KR101989120B1 - Moveable Table System - Google Patents

Moveable Table System Download PDF

Info

Publication number
KR101989120B1
KR101989120B1 KR1020170098871A KR20170098871A KR101989120B1 KR 101989120 B1 KR101989120 B1 KR 101989120B1 KR 1020170098871 A KR1020170098871 A KR 1020170098871A KR 20170098871 A KR20170098871 A KR 20170098871A KR 101989120 B1 KR101989120 B1 KR 101989120B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide
unit
plate
coupled
guide plate
Prior art date
Application number
KR1020170098871A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190014841A (en
Inventor
조규중
Original Assignee
이노6 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이노6 주식회사 filed Critical 이노6 주식회사
Priority to KR1020170098871A priority Critical patent/KR101989120B1/en
Publication of KR20190014841A publication Critical patent/KR20190014841A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101989120B1 publication Critical patent/KR101989120B1/en

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47B—TABLES; DESKS; OFFICE FURNITURE; CABINETS; DRAWERS; GENERAL DETAILS OF FURNITURE
    • A47B13/00—Details of tables or desks
    • A47B13/08—Table tops; Rims therefor
    • A47B13/081—Movable, extending, sliding table tops
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47B—TABLES; DESKS; OFFICE FURNITURE; CABINETS; DRAWERS; GENERAL DETAILS OF FURNITURE
    • A47B2200/00—General construction of tables or desks
    • A47B2200/0035—Tables or desks with features relating to adjustability or folding
    • A47B2200/004—Top adjustment

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 제1 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제1 가이드 플레이트를 포함하는 제1 가이드 유닛, 상기 테이블이 제2 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부를 포함하고, 상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부를 포함한다.A movable table system according to an embodiment of the present invention includes a table, a first guide unit including a first guide plate coupled with the table such that the table can move together in a first direction, A second guide unit including a second guide plate coupled with the table so as to be movable together with the first guide unit, and a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit, And a first plate rail portion for guiding the table to be moved in the second direction along one side surface of the first guide plate, And a second plate rail portion for guiding movement in the first direction.

Description

이동 가능한 테이블 시스템{Moveable Table System}Movable Table System [0001]

본 발명은 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테이블이 효율적으로 이동될 수 있는 테이블 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a movable table system, and more particularly to a table system in which a table can be moved efficiently.

이동 가능하게 구성된 테이블 장치는 XY 평면 상을 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 테이블 장치는 테이블 위에 놓여지는 기판 등의 위치를 정밀하게 조절하는 얼라이먼트 테이블로서 이용된다.The table device configured to be movable is configured to be movable on the XY plane. The table apparatus is used as an alignment table for precisely adjusting the position of a substrate or the like placed on the table.

한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 이동 가능한 테이블은 하부에 적어도 1개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있고, 이로 인하여 테이블의 구조가 대형화되고 있다.A plurality of movable tables such as Korean Patent Laid-Open Publication No. 2008-0083297, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2000-0006149, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-297189 and the like have at least one moving table arranged at the lower portion thereof, The structure of the table is becoming larger.

한국공개특허 제2008-0083297호Korean Patent Publication No. 2008-0083297 한국공개특허 제2000-0006149호Korean Patent Publication No. 2000-0006149

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 테이블이 효율적으로 이동될 수 있도록 개선된 구성을 가지는 이동 가능한 테이블 시스템을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a movable table system having an improved configuration so that a table can be moved efficiently.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above.

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 제1 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제1 가이드 플레이트를 포함하는 제1 가이드 유닛, 상기 테이블이 제2 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부를 포함하고, 상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부를 포함한다.A movable table system according to an embodiment of the present invention includes a table, a first guide unit including a first guide plate coupled with the table such that the table can move together in a first direction, A second guide unit including a second guide plate coupled with the table so as to be movable together with the first guide unit, and a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit, And a first plate rail portion for guiding the table to be moved in the second direction along one side surface of the first guide plate, And a second plate rail portion for guiding movement in the first direction.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 더 포함하고, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.Wherein the first guide unit further includes a first guide rail extending in the first direction and coupled to one side so that the first guide plate is movable in the first direction, And a second guide rail extending in two directions and coupled to one side of the second guide plate so as to be movable in the second direction.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동되도록 구성되는 제1 가이드 레일과, 상기 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함할 수 있다.The first guide unit includes a first guide rail configured to move the first guide plate in the first direction and a second guide rail coupled to one side of the first guide rail to reduce vibration generated in the first guide plate And may further include a vibration reduction section.

상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛은 서로 나란히 배치될 수 있다.The first guide unit and the second guide unit may be arranged side by side.

상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함할 수 있다.The table includes a first table engaging portion coupled to the first plate rail portion and slidable in the second direction, a second table engaging portion coupled to the second plate rail portion and configured to slide in the first direction, Section.

본 발명의 다른 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 제1 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 일측과 결합된 제1 가이드 유닛, 상기 제1 가이드 유닛과 나란히 배치되고, 상기 테이블이 제2 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 타측과 결합된 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 가이드 유닛과 함께 상기 제1 방향으로 이동되면서 상기 제2 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제2 가이드 유닛을 따라 상기 제1 방향으로 슬라이딩 이동되고, 상기 제2 가이드 유닛과 함께 상기 제2 방향으로 이동되면서 상기 제1 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제1 가이드 유닛을 따라 상기 제2 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성된다.A movable table system according to another embodiment of the present invention includes a table, a first guide unit coupled with one side of the table so that the table is movable in a first direction, a second guide unit arranged alongside the first guide unit, A second guide unit coupled to the other side of the table so as to be movable in the second direction, and a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit, The second guide unit is moved in the first direction and the portion coupled to the second guide unit is slid in the first direction along the second guide unit and is moved in the second direction together with the second guide unit, And a portion coupled with the first guide unit is configured to be slid in the second direction along the first guide unit.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 포함하고, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 포함할 수 있다.The first guide unit may include a first guide plate coupled to move together with the table in the first direction, and a second guide plate extending in the first direction so that the first guide plate coupled to one side is movable in the first direction And the second guide unit includes a second guide plate coupled to move together with the table in the second direction, and a second guide plate extending in the second direction and coupled to the second guide, And a second guide rail having a plate movable in the second direction.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함할 수 있다.The first guide unit may further include a vibration reduction unit coupled to one side of the first guide rail to reduce vibration generated in the first guide plate.

상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부를 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함할 수 있다.Wherein the first guide plate includes a first plate rail portion for guiding the table to be moved in the second direction along one side of the first guide plate and the table is coupled with the first plate rail portion, And a second table engaging portion coupled to the second plate rail portion and adapted to slide in the first direction.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 제1 가이드 레일을 포함하는 제1 가이드 유닛, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 제1 가이드 레일을 포함하는 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 가이드 플레이트의 일측과 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 가이드 플레이트와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함한다.A movable table system according to another embodiment of the present invention comprises a table, a first guide unit coupled to move together with the table in the first direction, and a second guide plate extending in the first direction, The first guide unit including at least one first guide rail that is coupled to the first guide unit and is configured to be movable in the first direction, and the second guide unit moves along with the table in the second direction The second guide plate extending in the second direction and being coupled to one side of the first guide rail, the second guide plate including at least one first guide rail movable in the second direction, And a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit, Claim in combination with a side of the first guide plate is combined with the first table, the engaging portion being adapted to be slid in the second direction, the second guide plate includes a second table coupled to be adapted to be slid in the first direction.

본 발명의 실시예들에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은 테이블을 효율적으로 이동시킬 수 있다. A movable table system according to embodiments of the present invention can efficiently move a table.

또한, 테이블 시스템의 구성을 단순화하여 테이블 시스템을 소형화하고, 중량을 감소시킬 수 있다.In addition, the configuration of the table system can be simplified to reduce the size of the table system and reduce the weight.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 가이드 유닛을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 가이드 플레이트의 저면을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 테이블의 저면을 보여주는 도면이다.1 is a perspective view showing a movable table system according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view showing a coupling relationship of the configuration of FIG.
FIG. 3 is a view showing the guide unit of FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is a bottom view of the guide plate of FIG. 1. FIG.
5 is a bottom view of the table of FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 설명한다. 그러나, 기술되는 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시예들에 의하여 한정되는 것은 아니다. 또한, 여러 실시예들은 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments described may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited by the embodiments described below. In addition, various embodiments are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. The shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for clarity.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 가이드 유닛을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 1의 가이드 플레이트의 저면을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 테이블의 저면을 보여주는 도면이다.FIG. 1 is a perspective view showing a movable table system according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing a coupling relation of the structure of FIG. 1, FIG. 3 is a view showing the guide unit of FIG. 1, 4 is a bottom view of the guide plate of FIG. 1, and FIG. 5 is a bottom view of the table of FIG.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 테이블(10), 가이드 유닛(20), 그리고 구동 유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 베이스 플레이트(80)의 상부에서 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 1 to 5, a movable table system 1 according to an embodiment of the present invention may include a table 10, a guide unit 20, and a drive unit (not shown). The movable table system 1 may be configured such that the table 10 is movable in the first direction 91 and the second direction 92 at the top of the base plate 80. [

테이블(10)은 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 가이드 유닛(20)에 의하여 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 이하에서 제1 방향(91)과 제2 방향(92)은 서로 수직한 방향으로 정의한다.The table 10 can be configured to be movable in the first direction 91 and the second direction 92. [ The table 10 can be configured to be movable in the first direction 91 and the second direction 92 by the guide unit 20. [ Hereinafter, the first direction 91 and the second direction 92 are defined as directions perpendicular to each other.

테이블(10)은 평판 형상의 테이블 본체(11)와, 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 가이드 유닛(20)과 결합되는 적어도 하나의 테이블 결합부(13, 14, 15)를 포함할 수 있다.The table 10 includes a table body 11 in the form of a flat plate and at least one table engaging member 10 engaging with the guide unit 20 such that the table 10 is movable in the first direction 91 and the second direction 92. [ (13, 14, 15).

테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)의 일측과 결합될 수 있다. 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91)으로 이동될 수 있고, 가이드 유닛(20)의 일측면을 슬라이딩 이동하면서 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91)으로 이동될 수 있고, 가이드 유닛(20)의 일측면을 슬라이딩 이동하면서 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다.The table engaging portions (13, 14, 15) can be engaged with one side of the guide unit (20). The table engaging portions 13, 14 and 15 may be configured to be movable in the first direction 91 and the second direction 92 together with the guide unit 20. [ The table engaging portions 13, 14 and 15 can be moved together with the guide unit 20 in the first direction 91 and can slide in one direction of the guide unit 20, (92). ≪ / RTI > The table engaging portions 13, 14 and 15 can be moved together with the guide unit 20 in the first direction 91 and can move in the second direction 92 while sliding one side of the guide unit 20, As shown in FIG.

일 예에 의하면, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 후술하는 제1 가이드 유닛(21)과 결합되는 제1 테이블 결합부(13, 14)와, 제2 가이드 유닛(22)과 결합되는 제2 테이블 결합부(15)를 포함할 수 있다. According to an example, the table engaging portions 13, 14, 15 include first table engaging portions 13, 14 coupled with a first guide unit 21 to be described later, And a second table engaging portion 15.

제1 테이블 결합부(13, 14)는 테이블 본체(11) 하단에 결합될 수 있다. 제1 테이블 결합부(13, 14)는 후술하는 제1 가이드 유닛(21)의 제1 가이드 플레이트(31)의 일측에 결합되어 제1 가이드 플레이트(31)와 함께 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 테이블 결합부(13, 14)는 제1 가이드 플레이트(31)에서 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 테이블 결합부(13, 14)는 테이블 본체(11) 하단 양측에 각각 결합될 수 있다.The first table engaging portions (13, 14) can be engaged with the lower end of the table body (11). The first table engaging portions 13 and 14 are coupled to one side of the first guide plate 31 of the first guide unit 21 to be described later so that the table 10, together with the first guide plate 31, (91). ≪ / RTI > In addition, the first table engaging portions 13 and 14 may be configured to be slidable in the second direction 92 on the first guide plate 31. The first table engaging portions 13 and 14 can be coupled to both sides of the lower end of the table body 11, respectively.

제2 테이블 결합부(15)는 테이블 본체(11) 하단에 결합될 수 있다. 제2 테이블 결합부(15)는 후술하는 제2 가이드 유닛(22)의 제2 가이드 플레이트(32)의 일측에 결합되어 제2 가이드 플레이트(32)와 함께 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 테이블 결합부(15)는 제2 가이드 플레이트(32)에서 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.And the second table engaging portion 15 can be engaged with the lower end of the table body 11. [ The second table engaging portion 15 is coupled to one side of the second guide plate 32 of the second guide unit 22 to be described later so that the table 10 is moved in the second direction 92 As shown in FIG. The second table engaging portion 15 can be configured to be slidable in the first direction 91 on the second guide plate 32.

가이드 유닛(20)은 테이블(10)을 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 가이드 유닛(20)은 테이블(10)과 결합되어 함께 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되는 가이드 플레이트(30)와, 가이드 플레이트(30)가 이동되는 경로를 형성하는 가이드 레일(40)을 포함할 수 있다. 가이드 유닛(20)은 제1 가이드 유닛(21)과 제2 가이드 유닛(22)을 포함할 수 있다.The guide unit 20 can be configured to move the table 10 in the first direction 91 and the second direction 92. [ The guide unit 20 includes a guide plate 30 coupled with the table 10 and moved together in the first direction 91 and the second direction 92 and a guide And may include a rail 40. The guide unit 20 may include a first guide unit 21 and a second guide unit 22.

제1 가이드 유닛(21)은 테이블(10)을 제1 방향(91)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 가이드 유닛(21)은 제1 가이드 플레이트(31)와 제1 가이드 레일(41)을 포함할 수 있다.The first guide unit 21 can be configured to move the table 10 in the first direction 91. The first guide unit 21 may include a first guide plate 31 and a first guide rail 41.

제1 가이드 플레이트(31)는 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 함께 이동 가능하도록 테이블(10)과 결합될 수 있다. 제1 가이드 플레이트(31)는 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 가이드 플레이트(31)는 결합된 테이블(10)과 함께 제1 방향(91)으로 이동되도록 구성될 수 있다.The first guide plate 31 can be engaged with the table 10 so that the table 10 can move together in the first direction 91. [ The first guide plate 31 may be configured to be movable in the first direction 91 along the first guide rail 41. The first guide plate 31 may be configured to move in the first direction 91 together with the coupled table 10.

제1 가이드 플레이트(31)는 일측에 제1 플레이트 레일부(31a)가 형성될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 가이드 플레이트(31)의 일측면을 따라 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)와 결합되도록 구성될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)와 결합되어 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 제1 가이드 플레이트(31)와 함께 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)가 제1 플레이트 레일부(31a)를 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.The first guide plate 31 may have a first plate rail portion 31a formed on one side thereof. The first plate rail part 31a may be formed to extend in a second direction 92 along one side of the first guide plate 31. [ The first plate rail portion 31a may be configured to engage with the first table engaging portions 13, 14. The first plate rail part 31a may be coupled with the first table engaging parts 13 and 14 so that the table 10 is moved together with the first guide plate 31 in the first direction 91. The first plate rail portion 31a may be configured such that the first table engaging portions 13 and 14 are slidable in the second direction 92 along the first plate rail portion 31a.

제1 가이드 플레이트(31)는 일측에 제1 플레이트 결합부(31b)가 형성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 플레이트(31)의 저면 일측에 제1 가이드 레일(41)와 마주하는 위치에 형성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동되도록 구성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 레일(41)의 개수에 대응하는 개수로 제공될 수 있다.The first guide plate 31 may have a first plate engaging portion 31b formed on one side thereof. The first plate coupling portion 31b may be formed at a position facing the first guide rail 41 on one side of the bottom surface of the first guide plate 31. The first plate coupling portion 31b may be configured to be slid in the first direction 91 along the first guide rail 41. The first plate coupling portions 31b may be provided in a number corresponding to the number of the first guide rails 41. [

제1 가이드 레일(41)은 베이스 플레이트(80)의 일측에 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제1 가이드 레일(41)은 제1 가이드 플레이트(31)가 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 제1 가이드 레일(41)은 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 복수개 제공될 수 있다.The first guide rail 41 may be provided on one side of the base plate 80 to extend in the first direction 91. The first guide rail 41 may be provided so that the first guide plate 31 can slide along the first guide rail 41 in the first direction 91. The first guide rails 41 may be provided in a plurality of shapes extending in the first direction 91.

제2 가이드 유닛(22)은 테이블(10)을 제2 방향(92)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 가이드 유닛(22)은 제2 가이드 플레이트(32)와 제2 가이드 레일(42)을 포함할 수 있다.The second guide unit 22 can be configured to move the table 10 in the second direction 92. The second guide unit 22 may include a second guide plate 32 and a second guide rail 42.

제2 가이드 플레이트(32)는 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 함께 이동 가능하도록 테이블(10)과 결합될 수 있다. 제2 가이드 플레이트(32)는 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 가이드 플레이트(32)는 결합된 테이블(10)과 함께 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다.The second guide plate 32 can be coupled to the table 10 so that the table 10 can move together in the second direction 92. The second guide plate 32 may be configured to be movable in the second direction 92 along the second guide rail 42. The second guide plate 32 may be configured to move in the second direction 92 with the coupled table 10.

제2 가이드 플레이트(32)는 일측에 제2 플레이트 레일부(32a)가 형성될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제2 가이드 플레이트(32)의 일측면을 따라 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제2 테이블 결합부(15)와 결합되도록 구성될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제1 테이블 결합부(15)와 결합되어 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 제2 가이드 플레이트(32)와 함께 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 제2 플레이트 레일부(32a)는 제1 테이블 결합부(15)가 제2 플레이트 레일부(32a)를 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.The second guide plate 32 may have a second plate rail portion 32a formed on one side thereof. The second plate rail part 32a may be formed to extend in the first direction 91 along one side of the second guide plate 32. [ The second plate rail portion 32a may be configured to engage with the second table engaging portion 15. The second plate rail portion 32a may be configured to engage with the first table engaging portion 15 to move the table 10 together with the second guide plate 32 in the second direction 92. The second plate rail part 32a may be configured such that the first table engaging part 15 is slidable in the first direction 91 along the second plate rail part 32a.

제2 가이드 플레이트(32)는 일측에 제2 플레이트 결합부(32b)가 형성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 플레이트(32)의 저면 일측에 제2 가이드 레일(42)와 마주하는 위치에 형성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동되도록 구성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 레일(42)의 개수에 대응하는 개수로 제공될 수 있다.The second guide plate 32 may have a second plate engaging portion 32b formed on one side thereof. The second plate coupling portion 32b may be formed at a position facing the second guide rail 42 at one side of the bottom surface of the second guide plate 32. And the second plate engaging portion 32b may be configured to be slid in the second direction 92 along the second guide rail 42. [ And the second plate coupling portions 32b may be provided in a number corresponding to the number of the second guide rails 42. [

제2 가이드 레일(42)은 베이스 플레이트(80)의 일측에 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제2 가이드 레일(42)은 제2 가이드 플레이트(32)가 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 제2 가이드 레일(42)은 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 복수개 제공될 수 있다.The second guide rail 42 may be provided on one side of the base plate 80 to extend in the second direction 92. The second guide rail 42 may be provided such that the second guide plate 32 is slidable along the second guide rail 42 in the second direction 92. The second guide rails 42 may be provided in a plurality of shapes extending in the second direction 92.

가이드 유닛(20)은 진동 저감부(50)를 더 포함할 수 있다. 진동 저감부(50)는 가이드 유닛(20)이 구동하면서 발생되는 진동을 저감시킬 수 있다. 진동 저감부(50)는 제1 가이드 유닛(21)에 설치된 제1 진동 저감부(51)와 제2 가이드 유닛(22)에 설치된 제2 진동 저감부(52)를 포함할 수 있다.The guide unit 20 may further include a vibration reduction unit 50. The vibration reduction section 50 can reduce vibration generated when the guide unit 20 is driven. The vibration reduction section 50 may include a first vibration reduction section 51 provided in the first guide unit 21 and a second vibration reduction section 52 provided in the second guide unit 22. [

제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)의 일측에 접촉되도록 구성될 수 있다. 제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)로부터 전달된 진동을 감쇄시키도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 제1 진동 저감부(51)는 복수개의 제1 가이드 레일(41) 중에서 제1 가이드 플레이트(31)의 중앙부에 위치한 제1 가이드 레일(41a)과 연결되도록 마련될 수 있다.The first vibration reduction section 51 may be configured to be in contact with one side of the first guide rail 41. The first vibration reduction section (51) may be configured to attenuate the vibration transmitted from the first guide rail (41). The first vibration reduction section 51 may be connected to the first guide rail 41a located at the center of the first guide plate 31 among the plurality of first guide rails 41. [

제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)과 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체(51a)와, 저감부 몸체(51a)의 양측에 이격되어 설치된 고정부(51b), 그리고 저감부 몸체(51a)와 고정부(51b)를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재(51c)를 포함할 수 있다. The first vibration reduction portion 51 includes a reduction body 51a that is in contact with the first guide rail 41 and receives vibration and a fixing portion 51b that is spaced from both sides of the reduction body 51a, And a cushioning member 51c connecting the reduction body 51a with the fixing portion 51b and attenuating vibration.

제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)의 일측에 접촉되도록 구성될 수 있다. 제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)로부터 전달된 진동을 감쇄시키도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 제2 진동 저감부(52)는 복수개의 제2 가이드 레일(42) 중에서 제2 가이드 플레이트(32)의 중앙부에 위치한 제2 가이드 레일(42a)과 연결되도록 마련될 수 있다.The second vibration reduction section 52 may be configured to contact one side of the second guide rail 42. And the second vibration reduction section 52 may be configured to attenuate the vibration transmitted from the second guide rail 42. [ The second vibration reduction section 52 may be connected to the second guide rail 42a located at the center of the second guide plate 32 among the plurality of second guide rails 42. [

제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)과 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체(52a)와, 저감부 몸체(52a)의 양측에 이격되어 설치된 고정부(52b), 그리고 저감부 몸체(52a)와 고정부(52b)를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재(52c)를 포함할 수 있다. The second vibration reduction section 52 includes a reduction body 52a that is in contact with the second guide rail 42 and receives vibration and a fixing section 52b that is spaced from both sides of the reduction body 52a, And a buffer member 52c that connects the reduction member body 52a and the fixing member 52b to attenuate the vibration.

구동 유닛(미도시)은 동력을 발생하고 만들어진 동력을 가이드 유닛(20)에 전달하도록 마련될 수 있다. 구동 유닛(미도시)은 제1 가이드 유닛(21)과 제2 가이드 유닛(22)에 각각 동력이 전달되도록 제공될 수 있다. 구동 유닛(미도시)은 제1 가이드 유닛(21)을 제1 방향(91)으로 이동시키고, 제2 가이드 유닛(22)을 제2 방향(92)으로 이동시켜 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되도록 마련될 수 있다.The drive unit (not shown) may be provided to generate power and transmit the generated power to the guide unit 20. The driving unit (not shown) may be provided to transmit power to the first guide unit 21 and the second guide unit 22, respectively. The drive unit (not shown) moves the first guide unit 21 in the first direction 91 and moves the second guide unit 22 in the second direction 92 to move the table 10 in the first direction 91 (91) and the second direction (92).

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. For example, it is to be understood that the techniques described may be performed in a different order than the described methods, and / or that components of the described systems, structures, devices, circuits, Lt; / RTI > or equivalents, even if it is replaced or replaced.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are also within the scope of the following claims.

1 : 이동 가능한 테이블 시스템
10 : 테이블
20 : 가이드 유닛
30 : 가이드 플레이트
40 : 가이드 레일
50 : 진동 저감부
80 : 베이스 플레이트1: Movable table system
10: Table
20: Guide unit
30: guide plate
40: Guide rail
50: vibration reduction portion
80: base plate

Claims (10)

테이블;
상기 테이블이 제1 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제1 가이드 플레이트를 포함하는 제1 가이드 유닛;
상기 테이블이 제2 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 제2 가이드 유닛; 및
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 제1 가이드 유닛은
상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동되도록 구성되는 복수개의 제1 가이드 레일; 및
상기 복수개의 제1 가이드 레일 중에서 상기 제1 가이드 플레이트의 중앙부에 위치한 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생하는 진동을 저감시키는 제1 진동 저감부를 포함하고,
상기 제2 가이드 유닛은
상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2방향으로 이동되도록 구성되는 복수개의 제2 가이드 레일을 포함하며,
상기 복수개의 제2 가이드 레일 중에서 상기 제2 가이드 플레이트의 중앙부에 위치한 제2 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 제2 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 제2 진동 저감부를 포함하고,
상기 제1 진동 저감부 및 상기 제2 진동 저감부 각각에는
상기 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일 각각에 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체;
상기 저감부 몸체의 양측에 이격되어 설치된 고정부; 및
상기 저감부 몸체와 상기 고정부를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.table;
A first guide unit including a first guide plate coupled with the table such that the table can move together in a first direction;
A second guide unit including a second guide plate coupled with the table such that the table can move together in a second direction; And
And a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit,
And the first guide plate includes a first plate rail portion for guiding the table to be moved in the second direction along one side of the first guide plate,
And the second guide plate includes a second plate rail portion for guiding the table to be moved in the first direction along one side of the second guide plate,
The first guide unit
A plurality of first guide rails configured to move the first guide plate in the first direction; And
And a first vibration reduction unit coupled to one side of a first guide rail positioned at a central portion of the first guide plate among the plurality of first guide rails to reduce vibration generated in the first guide plate,
The second guide unit
And a plurality of second guide rails configured to move the second guide plate in the second direction,
And a second vibration reduction unit coupled to one side of a second guide rail positioned at a central portion of the second guide plate among the plurality of second guide rails to reduce vibration generated in the second guide plate,
Wherein each of the first vibration reduction section and the second vibration reduction section
A reduction body which is in contact with the first guide rail and the second guide rail and receives vibration;
A fixing unit spaced apart from both sides of the reduction unit body; And
And a cushioning member connecting the reducer body and the fixing unit to attenuate vibrations. 제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 더 포함하고,
상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method according to claim 1,
The first guide unit may further include a first guide rail extending in the first direction and coupled to one side of the first guide plate so as to be movable in the first direction,
And the second guide unit further includes a second guide rail extending in the second direction and coupled to one side of the second guide plate so as to be movable in the second direction. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛은 서로 나란히 배치되는 이동 가능한 테이블 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the first guide unit and the second guide unit are arranged side by side. 제1항에 있어서,
상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method according to claim 1,
The table includes a first table engaging portion coupled to the first plate rail portion and slidable in the second direction, a second table engaging portion coupled to the second plate rail portion and configured to slide in the first direction, ≪ / RTI > 테이블;
상기 테이블이 제1 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 일측과 결합된 제1 가이드 유닛;
상기 제1 가이드 유닛과 나란히 배치되고, 상기 테이블이 제2 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 타측과 결합된 제2 가이드 유닛; 및
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 테이블은 상기 제1 가이드 유닛과 함께 상기 제1 방향으로 이동되면서 상기 제2 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제2 가이드 유닛을 따라 상기 제1 방향으로 슬라이딩 이동되고, 상기 제2 가이드 유닛과 함께 상기 제2 방향으로 이동되면서 상기 제1 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제1 가이드 유닛을 따라 상기 제2 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성되고,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 상기 테이블에 결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 복수개의 제1 가이드 레일과, 상기 복수개의 제1 가이드 레일 중에서 상기 제1 가이드 플레이트의 중앙부에 위치한 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 제1 진동 저감부를 포함하고,
상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 상기 테이블에 결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 복수개의 제2 가이드 레일과, 상기 복수개의 제2 가이드 레일 중에서 상기 제2 가이드 플레이트의 중앙부에 위치한 제2 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 제2 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 제2 진동 저감부을 포함하고,
상기 제1 진동 저감부 및 상기 제2 진동 저감부 각각에는
상기 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일 각각에 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체;
상기 저감부 몸체의 양측에 이격되어 설치된 고정부; 및
상기 저감부 몸체와 상기 고정부를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.table;
A first guide unit coupled to one side of the table such that the table is movable in a first direction;
A second guide unit disposed in parallel with the first guide unit and coupled with the other side of the table so that the table is movable in a second direction; And
And a drive unit for transmitting power to the first guide unit and the second guide unit,
Wherein the table is moved in the first direction together with the first guide unit and a portion of the table coupled with the second guide unit is slid in the first direction along the second guide unit, A portion of the first guide unit, which is engaged with the first guide unit, is moved in the second direction along the first guide unit while being moved in the second direction,
Wherein the first guide unit comprises: a first guide plate coupled to the table so as to move together with the table in the first direction; and a second guide plate extending in the first direction and coupled with the first guide plate in the first direction A plurality of first guide rails movably provided on the first guide rail and a first guide rail disposed at a central portion of the first guide rail among the plurality of first guide rails to reduce vibration generated in the first guide plate And a second vibration reduction unit that vibrates the first vibration reduction unit,
The second guide unit includes a second guide plate coupled to the table so as to move together with the table in the second direction, and the second guide plate extending in the second direction and coupled to one side in the second direction A plurality of second guide rails provided on the first guide plate so as to be movable and a second guide rail disposed on a central portion of the second guide plate among the plurality of second guide rails, And a second vibration reduction unit that vibrates the second vibration reduction unit,
Wherein each of the first vibration reduction section and the second vibration reduction section
A reduction body which is in contact with the first guide rail and the second guide rail and receives vibration;
A fixing unit spaced apart from both sides of the reduction unit body; And
And a cushioning member connecting the reducer body and the fixing unit to attenuate vibrations. 삭제delete 삭제delete 제6항에 있어서,
상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.The method according to claim 6,
And the first guide plate includes a first plate rail portion for guiding the table to be moved in the second direction along one side of the first guide plate,
And the second guide plate includes a second plate rail portion for guiding the table to be moved in the first direction along one side of the second guide plate,
The table includes a first table engaging portion coupled to the first plate rail portion and slidable in the second direction, a second table engaging portion coupled to the second plate rail portion and configured to slide in the first direction, ≪ / RTI > 삭제delete
KR1020170098871A 2017-08-04 2017-08-04 Moveable Table System KR101989120B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170098871A KR101989120B1 (en) 2017-08-04 2017-08-04 Moveable Table System

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170098871A KR101989120B1 (en) 2017-08-04 2017-08-04 Moveable Table System

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190014841A KR20190014841A (en) 2019-02-13
KR101989120B1 true KR101989120B1 (en) 2019-06-13

Family

ID=65366530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170098871A KR101989120B1 (en) 2017-08-04 2017-08-04 Moveable Table System

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101989120B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230084728A (en) * 2021-12-06 2023-06-13 (주)씨비에이치 Operating Table comprising Floating Function

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297189A (en) * 2005-05-30 2005-10-27 Nsk Ltd Xy table device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2981999B1 (en) 1998-06-16 1999-11-22 株式会社新川 Motor drive device and XY table in semiconductor manufacturing apparatus
DE112006003352B4 (en) 2005-12-06 2017-05-11 Thk Co., Ltd. XY table actuator
KR101022646B1 (en) * 2009-08-31 2011-03-22 주식회사 져스텍 Linear motor system and reaction force compensation method thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297189A (en) * 2005-05-30 2005-10-27 Nsk Ltd Xy table device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190014841A (en) 2019-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101162108B1 (en) Reaction force treating appliance
KR20180044319A (en) Top and bottom facing device
KR101989120B1 (en) Moveable Table System
US10640294B2 (en) Article transport body
JP4643685B2 (en) Driving stage and chip mounter using the same
KR101854412B1 (en) Three-dimensional isolation device using vibroisolating rubber
TW455642B (en) Quake-absorption device
KR20150134752A (en) A flexure-based monolithic parallel stage for two axes driven by differential forces
KR101512763B1 (en) Support structure for a ball screw
KR102009333B1 (en) A Stage Device
CN110864075B (en) Vertical vibration isolation system
KR20190083193A (en) Moveable Repulsive power reduction Table System
JP4554559B2 (en) Stage equipment
TWI682886B (en) Attenuating member of rolling guide device and vibration isolation device using the same
JP2007331079A (en) Reaction controlling device for stage
TWI702104B (en) Laser processing system
KR20120019299A (en) Linear stage with flexure to absorb deformation such as heat-induced deformation
JP2016041432A (en) Punch press
KR101842146B1 (en) Linear motor stage apparatus with improved damping and damping method thereof
JP2017194116A (en) Base isolation table and attenuation force applying member used for base isolation table
JP2021171832A (en) Carrier device
TW201918645A (en) Adjustable damper and controlling method thereof
RU86517U1 (en) CROSS TABLE
CN112363310B (en) Transmission mechanism and high-precision microscope
JP6644602B2 (en) Connection unit and stage device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)