KR101994892B1 - 촉각센서 및 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 촉각센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 기판, 상기 기판에 형성되는 소스 전극층, 상기 소스 전극층에 수직하게 형성되는 복수의 나노 와이어로 이루어진 나노 와이어 어레이, 상기 나노 와이어 어레이에 형성되는 드레인 전극층과, 상기 소스 전극층과 상기 드레인 전극층의 사이에서 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하는 폴리머층, 각각의 나노 와이어 외면에 형성되는 배리어층 및 상기 배리어층 외면에 형성되고 각각의 나노 와이어로부터 나노 와이어 어레이의 외부로 연장되는 게이트 전극층을 포함하는 촉각센서를 제공하므로, 고감도의 촉각 감지 기능과 유연성을 동시에 확보할 수 있다.
또한, 본 발명은 기판, 상기 기판에 형성되는 소스 전극층, 상기 소스 전극층에 수직하게 형성되는 복수의 나노 와이어로 이루어진 나노 와이어 어레이, 상기 나노 와이어 어레이에 형성되는 드레인 전극층과, 상기 소스 전극층과 상기 드레인 전극층의 사이에서 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하는 폴리머층, 각각의 나노 와이어 외면에 형성되는 배리어층 및 상기 배리어층 외면에 형성되고 각각의 나노 와이어로부터 나노 와이어 어레이의 외부로 연장되는 게이트 전극층을 포함하는 촉각센서를 제공하므로, 고감도의 촉각 감지 기능과 유연성을 동시에 확보할 수 있다.
Description
본 발명은 촉각센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 촉각센서는 인체의 손이나 피부로 느끼는 촉각을 구현하고자 한 것으로, 대상물로부터 전달되는 촉감이나 힘의 정도를 감지할 수 있으며, 현재는 터치 스크린 분야에서 광범위하게 응용되고 있으나, 그 이외에도 다양한 분야에서 활용가능한 것으로 예측되고 있으며, 특히, 로봇의 인공 피부에 응용하기 위한 연구가 활발하게 진행되고 있다.
이러한, 촉각센서를 로봇의 인공 피부에 응용하기 위해서는, 다양한 물리적 환경변화를 감지할 수 있음은 물론이고, 외부 압력의 국소화 위치 판단 및 미세한 압력변화에 대한 민감도를 극대화할 필요가 있다.
다만, 현재까지 개발된 촉각센서는 터치스크린에서 적용되고 있는 저항(Resistive) 방식, 정전용량(Capacitive) 방식, 적외선근접(infrared appoximity) 방식 및 압전특성(piezoelectric) 방식으로 구성된 것이어서, 터치스크린과 달리 플렉서블한 인공 피부의 특성을 구현하기가 어렵고, 수직압력, 휨, 수축 등을 포함하는 다양한 외부 변형력에 대한 감지가 어려운 문제점이 있다.
그 외에도, Tekscan사의 FSR(Force Sensing Resistor)방식, PPS(Pressure Profile Systems)사의 capacitive sensing 방식, 미국 일리노이 대학에서 개발된 폴리이미드 필름을 이용하는 방식, 한국표준과학연구원에서 개발된 FSR 센서와 이소불화비닐(PVDF) 필름을 이용하는 방식, 연세대학교에서 개발된 폴리실리콘 strain 센서 어레이를 이용하는 방식, 전자부품연구원(KETI)에 개발된 손가락 장착 방식을 이용하는 촉각센서의 연구 및 개발이 이루어지고 있으나, 분해 능력이나 집적도 면에서 성능이 낮은 문제점이 있다.
따라서, 종래의 촉각센서를 개선하여 생체친화적이고 고감도의 촉각 감지가 가능하며 유연한 특성을 갖는 소자의 개발 필요성이 대두되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 고감도의 촉각 감지 기능과 유연성을 동시에 확보할 수 있는 촉각센서 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 FET 기반의 실리콘 나노 와이어 및 폴리머로 구성되는 촉각센서 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판; 상기 기판에 형성되는 소스 전극층; 상기 소스 전극층에 수직하게 형성되는 복수의 나노 와이어로 이루어진 나노 와이어 어레이; 상기 나노 와이어 어레이에 형성되는 드레인 전극층; 및 상기 소스 전극층과 상기 드레인 전극층의 사이에서 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하는 폴리머층;을 포함하는 촉각센서를 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 각각의 나노 와이어 외면에 형성되는 배리어층;을 더 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 배리어층 외면에 형성되고, 각각의 나노 와이어로부터 나노 와이어 어레이의 외부로 연장되는 게이트 전극층;을 더 포함한다.
또한, 본 발명은 (1) 나노 와이어 증착을 위한 금속 패턴을 실리콘 기판에 형성하는 단계; (2) 금속 패턴을 촉매로 실리콘 기판의 일부를 에칭하여 복수의 나노 와이어를 포함하는 나노 와이어 어레이를 형성하는 단계; (3) 각각의 나노 와이어 외면에 배리어층을 형성하는 단계; (4) 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하도록 폴리머층을 형성하는 단계; 및 (5) 상기 나노 와이어 어레이의 하부에 기판 및 소스 전극층을 형성하고, 상기 나노 와이어 어레이의 상부에 드레인 전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 촉각센서의 제조방법을 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (1)단계는, (1-1) 실리콘 기판의 상부에 라텍스 입자(latex bead)를 포함하는 단일층(monolayer)를 증착하고, 제조하고자 하는 나노 와이어의 직경에 맞춰 라텍스 입자의 크기를 조절하는 단계; 및 (1-2) 상기 단일층에 촉매 금속을 증착하고, 리프트 오프(lift-off) 공정을 통해 라텍스 입자 크기의 중공이 형성되고 촉매 금속으로 이루어진 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (2)단계는, 화학적 에칭(Metal Assisted Chemical etching, MAC etching) 공정을 통해 금속 패턴의 표면에 접한 실리콘 기판의 표면을 에칭하고, 금속 패턴에 의해 에칭되지 않은 실리콘 기판의 일부가 상기 나노 와이어 어레이로 형성되게 한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (2)단계의 화학적 에칭 공정은, 과산화수소수를 포함하는 산화제와 HF를 포함하는 산화물 제거제가 사용되고, 제조하고자 하는 나노 와이어의 길이와 직경에 따라 산화제와 산화물 제거제의 농도비와 에칭 시간이 조절된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (3)단계는, 상기 나노 와이어 어레이를 기설정된 온도의 습기에 노출시켜 각각의 나노 와이어 외면에 소정 두께의 SiOx로 이루어진 배리어층을 형성한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (4)단계는, (4-1) 실리콘 기판과 상기 나노 와이어 어레이를 분리하는 단계; 및 (4-2) 스핀 코팅 공정을 통해, 상기 분리된 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하도록 PMMA(poly-methylmethacrylate)를 포함하는 폴리머를 코팅하여 상기 폴리머층을 형성하는 단계;를 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제 (5)단계는, (5-1) 플라즈마 폴리머 식각 공정을 통해, 상기 나노 와이어 어레이의 상부면 또는 하부면이 노출되도록 상기 폴리머층과 상기 배리어층의 일부를 식각하는 단계; (5-2) 상기 노출된 나노 와이어의 일면에 상기 소스 전극층이 형성된 기판을 부착하는 단계; 및 (5-3) 상기 나노 와이어 어레이의 다른 면이 노출되도록 상기 폴리머층과 상기 배리어층의 일부를 식각하고, 해당 면에 드레인 전극층을 형성하는 단계;를 포함한다.
전술한 과제해결 수단에 의해 본 발명은 기판, 상기 기판에 형성되는 소스 전극층, 상기 소스 전극층에 수직하게 형성되는 복수의 나노 와이어로 이루어진 나노 와이어 어레이, 상기 나노 와이어 어레이에 형성되는 드레인 전극층과, 상기 소스 전극층과 상기 드레인 전극층의 사이에서 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하는 폴리머층, 각각의 나노 와이어 외면에 형성되는 배리어층 및 상기 배리어층 외면에 형성되고 각각의 나노 와이어로부터 나노 와이어 어레이의 외부로 연장되는 게이트 전극층을 포함하는 촉각센서를 제공하므로, 고감도의 촉각 감지 기능과 유연성을 동시에 확보할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서를 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서의 제조방법을 설명하기 위한 도면.
도 3은 촉각센서에 소스 전극층과 드레인 전극층을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면.
도 4는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 라텍스 입자를 나타내는 도면.
도 5는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 금속 패턴을 나타내는 도면.
도 6 및 도 7은 나노 와이어 어레이를 나타내는 도면.
도 8은 나노 와이어 어레이를 감싸는 폴리머층을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서의 제조방법을 설명하기 위한 도면.
도 3은 촉각센서에 소스 전극층과 드레인 전극층을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면.
도 4는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 라텍스 입자를 나타내는 도면.
도 5는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 금속 패턴을 나타내는 도면.
도 6 및 도 7은 나노 와이어 어레이를 나타내는 도면.
도 8은 나노 와이어 어레이를 감싸는 폴리머층을 나타내는 도면.
하기의 설명에서 본 발명의 특정 상세들이 본 발명의 전반적인 이해를 제공하기 위해 나타나 있는데, 이들 특정 상세들 없이 또한 이들의 변형에 의해서도 본 발명이 용이하게 실시될 수 있다는 것은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명하되, 본 발명에 따른 동작 및 작용을 이해하는데 필요한 부분을 중심으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서는 기판(110), 소스 전극층(120), 나노 와이어 어레이(130), 드레인 전극층(140), 배리어층(150), 게이트 전극(160) 및 폴리머층(170)을 포함하여 구성된다.
예컨대, 기판(110) 위에 소스 전극층(120)이 형성되고, 소스 전극층(120)에는 수직하게 형성된 복수의 나노 와이어(131, 132, 133)로 이루어진 나노 와이어 어레이(130)가 형성되며, 나노 와이어 어레이(130) 위에는 드레인 전극층(140)이 형성된다.
이때, 기판(110)은 고분자 필름으로 이루어진 유연기판으로 구비될 수 있고, 복수의 나노 와이어(131, 132, 133)는 실리콘으로 형성될 수 있으며, 소스 전극층(120)과 드레인 전극층(140)은 실버 에폭시(silver epoxy)를 포함하는 도전성 물질로 구비될 수 있다.
그리고, 각각의 나노 와이어(131, 132, 133) 외면에는 배리어층(150)이 형성되고, 배리어층(150) 외면에는 각각의 나노 와이어(131, 132, 133)로부터 나노 와이어 어레이(130)의 외부로 연장되는 게이트 전극(160)이 형성되며, 소스 전극층(120)과 드레인 전극층(140)의 사이에는 나노 와이어 어레이(130)를 감싸며 지지하는 폴리머층(170)이 형성될 수 있다.
여기서, 배리어층(150)의 경우에는 실리콘으로부터 산화된 SiOx로 구비될 수 있고, 게이트 전극(160)은 금속 물질 또는 실버 에폭시(silver epoxy)를 포함하는 도전성 물질로 구비될 수 있으며, 폴리머층(170)은 PMMA(poly-methylmethacrylate)를 포함하는 폴리머로 구비될 수 있다.
이러한, 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서는, 나노 와이어 어레이(130)를 구성하는 나노 와이어들(131, 132, 133)이 인체의 촉각 수용체와 같은 기능을 수행하고, 폴리머층(170)은 나노 와이어 어레이(130)를 지지하여 국부적 하중에 의한 손상을 방지하는 동시에 유연성을 부여할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서는 게이트 전극(160)을 통해 전계를 제어함으로써 센싱 감도를 향상시킬 수 있고, FET 구조를 기반으로 형성되므로 대면적의 센서 어레이를 용이하게 구현할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서를 제조하기 위한 제조방법에 대해 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서의 제조방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 촉각센서에 소스 전극층과 드레인 전극층을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 라텍스 입자를 나타내는 도면이고, 도 5는 나노 와이어 어레이의 제조를 위한 금속 패턴을 나타내는 도면이며, 도 6 및 도 7은 나노 와이어 어레이를 나타내는 도면이고, 도 8은 나노 와이어 어레이를 감싸는 폴리머층을 나타내는 도면이다.
도 2 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 촉각센서를 제조하기 위해 수행되는 촉각센서의 제조방법을 설명한다.
먼저, 나노 와이어 증착을 위한 금속 패턴을 실리콘 기판에 형성한다(S110).
이때, 나노사이즈의 dot 어레이를 손쉽게 제작할 수 있는 나노스피어(nanosphere) 리소그래피 공정을 수행하여 금속 패턴을 형성할 수 있다.
예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판의 상부에 라텍스 입자(latex bead)를 포함하는 단일층(monolayer)를 증착하고 그 라텍스 입자의 크기를 제조하고자 하는 나노 와이어의 직경에 맞춰 조절한다(S111).
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 전술한 단일층에 촉매 금속을 증착하고 라텍스 입자를 제거하는 리프트 오프(lift-off) 공정을 수행함으로써, 라텍스 입자 크기의 중공이 형성되고 촉매 금속으로 이루어진 금속 패턴을 형성할 수 있다(S112).
여기서, 라텍스 입자는 200㎚ 내지 300㎚의 크기로 증착할 수 있고, 산소 플라즈마 식각공정을 통해 50㎚ 내지 100㎚의 크기로 조절할 수 있다.
아울러, 스퍼터링 공정을 수행하여 금(Au)을 포함하는 촉매 금속을 증착할 수 있고, 라텍스 입자의 제거를 위한 리프트 오프 공정은 클로로폼(chloroform) 용액을 이용하여 수행할 수 있다.
다음, 금속 패턴을 촉매로 실리콘 기판의 일부를 에칭하여 복수의 나노 와이어를 포함하는 나노 와이어 어레이를 형성한다(S120).
이때, 나노 와이어 어레이는 화학적 에칭(Metal Assisted Chemical etching, MAC etching) 공정을 통해 형성할 수 있으며, 과산화수소수를 포함하는 산화제와 HF를 포함하는 산화물 제거제를 혼합한 식각액에 금속 패턴이 형성된 실리콘 기판을 담그면, 금속 패턴에 접한 실리콘 기판의 표면이 식각 및 용해되고, 실리콘 기판이 점차 식각되면서 금속 패턴이 수직 방향으로 하강하게 된다.
이러한 공정에 의해, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 금속 패턴에 접하지 않은 실리콘 기판의 일부, 즉, 금속 패턴에 형성된 라텍스 입자 크기의 중공에 위치한 실리콘 기판의 일부가 금속 패턴에 의해 에칭되지 않고 남아서 나노 와이어 어레이를 형성한다.
한편, 화학적 에칭 공정은 제조하고자 하는 나노 와이어의 길이와 직경에 따라 산화제와 산화물 제거제의 농도비와 에칭 시간을 조절하여 사용함이 바람직하다. 아울러, 화학적 에칭 공정은 종래 일반적인 건식 공정에 비해 저가의 비용으로 수행 가능한 이점이 있고, 종래 일반적인 습식 공정과 비교하면 비등방성 식각이 가능하다는 이점이 있다.
그 다음, 각각의 나노 와이어 외면에 배리어층을 형성한다(S130).
이때, 배리어층은 나노 와이어 어레이를 기설정된 온도의 습기에 노출시켜서 형성할 수 있는데, 이러한 과정에 의해 각각의 나노 와이어 외면에는 소정 두께의 SiOx로 이루어진 배리어층이 형성될 수 있다.
한편, 배리어층을 형성한 이후에, 배리어층의 외면에 게이트 전극층의 형성을 위한 금속층을 증착하는 공정과 그 금속층과 소스 전극층 간의 절연을 위한 절연 공정을 더 수행할 수도 있다.
그 다음에는, 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하도록 폴리머층을 형성한다(S140).
이때, 실리콘 기판과 나노 와이어 어레이를 분리한 후(S141), 그 분리된 나노 와이어 어레이에 폴리머를 코팅하여 폴리머층을 형성할 수 있다(S142).
여기서, 실리콘 기판과 나노 와이어 어레이를 분리하는 공정은, 암모니아(NH4OH)용액을 이용하여 나노 와이어 어레이의 하부, 즉, 나노 와이어 어레이와 실리콘 기판 간의 연결부를 선택적으로 용해하는 방식으로 이루어지며, 분리된 나노 와이어 어레이는 모세관력에 의해 실리콘 기판에 부착된 상태가 된다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 폴리머층을 형성하는 공정은, 스핀 코팅 공정을 통해 PMMA(poly-methylmethacrylate)를 포함하는 폴리머를 분리된 나노 와이어 어레이에 도포하여 코팅함으로써, 나노 와이어 어레이의 나노 와이어들을 감싸며 지지하는 폴리머층을 형성할 수 있다.
그 다음에는, 나노 와이어 어레이의 하부에 기판 및 소스 전극층을 형성하고, 나노 와이어 어레이의 상부에 드레인 전극층을 형성한다(S150).
이를 위해, 나노 와이어 어레이의 상부면 또는 하부면이 노출되도록, 플라즈마 폴리머 식각 공정을 통해 폴리머층과 배리어층의 일부를 식각하고(S151), 노출된 나노 와이어의 일면에 소스 전극층이 형성된 기판을 부착한 후(S152), 나노 와이어 어레이의 다른 면이 노출되도록 플라즈마 폴리머 식각 공정을 통해 폴리머층과 배리어층의 일부를 다시 식각하고 해당 면에 드레인 전극층을 형성할 수 있다.
이때, 소스 전극층이 형성된 기판은 실버 에폭시(silver epoxy)를 포함하는 도전성 물질이 코팅되고 고분자 필름으로 이루어진 유연기판일 수 있고, 드레인 전극층은 실버 에폭시(silver epoxy)를 포함하는 도전성 물질을 도포하거나 증착하여 형성될 수 있다.
한편, 전술한 제 151단계와 제 152단계의 사이에, 나노 와이어 어레이에서 게이트 전극층의 형성을 위해 증착된 금속층, 즉, 배리어층 외면에 증착된 금속층을 나노 와이어 어레이의 외부로 연결하기 위한 금속층을 추가적으로 증착하여 게이트 전극층을 형성할 수 있으며, 이와 소스 전극층 간의 절연을 위한 폴리머를 도포하는 절연 공정을 더 수행할 수도 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
110 : 기판
120 : 소스 전극층
130 : 나노 와이어 어레이
140 : 드레인 전극층
150 : 배리어층
160 : 게이트 전극층
170 : 폴리머층
120 : 소스 전극층
130 : 나노 와이어 어레이
140 : 드레인 전극층
150 : 배리어층
160 : 게이트 전극층
170 : 폴리머층
Claims (10)
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- (1) 나노 와이어 증착을 위한 금속 패턴을 실리콘 기판에 형성하는 단계;
(2) 금속 패턴을 촉매로 실리콘 기판의 일부를 에칭하여 복수의 나노 와이어를 포함하는 나노 와이어 어레이를 형성하는 단계;
(3) 각각의 나노 와이어 외면에 배리어층을 형성하는 단계;
(4) 상기 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하도록 폴리머층을 형성하는 단계; 및
(5) 상기 나노 와이어 어레이의 하부에 기판 및 소스 전극층을 형성하고, 상기 나노 와이어 어레이의 상부에 드레인 전극층을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 제 (1)단계는,
(1-1) 실리콘 기판의 상부에 라텍스 입자(latex bead)를 포함하는 단일층(monolayer)를 증착하고, 제조하고자 하는 나노 와이어의 직경에 맞춰 라텍스 입자의 크기를 조절하는 단계; 및
(1-2) 상기 단일층에 촉매 금속을 증착하고, 리프트 오프(lift-off) 공정을 통해 라텍스 입자 크기의 중공이 형성되고 촉매 금속으로 이루어진 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
- 삭제
- 제 4항에 있어서,
상기 제 (2)단계는,
화학적 에칭(Metal Assisted Chemical etching, MAC etching) 공정을 통해 금속 패턴의 표면에 접한 실리콘 기판의 표면을 에칭하고, 금속 패턴에 의해 에칭되지 않은 실리콘 기판의 일부가 상기 나노 와이어 어레이로 형성되게 한 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
- 제 6항에 있어서,
상기 제 (2)단계의 화학적 에칭 공정은,
과산화수소수를 포함하는 산화제와 HF를 포함하는 산화물 제거제가 사용되고, 제조하고자 하는 나노 와이어의 길이와 직경에 따라 산화제와 산화물 제거제의 농도비와 에칭 시간이 조절되는 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,
상기 제 (3)단계는,
상기 나노 와이어 어레이를 기설정된 온도의 습기에 노출시켜 각각의 나노 와이어 외면에 소정 두께의 SiOx로 이루어진 배리어층을 형성하는 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,
상기 제 (4)단계는,
(4-1) 실리콘 기판과 상기 나노 와이어 어레이를 분리하는 단계; 및
(4-2) 스핀 코팅 공정을 통해, 상기 분리된 나노 와이어 어레이를 감싸며 지지하도록 PMMA(poly-methylmethacrylate)를 포함하는 폴리머를 코팅하여 상기 폴리머층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,
상기 제 (5)단계는,
(5-1) 플라즈마 폴리머 식각 공정을 통해, 상기 나노 와이어 어레이의 상부면 또는 하부면이 노출되도록 상기 폴리머층과 상기 배리어층의 일부를 식각하는 단계;
(5-2) 상기 노출된 나노 와이어의 일면에 상기 소스 전극층이 형성된 기판을 부착하는 단계; 및
(5-3) 상기 나노 와이어 어레이의 다른 면이 노출되도록 상기 폴리머층과 상기 배리어층의 일부를 식각하고, 해당 면에 드레인 전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서의 제조방법.
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| KR20160041978A (ko) * | 2013-08-09 | 2016-04-18 | 제나 테크놀로지스 인코포레이티드 | 나노와이어 구조 컬러 필터 어레이 및 그 제조 방법 |
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