KR102031796B1 - Length variable gas target and laser-gas reaction system comprising the same - Google Patents

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Abstract

가스 타겟의 일단부에 슬라이딩 이동가능한 삽입부가 밀도분포형성부 내부에 배치되어 가스 밀도단면이 균일하게 유지되는 동시에 가스 밀도단면으로 나타내어지는 가스 타겟의 유효 길이를 용이하게 조절할 수 있는, 길이조절이 가능한 가스 타겟에 관한 것으로, 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부를 포함하며, 밀도분포형성부의 길이에 따라 밀도분포형성부 내에 수용되는 가스의 밀도단면의 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는 가스 타겟이 제공된다.Insertion part which is slidable at one end of the gas target is arranged inside the density distribution forming part so that the gas density cross section is kept uniform and at the same time the adjustable length can easily adjust the effective length of the gas target represented by the gas density cross section The present invention relates to a gas target, comprising a density distribution forming unit having an adjustable length, and wherein the length of the density cross section of the gas accommodated in the density distribution forming unit is adjusted according to the length of the density distribution forming unit. do.

Description

길이조절이 가능한 가스 타겟 및 이를 포함하는 레이저-기체 반응 시스템{Length variable gas target and laser-gas reaction system comprising the same}Length variable gas target and laser-gas reaction system comprising the same

본 발명은 길이조절이 가능한 가스 타겟 및 이를 포함하는 레이저-기체 반응 시스템에 관한 것으로, 레이저 전자 가속기에 요구되는 가스의 밀도뿐만 아니라, 안정적이고 균일한 밀도 분포를 제공할 수 있는 가스 타겟 및 이를 포함하는 레이저 기체 반응 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a adjustable gas target and a laser-gas reaction system including the same, and a gas target capable of providing a stable and uniform density distribution as well as the density of the gas required for the laser electron accelerator. It relates to a laser gas reaction system.

일반적으로, 가스 젯(타겟) 노즐을 이용한 레이저 전자 가속 방법은 가스 젯 초기 가스 조건에 매우 민감하며, 통상적으로 가스 젯 노즐 직경 또는 인가 압력을 변화시켜 요구되는 가스의 밀도 및 밀도 분포를 대략적으로 제어한다. 그러나, 이와 같이 가스 노즐의 직경과 인가 압력을 변화시키는 방법으로는 안정적이고 균일한 밀도 분포를 얻는 데에 한계가 있다. In general, laser electron acceleration methods using gas jet (target) nozzles are very sensitive to gas jet initial gas conditions and typically control the density and density distribution of the required gas by varying the gas jet nozzle diameter or applied pressure. do. However, the method of changing the diameter and the applied pressure of the gas nozzle in this way has a limit in obtaining a stable and uniform density distribution.

통상적으로, 레이저 전자 가속에서 사용되는 가스 타겟은 실험에 사용되는 레이저의 세기에 따라 비교적 짧은, 예를 들면 0.5 내지 20 mm 정도의 길이를 가진다. 가스 타겟의 길이를 연장시키는 것은 가스 밀도 분포 제어에 큰 문제점들을 야기한다.Typically, the gas target used in laser electron acceleration has a relatively short length, for example on the order of 0.5 to 20 mm, depending on the intensity of the laser used in the experiment. Extending the length of the gas target causes major problems in gas density distribution control.

발생하는 문제의 원인으로서는, 가스가 주입되어 가스가 퍼져나가는 부분에 있다. 특히 가스 타겟의 길이가 길어질수록, 이에 대응되게 노즐의 직경을 변화시키는 동시에 가스의 균일한 분포를 유지하는 것을 실질적으로 어렵다.As a cause of the problem which arises, it exists in the part which gas is inject | poured and gas spreads. In particular, as the length of the gas target becomes longer, it is substantially difficult to maintain a uniform distribution of the gas while simultaneously changing the diameter of the nozzle correspondingly.

미국공개특허 제2010/0290587호는 레이저 전자 가속을 통해 고에너지 빔을 생성할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것으로, 레이저 타겟으로 가스 젯이 사용되는 종래기술이다.US Patent Publication No. 2010/0290587 relates to a device and a method for generating a high energy beam through laser electron acceleration, which is a prior art in which a gas jet is used as a laser target.

그러나, 현재까지 레이저 전자 가속에 사용될 수 있는 가스 타겟에 관한 기술을 많지 않으며, 특별히 레이저 전자 가속을 최적화를 목적으로 가스 타겟의 길이를 조절하는 동시에 가스의 밀도도 균일한 분포로 조절 가능한 가스 타겟에 관한 기술은 아직까지는 찾기 어려운 실정이다.
However, to date, there are not many technologies regarding gas targets that can be used for laser electron acceleration, and in particular, for the purpose of optimizing laser electron acceleration, the gas targets can be adjusted in a uniform distribution while controlling the length of the gas target. The technology is still difficult to find.

US 2010/0290587 A1US 2010/0290587 A1

상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟 및 이를 포함하는 레이저-기체 반응 시스템의 목적은 레이저 전자 가속에 용이하게 사용될 수 있는 가스 타겟을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, an object of the adjustable length gas target according to an embodiment of the present invention and a laser-gas reaction system including the same is to provide a gas target that can be easily used for laser electron acceleration.

또한, 가스 타겟의 길이를 조절하는 동시에 가스의 밀도 분포가 균일하도록 조절가능한 가스 타겟을 제공하는 것이다.In addition, to provide a gas target that can be adjusted so that the density distribution of the gas is uniform while controlling the length of the gas target.

또한, 가스가 주입될 시에 작용하는 인가 압력을 조절함으로써 가스 밀도단면의 모양을 유지하되 밀도를 조절할 수 있는 가스 타겟을 포함하는 레이저-기체 반응 시스템을 제공하는 것이다.In addition, the present invention provides a laser-gas reaction system including a gas target capable of maintaining a shape of a gas density cross-section but controlling a density by adjusting an applied pressure applied when a gas is injected.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟은, 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부를 포함하며, 상기 밀도분포형성부의 길이에 따라 상기 밀도분포형성부 내에 수용되는 가스의 밀도단면의 길이와 상기 가스의 밀도가 조절되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the adjustable gas target according to an embodiment of the present invention includes a density distribution forming unit having a length adjustable space, and accommodated in the density distribution forming unit according to the length of the density distribution forming unit. It is characterized in that the length of the density of the gas to be cross section and the density of the gas.

또한, 상기 밀도분포형성부와 적어도 일부가 연통되는 슬릿노즐부; 및 상기 슬릿노즐부와 연통하는 소정의 직경을 갖는 가스주입구를 더 포함하며, 상기 가스는 상기 가스주입구로 유입되어 상기 슬릿노즐부에 의해 상기 밀도분포형성부 내에 균일하게 분포되는 것이 바람직하다. In addition, at least a portion of the slit nozzle portion communicating with the density distribution forming portion; And a gas injection hole having a predetermined diameter communicating with the slit nozzle part, wherein the gas is introduced into the gas injection hole and uniformly distributed in the density distribution forming part by the slit nozzle part.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟은, 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부가 구비된 챔버상부; 및상기 챔버상부 하부에 연결되고, 소정의 직경을 갖는 가스주입구 및 상기 가스주입구와 연통하는 슬릿노즐부가 구비된 챔버하부;를 포함하고, 상기 가스주입구로 유입되는 가스는 상기 슬릿노즐부에 의해 상기 밀도분포형성부 내에 균일하게 분포되며, 상기 밀도분포형성부의 길이에 따라 상기 밀도분포형성부 내의 가스의 밀도단면의 길이와 상기 가스의 밀도가 조절되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the adjustable gas target according to an embodiment of the present invention, the chamber upper portion provided with a density distribution forming portion is a space adjustable length; And a chamber lower portion connected to a lower portion of the upper chamber, and having a gas injection hole having a predetermined diameter and a slit nozzle portion communicating with the gas injection hole, wherein the gas introduced into the gas injection hole is formed by the slit nozzle part. It is uniformly distributed in the density distribution forming unit, and the length of the density cross section of the gas in the density distribution forming unit and the density of the gas are controlled according to the length of the density distribution forming unit.

또한, 상기 챔버상부는 일단부 및 타단부 각각에 제1 출구 및 제2 출구가 구비되어 레이저가 통과 가능하도록 구성된 것이 바람직하다.In addition, the chamber upper portion is preferably provided with a first outlet and a second outlet at each of the one end and the other end is configured to pass through the laser.

또한, 상기 챔버상부는 상기 밀도분포형성부 내에 슬라이딩 이동가능한 삽입부를 구비하고, 상기 타단부는 상기 삽입부의 일측인 것이 바람직하다.In addition, the chamber upper portion is provided with a sliding portion that is slidably movable in the density distribution forming portion, the other end is preferably one side of the insertion portion.

또한, 상기 삽입부는 상기 삽입부에 구동력을 제공하는 구동부와 연결되는 것이 바람직하다.In addition, the insertion unit is preferably connected to the drive unit for providing a driving force to the insertion unit.

또한, 상기 구동부는 상기 삽입부가 이동하는 정도를 결정하는 제어부 및 상기 제어부와 연결된 구동축을 포함하며 상기 삽입부는 상기 구동축의 이동에 따라 슬라이딩 이동하는 것이 바람직하다. The driving unit may include a control unit for determining a degree of movement of the insertion unit and a driving shaft connected to the control unit, and the insertion unit may slide in accordance with the movement of the driving shaft.

또한, 상기 챔버상부는 양측에 창이 형성된 것이 바람직하다.In addition, the chamber upper portion is preferably formed on both sides of the window.

또한, 상기 슬릿노즐부는 상기 가스주입구와 연통하는 지점인 슬릿노즐입구를 기준으로 상기 밀도분포형성부 측으로 확장되는 형상인 것이 바람직하다.In addition, the slit nozzle portion preferably has a shape extending toward the density distribution forming portion relative to the slit nozzle inlet which is a point communicating with the gas inlet.

또한, 상기 슬릿노즐입구의 직경은 상기 가스주입구의 직경보다 작은 것이 바람직하다.In addition, the diameter of the slit nozzle inlet is preferably smaller than the diameter of the gas inlet.

또한, 레이저 전자 가속에 사용되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable to be used for laser electron acceleration.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저-기체 반응 시스템은, 가스가 유입되는 가스주입구, 상기 가스주입구와 연통하며 유입된 가스를 균일하게 분포시키는 슬릿노즐부, 및 상기 슬릿노즐부에 의해 균일하게 분포된 가스를 수용하는 밀도분포형성부를 포함하는 길이조절이 가능한 가스 타겟; 및 상기 가스 타겟을 향하여 레이저를 조사하는 레이저장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a laser-gas reaction system according to an embodiment of the present invention includes a gas inlet through which gas is introduced, a slit nozzle unit communicating with the gas inlet and uniformly distributing the inlet gas, and the slit nozzle A length adjustable gas target including a density distribution forming unit for receiving a gas uniformly distributed by the unit; And a laser device for irradiating a laser toward the gas target.

이와 같은 본 발명에 의하면, 가스 타겟의 일단부에 슬라이딩 이동가능한 삽입부가 밀도분포형성부 내부에 배치되어 가스 밀도단면이 균일하게 유지되는 동시에 가스 타겟의 유효 길이가 조절될 수 있다. According to the present invention as described above, an insertion part slidably movable at one end of the gas target may be disposed in the density distribution forming part so that the gas density cross section is kept uniform and the effective length of the gas target can be adjusted.

또한, 슬릿노즐부와 제1 및 제2 출구가 가스 타겟에 구비되어, 가스 타겟 챔버 내에 균일한 가스 밀도 형성 및 길이 조절이 가능하며, 레이저가 제 1 및 제 2 출구 사이로 통과할 수 있다.In addition, the slit nozzle portion and the first and second outlets are provided in the gas target to enable uniform gas density formation and length adjustment in the gas target chamber, and the laser can pass between the first and second outlets.

또한, 가스 타겟은 레이저 전자 가속 및 레이저 기체 상호작용 등의 다양한 실험에 유용하게 사용될 수 있다.In addition, the gas target may be usefully used for various experiments such as laser electron acceleration and laser gas interaction.

또한, 가스주입구에 작용하는 압력만을 조절함으로써, 가스가 균일하게 분포되는 상태를 유지하면서 가스 타겟 챔버 내에 수용된 가스의 밀도를 용이하게 제어할 수 있다.In addition, by adjusting only the pressure acting on the gas inlet, it is possible to easily control the density of the gas contained in the gas target chamber while maintaining the state in which the gas is uniformly distributed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 횡단면도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 선에 따라 절단된 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 종단면도이다.
도 3은 도 1의 B-B' 선에 따라 절단된 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 종단면도이다.
도 4는 제1 출구와 제2 출구 간의 거리가 20mm일 경우에서 가스의 균일한 분포를 나타내는 가스 밀도단면(gas density profile)이다.
도 5는 제1 출구와 제2 출구 간의 거리가 100mm일 경우에서 가스의 균일한 분포를 나타내는 가스 밀도단면이다.1 is a cross-sectional view showing a gas target is adjustable in length according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view showing a adjustable gas target according to an embodiment of the present invention cut along the line AA 'of FIG.
Figure 3 is a longitudinal cross-sectional view showing a adjustable gas target according to an embodiment of the present invention cut along the line BB 'of FIG.
4 is a gas density profile showing a uniform distribution of gas when the distance between the first outlet and the second outlet is 20 mm.
5 is a gas density cross section showing a uniform distribution of gas when the distance between the first outlet and the second outlet is 100 mm.

본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.Before describing the present invention in detail, the terms or words used in the present specification should not be construed as being limited to ordinary or dictionary meanings, and in order for the inventor of the present invention to explain his invention in the best way. Concepts of various terms may be properly defined and used, and furthermore, it is to be understood that these terms or words should be interpreted as meanings and concepts corresponding to the technical spirit of the present invention.

즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.In other words, the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting the teachings of the invention. It should be understood that the term is defined in consideration.

또한, 본 명세서에 있어서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.In addition, in the present specification, the singular expressions may include the plural expressions unless the context clearly indicates otherwise, and similarly, the plural expressions may include the singular meanings. do.

본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.Throughout this specification, when a component is described as "comprising" another component, the component may further include any other component rather than excluding any other component unless otherwise stated. It can mean that you can.

더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.Furthermore, if a component is described as being "inside, or in connection with," another component, the component may be directly connected or installed in contact with another component, The components may be spaced apart from each other, and in the case of spaced apart from each other, there may be a third component or means for fixing or connecting the components to other components. It should be understood that the description of the components or means of 3 may be omitted.

반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.On the other hand, if a component is described as being "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that no third component or means exists.

마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.Similarly, other expressions describing the relationship between each component, such as "between" and "immediately between", or "neighboring to" and "directly neighboring to", have the same purpose. Should be interpreted as

또한, 본 명세서에 있어서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.In addition, in this specification, terms such as “one side”, “other side”, “one side”, “other side”, “first”, “second”, and the like, if used, refer to this one component for one component. Is used to clearly distinguish from other components, and it should be understood that such terms do not limit the meaning of the components.

또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.In addition, terms related to positions such as “up”, “down”, “left”, “right”, etc., when used herein, should be understood to indicate relative positions in the corresponding drawings with respect to the corresponding components, if used. Unless an absolute position is specified with respect to these positions, these position related terms should not be understood as referring to an absolute position.

더욱이, 본 발명의 명세서에서는, "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는, 사용된다면, 하나 이상의 기능이나 동작을 처리할 수 있는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어, 또는 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있음을 알아야 한다.Moreover, in the specification of the present invention, the terms "… unit", "… unit", "module", "device" and the like, if used, means a unit capable of processing one or more functions or operations, which is hardware Or software, or a combination of hardware and software.

또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.In addition, in the present specification, in designating the reference numerals for each component of each drawing, the same reference numerals refer to the same components so as to have the same reference numerals even though they are shown in different drawings, that is, the same reference numerals throughout the specification. The symbols indicate the same components.

본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.In the accompanying drawings, the size, position, coupling relationship, etc. of each component constituting the present invention may be partially exaggerated or reduced or omitted in order to sufficiently convey the spirit of the present invention or for convenience of description. It may be described, so the proportion or scale may not be exact.

또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략될 수도 있다.
In addition, in the following, in the following description of the present invention, detailed descriptions of configurations known to unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, for example, known technologies including the prior art, may be omitted.

먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟의 전체적인 구성을 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 횡단면도이다. 도 2는 도 1의 A-A' 선에 따라 절단된 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 종단면도이다. 도 3은 도 1의 B-B' 선에 따라 절단된 본 발명의 일 실시예에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟을 나타낸 종단면도이다.First, referring to Figures 1 to 3 will be described the overall configuration of the adjustable gas target in accordance with the present invention. 1 is a cross-sectional view showing a gas target is adjustable in length according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view showing a gas adjustable length target according to an embodiment of the present invention cut along the line AA 'of FIG. Figure 3 is a longitudinal cross-sectional view showing a adjustable gas target according to an embodiment of the present invention cut along the line B-B 'of FIG.

본 발명에 따른 길이조절이 가능한 가스 타겟은 소정의 길이를 갖는(예를 들면, 100mm) 챔버상부(100), 챔버하부(200), 구동부(300), 및 바닥부(400)를 포함한다.The adjustable gas target according to the present invention includes a chamber upper part 100, a chamber lower part 200, a driving part 300, and a bottom part 400 having a predetermined length (eg, 100 mm).

챔버상부(100)는 길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부(110), 챔버상부(100)의 전반적인 형상을 결정하는 안내부(120), 안내부(120)의 외측에 연결되는 창(130), 창(130)을 안내부(120)의 외측에 안정적으로 고정시키는 프레임부(140), 및 밀도분포형성부(110) 내에 삽입가능한 삽입부(150)를 구비하는 것이 바람직하다. Chamber upper portion 100 is a density distribution forming unit 110 is a space adjustable length, the guide portion 120 to determine the overall shape of the chamber upper portion 100, the window 130 connected to the outside of the guide portion 120 ), It is preferable to include a frame portion 140 for stably fixing the window 130 to the outside of the guide portion 120, and the insertion portion 150 that can be inserted into the density distribution forming portion 110.

챔버상부(100)의 단면은 사각형의 형상(도 2 참고)을 갖는 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 챔버상부(100)는 양측은 평평하고 서로에 대하여 평행하되 상부가 상측으로 볼록한 형상을 갖도록 형성될 수 있으며, 이와 같은 형상의 각각의 모서리에 안내부(120)가 형성됨으로써 챔버상부(100)의 형상이 구획될 수 있다. The cross section of the chamber upper portion 100 preferably has a rectangular shape (see FIG. 2), but is not limited thereto. For example, the chamber upper part 100 may be formed so that both sides are flat and parallel to each other, but have an upper convex shape, and the guide part 120 is formed at each corner of such a shape to form the upper chamber part. The shape of 100 can be partitioned.

밀도분포형성부(110)는 가스가 실질적으로 수용되는 공간으로서, 밀도분포형성부(110) 내에서 가스의 밀도 및 길이가 결정될 수 있어, 길이가 조절가능한 공간이다. 여기서 가스의 길이라 함은, 도 1에 도시된 챔버상부(100)의 일단부 및 타단부 사이의 길이를 의미하며, 더 상세하게는 도 3에 도시된 밀도분포형성부(110)의 일측으로부터 타측까지의 길이d를 의미한다. The density distribution forming unit 110 is a space in which the gas is substantially accommodated, and the density and the length of the gas in the density distribution forming unit 110 may be determined, and thus the space is adjustable in length. Here, the length of the gas means a length between one end and the other end of the chamber upper part 100 shown in FIG. 1, and more specifically, from one side of the density distribution forming part 110 shown in FIG. 3. It means the length d to the other side.

또한, 상기 챔버상부(100)의 타단부는 도 1에 도시된 바와 같이 삽입부(150)의 일측인 것이 바람직하며, 삽입부(150)는 안내부(120)를 따라 밀도분포형성부(110) 내에서 슬라이딩 이동가능한 것이 바람직하다. 안내부(120)는 삽입부(150)가 일정한 직선동작으로 슬라이딩 이동하도록 구성된 것이 바람직하다. 예를 들면, 안내부(120)는 삽입부(150)의 원활한 이동을 위한 가이드와 같은 구성인 것이 바람직하다. In addition, the other end of the chamber upper portion 100 is preferably one side of the insertion portion 150, as shown in Figure 1, the insertion portion 150 is a density distribution forming unit 110 along the guide portion 120 It is preferable that the slide moveable within). The guide part 120 is preferably configured to slide the insertion part 150 in a constant linear motion. For example, the guide part 120 is preferably configured as a guide for smooth movement of the insertion part 150.

챔버상부(100)는 양측에 창(130)이 구비된 것이 바람직하며, 유리와 같은 투명한 재질로 형성된 것이 바람직하다. 창(130)은 챔버상부(100)의 양측뿐만 아니라 상측에도 구비될 수 있으며, 각각의 창(130)은 프레임부(140)에 의해 안내부(120)의 외측에 위치되도록 안정적으로 고정될 수 있다. 본 발명에 의한 가스 타겟은 이와 같이 형성된 창(130)을 통하여 레이저가 균일한 가스 밀도를 갖는 공간인 밀도분포형성부(110)를 관측할 수 있다.The upper chamber 100 is preferably provided with a window 130 on both sides, it is preferably formed of a transparent material such as glass. The window 130 may be provided on both sides of the chamber upper part 100 as well as on the upper side, and each window 130 may be stably fixed to be positioned outside the guide part 120 by the frame part 140. have. The gas target according to the present invention may observe the density distribution forming unit 110, which is a space in which the laser has a uniform gas density, through the window 130 formed as described above.

밀도분포형성부(110)는 삽입부(150)가 슬라이딩 이동하면서 길이가 변형될 수 있다. 예를 들면, 삽입부(150)의 일측이 챔버상부(100)의 일단부와 근접하게 위치될 경우에는 밀도분포형성부(110)의 길이는 감소하며, 삽입부(150)의 일측이 챔버상부(100)의 일단부와 멀리 떨어져서 위치될 경우에는 밀도분포형성부(110)의 길이는 증가한다.The density distribution forming unit 110 may be deformed in length as the insertion unit 150 slides. For example, when one side of the insertion unit 150 is located close to one end of the upper chamber 100, the length of the density distribution forming unit 110 is reduced, one side of the insertion unit 150 is the upper chamber When located far from one end of the (100), the length of the density distribution forming unit 110 increases.

도 3에 도시된 바와 같이, 챔버상부(100)는 일단부 및 타단부(또는 삽입부(150)의 일측) 각각에 소정의 직경을 갖는(예를 들면, 1.5mm) 제1 출구(121) 및 제2 출구(122)가 구비된 것이 바람직하다. 제2 출구(122)가 삽입부(150)의 일측에 형성됨으로써, 삽입부(150)가 안내부(120)를 따라 슬라이딩 이동하여 가스 타겟의 길이가 조절된다. 이때, 밀도분포형성부(110) 내에 수용된 가스의 가스 밀도단면은 슬릿노즐부(210)에서의 기체의 균일한 팽창으로 균일한 분포가 유지될 수 있다. As shown in FIG. 3, the chamber upper part 100 has a predetermined diameter (eg, 1.5 mm) at each of one end and the other end (or one side of the insertion part 150) of the first outlet 121. And it is preferable that the second outlet 122 is provided. As the second outlet 122 is formed at one side of the insertion part 150, the insertion part 150 slides along the guide part 120 to adjust the length of the gas target. At this time, the gas density cross section of the gas contained in the density distribution forming unit 110 may be maintained in a uniform distribution by uniform expansion of the gas in the slit nozzle unit 210.

다른 일 실시예에서 제1 출구(121) 및 제2 출구(122)는 챔버상부(100)로부터 탈착가능하도록 형성될 수도 있으며, 이에 따라 소정의 위치로 삽입부(150)가 위치될 경우에, 챔버상부(100)는 제1 출구(121) 및 제2 출구(122)가 형성되지 않은 다른 캡과 같은 부재를 챔버상부(100)의 일단부 및 타단부에 연결시킴으로써 완전 밀폐가 가능하다.In another embodiment, the first outlet 121 and the second outlet 122 may be formed to be detachable from the upper portion of the chamber 100. Accordingly, when the insertion portion 150 is positioned at a predetermined position, The upper chamber 100 may be completely sealed by connecting a member such as another cap, in which the first outlet 121 and the second outlet 122 is not formed, to one end and the other end of the chamber upper part 100.

또한, 챔버상부(100)의 타단부 측에 있는 안내부(120)의 내측 일부에는 실링부(123)가 더 구비된 것이 바람직하다. 이에 따라 삽입부(150)의 외측과 실링부(123)가 형성된 안내부(120)의 내측 일부는 기밀하게 폐쇄될 수 있다.In addition, the inner portion of the guide portion 120 on the other end side of the chamber upper portion 100 is preferably further provided with a sealing portion 123. Accordingly, the outer part of the insertion part 150 and the inner part of the guide part 120 having the sealing part 123 may be hermetically closed.

챔버하부(200)는 챔버상부(100)의 하부에 연결되고, 슬릿노즐부(210), 몸체부(220), 및 가스주입부(230)를 포함한다.The lower chamber 200 is connected to the lower portion of the upper chamber 100, and includes a slit nozzle unit 210, a body unit 220, and a gas injection unit 230.

슬릿노즐부(210)는 가스주입구(231)와 연결되고 소정의 직경을 갖는(예를 들면, 0.25mm) 슬릿노즐입구(211) 및 가스주입구(231)로부터 유입된 가스가 균일하게 분포되도록 형성된 공간이며 소정의 최대길이를 갖는(예를 들면, 90mm) 슬릿노즐공간(212)을 포함한다. The slit nozzle unit 210 is connected to the gas inlet 231 and formed to uniformly distribute the gas introduced from the slit nozzle inlet 211 and the gas inlet 231 having a predetermined diameter (for example, 0.25 mm). Space and includes a slit nozzle space 212 having a predetermined maximum length (eg, 90 mm).

몸체부(220)는 도 2에 도시된 바와 같이, 내부에 슬릿노즐부(210)가 형성되고 측면 일부에 가스주입부(230)가 연결된다. 몸체부(220)는 양측으로 돌출되는 일부를 포함하여 챔버상부(100)의 일부, 바람직하게는 양측으로 돌출된 안내부(120)의 일부와 용이하게 결합될 수 있다.As shown in FIG. 2, the body part 220 has a slit nozzle part 210 formed therein and a gas injection part 230 connected to a part of a side surface thereof. The body portion 220 may be easily coupled with a portion of the chamber upper portion 100, preferably a portion of the guide portion 120 protruding to both sides, including a portion protruding to both sides.

가스주입부(230)는 소정의 직경을 갖는 가스주입구(231)를 포함하며, 가스주입구(231)를 통해 슬릿노즐입구(211)로 가스가 주입될 수 있도록 구성된다. 가스주입부(230)는 가스주입구(231) 및 슬릿노즐부(210)로 가스를 공급하는 가스공급선(미도시)와 연결된 연결부를 포함할 수 있다. 여기서 가스주입구(231)는 슬릿노즐입구(211)와 연통하도록 형성된다. The gas injection unit 230 includes a gas injection hole 231 having a predetermined diameter and is configured to allow gas to be injected into the slit nozzle inlet 211 through the gas injection hole 231. The gas injection unit 230 may include a connection unit connected to a gas supply line (not shown) for supplying gas to the gas injection port 231 and the slit nozzle unit 210. The gas inlet 231 is formed to communicate with the slit nozzle inlet 211.

슬릿노즐입구(211)는 소정의 직경을 갖도록 형성되되, 가스주입구(231)의 직경보다 작은 직경을 갖는 것이 바람직하며, 슬릿노즐공간(212)은 상기 슬릿노즐입구(211)와 연통하며, 단면이 테이퍼진 형상인 것이 바람직하다. 즉, 슬릿노즐부(210)의 최소 길이가 되는 슬릿노즐입구(211)의 직경은 가스주입구(231)의 직경보다 작고, 가스주입구(231)와 연통하는 지점인 슬릿노즐입구(211)를 기준으로 밀도분포형성부(110) 측으로 확장되는 형상인 것이 바람직하다.The slit nozzle inlet 211 is formed to have a predetermined diameter, preferably has a diameter smaller than the diameter of the gas inlet 231, the slit nozzle space 212 is in communication with the slit nozzle inlet 211, the cross section It is preferable that it is this tapered shape. That is, the diameter of the slit nozzle inlet 211 which is the minimum length of the slit nozzle unit 210 is smaller than the diameter of the gas inlet 231 and is based on the slit nozzle inlet 211 which is a point communicating with the gas inlet 231. Therefore, it is preferable that the shape is extended to the density distribution forming unit 110 side.

가스주입구(231)로 유입되는 가스는 이와 같이 구성된 슬릿노즐부(210)에 의해 밀도분포형성부(110) 내에 균일하게 분포되며, 밀도분포형성부(110)의 길이에 따라 밀도분포형성부(110) 내의 가스의 밀도단면의 길이와 가스의 밀도가 조절된다.The gas flowing into the gas inlet 231 is uniformly distributed in the density distribution forming unit 110 by the slit nozzle unit 210 configured as described above, and according to the length of the density distribution forming unit 110. The length of the density cross section and the density of the gas in the gas 110 are adjusted.

구동부(300)는 삽입부(150)가 직선운동을 할 수 있도록 구동력을 제공하는 부재로서, 구동축(310), 제어부(320), 구동레일(330), 및 지지부(340)를 포함할 수 있다. The driving unit 300 is a member that provides a driving force to allow the insertion unit 150 to linearly move. The driving unit 300 may include a driving shaft 310, a control unit 320, a driving rail 330, and a support unit 340. .

구동축(310)은 삽입부(150)와 동일한 방향으로 직선운동하며, 구동력이 구동축(310)에 작용하면, 구동축(310)은 제어부(320)의 명령에 따라 챔버상부(100)의 일단부 또는 타단부 중 어느 한 단부 측을 향하여 이동한다. 제어부(320)는 하드웨어적으로 및/또는 소프트웨어적으로 구동부(300)와 연결되어 삽입부(150)가 이동하는 정도를 결정할 수 있도록 구성된 것이 바람직하다. The drive shaft 310 linearly moves in the same direction as the inserting portion 150, and when the driving force acts on the drive shaft 310, the drive shaft 310 is at one end of the upper chamber 100 or under the command of the controller 320. It moves toward either end side of the other end. The controller 320 may be configured to be connected to the driving unit 300 in hardware and / or software so as to determine the degree of movement of the insertion unit 150.

구동레일(330)의 측면 일부는 구동축(310)과 연결되어 구동축(310)이 이동됨에 따라 함께 이동하도록 형성된 것이 바람직하다. 또한, 구동레일(330)은 일부에 지지부(340)가 수직으로 연결되어 고정되고, 구동레일(330)에 고정된 지지부(340)는 삽입부(150)와 연결된 것이 바람직하다.A portion of the side surface of the driving rail 330 is connected to the driving shaft 310 is preferably formed to move together as the driving shaft 310 is moved. In addition, the driving rail 330 is fixed to the support portion 340 is vertically connected to a portion, the support portion 340 fixed to the drive rail 330 is preferably connected to the insertion portion 150.

지지부(340)는 삽입부(150)의 일측, 즉 챔버상부(200)의 타단부에 연결되는 제1 지지부(341) 및 삽입부(150)의 타측에 연결되는 제2 지지부(342)를 포함한다.여기서 제1 지지부(341)는 삽입부(150)가 자유롭게 슬라이딩 이동할 수 있도록 삽입부(150)의 외측을 감싸는 링 형태의 부재와 연결되도록 형성된 것이 바람직하며, 제2 지지부(342)는 삽입부(150) 및 구동레일(330)에 고정되어 연결되도록 형성된 것이 바람직하다.The support part 340 includes a first support part 341 connected to one side of the insertion part 150, that is, the other end of the chamber upper part 200, and a second support part 342 connected to the other side of the insertion part 150. Here, the first support part 341 is preferably formed to be connected to a ring-shaped member surrounding the outside of the insertion part 150 so that the insertion part 150 can slide freely, and the second support part 342 is inserted. It is preferably formed to be fixedly connected to the unit 150 and the driving rail 330.

이에 따르면, 구동축(310)과 연결된 구동레일(330), 지지부(340), 및 삽입부(150)는 함께 이동되며, 삽입부(150)는 구동축(310)과 평행하게 안정적으로 슬라이딩 이동될 수 있다. Accordingly, the driving rail 330, the support part 340, and the inserting part 150 connected to the driving shaft 310 are moved together, and the inserting part 150 can be stably slidably moved in parallel with the driving shaft 310. have.

바닥부(400)는 바닥판(410), 바닥상부(420), 및 바닥하부(430)를 포함하는 것이 바람직하다.The bottom portion 400 preferably includes a bottom plate 410, an upper bottom portion 420, and a lower bottom portion 430.

바닥판(410)은 챔버하부(300)의 하측이 고정된 평평한 판 형태인 것이 바람직하며, 바닥상부(420) 및 바닥하부(430)는 바닥판(410)의 하부에 위치되어 구동레일(330)의 일부를 수용하도록 형성된 것이 바람직하다. 이와 같이 형성된 바닥부(400)에 의하여 가스 타겟은 삽입부(150)가 이동되더라도 균형을 잃지 않을 수 있으며, 구동레일(330) 및 이외의 부재들이 다양한 외부요인들로부터 보호될 수 있어 내구성도 증가할 수 있다.
The bottom plate 410 is preferably in the form of a flat plate fixed to the lower side of the lower chamber 300, the bottom upper portion 420 and the bottom lower portion 430 is located at the bottom of the bottom plate 410 drive rail 330 It is preferable that it is formed to receive a portion of the). By the bottom portion 400 formed as described above, the gas target may not lose balance even when the insertion portion 150 is moved, and the driving rail 330 and other members may be protected from various external factors, thereby increasing durability. can do.

본 발명의 일 실시예에 따른 가스 타겟을 포함하는 레이저-기체 반응 시스템에 의한 가스의 균일한 분포를 나타내는 가스 밀도단면은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같다. 도 4는 제1 출구(121)와 제2 출구(122) 간의 거리가 20mm일 경우에서 가스의 균일한 분포를 나타내는 가스 밀도단면이다. 도 5는 제1 출구(121)와 제2 출구(122) 간의 거리가 100mm일 경우에서 가스의 균일한 분포를 나타내는 가스 밀도단면이다.Gas density cross-sections showing a uniform distribution of gas by a laser-gas reaction system comprising a gas target according to an embodiment of the present invention are shown in FIGS. 4 and 5. 4 is a gas density cross-sectional view showing a uniform distribution of gas when the distance between the first outlet 121 and the second outlet 122 is 20 mm. 5 is a gas density cross-sectional view showing a uniform distribution of gas when the distance between the first outlet 121 and the second outlet 122 is 100 mm.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저-기체 반응 시스템은 가스가 유입되는 가스주입구(231), 가스주입구(231)와 연통하며 유입된 가스를 균일하게 분포시키는 슬릿노즐부(210), 및 슬릿노즐부(210)에 의해 균일하게 분포된 가스를 수용하는 밀도분포형성부(110)를 포함하는 길이조절이 가능한 가스 타겟을 포함한다.Laser-gas reaction system according to an embodiment of the present invention communicates with the gas inlet 231, the gas inlet 231 through which gas is introduced, and the slit nozzle unit 210 for uniformly distributing the inlet gas, and the slit nozzle It includes a gas target is adjustable in length including a density distribution forming unit 110 for receiving the gas uniformly distributed by the portion 210.

또한, 가스 타겟과 연결되어 가스주입구(231)로 가스를 공급하는 가스공급선; 및 가스 타겟을 향하여 레이저를 조사하는 레이저장치(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the gas supply line is connected to the gas target for supplying gas to the gas inlet 231; And a laser device (not shown) for irradiating the laser toward the gas target.

또한, 본 가스 타겟은 레이저-기체 반응을 위한 진공 타겟 챔버에 설치되어 사용될 수 있다. The present gas target can also be installed and used in a vacuum target chamber for laser-gas reactions.

상기와 같은 구성의 레이저-기체 반응 시스템은 모든 구성요소들이 서로 상호작용하며 기능할 수 있으며, 구성요소들 전부 또는 일부가 일체로 형성될 수 있다.In the laser-gas reaction system of the above configuration, all the components can interact and function with each other, and all or some of the components can be integrally formed.

가스의 밀도단면은 유체역학 시뮬레이션을 통해 획득할 수 있으며, 도 4 및 도 5의 가스 밀도단면을 획득하는 데에 설정된 압력 조건으로서는 가스주입구(231)에 100,000 파스칼의 압력을 갖는 헬륨 가스를 유입시켰으며, 각각의 제1 및 제2 출구(121 및 122) 외부는 진공 상태로 설정되었다.The density cross section of the gas can be obtained through a hydrodynamic simulation, and helium gas having a pressure of 100,000 Pascals is introduced into the gas inlet 231 as a pressure condition set to obtain the gas density cross sections of FIGS. 4 and 5. The outside of each of the first and second outlets 121 and 122 was set to a vacuum state.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 가스 밀도단면은 균일하게 나타나며, 제1 출구(121)와 제2 출구(122)간의 거리인 밀도분포형성부(110)의 길이가 조절됨에 따라서 가스 밀도단면의 길이가 조절가능하며, 밀도가 균일하게 분포되는 모자 상부(hat-top) 모양을 띈다.As shown in FIGS. 4 and 5, the gas density cross section appears uniformly, and the gas density is adjusted as the length of the density distribution forming unit 110, which is the distance between the first outlet 121 and the second outlet 122, is adjusted. The length of the cross section is adjustable and has a hat-top shape with uniform density distribution.

또한, 가스주입구의 인가 압력(backing pressure) 조절함으로써 가스 밀도는 밀도분포형성부(110) 내에서의 모자 상부 모양이 크게 달라지지 않으면서 조율이 가능하다.
In addition, by adjusting the backing pressure of the gas inlet, the gas density may be tuned without significantly changing the shape of the top of the cap in the density distribution forming unit 110.

따라서, 상술된 바와 같은 본 발명에 의하면, 가스 타겟의 일단부에 슬라이딩 이동가능한 삽입부가 밀도분포형성부(110) 내부에 배치되어 가스 밀도단면이 균일하게 유지되는 동시에 가스 밀도단면으로 나타내어지는 가스 타겟의 유효 길이를 용이하게 조절할 수 있다.
Therefore, according to the present invention as described above, the gas target is represented by the gas density cross-section is maintained at the same time the gas density cross-section is maintained in the density distribution forming unit 110, the insertion portion which is slidably movable at one end of the gas target The effective length of can be easily adjusted.

100: 챔버상부 110: 밀도분포형성부
120: 안내부 121: 제1 출구
122: 제2 출구 123: 실링부
130: 창 140: 프레임부
150: 삽입부 200: 챔버하부
210: 슬릿노즐부 211: 슬릿노즐입구
212: 슬릿노즐공간 220: 몸체부
230: 가스주입부 231: 가스주입구
300: 구동부 310: 구동축
320: 제어부 330: 구동레일
340: 지지부 341: 제1 지지축
342: 제2 지지축 400: 바닥부
410: 바닥판 420: 바닥상부
430: 바닥하부100: upper chamber 110: density distribution forming unit
120: guide portion 121: first exit
122: second outlet 123: sealing portion
130: window 140: frame portion
150: insertion portion 200: lower chamber
210: slit nozzle part 211: Slit nozzle inlet
212: slit nozzle space 220: body portion
230: gas inlet 231: gas inlet
300: drive unit 310: drive shaft
320: control unit 330: driving rail
340: support portion 341: first support shaft
342: second support shaft 400: bottom
410: bottom plate 420: top of the bottom
430: bottom of the floor

Claims (12)

길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부;
상기 밀도분포형성부와 적어도 일부가 연통되는 슬릿노즐부; 및
상기 슬릿노즐부와 수직 방향으로 연통하는 가스주입구; 를 포함하며,
상기 슬릿노즐부의 입구의 직경이 상기 가스주입구의 직경보다 작고,
상기 밀도분포형성부의 길이에 따라 상기 밀도분포형성부 내에 수용되는 가스의 밀도단면의 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
A density distribution forming unit having an adjustable length;
A slit nozzle portion in communication with at least a portion of the density distribution forming portion; And
A gas inlet communicating with the slit nozzle part in a vertical direction; Including;
The diameter of the inlet of the slit nozzle portion is smaller than the diameter of the gas inlet,
Characterized in that the length of the density cross-section of the gas accommodated in the density distribution forming portion according to the length of the density distribution forming portion,
Adjustable gas target.
제 1 항에 있어서,
상기 가스는 상기 가스주입구로 유입되어 상기 슬릿노즐부에 의해 상기 밀도분포형성부 내에 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 1,
The gas flows into the gas inlet and is uniformly distributed in the density distribution forming unit by the slit nozzle unit.
Adjustable gas target.
길이가 조절가능한 공간인 밀도분포형성부가 구비된 챔버상부; 및
상기 챔버상부 하부에 연결되고, 소정의 직경을 갖는 가스주입구 및 상기 가스주입구와 연통하는 슬릿노즐부가 구비된 챔버하부;를 포함하고,
상기 챔버상부는
상기 밀도분포형성부 내에 슬라이딩 이동가능한 삽입부; 및
상기 삽입부가 직선 동작으로 슬라이딩 이동하도록 가이드하여 가스 타겟의 유효 길이가 조절되도록 하는 안내부;
를 구비하고,
상기 가스주입구로 유입되는 가스는 상기 슬릿노즐부에 의해 상기 밀도분포형성부 내에 균일하게 분포되며,
상기 밀도분포형성부의 길이에 따라 상기 밀도분포형성부 내의 가스의 밀도단면의 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
A chamber upper portion having a density distribution forming portion having an adjustable length space; And
And a lower chamber connected to a lower portion of the upper chamber and having a gas injection hole having a predetermined diameter and a slit nozzle part communicating with the gas injection hole.
The upper chamber
An insertion part slidably movable in the density distribution forming part; And
A guide part configured to guide the insertion part to slide in a linear motion so that an effective length of the gas target is adjusted;
And
The gas flowing into the gas inlet is uniformly distributed in the density distribution forming part by the slit nozzle part,
Characterized in that the length of the density cross section of the gas in the density distribution forming portion according to the length of the density distribution forming portion,
Adjustable gas target.
제 3 항에 있어서,
상기 챔버상부는 일단부 및 타단부 각각에 제1 출구 및 제2 출구가 더 구비되어 레이저가 통과 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 3, wherein
The chamber upper portion is further provided with a first outlet and a second outlet at each of the one end and the other end, characterized in that the laser is configured to pass through,
Adjustable gas target.
제 4 항에 있어서,
상기 타단부는 상기 삽입부의 일측인 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 4, wherein
The other end is characterized in that one side of the insertion portion,
Adjustable gas target.
제 5 항에 있어서,
상기 삽입부는 상기 삽입부에 구동력을 제공하는 구동부와 연결되는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 5,
The insert is characterized in that connected to the drive unit for providing a driving force to the insert,
Adjustable gas target.
제 6 항에 있어서,
상기 구동부는 상기 삽입부가 이동하는 정도를 결정하는 제어부 및 상기 제어부와 연결된 구동축을 포함하며,
상기 삽입부는 상기 구동축의 이동에 따라 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 6,
The driving unit includes a control unit for determining the degree of movement of the insertion unit and a drive shaft connected to the control unit,
The insertion unit is characterized in that the sliding movement in accordance with the movement of the drive shaft,
Adjustable gas target.
제 3 항에 있어서,
상기 챔버상부는 양측에 창이 형성된 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 3, wherein
The upper chamber is characterized in that the window is formed on both sides,
Adjustable gas target.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 슬릿노즐부는 상기 가스주입구와 연통하는 지점인 슬릿노즐입구를 기준으로 상기 밀도분포형성부 측으로 확장되는 형상인 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method of claim 2 or 3,
The slit nozzle portion is characterized in that the shape extending to the density distribution forming side with respect to the slit nozzle inlet which is a point in communication with the gas inlet,
Adjustable gas target.
삭제delete 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
레이저 전자 가속에 사용되는 것을 특징으로 하는,
길이조절이 가능한 가스 타겟.
The method according to claim 1 or 3,
It is used for laser electron acceleration,
Adjustable gas target.
가스가 유입되는 가스주입구, 상기 가스주입구와 수직 방향으로 연통하며 유입된 가스를 균일하게 분포시키는 슬릿노즐부, 및 상기 슬릿노즐부에 의해 균일하게 분포된 가스를 수용하는 밀도분포형성부를 포함하는 길이조절이 가능한 가스 타겟; 및
상기 가스 타겟에 레이저를 조사하는 레이저장치가 구비되고,
상기 슬릿노즐부의 입구의 직경이 상기 가스주입구의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는,
레이저-기체 반응 시스템.
A length including a gas inlet through which gas is introduced, a slit nozzle unit communicating in a vertical direction with the gas inlet and distributing the gas introduced therein uniformly, and a density distribution forming unit accommodating the gas uniformly distributed by the slit nozzle unit Adjustable gas target; And
A laser device for irradiating a laser to the gas target is provided,
Characterized in that the diameter of the inlet of the slit nozzle portion is smaller than the diameter of the gas inlet,
Laser-gas reaction system.
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