KR101994850B1

KR101994850B1 - Apparatus for measuring prrssure of cerebrospinal fluid and method for manufacturing the same

Info

Publication number: KR101994850B1
Application number: KR1020170153128A
Authority: KR
Inventors: 김소희; 문현민; 추남선
Original assignee: 재단법인대구경북과학기술원
Priority date: 2017-11-16
Filing date: 2017-11-16
Publication date: 2019-07-01
Also published as: KR20190056080A

Abstract

본 발명의 일 실시 예는, 유압에 의해 부피가 증가한 탄성체를 구비하고, 이와 같은 탄성체를 이용하여 본 발명의 압력 측정 장치가 두개골 내에서 고정되므로, 두개골의 손상을 야기하지 않고 두개골 내 압력을 측정할 수 있는 장치를 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 두개골 내 압력 측정 장치는, 복수 개의 레이어가 적층되어 형성되고, 복수 개의 레이어 중 하나의 레이어와 다른 레이어 사이 비접착 부위인 비접착부를 복수 개 구비하는 몸체부; 적어도 하나 이상 몸체부에 구비되고, 비접착부 중 제1비접착부에 유체가 유입되어 제1비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되는 고정부; 몸체부에 구비되고, 비접착부 중 제2비접착부에 유체가 유입되어 제2비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 외부 압력을 감지하는 압력센서부; 몸체부에 구비되고, 비접착부 중 제3비접착부에 유체가 유입되어 제3비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 상기 고정부 또는 상기 압력센서부로 유입되는 상기 유체에 유로를 제공하는 유로부; 및 압력센서부와 연결되고, 압력센서부로부터 신호를 전달 받는 회로부;를 포함한다. In an embodiment of the present invention, the pressure measuring device of the present invention is fixed in the skull by using an elastic body having increased volume by hydraulic pressure, and the pressure of the skull is measured without causing damage to the skull. Lt; / RTI > An intracranial pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a body portion formed by stacking a plurality of layers and having a plurality of non-adhesive portions, which are non-adhesive portions between one layer and another layer; A fixing part which is provided on at least one body and is formed by increasing the volume of the first non-bonding part by flowing fluid into the first non-bonding part of the non-bonding part; A pressure sensor part provided in the body part and formed by increasing the volume of the second non-adhered part by flowing fluid into the second non-adhered part of the non-adhered part, and sensing external pressure; A flow path portion provided in the body portion and formed by increasing the volume of the third non-adhered portion by flowing fluid into the third non-adhered portion of the non-adhered portion, and providing a flow path to the fluid flowing into the fixed portion or the pressure sensor portion; And a circuit unit connected to the pressure sensor unit and receiving a signal from the pressure sensor unit.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an intracranial pressure measuring apparatus and a method for manufacturing the same,

본 발명은 두개골 내 압력 측정 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 유압에 의해 부피가 증가한 탄성체를 구비하고, 이와 같은 탄성체를 이용하여 본 발명의 압력 측정 장치가 두개골 내에서 고정되므로, 두개골의 손상을 야기하지 않고 두개골 내 압력을 측정할 수 있는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an intracranial pressure measuring device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an intracranial pressure measuring device having an elastic body with increased volume by hydraulic pressure, and the pressure measuring device of the present invention is fixed in the skull using such an elastic body , A device capable of measuring the pressure in the skull without causing damage to the skull.

발육이 이루어짐에 따라 두개골봉합선(cranial suture)의 결합이 완료되면 뇌는 단단한 두개골로 완전히 둘러 싸이게 된다. 이렇게 한정된 두개골 공간을 뇌실질, 뇌척수액 및 혈액이 차지하고 있는데, 이 세 부분 중 어느 하나의 용적이 증가하면 다른 부분의 부피가 감소하여 압력의 증가를 보상하게 된다. 하지만 이러한 보상작용이 충분하지 못하게 되면 결국 뇌압의 상승을 가져오게 된다.As the development is completed, the cranial suture is fully engaged and the brain is completely surrounded by a solid skull. This limited skull space is occupied by the parenchyma, cerebrospinal fluid and blood. As the volume of one of these three parts increases, the volume of the other part decreases, compensating for the increase in pressure. However, if this compensatory action is not enough, it will lead to a rise in intracranial pressure.

뇌압의 상승은 뇌조직의 이차적인 손상을 입혀 예후를 불량하게 만들므로, 뇌압의 상승을 미리 발견하고 조치를 취하는 것이 필요하다.Because elevated intracranial pressure causes secondary damage to the brain tissue and leads to poor prognosis, it is necessary to detect the rise of intracranial pressure and take measures.

최근에 비침습적 뇌압 측정방법에 대한 연구가 많이 이루어지고 있지만, 임상적으로 적용할 만한 장비는 없어서, 아직까지는 뇌압을 정확하게 측정하기 위해서는 침습적인 방법을 사용하게 된다.Recently, there have been a lot of studies on the noninvasive ICP measurement, but there is no clinically applicable equipment, and so far, invasive methods have been used to accurately measure the ICP.

다만, 종래의 침습적인 방법 기술을 이용하여 뇌압 또는 뇌척수액의 압력을 측정하는 경우, 압력 센서를 두개골 내에 삽입 및 고정시키게 되는데, 겉면이 강체인 압력 센서를 뇌피질과 두개골 사이에 고정시키기 어렵다는 문제점이 있다.However, when measuring the pressure of the cerebral pressure or cerebrospinal fluid using the conventional invasive technique, the pressure sensor is inserted and fixed in the skull, and it is difficult to fix the pressure sensor having a rigid surface between the brain cortex and the skull have.

그리고, 두개골에 종래기술의 압력 센서를 고정하기 위해서 고정나사를 이용함으로써, 두개골의 손상을 야기할 수 있다.And, using a fixing screw to fix the pressure sensor of the prior art to the skull may cause damage to the skull.

대한민국 공개특허 제10-2007-0106007호(발명의 명칭: 뇌 파라미터를 측정하기 위한 장치)에서는, 실질 및/또는 뇌실에 최소절개 방식으로 원심 삽입될 수 있고 두개골을 통해 안내될 수 있는 도관 센서 유닛을 구비하고, 센서 유닛은 두개골에 대해 기부에 근접하게 고정될 수 있으며, 센서 유닛(2)의 근위 원주부는 센서 유닛을 두개골에 결속하기 위한 자절 외부 나사산을 구비하여, 두개골에 원심 삽입되어 고정되는 뇌 파라미터 측정 장치가 개시되어 있다. Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0106007 (a device for measuring brain parameters) discloses a catheter sensor unit which can be inserted into the parenchyma and / And the proximal circumference of the sensor unit 2 has an external thread for externalizing the sensor unit to the skull so as to be fixedly inserted into the skull in a centrifugal manner An apparatus for measuring brain parameters is disclosed.

대한민국 공개특허 제10-2007-0106007호Korean Patent Publication No. 10-2007-0106007

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 고정나사를 이용하지 않고 두개골 내에 침습적인 압력 센서를 삽입하여 두개골 내 압력을 측정하는 것이다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to measure the pressure in the skull by inserting an invasive pressure sensor into the skull without using a fixing screw.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. There will be.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 복수 개의 레이어가 적층되어 형성되고, 상기 복수 개의 레이어 중 하나의 레이어와 다른 레이어 사이 비접착 부위인 비접착부를 복수 개 구비하는 몸체부; 적어도 하나 이상 상기 몸체부에 구비되고, 상기 비접착부 중 제1비접착부에 유체가 유입되어 상기 제1비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되는 고정부; 상기 몸체부에 구비되고, 상기 비접착부 중 제2비접착부에 상기 유체가 유입되어 상기 제2비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 외부 압력을 감지하는 압력센서부; 상기 몸체부에 구비되고, 상기 비접착부 중 제3비접착부에 상기 유체가 유입되어 상기 제3비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 상기 고정부 또는 상기 압력센서부로 유입되는 상기 유체에 유로를 제공하는 유로부; 및 상기 압력센서부와 연결되고, 상기 압력센서부로부터 신호를 전달 받는 회로부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid ejecting apparatus comprising: a body portion having a plurality of layers laminated and having a plurality of non-adhered portions which are non-adhered portions between one layer and another layer; A fixing unit provided on at least one of the body portions and formed by increasing the volume of the first non-adhered portion by flowing fluid into the first non-adhered portion of the non-adhered portion; A pressure sensor part provided in the body part and formed by increasing the volume of the second non-adhered part due to the inflow of the fluid into the second non-adhered part of the non-adhered part, and sensing an external pressure; The fluid is introduced into the third non-adhered portion of the non-adhered portion to increase the volume of the third non-adhered portion, and a flow path is provided to the fluid flowing into the fixed portion or the pressure sensor portion A flow part; And a circuit unit connected to the pressure sensor unit and receiving a signal from the pressure sensor unit.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 고정부는, 두개골과 뇌피질 사이에 위치하고, 상기 유체의 유압에 의해 상기 몸체부를 두개골 내 고정시킬 수 있다. In an embodiment of the present invention, the fixation part is located between the skull and the brain cortex, and the body part can be fixed in the skull by the fluid pressure of the fluid.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 복수 개의 레이어 중 어느 하나의 레이어는 탄성중합체 또는 금속으로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, any one of the plurality of layers may be formed of an elastomer or metal.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 탄성중합체는 폴리디메틸실록산(polydimethylslioxane, PDMS)으로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the elastomer may be formed of polydimethylsiloxane (PDMS).

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 압력센서부는, 상기 압력센서부의 내부에 형성되는 공동부, 상기 복수 개의 레이어 중 상기 압력센서부의 하부를 형성하는 레이어 상에 형성되어 상기 공동부의 하부에 위치하고, 상기 금속으로 형성되는 하부전극, 및 상기 복수 개의 레이어 중 상기 압력센서부의 상부를 형성하는 레이어 상에 형성되고, 상기 금속으로 형성되는 상부전극,을 구비하고, 상기 상부전극과 상기 하부전극 서로의 간격 및 면적 변화로 인한 정전용량 값 또는 전기저항 값 변화를 이용하여 외부 압력을 감지할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the pressure sensor unit may include a cavity formed inside the pressure sensor unit, a pressure sensor unit disposed on a lower surface of the pressure sensor unit, And an upper electrode formed on the layer forming the upper portion of the pressure sensor unit among the plurality of layers and formed of the metal, wherein the gap between the upper electrode and the lower electrode, The external pressure can be sensed by using the capacitance value or the change of the electric resistance value due to the area change.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 금속은 티타늄(Ti) 또는 금(Au)일 수 있다. In an embodiment of the present invention, the metal may be titanium (Ti) or gold (Au).

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 복수 개의 레이어 중 어느 하나의 레이어는 파릴렌 코팅(parylene coationg)에 의해 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, any one of the plurality of layers may be formed by parylene coating.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 유로부와 결합하고, 상기 유로부에 상기 유체를 유입시키기 위한 튜브를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the apparatus may further include a tube coupled to the flow path portion and adapted to introduce the fluid into the flow path portion.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 비접착부는, 상기 복수 개의 레이어 중 하나의 레이어와 다른 레이어 사이 접착 부위인 접착부에 의해 외부와 차단될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the non-adhesive portion may be shielded from the outside by one of the plurality of layers and an adhesive portion which is an adhesive portion between the other layers.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 회로부는 상기 압력센서부로부터 전달된 신호를 분석하여 압력 강도를 도출할 수 있다. In the embodiment of the present invention, the circuit unit may analyze the signal transmitted from the pressure sensor unit to derive the pressure intensity.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, i) 기판 상에 탄성중합체를 코팅하여 제1레이어를 형성하고, 상기 제1레이어 상에 파릴렌 코팅을 수행하여 제2레이어를 형성하는 단계; ii) 상기 제2레이어 상에 금속으로 형성되는 레이어인 제3레이어를 형성하고, 상기 제3레이어에 대한 패터닝을 수행하여 하부전극을 형성하는 단계; iii) 상기 제2레이어 및 상기 하부전극 상에 상기 탄성중합체를 코팅하여 제4레이어를 형성하고, 플라즈마를 이용한 접착으로 접착부 및 상기 비접착부를 형성하는 단계; iv) 상기 제4레이어 상에 파릴렌 코팅을 수행하여 제5레이어를 형성하고, 상기 제5레이어 상에 상기 금속으로 형성되는 제6레이어를 형성하는 단계; v) 상기 제6레이어에 대한 패터닝을 수행하여 상부전극을 형성하고, 상기 제5레이어 및 상기 상부전극 상에 파릴렌 코팅을 수행하여, 상부전극과 외부 간 절연이 되도록 절연층을 형성하는 단계; 및 vi) 상기 절연층에 대한 패터닝을 수행하고, 상기 기판을 제거하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating a semiconductor device, comprising the steps of: i) forming a first layer by coating an elastomer on a substrate, and performing a parylene coating on the first layer to form a second layer ; ii) forming a third layer, which is a layer formed of a metal, on the second layer, and patterning the third layer to form a lower electrode; iii) forming a fourth layer by coating the elastomer on the second layer and the lower electrode, and forming a bonding portion and a non-bonding portion by adhesion using plasma; iv) forming a fifth layer by performing a parylene coating on the fourth layer, and forming a sixth layer formed of the metal on the fifth layer; v) patterning the sixth layer to form an upper electrode; performing parylene coating on the fifth layer and the upper electrode to form an insulating layer to be insulated from the upper electrode; And vi) performing patterning on the insulating layer and removing the substrate.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제1레이어 또는 상기 제4레이어는, 상기 탄성중합체를 이용한 스핀 코팅으로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first layer or the fourth layer may be formed by spin coating using the elastomer.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제3레이어 또는 상기 제6레이어는, 상기 금속을 이용한 증착으로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the third layer or the sixth layer may be formed by evaporation using the metal.

본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 iii) 단계에서, 상기 접착은 질소 또는 산소 플라즈마를 이용하여 수행될 수 있다. In an embodiment of the present invention, in the step iii), the adhesion may be performed using a nitrogen or oxygen plasma.

상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 효과는, 본 발명의 압력 측정 장치가 유압에 의해 부피가 증가한 탄성체를 구비하고, 이와 같은 탄성체를 이용하여 본 발명의 압력 측정 장치가 두개골 내에서 고정되므로, 두개골의 손상을 야기하지 않으며, 고정나사를 이용하여 고정하는 부가적인 방법을 사용하지 않고, 두개골 내 압력을 측정할 수 있다는 것이다. The effect of the present invention according to the above configuration is that the pressure measuring device of the present invention has an elastic body with increased volume by hydraulic pressure and the pressure measuring device of the present invention is fixed in the skull by using such elastic body, And that the pressure in the skull can be measured without the use of additional methods of securing with a set screw.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다. It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above effects and include all effects that can be deduced from the detailed description of the present invention or the configuration of the invention described in the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 실시상태도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 하부전극이 형성되는 사항에 대한 실시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 비접착부가 형성되는 사항에 대한 실시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 상부전극이 형성되는 사항에 대한 실시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 상부전극에 파릴렌을 이용한 절연층이 도포되는 사항에 대한 실시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어에 플라즈마에 의한 파릴렌 절연층의 식각이 수행되는 사항에 대한 실시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 관통부에 튜브가 결합하는 과정에 대한 실시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 관통부에 튜브를 통한 유체 유입에 대한 실시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 고정부에 액체가 유입되는 사항에 대한 이미지이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 고정부에 공기가 유입되는 사항에 대한 이미지이다.1 is a perspective view of a pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a sectional view of a pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is an operational state diagram of a pressure measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a layer and a lower electrode according to an embodiment of the present invention.
5 is an explanatory view of the formation of layers and non-adhered portions according to an embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating a layer and an upper electrode according to an embodiment of the present invention.
7 is a view illustrating an application of an insulating layer using parylene to an upper electrode according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an explanatory view of the etching of a parylene layer by plasma on a layer according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
FIG. 9 is a view illustrating a process of coupling a tube to a penetration portion according to an embodiment of the present invention.
10 is an illustration of fluid inflow through a tube in a penetration according to an embodiment of the present invention.
FIG. 11 is an image of a liquid flowing into the fixing unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 12 is an image showing the influx of air into the fixing part according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시 예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" (connected, connected, coupled) with another part, it is not only the case where it is "directly connected" "Is included. Also, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements unless specifically stated otherwise.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 대하여 상세히 설명하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 단면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 측정 장치의 실시상태도이다.FIG. 1 is a perspective view of a pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention. 3 is an operational state diagram of a pressure measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2의 (a) 및 (b)는 도 1의 A-A`라인에 대한 단면도이고, 도 2의 (a)는 고정부(120) 및 압력센서부(110)에 유체가 유입되기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 고정부(120) 및 압력센서부(110)에 유체가 유입된 후의 상태를 나타낸 것일 수 있다. 2A is a cross-sectional view taken along the line AA 'in FIG. 1, and FIG. 2A is a view showing a state before the fluid enters the fixed portion 120 and the pressure sensor portion 110. FIG. And FIG. 2 (b) shows the state after the fluid enters the fixing part 120 and the pressure sensor part 110. FIG.

도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치는, 복수 개의 레이어가 적층되어 형성되고, 복수 개의 레이어 중 하나의 레이어와 다른 레이어 사이 비접착 부위인 비접착부를 복수 개 구비하는 몸체부(100); 적어도 하나 이상 몸체부(100)에 구비되고, 비접착부 중 제1비접착부에 유체가 유입되어 제1비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되는 고정부(120); 몸체부(100)에 구비되고, 비접착부 중 제2비접착부에 유체가 유입되어 제2비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 외부 압력을 감지하는 압력센서부(110); 몸체부(100)에 구비되고, 비접착부 중 제3비접착부에 유체가 유입되어 제3비접착부의 부피가 증가함으로써 형성되며, 고정부(120) 또는 압력센서부(110)로 유입되는 유체에 유로를 제공하는 유로부(130); 및 압력센서부(110)와 연결되고, 압력센서부(110)로부터 신호를 전달 받는 회로부(200);를 포함할 수 있다. As shown in FIGS. 1 to 3, the intracranial pressure measuring device of the present invention includes a plurality of layers formed by stacking one layer of a plurality of layers and a plurality of non- (100); A fixing part 120 provided on at least one body part 100 and formed by increasing the volume of the first non-adhered part due to inflow of fluid into the first non-adhered part of the non-adhered part; A pressure sensor part 110 provided in the body part 100 and formed by increasing the volume of the second non-adhered part due to the inflow of fluid into the second non-adhered part of the non-adhered part, and sensing an external pressure; And the third non-adhered portion is formed by increasing the volume of the third non-adhered portion and the fluid flowing into the fixed portion 120 or the pressure sensor portion 110 is formed on the body portion 100, A flow path 130 for providing a flow path; And a circuit unit 200 connected to the pressure sensor unit 110 and receiving a signal from the pressure sensor unit 110.

여기서, 도 1에서 보는 바와 같이, 압력센서부(110)에 연결되는 제1 유로부(131)와 고정부(120)에 연결되는 제2유로부(132)는 각각 별도로써 독립적으로 형성될 수 있다. 1, the first flow path unit 131 connected to the pressure sensor unit 110 and the second flow path unit 132 connected to the fixed unit 120 may be formed independently of each other, have.

그 이유는, 상기와 같은 유로부(130)의 형성으로 인해, 고정을 위해 외부로부터 압력을 받는 고정부(120)의 압력 변화가 압력센서부(110)에 영향을 미치지 않아 압력센서부(110)만의 압력 변화로 두개골 내 압력인 뇌압을 정확하게 측정할 수 있기 때문일 수 있다.The reason for this is that due to the formation of the flow path portion 130 as described above, the pressure change of the fixing portion 120, which receives pressure from the outside for fixing, does not affect the pressure sensor portion 110, ) May be due to the ability to accurately measure intracranial pressure, which is the pressure within the skull.

도 3에서 보는 바와 같이, 고정부(120)는, 두개골과 뇌피질 사이에 위치하고, 유체의 유압에 의해 몸체부(100)를 두개골 내 고정시킬 수 있다. As shown in FIG. 3, the fixation portion 120 is located between the skull and the cerebral cortex, and the body portion 100 can be fixed in the skull by the fluid pressure of the fluid.

본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치는, 유체의 유압에 의해 고정부(120)의 부피가 증가하고, 이와 같은 형상이 변화된 고정부(120)의 탄성 및 고정부(120) 내부의 유압에 의해 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치가 두개골 내에서 고정되므로, 두개골의 손상을 야기하지 않고 두개골 내 압력을 측정할 수 있다.In the intracranial pressure measuring apparatus of the present invention, the volume of the fixed portion 120 is increased by the fluid pressure of the fluid, and the elasticity of the fixed portion 120 having the changed shape and the fluid pressure inside the fixed portion 120 Since the inventive intracranial pressure measuring device is fixed in the skull, the pressure in the skull can be measured without causing damage to the skull.

그리고, 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치는, 두개골에 직접적으로 결합하여 고정되지는 않으므로, 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치의 위치 변경에 의해 압력센서부(110)의 위치가 변경 가능하여, 압력 측정 범위를 유동적으로 조절할 수 있다. In addition, since the intracranial pressure measuring device of the present invention is not directly coupled to the skull and fixed, the position of the pressure sensor part 110 can be changed by changing the position of the intracranial pressure measuring device of the present invention, The measuring range can be adjusted flexibly.

도 2에서 보는 바와 같이, 몸체부(100)는 복수 개의 레이어가 적층되어 형성되나, 각각의 레이어는 각각 별도로 적층될 수도 있어, 몸체부(100)의 각 부위에 대해 레이어가 불균일하게 적층될 수 있다. As shown in FIG. 2, the body 100 is formed by stacking a plurality of layers, but each layer may be separately stacked, so that the layers may be unevenly stacked on each part of the body 100 have.

복수 개의 레이어 중 어느 하나의 레이어는 탄성중합체 또는 금속으로 형성될 수 있다. Any one of the plurality of layers may be formed of an elastomer or metal.

비접착부는, 복수 개의 레이어 중 하나의 레이어와 다른 레이어 사이 접착 부위인 접착부(101)에 의해 외부와 차단될 수 있다.The non-adhesive portion can be shielded from the outside by the adhesive portion 101 which is an adhesive portion between one layer of the plurality of layers and another layer.

일부 레이어는 탄성중합체로 형성될 수 있으며, 탄성중합체로 형성되는 레이어는 탄성을 구비할 수 있다. 그리고, 이와 같이 탄성을 구비하는 하나의 레이어와 다른 레이어 간 접착 부위인 접착부(101) 및 비접착 부위인 비접착부가 형성될 수 있으며, 비접착부에 외부로부터 유체가 유입되면, 탄성을 구비하는 레이어가 신장되며, 이와 같은 풍선 효과에 의해 비접착부의 부피가 증가할 수 있다.Some layers may be formed of an elastomer, and a layer formed of an elastomer may have elasticity. The adhesion portion 101, which is an adhesion portion between one layer having elasticity and another layer, and the non-adhesion portion, which is a non-adhesion portion, can be formed. When a fluid flows from the outside into the non-adhesion portion, And the volume of the non-adhered portion can be increased by the balloon effect.

풍선과 같이 곡면을 구비하며 부풀어 오른 제1비접착부 및 제2비접착부에 의해 고정부(120) 및 압력센서부(110)가 형성될 수 있고, 제1비접착부 또는 제2비접착부에 연결되는 제3비접착부가 부풀어 올라 유로부(130)가 형성될 수 있다. The fixed portion 120 and the pressure sensor portion 110 can be formed by the first non-adhered portion and the second non-adhered portion having a curved surface like a balloon and connected to the first non-adhered portion or the second non- The third non-adhered portion swells and the flow path portion 130 can be formed.

(제1비접착부, 제2비접착부 및 제3비접착부는 유체 유입에 의해 고정부(120), 압력센서부(110) 및 유로부(130)로 변화하므로, 별도의 도면 부호를 기재하지 않을 수 있다.)(Since the first non-adhered portion, the second non-adhered portion and the third non-adhered portion change into the fixed portion 120, the pressure sensor portion 110 and the flow path portion 130 due to fluid inflow, You can.

도 1에서 보는 바와 같이, 고정부(120)가 연결되고, 압력센서부(110)는 분리되어, 복수 개의 유로부(130)에 대한 유체 유입으로 고정부(120), 압력센서부(110) 또는 유로부(130)의 부피가 증가할 수 있다.1, the fixing unit 120 is connected and the pressure sensor unit 110 is separated to separate the fixing unit 120, the pressure sensor unit 110, Or the volume of the flow path portion 130 may increase.

그리고, 도시되지는 않았으나, 각각의 고정부(120) 및 각각의 압력센서부(110)가 분리되어, 각각의 고정부(120) 및 각각의 압력센서부(110)에 연결된 복수 개의 유로부(130) 각각에 대한 유체 유입으로 고정부(120), 압력센서부(110) 또는 유로부(130)의 부피가 증가할 수 있다. Although not shown in the figure, each of the fixing portions 120 and the pressure sensor portions 110 are separated from each other and a plurality of flow paths (not shown) connected to the fixing portions 120 and the pressure sensor portions 110 The volume of the fixing portion 120, the pressure sensor portion 110, or the flow path portion 130 may increase.

이와 같은 경우, 고정부(120) 또는 압력센서부(110)에 유입되는 유체의 양과 유압을 별도로 제어하여, 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치가 두개골 내 위치 고정되는데 정밀한 제어가 가능할 수 있다. In this case, the amount of the fluid flowing into the fixing unit 120 or the pressure sensor unit 110 and the hydraulic pressure are separately controlled, so that the intracranial pressure measuring device of the present invention is fixed in position in the skull and precise control can be performed.

탄성중합체는 폴리디메틸실록산(polydimethylslioxane, PDMS)으로 형성될 수 있다. The elastomer may be formed of polydimethylsiloxane (PDMS).

폴리디메틸실록산(PDMS)은 생체 친화적 고분자 물질로써, 몸체부(100)의 외측면을 형성하는 레이어가 폴리디메틸실록산으로 형성되는 경우, 몸체부(100)가 두개골 내 위치하더라도 두개골 내 생체 조직의 거부 현상을 최소화할 수 있다. Polydimethylsiloxane (PDMS) is a biocompatible polymeric substance. When the layer forming the outer surface of the body part 100 is formed of polydimethylsiloxane, even if the body part 100 is located in the skull, The phenomenon can be minimized.

본 발명의 실시 예에서는 레이어를 형성하는 탄성중합체가 폴리디메틸실록산이라고 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 생체 친화적이면 탄성을 구비하는 다른 물질이 사용될 수 있다.In the embodiment of the present invention, it is described that the elastomer forming the layer is polydimethylsiloxane. However, the present invention is not limited thereto, and other materials having elasticity may be used if they are biocompatible.

압력센서부(110)는, 압력센서부(110)의 내부에 형성되는 공동부(113), 복수 개의 레이어 중 압력센서부(110)의 하부를 형성하는 레이어 상에 형성되어 공동부(113)의 하부에 위치하고, 금속으로 형성되는 하부전극(112), 및 복수 개의 레이어 중 압력센서부(110)의 상부를 형성하는 레이어 상에 형성되고, 금속으로 형성되는 상부전극(111),을 구비하고, 상부전극(111)과 하부전극(112) 서로의 간격 및 면적 변화로 인한 정전용량 값 또는 전기저항 값 변화를 이용하여 외부 압력을 감지할 수 있다. The pressure sensor unit 110 includes a cavity 113 formed inside the pressure sensor unit 110 and a cavity 113 formed on a layer forming a lower portion of the pressure sensor unit 110, And a top electrode 111 formed on the layer forming the upper portion of the pressure sensor unit 110 among the plurality of layers and formed of a metal, An external pressure can be sensed by using a capacitance value or a change in electric resistance value due to a change in the interval and area between the upper electrode 111 and the lower electrode 112. [

상기와 같이, 상부전극(111) 또는 하부전극(112)은 금속으로 형성되는 레이어일 수 있다. 여기서, 금속은 티타늄(Ti) 또는 금(Au)일 수 있다.As described above, the upper electrode 111 or the lower electrode 112 may be a layer formed of a metal. Here, the metal may be titanium (Ti) or gold (Au).

상부전극(111) 및 하부전극(112)을 형성하는 금속이 티타늄(Ti) 또는 금(Au)인 경우, 상부전극(111)이 두개골 내 생체 조직과 접촉하는 경우 생체 거부 현상을 최소화할 수 있으며, 몸체부(100)의 손상에 의해 하부전극(112)이 노출되어 두개골 내 생체 조직과 접촉하더라도 생체 거부 현상을 최소화할 수 있다. When the metal forming the upper electrode 111 and the lower electrode 112 is made of titanium (Ti) or gold (Au), when the upper electrode 111 contacts the living tissue in the skull, the biodegradation phenomenon can be minimized Even if the lower electrode 112 is exposed by contact with the living tissue in the skull due to the damage of the body part 100, the biodegradation phenomenon can be minimized.

도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이, 비접착부에 유체가 유입되어 비접착부의 부피가 증가하여 부풀어 오름으로써 공동부(113)가 형성될 수 있다. 그리고, 탄성중합체로 형성되어 탄성을 구비하는 레이어에 의해 둘러싸인 공동부(113)는 탄성을 구비하는 레이어의 신축에 의해 내부 공간의 크기가 변화할 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the cavity may be formed by inflow of the fluid into the non-adhered portion and increasing the volume of the non-adhered portion to swell. The size of the inner space can be changed by the expansion and contraction of the layer having elasticity in the cavity 113 surrounded by the elastic layer formed of the elastic polymer.

상기와 같이 외부의 압력 변화에 의해 공동부(113)의 크기가 변화함으로써, 상부전극(111)과 하부전극(112) 각각의 위치가 변하여 상부전극(111)과 하부전극(112)의 간격이 변화할 수 있다. 그리고, 공동부(113)의 크기가 변화함으로써, 상부전극(111)과 하부전극(112)의 간격이 변화할 수 있다.As the size of the cavity 113 is changed by the external pressure change as described above, the positions of the upper electrode 111 and the lower electrode 112 are changed, and the gap between the upper electrode 111 and the lower electrode 112 is changed It can change. The gap between the upper electrode 111 and the lower electrode 112 can be changed by changing the size of the cavity 113.

상부전극(111)과 하부전극(112)의 간격이 변화하거나, 상부전극(111)의 면적 또는 하부전극(112)의 면적이 변화함으로써, 압력센서부(110)의 정전용량(또는 전기저항)이 변화할 수 있고, 압력센서부(110)는 이와 같은 정전용량 값 또는 전기저항 값 변화를 회로부(200)에 전기 신호로 전달할 수 있다.The capacitance between the upper electrode 111 and the lower electrode 112 changes or the area of the upper electrode 111 or the area of the lower electrode 112 changes so that the capacitance (or electrical resistance) And the pressure sensor unit 110 can transmit the capacitance value or the electrical resistance value change to the circuit unit 200 as an electric signal.

그리고, 회로부(200)는 압력센서부(110)로부터 전달된 신호를 분석하여 압력 강도를 도출할 수 있다.The circuit unit 200 may analyze the signal transmitted from the pressure sensor unit 110 to derive the pressure intensity.

구체적으로, 회로부(200)는 압력센서부(110)로부터 전기 신호를 전달 받아 두개골 내 압력 변화에 의한 압력센서부(110)의 정전용량 값 또는 전기저항 값 변화에 대한 정보를 획득할 수 있으며, 이를 분석하여 두개골 내 뇌척수액의 압력 강도를 도출할 수 있다. Specifically, the circuit unit 200 receives an electric signal from the pressure sensor unit 110 to acquire information on a capacitance value or an electrical resistance value change of the pressure sensor unit 110 due to a pressure change in the skull, This can be analyzed to derive the pressure intensity of the CSF in the skull.

그리고, 상기와 같이 압력센서부(110)의 정전용량 값 또는 전기저항 값 변화를 이용하여 두개골 내 뇌척수액의 압력 강도를 도출하기 위해 회로부(200)는 IC 회로 칩을 구비할 수 있다. 이에 따라, 회로부(200)를 포함하는 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치의 크기가 감소할 수 있으며, 사용자의 신체에 삽입하기에 용이할 수 있다. The circuit unit 200 may include an IC circuit chip to derive the pressure intensity of the cerebrospinal fluid in the skull using the capacitance value or the electrical resistance value change of the pressure sensor unit 110 as described above. Accordingly, the size of the intracranial pressure measuring device including the circuit part 200 of the present invention can be reduced, and it can be easily inserted into the user's body.

일 실시 예로써, 몸체부(100)는 두개골 내 위치하도록 삽입되고, 회로부(200)는 두피에 삽입되도록 할 수 있다. In one embodiment, the body portion 100 is inserted into the skull and the circuit portion 200 is inserted into the scalp.

회로부(200)는 마이크로 크기의 직경을 구비하는 전선에 의해 상부전극(111) 또는 하부전극(112)과 연결될 수 있으며, 압력센서부(110)의 작동 원리에 대한 사항은 공지된 정전 용량형 압력 센서의 작동 원리와 동일할 수 있다. The circuit part 200 may be connected to the upper electrode 111 or the lower electrode 112 by a wire having a micro-sized diameter. The operation principle of the pressure sensor part 110 is not limited to the known capacitive pressure The principle of operation of the sensor can be the same.

복수 개의 레이어 중 어느 하나의 레이어는 파릴렌 코팅(parylene coating)에 의해 형성될 수 있다. Any one of the plurality of layers may be formed by parylene coating.

탄성중합체의 레이어 상에 금속의 레이어(상부전극(111) 또는 하부전극(112))가 바로 형성되도록 하는 경우, 탄성중합체의 레이어가 신장되면 금속의 레이어에 크랙이 발생할 수 있다.If a layer of metal (upper electrode 111 or lower electrode 112) is formed directly on the layer of elastomer, cracks can occur in the layer of metal when the layer of elastomer is stretched.

반면에, 탄성중합체의 레이어 상에 파릴렌 코팅에 의한 레이어를 형성하고, 파릴렌 코팅에 의한 레이어 상에 금속의 레이어를 형성하는 경우, 파릴렌 코팅에 의한 레이어가 탄성중합체의 레이어의 신장을 제한하고 상대적으로 높은 강도(stiffness)를 갖는 파릴렌의 특성으로 인해 금속의 레이어에 발생하는 크랙을 미연에 방지할 수 있다.On the other hand, when a layer is formed by a parylene coating on a layer of an elastomer and a layer of metal is formed on the layer by a parylene coating, the layer by the parylene coating limits the elongation of the elastic polymer layer And the parylene having a relatively high stiffness makes it possible to prevent cracks in the metal layer from occurring.

즉, 도 2에서 보는 바와 같이, 상부전극(111)이 파릴렌 코팅층으로 둘러싸이고, 하부전극(112)과 탄성중합체의 레이어 사이에 파릴렌 코팅에 의한 레이어가 위치하여, 공동부(113)의 팽창에도 상부전극(111) 또는 하부전극(112)의 크랙이 방지될 수 있다. 2, the upper electrode 111 is surrounded by the parylene layer, the parylene layer is located between the lower electrode 112 and the elastic polymer layer, Cracking of the upper electrode 111 or the lower electrode 112 can be prevented even with expansion.

또한, 도 2에서 보는 바와 같이, 고정부(120) 및 압력센서부(110)에 파릴렌 코팅의 레이어가 구비되어, 고정부(120) 또는 압력센서부(110)의 부피가 증가하는 경우, 고정부(120) 또는 압력센서부(110)의 부피 증가가 제한될 수 있다. 2, when a layer of parylene coating is provided on the fixing portion 120 and the pressure sensor portion 110 to increase the volume of the fixing portion 120 or the pressure sensor portion 110, The volume increase of the fixing portion 120 or the pressure sensor portion 110 can be restricted.

본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치는, 유로부(130)와 결합하고 유로부(130)에 유체를 유입시키기 위한 튜브(300)를 더 포함할 수 있다. The intracranial pressure measuring apparatus of the present invention may further include a tube 300 for coupling with the flow path portion 130 and for introducing fluid into the flow path portion 130.

튜브(300)는 실리콘으로 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다. The tube 300 may be formed of silicon, but is not limited thereto.

튜브(300)를 통해 유체를 몸체부(100)의 비접착부에 유입시킨 후 튜브(300)의 입구를 밀봉하여 튜브(300)를 밀폐시킬 수 있다. The fluid can be introduced into the non-adhered portion of the body portion 100 through the tube 300, and then the inlet of the tube 300 can be sealed to seal the tube 300.

본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치를 포함하는 뇌척수액 압력 측정 시스템을 구축할 수 있다. The cerebrospinal fluid pressure measurement system including the intracranial pressure measurement device of the present invention can be constructed.

상기된 바와 같이, 몸체부(100)는 두개골 내에 위치하여 고정될 수 있으며, 회로부(200)는 두피에 삽입되어 고정될 수 있다.As described above, the body part 100 may be positioned and fixed within the skull, and the circuit part 200 may be inserted and fixed to the scalp.

이 때, 회로부(200)의 단자가 두피 외부로 노출되어 회로부(200)의 단자로부터 뇌척수액의 압력에 대한 정보를 전달 받을 수 있다.At this time, the terminal of the circuit unit 200 is exposed to the outside of the scalp, and information about the pressure of the cerebrospinal fluid can be received from the terminal of the circuit unit 200.

또는, 회로부(200)는 뇌척수액의 압력에 대한 정보를 무선으로 송신할 수 있으며, 회로부(200)로부터 전달되는 무선 신호를 수신기가 전달 받아 뇌척수액의 압력에 대한 정보를 전달 받을 수 있다. Alternatively, the circuit unit 200 may wirelessly transmit information on the pressure of the cerebrospinal fluid, and the receiver may receive the radio signal transmitted from the circuit unit 200 to receive information on the pressure of the cerebrospinal fluid.

상기와 같은 구성에 의해, 두개골의 손상을 야기하지 않으며, 고정나사를 이용하여 고정하는 부가적인 방법을 사용하지 않고, 두개골 내 압력을 측정할 수 있다.With this arrangement, it is possible to measure the pressure in the skull without causing any damage to the skull and without using an additional method of fixing with a set screw.

이하, 본 발명의 두개골 내 압력 측정 장치의 제조방법에 대해 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the pressure measuring device for a skull according to the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 하부전극(112)이 형성되는 사항에 대한 실시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 비접착부가 형성되는 사항에 대한 실시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어 및 상부전극(111)이 형성되는 사항에 대한 실시도이다.FIG. 4 is an explanatory view of a layer and a lower electrode 112 according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view of a layer and a non- FIG. 6 is a view illustrating an embodiment in which a layer and an upper electrode 111 are formed according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

그리고, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 상부전극(111)에 파릴렌을 이용한 절연층(147)이 도포되는 사항에 대한 실시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이어에 플라즈마에 의한 파릴렌 절연층(147)의 식각이 수행되는 사항에 대한 실시도이다. 7 is an explanatory view of the application of the insulating layer 147 using parylene to the upper electrode 111 according to an embodiment of the present invention, In which the etching of the parylene insulating layer 147 by plasma is performed.

도 4의 (a)에서 보는 바와 같이, 첫째 단계에서, 기판(500) 상에 탄성중합체를 코팅하여 제1레이어(141)를 형성하고, 제1레이어 상에 파릴렌 코팅을 수행하여 제2레이어(142)를 형성할 수 있다. As shown in FIG. 4A, in a first step, an elastomer is coated on a substrate 500 to form a first layer 141, a parylene coating is performed on the first layer, (142) can be formed.

여기서, 제1레이어(141)는 탄성중합체를 이용한 스핀 코팅으로 형성될 수 있다.Here, the first layer 141 may be formed by spin coating using an elastomer.

구체적으로, 기판(500)으로 리지드(rigid) 보조 기판을 마련하고, 기판(500) 상에 탄성중합체 중 폴리디메틸실록산(PDMS)을 도포하여 제1레이어(141)를 형성하고, 제1레이어(141) 상에 파릴렌 코팅층인 제2레이어(142)를 형성할 수 있다. Specifically, a rigid auxiliary substrate is provided on the substrate 500, polydimethylsiloxane (PDMS) in the elastomer is applied on the substrate 500 to form a first layer 141, and a first layer The second layer 142 may be a parylene layer.

둘째 단계에서, 제2레이어(142) 상에 금속으로 형성되는 레이어인 제3레이어(143)를 형성하고, 제3레이어(143)에 대한 패터닝을 수행하여 하부전극(112)을 형성할 수 있다. In the second step, the third layer 143, which is a metal layer, may be formed on the second layer 142, and the lower electrode 112 may be formed by patterning the third layer 143 .

도 4의 (b)에서 보는 바와 같이, 제3레이어(143)는 금속을 이용한 증착으로 형성될 수 있다. 제3레이어(143)는 물리 증착 또는 화학 기상 증착으로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 스퍼터링(sputting) 또는 열증착(evaporator)으로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 4 (b), the third layer 143 may be formed by evaporation using a metal. The third layer 143 may be formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition, and may preferably be formed by sputtering or evaporator.

다음으로, 도 4의 (c)에서 보는 바와 같이, 제3레이어(143)에 대한 패터닝을 위해 제3레이어(143) 상에 마스킹(masking) 패턴인 제1마스킹패턴(410)을 형성하고, 도 4의 (d)에서 보는 바와 같이, 습식 식각(metal wet etching)을 수행하여 제3레이어(143)에 대한 패터닝을 수행하고 하부전극(112)을 형성할 수 있다. 4 (c), a first masking pattern 410, which is a masking pattern, is formed on the third layer 143 for patterning the third layer 143, As shown in FIG. 4 (d), metal wet etching may be performed to pattern the third layer 143 and form the lower electrode 112.

셋째 단계에서, 제2레이어(142) 및 하부전극(112) 상에 탄성중합체를 코팅하여 제4레이어(144)를 형성하고, 플라즈마를 이용한 접착으로 접착부(101) 및 비접착부를 형성할 수 있다. In the third step, an elastomer is coated on the second layer 142 and the lower electrode 112 to form the fourth layer 144, and the adhesive 101 and the non-adhesive portion can be formed by plasma-assisted adhesion .

이 때, 제4레이어(144)는 탄성중합체를 이용한 스핀 코팅으로 형성될 수 있다.In this case, the fourth layer 144 may be formed by spin coating using an elastomer.

그리고, 접착은 질소(N₂) 또는 산소(O₂) 플라즈마를 이용하여 수행될 수 있다.And, the adhesion can be performed using nitrogen (N ₂ ) or oxygen (O ₂ ) plasma.

도 5의 (a)에서 보는 바와 같이, 제1마스킹패턴(410)을 제거한 후, 도 5의 (b)에서 보는 바와 같이, 제4레이어(144)를 형성한 다음, 도 5의 (c)에서 보는 바와 같이, 플라즈마를 제공하여, 제2레이어(142)와 제4레이어(144)의 부분적인 접착을 수행함으로써 접착부(101) 및 비접착부를 형성할 수 있다. 5 (a), after the first masking pattern 410 is removed, a fourth layer 144 is formed as shown in FIG. 5 (b), and then, as shown in FIG. 5 (c) The bonding portion 101 and the non-bonding portion can be formed by providing plasma and performing partial bonding of the second layer 142 and the fourth layer 144, as shown in FIG.

넷째 단계에서, 도 6의 (a)에서 보는 바와 같이, 제4레이어(144) 상에 파릴렌 코팅을 수행하여 제5레이어(145)를 형성하고, 도 6의 (b)에서 보는 바와 같이, 제5레이어(145) 상에 금속으로 형성되는 제6레이어(146)를 형성할 수 있다. 6 (a), the fifth layer 145 is formed by performing the parylene coating on the fourth layer 144, and as shown in FIG. 6 (b) A sixth layer 146 formed of a metal may be formed on the fifth layer 145.

제6레이어(146)는 금속을 이용한 증착으로 형성될 수 있다. The sixth layer 146 may be formed by deposition using a metal.

여기서, 증착에 대한 사항은 제3레이어(143)의 증착에 대한 사항과 동일할 수 있다.Here, the deposition may be the same as the deposition of the third layer 143.

다섯째 단계에서, 제6레이어(146)에 대한 패터닝을 수행하여 상부전극(111)을 형성하고, 제5레이어(145) 및 상부전극(111) 상에 파릴렌 코팅을 수행하여, 상부전극과 외부 간 절연이 되도록 절연층(147)을 형성할 수 있다. In the fifth step, the upper electrode 111 is formed by performing patterning on the sixth layer 146, and the parylene coating is performed on the fifth layer 145 and the upper electrode 111, The insulating layer 147 may be formed so as to be insulated from each other.

도 7의 (a)에서 보는 바와 같이, 제6레이어(146)에 대한 패터닝을 위해 제6레이어(146) 상에 마스킹 패턴인 제2마스킹패턴(420)을 형성하고, 도 7의 (b)에서 보는 바와 같이, 습식 식각을 수행하여 제6레이어(146)에 대한 패터닝을 수행하고 상부전극(111)을 형성할 수 있다.7A, a second masking pattern 420, which is a masking pattern, is formed on the sixth layer 146 for patterning the sixth layer 146, Wet etching may be performed to pattern the sixth layer 146 and form the upper electrode 111. In this case,

다음으로, 도 7의 (c)에서 보는 바와 같이, 제2마스킹패턴(420)을 제거할 수 있다.Next, as shown in FIG. 7 (c), the second masking pattern 420 may be removed.

그 후, 도 7의 (d)에서 보는 바와 같이, 상부전극(111)에 최소 응력이 발생하고, 상부전극(111)이 절연되도록, 제5레이어(145) 및 상부전극(111) 상에 절연층(147)을 형성할 수 있다.7D, insulation is formed on the fifth layer 145 and the upper electrode 111 so that the minimum stress is generated in the upper electrode 111 and the upper electrode 111 is insulated. Layer 147 can be formed.

(도 7의 (d), 도 8의 (a) 및 도 8의 (b)에서, 제5레이어(145)와 절연층(147)은 모두 파릴렌 코팅에 의해 형성되므로, 도면 부호를 동시에 표기한다.)Since the fifth layer 145 and the insulating layer 147 are both formed by the parylene coating in FIGS. 7 (d), 8 (a) and 8 (b) do.)

여섯째 단계에서, 절연층(147)에 대한 패터닝을 수행하고, 기판(500)을 제거할 수 있다. In the sixth step, patterning may be performed on the insulating layer 147, and the substrate 500 may be removed.

구체적으로, 도 8의 (a)에서 보는 바와 같이, 상부전극(111)이 형성된 절연층(147)의 표면에 마스킹 패턴인 제3마스킹패턴(430)을 형성한 후, 상부전극(111) 및 하부전극(112)의 유연성을 위하여 도 8의 (b)에서 보는 바와 같이 플라즈마를 이용하여 절연층(147)에 대한 선택적인 식각을 수행하여 절연층(147)에 대한 패터닝을 수행할 수 있다. 8 (a), a third masking pattern 430, which is a masking pattern, is formed on the surface of the insulating layer 147 on which the upper electrode 111 is formed, As shown in FIG. 8B, for the flexibility of the lower electrode 112, selective patterning of the insulating layer 147 using plasma may be performed to pattern the insulating layer 147.

다음으로, 도 8의 (c)에서 보는 바와 같이, 제3마스킹패턴(430)과 기판(500)을 제거하여 몸체부(100)를 형성할 수 있다. 여기서, 상부전극(111)은 파릴렌 코팅층인 절연층(147)에 의해 둘러싸일 수 있다. Next, as shown in FIG. 8C, the body 100 may be formed by removing the third masking pattern 430 and the substrate 500. Here, the upper electrode 111 may be surrounded by an insulating layer 147 which is a parylene coating layer.

기판(500) 제거 후 몸체부(100)가 형성되며, 이 후, 몸체부(100)와 회로부(200)를 연결할 수 있다. 그리고, 유로부(130)와 튜브(300)를 결합시킬 수 있다. After the substrate 500 is removed, the body 100 is formed, and then the body 100 and the circuit 200 can be connected. Then, the flow path portion 130 and the tube 300 can be coupled to each other.

상기와 같이, 제1레이어(141)와 제4레이어(144)를 스핀 코팅으로 형성함으로써, 제1레이어(141)와 제4레이어(144)를 박막의 형상으로 형성할 수 있다. As described above, the first layer 141 and the fourth layer 144 can be formed into a thin film by forming the first layer 141 and the fourth layer 144 by spin coating.

다만, 본 발명의 실시 예에서는, 제1레이어(141) 또는 제4레이어(144)가 탄성중합체를 스핀 코팅시켜 형성된다고 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. However, in the embodiment of the present invention, it is described that the first layer 141 or the fourth layer 144 is formed by spin coating an elastomer, but the present invention is not limited thereto.

도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 관통부(160)에 튜브(300)가 결합하는 과정에 대한 실시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 관통부(160)에 튜브(300)를 통한 유체 유입에 대한 실시도이다.FIG. 9 is an explanatory view of a process of coupling a tube 300 to a penetrating portion 160 according to an embodiment of the present invention. FIG. 10 is a cross- 300). &Lt; / RTI >

도 9의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 몸체부(100)의 상부 표면에 튜브(300)를 고정시키기 위한 레이어인 보조레이어(150)를 형성할 수 있다. 이 때, 보조레이어(150)는 탄성중합체를 플라즈마를 이용해 몸체부(100)의 상부 표면에 접착시켜 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 9A and 9B, the auxiliary layer 150, which is a layer for fixing the tube 300, may be formed on the upper surface of the body 100. At this time, the auxiliary layer 150 may be formed by adhering the elastomer to the upper surface of the body part 100 by using plasma.

그 후, 도 9의 (c)에서 보는 바와 같이, 보조레이어(150)를 관통하여 비접착부(102)와 연결되는 관통부(160)를 형성하고, 도 10의 (a)에서 보는 바와 같이, 관통부(160)에 실리콘으로 형성된 튜브(300)를 삽입할 수 있다. Thereafter, as shown in FIG. 9 (c), a penetration portion 160 is formed through the auxiliary layer 150 and connected to the non-adhered portion 102, and as shown in FIG. 10 (a) The tube 300 formed of silicon may be inserted into the penetration portion 160. [

도 10의 (b)에서 보는 바와 같이, 튜브(300)를 통해 유체가 유입되면 비접착부(102)가 팽창하여 고정부(120), 압력센서부(110) 또는 유로부(130)가 형성될 수 있다. 10 (b), when the fluid flows through the tube 300, the non-adhered portion 102 expands to form the fixing portion 120, the pressure sensor portion 110, or the flow path portion 130 .

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 고정부(120)에 액체가 유입되는 사항에 대한 이미지이고, 도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 고정부(120)에 공기가 유입되는 사항에 대한 이미지이다.FIG. 11 is an image of a liquid flowing into the fixing unit 120 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a view showing a state in which air is introduced into the fixing unit 120 according to an embodiment of the present invention It is an image for.

도 11의 (a)에서 보는 바와 같이, 몸체부(100)에 튜브(300)를 연결하고, 도 11의 (b)에서 보는 바와 같이, 튜브(300)로부터 비접착부(102)로 색이 있는 액체가 유입되도록 하면, 도 11의 (c)에서 보는 바와 같이, 비접착부(102)가 팽창하여 고정부(120) 및 유로부(130)가 형성됨을 확인할 수 있다. As shown in FIG. 11A, the tube 300 is connected to the body 100, and the coloring from the tube 300 to the non-adhered portion 102, as shown in FIG. 11B, 11 (c), it can be confirmed that the non-adhered portion 102 expands and the fixing portion 120 and the flow path portion 130 are formed.

마찬가지로, 도 12의 (a)에서 보는 바와 같이, 몸체부(100)에 튜브(300)를 연결하고, 도 12의 (b)에서 보는 바와 같이, 튜브(300)로부터 비접착부(102)로 공기가 유입되도록 하면, 도 12의 (c)에서 보는 바와 같이, 비접착부(102)가 팽창하여 고정부(120) 및 유로부(130)가 형성됨을 확인할 수 있다.12 (a), the tube 300 is connected to the body 100, and the air is discharged from the tube 300 to the non-adhered portion 102 as shown in FIG. 12 (b) It can be seen that the non-adhered portion 102 expands and the fixing portion 120 and the flow path portion 130 are formed as shown in FIG. 12 (c).

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다. It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. The scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

100 : 몸체부 101 : 접착부
102 : 비접착부 110 : 압력센서부
111 : 상부전극 112 : 하부전극
113 : 공동부 120 : 고정부
130 : 유로부 131 : 제1유로부
132 : 제2유로부 141 : 제1레이어
142 : 제2레이어 143 : 제3레이어
144 : 제4레이어 145 : 제5레이어
146 : 제6레이어 147 : 절연층
150 : 보조레이어 160 : 관통부
200 : 회로부 300 : 튜브
410 : 제1마스킹패턴 420 : 제2마스킹패턴
430 : 제3마스킹패턴 500 : 기판 100: Body part 101: Adhesive part
102: non-adhered portion 110: pressure sensor portion
111: upper electrode 112: lower electrode
113: Cavity 120:
130: channel portion 131: first channel portion
132: second flow portion 141: first layer
142: second layer 143: third layer
144: fourth layer 145: fifth layer
146: sixth layer 147: insulating layer
150: auxiliary layer 160:
200: circuit part 300: tube
410: first masking pattern 420: second masking pattern
430: third masking pattern 500: substrate

Claims

A body portion formed by stacking a plurality of layers and having a plurality of non-bonding portions which are non-bonding portions between one of the plurality of layers and another layer;
A fixing unit provided on at least one of the body portions and formed by increasing the volume of the first non-adhered portion by flowing fluid into the first non-adhered portion of the non-adhered portion;
A pressure sensor part provided in the body part and formed by increasing the volume of the second non-adhered part due to the inflow of the fluid into the second non-adhered part of the non-adhered part, and sensing an external pressure;
The fluid is introduced into the third non-adhered portion of the non-adhered portion to increase the volume of the third non-adhered portion, and a flow path is provided to the fluid flowing into the fixed portion or the pressure sensor portion A flow part; And
And a circuit unit connected to the pressure sensor unit and receiving a signal from the pressure sensor unit.

The method according to claim 1,
Wherein the fixation part is located between the skull and the cerebral cortex, and fixes the body part in the skull by the fluid pressure of the fluid.

The method according to claim 1,
Wherein one of the plurality of layers is formed of an elastomer or a metal.

The method of claim 3,
Wherein the elastomer is formed of polydimethylsiloxane (PDMS).

The method of claim 3,
The pressure sensor unit,
A cavity formed inside the pressure sensor,
A lower electrode which is formed on a layer forming the lower part of the pressure sensor part among the plurality of layers and which is located below the cavity part and is formed of the metal,
And an upper electrode formed on the layer forming the upper portion of the pressure sensor portion among the plurality of layers and formed of the metal,
Wherein an external pressure is sensed by using a capacitance value or a change in an electric resistance value due to a change in space and area between the upper electrode and the lower electrode.

The method of claim 5,
Wherein the metal is titanium (Ti) or gold (Au).

The method according to claim 1,
Wherein the layer of any one of the plurality of layers is formed by parylene coating.

The method according to claim 1,
Further comprising a tube coupled to the channel portion and adapted to introduce the fluid into the channel portion.

The method according to claim 1,
Wherein the non-adhesive portion is shielded from the outside by one of the plurality of layers and an adhesive portion which is an adhesive portion between the other layers.

The method according to claim 1,
Wherein the circuit unit analyzes the signal transmitted from the pressure sensor unit to derive the pressure intensity.

A system for measuring CSF pressure, comprising an intracranial pressure measuring device according to any one of claims 1 to 10.

The method of manufacturing an intracranial pressure measuring apparatus according to claim 1,
i) forming a first layer by coating an elastomer on a substrate, and performing a parylene coating on the first layer to form a second layer;
ii) forming a third layer, which is a layer formed of a metal, on the second layer, and patterning the third layer to form a lower electrode;
iii) forming a fourth layer by coating the elastomer on the second layer and the lower electrode, and forming a bonding portion and a non-bonding portion by adhesion using plasma;
iv) forming a fifth layer by performing a parylene coating on the fourth layer, and forming a sixth layer formed of the metal on the fifth layer;
v) patterning the sixth layer to form an upper electrode, performing parylene coating on the fifth layer and the upper electrode, and forming an insulating layer so as to be insulated from the upper electrode ; And
vi) performing patterning on the insulating layer and removing the substrate; Wherein the method comprises the steps of:

The method of claim 12,
Wherein the first layer or the fourth layer is formed by spin coating using the elastomer.

The method of claim 12,
Wherein the third layer or the sixth layer is formed by vapor deposition using the metal.

The method of claim 12,
Wherein in step (iii), the adhesion is performed using nitrogen or oxygen plasma.