KR102020148B1 - Inkjet process apparatus - Google Patents

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KR102020148B1
KR102020148B1 KR1020180053758A KR20180053758A KR102020148B1 KR 102020148 B1 KR102020148 B1 KR 102020148B1 KR 1020180053758 A KR1020180053758 A KR 1020180053758A KR 20180053758 A KR20180053758 A KR 20180053758A KR 102020148 B1 KR102020148 B1 KR 102020148B1
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vibration
nitrogen
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KR1020180053758A
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성보람찬
김영효
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for treating an inkjet process. The apparatus for treating an inkjet process comprises: a driving unit configured to grip a substrate and drive the substrate in a predetermined direction; an ink head unit configured to stack a predetermined material on the substrate; a head support unit connected to an upper end of the ink head unit and configured to support the ink head unit; a lower support unit provided at a lower end of the driving unit and including a first lower support unit configured to support the driving unit and a plurality of second lower support units provided between the first lower support unit and the head support unit and configured to support the first lower support unit and the head support unit; a vibration blocking unit provided at a lower end of the lower support unit and configured to support the lower support unit and block vibration of the apparatus for treating an inkjet process; a sealing chamber configured to seal the apparatus for treating an inkjet process; a filtering unit connected to a predetermined region of the sealing chamber and configured to supply nitrogen to the sealing chamber and discharge the supplied nitrogen; and a fan filter unit provided at an upper end of the sealing chamber and configured to flow gas inside the sealing chamber.

Description

잉크젯 공정 처리 장치{INKJET PROCESS APPARATUS} Inkjet Process Processor {INKJET PROCESS APPARATUS}

본 발명은 잉크젯 공정 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밀폐 챔버 내에 진동 차단부를 구비하여, 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단하는 잉크젯 공정 처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an ink jet processing apparatus, and more particularly, to an ink jet processing apparatus which includes a vibration blocking unit in a closed chamber to block vibration of the ink jet processing apparatus.

잉크젯 공정 처리 장치는 질소 기체가 삽입된 밀폐 챔버는 정반이 밀폐 챔버를 지지하여 비용적인 측면에서 저 비용으로 공정을 수행할 수 있는 장점이 있어 널리 사용되고 있다. The inkjet process treatment apparatus is widely used because the closed chamber in which nitrogen gas is inserted has a merit that the surface plate can support the closed chamber to perform the process at low cost in terms of cost.

그러나, 종래의 잉크젯 공정 처리 장치의 구조에서는 내부 진동 면에서 진동이 많이 일어나는 단점이 있었다. 구체적으로, 팬 필터부의 회전에 대한 진동, 질소 기체를 공급하고 배출하는 여과 시스템에 대한 진동 및 외부 충격에 대한 진동이 잉크 헤드부까지 전달되어, 잉크젯 분사시 불안정한 요소로 작용하는 문제점이 있었다.However, the structure of the conventional inkjet processing apparatus has a disadvantage in that a lot of vibration in the internal vibration. Specifically, the vibration of the fan filter unit, the vibration of the filtration system for supplying and discharging nitrogen gas, and the vibration for the external impact are transmitted to the ink head unit, which causes a problem of acting as an unstable element during inkjet injection.

특히, 플렉서블 OLED 공정에서 OLED 화소를 보호하기 위해 유기물 및 무기물 적층막을 형성하는 박막봉지(TFE; Thin Film Encapsulation)기술이 많이 적용되고 있는데 이러한 박막은 화소마다 매우 정교한 작업을 요한다. In particular, a thin film encapsulation (TFE) technology for forming organic and inorganic laminated films is applied to protect OLED pixels in the flexible OLED process, and these thin films require very sophisticated work for each pixel.

따라서, 잉크젯 공정 처리 장치에서 더욱 정교한 작업을 위해 잉크 헤더부로 진동이 전달되지 않도록 하는 장치 및 방법의 개발이 요구된다. Accordingly, there is a need for an apparatus and method for preventing vibration from being transmitted to the ink header portion for more sophisticated work in the inkjet processing apparatus.

[관련기술문헌][Related Technical Documents]

1. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법(특허출원번호 제10-2012-0154524호)1. Substrate processing apparatus and substrate processing method (Patent Application No. 10-2012-0154524)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 밀폐 챔버 내부에 진동 차단부가 구비되어, 바닥으로부터의 진동뿐만 아니라 모든 방향에서의 진동을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법에 관한 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The problem to be solved by the present invention relates to a vibration blocking device and a method of an ink jet processing apparatus which is provided with a vibration blocking unit inside a sealed chamber, and which can prevent vibration from all directions as well as vibration from the bottom.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 여과부와 밀폐 챔버 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈가 없이 여과부와 밀폐 챔버가 직접적으로 연결되어, 밀폐 챔버가 손상되거나 밀폐 챔버 내부의 기체가 밖으로 노출되지 않고, 벨로우즈의 구비에 따른 진동을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법에 관한 것이다. Another problem to be solved by the present invention is that the filtration unit and the hermetically closed chamber are directly connected without the bellows connecting both the filtration unit and the hermetically sealed chamber, so that the hermetically sealed chamber is not damaged or the gas inside the hermetically sealed chamber is exposed to the outside. The present invention relates to a vibration blocking device and a method of an ink jet processing apparatus capable of preventing vibration due to the provision of bellows.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 잉크젯 공정 처리 장치 전체를 밀폐하는 밀폐 챔버를 구비하여, 불순물 유입을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법에 관한 것이다. Another object of the present invention is to provide a vibration blocking device and a method of an ink jet processing apparatus having a sealed chamber for enclosing the entire ink jet processing apparatus, which can prevent the introduction of impurities.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치는, 기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동하는 구동부; 기판에 설정된 물질을 적층하는 잉크 헤드부; 잉크 헤드부 상단과 연결되어, 잉크 헤드부를 지지하는 헤드 지지부; 구동부 하단에 구비되어, 구동부를 지지하는 제1하부 지지부 및 제1하부 지지부와 헤드 지지부 사이에 구비되어, 제1하부 지지부 및 헤드 지지부를 지지하는 복수의 제2하부 지지부를 포함하는 하부 지지부; 하부 지지부 하단에 구비되어, 하부 지지부를 지지하여, 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단하는 진동 차단부; 잉크젯 공정 처리 장치를 밀폐하는 밀폐 챔버; 밀폐 챔버의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버로 질소를 공급하고, 공급한 질소를 배출하는 여과부; 및 밀폐 챔버의 상단에 구비되어, 밀폐 챔버 내의 기체를 유동시키는 팬 필터부를 포함한다.In order to solve the above problems, the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention, the driving unit for holding the substrate to drive in a set direction; An ink head unit for stacking a material set on a substrate; A head support connected to an upper end of the ink head to support the ink head; A lower support part provided at a lower end of the driving part and provided between the first lower support part supporting the driving part and the first lower support part and the head support part, the lower support part including a plurality of second lower support parts supporting the first lower support part and the head support part; A vibration blocking part provided at a lower end of the lower support part to support the lower support part to block vibration of the inkjet processing apparatus; An airtight chamber for enclosing the inkjet processing apparatus; A filtration unit connected to a set region of the hermetic chamber, for supplying nitrogen to the hermetic chamber and discharging the supplied nitrogen; And a fan filter unit provided at an upper end of the sealed chamber to allow gas in the sealed chamber to flow.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 진동 차단부는, 팬 필터부에서의 진동 및 여과부에서의 진동을 차단하는 것을 포함한다. According to another feature of the invention, the vibration blocking unit includes blocking the vibration in the fan filter unit and the vibration in the filtration unit.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 진동 차단부는, 밀폐 챔버의 하단부와 제1하부 지지부 하단 사이의 공간과 밀폐 챔버의 측면부와 제1하부 지지부 양측면 사이의 공간에 구비되어, 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단하는 것을 포함한다. According to another feature of the invention, the vibration blocking unit is provided in the space between the lower end of the hermetic chamber and the lower end of the first lower support portion and the space between the side portions of the hermetic chamber and both sides of the first lower support portion, the vibration of the inkjet process processing apparatus It includes blocking the.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 밀폐 챔버의 하단부의 하부에 구비되어, 밀폐 챔버를 지지하는 하부 프레임을 더 포함한다.According to another feature of the invention, the lower frame is provided in the lower portion of the closed chamber, further comprising a lower frame for supporting the closed chamber.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 방법은, 잉크젯 공정 처리 방법에 있어서, 잉크젯 공정 처리 장치를 지지하는 하부 프레임 상단에 잉크젯 공정 처리 장치를 밀폐하는 밀폐 챔버의 하단부를 생성하는 단계; 생성된 밀폐 챔버의 하단부 상단에 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단하는 진동 차단부를 생성하는 단계; 생성된 진동 차단부 상단에 기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동하는 구동부를 지지하는 제1하부 지지부를 생성하는 단계; 기판에 설정된 물질을 적층하는 잉크 헤드부 상단과 연결되어, 잉크 헤드부를 지지하는 헤드 지지부 및 헤드 지지부와 생성된 제1하부 지지부를 지지하는 복수의 제2하부 지지부를 생성하는 단계; 밀폐 챔버의 하단부에 밀폐 챔버의 측면부를 연결한 후, 연결된 밀폐 챔버의 측면부에 밀폐 챔버의 상단부를 연결하여, 밀폐 챔버를 생성하는 단계; 생성된 밀폐 챔버의 설정된 영역에 밀폐 챔버로 질소를 공급하고, 공급한 질소를 배출하는 여과부를 연결하는 단계; 및 생성된 밀폐 챔버의 상단에 밀폐 챔버 내의 기체를 유동시키는 팬 필터부를 생성하는 단계를 포함한다.In order to solve the problems described above, the vibration blocking method of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention, in the inkjet processing method, the inkjet process processing apparatus on the top of the lower frame supporting the inkjet processing apparatus Creating a lower end of the hermetically sealed chamber; Generating a vibration blocking unit for blocking vibration of the inkjet process processing apparatus on an upper end of the lower end of the sealed chamber; Generating a first lower support part supporting a driving part driven in a set direction by holding a substrate on top of the generated vibration blocking part; Generating a head support for supporting the ink head, and a plurality of second lower supports for supporting the generated first lower support, connected to an upper end of the ink head for stacking materials set on the substrate; Connecting the side surface of the hermetic chamber to the lower end of the hermetic chamber, and then connecting the upper end of the hermetic chamber to the side of the connected hermetic chamber to create a hermetic chamber; Supplying nitrogen to a closed chamber in a set region of the generated closed chamber and connecting a filtration unit for discharging the supplied nitrogen; And generating a fan filter unit configured to flow gas in the closed chamber on top of the generated closed chamber.

본 발명은 밀폐 챔버 내부에 진동 차단부가 구비되어, 바닥으로부터의 진동뿐만 아니라 모든 방향에서의 진동을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법을 제공할 수 있다. The present invention can provide a vibration blocking device and a method of the inkjet process processing apparatus which is provided with a vibration blocking unit inside the sealed chamber, which can prevent vibration from all directions as well as vibration from the bottom.

본 발명은 여과부와 밀폐 챔버 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈가 없이 여과부와 밀폐 챔버가 직접적으로 연결되어, 밀폐 챔버가 손상되거나 밀폐 챔버 내부의 기체가 밖으로 노출되지 않고, 벨로우즈의 구비에 따른 진동을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, the filter unit and the sealed chamber are directly connected without the bellows connecting both the filter unit and the sealed chamber, so that the sealed chamber is not damaged or the gas inside the sealed chamber is not exposed to the outside, and the vibration of the bellows is provided. It is possible to provide an apparatus and a method for preventing vibration of an inkjet process treating apparatus which can prevent the damage.

본 발명은 잉크젯 공정 처리 장치 전체를 밀폐하는 밀폐 챔버를 구비하여, 불순물 유입을 방지할 수 있는 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치 및 방법을 제공할 수 있다. The present invention can be provided with a vibration blocking device and method of the ink jet processing apparatus having a closed chamber for sealing the entire ink jet processing apparatus, it is possible to prevent the introduction of impurities.

발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 방법의 순서를 도시한 순서도이다.1 is a view for explaining the configuration of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining a configuration of an inkjet processing apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a flow chart illustrating a procedure of a vibration blocking method of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete, and those skilled in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the scope of the invention, and the invention is defined only by the scope of the claims.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 발명의 여러 실시 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.Each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other, partly or wholly, various technically interlocking and driving as can be understood by those skilled in the art, each of the embodiments may be independently implemented with respect to each other It may be possible to carry out together in an association.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치는 구동 부(101), 잉크 헤드부(102), 헤드 지지부(103), 하부 지지부(104, 105), 진동 차단부(106), 밀폐 챔버(107), 여과부(108-1, 108-2), 팬 필터부(109), 하부 프레임(110) 및 독립 제진대(111)를 포함한다. 1 is a view for explaining the configuration of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 1, the inkjet processing apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention may include a driving unit 101, an ink head unit 102, a head support unit 103, a lower support unit 104 and 105, The vibration blocking unit 106, the airtight chamber 107, the filtering units 108-1 and 108-2, the fan filter unit 109, the lower frame 110, and the independent vibration damping unit 111 are included.

여기서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치에서 잉크젯 공정 처리 장치는 구동부(101), 잉크 헤드부(102), 헤드 지지부(103), 하부 지지부(104, 105) 및 진동 차단부(106)를 포함하는 것을 말한다.Here, in the vibration blocking device of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention, the inkjet processing apparatus may include a driving unit 101, an ink head unit 102, a head support unit 103, a lower support unit 104 and 105. It means to include the vibration blocking unit 106.

구동부(101)는 기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동한다. 예를 들면, 구동부(101)는 OLED(Organic Light Emitting Diode) 기판을 구동부(101) 상단에 파지한 상태에서 사용자에 의하여 설정된 좌측에서 우측 방향 또는 우측 방향에서 좌측 방향으로 구동한다. The driving unit 101 grips the substrate and drives it in the set direction. For example, the driving unit 101 drives an OLED (Organic Light Emitting Diode) substrate on the upper side of the driving unit 101 to drive from left to right or right to left.

잉크 헤드부(102)는 기판에 설정된 물질을 적층한다. 구체적으로, 잉크 헤드부(102)는 기판에 복수의 유기물 층 및 복수의 무기물 층을 설정된 순서에 따라 동시에 적층할 수 있다. 예를 들면, 잉크 헤드부(102)는 기판에 유기물 층, 무기물 층과 같은 순서로 설정된 개수의 층만큼 동시에 적층할 수 있다. The ink head portion 102 stacks the material set on the substrate. In detail, the ink head unit 102 may simultaneously stack a plurality of organic layers and a plurality of inorganic layers on a substrate in a set order. For example, the ink head 102 may be stacked on the substrate at the same time as the number of layers set in the same order as the organic layer and the inorganic layer.

헤드 지지부(103)는 잉크 헤드부(102) 상단과 연결되어, 잉크 헤드부(102)를 지지한다. 즉, 헤드 지지부(103)는 잉크 헤드부(102) 상단과 연결되어, 잉크 헤드부(102)를 지지하기 때문에 잉크 헤드부(102)의 하단의 노즐에서 기판에 설정된 물질을 적층할 수 있다. The head support 103 is connected to the upper end of the ink head 102 to support the ink head 102. That is, since the head support part 103 is connected to the upper end of the ink head part 102 to support the ink head part 102, the material set on the substrate may be laminated at the nozzle at the lower end of the ink head part 102.

하부 지지부(104, 105)는 제1하부 지지부(104) 및 제2하부 지지부(105)를 포함한다. 구체적으로, 제1하부 지지부(104)는 구동부(101) 하단에 구비되어, 구동부(101)를 지지하고, 제2하부 지지부(105)는 제1하부 지지부(104)와 헤드 지지부(103) 사이에 구비되어, 제1하부 지지부(104) 및 헤드 지지부(103)를 지지한다.The lower supports 104, 105 include a first lower support 104 and a second lower support 105. In detail, the first lower support part 104 is provided at the lower end of the driving part 101 to support the driving part 101, and the second lower support part 105 is disposed between the first lower support part 104 and the head support part 103. It is provided in, and supports the first lower support portion 104 and the head support portion 103.

진동 차단부(106)는 하부 지지부(104, 105) 하단 및 밀폐 챔버(107)의 내부 사이에 구비되어, 하부 지지부(104, 105)를 지지하여, 잉크젯 공정 처리 장치(101 내지 106)의 진동을 차단한다. 구체적으로, 진동 차단부(106)는 팬 필터부(109)에서의 진동 및 여과부(108-1, 108-2) 등에서 발생되는 진동을 차단하여, 잉크젯 공정 처리 장치(101 내지 106)의 진동을 차단한다.The vibration blocking unit 106 is provided between the lower ends of the lower supports 104 and 105 and the inside of the sealed chamber 107, and supports the lower supports 104 and 105 to vibrate the inkjet processing apparatuses 101 to 106. To block. In detail, the vibration blocking unit 106 blocks vibrations generated from the fan filter unit 109 and vibrations generated from the filtering units 108-1 and 108-2 and the like, thereby vibrating the inkjet processing apparatuses 101 to 106. To block.

상기 진동 차단부(106)는 탄성이 있는 고무나 실리콘과 같은 재질로 구비될 수 있으며, 내부에 공기와 같은 기체를 수용할 수 있다. 또한, 내부에 수평방향으로 지지봉(120)이 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드의 진동은 주로 수평방향의 진동이 문제가 되는데, 상기 진동 차단부의 내부에 구비되는 지지봉에 의하여 진동 차단부 자체의 진동을 저감시켜 수평방향의 진동이 효과적으로 저감된다. 상기 지지봉은 탄성을 가지되 진동 차단부(106)보다 탄성이 작은 재질로 구비되는 것이 바람직하다.The vibration blocking unit 106 may be made of a material such as rubber or silicone with elasticity, and may receive a gas such as air therein. In addition, the support rod 120 may be provided in the horizontal direction therein. Vibration of the inkjet head is mainly a problem in the horizontal direction vibration, by the support bar provided inside the vibration blocking unit to reduce the vibration of the vibration blocking unit itself to effectively reduce the horizontal vibration. The support rod has elasticity but is preferably made of a material having a smaller elasticity than the vibration blocking unit 106.

밀폐 챔버(107)는 잉크젯 공정 처리 장치(101 내지 106)를 외부로부터 밀폐시킨다. 구체적으로, 밀폐 챔버(107)는 구동부(101) 상단에 파지된 기판을 보호하기 위해 잉크젯 공정 처리 장치(101 내지 106)를 밀폐한다. 즉, 밀폐 챔버(107) 내부에는 제1하부 지지부(104) 및 진동 차단부(106)가 포함되어 밀폐된다.The hermetic chamber 107 seals the inkjet process treating apparatus 101 to 106 from the outside. Specifically, the sealed chamber 107 seals the inkjet process processing apparatus 101 to 106 to protect the substrate held on the upper portion of the driving unit 101. That is, the first lower support part 104 and the vibration blocking part 106 are included in the sealed chamber 107 to be sealed.

여과부(108-1, 108-2)는 밀폐 챔버(107)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(107)로 질소(N2)를 공급하고, 공급한 질소를 배출시킨다. 구체적으로, 여과부(108-1, 108-2) 중 질소 공급부(108-1)는 밀폐 챔버(107)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(107)로 질소를 공급하고, 여과부(108-1, 108-2) 중 질소 배출부(108-2)는 밀폐 챔버(107)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(107) 내의 질소를 밀폐 챔버(107) 밖으로 배출한다.The filtering units 108-1 and 108-2 are connected to the set region of the hermetically closed chamber 107, supply nitrogen (N 2 ) to the hermetically sealed chamber 107, and discharge the supplied nitrogen. Specifically, the nitrogen supply unit 108-1 of the filtering units 108-1 and 108-2 is connected to a set region of the sealed chamber 107 to supply nitrogen to the sealed chamber 107, and the filter unit 108. The nitrogen discharge part 108-2 of -1, 108-2 is connected to the set area | region of the closed chamber 107, and discharges nitrogen in the closed chamber 107 out of the closed chamber 107.

본 발명의 일 실시 예에서의 질소 공급부(108-1)는 밀폐 챔버(107)의 일 측면 상부와 연결되어, 밀폐 챔버(107)로 질소를 공급하고, 질소 배출부(108-2)는 밀폐 챔버(107)의 타 측면 하부와 연결되어 밀폐 챔버(107) 내의 질소를 밀폐 챔버(107) 밖으로 배출한다. 이 과정에서 상기 질소 공급부(108-1) 및 질소 배출부(108-2) 사이에 팬 필터부(109)가 구비되어 질소의 흐름을 상하로 이동시켜 밀폐 챔버 내에서 원활한 유동을 가능하게 한다. 상기 질소 공급부(108-1)는 헤드 지지부(103)보다 상부에 결합되는 것이 바람직하며, 상기 질소 배출부(108-2)는 구동부(101)에서 파지되는 기판보다 하부에 결합되는 것이 바람직하다.In an embodiment of the present invention, the nitrogen supply unit 108-1 is connected to the upper side of one side of the sealed chamber 107 to supply nitrogen to the sealed chamber 107, and the nitrogen discharge unit 108-2 is sealed. It is connected to the lower side of the other side of the chamber 107 to discharge nitrogen in the sealed chamber 107 out of the sealed chamber 107. In this process, a fan filter unit 109 is provided between the nitrogen supply unit 108-1 and the nitrogen discharge unit 108-2 to move the flow of nitrogen up and down to enable a smooth flow in the sealed chamber. The nitrogen supply unit 108-1 is preferably coupled to an upper portion than the head support unit 103, and the nitrogen discharge unit 108-2 is preferably coupled to a lower portion of the substrate held by the driving unit 101.

여기서, 여과부(108-1, 108-2)는 밀폐 챔버(107)의 설정된 영역에 밀폐 챔버(107)와 직접적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시 예에서는 여과부(108-1, 108-2)와 밀폐 챔버(107) 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈(bellows)가 없이 여과부(108-1, 108-2)와 밀폐 챔버(107)가 직접적으로 연결된다. 따라서, 벨로우즈를 통과할 때 연결부위에서 가스가 새는 문제 및 벨로우즈관 내부에 이물질이 끼는 문제 등이 원천적으로 방지된다.Here, the filtering units 108-1 and 108-2 may be directly connected to the sealed chamber 107 in the set region of the sealed chamber 107. Specifically, in one embodiment of the present invention, there is no bellows connecting both the filtering portions 108-1 and 108-2 and the closed chamber 107, and the filtering portions 108-1 and 108-2 are not. And the hermetic chamber 107 are directly connected. Therefore, the problem of gas leaking from the connection part when passing through the bellows and the problem of foreign matter getting inside the bellows pipe is prevented at the source.

팬 필터부(109)는 밀폐 챔버(107) 상단에 구비되어, 밀폐 챔버(107) 내의 기체를 유동시킨다. 여기서, 팬 필터부(109)는 하나의 단위로 구비될 수도 있고, 복수의 단위로 구비될 수도 있다. The fan filter unit 109 is provided at an upper end of the hermetic chamber 107 to flow gas in the hermetic chamber 107. Here, the fan filter unit 109 may be provided in one unit or may be provided in a plurality of units.

하부 프레임(110)은 밀폐 챔버(107)의 하단부의 하부에 구비되어, 밀폐 챔버(107)를 지지한다. The lower frame 110 is provided below the lower end of the sealed chamber 107 to support the sealed chamber 107.

독립 제진대(111)는 지면에서의 진동을 경감시킨다. The independent vibration damper 111 reduces vibration on the ground.

종래의 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치에서는 바닥으로부터의 진동만을 방지하는 문제점이 있었고, 여과부와 밀폐 챔버 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈를 삽입하였기 때문에 벨로우즈의 용접 시나 구동 시 벨로우즈의 용접부위가 손상되어 밀폐 챔버 내부의 기체가 밖으로 노출되는 문제점이 있었다.The vibration blocking device of the conventional inkjet processing apparatus has a problem of preventing only vibration from the bottom, and since the bellows connecting both are inserted between the filtration part and the sealed chamber, the welding part of the bellows is damaged when welding or driving the bellows. There was a problem that the gas inside the sealed chamber is exposed out.

그러나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치는 제1하부 지지부(104) 및 밀폐 챔버(107) 사이에 진동 차단부(106)가 구비되어, 바닥으로부터의 진동뿐만 아니라 모든 방향에서의 진동을 방지할 수 있는 장점이 있다.However, the inkjet processing apparatus according to the embodiment of the present invention is provided with a vibration blocking unit 106 between the first lower support part 104 and the hermetically sealed chamber 107, so as to not only vibrate from the floor but also in all directions. There is an advantage that can prevent vibration.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치는 여과부(108-1, 108-2)와 밀폐 챔버(107) 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈(bellows)가 없이 여과부(108-1, 108-2)와 밀폐 챔버(107)가 직접적으로 연결되어, 밀폐 챔버(107)가 손상되거나 밀폐 챔버(107) 내부의 기체가 밖으로 노출되지 않고, 벨로우즈의 구비에 따른 진동이 없는 장점이 있다. In addition, the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention is the filtering portion 108-1 without bellows connecting both the filtering portions 108-1 and 108-2 and the sealed chamber 107. , 108-2 and the hermetically sealed chamber 107 are directly connected to each other so that the hermetically sealed chamber 107 is not damaged or the gas inside the hermetically sealed chamber 107 is not exposed to the outside, and there is no vibration due to the provision of the bellows. .

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치에서는 잉크젯 공정 처리 장치 전체를 밀폐하는 밀폐 챔버(107)를 구비하여, 불순물 유입을 방지할 수 있는 장점이 있다. In addition, the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention has an advantage of having an airtight chamber 107 that seals the entire inkjet processing apparatus, thereby preventing impurities from entering.

도 2는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치는 구동 부(201), 잉크 헤드부(202), 헤드 지지부(203), 하부 지지부(204, 205), 진동 차단부(206), 밀폐 챔버(207), 여과부(208-1, 208-2), 팬 필터부(209), 하부 프레임(210) 및 독립 제진대(211)를 포함한다. 2 is a view for explaining the configuration of the vibration blocking device of the inkjet processing apparatus according to another embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 2, the vibration blocking device of the inkjet processing apparatus according to another embodiment of the present invention may include a driving unit 201, an ink head unit 202, a head support unit 203, and a lower support unit ( 204, 205, vibration blocking unit 206, hermetically sealed chamber 207, filtration unit 208-1, 208-2, fan filter unit 209, lower frame 210 and independent vibration damper 211 Include.

여기서, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 장치에서 잉크젯 공정 처리 장치는 구동부(201), 잉크 헤드부(202), 헤드 지지부(203), 하부 지지부(204, 205) 및 진동 차단부(206)를 포함하는 것을 말한다.Here, in the vibration blocking apparatus of the ink jet processing apparatus according to another embodiment of the present invention, the ink jet processing apparatus includes a driving unit 201, an ink head 202, a head support 203, and a lower support 204, 205. And a vibration blocking unit 206.

구동부(201)는 기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동한다. 예를 들면, 구동부(201)는 OLED 기판을 구동부(201) 상단에 파지한 상태에서 사용자에 의하여 설정된 좌측에서 우측 방향 또는 우측 방향에서 좌측 방향으로 구동한다. The driving unit 201 grips the substrate and drives the set direction. For example, the driver 201 drives the OLED substrate from the left to the right direction or the right to the left direction set by the user while holding the OLED substrate on the top of the driver 201.

잉크 헤드부(202)는 기판에 설정된 잉크젯을 적층한다. 구체적으로, 잉크 헤드부(202)는 기판에 복수의 유기물 층 및 복수의 무기물 층을 설정된 순서에 따라 동시에 적층할 수 있다. 예를 들면, 잉크 헤드부(202)는 기판에 유기물 층, 무기물 층과 같은 순서로 설정된 개수의 층만큼 동시에 적층할 수 있다. The ink head portion 202 stacks the ink jets set on the substrate. Specifically, the ink head unit 202 may simultaneously stack a plurality of organic layers and a plurality of inorganic layers on a substrate in a set order. For example, the ink head unit 202 may be simultaneously stacked on the substrate by a number of layers set in the same order as the organic layer and the inorganic layer.

헤드 지지부(203)는 잉크 헤드부(202) 상단과 연결되어, 잉크 헤드부(202)를 지지한다. 즉, 헤드 지지부(203)는 잉크 헤드부(202) 상단과 연결되어, 잉크 헤드부(202)를 지지하기 때문에 잉크 헤드부(202)의 하단의 노즐에서 기판에 설정된 잉크젯을 적층할 수 있다. The head support 203 is connected to the upper end of the ink head 202 to support the ink head 202. That is, since the head support part 203 is connected to the upper end of the ink head part 202 and supports the ink head part 202, the ink jet set on the substrate can be stacked at the nozzle at the lower end of the ink head part 202.

하부 지지부(204, 205)는 제1하부 지지부(204) 및 제2하부 지지부(205)를 포함한다. 구체적으로, 제1하부 지지부(204)는 구동부(201) 하단에 구비되어, 구동부(201)를 지지하고, 제2하부 지지부(205)는 제1하부 지지부(204)와 헤드 지지부(203) 사이에 구비되어, 제1하부 지지부(204) 및 헤드 지지부(203)를 지지한다. The lower supports 204 and 205 include a first lower support 204 and a second lower support 205. In detail, the first lower support part 204 is provided at the lower end of the driving part 201 to support the driving part 201, and the second lower support part 205 is disposed between the first lower support part 204 and the head support part 203. It is provided in, and supports the first lower support portion 204 and the head support portion 203.

진동 차단부(206)는 밀폐 챔버(207)의 하단부와 제1하부 지지부(204) 하단 사이의 공간과 밀폐 챔버(207)의 측면부와 제1하부 지지부(204) 양측면 사이의 공간에 구비되어, 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단한다. 즉, 상기 진동 차단부(206)는 내부에 공기와 같은 기체를 수용할 수 있으며, 'ㄱ'자로 절곡된 형상으로 구비될 수 있다. 이러한 진동 차단부(206)에 의하여 제1하부 지지부(204)의 내부로 불순물이 유입되는 것이 방지되며, 잉크젯 헤드가 측면으로 진동하는 것을 효과적으로 방지하여 줄 수 있다.The vibration blocking unit 206 is provided in the space between the lower end of the sealed chamber 207 and the lower end of the first lower support 204 and the space between the side portions of the sealed chamber 207 and both side surfaces of the first lower support 204. It prevents vibration of the inkjet process processing apparatus. That is, the vibration blocking unit 206 may accommodate a gas such as air therein, and may be provided in a 'b' shape. The vibration blocking part 206 prevents impurities from flowing into the first lower support part 204 and effectively prevents the inkjet head from vibrating to the side.

밀폐 챔버(207)는 잉크젯 공정 처리 장치(201 내지 206)를 밀폐한다. 구체적으로, 밀폐 챔버(207)는 구동부(201) 상단에 파지된 기판을 보호하기 위해 잉크젯 공정 처리 장치(201 내지 206)를 밀폐한다. 즉, 밀폐 챔버(207) 내부에는 제1하부 지지부(204) 및 진동 차단부(206)가 포함되어 밀폐된다. The hermetic chamber 207 hermetically seals the inkjet process treating apparatus 201 to 206. Specifically, the sealed chamber 207 seals the inkjet process treating apparatus 201 to 206 to protect the substrate held on the top of the driving unit 201. That is, the first lower support part 204 and the vibration blocking part 206 are included and sealed in the sealed chamber 207.

여과부(208-1, 208-2)는 밀폐 챔버(207)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(207)로 질소를 공급하고, 공급한 질소를 배출한다. 구체적으로, 여과부(208-1, 208-2) 중 질소 공급부(208-1)는 밀폐 챔버(207)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(207)로 질소를 공급하고, 여과부(208-1, 208-2) 중 질소 배출부(208-2)는 밀폐 챔버(207)의 설정된 영역에 연결되어, 밀폐 챔버(207) 내의 질소를 밀폐 챔버(207) 밖으로 배출한다.The filtration units 208-1 and 208-2 are connected to the set region of the sealed chamber 207, supply nitrogen to the sealed chamber 207, and discharge the supplied nitrogen. Specifically, the nitrogen supply unit 208-1 of the filtration units 208-1 and 208-2 is connected to a set region of the hermetic chamber 207, supplies nitrogen to the hermetic chamber 207, and the filtration unit 208. The nitrogen discharge portion 208-2 of -1, 208-2 is connected to the set region of the sealed chamber 207 to discharge nitrogen in the sealed chamber 207 out of the sealed chamber 207.

여기서, 여과부(208-1, 208-2)는 밀폐 챔버(207)의 설정된 영역에 밀폐 챔버(207)와 직접적으로 연결된다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시 예에서는 여과부(208-1, 208-2)와 밀폐 챔버(207) 사이에 양자를 연결하는 벨로우즈가 없이 여과부(208-1, 208-2)와 밀폐 챔버(207)가 직접적으로 연결된다.Here, the filtering portions 208-1 and 208-2 are directly connected to the sealed chamber 207 in the set region of the sealed chamber 207. Specifically, in one embodiment of the present invention, the filtration unit 208-1, 208-2 and the hermetically closed chamber without the bellows connecting both the filtration unit 208-1, 208-2 and the hermetic chamber 207. 207 is directly connected.

팬 필터부(209)는 밀폐 챔버(207) 상단에 구비되어, 밀폐 챔버(207) 내의 기채를 유동시킨다. 여기서, 팬 필터부(209)는 하나의 단위로 구비될 수도 있고, 복수의 단위로 구비될 수도 있다. The fan filter unit 209 is provided at the upper end of the hermetic chamber 207 to flow the gas inside the hermetic chamber 207. Here, the fan filter unit 209 may be provided in one unit or may be provided in a plurality of units.

하부 프레임(210)은 밀폐 챔버(207)의 하단부의 하부에 구비되어, 밀폐 챔버(207)를 지지한다. The lower frame 210 is provided below the lower end of the sealed chamber 207 to support the sealed chamber 207.

독립 제진대(211)는 지면에서의 진동을 경감시킨다. The independent damping table 211 reduces vibrations on the ground.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 공정 처리 장치의 진동 차단 방법의 순서를 도시한 순서도이다. 먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 잉크젯 공정 처리 장치를 지지하는 하부 프레임 상단에 잉크젯 공정 처리 장치를 밀폐하는 밀폐 챔버의 하단부를 생성한다(S310). 3 is a flow chart illustrating a procedure of a vibration blocking method of the inkjet processing apparatus according to an embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 3, a lower end portion of an airtight chamber that seals the inkjet processing apparatus is formed on the upper end of the lower frame supporting the inkjet processing apparatus (S310).

이후, 생성된 밀폐 챔버의 하단부 상단에 잉크젯 공정 처리 장치의 진동을 차단하는 진동 차단부를 생성한다(S320).Thereafter, a vibration blocking unit for blocking the vibration of the inkjet process processing apparatus is generated on the upper end of the lower sealed chamber (S320).

이후, 생성된 진동 차단부 상단에 기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동하는 구동부를 지지하는 제1하부 지지부를 생성한다(S330).Subsequently, a first lower support part which supports the driving part which is driven in the set direction by holding the substrate on the generated vibration blocking part is generated (S330).

이후, 기판에 설정된 잉크젯을 적층하는 잉크 헤드부 상단과 연결되어, 잉크 헤드부를 지지하는 헤드 지지부 및 헤드 지지부와 생성된 제1하부 지지부를 지지하는 복수의 제2하부 지지부를 생성한다(S340).Subsequently, a head support part for supporting the ink head part and a plurality of second lower support parts for supporting the generated first lower support part are generated by being connected to an upper end of the ink head part for stacking the ink jet set on the substrate (S340).

이후, 밀폐 챔버의 하단부에 밀폐 챔버의 측면부를 연결한 후, 연결된 밀폐 챔버의 측면부에 밀폐 챔버의 상단부를 연결하여, 밀폐 챔버를 생성한다(S350).Then, after connecting the side of the sealed chamber to the lower end of the sealed chamber, by connecting the upper end of the sealed chamber to the side of the connected sealed chamber, to create a sealed chamber (S350).

이후, 생성된 밀폐 챔버의 설정된 영역에 밀폐 챔버로 질소를 공급하고, 공급한 질소를 배출하는 여과부를 연결한다(S360). Thereafter, nitrogen is supplied to the sealed chamber in the set region of the generated sealed chamber, and the filter unit for discharging the supplied nitrogen is connected (S360).

이후, 생성된 밀폐 챔버의 상단에 밀폐 챔버 내의 기체를 유동시키는 팬 필터부를 생성한다(S370). Thereafter, a fan filter unit for flowing gas in the sealed chamber is generated at the top of the generated sealed chamber (S370).

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

101 구동부
102 잉크 헤드부
103 헤드 지지부
104 제1하부 지지부
105 제2하부 지지부
106 진동 차단부
107 밀폐 챔버
108-1, 108-2 여과부
109 팬 필터부
110 하부 프레임
111 독립 제진대
201 구동부
202 잉크 헤드부
203 헤드 지지부
204 제1하부 지지부
205 제2하부 지지부
206 진동 차단부
207 밀폐 챔버
208-1, 208-2 여과부
209 팬 필터부
210 하부 프레임
211 독립 제진대101 drive
102 ink head
103 Head Support
104 First Lower Support
105 Second Lower Support
106 vibration isolation
107 airtight chamber
108-1, 108-2 Filtration part
109 Fan Filter
110 lower frame
111 Independent Dustbin
201 drive
202 ink head
203 head support
204 First Lower Support
205 Second Lower Support
206 vibration isolation
207 airtight chamber
208-1, 208-2 Filtration
209 fan filter
210 lower frame
211 Independent Dustbins

Claims (4)

잉크젯 공정 처리 장치에 있어서,
기판을 파지하여 설정된 방향으로 구동하는 구동부;
상기 기판에 설정된 물질을 적층하는 잉크 헤드부;
상기 잉크 헤드부를 지지하는 헤드 지지부;
상기 구동부 하단에 구비되어 상기 구동부 및 헤드 지지부를 지지하는 하부 지지부;
상기 구동부, 잉크 헤드부, 헤드 지지부 및 하부 지지부를 외부로부터 밀폐시키는 밀폐 챔버;
상기 하부 지지부를 지지함과 동시에 상기 잉크 헤드부의 진동을 차단하는 진동 차단부;
상기 밀폐 챔버의 설정된 영역에 연결되어, 상기 밀폐 챔버로 질소를 공급하고, 상기 공급한 질소를 배출하는 여과부; 및
상기 밀폐 챔버의 상단에 구비되어, 상기 밀폐 챔버 내의 기체를 유동시키는 팬 필터부를 포함하고,
상기 진동 차단부는 'ㄱ'자로 절곡되게 형성되며, 일부가 상기 밀폐 챔버의 하단부 및 상기 하부 지지부 하단 사이의 공간에 구비되고, 절곡된 부분이 상기 밀폐 챔버의 측면부 및 상기 하부 지지부 측면 사이의 공간에 구비되어 상기 잉크 헤드의 진동을 차단하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 공정 처리 장치.
In the inkjet processing apparatus,
A driving unit for holding the substrate and driving in a predetermined direction;
An ink head unit for stacking a material set on the substrate;
A head support for supporting the ink head;
A lower support part provided at a lower end of the driving part to support the driving part and the head support part;
A hermetically sealed chamber sealing the drive unit, the ink head unit, the head support unit and the lower support unit from the outside;
A vibration blocker which supports the lower support part and blocks vibration of the ink head part;
A filtration unit connected to a set region of the closed chamber, supplying nitrogen to the closed chamber, and discharging the supplied nitrogen; And
A fan filter provided at an upper end of the hermetically closed chamber to allow gas in the hermetically sealed chamber to flow;
The vibration blocking part is formed to be bent as a letter 'a', a part of which is provided in a space between the lower end of the sealed chamber and the lower end of the lower support, and the bent portion is provided in a space between the side of the closed chamber and the side of the lower support. The inkjet process processing apparatus is provided to block the vibration of the ink head.
제1항에 있어서,
상기 여과부는 상기 밀폐 챔버 내로 질소를 공급하는 질소 공급부 및 상기 질소를 외부로 배출시키는 질소 배출부를 포함하며,
상기 질소 공급부는 상기 밀폐 챔버의 일측면 상부에 결합되며, 상기 질소 배출부는 상기 밀폐 챔버의 타측면 하부에 결합되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 공정 처리 장치.
The method of claim 1,
The filtration unit includes a nitrogen supply unit for supplying nitrogen into the closed chamber and a nitrogen discharge unit for discharging the nitrogen to the outside,
And the nitrogen supply unit is coupled to an upper portion of one side of the sealed chamber, and the nitrogen discharge unit is coupled to a lower side of the other side of the sealed chamber.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 밀폐 챔버의 하단부의 하부에 구비되어, 상기 밀폐 챔버를 지지하는 하부 프레임을 더 포함하는 잉크젯 공정 처리 장치.The method of claim 1,
And a lower frame provided below the lower end of the hermetic chamber to support the hermetic chamber.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003048312A (en) * 2001-08-06 2003-02-18 Canon Inc Ink jet recorder and color filter manufacturing apparatus using it
KR20100102124A (en) * 2008-01-16 2010-09-20 가부시기가이샤 에스 에이 티 Thin film forming apparatus

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