JP4665260B2 - Glass substrate sealing system and sealing method - Google Patents
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Description
本発明は、周辺環境に敏感な薄膜デバイスを保護するためのガラス基板の密封システム及び密封方法に係り、特に、有機発光表示素子(OLED)ディスプレイ用ガラス基板の密封効率を向上させ得るガラス基板の密封システムに使用された移送ステージに関するものである。 The present invention relates to a glass substrate sealing system and a sealing method for protecting a thin film device sensitive to the surrounding environment, and more particularly to a glass substrate capable of improving the sealing efficiency of a glass substrate for an organic light emitting display (OLED) display. It relates to a transfer stage used in a sealing system.
有機発光表示素子(OLED)ディスプレイは、有機半導体の優れた発光特性を利用して、広い視野角を有し、画素の応答速度が非常に迅速であるので、高画質の動画を躍動感のあるように表現することができる。 Organic light-emitting display (OLED) displays have a wide viewing angle by utilizing the excellent light-emitting properties of organic semiconductors, and the response speed of pixels is very rapid, so that high-quality moving images have a dynamic feeling. Can be expressed as:
また、ディスプレイ構造が単純であり、ガラス一枚程度の厚さ(〜1mm)に構成できる超薄型ディスプレイであり、他のディスプレイと比較すれば、製造工程が簡単であり、生産費用を低減できるという長所を持つ。 In addition, the display structure is simple, and it is an ultra-thin display that can be configured to a thickness of about one glass (up to 1 mm). Compared with other displays, the manufacturing process is simple and the production cost can be reduced. Has the advantage of.
したがって、このような優れた特性により、現在、全世界的にOLEDディスプレイ及び関連材料、部品、及び装備の開発が進められており、最近は、携帯電話機、デジタルカメラ、PDA、MP3など、小型携帯用情報機器にOLEDディスプレイが利用されている。 Therefore, OLED displays and related materials, parts, and equipment are currently being developed all over the world due to such excellent characteristics. Recently, small mobile phones such as mobile phones, digital cameras, PDAs, and MP3s have been developed. OLED displays are used for information equipment.
しかし、このような有機発光表示素子(OLED)ディスプレイは、その内部に、酸素または水分によって劣化しやすい電極及び有機層を備えるので、外部の酸素または水分からこれを保護することが大変重要である。 However, since such an organic light emitting display (OLED) display includes an electrode and an organic layer that are easily deteriorated by oxygen or moisture, it is very important to protect the display from external oxygen or moisture. .
したがって、従来は、外部から酸素及び水分がディスプレイ内に流入することを防止するために、このような電極及び有機層を覆う一対のガラス基板を熱またはuvで硬化する樹脂やガラスフリット(シーリング材)などによって気密封止する密封方法が使用されていた。 Therefore, conventionally, in order to prevent oxygen and moisture from flowing into the display from the outside, a resin or glass frit (sealing material) that cures a pair of glass substrates covering such electrodes and organic layers with heat or uv. ) Or the like has been used.
一般的に、シーリング材を上板と下板の間に配置し、これを硬化させて上板と下板を封止するが、この時のシーリング材としては、ガラス成分の低温溶融材料であり、誘電体ペーストを作るために用いられる粉末ガラスを使用する。 Generally, a sealing material is disposed between an upper plate and a lower plate, and this is cured to seal the upper plate and the lower plate. The sealing material at this time is a low-temperature melting material of a glass component, which is a dielectric material. Use powdered glass used to make body paste.
このようなシーリング材は、熱またはuvで硬化する熱処理時に不純物ガスを発生するが、これはOLEDディスプレイの内部真空度を低下させ、素子特性を低下させる問題点がある。 Such a sealing material generates an impurity gas at the time of heat treatment that is cured by heat or uv, which lowers the internal vacuum of the OLED display and lowers the device characteristics.
したがって、OLEDディスプレイ内部の真空度を向上させることと素子特性低下を防止するために、大気中でシーリング材をOLEDディスプレイの前面板または背面板の周縁に形成した後、前記前面板と背面板を真空チェンバー内で装着させて前記シーリング材を溶融させることにより封着工程を遂行する真空インライン方式が研究されている。 Accordingly, in order to improve the degree of vacuum inside the OLED display and prevent deterioration of element characteristics, a sealing material is formed on the periphery of the front plate or the back plate of the OLED display in the atmosphere, and then the front plate and the back plate are mounted. Research has been made on a vacuum in-line method in which a sealing process is performed by mounting in a vacuum chamber and melting the sealing material.
前記真空インライン方式によってガラス基板をシーリング材で密封する際、所定の圧力で所定の時間の間、所定の温度を維持する場合に、シーリング材の材質によっては、溶融時にシーリング材の流動が発生し、同一な温度で何回もの溶融過程を経るため、バブルが発生するという問題点があった。 When sealing a glass substrate with a sealing material by the vacuum in-line method and maintaining a predetermined temperature for a predetermined time at a predetermined pressure, the sealing material may flow during melting depending on the material of the sealing material. There is a problem that bubbles are generated because the melting process is repeated many times at the same temperature.
本発明はこのような問題点を解決するために発明されたものであって、本発明の目的は、ガラス基板の間のシーリング材の溶融時の流動及びバブルの発生を防止できるガラス基板の密封システム及び密封方法を提供することにある。 The present invention has been invented to solve such problems, and an object of the present invention is to seal a glass substrate that can prevent the flow of the sealing material between the glass substrates and the generation of bubbles. It is to provide a system and a sealing method.
本発明の一実施例によれば、複数のディスプレイパッケージを有するガラス基板の密封システムが提供される。 According to an embodiment of the present invention, a glass substrate sealing system having a plurality of display packages is provided.
前記ガラス基板の密封システムは、前記ガラス基板の間に配置された複数のディスプレイパッケージに沿って配置されたシーリング材を加熱溶融して気密密封部を形成するためのレーザー加工組立体と、前記レーザー加工組立体の下方に配置された作業テーブルに前記ガラス基板を供給するための移送組立体と、前記作業テーブルに前記移送組立体を通じて連続的にガラス基板が供給されるように前記ガラス基板を保有するバッファー組立体とを含み、前記作業テーブルは、前記移送組立体が前記ガラス基板を配置する際に前記ガラス基板を1次整列する仮位置整列手段と、前記ガラス基板と2次整列するための精密整列手段と、前記レーザー加工組立体から照射されるビーム照射方向に対向する方向に空気を噴射する複数の噴射口とを含むことを特徴とする。 The glass substrate sealing system includes a laser processing assembly for forming a hermetic seal by heating and melting a sealing material disposed along a plurality of display packages disposed between the glass substrates, and the laser. A transfer assembly for supplying the glass substrate to a work table disposed below the processing assembly, and the glass substrate being held so that the glass substrate is continuously supplied to the work table through the transfer assembly. And a buffer assembly for temporarily aligning the glass substrate when the transfer assembly places the glass substrate, and a work table for secondary alignment with the glass substrate. Precision alignment means, and a plurality of injection ports for injecting air in a direction opposite to the beam irradiation direction irradiated from the laser processing assembly And wherein the door.
本発明の他の特徴によれば、一対のガラス基板の間に配置された複数のディスプレイパッケージに沿って配置された各々のシーリング材に沿って、レーザー加工組立体を利用してレーザービームを照射することによって気密密封部を形成するガラス基板の密封方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, a laser beam is irradiated using a laser processing assembly along each sealing material disposed along a plurality of display packages disposed between a pair of glass substrates. Thus, a glass substrate sealing method for forming an airtight seal is provided.
前記レーザー加工組立体の下方に配置された作業テーブルに移送組立体によって、前記ガラス基板が配置される際に1次整列され、前記ガラス基板がマスク組立体と2次整列される際に前記レーザー加工組立体からビームが照射され、前記照射されるビームに対向して、前記作業テーブルの噴射口から上方へ空気が噴射されることを特徴とする。 The glass substrate is primarily aligned with a transfer assembly on a work table disposed below the laser processing assembly, and the laser is aligned when the glass substrate is secondarily aligned with a mask assembly. A beam is emitted from the machining assembly, and air is jetted upward from the jetting port of the work table so as to face the beam to be irradiated.
本発明の一実施例によれば、多数のマルチ出力ヘッドを有するレーザー加工システムを利用して、複数の有機発光表示素子を同時にインライン加工することができるので、作業効率が増大する。従って、極めて短時間内に作業を行うことができてシーリング材のバブルの発生を防止することができる。 According to an embodiment of the present invention, since a plurality of organic light emitting display elements can be simultaneously processed in-line using a laser processing system having a large number of multi-output heads, work efficiency is increased. Therefore, the work can be performed within an extremely short time, and generation of bubbles of the sealing material can be prevented.
また、本発明の一実施例によれば、多数の出力ヘッドから照射されるレーザービームに対向して、所定の空気圧を有する空気が噴射されるので、レーザービームにより加熱溶融されたシーリング材が流動せず、周辺素子を汚染させないようになる。 Also, according to one embodiment of the present invention, air having a predetermined air pressure is jetted against the laser beams emitted from a number of output heads, so that the sealing material heated and melted by the laser beams flows. Without contaminating the peripheral elements.
次に、図面を参照して、本発明の一実施例による有機発光表示素子ディスプレイ用ガラス基板の密封システムを詳しく説明する。 Next, a glass substrate sealing system for an organic light emitting display device display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1及び図2は、本発明の一実施例によるガラス基板の密封システムの概略図である。すなわち、本発明は一対のガラス基板間に形成する複数の発光素子をシーリング材によって密封するディスプレイパネルの密封システムであり、後述のレーザー加工部とガラス基板移送部とを備えている。 1 and 2 are schematic views of a glass substrate sealing system according to an embodiment of the present invention. That is, the present invention is a display panel sealing system that seals a plurality of light-emitting elements formed between a pair of glass substrates with a sealing material, and includes a laser processing unit and a glass substrate transfer unit described later.
本実施例において、ディスプレイは、有機発光表示素子(OLED)ディスプレイとして説明されるが、同一又は類似の密封工程は、同様に一対のガラス基板で囲まれた空間を両ガラス基板で密封する必要のある他のディスプレイまたは光学素子の製作にも適用できることを、当該技術分野の通常の知識を有する者は容易に理解するだろう。尚、「OLEDディスプレイ」とは上下部ガラス基板のうちの少なくとも1つに対してOLEDsを構成する電極又は有機層を蒸着し、前記上下部ガラス基板の角部に沿ってシーリング材(frit;フリット)106を蒸着して構成されるものである。一方、「ディスプレイパッケージ」とは上下部ガラス基板内に電極又は有機層、あるいは他の構成要素が含まれているか否かに関係なく、上下部ガラス基板がシーリング材で密封されたものを意味するものである。図1(a)において、シーリング材106で区切られた領域1個、1個がディスプレイパッケージ103に相当する。また、図1(b)において、符号104は電極、有機素子(有機層)などを示し、符号108は凝固されたシーリング材を意味する。
In this example, the display is described as an organic light emitting display (OLED) display, but the same or similar sealing process requires that the space surrounded by a pair of glass substrates be similarly sealed by both glass substrates. Those with ordinary skill in the art will readily appreciate that it can also be applied to the fabrication of certain other displays or optical elements. The “OLED display” means that electrodes or organic layers constituting OLEDs are vapor-deposited on at least one of the upper and lower glass substrates, and a sealing material (frit) is formed along the corners of the upper and lower glass substrates. ) 106 is deposited. On the other hand, the “display package” means that the upper and lower glass substrates are sealed with a sealing material regardless of whether the upper and lower glass substrates include an electrode or an organic layer or other components. Is. In FIG. 1A, one area and one area delimited by the sealing
図1及び図2を参照すれば、ガラス基板101、102の密封システム100は、ガラス基板101、102上に形成された複数のOLEDの間をシーリング材106で区域づけ、レーザービームを前記シーリング材106に照射して気密密封部を形成するレーザー加工組立体110と、複数のOLEDが同時に配置されたガラス基板101、102を移送するための移送組立体120と、レーザー加工作業によって発生する不純物ガスなどを排気し、ガラス基板101、102の密封システム100を所定の圧力に維持するためのクリーンルーム組立体130と、作業を連続的に持続するために、移送組立体120により移送されるガラス基板101、102をロボットにより収容するバッファー組立体140とを含む。
Referring to FIGS. 1 and 2, the sealing system 100 of the
前記レーザー加工組立体110は図1に示されているように、レーザー発振器11からフレキシブルチャンネル15により各々のマルチ出力ヘッド14を通してレーザービームが照射されるように構成されることもでき、図2に示されているように、レーザー発振器11、反射部材12、複数の第1結合レンズ13、マルチ出力ヘッド部14、複数のフレキシブルチャンネル15、及び複数の第2結合レンズ16を含み、複数のフレキシブルチャンネル15がレーザー発振器11とマルチ出力ヘッド部14とを連結して、水平の複数のレーザービームを照射するので、一枚のガラス基板上に複数のOLEDを密封することができるように構成することもできる。すなわち、レーザー加工組立体110は、上記ガラス基板101、102間に収められる複数の発光素子(104等)を互い隔離するように配置した上記シーリング材106を加熱溶融させて複数の気密空間を形成するためのレーザービームを照射するレーザー加工部である。
As shown in FIG. 1, the
前記レーザー発振器11は、前記シーリング材106を効果的に加熱し、軟化させて、前記シーリング材106にとって前記上下部ガラス基板101、102を気密密封することができるように、例えば、600乃至1200nmのTi:サファイアレーザーを利用しており、平均出力60Wを有するので、高温低圧で極めて短時間内に作業を行い、したがって、バブルやクラックの発生を防止することができる。
The
前記反射部材12は、前記レーザー発振器11から放射したレーザービームの角度を変化させて、前記複数の第1結合レンズ13に入射させる。
The reflection member 12 changes the angle of the laser beam emitted from the
複数の第1結合レンズ13は、前記反射部材12によって反射した前記レーザービームが入射されて、その断面レーザー密度が均一であるように射出できるようにするレンズである。
The plurality of
第1結合レンズ13は凹レンズを含むことにより、その一側から入射するレーザービームが均一に分割されて、放射できるようにする。
The
フレキシブルチャンネル15は、前記第1結合レンズ13から射出した前記レーザービームが一端に入力され、他端に出力される光経路部材である。一実施例において、フレキシブルチャンネル15は光ファイバで作ることができる。
The
したがって、本発明によるディスプレイ用ガラス基板の密封システムに使用されたレーザー加工組立体110は、前記第1結合レンズ13をマルチ出力ヘッド部14まで光ファイバで連結すれば、レーザービーム経路が迅速に構成できる。
Accordingly, in the
この時、前記レーザー加工組立体110は、レーザーの加工状態をモニタリングすることができるビジョン組立体、前記レーザー加工組立体の位置を整列させるためのX、Y、Z移送ボードなどをさらに備えることができ、マスク組立体105をさらに備えることができる。
At this time, the
次に、図3及び図4を参照して、レーザービーム照射時の熱影響及びシーリング材の流動化を防止するための密封システム及びその作動方法について詳しく説明する。 Next, with reference to FIG.3 and FIG.4, the sealing system for preventing the thermal influence at the time of laser beam irradiation and the fluidization of a sealing material and its operating method are demonstrated in detail.
図3は、本発明の一実施例によるガラス基板の密封システムに使用された作業テーブルの概略側面図であり、図4は、本発明の一実施例による作業テーブルの精密整列手段が下部に配置された作業テーブル40の平面図である。 FIG. 3 is a schematic side view of a work table used in a glass substrate sealing system according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 illustrates a precision alignment unit of the work table according to an embodiment of the present invention. It is a top view of the work table 40 made.
本発明の一実施例によれば、本発明の作業テーブル40は、上部には、マスク組立体105を収容できるマスクホルダー41を備え、前記マスク組立体105及びガラス基板101、102が前記移送組立体120により移送されて前記作業テーブル40に配置される際、容易に安着して整列できるように、ガイド突起部20をその周縁に備える。すなわち、移送組立体120は上記レーザー加工部の下方に配置された作業テーブル40上に上記一対のガラス基板101、102を供給するためのガラス基板移送部である。
According to an embodiment of the present invention, the work table 40 of the present invention includes a mask holder 41 that can accommodate a
前記作業テーブル40は石で作った台に上に配置され、その内部に中空部45が形成されており、前記中空部45に複数の噴射口45aが所定のパターンに配置されている。
The work table 40 is arranged on a table made of stone and has a
前記噴射口45aは、グルーブの形態に形成されたノズルであることもでき、前記噴射口45aは、前記ガラス基板101、102上に配置されたシーリング材106のパターンに対応するパターンで形成される。
The spray port 45a may be a nozzle formed in a groove shape, and the spray port 45a is formed in a pattern corresponding to the pattern of the sealing
一方、前記シーリング材106のパターンに対応して、マスク組立体105上にも所定の網パターンが形成されるので、前記噴射口45aのパターンはマスク組立体105のパターンとも対応する。尚、マスク組立体105の縁と網パターンとの間にはダミー領域が存在するために、マスク組立体105はバラバラにならない。
On the other hand, since a predetermined net pattern is formed on the
前記噴射口45aを通して、所定の空気圧に制御された空気が供給される。この時、前記空気圧は、前記中空部45に連結された空気ポンプ50により、一次的に所定の圧力まで上昇した後、制御部60により下降されながら、所定の圧力に微細制御されるように構成されている。このように前記噴射口45aは、溝又はスリットの形態に形成されており、格子状に配置したシーリング材106に選択的に空気を集中して噴射するためのものである。尚、噴射口45aはシーリング材106が配置される区切り領域に沿って配置されるものである。
Air controlled to a predetermined air pressure is supplied through the injection port 45a. At this time, the air pressure is raised to a predetermined pressure temporarily by the air pump 50 connected to the
前記作業テーブル40は、下方に制御基台(uvw移送ステージ)30をさらに備える。図4において、前記作業テーブル40の下方に配置されることを表示するために点線で示した。前記制御基台30はx、y軸方向に微細に精密移動できるだけでなく、θ軸方向に微細で精密に移動できるので、前記ガラス基板上に形成された複数のディスプレイのシーリング材106の各々が、マスク組立体105上のパターン及び噴射口45aのパターンと精密に調整し整列させることができる。このように上記作業テーブル40は、ガラス基板101、102を1次整列させる整列手段と、上記レーザー加工部から照射されるレーザービームの照射方向と反対方向(ビーム照射方向に対向する方向)から空気を上記シーリング材106が位置する部分のガラス基板101、102へ噴射させる複数の空気の噴射口45aとを備えている。
The work table 40 further includes a control base (uvw transfer stage) 30 below. In FIG. 4, a dotted line is shown to indicate that the work table 40 is arranged below the work table 40. Since the
従って、本発明の一実施例によれば、前記レーザー加工組立体110の下方に配置された作業テーブル40に、移送組立体120によって前記ガラス基板101、102が配置される際に、マスク組立体105とガラス基板101、102をガイド突起部20によりおおまかに仮位置決めして1次整列し、前記ガラス基板101、102がマスク組立体105に対し、前記制御基台30により2次的に精密整列した後に、前記レーザー加工組立体110からビームが照射され、この時、前記照射されるビームに対向して、前記作業テーブル40の噴射口45aから上方へ空気が噴射されて、ガラス基板101、102上に配置されたシーリング材106が流動せずに、所定の圧力下で気密密封できる。
Therefore, according to an embodiment of the present invention, when the
前記作業テーブル40は、上面にその周縁に沿ってO−リング43を配置していて、前記ガラス基板101、102が前記O−リング43上に配置され、前記噴射口45aを通して所定の空気圧を有する空気を噴射することによって、前記ガラス基板101、102の下部が一定の圧力状態に維持される。
The work table 40 has an O-
つまり、前記O−リング43は、ガラス基板101、102が作業テーブル40の上面に配置される際、前記噴射口45aから送風された空気が外部に漏れ出さないようにすることによって、前記ガラス基板101、102及びマスク組立体105に向かって一定の圧力で上方加えられるようにする。
That is, the O-
したがって、レーザービーム照射によってシーリング材106が加熱軟化し、何回も溶融しても、下方から空気圧が上方に加えられるためシーリング材が上方に向かって凝固され、流動を防止することができる。
Therefore, even when the sealing
従って、シーリング材106が溶融しても周辺へ流動せず、電極や有機層に影響を与えることがなくなって素子が劣化されることを防止することができる。
Therefore, even if the sealing
一方、本発明の一実施例において、前記空気圧を調節するために、前記噴射口45aは油圧ホースに連結され、油圧ホースの圧力はソレノイドバルブにより制御されることもできる。 Meanwhile, in one embodiment of the present invention, in order to adjust the air pressure, the injection port 45a is connected to a hydraulic hose, and the pressure of the hydraulic hose can be controlled by a solenoid valve.
前記ソレノイドバルブは、再び主バルブと微細バルブとに構成されて、主バルブを利用して一定の圧力に上昇させるように構成され、前記微細バルブを利用して、上昇した圧力を少しずつ低くしながら一定の圧力を合わせるように構成されている。 The solenoid valve is configured again as a main valve and a fine valve, and is configured to increase to a constant pressure using the main valve, and the increased pressure is gradually reduced using the fine valve. However, it is configured to adjust a certain pressure.
また、このような油圧制御は、主バルブと微細バルブとに連結された制御器60によって遠隔的に制御されることができる。
Such hydraulic control can be remotely controlled by a
本発明のいくつかの具体的な例が添付した図面で説明され、前述の詳細な説明で記述されたが、本発明は開示された具体的な例に限られるわけではなく、本発明の特許請求の範囲で説明されて定義されているように、本発明の範囲を超えない限り、色々な修正、変更及び代替が可能である。 While several specific examples of the present invention have been illustrated in the accompanying drawings and described in the foregoing detailed description, the present invention is not limited to the specific examples disclosed, and Various modifications, changes and substitutions may be made without departing from the scope of the present invention as described and defined in the claims.
11 レーザー発振器
12 反射部材
13 第1結合レンズ
14 マルチ出力ヘッド部
15 フレキシブルチャンネル
20 ガイド突起部
30 制御基台
40 作業テーブル
41 マスクホルダー
43 O−リング
45 中空部
45a 噴射口
60 制御器
100 密封システム
101、102 ガラス基板
103 ディスプレイパッケージ
105 マスク組立体
106 シーリング材
110 レーザー加工組立体
120 移送組立体
130 クリーンルーム組立体
140 バッファー組立体
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記ガラス基板の間に配置された複数のディスプレイパッケージに沿って配置されたシーリング材を加熱溶融して気密密封部を形成するためのレーザー加工組立体と、
前記レーザー加工組立体の下方に配置された作業テーブルに前記ガラス基板を供給するための移送組立体と、
前記作業テーブルに、前記移送組立体を通じて連続的にガラス基板が供給されるように、前記ガラス基板を保有するバッファー組立体を含み、
前記作業テーブルは、前記移送組立体が前記ガラス基板を配置する際に前記ガラス基板を1次整列する仮位置整列手段と、前記ガラス基板と2次整列するための精密整列手段と、前記レーザー加工組立体から照射されるビーム照射方向に対向する方向に空気を噴射する複数の噴射口とを含む、ガラス基板の密封システム。 In a glass substrate sealing system having a plurality of display packages,
A laser processing assembly for heating and melting a sealing material disposed along a plurality of display packages disposed between the glass substrates to form an airtight seal;
A transfer assembly for supplying the glass substrate to a work table disposed below the laser processing assembly;
A buffer assembly for holding the glass substrate so that the glass substrate is continuously supplied to the work table through the transfer assembly;
The work table includes temporary position alignment means for primarily aligning the glass substrate when the transfer assembly places the glass substrate, precision alignment means for secondary alignment with the glass substrate, and laser processing. A glass substrate sealing system, comprising: a plurality of injection ports for injecting air in a direction opposite to a beam irradiation direction irradiated from the assembly.
前記レーザー加工組立体の下方に配置された作業テーブルに、移送組立体によって前記ガラス基板が配置される際に1次整列され、
前記ガラス基板がマスク組立体と2次整列される際に、前記レーザー加工組立体からビームが照射され、
前記照射されるビームに対向して、前記作業テーブルの噴射口から上方へ空気が噴射されるガラス基板の密封方法。 Glass that forms a hermetic seal by irradiating a laser beam using a laser processing assembly along each sealing material arranged along a plurality of display packages arranged between a pair of glass substrates In the sealing method of the substrate,
When the glass substrate is arranged by a transfer assembly on a work table arranged below the laser processing assembly, it is primarily aligned.
When the glass substrate is secondarily aligned with the mask assembly, a beam is emitted from the laser processing assembly;
A glass substrate sealing method in which air is jetted upward from a jet port of the work table so as to face the irradiated beam.
The spray port is formed in a mesh pattern along each sealing material disposed along a plurality of display packages, and the air pressure of the spray port of the mesh pattern is simultaneously increased to a predetermined pressure; The glass substrate sealing method according to claim 7, wherein fine adjustment is performed while lowering the air pressure that has risen to the pressure.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10145905B2 (en) | 2014-07-24 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Gas cell sealing method |
Families Citing this family (4)
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06337429A (en) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | M B K Maikurotetsuku:Kk | Press and alignment device for liquid crystal cell |
JP2000251720A (en) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | Sealing method and manufacturing device for image display device |
JP2001237066A (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Toray Ind Inc | Organic electroluminescent device and manufacturing method of the same |
JP2006524419A (en) * | 2003-04-16 | 2006-10-26 | コーニング インコーポレイテッド | Glass package sealed with frit and manufacturing method thereof |
JP2006318862A (en) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Futaba Corp | Manufacturing method of vacuum display panel |
JP2007200890A (en) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Samsung Sdi Co Ltd | Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor |
JP2007227343A (en) * | 2006-02-20 | 2007-09-06 | Samsung Sdi Co Ltd | Substrate adhesion apparatus and method for sealing organic electroluminescent display using same |
JP2007299548A (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Rohm Co Ltd | Manufacturing method of sealed container |
JP2007299549A (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Rohm Co Ltd | Image device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005203286A (en) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Sanyo Electric Co Ltd | Display panel and its manufacturing method |
JP2005209413A (en) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Sanyo Electric Co Ltd | Manufacturing method of display panel and display panel |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06337429A (en) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | M B K Maikurotetsuku:Kk | Press and alignment device for liquid crystal cell |
JP2000251720A (en) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | Sealing method and manufacturing device for image display device |
JP2001237066A (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Toray Ind Inc | Organic electroluminescent device and manufacturing method of the same |
JP2006524419A (en) * | 2003-04-16 | 2006-10-26 | コーニング インコーポレイテッド | Glass package sealed with frit and manufacturing method thereof |
JP2006318862A (en) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Futaba Corp | Manufacturing method of vacuum display panel |
JP2007200890A (en) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Samsung Sdi Co Ltd | Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor |
JP2007227343A (en) * | 2006-02-20 | 2007-09-06 | Samsung Sdi Co Ltd | Substrate adhesion apparatus and method for sealing organic electroluminescent display using same |
JP2007299548A (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Rohm Co Ltd | Manufacturing method of sealed container |
JP2007299549A (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Rohm Co Ltd | Image device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10145905B2 (en) | 2014-07-24 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Gas cell sealing method |
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Publication number | Publication date |
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