KR101967213B1 - Method of manufacturing magnetic porous membrane - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예는 높은 여과율을 제공할 수 있는 자성을 가지는 다공막의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 자성을 가지는 다공막을 제공한다. 여기서, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계; 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 제1관통공의 일부를 덮도록 증착되고 제1내부지름보다 작은 제2내부지름을 가지도록 형성되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계; 제1관통공의 내측에서 베이스부의 상부에 제1관통공의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브가 마련되는 단계; 다공성 멤브레인 템플릿이 제거되는 단계; 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고 각각의 나노 튜브가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막으로 생성되는 단계를 포함한다.An embodiment of the present invention provides a method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties capable of providing a high filtration rate and a porous membrane having magnetic properties produced thereby. Here, the method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties includes the steps of providing a porous membrane template having a plurality of first through holes having a first inner diameter formed therein; Providing a seed layer having a base portion deposited on one surface of the porous membrane template to cover a portion of each first through hole and having a second inner diameter smaller than the first inner diameter; Providing a nanotube of a magnetic metal material having an inside diameter corresponding to a second inside diameter formed on the inside of the first through hole so as to extend in the longitudinal direction of the first through hole at an upper portion of the base portion; Removing the porous membrane template; Removing the seed layer; And each of the nanotubes is tightly coupled to each other in a horizontal direction by magnetism to generate a porous film.

Description

자성을 가지는 다공막의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING MAGNETIC POROUS MEMBRANE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of manufacturing a porous membrane having magnetism,

본 발명은 자성을 가지는 다공막의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 자성을 가지는 다공막에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 여과율을 제공할 수 있는 자성을 가지는 다공막의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 자성을 가지는 다공막에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a porous membrane having magnetic properties and a porous membrane having magnetic properties produced thereby. More particularly, the present invention relates to a method for producing a porous membrane having magnetic properties capable of providing a high filtration rate, To a porous film.

다공성 멤브레인은 의약, 식품, 반도체, 수처리 분야 등에서 여과 기능을 구현하기 위해 다양하게 적용되고 있다.Porous membranes have been widely applied to realize filtration functions in medicine, food, semiconductor, and water treatment fields.

일반적으로, 멤브레인은 단면 구조상 대칭성 및 비대칭성 멤브레인으로 나눌 수 있다. 대칭성 멤브레인은 원수 내 입자들에 의해 막 표면 오염이 쉽게 유도되어, 투과유량이 감소하고, 사용수명이 저하되는 문제가 있다.Generally, membranes can be divided into symmetrical and asymmetric membranes in cross-sectional structure. The symmetric membrane is easily contaminated on the surface of the membrane by the particles in the raw water, the permeation flow rate is decreased, and the service life is deteriorated.

반면에, 비대칭성 멤브레인은 막 단면 중 일정위치에서 아주 조밀한 선택층과, 선택층 이외에 위치한 다공성층으로 구성될 수 있다. 선택층은 일정크기 이상의 입자를 제거할 수 있는 높은 선택성을 가지며, 다공성층은 기계적 강도유지 및 우수한 선택투과유량을 구현할 수 있다. 따라서, 비대칭성 멤브레인에 대한 연구가 상대적으로 활발하다.On the other hand, the asymmetric membrane may be composed of a very dense selective layer at a certain position in the membrane section, and a porous layer located outside the selective layer. The selective layer has high selectivity to remove particles of a certain size or more, and the porous layer can maintain the mechanical strength and realize a good selective permeation flow rate. Therefore, research on asymmetric membranes is relatively active.

도 1은 종래의 다공성 멤브레인을 나타낸 예시도이다.1 is an illustration showing a conventional porous membrane.

도 1에서 보는 바와 같이, 종래의 다공성 멤브레인(10)은 두께 방향으로 관통 형성되는 복수의 포어(11)를 가진다. As shown in FIG. 1, the conventional porous membrane 10 has a plurality of pores 11 formed in a thickness direction.

현재까지의 제조 기술에서, 다공성 멤브레인(10)의 포어(11)는 수십 내지 수백 나노미터의 지름으로 제조되고 있다. 그러나, 보다 작은 입자까지 걸러내기 위해서는 포어(11)의 지름을 더욱 작게 하는 것이 필요하다. 따라서, 수 나노미터 수준의 지름을 가지는 포어를 가지는 다공막의 제조 기술이 요구된다.In the manufacturing techniques to date, the pores 11 of the porous membrane 10 have been produced with diameters of tens to hundreds of nanometers. However, it is necessary to further reduce the diameter of the pores 11 in order to filter out even smaller particles. Accordingly, there is a demand for a technique for manufacturing a porous membrane having a pore having a diameter of several nanometers.

대한민국 공개특허공보 제2012-0123057호(2012.11.07. 공개)Korean Patent Publication No. 2012-0123057 (Published on 11.07.2012)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 높은 여과율을 제공할 수 있는 자성을 가지는 다공막의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 자성을 가지는 다공막을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, a technical problem to be solved by the present invention is to provide a method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties capable of providing a high filtration rate and a porous membrane having the magnetic property produced thereby.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공의 일부를 덮도록 증착되고 상기 제1내부지름보다 작은 제2내부지름을 가지도록 형성되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계; 상기 제1관통공의 내측에서 상기 베이스부의 상부에 상기 제1관통공의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브가 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿이 제거되는 단계; 상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고 각각의 상기 나노 튜브가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for fabricating a porous membrane, comprising: providing a porous membrane template having a plurality of first through holes having a first inner diameter; Providing a seed layer on one surface of the porous membrane template, the seed layer having a base portion deposited to cover a portion of each of the first through holes and having a second inner diameter smaller than the first inner diameter; Providing a nanotube of magnetic metal material having an inner diameter corresponding to the second inner diameter and formed to extend in a longitudinal direction of the first through hole from an inner side of the first through hole to an upper portion of the base; Removing the porous membrane template; Removing the seed layer; And each of the nanotubes is tightly coupled to each other in a horizontal direction by magnetism to produce a porous film.

한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공의 일부를 덮도록 증착되고 상기 제1내부지름보다 작은 제2내부지름을 가지도록 형성되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계; 상기 제1관통공의 내주면에 증착 형성되어 제3내부지름을 가지는 보완 레이어가 마련되는 단계; 상기 보완 레이어의 내부에서 상기 베이스부의 상부에 상기 보완 레이어의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브가 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿 및 상기 보완 레이어가 제거되는 단계; 상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고 각각의 상기 나노 튜브가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a porous membrane, comprising: providing a porous membrane template having a plurality of first through holes having a first inner diameter; Providing a seed layer on one surface of the porous membrane template, the seed layer having a base portion deposited to cover a portion of each of the first through holes and having a second inner diameter smaller than the first inner diameter; Providing a complementary layer deposited on an inner peripheral surface of the first through hole and having a third inner diameter; Providing nanotubes of magnetic metal material having an inner diameter corresponding to the second inner diameter and formed to extend in the longitudinal direction of the complementary layer on the upper portion of the base in the complementary layer; Removing the porous membrane template and the complementary layer; Removing the seed layer; And each of the nanotubes is tightly coupled to each other in a horizontal direction by magnetism to produce a porous film.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 다공막으로 생성되는 단계에서 생성되는 상기 다공막은 각각의 상기 나노 튜브에 형성되는 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 제1투과공 및 서로 밀착 결합되는 각각의 상기 나노 튜브의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 제2투과공을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the porous membrane produced in the step of forming the porous membrane includes a first porous membrane having an inner diameter corresponding to the second inner diameter formed in each of the nanotubes, And a space formed between each of the nanotubes.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 다공막으로 생성되는 단계 이후에 상기 다공막의 적어도 일면에 상기 제1투과공 및 상기 제2투과공보다 작은 크기의 제3투과공을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막이 마련되는 단계를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, after the step of forming the porous membrane, an additional step of adding a magnetic metal material having at least one surface of the porous membrane to the first through hole and a third through hole smaller than the second through hole, And a step of providing a porous film may be further included.

한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공이 막히도록 증착되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계; 상기 제1관통공의 내측에서 상기 베이스부의 상부에 증착되어 상기 제1관통공의 길이 방향으로 채워지도록 형성되는 자성 금속 재질의 나노 로드가 마련되는 단계; 상기 다공성 멤브레인 템플릿이 제거되는 단계; 상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고 각각의 상기 나노 로드가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a porous membrane, comprising: providing a porous membrane template having a plurality of first through holes having a first inner diameter; Providing a seed layer having a base portion on one surface of the porous membrane template, the base layer being deposited so that each of the first through holes is clogged; Providing a nano-rod of magnetic metal material deposited on an upper portion of the base portion inside the first through-hole to be filled in a longitudinal direction of the first through-hole; Removing the porous membrane template; Removing the seed layer; And each of the nano-rods is tightly coupled to each other in a horizontal direction by magnetic force to produce a porous film.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 다공막으로 생성되는 단계에서 생성되는 상기 다공막은 서로 밀착 결합되는 각각의 상기 나노 튜브의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 투과공을 가질 수 있다.In an embodiment of the present invention, the porous membrane produced in the step of forming the porous membrane may have a permeable hole formed as a space formed between each of the nanotubes closely coupled to each other.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 다공막으로 생성되는 단계 이후에 상기 다공막의 적어도 일면에 투과공보다 작은 크기의 추가 투과공을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막이 마련되는 단계를 더 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, after the step of forming the porous membrane, an additional porous membrane of a magnetic metal material is provided on at least one surface of the porous membrane, the porous membrane having an additional permeable hole smaller than the permeable hole .

한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 자성을 가지는 다공막의 제조방법으로 제조되는 자성을 가지는 다공막을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a magnetic porous membrane produced by a method of manufacturing a magnetic porous membrane.

본 발명의 실시예에 따르면, 다공막에 형성되는 투과공은 종래의 다공성 멤브레인의 포어보다 더욱 작게 형성될 수 있으며, 이를 통해, 더욱 작은 입자까지 필터링이 가능하다.According to the embodiment of the present invention, the permeable holes formed in the porous membrane may be formed to be smaller than the pores of the conventional porous membrane, so that even smaller particles can be filtered.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 인접한 각각의 제1투과공 간의 간격은 종래의 다공성 멤브레인에서 인접한 각각의 포어 간의 간격보다 더욱 가깝게 형성될 수 있어 보다 촘촘하게 형성될 수 있다. 그리고 제1투과공이 촘촘하게 형성됨으로써 필터링 하고자 하는 유체의 흐름 저항이 감소되고, 공극밀도(Pore Density)가 높아질 수 있으며, 따라서 높은 투수율 및 여과율이 구현될 수 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, the interval between adjacent first through holes can be formed closer to each other than the interval between adjacent pores in the conventional porous membrane, and can be formed more closely. Further, since the first through holes are formed closely, the flow resistance of the fluid to be filtered can be reduced and the pore density can be increased, and thus a high permeability and a high filtration rate can be realized.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the effects described above, but include all effects that can be deduced from the description of the invention or the composition of the invention set forth in the claims.

도 1은 종래의 다공성 멤브레인을 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 예시도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이다.1 is an illustration showing a conventional porous membrane.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a first embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating an example of a process for manufacturing a magnetic porous membrane according to a first embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating an example of a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a first embodiment of the present invention.
5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a second embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating an example of a process for manufacturing a porous film having magnetic properties according to a second embodiment of the present invention.
7 is a view illustrating an example of a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a second embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a porous film having magnetic properties according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a view illustrating a process for manufacturing a porous film having magnetic properties according to a third embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" (connected, connected, coupled) with another part, it is not only the case where it is "directly connected" "Is included. Also, when an element is referred to as " comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements unless specifically stated otherwise.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 예시도이다.FIG. 2 is a flow chart showing a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a view illustrating a process of manufacturing a magnetic porous membrane according to a first embodiment of the present invention And FIG. 4 is an exemplary view showing a method of manufacturing a porous film having magnetic properties according to a first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 본 실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1내부지름(D1)을 가지는 복수의 제1관통공(201)이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 마련되는 단계(S110)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 4, the method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties according to an embodiment of the present invention includes the steps of forming a porous membrane template 200 (FIG. 2) in which a plurality of first through holes 201 having a first inner diameter D1 are formed, (S110) may be provided.

S110 단계에서, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 양극 산화 알루미늄(AAO: Anodic Aluminum Oxide) 및 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate) 중 하나 이상의 소재로 이루어질 수 있다. 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 폴리카보네이트 소재로 이루어지는 경우, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 트랙 에치(Track-Etch) 방법으로 제조될 수 있다. 다공성 멤브레인 템플릿(200)에 형성되는 제1관통공(201)은 제1내부지름(D1)을 가질 수 있으며, 다공성 멤브레인 템플릿(200)에 전체적으로 형성될 수 있다.In step S110, the porous membrane template 200 may be made of one or more materials of anodic aluminum oxide (AAO) and polycarbonate (PC). When the porous membrane template 200 is made of a polycarbonate material, the porous membrane template 200 can be manufactured by a track-etch method. The first through hole 201 formed in the porous membrane template 200 may have a first inner diameter D1 and may be formed entirely in the porous membrane template 200.

그리고, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 각각의 제1관통공(201)의 일부를 덮도록 증착되고 제1내부지름(D1)보다 작은 제2내부지름(D2)을 가지도록 형성되는 베이스부(211)를 가지는 시드 레이어(210)가 마련되는 단계(S120)를 포함할 수 있다.The porous membrane having a magnetic property is deposited on one surface of the porous membrane template 200 so as to cover a portion of each of the first through holes 201 and has a second inside diameter D1 smaller than the first inside diameter D1 And a step S220 of providing a seed layer 210 having a base 211 formed to have a predetermined depth D2.

S120 단계에서, 시드 레이어(210)는 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 전체적으로 마련될 수 있다. 시드 레이어(210)는 금속 소재로 이루어질 수 있으며, 금속의 작은 조각을 진공 속에서 가열하여 그 증기를 물체면에 부착시키는 방법인 진공 증착방법에 의해 형성될 수 있다. In step S120, the seed layer 210 may be provided on one surface of the porous membrane template 200 as a whole. The seed layer 210 may be formed of a metal material and may be formed by vacuum deposition, which is a method of heating a small piece of metal in a vacuum to adhere the vapor to an object surface.

도 4의 (a)를 참조하면, 진공 증착 공정에서, 진공용기(300)의 내측에는 시드 레이어(210)로 형성될 금속이 증발되어 생성되는 증발분자가 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 증착될 수 있다. 여기서, 제1관통공(201)의 모서리 부분에서는 증발분자가 제1관통공(201)의 내측으로 연장 형성될 수 있으며, 이에 따라 베이스부(211)를 가지는 시드 레이어(210)가 형성될 수 있다. 베이스부(211)가 가지는 제2내부지름(D2)의 크기는 진공 증착 공정에서 증발분자의 증착 시간을 제어함으로써 조절될 수 있다.Referring to FIG. 4A, in the vacuum deposition process, the evaporation molecules generated by evaporation of the metal to be formed as the seed layer 210 are deposited on the inner surface of the vacuum container 300 by vapor deposition on one surface of the porous membrane template 200 . In the edge portion of the first through hole 201, evaporation molecules can be extended to the inside of the first through hole 201, thereby forming the seed layer 210 having the base portion 211 have. The size of the second inner diameter D2 of the base portion 211 can be controlled by controlling the deposition time of the evaporation molecules in the vacuum deposition process.

또한, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1관통공(201)의 내측에서 베이스부(211)의 상부에 제1관통공(201)의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 제2내부지름(D2)에 대응되는 내부지름(D3)을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브(220)가 마련되는 단계(S130)를 포함할 수 있다. The method of manufacturing a porous film having magnetic properties is formed by depositing the first through hole 201 on the upper portion of the base portion 211 so as to extend in the longitudinal direction of the first through hole 201, And a step S130 of providing a nanotube 220 made of a magnetic metal material having an inner diameter D3 corresponding to the inner diameter D2.

S130 단계에서, 상기 자성 금속은 강자성 소재로 이루어질 수 있으며, 강자성 소재는 니켈(Ni), 코발트(Co) 및 철(Fe) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 그리고, 나노 튜브(220)는 전기 도금 방법에 의해 형성될 수 있다. In step S130, the magnetic metal may be made of a ferromagnetic material, and the ferromagnetic material may include one or more of nickel (Ni), cobalt (Co), and iron (Fe). The nanotubes 220 may be formed by an electroplating method.

도 4의 (b)를 참조하면, 수조(310)에는 나노 튜브(220)로 형성될 자성 금속을 이온으로 포함하는 전해액(311)이 저장될 수 있다. 그리고, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 시드 레이어(210)가 상측을 향하도록 된 상태로 전해액(311)에 담길 수 있다. 이때, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 적어도 시드 레이어(210)의 상부가 전해액(311)면에 대응되도록 담길 수 있다. 이를 통해, 베이스부(211)의 하면에 금속 증착이 이루어질 수 있다. 시드 레이어(210)가 전해액(311)에 잠기지 않은 경우, 베이스부(211)에서 금속의 증착이 이루어지지 않을 수 있으며, 시드 레이어(210)가 전해액(311) 속으로 깊이 잠기는 경우, 시드 레이어(210)의 상면에 까지 불필요하게 금속 증착이 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 4 (b), an electrolytic solution 311 containing a magnetic metal, which is to be formed of the nanotubes 220, may be stored in the water tank 310. The porous membrane template 200 may be contained in the electrolyte solution 311 with the seed layer 210 facing upward. At this time, the porous membrane template 200 may contain at least the upper part of the seed layer 210 so as to correspond to the surface of the electrolyte solution 311. Thus, metal deposition can be performed on the lower surface of the base portion 211. When the seed layer 210 is not immersed in the electrolyte solution 311, deposition of metal may not be performed in the base part 211. When the seed layer 210 is deeply immersed in the electrolyte solution 311, 210 may be unnecessarily metallized.

시드 레이어(210) 및 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 음극으로 사용될 수 있으며, 전해액(311)에 담기는 나노 튜브(220) 소재의 금속부(321)는 양극으로 사용될 수 있다. 전기 도금 공정에서, 환원반응이 일어나고 베이스부(211)의 하부 및 제1관통공(201)의 내주면에 자성 금속이 증착되어 나노 튜브(220)가 마련될 수 있다. 나노 튜브(220)는 내부지름(D3)이 제2내부지름(D2)에 대응되도록 형성될 수 있으며, 나노 튜브(220)의 내부지름(D3)의 크기는 전기 도금 공정에서 자성 금속의 증착 시간을 제어함으로써 조절될 수 있다.The seed layer 210 and the porous membrane template 200 may be used as a negative electrode and the metal portion 321 of the nanotube 220 contained in the electrolyte 311 may be used as a positive electrode. In the electroplating process, a reduction reaction occurs, and a magnetic metal is deposited on the bottom of the base 211 and the inner circumferential surface of the first through hole 201 to form the nanotubes 220. The inner diameter D3 of the nanotube 220 may correspond to the second inner diameter D2 and the inner diameter D3 of the nanotube 220 may be the same as the deposition time of the magnetic metal in the electroplating process Lt; / RTI >

한편, 전술한 실시예는 예시적인 것이며, 따라서 반드시 전술한 방식으로 공정이 한정되는 것은 아니다. 즉, 시드 레이어(210)가 반드시 상측을 향할 필요는 없으며, 시드 레이어(210)에서 금속 증착이 이루어지지 않도록 해당 부분이 커버로 덮히거나, 별도의 하우징에 의해 덮혀 전해액(311)과 직접적으로 접촉되지 않도록 한다면 다른 방식의 적용이 가능하다. 예를 들어, 전술한 처리가 가능하다면 시드 레이어가 수조 바닥에 밀착되는 방식 등 다앙한 방식이 적용될 수 있다.On the other hand, the above-described embodiments are illustrative, and therefore the process is not necessarily limited in the above-described manner. That is, the seed layer 210 does not necessarily need to be directed upward. The seed layer 210 may be covered with a cover so as not to deposit the metal on the seed layer 210, or may be covered with a separate housing to directly contact the electrolyte 311 Other methods can be applied. For example, if the above-described processing is possible, a variety of methods such as a method in which the seed layer is brought into close contact with the bottom of the tank can be applied.

그리고, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 제거되는 단계(S140)를 포함할 수 있다. The method of manufacturing a magnetic porous membrane may include a step (S140) in which the porous membrane template 200 is removed.

S140 단계에서, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 에칭(Etching) 방법으로 제거될 수 있으며, 바람직하게는 습식에칭(Wet Etching) 방법에 의해 제거될 수 있다. 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 양극 산화 알루미늄으로 이루어지는 경우, 에칭액으로는 강염기 에칭제가 사용될 수 있다. 강염기 에칭제는 수산화칼륨(KOH) 및 수산화나트륨(NaOH)을 포함할 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 폴리카보네이트로 이루어지는 경우, 에칭액으로는 톨루엔을 포함하는 에칭제가 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다공성 멤브레인 템플릿(200)을 제거하기 위해 사용되는 에칭액으로는 나노 튜브(220)에는 영향을 미치지 않는 것이 사용됨이 바람직하다.In step S140, the porous membrane template 200 may be removed by an etching method, and preferably, may be removed by a wet etching method. When the porous membrane template 200 is made of anodized aluminum, a strong base etchant may be used as the etchant. Strong base etchants may include, but are not necessarily limited to, potassium hydroxide (KOH) and sodium hydroxide (NaOH). When the porous membrane template 200 is made of polycarbonate, an etchant containing toluene may be used as the etchant, but the present invention is not limited thereto. The etchant used to remove the porous membrane template 200 is preferably one that does not affect the nanotubes 220.

또한, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 시드 레이어(210)가 제거되는 단계(S150)를 포함할 수 있다.In addition, the method of manufacturing a magnetic porous film may include a step (S150) in which the seed layer 210 is removed.

S150 단계에서, 시드 레이어(210)는 강산성의 에칭제에 의해 제거될 수 있다. 상기 강산성의 에칭제로는 나노 튜브(220)에는 영향을 미치지 않는 것이 사용됨이 바람직하다.In step S150, the seed layer 210 may be removed by a strongly acidic etching agent. As the strong acidic etching agent, it is preferable to use one that does not affect the nanotubes 220.

그리고, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 각각의 나노 튜브(220)가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막(400)으로 생성되는 단계(S160)를 포함할 수 있다. The method of manufacturing a magnetic porous membrane may include a step S160 in which each of the nanotubes 220 is tightly coupled to each other in a horizontal direction by magnetism to generate a porous membrane 400.

S160 단계에서, 시드 레이어(210)가 제거되면 각각의 나노 튜브(220)는 자성에 의해 서로 밀착 결합되어 다공막(400)으로 생성될 수 있다. 그리고, 이렇게 형성되는 다공막(400)은 제2내부지름(D2)에 대응되는 내부지름(D3)으로 나노 튜브(220)에 형성되는 제1투과공(401) 및 서로 밀착 결합되는 각각의 나노 튜브(220)의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 제2투과공(402)을 가질 수 있다. In step S160, when the seed layer 210 is removed, each of the nanotubes 220 may be closely coupled to each other by magnetism, and the nanotubes 220 may be generated as a porous film 400. The porous membrane 400 thus formed has a first through hole 401 formed in the nanotube 220 with an inner diameter D3 corresponding to the second inner diameter D2 and a second through hole And a second through hole 402 made of a space formed between the tubes 220.

따라서, 도 1을 참조하여 설명한 종래의 다공성 멤브레인(10)과 비교하였을 때, 본 실시예에 따른 다공막(400)이 가지는 제1투과공(401) 및 제2투과공(402)은 종래의 다공성 멤브레인(10)의 포어(11)보다 더욱 작게 형성될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1투과공(401) 및 제2투과공(402)은 수 나노미터 수준의 크기로 형성될 수 있으며, 이를 통해, 더욱 작은 입자까지 필터링이 가능하다. 1, the first permeable hole 401 and the second permeable hole 402 of the porous membrane 400 according to the present embodiment are different from those of the conventional porous membrane 10, May be formed smaller than the pores (11) of the porous membrane (10). According to the present embodiment, the first through hole 401 and the second through hole 402 can be formed to have a size of several nanometers, thereby enabling filtering to even smaller particles.

또한, 인접한 각각의 제1투과공(401) 간의 간격은 종래의 다공성 멤브레인(10)에서 인접한 각각의 포어(11) 간의 간격보다 더욱 가깝게 형성될 수 있어 보다 촘촘하게 형성될 수 있다. 제1투과공(401)이 촘촘하게 형성되면 필터링 하고자 하는 유체의 흐름 저항을 감소시킬 수 있다. 이처럼, 본 실시예에 따른 다공막(400)은 공극밀도(Pore Density)가 높아질 수 있으며, 따라서 높은 투수율 및 여과율이 구현될 수 있다. Further, the distance between adjacent first through holes 401 can be formed closer to the spacing between adjacent pores 11 in the conventional porous membrane 10, and can be formed more closely. If the first through holes 401 are closely formed, the flow resistance of the fluid to be filtered can be reduced. As described above, the porosity (porosity) of the porous membrane 400 according to the present embodiment can be increased, and thus a high permeability and a high filtration rate can be realized.

더하여, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 다공막(400)의 적어도 일면에 제1투과공(401) 및 제2투과공(402)보다 작은 크기의 제3투과공(501)을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막(500)이 마련되는 단계(S170)를 더 포함할 수 있다.In addition, a method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties is a method of manufacturing a magnetic porous membrane having a first through hole 401 and a third through hole 501 smaller in size than the second through hole 402 on at least one surface of the porous membrane 400, (S170) in which an additional porous film 500 made of a material is provided.

S170 단계에서, 추가 다공막(500)은 자성 금속 재질로 이루어져서 다공막(400)에 밀착 결합될 수 있다. 추가 다공막(500)은 다공막(400)을 지지하여 다공막(400)이 안정적으로 형상을 유지하도록 도울 수 있다. 추가 다공막(500)은 철망(Mesh) 형태를 가질 수 있다.In step S170, the additional porous film 500 may be made of a magnetic metal material and may be tightly coupled to the porous film 400. [ The additional porous membrane 500 may support the porous membrane 400 to help the porous membrane 400 maintain a stable shape. The additional porous film 500 may have a mesh shape.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이고, 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 예시도이다. 본 실시예에서는 나노 튜브의 형상 및 이와 관련된 공정이 다를 수 있으며, 다른 구성은 제1실시예에서 전술한 내용과 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.FIG. 5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a second embodiment of the present invention. FIG. 6 is a view illustrating a process of manufacturing a magnetic porous membrane according to a second embodiment of the present invention And FIG. 7 is an exemplary view showing a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the shapes of the nanotubes and the processes related thereto may be different, and the other structures are the same as those described in the first embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

도 5 내지 도 7에서 보는 바와 같이, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1내부지름(D1)을 가지는 복수의 제1관통공(201)이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 마련되는 단계(S1100) 및 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 각각의 제1관통공(201)의 일부를 덮도록 증착되고 제1내부지름(D1)보다 작은 제2내부지름(D2)을 가지도록 형성되는 베이스부(211)를 가지는 시드 레이어(210)가 마련되는 단계(S1200)를 포함할 수 있다. S1100 단계 및 S1200 단계는 전술한 제1실시예의 S110 단계 및 S120 단계와 동일할 수 있다. 5 to 7, a method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties includes the steps of providing a porous membrane template 200 having a plurality of first through holes 201 having a first inner diameter D1, (S1100) and a second inner diameter (D2) deposited on one surface of the porous membrane template (200) to cover a portion of each first through hole (201) and smaller than the first inner diameter (D1) And a step S1200 in which a seed layer 210 having a base portion 211 is provided. Steps S1100 and S1200 may be the same as steps S110 and S120 of the first embodiment described above.

그리고, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1관통공(201)의 내주면에 증착 형성되어 제3내부지름(D4)을 가지는 보완 레이어(1250)가 마련되는 단계(S1300)를 포함할 수 있다.The method of manufacturing a porous film having magnetic properties may include a step S1300 in which a complementary layer 1250 having a third inner diameter D4 is formed by vapor deposition on the inner peripheral surface of the first through hole 201 .

S1300 단계에서, 보완 레이어(1250)는 금속 소재 또는 전도성 폴리머 소재로 이루어질 수 있으며, 전기 도금 방법에 의해 형성될 수 있다.In step S1300, the complementary layer 1250 may be formed of a metal material or a conductive polymer material, and may be formed by an electroplating method.

도 7의 (a)를 참조하면, 수조(310)에는 보완 레이어(1250)로 형성될 금속 또는 전도성 폴리머를 이온으로 포함하는 전해액(312)이 저장될 수 있다. 그리고, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 시드 레이어(210)가 상측을 향하도록 된 상태로 전해액(312)에 담길 수 있다. 이때, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 적어도 시드 레이어(210)의 상부가 전해액(312)면에 대응되도록 담길 수 있다. 시드 레이어(210) 및 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 음극으로 사용될 수 있으며, 전해액(312)에 담기는 보완 레이어(1250) 소재의 부재(322)는 양극으로 사용될 수 있다. 전기 도금 공정에서, 환원반응이 일어나고 베이스부(211)의 하부 및 제1관통공(201)의 내주면에 금속 또는 전도성 폴리머가 증착되어 보완 레이어(1250)가 마련될 수 있다. 보완 레이어(1250)의 제3내부지름(D4)의 크기는 전기 도금 공정에서 금속 또는 전도성 폴리머의 증착 시간을 제어함으로써 조절될 수 있다. Referring to FIG. 7A, an electrolytic solution 312 containing ions of a metal or a conductive polymer to be formed as a complementary layer 1250 may be stored in the water tank 310. The porous membrane template 200 may be contained in the electrolyte solution 312 with the seed layer 210 facing upward. At this time, the porous membrane template 200 may contain at least the upper part of the seed layer 210 corresponding to the surface of the electrolyte solution 312. The seed layer 210 and the porous membrane template 200 may be used as the cathode and the member 322 of the complementary layer 1250 that is contained in the electrolyte 312 may be used as the anode. In the electroplating process, a reduction reaction occurs, and a metal or a conductive polymer is deposited on the lower portion of the base 211 and the inner circumferential surface of the first through hole 201 to form a complementary layer 1250. The size of the third inner diameter D4 of the complementary layer 1250 can be controlled by controlling the deposition time of the metal or conductive polymer in the electroplating process.

한편, 전술한 실시예는 예시적인 것이며, 따라서 반드시 전술한 방식으로 공정이 한정되는 것은 아니다. 즉, 시드 레이어(210)가 반드시 상측을 향할 필요는 없으며, 시드 레이어(210)에서 금속 또는 전도성 폴리머의 증착이 이루어지지 않는 부분이 커버로 덮히거나, 별도의 하우징에 의해 덮혀 전해액(312)과 직접적으로 접촉되지 않도록 한다면 다른 방식의 적용이 가능하다. 예를 들어, 전술한 처리가 가능하다면 시드 레이어가 수조 바닥에 밀착되는 방식 등 다앙한 방식이 적용될 수 있다.On the other hand, the above-described embodiments are illustrative, and therefore the process is not necessarily limited in the above-described manner. That is, the seed layer 210 does not necessarily need to be directed upward, and a portion of the seed layer 210 where the metal or conductive polymer is not deposited may be covered with a cover, or may be covered with a separate housing, Other methods can be applied if they are not in direct contact. For example, if the above-described processing is possible, a variety of methods such as a method in which the seed layer is brought into close contact with the bottom of the tank can be applied.

그리고, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 보완 레이어(1250)의 내부에서 베이스부(211)의 상부에 보완 레이어(1250)의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 제2내부지름(D2)에 대응되는 내부지름(D5)을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브(1260)가 마련되는 단계(S1400)를 포함할 수 있다.The method of manufacturing a porous film having magnetic properties is formed by vapor deposition in the complementary layer 1250 so as to extend in the longitudinal direction of the complementary layer 1250 at the upper portion of the base portion 211 and to correspond to the second inner diameter D2 And a step S1400 of providing a nanotube 1260 made of a magnetic metal having an inner diameter D5.

도 7의 (b)를 참조하면, 수조(310)에는 나노 튜브(1260)로 형성될 자성 금속을 이온으로 포함하는 전해액(313)이 저장될 수 있다. 그리고, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 시드 레이어(210)가 상측을 향하도록 된 상태로 전해액(313)에 담길 수 있다. 이때, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 적어도 시드 레이어(210)의 상부가 전해액(313)면에 대응되도록 담길 수 있다. 시드 레이어(210) 및 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 음극으로 사용될 수 있으며, 전해액(313)에 담기는 나노 튜브(1260) 소재의 금속부(323)는 양극으로 사용될 수 있다. 전기 도금 공정에서, 환원반응이 일어나고 베이스부(211)의 하부 및 보완 레이어(1250)의 내주면에 자성 금속이 증착되어 나노 튜브(1260)가 마련될 수 있다. 나노 튜브(1260)는 내부지름(D5)이 제2내부지름(D2)에 대응되도록 형성될 수 있으며, 나노 튜브(1260)의 내부지름(D5)의 크기는 전기 도금 공정에서 자성 금속의 증착 시간을 제어함으로써 조절될 수 있다.Referring to FIG. 7 (b), an electrolytic solution 313 containing ions of a magnetic metal to be formed by the nanotubes 1260 may be stored in the water tank 310. The porous membrane template 200 may be contained in the electrolyte solution 313 with the seed layer 210 facing upward. At this time, the porous membrane template 200 may contain at least the upper part of the seed layer 210 so as to correspond to the surface of the electrolyte solution 313. The seed layer 210 and the porous membrane template 200 may be used as a negative electrode and the metal portion 323 of the nanotube 1260 contained in the electrolyte 313 may be used as a positive electrode. In the electroplating process, a reduction reaction takes place, and a magnetic metal is deposited on the lower portion of the base portion 211 and the inner peripheral surface of the complementary layer 1250 to form the nanotube 1260. The inner diameter D5 of the nanotube 1260 may correspond to the second inner diameter D2 and the inner diameter D5 of the nanotube 1260 may be equal to the deposition time of the magnetic metal in the electroplating process Lt; / RTI >

이후, 다공성 멤브레인 템플릿(200) 및 보완 레이어(1250)가 제거되는 단계(S1500)가 진행될 수 있다.Thereafter, the step of removing the porous membrane template 200 and the complementary layer 1250 (S1500) may proceed.

S1500 단계에서, 다공성 멤브레인 템플릿(200) 및 보완 레이어(1250)가 모두 금속 소재로 이루어지거나, 또는 폴리머 소재로 이루어지는 경우, 금속 소재 또는 폴리머 소재에 식각이 가능한 식각액이 사용됨으로써 다공성 멤브레인 템플릿(200) 및 보완 레이어(1250)는 동시에 제거될 수 있다. 또한, 다공성 멤브레인 템플릿(200)은 금속 소재로 이루어지고 보완 레이어(1250)는 폴리머 소재로 이루어지거나, 또는 서로 반대의 경우로 이루어지는 경우, 다공성 멤브레인 템플릿(200) 및 보완 레이어(1250)는 순차적으로 제거될 수 있다.When the porous membrane template 200 and the complementary layer 1250 are both made of a metal material or a polymer material in step S 1500, the porous membrane template 200 is etched using a metal material or an etching solution capable of etching a polymer material, And the complementary layer 1250 can be removed at the same time. When the porous membrane template 200 is made of a metal material and the complementary layer 1250 is made of a polymer material or in the opposite case, the porous membrane template 200 and the complementary layer 1250 are sequentially Can be removed.

이후, 시드 레이어가 제거되는 단계(S1600) 및 각각의 나노 튜브(1260)가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막(1400)으로 생성되는 단계(S1700)가 진행될 수 있다. S1600 단계 및 S1700 단계는 전술한 제1실시예의 S150 단계 및 S160 단계와 동일할 수 있다. Thereafter, step S1600 in which the seed layer is removed and step S1700 in which each of the nanotubes 1260 is tightly coupled to each other in the horizontal direction by magnetic force to produce a porous film 1400 can be performed. Steps S1600 and S1700 may be the same as steps S150 and S160 of the first embodiment described above.

S1700 단계에서, 시드 레이어(210)가 제거되면 각각의 나노 튜브(1260)는 자성에 의해 서로 밀착 결합되어 다공막(1400)으로 생성될 수 있다. 그리고, 이렇게 형성되는 다공막(1400)은 제2내부지름(D2)에 대응되는 내부지름(D5)으로 나노 튜브(1260)에 형성되는 제1투과공(1401) 및 서로 밀착 결합되는 각각의 나노 튜브(1260)의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 제2투과공(1402)을 가질 수 있다. In step S1700, when the seed layer 210 is removed, the respective nanotubes 1260 can be tightly coupled to each other by magnetism and can be formed as a porous film 1400. [ The porous membrane 1400 thus formed has a first through hole 1401 formed in the nanotube 1260 with an inner diameter D5 corresponding to the second inner diameter D2 and a second through hole And a second through hole 1402 made of a space formed between the tubes 1260.

그리고, 다공막(1400)의 적어도 일면에 제1투과공(1401) 및 제2투과공(1402)보다 작은 크기의 제3투과공(1501)을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막(1500)이 마련되는 단계(S1800)를 더 포함할 수 있다. S1800 단계는 전술한 제1실시예의 S170 단계와 동일할 수 있다. An additional porous film 1500 made of a magnetic metal material having a first through hole 1401 and a third through hole 1501 smaller than the second through hole 1402 is formed on at least one side of the porous film 1400 (S1800). The step S1800 may be the same as the step S170 of the first embodiment described above.

도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조방법을 나타낸 흐름도이고, 도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자성을 가지는 다공막의 제조공정을 나타낸 예시도이다. 본 실시예에서는 나노 튜브 및 이와 관련된 구성에서 차이가 있으며, 다른 구성은 전술한 제1실시예와 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.FIG. 8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a magnetic porous membrane according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a view illustrating a process of manufacturing a magnetic porous membrane according to a third embodiment of the present invention . In this embodiment, there is a difference between the nanotubes and the configurations related thereto, and the other configurations are the same as those of the first embodiment described above, so a detailed description will be omitted.

도 8 및 도 9에서 보는 바와 같이, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 제1내부지름(D1)을 가지는 복수의 제1관통공(201)이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 마련되는 단계(S2110)를 포함할 수 있다. S2110 단계는 전술한 제1실시예의 S110 단계와 동일할 수 있다.8 and 9, a method of manufacturing a porous membrane having magnetic properties includes the steps of providing a porous membrane template 200 having a plurality of first through holes 201 having a first inner diameter D1, (S2110). Step S2110 may be the same as Step S110 of the first embodiment described above.

이후, 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 각각의 제1관통공(201)이 막히도록 증착되는 베이스부(2211)를 가지는 시드 레이어(2210)가 마련되는 단계(S2120)가 진행될 수 있다.Thereafter, a step S2120 may be performed in which a seed layer 2210 having a base portion 2211 is deposited on one surface of the porous membrane template 200 so that the respective first through holes 201 are clogged.

S2120 단계에서, 시드 레이어(2210)는 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 전체적으로 마련될 수 있다. 이를 위해, 전기 도금 공정에서, 환원반응이 일어나고 다공성 멤브레인 템플릿(200)의 일면에 금속이 증착되는 과정에서, 베이스부(2211)는 금속의 증착이 제1관통공(201)의 내주면에서 제1관통공(201)의 내측으로 연장 형성되어 연결됨으로써 형성될 수 있다.In step S2120, the seed layer 2210 may be provided on one surface of the porous membrane template 200 as a whole. For this, in the electroplating process, a reduction reaction occurs and a metal is deposited on one surface of the porous membrane template 200, the base portion 2211 is formed such that the deposition of the metal is performed on the inner circumferential surface of the first through- And may be formed by extending and connecting to the inside of the through hole 201.

이후, 제1관통공(201)의 내측에서 베이스부(2211)의 상부에 증착되어 제1관통공(201)의 길이 방향으로 채워지도록 형성되는 자성 금속 재질의 나노 로드(2240)가 마련되는 단계(S2130)가 진행될 수 있다.Thereafter, a nano-rod 2240 made of a magnetic metal material is deposited on the upper portion of the base portion 2211 from the inside of the first through hole 201 to be filled in the longitudinal direction of the first through hole 201 (S2130) may proceed.

S2130 단계에서 전기 도금 공정에서 환원반응이 일어나고 베이스부(2211)의 하부 및 제1관통공(201)의 내주면에 자성 금속이 증착되어 나노 로드(2240)가 마련될 수 있다. 나노 로드(2240)는 제1관통공(201)에 채워지도록 형성될 수 있다.In step S2130, a reduction reaction occurs in the electroplating process, and a nano rod 2240 may be provided by depositing magnetic metal on the lower part of the base part 2211 and the inner peripheral surface of the first through hole 201. The nano-rod 2240 may be formed to be filled in the first through hole 201.

그리고, 다공성 멤브레인 템플릿(200)이 제거되는 단계(S2140) 및 시드 레이어(2210)가 제거되는 단계(2150)가 진행될 수 있다. S2140 단계 및 S2150 단계는 전술한 제1실시예의 S140 단계 및 S150 단계와 동일할 수 있다.The porous membrane template 200 may be removed (S2140) and the seed layer (2210) may be removed (2150). Steps S2140 and S2150 may be the same as steps S140 and S150 of the first embodiment described above.

이후, 각각의 나노 로드(2240)가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 다공막(2400)으로 생성되는 단계(S2160)가 진행될 수 있다. S2160 단계에서 생성되는 다공막(2400)은 서로 밀착 결합되는 각각의 나노 로드(2240)의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 투과공(2241)을 가질 수 있다. Thereafter, step (S2160) may be performed in which the respective nano-rods 2240 are tightly coupled to each other in the horizontal direction by the magnetic force to generate the porous film 2400. The porous membrane 2400 formed in step S2160 may have a permeability hole 2241 formed as a space formed between the respective nano-rods 2240 tightly coupled with each other.

더하여, 자성을 가지는 다공막의 제조방법은 S2160 단계 이후에 다공막(2400)의 적어도 일면에 투과공(2241)보다 작은 크기의 추가 투과공(2501)을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막(2500)이 마련되는 단계(S2170)를 더 포함할 수 있다. In addition, the method of manufacturing a porous film having magnetic properties may further include, after step S2160, an additional porous film 2500 of a magnetic metal material having at least one side of the porous film 2400 with an additional through hole 2501 smaller than the through hole 2241 (Step S2170).

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

200: 다공성 멤브레인 템플릿
201: 제1관통공
210,2210: 시드 레이어
211,2211: 베이스부
220,1260: 나노 튜브
400,1400,2400: 다공막
401,1401: 제1투과공
402,1402: 제2투과공
500,1500,2500: 추가 다공막
1250: 보완 레이어
2240: 나노 로드200: Porous Membrane Template
201: first through hole
210, 2210: seed layer
211, 2211:
220,1260: nanotubes
400, 1400, 2400: Porous membrane
401, 1401: first permeable hole
402, 1402:
500, 1500, 2500: Additional porous membrane
1250: Complement layer
2240: Nano rod

Claims (8)

제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공의 일부를 덮도록 증착되고 상기 제1내부지름보다 작은 제2내부지름을 가지도록 형성되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계;
상기 제1관통공의 내측에서 상기 베이스부의 상부에 상기 제1관통공의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브가 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿이 제거되는 단계;
상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고
각각의 상기 나노 튜브가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 입자 필터링이 가능한 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.Providing a porous membrane template on which a plurality of first through holes having a first inner diameter are formed;
Providing a seed layer on one surface of the porous membrane template, the seed layer having a base portion deposited to cover a portion of each of the first through holes and having a second inner diameter smaller than the first inner diameter;
Providing a nanotube of magnetic metal material having an inner diameter corresponding to the second inner diameter and formed to extend in a longitudinal direction of the first through hole from an inner side of the first through hole to an upper portion of the base;
Removing the porous membrane template;
Removing the seed layer; And
And each of the nanotubes is closely bonded to each other in a horizontal direction by magnetism to generate a porous membrane capable of particle filtering. 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공의 일부를 덮도록 증착되고 상기 제1내부지름보다 작은 제2내부지름을 가지도록 형성되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계;
상기 제1관통공의 내주면에 증착 형성되어 제3내부지름을 가지는 보완 레이어가 마련되는 단계;
상기 보완 레이어의 내부에서 상기 베이스부의 상부에 상기 보완 레이어의 길이 방향으로 연장되도록 증착 형성되고 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 자성 금속 재질의 나노 튜브가 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿 및 상기 보완 레이어가 제거되는 단계;
상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고
각각의 상기 나노 튜브가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 입자 필터링이 가능한 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.Providing a porous membrane template on which a plurality of first through holes having a first inner diameter are formed;
Providing a seed layer on one surface of the porous membrane template, the seed layer having a base portion deposited to cover a portion of each of the first through holes and having a second inner diameter smaller than the first inner diameter;
Providing a complementary layer deposited on an inner peripheral surface of the first through hole and having a third inner diameter;
Providing nanotubes of magnetic metal material having an inner diameter corresponding to the second inner diameter and formed to extend in the longitudinal direction of the complementary layer on the upper portion of the base in the complementary layer;
Removing the porous membrane template and the complementary layer;
Removing the seed layer; And
And each of the nanotubes is closely bonded to each other in a horizontal direction by magnetism to generate a porous membrane capable of particle filtering. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 다공막으로 생성되는 단계에서 생성되는 상기 다공막은 각각의 상기 나노 튜브에 형성되고 상기 제2내부지름에 대응되는 내부지름을 가지는 제1투과공 및 서로 밀착 결합되는 각각의 상기 나노 튜브의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 제2투과공을 가지는 것을 특징으로 하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the porous membrane formed in the step of forming the porous membrane includes a first permeable hole formed in each of the nanotubes and having an inner diameter corresponding to the second inner diameter, And a second through hole made of a space formed in the second through hole. 제3항에 있어서,
상기 다공막으로 생성되는 단계 이후에
상기 다공막의 적어도 일면에 상기 제1투과공 및 상기 제2투과공보다 작은 크기의 제3투과공을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막이 마련되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.The method of claim 3,
After the step of producing the porous film
Further comprising the step of providing an additional porous membrane made of a magnetic metal material having at least one side of the porous membrane and having a smaller size than the first permeable hole and the third permeable hole. A method for producing a porous film. 제1내부지름을 가지는 복수의 제1관통공이 형성되는 다공성 멤브레인 템플릿이 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿의 일면에 각각의 상기 제1관통공이 막히도록 증착되는 베이스부를 가지는 시드 레이어가 마련되는 단계;
상기 제1관통공의 내측에서 상기 베이스부의 상부에 증착되어 상기 제1관통공의 길이 방향으로 채워지도록 형성되는 자성 금속 재질의 나노 로드가 마련되는 단계;
상기 다공성 멤브레인 템플릿이 제거되는 단계;
상기 시드 레이어가 제거되는 단계; 그리고
각각의 상기 나노 로드가 자성에 의해 수평방향으로 서로 밀착 결합되어 입자 필터링이 가능한 다공막으로 생성되는 단계를 포함하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.Providing a porous membrane template on which a plurality of first through holes having a first inner diameter are formed;
Providing a seed layer having a base portion on one surface of the porous membrane template, the base layer being deposited so that each of the first through holes is clogged;
Providing a nano-rod of magnetic metal material deposited on an upper portion of the base portion inside the first through-hole to be filled in a longitudinal direction of the first through-hole;
Removing the porous membrane template;
Removing the seed layer; And
Wherein each of the nano-rods is bonded to each other in a horizontal direction by magnetic force to generate a porous membrane capable of particle filtering. 제5항에 있어서,
상기 다공막으로 생성되는 단계에서 생성되는 상기 다공막은 서로 밀착 결합되는 각각의 상기 나노 로드의 사이에 형성되는 공간으로 이루어지는 투과공을 가지는 것을 특징으로 하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.6. The method of claim 5,
Wherein the porous film formed in the step of forming the porous film has a through hole formed as a space formed between each of the nano-rods that are closely coupled to each other. 제6항에 있어서,
상기 다공막으로 생성되는 단계 이후에
상기 다공막의 적어도 일면에 상기 투과공보다 작은 크기의 추가 투과공을 가지는 자성 금속 재질의 추가 다공막이 마련되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성을 가지는 다공막의 제조방법.The method according to claim 6,
After the step of producing the porous film
Further comprising the step of providing an additional porous membrane made of a magnetic metal material having at least one side of the porous membrane with an additional through hole smaller than the permeable hole. 삭제delete
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