KR102051289B1 - Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment - Google Patents
Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment Download PDFInfo
- Publication number
- KR102051289B1 KR102051289B1 KR1020180009594A KR20180009594A KR102051289B1 KR 102051289 B1 KR102051289 B1 KR 102051289B1 KR 1020180009594 A KR1020180009594 A KR 1020180009594A KR 20180009594 A KR20180009594 A KR 20180009594A KR 102051289 B1 KR102051289 B1 KR 102051289B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- equipment
- efficiency
- facility
- utility
- measurement
- Prior art date
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 89
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 53
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 40
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 23
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 19
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 19
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 19
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 claims 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 38
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B25/00—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems
- G08B25/14—Central alarm receiver or annunciator arrangements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
본 발명은 자동화 공정의 장비마다 에너지 사용량 및 운영효율을 지속적으로 모니터링하여 장비의 운영상황을 실시간으로 파악하면서 자동화 설비를 효율적으로 운영유지함을 제공하도록, 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 사용되는 모든 에너지원에 대응하여 각 에너지 사용량을 측정하는 유틸리티감시장치와; 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 에너지원을 사용한 운영결과에 따라 각 설비 장비의 운영효율에 대한 측정결과를 출력하는 효율측정장치와; 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 각 측정신호가 입력되어 측정 데이터를 수집하되, 측정 데이터별 운영효율을 분석하여 분석결과를 확인함과 동시에 장비의 운영이상 여부를 감지가능하게 구비되는 중앙안전감지부;를 포함하는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템을 제공한다.The present invention is to be installed on each equipment of the automation process, but to be installed on each equipment of the automation process to continuously monitor the energy consumption and operating efficiency of each equipment of the automation process to provide an efficient operation and maintenance of the automation equipment while grasping the operating status of equipment in real time. A utility monitoring device for measuring each energy consumption corresponding to all the energy sources used; An efficiency measuring device installed at each facility of the automated process, and outputting a measurement result of operating efficiency of each facility according to an operation result of using an energy source in each facility's equipment; Central safety sense provided to collect the measurement data by inputting each measurement signal from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and to analyze the operational efficiency for each measurement data to check the analysis result and at the same time detect the abnormal operation of the equipment. Provides an automated facility utility efficiency monitoring system comprising a branch.
Description
본 발명은 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 자동화 공정의 장비마다 에너지 사용량 및 운영효율을 지속적으로 모니터링하여 장비의 운영상황을 실시간으로 파악하면서 자동화 설비를 효율적으로 운영유지하는 것이 가능한 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an automated facility utility efficiency monitoring system, and more particularly, to continuously monitor the energy consumption and operation efficiency for each equipment of the automation process to grasp the operation status of the equipment in real time and efficiently maintain and maintain the automation facility. Possible automation plant utility efficiency monitoring system.
일반적으로 특정 제품을 자동으로 생산하는 자동화 공정에는 기본적으로 전기, 수도, 가스 등과 같은 에너지원을 유틸리티로 사용하게 되며, 각 공정의 설비마다 일정량의 에너지사용량을 설정하여 자동으로 공급하므로 각 공정별 설비를 효율적으로 운영하게 된다.In general, in the automated process of automatically producing a specific product, energy sources such as electricity, water, and gas are basically used as utilities, and each process equipment is automatically supplied by setting a certain amount of energy consumption. To operate efficiently.
이러한 제품 생산의 자동화 공정 설비에는 온도 또는 습도의 변화가 생산 공정의 제품에 영향을 미칠 수 있으므로, 공정 설비별 온도 및 습도의 상태 변화를 항상 관찰해야만 한다. 특히, 반도체 제품의 생산공정 설비에서는 염소나 염화수소, 브롬수소, 메탄, 오존 등의 인체에 유해한 가스들이 사용되고, 반도체 제조 공정에 참여하는 작업자들은 유해 환경에 노출될 가능성을 항상 가지게 된다.In the automated process equipment of the production of such products, changes in temperature or humidity may affect the products of the production process, so it is always necessary to observe changes in the state of temperature and humidity of each process equipment. In particular, in the production process equipment of semiconductor products, gases harmful to the human body such as chlorine, hydrogen chloride, hydrogen bromide, methane, and ozone are used, and workers participating in the semiconductor manufacturing process always have a possibility of being exposed to harmful environment.
따라서 자동화 공정에서는 각 공정별 설비의 관리를 위하여 에너지(전기나 수도, 가스, 압력 등) 사용량의 변화를 모니터하며, 공정의 진행 상황 및 공정 설비의 상태를 유추 해석하면서 최적의 공정이 이루어지도록 공정 설비를 제어 및 유지 보수할 수 있는 설비의 모니터링 시스템이 요구된다.Therefore, the automated process monitors the change in energy (electricity, water, gas, pressure, etc.) usage for the management of each process facility, and analyzes the progress of the process and the state of the process facility to make the optimal process. There is a need for a monitoring system for equipment that can control and maintain the equipment.
상기와 같은 자동화 공정 설비의 모니터링 기술과 관련하여 개시되어 있었던 종래기술로써, 대한민국 공개특허공보 제5234호(2007.01.10.)에는 유체가 흐르는 배관의 복수 지점을 감싸며 상기 배관으로부터 누수되는 유체와의 접촉 여부를 시각적으로 표지하는 복수 개의 유체 감지부와, 상기 복수 개의 유체 감지부와 조합되어 상기 유체와의 접촉 여부를 전기적으로 알리는 복수 개의 케이블과, 상기 복수개의 케이블과 전기적으로 연결되어 상기 유체의 누수 여부에 대한 정보를 상기 케이블로부터 전기적 신호를 전달받아 상기 유체의 누수 발생지점을 특정하여 표지하는 컨트롤 박스를 포함하여 구성됨에 따라 반도체 라인의 환경 안전순찰에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 누수 감지 시스템이 공지되어 있다.As a conventional technology disclosed in connection with the monitoring technology of the automated process equipment, Korean Patent Laid-Open No. 5234 (2007.01.10.) Wraps a plurality of points of a pipe through which a fluid flows, and the fluid leaks from the pipe. A plurality of fluid detectors visually indicating whether a contact is made, a plurality of cables combined with the plurality of fluid detectors to electrically notify whether the fluid is in contact, and a plurality of cables electrically connected to the plurality of cables Leak detection that can reduce the time required for environmental safety patrol of semiconductor lines, as it comprises a control box that receives the electrical signal from the cable and receives information about whether or not the leak to identify the location of the leakage of the fluid Systems are known.
또한 공개특허공보 제56807호(2003.07.04.)에는 반도체 제조 장치의 개개의 구성요소들을 조절하는 중앙처리부와, 상기 반도체 제조 장치가 다운되거나 제조공정이 완료될 경우에 상기 중앙처리부에서 전기 신호를 받아 알람을 발생시키는 알람 발생부와, 상기 중앙처리부에서 출력된 전기 신호를 상기 알람 신호와 동시에 입력받아 모니터 구동 신호를 출력하는 신호 처리부, 및 상기 반도체 제조 장치와 떨어져 있고 상기 전기 신호 처리부에서 출력된 모니터 구동 신호에 따라 반도체 제조 장치의 다운 또는 제조 공정 완료를 표시하는 워크 스테이션 모니터를 포함하여 구성됨에 따라 작업자의 작업 효율이 향상되고 반도체 장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 반도체 제조 장치의 모니터링 시스템이 공지되어 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 56807 (2003.07.04.) Includes a central processing unit for controlling individual components of a semiconductor manufacturing apparatus, and an electrical signal from the central processing unit when the semiconductor manufacturing apparatus is down or a manufacturing process is completed. An alarm generator for receiving an alarm, a signal processor for receiving an electric signal output from the central processor simultaneously with the alarm signal, and outputting a monitor driving signal, and an output signal from the electric signal processor The monitoring system of the semiconductor manufacturing apparatus which can improve the work efficiency of a worker and the operation rate of a semiconductor device by including the workstation monitor which shows the completion of a manufacturing process or down of a semiconductor manufacturing apparatus according to a monitor drive signal is known. It is.
그러나 상기한 종래기술 중 공개특허공보 제5234호의 경우에는 단순히 누수 여부만을 전기적인 신호로 감지할 수 있는 뿐이며, 공개특허공보 제56807호의 경우에도 설비의 전반적인 공정상황만을 모니터로 확인할 수 있을 뿐, 종래기술 양자 모두 제조공정 설비에 사용되는 모든 에너지원과 관련하여 세밀한 관찰이 어려우며, 에너지 사용량의 변화에 따른 설비의 운영효율측정 및 운영이상 여부를 감지할 수 없어 공정 설비의 운영효율이 떨어진다는 문제가 있었다.However, in the case of the above-described prior art publication No. 5234, it is only possible to detect only a leak or not by an electrical signal, and in the case of Publication No. 56807, only the overall process status of the facility can be confirmed by a monitor. Both technologies are difficult to observe in detail with respect to all energy sources used in manufacturing process equipment, and the operation efficiency of process equipment is inferior because it is impossible to measure the operation efficiency and detect abnormal operation of equipment according to the change of energy usage. there was.
또한 종래에는 자동화 공정의 설비로부터 발생한 유해가스를 단순히 가스저감시설인 스크러버(scrubber) 장비를 거쳐 배출할 뿐 가스저감시설의 정상적인 운영 여부를 감지하지 못하여 가스노출로 인한 안전사고로부터 대처가 미흡하다는 문제가 있었다.In addition, conventionally, the harmful gas generated from the facilities of the automated process is simply discharged through a scrubber equipment, which is a gas reduction facility, but it does not detect normal operation of the gas reduction facility. There was.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 자동화 공정의 장비별 운영 효율을 측정함과 동시에 장비에 사용된 에너지 사용량을 지속적으로 모니터링하며 장비의 운영 효율을 분석하도록 구성하므로 설비 운영을 항시 최적화함은 물론 최적의 에너지 사용량을 도출하고 장비의 유지 및 개선이 용이하며 장비 운영의 안전성을 높일 수 있는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템을 제공하는데, 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, it is configured to continuously monitor the energy consumption used in the equipment at the same time to measure the operating efficiency of each equipment of the automated process and to analyze the operating efficiency of the equipment at all times optimize the operation of the equipment In addition, the purpose of the present invention is to provide an automated facility utility efficiency monitoring system that can derive optimal energy usage, facilitate maintenance and improvement of equipment, and increase safety of equipment operation.
뿐만 아니라 본 발명은 자동화 공정의 장비에 연계하여 가스저감 처리설비의 운영상황을 모니터링할 수 있게 구성하므로 가스저감 처리설비의 운영 효율을 측정하면서 장비의 운전조건을 개선할 수 있는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템을 제공하기 위한 것이다.In addition, the present invention is configured to monitor the operating conditions of the gas reduction treatment facility in connection with the equipment of the automated process, so that the monitoring efficiency of the automation equipment utility efficiency that can improve the operating conditions of the equipment while measuring the operation efficiency of the gas reduction treatment facility It is to provide a system.
본 발명이 제안하는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템은 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 사용되는 모든 에너지원에 대응하여 각 에너지 사용량을 측정하는 유틸리티감시장치와; 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 에너지원을 사용한 운영결과에 따라 각 설비 장비의 운영효율에 대한 측정결과를 출력하는 효율측정장치와; 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 각 측정신호가 입력되어 측정 데이터를 수집하되, 측정 데이터별 운영효율을 분석하여 분석결과를 확인함과 동시에 장비의 운영이상 여부를 감지가능하게 구비되는 중앙안전감지부;를 포함하여 이루어진다.The automated facility utility efficiency monitoring system proposed by the present invention includes a utility monitoring device which is installed for each facility of an automated process and measures each energy consumption corresponding to all energy sources used in the equipment of each facility; An efficiency measuring device installed at each facility of the automated process, and outputting a measurement result of operating efficiency of each facility according to an operation result of using an energy source in each facility's equipment; Central safety sense provided to collect the measurement data by inputting each measurement signal from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and to analyze the operational efficiency for each measurement data to check the analysis result and at the same time detect the abnormal operation of the equipment. Branch; consists of.
상기 유틸리티감시장치는 설비 장비에 장착되며 에너지 사용량을 측정하는 하나 이상의 센서부와, 상기 센서부에 의한 측정신호를 수신하여 송신가능한 데이터로 변환하되 측정 데이터를 상기 중앙안전감지부에 전송하는 유틸리티통신부를 구성한다.The utility monitoring device is installed in the facility equipment and at least one sensor unit for measuring the energy consumption, and the utility communication unit for receiving the measurement signal by the sensor unit and converts it into transmittable data, but transmits the measurement data to the central safety detection unit. Configure.
상기 효율측정장치는 설비 장비에 연결되며 가스의 흐름 여부를 설정가능하게 구비되는 밸브유닛과, 상기 밸브유닛에 연결되며 설비 장비별 운영효율을 측정하는 측정기와, 상기 측정기에 의한 측정신호를 수신하여 송신가능한 데이터로 변환하되 측정 데이터를 상기 중앙안전감지부에 전송하는 측정통신부를 구성한다.The efficiency measuring device is connected to the equipment and the valve unit is provided to set the flow of gas, a measuring device connected to the valve unit for measuring the operating efficiency of each equipment, and receiving the measurement signal by the measuring device A measurement communication unit converts the data into transmittable data and transmits the measurement data to the central safety sensor.
상기 효율측정장치에서는 자동화 공정 설비의 장비마다 순차적으로 연속 측정하여 상기 중앙안전감지부에 순환형태로 신호를 전송하게 이루어진다.The efficiency measuring device is configured to continuously transmit a signal in a circular form to the central safety detection unit by sequentially measuring for each equipment of the automated process equipment.
상기 중앙안전감지부는 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 입력된 각 측정 데이터를 산출함과 동시에 디스플레이하는 신호처리부와, 상기 신호처리부에서 산출한 상기 유틸리티감시장치의 측정값과 상기 효율측정장치의 측정값을 분석하여 장비 운영효율을 분석하는 효율분석부와, 상기 유틸리티감시장치로부터 입력되는 측정 데이터에 대해 에너지 사용범위의 이상 여부를 감지하는 유틸리티이상감지부를 구성한다.The central safety monitoring unit calculates and displays each measurement data inputted from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and displays the measured values of the utility monitoring device calculated by the signal processing unit and the efficiency measuring device. An efficiency analysis unit for analyzing the operating value of the equipment by analyzing the measured value and the utility abnormality detection unit for detecting the abnormality of the energy use range for the measurement data input from the utility monitoring device.
상기 유틸리티이상감지부는 해당 설비의 반복적인 장비운영을 통해 정상적인 에너지 사용범위를 설정하여 기준 패턴을 정의토록 생성하는 기준패턴생성부와, 해당 설비의 장비운영으로부터 상기 유틸리티감시장치에 의해 실시간으로 측정된 에너지 사용량의 분석 패턴을 생성하는 측정패턴생성부와, 상기 기준패턴생성부의 기준 패턴을 기준으로 상기 측정패턴생성부의 분석 패턴을 비교하여 장비의 에너지 사용범위에 대한 이상 유무를 판정하는 비교판단부를 구성한다.The utility abnormality detection unit generates a reference pattern to define a reference pattern by setting a normal energy use range through repetitive equipment operation of the facility, and measured in real time by the utility monitoring device from the equipment operation of the facility. Comprising a measurement pattern generation unit for generating an analysis pattern of energy usage and a comparison determination unit for comparing the analysis pattern of the measurement pattern generation unit on the basis of the reference pattern of the reference pattern generation unit to determine the abnormality of the energy use range of the equipment do.
그리고 본 발명은 자동화 공정 설비의 장비 중 유해가스의 저감 처리설비에 대해 상기 유틸리티감시장치로부터 유해가스의 사용량을 측정하며, 상기 효율측정장치로부터 가스저감 처리설비의 운영효율을 측정할 수 있게 구성하고, 상기 중앙안전감지부에서 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치의 측정 데이터를 분석하여 가스저감 처리설비의 운영이상 여부를 감지가능하게 구성하는 것도 가능하다.And the present invention is configured to measure the amount of harmful gas from the utility monitoring device for the harmful gas reduction treatment equipment of the equipment of the automated process equipment, and to measure the operating efficiency of the gas reduction treatment equipment from the efficiency measuring device In addition, the central safety sensor may analyze the measurement data of the utility monitoring device and the efficiency measuring device so as to be able to detect whether or not an operation abnormality of the gas reduction processing facility.
본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템에 의하면 공정설비의 장비마다 모든 에너지원의 사용량 및 장비의 운영효율을 측정하여 모니터링하면서 측정 데이터별 운영 효율을 분석하므로, 운영 효율측정에 따른 에너지 사용량의 근거자료를 확보함과 동시에 최적의 에너지 사용량을 도출하여 운영 에너지를 절감하고, 최적의 조건에 따른 장비 운영으로 운영효율을 향상시키면서 유틸리티 관리의 표준화를 구축할 수 있는 효과를 얻는다.According to the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention, since the operating efficiency of each measurement data is analyzed while measuring and monitoring the use of all energy sources and the operating efficiency of each equipment of the process equipment, the basis of energy usage according to the operating efficiency measurement. At the same time, it is possible to obtain the data and to derive the optimal energy consumption to save operating energy, and to improve the operational efficiency by operating the equipment according to the optimal conditions, and to establish the standardization of utility management.
뿐만 아니라 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템은 자동화 공정 설비의 장비에서 발생한 유해가스의 가스저감 처리설비에 대한 운영상황을 일괄적으로 모니터링하므로, 설비의 가스저감을 위한 운영 효율을 지속적으로 확인하여 장비의 운전조건을 개선하면서 장비점검의 효율을 향상시키고, 장비의 이상 징후를 미연에 감지하여 가스로 인한 안전사고를 사전 예방할 수 있는 효과가 있다.In addition, the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention monitors the operation status of the gas reduction treatment facility of harmful gases generated from the equipment of the automated process equipment, thereby continuously confirming the operation efficiency for gas reduction of the facility. By improving the operating conditions of the equipment, it improves the efficiency of equipment inspection, and detects the abnormal signs of the equipment in advance to prevent the safety accidents caused by gas.
도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 개략적으로 나타내는 전체구성도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 개략적으로 나타내는 블록도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예에서 중앙안전감지부의 데이터 수집방법을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 4는 본 발명에 따른 일실시예에서 중앙안전감지부의 효율 측정 후 에너지 변경을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 5는 본 발명에 따른 일실시예에서 중앙안전감지부의 감시상태를 개략적으로 나타내는 그림
도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 전체구성도.1 is an overall configuration diagram schematically showing an embodiment according to the present invention.
Figure 2 is a block diagram schematically showing an embodiment according to the present invention.
Figure 3 is a flow chart schematically showing a data collection method of the central safety detection unit in one embodiment according to the present invention.
Figure 4 is a flow diagram schematically showing the energy change after measuring the efficiency of the central safety detector in one embodiment according to the present invention.
5 is a view schematically showing a monitoring state of the central safety detection unit in one embodiment according to the present invention;
Figure 6 is an overall configuration diagram schematically showing another embodiment according to the present invention.
본 발명은 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 사용되는 모든 에너지원에 대응하여 각 에너지 사용량을 측정하는 유틸리티감시장치와; 자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 에너지원을 사용한 운영결과에 따라 각 설비 장비의 운영효율에 대한 측정결과를 출력하는 효율측정장치와; 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 각 측정신호가 입력되어 측정 데이터를 수집하되, 측정 데이터별 운영효율을 분석하여 분석결과를 확인함과 동시에 장비의 운영이상 여부를 감지가능하게 구비되는 중앙안전감지부;를 포함하는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템을 기술구성의 특징으로 한다.The present invention is installed for each facility of the automated process but the utility monitoring device for measuring each energy consumption corresponding to all the energy sources used in the equipment of each facility; An efficiency measuring device installed at each facility of the automated process, and outputting a measurement result of operating efficiency of each facility according to an operation result of using an energy source in each facility's equipment; Central safety sense provided to collect the measurement data by inputting each measurement signal from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and to analyze the operational efficiency for each measurement data to check the analysis result and at the same time detect the abnormal operation of the equipment. An automated facility utility efficiency monitoring system comprising a branch;
다음으로 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, a preferred embodiment of the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
먼저 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템의 일실시예는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 유틸리티감시장치(10)와, 효율측정장치(20)와, 중앙안전감지부(30)를 포함하여 이루어진다.First, an embodiment of the automation facility utility efficiency monitoring system according to the present invention, as shown in Figures 1 and 2, the
상기 유틸리티감시장치(10)는 자동화 공정의 설비마다 설치되며 설비담당자가 에너지 사용량을 모니터링할 수 있게 실시간으로 측정하는 기능을 수행한다.The
상기 유틸리티감시장치(10)는 각 공정설비의 장비(A1)마다 사용되는 모든 에너지원에 대응하여 각 에너지 사용량을 측정한다.The
상기에서 자동화 공정의 설비로는 반도체 제조설비를 비롯하여 디스플레이 제조설비나 기판 제조설비 등의 자동화 공정을 요하는 모든 제조설비를 포함하며, 해당 공정 설비의 장비(A1)로는 각 제조설비별 생산제품을 제조하기 위하여 순차적으로 거치는 모든 공정 설비의 장비들을 포함한다.The automated process equipment includes all the manufacturing equipment that requires an automated process such as a semiconductor manufacturing equipment, a display manufacturing equipment, a substrate manufacturing equipment, and the like (A1). It includes the equipment of all process equipment that goes through sequentially for manufacturing.
예를 들면, 일반적인 반도체 제조공정으로는 기판상에 전기적인 회로를 형성하는 FAB(fabrication)공정, FAB공정에서 형성된 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정, 그리고 반도체 소자들을 각각 에폭시수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립공정 등으로 구분되어 진다. 나아가 공정별 설비의 장비(A1)로는 스퍼터링 또는 레이저 융발과 같은 물리적 박막 증착장치, 화학 기상 증착장치 및 원자층 증착장치와 같은 화학적 박막 증착 장치 또는 반도체 소자의 패터닝을 위한 습식 또는 건식 식각장치 등을 의미한다.For example, a general semiconductor manufacturing process includes a FAB (fabrication) process for forming an electrical circuit on a substrate, an electrical die sorting (EDS) process for examining electrical characteristics of semiconductor devices formed in the FAB process, and semiconductor devices. Each is divided into package assembly process for encapsulation and individualization with epoxy resin. Further, the equipment (A1) of the process-specific equipment may include a physical thin film deposition apparatus such as sputtering or laser deposition, a chemical thin film deposition apparatus such as a chemical vapor deposition apparatus and an atomic layer deposition apparatus, or a wet or dry etching apparatus for patterning semiconductor devices. it means.
상기에서 에너지원으로는 공정설비의 장비(A1)마다 공정을 진행하기 위하여 사용되는 모든 에너지 즉 전기나 수도, 가스, 압력, 열, 광, 온도 등의 에너지를 의미한다.In the above, the energy source means all the energy used for the process for each equipment A1 of the process equipment, that is, energy such as electricity, water, gas, pressure, heat, light, and temperature.
상기 유틸리티감시장치(10)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 설비 장비(A1)에 장착되며 에너지 사용량을 측정하는 하나 이상의 센서부(11)와, 상기 센서부(11)의 측정정보를 전송하는 유틸리티통신부(13)를 구성한다.1 and 2, the
상기 센서부(11)는 장비에 사용되는 다양한 에너지들의 물리적인 양이나 그 변화를 감지 또는 구분 및 계측하여 전기적인 신호로 표출할 수 있는 계측기능을 수행한다.The
상기 센서부(11)에서는 다양한 유형의 에너지 측정을 위한 센서들이 조합된 구조를 이룬다. 예를 들면, 정전 프로브, 자기센서, 광센서, 진동센서, 온도센서, 압력센서, 가스센서, 분광분석기 또는 이온종 질량 분석기 중 적어도 하나 이상의 조합으로 구성한다.The
상기 유틸리티통신부(13)에서는 상기 센서부(11)로부터 측정된 에너지 사용량에 대한 정보를 받되 상기 센서부(11)에 의한 측정신호를 수신하여 상기 중앙안전감지부(30)에 전송한다.The
상기 유틸리티통신부(13)에서는 상기 센서부(11)로부터 수신한 에너지 사용량에 대한 측정값을 송신가능한 데이터로 변환하고, 상기 중앙안전감지부(30)에 측정 데이터들을 전송한다.The
상기 유틸리티통신부(13)에서는 무선통신 모듈을 포함하여 구성함은 자명하다.It is apparent that the
상기 효율측정장치(20)는 자동화 공정의 설비마다 설치되어 각 설비의 장비로부터 진행되는 운영효율을 측정하는 기능을 수행한다.The
상기 효율측정장치(20)에서는 설비의 장비(A1)에 해당 에너지원을 사용한 운영결과에 따라 각 설비 장비의 운영효율에 대한 측정결과를 출력하여 상기 중앙안전감지부(30)에 신호를 전달한다. 즉 상기 효율측정장치(20)는 상기 유틸리티감시장치(10)의 에너지 사용량 대비 해당 장비의 운영효율을 측정하고, 상기 중앙안전감지부(30)에 측정결과를 전달한다.The
상기 효율측정장치(20)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 해당 설비의 장비(A1)에 연결되며 가스의 흐름 여부 등을 설정가능하게 구비되는 밸브유닛(21)과, 상기 밸브유닛(21)에 연결되며 설비 장비별 운영효율을 측정하는 측정기(23)와, 상기 측정기(23)에 의해 측정된 신호를 상기 중앙안전감지부(30)에 전송하는 측정통신부(25)를 구성한다.1 and 2, the
상기 밸브유닛(21)은 복수 개의 밸브들과 함께 압력계나 유량계 등이 조합된 구조를 이룬다. 즉 상기 측정기(23)에서 장비의 운영효율을 측정하기 위하여 일정량의 유체(가스 등)에 대한 유량 및 압력을 계측가능한 구조로 구성한다.The
상기 측정기(23)에서는 상기 밸브유닛(21)을 거쳐 설비 장비(A1)와의 가스가 유출입가능하게 연결되고, 설비 장비(A1)의 운영효율을 실시간으로 측정한다.In the measuring
상기 측정통신부(25)에서는 상기 측정기(23)로부터 측정된 운영효율에 대한 정보를 받되 상기 측정기(23)에 의한 측정신호를 수신하여 상기 중앙안전감지부(30)에 전송한다.The
상기 측정통신부(25)에서는 상기 측정기(23)로부터 수신한 정보를 송신가능한 데이터로 변환하고, 상기 중앙안전감지부(30)에 측정 데이터를 전송한다.The
상기 측정통신부(25)에 있어서도 상기 유틸리티통신부(13)와 마찬가지로 무선통신 모듈을 포함하여 구성함이 자명하다.It is apparent that the
상기 효율측정장치(20)에서는 자동화 공정 설비의 장비(A1)마다 순차적으로 연속 측정하여 상기 중앙안전감지부(30)에 순환형태로 신호를 전송하게 이루어진다. 즉 해당 공정 중 복수 개의 장비(A1)마다 설치된 상기 효율측정장치(20)의 경우 상기 측정기(23)에서 측정된 측정신호를 상기 측정통신부(25)를 통해 정해진 순서대로 상기 중앙안전감지부(30)에 순차적으로 순환 전송하므로, 통신오류를 방지한 채 안정적인 시스템구동을 도모하는 것이 가능하다.The
상기 중앙안전감지부(30)는 설비담당자가 공정 설비의 전반적인 유틸리티 사용량 및 운영상황을 모니터링할 수 있게 디스플레이하면서 공정 설비의 장비별 운영효율을 분석하는 기능을 수행한다.The central
상기 중앙안전감지부(30)와 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)는 상호 네트워크 연결되어 측정신호를 송수신가능한 구조를 이룬다.The central
상기에서 중앙안전감지부(30)를 기준으로 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)의 연결방식은 다수의 장비(A1)별 개별연결된 구조를 갖는 일대일 방식으로 구성하는 것이 가능하고, 다수의 장비(A1)에서 그룹을 설정한 후 그룹별로 신호가능하게 연결된 구조의 그룹방식으로 구성하는 것도 가능하다.The connection method of the
상기 중앙안전감지부(30)는 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)로부터 각 측정신호가 입력되어 측정 데이터를 수집가능하게 구성한다. 즉 상기 중앙안전감지부(30)에는 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)로부터 입력된 각 측정 데이터를 산출함과 동시에 디스플레이하는 신호처리부(31)를 구성한다.The central
상기 신호처리부(31)에서는 상기 유틸리티감시장치(10) 중 상기 센서부(11)의 다양한 센서들에 의해 수신된 개별적인 측정신호를 생성시킨다.The
상기에서 신호처리부(31)의 개별 측정신호는 단독 또는 2종 이상의 개별 측정신호들이 그대로 사용되거나 서로 조합하여 해당 장비를 모니터링하기 위한 측정 데이터로 변환하여 사용가능하다.The individual measurement signal of the
상기 신호처리부(31)에서 개별 신호들은 측정 오류를 감소시키기 위해 노이즈 제거처리가 될 수 있게 구성하는 것도 가능하다.In the
상기에서 중앙안전감지부(30)에는 프로그램을 구동가능한 디바이스로 PC기기와 함께 상기 신호처리부(31)에 따른 처리결과를 디스플레이할 수 있는 모니터를 구성한다.In the central
도 3은 중앙안전감지부(30)의 데이터 수집방법을 나타내는 흐름도로서, 설비 장비(A1)가 제조작업을 위해 구동을 시작하면, 상기 유틸리티감시장치(10)에서는 상기 센서부(11)로부터 에너지별 사용량 측정을 진행하며, 상기 효율측정장치(20)에서는 효율 측정준비과정을 거쳐 측정을 시작하여 장비(A1)의 효율측정에 대한 결과를 출력하고, 상기 중앙안전감지부(30)에서 상기 유틸리티감시장치(10)의 에너지 사용량 측정신호와 상기 효율측정장치(20)의 효율 측정신호를 수신받아 상기 신호처리부(31)로부터 측정 데이터를 산출할 수 있게 수집하면서 설비담당자가 모니터링가능하게 측정값을 출력한다. 나아가 상기 중앙안전감지부(30)에서는 에너지 사용량의 측정값을 토대로 장비의 운영이상 여부에 대한 감지를 진행하는 에너지 사용량 세이프티(safety) 감시단계를 진행하며, 이는 하기에 상세히 후술한다.3 is a flowchart illustrating a data collection method of the central
상기 중앙안전감지부(30)에는 상기 신호처리부(31)를 통해 산출된 측정 데이터별로 그 운영효율을 분석하여 분석결과를 확인할 수 있는 효율분석부(33)를 구비토록 구성한다.The central
상기 효율분석부(33)는 상기 신호처리부(31)에서 산출한 상기 유틸리티감시장치(10)의 측정값과 상기 효율측정장치(20)의 측정값을 분석하여 장비 운영효율을 분석한다.The
상기 효율분석부(33)에서는 장비가 운영되는 동안 지속적인 효율측정요청에 따라 반복적으로 운영효율을 분석한다.The
도 4는 중앙안전감지부(30)의 효율 측정 후 에너지 변경으로 효율분석 흐름을 나타낸 것으로서, 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)로부터 측정된 측정값을 토대로 효율측정을 시작하여 상기 효율분석부(33)에서 측정 데이터를 분석하므로, 효율측정을 완료한다. 나아가 상기 효율분석부(33)에서는 분석결과에 따라 장비(A1)의 에너지 사용량을 조정하는데, 기준치와 측정치를 비교하여 사용범위 이상 여부를 감지하며, 이는 하기에 상세히 후술한다.Figure 4 shows the flow of the efficiency analysis by changing the energy after measuring the efficiency of the
상기 중앙안전감지부(30)에서는 상기 효율분석부(33)의 분석결과에 따라 장비(A1)의 운영이상 여부를 감지가능하게 구비되는 유틸리티이상감지부(35)를 구비토록 구성한다.The central
상기 유틸리티이상감지부(35)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 유틸리티감시장치(10)로부터 입력되는 측정 데이터에 대해 에너지 사용범위의 이상 여부를 감지한다. 예를 들면, 상기 유틸리티이상감지부(35)에서는 상기 신호처리부(31)에서 산출한 상기 유틸리티감시장치(10)의 측정값을 기준값과 비교하여 에너지 사용량의 적정 여부를 확인가능하게 구성한다.As shown in FIG. 3, the utility
상기 유틸리티이상감지부(35)에서 측정 데이터에 대해 에너지 사용범위의 이상 여부를 감지함에는 상기 신호처리부(31)에서 얻어진 측정 데이터 간에 산술적 연산, 미분, 적분, 스케일링 중 어느 하나 또는 2종 이상의 조합에 의해 연산 처리가 수행될 수 있다.The utility
상기 유틸리티이상감지부(35)는 도 5에 나타낸 바와 같이, 설비 장비의 모니터링을 위해 기준패턴생성부(36) 및 측정패턴생성부(37)로 정의할 수 있게 구성한다.As shown in FIG. 5, the utility
상기 기준패턴생성부(36)는 해당 설비의 반복적인 장비운영을 통해 정상적인 에너지 사용범위를 설정하여 기준 패턴을 정의토록 생성시킨다. 즉 상기 기준패턴생성부(36)는 장비를 통하여 수행된 공정이 정상적으로 수행된 경우의 신호 패턴으로서, 측정신호에 대한 기준값을 정의하는 기초적인 패턴 신호를 이룬다.The
상기 측정패턴생성부(37)는 해당 설비의 장비운영으로부터 상기 유틸리티감시장치(10)에 의해 실시간으로 측정되어 상기 신호처리부(31)를 거친 측정 데이터에 대하여 에너지 사용량의 분석 패턴을 생성시킨다. 즉 상기 측정패턴생성부(37)는 장비를 통하여 수행된 실시간적인 측정신호에 대하여 측정값을 정의하는 패턴 신호를 이룬다.The measurement
상기 유틸리티이상감지부(35)에는 상기 기준패턴생성부(36)의 기준 패턴을 기준으로 상기 측정패턴생성부(37)의 분석 패턴을 비교하여 장비(A1)의 에너지 사용범위에 대한 이상 유무를 판정하는 비교판단부(38)를 구비한다. 즉 상기 비교판단부(38)에서는 기준 패턴에 따른 기준값을 기준으로 분석 패턴의 측정값이 크거나 작을 때 사용 범위 이상 감지를 판정하여 통보한다.The utility
즉 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템에 의하면, 공정설비의 장비마다 모든 에너지원의 사용량 및 장비의 운영효율을 측정하여 모니터링하면서 측정 데이터별 운영 효율을 분석하므로, 운영 효율측정에 따른 에너지 사용량의 근거자료를 확보함과 동시에 최적의 에너지 사용량을 도출하여 운영 에너지를 절감하고, 최적의 조건에 따른 장비 운영으로 운영효율을 향상시키면서 유틸리티 관리의 표준화를 구축하는 것이 가능하다.That is, according to the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention configured as described above, the operating efficiency of each measurement data is analyzed while measuring and monitoring the use of all energy sources and operating efficiency of each equipment of the process equipment, operating efficiency It is possible to establish the standardization of utility management while securing the baseline data of energy consumption according to the measurement and deriving the optimal energy consumption to reduce the operating energy and improving the operational efficiency by operating the equipment according to the optimal conditions.
그리고 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템의 다른 실시예는 도 6에 나타낸 바와 같이, 자동화 공정 설비의 장비(A1) 중 유해가스의 가스저감 처리설비(A2)를 포함하고, 상기 가스저감 처리설비(A2)에 대해 상기 유틸리티감시장치(10)로부터 유해가스의 사용량을 측정하며, 상기 효율측정장치(20)로부터 가스저감 처리설비(A2)의 운영효율을 측정할 수 있게 구성한다.And another embodiment of the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention, as shown in Figure 6, includes a gas abatement treatment facility (A2) of the harmful gas in the equipment (A1) of the automated process equipment, the gas reduction process The usage amount of the noxious gas from the
상기 유틸리티감시장치(10)에서는 장비로부터 유출되어 상기 가스저감 처리설비(A2)에서 처리되는 유해가스(예를 들면, 메탄가스나 오존가스 등)의 사용량을 모니터링가능하다.The
상기에서 가스저감 처리설비(A2)는 유틸리티 확인 즉 가스 사용량을 확인함에 있어서 게이지나 플로우미터 등의 자체적인 기기로 육안확인이 가능하며, 해당 기기의 측정치를 그대로 상기 유틸리티감시장치에 신호하는 것도 가능하다.In the above gas reduction processing facility (A2) can be visually confirmed by its own equipment, such as a gauge or a flow meter in checking the utility, that is, the gas usage, it is also possible to signal the measured value of the device to the utility monitoring device as it is. Do.
상기 중앙안전감지부(30)에는 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)로부터 상기 가스저감 처리설비(A2)의 유틸리티 사용량에 대한 측정신호가 입력되고, 상기 중앙안전감지부(30)에서는 상기 유틸리티감시장치(10) 및 상기 효율측정장치(20)의 측정 데이터를 분석하여 가스저감 처리설비(A2)의 운영이상 여부를 감지가능하게 이루어진다.The central
즉 상기한 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 자동화 공정 설비의 장비에서 발생한 유해가스의 가스저감 처리설비에 대한 운영상황을 일괄적으로 모니터링하므로, 설비의 가스저감을 위한 운영 효율을 지속적으로 확인하여 장비의 운전조건을 개선하면서 장비점검의 효율을 향상시키고, 장비의 이상 징후를 미연에 감지하여 가스로 인한 안전사고를 사전 예방하는 것이 가능하다.That is, if the present invention is configured as in the other embodiments described above, since the operation status of the gas reducing treatment facility of the noxious gas generated in the equipment of the automated process equipment is collectively monitored, the operation efficiency for gas reduction of the facility is continuously maintained. It is possible to improve the efficiency of equipment inspection while improving the operating conditions of the equipment, and to prevent the safety accidents caused by gas by detecting abnormal signs of the equipment in advance.
상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as the above-described embodiment except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.
상기에서는 본 발명에 따른 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템의 바람직한 실시예에 대하여 예시적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 명세서 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.The exemplary embodiment of the automated facility utility efficiency monitoring system according to the present invention has been exemplarily described, but the present invention is not limited thereto, and the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the scope of the claims and the specification and the accompanying drawings. It is possible and this also belongs to the scope of the present invention.
10 : 유틸리티감시장치 11 : 센서부
13 : 유틸리티통신부 20 : 효율측정장치
21 : 밸브유닛 23 : 측정기
25 : 측정통신부 30 : 중앙안전감지부
31 : 신호처리부 33 : 효율분석부
35 : 유틸리티이상감지부 36 : 기준패턴생성부
37 : 측정패턴생성부 38 : 비교판단부
A1 : 장비 A2 : 가스저감 처리설비10: utility monitoring device 11: sensor
13: utility communication unit 20: efficiency measuring device
21: valve unit 23: measuring instrument
25: measuring communication unit 30: central safety detection unit
31: signal processing unit 33: efficiency analysis unit
35: utility abnormality detection unit 36: reference pattern generation unit
37: measurement pattern generation unit 38: comparison determination unit
A1: Equipment A2: Gas Reduction Treatment Equipment
Claims (7)
자동화 공정의 설비마다 설치되되 각 설비의 장비에 에너지원을 사용한 운영결과에 따라 각 설비 장비의 운영효율에 대한 측정결과를 출력하는 효율측정장치와;
상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 각 측정신호가 입력되어 측정 데이터를 수집하되, 측정 데이터별 운영효율을 분석하여 분석결과를 확인함과 동시에 장비의 운영이상 여부를 감지가능하게 구비되는 중앙안전감지부;를 포함하되,
상기 유틸리티감시장치는, 설비 장비에 장착되며 에너지 또는 유해가스의 사용량을 측정하는 하나 이상의 센서부와, 상기 센서부에 의한 측정신호를 수신하여 송신가능한 데이터로 변환하되 측정 데이터를 상기 중앙안전감지부에 전송하는 유틸리티통신부를 포함하여 이루어지고,
상기 효율측정장치는, 설비 장비에 연결되며 가스의 흐름 여부를 설정가능하게 구비되는 밸브유닛과, 상기 밸브유닛에 연결되며 설비 장비별 운영효율을 측정하는 측정기와, 상기 측정기에 의한 측정신호를 수신하여 송신가능한 데이터로 변환하되 측정 데이터를 상기 중앙안전감지부에 전송하는 측정통신부를 포함하여 이루어지며,
자동화 공정 설비의 장비 중 유해가스의 저감 처리설비에 대해 상기 유틸리티감시장치로부터 유해가스의 사용량을 측정하며, 상기 효율측정장치로부터 유해가스저감 처리설비의 운영효율을 측정할 수 있게 구성하고, 상기 중앙안전감지부에서 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치의 측정 데이터를 분석하여 유해가스저감 처리설비의 운영이상 여부를 감지가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템.
A utility monitoring device installed in each facility of the automated process and measuring each energy consumption corresponding to all energy sources used in the equipment of each facility;
An efficiency measuring device installed at each facility of the automated process, and outputting a measurement result of operating efficiency of each facility according to an operation result of using an energy source in each facility's equipment;
Central safety sense provided to collect the measurement data by inputting each measurement signal from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and to analyze the operational efficiency for each measurement data to check the analysis result and at the same time detect the abnormal operation of the equipment. Including;
The utility monitoring device, at least one sensor unit installed in the equipment and measuring the amount of energy or harmful gas, and converts the measurement signal to the data that can be received by the measurement signal transmitted to the central safety detection unit It comprises a utility communication unit for transmitting,
The efficiency measuring device may include a valve unit connected to facility equipment and configured to set the flow of gas, a measuring device connected to the valve unit and measuring operating efficiency for each facility equipment, and receiving a measurement signal by the measuring device. A measurement communication unit for converting the data into transmittable data and transmitting the measurement data to the central safety sensor;
It is configured to measure the amount of harmful gas from the utility monitoring device for the harmful gas reduction treatment equipment among the equipment of the automated process equipment, and to measure the operating efficiency of the hazardous gas reduction treatment equipment from the efficiency measuring device. An automated facility utility efficiency monitoring system, characterized in that the safety detection unit is capable of detecting the operating abnormality of the hazardous gas reduction treatment facility by analyzing the measurement data of the utility monitoring device and the efficiency measuring device.
상기 효율측정장치에서는 자동화 공정 설비의 장비마다 순차적으로 연속 측정하여 상기 중앙안전감지부에 순환형태로 신호를 전송하게 이루어지는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The efficiency measuring device is an automated facility utility efficiency monitoring system that is configured to continuously transmit a signal in a circular form to the central safety detection unit by sequentially measuring for each equipment of the automated process equipment.
상기 중앙안전감지부는, 상기 유틸리티감시장치 및 상기 효율측정장치로부터 입력된 각 측정 데이터를 산출함과 동시에 디스플레이하는 신호처리부와, 상기 신호처리부에서 산출한 상기 유틸리티감시장치의 측정값과 상기 효율측정장치의 측정값을 분석하여 장비 운영효율을 분석하는 효율분석부와, 상기 유틸리티감시장치로부터 입력되는 측정 데이터에 대해 이상 여부를 감지하는 유틸리티이상감지부를 포함하여 이루어지는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The central safety monitoring unit includes a signal processing unit for calculating and displaying each measurement data inputted from the utility monitoring device and the efficiency measuring device, and the measured value and the efficiency measuring device of the utility monitoring device calculated by the signal processing unit. An automated facility utility efficiency monitoring system comprising an efficiency analysis unit for analyzing the operating efficiency of the equipment by analyzing the measured value of the utility error detection unit for detecting the abnormality of the measurement data input from the utility monitoring device.
상기 유틸리티이상감지부는, 해당 설비의 반복적인 장비운영을 통해 정상적인 범위를 설정하여 기준 패턴을 정의토록 생성하는 기준패턴생성부와, 해당 설비의 장비운영으로부터 상기 유틸리티감시장치에 의해 실시간으로 측정된 분석 패턴을 생성하는 측정패턴생성부와, 상기 기준패턴생성부의 기준 패턴을 기준으로 상기 측정패턴생성부의 분석 패턴을 비교하여 장비의 이상 유무를 판정하는 비교판단부를 포함하여 이루어지는 자동화 설비 유틸리티 효율 모니터링 시스템.The method according to claim 5,
The utility abnormality detection unit comprises a reference pattern generation unit for generating a reference pattern by defining a normal range through repeated equipment operation of the facility, and analysis measured in real time by the utility monitoring device from equipment operation of the facility. An automated equipment utility efficiency monitoring system comprising a measurement pattern generation unit for generating a pattern and a comparison determination unit for comparing the analysis pattern of the measurement pattern generation unit on the basis of the reference pattern of the reference pattern generation unit to determine the abnormality of the equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180009594A KR102051289B1 (en) | 2018-01-25 | 2018-01-25 | Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180009594A KR102051289B1 (en) | 2018-01-25 | 2018-01-25 | Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190090641A KR20190090641A (en) | 2019-08-02 |
| KR102051289B1 true KR102051289B1 (en) | 2019-12-03 |
Family
ID=67614268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180009594A KR102051289B1 (en) | 2018-01-25 | 2018-01-25 | Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102051289B1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102599802B1 (en) * | 2021-08-11 | 2023-11-09 | 한국에너지기술연구원 | Energy Solution for Energy Efficiency Improvement of Industrial Process and Utility |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589089B1 (en) * | 2000-05-24 | 2006-06-13 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Device and method for managing semiconductor producing apparatus |
| KR101641259B1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-07-20 | 엘지전자 주식회사 | Central control apparatus and central control sysytem and central control method |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030056807A (en) | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 삼성전자주식회사 | Monitoring system of semiconductor fabrication apparatus |
| KR20070005234A (en) | 2005-07-05 | 2007-01-10 | 삼성전자주식회사 | Leak sensor and leak sensing system |
| KR20120132776A (en) * | 2011-05-30 | 2012-12-10 | 주식회사 협성히스코 | Pump scheduling method using thermodynamics pump efficiency measuring and system of the same |
| KR20130082668A (en) * | 2011-12-14 | 2013-07-22 | 이규봉 | Smart phone based and asp based low-cost energy management solution for small manufacturing businesses |
-
2018
- 2018-01-25 KR KR1020180009594A patent/KR102051289B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589089B1 (en) * | 2000-05-24 | 2006-06-13 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Device and method for managing semiconductor producing apparatus |
| KR101641259B1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-07-20 | 엘지전자 주식회사 | Central control apparatus and central control sysytem and central control method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20190090641A (en) | 2019-08-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110647133B (en) | Rail transit equipment state detection maintenance method and system | |
| KR100252215B1 (en) | Monitoring system of the state of clean room measuring apparatus | |
| CN102460529B (en) | Device abnormality monitoring method and system | |
| EP1816670B1 (en) | Predictive failure scheme for industrial power delivery system | |
| TWI267139B (en) | Method and system for avoiding abnormal stop of manufacturing apparatus | |
| KR101874286B1 (en) | Monitoring and diagnosis system for Power devices | |
| CN112990288A (en) | Online monitoring and fault prediction system for large equipment | |
| KR20140130545A (en) | Method and system for real time dry low nitrogen oxide (dln) and diffusion combustion monitoring | |
| CN1185841A (en) | Device in a process system for detecting events | |
| KR20090010430A (en) | Apparatus for detecting mechanical trouble | |
| CN106154978A (en) | A kind of dynamic equipment condition monitoring and fault diagnosis security system | |
| KR102056101B1 (en) | A system for monitoring and analyzing the generating part and transmitting part | |
| CN114237167A (en) | Anomaly monitoring system and method in industrial production process | |
| CN108593622B (en) | Intelligent integrated optical fiber sensing system for petrochemical production process and real-time monitoring and diagnosing method thereof | |
| KR102051289B1 (en) | Efficiency-Utility Monitoring System of Automation Equipment | |
| CN212079599U (en) | Data monitoring device suitable for air blower or compressor field test | |
| RU2728167C1 (en) | Universal object-oriented multiplatform system of automatic diagnostics and monitoring for state control and accident prevention of hazardous industrial and transportation facilities equipment | |
| KR20090107774A (en) | On-Line Monitering and Diagnosis System for MV Switchgear | |
| CN112396226A (en) | Intelligent predictive equipment maintenance method and device based on mobile communication | |
| CN104502542A (en) | Field inspection device for gas monitoring alarm | |
| CN210721134U (en) | Digit control machine tool remote monitering system | |
| KR20110075332A (en) | Fault prediction method for plant | |
| CN102759905A (en) | Method and apparatus for characterizing process control equipment integrity | |
| US20130191076A1 (en) | System and method for monitoring, diagnostics, and prognostics | |
| TW201619582A (en) | Method for vibration monitoring and alarming using autoregressive models |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |