KR101968931B1 - Rotation jig having coupling for docking - Google Patents

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KR101968931B1
KR101968931B1 KR1020190011138A KR20190011138A KR101968931B1 KR 101968931 B1 KR101968931 B1 KR 101968931B1 KR 1020190011138 A KR1020190011138 A KR 1020190011138A KR 20190011138 A KR20190011138 A KR 20190011138A KR 101968931 B1 KR101968931 B1 KR 101968931B1
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김중민
김선호
조창구
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김중민
김선호
조창구
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Abstract

The present invention relates to a rotation jig having a coupling for docking, which reverses an upper cover of a vacuum chamber. The rotation jig includes: a jig main body in which the upper cover is provided; a lifting device provided on one side of the jig main body and lifting the upper cover in a state of supporting the same; a rotating device provided on one side of the lifting device and reversing the upper cover supported on the lifting device; and a connecting means connecting the upper cover and the rotating device. According to the present invention, the rotation jig can easily connect the upper cover to the rotating device through the above-mentioned connecting means, thereby reducing a time for operation preparation for maintaining the upper cover and improving convenience of an operator.

Description

도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그{ROTATION JIG HAVING COUPLING FOR DOCKING}ROTATION JIG HAVING COUPLING FOR DOCKING}

본 발명은 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 진공챔버로부터 분리된 상부커버의 유지보수를 위하여, 상부커버를 반전시킨 상태 그대로 고정할 수 있는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a rotation jig provided with a coupling for docking, and more specifically, for maintenance of the upper cover separated from the vacuum chamber, the coupling for docking which can be fixed as it is in an inverted top cover is provided. It's about the rotation jig.

일반적으로 반도체 제조공정에서 진공챔버 내부에 플라즈마 분위기를 형성하고, 진공챔버 내에 수용되는 회로기판을 플라즈마 처리하는 플라즈마 에칭(etching, 식각)장치 등의 처리장치가 사용되고 있다. 또한, 반도체 제조공정에 이용되는 회로기판 이외에 각종 다른 기판을 플라즈마 에칭하기 위해 플라즈마 처리장치가 이용된다. 이러한 플라즈마 처리장치는 진공챔버 내에 구비된 플라즈마 생성수단에 의해 생성된 반응성가스의 플라즈마를 이용하여 회로기판에 에칭하는 것이다. 이처럼, 회로기판을 에칭하는 과정에서 진공챔버의 커버 내측에 설치되는 각종 장치들에 결함 또는 파손 등이 발생할 수 있는데, 이의 유지보수를 위해 커버를 회전시켜 작업을 편리하게 수행할 수 있도록 하는 지그 장치가 사용되고 있다.BACKGROUND ART In general, a processing apparatus such as a plasma etching apparatus for forming a plasma atmosphere inside a vacuum chamber in a semiconductor manufacturing process and plasma processing a circuit board accommodated in the vacuum chamber is used. In addition, a plasma processing apparatus is used to plasma etch various other substrates in addition to circuit boards used in semiconductor manufacturing processes. Such a plasma processing apparatus is to etch a circuit board by using a plasma of a reactive gas generated by a plasma generating means provided in a vacuum chamber. As such, in the process of etching the circuit board, various devices installed inside the cover of the vacuum chamber may have defects or damages, and the jig device may be conveniently operated by rotating the cover for maintenance thereof. Is being used.

이러한, 지그 장치와 관련된 종래의 선행기술로 등록특허공보 제10-1234456호(2011.05.23.) "덮개 유지 지그"가 개시되어 있다. 선행기술에 다른 지그 장치는 덮개의 둘레 가장자리부를 유지하기 위한 유지부, 유지부를 회전가능하게 지지하는 기체 및 유지부에 덮개를 고정하는 고정 부재로 구성되고, 유지부에 덮개를 고정시킨 상태에서, 기체를 통해 덮개를 반전시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.Patent Document No. 10-1234456 (2011.05.23.) Discloses a "lid retaining jig" as a prior art related to a jig device. The jig device according to the prior art is composed of a holding part for holding a circumferential edge portion of the cover, a base for rotatably supporting the holding part, and a fixing member for fixing the cover to the holding part, with the lid fixed to the holding part, The cover may be reversed through the gas.

그러나, 종래의 지그 장치는 유지부에 지지된 덮개를 고정하기 위한 다수의 고정 부재가 필수적으로 구비되는데, 이의 체결과정이 매우 복잡하고, 다수의 고정 부재에 의한 체결과정에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.However, the conventional jig device is essentially provided with a plurality of fixing members for fixing the cover supported on the holding portion, the fastening process thereof is very complicated, a problem that takes a long time for the fastening process by a plurality of fixing members. There was this.

특히, 종래의 지그 장치는 고정 부재를 통해 유지부에 덮개를 고정시키는 체결과정에서, 고정 부재의 일부분에 충격이 가해지거나 마모현상 등이 발생하게 된다. 이러한, 고정 부재의 유지보수를 위하여 충격이나 마모현상이 발생된 일부분만을 별도로 교체하는 것이 바람직하나, 이의 일부분만을 별도로 분리할 수 없어 고정 부재를 전체적으로 교체해야하는 번거로움이 있고, 이로 인한 교체시간 및 설치비용이 크게 소요되는 문제점이 있었다.In particular, in the conventional jig device, a shock is applied to a part of the fixing member or abrasion phenomenon occurs during the fastening process of fixing the cover to the holding part through the fixing member. In order to maintain the fixing member, it is preferable to replace only a part in which an impact or abrasion occurs, but only a part of the fixing member can be separated, and thus, the fixing member needs to be replaced as a whole. There was a problem that the cost is large.

또한, 종래의 지그 장치는 덮개를 반전시키기 위한 기체에 유지부가 연결된 구조를 이루는데, 덮개가 유지부에 고정되면서, 기체와 유지부의 연결부위에 덮개의 무게뿐만 아니라 유지부의 무게가 가중됨에 따라 앞서 설명한 연결부위에 하중이 집중되어 기체에 큰 부하가 발생되므로, 기체가 쉽게 파손되는 문제점이 있고, 이를 방지하기 위해 큰 부하를 견딜 수 있는 값비싼 기체를 구비해야하는 문제점이 있었다. In addition, the conventional jig device forms a structure in which the holding portion is connected to the base for inverting the lid. As the lid is fixed to the holding portion, the weight of the holding portion as well as the weight of the lid is added to the connection portion between the base and the holding portion. Since the load is concentrated on the connection part described above, a large load is generated in the gas, and there is a problem in that the gas is easily broken. In order to prevent this, there is a problem in that an expensive gas that can withstand a large load is provided.

등록특허공보 제10-1234456호(2011.05.23.) "덮개 유지 지그"Korean Patent Publication No. 10-1234456 (2011.05.23.) "Cover holding jig"

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 종래와 같은 체결방식을 이용한 고정 부재를 통해 덮개를 유지부에 고정하지 않고도, 간편한 끼움 또는 걸림방식을 이용하는 커플링 구조를 통해 덮개를 기체에 연결할 수 있는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, without connecting the cover to the body via a coupling structure using a simple fitting or locking method, without fixing the cover to the holding portion through a fixing member using a conventional fastening method. It is an object of the present invention to provide a rotational jig having a coupling for docking.

특히, 덮개와 기체를 연결하는 커플링의 일부분에 충격이나 마모현상 등이 발생될 경우, 이의 유지보수가 필요한 일부분만을 별도로 교체할 수 있는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.In particular, in the event of a shock or abrasion on a part of the coupling connecting the cover and the aircraft, the purpose of the present invention is to provide a rotation jig having a docking coupling that can replace only a part requiring maintenance thereof. have.

그리고, 덮개의 최소 부위만을 지지하는 별도의 지지장치를 구비하여 덮개와 기체의 연결부위에 가해지는 하중을 줄일 수 있는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a rotation jig having a docking coupling having a separate supporting device for supporting only a minimum portion of the cover to reduce a load applied to the cover and the connection portion of the body.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그는 진공챔버의 상부커버를 반전시키기 위하여, 상기 상부커버가 배치되는 지그본체; 상기 지그본체의 일측에 마련되고, 상기 상부커버를 지지하는 상태로, 승강시키는 승강장치; 상기 승강장치의 일측에 마련되고, 상기 승강장치에 지지된 상기 상부커버를 반전시키는 회전장치; 및 상기 상부커버와 상기 회전장치를 연결하는 연결수단;을 포함하여 달성할 수 있다.In order to achieve the above object, a rotation jig having a docking coupling according to the present invention includes a jig main body in which the upper cover is disposed to invert the upper cover of the vacuum chamber; An elevating device provided on one side of the jig main body and supporting the upper cover to move up and down; A rotating device provided on one side of the elevating device and inverting the upper cover supported by the elevating device; And connecting means for connecting the upper cover and the rotary device.

전술한, 상기 연결수단은 일단이 상기 회전장치의 회전축에 설치되되, 타단에 내측으로 함몰형성된 제1 연결홈이 바닥면에 대하여 수평하게 배치된 상태를 이루는 제1 커플링; 일단이 상기 상부커버의 양측에 각각 설치되되, 타단에 내측으로 함몰형성된 제1 연결홈이 바닥면에 대하여 수직하게 배치된 상태를 이루는 제2 커플링; 상기 제1 커플링의 상기 제1 연결홈에 설치된 상태로, 상기 제2 커플링의 상기 제2 연결홈에 걸림 상태로 연결되는 제3 커플링; 및 상기 제3 커플링을 상기 제1 커플링에 착탈가능하게 결합시키는 결합수단;을 포함한다.As described above, the connecting means includes: a first coupling having one end installed on a rotating shaft of the rotary device, and having a first connection groove recessed inward at the other end thereof horizontally with respect to a bottom surface; A second coupling having one end installed at each of both sides of the upper cover, and having a first connection groove recessed inward at the other end thereof perpendicularly to the bottom surface; A third coupling installed in the first connection groove of the first coupling and connected to the second connection groove of the second coupling in a locked state; And coupling means for detachably coupling the third coupling to the first coupling.

그리고, 상기 제3 커플링은 상기 제1 커플링과 상기 제2 커플링 사이에 배치되고, 양측면이 제각기 상기 제1 커플링과 상기 제2 커플링의 끝단에 면접촉되는 연결판; 상기 연결판의 일측면으로부터 돌출형성되고, 상기 제1 커플링의 상기 제1 연결홈에 끼워지는 제1 돌기; 및 상기 연결판의 타측면으로부터 돌출형성되고, 상기 제2 커플링의 상기 제2 연결홈에 끼워지는 제2 돌기를 갖는 제3 커플링;을 포함한다.The third coupling may include a connection plate disposed between the first coupling and the second coupling, and both side surfaces of which are in surface contact with ends of the first coupling and the second coupling, respectively; A first protrusion protruding from one side of the connecting plate and fitted into the first connecting groove of the first coupling; And a third coupling protruding from the other side of the connecting plate and having a second protrusion fitted into the second connecting groove of the second coupling.

한편, 상기 연결수단은 상기 회전장치의 회전축에 설치되고, 상기 제3 커플링과의 거리를 측정하는 측정센서;를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the connecting means may be installed on the rotary shaft of the rotary device, and further comprising a measuring sensor for measuring the distance to the third coupling.

그리고, 상기 상부커버는 상기 제2 커플링이 설치되도록, 양측에 설치된 연결브라켓으로부터 돌출되게 마련되는 연결봉;이 마련될 수 있다.The upper cover may include a connecting rod protruding from the connecting brackets installed at both sides thereof so that the second coupling is installed.

또한, 상기 승강장치는 내측에 일정간격을 두고 회전가능하게 설치되는 한 쌍의 회전롤러가 마련되고, 상기 회전롤러 사이에 배치되는 상기 연결봉을 회전가능하게 지지하는 지지부재; 및 상기 지지부재를 승강시키는 LM가이드;를 포함한다.In addition, the elevating device is provided with a pair of rotary rollers rotatably installed at a predetermined interval therein, a support member for rotatably supporting the connecting rods disposed between the rotary rollers; And an LM guide for elevating the support member.

다른 한편, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그는 상기 상부커버의 기울기를 지면에 평행하도록 수평상태로 조절가능한 적어도 하나의 수평조절유닛;을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig provided with a docking coupling according to the present invention may further include at least one horizontal adjustment unit that is adjustable in a horizontal state so that the inclination of the top cover parallel to the ground.

전술한, 상기 수평조절유닛은 상기 지지부재의 일측에 설치되는 고정브라켓; 일단이 상기 고정브라켓의 타측에 회전가능하게 힌지연결되고, 타단에 일측방향을 향해 신장되는 로드가 마련된 수평조절실린더; 및 일단이 상기 고정브라켓의 일측에 힌지 연결되고, 타단이 상기 수평조절실린더의 로드에 힌지연결되는 링크;를 포함한다.The above-mentioned, the horizontal adjustment unit is fixed bracket which is installed on one side of the support member; A horizontal adjustment cylinder having one end rotatably hinged to the other side of the fixing bracket and provided with a rod extending toward the one end at the other end thereof; And a link, one end of which is hinged to one side of the fixing bracket and the other end of which is hinged to the rod of the horizontal adjustment cylinder.

여기서, 상기 수평조절실린더의 로드가 신장됨에 따라 상기 링크의 타단이 상기 상부커버의 좌측하단 및 우측하단을 지지하는 상태로 밀어올려 상기 상부커버의 기울기를 조절할 수 있다.Here, as the rod of the horizontal adjustment cylinder is extended, the other end of the link may be pushed up to support the lower left and right lower ends of the upper cover to adjust the inclination of the upper cover.

다른 한편, 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그는 상기 상부커버의 유지보수를 위하여 상기 회전장치에 의해 반전된 상기 상부커버를 반전된 상태 그대로 유지시키도록, 상기 상부커버의 일측면을 지지하는 서포트유닛;을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig provided with the coupling for docking support for supporting one side of the upper cover to maintain the upper cover inverted state by the rotating device for maintenance of the upper cover The unit may further include.

전술한, 상기 서포트유닛은 상기 지그본체의 일측에 설치되고, 상기 상부커버의 하단을 향해 신장가능한 로드가 마련되는 적어도 하나의 서포트실린더; 상기 서포트실린더에 설치되되, 상기 서포트실린더의 로드 둘레를 따라 배치되고, 상기 상부커버의 하단을 향해 신장가능한 로드가 마련되는 복수의 수평보조실린더; 및 상기 서포트실린더의 로드 및 상기 수평보조실린더의 로드 끝단에 설치되어 상기 상부커버의 표면과 맞닿는 접지면적을 확장시키는 복수의 서포트;를 포함한다.The support unit may include at least one support cylinder installed at one side of the jig main body and provided with a rod extendable toward a lower end of the upper cover; A plurality of horizontal auxiliary cylinders installed in the support cylinder, the plurality of horizontal auxiliary cylinders disposed along a rod circumference of the support cylinder, and provided with a rod extendable toward a lower end of the upper cover; And a plurality of supports installed on the rod end of the support cylinder and the rod end of the horizontal auxiliary cylinder to extend a ground area that is in contact with the surface of the upper cover.

그리고, 상기 서포트유닛은 상기 서포트의 상부에 설치되고, 상기 상부커버와 접촉된 일부분에 마찰력을 제공하여 상기 상부커버의 슬립을 방지하는 적어도 하나의 패킹;을 더 포함할 수 있다.The support unit may further include at least one packing installed on an upper portion of the support and providing a frictional force to a portion in contact with the upper cover to prevent slippage of the upper cover.

전술한, 상기 패킹은 상기 서포트실린더 로드의 상면에 마련되고, 일측방향으로 형성되는 요철을 갖는 제 1패킹; 및 상기 수평보조실린더의 상면에 제각기 마련되어 상기 제1패킹의 둘레를 감싸도록 배치되고, 상기 제1패킹의 요철이 형성된 방향과 다른 방향을 갖는 요철을 갖는 제 2패킹;을 포함한다.As described above, the packing is provided on the upper surface of the support cylinder rod, the first packing having an unevenness formed in one direction; And a second packing provided on an upper surface of the horizontal auxiliary cylinder and disposed to surround a circumference of the first packing, and having a unevenness having a direction different from a direction in which the unevenness of the first packing is formed.

여기서, 상기 제 2패킹은 상기 제 1패킹의 두께보다 큰 두께로 형성되어 상기 제 1패킹과 단차를 이루고, 상기 상부커버의 저면을 지지하게 될 경우, 압축됨에 따라 상기 제 1패킹을 감싸는 내측으로 발생되는 진공을 통해 상기 상부커버를 고정할 수 있다.Here, the second packing is formed to a thickness greater than the thickness of the first packing to form a step with the first packing, when supporting the bottom of the upper cover, the inner side to wrap the first packing as it is compressed The upper cover may be fixed through the generated vacuum.

다른 한편, 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그는 상기 지그본체의 일측에 설치된 상태로 상기 상부커버를 감지하고, 감지된 신호를 제어모듈로 전달하여 상기 승장장치에 의해 승강되는 상기 지지부재의 승강범위를 조절하는 범위조절센서;를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig provided with a coupling for docking detects the upper cover in a state of being installed on one side of the jig main body, and transfers the detected signal to the control module to elevate the support member which is lifted by the elevating device Range adjustment sensor for adjusting the range; may further include.

본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그에 의하면, 간편한 끼움 또는 걸림방식을 이용하는 커플링 구조를 통해 상부커버를 회전장치에 용이하게 연결할 수 있기 때문에 기존의 고정 부재를 이용하는 복잡한 체결방식에 의해 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고, 이로 인한 작업자의 편의성이 향상될 수 있다. According to the rotation jig provided with a coupling for docking according to the present invention, since the upper cover can be easily connected to the rotating device through a coupling structure using a simple fitting or locking method, it is possible to use a complicated fastening method using an existing fixing member. It can shorten the time required, thereby improving the convenience of the operator.

그리고, 상부커버와 회전장치의 연결시, 커플링의 일부분에 충격이나 마모현상 등이 발생되더라도, 이의 유지보수가 필요한 일부분만을 별도로 교체할 수 있기 때문에 이의 유지보수에 소요되는 비용이 절감될 수 있고, 이로 인한 작업자의 편의성이 더욱더 향상될 수 있다.In addition, when the upper cover and the rotary device are connected, even if a shock or abrasion occurs in a part of the coupling, only a part requiring maintenance thereof can be replaced separately, thereby reducing the cost of maintenance. As a result, the operator's convenience can be further improved.

또한, 상부커버와 회전장치 사이의 연결구조 즉, 커플링에 별도의 하중이 가해지지 않기 때문에 기존과 달리 상부커버와 회전장치의 연결부위에 큰 부하가 발생되지 않으므로, 회전장치의 수명을 연장시킬 수 있는 것은 물론, 이의 유지보수 비용을 절감할 수 있다. In addition, since a separate load is not applied to the coupling structure between the upper cover and the rotary device, that is, a large load is not generated on the connection portion of the upper cover and the rotary device unlike the existing ones, thereby extending the life of the rotary device. In addition, it can reduce its maintenance costs.

도 1은 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그의 전체 상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 연결수단의 연결 과정을 나타낸 도면이다.
도 3은 연결수단의 구성을 분리한 상태를 나타낸 도면이다.
도 4는 연결수단의 연결 상태의 단면을 나타낸 도면이다.
도 5는 상부커버의 배치과정을 나타낸 도면이다.
도 6은 회전장치 및 범위조절수단의 각 구성을 나타낸 도면이다.
도 7은 수평조절유닛의 각 구성을 나타낸 도면이다.
도 8은 서포트유닛의 전체 상태를 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8의 A - A'의 단면으로, 서포트유닛의 작동 상태를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the overall state of the rotation jig equipped with a docking coupling according to the present invention.
2 is a view showing a connection process of the connecting means.
3 is a view showing a state in which the configuration of the connection means separated.
Figure 4 is a view showing a cross section of the connection state of the connecting means.
5 is a view showing the arrangement of the top cover.
6 is a view showing each configuration of the rotating device and the range adjusting means.
7 is a view showing each configuration of the horizontal adjustment unit.
8 is a view showing the overall state of the support unit.
9 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 8, and illustrates an operating state of the support unit.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

특별한 정의가 없는 한 본 명세서의 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자가 이해하는 당해 용어의 일반적 의미와 동일하고, 만약 본 명세서에 사용된 용어가 당해 용어의 일반적 의미와 충돌하는 경우에는 본 명세서에 사용된 정의에 따른다.Unless otherwise defined, all terms in the specification are the same as the general meaning of the terms understood by those skilled in the art, and if the terms used herein conflict with the general meaning of the terms Is in accordance with the definitions used herein.

한편, 이하에 기술될 장치의 구성이나 시스템은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리범위를 한정하기 위함은 아니며, 명세서 전반에 걸쳐서 동일하게 사용된 참조번호들은 동일한 구성소요들을 나타낸다.On the other hand, the configuration or system of the device to be described below is not intended to limit the scope of the present invention, but to describe the embodiment of the present invention, the same reference numerals are used throughout the specification the same components Indicates.

본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 지그본체(101), 승강장치(110), 회전장치(130) 및 연결수단(130)을 포함한다.The rotation jig 100 provided with the coupling for docking according to the present invention includes a jig body 101, a lifting device 110, a rotating device 130, and a connecting means 130.

지그본체(101)는 상부커버(10)가 배치되는 구성으로, 도 1에 도시된 바와 같이 진공챔버(미도시)로부터 분리된 상부커버(10)를 후술할 승강장치(110), 회전장치(130) 및 연결수단(130) 등을 통해 내측에 배치되도록 할 수 있다. 이러한, 지그본체(101)는 다수의 프레임으로 구성될 수 있고, 이의 일부분에 후술할 승강장치(110), 회전장치(130) 및 연결수단(130)이 설치될 수 있다.The jig body 101 is a configuration in which the upper cover 10 is disposed, as shown in Figure 1, the lifting device 110, a rotating device (110) which will be described later the upper cover 10 separated from the vacuum chamber (not shown) 130 and the connecting means 130 may be arranged inside. Such, the jig body 101 may be composed of a plurality of frames, the lifting device 110, the rotating device 130 and the connecting means 130 to be described later may be installed on a portion thereof.

여기서, 상부커버(10)는 내부에 플라즈마를 발생시키기 위하여 상부가 개방된 진공챔버(미도시)를 밀폐시키는 통상적인 구성으로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.Here, the upper cover 10 is a conventional configuration for sealing a vacuum chamber (not shown), the top of which is opened to generate a plasma therein, a detailed description thereof will be omitted.

한편, 상부커버(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 양측에 설치된 연결브라켓(11)으로부터 돌출되게 마련되는 연결봉(13)이 마련될 수 있다.On the other hand, the upper cover 10 may be provided with a connecting rod 13 is provided to protrude from the connecting bracket 11 installed on both sides as shown in FIG.

연결봉(13)은 후술할 회전장치(130)와 연결되는 구성으로, 후술할 연결수단(130)에 의해 회전장치(130)와 연결될 수 있는데, 후술할 상부커버(10)의 배치과정을 통해 자세히 설명한다.The connecting rod 13 is configured to be connected to the rotating device 130 to be described later, it may be connected to the rotating device 130 by the connecting means 130 to be described later, in detail through the arrangement process of the upper cover 10 to be described later Explain.

승강장치(110)는 상부커버(10)를 승강시키는 구성으로, 도 1에 도시된 바와 같이 지지부재(111) 및 LM가이드(113)를 포함한다.The elevating apparatus 110 is configured to elevate the upper cover 10, and includes a support member 111 and an LM guide 113 as shown in FIG. 1.

지지부재(111)는 상부커버(10)를 회전가능하게 지지하는 구성으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 함체 형태를 이룰 수 있고, 이의 내측에 일정간격을 두고 회전가능하게 설치되는 한 쌍의 회전롤러(111a)가 마련될 수 있다.Support member 111 is configured to rotatably support the upper cover 10, as shown in Figures 1 and 2 can form a housing, as long as it is rotatably installed at a predetermined interval therein A pair of rotating rollers 111a may be provided.

여기서, 지지부재(111)의 회전롤러(111a)들 사이에 전술한 상부커버(10)의 연결봉(13)이 안착된 상태를 이룸에 따라 상부커버(10)는 지지부재(111)에 회전가능하게 지지된 상태를 이룰 수 있다.Here, the upper cover 10 is rotatable to the support member 111 as the connecting rod 13 of the upper cover 10 is seated between the rotary rollers 111a of the support member 111. Can achieve a supported state.

한편, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 걸림수단(190)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig 100 is provided with a docking coupling according to the present invention may further include a locking means (190).

걸림수단(190)은 연결봉(13)이 회전롤러(111a)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 구성으로, 도 2에 도시된 바와 같이 걸림홈(191) 및 걸림돌기(193)를 포함한다.The locking means 190 is configured to prevent the connecting rod 13 from being separated from the rotary roller 111a, and includes a locking groove 191 and a locking protrusion 193 as shown in FIG. 2.

걸림홈(191)은 후술할 걸림돌기(193)의 일부분이 걸리는 구성으로, 회전롤러(111a)의 둘레를 따라 함몰형성되는 홈 형태를 이룰 수 있다. The locking groove 191 is configured to take a part of the locking protrusion 193 to be described later, and may form a groove shape formed along the circumference of the rotary roller 111a.

걸림돌기(193)는 전술한 걸림홈(191)에 걸리는 구성으로, 연결봉(13)의 둘레를 따라 돌출형성되는 돌기 형태를 이룰 수 있다.The locking protrusion 193 is configured to be caught by the locking groove 191 described above, and may have a protrusion shape that protrudes along the circumference of the connecting rod 13.

여기서, 걸림수단(190)은 연결봉(13)이 지지부재(111)에 안착되는 과정에서, 연결봉(13)의 걸림돌기(193) 일부분이 회전롤러(111a)의 걸림홈(191)에 끼워져 걸림 상태를 이루는 걸림 구조를 통해 후술할 회전장치(130)에 의한 진동이나 다른 충격 또는 외력 등이 발생되더라도 연결봉(13)이 회전장치(130)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 걸림수단(190)은 상부커버(10)가 지지부재(111)에 회전가능하게 지지된 위치를 일탈하는 것을 방지함에 따라 상부커버(10)의 위치가 변경되면서 후술할 연결수단(130)에 충격이나 외력을 가해지거나 무게 중심의 변화에 따른 문제점들이 발생되는 것을 사전에 방지할 수 있다.Here, the locking means 190 is a part of the engaging projection 193 of the connecting rod 13 is fitted in the locking groove 191 of the rotary roller 111a in the process of the connecting rod 13 is seated on the support member 111. Through the locking structure forming the state, even if vibration or other impact or external force caused by the rotating device 130 to be described later can be prevented from being separated from the rotating device 130. That is, the locking means 190 prevents the upper cover 10 from deviating from the position rotatably supported by the support member 111, and thus the position of the upper cover 10 is changed and the connecting means 130 to be described later. It is possible to prevent problems caused by impact or external force or change of the center of gravity in advance.

LM가이드(113)는 전술한 지지부재(111)를 지그본체(101)의 상부를 향해 상하방향으로 승강시키는 구성으로, 도 1에 도시된 바와 같이 지그본체(101)의 일측에 설치되는 승강모터(113a) 및 이에 설치되어 승강모터(113a)의 회전구동력에 의해 일측 또는 타측방향으로 회전되는 리드스크류(113b)로 구성될 수 있다.The LM guide 113 is a configuration for elevating the above-mentioned support member 111 in the vertical direction toward the top of the jig main body 101, as shown in Figure 1 lifting motor is installed on one side of the jig main body 101 113a and lead screws 113b installed therein and rotated in one or the other direction by the rotation driving force of the elevating motor 113a.

여기서, 리드스크류(113b)는 지지부재(111)의 일측을 관통하여 나사체결된 상태를 이룰 수 있다. 이에 따라, LM가이드(113)는 승강모터(113a)의 회전구동력에 의해 회전되는 리드스크류(113b)의 길이방향을 따라 지지부재(111)를 승강시킬 수 있다.Here, the lead screw 113b may be screwed through one side of the support member 111. Accordingly, the LM guide 113 can elevate the support member 111 along the longitudinal direction of the lead screw 113b rotated by the rotational driving force of the elevating motor 113a.

회전장치(130)는 전술한 상부커버(10)를 반전시키기 위한 구성으로, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이 지지부재(111)의 일측에 설치되는 회전모터(133) 및 이에 설치되어 회전모터(133)의 회전구동력에 의해 일측 또는 타측방향으로 회전되는 회전축(131)으로 구성될 수 있다.Rotating device 130 is a configuration for inverting the above-described upper cover 10, as shown in Figure 1 and 6, the rotary motor 133 is installed on one side of the support member 111 and installed therein to rotate It may be composed of a rotating shaft 131 rotated in one or the other direction by the rotation driving force of the motor 133.

여기서, 회전축(131)은 전술한 바와 같이 회전모터(133)에 의해 자동적으로 회전될 수 있을 뿐만 아니라, 회전모터(133)의 일측에 마련되어 회전축(131)과 연결된 손잡이를 통해 수동적으로 회전될 수도 있다.Here, the rotary shaft 131 may be automatically rotated by the rotary motor 133 as described above, may be provided on one side of the rotary motor 133 and manually rotated through a handle connected to the rotary shaft 131. have.

한편, 회전장치(130)의 회전축(131)은 손잡이 또는 별도의 푸쉬부재를 통해 전방 즉, 지지부재(111)의 회전롤러(111a)가 설치된 방향으로 밀어지면서 전진이동될 수 있다. 이는, 상부커버(10)에 마련된 연결봉(13)과 회전장치(130)의 회전축(131)이 후술할 연결수단(130)에 의해 연결되도록 하기 위함으로, 후술할 상부커버(10)의 배치과정과 함께 자세히 설명한다.On the other hand, the rotating shaft 131 of the rotating device 130 can be moved forward while being pushed in the front, that is, the direction in which the rotary roller 111a of the support member 111 is installed through a handle or a separate push member. This is so that the connecting rod 13 provided on the upper cover 10 and the rotating shaft 131 of the rotating device 130 are connected by the connecting means 130 to be described later, the arrangement process of the upper cover 10 to be described later Explain in detail with

연결수단(130)은 전술한 바와 같이 상부커버(10)와 회전장치(130)를 연결하기 위한 구성으로, 도 3에 도시된 바와 같이 제1 커플링(141), 제2 커플링(143), 제3 커플링(145) 및 결합수단(147)을 포함한다.The connecting means 130 is configured to connect the upper cover 10 and the rotating device 130 as described above, and as shown in FIG. 3, the first coupling 141 and the second coupling 143. , A third coupling 145 and a coupling means 147.

제1 커플링(141)은 상부커버(10)와 회전장치(130)를 연결하는 구성 중 하나의 구성으로, 내측으로 중공이 마련된 링 형태를 이룰 수 있고, 일측에 내측으로 함몰형성된 제1 연결홈(141a)이 마련될 수 있다. 이때, 제1 연결홈(141a)은 바닥면에 대하여 수평하게 배치된 상태를 이룰 수 있다. 이러한, 제1 커플링(141)은 일단이 회전장치(130)의 회전축(131)에 설치될 수 있고, 제1 연결홈(141a)이 형성된 타단에 후술할 제3 커플링(145)이 착탈가능하게 장착될 수 있다.The first coupling 141 is one of the configuration for connecting the upper cover 10 and the rotating device 130, it can form a ring shape provided with a hollow inward, the first connection recessed inward on one side The groove 141a may be provided. In this case, the first connection groove 141a may be in a horizontally disposed state with respect to the bottom surface. One end of the first coupling 141 may be installed on the rotating shaft 131 of the rotating device 130, and the third coupling 145 to be described later is attached to and detached from the other end where the first connection groove 141a is formed. It can be mounted as possible.

여기서, 제1 커플링(141)은 도 4에 도시된 바와 같이 내측 중공으로 회전축(131)의 끝단이 삽입된 상태에서, 예컨대, 볼트나 고정핀 등의 체결수단을 통해 회전축(131)에 설치될 수 있다.Here, the first coupling 141 is installed on the rotating shaft 131 through a fastening means such as a bolt or a fixing pin in a state where the end of the rotating shaft 131 is inserted into the inner hollow as shown in FIG. 4. Can be.

그리고, 제1 커플링(141)은 도 4에 도시된 바와 같이 타단에 형성된 제1 연결홈(141a)에 후술할 제3 커플링(145)이 착탈가능하게 고정될 수 있는데, 후술할 결합수단과 함께 설명한다.In addition, the first coupling 141 may be detachably fixed to a third coupling 145 to be described later in the first connection groove 141a formed at the other end, as shown in FIG. 4. Explain with

제2 커플링(143)은 상부커버(10)와 회전장치(130)를 연결하는 구성 중 다른 하나의 구성으로, 내측으로 중공이 마련된 링 형태를 이룰 수 있고, 일측에 내측으로 함몰형성된 제2 연결홈(143a)이 마련될 수 있다. 예컨대, 제2 커플링(143)은 전술한 제1 커플링(141)과 동일한 형태로 형성될 수 있고, 제2 연결홈(143a)은 바닥면에 대하여 수직하게 배치된 상태를 이룰 수 있다. 이러한, 제2 커플링(143)은 일단이 전술한 연결봉(13)의 끝단에 설치될 수 있고, 제2 연결홈(143a)이 형성된 타단에 후술할 제3 커플링(145)이 연결될 수 있다.The second coupling 143 is the other one of the configuration for connecting the upper cover 10 and the rotating device 130, it can form a ring shape provided with a hollow inward, the second recessed inward on one side Connection groove 143a may be provided. For example, the second coupling 143 may be formed in the same shape as the first coupling 141 described above, and the second connection groove 143a may be disposed perpendicular to the bottom surface. One end of the second coupling 143 may be installed at the end of the connecting rod 13 described above, and the third coupling 145 to be described later may be connected to the other end where the second connecting groove 143a is formed. .

여기서, 제2 커플링(143)은 도 4에 도시된 바와 같이 내측 중공으로 연결봉(13)의 끝단이 삽입된 상태에서, 예컨대, 볼트나 고정핀 등의 체결수단을 통해 연결봉(13)에 설치될 수 있다.Here, the second coupling 143 is installed on the connecting rod 13 through a fastening means such as a bolt or a fixing pin in the state in which the end of the connecting rod 13 is inserted into the inner hollow as shown in FIG. 4. Can be.

제3 커플링(145)은 상부커버(10)와 회전장치(130)를 연결하는 구성 중 다른 하나의 구성으로, 내측으로 중공이 마련된 링 형태를 이룰 수 있다. 이러한, 제3 커플링(145)은 연결판(145a), 제1 돌기(145b) 및 제2 돌기(145c)를 포함한다.The third coupling 145 is another one of the components for connecting the upper cover 10 and the rotary device 130, and may have a ring shape in which a hollow is provided inward. The third coupling 145 includes a connecting plate 145a, a first protrusion 145b, and a second protrusion 145c.

연결판(145a)은 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)의 충돌을 방지하는 구성으로, 일측면이 제1 커플링(141)의 끝단면에 평행한 수평면을 이루고, 타측면이 제2 커플링(143)의 끝단면에 평행한 수평면을 이루는 판재 형태로 이루어질 수 있다. 이러한, 연결판(145a)은 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143) 사이에 배치된 상태로, 양측면이 제각기 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)의 끝단면에 면접촉되는 상태를 이룰 수 있다. 이에 따라, 연결판(145a)은 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)이 직접적으로 충돌되는 것을 방지하여 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)의 파손을 방지할 수 있다.The connecting plate 145a is configured to prevent the first coupling 141 and the second coupling 143 from colliding. The connecting plate 145a forms a horizontal plane parallel to an end surface of the first coupling 141. The side surface may be formed in a plate shape forming a horizontal plane parallel to the end surface of the second coupling 143. In this state, the connecting plate 145a is disposed between the first coupling 141 and the second coupling 143, and both ends of the connecting plate 145a are disposed at the ends of the first coupling 141 and the second coupling 143, respectively. A state of surface contact with the end surface can be achieved. Accordingly, the connecting plate 145a prevents the first coupling 141 and the second coupling 143 from directly colliding with each other, thereby preventing damage to the first coupling 141 and the second coupling 143. It can prevent.

제1 돌기(145b)는 제1 커플링(141)과 연결되는 구성으로, 전술한 연결판(145a)의 일측면으로부터 돌출형성되는 돌기 형태를 이룰 수 있다. 예컨대, 제1 돌기(145b)는 제1 커플링(141)의 제1 연결홈(141a)에 대응하는 형태로 형성될 수 있고, 제1 연결홈(141a)에 대응하는 수평 상태로 배치될 수 있다. 이러한, 제1 돌기(145b)는 제1 커플링(141)의 제1 연결홈(141a)에 끼워져 삽입된 걸림 상태로 구비될 수 있다.The first protrusion 145b is configured to be connected to the first coupling 141 and may have a protrusion shape protruding from one side of the connection plate 145a described above. For example, the first protrusion 145b may be formed in a shape corresponding to the first connection groove 141a of the first coupling 141, and may be disposed in a horizontal state corresponding to the first connection groove 141a. have. The first protrusion 145b may be provided in a locked state inserted into and inserted into the first connection groove 141a of the first coupling 141.

제2 돌기(145c)는 제2 커플링(143)과 연결되는 구성으로, 전술한 연결판(145a)의 타측면으로부터 돌출형성되는 돌기 형태를 이룰 수 있다. 예컨대, 제2 돌기(145c)는 제2 커플링(143)의 제2 연결홈(143a)에 대응하는 형태로 형성될 수 있고, 제2 연결홈(143a)에 대응하는 수직 상태로 배치될 수 있다. 이러한, 제2 돌기(145c)는 제2 커플링(143)의 제2 연결홈(143a)에 끼워져 삽입된 걸림 상태로 구비될 수 있다.The second protrusion 145c is connected to the second coupling 143 and may have a protrusion shape protruding from the other side of the connection plate 145a described above. For example, the second protrusion 145c may be formed in a shape corresponding to the second connection groove 143a of the second coupling 143, and may be disposed in a vertical state corresponding to the second connection groove 143a. have. The second protrusion 145c may be provided in a locked state inserted into and inserted into the second connection groove 143a of the second coupling 143.

이에 따라, 제3 커플링(145)은 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143) 사이에 배치된 상태로, 제1 돌기(145b)에 의해 제1 커플링(141)과 연결되고, 제2 돌기(145c)에 의해 제2 커플링(143)과 연결된 상태를 이룰 수 있다. 즉, 제3 커플링(145)은 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)이 서로 연결되도록 할 수 있다. Accordingly, the third coupling 145 is disposed between the first coupling 141 and the second coupling 143 and connected to the first coupling 141 by the first protrusion 145b. And a state in which the second protrusion 145c is connected to the second coupling 143. That is, the third coupling 145 may allow the first coupling 141 and the second coupling 143 to be connected to each other.

여기서, 제3 커플링(145)은 전술한 바와 같이 제1 커플링(141)과 제2 커플링(143)의 충돌을 방지하여 제1 및 제2 커플링(143)의 파손을 방지하는 대신, 제1 및 제2 커플링(143)에 의해 파손이 발생될 수 있으나, 파손이 발생되더라도 전술한 바와 같은 끼움구조에 의한 연결방식과 후술할 결합수단(147)에 의한 착탈방식에 의해 제1 커플링(141) 및 제2 커플링(143)으로부터 용이하게 분리될 수 있기 때문에 유지보수 또는 교체가 매우 용이한 효과가 있다. Here, the third coupling 145 prevents the first and second couplings 143 from being damaged by preventing collision between the first coupling 141 and the second coupling 143 as described above. , The damage may be caused by the first and second couplings 143, but even if the damage occurs, the first and second couplings 143 may be connected by the fitting structure as described above and by the detachable method by the coupling means 147 to be described later. Since it can be easily separated from the coupling 141 and the second coupling 143, the maintenance or replacement is very easy.

결합수단(147)은 전술한 제3 커플링(145)을 제1 커플링(141)에 착탈가능하게 고정하는 구성으로, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 커플링(141)과 제3 커플링(145)이 연결된 상태에서, 제1 커플링(141)의 일부분을 관통하여 제3 커플링(145)의 제1 돌기(145b) 일부분을 관통하는 상태로 구비되는 볼트나 고정핀 등의 체결수단으로 구성될 수 있다. 예컨대, 결합수단(147)은 볼플런저로 구성될 수 있으며, 볼플런저의 풀림을 방지하기 위한 무두볼트를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 결합수단(147)은 볼플런저의 나사체결 방식을 통해 제1 커플링(141)에 제3 커플링(145)을 착탈가능하게 고정할 수 있다.Coupling means 147 is configured to detachably fix the above-described third coupling 145 to the first coupling 141, as shown in Figure 4 the first coupling 141 and the third couple In the state in which the ring 145 is connected, the bolt or the fixing pin is provided to penetrate a portion of the first coupling 141 and penetrate a portion of the first protrusion 145b of the third coupling 145. It can be configured by means. For example, the coupling means 147 may be configured as a ball plunger, and may further include a tannery bolt for preventing loosening of the ball plunger. Accordingly, the coupling means 147 may detachably fix the third coupling 145 to the first coupling 141 through a screw fastening method of the ball plunger.

한편, 연결수단(130)은 측정센서(150)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the connection means 130 may further include a measurement sensor 150.

측정센서(150)는 전술한 제3 커플링(145)의 파손을 방지하기 위한 구성으로, 도 2에 도시된 바와 같이 회전장치(130)의 회전축(131) 끝단에 설치될 수 있고, 더욱 자세하게는 제2 커플링(143)의 끝단과 마주하는 상태로 배치될 수 있다. 예컨대, 측정센서(150)는 마주하는 제2 커플링(143)과의 거리를 측정할 수 있도록 초음파, 적외선 또는 레이저 등을 이용한 거리감지센서로 구성될 수 있다.The measuring sensor 150 is configured to prevent damage of the above-described third coupling 145, and may be installed at the end of the rotating shaft 131 of the rotating apparatus 130 as shown in FIG. May be disposed to face an end of the second coupling 143. For example, the measurement sensor 150 may be configured as a distance detection sensor using an ultrasonic wave, an infrared ray, or a laser so as to measure the distance from the second coupling 143 facing each other.

여기서, 측정센서(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 회전축(131)의 끝단에 설치된 상태에서, 전술한 제1 커플링(141) 및 제3 커플링(145)이 회전축(131)에 설치됨에 따라 제3 커플링(145)의 중공을 관통한 상태로 배치될 수 있다. 이때, 측정센서(150)는 끝단이 제3 커플링(145)의 제2 돌기(145c)가 이루는 끝단면의 동일선상에 배치될 수도 있으나, 바람직하게는 내측으로 일정간격을 두고 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 제3 커플링(145)의 제2 돌기(145c)가 이루는 끝단면에 제2 커플링(143)의 제2 연결홈(143a) 내측면이 접촉될 경우, 측정센서(150)의 파손이 방지되도록 하기 위함이다. 예컨대, 측정센서(150)는 후술하는 상부커버(10)의 배치과정을 통해 센서를 이루는 끝단과 제2 돌기(145c)의 끝단면 사이의 일정거리만큼, 끝단이 제2 커플링(143)의 제2 연결홈(143a) 내측면에 다다를 경우, 별도로 마련될 수 있는 디스플레이에 표시되는 측정값을 확인하여 수동적으로 전술한 회전축(131)의 전진이동 동작을 해제할 수 있고, 설정된 측정값이 입력된 제어모듈을 통해 자동적으로 전술한 회전축(131)의 전진이동 동작을 해제할 수도 있다.Here, the measuring sensor 150 is installed at the end of the rotary shaft 131 as shown in Figure 3, the above-described first coupling 141 and the third coupling 145 is installed on the rotary shaft 131 In accordance with the present invention, the third coupling 145 may be disposed to pass through the hollow. In this case, the measuring sensor 150 may be disposed on the same line of the end surface formed by the second protrusion 145c of the third coupling 145, but is preferably disposed at a predetermined interval inwardly. Do. When the inner surface of the second connecting groove 143a of the second coupling 143 contacts the end surface of the second protrusion 145c of the third coupling 145, the measurement sensor 150 may be damaged. This is to be prevented. For example, the measuring sensor 150 may be disposed by a predetermined distance between the end forming the sensor and the end surface of the second protrusion 145c through an arrangement process of the upper cover 10 to be described later. When the inner side of the second connection groove 143a is reached, the measured value displayed on the display, which may be separately provided, may be checked to manually cancel the above-described forward movement of the rotating shaft 131, and the set measurement value may be input. It is also possible to automatically release the above-described forward movement of the rotating shaft 131 through the control module.

따라서, 연결수단(130)은 전술한 제1 내지 제3 커플링(145)을 통해 상부커버(10)와 회전장치(130)를 일체적으로 용이하게 연결할 수 있는데, 이는 후술할 상부커버(10)의 배치과정을 통해 자세히 설명한다. Therefore, the connecting means 130 can easily connect the upper cover 10 and the rotary device 130 integrally through the first to the third coupling 145 described above, which is the upper cover 10 to be described later Will be explained in detail through the layout process.

다른 한편, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 수평조절유닛(170)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig 100 is provided with a coupling for docking according to the present invention may further include a horizontal adjustment unit (170).

수평조절유닛(170)은 상부커버(10)의 기울기를 조절하는 구성으로, 도 7에 도시된 바와 같이 지그본체(101)의 일측에 설치될 수 있다. 이러한, 수평조절유닛(170)은 고정브라켓(171), 수평조절실린더(173) 및 링크(175)를 포함한다.The horizontal adjusting unit 170 is configured to adjust the inclination of the upper cover 10, it may be installed on one side of the jig body 101 as shown in FIG. This, the horizontal adjustment unit 170 includes a fixing bracket 171, the horizontal adjustment cylinder 173 and the link 175.

고정브라켓(171)은 후술할 수평조절실린더(173) 및 링크(175)가 설치되는 구성으로, 전술한 지그본체(101)의 일측에 설치될 수 있고, 더욱 자세하게는 도 1에 도시된 바와 같이 승강장치(110)의 양측에 설치될 수 있다. 예컨대, 고정브라켓(171)은 소정의 길이를 갖는 판재 형태를 이룰 수 있다.The fixing bracket 171 is a configuration in which the horizontal adjustment cylinder 173 and the link 175 to be described later are installed. The fixing bracket 171 may be installed at one side of the above-described jig body 101, and more specifically, as shown in FIG. 1. It may be installed on both sides of the lifting device (110). For example, the fixing bracket 171 may form a plate having a predetermined length.

수평조절실린더(173)는 링크(175)의 각도를 조절하는 구성으로, 예컨대, 신축가능한 로드가 마련되는 에어실린더로 구성될 수 있다. 이러한, 수평조절실린더(173)는 복수로 구성되어 전술한 고정브라켓(171)에 제각기 설치되되, 로드가 상부커버(10)의 하단을 향해 신장되도록 배치될 수 있다. 자세하게는. 수평조절실린더(173)는 일단이 고정브라켓(171)의 일측 즉, 하부에 회전가능하게 힌지연결되고, 타단으로부터 신장되는 로드가 일측방향 즉, 상부커버(10)의 하단을 향해 배치될 수 있다.The horizontal adjustment cylinder 173 is configured to adjust the angle of the link 175, for example, may be composed of an air cylinder provided with a flexible rod. The horizontal adjustment cylinder 173 is configured in plural and are respectively installed in the above-described fixing bracket 171, and the rod may be arranged to extend toward the lower end of the upper cover 10. In detail. One end of the horizontal adjustment cylinder 173 is rotatably hinged to one side of the fixing bracket 171, that is, the lower side, the rod extending from the other end may be disposed in one direction, that is, toward the lower end of the upper cover 10. .

링크(175)는 전술한 수평조절실린더(173)가 설정된 범위내에서 회전되도록 하고, 상부커버(10)의 하단을 지지하는 구성으로, 소정의 길이를 갖는 바형태로 형성될 수 있다. 이러한, 링크(175)는 일단이 고정브라켓(171)의 타측 즉, 상부에 힌지연결되고, 타단이 수평조절실린더(173)의 로드에 힌지연결될 수 있다.The link 175 is configured to allow the above-described horizontal adjustment cylinder 173 to be rotated within a set range and to support a lower end of the upper cover 10, and may be formed in a bar shape having a predetermined length. This, the link 175 is one end is hinged to the other side, that is, the top of the fixing bracket 171, the other end may be hinged to the rod of the horizontal adjustment cylinder (173).

여기서, 수평조절유닛(170)은 후술할 상부커버(10)의 배치과정에서, 수평조절실린더(173)의 로드가 신장되면서 링크(175)에 마련된 받침판이 상부커버(10)의 좌측하단 및 우측하단을 밀어올리는 과정을 통해 상부커버(10)의 기울기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 수평조절유닛(170)은 상부커버(10)의 기울기를 바닥면에 대하여 수평상태로 용이하게 조절할 수 있다. 이로 인해, 상부커버(10)의 유지보수 작업이 매우 용이하게 이루어질 수 있다.Here, the horizontal adjustment unit 170 in the arrangement process of the upper cover 10, which will be described later, the support plate provided in the link 175 as the rod of the horizontal adjustment cylinder 173 is extended, the lower left and right of the upper cover 10 The inclination of the top cover 10 can be adjusted by pushing up the bottom. Accordingly, the horizontal adjustment unit 170 can easily adjust the inclination of the top cover 10 in a horizontal state with respect to the bottom surface. Because of this, maintenance work of the top cover 10 can be made very easy.

그리고, 수평조절유닛(170)은 상부커버(10)의 좌측하단 및 우측하단을 밀어올리는 상태로 지지하기 때문에 상부커버(10)와 회전장치(130)의 연결부분 즉, 전술한 연결수단(130)에 집중되는 하중을 분산시킬 수도 있다.In addition, since the horizontal adjusting unit 170 supports the lower left and right lower ends of the upper cover 10 in a state of being pushed up, that is, the connecting portion 130 of the upper cover 10 and the rotary device 130, that is, the aforementioned connecting means 130. You can also distribute the load concentrated on

다른 한편, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 서포트유닛(160)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig 100 is provided with a docking coupling according to the present invention may further include a support unit 160.

서포트유닛(160)은 상부커버(10)를 지지하는 구성으로, 도 1에 도시된 바와 같이 지그본체(101)의 일측에 설치될 수 있다. 이러한, 서포트유닛(160)은 도 8에 도시된 바와 같이 서포트실린더(161), 수평보조실린더(163) 및 서포트(165)를 포함한다.The support unit 160 is configured to support the upper cover 10, and may be installed at one side of the jig body 101 as shown in FIG. 1. The support unit 160 includes a support cylinder 161, a horizontal auxiliary cylinder 163, and a support 165 as shown in FIG. 8.

서포트실린더(161)는 로드를 신축시키는 구성으로, 예컨대, 신축가능한 로드가 마련되는 에어실린더로 구성될 수 있다. 이러한, 서포트실린더(161)는 지그본체(101)의 일측에 적어도 하나 이상으로 설치될 수 있다. 자세하게는, 서포트실린더(161)는 지면으로부터 수직한 상태로 배치되되, 로드가 전술한 회전장치(130)에 의해 회전된 상태의 상부커버(10)의 저면을 향해 신장되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 서포트실린더(161)는 후술할 상부커버(10)의 배치과정에서, 신장된 로드를 통해 상부커버(10)의 저면을 지지하여 상부커버(10)를 지면으로부터 일정간격을 두고 배치시킬 수 있다. 이때, 서포트실린더(161)는 상부커버(10)의 저면을 지지하는 상태를 이루기 때문에 상부커버(10)와 회전장치(130)의 연결부분 즉, 연결수단(130)에 집중되는 하중을 분산시킬 수 있다. The support cylinder 161 is configured to stretch the rod, for example, may be configured as an air cylinder provided with a stretchable rod. The support cylinder 161 may be installed at least one side of the jig body 101. In detail, the support cylinder 161 may be disposed in a vertical state from the ground, and may be disposed to extend toward the bottom of the upper cover 10 in a state in which the rod is rotated by the above-described rotating device 130. Accordingly, the support cylinder 161 supports the bottom of the upper cover 10 through the extended rod in the process of disposing the upper cover 10 to be described later to arrange the upper cover 10 at a predetermined distance from the ground. Can be. At this time, since the support cylinder 161 supports the bottom surface of the upper cover 10, the load concentrated on the connecting portion of the upper cover 10 and the rotary device 130, that is, the connecting means 130, is distributed. Can be.

수평보조실린더(163)는 상부커버(10)의 기울기를 조절하는 구성으로, 예컨대, 신축가능한 로드가 마련되는 에어실린더로 구성될 수 있다. 이러한, 수평보조실린더(163)는 전술한 서포트실린더(161)의 몸체 일부분에 설치되되, 서포트실린더(161)의 로드로부터 일정간격을 두고 배치된 상태로, 서포트실린더(161)의 로드 둘레를 따라 복수로 설치될 수 있다. 자세하게는, 수평보조실린더(163)는 지면으로부터 수직한 상태로 배치되되, 로드가 전술한 회전장치(130)에 의해 회전된 상태의 상부커버(10)의 저면을 향해 신장되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 수평보조실린더(163)는 전술한 서포트실린더(161)와 더불어 상부커버(10)와 회전장치(130)의 연결부분 즉, 연결수단(130)에 집중되는 하중을 분산시킬 수 있고, 서포트실린더(161)의 로드에 안착된 상부커버(10)의 기울기를 미세하게 조절할 수도 있다. The horizontal auxiliary cylinder 163 is configured to adjust the inclination of the upper cover 10, for example, may be configured as an air cylinder provided with a flexible rod. The horizontal auxiliary cylinder 163 is installed on the body portion of the above-described support cylinder 161, but is disposed at a predetermined interval from the rod of the support cylinder 161, along the rod circumference of the support cylinder 161 It can be installed in plurality. In detail, the horizontal auxiliary cylinder 163 may be disposed in a vertical state from the ground, and may be disposed to extend toward the bottom of the upper cover 10 in a state in which the rod is rotated by the above-described rotating device 130. Accordingly, the horizontal auxiliary cylinder 163 can distribute the load concentrated on the connection portion of the upper cover 10 and the rotary device 130, that is, the connection means 130 together with the above-described support cylinder 161, The inclination of the upper cover 10 seated on the rod of the support cylinder 161 may be finely adjusted.

여기서, 수평보조실린더(163)는 후술할 패킹(167)에 의해 발생되는 흡착력을 제거하도록 로드를 수축시켜 서포트의 높낮이를 조절할 수 있는데, 후술할 패킹(167)과 함께 설명한다.Here, the horizontal auxiliary cylinder 163 may adjust the height of the support by shrinking the rod to remove the suction force generated by the packing 167 to be described later, which will be described together with the packing 167 to be described later.

서포트(165)는 전술한 서포트실린더(161)의 로드 및 수평보조실린더(163)의 로드와 상부커버(10)가 맞닿는 일부분의 접지면적을 확장시키는 구성으로, 서포트실린더(161)의 로드 및 수평보조실린더(163)의 로드의 상부에 제각기 설치되는 복수의 판재로 구성될 수 있다. 이러한, 서포트(165)는 상부커버(10)가 서포트실린더(161)의 로드 및 수평보조실린더(163)의 로드에 지지될 경우, 확장된 접지면적을 통해 상부커버(10)를 더욱더 용이하게 지지할 수 있다.The support 165 is configured to extend the ground area of the portion of the rod and the horizontal auxiliary cylinder 163 of the support cylinder 161 described above and the upper cover 10 to be in contact with the rod and the horizontal of the support cylinder 161. It may be composed of a plurality of plate materials respectively installed on the upper portion of the rod of the auxiliary cylinder (163). The support 165 more easily supports the upper cover 10 through the expanded ground area when the upper cover 10 is supported by the rod of the support cylinder 161 and the rod of the horizontal auxiliary cylinder 163. can do.

한편, 서포트유닛(160)은 패킹(167)을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the support unit 160 may further include a packing 167.

패킹(167)은 전술한 서포트(165)에 지지된 상부커버(10)의 슬립을 방지하는 구성으로, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 패킹(167a) 및 제2 패킹(167b)을 포함한다.The packing 167 is configured to prevent slippage of the upper cover 10 supported by the support 165 described above, and includes a first packing 167a and a second packing 167b as shown in FIG. 4. .

제1 패킹(167a)은 상부커버(10)의 접촉면에 마찰력을 제공하는 구성으로, 서포트실린더(161) 로드의 상면 또는 이에 설치된 서포트(165)의 상면에 설치될 수 있다. 이러한, 제1 패킹(167a)은 접촉시 마찰력을 제공할 수 있는 고무나 실리콘 등의 합성수지 재질로 이루질 수 있다.The first packing 167a is configured to provide a frictional force to the contact surface of the upper cover 10 and may be installed on the upper surface of the rod of the support cylinder 161 or the upper surface of the support 165 installed thereto. The first packing 167a may be made of a synthetic resin material such as rubber or silicon, which may provide frictional force upon contact.

제1 패킹(167a)은 상면에 일측방향으로 형성되는 요철(U)이 형성될 수 있다. 이러한, 요철(U)은 상부커버(10)의 표면에 형성되는 미세한 요철(미도시)과 걸림상태를 이룰 수 있다.The first packing 167a may have an uneven surface U formed in one direction on an upper surface thereof. Such unevenness (U) may form a locking state with fine unevenness (not shown) formed on the surface of the upper cover 10.

제2 패킹(167b)은 상부커버(10)의 접촉면에 마찰력을 제공하는 구성으로, 수평보조실린더(163) 로드의 상면 또는 이에 설치된 서포트(165)의 상면에 설치될 수 있다. 이러한, 제2 패킹(167b)은 접촉시 마찰력을 제공할 수 있는 고무나 실리콘 등의 합성수지 재질로 이루질 수 있다.The second packing 167b is configured to provide a frictional force to the contact surface of the upper cover 10 and may be installed on the upper surface of the rod of the horizontal auxiliary cylinder 163 or the upper surface of the support 165 installed therein. The second packing 167b may be made of a synthetic resin material such as rubber or silicon, which may provide a frictional force upon contact.

제2 패킹(167b)은 상면에 전술한 제1 패킹(167a)에 형성되는 요철(U)과 다른 방향으로 형성되는 요철(U)이 형성될 수 있다. 이러한, 요철(U)은 상부커버(10)의 표면에 형성되는 미세한 요철(미도시)과 걸림상태를 이룰 수 있다.The second packing 167b may have the unevenness U formed in a direction different from the unevenness U formed in the first packing 167a described above. Such unevenness (U) may form a locking state with fine unevenness (not shown) formed on the surface of the upper cover 10.

여기서, 제2 패킹(167b)은 제1 패킹(167a)의 두께보다 큰 두께로 형성되어 제1 패킹(167a)과 단차를 이룰 수 있다. 이때, 제2 패킹(167b)은 상면이 외측 둘레로부터 제1 패킹(167a)이 마련된 내측 둘레에 이르기까지 낮아지는 경사를 이룰 수 있다. 이러한, 제2 패킹(167b)은 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이 상부커버(10)의 저면을 지지하게 될 경우, 압축됨에 따라 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이 제1 패킹(167a)을 감싸는 내측으로 진공이 발생되어 흡착력이 이루어지는데, 이를 통해 통해 상부커버(10)를 서포트실린더(161)의 로드에 견고히 고정시킬 수 있다.Here, the second packing 167b may have a thickness greater than the thickness of the first packing 167a to form a step with the first packing 167a. In this case, the second packing 167b may be inclined to have a lower surface from the outer circumference to the inner circumference where the first packing 167a is provided. When the second packing 167b supports the bottom surface of the top cover 10 as shown in FIG. 9A, the first packing as shown in FIG. 9B is compressed. A vacuum is generated inside the 167a to surround the suction force, and through this, the upper cover 10 may be firmly fixed to the rod of the support cylinder 161.

아울러, 제2 패킹(167b)은 도 9의 (c)에 도시된 바와 같이 수평보조실린더(163)를 통해 서포트(165)의 높낮이를 조절함에 따라 상부커버(10)와의 접촉면으로부터 분리될 수 있다. 이를 통해, 제2 패킹(167b)의 내측으로 발생되는 흡착력을 용이하게 제거할 수 있으며, 이에 의해 상부커버(10)는 서포트유닛(160)으로부터 용이하게 분리되는 상태를 이루게 될 수 있다.In addition, the second packing 167b may be separated from the contact surface with the upper cover 10 by adjusting the height of the support 165 through the horizontal auxiliary cylinder 163 as shown in (c) of FIG. 9. . Through this, the adsorption force generated inside the second packing 167b can be easily removed, whereby the upper cover 10 can be easily separated from the support unit 160.

다른 한편, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 범위조절센서(180)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the rotation jig 100 is provided with a coupling for docking according to the present invention may further include a range control sensor 180.

범위조절센서(180)는 상부커버(10)의 승강범위를 조절하기 위한 구성으로, 예컨대, 도 2 또는 도 6에 도시된 바와 같이 상부커버(10)를 감지한 신호를 제어모듈로 전달할 수 있는 위치감지센서나 리미트센서 등으로 구성될 수 있다. 이러한, 범위조절센서(180)는 지그본체(101)의 일측에 설치되되, 지그본체(101)의 상부에 설치되어 지지부재(111)의 상부와 마주하게 배치될 수 있고, 지그본체(101)의 하부에 설치되어 지지부재(111)의 하부와 마주하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 범위조절센서(180)는 지지부재(111)가 지그본체(101)의 상부 또는 하부로 일정거리만큼 승강될 경우, 감지되는 신호를 제어모듈로 전달하여 승강장치(110)의 동작이 해제되도록 할 수 있다. 즉, 범위조절센서(180)는 상부커버(10)의 승강범위를 조절하여 지그본체(101)의 일부분과 상부커버(10)의 일부분의 충돌이 방지되도록 할 수 있다.Range adjustment sensor 180 is configured to adjust the lifting range of the upper cover 10, for example, as shown in Figure 2 or 6 can transmit a signal detecting the upper cover 10 to the control module. It may be composed of a position sensor or a limit sensor. Such, the range control sensor 180 is installed on one side of the jig body 101, it is installed on the top of the jig body 101 may be disposed to face the top of the support member 111, jig body 101 It may be installed at the lower side of the support member 111 to face the lower. Accordingly, the range control sensor 180 when the support member 111 is elevated by a predetermined distance to the upper or lower portion of the jig body 101, by transmitting a sensed signal to the control module to operate the lifting device 110 Can be released. That is, the range control sensor 180 may prevent the collision of a portion of the jig body 101 and a portion of the upper cover 10 by adjusting the lifting range of the upper cover 10.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)를 통해 상부커버(10)의 유지보수를 위한 배치과정을 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.As described above, the arrangement process for maintenance of the upper cover 10 through the rotation jig 100 having the docking coupling according to the present invention will be described with reference to the drawings.

먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 크레인을 이용하여 진공챔버(미도시)로부터 분리된 상부커버(10)를 지그본체(101)의 상부로 이동시킨다.First, as shown in (a) of FIG. 5, the upper cover 10 separated from the vacuum chamber (not shown) is moved to the upper part of the jig body 101 by using a crane.

다음, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 크레인을 통해 상부커버(10)를 하강시켜 설정된 위치에 배치시킨다.Next, as shown in (b) of FIG. 5, the upper cover 10 is lowered through a crane and disposed at a set position.

여기서, 상부커버(10)는 지그본체(101)의 하부로 이동되어 승강장치(110)의 지지부재(111)에 안착된다. 이후, 상부커버(10)는 수평조절유닛(170)에 의해 바닥면에 대하여 수평상태를 이룰 수 있고, 서포트유닛(160)에 의해 배치된 상태 그대로 고정될 수 있다.Here, the upper cover 10 is moved to the lower portion of the jig body 101 is seated on the support member 111 of the elevating device 110. Thereafter, the upper cover 10 may be in a horizontal state with respect to the bottom surface by the horizontal adjustment unit 170, it may be fixed as it is arranged by the support unit 160.

다음, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 상부커버(10)의 양측에 마련된 연결봉(13)이 승강장치(110)의 지지부재(111)에 지지된 상태를 이룬 후, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 회전축(131)이 전방을 향해 전진이동된다. 이때, 회전축(131)과 연결봉(13)에 설치된 연결수단(130) 즉, 제3 커플링(145)의 제2 돌기(145c)가 이루는 배치방향과 제2 커플링(143)의 제2 연결홈(143a)이 이루는 배치방향은 전술한 수평조절유닛(170), 서포트유닛(160) 및 회전장치(130)에 의해 동일한 방향으로 용이하게 조절될 수 있다. 이에 따라, 상부커버(10)는 연결수단(130)을 통해 회전장치(130)와 연결된 상태를 이룰 수 있다.Next, as shown in (a) of FIG. 2, the connecting rods 13 provided on both sides of the upper cover 10 form a state of being supported by the support member 111 of the elevating device 110. As shown in b), the rotating shaft 131 is moved forward. At this time, the rotation direction 131 and the connecting means 130 installed on the connecting rod 13, that is, the arrangement direction formed by the second protrusion 145c of the third coupling 145 and the second connection of the second coupling 143. The arrangement direction formed by the groove 143a may be easily adjusted in the same direction by the above-described horizontal adjusting unit 170, the support unit 160, and the rotating device 130. Accordingly, the upper cover 10 may be connected to the rotating device 130 through the connecting means 130.

다음, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이 승강장치(110)를 통해 상부커버(10)를 지그본체(101)의 상부로 상승시킨다.Next, as shown in FIG. 5C, the upper cover 10 is raised to the upper portion of the jig body 101 through the elevating device 110.

다음, 회전장치(130)를 이용하여 상부커버(10)를 반전시킨 상태 그대로, 도 5의 (d)에 도시된 바와 같이 승강장치(110)를 통해 상부커버(10)를 지그본체(101)의 하부로 하강시킨다. 이후, 상부커버(10)는 수평조절유닛(170)에 의해 바닥면에 대하여 수평상태를 이룰 수 있고, 서포트유닛(160)에 의해 배치된 상태 그대로 고정될 수 있다.Next, as the upper cover 10 is inverted using the rotating device 130, the jig main body 101 is mounted on the upper cover 10 through the elevating device 110 as shown in FIG. 5D. Lower to the bottom of. Thereafter, the upper cover 10 may be in a horizontal state with respect to the bottom surface by the horizontal adjustment unit 170, it may be fixed as it is arranged by the support unit 160.

이와 같이, 본 발명에 따른 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그(100)는 전술한 연결수단(130)을 통해 상부커버(10)를 회전장치(130)에 용이하게 연결할 수 있기 때문에 상부커버(10)를 유지보수하기 위한 작업준비 시간을 단축시킬 수 있고, 이로 인한 작업자의 편의성을 향상시킬 수 있다. As such, the rotation jig 100 provided with the coupling for docking according to the present invention can be easily connected to the upper cover 10 to the rotary device 130 through the above-described connecting means 130, the upper cover ( 10) It can shorten the preparation time for maintenance and improve the convenience of workers.

그리고, 수평조절유닛(170) 및 서포트유닛(160) 등을 통해 상부커버(10)가 배치된 상태 그대로 고정할 수 있기 때문에 상부커버(10)의 유지보수 작업이 매우 용이하다.In addition, since the upper cover 10 may be fixed as it is, through the horizontal adjusting unit 170 and the support unit 160, maintenance work of the upper cover 10 is very easy.

10 : 상부커버 13 : 연결봉
100 : 로테이션 지그 101 : 지그본체
110 : 승강장치 111 : 지지부재
111a : 회전롤러 113 : LM가이드
130 : 회전장치 131 : 회전축
133 : 회전모터 140 : 연결수단
141 : 제1 커플링 141a : 제1 연결홈
143 : 제2 커플링 143a : 제2 연결홈
145 : 제3 커플링 145a : 연결판
145b : 제1 돌기 145c : 제2 돌기
147 : 결합수단 150 : 측정센서
160 : 서포트유닛 161 : 서포트실린더
163 : 수평보조실린더 165 : 서포트
167 : 패킹 170 : 수평조절유닛
171 : 고정브라켓 173 : 수평조절실린더
175 : 링크 180 : 범위조절센서 10: upper cover 13: connecting rod
100: rotation jig 101: jig body
110: lifting device 111: support member
111a: Rotary Roller 113: LM Guide
130: rotating device 131: rotating shaft
133: rotary motor 140: connection means
141: first coupling 141a: first connection groove
143: second coupling 143a: second connection groove
145: third coupling 145a: connecting plate
145b: first projection 145c: second projection
147: coupling means 150: measuring sensor
160: support unit 161: support cylinder
163: horizontal auxiliary cylinder 165: support
167 packing 170 leveling unit
171: fixing bracket 173: horizontal adjustment cylinder
175: link 180: range adjustment sensor

Claims (4)

진공챔버의 상부커버를 반전시키는 로테이션 지그에 있어서,
상기 상부커버가 배치되는 지그본체;
상기 지그본체의 일측에 마련되고, 상기 상부커버를 지지하는 상태로, 승강시키는 승강장치;
상기 승강장치의 일측에 마련되고, 상기 승강장치에 지지된 상기 상부커버를 반전시키는 회전장치; 및
상기 상부커버와 상기 회전장치를 연결하는 연결수단;을 포함하고,
상기 연결수단은,
일단이 상기 회전장치의 회전축에 설치되되, 타단에 내측으로 함몰형성된 제1 연결홈이 바닥면에 대하여 수평하게 배치된 상태를 이루는 제1 커플링;
일단이 상기 상부커버의 양측에 각각 설치되되, 타단에 내측으로 함몰형성된 제2 연결홈이 바닥면에 대하여 수직하게 배치된 상태를 이루는 제2 커플링;
상기 제1 커플링의 상기 제1 연결홈에 설치된 상태로, 상기 제2 커플링의 상기 제2 연결홈에 걸림 상태로 연결되는 제3 커플링; 및
상기 제3 커플링을 상기 제1 커플링에 착탈가능하게 결합시키는 결합수단;을 포함하고,
상기 제3 커플링은,
상기 제1 커플링과 상기 제2 커플링 사이에 배치되고, 양측면이 제각기 상기 제1 커플링과 상기 제2 커플링의 끝단에 면접촉되는 연결판;
상기 연결판의 일측면으로부터 돌출형성되고, 상기 제1 커플링의 상기 제1 연결홈에 끼워지는 제1 돌기; 및
상기 연결판의 타측면으로부터 돌출형성되고, 상기 제2 커플링의 상기 제2 연결홈에 끼워지는 제2 돌기를 포함하며,
상기 상부커버는,
상기 제2 커플링이 설치되도록, 양측에 설치된 연결브라켓으로부터 돌출되게 마련되는 연결봉;이 마련되고,
상기 승강장치는,
내측에 일정간격을 두고 회전가능하게 설치되는 한 쌍의 회전롤러가 마련되고, 상기 회전롤러 사이에 배치되는 상기 연결봉을 회전가능하게 지지하는 지지부재; 및
상기 지지부재를 승강시키는 LM가이드;를 포함하는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그.
In the rotation jig for inverting the upper cover of the vacuum chamber,
A jig body in which the upper cover is disposed;
An elevating device provided on one side of the jig main body and supporting the upper cover to move up and down;
A rotating device provided on one side of the elevating device and inverting the upper cover supported by the elevating device; And
And connecting means for connecting the upper cover and the rotary device.
The connecting means,
A first coupling having one end installed on a rotating shaft of the rotary device and having a first connection groove recessed inward at the other end thereof horizontally disposed with respect to the bottom surface;
A second coupling having one end installed at each of both sides of the upper cover, and having a second connection groove recessed inward at the other end thereof perpendicularly to the bottom surface;
A third coupling installed in the first connection groove of the first coupling and connected to the second connection groove of the second coupling in a locked state; And
Coupling means for detachably coupling the third coupling to the first coupling;
The third coupling is,
A connecting plate disposed between the first coupling and the second coupling and having both sides thereof in surface contact with ends of the first coupling and the second coupling, respectively;
A first protrusion protruding from one side of the connecting plate and fitted into the first connecting groove of the first coupling; And
A second protrusion protruding from the other side of the connecting plate and fitted into the second connecting groove of the second coupling;
The upper cover,
A connecting rod provided to protrude from the connecting brackets installed at both sides thereof so that the second coupling is installed;
The lifting device,
A support member provided with a pair of rotary rollers rotatably installed at a predetermined interval inside, and rotatably supporting the connecting rods disposed between the rotary rollers; And
Rotation jig provided with a coupling for docking comprising a; LM guide for elevating the support member.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 연결수단은,
상기 회전장치의 회전축에 설치된 상태에서, 상기 제3 커플링과의 거리를 측정하는 측정센서;를 더 포함하는 도킹용 커플링이 구비된 로테이션 지그.According to claim 1, The connecting means,
The rotation jig provided with a docking coupling further comprising a; measuring sensor for measuring the distance to the third coupling in the state installed on the rotating shaft of the rotary device. 삭제delete
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