KR101969545B1

KR101969545B1 - 가스 정화 장치

Info

Publication number: KR101969545B1
Application number: KR1020130067734A
Authority: KR
Inventors: 추연웅; 다카히로 이토; 도모히로 시라네
Original assignee: 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
Priority date: 2012-10-02
Filing date: 2013-06-13
Publication date: 2019-04-17
Also published as: CN103711674B; KR20140043858A; CN103711674A

Abstract

외부로부터 구획된 내부 공간을 가지는 밀폐 케이스(101)와, 가스 유입구(104)를 통하여 불활성(不活性) 가스를 외부로부터 내부 공간으로 도입하는 개방 방출부(105)와, 밀폐 케이스(101)의 내부 공간을 냉각시키는 냉각관(103)과, 밀폐 케이스(101)의 내부에 수납되고, 냉각관(103)에 의해 냉각된 불활성 가스를 송기(送氣)하는 소용돌이 블로워(vortex blower)(102)와, 소용돌이 블로워(102)로부터의 불활성 가스를 송기부(106)를 통하여 외부로 공급하는 가스 유출구(107)를 가지는 밀폐 송풍원(100)을 구비한다. 이 밀폐 송풍원(100)의 상류측에 프리필터(201)를 배치하고, 하류측에 열교환기(300) 및 HEPA 필터(202)를 순차적으로 배치함으로써, 이물질의 혼입 및 대기의 침입을 막으면서 불활성 가스의 정화, 냉각을 행한다.

Description

가스 정화 장치{GAS PURIFYING FACILITY}

본 발명은, 예를 들면, 유기(有機) EL(전계 발광) 디스플레이 등의 제조 공정에 사용하기에 바람직한 가스 정화 장치에 관한 것이다.

유기 EL 소자는, 2개의 전극 간에 있는 유기 재료를 전압에 의해 유기(誘起)하고, 다시 원래로 돌아올 때 광을 방출하는 현상을 이용한 자연 발광형 소자이다. 그리고, RGB 각 발광층의 유기 EL 소자를 매트릭스형으로 복수 배치하여 유기 EL 디스플레이를 구성한다.

이 유기 EL 디스플레이에는, 저소비 전력으로 발열이 적고, 박형이면서 경량이라는 특성이 있다. 또한, 유기 EL 디스플레이의 화질은, 양호한 색재현성, 고콘트라스트, 동영상 응답성과 피크 정밀도의 높이, 시야각 의존성이 없는 등의 우수한 특성을 가진다.

유기 EL 디스플레이의 유기 재료는, 물이나 산소에 접촉되면 열화되기 쉬운 특성이 있다. 그래서, 유기 EL 디스플레이의 제조에 있어서는, 진공 하, 또는 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성(不活性) 가스 분위기 하에서, RGB 각 발광층 등의 금속 전극 재료를 진공 증착에 의해 기판에 성막하고, 또한 대기에 접하지 않는 상태에서 유리의 접착이나 봉지(封止)를 행하고 있다.

그런데, 유기 EL 디스플레이를 불활성 가스 분위기 하에서 제조하는 경우, 장척(長尺)의 제조 라인 전체를 커버에 의해 덮고, 이 커버의 내부에 불활성 가스를 충전하는 경우가 있다. 그러나, 제조 도중에 발생하는 먼지나 미소한 칩(이하, 단지 이물질이라고 함)에 의해 불활성 가스가 오염되는 경우가 있고, 통상은 가스 정화 장치에 의해 상기 커버 내의 불활성 가스를 클리닝하여, 이물질을 제거하도록 하고 있다.

여기서, 유기 EL 디스플레이의 제조에 관한 종래 기술로서, 예를 들면, 특허 문헌 1, 특허 문헌 2에 기재된 장치가 알려져 있다.

특허 문헌 1, 특허 문헌 2에 기재된 장치에서는, 모두 밀폐된 용기에 전동 송풍기를 수납하고 있다. 그리고, 특허 문헌 1에서는, 냉각판에 가스를 접촉시켜 열교환을 행하고, 이 냉각판에 접하는 수냉 파이프에 의해 열배출을 행하는 구조를 채용하고 있다. 또한, 특허 문헌 2에서는, 전동 송풍기가 만드는 바람에 의해 송풍기의 모터를 냉각함으로써, 자체 냉각을 행하고 있다.

일본공개특허 제2007-198364호 공보(도 1~도 3 등) 일본공개특허 제2008-128224호 공보(도 1~도 4 등)

특허 문헌 1의 도 1, 도 2에 기재된 장치에서는 소형의 냉각 기구(機構)로 열교환하므로 불활성 가스와의 접촉 면적이 적어, 냉각 효과가 약하다는 문제가 있었다.

또한, 특허 문헌 2의 도 1, 도 2, 도 4에 기재된 장치에서는, 냉각팬이 불활성 가스를 송풍하여 모터를 냉각하고 있으므로, 냉각팬 기구(機構)로부터 발생하는 이물질이 불활성 가스에 혼입될 우려가 있었다. 또한 냉각 팬 기구를 기밀 구조로 하지 않으므로 이물질에 더하여 주위로부터 대기가 혼입될 우려가 있고, 대기가 혼입되면 유기 재료가 물이나 산소에 접촉되어 열화되고, 발광할 수 없는 다크 스폿이라는 불량 부위가 발생하여 제품의 수율이 악화되는 등의 문제가 있었다.

그래서, 본 발명의 해결 과제는, 이물질의 혼입이나 대기의 침입을 방지하면서 가스를 정화하는 동시에, 블로워(blower) 내의 모터를 효율적으로 냉각 가능하게 한 가스 정화 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 청구항 1에 관한 가스 정화 장치는,

외부로부터 구획된 내부 공간을 가지는 밀폐 케이스와, 필터에 의해 정화된 가스를 상기 내부 공간에 도입하는 가스 도입부와, 상기 밀폐 케이스에 수납되고 상기 내부 공간으로부터 흡기한 상기 가스를 송기(送氣)하는 블로워와, 상기 블로워의 주위를 덮도록 배치되어 상기 내부 공간을 냉각시키는 냉각 수단과, 상기 블로워가 송기하는 상기 가스를 외부로 도출(導出)하는 가스 도출부를 가지는 밀폐 송풍원을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 1에 기재된 가스 정화 장치에 있어서, 상기 밀폐 송풍원은,

상기 가스 도입부가, 외부로부터 공급된 가스가 유입되는 가스 유입구와, 이 가스 유입구와 상기 블로워와의 사이에 배치되어 상기 내부 공간으로 가스를 방출하는 통공을 가지는 개방 방출부를 구비하고, 또한 상기 가스 도출부가, 상기 블로워에 의해 송기(送氣)되는 가스가 통과하는 송기부와, 이 송기부를 통과한 가스를 외부로 배출하기 위한 가스 유출구를 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 1에 기재된 가스 정화 장치에 있어서, 상기 밀폐 송풍원은,

상기 가스 도입부가, 외부로부터 공급된 가스가 유입되는 가스 유입구와, 이 가스 유입구와 상기 블로워와의 사이에 배치되어 상기 내부 공간으로 가스를 방출하는 파이프를 구비하고, 또한 상기 가스 도출부가, 상기 블로워에 의해 송기되는 가스가 통과하는 송기부와, 이 송기부를 통과한 가스를 외부로 배출하기 위한 가스 유출구를 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 2 또는 청구항 3에 기재된 가스 정화 장치에 있어서,

상기 밀폐 송풍원은,

상기 가스 도입부의 가스 유입구와, 상기 가스 도출부의 가스 유출구와의 주위를 냉각시키는 제2 냉각 수단을 더 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 관한 가스 정화 장치는, 외부로부터 공급된 가스가 통과하는 프리필터와, 이 프리필터를 통과한 가스 공급되는 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 밀폐 송풍원과, 이 밀폐 송풍원으로부터 배출되는 가스를 냉각시키는 열교환기와, 이 열교환기에 의해 냉각된 가스가 통과하는 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 5에 기재된 가스 정화 장치에 있어서,

상기 프리필터, 상기 밀폐 송풍원, 상기 열교환기 및 상기 HEPA 필터를, 단일의 케이싱에 수납한 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 관한 가스 정화 장치는, 외부로부터 공급된 가스가 통과하는 프리필터와, 이 프리필터를 통과한 가스가 공급되는 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 밀폐 송풍원과, 이 밀폐 송풍원으로부터 배출되는 가스가 통과하는 HEPA 필터를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 7에 기재된 가스 정화 장치에 있어서,

상기 프리필터, 상기 밀폐 송풍원 및 상기 HEPA 필터를, 단일의 케이싱에 수납한 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 관한 가스 정화 장치는, 청구항 7에 기재된 가스 정화 장치에 있어서,

상기 프리필터 및 상기 HEPA 필터가 수납된 필터 유닛과 상기 밀폐 송풍원을, 가스 유로를 통하여 연결·분리 가능하게 형성한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 회수한 가스에 이물질이 혼입되거나 대기가 침입하는 경우도 없고, 가스를 냉각하면서 정화하여 다시 외부로 공급하는 가스 정화 장치를 제공할 수 있다. 또한, 밀폐 케이스의 내부 공간으로 냉각된 가스를 사용하여 블로워 내의 모터를 냉각시키도록 가스 유로를 구성함으로써, 블로워 내의 모터를 효율적으로 냉각할 수 있다.

도 1은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 내부를 측면에서 본 내부 구성도이다.
도 2는 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 내부를 정면에서 본 내부 구성도이다.
도 3은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 내부를 배면에서 본 내부 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.
도 8은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다
도 9는 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다
도 10은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.

도 1은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원(100)의 내부를 측면에서 본 구성도, 도 2는 동일하게 정면에서 본 구성도, 도 3은 동일하게 배면에서 본 구성도이다. 도 1 ~ 도 3에 있어서, 밀폐 송풍원(100)은, 커버(101a) 및 바닥이 있는 통형의 수용체(101b)를 가지는 밀폐 케이스(101)와, 이 밀폐 케이스(101) 내에 수납된 소용돌이 블로워(vortex blower)(102)와, 밀폐 케이스(101)의 내주면에 있어서 나선형으로 배치된 냉각관(103)을 구비하고 있다.

또한, "104"는 제조 라인으로부터의 불활성 가스[예를 들면, 질소(N₂)가스]가 공급되는 가스 유입구이며, 이 가스 유입구(104)로부터 유입된 불활성 가스는, 개방 방출부(105)를 통하여 내부 공간에 공급되도록 되어 있다. 이들 가스 유입구(104) 및 개방 방출부(105)는 가스 도입부의 구체예이다. 그리고, 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 개방 방출부(105)에는 다수의 통공(105a)이 형성되어 있다. 이 개방 방출부(105)의 통공(105a)으로부터 불활성 가스가 방출된다. 이 불활성 가스는 나선형의 냉각관(103)에 접촉하여 냉각된 후, 도 3에 나타낸 바와 같이, 소용돌이 블로워(102)의 흡기구(102a)를 통하여 소용돌이 블로워(102)의 내부에 유입되고, 호스나 파이프 등의 송기부(106)를 통하여 가스 유출구(107)에 도달하도록 구성되어 있다. 이들 송기부(106) 및 가스 유출구(107)는 가스 도출부의 구체예이다.

냉각관(103)의 양 단부는, 냉각수 공급구(103a) 및 냉각수 배출구(103b)에 접속되고, 도시하지 않은 외부의 냉각 펌프로부터 보내지는 냉각수가 냉각관(103)을 통과하는 것에 의해, 밀폐 케이스(101)의 내부 공간에 충만되어 있는 가스가 냉각된다. 이 냉각관(103)은 나선형으로 구성되어 있고, 불활성 가스와의 접촉 면적이 대폭 증대되어 있다. 그리고, 이 밀폐 송풍원(100)에서의 불활성 가스의 냉각을 1차 냉각이라고 한다.

밀폐 케이스(101)의 바닥면에는, 캐스터 및 스토퍼가 장착되어 있고, 밀폐 송풍원(100)의 이동 및 고정을 용이하게 하고 있다.

또한, 소용돌이 블로워(102)의 내부에 설치된 모터를 구동시키기 위한 인버터 등의 제어 유닛은, 밀폐 케이스(101) 내에 수납해도 되고, 밀폐 케이스(101)의 외부에 배치해도 된다.

다음에, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.

도 4에 있어서, 제조 프로세스로부터 회수된 불활성 가스는, 유로(501)를 통하여 필터 유닛(200) 내의 프리필터(201)를 지나고, 유로(502)로부터 상기 밀폐 송풍원(100)의 가스 유입구(104)에 유입된다.

제조 프로세스로서는, 예를 들면, 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 있어서, 기판의 표면을 불활성 가스에 의해 제진(除塵)하는 제진 장치가 고려되고, 제진 후의 불활성 가스를 회수하여 냉각하면서 정화하고, 냉각·정화 후의 가스를 제진 장치에 다시 공급한다. 상기 프리필터(201)는, 정화 전의 가스로부터 대부분의 이물질을 제거하여 1차 정화를 행하기 위해 설치되어 있다.

밀폐 송풍원(100)에서의 동작은 전술한 바와 같으며, 1차 정화된 불활성 가스는 가스 유입구(104)로부터 개방 방출부(105)의 통공(105a)을 통하여 밀폐 케이스(101) 내의 내부 공간으로 방출된다. 이 내부 공간으로 방출된 불활성 가스는 냉각관(103)에 의해 1차 냉각되고, 소용돌이 블로워(102)의 흡기구(102a)를 거쳐 소용돌이 블로워(102)의 내부에 유입되고, 송기부(106)를 통하여 가스 유출구(107)로부터 외부로 배출된다. 가스 유출구(107)로부터 배출된 불활성 가스는, 도 4의 유로(503)를 통하여 열교환기(300)에 공급된다.

상기한 바와 같이, 1차 냉각된 불활성 가스를 소용돌이 블로워(102)의 내부에 유입시켜 송기부(106)로부터 배출함으로써, 소용돌이 블로워(102) 내부의 모터를 효율적으로 냉각할 수 있다.

열교환기(300)는, 밀폐 송풍원(100)으로부터 보내진 불활성 가스를 적절히, 온도 조절하면서 2차 냉각시키기 위한 것이며, 2차 냉각 후의 가스의 온도가 제조 프로세스에 적절한 온도로 되도록, 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 냉각수 온도나 수량(水量) 등이 제어된다.

그리고, 제조 프로세스로부터 회수되는 가스의 온도는, 예를 들면 60~80[℃]에 도달하는 경우도 많고, 이 고온 가스를 정화하여 다시 제조 프로세스에 되돌리면 기판이나 전극 재료의 열화 등, 각종 문제가 생긴다. 그러므로, 열교환기(300)에 의해 가스를 예를 들면 23[℃] 정도의 상온까지 냉각시키고, 냉각 후의 가스를 제조 프로세스에 공급함으로써, 제품의 열화나 불량의 발생을 방지하고, 수율을 향상시킬 수 있다.

도 4에 있어서, 열교환기(300)를 통과한 2차 냉각 후의 가스는, 유로(504)를 통하여 필터 유닛(200) 내의 HEPA 필터(202)에 의해 2차 정화되어 유로(505)를 통하여 제조 프로세스에 공급된다. HEPA 필터(202)는, 2차 냉각 후의 가스(1차 정화 가스)보다 높은 입자 포집율(예를 들면, 정격 풍량으로 입경이 O.3[㎛]의 입자에 대하여 99.97[%] 이상: JIS Z 8122)에 의해 미소한 이물질을 제거하는 것이다.

여기서, 유로(501~505)는, 파이프 또는 호스에 의해 구성되어 있다.

상기한 바와 같이, 제1 실시예의 가스 정화 장치에 있어서는, 프리필터(201)에 의해 1차 정화한 불활성 가스를 밀폐 송풍원(100)의 밀폐 케이스(101) 내에 충만시켜 1차 냉각시키고,

그 후에 1차 냉각 가스를 열교환기(300)에 의해 2차 냉각하여 온도 조절을 행하는 동시에, HEPA 필터(202)에 의해 고효율의 2차 정화를 행하고 나서 제조 프로세스에 공급하고 있다.

따라서, 밀폐 케이스(101) 내의 불활성 가스에 대하여, 또한 외부로부터 이물질이 혼입될 우려가 없고, 만일 소용돌이 블로워(102)의 모터 등으로부터 약간의 이물질이 발생해도, 그 이물질은 후단의 HEPA 필터(202)에 의해 확실하게 제거되므로, 고순도의 정화 가스가 제조 프로세스에 공급되게 된다.

부가하여, 밀폐 송풍원(100)에 의한 불활성 가스의 1차 냉각, 열교환기(300)에 의한 온도 조절을 수반한 2차 냉각을 행함으로써, 제조 프로세스로부터 회수된 불활성 가스가 고온인 경우라도, 이것을 소정 온도로 냉각하여 다시 제조 프로세스에 공급할 수 있어, 적절한 온도 조건 하에서 기판의 제진 등을 행할 수 있다.

다음에, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.

도 4에 나타낸 제1 실시예에서는, 프리필터(201) 및 HEPA 필터(202)를 단일의 케이싱에 수납하여 필터 유닛(200)을 형성하는 것을 예정하고 있지만, 도 5에 나타낸 바와 같이, 밀폐 송풍원(100), 열교환기(300), 프리필터(201) 및 HEPA 필터(202)를, 단일의 케이싱(401)에 수납해도 된다. 이 경우, 각 기기의 배치를 연구하고, 유로(502~504)의 길이를 최단으로 설정함으로써, 전체적으로 소형의 가스 정화 장치를 실현할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.

이 제3 실시예는, 도 5의 제2 실시예로부터 열교환기(300)를 제거한 것에 상당하고, 밀폐 송풍원(100), 프리필터(201) 및 HEPA 필터(202)가 단일의 케이싱(402)에 수납되어 있다.

제조 프로세스로부터 회수되는 가스가 그만큼 고온으로 되지 않는 경우나, 밀폐 송풍원(100)에서의 1차 냉각 시에 온도 조절이 가능한 경우 등에는, 도 6과 같이 열교환기(300)를 제거함으로써, 제1 실시예, 제2 실시예보다 구성이 간단하며 한층 소형의 가스 정화 장치를 실현할 수 있다.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 관한 가스 정화 장치의 구성도이다.

이 제4 실시예는, 필터 유닛(200)과 밀폐 송풍원(100)을 분리하고, 밀폐 송풍원(100)의 유로(502, 503)의 단부에 장착한 조인트(512, 513)에 의해 필터 유닛(200) 내의 프리필터(201) 및 HEPA 필터(202)에 연결하도록 구성되어 있다. 그리고, 이 제4 실시예에서도, 열교환기(300)는 사용되고 있지 않다.

도 6의 제3 실시예에서는, 가스 정화 장치의 전체를 케이싱(401)에 수납하고 있지만, 설치 스페이스에 여유가 없고 케이싱(401)을 설치할 수 없는 경우도 있다. 그와 같은 경우에는, 제4 실시예에 나타낸 바와 같이 필터 유닛(200)과 밀폐 송풍원(100)을 분리하고, 유로(502, 503)를, 예를 들면, 가요성(可撓性)이 있는 호스 등으로 형성하면, 필터 유닛(200)과 밀폐 송풍원(100)을 임의의 위치 관계로 설치할 수 있으므로, 좁은 스페이스를 유효적으로 이용할 수 있다. 동시에, 필터 유닛(200)과 밀폐 송풍원(100)이 분리되어 있으면, 각 부의 보수 점검 작업도 용이해져, 유지보수성이 우수한 가스 정화 장치를 제공할 수 있다.

그리고, 도 5의 제2 실시예, 도 6의 제3 실시예에 있어서의 케이싱(401, 402) 내의 각 부의 상대적인 위치 관계는 특별히 한정되지 않고, 각 부를 평면적으로 배치하거나, 또는 수직 방향으로 적층하여 배치하는 등, 가스 정화 장치의 설치 스페이스를 고려하면서 임의로 설계하면 된다.

다음에, 도 8은 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다. 이 밀폐 송풍원(100A)에서는, 개방 방출부(105) 대신에 통상의 파이프(108)를 배치한 것이다. 이 파이프(108)는 통공이 없는 관이며, 하측의 1개의 개구만으로부터 불활성 가스가 분사된다. 이들이 가스 유입구(104) 및 파이프(108)는 가스 도입부의 구체예이다.

즉, 외부의 유로(502)(도 4 ~ 도 7을 참조)로부터 공급되는 불활성 가스는 가스 유입구(104)로부터 파이프(108)를 거쳐 밀폐 케이스(101)의 내부 공간으로 방출된다. 이 불활성 가스는 냉각관(103)에 접촉하여 냉각된 후, 소용돌이 블로워(102)의 흡기구(102a)로부터 소용돌이 블로워(102)의 내부 및 송기부(106)를 거쳐 가스 유출구(107)로부터 외부의 유로(503)(도 4 ~ 도 7을 참조)로 배출된다. 이와 같은 밀폐 송풍원으로 해도 된다.

그리고, 도 8의 밀폐 송풍원(100A)은, 도 4 ~ 도 7에 나타낸 가스 정화 장치의 모두에 적용할 수 있다.

다음에, 도 9는 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다. 이 밀폐 송풍원(100B)에서는, 가스 유입구(104) 및 가스 유출구(107)의 주위를 냉각수가 통과하도록 하여 불활성 가스를 다시 냉각시키는 구성을 채용한다. 밀폐 케이스(101)는, 커버(101a), 수용체(101b)에 더하여, 또한 냉각수 공급구(101c), 냉각수 배출구(101d)를 구비한다. 커버(101a)에는 냉각수 공급구(101c) 및 냉각수 배출구(101d)를 통과하는 유로가 형성되어 있고, 냉각수 공급구(101c)로부터의 냉각수는 이 유로를 통과하여 냉각수 배출구(101d)로부터 유출된다. 이들은 제2 냉각 수단으로서 기능한다.

이와 같은 밀폐 송풍원(100B)에서는, 커버(101a)의 가스 유입구(104)에서 냉각된 불활성 가스를 밀폐 케이스(101)의 내부 공간 내로 방출하여 소용돌이 블로워(102)에 공급한다. 이로써, 소용돌이 블로워(102)의 내부 온도를 더 내리는 효과를 얻을 수 있다. 소용돌이 블로워(102)의 내부 온도를 내림으로써 블로워 내의 베어링 수명 연장 등 각종 장점이 있다. 그리고, 커버(101a)의 가스 유출구(107) 부근에서 다시 불활성 가스를 냉각한 후 송기한다. 이로써, 불활성 가스의 추가적인 냉각 효과도 전망할 수 있다.

다음에, 도 10는, 본 발명의 가스 정화 장치에 사용되는 밀폐 송풍원의 다른 예를 나타낸 구성도이다. 이 밀폐 송풍원(100C)에서는, 불활성 가스의 유로가 도 1의 예와 반대로 되어 있다.

즉, 외부의 유로(502)(도 4 ~ 도 7을 참조)로부터 공급되는 불활성 가스는 가스 유입구(104A)로부터 송기부(106)를 거쳐 소용돌이 블로워(102)의 내부에 공급되고, 소용돌이 블로워(102)의 배기구(102b)로부터 밀폐 케이스(101)의 내부 공간으로 방출된 불활성 가스는 냉각관(103)에 접촉하여 냉각된 후, 개방 수집부(105A)의 통공(105B)을 통하여 가스 유출구(107A)로부터 외부의 유로(503)(도 4 ~ 도 7을 참조)로 배출된다.

이 밀폐 송풍원(100C)은, 소용돌이 블로워(102) 내의 모터의 냉각 기능은 도 1의 밀폐 송풍원(100)보다 약간 뒤지지만, 회수한 가스를 밀폐 공간 내에서 냉각하여 다시 외부로 공급하는 점에서는 도 1의 밀폐 송풍원(100)과 동등한 기능을 가지는 것이다.

그리고, 도 10의 밀폐 송풍원(100C)은, 도 4 ~ 도 7에 나타낸 가스 정화 장치의 모두에 적용할 수 있다.

[산업 상의 이용 가능성]

본 발명의 가스 정화 장치는, 유기 EL 디스플레이 등의 제조 공정에서의 불활성 가스의 정화에 한정되지 않고, 각종 제조 설비, 공조 설비, 측정·시험 설비 등에 있어서의 가스의 정화에 이용할 수 있다.

100, 100A, 100B, 100C: 밀폐 송풍원
101: 밀폐 케이스
102: 소용돌이 블로워
102a: 흡기구
102b: 배기구
103: 냉각관
103a: 냉각수 공급구
103b: 냉각수 배출구
104, 104A: 가스 유입구
105: 개방 방출부
105a: 통공
105A: 개방 수집부
105B: 통공
106: 송기부
107, 107A: 가스 유출구
200: 필터 유닛
201: 프리필터
202: HEPA 필터
300: 열교환기
401, 402: 케이싱
501~505: 유로
512, 513: 조인트

Claims

외부로부터 구획된 내부 공간을 가지는 밀폐 케이스;
필터에 의해 정화된 가스를 상기 내부 공간에 도입하는 가스 도입부;
상기 밀폐 케이스에 수납되고 상기 내부 공간으로부터 흡기한 가스를 송기(送氣)하는 블로워(blower);
상기 블로워의 주위를 덮도록 배치되고 또한 상기 가스 도입부로부터 상기 내부 공간에 도입된 가스를 냉각시키는 냉각 수단; 및
상기 블로워가 송기하는 가스를 외부로 도출(導出)하는 가스 도출부;
를 포함하는 밀폐 송풍원을 구비한 가스 정화 장치로서,
상기 밀폐 송풍원은,
상기 가스 도입부가, 외부로부터 공급된 가스가 유입되는 가스 유입구와, 상기 가스 유입구와 상기 블로워 사이에 배치되어 상기 내부 공간으로 가스를 방출하는 통공을 가지는 개방 방출부를 구비하고,
상기 가스 도출부가, 상기 블로워에 의해 송기되는 가스가 통과하는 송기부와, 상기 송기부를 통과한 가스를 외부로 배출하기 위한 가스 유출구를 가지는,
가스 정화 장치.
외부로부터 구획된 내부 공간을 가지는 밀폐 케이스;
필터에 의해 정화된 가스를 상기 내부 공간에 도입하는 가스 도입부;
상기 밀폐 케이스에 수납되고 상기 내부 공간으로부터 흡기한 가스를 송기(送氣)하는 블로워(blower);
상기 블로워의 주위를 덮도록 배치되고 또한 상기 가스 도입부로부터 상기 내부 공간에 도입된 가스를 냉각시키는 냉각 수단; 및
상기 블로워가 송기하는 가스를 외부로 도출(導出)하는 가스 도출부;
를 포함하는 밀폐 송풍원을 구비한 가스 정화 장치로서,
상기 밀폐 송풍원은,
상기 가스 도입부가, 외부로부터 공급된 가스가 유입되는 가스 유입구와, 상기 가스 유입구와 상기 블로워 사이에 배치되어 상기 내부 공간으로 가스를 방출하는 파이프를 구비하고,
상기 가스 도출부가, 상기 블로워에 의해 송기되는 가스가 통과하는 송기부와, 상기 송기부를 통과한 가스를 외부로 배출하기 위한 가스 유출구를 가지는,
가스 정화 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 밀폐 송풍원은,
상기 가스 도입부의 가스 유입구와, 상기 가스 도출부의 가스 유출구와의 주위를 냉각시키는 제2 냉각 수단을 더 포함하는, 가스 정화 장치.
외부로부터 공급된 가스가 통과하는 프리필터;
상기 프리필터를 통과한 가스가 공급되는 제1항 또는 제2항에 기재된 밀폐 송풍원;
상기 밀폐 송풍원으로부터 배출되는 가스를 냉각시키는 열교환기; 및
상기 열교환기에 의해 냉각된 가스가 통과하는 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터;
를 포함하는 가스 정화 장치.
제4항에 있어서,
상기 프리필터, 상기 밀폐 송풍원, 상기 열교환기 및 상기 HEPA 필터를, 단일의 케이싱에 수납한, 가스 정화 장치.
외부로부터 공급된 가스가 통과하는 프리필터;
상기 프리필터를 통과한 가스가 공급되는 제1항 또는 제2항에 기재된 밀폐 송풍원; 및
상기 밀폐 송풍원으로부터 배출되는 가스가 통과하는 HEPA 필터;
를 포함하는 가스 정화 장치.
제6항에 있어서,
상기 프리필터, 상기 밀폐 송풍원 및 상기 HEPA 필터를, 단일의 케이싱에 수납한, 가스 정화 장치.
제6항에 있어서,
상기 프리필터 및 상기 HEPA 필터가 수납된 필터 유닛과 상기 밀폐 송풍원을, 가스 유로를 통하여 연결 또는 분리 가능하게 형성한, 가스 정화 장치.
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