KR101972164B1 - Solvent for the production of photoresist - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 포토레지스트 제조에 있어서, 감도가 높은 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성이 양호하고, 전자 재료 용도의 페이스트 조성물의 특성을 손상시키지 않는 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 해결수단은 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해용의 용제 또는 용제 조성물이며, 하기 화학식 (A)로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 갖는 용제 A를 포함하는 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 제공하는 것이다.
<화학식 (A)>

Figure 112012018562379-pat00039

(상기 화학식 중, R1 내지 R4는 동일하거나 상이하고, 각각 C1 -2의 알킬기이고, R1과 R3 또는 R2와 R4는 서로 결합하여 각각 환을 형성하고 있을 수도 있음)A problem to be solved by the present invention is to provide a solvent or a solvent composition for photoresist which is excellent in solubility of an oxime ester photopolymerization initiator having high sensitivity and does not impair the characteristics of a paste composition for electronic materials.
A solving means of the present invention is a solvent or a solvent composition for dissolving an oxime ester photopolymerization initiator, which comprises a solvent A having at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by the following formula (A) Solvent or solvent composition.
&Lt; Formula (A) >
Figure 112012018562379-pat00039

(Wherein R 1 to R 4 are the same or different and each is an alkyl group of C 1 -2 , and R 1 and R 3 or R 2 and R 4 may be bonded to each other to form a ring)

Description

포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물{SOLVENT FOR THE PRODUCTION OF PHOTORESIST}[0001] SOLVENT FOR THE PRODUCTION OF PHOTORESIST [0002]

본 발명은 광중합 개시제 용해성이 우수한 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물, 및 상기 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 포함하는 포토레지스트 제조용 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a solvent or a solvent composition for photoresist preparation excellent in solubility of a photopolymerization initiator, and a composition for preparing a photoresist comprising the solvent or the solvent composition for the photoresist.

일반적으로, 액정 표시 디스플레이 등의 표시체의 컬러화에는 2매의 기판 사이에 적색(R)이나 녹색(G)이나 청색(B)이나 황색(Y) 등의 화소 영역으로 구성된 컬러 필터를 필요로 한다. 그러나, 컬러 필터의 각 화소 영역 사이가 간극 없이 매립되어 있으면, 그의 경계에서 콘트라스트 저하 등이 발생한다. 이 문제를 방지하기 위해, 통상 각 색의 화소 영역을 흑색의 격벽에 의해 구분하는 블랙 매트릭스가 형성되어 있다.In general, coloring of a display body such as a liquid crystal display or the like requires a color filter composed of pixel regions of red (R), green (G), blue (B), and yellow (Y) between two substrates . However, if the pixel areas of the color filter are buried without gaps, a contrast degradation occurs at the boundary thereof. In order to prevent this problem, a black matrix is generally formed in which pixel regions of respective colors are divided by black partition walls.

일반적으로, 블랙 매트릭스나 컬러 필터의 형성에는 포토레지스트가 사용되고 있다. 블랙 매트릭스에는 금속의 차광 재료를 사용하는 것과, 비금속의 차광 재료를 사용하는 것이 있다. 최근 환경적인 면에서, 비금속의 블랙 매트릭스로서 수지 블랙 매트릭스가 증가하고 있다. 수지 블랙 매트릭스 페이스트는 차광 재료, 결합제 수지, 다관능성 단량체, 광중합 개시제, 용매 등을 포함하고 있다.In general, a photoresist is used to form a black matrix or a color filter. The black matrix includes a metal shielding material and a non-metal shielding material. Recently, resin black matrix has been increasing as a non-metallic black matrix in terms of environment. The resin black matrix paste contains a light-shielding material, a binder resin, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, a solvent, and the like.

블랙 매트릭스는 다음의 (1) 내지 (6)의 공정을 거쳐서 제조된다.The black matrix is produced through the following steps (1) to (6).

(1) 블랙 매트릭스 페이스트를 조합한다. (2) 기판에 도포한 후, 박층화한다. (3) 100 ℃ 정도에서 용제를 증발시켜 건조시킨다. (4) 100 mJ/cm2 정도의 강도의 UV를 조사하여 광 경화시킨다. (5) 탄산나트륨 수용액을 스프레이하여, 불필요한 수지분을 세정한다. (6) 200 ℃ 정도에서 가열하여 열 경화시킨다.(1) A black matrix paste is combined. (2) After coating on a substrate, the layer is thinned. (3) The solvent is evaporated at about 100 ° C to dry. (4) Light curing is performed by irradiating ultraviolet light having a intensity of about 100 mJ / cm 2 . (5) Spray the sodium carbonate aqueous solution to wash unnecessary parts of the resin. (6) Heat curing at about 200 ° C.

블랙 매트릭스의 광 경화에서는, 페이스트 조성물 중에 포함되는 차광제의 배합으로 인해 심부까지 도달하는 광이 약해진다. 따라서, 페이스트 조성물 중에 감도가 높은 광중합 개시제를 다량으로 함유시키는 것이 필요하다. 감도가 높은 광중합 개시제로서 카르바졸 골격을 갖는 옥심에스테르계 광중합 개시제를 들 수 있다(특허문헌 1). 그러나 이들은 용해성이 부족하여 많은 양을 용제에 용해시키는 것이 곤란하였다.In the light curing of the black matrix, the light reaching the deep portion is weakened due to the mixing of the light shielding agent contained in the paste composition. Therefore, it is necessary to contain a large amount of photopolymerization initiator having high sensitivity in the paste composition. And an oxime ester-based photopolymerization initiator having a carbazole skeleton as a photopolymerization initiator having high sensitivity (Patent Document 1). However, they are insoluble and it is difficult to dissolve a large amount of them in a solvent.

따라서 특허문헌 2에서는 블랙 매트릭스의 페이스트용 용제로서, 광중합 개시제에 대한 용해성으로부터 시클로헥사논, 및 시클로헥사논을 포함하는 혼합 용제가 사용되고 있다(특허문헌 2). 그러나, 시클로헥사논은 생태 독성의 염려가 있으며, VOC 규제 대상 화합물로서 취급에는 유기 용제 작업 주임자를 설정할 필요가 있다는 등의 규제가 있기 때문에 대체 용제가 요구되고 있다.Therefore, in Patent Document 2, a mixed solvent containing cyclohexanone and cyclohexanone is used as a solvent for a paste of a black matrix from the solubility in a photopolymerization initiator (Patent Document 2). However, cyclohexanone is a concern for ecotoxicity, and as a VOC-regulated compound, an alternative solvent is required because there are regulations such as the necessity of setting an organic solvent operation leader.

컬러 필터 및 블랙 매트릭스 용도에 기타 일반적으로 사용되는 용제로는, 도포성이나 안료 분산성으로부터 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부탄올아세테이트, 1,6-헥산디올디아세테이트, 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 시클로헥산올아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디프로필렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 등이 사용되고 있다(특허문헌 3, 특허문헌 4).Other commonly used solvents for color filters and black matrix applications include propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutanol acetate, 1,6-hexanediol diacetate, 1,3- Butylene glycol diacetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, cyclohexanol acetate, propylene glycol diacetate, dipropylene glycol diacetate, di Ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, and the like are used (Patent Document 3, Patent Document 4).

일본 특허 제4448381호 공보Japanese Patent No. 4448381 일본 특허 공개 제2009-173560호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-173560 일본 특허 공개 제2009-271502호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-271502 일본 특허 공개 제2010-249869호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-249869

따라서 본 발명의 목적은, 포토레지스트 제조에 있어서 감도가 높은 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성이 양호하고, 전자 재료 용도의 페이스트 조성물의 특성을 손상시키지 않는 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a solvent or a solvent composition for photoresist which is excellent in solubility of an oxime ester-based photopolymerization initiator having high sensitivity in the production of photoresist and does not impair the properties of the paste composition for electronic materials .

또한 본 발명의 다른 목적은, 상기 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 포함하고, 도포성, 안료 분산성, 염료 용해성, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성, 건조성, 안전성 등이 우수한 포토레지스트 제조용 조성물을 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a photoresist composition which comprises the above-mentioned solvent or solvent composition for photoresist and is excellent in coatability, pigment dispersibility, dye solubility, epoxy resin / acrylic resin solubility, dryness and safety .

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 특정한 용제를 사용함으로써 높은 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해성을 실현할 수 있다는 것을 발견하였다. 또한, 필요에 따라 이 용제와 일반적으로 전자 재료 용도로 사용되고 있는 용제를 혼합함으로써, 도포성, 안료 분산성, 염료 용해성, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성, 건조성, 안전성 등을 더욱 향상시킬 수 있다는 것을 발견하였다. 본 발명은 이들 지견에 기초하여 완성시킨 것이다.As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that solubility of a high oxime ester-based photopolymerization initiator can be realized by using a specific solvent. Further, it is possible to further improve the coating properties, the pigment dispersibility, the dye solubility, the epoxy resin-acrylic resin solubility, the drying property, the safety and the like by mixing this solvent and a solvent generally used for electronic materials as necessary Respectively. The present invention has been completed based on these findings.

즉, 본 발명은 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해용의 용제 또는 용제 조성물이며, 하기 화학식 (A)로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 갖는 용제 A를 포함하는 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 제공한다.That is, the present invention relates to a solvent or a solvent composition for dissolving an oxime ester-based photopolymerization initiator, which comprises a solvent A containing at least one compound selected from the group consisting of a compound represented by the following formula (A) Or a solvent composition.

<화학식 (A)>&Lt; Formula (A) >

Figure 112012018562379-pat00001
Figure 112012018562379-pat00001

(상기 화학식 중, R1 내지 R4는 동일하거나 상이하며, 각각 C1 -2의 알킬기이고, R1과 R3 또는 R2와 R4는 서로 결합하여 각각 환을 형성하고 있을 수도 있음)(Wherein R 1 to R 4 are the same or different and each is a C 1 -2 alkyl group, and R 1 and R 3 or R 2 and R 4 may be bonded to each other to form a ring)

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은, 상기 용제 A와 상용(相容)하는 용제 B를 적어도 1 종류 더 포함하고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the solvent or the solvent composition for producing a photoresist of the present invention further contains at least one solvent B which is compatible with the solvent A. [

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물에 있어서, 상기 용제 A는 30 중량% 이상 포함되어 있는 것이 바람직하고, 50 중량% 이상 포함되어 있는 것이 더욱 바람직하다.In the solvent or solvent composition for producing a photoresist of the present invention, the solvent A is preferably contained in an amount of 30 wt% or more, more preferably 50 wt% or more.

상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 하기 화학식 (P1)로 표시되는 화합물 (P1)인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound (P1) represented by the following formula (P1).

<화학식 (P1)>&Lt; Formula (P1) >

Figure 112012018562379-pat00002
Figure 112012018562379-pat00002

(상기 화학식 중, R11은 C2아실기 또는 페노일기를 나타내고, R12는 C1 - 6알킬기, 또는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 페닐기를 나타내고, R13은 하기 화학식 (P2) 또는 하기 화학식 (P4)로 표시되는 기를 나타냄)(In the formula, R 11 represents a C 2 acyl group or page noilgi, R 12 is C 1 - 6 represents a phenyl group that may have an alkyl group, or a substituent, R 13 is the formula (P2) or the formula ( P4)

<화학식 (P2)>&Lt; Formula (P2) >

Figure 112012018562379-pat00003
Figure 112012018562379-pat00003

(상기 화학식 중, R14는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 페닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 나프틸기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 안트라실기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 티에닐기, 또는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 디페닐술피드기를 나타내고, R15는 단결합, 또는 하기 화학식 (P3)으로 표시되는 2가의 기를 나타내고, R15가 단결합인 경우, R14는 C6H5SC6H4-일 수도 있음)(Wherein R 14 represents a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, an anthracyl group which may have a substituent, a thienyl which may have a substituent or a thienyl group which may have a substituent R 15 is a single bond or a divalent group represented by the following formula (P3), and when R 15 is a single bond, R 14 may be C 6 H 5 SC 6 H 4 - )

<화학식 (P3)>&Lt; Formula (P3) >

Figure 112012018562379-pat00004
Figure 112012018562379-pat00004

(상기 화학식 중, R16은 C1 - 2알킬기 또는 페닐기를 나타냄)(In the formula, R 16 is C 1 - 2 represents a alkyl group or a phenyl group)

<화학식 (P4)>&Lt; Formula (P4) >

Figure 112012018562379-pat00005
Figure 112012018562379-pat00005

(상기 화학식 중, R15는 단결합, 또는 상기 화학식 (P3)으로 표시되는 기를 나타냄)(Wherein R &lt; 15 &gt; represents a single bond or a group represented by the above formula (P3)

상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1)인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound (1) represented by the following formula (1).

<화학식 (1)>&Lt; Formula (1) >

Figure 112012018562379-pat00006
Figure 112012018562379-pat00006

또한, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 바람직하게는 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)이고, 용제 A가 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound (2) represented by the following formula (2), and the solvent A is 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro- It is preferably a pyrimidone.

<화학식 (2)>&Lt; Formula (2) >

Figure 112012018562379-pat00007
Figure 112012018562379-pat00007

또한, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 바람직하게는 하기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물 (3)이고, 용제 A가 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound (3) represented by the following formula (3), and the solvent A is 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro- It is preferably a pyrimidone.

<화학식 (3)>&Lt; Formula (3) >

Figure 112012018562379-pat00008
Figure 112012018562379-pat00008

바람직하게는, 본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물에서, 20 ℃에서의 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해도가 용제 조성물 100 중량부에 대하여 4 중량부 이상이다.Preferably, the solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator at 20 캜 in the solvent or solvent composition for photoresist preparation of the present invention is 4 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the solvent composition.

또한, 본 발명은 옥심에스테르계 광중합 개시제와, 상기 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제조용 조성물을 제공한다.The present invention also provides a photoresist composition comprising an oxime ester photopolymerization initiator and a solvent or solvent composition for the photoresist.

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에 있어서, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제가 하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1), 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2), 또는 하기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물 (3)인 것이 바람직하다.The oxime ester photopolymerization initiator according to the present invention is a photoresist composition comprising a compound (1) represented by the following formula (1), a compound (2) represented by the following formula (2) Is preferably the compound (3) to be displayed.

<화학식 (1)>&Lt; Formula (1) >

Figure 112012018562379-pat00009
Figure 112012018562379-pat00009

<화학식 (2)>&Lt; Formula (2) >

Figure 112012018562379-pat00010
Figure 112012018562379-pat00010

<화학식 (3)>&Lt; Formula (3) >

Figure 112012018562379-pat00011
Figure 112012018562379-pat00011

바람직하게는, 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 상기 화합물 (1)이다. 또한, 바람직하게는 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 상기 화합물 (2)이고, 상기 용제 A가 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논이다. 또한, 바람직하게는 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제는 상기 화합물 (3)이고, 상기 용제 A가 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논이다.Preferably, the oxime ester-based photopolymerization initiator is the compound (1). Preferably, the oxime ester-based photopolymerization initiator is the compound (2), and the solvent A is 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone. Preferably, the oxime ester-based photopolymerization initiator is the compound (3), and the solvent A is 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone.

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은, 광중합 개시제의 용해성이 높고, 전자 재료 용도의 페이스트 조성물의 특성을 손상시키지 않는다. 또한, 본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에 따르면, 도포성, 안료 분산성, 염료 용해성, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성, 건조성, 안전성 등이 우수한 포토레지스트 제조용 조성물이 얻어진다.The solvent or solvent composition for photoresist of the present invention has a high solubility in the photopolymerization initiator and does not impair the properties of the paste composition for electronic materials. Further, according to the composition for the production of a photoresist of the present invention, a photoresist composition excellent in coatability, pigment dispersibility, dye solubility, epoxy resin / acrylic resin solubility, dryness and safety can be obtained.

[포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물][Solvent or solvent composition for photoresist preparation]

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해용의 용제 또는 용제 조성물이며, 하기 화학식 (A)로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 갖는 용제 A를 포함하고 있다.The solvent or the solvent composition for photoresist of the present invention is a solvent or a solvent composition for dissolving the oxime ester photopolymerization initiator and includes a solvent A having at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by the following formula (A) .

<화학식 (A)>&Lt; Formula (A) >

Figure 112012018562379-pat00012
Figure 112012018562379-pat00012

(상기 화학식 중, R1 내지 R4는 동일하거나 상이하며, 각각 C1 -2의 알킬기이고, R1과 R3 또는 R2와 R4는 서로 결합하여 각각 환을 형성하고 있을 수도 있음)(Wherein R 1 to R 4 are the same or different and each is a C 1 -2 alkyl group, and R 1 and R 3 or R 2 and R 4 may be bonded to each other to form a ring)

<용제 A><Solvent A>

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물에 포함되는 용제 A는, 하기 화학식 (A)로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 갖고 있다. 환으로서는, 2-이미다졸리디논환, 2-피리미디논환 등을 들 수 있다.The solvent A contained in the solvent for forming a photoresist of the present invention contains at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by the following formula (A). Examples of the ring include a 2-imidazolidinone ring and a 2-pyrimidone ring.

<화학식 (A)>&Lt; Formula (A) >

Figure 112012018562379-pat00013
Figure 112012018562379-pat00013

(상기 화학식 중, R1 내지 R4는 동일하거나 상이하고, 각각 C1 -2의 알킬기이고, R1과 R3 또는 R2와 R4는 서로 결합하여 각각 환을 형성하고 있을 수도 있음)(Wherein R 1 to R 4 are the same or different and each is an alkyl group of C 1 -2 , and R 1 and R 3 or R 2 and R 4 may be bonded to each other to form a ring)

용제 A로서 구체적으로는, 예를 들면 테트라메틸요소, 테트라에틸요소, 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논, 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논 등을 들 수 있으며, 바람직하게는 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논, 테트라메틸요소, 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 용제 A를 사용함으로써, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 고농도로 용해시키는 것이 가능해진다.Specific examples of the solvent A include tetramethyl urea, tetraethyl urea, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone and 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro- 1H) pyrimidone, and preferably 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, tetramethyl urea, 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro- 1H) pyrimidinone. These may be used alone, or two or more of them may be used in combination. By using the solvent A, the oxime ester-based photopolymerization initiator can be dissolved at a high concentration.

포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물 중에서의 용제 A의 함유량은 30 중량% 이상(예를 들면 30 내지 100 중량%)이 바람직하고, 50 중량% 이상(예를 들면 50 내지 100 중량%)이 더욱 바람직하다. 용제 A의 함유량이 30 중량%를 하회하면, 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성이 충분하지 않은 경우가 있다. 또한 용제 A의 함유량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 이들의 합계량이다.The content of the solvent A in the solvent for forming a photoresist or the solvent composition is preferably 30 wt% or more (for example, 30 to 100 wt%), more preferably 50 wt% or more (for example, 50 to 100 wt% . When the content of the solvent A is less than 30% by weight, the solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator may not be sufficient. The content of the solvent A is the total amount of the two or more solvents in combination.

<용제 B><Solvent B>

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물에 포함되는 용제 A는, 일반적으로 전자 재료 용도에 사용되고 있으며 용제 A와 상용하는 용제 B와 혼합하여 사용할 수도 있다. 용제 B와 병용함으로써, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 용해시켜 포토레지스트 제조용 조성물로 한 경우, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 고농도로 용해시키면서 도포성, 안료 분산성, 염료 용해성, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성, 건조성, 안전성 등을 개선시킬 수 있다.The solvent A contained in the solvent for forming a photoresist of the present invention may be used in combination with a solvent B generally used for electronic materials and compatible with the solvent A. When the oxime ester photopolymerization initiator is used in combination with the solvent B to form a photoresist composition, the oxime ester photopolymerization initiator is dissolved at a high concentration, and the coating property, the pigment dispersibility, the dye solubility, the epoxy resin / acrylic resin solubility, Composition, safety and the like can be improved.

용제 B로서는 용제 A와 상용하는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 (모노, 디, 트리)알킬렌글리콜모노알킬에테르, (모노, 디)알킬렌글리콜디알킬에테르, (모노, 디)알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트, (모노, 디)알킬렌글리콜디아세테이트, (시클로)알킬아세테이트, C3 - 6알코올, C3 - 6알칸디올, C3 - 6알칸디올모노알킬에테르, C3 - 6알칸디올알킬에테르아세테이트, C3 - 6알칸디올디아세테이트, 글리세린트리아세테이트, 히드록시카르복실산에스테르, 히드록시카르복실산디에스테르, 알콕시카르복실산에스테르, 환상 케톤, 락톤, 환상 에테르, 아미드류, 피리딘류, 방향족 아세테이트, 아민류 등을 들 수 있다.The solvent B is not particularly limited as long as it is compatible with the solvent A, and examples thereof include (mono, di, tri) alkylene glycol monoalkyl ether, (mono, di) alkylene glycol dialkyl ether, (Cycloalkyl) acetates, C 3 - 6 alcohols, C 3 - 6 alkane diols, C 3 - 6 alkane diol monoalkyl ethers, C 3 - 6 alkanes, diol alkyl ether acetate, C 3 - 6 alkane diol diacetate, glycerol triacetate, hydroxycarboxylic acid esters, hydroxycarboxylic acid diethyl ester, alkoxy, carboxylic acid esters, cyclic ketones, lactones, cyclic ethers, amides, pyridine Aromatic acetic acid, amines, and the like.

(모노, 디, 트리)알킬렌글리콜모노알킬에테르로서는, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜메틸에테르, 트리프로필렌글리콜 n-부틸에테르 등이 예시된다.(Mono, di, tri) alkylene glycol monoalkyl ether include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol n-propyl ether, ethylene glycol n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol n-butyl ether, Methyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripropylene glycol methyl ether, and tripropylene glycol n-butyl ether.

(모노, 디)알킬렌글리콜디알킬에테르로서는, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르 등이 예시된다.(Mono, di) alkylene glycol dialkyl ethers include ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether , Propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, propylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol methyl n-propyl ether, propylene glycol methyl n-butyl ether, Methyl ethyl ether, dipropylene glycol methyl n-propyl ether, dipropylene glycol methyl n-butyl ether and the like.

(모노, 디)알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트로서는, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트 등이 예시된다.(Mono, di) alkylene glycol alkyl ether acetates include ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, di Ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monopropyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate , Dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol ethyl ether acetate, dipropylene glycol propyl ether acetate, dipropylene glycol butyl ether acetate The like can be given.

(모노, 디)알킬렌글리콜디아세테이트로서는, 에틸렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디프로필렌글리콜디아세테이트 등이 예시된다. (시클로)알킬아세테이트로서는, 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, n-프로필아세테이트, 이소프로필아세테이트, 부틸아세테이트, 시클로헥산올아세테이트 등이 예시된다.Examples of the (mono, di) alkylene glycol diacetate include ethylene glycol diacetate, diethylene glycol diacetate, propylene glycol diacetate, and dipropylene glycol diacetate. (Cyclo) alkyl acetates include methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, cyclohexanol acetate and the like.

C3 - 6알코올로서는, n-프로필알코올, 이소프로필알코올, n-부틸알코올, sec-부틸알코올, tert-부틸알코올, n-펜틸알코올, n-헥실알코올, 2-헥실알코올 등이 예시된다. C3 - 6알칸디올로서는, 1,3-부틸렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,6-헥산디올 등이 예시된다. C3 - 6알칸디올모노알킬에테르로서는, 3-메톡시부탄올 등이 예시된다.C 3 - 6 As the alcohol, such as n- propyl alcohol, isopropyl alcohol, n- butyl alcohol, sec- butyl alcohol, tert- butyl alcohol, n- pentyl alcohol, n- hexyl alcohol, 2-hexyl alcohol and the like. C 3 - 6 As the alkanediol, and the like such as 1,3-butylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol. C 3 - 6 Examples of alkanediol mono alkyl ethers, and the like such as 3-methoxybutanol.

C3 - 6알칸디올알킬에테르아세테이트로서는, 3-메톡시부탄올아세테이트 등이 예시된다. C3 - 6알칸디올디아세테이트로서는, 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트, 1,4-부탄디올디아세테이트, 1,6-헥산디올디아세테이트 등이 예시된다.C 3 - 6 As the alkanediol alkyl ether acetate, and the like such as 3-methoxybutanol acetate. C 3 - 6 and the like are exemplified as the alkane diol diacetate, 1,3-butylene glycol acetate, 1,4-butanediol diacetate, 1,6-diacetate.

히드록시카르복실산에스테르로서는, 락트산메틸, 락트산에틸 등이 예시된다. 히드록시카르복실산디에스테르로서는, 락트산메틸아세테이트, 락트산에틸아세테이트 등이 예시된다. 알콕시카르복실산에스테르로서는, 메톡시프로피온산메틸, 에톡시프로피온산에틸 등이 예시된다.Examples of the hydroxycarboxylic acid ester include methyl lactate and ethyl lactate. Examples of the hydroxycarboxylic acid diester include lactic acid methyl acetate, lactic acid ethyl acetate and the like. Examples of the alkoxycarboxylic acid ester include methyl methoxypropionate and ethyl ethoxypropionate.

환상 케톤으로서는, 시클로펜타논, 시클로헥사논, 4-케토이소포론 등이 예시된다. 락톤류로서는, β-부티로락톤, γ-부티로락톤, ε-카프로락톤, δ-발레로락톤, γ-발레로락톤, α-아세틸-γ-부티로락톤 등이 예시된다. 환상 에테르로서는, 테트라히드로푸란, 테트라히드로푸르푸릴알코올, 테트라히드로푸르푸릴아세테이트 등이 예시된다.Examples of cyclic ketones include cyclopentanone, cyclohexanone, and 4-ketoisoperolone. Examples of the lactones include? -Butyrolactone,? -Butyrolactone,? -Caprolactone,? -Valerolactone,? -Valerolactone and? -Acetyl-? -Butyrolactone. As the cyclic ether, tetrahydrofuran, tetrahydrofurfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl acetate and the like are exemplified.

아미드류로서는, 디메틸포름아미드 등이 예시된다. 피리딘류로서는, 피리딘, 메틸피리딘 등이 예시된다. 방향족 아세테이트로서는, 아세트산페닐 등이 예시된다. 아민류로서는, 디에틸아민, 트리에틸아민 등이 예시된다. 상기 예시한 용제 B는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.As amides, dimethylformamide and the like are exemplified. Examples of the pyridine include pyridine, methylpyridine and the like. Examples of the aromatic acetate include phenyl acetate and the like. As the amines, diethylamine, triethylamine and the like are exemplified. The solvent B exemplified above may be used alone, or two or more of them may be used in combination.

포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물 중에서의 용제 B의 함유량은, 예를 들면 0 내지 70 중량%가 바람직하고, 0 내지 50 중량%가 더욱 바람직하다. 용제 B의 함유량이 70 중량%를 상회하면, 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성이 충분하지 않은 경우가 있다. 또한 용제 B의 함유량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 이들의 합계량이다.The content of the solvent B in the solvent for forming a photoresist or the solvent composition is preferably, for example, 0 to 70% by weight, more preferably 0 to 50% by weight. If the content of the solvent B exceeds 70% by weight, the solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator may not be sufficient. The content of the solvent B is the total amount of two or more of them in combination.

포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물 중에서의 용제 A와 용제 B의 혼합비(중량)는, 용제 A/용제 B가 예를 들면 100/0 내지 30/70, 바람직하게는 100/0 내지 50/50이다. 용제 A/용제 B가 30/70보다 용제 B가 많은 경우에는, 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성이 충분하지 않은 경우가 있다. 또한 용제 A, 용제 B의 양은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 각각에 대한 합계량이다.The mixing ratio (weight) of the solvent A and the solvent B in the solvent for forming a photoresist or the solvent B is, for example, 100/0 to 30/70, preferably 100/0 to 50/50. When the amount of the solvent B is larger than that of the solvent A / the solvent B is 30/70, the solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator may not be sufficient. The amounts of the solvent A and the solvent B are the sum of the amounts of the two solvents when they are used in combination.

<옥심에스테르계 광중합 개시제>&Lt; Oxime ester-based photopolymerization initiator >

옥심에스테르계 광중합 개시제로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 하기 화학식 (P1)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is not particularly limited, and examples thereof include compounds represented by the following formula (P1).

<화학식 (P1)>&Lt; Formula (P1) >

Figure 112012018562379-pat00014
Figure 112012018562379-pat00014

(상기 화학식 중, R11은 C2아실기 또는 페노일기를 나타내고, R12는 C1 - 6알킬기, 또는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 페닐기를 나타내고, R13은 하기 화학식 (P2) 또는 하기 화학식 (P4)로 표시되는 기를 나타냄)(In the formula, R 11 represents a C 2 acyl group or page noilgi, R 12 is C 1 - 6 represents a phenyl group that may have an alkyl group, or a substituent, R 13 is the formula (P2) or the formula ( P4)

<화학식 (P2)>&Lt; Formula (P2) >

Figure 112012018562379-pat00015
Figure 112012018562379-pat00015

(상기 화학식 중, R14는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 페닐기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 나프틸기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 안트라실기, 치환기를 갖고 있을 수도 있는 티에닐기, 또는 치환기를 갖고 있을 수도 있는 디페닐술피드기를 나타내고, R15는 단결합, 또는 하기 화학식 (P3)으로 표시되는 2가의 기를 나타내고, R15가 단결합인 경우, R14는 C6H5SC6H4-일 수도 있음)(Wherein R 14 represents a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, an anthracyl group which may have a substituent, a thienyl which may have a substituent or a thienyl group which may have a substituent R 15 is a single bond or a divalent group represented by the following formula (P3), and when R 15 is a single bond, R 14 may be C 6 H 5 SC 6 H 4 - )

<화학식 (P3)>&Lt; Formula (P3) >

Figure 112012018562379-pat00016
Figure 112012018562379-pat00016

(상기 화학식 중, R16은 C1 - 2알킬기 또는 페닐기를 나타냄)(In the formula, R 16 is C 1 - 2 represents a alkyl group or a phenyl group)

<화학식 (P4)>&Lt; Formula (P4) >

Figure 112012018562379-pat00017
Figure 112012018562379-pat00017

(상기 화학식 중, R15는 단결합, 또는 상기 화학식 (P3)으로 표시되는 기를 나타냄)(Wherein R &lt; 15 &gt; represents a single bond or a group represented by the above formula (P3)

상기 화학식 (P1) 중, R11로서 예시되는 C2아실기로서는 예를 들면 아세틸기등을 들 수 있다. 상기 화학식 (P1) 중, R11로서 예시되는 페노일기로서는 벤조일기 등을 들 수 있다. 상기 화학식 (P1) 중, R12로서 예시되는 C1-6알킬기로서는 메틸기, 헥실기 등을 들 수 있다. 상기 화학식 (P1) 중, R12에서의 페닐기가 갖고 있을 수도 있는 치환기로서는, 메틸기, 메톡시프로필옥시기 등을 들 수 있다.In the above formula (P1), examples of the C 2 acyl group exemplified as R 11 include an acetyl group and the like. In the above formula (P1), examples of the phenoyl group exemplified as R 11 include a benzoyl group and the like. Examples of the C 1-6 alkyl group represented by R 12 in the above formula (P1) include a methyl group and a hexyl group. In the above formula (P1), examples of the substituent which the phenyl group in R 12 may have include a methyl group, a methoxypropyloxy group and the like.

상기 화학식 (P2) 중, R14에서의 페닐기, 나프틸기, 안트라실기 또는 티에닐기가 갖고 있을 수도 있는 치환기로서는, 예를 들면 메틸, 에틸, 프로필, 이소프로필, 부틸, 이소부틸, sec-부틸, tert-부틸 등의 C1 - 4알킬기; 메톡시, 에톡시, 프로폭시, 이소프로폭시, 부톡시, 이소부톡시, sec-부톡시, tert-부톡시, 2,2-디메틸-1,3-디옥솔란-4-메톡시기 등의 C1 - 4알콕시기 등을 들 수 있다.Examples of the substituent that R 14 may have include a phenyl group, a naphthyl group, an anthracyl group or a thienyl group in the above formula (P2) include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec- tert- butyl and the like of C 1 - 4 alkyl group; Such as C 1 -C 6 alkoxy such as methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, isobutoxy, sec-butoxy, tert-butoxy and 2,2- - 4 alkoxy group, and the like.

상기 화학식 (P3) 중 R16으로서 예시되는 C1 - 2알킬기로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기 등을 들 수 있다.C 1 is exemplified as R 16 In the formula (P3) - as the second group, for example, a methyl group, an ethyl group or the like.

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은 상기 예시한 화합물에서, 옥심에스테르계 광중합 개시제로서 하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1), 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2), 또는 하기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물 (3)을 특히 바람직하게 사용할 수 있으며, 이들 중 2종 이상을 병용할 수도 있다.The solvent or the solvent composition for a photoresist of the present invention is a compound represented by the following formula (1), a compound (2) represented by the following formula (2), or an oxime ester photopolymerization initiator The compound (3) represented by the following formula (3) is particularly preferably used, and two or more of them may be used in combination.

<화학식 (1)>&Lt; Formula (1) >

Figure 112012018562379-pat00018
Figure 112012018562379-pat00018

<화학식 (2)>&Lt; Formula (2) >

Figure 112012018562379-pat00019
Figure 112012018562379-pat00019

<화학식 (3)>&Lt; Formula (3) >

Figure 112012018562379-pat00020
Figure 112012018562379-pat00020

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은, 상기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)에 사용하는 경우 또는 상기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물 (3)에 사용하는 경우, 용제 A로서는 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논이 바람직하다.When the solvent or the solvent composition for producing a photoresist of the present invention is used for the compound (2) represented by the formula (2) or for the compound (3) represented by the formula (3) , 3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone are preferable.

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물에서는, 20 ℃에서의 옥심에스테르계 광중합 개시제(예를 들면, 상기 화학식 (1), (2) 또는 (3)으로 표시되는 화합물 (1), (2) 또는 (3))의 용해도가 상기 용제 또는 용제 조성물 100 중량부에 대하여, 예를 들면 4 중량부 이상(4 내지 90 중량부 정도), 바람직하게는 5중량부 이상(5 내지 90 중량부 정도), 보다 바람직하게는 6 중량부 이상(6 내지 90 중량부 정도), 더욱 바람직하게는 8 중량부 이상(8 내지 90 중량부 정도), 특히 바람직하게는 10 중량부 이상(10 내지 90 중량부 정도)이다. 또한 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 이들의 합계량이다.In the solvent or solvent composition for photoresist preparation of the present invention, an oxime ester-based photopolymerization initiator (for example, compounds (1), (2) or (3) (About 4 to 90 parts by weight), preferably 5 parts by weight or more (about 5 to 90 parts by weight), based on 100 parts by weight of the solvent or the solvent composition, , More preferably at least 6 parts by weight (about 6 to 90 parts by weight), even more preferably at least 8 parts by weight (about 8 to 90 parts by weight), particularly preferably at least 10 parts by weight )to be. The dissolution amount of the oxime ester-based photopolymerization initiator is a total amount thereof when two or more kinds are used in combination.

[포토레지스트 제조용 조성물][Composition for Photoresist Preparation]

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물은 상기 옥심에스테르계 광중합 개시제와, 상기 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물을 포함하는 것을 특징으로 한다.The composition for preparing a photoresist of the present invention is characterized by containing the oxime ester-based photopolymerization initiator and the solvent or solvent composition for the photoresist preparation.

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물 중 옥심에스테르계 광중합 개시제의 함유량은, 예를 들면 4 중량% 이상(4 내지 90 중량% 정도), 바람직하게는 5 중량% 이상(5 내지 90 중량% 정도), 보다 바람직하게는 6 중량% 이상(6 내지 90 중량% 정도), 더욱 바람직하게는 8 중량% 이상(8 내지 90 중량% 정도), 특히 바람직하게는 10 중량% 이상(10 내지 90 중량% 정도)으로 할 수 있다. 또한 옥심에스테르계 광중합 개시제의 함유량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 이들의 합계량이다.The content of the oxime ester-based photopolymerization initiator in the composition for preparing a photoresist of the present invention is, for example, 4 wt% or more (about 4 to 90 wt%), preferably 5 wt% (About 6 to 90 wt%), more preferably 8 wt% or more (about 8 to 90 wt%), particularly preferably 10 wt% or more (about 10 to 90 wt%) can do. The content of the oxime ester-based photopolymerization initiator is a total amount of two or more of them in combination.

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물 중 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물의 함유량은, 예를 들면 96 중량% 이하(10 내지 96 중량% 정도), 바람직하게는 95 중량% 이하(10 내지 95 중량% 정도), 보다 바람직하게는 94 중량% 이하(10 내지 94 중량% 정도), 더욱 바람직하게는 92 중량% 이하(10 내지 92 중량% 정도), 특히 바람직하게는 90 중량% 이하(10 내지 90 중량% 정도)로 할 수 있다.The content of the solvent or solvent composition for photoresist in the composition for preparing a photoresist of the present invention is, for example, not more than 96% by weight (about 10 to 96% by weight), preferably not more than 95% , More preferably not more than 94 wt% (about 10 to 94 wt%), more preferably not more than 92 wt% (about 10 to 92 wt%), particularly preferably not more than 90 wt% ).

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물 중 용제 A의 함유량은, 예를 들면 96 중량% 이하(3 내지 96 중량% 정도), 바람직하게는 95 중량% 이하(3 내지 95 중량% 정도), 보다 바람직하게는 94 중량% 이하(3 내지 94 중량% 정도), 더욱 바람직하게는 92 중량% 이하(3 내지 92 중량% 정도), 특히 바람직하게는 90 중량% 이하(3 내지 90 중량% 정도)로 할 수 있다. 또한 용제 A의 함유량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 이들의 합계량이다.The content of the solvent A in the composition for preparing a photoresist of the present invention is, for example, not more than 96% by weight (about 3 to 96% by weight), preferably not more than 95% (About 3 to 94% by weight), more preferably about 92% by weight (about 3 to 92% by weight), particularly preferably about 90% by weight . The content of the solvent A is the total amount of the two or more solvents in combination.

옥심에스테르계 광중합 개시제로서는, 하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1)인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator is preferably a compound (1) represented by the following formula (1).

<화학식 (1)>&Lt; Formula (1) >

Figure 112012018562379-pat00021
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또한, 본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에 포함되는 옥심에스테르계 광중합 개시제로서는, 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)인 것이 바람직하다. 이 경우, 용제 A는 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator contained in the photoresist composition of the present invention is preferably a compound (2) represented by the following formula (2). In this case, the solvent A is preferably 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidone.

<화학식 (2)>&Lt; Formula (2) >

Figure 112012018562379-pat00022
Figure 112012018562379-pat00022

또한, 본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에 포함되는 옥심에스테르계 광중합 개시제로서는, 하기 화학식 (3)으로 표시되는 화합물 (3)인 것이 바람직하다. 이 경우, 용제 A는 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논인 것이 바람직하다.The oxime ester-based photopolymerization initiator contained in the photoresist composition of the present invention is preferably a compound (3) represented by the following formula (3). In this case, the solvent A is preferably 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidone.

<화학식 (3)>&Lt; Formula (3) >

Figure 112012018562379-pat00023
Figure 112012018562379-pat00023

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에 포함되는 용제 A는, 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해성으로부터 옥심에스테르계 광중합 개시제에 대하여 4배(중량) 이상인 것이 바람직하다. 용제 A의 사용량은 옥심에스테르계 광중합 개시제에 대하여 예를 들면 0.1 내지 100배(중량), 바람직하게는 1 내지 50배(중량),더욱 바람직하게는 1.5 내지 25배(중량)로 할 수 있다. 또한 옥심에스테르계 광중합 개시제 및 용제 A의 사용량은, 2종 이상을 병용하는 경우에는 각각에 대한 합계량이다.The solvent A contained in the composition for preparing a photoresist of the present invention is preferably 4 times (weight) or more based on the oxime ester-based photopolymerization initiator solubility to the oxime ester-based photopolymerization initiator. The amount of the solvent A to be used may be, for example, 0.1 to 100 times (weight), preferably 1 to 50 times (weight), more preferably 1.5 to 25 times (weight) relative to the oxime ester photopolymerization initiator. The amount of the oxime ester-based photopolymerization initiator and the amount of the solvent A to be used is the total amount for each of the two or more kinds.

본 발명의 포토레지스트 제조용 조성물에는, 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물 중에 상기와 같이 용제 B를 포함하고 있을 수도 있다. 용제 B와 병용함으로써, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 고농도로 함유하고 있을 뿐만 아니라, 포토레지스트 제조용 조성물의 도포성, 안료 분산성, 염료 용해성, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성, 건조성, 안전성 등을 보다 향상시킬 수 있다.The photoresist composition of the present invention may contain the solvent B as described above in the solvent for forming a photoresist or the solvent composition. It is possible to improve the applicability of the composition for preparing a photoresist, the pigment dispersibility, the dye solubility, the epoxy resin / acrylic resin solubility, the drying property, the safety and the like by incorporating the oxime ester photopolymerization initiator at a high concentration .

포토레지스트 제조용 조성물에 있어서, 예를 들면 도포성을 보다 향상시키기 위해 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜메틸에테르 또는 트리프로필렌글리콜 n-부틸에테르 등의 (모노, 디, 트리)알킬렌글리콜모노알킬에테르; 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르 또는 디프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜디알킬에테르; 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트 또는 디프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트; 에틸렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트 또는 디프로필렌글리콜디아세테이트 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜디아세테이트; 또는 메톡시프로피온산메틸, 에톡시프로피온산에틸 등의 알콕시카르복실산에스테르 등을 용제 B로서 병용하는 것이 효과적이다.In order to further improve the coating property, it is possible to use, for example, a composition for preparing a photoresist such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol n-propyl ether, ethylene glycol n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol n-propyl ether, diethylene glycol n-butyl ether, (Mono-, di-, tri-, and tri-substituted) glycols such as propylene glycol methyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripropylene glycol methyl ether or tripropylene glycol n- Alkylene glycol monoalkyl ethers; Ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, di Propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, propylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol methyl n-propyl ether, propylene glycol methyl n-butyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether, (Mono, di) alkylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol methyl n-butyl ether; Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monopropyl ether Acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol ethyl ether (Mono, di) alkylene glycol alkyl ether acetates such as acetone, dipropylene glycol propyl ether acetate or dipropylene glycol butyl ether acetate Agent; (Mono, di) alkylene glycol diacetates such as ethylene glycol diacetate, diethylene glycol diacetate, propylene glycol diacetate or dipropylene glycol diacetate; Or an alkoxycarboxylic acid ester such as methyl methoxypropionate or ethyl ethoxypropionate as the solvent B is effective.

또한, 안료 분산성을 보다 향상시키기 위해, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등의 모노 C3 - 6알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트; 또는 3-메톡시부탄올아세테이트 등의 C3 - 6알칸디올알킬에테르아세테이트 등을 용제 B로서 병용하는 것이 효과적이다.Further, in order to improve the pigment dispersion and propylene glycol monomethyl ether monomethyl acetate such as C 3 - 6 alkylene glycol alkyl ether acetate; It is effective to a combination of such 6 alkanediol alkyl ether acetate as a solvent B - or C 3, such as 3-methoxybutanol acetate.

또한, 염료 용해성을 보다 향상시키기 위해, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 모노 C3 - 6알킬렌글리콜모노알킬에테르; 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등의 모노 C3 - 6알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트; 3-메톡시부탄올 등의 C3 - 6알칸디올모노알킬에테르; 3-메톡시부탄올아세테이트 등의 C3 - 6알칸디올알킬에테르아세테이트; 락트산메틸 또는 락트산에틸 등의 히드록시카르복실산에스테르; 락트산메틸아세테이트 또는 락트산에틸아세테이트 등의 히드록시카르복실산디에스테르; n-프로필알코올, 이소프로필알코올, n-부틸알코올, sec-부틸알코올, tert-부틸알코올, n-펜틸알코올, n-헥실알코올 또는 2-헥실알코올 등의 C3 - 6알코올; 또는 1,3-부틸렌글리콜, 1,4-부탄디올, 1,6-헥산디올 등의 C3 - 6알칸디올 등을 용제 B로서 병용하는 것이 효과적이다.Further, in order to improve the dye solubility, propylene glycol monomethyl ether, mono-C 3 of the 6 alkylene glycol monoalkyl ether; Propylene glycol monomethyl ether monomethyl acetate such as C 3 - 6 alkylene glycol alkyl ether acetate; 3-methoxy butanol, etc. of C 3 - 6 alkane diol mono alkyl ether; C 3, such as 3-methoxybutanol acetate-6 alkanediol alkyl ether acetate; Hydroxycarboxylic acid esters such as methyl lactate or ethyl lactate; Hydroxycarboxylic acid diesters such as lactic acid methyl acetate or lactic acid ethyl acetate; n- propyl alcohol, isopropyl alcohol, n- butyl alcohol, sec- butyl alcohol, tert- butyl alcohol, n- pentyl C 3, such as alcohol, n- hexyl alcohol, or 2-ethylhexyl alcohol-6 alcohol; It is effective to a combination of such 6 alkane diols as solvent B - or 1,3-butylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, etc. of C 3.

또한, 에폭시 수지ㆍ아크릴 수지 용해성을 보다 향상시키기 위해, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜 n-부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜메틸에테르, 트리프로필렌글리콜 n-부틸에테르 등의 (모노, 디, 트리)알킬렌글리콜모노알킬에테르; 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜디알킬에테르; 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜프로필에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜부틸에테르아세테이트 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트; 에틸렌글리콜디아세테이트, 디에틸렌글리콜디아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트, 디프로필렌글리콜디아세테이트 등의 (모노, 디)알킬렌글리콜디아세테이트; 시클로펜타논, 시클로헥사논, 4-케토이소포론 등의 환상 케톤; β-부티로락톤, γ-부티로락톤, ε-카프로락톤, δ-발레로락톤, γ-발레로락톤, α-아세틸-γ-부티로락톤 등의 락톤류; 테트라히드로푸란, 테트라히드로푸르푸릴알코올, 테트라히드로푸르푸릴아세테이트 등의 환상 에테르; 디메틸포름아미드 등의 아미드류; 피리딘 또는 메틸피리딘 등의 피리딘류; 아세트산페닐 등의 방향족 아세테이트; 또는 디에틸아민 또는 트리에틸아민 등의 아민류 등을 용제 B로서 병용하는 것이 효과적이다.In order to further improve the solubility of the epoxy resin / acrylic resin, it is preferable to use ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol n-propyl ether, ethylene glycol n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol Diethyleneglycol n-butyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol methyl (Mono-, di-, tri-) alkylene glycols such as ethylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripropylene glycol methyl ether and tripropylene glycol n- Monoalkyl ethers; Ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, di Propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, propylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol methyl n-propyl ether, propylene glycol methyl n-butyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether, (Mono, di) alkylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol methyl n-butyl ether; Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monopropyl ether Acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol ethyl ether (Mono, di) alkylene glycol alkyl ether acetates such as dipropylene glycol propyl ether acetate, dipropylene glycol propyl ether acetate and dipropylene glycol butyl ether acetate; (Mono, di) alkylene glycol diacetates such as ethylene glycol diacetate, diethylene glycol diacetate, propylene glycol diacetate and dipropylene glycol diacetate; Cyclic ketones such as cyclopentanone, cyclohexanone, and 4-ketoisophosphorone; lactones such as? -butyrolactone,? -butyrolactone,? -caprolactone,? -valerolactone,? -valerolactone and? -acetyl-? -butyrolactone; Cyclic ethers such as tetrahydrofuran, tetrahydrofurfuryl alcohol and tetrahydrofurfuryl acetate; Amides such as dimethylformamide; Pyridine such as pyridine or methylpyridine; Aromatic acetates such as phenyl acetate; Or an amine such as diethylamine or triethylamine as solvent B is effective.

또한, 건조성을 보다 향상시키기 위해, 프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜메틸 n-부틸에테르 등의 (모노, 디)C3 - 6알킬렌글리콜C1 - 2알킬C3 - 4알킬에테르; 또는 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, n-프로필아세테이트, 이소프로필아세테이트, 부틸아세테이트, 시클로헥산올아세테이트 등의 (시클로)알킬아세테이트 등을 용제 B로서 병용하는 것이 효과적이다. 상기 예시한 용제 B는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.(Mono, di) C (meth) acrylates such as propylene glycol methyl n-propyl ether, propylene glycol methyl n-butyl ether, dipropylene glycol methyl n-propyl ether and dipropylene glycol methyl n-butyl ether 3-6 alkylene glycol C 1 - 2 alkyl, C 3 - 4 alkyl ethers; Or a (cyclo) alkyl acetate such as methyl acetate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, cyclohexanol acetate or the like as solvent B is effective. The solvent B exemplified above may be used alone, or two or more of them may be used in combination.

[실시예][Example]

이하, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

<단독계><Single>

실시예 1Example 1

옥심에스테르계 광중합 개시제로서 화합물 (1)(일본 특허 공표 제2006-516246호에 기재된 방법에 준한 방법으로 합성한 다이셀사의 연구실 제조품)을 사용하고, 20 ℃ 환경하에 용제로서 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(DMTHP)을 사용하여, 표 1에 기재된 개시제 농도(4 중량% 내지 15 중량%)가 되 도록 용액을 제조하고, 1분 정도 용기를 손으로 가볍게 흔들어 혼합한 후, 용해 여부를 육안으로 확인하였다.(1) (manufactured by Daicel's laboratory, which was synthesized by a method in accordance with the method described in Japanese Patent Application Laid-open No. 2006-516246) as an oxime ester photopolymerization initiator was used, and 1,3-dimethyl- A solution was prepared using 3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone (DMTHP) to give the initiator concentration described in Table 1 (4 wt% to 15 wt%), The container was shaken by hand with light shaking, and the dissolution was visually confirmed.

또한, 용해 상태는 육안으로 불용물을 확인할 수 없는 경우를 「○: 용해」로 하고, 불용물을 확인할 수 있는 경우를 「×: 불용해」로 하였다. 이하도 동일하다.In the dissolution state, the case where the insoluble matter can not be confirmed visually is indicated as &quot;?: Dissolution &quot;, and the case where the insoluble matter can be confirmed is defined as &quot; x: insoluble &quot;. The same goes for the following.

실시예 2 및 3, 비교예 1Examples 2 and 3, Comparative Example 1

용제를 표 1에 나타낸 용제로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성을 평가하였다.The solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the solvent was changed to the solvent shown in Table 1.

실시예 1 내지 3, 비교예 1의 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성 평가 결과를 표 1에 나타내었다.The results of solubility evaluation of the oxime ester photopolymerization initiators of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 are shown in Table 1.

Figure 112012018562379-pat00024
Figure 112012018562379-pat00024

DMTHP: 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMTHP: 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

DMI: 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMI: 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

TMU: 1,1,3,3-테트라메틸요소(와코 준야꾸 고교 제조)TMU: 1,1,3,3-tetramethyl urea (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

ANON: 시클로헥사논(간토 가가꾸 제조)ANON: Cyclohexanone (manufactured by Kanto Kagaku)

실시예 4Example 4

옥심에스테르계 광중합 개시제로서 화합물 (2)(BASF 제조)를 사용하고, 20 ℃ 환경하에 용제로서 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(DMTHP)을 사용하여, 표 2에 기재된 개시제 농도(20 중량% 내지 40 중량%)가 되도록 용액을 제조하고, 1분 정도 용기를 손으로 가볍게 흔들어 혼합한 후, 용해 여부를 육안으로 확인하였다.(1H) pyrimidinone (DMTHP) as a solvent under a condition of 20 占 폚 using a compound (2) (manufactured by BASF) as an oxime ester-based photopolymerization initiator. ), A solution was prepared so as to have the initiator concentration (20 wt% to 40 wt%) shown in Table 2, and the container was shaken by hand for about one minute and then dissolved or visually confirmed.

실시예 5 및 6, 비교예 2 및 3Examples 5 and 6, Comparative Examples 2 and 3

용제를 표 2에 나타낸 용제로 변경한 것 이외에는, 실시예 4와 동일하게 하여 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성을 평가하였다.The solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator was evaluated in the same manner as in Example 4 except that the solvent was changed to the solvent shown in Table 2. [

실시예 4 내지 6, 비교예 2 및 3의 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해성 평가 결과를 표 2에 나타내었다.The results of solubility evaluation of the oxime ester photopolymerization initiators of Examples 4 to 6 and Comparative Examples 2 and 3 are shown in Table 2.

Figure 112012018562379-pat00025
Figure 112012018562379-pat00025

DMTHP: 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMTHP: 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

DMI: 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMI: 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

TMU: 1,1,3,3-테트라메틸요소(와코 준야꾸 고교 제조)TMU: 1,1,3,3-tetramethyl urea (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

ANON: 시클로헥사논(간토 가가꾸 제조)ANON: Cyclohexanone (manufactured by Kanto Kagaku)

MMPGAC: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(다이셀사 제조)MMPGAC: Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

<혼합 용제계><Mixed solvent system>

실시예 7Example 7

옥심에스테르계 광중합 개시제로서 화합물 (1)을 사용하고, 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해성이 양호한 용제 A(Sol.A)로서 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논과, 일반적으로 전자 재료 용도에 사용되고 있으며 도포성, 안료 분산성이 양호하다고 알려져 있는 용제 B(Sol.B)로서 3-메톡시부탄올아세테이트를 80:20(중량비)의 비율로 혼합하였다. 그 후, 20 ℃ 환경하에 옥심에스테르계 광중합 개시제(화합물 (1))를 상기 혼합 용제로 표 3에 기재된 개시제 농도(4 중량% 내지 7 중량%)의 용액으로 조정하고, 1분 정도 용기를 손으로 가볍게 흔들어 혼합한 후 용해 여부를 육안으로 확인하였다.(1) was used as the oxime ester-based photopolymerization initiator and 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) was used as the solvent A (Sol.A) ) Pyrimidinone and 3-methoxybutanol acetate as a solvent B (Sol.B), which is generally used for electronic materials and is known to have good applicability and pigment dispersibility, is mixed at a ratio of 80:20 (weight ratio) . Thereafter, the oxime ester photopolymerization initiator (compound (1)) was adjusted to a solution of the initiator concentration (4 wt% to 7 wt%) described in Table 3 with the mixed solvent under the environment of 20 ° C, And the mixture was visually observed for dissolution.

실시예 8 내지 14, 비교예 4 내지 7Examples 8 to 14 and Comparative Examples 4 to 7

실시예 7과 마찬가지로, 이하의 표 3에 기재된 용제를 표 3에 기재된 중량비로 혼합하고, 20 ℃ 환경하에 옥심에스테르계 광중합 개시제(화합물 (1))를 표 3에 기재된 개시제 농도(4 중량% 내지 7 중량%)의 용액으로서 제조하여 용해의 여부를 육안으로 확인하였다.The oxime ester-based photopolymerization initiator (compound (1)) was added to the initiator concentration described in Table 3 (4% by weight to 4% by weight) in the same manner as in Example 7, 7% by weight) as a solution, and visually confirmed whether or not the solution was dissolved.

Figure 112012018562379-pat00026
Figure 112012018562379-pat00026

DMTHP: 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMTHP: 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

DMI: 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMI: 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

MBA: 3-메톡시부탄올아세테이트(다이셀사 제조)MBA: 3-methoxybutanol acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

MMPGAC: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(다이셀사 제조)MMPGAC: Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

1,3 BGDA: 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트(다이셀사 제조)1,3 BGDA: 1,3-butylene glycol diacetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

ANON: 시클로헥사논(간토 가가꾸 제조)ANON: Cyclohexanone (manufactured by Kanto Kagaku)

실시예 15Example 15

옥심에스테르계 광중합 개시제로서 화합물 (2)를 사용하고, 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해성이 양호한 용제 A(Sol.A)로서 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논과, 일반적으로 전자 재료 용도에 사용되고 있으며 도포성, 안료 분산성이 양호하다고 알려져 있는 용제 B(Sol.B)로서 3-메톡시부탄올아세테이트를 80:20(중량비)의 비율로 혼합하였다. 그 후, 20 ℃ 환경하에 옥심에스테르계 광중합 개시제(화합물 (2))를 상기 혼합 용제로 표 4에 기재된 개시제 농도(5 중량% 내지 30 중량%)의 용액으로 조정하고, 1분 정도 용기를 손으로 가볍게 흔들어 혼합한 후 용해 여부를 육안으로 확인하였다.(2) as the oxime ester-based photopolymerization initiator and 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) benzene as the solvent A (Sol.A) ) Pyrimidinone and 3-methoxybutanol acetate as a solvent B (Sol.B), which is generally used for electronic materials and is known to have good applicability and pigment dispersibility, is mixed at a ratio of 80:20 (weight ratio) . Thereafter, the oxime ester-based photopolymerization initiator (compound (2)) was adjusted to a solution of the initiator concentration (5 wt% to 30 wt%) described in Table 4 as the mixed solvent under the environment of 20 ° C, And the mixture was visually observed for dissolution.

실시예 16 내지 20, 비교예 8 및 9Examples 16 to 20, Comparative Examples 8 and 9

실시예 15와 마찬가지로, 이하의 표 4에 기재된 용제를 표 4에 기재된 중량비로 혼합하고, 20 ℃ 환경하에 옥심에스테르계 광중합 개시제(화합물 (2))를 표 4에 기재된 개시제 농도(5 중량% 내지 30 중량%)의 용액으로서 제조하여 용해 여부를 육안으로 확인하였다.The oxime ester photopolymerization initiator (compound (2)) was added to the initiator concentration (5 wt% to 5 wt%) shown in Table 4 under the environment of 20 DEG C, 30% by weight) as a solution, and the dissolution was visually confirmed.

Figure 112012018562379-pat00027
Figure 112012018562379-pat00027

DMTHP: 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논(와코 준야꾸 고교 제조)DMTHP: 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) pyrimidinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

MBA: 3-메톡시부탄올아세테이트(다이셀사 제조)MBA: 3-methoxybutanol acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

MMPGAC: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(다이셀사 제조)MMPGAC: Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)

ANON: 시클로헥사논(간토 가가꾸 제조)ANON: Cyclohexanone (manufactured by Kanto Kagaku)

표 1, 표 3으로부터 알 수 있는 바와 같이, 용제 A(Sol.A) 단독계(실시예 1 내지 3), 및 용제 A(Sol.A)와 용제 B(Sol.B)의 혼합 용제(실시예 7 내지 14)는 종래 사용되고 있는 시클로헥사논, 및 시클로헥사논을 포함하는 혼합 용제(비교예 1, 4 내지 7)보다 화합물 (1)의 용해성이 우수하였다. 또한, 표 2, 표 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 용제 A(Sol.A) 단독계(실시예 4 내지 6), 및 용제 A(Sol.A)와 용제 B(Sol.B)의 혼합 용제(실시예 15 내지 20)는 종래 사용되고 있는 시클로헥사논, 및 시클로헥사논을 포함하는 혼합 용제(비교예 2, 3, 8, 9)보다 화합물 (2)의 용해성이 우수하였다.As can be seen from Tables 1 and 3, a mixed solvent of Solvent A (Sol. A) alone (Examples 1 to 3) and Solvent A (Sol.A) and Solvent B (Sol.B) Examples 7 to 14) exhibited excellent solubility of the compound (1) in the conventionally used mixed solvents containing cyclohexanone and cyclohexanone (Comparative Examples 1 and 4 to 7). As can be seen from Tables 2 and 4, the solvent A (Sol. A) alone (Examples 4 to 6) and the mixed solvent of Solvent A (Sol.A) and Solvent B (Sol.B) (Examples 15 to 20) were superior in solubility of Compound (2) to conventionally used mixed solvents containing cyclohexanone and cyclohexanone (Comparative Examples 2, 3, 8 and 9).

본 발명의 포토레지스트 제조용 용제 또는 용제 조성물은, 옥심에스테르계 광중합 개시제를 고농도로 용해시키기 때문에 포토레지스트 제조를 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.The solvent or solvent composition for photoresist of the present invention dissolves the oxime ester photopolymerization initiator at a high concentration, so that the photoresist can be efficiently produced.

Claims (14)

하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1) 및 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)로부터 선택되는 적어도 1종의 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해용의 용제 또는 용제 조성물이며, 하기 화학식 (A)로 표시되는 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 갖는 용제 A를 포함하는 용제 또는 용제 조성물.
<화학식 (1)>
Figure 112018089044312-pat00040

<화학식 (2)>
Figure 112018089044312-pat00041

<화학식 (A)>
Figure 112018089044312-pat00028

(상기 화학식 중, R1 내지 R4는 동일하거나 상이하고, 각각 C1-2의 알킬기이고, R1과 R3, 또는 R2와 R4는, 서로 결합하여 각각 환을 형성하고 있을 수도 있음)
A solvent or a solvent composition for dissolving at least one oxime ester photopolymerization initiator selected from a compound (1) represented by the following formula (1) and a compound (2) represented by the following formula (2) And a compound represented by the following general formula (1): &quot; (1) &quot;
&Lt; Formula (1) >
Figure 112018089044312-pat00040

&Lt; Formula (2) >
Figure 112018089044312-pat00041

&Lt; Formula (A) &gt;
Figure 112018089044312-pat00028

(Wherein R 1 to R 4 are the same or different and each is a C 1-2 alkyl group, and R 1 and R 3 , or R 2 and R 4 may be bonded to each other to form a ring )
제1항에 있어서, 상기 용제 A와 상용(相容)하는 용제 B를 적어도 1 종류 더 포함하는 용제 또는 용제 조성물.The solvent or solvent composition according to claim 1, further comprising at least one solvent B compatible with the solvent A. 제2항에 있어서, 상기 용제 A를 30 중량% 이상 포함하는 용제 또는 용제 조성물.The solvent or solvent composition according to claim 2, wherein the solvent A comprises 30 wt% or more. 제2항에 있어서, 상기 용제 A를 50 중량% 이상 포함하는 용제 또는 용제 조성물.The solvent or solvent composition according to claim 2, wherein the solvent A comprises 50 wt% or more. 하기 화학식 (2)로 표시되는 옥심에스테르계 광중합 개시제 용해용의 용제 또는 용제 조성물이며, 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논을 적어도 포함하는 용제 또는 용제 조성물.
<화학식 (2)>
Figure 112018089044312-pat00034
A solvent or a solvent composition for dissolving an oxime ester photopolymerization initiator represented by the following formula (2), wherein the solvent or solvent composition comprises at least 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) Solvent or solvent composition.
&Lt; Formula (2) >
Figure 112018089044312-pat00034
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 20 ℃에서의, 하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1) 및 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)로부터 선택되는 적어도 1종의 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해도가 용제 또는 용제 조성물 100 중량부에 대하여 4 중량부 이상인, 용제 또는 용제 조성물.
<화학식 (1)>
Figure 112019016557413-pat00042

<화학식 (2)>
Figure 112019016557413-pat00043
The organic electroluminescent device according to any one of claims 1 to 4, wherein at least one member selected from the group consisting of a compound (1) represented by the following formula (1) and a compound (2) represented by the following formula (2) Wherein the solubility of the oxime ester photopolymerization initiator in the solvent or the solvent composition is 4 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the solvent or the solvent composition.
&Lt; Formula (1) >
Figure 112019016557413-pat00042

&Lt; Formula (2) >
Figure 112019016557413-pat00043
하기 화학식 (1)로 표시되는 화합물 (1) 및 하기 화학식 (2)로 표시되는 화합물 (2)로부터 선택되는 적어도 1종의 옥심에스테르계 광중합 개시제와, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 용제 또는 용제 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제조용 조성물.
<화학식 (1)>
Figure 112018089044312-pat00044

<화학식 (2)>
Figure 112018089044312-pat00045
At least one oxime ester photopolymerization initiator selected from a compound (1) represented by the following formula (1) and a compound (2) represented by the following formula (2) A composition for the production of a photoresist, which comprises a solvent or a solvent composition according to claim 1.
&Lt; Formula (1) >
Figure 112018089044312-pat00044

&Lt; Formula (2) >
Figure 112018089044312-pat00045
하기 화학식 (2)로 표시되는 옥심에스테르계 광중합 개시제와, 1,3-디메틸-3,4,5,6-테트라히드로-2(1H)피리미디논을 적어도 포함하는 용제 또는 용제 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 제조용 조성물.
<화학식 (2)>
Figure 112018089044312-pat00046
A photoresist composition comprising a solvent or a solvent composition comprising at least an oxime ester photopolymerization initiator represented by the following formula (2) and 1,3-dimethyl-3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) &Lt; / RTI >
&Lt; Formula (2) &gt;
Figure 112018089044312-pat00046
제5항에 있어서, 20 ℃에서의, 하기 화학식 (2)로 표시되는 옥심에스테르계 광중합 개시제의 용해도가 용제 또는 용제 조성물 100 중량부에 대하여 4 중량부 이상인, 용제 또는 용제 조성물.
<화학식 (2)>
Figure 112019016557413-pat00047

The solvent or solvent composition according to claim 5, wherein the solubility of the oxime ester-based photopolymerization initiator represented by the following formula (2) at 20 占 폚 is 4 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the solvent or the solvent composition.
&Lt; Formula (2) >
Figure 112019016557413-pat00047

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