KR101956376B1 - Vacuum suction pad - Google Patents

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Abstract

개시되는 진공 흡착 패드는, 진공 발생 수단에 연통 되는 제1 측과, 외부로 연결되는 제2 측을 가지는 진공 흡착 패드로서, 양 단이 개방된 관 형상으로 구비되고, 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 경로에 배치되는 체크밸브 몸체; 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체의 내면에 밀착되게 끼워져 배치되며, 탄성 부재로 구비되고, 내부에 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 유로가 형성되며, 상기 유로를 형성하는 측벽은 상기 제2 측을 향하여 볼록한 단면으로 형성된 유속조절부;를 가지는 탄성체 실; 및 판 상으로 구비되고, 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체에 끼워져 구비되는 멤브레인 플런저;로서, 상기 멤브레인 플런저와 상기 탄성체 실의 상기 유속조절부 사이의 공간을 지나는 공기의 유속변화로 상기 멤브레인 플러저의 양면에 압력 구배가 형성되며, 상기 압력 구배에 의해 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 탄성 변형되어 상기 유로를 선택적으로 차폐하는 멤브레인 플런저;를 포함한다.The vacuum adsorption pad disclosed is a vacuum adsorption pad having a first side communicating with the vacuum generating means and a second side connected to the outside, A check valve body disposed in a path communicating the two sides; A check valve body disposed on the check valve body in a direction from the first side toward the second side, and a flow path for communicating the first side and the second side is formed inside the check valve body, And a flow rate regulating portion formed on the sidewall forming the flow path to have a convex cross section toward the second side; And a membrane plunger provided in the form of a plate and fitted in the check valve body in a direction from the second side toward the first side, the membrane plunger being disposed in a space between the membrane plunger and the flow rate adjusting portion of the elastic body chamber And a membrane plunger for selectively blocking the flow path by elastically deforming in a direction from the second side to the first side by the pressure gradient so that a pressure gradient is formed on both surfaces of the membrane plug do.

Description

진공 흡착 패드{Vacuum suction pad}Vacuum suction pad [0002]

본 발명(Disclosure)은, 진공 흡착 패드에 관한 것으로서, 진공모터를 이용하여 작업대상물을 흡착하여 이송하거나 위치를 고정 시키기 위한 장치를 구성하는 진공 흡착 패드에 관한 것이다.Disclosure of the present invention relates to a vacuum adsorption pad, and more particularly, to a vacuum adsorption pad constituting an apparatus for adsorbing and transporting a workpiece using a vacuum motor or for fixing a position thereof.

여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).Herein, the background art relating to the present invention is provided, and they are not necessarily referred to as known arts.

일반적으로, 진공 흡착 장치는, 진공을 이용하여 평판형 디스플레이 패널, 웨이퍼, 또는 반도체 패키지 등과 같은 흡착대상물의 이송 또는 위치를 고정하는데 사용되는 장치이다.2. Description of the Related Art Generally, a vacuum adsorption apparatus is an apparatus used for transferring or fixing a position of an adsorption object such as a flat panel display panel, a wafer, or a semiconductor package by using a vacuum.

이러한 진공 흡착 장치는, 복수의 진공 흡착 패드가 마련된 진공 흡착 면에 흡착대상물을 안착시킨 상태에서, 진공 흡착 패드와 연결된 진공 라인을 통해 공기를 빨아들여 대기압과 진공 흡착 패드 내 압력차로서 진공 흡착 면에 흡착대상물이 부착되도록 한다.Such a vacuum adsorption apparatus sucks in air through a vacuum line connected to the vacuum adsorption pad in a state in which an object to be adsorbed is placed on a vacuum adsorption face provided with a plurality of vacuum adsorption pads, So that the object to be adsorbed adheres.

도 1은 종래 진공 흡착 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a schematic view of a conventional vacuum adsorption apparatus.

도 1을 참조하면, 종래 진공 흡착 장치(10)는 진공 발생장치와 연결되는 진공 포트(14)가 형성된 베이스 플레이트(13)와, 베이스 플레이트(13)에 마련되며 복수의 진공 흡착 패드(11)가 형성되는 진공 흡착 면(12)으로 구성되고, 베이스 플레이트(13) 내부에는 진공 흡착 패드(11)와 진공 포트(14)를 연통시키는 진공 분배 관(15)이 형성된다.1, a conventional vacuum adsorption apparatus 10 includes a base plate 13 having a vacuum port 14 connected to a vacuum generator, a plurality of vacuum adsorption pads 11 provided on the base plate 13, And a vacuum distribution pipe 15 communicating with the vacuum adsorption pad 11 and the vacuum port 14 is formed in the base plate 13. The vacuum adsorption surface 12 is formed with the vacuum adsorption pad 11,

이에 따라, 진공펌프와 같은 진공 발생 장치로부터 베이스 플레이트(13)의 진공포트(14), 진공 분배 관(15) 및 진공 흡착 면(12)의 진공 흡착 패드(11)를 통해 흡인력이 연속적으로 전달되어 진공 흡착 면(12) 상에 배치된 흡착대상물(A)을 진공 흡착하게 된다.Accordingly, suction force is continuously transmitted from the vacuum generating device such as a vacuum pump through the vacuum port 14 of the base plate 13, the vacuum distribution pipe 15, and the vacuum adsorption pad 11 of the vacuum adsorption surface 12 So that the adsorption object A disposed on the vacuum adsorption face 12 is vacuum-adsorbed.

이와 관련한 배경기술로서 한국등록특허공보 제10-0777987호를 들 수 있다.Korean Patent Registration No. 10-0777987 is a background technique related to this.

하지만, 종래 진공 흡착 장치(10)는, 복수의 진공 흡착 패드(11)가 진공 흡착 면(12) 상에 설치된 흡착대상물(A)에 의해 모두 폐쇄되지 않는 경우, 흡착대상물(A)에 의해 폐쇄되지 않은 진공 흡착 패드(11)(도 1에서 B로 정의되는 영역)를 통해 진공 압력이 누설되기 때문에 공작물의 흡착이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.However, in the conventional vacuum adsorption apparatus 10, when the plurality of vacuum adsorption pads 11 are not all closed by the adsorption object A provided on the vacuum adsorption face 12, There is a problem in that the vacuum pressure is leaked through the vacuum adsorption pad 11 (region defined by B in Fig.

1. 한국등록특허공보 제10-0777987호1. Korean Patent Publication No. 10-0777987

본 발명(Disclosure)은, 흡착대상물에 의해 폐쇄되지 않은 상태에서 진공 압력 누설을 자동으로 방지할 수 있는 진공 흡착 패드의 제공을 일 목적으로 한다.Disclosure of the Invention The object of the present invention is to provide a vacuum adsorption pad capable of automatically preventing vacuum pressure leakage without being closed by an object to be adsorbed.

여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).The present invention is not intended to be exhaustive or to limit the scope of the present invention to the full scope of the present invention. of its features).

상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드는, 진공 발생 수단에 연통 되는 제1 측과, 외부로 연결되는 제2 측을 가지는 진공 흡착 패드로서, 양 단이 개방된 관 형상으로 구비되고, 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 경로에 배치되는 체크밸브 몸체; 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체의 내면에 밀착되게 끼워져 배치되며, 탄성 부재로 구비되고, 내부에 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 유로가 형성되며, 상기 유로를 형성하는 측벽은 상기 제2 측을 향하여 볼록한 단면으로 형성된 유속조절부;를 가지는 탄성체 실; 및 판 상으로 구비되고, 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체에 끼워져 구비되는 멤브레인 플런저;로서, 상기 멤브레인 플런저와 상기 탄성체 실의 상기 유속조절부 사이의 공간을 지나는 공기의 유속변화로 상기 멤브레인 플러저의 양면에 압력 구배가 형성되며, 상기 압력 구배에 의해 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 탄성 변형되어 상기 유로를 선택적으로 차폐하는 멤브레인 플런저;를 포함한다.In order to solve the above problems, a vacuum adsorption pad according to an aspect of the present invention is a vacuum adsorption pad having a first side communicating with a vacuum generating means and a second side connected to the outside, A check valve body provided in an open pipe shape and disposed in a path communicating the first side and the second side; A check valve body disposed on the check valve body in a direction from the first side toward the second side, and a flow path for communicating the first side and the second side is formed inside the check valve body, And a flow rate regulating portion formed on the sidewall forming the flow path to have a convex cross section toward the second side; And a membrane plunger provided in the form of a plate and fitted in the check valve body in a direction from the second side toward the first side, the membrane plunger being disposed in a space between the membrane plunger and the flow rate adjusting portion of the elastic body chamber And a membrane plunger for selectively blocking the flow path by elastically deforming in a direction from the second side to the first side by the pressure gradient so that a pressure gradient is formed on both surfaces of the membrane plug do.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 멤브레인 플런저는, 상기 탄성체 실에 선택적으로 밀착되어 상기 유로를 차폐하는 차폐판; 및 상기 차폐판의 외연을 따라 등 간격으로 배치되되, 상기 차폐판의 외연으로부터 나선형으로 연장되어 구비되며 말단이 상기 체크밸브 몸체의 내면에 의해 지지 되는 복수의 탄성변형 팔;을 가지는 것으로 제공될 수 있다.In the vacuum adsorption pad according to one aspect of the present invention, the membrane plunger includes a shield plate which is selectively in close contact with the elastic body room to shield the flow path; And a plurality of resiliently deformable arms spaced along the outer edge of the shield plate and extending spirally from the outer edge of the shield plate and having ends supported by the inner surface of the check valve body have.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 체크밸브 몸체는, 내부 단면적이 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 적어도 2회 확장되어 적어도 2 이상의 단턱이 형성되며, 상기 멤브레인 플런저는, 상기 복수의 탄성변형 팔이 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 두 번째로 위치되는 단턱에 의해 탄성 지지 되는 것으로 제공될 수 있다.In a vacuum adsorption pad according to an aspect of the present invention, the check valve body is extended at least twice in a direction in which the internal cross-sectional area is directed from the first side to the second side, The membrane plunger may be provided such that the plurality of elastically deformable arms are resiliently supported by a step located second from the first side toward the second side.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 차폐판은, 그 외주가 상기 탄성체 실의 외주에 포함되는 크기 및 형상으로 구비되되, 상기 유속조절부의 절반 이상이 포함되는 크기 및 형상으로 구비되는 것으로 제공될 수 있다.In the vacuum adsorption pad according to one aspect of the present invention, the shield plate is provided in a size and shape such that its outer periphery is included in the outer periphery of the elastic body seal, and the size and shape As shown in FIG.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 제2 측에 구비되고 외부로부터 공기가 유입되는 통로로 제공되며, 상기 차폐판의 외주보다 작게 형성되되 상기 차폐판의 중앙부를 향하도록 배치되는 흡착 홀;을 더 포함하는 것으로 제공될 수 있다.A vacuum adsorption pad according to an aspect of the present invention is provided on the second side with a passage through which air flows from the outside and is formed so as to be smaller than the outer periphery of the shield plate, And an adsorption hole disposed therein.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 유로는, 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연결하는 직선으로 형성되고, 상기 차폐판은, 상기 유로와 중심을 같이하도록 배치되는 것으로 제공될 수 있다.In the vacuum adsorption pad according to an aspect of the present invention, the flow path is formed by a straight line connecting the first side and the second side, and the shield plate is disposed so as to be centered with the flow path ≪ / RTI >

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 진공 흡착 패드에서, 상기 멤브레인 플런저는, 탄성을 가지는 금속 또는 합성수지 재질로 구비되며, 50~500um의 두께로 구비되는 것으로 제공될 수 있다.In the vacuum adsorption pad according to one aspect of the present invention, the membrane plunger is made of a metal having elasticity or a synthetic resin, and may be provided to have a thickness of 50 to 500 um.

본 발명에 따르면, 멤브레인 플런저와 탄성체 실 사이를 지나는 공기의 유속 변화에 의해, 멤브레인 플런저의 양측에 압력 차이가 발생 되며, 그 결과로 탄성체 실이 차폐되므로, 흡착대상물에 의해 폐쇄되지 않은 상태에서 진공 압력 누설을 자동으로 방지할 수 있게 된다.According to the present invention, a pressure difference is generated on both sides of the membrane plunger due to a change in the flow rate of air passing between the membrane plunger and the elastic body chamber. As a result, the elastic body seal is shielded. The pressure leakage can be prevented automatically.

도 1은, 종래 진공 흡착 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 진공 흡착 패드를 설명하기 위한 도면.
도 3은, 도 2에서 진공 흡착 패드의 외관을 보인 도면.
도 4는, 도 3의 주요부분은 분해하여 보인 도면.
도 5는, 도 2의 변형 예를 보인 도면.Brief Description of the Drawings Fig. 1 is a schematic view of a conventional vacuum adsorption apparatus. Fig.
2 is a view for explaining a vacuum adsorption pad according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 3 is an external view of the vacuum adsorption pad in Fig. 2; Fig.
4 is an exploded view of the main part of Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a view showing a modification of Fig. 2; Fig.

이하, 본 발명에 따른 진공 흡착 장치를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of a vacuum adsorption apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

다만, 본 발명의 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 사상을 이해하는 통상의 기술자는 본 개시와 동일한 기술적 사상의 범위 내에 포함되는 다양한 실시 형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 기술적 사상에 포함됨을 밝힌다.It is to be understood, however, that the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below, and those skilled in the art of the present invention, other than the scope of the present invention, It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention.

또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 기술적 내용을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다. In addition, the terms used below are selected for convenience of explanation. Therefore, the technical meaning of the present invention should not be limited to the prior meaning, but should be properly interpreted in accordance with the technical idea of the present invention.

도 2는, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 진공 흡착 패드를 설명하기 위한 도면, 도 3은, 도 2에서 진공 흡착 패드의 외관을 보인 도면, 도 4는, 도 3의 주요부분은 분해하여 보인 도면이다.Fig. 2 is a view for explaining a vacuum adsorption pad according to a first embodiment of the present invention. Fig. 3 is an external view of the vacuum adsorption pad in Fig. 2. Fig. Fig.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 진공 흡착 패드(100)는, 진공 발생 수단(예: 진공모터)에 연통 되는 제1 측(101)과, 외부로 연결되는 제2 측(102)을 가지는 진공 흡착 패드(100)에 관한 것으로서, 체크밸브 몸체(110), 탄성체 실(120), 멤브레인 플런저(130)를 가진다.2 to 4, the vacuum adsorption pad 100 according to the present embodiment includes a first side 101 communicating with a vacuum generating means (for example, a vacuum motor), and a second side The vacuum adsorption pad 100 has a check valve body 110, an elastic body chamber 120, and a membrane plunger 130.

여기서, 도 1에서 설명한 바와 같이, 공지의 진공 흡착 장치(10)를 구성하는 진공 흡착 면(12), 베이스 플레이트(13), 진공 포트(14), 진공 분배 관(15)이 그대로 적용될 수 있음은 물론이다. 1, the vacuum adsorption surface 12, the base plate 13, the vacuum port 14, and the vacuum distribution pipe 15 constituting the known vacuum adsorption apparatus 10 can be applied as they are Of course.

체크밸브 몸체(110)는, 베이스 플레이트(13)에 구비되며, 제1 측(101)과 제2 측(102)을 연통시키는 경로에 배치되고, 양 단이 개방된 관 형상으로 구비된다.The check valve body 110 is provided on the base plate 13 and is disposed in a path communicating the first side 101 and the second side 102 and is provided in a tubular shape with both ends opened.

탄성체 실(120)은, 실리콘, 고무 등과 같이 탄성력을 가지는 재질로 마련되며, 체크밸브 몸체(110)에 끼워져 구비된다.The elastic body 120 is made of a material having elasticity such as silicone, rubber, etc., and is fitted in the check valve body 110.

또한, 탄성체 실(120)은, 제1 측(101)에서 제2 측(102)을 향하는 방향으로 체크밸브 몸체(110)의 내면에 밀착되게 끼워져 배치된다.The elastic body 120 is closely fitted to the inner surface of the check valve body 110 in the direction from the first side 101 to the second side 102.

또한, 탄성체 실(120)은, 공기의 흐름을 위해, 내부에 제1 측(101)과 제2 측(102)을 연통시키는 유로(123)가 형성되며, 유로(123)를 형성하는 측벽(122)은 제2 측(102)을 향하여 볼록한 단면으로 형성된 유속조절부(121)를 가진다.The elastic body 120 is provided with a flow path 123 for communicating the first side 101 and the second side 102 in the inside thereof for the purpose of air flow, 122 has a flow rate regulating portion 121 formed to have a convex cross-section toward the second side 102.

판 상으로 마련되는 멤브레인 플런저(130)와 탄성체 실(120) 사이에 형성되는 간격이 공기가 지나는 경로가 되는데, 멤브레인 플런저(130)와 마주하는 유속조절부(121)가 볼록한 곡면으로 제공되므로, 유속의 변화가 발생 되며, 이는 결국 멤브레인 플런저(130) 양면의 압력 구배를 유도하여 멤브레인 플런저(130)의 탄성 변형을 일으켜 유로(123)를 차폐하게 된다. A gap formed between the membrane plunger 130 and the elastic body 120 provided in a plate is a path through which air flows. Since the flow rate regulating portion 121 facing the membrane plunger 130 is provided with a convex curved surface, A change in the flow velocity occurs, which eventually induces a pressure gradient on both sides of the membrane plunger 130 to cause elastic deformation of the membrane plunger 130, thereby shielding the flow path 123.

구체적으로, 본 실시형태에 따른 진공 흡착 패드(100)가 흡착대상물(A)에 의해 차폐되지 않는 경우, 진공 흡착 장치(10)에 의한 공기의 흡입이 일어나게 되는데, 이때 멤브레인 플런저(130)의 탄성 변형에 의해 유로(123)가 차폐되므로, 진공 누설의 문제가 방지된다.Specifically, when the vacuum adsorption pad 100 according to the present embodiment is not shielded by the object A to be adsorbed, air is sucked by the vacuum adsorption device 10. At this time, the elasticity of the membrane plunger 130 Since the flow path 123 is shielded by deformation, the problem of vacuum leakage is prevented.

멤브레인 플런저(130)는, 판 상으로 구비되고, 제2 측(102)에서 제1 측(101)을 향하는 방향으로 체크밸브 몸체(110)에 끼워져 구비된다.The membrane plunger 130 is provided in a plate form and is fitted in the check valve body 110 in a direction from the second side 102 to the first side 101.

앞서 설명한 바와 같이, 멤브레인 플런저(130)는, 그것과 탄성체 실(120)의 유속조절부(121) 사이의 공간을 지나는 공기의 유속변화로 멤브레인 플런저(130)의 양면에 압력 구배가 형성되며, 압력 구배에 의해 제2 측(102)에서 제1 측(101)을 향하는 방향으로 탄성 변형되어 유로(123)를 선택적으로 차폐한다.The membrane plunger 130 has a pressure gradient formed on both surfaces of the membrane plunger 130 due to a change in the flow rate of air passing through the space between the membrane plunger 130 and the flow rate adjusting portion 121 of the elastic body 120, Is elastically deformed in the direction from the second side (102) toward the first side (101) by the pressure gradient to selectively shield the flow path (123).

구체적으로, 멤브레인 플런저(130)는, 차폐판(131)과 복수의 탄성변형 팔(132)을 가진다.Specifically, the membrane plunger 130 has a shielding plate 131 and a plurality of elastically deformable arms 132.

여기서, 차폐판(131)과 복수의 탄성변형 팔(132)은 일체로 형성된다.Here, the shielding plate 131 and the plurality of resilient deformed arms 132 are integrally formed.

차폐판(131)은, 탄성체 실(120)에 선택적으로 밀착되어 유로(123)를 차폐하는 구성으로서, 그 외주가 탄성체 실(120)의 외주에 포함되는 크기 및 형상으로 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the shielding plate 131 is provided in a size and shape such that the outer periphery of the shielding plate 131 is included in the outer periphery of the elastic body seal 120 by being selectively in close contact with the elastic body seal 120 to shield the flow path 123.

또한, 차폐판(131)은, 유속조절부(121)의 절반 이상이 포함되는 크기 및 형상으로 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the shield plate 131 is provided in a size and shape including at least half of the flow rate regulator 121.

복수의 탄성변형 팔(132)은, 차폐판(131)의 외연을 따라 등 간격으로 배치된다.The plurality of elastically deformable arms 132 are arranged at regular intervals along the outer edge of the shielding plate 131.

또한, 복수의 탄성변형 팔(132)은, 차폐판(131)의 외연으로부터 나선형으로 연장되어 구비되며, 말단이 체크밸브 몸체(110)의 내면에 의해 지지 된다.The plurality of elastically deformable arms 132 are provided extending spirally from the outer edge of the shielding plate 131 and the ends thereof are supported by the inner surface of the check valve body 110.

이에 의해, 차폐판(131)의 평행이동이 가능하게 된다.Thereby, parallel movement of the shield plate 131 becomes possible.

한편, 멤브레인 플런저(130)는, 탄성을 가지는 금속 또는 합성수지 재질로 구비되며, 50~500um의 두께로 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, the membrane plunger 130 is made of a metal having elasticity or a synthetic resin, and preferably has a thickness of 50 to 500 μm.

한편, 본 실시형태에서, 체크밸브 몸체(110)는, 내부 단면적이 제1 측(101)에서 제2 측(102)을 향하는 방향으로 2회 확장되어 2 이상의 단턱(111a,111b)이 형성되도록 구비되는 것이 바람직하다.In the present embodiment, the check valve body 110 is formed such that the internal cross-sectional area is expanded twice in the direction from the first side 101 to the second side 102 to form two or more steps 111a and 111b .

이 경우, 멤브레인 플런저(130)는, 복수의 탄성변형 팔(132)이 제1 측(101)에서 제2 측(102)을 향하는 방향으로 두 번째로 위치되는 단턱(111b)에 의해 탄성 지지 되도록 구비된다.In this case, the membrane plunger 130 is configured such that the plurality of resiliently deformable arms 132 are resiliently supported by the step 111b located second from the first side 101 toward the second side 102 Respectively.

또한, 탄성체 실(120)의 유속조절부(121)는 제1 측(101)에서 제2 측(102)을 향하는 방향으로 첫번째 위치되는 단턱(111a)에서 약간 돌출되게 배치된다. The flow rate regulating portion 121 of the elastic body 120 is disposed to protrude slightly from the step 111a that is first positioned in the direction from the first side 101 to the second side 102. [

한편, 본 실시형태에 있어서, 유로(123)는, 제1 측(101)과 제2 측(102)을 연결하는 직선으로 형성되고, 차폐판(131)은, 유로(123)와 중심을 같이하도록 배치되는 것이 바람직하다.In the present embodiment, the flow path 123 is formed by a straight line connecting the first side 101 and the second side 102, and the shielding plate 131 is formed so as to be concentric with the flow path 123 .

다음으로, 도 5는, 도 2의 변형 예를 보인 도면이다.Next, Fig. 5 is a diagram showing a modified example of Fig.

도 5를 참조하면, 본 실시형태에 따른 진공 흡착 패드(100)는, 제2 측(102)에 구비되고 외부로부터 공기가 유입되는 통로로 제공되며, 차폐판(131)의 외주보다 작게 형성되되, 차폐판(131)의 중앙부를 향하도록 배치되는 흡착 홀(140)을 더 포함하는 것이 바람직하다.5, the vacuum adsorption pad 100 according to the present embodiment is provided on the second side 102 and is provided as a passage through which air flows from the outside, and is formed to be smaller than the outer periphery of the shield plate 131 , And a suction hole (140) arranged to face a central portion of the shield plate (131).

이에 의하면, 공기가 흡착 홀(140)을 통해 차폐판(131)의 중앙부로 공급되므로, 유속조절부(121)에 의한 유속변화 정도가 작더라도, 멤브레인 플런저(130) 양측의 압력 구배가 형성되어 유로(123)를 신속히 차폐할 수 있게 된다.Since the air is supplied to the central portion of the shielding plate 131 through the suction holes 140, a pressure gradient on both sides of the membrane plunger 130 is formed even if the flow rate change by the flow rate adjusting unit 121 is small The flow path 123 can be quickly shut off.

Claims (7)

진공 발생 수단에 연통 되는 제1 측과, 외부로 연결되는 제2 측을 가지는 진공 흡착 패드로서,
양 단이 개방된 관 형상으로 구비되고, 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 경로에 배치되는 체크밸브 몸체;
상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체의 내면에 밀착되게 끼워져 배치되며, 탄성 부재로 구비되고, 내부에 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연통시키는 유로가 형성되며, 상기 유로를 형성하는 측벽은 상기 제2 측을 향하여 볼록한 단면으로 형성된 유속조절부;를 가지는 탄성체 실; 및
판 상으로 구비되고, 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 상기 체크밸브 몸체에 끼워져 구비되는 멤브레인 플런저;로서, 상기 멤브레인 플런저와 상기 탄성체 실의 상기 유속조절부 사이의 공간을 지나는 공기의 유속변화로 상기 멤브레인 플러저의 양면에 압력 구배가 형성되며, 상기 압력 구배에 의해 상기 제2 측에서 상기 제1 측을 향하는 방향으로 탄성 변형되어 상기 유로를 선택적으로 차폐하는 멤브레인 플런저;를 포함하되,
상기 멤브레인 플런저는,
상기 탄성체 실에 선택적으로 밀착되어 상기 유로를 차폐하는 차폐판; 및
상기 차폐판의 외연을 따라 등 간격으로 배치되되, 상기 차폐판의 외연으로부터 나선형으로 연장되어 구비되며 말단이 상기 체크밸브 몸체의 내면에 의해 지지 되는 복수의 탄성변형 팔;을 가지는 것을 특징으로 하며,
상기 체크밸브 몸체는, 내부 단면적이 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 적어도 2회 확장되어 적어도 2 이상의 단턱이 형성되며,
상기 멤브레인 플런저는, 상기 복수의 탄성변형 팔이 상기 제1 측에서 상기 제2 측을 향하는 방향으로 두 번째로 위치되는 단턱에 의해 탄성 지지 되는 것을 특징으로 하고,
상기 차폐판은, 그 외주가 상기 탄성체 실의 외주에 포함되는 크기 및 형상으로 구비되되, 상기 유속조절부의 절반 이상이 포함되는 크기 및 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하고,
판 상으로 마련되는 상기 멤브레인 플런저와, 상기 탄성체 실 사이에 형성되는 간격이 공기가 지나는 경로로 제공되며, 상기 멤브레인 플런저와 마주하는 상기유속조절부가 볼록한 곡면으로 제공되므로, 유속의 변화가 발생 되며, 이에 의해 상기 멤브레인 플런저 양면의 압력 구배를 유도하여 상기 멤브레인 플런저의 탄성 변형을 일으켜 상기 유속조절부에 밀착됨으로써 상기 유로를 차폐하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 패드.A vacuum adsorption pad having a first side communicating with the vacuum generating means and a second side connected to the outside,
A check valve body provided in a tubular shape with both ends opened and disposed in a path communicating the first side and the second side;
A check valve body disposed on the check valve body in a direction from the first side toward the second side, and a flow path for communicating the first side and the second side is formed inside the check valve body, And a flow rate regulating portion formed on the sidewall forming the flow path to have a convex cross section toward the second side; And
A membrane plunger provided in the form of a plate and fitted in the check valve body in a direction from the second side to the first side, the membrane plunger comprising: an air passage passing through a space between the membrane plunger and the flow rate control section of the elastic body chamber And a membrane plunger selectively elastically deforming in a direction from the second side toward the first side by the pressure gradient to shield the flow path selectively, ,
The membrane plunger may include:
A shielding plate selectively sealingly attached to the elastic body to shield the flow path; And
And a plurality of elastically deformable arms which are arranged at equal intervals along the outer edge of the shield plate and extend spirally from the outer edge of the shield plate and whose ends are supported by the inner surface of the check valve body,
Wherein the check valve body is extended at least twice in a direction in which the internal cross-sectional area is from the first side toward the second side to form at least two stepped portions,
Characterized in that the membrane plunger is resiliently supported by the step where the plurality of resiliently deformable arms are positioned second from the first side toward the second side,
Wherein the shield plate is provided in a size and shape such that the outer periphery thereof is included in the outer periphery of the elastic body chamber and is provided in a size and shape including at least half of the flow rate regulation portion,
Wherein a gap formed between the membrane plunger and the elastic body chamber provided in a plate form is provided as a path through which air flows and the flow rate adjusting portion facing the membrane plunger is provided with a convex curved surface, Thereby inducing a pressure gradient on both sides of the membrane plunger to cause elastic deformation of the membrane plunger, and thereby adhere to the flow rate regulating portion to thereby shield the flow path. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제2 측에 구비되고 외부로부터 공기가 유입되는 통로로 제공되며, 상기 차폐판의 외주보다 작게 형성되되 상기 차폐판의 중앙부를 향하도록 배치되는 흡착 홀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 패드.The method according to claim 1,
And a suction hole provided on the second side and provided as a passage through which air flows from the outside, the suction hole being formed to be smaller than the outer circumference of the shield plate and disposed to face a central portion of the shield plate. pad. 청구항 5에 있어서,
상기 유로는, 상기 제1 측과 상기 제2 측을 연결하는 직선으로 형성되고,
상기 차폐판은, 상기 유로와 중심을 같이하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 패드.The method of claim 5,
Wherein the flow path is formed by a straight line connecting the first side and the second side,
Wherein the shield plate is disposed so as to be centered with the flow path. 청구항 1에 있어서,
상기 멤브레인 플런저는, 탄성을 가지는 금속 또는 합성수지 재질로 구비되며, 50~500um의 두께로 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 패드.
The method according to claim 1,
Wherein the membrane plunger is made of a metal having elasticity or a synthetic resin and has a thickness of 50 to 500 um.
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