechanical stress due to the pressure change is greatest.

도 11은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서의 지지층을 나타내는 평면도이다. 상기 능동형 피부 접촉 센서는 맥파 측정 센서의 구성을 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 능동형 피부 접촉 센서와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.11 is a plan view illustrating a support layer of an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. The active skin contact sensor is substantially the same as or similar to the active skin contact sensor described with reference to FIG. 1 except for the configuration of the pulse wave measuring sensor. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 11을 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서의 맥파 측정 센서는 지지층(120) 상에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 광학식 맥파 측정 센서를 포함할 수 있다. 상기 광학식 맥파 측정 센서는 지지층(120) 상에 서로 이격 배치된 발광 소자(310) 및 수광 소자(312)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 광학식 맥파 측정 센서는 수신된 광 신호의 크기 변화를 측정하여 맥파를 측정할 수 있다.Referring to FIG. 11, the pulse wave measuring sensor of the active skin contact sensor may include an optical pulse wave measuring sensor provided on the support layer 120 to measure pulse wave. The optical pulse wave measuring sensor may include a light emitting device 310 and a light receiving device 312 spaced apart from each other on the support layer 120. For example, the optical pulse wave measuring sensor may measure a pulse wave by measuring a change in magnitude of a received optical signal.

도 12는 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다. 상기 능동형 피부 접촉 센서는 피부 전도도 센서를 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 피부 접촉 센서와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.12 is a plan view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. The active skin contact sensor is substantially the same as or similar to the skin contact sensor described with reference to FIG. 1 except for the skin conductivity sensor. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 12를 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서(12)의 피부 전도도 센서(340)는 정전 용량 방식의 측정 전극을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 12, the skin conductivity sensor 340 of the active skin contact sensor 12 may include a capacitive measuring electrode.

상기 정전 용량 방식의 피부 전도도 측정 전극은 에크린 땀샘의 활동에 따른 피부 습도 변화에 따라 인터디지털(interdigital) 전극 사이의 유전체의 유전율이 변화하게 되며, 유전율의 변화에 따른 정전용량의 크기 변화를 통하여 피부전도도를 측정할 수 있다. In the electrostatic capacitive measuring electrode, the dielectric constant of the dielectric between interdigital electrodes is changed according to the change of skin humidity according to the activity of eccrine sweat glands, and the capacitance is changed according to the change of dielectric constant. Skin conductivity can be measured.

도 13은 예시적인 실시예들에 따른 능동형 피부 접촉 센서를 나타내는 평면도이다. 상기 능동형 피부 접촉 센서는 접촉력 조절부들 및 센서들의 배열을 구조를 제외하고는 도 1을 참조로 설명한 피부 접촉 센서와 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.13 is a plan view illustrating an active skin contact sensor in accordance with example embodiments. The active skin contact sensor is substantially the same as or similar to the skin contact sensor described with reference to FIG. 1 except for the structure of the contact force adjusting units and the arrangement of the sensors. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 13을 참조하면, 능동형 피부 접촉 센서(13)는 제1 및 제2 변형 영역들(R1, R2)을 갖는 박막 구조물, 제1 및 제2 변형 영역들(R1, R2) 사이 및 양측에 배치되어 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 접촉력 조절부들(200), 및 상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 13, the active skin contact sensor 13 is disposed between and on both sides of the thin film structure having the first and second deformation regions R1 and R2, and the first and second deformation regions R1 and R2. And contact force adjusting units 200 for adjusting the contact force with the skin, and a sensor for measuring the condition of the skin.

접촉력 조절부들(200)은 제1 및 제2 변형 영역들(R1, R2) 사이에 배치된 제1 그룹의 접촉력 조절부들, 및 제1 및 제2 변형 영역들(R1, R2) 양측에 각각 배치된 제2 및 제3 그룹의 접촉력 조절부들을 포함할 수 있다.The contact force adjusting units 200 are disposed on the first group of the contact force adjusting units disposed between the first and second deformation regions R1 and R2, and on both sides of the first and second deformation regions R1 and R2, respectively. And second and third groups of contact force controllers.

상기 센서는 제1 및 제2 변형 영역들(R1, R2) 내에 각각 배치된 제1 및 제2 맥파 측정 센서들을 포함할 수 있다. 상기 제1 맥파 측정 센서는 제1 변형 영역(R1)에서의 맥파를 측정하고, 상기 제2 맥파 측정 센서는 제2 변형 영역(R2)에서의 맥파를 측정할 수 있다.The sensor may include first and second pulse wave measuring sensors disposed in the first and second deformation regions R1 and R2, respectively. The first pulse wave measuring sensor may measure pulse waves in the first deformation region R1, and the second pulse wave measuring sensor may measure pulse waves in the second deformation region R2.

따라서, 상술한 바와 같이, 능동형 피부 접촉 센서(13)는 인체의 국소 영역에서 혈관 배치에 따라 여러 개의 맥파 측정 센서들을 포함할 수 있다. 맥파 측정의 경우, 동맥 혈관 위에서 맥파를 측정할 경우 신호의 왜곡이 적고 정확한 신호를 측정할 수 있는 것으로 알려져 있기 때문에, 상기 맥파 측정 센서들을 동맥 혈관 위에 정확히 배치시킬 수 있는 구조를 갖도록 하여 보다 정확하게 맥파를 측정할 수 있다.Therefore, as described above, the active skin contact sensor 13 may include several pulse wave measuring sensors according to the placement of blood vessels in a local region of the human body. In the case of pulse wave measurement, the pulse wave measurement on the arterial vessel is known to be able to measure the signal accurately with little distortion of the signal. Therefore, the pulse wave measuring sensors have a structure that can be accurately placed on the arterial vessel so that the pulse wave more accurately. Can be measured.

예를 들면, 고유바닥쪽손가락동맥(proper palmar digital arteries)으로부터 맥파를 측정할 경우, 동맥 혈관이 손가락의 양측면을 따라 배치되어 있으므로, 상기 제1 및 제2 압력 측정부들을 손가락의 양측면에 각각 접촉시켜 맥파를 측정할 경우 하나의 압력 측정부를 이용할 경우에 비하여 보다 정확한 신호를 얻을 수 있다.For example, when measuring pulse waves from the proporal palmar digital arteries, the arterial vessels are disposed along both sides of the finger, so that the first and second pressure measuring units are in contact with both sides of the finger, respectively. In this case, the pulse wave can be measured more accurately than the case of using a single pressure measuring unit.

상술한 바와 같이, 상기 능동형 피부 접촉 센서는 인간의 심리적 생리적 상태를 분석하기 위하여 미세가공기술을 이용하여 제조된 단일 소자를 제공할 수 있다.As described above, the active skin contact sensor may provide a single device manufactured by using microfabrication technology to analyze a psychological and physiological state of a human.

또한, 상기 피부 접촉 센서는 인간의 심리적 생리적 상태를 측정하기 위한 세 가지 데이터를 동시에 인체의 피부 국소 영역에서 측정할 수 있는 구조를 가지고 있으므로, 측정 장치가 피험자의 감정에 주는 영향을 최소화함으로써 보다 정확한 인간의 심리적 상태 측정이 가능하며, 장기적 스트레스 지표인 심박 변화도를 구하기 위한 맥파, 단기적 혐오자극에 대한 지표인 피부 전도도의 동시 측정이 가능하다.In addition, since the skin contact sensor has a structure that can simultaneously measure three data for measuring the psychological and physiological state of the human body in the skin region of the human body at the same time, the measurement device is more accurate by minimizing the effect on the subject's emotion It is possible to measure the psychological state of human being, and to measure the pulse wave to obtain the long-term stress index and the skin conductance, which is an indicator for short-term aversive stimulus.

이에 따라, 스트레스를 비롯한 인간의 심리적 변화에 대한 생리학적 지표들 간의 상관관계에 대한 데이터 분석을 통해 인간의 상태/의도 감지를 쉽고 간편하게 수행할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily and easily detect the human state / intention through data analysis on the correlation between the physiological indicators of the psychological changes of the human, including stress.

이상에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

10, 11, 12, 13: 능동형 피부 접촉 센서
100: 박막 구조물 110: 기판
112: 개구부 120: 지지층
130: 접촉층 200: 접촉력 조절부
210: 챔버 212: 돌출부
220: 히터 230: 유압 제어 채널
232: 연결 채널 234: 유압 제어 장치
300: 맥파 측정 센서 300a, 300b: 압전 전극
302: 압저항 전극 304: 측정 패드
306: 측정 패드 310: 발광 소자
312: 수광 소자 320, 340: 피부 전도도 센서
320a, 320b: 피부 전도도 측정 전극 330: 온도 측정 센서
400: 접촉 검출부
10, 11, 12, 13: Active Skin Contact Sensor
100: thin film structure 110: substrate
112: opening 120: support layer
130: contact layer 200: contact force adjusting unit
210: chamber 212: protrusion
220: heater 230: hydraulic control channel
232: connection channel 234: hydraulic control unit
300: pulse wave measurement sensor 300a, 300b: piezoelectric electrode
302: piezoresistive electrode 304: measuring pad
306: measuring pad 310: light emitting element
312: light receiving element 320, 340: skin conductivity sensor
320a, 320b: skin conductivity measuring electrode 330: temperature measuring sensor
400: contact detection unit

Claims (20)

개구부를 갖는 기판 상에 적층되는 지지층;
상기 지지층 상에 구비되며, 상기 개구부의 주변 영역에 대응하도록 위치하는 지지 영역 및 상기 개구부에 대응하도록 위치하여 외부 압력에 의해 상기 지지 영역에 대하여 변형 가능한 변형 영역을 가지고, 피부와 접촉하는 접촉층;
상기 지지 영역의 접촉층 표면에 구비되고, 상기 피부와 접촉하여 밀폐 공간을 형성하는 오목형 챔버 및 상기 챔버 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 구비하는 적어도 하나의 접촉력 조절부; 및
상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함하고,
상기 센서는 상기 변형 영역에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 제1 센서를 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.
A support layer laminated on the substrate having an opening;
A contact layer provided on the support layer and having a support region positioned to correspond to a peripheral region of the opening and a deformation region positioned to correspond to the opening and deformable with respect to the support region by an external pressure;
At least one contact force control provided on a surface of the contact layer of the support region and having a concave chamber contacting the skin to form a closed space, and a driving unit for changing the pressure in the chamber to adjust the contact force with the skin part; And
A sensor for measuring the condition of the skin,
The sensor is an active skin contact sensor that is provided in the deformation area for measuring a pulse wave.
제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 챔버 내의 온도를 가변시키기 위한 히터를 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the driving unit comprises a heater for varying a temperature in the chamber. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 챔버 내에 유체를 공급하여 압력을 가변시키기 위한 유압 제어 채널을 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the driving unit includes a hydraulic control channel for supplying a fluid into the chamber to change pressure. 제 1 항에 있어서, 상기 접촉력 조절부는 상기 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 연장하며 상기 지지 영역의 접촉층 표면으로부터 돌출 형성된 돌출부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the contact force adjusting portion further includes a protrusion extending along an open upper circumference of the chamber and protruding from a contact layer surface of the support area. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버의 개방된 상단 둘레에 형성된 검출 전극을 포함하고 상기 피부와의 접촉 여부를 검출하기 위한 접촉 검출부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, further comprising a contact detector configured to include a detection electrode formed around an open upper end of the chamber, and to detect contact with the skin. 제 5 항에 있어서, 상기 검출 전극은 상기 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 이격 배치되는 전극 패턴들을 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 5, wherein the detection electrode comprises electrode patterns spaced apart along an open top circumference of the chamber. 제 1 항에 있어서, 상기 센서는 상기 피부의 온도, 습도, 전기 전도도, pH, 탄성도, 맥파 및 피부 표면의 화학 성분 중 적어도 어느 하나를 검출하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the sensor detects at least one of temperature, humidity, electrical conductivity, pH, elasticity, pulse wave, and chemical composition of the skin surface. 제 1 항에 있어서, 상기 센서는 상기 지지 영역의 접촉층 표면에 구비되어 피부 상태를 측정하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the sensor further comprises a second sensor provided on a surface of the contact layer of the support area to measure skin condition. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버는 복수 개가 어레이 형태로 배열되는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, wherein the chamber is arranged in a plurality of arrays. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부 및 상기 센서에 연결되어 제어 신호 및 검출 신호를 처리하기 위한 제어 회로부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 1, further comprising a control circuit connected to the driver and the sensor to process a control signal and a detection signal. 지지 영역 및 외부 압력에 의해 상기 지지 영역에 대하여 변형 가능한 변형 영역을 가지며, 피부와 접촉하는 박막 구조물;
상기 지지 영역의 박막 구조물 표면에 구비되고, 상단이 개방되도록 형성된 흡착 챔버 및 상기 흡착 챔버 내의 압력을 변화시켜 상기 피부와의 접촉력을 조절하기 위한 구동부를 구비하는 적어도 하나의 접촉력 조절부; 및
상기 피부의 상태를 측정하기 위한 센서를 포함하고,
상기 센서는 상기 변형 영역에 구비되어 맥파를 측정하기 위한 제1 센서를 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.
A thin film structure having a deformation area deformable with respect to the support area by a support area and external pressure, the thin film structure in contact with the skin;
At least one contact force control unit provided on a surface of the thin film structure of the support region and having an adsorption chamber configured to open at an upper end thereof and a driving unit for controlling a contact force with the skin by changing a pressure in the adsorption chamber; And
It includes a sensor for measuring the condition of the skin,
The sensor is an active skin contact sensor that is provided in the deformation area for measuring a pulse wave.
제 11 항에 있어서, 상기 구동부는 열공압 또는 공압 방식으로 상기 흡착 챔버 내의 압력을 변화시키는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor as claimed in claim 11, wherein the driving unit changes the pressure in the adsorption chamber in a thermo pneumatic or pneumatic manner. 제 12 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 흡착 챔버 내의 온도를 가변시키기 위한 히터를 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.13. The active skin contact sensor as claimed in claim 12, wherein the drive unit comprises a heater for varying the temperature in the adsorption chamber. 제 12 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 흡착 챔버 내에 유체를 공급하여 압력을 가변시키기 위한 유압 제어 채널을 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor as claimed in claim 12, wherein the driving unit includes a hydraulic control channel for supplying a fluid into the adsorption chamber to vary the pressure. 제 11 항에 있어서, 상기 접촉력 조절부는 상기 흡착 챔버의 개방된 상단 둘레를 따라 연장하며 상기 지지 영역의 박막 구조물 표면으로부터 돌출 형성된 돌출부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.12. The active skin contact sensor of claim 11 wherein the contact force adjustment portion further comprises a protrusion extending along an open upper circumference of the adsorption chamber and protruding from a surface of the thin film structure of the support region. 제 11 항에 있어서, 상기 흡착 챔버의 개방된 상단 둘레에 형성된 검출 전극을 포함하고 상기 피부와의 접촉 여부를 검출하기 위한 접촉 검출부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.12. The active skin contact sensor as claimed in claim 11, further comprising a contact detector formed around the open top of the adsorption chamber and detecting whether the skin is in contact with the skin. 제 11 항에 있어서, 상기 센서는 상기 피부의 온도, 습도, 전기 전도도, pH, 탄성도, 맥파 및 피부 표면의 화학 성분 중 적어도 어느 하나를 검출하는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 11, wherein the sensor detects at least one of temperature, humidity, electrical conductivity, pH, elasticity, pulse wave, and chemical composition of the skin surface of the skin. 제 11 항에 있어서, 상기 센서는 피부 상태를 측정하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.12. The active skin contact sensor of claim 11 wherein the sensor further comprises a second sensor for measuring skin condition. 제 11 항에 있어서, 상기 흡착 챔버는 복수 개가 어레이 형태로 배열되는 능동형 피부 접촉 센서.The active skin contact sensor of claim 11, wherein the adsorption chamber is arranged in a plurality of arrays. 제 11 항에 있어서, 상기 구동부 및 상기 센서에 연결되어 제어 신호 및 검출 신호를 처리하기 위한 제어 회로부를 더 포함하는 능동형 피부 접촉 센서.12. The active skin contact sensor according to claim 11, further comprising a control circuit portion connected to the driver and the sensor for processing a control signal and a detection signal.
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