KR102019611B1 - 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법 - Google Patents

드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법 Download PDF

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Abstract

드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법이 개시된다. 본 발명의 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법으로서, 상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 단계; 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 풍도 구간에 설치하기 위해, 상기 풍도 구간에 설치된 모듈 지지용 구조물 위에 모듈 설치용 구조물을 교차되게 설치하고, 상기 모듈 설치용 구조물 위에 안내레일을 교차되게 설치하는 단계; 상기 안내레일에 드라이 쿨링 코일 모듈을 바퀴에 의해 진입시켜 안착시키는 단계; 상기 풍도의 외벽측에 위치하는 모듈 설치용 구조물 위에 두 개의 기계식 리프트잭을 설치하여 모듈의 양측에 고정하고, 상기 풍도의 내벽측에 위치하는 공정실의 바닥에 유압식 리프트잭을 설치한 후, 상기 기계식 및 유압식 리프트잭에 의해 모듈을 안내레일로부터 리프팅시키는 단계; 상기 모듈의 리프팅 후, 상기 바퀴와 안내레일을 제거하는 단계; 및 상기 바퀴와 안내레일의 제거 후, 상기 모듈을 모듈 설치용 구조물 위에 안착시켜 기계식 및 유압식 리프트잭을 제거하고 고정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법{METHOD FOR INSTALLING DRY COOLING COIL MODUIE}
본 발명은 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(FAB)에서 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 드라이 쿨링 코일을 모듈화하여 공정실의 내벽과 외벽 사이에 마련되는 풍도 구간에 설치할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 것이다.
일반적으로, 고도의 청정도와 정밀도가 요구되는 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(FAB)의 내부는 외부에서 청정도와 온습도가 제어된 공기가 급기/배기덕트를 통해 공급 및 배출된다. 그리고 급기덕트를 통해 공급된 공기의 일부는 외부로 배출 또는 누출되어 손실이 발생하나, 나머지 일부는 공정실 내부에서 순환되어 재사용되게 된다. 이렇게 재사용되는 공기는 공정실 내부의 생산 장비에서 발생하는 열이나 작업자의 체온 등에 의해 가열되기 때문에 공정실 내부 온도를 일정하게 유지시키기 위해 다시 냉각시키게 된다. 이를 위해, 공정실의 내벽과 외벽 사이에 공기가 순환될 수 있는 풍도가 마련되고, 풍도에는 반도체 또는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따라 가열된 공정실의 공기를 재냉각시키도록 냉수가 흐르는 동관 및 동관의 주변에 열교환을 위한 방열핀으로 구성된 드라이 쿨링 코일(DCC)이 설치된다. 즉, 공정실 내부에서 풍도를 통해 순환되는 공기는 드라이 쿨링 코일을 통과하면서 재냉각된다.
이러한 풍도에는 드라이 쿨링 코일을 견고하게 고정 지지할 수 있도록 각형 파이프 또는 디귿자(ㄷ) 형강 또는 에이치빔 등으로 드라이 쿨링 코일 지지용 구조물을 먼저 설치하고, 그 구조물에 드라이 쿨링 코일을 견고하게 고정하며, 드라이 쿨링 코일의 내부를 순환하는 냉수를 공급 및 배출하기 위한 냉수 배관과 이를 지지하기 위한 구조물 및 외부에서 제어된 공기를 공급하는 급기/배기덕트와 그 구조물 등이 같이 설치되게 된다.
그러나, 종래의 드라이 쿨링 코일의 설치시 드라이 쿨링 코일 지지용 구조물, 냉수 배관 및 각종 구조물 등은 기존에 현장에서 풍도에 순차적으로 설치되고 그 위에 드라이 쿨링 코일이 설치되기 때문에 많은 인력 및 시간이 필요하고, 이로 인하여 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정을 완성하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.
또한, 풍도는 공기의 순환을 위해 공정실의 상층부와 하층부가 개방되도록 건축용 철골구조물(일반적으로 에이치빔)으로만 구성됨에 따라 작업과정에서 구조물의 낙하, 작업자의 추락 등의 안전사고가 발생할 수 있는 매우 위험한 공간으로, 작업시 안전사고가 발생하지 않도록 주의를 기울임과 동시에 안전하게 작업할 수 있는 방안을 마련해야 하는 번거로운 문제점이 있다.
또한, 작업자들이 풍도 내부에서 작업시 진/출입용 안전 발판과 추락 방지용 생명줄을 설치한 후, 안전벨트를 착용한 상태로 안전고리를 생명줄에 걸고 작업을 해야하고, 낙하물에 의한 안전사고 등이 발생하지 않도록 대비를 하고 작업을 진행해야 하는 불편한 문제점이 있다.
따라서, 드라이 쿨링 코일을 공장에서 모듈화한 후, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실로 운반하여 풍도 구간에 설치할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 연구개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
대한민국 등록특허 제10-1082000호
본 발명의 기술적 과제는, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(FAB)의 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 공장에서 모듈화하고, 모듈화된 드라이 쿨링 코일을 현장으로 운반하여 공정실의 풍도 구간에 설치할 수 있는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제는, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법으로서, 상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 단계; 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 풍도 구간에 설치하기 위해, 상기 풍도 구간에 설치된 모듈 지지용 구조물 위에 모듈 설치용 구조물을 교차되게 설치하고, 상기 모듈 설치용 구조물 위에 안내레일을 교차되게 설치하는 단계; 상기 안내레일에 드라이 쿨링 코일 모듈을 바퀴에 의해 진입시켜 안착시키는 단계; 상기 풍도의 외벽측에 위치하는 모듈 설치용 구조물 위에 두 개의 기계식 리프트잭을 설치하여 모듈의 양측에 고정하고, 상기 풍도의 내벽측에 위치하는 공정실의 바닥에 유압식 리프트잭을 설치한 후, 상기 기계식 및 유압식 리프트잭에 의해 모듈을 안내레일로부터 리프팅시키는 단계; 상기 모듈의 리프팅 후, 상기 바퀴와 안내레일을 제거하는 단계; 및 상기 바퀴와 안내레일의 제거 후, 상기 모듈을 모듈 설치용 구조물 위에 안착시켜 기계식 및 유압식 리프트잭을 제거하고 고정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 의해 달성된다.
상기 드라이 쿨링 코일 모듈은, 상,하부프레임이 지지프레임에 의해 일정 간격을 두고 연결되되, 상기 상부프레임에 상기 드라이 쿨링 코일이 설치되고, 상기 하부프레임에 점검 통로 및 바퀴가 설치되도록 모듈화되는 것을 특징으로 한다.
상기 드라이 쿨링 코일 모듈은, 상기 공정실의 풍도 구간에 설치시 각각 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트가 서로 인접되도록 하나씩 순차적으로 배치되어 결속되고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관이 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 바퀴는, 상기 모듈의 적어도 4곳에 탈착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 안내레일은, 상기 모듈 설치용 구조물 위에 상기 모듈의 바퀴와 대응되는 간격으로 평행하게 설치되는 한 쌍으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 안내레일의 개체는, 일체형으로 형성되거나 또는 적어도 2개로 분할 형성되어 상기 모듈 설치용 구조물에 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 안내레일은, 그 내측에 고정 브라켓이 돌출 형성되어 상기 모듈 설치용 구조물에 레일 고정용 클램프에 의해 탈착 가능하게 고정되는 것을 특징으로 한다.
상기 기계식 리프트잭은, 상기 모듈 설치용 구조물 위에 지지되는 받침대; 상기 받침대 위에 회전 가능하게 결합되는 나사축; 상기 나사축에 결합되고 상기 모듈에 탈착 가능하게 체결되는 모듈 체결용 브라켓; 및 상기 나사축의 상부에 결합되는 조작핸들;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(FAB)에서 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 공장에서 모듈화하고, 드라이 쿨링 코일모듈을 공정실로 운반하여 풍도 구간에 안내레일에 의해 설치함으로써, 드라이 쿨링 코일 모듈에 의해 기존의 복잡한 설치 과정을 단순화하고 편리성을 향상시켜 시공 일정을 현저하게 단축할 수 있고, 안내레일에 의해 풍도 구간에 안전하고 신속하게 설치할 수 있는 유용한 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법을 보인 흐름도이다.
도 2는 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 개체를 개략적으로 보인 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일을 개략적으로 보인 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 냉수 배관을 개략적으로 보인 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 개체 상태의 드라이 쿨링 코일 모듈을 공정실의 풍도 구간에 설치시 적어도 2 내지 4개의 모듈이 하나로 결속되고, 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관이 설치된 상태를 보인 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치를 위해, 공정실의 풍도 구간에 모듈 설치용 구조물 및 안내레일이 설치된 상태를 보인 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 안내레일이 모듈 설치용 구조물에 고정된 상태를 보인 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈이 안내레일에 진입하여 안착된 상태를 보인 도면이다.
도 9은 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈을 기계식과 유압식 리프트잭에 의해 리프팅시키는 상태를 보인 도면이다.
도 10과 도 11은 도 9에 도시된 기계식 리프트잭을 보인 도면이다.
도 12는 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈이 풍도 구간에 완전히 설치된 상태를 보인 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 도 1에 도시된 바와 같이, 드라이 쿨링 코일(14)을 조립하여 모듈화하는 단계(S100)와, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 설치되는 모듈 지지용 구조물(3) 위에 모듈 설치용 구조물(20)을 교차되게 설치하고, 모듈 설치용 구조물(20) 위에 안내레일(30)을 교차되게 설치하는 단계(S200)와, 안내레일(30)에 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 바퀴(19)에 의해 진입시켜 안착시키는 단계(S300)와, 풍도(2)의 외벽(1B) 측에 위치하는 모듈 설치용 구조물(20) 위에 두 개의 기계식 리프트잭(40)을 설치하여 모듈(10)의 양측에 고정하고, 풍도(2)의 내벽(1A) 측에 위치하는 공정실(1)의 바닥에 유압식 리프트잭(50)을 설치한 후, 기계식 및 유압식 리프트잭(40, 50)에 의해 모듈(10)을 안내레일(30)로부터 리프팅시키는 단계(S400)와, 모듈(10)의 리프팅 후, 바퀴(19)와 안내레일(30)을 제거하는 단계(S500)와, 그리고 바퀴(19)와 안내레일(30)의 제거 후, 모듈(10)을 모듈 설치용 구조물(20) 위에 안착시켜 기계식 및 유압식 리프트잭(40, 50)을 제거하고 고정하는 단계(S600)를 포함한다.
본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(1)의 풍도(2) 구간에서 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 장치로서, 그 설치과정을 상세하게 설명한다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 상,하부프레임(12)이 지지프레임(13)에 의해 일정 간격을 두고 연결되도록 조립하되, 상부프레임(11)에는 드라이 쿨링 코일(14)을 설치하고, 하부프레임(12)에는 점검 통로(16), 냉수 배관(18) 및 바퀴(19) 등을 설치하여 일체로 모듈화한다(S100). 즉, 드라이 쿨링 모듈(10)은 상기와 같이 독립된 단위 개체로 모듈화된 후 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 하나씩 순차적으로 설치하게 되는 것이다.
드라이 쿨링 코일(14)은 반도체 또는 평판 디스플레이 소자의 제조에 따라 가열된 공정실(1)의 공기를 재냉각시키도록 냉수가 흐르는 동관(14A)과, 동관(14A)의 주변에 열교환을 위해 배치되는 방열핀(14B)으로 구성되어 상부프레임(11)에 설치되게 된다.
바퀴(19)는 공장에서 조립된 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 운반 및 설치의 용이한 구조를 확보하기 위해 모듈(10)의 적어도 4곳에 탈착 가능하게 설치되게 된다. 이를 위해서, 바퀴(19)는 하부프레임(12)에 탈착 가능하게 설치된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 드라이 쿨링 모듈(10)은 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 설치시 각각 단위 개체로 모듈화된 다수의 개체를 서로 인접되도록 하나씩 순차적으로 배치하여 결속하게 된다. 즉, 드라이 쿨링 모듈(10)은 풍도(2) 구간에서 각각 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트를 하나로 결속하고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관(18)을 설치하게 된다. 이러한 드라이 쿨링 모듈(10)은 공정실(1)의 풍도(2) 구간에서 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트가 하나로 결속되고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관(18)이 설치됨으로써 도 5의 상태로 유지되게 된다. 즉, 드라이 쿨링 모듈(10)은 도 5의 상태에서 공정실(1)의 내부 순환용 공기를 재냉각시키도록 동작되는 것이다.
여기서 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에는 냉수 배관(18)을 지지하기 위한 각종 구조물 및 외부에서 제어된 공기를 공급하는 급기/배기덕트와 그 구조물 등이 함께 설치되게 된다.
도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 공장에서 조립되어 모듈화되면, 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 설치하기 위하여, 풍도(2) 구간에 설치된 모듈 지지용 구조물(3) 위에 모듈 설치용 구조물(20)을 교차되게 설치하고, 모듈 설치용 구조물(20) 위에 안내레일(30)을 교차되게 설치한다(S200).
본 단계(S200)에서, 안내레일(30)은 한 쌍으로 구성되어 모듈 설치용 구조물(20) 위에 모듈(10)의 바퀴(19)와 대응되는 간격으로 평행하게 설치된다. 이때, 안내레일(30)의 개체는 일체형으로 형성되거나 또는 적어도 2개로 분할 형성되어 모듈 설치용 구조물(20)에 설치될 수 있다.
즉, 본 단계(S200)에서 안내레일(30)의 개체는 분할 형성되어 모듈 설치용 구조물(20)에 서로 연결되도록 조립 설치되게 된다. 이러한 안내레일(30)은 모듈 설치용 구조물(20) 위에 안착된 상태에서 그 내측에 돌출 형성되는 고정 브라켓(32)과 레일 고정용 클램프(34)에 의해 모듈 설치용 구조물(20)에 고정되게 된다. 이때, 레일 고정용 클램프(34)는 고정 브라켓(32)과 모듈 설치용 구조물(20)의 일부를 결속함으로써 안내레일(30)은 모듈 설치용 구조물(20) 위에 견고하게 고정될 수 있게 되는 것이다.
여기서 풍도(2)는 공정실(1)의 내벽(1A)과 외벽(1B) 사이에 공기가 순환될 수 있는 공간으로 마련된다. 이를 위해서, 풍도(2)는 공기의 순환을 위해 공정실의 상층부와 하층부가 개방되는 구조로 형성되고, 모듈 지지용 구조물(3)이 일정간격을 두고 배치되도록 설치된다.
도 8에 도시된 바와 같이, 공정실(1)의 풍도(2)에 설치된 모듈 지지용 구조물(3) 위에 모듈 설치용 구조물(20)과 안내레일(30)이 순차적으로 설치되면, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 안내레일(30)로 진입시켜 안착시킨다(S300).
본 단계(S300)에서, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 작업자 또는 별도의 장치에 의해 공정실(1)에서 풍도(2) 구간에 설치된 안내레일(30)로 진입되어 안착되게 된다. 이때, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 바퀴(19)에 의해 안내레일(30)로 원활하게 진입할 수 있게 된다.
도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 풍도(2)에 설치된 안내레일(30)에 안착되면, 풍도(2)의 외벽(1B) 측에 위치하는 모듈 설치용 구조물(20) 위에 두 개의 기계식 리프트잭(40)을 설치하여 모듈(10)의 양측에 고정하고, 풍도(2)의 내벽(1A) 측에 위치하는 공정실(1)의 바닥에 유압식 리프트잭(50)을 설치하고, 기계식 리프트잭(40)과 유압식 리프트잭(50)을 조작하여 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 안내레일(30)로부터 리프팅시킨다(S400).
본 단계(S400)에서, 기계식 리프트잭(40)은 모듈 설치용 구조물(20) 위에 지지되는 받침대(42)와, 받침대(42) 위에 회전 가능하게 결합되는 나사축(44)과, 나사축(44)에 결합되고 모듈(10)에 탈착 가능하게 체결되는 모듈 체결용 브라켓(46)과, 그리고 나사축(44)의 상부에 결합되는 조작핸들(46)로 구성되고, 모듈 체결용 브라켓(46)이 모듈(10)의 하부프레임(12) 양측에 고정된다. 이에 따라, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 조작핸들(46)의 조작시 나사축(44)을 따라 이동되는 모듈 체결용 브라켓(46)에 의해 작업자가 원하는 높이로 리프팅될 수 있게 된다.
또한, 유압식 리프트잭(50)은 공지된 유압식 리프트잭을 형성되고 사용자의 조작에 따라 동작되며, 이에 따라 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 작업자가 원하는 높이로 리프팅될 수 있게 된다.
이러한 기계식 및 유압식 리프트잭(40, 50)에 의한 드라이 쿨링 코일 모듈(10)의 리프팅 공정은 동시에 진행된다. 이는, 무거운 중량체로 구성되는 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 리트팅 과정에서 어느 한쪽으로 기울어짐에 따라 발생할 수 있는 안전사고를 방지하기 위함이다.
한편, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈(10)이 안내레일(30)로부터 일정높이로 리프팅되면, 모듈(10)에 장착된 바퀴(19)를 분리하여 제거하고, 모듈 설치용 구조물(20)에 고정된 안내레일(30)을 순차적으로 분리하여 제거한다(S500).
본 단계(S500)에서, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 모듈 설치용 구조물(20)에 설치되기 위해, 바퀴(19)와 안내레일(30)을 제거하게 되는 것이다.
도 12에 도시된 바와 같이, 모듈(10)이 리프팅 상태에서 바퀴(19)와 안내레일(30)이 제거되면, 기계식 및 유압식 리프트잭(40, 50)을 동작시켜 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 모듈 설치용 구조물(20) 위에 다시 안착시킨 후, 기계식 및 유압식 리프트잭(40, 50)을 제거하고 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 고정한다(S600).
본 단계(S600)에서, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)은 모듈 설치용 구조물(20)에 안착된 후, 공지된 체결수단, 예를 등어 볼트 및 너트에 의해 고정됨으로써, 공정실(1)의 풍도(2) 구간에 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 최종적으로 설치할 수 있게 되는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법은, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실(1)에서 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일(14)을 공장에서 모듈화하고, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)을 공정실(1)로 운반하여 풍도(2) 구간에 안내레일(30)에 의해 설치함으로써, 드라이 쿨링 코일 모듈(10)에 의해 기존의 복잡한 설치 과정을 단순화하고 편리성을 향상시켜 시공 일정을 현저하게 단축할 수 있고, 안내레일(30)에 의해 풍도(2) 구간에 안전하고 신속하게 설치할 수 있다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되면, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10: 드라이 쿨링 코일 모듈
11: 상부프레임 12: 하부프레임
13: 지지프레임 14: 드라이 쿨링 코일
16: 점검 통로 18: 냉수 배관
19: 바퀴
20: 모듈 설치용 구조물
30: 안내레일
32: 고정 브라켓 34: 레일 고정용 클램프
40: 기계식 리프트잭
42: 받침대 44: 나사축
46: 모듈 체결용 브라켓 48: 조작핸들
50: 유압식 리프트잭

Claims (8)

  1. 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법으로서,
    상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 단계;
    상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 풍도 구간에 설치하기 위해, 상기 풍도 구간에 설치된 모듈 지지용 구조물 위에 모듈 설치용 구조물을 교차되게 설치하고, 상기 모듈 설치용 구조물 위에 안내레일을 교차되게 설치하는 단계;
    상기 안내레일에 드라이 쿨링 코일 모듈을 바퀴에 의해 진입시켜 안착시키는 단계;
    상기 풍도의 외벽측에 위치하는 모듈 설치용 구조물 위에 두 개의 기계식 리프트잭을 설치하여 모듈의 양측에 고정하고, 상기 풍도의 내벽측에 위치하는 공정실의 바닥에 유압식 리프트잭을 설치한 후, 상기 기계식 및 유압식 리프트잭에 의해 모듈을 안내레일로부터 리프팅시키는 단계;
    상기 모듈의 리프팅 후, 상기 바퀴와 안내레일을 제거하는 단계; 및
    상기 바퀴와 안내레일의 제거 후, 상기 모듈을 모듈 설치용 구조물 위에 안착시켜 기계식 및 유압식 리프트잭을 제거하고 고정하는 단계;를 포함하며,
    상기 안내레일은,
    일체형으로 형성되거나 또는 적어도 2개로 분할 형성되어 상기 모듈 설치용 구조물에 설치되되, 그 내측에 고정 브라켓이 돌출 형성되어 상기 모듈 설치용 구조물에 레일 고정용 클램프를 매개로 탈착 가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 드라이 쿨링 코일 모듈은,
    상,하부프레임이 지지프레임에 의해 일정 간격을 두고 연결되되, 상기 상부프레임에 상기 드라이 쿨링 코일이 설치되고, 상기 하부프레임에 점검 통로 및 바퀴가 설치되도록 모듈화되는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 드라이 쿨링 코일 모듈은,
    상기 공정실의 풍도 구간에 설치시 각각 단위 개체로 모듈화된 적어도 2 내지 4개의 세트가 서로 인접되도록 하나씩 순차적으로 배치되어 결속되고, 이 모듈 결속체에 하나의 냉수 배관이 설치되는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 바퀴는,
    상기 모듈의 적어도 4곳에 탈착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 안내레일은,
    상기 모듈 설치용 구조물 위에 상기 모듈의 바퀴와 대응되는 간격으로 평행하게 설치되는 한 쌍으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기계식 리프트잭은,
    상기 모듈 설치용 구조물 위에 지지되는 받침대;
    상기 받침대 위에 회전 가능하게 결합되는 나사축;
    상기 나사축에 결합되고 상기 모듈에 탈착 가능하게 체결되는 모듈 체결용 브라켓; 및
    상기 나사축의 상부에 결합되는 조작핸들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.
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