KR102012720B1

KR102012720B1 - Vacuum Valve Actuator

Info

Publication number: KR102012720B1
Application number: KR1020180016703A
Authority: KR
Inventors: 김배진; 최기선; 이수연
Original assignee: 프리시스 주식회사
Priority date: 2017-06-30
Filing date: 2018-02-12
Publication date: 2019-11-04
Also published as: KR20190003314A

Abstract

본 발명은 2분할로 구획된 본체하우징 내측 상부의 구동부 사이 공간에는 제1 피스톤이 구비되고 본체하우징 내측 하부 공간에는 제2 피스톤을 각각 별도로 구비한 상태에서 메인샤프트로 제1, 2 피스톤을 연결함으로써, 적은 압력으로도 블레이드를 상승 또는 하강시킬 수 있어 구동의 효율성이 향상되고 구동에 필요한 에너지가 절감될 수 있다는 장점이 있다.The present invention is provided by connecting the first and second pistons to the main shaft in a state in which a first piston is provided in the space between the driving portions of the upper part of the main body housing divided into two parts, and a second piston is provided separately in the lower space of the main body housing. As a result, the blade can be raised or lowered even at a low pressure, thereby improving driving efficiency and reducing energy required for driving.

Description

Vacuum Valve Actuator

본 발명은 진공밸브 엑츄에이터에 관한 것으로서, 진공밸브(1)의 블레이드(200)를 수직방향으로 이동시키는 진공밸브 엑츄에이터(100)에 있어서, 내부에 제1, 2 공간부(111, 112)가 형성되는 본체하우징(110);과, 상기 본체하우징(110)의 내부에 구비되고, 상기 블레이드(200)와 연결되는 하나 이상의 구동부(120, 130);와, 상기 제1 공간부(111)에 형성되되, 내부에 구동실(113)과 상기 구동실(113)에 기밀상태로 구비되는 제1 피스톤(114)을 포함하는 구동블럭부(115);와, 상기 제2 공간부(112)에 기밀상태로 구비되되, 상기 구동부(120, 130)와 연결되는 제2 피스톤(116);과, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)을 연결하는 하나 이상의 메인샤프트(140);로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브 엑츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum valve actuator, in the vacuum valve actuator 100 for moving the blade 200 of the vacuum valve 1 in the vertical direction, the first and second spaces 111 and 112 are formed therein. A main body housing 110, and one or more driving units 120 and 130 provided inside the main body housing 110 and connected to the blades 200, and formed in the first space 111. A drive block 115 including a drive chamber 113 and a first piston 114 provided in the drive chamber 113 in an airtight state; and airtight in the second space 112. A second piston 116 provided in a state and connected to the driving units 120 and 130; and at least one main shaft 140 connecting the first piston 114 and the second piston 116; It relates to a vacuum valve actuator, characterized in that consisting of.

일반적으로, 반도체 등의 기판은 진공챔버 외벽에 연결되는 기판 이송통로를 통하여 여러 처리실로부터 투입 또는 반출되어 공정을 진행하게 되는데, 이러한 기판 이송통로에는 이송통로를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된다.In general, a substrate such as a semiconductor is input or taken out from various processing chambers through a substrate transfer passage connected to an outer wall of a vacuum chamber to perform a process. The substrate transfer passage is provided with a gate valve for opening and closing the transfer passage.

기판 이송통로에는 전면과 후면에 기판을 통과할 수 있는 개구부가 형성된 밸브 케이스가 구비되는데, 이 경우 게이트 밸브가 밸브 케이스내에 설치되며 게이트 밸브의 구동부를 구동시켜 구동부의 작동에 따라 블레이드가 개구부를 개방 또는 폐쇄하게 된다.The substrate transfer passage is provided with a valve case having an opening through which the substrate passes through the front and rear surfaces. In this case, the gate valve is installed in the valve case, and the blade opens the opening according to the operation of the driving unit by driving the driving portion of the gate valve. Or close.

이러한 게이트 밸브의 구동부 중 게시되어 있는 하기 특허문헌 1의 “진공밸브 구동장치(대한민국 특허출원번호 제10-2007-0043597호)”는 밸브 클로저(2)를 조정축(3)을 따라 진공밸브(4)의 개방위치(A)와 기밀 밀폐위치(B) 사이로 선형 변위시키기 위한 진공밸브 구동장치(1)에 있어서, 실질적인 기밀 작동공간(6)을 구비하는 구동장치 하우징(5);과, 상기 조정축(3)을 따라 상기 작동공간(6) 내에서 변위될 수 있고, 상기 작동공간(6)을 제1압력공간(6a)과 제2압력공간(6b)으로 구분하도록 배치되어 상기 제1 압력공간(6a)과 상기 제2압력공간(6b)을 실질적인 기밀상태로 분리하는 피스톤(7);과, 상기 피스톤(7)을 상기 조정축(3)을 따라 선형 안내하기 위한 수단;과, 상기 조정축에 대해 평행하게 연장되어 상기 피스톤(7)에 고정되고, 상기 작동공간(6)에서부터 상기 구동장치 하우징(5)의 외부영역에 대해 기밀상태로 상기 밸브 클로저(2)에 연결되는 적어도 하나의 커넥팅 로드(8,9);와, 상기 제1압력공간(6a) 내부와 통하고, 상기 제1압력공간(6a)에 가스압력이 인가될 수 있도록 하는 상기 구동장치 하우징(5)의 제1커넥션(10a); 및 상기 제2압력공간(6b) 내부와 통하고, 상기 제1압력공간(6a)과 상기 제2압력공간(6b) 사이에 가스압력차를 생성하는 것에 의해 상기 적어도 하나의 커넥팅 로드(8,9)상에 배치된 상기 밸브 클로저(2)가 상기 개방위치(A)와 상기 밀페위치(B) 사이로 이동할 수 있도록 상기 제2압력공간(6b)에 가스압력이 인가될 수 있도록 하는 상기 구동장치 하우징(5)의 제2커넥션(10b)를 포함하며, 상기 피스톤(7)을 선형 안내하기 위한 수단은, 상기 작동공간(6)내에서 상기 조정축(3)에 대해 평행하게 연장되고, 상기 피스톤(7)을 통해 실질적인 기밀상태로 배치되는 적어도 하나의 정지 안내 로드(11), 및 상기 피스톤(7)과 상기 안내 로드(11) 사이에 있는 적어도 하나의 정밀 선형 베어링(12)이 구성되는 것을 특징으로 하여, 밸브 클로저에 큰 힘이 작용하는 경우에도 밸브 클로저를 밸브 클로즈와 밸브 하우징 사이의 바람직하지 못한 접촉, 특히 밸브 시이트에 관한 밸브 클로저의 스큐 상태를 야기함이 없이 변위시키는 것이 가능하다는 장점이 있었다.Among the driving units of such gate valves, the “Vacuum Valve Driving Device (Korean Patent Application No. 10-2007-0043597)” disclosed in Patent Document 1, which is posted below, moves the valve closure 2 along the adjustment shaft 3 to the vacuum valve ( A vacuum valve drive device (1) for linearly displacing between an open position (A) and an airtight closed position (B) of 4), comprising: a drive housing (5) having a substantially airtight working space (6); and It can be displaced in the working space 6 along the adjustment shaft (3), and is arranged to divide the working space (6) into a first pressure space (6a) and a second pressure space (6b) A piston (7) for separating the pressure space (6a) and the second pressure space (6b) in a substantially airtight state; and means for linearly guiding the piston (7) along the adjustment shaft (3); It extends parallel to the adjustment shaft and is fixed to the piston (7), from the operating space (6) to the drive field At least one connecting rod (8, 9) connected to the valve closure (2) in an airtight state with respect to an outer region of the housing (5); and communicating with an interior of the first pressure space (6a); A first connection (10a) of the drive housing (5) to allow gas pressure to be applied to the pressure space (6a); And generating a gas pressure difference between the first pressure space 6a and the second pressure space 6b and communicating with the inside of the second pressure space 6b. The driving device for applying a gas pressure to the second pressure space 6b so that the valve closure 2 disposed on 9) can move between the open position A and the closed position B. A second connection 10b of the housing 5, wherein the means for linearly guiding the piston 7 extends parallel to the adjustment shaft 3 in the working space 6, At least one stationary guide rod 11 disposed in a substantially airtight state through the piston 7 and at least one precision linear bearing 12 between the piston 7 and the guide rod 11 are constructed. It is characterized in that, even when a large force is applied to the valve closure It had the advantage that it is possible to displace the skew position of the valve closure according to undesirable contact, in particular the valve seat between a valve-closed and valve housing without causing.

그러나, 상기 특허문헌 1의 “진공밸브 구동장치”는 커넥팅로드(8, 9)를 포함하는 2개의 실린더의 폭이 넓음에 따라 기밀을 유지하는 피스톤(7)의 폭도 넓게 형성됨으로써, 필요 이상의 많은 압력이 소모된다는 문제점이 있었다.However, the "vacuum valve drive device" of the patent document 1 is formed with a wider width of the piston (7) to maintain the airtight as the width of the two cylinders including the connecting rods (8, 9), so that more than necessary There was a problem that pressure is consumed.

또한, 피스톤(7)을 개방위치(A)로 이동시킬 경우에는 안내로드(11)에 형성된 채널(19)을 통해 제2압력공간(6b)에 공압을 상승시키고 피스톤(7)을 밀폐위치(B)로 이동시킬 경우에는 제1커넥션(10a)를 통해 제1압력공간(6a)에 공압을 상승시키는 구조로 이루어져 각각의 제1, 2압력공간(6a,6b)의 체적만큼의 공압이 반드시 공급되어야 구동이 이루어지기 때문에 비교적 적은 공압이 형성되는 경우에는 구동이 되지 않는다는 문제점이 있었다.In addition, when the piston 7 is moved to the open position A, the air pressure is increased in the second pressure space 6b through the channel 19 formed in the guide rod 11 and the piston 7 is closed. In case of moving to B), the air pressure is increased in the first pressure space 6a through the first connection 10a, so that the air pressure corresponding to the volume of each of the first and second pressure spaces 6a and 6b must be maintained. There is a problem that the drive is not performed when relatively small pneumatic pressure is formed because the drive is made only when supplied.

특허문헌 1: 대한민국 특허출원번호 제10-2007-0043597호Patent Document 1: Republic of Korea Patent Application No. 10-2007-0043597

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 2분할로 구획된 본체하우징 내측 상부의 구동부 사이 공간에는 제1 피스톤이 구비되고 본체하우징 내측 하부 공간에는 제2 피스톤을 각각 별도로 구비한 상태에서 메인샤프트로 제1, 2 피스톤을 연결함으로써, 적은 압력으로도 블레이드를 상승 또는 하강시킬 수 있어 구동의 효율성이 향상되고 구동에 필요한 에너지가 절감될 수 있는 진공밸브 엑츄에이터를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide a first piston in the space between the drive unit of the upper portion of the main body housing divided into two partitions and a second piston in the lower space inside the main body housing, respectively By connecting the first and second pistons to the main shaft in the provided state, it is possible to raise or lower the blade at a low pressure, thereby providing a vacuum valve actuator that can improve driving efficiency and reduce energy required for driving. .

또한, 본체하우징 내부에 대칭으로 외부하우징을 적용하지 않는 구동부를 구비함으로써, 구동부의 각각의 제1, 2샤프트 사이의 간격을 줄어듬에 따라 제2 피스톤의 폭을 작게 형성하여 적은 압력에도 구동이 가능한 진공밸브 엑츄에이터를 제공하는 것이다.In addition, by providing a drive unit that does not apply the outer housing symmetrically inside the main body housing, the width of the second piston can be formed small as the distance between the first and second shafts of the drive unit is reduced, enabling driving at low pressure. It is to provide a vacuum valve actuator.

또한, 제1, 2 피스톤의 상, 하 이중구조를 통하여 축이동에 대한 뒤틀림이 방지되어 구동의 안전성이 확보되는 밸브 엑츄에이터를 제공하는 것이다.In addition, it is to provide a valve actuator through which the upper and lower dual structure of the first and second pistons is prevented from twisting the shaft movement to ensure the driving safety.

또한, 컴팩트한 구조에 구동역할을 하는 구동부 및 제1, 2 피스톤부를 함께 구성함으로써, 설치시 공간의 제약을 덜 받으면서, 적은 압력에도 안정적인 구동이 확보되는 밸브 엑츄에이터를 제공하는 것이다.In addition, by configuring the drive unit and the first and second piston unit which acts as a drive in a compact structure, it is to provide a valve actuator that is secured to a stable pressure at a low pressure, while being less restricted by space during installation.

또한, 제1, 2 피스톤의 상, 하 이동시, 각각의 제1, 2 공간부에 동일한 압력으로 에어를 주입하거나 배기함으로써, 제어 및 속도의 균형을 이루어 안정적인 구동이 가능한 밸브 엑츄에이터를 제공하는 것이다.In addition, by injecting or exhausting air at the same pressure in each of the first and second spaces when the first and second pistons move up and down, it is possible to provide a valve actuator capable of balancing control and speed and enabling stable driving.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 진공밸브 엑츄에이터는, 진공밸브(1)의 블레이드(200)를 수직방향으로 이동시키는 진공밸브 엑츄에이터(100)에 있어서, 내부에 제1, 2 공간부(111, 112)가 형성되는 본체하우징(110);과, 상기 본체하우징(110)의 내부에 구비되고, 상기 블레이드(200)와 연결되는 하나 이상의 구동부(120, 130);와, 상기 제1 공간부(111)에 형성되되, 내부에 구동실(113)과 상기 구동실(113)에 기밀상태로 구비되는 제1 피스톤(114)을 포함하는 구동블럭부(115);와, 상기 제2 공간부(112)에 기밀상태로 구비되되, 상기 구동부(120, 130)와 연결되는 제2 피스톤(116);과, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)을 연결하는 하나 이상의 메인샤프트(140);로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the vacuum valve actuator according to the present invention, in the vacuum valve actuator 100 for moving the blade 200 of the vacuum valve 1 in the vertical direction, the first, second space therein A main body housing 110 in which the parts 111 and 112 are formed; and one or more driving parts 120 and 130 provided inside the main body housing 110 and connected to the blades 200; A drive block part 115 formed in the first space part 111 and including a drive chamber 113 and a first piston 114 provided in an airtight state in the drive chamber 113; The second piston 116 is provided in the airtight state in the second space portion 112 and is connected to the driving unit (120, 130); and connecting the first piston 114 and the second piston 116 At least one main shaft 140; characterized in that consisting of.

또한, 상기 구동실(113)은 상기 제2 공간부(112)보다 작은 체적으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the drive chamber 113 is characterized in that the volume formed smaller than the second space (112).

또한, 상기 구동실(113)은 공압의 주입 여부에 따라 상기 제1 피스톤(114)이 상, 하방향으로 이동되도록 제1 공압실(113a)과 제2 공압실(113b)으로 각각 구획되어 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the driving chamber 113 is formed by partitioning into the first pneumatic chamber 113a and the second pneumatic chamber 113b so that the first piston 114 is moved upward and downward depending on whether pneumatic pressure is injected. It is characterized by.

또한, 상기 제2 공간부(112)는 공압의 주입 여부에 따라 상기 제2 피스톤(116)이 상승되도록 제3 공압실(112a)이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second space 112 is characterized in that the third pneumatic chamber (112a) is formed so that the second piston 116 is raised in accordance with whether or not the injection of pneumatic.

또한, 상기 구동실(113)은 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the driving chamber 113 is characterized in that formed in one or more.

또한, 상기 본체하우징(110)의 내부에는 각각의 상기 제1, 2 공간부(111, 112)를 구획하면서 상기 제1 공압실(113a) 및 제2 공압실(113b)에 공기가 주입되거나 공기가 배기되도록 제1 에어피팅부(150)가 형성되고, 상기 본체하우징(110)의 하부에는 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입되거나 공기가 배기되도록 제2 에어피팅부(160)가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the second pneumatic chamber 113b while the first and second spaces 111 and 112 are respectively partitioned inside the main body housing 110. The first air fitting unit 150 is formed so that the air is exhausted, and the second air fitting unit 160 is formed in the lower portion of the main housing 110 so that air is injected into the third pneumatic chamber 112a or air is exhausted. It is characterized by being formed.

또한, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)은 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입됨에 따라 상승하고, 상기 제2 공압실(113b)에 공기가 주입됨에 따라 하강하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first piston 114 and the second piston 116 rises as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber ( It descends as air is injected into 113b).

또한, 상기 제2 공간부(112)는 공압에 의해 상기 제2 피스톤(116)이 하강되도록 제4 공압실(112b)이 형성되고, 상기 본체하우징(110)의 내부에는 각각의 상기 제1, 2 공간부(111, 112)를 구획하면서 상기 제1 공압실(113a), 상기 제2 공압실(113b) 및 제4 공압실(112b)에 공기가 주입되거나 공기가 배기되도록 제1 에어피팅부(150)가 형성되며, 상기 본체하우징(110)의 하부에는 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입되거나 공기가 배기되도록 제2 에어피팅부(160)가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, a fourth pneumatic chamber 112b is formed in the second space 112 so that the second piston 116 is lowered by pneumatic pressure, and each of the first and second spaces 112 is formed inside the body housing 110. The first air fitting unit may be configured to divide the air spaces 111 and 112 into the first pneumatic chamber 113a, the second pneumatic chamber 113b, and the fourth pneumatic chamber 112b so that air is injected or exhausted. 150 is formed, and the lower portion of the main body housing 110 is characterized in that the second air fitting portion 160 is formed so that air is injected into the third pneumatic chamber (112a) or the air is exhausted.

또한, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)은 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입됨에 따라 상승하고, 상기 제2 공압실(113b) 및 상기 제4 공압실(112b)에 공기가 주입됨에 따라 하강하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first piston 114 and the second piston 116 rises as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber ( 113b) and descends as air is injected into the fourth pneumatic chamber 112b.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 2분할로 구획된 본체하우징 내측 상부의 구동부 사이 공간에는 제1 피스톤이 구비되고 본체하우징 내측 하부 공간에는 제2 피스톤을 각각 별도로 구비한 상태에서 메인샤프트로 제1, 2 피스톤을 연결함으로써, 적은 압력으로도 블레이드를 상승 또는 하강시킬 수 있어 구동의 효율성이 향상되고 구동에 필요한 에너지가 절감될 수 있다는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, the first piston is provided in the space between the drive unit of the upper part of the main body housing divided into two divisions, and the second piston is provided in the lower space of the main body housing, respectively. By connecting the first and second pistons, the blade can be raised or lowered even with low pressure, thereby improving driving efficiency and reducing energy required for driving.

또한, 본체하우징 내부에 대칭으로 외부하우징을 적용하지 않는 구동부를 구비함으로써, 구동부의 각각의 제1, 2샤프트 사이의 간격을 줄어듬에 따라 제2 피스톤의 폭을 작게 형성하여 적은 압력에도 구동이 가능하다는 장점이 있다.In addition, by providing a drive unit that does not apply the outer housing symmetrically inside the main body housing, the width of the second piston is made small by reducing the distance between the first and second shafts of the drive unit can be driven even at a low pressure Has the advantage.

또한, 제1, 2 피스톤의 상, 하 이중구조를 통하여 축이동에 대한 튀틀림이 방지되어 구동의 안전성이 확보된다는 장점이 있다.In addition, through the upper and lower dual structure of the first and second pistons, there is an advantage that the movement against the shaft movement is secured to secure driving safety.

또한, 컴팩트한 구조에 구동역할을 하는 구동부 및 제1, 2 피스톤부를 함께 구성함으로써, 설치시 공간의 제약을 덜 받으면서, 적은 압력에도 안정적인 구동이 확보된다는 장점이 있다.In addition, by configuring the drive unit and the first and second piston unit which acts as a drive in a compact structure, there is an advantage that the stable driving is achieved even at a low pressure, while being less restricted by space during installation.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터를 포함하는 진공밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터를 포함하는 진공밸브의 측면 모습을 보인 측면도
도 3은 도 2의 A-A의 단면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터를 통해 블레이드가 하강되어 개구부를 개방하는 모습을 보인 단면도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터를 통해 블레이드가 상승되어 개구부를 폐쇄하는 모습을 보인 단면도
도 6은 도 2의 B-B의 단면도
도 7 내지 도 9는 도 2의 D-D의 단면도1 is a perspective view showing an overall view of a vacuum valve including a vacuum valve actuator according to a preferred embodiment of the present invention
Figure 2 is a side view showing a side view of a vacuum valve including a vacuum valve actuator according to a preferred embodiment of the present invention
3 is a cross-sectional view of AA of FIG.
Figure 4 is a cross-sectional view showing the blade is lowered to open the opening through the vacuum valve actuator according to a preferred embodiment of the present invention
5 is a cross-sectional view showing a state in which the blade is raised to close the opening through the vacuum valve actuator according to a preferred embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of the BB of FIG.
7 to 9 are cross-sectional views of DD of FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터(100)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a vacuum valve actuator 100 according to an embodiment of the present invention. First, in the drawings, the same components or parts are to be noted that as indicated by the same reference numerals as possible. In describing the present invention, detailed descriptions of related well-known functions or configurations are omitted in order not to obscure the subject matter of the present invention.

도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터(100)는 크게, 본체하우징(110), 구동부(120, 130), 구동블럭부(115), 제2 피스톤(116) 및 메인샤프트(140)로 구성된다.Referring to Figure 3, the vacuum valve actuator 100 according to an embodiment of the present invention is largely, the main body housing 110, the drive unit (120, 130), the drive block unit 115, the second piston 116 and the main It consists of a shaft 140.

한편, 본 발명의 명확하고 상세한 설명을 위하여, 도 3의 제1, 2 벨로우즈(122, 132)는 그 일부분을 생략하였음에 유의하여야 한다.Meanwhile, for clear and detailed description of the present invention, it should be noted that the first and second bellows 122 and 132 of FIG. 3 omit a part thereof.

먼저, 본체하우징(110)에 대하여 설명한다. 상기 본체하우징(110)은 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 그 내부에 블레이드(200)가 위치되고, 그 전면 및 후면에 상기 블레이드(200)에 의해 개폐되는 개구부(310)가 형성되는 상부하우징(300)의 하부에 결합되고, 상기 블레이드(200)를 상승 또는 하강시킬수 있도록 구동력을 제공하는 구성요소들이 구비되는 구성요소로서, 내부에는 후술할 구동블럭부(115) 및 구동부(120, 130)가 위치되는 제1 공간부(111)와 후술할 제2 피스톤(116) 및 구동부(120, 130)의 제1, 2 샤프트(121, 131), 메인샤프트(140)가 위치되는 제2 공간부(112)가 각각 분할되어 형성된다.First, the main body housing 110 will be described. As shown in FIG. 1, 2, or 3, the main body housing 110 has a blade 200 located therein, and an opening 310 opened and closed by the blade 200 at its front and rear surfaces. It is coupled to the lower portion of the upper housing 300 is formed, the component is provided with components that provide a driving force to raise or lower the blade 200, therein the drive block 115 and drive unit (to be described later) The first space portion 111 where the 120 and 130 are positioned, and the first and second shafts 121 and 131 and the main shaft 140 of the second piston 116 and the driving units 120 and 130 which will be described later are located. The second spaces 112 are divided and formed, respectively.

한편, 상기 제2 공간부(112)는 후술할 제2 피스톤(116)이 위치된 상태에서 상기 블레이드(200)를 상승시킬 경우, 상기 제2 피스톤(116)을 상승시키기 위하여 공기가 주입되는 제3 공압실(112a)와 상기 블레이드(200)가 하강될 경우, 대기압상태를 유지하는 제4 공압실(112b)로 구획되어 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, the second space 112 is a second air is injected to raise the second piston 116 when the blade 200 is raised in a state where the second piston 116 to be described later is made of When the third pneumatic chamber 112a and the blade 200 are lowered, the third pneumatic chamber 112a is preferably partitioned into a fourth pneumatic chamber 112b which maintains an atmospheric pressure state.

한편, 상기 제4 공압실(112b)은 후술할 제1 에어피팅부(150)를 통해 인입되는 공기가 후술할 제7 에어이동로(110b)를 통해 상기 제4 공압실(112b)로 주입되어 후술할 제2 피스톤(116)의 하강을 이루어지도록 하는 것도 가능하다.On the other hand, the fourth pneumatic chamber (112b) is injected into the fourth pneumatic chamber (112b) through the air introduced through the first air fitting unit 150 to be described later through the seventh air movement path (110b) to be described later It is also possible to make the lowering of the second piston 116 to be described later.

다음으로, 구동부(120, 130)에 대하여 설명한다. 상기 구동부(120, 130)은 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 본체하우징(110)의 내측에 상기 본체하우징(110)을 중심으로 대칭으로 각각 구비되는 구동 가이드 기구로서, 상기 블레이드(200)와 연결되고, 후술할 제2 피스톤(116)과 연결되는 제1, 2 샤프트(121, 131)가 형성되고, 상기 제1 공간부(111)에 위치되며 각각의 상기 제1, 2 샤프트(121, 131)를 감싸는 제1, 2 벨로우즈(122, 132)가 각각 형성된다.Next, the driving units 120 and 130 will be described. As shown in FIG. 3, the driving units 120 and 130 are driving guide mechanisms symmetrically provided around the main body housing 110 inside the main body housing 110, and are connected to the blades 200. The first and second shafts 121 and 131 are formed to be connected to the second piston 116 to be described later, and the first and second shafts 121 and 131 are positioned in the first space 111. The first and second bellows (122, 132) surrounding the) are formed respectively.

한편, 상기 구동부(120, 130)는 상기 제1 공간부(111) 및 상기 제1 공간부(111)에 형성되는 후술할 구동블럭부(115)의 구조적 결합에 따라 별도의 하우징이 없이 그 기능을 수행할 수 있으며, 이로 인하여, 특허문헌 1에 비해 제2 피스톤(116)을 추가 구성하여 압력을 받을 수 있는 피스톤의 전체 면적을 늘릴 수 있어 밸브의 전체척인 폭을 줄이는 것이 가능해 진다.On the other hand, the driving unit (120, 130) has its function without a separate housing according to the structural coupling of the drive unit 115, which will be described later formed in the first space 111 and the first space 111 In this way, the second piston 116 can be additionally configured to increase the total area of the piston that can be pressurized as compared to Patent Literature 1, thereby reducing the overall chuck width of the valve.

다음으로, 구동블럭부(115)에 대하여 설명한다. 상기 구동블럭부(115)는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 공간부(111)에 형성되어 공기의 주입여부에 따라 상기 블레이드(200)를 상승 또는 하강시키는 구성요소로서, 그 내측에는 공간으로 이루어진 구동실(113)이 형성되고, 상기 구동실(113)에는 기밀상태로 위치되고 후술할 메인샤프트(140)와 연결되는 제1 피스톤(114)이 형성된다.Next, the driving block unit 115 will be described. As shown in FIG. 3, the driving block 115 is formed in the first space 111 to raise or lower the blade 200 depending on whether air is injected therein. The drive chamber 113 is formed, and the first chamber 114 is formed in the drive chamber 113 is located in the airtight state and connected to the main shaft 140 to be described later.

한편, 상기 구동실(113)은 상기 제2 공간부(112)보다 작은 체적으로 형성되는 것이 바람직하다. On the other hand, the drive chamber 113 is preferably formed of a smaller volume than the second space portion (112).

한편, 본 발명에 있어서, 상기 구동실(113)의 내측은 상기 피스톤(114)을 상승시키기 위하여 공기가 주입되는 제1 공압실(113a)과 상기 피스톤(114)을 하강시키기 위하여 공기가 주입되는 제2 공압실(113b)이 각각 형성되는 것이 특징으로서, 상기 개구부(310)을 폐쇄하기 위해 상기 블레이드(200)를 폐쇄방향(C)으로 상승시킬 경우에는 상기 제1 공압실(113a)과 후술할 제3 공압실(112a)에 공기를 주입시키고, 상기 개구부(310)을 개방하기 위해 상기 블레이드(200)를 개방방향(O)으로 하강 시킬 경우에는 상기 제2 공압실(113b)에 공기를 주입시킴으로써, 상기 블레이드(200)의 개폐여부에 따라 사용되는 공기의 주입을 다르게 설정하여 구동의 효율성이 향상시키고 구동에 필요한 에너지를 절감할 수 있는 것이 가능해 진다.On the other hand, in the present invention, the inside of the drive chamber 113 is air is injected to lower the piston 114 and the first pneumatic chamber (113a) is injected with air to raise the piston (114). Each of the second pneumatic chambers 113b is formed. When the blades 200 are raised in the closing direction C to close the opening 310, the first pneumatic chambers 113a and later will be described later. When air is injected into the third pneumatic chamber 112a and the blade 200 is lowered in the opening direction O to open the opening 310, air is supplied to the second pneumatic chamber 113b. By injecting, it is possible to improve the driving efficiency and reduce the energy required for driving by differently setting the injection of air used according to whether the blade 200 is opened or closed.

한편, 다른 일실시예로 상기 개구부(310)을 개방하기 위해 상기 블레이드(200)를 개방방향(O)으로 하강 시킬 경우에는 상기 제2 공압실(113b)과 상기 제4 공압실(112b)에 공기를 주입시킴으로써, 상기 제1 피스톤(114) 및 상기 제2 피스톤(116)의 하강속도 및 제어를 균형있게 하여 안정적인 구동을 가능하게 한다.On the other hand, in another embodiment when the blade 200 is lowered in the opening direction (O) to open the opening 310 to the second pneumatic chamber (113b) and the fourth pneumatic chamber (112b). By injecting air, it is possible to balance the descending speed and control of the first piston 114 and the second piston 116 to enable stable driving.

다음으로, 제2 피스톤(116)에 대하여 설명한다. 상기 제2 피스톤(116)은 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 제2 공간부(112)에 기밀상태로 구비되는 구성요소로서, 상기 제1, 2 샤프트(121, 131)과 연결되고, 상기 메인샤프트(140)와 연결된다.Next, the second piston 116 will be described. As shown in FIG. 3, the second piston 116 is a component provided in the second space part 112 in an airtight state, connected to the first and second shafts 121 and 131, and the main body. It is connected with the shaft 140.

이로 인하여, 상기 블레이드(200)가 상승하는 과정에서 상기 제3 공압실(112a) 내의 압력이 상승함에 따라 상기 제2 피스톤(116)이 상승함과 동시에 상기 제1 공압실(113a) 내의 압력 또한 상승함에 따라 상기 제1 피스톤(114)이 상승하고, 상기 제1, 2 피스톤(114, 116)의 상승함에 따라 상기 구동부(120, 130) 또한 상승하게 되어 같은 압력을 사용하더라도 몇 배 이상의 구동력이 발생되어 보다 안정적이고 밀폐력 높은 구동이 가능해 진다.Therefore, as the pressure in the third pneumatic chamber 112a rises while the blade 200 is raised, the second piston 116 rises and the pressure in the first pneumatic chamber 113a also increases. As the first piston 114 ascends and ascends the first and second pistons 114 and 116, the driving units 120 and 130 also rise, so that even if the same pressure is used, the driving force is several times higher. To generate a more stable and high sealing force.

다음으로, 메인샤프트(140)에 대하여 설명한다. 상기 메인샤프트(140)은 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)을 연결하는 구성요소로서, 상기 제1 피스톤(114) 및 상기 제2 피스톤(116)의 구동의 일체화를 구현하여 축이동에 대한 뒤틀림을 방지하는 것을 가이드하여 구동의 안전성을 확보하고, 상기 블레이드(200)를 하강시키기 위해 상기 제2 공압실(113b)의 압력을 상승시킬 경우, 제1 피스톤(114)의 하강만으로도 상기 제2 피스톤(116)의 하강을 유도하여 구동에 필요한 에너지를 절감할 수 있게 해 준다.Next, the main shaft 140 will be described. As shown in FIG. 3, the main shaft 140 is a component that connects the first piston 114 and the second piston 116 to the first piston 114 and the second piston 116. In order to secure the safety of driving by guiding the integration of the drive to prevent distortion of the shaft movement, and to increase the pressure of the second pneumatic chamber 113b to lower the blade 200, Only the lowering of the first piston 114 may induce the lowering of the second piston 116 to reduce the energy required for driving.

이하에서는 도 3 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 진공밸브 엑츄에이터(100)에 의하여 상기 개구부(310)가 폐쇄되는 과정에 대하여 설명한다.Hereinafter, a process of closing the opening 310 by the vacuum valve actuator 100 according to the exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5.

먼저, 도 4에 나타낸 것과 같이, 최초 상기 블레이드(200)가 상기 개구부(310)을 개방한 상태를 유지한다.First, as shown in FIG. 4, the blade 200 initially maintains the opening 310.

이후, 상기 개구부(310)를 폐쇄하기 위하여 상기 블레이드(200)를 상승시키는 과정을 살펴보면, 도 3에 나타낸 것과 같이, 먼저 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입되고, 이로 인하여, 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)의 압력은 상승하게 된다.Next, a process of raising the blade 200 to close the opening 310 will be described. First, as shown in FIG. 3, the air in the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a is first viewed. Is injected, and the pressure of the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a is increased.

상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)의 압력은 상승에 따라 상기 제1 피스톤(114) 및 상기 제2 피스톤(116)은 상승하게 되고 상기 구동부(120, 130) 또한 상승하게 됨으로써, 상기 블레이드(200)가 상승하여 상기 개구부(310)를 폐쇄하게 된다.As the pressures of the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a rise, the first piston 114 and the second piston 116 rise and the driving units 120 and 130 also As it rises, the blade 200 rises to close the opening 310.

한편, 상기 블레이드(200)를 하강시켜 상기 개구부(310)를 개방하는 과정은 먼저, 상기 제2 공압실(113b)에만 공기를 주입하여 상기 제2 공압실(113b)의 압력를 상승시킨다.On the other hand, the process of opening the opening 310 by lowering the blade 200, first, to inject air only to the second pneumatic chamber 113b to increase the pressure of the second pneumatic chamber 113b.

이후, 상기 제1 피스톤(114)는 하강하게 되고 상기 제1 피스톤(114)과 연결된상기 메인샤프트(140)에 의하여 상기 제2 피스톤(116) 또한 하강하게 되고, 동시에 상기 구동부(120, 130)도 하강하게 됨으로써, 상기 블레이드(200)가 하강하여 상기 개구부(320)를 개방하게 된다.Thereafter, the first piston 114 is lowered and the second piston 116 is also lowered by the main shaft 140 connected to the first piston 114, and at the same time, the driving units 120 and 130. As it is also lowered, the blade 200 is lowered to open the opening 320.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 상기 제1, 2, 3 공압실(113a, 113b, 112a)에 공기가 주입되는 경로는 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 먼저, 상기 본체하우징(110)의 내부에는 각각의 상기 제1, 2 공간부(111, 112)를 구획하면서 상기 제1, 2 공압실(111a, 111b)에 공기가 주입되거나 공기가 배기되도록 제1 에어이동로(151) 및 제6 에어이동로(152)를 포함하는 제1 에어피팅부(150)가 형성된다.Meanwhile, a path through which air is injected into the first, second, and third pneumatic chambers 113a, 113b, and 112a according to an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6 or 7, first, the main body housing 110. The first air movement path 151 may be configured such that air is injected into or discharged from the first and second pneumatic chambers 111a and 111b while partitioning the first and second spaces 111 and 112, respectively. And a first air fitting part 150 including a sixth air movement path 152.

또한, 상기 본체하우징(110)에는 제3 에어이동로(110a), 제7 에어이동로(110b)가 형성되고, 상기 구동블럭부(115)에는 제2 에어이동로(115a) 및 제5 에어이동로(115b)가 형성된다.In addition, a third air movement path 110a and a seventh air movement path 110b are formed in the main body housing 110, and a second air movement path 115a and a fifth air are formed in the drive block 115. The moving path 115b is formed.

또한, 상기 본체하우징(110)의 하부에는 상기 제3 공압실(112a)에 에어가 주입되거나 에어가 배기되도록 제4 에어이동로(161)를 포함하는 제2 에어피팅부(160)가 형성된다.In addition, a second air fitting part 160 including a fourth air moving path 161 is formed below the main body housing 110 so that air is injected into the third pneumatic chamber 112a or the air is exhausted. .

이와 같은 구성을 통하여, 상기 제1 공압실(113a)에 공기가 주입되는 경로의 일실시예로는 외부로부터 주입되는 공기가 상기 제1 에어이동로(151), 제2 에어이동로(115a)를 통해 상기 제1 공압실(113a)로 이동하게 되고, 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입되는 경로의 일실시예로는 외부로부터 주입되는 공기가 상기 제1 에어이동로(151), 제3 에어이동로(110a) 및 제4 에어이동로(161)를 통해 상기 제3 공압실(112a)로 이동하게 된다.Through such a configuration, in one embodiment of the path in which air is injected into the first pneumatic chamber 113a, the air injected from the outside is the first air movement path 151 and the second air movement path 115a. The first air movement path 151 is moved to the first pneumatic chamber 113a, and the air injected from the outside is an embodiment of the path through which air is injected into the third pneumatic chamber 113a. The third air movement path 110a and the fourth air movement path 161 are moved to the third pneumatic chamber 112a.

한편, 상기 제2 공압실(113b)에 공기가 주입되는 경로의 일실시예로는 외부로부터 주입되는 공기가 상기 제6 에어이동로(152), 제5 에어이동로(115b)를 통해 상기 제2 공압실(113b)로 이동하게 된다.On the other hand, as an embodiment of the path in which air is injected into the second pneumatic chamber 113b is the air injected from the outside through the sixth air movement path 152, the fifth air movement path 115b 2 is moved to the pneumatic chamber 113b.

이로 인하여, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)은 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입됨에 따라 상승하고, 상기 제2 공압실(113b)에 공기가 주입됨에 따라 하강하는 것이 가능하게 된다.For this reason, the first piston 114 and the second piston 116 rise as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber As air is injected into the 113b, it is possible to descend.

한편, 필요시 상기 제4 공압실(112b)에 공기가 주입되는 경로의 일실시예로는 외부로부터 주입되는 공기가 상기 제1 에어이동로(151) 및 상기 제7 에어이동로(110b)를 통해 제4 공압실(112b)로 이동하게 된다.On the other hand, if necessary, the air injected from the outside as the embodiment of the air is injected into the fourth pneumatic chamber (112b) the first air movement path 151 and the seventh air movement path (110b) It moves to the fourth pneumatic chamber (112b) through.

이로 인하여, 상기 제1 피스톤(114)과 상기 제2 피스톤(116)은 상기 제1 공압실(113a) 및 상기 제3 공압실(112a)에 공기가 주입됨에 따라 상승하고, 상기 제2 공압실(113b) 및 상기 제4 공압실(112b)에 공기가 주입됨에 따라 하강하는 것이 가능하게 된다.Accordingly, the first piston 114 and the second piston 116 rise as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber As air is injected into the 113b and the fourth pneumatic chamber 112b, it is possible to descend.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Optimal embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

1: 진공밸브
100: 진공밸브 엑츄에이터
110: 본체하우징 110a: 제3 에어이동로
110b: 제4 에어이동로 111: 제1 공간부
112: 제2 공간부 112a: 제3 공압실
112b: 제4 공압실 113: 구동실
113a: 제1 공압실 113b: 제2 공압실
114: 제1 피스톤 115: 구동블럭부
115a: 제2 에어이동로 115b: 제5 에어이동로
116: 제2 피스톤 161: 제4 에어이동로
120, 130: 구동부 121: 제1 샤프트
122: 제1 벨로우즈
131: 제2 샤프트 132: 제2 벨로우즈
140: 메인샤프트 150: 제1 에어피팅부
151: 제1 에어이동로 152: 제6 에어이동로
160: 제2 에어피팅부
200: 블레이드 300: 상부하우징
310: 개구부1: vacuum valve
100: vacuum valve actuator
110: main body housing 110a: third air moving path
110b: fourth air movement path 111: first space part
112: second space portion 112a: third pneumatic chamber
112b: fourth pneumatic chamber 113: drive chamber
113a: first pneumatic chamber 113b: second pneumatic chamber
114: first piston 115: drive block portion
115a: second air path 115b: fifth air path
116: second piston 161: fourth air movement path
120, 130: drive unit 121: first shaft
122: first bellows
131: second shaft 132: second bellows
140: main shaft 150: first air fitting portion
151: first air movement path 152: sixth air movement path
160: second air fitting unit
200: blade 300: upper housing
310: opening

Claims

In the vacuum valve actuator 100 to move the blade 200 of the vacuum valve (1) in the vertical direction by using a plurality of pistons connected to the shaft to prevent distortion of the shaft movement,
A main housing (110) having a first space (111) formed in an upper portion divided into two sections and a second space (112) formed in a lower portion thereof;
At least one driving unit (120, 130) provided inside the main body housing (110) and connected to the blade (200);
A driving block unit 115 formed in the first space 111 and including a driving chamber 113 and a first piston 114 provided in an airtight state in the driving chamber 113;
The air is provided in the second space part 112 in an airtight state, and is connected to the drive parts 120 and 130 to inject or exhaust air into the second space part 112 at the same pressure as the drive chamber 113. A second piston 116 operating through;
At least one main shaft (140) connecting the first piston (114) and the second piston (116); vacuum valve actuators, characterized in that consisting of.

The method of claim 1,
The drive chamber 113 is a vacuum valve actuator, characterized in that formed in a smaller volume than the second space (112).

The method according to claim 2,
The driving chamber 113 is divided into a first pneumatic chamber 113a and a second pneumatic chamber 113b so that the first piston 114 is moved upward and downward by pneumatic pressure. Vacuum valve actuator (100).

The method of claim 3, wherein
The second space portion (112) is a vacuum valve actuator (100), characterized in that the third pneumatic chamber (112a) is formed so that the second piston (116) is raised by the pneumatic pressure.

The method of claim 1,
The drive chamber 113 is a vacuum valve actuator, characterized in that formed in at least one.

The method according to claim 4,
Inside the body housing 110, air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the second pneumatic chamber 113b or the air is exhausted while partitioning the first and second spaces 111 and 112, respectively. The first air fitting unit 150 is formed to be,
The lower portion of the main body housing 110, the vacuum valve actuator (100), characterized in that the second air fitting portion 160 is formed so that air is injected into the third pneumatic chamber (112a) or the air is exhausted.

The method of claim 6,
The first piston 114 and the second piston 116 rise as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber 113b The vacuum valve actuator 100, characterized in that descending as air is injected into.

The method according to claim 4,
A fourth pneumatic chamber 112b is formed in the second space 112 so that the second piston 116 is lowered by pneumatic pressure.
The first pneumatic chamber 113a, the second pneumatic chamber 113b, and the fourth pneumatic chamber 112b are divided into the main body housing 110 while partitioning the first and second spaces 111 and 112, respectively. ), The first air fitting part 150 is formed to inject air or exhaust air.
The lower portion of the main body housing 110, the vacuum valve actuator (100), characterized in that the second air fitting portion 160 is formed so that air is injected into the third pneumatic chamber (112a) or the air is exhausted.

The method of claim 8,
The first piston 114 and the second piston 116 rise as air is injected into the first pneumatic chamber 113a and the third pneumatic chamber 112a, and the second pneumatic chamber 113b And a vacuum valve actuator (100), which is lowered as air is injected into the fourth pneumatic chamber (112b).