KR102057967B1 - Device For Discharging Liquid Substance Using Piezo Actuator - Google Patents
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Abstract
본 발명은 제1 지지대(100); 상기 제1 지지대(100)에 작동부(500) 방향으로 돌출되게 설치되어 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)를 이격시켜 주며 작동부(500)를 상하 회동 가능하게 하는 샤프트(210)를 포함하는 제2 지지대(200); 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 하부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제1 피에조 엑츄에이터(300); 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 상부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제2 피에조 엑츄에이터(400); 상기 제2 지지대(200)에 일측이 샤프트(210)로 연결되어 있고 타측의 하면에 노즐부(620)의 홈(621)에 삽입 가능한 공이(510)가 설치되어 있는 작동부(500); 및 상기 공이(510)의 하단에, 상측에는 액상물질이 유입되는 홈(621)이 형성되고 상기 공이(510)가 상기 홈(621)에 삽입되면 상기 액상물질을 토출하는 노즐부(620)와 상기 노즐부(620)의 상부에 이격시켜 상기 공이(510)에 설치되어 작동부(500)의 움직임을 도와 공이(510)의 움직임을 탄성력으로 조절하는 판스프링(610)을 포함하는 토출부(600);를 포함하는 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 피에조 엑츄에이터에 전류를 교번되게 흐르게 하여 변위가 생기게 하고 이로 인하여 공이(510)를 포함한 작동부(500)의 움직임을 만드는 것으로 극미소량의 토출이 가능한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공할 수 있다.The present invention is a first support (100); The shaft is installed on the first support 100 to protrude in the direction of the operating part 500 to separate the first piezo actuator 300 and the second piezo actuator 400 and to allow the operating part 500 to rotate up and down. A second support 200 comprising a 210; One side is fixed to the first support 100 and the other side is connected to the operation unit 500 and is installed facing the lower side of the second support 200 to show the displacement toward the operation unit 500 when the current flows A first piezo actuator 300; One side is fixed to the first support 100 and the other side is connected to the operation unit 500 and is installed facing the upper side of the second support 200 to show the displacement toward the operation unit 500 when current flows. A second piezo actuator 400; An operation part 500 having one side connected to the second support 200 by a shaft 210 and a ball 510 inserted into a groove 621 of the nozzle part 620 on a lower surface of the other side; And a nozzle unit 620 for discharging the liquid material when the ball 510 is formed at the lower end of the ball 510, and the groove 621 is formed thereon, and the ball 510 is inserted into the groove 621. The discharge part including a leaf spring 610 is spaced on the nozzle 620 is installed in the ball 510 to help the movement of the operation unit 500 to adjust the movement of the ball 510 to the elastic force ( It relates to a liquid material discharge device using a piezo actuator comprising a 600). According to the present invention, the liquid substance discharge device using the piezo actuator capable of discharging a very small amount by causing the displacement of the piezo actuator by alternating current, thereby causing the movement of the operating unit 500 including the ball 510. Can be provided.
Description
본 발명은 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액상 물질을 목표 지점에 정확하게 그리고 극미소량까지 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid substance dispensing apparatus using a piezo actuator, and more particularly, to a liquid substance dispensing apparatus using a piezo actuator that can easily control the liquid substance to a target point and to an extremely small amount.
일반적으로 액상 물질 토출 장치는 전기, 전자, 자동차, 반도체, 통신기기 등에 사용되는 인쇄회로 기판상에 칩이나 sdIC와 같은 부품의 고정과 IC 패키징에서 여러 층의 레이어를 쌓는 적층 방식으로 이루어지는 CSP(Chip-scale Package)형태의 반도체 공정중 에폭시나 실리콘, 우레탄, 열전도성 접착제, 도전성 에폭시 및 접착제와 같이 일정한 점도를 가지는 페이스트 상태의 물질을 노즐을 통해 공급하는 장치이다. In general, the liquid material discharging device is a CSP (Chip) consisting of a stacking method in which a layer such as chips or sdIC is fixed on a printed circuit board used in electric, electronic, automotive, semiconductor, communication devices, and stacked several layers in IC packaging. It is a device that supplies paste-like materials with constant viscosity such as epoxy, silicone, urethane, thermal conductive adhesive, conductive epoxy and adhesive during the semiconductor process in the form of -scale package.
본 발명의 배경이 되는 기술은 대한민국 등록특허공보 제10-1044283호에 개시되어 있는 바와 같이 액상 물질을 토출하는 니들 밸브에 그 양을 조절할 수 있는 엑츄에이터가 설치되어 액상 물질의 토출 여부를 용이하게 제어하고 그 양 또한 일정하게 유지할 수 있다. 하지만 전자 부품의 소형화로 인해 부품 간극과 크기가 줄어들고 있기 때문에 그 정밀함이 이에 미치지 못하는 문제가 있다.The technology that is the background of the present invention, as disclosed in the Republic of Korea Patent Publication No. 10-1044283, the actuator is installed in the needle valve for discharging the liquid material is installed to easily control whether or not to discharge the liquid material The amount can also be kept constant. However, due to the miniaturization of electronic components, the parts gap and size are decreasing, so the precision thereof does not reach this level.
따라서, 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 제2 지지대의 상하에 각각 면해있는 제1 피에조 엑츄에이터와 제2 피에조 엑츄에이터 중 하나에 전류를 교번되게 흐르게 하여 변위를 만들어 냄으로써 제2 지지대에 설치된 샤프트로 회동 가능한 작동부를 움직이고 따라서 작동부에 부착된 공이를 움직이게 함으로써, 액체의 극미소량 토출 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공하기 위한 것이다. Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to alternately flow a current to one of the first and second piezo actuators facing each other above and below the second support. It is to provide a liquid substance dispensing apparatus using a piezo actuator that is easy to control the micro-discharge discharge of the liquid by moving the rotatable operating portion to the shaft provided on the second support by creating a displacement and thus moving the ball attached to the operating portion.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 공이가 움직이면서 노즐에 고인 액을 치면서 토출하는 비접촉방식의 노즐 팁 기술을 사용함으로써, 액체의 극미소량 토출 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공하기 위한 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a liquid substance dispensing apparatus using a piezo actuator that is easy to control the micro-discharge discharge of liquid by using a non-contact type nozzle tip technology for discharging while throwing the liquid stuck to the nozzle as the ball moves. It is to.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 노즐부의 상부에 이격하여 상기 공이부에 고정된 판스프링의 탄성력을 이용하여 작동부의 운동을 도와 공이가 노즐과 접촉하는 정도를 조절하고 접촉 후 공이를 처음의 자리로 되돌아가게 함으로써, 액체의 극미소량 토출 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공하기 위한 것이다. In addition, another object of the present invention, by using the elastic force of the leaf spring fixed to the ball portion spaced above the nozzle portion to help the movement of the operating portion to adjust the degree of contact with the nozzle and the ball after the first position It is for providing the liquid substance discharge apparatus using the piezo actuator which is easy to control very small amount discharge of a liquid by returning to.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 제1 지지대(100); 상기 제1 지지대(100)에 작동부(500) 방향으로 돌출되게 설치되어 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)를 이격시켜 주며 작동부(500)를 상하 회동 가능하게 하는 샤프트(210)를 포함하는 제2 지지대(200); 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 하부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제1 피에조 엑츄에이터(300); 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 상부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제2 피에조 엑츄에이터(400); 상기 제2 지지대(300)에 일측이 샤프트(210)로 연결되어 있고 타측의 하면에 노즐부(620)의 홈(621)에 삽입 가능한 공이(510)가 설치되어 있는 작동부; 및 상기 공이(510)의 하단에 상측에는 액상물질이 유입되는 홈(621)이 형성되고 상기 공이(510)가 상기 홈(621)에 삽입되면 상기 액상물질을 토출하는 노즐부(620)와 상기 노즐부(620)의 상부에 이격시켜 상기 공이(510)에 설치되어 작동부(500)의 움직임을 도와 공이(510)의 움직임을 탄성력으로 조절하는 판스프링(610)을 포함하는 토출부(600);를 포함한다. The present invention for achieving the above object is the first support (100); The shaft is installed on the
이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 피에조 엑츄에이터에 전류를 교번되게 흐르게 하여 변위가 생기게 하고 이로 인하여 작동부의 움직임을 만드는 것으로 극미소량의 토출이 가능한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, it is possible to provide a liquid material dispensing apparatus using a piezo actuator capable of discharging a very small amount by alternating current flow to the piezo actuator to create a displacement, thereby making the movement of the operating unit.
또한, 본 발명에 따르면, 공이로 노즐에 고인 액을 토출하는 비접촉식 노즐팁 방식으로 극미소량의 토출이 가능한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide an apparatus for discharging a liquid substance using a piezo actuator capable of discharging a very small amount by a non-contact nozzle tip method for discharging a liquid collected into a nozzle by a ball.
또한, 본 발명에 따르면, 노즐부의 상부에 이격하여 상기 공이에 고정된 판스프링의 탄성력을 이용하여 작동부의 운동을 도와 공이가 노즐을 접촉하는 정도를 조절하고 접촉 후 공이를 처음의 자리로 되돌아가게 함으로써 극미소량의 토출이 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, by using the elastic force of the leaf spring fixed to the ball to be spaced apart from the top of the nozzle to help the movement of the operation to adjust the degree of contact of the ball to the nozzle and to return the ball to the first place after contact As a result, it is possible to provide an apparatus for discharging a liquid substance using a piezo actuator, which is capable of discharging an extremely small amount.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 작동부의 정면도, 측면도, 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제2 지지대의 정면도, 측면도, 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 피에조 엑츄에이터의 정면도, 측면도, 평면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 노즐부의 정면도, 측면도, 평면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 판스프링의 정면도, 측면도, 평면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁과 팁 삽입용 몸체의 정면도, 측면도, 평면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 팁이 삽입된 노즐부.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 액의 특성에 따른 노즐들.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치에서 피에조 엑츄에이터의 변위와 작동부의 움직임을 가시화 하기 위해 과장하여 나타낸 도면이다.1 is a liquid material discharge device using a piezo actuator according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view, a side view, and a plan view of an operation unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view, a side view, and a plan view of a second support according to an embodiment of the present invention.
4 is a front view, a side view, and a plan view of a piezo actuator according to an embodiment of the present invention.
5 is a front view, a side view, and a plan view of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a front view, a side view, a plan view of a leaf spring according to an embodiment of the present invention.
7 is a front view, a side view, a plan view of a nozzle tip and a tip insertion body according to an embodiment of the present invention.
8 is a nozzle portion inserted tip according to an embodiment of the present invention.
9 is nozzles according to the characteristics of the liquid according to an embodiment of the present invention.
10 is a diagram exaggerated to visualize the displacement of the piezo actuator and the movement of the actuator in the liquid material discharge device using the piezo actuator according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도면 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치의 전체 구성도이다. 1 is an overall configuration diagram of a liquid substance discharge device using a piezo actuator according to a preferred embodiment of the present invention.
도면 1에 따른 액상 물질 토출 장치의 구성은 제1 지지대(100), 상기 제1 지지대에 작동부(500) 방향으로 돌출되게 설치되어 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)를 이격시켜 주며 작동부(500)를 상하 회동 가능하게 하는 샤프트(210)를 포함하는 제2 지지대(200), 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 상기 제2 지지대(200)의 하부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제1 피에조 엑츄에이터(300), 상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 상기 제2 지지대(200)의 상부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제2 피에조 엑츄에이터(400), 상기 제2 지지대(200)에 일측이 샤프트(210)로 연결되어 있고 타측의 하면에 노즐부(620)의 홈(621)에 삽입 가능한 공이(510)가 설치되어 있는 작동부(500) 및 상기 공이(510)의 하단에 상측에는 액상물질이 유입되는 홈(621)이 형성되고 상기 공이(510)가 상기 홈(621)에 삽입되면 상기 액상물질을 토출하는 노즐부(620)와 상기 노즐부(620)의 상부에 이격시켜 상기 공이(510)에 설치되어 작동부(500)의 움직임을 도와 공이(510)의 움직임을 탄성력으로 조절하는 판스프링(610)을 포함하는 토출부(600)를 포함한다.
여기서, 판스프링(610)은 중앙에 공이(510)가 설치되도록 하며, 탄성력으로 공이의 움직임을 조절할 수 있다.1 is configured to protrude in the direction of the
Here, the
제2 지지대(200)의 상하에 각각 부착된 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400) 중 하나에 전류를 교번되게 흐르게 하여 변위를 만들어 냄으로써 샤프트(210)로 회동 가능한 작동부(500)를 움직이고 따라서 작동부(500)에 부착된 공이(510)를 움직이게 함으로써, 액체의 극미소량 토출 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공한다.An operating part rotatable to the
각 구성에 대한 상세한 설명에 들어가기에 앞서, 여기에서 본 발명에 이용된 상기 피에조 엑츄에이터에 대한 설명을 잠깐 하고자 한다. 피에조(압전재료)는 자중에 비해 비교적 큰 힘을 발생시키고 공급된 전압에 대해 빠르게 반응하는 특징이 있다. 따라서 전압을 가하면 변형이 발생되는 성질을 이용하여 액츄에이터(작동기)로 사용할 수 있다. 이러한 피에조 엑츄에이터는 인가되는 전압에 따라 도출되는 힘과 변위가 달라지게 된다. 이는 요구되는 힘에 따라 전압을 변화시켜 입력함으로써 적절한 제어 범위를 설정할 수 있다. 또한 이 압전 재료는 응답 속도가 1,000Hz이상에서도 작동할 정도로 아주 빠르다. Before entering into the detailed description of each configuration, here is a brief description of the piezo actuator used in the present invention. Piezo (piezoelectric material) is characterized by generating a relatively large force compared to its own weight and reacts quickly to the supplied voltage. Therefore, it can be used as an actuator (actuator) by using the property that deformation occurs when a voltage is applied. The piezo actuator has a different force and displacement depending on the applied voltage. It is possible to set an appropriate control range by varying the voltage input according to the required force. The piezoelectric material is also fast enough to operate over 1,000 Hz.
다시 말해서, 제1 피에조 엑츄에이터와 제2 피에조 엑츄에이터에 교번되게 전류를 흐르게 하여 공이(510)를 1초에 1000번 이상 움직이는 것이 가능하다.In other words, it is possible to move the
피에조 엑츄에이터(Piezo Actuator)에 전류가 흐르면 피에조(Piezo) 내의 세라믹 크리스탈 라티스(Ceramic Crystal Lattice)에 있는 이온들이 한쪽으로 이동하며 변위를 만든다. 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)는 제1 지지대(100)에 일면이 고정되어 있으므로 작동부(500) 방향으로 변위가 생기게 된다. When current flows through the piezo actuator, the ions in the ceramic crystal lattice in the piezo move to one side and create a displacement. Since one surface of the
계속해서 도면 2를 참조하여 작동부(500)의 구성에 대해 설명한다. 작동부(500)는 일측의 상부에는 제2 피에조 엑츄에이터(400)에 면해있고 중간부에는 샤프트(210)로 회동가능하게 연결되어 있으며 하부는 제1 피에조 엑츄에이터(300)에 면해있다. 또한 타측의 하면에 공이(510)가 설치되어 있다. Next, the structure of the
도면 3은 샤프트(210)가 포함된 제2 지지대(200), 도면 4는 피에조 엑츄에이터(300, 400)이다.3 shows a
도면 5는 토출부(600)에 해당하는 노즐부(620), 도면 6은 판스프링(610)의 정면도, 측면도, 평면도 이다. 토출부(600)는 상기 공이(510)의 하단에 위치한다. 상측에는 액상물질이 유입되는 홈(621)이 형성되고 상기 공이(510)가 상기 홈(621)에 삽입되면 상기 액상물질을 토출하는 노즐부(620)와 상기 노즐부(620)의 상단에 상기 노즐부(620)와 이격되어 상기 공이(510)에 설치되는 판스프링(610)을 포함한다.5 is a
토출부(600)에는 두가지 특징이 있다. The
첫째는 노즐에서 흘러내리지 않고 고인 액을 공이(510)로 토출하는 비접촉(Non-contact) 방식의 노즐팁 방식으로 극미소량의 토출이 가능한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공할 수 있다는 특징이다. 도면 7은 본 발명의 실시예에 따른 팁(622)과 팁 삽입용 몸체의 예시를 나타낸 것이고, 도면 8은 팁이 삽입된 노즐부(620)의 예시를 나타낸 것이다.First, it is possible to provide a liquid material dispensing apparatus using a piezo actuator capable of dispensing a very small amount by a non-contact nozzle tip method for discharging a solid solution to a
둘째는 상기 판스프링(610)의 역할이 특징이다. 상기 작동부(500)가 상하 운동 시 공이(510)가 노즐부(620)와 접촉할 때 노즐의 일정한 부위와 접촉하도록 조절해 주는 역할을 하고, 판스프링(610)의 탄성력을 이용하여 공이(510)가 일정한 위치의 확보 및 일정량의 힘으로 노즐과 접촉하게 하며 접촉 후 공이(510)를 처음의 자리로 되돌아가게 함으로써, 액체의 극미소량 토출 제어가 용이한 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치를 제공하기 위한 것이다. Second, the role of the
도면 9은 본 발명의 실시예에 따른 액의 특성에 따른 여러가지 노즐의 예를 나타낸 것이다. 액상 물질의 원활한 토출을 위해서 노즐의 재질이 중요하다. 노즐은 세라믹으로 하거나 아니면 초경으로 한다. 이 때 경도가 높은 재질일수록 액의 윤활성이 증가되어 원활한 Drop 토출이 가능하게 된다. 또는 액에 성질에 따라 다른 모양의 노즐을 사용하는 방식도 있다. 몸체는 초경으로 하되 팁은 여러 재질로 제작하는 방식이 있는데 노즐의 팁의 재질로는 루비(Ruby), 지르코니아(Zirconia), 세라믹(Ceramic) 등이 있다.9 shows examples of various nozzles according to the characteristics of the liquid according to the embodiment of the present invention. The material of the nozzle is important for the smooth discharge of the liquid material. The nozzles may be ceramic or carbide. At this time, the higher the hardness of the material, the higher the lubricity of the liquid, and the smooth drop discharge is possible. Another solution is to use nozzles of different shapes depending on the nature of the liquid. The body is made of cemented carbide, but the tip is made of various materials. The materials of the tip of the nozzle include Ruby, Zirconia, and Ceramic.
도면 10은 본 발명의 실시예에 따른 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치에서의 움직임을 가시화 하기 위해 과장되게 표현한 예이다. 제1 피에조 엑츄에이터(300)에는 전류가 흐르지 않고 제2 피에조 엑츄에이터(400)에 전류가 흐르는 경우는 아래로 움직인다. 제1 피에조 엑츄에이터(300)에 전류가 흐르고 제2 피에조 엑츄에이터에(400)는 전류가 흐르지 않는 경우에 상기 공이(510)를 포함한 작동부(500)가 위로 움직인다.Figure 10 is an example exaggerated to visualize the movement in the liquid material discharge apparatus using the piezo actuator according to an embodiment of the present invention. When no current flows to the first
다시 말하면, 전류는 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)에 교번되게 흐르면서 피에조 엑츄에이터를 늘렸다 줄였다 하고 그 변위는 기계적 힘으로 바뀌며, 바뀐 기계적 힘은 작동부(500)를 위아래로 기계적인 운동을 시킨다. 이러한 기계적인 움직임은 작동부(500)의 끝에 있는 공이(510) 또한 같이 움직이며 노즐에 고여있는 액을 치게 된다. 이때에 액은 토출이 되며 판스프링(610)은 작동부(500)의 운동을 도와 공이(510)를 처음의 제자리로 돌아오게 해주는 것이다. In other words, the current flows alternately to the first
100: 제1 지지대 200: 제2 지지대
210: 샤프트 300: 제1 피에조 엑츄에이터
400: 제2 피에조 엑츄에이터 500: 작동부
510: 공이 600: 토출부
610: 판스프링 620: 노즐부
621: 홈 622: 팁100: first support 200: second support
210: shaft 300: first piezo actuator
400: second piezo actuator 500: operating part
510: ball 600: discharge part
610: leaf spring 620: nozzle portion
621: home 622: tips
Claims (1)
상기 제1 지지대(100)에 작동부(500) 방향으로 돌출되게 설치되어 제1 피에조 엑츄에이터(300)와 제2 피에조 엑츄에이터(400)를 이격시켜 주며 작동부(500)를 상하 회동 가능하게 하는 샤프트(210)를 포함하는 제2 지지대(200);
상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 하부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제1 피에조 엑츄에이터(300);
상기 제1 지지대(100)에 일측이 고정되어 있고 타측은 작동부(500)와 연결되어 있으며 제2 지지대(200)의 상부측에 면하여 설치되어 전류가 흐르면 작동부(500) 쪽으로 변위를 보이는 제2 피에조 엑츄에이터(400);
상기 제2 지지대(200)에 일측이 샤프트(210)로 연결되어 있고 타측의 하면에 노즐부(620)의 홈(621)에 삽입 가능한 공이(510)가 설치되어 있는 작동부(500); 및
상기 공이(510)의 하단에 상측에는 액상물질이 유입되는 홈(621)이 형성되고 상기 공이(510)가 상기 홈(621)에 삽입되면 상기 액상물질을 토출하는 노즐부(620)와 상기 노즐부(620)의 상부에 이격시켜 상기 공이(510)에 설치되어 작동부(500)의 움직임을 도와 공이(510)의 움직임을 탄성력으로 조절하는 판스프링(610)을 포함하는 토출부(600);를 포함하되,
상기 토출부의 상기 공이는 상기 판스프링의 중앙에 설치되는 피에조 엑츄에이터를 이용한 액상 물질 토출 장치First support 100;
The shaft is installed to protrude in the direction of the operating unit 500 on the first support 100 to separate the first piezo actuator 300 and the second piezo actuator 400 and to allow the operating unit 500 to rotate up and down A second support 200 comprising a 210;
One side is fixed to the first support 100 and the other side is connected to the operation unit 500 and installed facing the lower side of the second support 200 to show the displacement toward the operation unit 500 when a current flows. A first piezo actuator 300;
One side is fixed to the first support 100 and the other side is connected to the operation unit 500 and is installed facing the upper side of the second support 200 to show the displacement toward the operation unit 500 when the current flows A second piezo actuator 400;
An operation part 500 having one side connected to the second support 200 by a shaft 210 and a ball 510 inserted into a groove 621 of the nozzle part 620 on a lower surface of the other side; And
At the lower end of the ball 510 is formed a groove 621 through which the liquid material flows, and when the ball 510 is inserted into the groove 621, the nozzle unit 620 and the nozzle for discharging the liquid material. The discharge part 600 is installed on the ball 510 to be spaced apart from the upper portion of the 620 to help the movement of the operating unit 500 to adjust the movement of the ball 510 to the elastic force of the discharge unit 600 Including;
The ball of the discharge portion is a liquid material discharge device using a piezo actuator installed in the center of the leaf spring
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2015
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