KR102048485B1 - 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체 - Google Patents

고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체 Download PDF

Info

Publication number
KR102048485B1
KR102048485B1 KR1020180020397A KR20180020397A KR102048485B1 KR 102048485 B1 KR102048485 B1 KR 102048485B1 KR 1020180020397 A KR1020180020397 A KR 1020180020397A KR 20180020397 A KR20180020397 A KR 20180020397A KR 102048485 B1 KR102048485 B1 KR 102048485B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
yttria
sintered body
sintered
producing
sintered material
Prior art date
Application number
KR1020180020397A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190100619A (ko
Inventor
이기수
백승수
정동익
고석영
김명희
정해룡
Original Assignee
국방과학연구소
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 국방과학연구소 filed Critical 국방과학연구소
Priority to KR1020180020397A priority Critical patent/KR102048485B1/ko
Publication of KR20190100619A publication Critical patent/KR20190100619A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102048485B1 publication Critical patent/KR102048485B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/5156—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on rare earth compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
    • C04B35/62655—Drying, e.g. freeze-drying, spray-drying, microwave or supercritical drying
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/645—Pressure sintering
    • C04B35/6455—Hot isostatic pressing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5454—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof nanometer sized, i.e. below 100 nm
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6562—Heating rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6565—Cooling rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/77—Density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9646—Optical properties
    • C04B2235/9653—Translucent or transparent ceramics other than alumina

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

본 발명은 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르는 이트리아 소결체의 제조방법은 이트리아를 포함하는 소결 재료를 준비하는 단계; 상기 소결 재료를 소결하는 단계; 상기 소결된 소결 재료를 열간 정수압(HIP) 처리하는 단계; 및 상기 열간 정수압 처리된 소결 재료를 산소 가스 포함 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고, 상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 20 kPa 내지 25 kPa 인 것이다.

Description

고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체{MANUFACTURING METHOD OF HIGH STRENGTH TRANSPARENT YTTRIA CERAMICS AND YTTRIA CERAMICS USING THE SAME}
본 발명은 이트리아 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
다종 다수의 투명 세라믹 재료 중 HID(high intensity discharge) 램프 튜브, 고출력 레이저 시스템, 내열 윈도우 등에 적용 가능한 세라믹은 극히 일부로 제한되어 있다. 이러한 세라믹이 제한되는 이유는, 광투과성이 확보되어야 할 뿐 아니라 적용처의 특성상 가혹할 수 있는 환경하에서 유지 가능한 구조적인 안정성이 보장되어야 하기 때문이다. 이 중 가시광 대역에서 사용 가능한 투명 세라믹은 주로 방탄 용도로 사용되며, 후보 소재로는 이트리아(Y2O3), 사파이어(Sapphire), 알루미나(Al2O3), 알론(AlON), 스피넬(MgAl2O4) 등이 대표적이다.
사파이어, 알루미나, 알론, 스피넬은 기계적 내구성 측면에서는 우수하나, 5 ㎛ 대의 파장에서는 완전한 광투과 특성을 가지지 못한다. 5 ㎛ 이후의 영역에서 고투과율을 유지한다는 것은, 큰 S/N비(signal to noise ratio)를 도출하여 적외선 센서 윈도우에 적용을 위해서는 반드시 필요로 되는 세라믹의 특성이다.
반면 대부분의 투명 세라믹 소재의 중적외선 대역 광투과성이 5 ㎛ 이하에서 감소하기 시작하는 것에 비해, 이트리아의 광투과성은 5 ㎛ 이후의 영역까지도 80 % 이상을 유지하는 것으로 확인되고 있다.
세라믹의 적외선 방출강도는 방출원의 온도에 직접적으로 의존하게 된다. 제트엔진의 배기가스 온도인 800 K 부근에서는 3 ~ 5 ㎛ 대역에서 최대치를 나타낸다. 또한 발사체 동체의 온도인 500 K 부근에서는 5 ~ 7 ㎛ 대역에서 최대의 방출강도가 측정된다. 이는, 열상장비 센서의 식별능력을 최대로 향상시키기 위해서는 3 ~ 7 ㎛ 대역의 중적외선을 투과시키는 성능이 가장 중요하다는 의미이며, 이트리아는 다른 어느 소재에 비해서 이러한 파장 대역의 투광성이 높기 때문에 S/N비가 월등히 큰 가장 우수한 윈도우 소재라고 할 수 있다.
또한 이트리아는 세라믹 분말공정으로 제조할 수 있어 결정립 크기 제어를 통해 기계적 특성 제어가 가능하며, 복잡한 형상 및 대형 기물의 제조가 가능한 장점도 있다.
그러나 이러한 세라믹 분말공정을 이용한 다결정 세라믹은 그 자체가 난소결성이며, 소결시 입자의 이상 성장, 산소 공공(oxygen vacancy), 표면 침탄과 탄화 현상 등의 문제점이 나타나 가시광선 및/또는 적외선 영역에서 투명하면서도 기계적 강도가 우수한 다결정 세라믹 소결체를 제조하는 것에 한계가 있었다.
일부 연구 결과에서는, 다결정 세라믹스의 광투과율과 기계적 강도를 향상시키기 위해 최종 치밀화 단계에서 소결체에 산소 분압을 제공할 수 있는 세라믹 분말을 구비하는 것을 특징으로 하는 소결체의 제조방법을 개시하기도 하였으며, 이트리아 성형물을 수소분위기에서 소결시킨 산화이트륨 소결체를 제시하기도 하였다.
다른 연구 결과에서는 산화 란타늄 및 알루미나로 각각 도핑된 산화이트륨 소결체를 제시한 바 있으나, 이들은 여전히 가시광선 또는 중적외선 대역에서 광투과성이 저조하거나, 또는 낮은 기계적 강도를 유지하고 있어 실제로 적용하기에는 만족할 만한 수준의 기계적 특성과 투광성을 얻지 못하였다고 보고되었다.
그 외의 또 다른 연구 결과에서는 기계적 강도가 우수하면서 가시광뿐만 아니라, 중적외선 영역에서도 우수한 투광도를 가지는 제품을 제조하기 위해 입방 구조 재료에 산화 티타늄 도펀트와 ZrO2, CaO, MgO 추가 도펀트를 특정함량으로 함유하는 소결 제품을 제시하고 있으나, 상기 제시된 소결 제품 역시, 열간등압 소결(HIP) 후 어닐링 처리 후에도 소결체 내에 산소 공공 이외에 잔류 수산기(-OH기)다량 함유하고 있어 가시광, 적외선 영역에서의 높은 광투과성은 물론 기계적 강도의 개선을 기대하기 어렵다는 문제점이 있었다.
따라서, HID(high intensity discharge) 램프 튜브, 고출력 레이저 시스템, 내열 윈도우 및 적외선 센서 윈도우 등에 적용할 수 있도록 적외선 및/또는 가시광선 영역에서 높은 투광성을 가지면서 우수한 기계적 강도를 겸비한 다결정 세라믹 소결체의 개발이 필요한 실정이었다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 이트리아 소결체를 제조하기 위한 연구 끝에 고안된 것으로서, 소결 후, 산소 열처리 과정에서 산소 분압을 조절하여 소결체 내의 잔류하는 잔류 수산기를 제거함으로써, 적외선 및/또는 가시광선 영역에서 높은 투광성을 나타내면서 우수한 기계적 강도를 가지는 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 이를 이용하여 제조 가능한 고강도 투명 이트리아 소결체를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 측면에 따르는 이트리아 소결체의 제조방법은 이트리아를 포함하는 소결 재료를 준비하는 단계; 상기 소결 재료를 소결하는 단계; 상기 소결된 소결 재료를 열간 정수압(HIP) 처리하는 단계; 및 상기 열간 정수압 처리된 소결 재료를 산소 가스 포함 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고, 상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 20 kPa 내지 25 kPa 인 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스의 분압은 22.7 kPa 내지 23.5 kPa 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계의 산소 가스 포함 분위기는, 상기 챔버 내부 압력을 1 atm 이하로 형성한 후 산소 가스를 주입하여 형성하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계는 900 ℃ 내지 1100 ℃ 의 온도 조건에서 10 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 준비하는 단계는, 이트리아 분말 및 지르코니아 분말을 수계 기반 조건에서 배합하는 단계; 배합된 재료를 분산시키는 단계; 및 분산된 분말을 분무 건조(spray drying)하는 단계;를 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료는, 투명 다결정 이트리아를 포함하고, 란타넘족 원소, 전이금속 산화물 또는 둘 다를 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료의 지르코니아의 몰분율은 2 mol% 내지 6 mol% 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이트리아 분말의 입자 크기는 40 nm 내지 60 nm 이고, 상기 지르코니아 분말의 입자 크기는 15 nm 내지 35 nm 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 소결하는 단계는, 상압 및 1600 ℃ 내지 1800 ℃ 온도 조건에서, 5 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 소결하는 단계는 승온 과정 및 냉각 과정을 포함하고, 승온 과정의 승온 속도는 0.3 ℃/min 내지 1 ℃/min 이고, 냉각 과정의 냉각 속도는 1 ℃/min 내지 3 ℃/min 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열간 정수압 처리하는 단계는, 비활성 가스 분위기에서 3 시간 내지 5 시간 동안 150 MPa 내지 200 MPa 압력으로 수행되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열간 정수압 처리하는 단계의 온도 조건은, 상기 소결 재료를 소결하는 단계의 온도 조건보다 평균 50 ℃ 이상 낮은 것일 수 있다.
본 발명의 다른 일 측면에 따르는 이트리아 소결체는, 본 발명의 일 실시예에 따르는 제조방법을 이용하여 제조된 것이고, 이트리아 이론밀도를 기준으로 99 % 이상의 상대밀도를 가지는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이트리아 소결체의 면적은 2500 mm2 이상이고, 두께는 5 mm 이상인 것일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 가시광선 및/또는 적외선 영역에서 투명하면서도, 미세구조가 균일하고 기계적 강도가 우수하여 HID(high intensity discharge) 램프 튜브, 고출력 레이저 시스템, 내열 윈도우 및 적외선 센서 윈도우 등에 사용될 수 있는 고강도 투명 이트리아 소결체를 제조할 수 있는 효과가 있다.
이하에서 설명되는 실시예들을 통해 얻을 수 있는 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 아래에 기재된 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따르는 이트리아 소결체의 제조방법의 각 단계를 나타내는 순서도이다.
도 2는, 이트리아 소결체에 존재하는 잔류 수산기에 의한 적외선 투과율 저하 및 특정 파장에서 흡수 정도를 나타내는 그래프이다.
도 3은. 본 발명의 일 실시예에 따르는 이트리아 소결체에서, 지르코니아 도핑량에 따라 변화되는 적외선 투과율을 나타내는 그래프이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 다른 설명이 없는 한, 각 도면에 제시된 동일한 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
아래 설명하는 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있다. 아래 설명하는 실시예들은 발명의 범위를 설명된 실시 형태로 한정하려는 것이 아니며, 본 출원을 통해 권리로서 청구하고자 하는 범위는 이들에 대한 모든 변경, 균등 물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 실시예를 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 일 측면에서는 이트리아 소결체의 제조방법을 제공한다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따르는 이트리아 소결체의 제조방법의 각 단계를 나타내는 순서도이다. 이하에서는 도 1을 참고하여 본 발명의 일 측면에서 제공하는 이트리아 소결체의 제조방법 각 단계에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명의 일 측면에 따르는 이트리아 소결체의 제조방법은 이트리아를 포함하는 소결 재료를 준비하는 단계(S10); 상기 소결 재료를 소결하는 단계(S20); 상기 소결된 소결 재료를 열간 정수압(Hot Isostatic Press, HIP) 처리하는 단계(S30); 및 상기 열간 정수압 처리된 소결 재료를 산소 가스 포함 분위기에서 열처리하는 단계(S40);를 포함하고, 상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 20 kPa 내지 25 kPa 인 것이다.
본 발명의 이트리아 소결체는 투명하면서도 높은 기계적 강도를 동시에 구현할 수 있는 것을 특징으로 한다.
일 예로서, 상기 열처리하는 단계는 산소 가스를 포함하는 분위기가 형성된 밀폐된 챔버 내에서 수행되는 것일 수 있다.
일 예로서, 상기 소결하는 단계 전 또는 후에 상기 소결 재료를 성형하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 산소 가스의 분압을 적절한 압력으로 제어함으로써 이트리아 소결체 내에 포함되는 수산기가 제거되는 효과를 구현할 수 있다. 이트리아 소결체 내의 수산기는 고온에서 방사에너지를 배출하게 되어 이트리아 소결체의 흡수 계수에 영향을 미치는 중요한 요인일 수 있다. 이를 통해 본 발명에서 의도하는 수준의 가시광선 및/또는 적외선 영역에서 투명하면서도 고품질의 투명 이트리아 소결체를 제조할 수 있게 된다.
도 2는, 이트리아 소결체에 존재하는 잔류 수산기에 의한 적외선 투과율 저하 및 특정 파장에서 흡수 정도를 나타내는 그래프이다.
도 2에서 확인할 수 있는 바와 같이 이트리아 소결체에 수산기가 잔류하게 될 경우 적외선의 투과율 등을 저하시켜 광학적 특성에 안좋은 영향을 미치는 것을 확인할 수 있다.
상기 산소 가스 분압이 20 kPa 미만일 경우, 잔류 수산기 제거가 어려우며, 25 kPa 초과일 경우, 백탁의 불투명 상태로 변화되어 전체 광 투과도가 저하되는 문제점이 있다.
상기 산소 가스의 분압은 바람직한 일 예로서, 22 kPa 이상일 수 있다. 또한, 바람직한 일 예로서, 24 kPa 이하일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 22.7 kPa 내지 23.5 kPa 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계의 산소 가스 포함 분위기는, 상기 챔버 내부 압력을 1 atm 이하로 형성한 후 산소 가스를 주입하여 형성하는 것일 수 있다.
일 예로서, 상기 산소 가스는 상압 상태에서 상기 밀폐된 챔버에 투입되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열처리하는 단계는 900 ℃ 내지 1100 ℃ 의 온도 조건에서 10 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것일 수 있다.
상기 열처리하는 단계의 온도가 900 ℃ 미만의 경우 잔류 수산기가 잔존하며, 1100 ℃ 초과의 경우 색도(Colorimeter) 분석에서 Delta E가 13이상의 gray 색을 띄게 되며, 가시광선 영역의 광 투과도가 10 %이하로 저하되는 문제가 생길 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 준비하는 단계는, 이트리아 분말 및 지르코니아 분말을 수계 기반 조건에서 배합하는 단계; 배합된 재료를 분산시키는 단계; 및 분산된 분말을 분무 건조(spray drying)하는 단계;를 포함하는 것일 수 있다.
상기 이트리아 분말 및 지르코니아 분말은 수계 기반 조건에서 배합함으로써 잘 혼합되고 그 다음 단계에서 균질하게 분산될 수 있다. 상기 분무 건조하는 단계를 통해 구형의 과립이 형성될 수 있다.
일 예로서, 상기 분산시키는 단계는 어트리션 밀링을 이용하여 수행되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료는, 투명 다결정 이트리아를 포함하고, 란타넘족 원소, 전이금속 산화물 또는 둘 다를 포함하는 것일 수 있다.
일 예로서, 상기 소결 재료는, La, Tm, Zr, Hf 및 Ru로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료의 지르코니아의 몰분율은 2 mol% 내지 6 mol% 인 것일 수 있다.
상기 지르코니아의 몰분율이 2 mol% 미만일 경우 기계적 강도가 저하되는 문제가 생길 수 있고, 6 mol% 초과의 경우 광 투과율이 저하되는 문제가 생길 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이트리아 분말의 입자 크기는 40 nm 내지 60 nm 이고, 상기 지르코니아 분말의 입자 크기는 15 nm 내지 35 nm 인 것일 수 있다.
이트리아 분말의 입자 크기와 지르코니아 분말의 입자 크기를 이와 같이 제어함으로써 효과적인 배합 및 분산이 가능해지고, 최종적으로 열처리되어 이트리아 소결체가 생성되는 과정에서 결정립 크기가 2㎛이하로 제어됨으로써 기계적 강도를 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명의 일 예로서, 상기 소결 재료를 소결하는 단계 전 또는 후에 포함될 수 있는 상기 소결 재료를 성형하는 단계는, 일축 성형, 냉간 정수압 성형 또는 둘 다를 이용하여 성형하는 것일 수 있다.
일축 성형을 수행할 경우, 최종 소결체의 형상을 유지하게 하는 효과를 기대할 수 있고, 냉간 정수압 성형을 수행할 경우 등방압력을 가함으로써 소결체 내의 압력구배를 제거하고 소결시 성형체 밀도를 향상시켜 소결성을 용이하게 하는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 소결하는 단계는, 상압 및 1600 ℃ 내지 1800 ℃ 온도 조건에서, 5 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것일 수 있다.
상기 소결하는 단계의 온도가 1600 ℃ 미만일 경우 소결체의 치밀화가 이루어 지지 않는 문제가 생길 수 있고, 1800 ℃ 초과의 경우 결정립 크기가 2㎛ 이상으로 조대화되어 기계적 강도가 저하될 수 있다. 일 예로서, 상기 소결하는 단계의 온도는 1650 ℃ 내지 1750 ℃ 인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소결 재료를 소결하는 단계는 승온 과정 및 냉각 과정을 포함하고, 승온 과정의 승온 속도는 0.3 ℃/min 내지 1 ℃/min 이고, 냉각 과정의 냉각 속도는 1 ℃/min 내지 3 ℃/min 인 것일 수 있다.
이 때, 승온 과정의 승온 속도와 냉각 과정의 냉각 속도는 이후의 이트리아 소결체의 물성을 결정하는데 있어서 중요한 요인이 될 수 있다. 승온 속도 및 냉각 속도를 상기 속도 범위로 제어할 경우 50×50×5t(㎜) 크기 이상의 대형 이트리아 소결체를 생산할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열간 정수압 처리하는 단계는, 비활성 가스 분위기에서 3 내지 5 시간 동안 150 MPa 내지 200 MPa 압력으로 수행되는 것일 수 있다.
일 예로서, 상기 비활성 가스는 헬륨 가스, 아르곤 가스, 네온 가스 중 하나 이상을 포함하는 것일 수 있다.
상기 열간 정수압 처리하는 단계의 압력이 상기 수치 범위를 벗어나게 될 경우, 이트리아 소결체를 확보하는 과정에서 잔류기공이 제거되지 않아 광 투광도가 저하될 수 있는 문제가 생길 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 열간 정수압 처리하는 단계의 온도 조건은, 상기 소결 재료를 소결하는 단계의 온도 조건보다 평균 50 ℃ 이상 낮은 것일 수 있다.
이를 통해, 열간 정수압 소결 시 결정립 성장의 제어가 효과적으로 가능해질 수 있다.
본 발명의 다른 일 측면에서는 상술한 제조방법을 이용하여 제조된 이트리아 소결체를 제공한다.
본 발명의 다른 일 측면에 따르는 이트리아 소결체는, 본 발명의 일 실시예에 따르는 제조방법을 이용하여 제조된 것이고, 이트리아 이론밀도(5.03 g/㎤)를 기준으로 99 % 이상의 상대밀도를 가지는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이트리아 소결체의 면적은 2500 mm2 이상이며, 두께는 5 mm 이상인 것일 수 있다.
본 발명에서 제공하는 제조방법을 이용할 경우, 이트리아 소결체를 2500 mm2 이상의 대면적으로 확보하는 것이 가능해질 수 있다.
실시예
<실시예 1>
본 발명의 실시예 1로서, 지르코니아 분말의 몰분율을 6 mol%로 하여 이트리아 분말과 수계 용액 내에서 혼합하고 분산한 후, 분무 건조하여 과립의 소결 재료를 준비하였다. 이 후, 본 발명에서 제공하는 온도, 시간, 압력 등의 조건에 따라 준비된 소결 재료를 소결하고, 열간 정수압 처리하고, 아르곤 가스 포함 분위기에서 열처리함으로써 3 mm 두께의 이트리아 소결체를 확보하였다.
<실시예 2>
본 발명의 실시예 2로서, 실시예 1과 지르코니아 분말의 몰분율을 2 mol%로 한 것을 제외하면 동일한 방법을 이용하여 이트리아 소결체를 확보하였다.
<비교예 1>
한편, 미국등록특허 제3545987호(1970.12.08.) 공개 문헌에 개시된, 실시예 1과 동일하게 6 mol%의 지르코니아 분말 몰분율을 가지는 이트리아 소결체를 이용하여 본 발명의 비교예 1로서 비교하였다.
<비교예 2>
한편, 공개 논문인 비특허문헌 Patrick Hogan et. al., Transparent Yttria for IR Windows and Domes-Past and Present, 10th DoD Electromagnetic Windows Symposium, Norfolk, Virginia, May 19, 2004. 에 개시된, 이트리아 소결체를 이용하여 본 발명의 비교예 2로서 비교하였다.
상기 실시예 1 및 실시예 2와, 비교예1을 이용하여 각 이트리아 소결체의 상온에서의 파장대별 적외선 투과 특성을 확인하였다.
도 3은. 본 발명의 일 실시예에 따르는 이트리아 소결체에서, 지르코니아 도핑량에 따라 변화되는 적외선 투과율을 나타내는 그래프이다.
아래의 표 1은 상기 실시예 1 및 실시예 2와 비교예 1에 따르는 각 파장 영역대에서 측정된 투과율 값을 나타낸 것이다.
구 분 파장(㎛)
3.0 4.0 5.0 6.0
비교예 1 Y2O3-6mol% ZrO2 60 70 73 80
실시예 1
(두께 : 3㎜)		 Y2O3-6mol% ZrO2 81.5 82.7 83.1 79.3
실시예 2
(두께 : 3㎜)		 Y2O3-2mol% ZrO2 83.7 84.4 84.7 81
또한, 상기 실시예 1과, 비교예 1 및 비교예 2를 이용하여 4점 상온 곡강도를 비교하여 각 이트리아 소결체의 물리적인 특성을 확인하였다.
아래의 표 2는, 상기 실시예 1과, 비교예 1 및 비교예 2의 4점 상온 곡강도 값을 측정한 결과를 나타낸 것이다.
구 분 4점 상온 곡강도 비 고
비교예 1 74 MPa
비교예 2 98 MPa
실시예 1 145 MPa 시험 규격 : KS L 1595
상기 두 가지 실험을 통해 본 발명의 실시예로서 제조된 이트리아 소결체가 적외선 및/또는 가시광선 영역에서 의도한 수준의 우수한 투과율을 가지는 것 및 우수한 물리적인 특성을 가지는 것을 확인할 수 있었다.
다음의 수식을 이용하여 흡수계수를 계산할 수 있다.
[수학식 1]
Figure 112018018110611-pat00001
여기에서 t1와 t2는 시편의 두께(㎝)이며, T1와 T2는 각각의 시편의 두께에서의 투과율(%)이다.
상기 수식을 이용하여 계산한 본 발명의 실시예 1 및 2의 고강도 투명 이트리아의 상온 흡수계수는 2.5 ~ 6㎛ 파장대역에서 0.1㎝-1이하의 값을 가지며, 500℃ 온도대역에서도 5㎛에서 흡수계수가 0.1㎝-1 이하임을 확인할 수 있었다.
이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시예일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

Claims (14)

  1. 이트리아를 포함하는 소결 재료를 준비하는 단계;
    상기 소결 재료를 소결하는 단계;
    상기 소결된 소결 재료를 열간 정수압(HIP) 처리하는 단계; 및
    상기 열간 정수압 처리된 소결 재료를 산소 가스 포함 분위기에서 열처리하는 단계;를 포함하고,
    상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스 분압은 20 kPa 내지 25 kPa 인 것이고,
    상기 열처리하는 단계의 산소 가스 포함 분위기는, 챔버 내부 압력을 1 atm 이하로 형성한 후 산소 가스를 주입하여 형성하는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 열처리하는 단계의 상기 산소 가스의 분압은 22.7 kPa 내지 23.5 kPa 인 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 열처리하는 단계는 900 ℃ 내지 1100 ℃ 의 온도 조건에서 10 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 소결 재료를 준비하는 단계는,
    이트리아 분말 및 지르코니아 분말을 수계 기반 조건에서 배합하는 단계;
    배합된 재료를 분산시키는 단계; 및
    분산된 분말을 분무 건조(spray drying)하는 단계;를 포함하는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 소결 재료는, 투명 다결정 이트리아를 포함하고,
    란타넘족 원소, 전이금속 산화물 또는 둘 다를 포함하는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 소결 재료의 지르코니아의 몰분율은 2 mol% 내지 6 mol% 인 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 이트리아 분말의 입자 크기는 40 nm 내지 60 nm 이고,
    상기 지르코니아 분말의 입자 크기는 15 nm 내지 35 nm 인 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 소결 재료를 소결하는 단계는,
    상압 및 1600 ℃ 내지 1800 ℃ 온도 조건에서, 5 시간 내지 20 시간 동안 수행되는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 소결 재료를 소결하는 단계는 승온 과정 및 냉각 과정을 포함하고,
    승온 과정의 승온 속도는 0.3 ℃/min 내지 1 ℃/min 이고,
    냉각 과정의 냉각 속도는 1 ℃/min 내지 3 ℃/min 인 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 열간 정수압 처리하는 단계는,
    비활성 가스 분위기에서 3 시간 내지 5 시간 동안 150 MPa 내지 200 MPa 압력으로 수행되는 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 열간 정수압 처리하는 단계의 온도 조건은, 상기 소결 재료를 소결하는 단계의 온도 조건보다 평균 50 ℃ 이상 낮은 것인,
    이트리아 소결체의 제조방법.
  13. 제1항, 제2항, 제4항 내지 제12항 중 어느 한 항의 제조방법을 이용하여 제조된 것이고,
    이트리아 이론밀도를 기준으로 99 % 이상의 상대밀도를 가지는 것인,
    이트리아 소결체.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 이트리아 소결체의 면적은 2500 mm2 이상이고, 두께는 5 mm 이상인 것인,
    이트리아 소결체.


KR1020180020397A 2018-02-21 2018-02-21 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체 KR102048485B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180020397A KR102048485B1 (ko) 2018-02-21 2018-02-21 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180020397A KR102048485B1 (ko) 2018-02-21 2018-02-21 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190100619A KR20190100619A (ko) 2019-08-29
KR102048485B1 true KR102048485B1 (ko) 2019-11-25

Family

ID=67775915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180020397A KR102048485B1 (ko) 2018-02-21 2018-02-21 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102048485B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102595826B1 (ko) * 2022-12-12 2023-10-30 에이치케이테크주식회사 Hip를 이용한 내플라즈마용 고밀도 이트리아 제조방법
KR102595822B1 (ko) * 2022-12-12 2023-10-30 에이치케이테크주식회사 Hip를 이용한 내플라즈마용 고밀도 알루미나 제조방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050215419A1 (en) * 2003-01-27 2005-09-29 Yanagitani Takagimi Rare earth garmet sintered compact
JP2015013758A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 信越化学工業株式会社 透光性金属酸化物焼結体の製造方法及び透光性金属酸化物焼結体

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050215419A1 (en) * 2003-01-27 2005-09-29 Yanagitani Takagimi Rare earth garmet sintered compact
JP2015013758A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 信越化学工業株式会社 透光性金属酸化物焼結体の製造方法及び透光性金属酸化物焼結体

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190100619A (ko) 2019-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wang et al. Transparent ceramics: Processing, materials and applications
Kong et al. Transparent ceramic materials
CN107721406B (zh) 一种制备高透光性镁铝尖晶石透明陶瓷的方法
US4285732A (en) Alumina ceramic
EP2045222B1 (en) Sintered zirconia having high light transmission and high strength, use of the same and process for production thereof
CN107352994B (zh) 一种镁铝尖晶石透明陶瓷的制备方法
US20100167907A1 (en) Method for manufacturing transparent polycrystalline aluminum oxynitride
JP4878343B2 (ja) 透光性希土類ガリウムガーネット焼結体及びその製造方法と磁気光学デバイス
WO2017038937A1 (ja) 赤色ジルコニア焼結体及びその製造方法
KR102134054B1 (ko) 투광성 금속 산화물 소결체의 제조 방법 및 투광성 금속 산화물 소결체
KR20120098118A (ko) 투명도가 향상된 다결정 산질화알루미늄의 제조방법
KR102048485B1 (ko) 고강도 투명 이트리아 소결체의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 이트리아 소결체
EP2236479A1 (en) Method for production of transparent ceramics
JP5000934B2 (ja) 透光性希土類ガリウムガーネット焼結体及びその製造方法と光学デバイス
CN113773081A (zh) 一种透明陶瓷及其制备方法
Fang et al. Effect of heat treatment of green bodies on the sintering and optical properties of large-size and thick transparent YAG ceramics
KR101575561B1 (ko) 투명도가 향상된 다결정 산질화알루미늄의 제조방법
CN107473730B (zh) 一种制备细晶、高强镁铝尖晶石透明陶瓷的方法
US6812441B2 (en) Method and apparatus for the preparation of transparent alumina ceramics by microwave sintering
Gan et al. Fabrication of submicron-grained IR-transparent Y2O3 ceramics from commercial nano-raw powders
EP1703534A2 (en) High total transmittance alumina discharge vessels having submicron grain size
CN113603475B (zh) 一种三价铬离子掺杂镁铝尖晶石透明陶瓷的制备方法
KR101951799B1 (ko) 다결정 투명 산화이트륨 세라믹의 제조 방법 및 제조 장치
Li et al. Passive application/window, dome, and armor
CN114956821A (zh) 一种高透过率三氧化二钇透明陶瓷及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant