KR101953760B1 - Sensor capable of measuring pressure or shear stress, sensor substrate and insole using the same - Google Patents

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KR101953760B1 KR1020170083782A KR20170083782A KR101953760B1 KR 101953760 B1 KR101953760 B1 KR 101953760B1 KR 1020170083782 A KR1020170083782 A KR 1020170083782A KR 20170083782 A KR20170083782 A KR 20170083782A KR 101953760 B1 KR101953760 B1 KR 101953760B1
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Abstract

본 발명은 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 관한 것으로서, 변형부재와, 기준 전극과, 주변 전극을 포함한다. 변형부재는 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성된다. 기준 전극은 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치된다. 복수의 주변 전극은 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 변형부재와의 접촉면적이 변경된다. 본 발명은 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서는 기준 전극과 주변 전극 사이에서 검출되고 변형부재와 주변 전극의 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 이용하여 가해지는 수직력 또는 전단력을 측정한다.The present invention relates to a sensor capable of measuring vertical force or shear force, and includes a deformable member, a reference electrode, and a peripheral electrode. The deformable member has an electrical conductivity and is formed of an elastic material so that it can be deformed when a normal force or a shearing force is applied. The reference electrode is arranged to be electrically connected to the deformable member. The plurality of peripheral electrodes are disposed apart from each other on the outer side of the deformable member, and when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member, the contact area with the deformable member changes according to the amount of deformation. In the present invention, a sensor capable of measuring vertical force or shear force is detected between a reference electrode and a peripheral electrode, and measures a normal force or a shearing force applied using an electrical signal corresponding to a contact area between the deformable member and the peripheral electrode.

Description

수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창{Sensor capable of measuring pressure or shear stress, sensor substrate and insole using the same}[0001] The present invention relates to a sensor capable of measuring vertical force or shear force, a sensor array substrate, and a shoe insole using the sensor substrate,

본 발명은 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간단한 구조로 수직력 또는 전단력의 크기 및 방향을 용이하게 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor capable of measuring a vertical force or a shearing force, a sensor array substrate using the same, and a shoe sole. More particularly, the present invention can measure a vertical force or a shear force A sensor array substrate using the sensor, and a shoe insole.

압력센서는 특정 시스템에서 압력을 측정하는 소자로서 공업계측, 자동제어, 의료, 자동차 엔지니어, 환경제어, 전기용품 등 그 용도가 다양하고, 폭넓게 사용되는 센서이다. 압력센서의 측정원리는 변위, 변형 등에 따른 전기적 변화를 측정하는 것으로 다양한 형태의 센서가 실용화되고 있다.A pressure sensor is a device that measures pressure in a specific system, and is widely used for various applications such as industrial measurement, automatic control, medical, automotive engineer, environmental control, and electric appliances. The measurement principle of a pressure sensor is to measure an electrical change due to displacement, deformation, etc., and various types of sensors are put into practical use.

압력센서의 유형에는 부로돈관이나 벨로우즈를 사용한 기계식 압력센서와, 스트레인 게이지를 사용한 압저항형 전자식 압력센서나, 두 개 물체 간의 정전용량의 변위를 측정하는 용량형의 전자식 압력센서 등이 있다. 특히 스트레인 게이지를 사용한 압저항형 센서는 성능이나 가격의 측면에서 우위에 있어 가장 많이 사용되고 있는 추세이다.Types of pressure sensors include mechanical pressure sensors using bellows or bellows, pressure resistive electronic pressure sensors using strain gauges, and capacitive electronic pressure sensors measuring the displacement of capacitances between two objects. In particular, piezoresistive sensors using strain gauges are the most popular in terms of performance and price.

스트레인은 변형도 또는 변형률을 나타내는 용어로서, 어느 물체가 인장 또는 압축을 받을 때 원래의 길이에서 늘어나거나 줄어든 길이를 비율로 표시한 것이고, 토목공학, 기계공학, 항공공학, 전자공학 등 구조물이나 기계요소의 해석을 다루는 분야에서 구조물이나 기계요소가 외부의 힘을 받아 변형이 발생할 때 사용하는 용어이다.Strain refers to the degree of deformation or strain, which is the ratio of the length of an object stretched or shrunk to its original length when stretched or compressed. In the field of dealing with element analysis, it is a term used when a structure or a mechanical element receives external force and deformation occurs.

스트레인 게이지는 이러한 스트레인에 의하여 구조물이 변형되는 상태와 그 양을 측정하기 위하여 구조물의 표면에 부착하는 게이지로서, 구조물이 변형되는 양을 저항으로 변화하여 측정하는 전기식 스트레인 게이지와 변형되는 구조물의 거리변화를 기계적으로 측정하는 기계식 스트레인 게이지가 있다.A strain gauge is a gauge attached to the surface of a structure to measure the state and amount of the strain due to such strain. An electric strain gauge measures the strain of the structure by varying the resistance, There are mechanical strain gauges that measure mechanically.

전기식 스트레인 게이지의 소자는 저항 변화가 큰 금속을 사용하는데, 저항 변화가 큰 금속을 사용하는 경우 절연체 위에 와이어 또는 포일 형태로 저항선을 만들어서 저항을 측정한다.An electric strain gage device uses a metal with a large resistance change. When a metal having a large resistance change is used, resistance is measured by forming a resistance wire in the form of a wire or a foil on an insulator.

이러한 스트레인 게이지가 구비된 센서는 기계 등의 고장이나 안전 사고를 방지하고, 사용자로 하여금 돌발 상황을 신속하게 인식하여 대응할 수 있도록 한다. 그리고 이러한 센서는 그 부피가 작을수록 다른 구동 파트에 영향을 안 미치고 공간 효율을 좋게 할 수 있다.Sensors equipped with such strain gauges prevent malfunctions or safety accidents of machines and the like, and enable the user to quickly recognize and respond to an unexpected situation. Also, the smaller the volume of such a sensor, the less influence on other driving parts and the better the space efficiency.

그런데 이러한 압력센서는 변형 구조물에 수직 방향으로 가해지는 수직력에 따른 변형률을 측정할 수 있을 뿐이고, 변형 구조물에 수평 방향으로 가해지는 전단력에 따른 변형률을 측정하기 어렵다.However, it is difficult to measure the strain due to the shear force applied to the deformed structure in the horizontal direction, because the pressure sensor can only measure the strain according to the normal force applied to the deformed structure in the vertical direction.

또한, 압력센서에서 전단력에 따른 변형률을 측정하기 위해서는 전단력에 따라 변형되는 변형 구조물을 별도로 구비해야 하는데, 이는 센서의 전체 크기를 증가시키게 되는 문제가 있다.Further, in order to measure the strain according to the shear force in the pressure sensor, it is necessary to separately provide a deformation structure deformed according to the shear force, which increases the overall size of the sensor.

한국공개특허공보 제2014-0000372호(2014.01.03 공개, 발명의 명칭 : 압력 및 전단력 측정이 가능한 변형 측정 센서 및 그 구조물)Korean Unexamined Patent Publication No. 2014-0000372 (published on Apr. 1, 2013, entitled " Deformation Measurement Sensor and Its Structure Capable of Measuring Pressure and Shear Force)

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 변형부재의 변형량에 따라 변형부재와 주변 전극 사이의 접촉면적이 변경되고, 변경되는 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 검출함으로써, 소형의 구조로 수직력 또는 전단력을 모두 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a semiconductor device, A sensor array substrate using the sensor, and a shoe sole that can measure a normal force or a shearing force with a compact structure.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서는, 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되는 변형부재; 상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되는 복수의 주변 전극;를 포함하고, 상기 기준 전극과 상기 주변 전극 사이에서 검출되고 상기 변형부재와 상기 주변 전극의 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 이용하여 가해지는 수직력 또는 전단력을 측정하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a sensor capable of measuring vertical force or shear force according to the present invention comprises: a deformable member having an electric conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied; A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And a plurality of peripheral electrodes spaced apart from each other at an outer side of the deformable member and having a contact area with the deformable member changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member, And measuring a vertical force or shear force applied between the reference electrode and the peripheral electrode using an electrical signal corresponding to a contact area between the deformable member and the peripheral electrode.

본 발명에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 있어서, 상기 복수의 주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor capable of measuring the vertical force or the shearing force according to the present invention, the plurality of peripheral electrodes may include four peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction outside the deformable member.

본 발명에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 있어서, 상기 복수의 주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1주변 전극과, 상기 제1주변 전극의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제2주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor according to the present invention, the plurality of peripheral electrodes may include a plurality of first peripheral electrodes spaced apart from each other on the outer side of the deformable member, and a plurality of second peripheral electrodes spaced apart from each other And a plurality of second peripheral electrodes arranged so as to be spaced apart from each other.

본 발명에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 있어서, 상기 복수의 제1주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제1주변 전극을 포함하고, 상기 복수의 제2주변 전극은, 상기 제1주변 전극의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제2주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor according to the present invention, it is preferable that the plurality of first peripheral electrodes include four first peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the deformable member, and the plurality The second peripheral electrode may include four second peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the first peripheral electrode.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 센서 어레이 기판은, 베이스 기판; 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 상기 베이스 기판에 이격되게 배치되는 복수의 변형부재; 상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되는 복수의 주변 전극;를 포함하고, 상기 복수의 변형부재는, 제1탄성계수를 가지는 제1변형부재와, 상기 제1탄성계수보다 큰 제2탄성계수를 가지는 제2변형부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a sensor array substrate comprising: a base substrate; A plurality of deforming members having electrical conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied, and spaced apart from the base substrate; A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And a plurality of peripheral electrodes spaced apart from each other at an outer side of the deformable member and having a contact area with the deformable member changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member, , The plurality of deformable members include a first deformable member having a first elastic modulus and a second deformable member having a second elastic modulus larger than the first elastic modulus.

본 발명에 따른 센서 어레이 기판에 있어서, 상기 제2변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기는 상기 제1변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기보다 클 수 있다.In the sensor array substrate according to the present invention, the vertical force or the shearing force measured by the second deforming member may be greater than the normal force or the shearing force measured by the first deforming member.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 센서 어레이 기판은, 베이스 기판; 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 상기 베이스 기판에 이격되게 배치되는 복수의 변형부재; 상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되는 복수의 주변 전극;를 포함하고, 상기 복수의 변형부재는, 상기 변형부재의 표면과 상기 베이스 기판의 표면이 이루는 제1접촉각을 가지는 제1변형부재와, 상기 제1접촉각보다 작은 제2접촉각을 가지는 제2변형부재를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a sensor array substrate comprising: a base substrate; A plurality of deforming members having electrical conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied, and spaced apart from the base substrate; A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And a plurality of peripheral electrodes spaced apart from each other at an outer side of the deformable member and having a contact area with the deformable member changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member, , The plurality of deformable members include a first deformable member having a first contact angle formed by the surface of the deformable member and the surface of the base substrate and a second deformable member having a second contact angle smaller than the first contact angle .

본 발명에 따른 센서 어레이 기판에 있어서, 상기 제2변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기는 상기 제1변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기보다 클 수 있다.In the sensor array substrate according to the present invention, the vertical force or the shearing force measured by the second deforming member may be greater than the normal force or the shearing force measured by the first deforming member.

본 발명에 따른 센서 어레이 기판에 있어서, 상기 복수의 주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor array substrate according to the present invention, the plurality of peripheral electrodes may include four peripheral electrodes spaced from each other along the circumferential direction on the outer side of the deformable member.

본 발명에 따른 센서 어레이 기판에 있어서, 상기 복수의 주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1주변 전극과, 상기 제1주변 전극의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제2주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor array substrate according to the present invention, the plurality of peripheral electrodes may include a plurality of first peripheral electrodes spaced apart from each other on the outer side of the deformable member, and a plurality of second peripheral electrodes spaced from each other on the outer side of the first peripheral electrodes Of the second peripheral electrode.

본 발명에 따른 센서 어레이 기판에 있어서, 상기 복수의 제1주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제1주변 전극을 포함하고, 상기 복수의 제2주변 전극은, 상기 제1주변 전극의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제2주변 전극을 포함할 수 있다.In the sensor array substrate according to the present invention, the plurality of first peripheral electrodes include four first peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the deformable member, and the plurality of second peripheral electrodes The electrode may include four second peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the first peripheral electrode.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 신발 안창은, 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서가 설치된 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a shoe sole comprising a sensor capable of measuring vertical force or shear force.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 신발 안창은, 센서 어레이 기판이 설치된 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a shoe insole comprising a sensor array substrate.

본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 따르면, 소형의 구조로 수직력 또는 전단력을 모두 측정할 수 있다.According to the sensor capable of measuring the vertical force or shear force of the present invention, the sensor array substrate and the shoe insole using the sensor, the vertical force or the shearing force can be measured in a compact structure.

또한, 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 따르면, 전단력이 가해지는 방향에 대한 분해능을 향상시킬 수 있다.Further, according to the sensor capable of measuring the vertical force or the shearing force of the present invention, the sensor array substrate and the shoe insole using the sensor, the resolution for the direction in which shear force is applied can be improved.

또한, 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 따르면, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.In addition, according to the sensor capable of measuring the vertical force or shear force of the present invention, the sensor array substrate and the shoe insole using the same, the range of the normal force or the shearing force that can be measured can be extended.

또한, 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창에 따르면, 소형화를 통해 휴대성을 높일 수 있고, 생산 비용을 줄여 보행거동을 측정하는 환자의 치료 비용을 경감시킬 수 있다.In addition, according to the sensor capable of measuring the vertical force or the shearing force of the present invention, the sensor array substrate and the shoe insole using the sensor, the portability can be improved through miniaturization, and the manufacturing cost can be reduced, .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 수직력이 가해진 상태를 도시한 도면이고,
도 3은 도 1의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 전단력이 가해진 상태를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 5는 도 4의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 수직력이 가해진 상태를 도시한 도면이고,
도 6은 도 4의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 전단력이 가해진 상태를 도시한 도면이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 도면이고,
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 신발 안창을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a schematic view of a sensor capable of measuring vertical force or shear force according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a view showing a state in which a normal force is applied to a sensor capable of measuring the normal force or the shearing force of FIG. 1,
FIG. 3 is a view showing a state in which a shear force is applied to a sensor capable of measuring the vertical force or the shearing force of FIG. 1,
4 is a view schematically showing a sensor capable of measuring vertical force or shear force according to another embodiment of the present invention,
FIG. 5 is a view showing a state in which a normal force is applied to a sensor capable of measuring the vertical force or shear force of FIG. 4,
FIG. 6 is a view showing a state where a shear force is applied to a sensor capable of measuring the vertical force or the shearing force of FIG. 4,
7 is a view schematically showing a sensor array substrate according to an embodiment of the present invention,
8 is a view schematically showing a sensor array substrate according to another embodiment of the present invention,
9 is a view schematically showing a shoe insole according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 이를 이용한 센서 어레이 기판 및 신발 안창의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a sensor capable of measuring vertical force or shear force according to the present invention, a sensor array substrate using the same, and shoe inlets will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 수직력이 가해진 상태를 도시한 도면이고, 도 3은 도 1의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 전단력이 가해진 상태를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view schematically showing a sensor capable of measuring a vertical force or a shearing force according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing a state in which a normal force is applied to a sensor capable of measuring a vertical force or a shearing force, FIG. 3 is a view showing a state in which a shear force is applied to a sensor capable of measuring the normal force or the shearing force of FIG. 1. FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서(100)는 간단한 구조로 수직력 또는 전단력의 크기 및 방향을 용이하게 측정할 수 있는 것으로서, 변형부재(110)와, 기준 전극(120)과, 주변 전극(130)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 to 3, the sensor 100 capable of measuring a vertical force or a shearing force according to the present embodiment can easily measure the magnitude and direction of a vertical force or a shearing force with a simple structure. A reference electrode 120, and a peripheral electrode 130.

상기 변형부재(110)는 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성된다.The deformable member 110 has electrical conductivity and is formed of an elastic material so that it can be deformed when a normal force or a shearing force is applied.

변형부재(110)에 수직력 또는 전단력이 가해지기 전, 변형부재(110)는 기준 전극(120)과는 접촉되지만 주변 전극(130)과는 접촉되지 않는다. 따라서, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 주변 전극(130)은 전기적으로 연결되지 않는다.The deformable member 110 is in contact with the reference electrode 120 but not with the peripheral electrode 130 before a normal force or a shearing force is applied to the deformable member 110. [ Therefore, the reference electrode 120, the deformable member 110, and the peripheral electrode 130 are not electrically connected.

변형부재(110)에 수직력 또는 전단력이 가해지면, 변형부재(110)는 수직력 또는 전단력이 가해지는 방향으로 변형되면서 주변 전극(130)과 접촉될 수 있다. 이때, 변형부재(110)는 전기 전도성 재질로 형성되므로, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 주변 전극(130)은 전기적으로 연결되고, 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다.When a normal force or a shearing force is applied to the deformable member 110, the deformable member 110 can be contacted with the surrounding electrode 130 while being deformed in a direction in which a normal force or a shearing force is applied. Since the deformable member 110 is formed of an electrically conductive material, the reference electrode 120, the deformable member 110, and the peripheral electrode 130 are electrically connected to each other, and between the reference electrode 120 and the peripheral electrode 130 An electrical signal can be detected.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 변형부재(110)는 반구형 혹은 구형의 일부와 같은 형상을 갖는 미세 구조물로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the deformable member 110 of the present embodiment may be formed as a microstructure having a shape such as a hemisphere or a part of a spherical shape.

상기 기준 전극(120)은 변형부재(110)에 수직력 또는 전단력이 가해지기 전후에 항상 변형부재(110)와 전기적으로 연결되도록 배치된다.The reference electrode 120 is arranged to be electrically connected to the deformable member 110 at all times before or after a normal force or a shearing force is applied to the deformable member 110.

도 1을 참조하면, 본 실시예의 기준 전극(120)은 변형부재(110)의 중심부의 하부에 변형부재(110)와 접촉되도록 배치되고, 전기 전도성이 우수한 구리 등의 재질로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the reference electrode 120 of the present embodiment is disposed to be in contact with the deformable member 110 at a lower portion of the center of the deformable member 110, and may be formed of copper or the like having excellent electrical conductivity.

상기 주변 전극(130)은 복수 개가 마련되어 변형부재(110)의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 수직력 또는 전단력이 가해져 변형된 변형부재(110)와 접촉되면서 전기적으로 연결된다. 본 실시예의 주변 전극(130)도 전기 전도성이 우수한 구리 등의 재질로 형성될 수 있다.A plurality of the peripheral electrodes 130 are provided and are spaced apart from each other on the outer side of the deformable member 110 and are electrically connected while being in contact with the deformable member 110 deformed by a vertical force or a shearing force. The peripheral electrode 130 of the present embodiment may also be formed of a material such as copper having excellent electrical conductivity.

변형부재(110)에 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형부재(110)가 변형되는 변형량에 따라 주변 전극(130)과 변형부재(110)의 접촉면적이 변경된다. 예를 들어 상대적으로 작은 수직력 또는 전단력이 변형부재에 가해지면 변형부재(110)의 변형량은 상대적으로 작게 되고, 그에 따라 주변 전극(130)과 변형부재(110)의 접촉면적은 상대적으로 작게 된다.When a normal force or a shearing force is applied to the deformable member 110, the contact area between the surrounding electrode 130 and the deformable member 110 is changed according to the deformation amount of the deformable member 110. For example, when a relatively small vertical force or shearing force is applied to the deformable member, the amount of deformation of the deformable member 110 becomes relatively small, so that the contact area between the surrounding electrode 130 and the deformable member 110 becomes relatively small.

반면에, 상대적으로 큰 수직력 또는 전단력이 변형부재(110)에 가해지면 변형부재(110)의 변형량은 상대적으로 크게 되고, 그에 따라 주변 전극(130)과 변형부재(110)의 접촉면적은 상대적으로 크게 된다.On the other hand, if a relatively large vertical force or shearing force is applied to the deformable member 110, the amount of deformation of the deformable member 110 becomes relatively large, so that the contact area between the peripheral electrode 130 and the deformable member 110 is relatively relatively large .

도 1을 참조하면, 본 실시예의 복수의 주변 전극(130)은, 변형부재(110)의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 주변 전극(130)을 포함할 수 있다. 변형부재(110)에 대하여 여러 방향에서 전단력이 가해질 수 있는데, 변형부재(110)의 외측을 감싸면서 서로 이격되게 배치된 4개의 주변 전극(130)을 통해 전단력의 방향을 보다 정확하게 측정할 수 있다.Referring to FIG. 1, the plurality of peripheral electrodes 130 of the present embodiment may include four peripheral electrodes 130 spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the deformable member 110. A shearing force can be applied to the deformable member 110 in various directions and it is possible to measure the direction of the shear force more accurately through the four peripheral electrodes 130 arranged to be spaced from each other while covering the outer side of the deformable member 110 .

주변 전극(130)의 수량은 도 1에 도시된 4개로 한정되는 것이 아니고, 전단력의 방향에 대한 분해능을 향상시키기 위해서는 그 수량이 증가될 수 있다.The number of the peripheral electrodes 130 is not limited to four as shown in FIG. 1, but the number of the peripheral electrodes 130 may be increased in order to improve the resolution with respect to the direction of the shearing force.

도 2를 참조하면, 본 실시예의 센서(100)에 수직력(F1)이 가해질 수 있다.Referring to FIG. 2, a normal force F1 may be applied to the sensor 100 of the present embodiment.

변형부재(110)에 수직력(F1)이 가해지면 변형부재(110)가 하측으로 변형되면서 주변 전극(130)과 접촉될 수 있다. 변형부재(110)와 주변 전극(130)이 접촉되면 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 주변 전극(130)이 전기적으로 연결되면서 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다. 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 검출되는 전기적 신호는 예를 들어, 저항, 전압, 전류 등이 될 수 있다.When the normal force F1 is applied to the deformable member 110, the deformable member 110 may be deformed downward and contact the peripheral electrode 130. [ When the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 are in contact with each other, the reference electrode 120, the deformable member 110, and the peripheral electrode 130 are electrically connected to each other, A signal can be detected. The electrical signal detected between the reference electrode 120 and the peripheral electrode 130 may be, for example, resistance, voltage, current, or the like.

이때 가해지는 수직력(F1)의 크기에 따라 변형부재(110)의 변형량이 변경되고, 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 변경된다. 상대적으로 작은 수직력(F1)이 가해지면 변형부재(110)의 변형량은 상대적으로 작아지고 주변 전극(130)과의 접촉면적 또한 상대적으로 작아진다. 이때, 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 검출되는 전기적 신호, 예를 들어 전기적 신호가 저항일 경우 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 상대적으로 작아서 저항값은 상대적으로 커질 수 있다.The amount of deformation of the deformable member 110 is changed according to the magnitude of the applied vertical force F1 and the contact area between the deformable member 110 and the surrounding electrode 130 is changed. When a relatively small vertical force F1 is applied, the amount of deformation of the deformable member 110 becomes relatively small and the contact area with the peripheral electrode 130 becomes relatively small. At this time, when the electrical signal detected between the reference electrode 120 and the peripheral electrode 130, for example, an electrical signal is a resistor, the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is relatively small, Can be relatively large.

반면에, 상대적으로 큰 수직력(F1)이 가해지면 변형부재(110)의 변형량은 상대적으로 커지고 주변 전극(130)과의 접촉면적 또한 상대적으로 커진다. 이때, 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 검출되는 전기적 신호, 예를 들어 전기적 신호가 저항일 경우 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 상대적으로 커서 저항값은 상대적으로 작아질 수 있다.On the other hand, if a relatively large vertical force F1 is applied, the amount of deformation of the deformable member 110 becomes relatively large and the contact area with the peripheral electrode 130 becomes relatively large. At this time, when the electrical signal detected between the reference electrode 120 and the peripheral electrode 130, for example, an electrical signal is a resistor, the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is relatively large, Can be relatively small.

이와 같이 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 검출하고, 검출된 전기적 신호의 크기를 통해 변형부재(110)에 가해지는 수직력(F1)의 크기를 측정할 수 있다.The electrical signal corresponding to the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is detected and the magnitude of the normal force F1 applied to the deformable member 110 through the magnitude of the detected electrical signal is measured .

한편, 도 3을 참조하면, 본 실시예의 센서(100)에 전단력(F2)이 가해질 수 있다.3, a shear force F2 may be applied to the sensor 100 of the present embodiment.

변형부재(110)에 전단력(F2)이 가해지면 변형부재(110)가 전단력(F2)이 가해지는 방향으로 변형되면서 복수의 주변 전극(130) 중 적어도 하나와 접촉될 수 있다. 전단력의 방향에 따라 복수의 주변 전극(130) 중 하나와 접촉될 수도 있고, 복수 개와 접촉될 수도 있다. 변형부재(110)와 접촉된 주변 전극(130)으로부터 전기적 신호가 검출될 수 있고, 전기적 신호가 검출된 주변 전극(130)의 위치를 통해 전단력(F2)의 방향을 산출할 수 있다.When the shearing force F2 is applied to the deformable member 110, the deformable member 110 may be in contact with at least one of the plurality of peripheral electrodes 130 while being deformed in a direction in which the shearing force F2 is applied. And may be in contact with one of the plurality of peripheral electrodes 130 or may be in contact with a plurality of the peripheral electrodes 130 according to the direction of the shearing force. An electrical signal can be detected from the peripheral electrode 130 in contact with the deformable member 110 and the direction of the shear force F2 can be calculated through the position of the peripheral electrode 130 where the electrical signal is detected.

또한, 가해지는 전단력(F2)의 크기에 따라 변형부재(110)의 변형량이 변경되고, 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 변경된다. 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 변경되면 기준 전극(120)과 주변 전극(130) 사이에서 검출되는 전기적 신호의 크기가 달라지는데, 전기적 신호의 크기를 통해 전단력(F2)의 크기를 산출할 수 있다.The deformation amount of the deformable member 110 is changed according to the magnitude of the applied shear force F2 and the contact area between the deformable member 110 and the surrounding electrode 130 is changed. The size of the electrical signal detected between the reference electrode 120 and the peripheral electrode 130 is changed when the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is changed. The size can be calculated.

이와 같이 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 검출하고, 전기적 신호가 검출된 주변 전극(130)의 위치 및 검출된 전기적 신호의 크기를 통해, 변형부재(110)에 가해지는 전단력(F2)의 크기 및 방향을 측정할 수 있다.The electrical signal corresponding to the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is detected and the position of the peripheral electrode 130 where the electrical signal is detected and the magnitude of the detected electrical signal, 110 can measure the magnitude and direction of the shearing force F2 applied thereto.

한편, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 수직력이 가해진 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 도 4의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서에 전단력이 가해진 상태를 도시한 도면이다.4 is a view schematically showing a sensor capable of measuring a vertical force or a shearing force according to another embodiment of the present invention. FIG. 5 is a view showing a state in which a normal force is applied to a sensor And FIG. 6 is a view showing a state where a shear force is applied to a sensor capable of measuring the vertical force or shear force of FIG.

도 4 내지 6을 참조하면, 본 실시예의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서(100')는 변형부재(110)와, 기준 전극(120)과, 복수의 주변 전극(160,170)을 포함하는데, 복수의 주변 전극(160,170)이 복수의 제1주변 전극(160) 및 복수의 제2주변 전극(170)을 포함하는 것을 특징으로 한다.4 to 6, a sensor 100 'capable of measuring vertical force or shear force according to the present embodiment includes a deformable member 110, a reference electrode 120, and a plurality of peripheral electrodes 160 and 170, The peripheral electrodes 160 and 170 include a plurality of first peripheral electrodes 160 and a plurality of second peripheral electrodes 170. [

도 4에 도시된 실시예의 변형부재(110)와, 기준 전극(120)은 도 1에 도시된 실시예의 변형부재(110)와, 기준 전극(120)과 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명은 생략한다.The deformable member 110 of the embodiment shown in Figure 4 and the reference electrode 120 are substantially the same as the deformable member 110 of the embodiment shown in Figure 1 and the reference electrode 120, do.

도 4를 참조하면, 복수의 제1주변 전극(160)은, 변형부재(110)의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 수직력 또는 전단력이 가해져 변형된 변형부재(110)와 접촉되면서 변형부재(110)와 전기적으로 연결된다. 본 실시예의 복수의 제1주변 전극(160)은, 변형부재(110)의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제1주변 전극(160)을 포함할 수 있다.4, the plurality of first peripheral electrodes 160 are disposed apart from each other on the outer side of the deformable member 110, and contact with the deformable member 110 deformed by a vertical force or a shear force, ). The plurality of first peripheral electrodes 160 may include four first peripheral electrodes 160 spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the deformable member 110.

또한, 복수의 제2주변 전극(170)은 제1주변 전극(160)의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 수직력 또는 전단력이 가해져 변형된 변형부재(110)와 접촉되면서 변형부재(110)와 전기적으로 연결된다. 본 실시예의 복수의 제2주변 전극(170)은, 제1주변 전극(160)의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제2주변 전극(170)을 포함할 수 있다.The plurality of second peripheral electrodes 170 are disposed apart from the first peripheral electrode 160 and electrically connected to the deformable member 110 while being in contact with the deformable member 110 deformed by a vertical force or a shearing force, Lt; / RTI > The plurality of second peripheral electrodes 170 may include four second peripheral electrodes 170 spaced apart from each other along the circumferential direction on the outer side of the first peripheral electrodes 160.

도 1에 도시된 실시예의 센서(100)의 경우, 변형된 변형부재(110)의 외곽선과 주변 전극(130)의 외곽선이 일치되도록 하는 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지는 경우의 전기적 신호와, 가해지는 수직력 또는 전단력의 크기가 더 커져서 변형된 변형부재(110)의 외곽선이 주변 전극(130)의 외곽선을 넘어서도록 하는 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지는 경우의 전기적 신호가 동일할 수밖에 없다.In the case of the sensor 100 of the embodiment shown in Fig. 1, an electrical signal when a vertical force or a shearing force is applied so that the outline of the deformed deformable member 110 and the outline of the peripheral electrode 130 coincide with each other, The electric signal when the vertical force or the shearing force is applied is greater than the vertical force or the shearing force so that the outline of the deformed member 110 is deformed beyond the outline of the peripheral electrode 130.

상술한 두 경우 모두 변형부재(110)와 주변 전극(130)의 접촉면적이 최대인 상태를 유지하므로, 가해지는 수직력 또는 전단력의 크기가 다르지만 검출되는 전기적 신호의 크기는 동일할 수밖에 없다. 이와 같이, 도 1에 도시된 실시예의 센서(100)의 주변 전극(130)의 경우 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위가 제한적이다.Since the contact area between the deformable member 110 and the peripheral electrode 130 is maintained at a maximum, the magnitude of the vertical force or the shearing force applied is different, but the magnitude of the detected electrical signal is inevitably the same. Thus, in the case of the peripheral electrode 130 of the sensor 100 of the embodiment shown in Fig. 1, the range of the normal force or shear force that can be measured is limited.

그러나, 본 실시예의 센서(100')는 복수의 제1주변 전극(160) 및 복수의 제2주변 전극(170)을 포함함으로써, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.However, the sensor 100 'of the present embodiment includes a plurality of first peripheral electrodes 160 and a plurality of second peripheral electrodes 170, so that the range of the normal force or shear force that can be measured can be extended.

예를 들어, 도 5의 (a)를 참조하면, 본 실시예의 센서(100')에 작은 범위의 수직력(F3)이 가해질 수 있다. 변형부재(110)에 작은 범위의 수직력(F3)이 가해지면 변형부재(110)가 변형되면서 제1주변 전극(160)과 접촉될 수 있고, 이때, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 제1주변 전극(160)이 전기적으로 연결되면서 기준 전극(120)과 제1주변 전극(160) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다.For example, referring to Figure 5 (a), a small range of normal force F3 may be applied to the sensor 100 'of the present embodiment. The deformable member 110 may be deformed and contacted with the first peripheral electrode 160 when the normal force F3 of a small range is applied to the deformable member 110. At this time, And the first peripheral electrode 160 are electrically connected to each other to detect an electrical signal between the reference electrode 120 and the first peripheral electrode 160.

도 5의 (b)를 참조하면, 본 실시예의 센서(100')에 큰 범위의 수직력(F4)이 가해질 수 있다. 변형부재(110)에 큰 범위의 수직력(F4)이 가해지면 변형부재(110)가 변형되면서 제2주변 전극(170)과도 접촉될 수 있고, 이때, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 제2주변 전극(170)이 전기적으로 연결되면서 기준 전극(120)과 제2주변 전극(170) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다.Referring to FIG. 5 (b), a large range of vertical force F4 may be applied to the sensor 100 'of the present embodiment. The deformable member 110 may be deformed and contacted with the second peripheral electrode 170 when a large range of the vertical force F4 is applied to the deformable member 110. At this time, And the second peripheral electrode 170 are electrically connected to each other to detect an electrical signal between the reference electrode 120 and the second peripheral electrode 170.

마찬가지로, 도 6의 (a)를 참조하면, 본 실시예의 센서(100')에 작은 범위의 전단력(F5)이 가해질 수 있다. 변형부재(110)에 작은 범위의 전단력(F5)이 가해지면 변형부재(110)가 변형되면서 제1주변 전극(160) 중 하나와 접촉될 수 있고, 이때, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 제1주변 전극(160)이 전기적으로 연결되면서 기준 전극(120)과 제1주변 전극(160) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다.Similarly, referring to FIG. 6A, a small range of shearing force F5 may be applied to the sensor 100 'of the present embodiment. The deformable member 110 may be deformed and contacted with one of the first peripheral electrodes 160 when a small range of shearing force F5 is applied to the deformable member 110. At this time, 110 and the first peripheral electrode 160 are electrically connected to each other to detect an electrical signal between the reference electrode 120 and the first peripheral electrode 160.

도 6의 (b)를 참조하면, 본 실시예의 센서(100')에 큰 범위의 전단력(F6)이 가해질 수 있다. 변형부재(110)에 큰 범위의 전단력(F6)이 가해지면 변형부재(110)가 변형되면서 제2주변 전극(170)과도 접촉될 수 있고, 이때, 기준 전극(120), 변형부재(110) 및 제2주변 전극(170)이 전기적으로 연결되면서 기준 전극(120)과 제2주변 전극(170) 사이에서 전기적 신호를 검출할 수 있다.Referring to FIG. 6 (b), a large range of shearing force F6 may be applied to the sensor 100 'of the present embodiment. The deformable member 110 may be deformed and contacted with the second peripheral electrode 170 when a large range of shearing force F6 is applied to the deformable member 110. At this time, And the second peripheral electrode 170 are electrically connected to each other to detect an electrical signal between the reference electrode 120 and the second peripheral electrode 170.

작은 범위의 수직력 또는 전단력의 경우 기준 전극(120)과 제1주변 전극(160) 사이에서 검출되는 전기적 신호를 이용하여 크기를 측정할 수 있고, 큰 범위의 수직력 또는 전단력의 경우 기준 전극(120)과 제2주변 전극(170) 사이에서 검출되는 전기적 신호를 이용하여 크기를 측정할 수 있다.In the case of a small range of normal force or shear force, the magnitude can be measured using an electrical signal detected between the reference electrode 120 and the first peripheral electrode 160. In the case of a large range of normal force or shear force, The size of the second peripheral electrode 170 can be measured using an electrical signal detected between the second peripheral electrode 170 and the second peripheral electrode 170.

일례로, 도 1에 도시된 실시예의 센서(100)는 주변 전극(130)을 통해 0~100 N의 하중만을 측정할 수 있다면, 도 4에 도시된 실시예의 센서(100')는 제1주변 전극(160)을 통해 0~100 N의 하중을, 제2주변 전극(170)을 통해 100 N 이상의 하중을 측정할 수 있으므로, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.For example, if the sensor 100 of the embodiment shown in FIG. 1 can measure only a load of 0-100 N through the peripheral electrode 130, then the sensor 100 'of the embodiment shown in FIG. A load of 0 to 100 N can be measured through the electrode 160 and a load of 100 N or more can be measured through the second peripheral electrode 170 so that the range of the normal force or shear force that can be measured can be extended.

한편, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 도면이다.7 is a schematic view of a sensor array substrate according to an embodiment of the present invention.

본 실시예의 센서 어레이 기판(200)은, 베이스 기판(201)과, 복수의 변형부재(210)와, 기준 전극(120)과, 복수의 주변 전극(130)을 포함한다.The sensor array substrate 200 of the present embodiment includes a base substrate 201, a plurality of deformable members 210, a reference electrode 120, and a plurality of peripheral electrodes 130.

도 7에 도시된 실시예의 기준 전극(120), 복수의 주변 전극(130)은 도 1에 도시된 실시예의 기준 전극(120), 복수의 주변 전극(130)과 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명은 생략한다.The reference electrode 120 and the plurality of peripheral electrodes 130 in the embodiment shown in FIG. 7 are substantially the same as the reference electrode 120 and the plurality of peripheral electrodes 130 in the embodiment shown in FIG. 1, Is omitted.

본 실시예의 센서 어레이 기판(200)의 복수의 변형부재(210)는 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 베이스 기판(201)에 이격되게 배치된다.The plurality of deformable members 210 of the sensor array substrate 200 of this embodiment are formed of an elastic material so as to be deformable when a normal force or a shearing force is applied thereto and are arranged to be spaced apart from the base substrate 201.

도 7의 (a)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200)은 탄성계수가 서로 다른 복수의 변형부재(210)를 포함하는 것을 특징으로 하며, 복수의 변형부재(210)는 제1탄성계수를 가지는 제1변형부재(211)와, 제1탄성계수보다 큰 제2탄성계수를 가지는 제2변형부재(212)를 포함한다.Referring to FIG. 7A, the sensor array substrate 200 of the present embodiment includes a plurality of deformable members 210 having different elastic moduli, A first deformable member 211 having an elastic modulus and a second deformable member 212 having a second elastic modulus larger than the first elastic modulus.

도 4에 도시된 센서(100')와 마찬가지로, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200)은 제1변형부재(211) 및 제2변형부재(212)를 포함함으로써, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.Like the sensor 100 'shown in FIG. 4, the sensor array substrate 200 of the present embodiment includes the first deformable member 211 and the second deformable member 212 so that the vertical force or the shear force The range can be extended.

도 7의 (b)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200)에 작은 범위의 수직력(F7) 또는 전단력이 가해질 수 있다. 센서 어레이 기판(200)에 작은 범위의 수직력(F7) 또는 전단력이 가해지면 상대적으로 작은 크기의 제1탄성계수를 가지는 제1변형부재(211)는 변형되어 주변 전극(160)과 접촉될 수 있고, 상대적으로 큰 크기의 제2탄성계수를 가지는 제2변형부재(212)는 변형되지 않아 주변 전극(160)과 접촉되지 않는다.Referring to FIG. 7 (b), a small vertical force F7 or a shearing force may be applied to the sensor array substrate 200 of the present embodiment. When a small vertical force F7 or a shearing force is applied to the sensor array substrate 200, the first deformable member 211 having a first elastic modulus of a relatively small size may be deformed and contacted with the peripheral electrode 160 , The second deformable member 212 having the second elastic modulus of a relatively large size is not deformed and does not contact the peripheral electrode 160.

도 7의 (c)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200)에 큰 범위의 수직력(F8) 또는 전단력이 가해질 수 있다. 센서 어레이 기판(200)에 큰 범위의 수직력(F8) 또는 전단력이 가해지면 상대적으로 큰 크기의 제2탄성계수를 가지는 제2변형부재(212)도 변형되어 주변 전극(160)과 접촉될 수 있다.Referring to FIG. 7C, a large range of vertical force F8 or shearing force may be applied to the sensor array substrate 200 of the present embodiment. The second deformable member 212 having a second elastic modulus of a relatively large size may be deformed to be in contact with the peripheral electrode 160 when a vertical force F8 or a shear force of a large range is applied to the sensor array substrate 200 .

탄성계수의 차이로 인해 상대적으로 작은 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지면 제1변형부재(211)이 변형되어 주변 전극(160)과 접촉될 수 있지만, 제2변형부재(212)는 변형되지 않아 주변 전극(160)과 접촉되지 않는다. 따라서, 작은 크기의 수직력 또는 전단력은 제1변형부재(211)를 통해 측정할 수 있다.The first deformable member 211 may be deformed to be in contact with the peripheral electrode 160 when a relatively small vertical force or shearing force is applied due to the difference in the elastic modulus. However, the second deformable member 212 is not deformed, And does not contact the electrode 160. Therefore, a small vertical force or shearing force can be measured through the first deformable member 211. [

또한, 상대적으로 큰 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지면 제1변형부재(211) 및 제2변형부재(212)이 모두 변형되어 주변 전극(160)과 접촉될 수 있다. 따라서, 큰 크기의 수직력 또는 전단력은 제2변형부재(212)를 통해 측정할 수 있다.In addition, when a relatively large vertical force or shearing force is applied, both the first deformable member 211 and the second deformable member 212 may be deformed and brought into contact with the peripheral electrode 160. Therefore, a large vertical force or shearing force can be measured through the second deformable member 212. [

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 도면이다.8 is a view schematically showing a sensor array substrate according to another embodiment of the present invention.

본 실시예의 센서 어레이 기판(200')은, 베이스 기판(201)과, 복수의 변형부재(260)와, 기준 전극(120)과, 복수의 주변 전극(130)을 포함한다.The sensor array substrate 200 'of this embodiment includes a base substrate 201, a plurality of deformable members 260, a reference electrode 120, and a plurality of peripheral electrodes 130.

도 8에 도시된 실시예의 기준 전극(120), 복수의 주변 전극(130)은 도 1에 도시된 실시예의 기준 전극(120), 복수의 주변 전극(130)과 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명은 생략한다.The reference electrode 120 and the plurality of peripheral electrodes 130 of the embodiment shown in FIG. 8 are substantially the same as the reference electrode 120 and the plurality of peripheral electrodes 130 of the embodiment shown in FIG. 1, Is omitted.

본 실시예의 센서 어레이 기판(200')의 복수의 변형부재(260)는 전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 베이스 기판(201)에 이격되게 배치된다.The plurality of deformable members 260 of the sensor array substrate 200 'of the present embodiment have electrical conductivity and are formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied thereto and are disposed apart from the base substrate 201 .

도 8의 (a)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200)은 변형부재(260)의 표면과 베이스 기판(201)의 표면이 이루는 접촉각(a1,a2)이 서로 다른 복수의 변형부재(260)를 포함하는 것을 특징으로 하며, 복수의 변형부재(210)는 제1접촉각(a1)을 가지는 제1변형부재(261)와, 제1접촉각(a1)보다 작은 제2접촉각(a2)을 가지는 제2변형부재(262)를 포함한다.8A, the sensor array substrate 200 of the present embodiment includes a plurality of deformable members 260 having different contact angles a1 and a2 formed by the surface of the deformable member 260 and the surface of the base substrate 201, Wherein the plurality of deformable members 210 includes a first deformable member 261 having a first contact angle a1 and a second contact angle a2 smaller than the first contact angle a1, And a second deformable member 262 having a second deformable member 262.

도 4에 도시된 센서(100')와 마찬가지로, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200')은 제1변형부재(261) 및 제2변형부재(262)를 포함함으로써, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.Like the sensor 100 'shown in FIG. 4, the sensor array substrate 200' of the present embodiment includes the first deformable member 261 and the second deformable member 262 so that the normal force or shear force Can be extended.

도 8의 (b)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200')에 작은 범위의 수직력(F9) 또는 전단력이 가해질 수 있다. 센서 어레이 기판(200')에 작은 범위의 수직력(F9) 또는 전단력이 가해지면 상대적으로 큰 크기의 제1접촉각(a1)을 가지는 제1변형부재(261)는 변형량이 커서 주변 전극(160)과 접촉될 수 있고, 상대적으로 작은 크기의 제2접촉각(a2)을 가지는 제2변형부재(262)는 변형량이 작아서 주변 전극(160)과 접촉되지 않는다.Referring to FIG. 8 (b), a small vertical force F9 or a shearing force may be applied to the sensor array substrate 200 'of the present embodiment. The first deformable member 261 having a relatively large first contact angle a1 has a large deformation amount when the normal force F9 or shear force is applied to the sensor array substrate 200 ' And the second deformable member 262 having the second contact angle a2 of a relatively small size does not contact the peripheral electrode 160 due to its small deformation amount.

도 8의 (c)를 참조하면, 본 실시예의 센서 어레이 기판(200')에 큰 범위의 수직력(F10) 또는 전단력이 가해질 수 있다. 센서 어레이 기판(200')에 큰 범위의 수직력(F10) 또는 전단력이 가해지면 상대적으로 작은 크기의 제2접촉각(a2)을 가지는 제2변형부재(262)도 변형량이 증가하여 주변 전극(160)과 접촉될 수 있다.Referring to FIG. 8C, a large range of vertical force F10 or shearing force may be applied to the sensor array substrate 200 'of the present embodiment. The second deformable member 262 having the second contact angle a2 of a relatively small size also increases in deformation amount to cause the peripheral electrode 160 to be deformed when a vertical force F10 or shear force of a large range is applied to the sensor array substrate 200 ' Lt; / RTI >

접촉각(a1,a2)의 차이로 인해 상대적으로 작은 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지면 제1변형부재(261)의 변형량이 커서 주변 전극(160)과 접촉할 수 있지만, 제2변형부재(262)의 변형량은 작아서 주변 전극(160)과 접촉되지 않는다. 따라서, 작은 크기의 수직력 또는 전단력은 제1변형부재(261)를 통해 측정할 수 있다.The deformation amount of the first deformable member 261 is large and can be in contact with the peripheral electrode 160 when a relatively small vertical force or shearing force is applied due to the difference in the contact angles a1 and a2. The amount of deformation of the peripheral electrode 160 is small. Therefore, a small vertical force or shearing force can be measured through the first deformable member 261. [

또한, 상대적으로 큰 크기의 수직력 또는 전단력이 가해지면 제2변형부재(262)의 변형량이 증가하여 주변 전극(160)과 접촉할 수 있다. 따라서, 큰 크기의 수직력 또는 전단력은 제2변형부재(262)를 통해 측정할 수 있다.In addition, when a relatively large vertical force or shearing force is applied, the amount of deformation of the second deformable member 262 may increase and contact the peripheral electrode 160. Therefore, a large vertical force or shearing force can be measured through the second deformable member 262. [

일례로, 도 1에 도시된 실시예의 센서(100)는 주변 전극(130)을 통해 0~100 N의 하중만을 측정할 수 있다면, 도 7 및 도 8에 도시된 실시예의 센서 어레이 기판(200,200')은 제1변형부재(211,261)를 통해 0~100 N의 하중을, 제2변형부재(212,262)를 통해 100 N 이상의 하중을 측정할 수 있으므로, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있다.For example, if the sensor 100 of the embodiment shown in FIG. 1 can measure only a load of 0 to 100 N through the peripheral electrode 130, the sensor array substrate 200, 200 'of the embodiment shown in FIGS. Can load a load of 0 to 100 N through the first deformable members 211 and 261 and a load of 100 N or more through the second deformable members 212 and 262 so that the range of the normal force or shear force that can be measured is extended .

한편, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 신발 안창을 개략적으로 도시한 도면이다.9 is a view schematically showing a shoe insole according to an embodiment of the present invention.

본 실시예의 신발 안창(300)은, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같은 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서(100,100')가 다수 설치될 수도 있고, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같은 센서 어레이 기판(200,200')이 설치될 수도 있다.The shoe insole 300 of the present embodiment may be provided with a plurality of sensors 100, 100 'capable of measuring vertical force or shear force as shown in Figs. 1 and 4, The substrates 200 and 200 'may be provided.

센서(100,100') 또는 센서 어레이 기판(200,200')이 설치된 신발 안창(300)은 재활의학, 정형외과 등의 임상진단에 사용되는 족저압, 보행거동 측정에 활용될 수 있다.The shoe insole 300 provided with the sensors 100 and 100 'or the sensor array substrates 200 and 200' can be used for the measurement of foot pressure and gait used for clinical diagnosis of rehabilitation medicine and orthopedic surgery.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창은, 변형부재의 변형량에 따라 변형부재와 주변 전극 사이의 접촉면적이 변경되고, 변경되는 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 검출함으로써, 소형의 구조로 수직력 또는 전단력을 모두 측정할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The sensor, the sensor array substrate, and the shoe insole using the same according to the present invention configured as described above can change the contact area between the deformable member and the surrounding electrode according to the deformation amount of the deformable member, By detecting a corresponding electrical signal, it is possible to obtain an effect that both the vertical force and the shearing force can be measured with a compact structure.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창은, 복수의 주변 전극이 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 다수 개가 배치됨으로써, 전단력이 가해지는 방향에 대한 분해능을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, the sensor, the sensor array substrate, and the shoe insole using the same, which can measure the vertical force or shear force of the present invention as described above, are arranged such that a plurality of peripheral electrodes are arranged apart from each other in the circumferential direction The effect of improving the resolution with respect to the direction in which the shearing force is applied can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창은, 변형부재 주변에 형성되는 주변 전극이 복수의 제1주변 전극 및 복수의 제2주변 전극을 포함함으로써, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, the sensor, the sensor array substrate, and the shoe insole using the same, which are capable of measuring the vertical force or the shear force according to the present invention as described above, are characterized in that the peripheral electrode formed around the deformable member includes a plurality of first peripheral electrodes and a plurality of second peripheral electrodes The effect of expanding the range of the normal force or the shearing force that can be measured can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창은, 탄성계수가 서로 다른 변형부재 또는 접촉각이 서로 다른 변형부재를 포함함으로써, 측정할 수 있는 수직력 또는 전단력의 범위를 확장할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Further, the sensor, the sensor array substrate and the shoe insole using the same, which can measure the vertical force or the shearing force, according to the present invention include deformable members having different elastic moduli or deformable members having different contact angles, The effect of expanding the range of vertical force or shear force can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서, 센서 어레이 기판 및 이를 이용한 신발 안창은, 미세 구조물로 변형부재 등을 형성함으로써, 소형화를 통해 휴대성을 높일 수 있고, 생산 비용을 줄여 보행거동을 측정하는 환자의 치료 비용을 경감시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the sensor, the sensor array substrate and the shoe insole using the same, which can measure the vertical force or the shear force of the present invention as described above, can improve the portability through miniaturization by forming the deformation member or the like with the microstructure, It is possible to reduce the treatment cost of the patient who measures the gait behavior.

도 7 및 도 8에 도시된 실시예의 센서 어레이 기판(200,200')에 있어서, 센서 어레이 기판(200,200')이 도 1에 도시된 센서(100)의 주변 전극(130)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 센서 어레이 기판(200,200')은 도 4에 도시된 센서(100')의 제1주변 전극(160) 및 제2주변 전극(170)을 포함할 수도 있다.Although the sensor array substrate 200 or 200 'of the sensor array substrate 200 or 200' of the embodiment shown in FIGS. 7 and 8 includes the peripheral electrode 130 of the sensor 100 shown in FIG. 1, The sensor array substrate 200, 200 'may include a first peripheral electrode 160 and a second peripheral electrode 170 of the sensor 100' shown in FIG.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

100 : 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서
110 : 변형부재
120 : 기준 전극
130 : 주변 전극100: Sensor capable of measuring vertical force or shear force
110: deformable member
120: Reference electrode
130: peripheral electrode

Claims (13)

전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되는 변형부재;
상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및
상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되며, 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1주변 전극과, 상기 제1주변 전극의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제2주변 전극을 구비하는 복수의 주변 전극;을 포함하고,
상기 기준 전극과 상기 주변 전극 사이에서 검출되고 상기 변형부재와 상기 주변 전극의 접촉면적에 대응하는 전기적 신호를 이용하여 가해지는 수직력 또는 전단력을 측정하는 것을 특징으로 하는 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서.A deformable member having electrical conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied;
A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And
Wherein a contact area with the deformable member is changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member, And a plurality of second peripheral electrodes arranged so as to be spaced apart from each other on the outer side of the first peripheral electrodes,
Wherein a vertical force or a shearing force is measured using an electrical signal detected between the reference electrode and the peripheral electrode and corresponding to an area of contact between the deformable member and the peripheral electrode. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제1주변 전극을 포함하고,
상기 복수의 제2주변 전극은, 상기 제1주변 전극의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제2주변 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of first peripheral electrodes include four first peripheral electrodes spaced apart from each other along a circumferential direction at an outer side of the deformable member,
Wherein the plurality of second peripheral electrodes include four second peripheral electrodes spaced apart from each other in a circumferential direction on the outer side of the first peripheral electrodes. 베이스 기판;
전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 상기 베이스 기판에 이격되게 배치되는 복수의 변형부재;
상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및
상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되는 복수의 주변 전극;를 포함하고,
상기 복수의 변형부재는, 제1탄성계수를 가지는 제1변형부재와, 상기 제1탄성계수보다 큰 제2탄성계수를 가지는 제2변형부재를 포함하고,
상기 복수의 주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1주변 전극과, 상기 제1주변 전극의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제2주변 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.A base substrate;
A plurality of deforming members having electrical conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied, and spaced apart from the base substrate;
A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And
And a plurality of peripheral electrodes spaced apart from each other at an outer side of the deformable member and having a contact area with the deformable member changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member,
Wherein the plurality of deformable members include a first deformable member having a first elastic modulus and a second deformable member having a second elastic modulus larger than the first elastic modulus,
The plurality of peripheral electrodes may include a plurality of first peripheral electrodes disposed apart from each other on the outer side of the deformable member and a plurality of second peripheral electrodes spaced from each other on the outer side of the first peripheral electrode Wherein the sensor array substrate comprises: 제5항에 있어서,
상기 제2변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기는 상기 제1변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.6. The method of claim 5,
Wherein the magnitude of the normal force or the shearing force measured by the second deforming member is greater than the magnitude of the normal force or the shearing force measured by the first deforming member. 베이스 기판;
전기 전도성을 가지며, 수직력 또는 전단력이 가해지면 변형될 수 있도록 탄성 재질로 형성되고, 상기 베이스 기판에 이격되게 배치되는 복수의 변형부재;
상기 변형부재와 전기적으로 연결되도록 배치되는 기준 전극; 및
상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되고, 상기 변형부재에 수직력 또는 전단력이 가해지면 상기 변형부재가 변형되는 변형량에 따라 상기 변형부재와의 접촉면적이 변경되는 복수의 주변 전극;를 포함하고,
상기 복수의 변형부재는, 상기 변형부재의 표면과 상기 베이스 기판의 표면이 이루는 제1접촉각을 가지는 제1변형부재와, 상기 제1접촉각보다 작은 제2접촉각을 가지는 제2변형부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.A base substrate;
A plurality of deforming members having electrical conductivity and formed of an elastic material so as to be deformed when a normal force or a shearing force is applied, and spaced apart from the base substrate;
A reference electrode arranged to be electrically connected to the deformable member; And
And a plurality of peripheral electrodes spaced apart from each other at an outer side of the deformable member and having a contact area with the deformable member changed according to a deformation amount of the deformable member when a normal force or a shearing force is applied to the deformable member,
The plurality of deformable members may include a first deformable member having a first contact angle formed by a surface of the deformable member and a surface of the base substrate and a second deformable member having a second contact angle smaller than the first contact angle A sensor array substrate characterized by: 제7항에 있어서,
상기 제2변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기는 상기 제1변형부재에 의해 측정되는 수직력 또는 전단력의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.8. The method of claim 7,
Wherein the magnitude of the normal force or the shearing force measured by the second deforming member is greater than the magnitude of the normal force or the shearing force measured by the first deforming member. 삭제delete 제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 복수의 주변 전극은,
상기 변형부재의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제1주변 전극과, 상기 제1주변 전극의 외측에서 서로 이격되게 배치되는 복수의 제2주변 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the plurality of peripheral electrodes comprise:
A plurality of first peripheral electrodes spaced apart from each other on the outer side of the deformable member and a plurality of second peripheral electrodes spaced apart from each other on the outer side of the first peripheral electrode. 제10항에 있어서,
상기 복수의 제1주변 전극은, 상기 변형부재의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제1주변 전극을 포함하고,
상기 복수의 제2주변 전극은, 상기 제1주변 전극의 외측에서 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 4개의 제2주변 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 어레이 기판.11. The method of claim 10,
Wherein the plurality of first peripheral electrodes include four first peripheral electrodes spaced apart from each other along a circumferential direction at an outer side of the deformable member,
Wherein the plurality of second peripheral electrodes include four second peripheral electrodes spaced apart from each other along the circumferential direction outside the first peripheral electrodes. 제1항 또는 제4항에 기재된 수직력 또는 전단력 측정이 가능한 센서가 설치된 것을 특징으로 하는 신발 안창.A shoe sole according to any one of claims 1 to 4, wherein a sensor capable of measuring the normal force or shear force is installed. 제5항 내지 제8항 중 어느 하나의 항에 기재된 센서 어레이 기판이 설치된 것을 특징으로 하는 신발 안창.A shoe sole characterized in that the sensor array substrate according to any one of claims 5 to 8 is provided.
KR1020170083782A 2017-06-30 2017-06-30 Sensor capable of measuring pressure or shear stress, sensor substrate and insole using the same KR101953760B1 (en)

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