KR101952551B1 - Valve Having Sensor Fitting Portion - Google Patents

Valve Having Sensor Fitting Portion Download PDF

Info

Publication number
KR101952551B1
KR101952551B1 KR1020180164147A KR20180164147A KR101952551B1 KR 101952551 B1 KR101952551 B1 KR 101952551B1 KR 1020180164147 A KR1020180164147 A KR 1020180164147A KR 20180164147 A KR20180164147 A KR 20180164147A KR 101952551 B1 KR101952551 B1 KR 101952551B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flange
valve
hollow cylindrical
sensor
valve body
Prior art date
Application number
KR1020180164147A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박문수
Original Assignee
박문수
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박문수 filed Critical 박문수
Priority to KR1020180164147A priority Critical patent/KR101952551B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101952551B1 publication Critical patent/KR101952551B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L59/00—Thermal insulation in general
    • F16L59/14—Arrangements for the insulation of pipes or pipe systems
    • F16L59/16—Arrangements specially adapted to local requirements at flanges, junctions, valves or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

The present invention relates to a valve having a sensor fitting portion, capable of applying to all kinds of piping equipment regardless of a structure of the piping equipment, and effectively securing durability and stability of a sensor. According to the present invention, the valve having a sensor fitting portion comprises: a valve body portion including a valve body having a plurality of valve flow paths branched therein to supply fluid, a plurality of body flanges formed on a side surface of the valve body to be connected to the valve flow path and having a plurality of tap grooves formed on an axial outer circumferential surface, and a stem portion to open and close the valve flow path; a hollow cylindrical portion having a flange flow path communicating with the valve flow path; a plurality of flange portions including a coupling flange protruding from the outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion to be coupled to the body flange and a connection flange disposed on one end of the hollow cylindrical portion by being spaced apart from the coupling functioning at a predetermined interval and connected to a pipe; and the sensor fitting portion installed on at least one of the plurality of flange portions and formed on one side of the outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion between the coupling and connection flanges.

Description

센서피팅부를 구비한 밸브{Valve Having Sensor Fitting Portion}Valve Having Sensor Fitting Portion [0002]

본 발명은 센서피팅부를 구비한 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고객사의 요구 및 사정에 모두 적용할 수 있는 센서피팅부를 구비한 밸브에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a valve having a sensor fitting portion, and more particularly, to a valve having a sensor fitting portion that can be applied to both requirements and circumstances of a customer.

종래기술의 일 예로서 도 1에는 반도체 제조장비의 열교환기 배관상에서 순수탱크(21)를 전후하여 공압식 입력밸브(22)와 출력밸브(23)가 설치되어 있고, 순수탱크(21)와 출력밸브(23) 사이에 배관 압력센서(24)가 설치되어 있다.1, there is shown a conventional art in which a pneumatic type input valve 22 and an output valve 23 are provided before and after a pure water tank 21 on a heat exchanger pipe of a semiconductor manufacturing equipment, And a pipe pressure sensor 24 is provided between the pipe 23 and the pipe.

이처럼 반도체 제조장비의 배관상에 부분적인 압력의 이상이 생겼을 때 이를 감지하기 위하여 또는 필요상 배관 전후의 압력을 측정하기 위하여, 통상 압력센서가 배관상의 특정 부위에 설치된다.In order to detect when partial pressure abnormality occurs on the piping of the semiconductor manufacturing equipment, or to measure the pressure before and after the piping, a pressure sensor is usually installed at a specific location on the piping.

그러나 압력센서가 설치되는 특정 부위는 고객사의 배관 설비마다 모두 달라 설치의 호환성이 떨어지고 고객사별로 제작이 이루어져야 하므로 비용도 많이 드는 문제가 있었다.However, the specific area where the pressure sensor is installed differs depending on the piping facilities of the customer, so that the compatibility of the installation is poor and the manufacturing cost must be made for each customer.

또한, 현장의 배관설비는 복잡한 구조로 되어 있어 상기 특정 부위를 선택하는 것에 공간적 제약을 받고 있는 실정이다.In addition, since piping facilities on site have a complicated structure, there is a space restriction in selecting the specific site.

이에 본 출원인은 압력센서를 꼭 배관에 설치할 필요는 없을 것이라 판단하였고, 배관과 함께 사용되는 밸브에 주목하여 압력센서를 밸브에 구비함으로써 상기한 바와 같은 문제점들을 모두 해결할 수 있을 것으로 여겨 본 발명을 안출하게 되었다.Therefore, the applicant of the present invention has determined that it is not necessary to install the pressure sensor on the piping, and it is possible to solve the above problems by providing the pressure sensor on the valve by paying attention to the valve used together with the piping. .

KR 10-0227822 B1 1999.11.01.KR 10-0227822 B1 1999.11.01.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 배관 설비 구조에 상관없이 모두 적용 가능하고 센서의 내구성 및 안정성을 효과적으로 담보할 수 있는 센서피팅부를 구비한 밸브를 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a valve having a sensor fitting part that can be applied regardless of the structure of a piping system and can effectively ensure durability and stability of a sensor.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 센서피팅부를 구비한 밸브는, 유체가 통과하는 밸브유로가 내부에 복수로 분기되어 있는 밸브본체, 상기 밸브본체의 측면에 상기 밸브유로에 연결되어 형성되되, 축방향 외주면에 다수의 탭홈이 형성되는 복수의 바디플랜지, 및 상기 밸브유로를 개폐하는 스템부를 포함하는 밸브바디부; 상기 밸브유로와 연통되는 플랜지유로가 형성되는 중공원통부, 상기 중공원통부 외주면에 돌출 형성되어 상기 바디플랜지에 결합되는 체결플랜지, 및 상기 체결플랜지로부터 일정 간격 이격되어 상기 중공원통부의 일단에 구비되되, 배관에 연결되는 연결플랜지,를 포함하는 복수의 플랜지부; 상기 복수의 플랜지부 중 적어도 어느 하나에 구비되되, 상기 체결플랜지와 상기 연결플랜지 사이의 상기 중공원통부 외주면 일측에 형성되는 센서피팅부;를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a valve having a sensor fitting portion including a valve body in which a valve passage through which a fluid passes is divided into a plurality of valve bodies, A valve body portion including a plurality of body flanges having a plurality of tab grooves formed on an outer circumferential surface thereof and a stem portion for opening and closing the valve flow path; A hollow cylindrical portion formed on the outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion to be coupled to the body flange and having a predetermined spacing from the fastening flange and disposed at one end of the hollow cylindrical portion, A plurality of flanges including a connecting flange connected to the piping; And a sensor fitting portion provided at at least one of the plurality of flange portions and formed at one side of the outer peripheral surface of the hollow cylindrical portion between the coupling flange and the coupling flange.

상기 체결플랜지에 연장 형성되어 상기 밸브본체 내부로 삽입되는 안착부가 더 형성되며, 상기 체결플랜지에는 다수의 장공이 형성되고, 상기 센서피팅부가 소정 각도로 위치한 상태에서 탭볼트가 상기 장공을 통해 삽입되어 상기 탭홈에 나사 결합됨으로써 상기 플랜지부가 상기 밸브바디부에 결합된다.A plurality of elongated holes are formed in the fastening flange and a tab bolt is inserted through the elongated hole in a state where the sensor fitting portion is positioned at a predetermined angle, And the flange portion is coupled to the valve body portion by being screwed into the tab groove.

상기 센서피팅부는 상기 중공원통부의 일측에 형성된 측정공에 연결되어 상기 중공원통부의 외주면으로부터 돌출되어 구비되는 피팅바디, 상기 피팅바디의 중심부를 관통하되 그 내주면에 나사산이 형성되는 피팅홀, 상기 피팅홀에 결합되되, 그 상면에는 렌치의 형상에 대응하는 내주면을 갖는 렌치홈이 형성되고, 그 하면에는 원형의 돌출단이 형성되며, 상기 렌치홈의 중심 하부로 통공이 형성되는 플러그, 상기 플러그의 하단에 구비되되 주름진 형상을 갖는 격막을 포함하며, 상기 피팅홀에 상기 플러그의 상부로 압력센서가 나사 체결된다.Wherein the sensor fitting portion includes a fitting body connected to a measuring hole formed at one side of the hollow cylindrical portion and protruding from an outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion, a fitting hole passing through a center portion of the fitting body, A plug having a circular protruding end formed on a lower surface thereof and having a through hole formed in a lower portion of the center of the wrench groove, a lower end of the plug And a pressure sensor is screwed to the upper portion of the plug in the fitting hole.

상기 압력센서와 상기 격막 사이의 내부 공간은 비압축성 유체로 채워진다.The inner space between the pressure sensor and the diaphragm is filled with incompressible fluid.

상기 체결플랜지에는 복수의 히팅공이 형성되고, 상기 히팅공에는 히팅봉이 삽입된다.A plurality of heating holes are formed in the fastening flange, and a heating rod is inserted into the heating hole.

본 발명의 센서피팅부를 구비한 밸브에 의하면, 압력센서가 구비된 센서피팅부가 밸브에 구비되어 있으므로 배관 설비의 구조에 상관없이 배관의 용이한 압력측정이 가능하다.According to the valve provided with the sensor fitting portion of the present invention, since the sensor fitting portion provided with the pressure sensor is provided in the valve, it is possible to easily measure the pressure of the piping regardless of the structure of the piping facility.

또한, 압력센서가 플랜지유로 내부를 통과하는 유체와 직접적으로 접촉하지 않으면서 압력을 측정할 수 있으므로 압력센서의 내구성 및 안정성이 증가한다.In addition, since the pressure sensor can measure the pressure without directly contacting the fluid passing through the flange flow path, the durability and stability of the pressure sensor are increased.

또한, 복잡한 배관 설비에 압력센서를 장착할 필요가 없어 유지 및 보수 측면에서도 매우 유리하다.In addition, since it is not necessary to install a pressure sensor in a complicated piping facility, it is very advantageous in maintenance and repair.

도 1은 종래기술에 따라 배관압력센서가 배관에 설치되는 상태도.
도 2는 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브를 분해하여 도시한 분해 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브의 센서피팅부에 압력센서가 조립되기 전의 상태를 나타내는 부분 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브의 센서피팅부에 압력센서가 조립된 후의 상태를 나타내는 부분 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브의 플랜지부 각도 조절을 설명하기 위한 단면도.1 is a state in which a pipe pressure sensor is installed in a pipe according to a conventional technique.
FIG. 2 is an exploded perspective view of a valve having a sensor fitting portion according to the present invention. FIG.
3 is a partial sectional view showing a state before the pressure sensor is assembled to the sensor fitting portion of the valve having the sensor fitting portion according to the present invention.
4 is a partial cross-sectional view showing a state after the pressure sensor is assembled in the sensor fitting portion of the valve having the sensor fitting portion according to the present invention.
5 is a sectional view for explaining the angle adjustment of a flange portion of a valve provided with a sensor fitting portion according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 센서피팅부를 구비한 밸브는 도면상으로 삼방향 밸브 형태로 도시되어 있으나, 양방향 밸브 및 사방향 밸브에도 구현될 수 있다.The valve having the sensor fitting portion of the present invention is shown in the form of a three-way valve in the drawing, but it can also be implemented in a bidirectional valve and a four-way valve.

도 1은 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브를 분해하여 도시한 분해 사시도로서, 이를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브는 밸브바디부(100), 복수의 플랜지부(200) 및 센서피팅부(300)를 포함하여 이루어진다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a valve having a sensor fitting portion according to the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a valve having a sensor fitting portion according to the present invention. Referring to FIG. The valve having the sensor fitting portion according to the example includes a valve body 100, a plurality of flange portions 200, and a sensor fitting portion 300.

이하, 상기 구성 요소들을 중심으로 본 발명의 구체적인 내용을 설명하면, 먼저 밸브바디부(100)는 밸브본체(110), 복수의 바디플랜지(120) 및 스템부(130)로 이루어진다.The valve body 100 includes a valve body 110, a plurality of body flanges 120, and a stem 130.

상기 밸브본체(110)는 유체가 통과하는 밸브유로(105)가 내부에 복수로 분기되어 있고, 밸브유로(105)의 개수는 양방향 밸브, 삼방향 밸브 및 사방향 밸브의 밸브 형태에 맞춰 형성된다.The valve body 110 is divided into a plurality of valve passages 105 through which the fluid passes, and the number of the valve passages 105 is formed in accordance with the valve configurations of the bidirectional valve, the three-way valve and the four-way valve .

상기 바디플랜지(120)는 분기되어 있는 각 밸브유로(105)의 밸브본체(110) 측부에 형성되고, 그 축방향의 외주면으로 다수의 탭홈(125)이 형성되어 있다.The body flange 120 is formed on the side of the valve body 110 of each branched valve passage 105 and has a plurality of tab grooves 125 formed on the outer peripheral surface in the axial direction.

탭홈(125)에는 홈 내부로 암나사가 형성되어 있고 후술하는 탭볼트가 나사 체결된다.A female screw is formed in the groove in the tab groove 125, and a tab bolt to be described later is screwed.

상기 스템부(130)는 밸브유로(105)의 유량 및 흐름을 제어하는 구성으로서, 스템본체()와 개폐수단()으로 이루어지고, 액츄에이터의 동력전달부(미도시)에 연결되어 밸브유로(105)를 개폐한다.The stem portion 130 is configured to control the flow rate and flow of the valve flow path 105 and includes a stem main body and opening and closing means and is connected to a power transmission portion (not shown) of the actuator, 105 are opened and closed.

여기서, 개폐수단()은 볼 밸브나 버터플라이 밸브 등의 밸브 종류에 따라 해당 밸브 종류의 개폐수단이 구비된다.Here, the opening / closing means () is provided with opening / closing means of the corresponding valve type in accordance with the valve type such as a ball valve or a butterfly valve.

다음으로, 플랜지부(200)는 중공원통부(210), 체결플랜지(220), 및 연결플랜지(230)를 포함하여 이루어진다.Next, the flange portion 200 includes a hollow cylindrical portion 210, a fastening flange 220, and a connecting flange 230.

상기 중공원통부(210)는 그 내부로 밸브유로(105)와 연통되는 플랜지유로(205)가 형성되어 있다.The hollow cylindrical portion 210 has a flange flow passage 205 formed therein to communicate with the valve flow passage 105.

상기 체결플랜지(220)는 플랜지부(200)를 바디플랜지(120)에 체결하기 위한 구성으로서, 중공원통부(210)의 외주면에 일정 폭으로 돌출 형성되어 있다.The fastening flange 220 is configured to fasten the flange portion 200 to the body flange 120 and is formed to have a constant width on the outer peripheral surface of the hollow cylindrical portion 210.

체결플랜지(220)에는 다수의 장공(223)이 형성되고, 탭볼트(TB)가 장공(223)을 통해 삽입되어 바디플랜지(120)의 탭홈(125)에 나사 결합됨으로써 플랜지부(200)가 밸브바디부(100)에 결합된다.A plurality of elongated holes 223 are formed in the fastening flange 220. The tab bolts TB are inserted through the elongated holes 223 and screwed into the tab grooves 125 of the body flange 120, And is coupled to the valve body portion 100.

또한, 체결플랜지(220)에는 복수의 히팅공(225)이 형성되고, 히팅공(225)에 히팅봉(227)이 착탈 가능하게 삽입 고정되어, 히팅봉(227)에서 발생된 열이 플랜지부(200)와 밸브바디부(100)에 효과적으로 전달되도록 한다.A plurality of heating holes 225 are formed in the fastening flange 220 and a heating rod 227 is detachably inserted and fixed in the heating hole 225. Heat generated in the heating rod 227 is transmitted to the flange Thereby effectively transferring the fluid to the valve body 200 and the valve body 100.

상기 연결플랜지(230)는 체결플랜지(220)로부터 일정 간격 이격되어 중공원통부(210)의 일단에 구비되고, 배관에 연결된다.The connection flange 230 is provided at one end of the hollow cylindrical portion 210 at a predetermined distance from the fastening flange 220 and is connected to the pipe.

한편, 중공원통부(210)의 타단에는 체결플랜지(220)에 연장 형성되어 상기 밸브본체(110) 내부로 삽입되는 안착부(240)가 더 형성될 수 있다.The other end of the hollow cylindrical portion 210 may further include a seating portion 240 extending from the fastening flange 220 and inserted into the valve body 110.

이는 밸브바디부(100)와 플랜지부(200)의 결합시 그 사이 부분에서의 기밀을 더욱 확고히 하기 위한 것이다.This is to further secure airtightness between the valve body part 100 and the flange part 200 when the valve body part 100 and the flange part 200 are coupled.

마지막으로, 센서피팅부(300)는 압력센서(301)를 밸브에 장착하기 위한 구성으로서 피팅바디(310), 피팅홀(320), 플러그(330) 및 격막(340)을 포함하여 이루어진다.Finally, the sensor fitting portion 300 includes a fitting body 310, a fitting hole 320, a plug 330, and a diaphragm 340 as a configuration for mounting the pressure sensor 301 on the valve.

상기 피팅바디(310)는 SUS 재질의 원통 형상으로 이루어지되 중공원통부(210)의 일측에 형성된 측정공(215)에 연결되어 중공원통부(210)의 외주면으로부터 돌출되어 구비되고, 피팅바디(310)의 하단에는 단턱(315)이 형성된다.The fitting body 310 has a cylindrical shape of SUS and is connected to the measuring hole 215 formed at one side of the hollow cylindrical part 210 and protruded from the outer peripheral surface of the hollow cylindrical part 210, 310 are formed with a step 315 at a lower end thereof.

상기 피팅홀(320)은 피팅바디(310)의 중심부를 관통하되 그 내주면에 나사산이 형성되고, 상부의 나사산에는 압력센서(301)가 나사결합되며, 하부의 나사산에는 플러그(330)가 나사결합된다.The fitting hole 320 penetrates through the center of the fitting body 310 and has a thread formed on the inner circumferential surface of the fitting body 310. A pressure sensor 301 is screwed to the upper thread, do.

상기 플러그(330)는 그 상면에 렌치의 형상에 대응하는 내주면을 갖는 렌치홈(331)이 형성되고, 그 하면에 원형의 돌출단(333)이 형성되며, 렌치홈(331)의 중심 하부로 통공(335)이 형성된다.The plug 330 has a wrench groove 331 having an inner circumferential surface corresponding to the shape of the wrench on its upper surface and a circular protruding end 333 formed on the lower surface of the wrench 331, A through hole 335 is formed.

또한, 돌출단(333)의 반경 방향 외측으로 오링(337)이 구비되어 측정공(215)과 격막(340)을 통한 유체의 유출을 차단한다.An O-ring 337 is provided radially outwardly of the protruding end 333 to block the flow of the fluid through the measurement hole 215 and the diaphragm 340.

상기 격막(340)은 스테인레스 재질로 이루어지되 플러그(330)의 하단에 구비되되 주름진 형상을 갖도록 형성된다.The diaphragm 340 is made of stainless steel and is provided at a lower end of the plug 330, but has a corrugated shape.

여기서 격막(340)을 주름지게 하는 것은 플랜지유로(205) 내부의 압력이 압력센서(301)로 용이하게 전달되도록 하고 반복응력을 받는 격막(340)의 내구성을 증가시키기 위함이다.Here, corrugation of the diaphragm 340 is intended to allow the pressure inside the flange passage 205 to be easily transferred to the pressure sensor 301 and to increase the durability of the diaphragm 340 subjected to repeated stress.

한편, 도 3 및 도 4를 참조하여 압력센서(301)를 센서피팅부(300)에 조립하는 과정과 센서의 작동 과정을 살펴보면 다음과 같다.3 and 4, a process of assembling the pressure sensor 301 to the sensor fitting portion 300 and a process of operating the sensor will be described below.

먼저 격막(340)을 피팅홀(320) 하단에 형성된 단턱(315) 위에 위치시키고, 플러그(330)를 삽입하여 나사 결합한다.First, the diaphragm 340 is positioned on the step 315 formed at the lower end of the fitting hole 320, and the plug 330 is inserted and screwed.

다음으로 압력센서(301)가 삽입될 때 압력센서(301)의 최하단이 위치하는 높이까지 비압축성 유체를 충진함으로써 압력센서(301)와 격막(340) 사이의 내부 공간은 비압축성 유체로 채워진다.The inner space between the pressure sensor 301 and the diaphragm 340 is filled with the incompressible fluid by filling the incompressible fluid to a height at which the lowermost end of the pressure sensor 301 is positioned when the pressure sensor 301 is inserted.

비압축성 유체는 부식 방지 기능도 수행할 수 있는 오일을 사용하는 것이 바람직하다.It is preferred that the incompressible fluid use an oil that can also perform a corrosion-preventive function.

이처럼 압력센서(301)가 센서피팅부(300)에 조립된 상태에서 플랜지유로(205) 내부의 압력은 격막(340)에 작용하여 격막(340)의 변위를 일으키며, 격막(340)의 변위는 비압축성 유체를 통하여 압력센서(301)로 전달됨으로써 압력 측정이 가능해진다.When the pressure sensor 301 is assembled to the sensor fitting portion 300, the pressure inside the flange passage 205 acts on the diaphragm 340 to cause displacement of the diaphragm 340, and the displacement of the diaphragm 340 The pressure can be measured by being transmitted to the pressure sensor 301 through the incompressible fluid.

이와 같이 압력센서(301)는 플랜지유로(205) 내부를 통과하는 유체와 직접적으로 접촉하지 않으면서 압력을 측정할 수 있으므로 압력센서(301)의 내구성 및 안정성이 증가한다.Since the pressure sensor 301 can measure the pressure without directly contacting the fluid passing through the inside of the flange passage 205, the durability and stability of the pressure sensor 301 are increased.

이러한 센서피팅부(300)는 압력 측정을 요하는 복수의 플랜지부(200) 중 적어도 어느 하나에 구비된다.The sensor fitting portion 300 is provided on at least one of the plurality of flange portions 200 requiring pressure measurement.

본 발명의 일 실시예에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브의 설치 과정은 다음과 같다.A process of installing a valve having a sensor fitting portion according to an embodiment of the present invention is as follows.

먼저 플랜지부(200)의 안착부(240)를 밸브바디부(100) 내부로 삽입하고, 체결플랜지(220)에 형성되어 있는 장공(223)으로 탭볼트(TB)를 관통시켜 바디플랜지(120)의 탭홈(125)에 가(假)결합한다.The seating part 240 of the flange part 200 is inserted into the valve body part 100 and the tap bolt TB is passed through the elongated hole 223 formed in the fastening flange 220, (Not shown).

이때 체결플랜지(220)는 원주 방향으로 소정 각도 회전 가능한 상태가 된다.At this time, the fastening flange 220 is rotatable by a predetermined angle in the circumferential direction.

다음으로 고객사의 배관 설비 구조에 맞게 센서피팅부(300)를 소정 각도로 조정하고, 그 후 탭볼트(TB)를 더욱 조여 플랜지부(200)를 밸브바디부(100)에 고정 결합한다.Next, the sensor fitting portion 300 is adjusted to a predetermined angle in accordance with the piping structure of the customer, and the flange portion 200 is fixedly coupled to the valve body portion 100 by further tightening the tap bolts TB.

도 5는 본 발명에 따른 센서피팅부를 구비한 밸브의 플랜지부 각도 조절을 설명하기 위한 단면도로서, 센서피팅부(300)가 30°~ 60°범위 내에서 조절되는 것을 나타내고 있다.5 is a cross-sectional view for explaining the angle adjustment of the flange portion of the valve having the sensor fitting portion according to the present invention, in which the sensor fitting portion 300 is adjusted within a range of 30 ° to 60 °.

바디플랜지(120)에는 장공(223)의 개수보다 많은 개수의 탭홈(125)이 형성되어 있으므로 원하는 각도로 센서피팅부(300)를 고정할 수 있게 된다.Since the number of the tab grooves 125 in the body flange 120 is greater than the number of the slots 223, the sensor fitting portion 300 can be fixed at a desired angle.

장공(223)의 길이를 더욱 길게 하면 센서피팅부(300)의 각도 조절폭이 더 커지게 되므로, 장공(223)의 길이에 따라 장공(223)의 개수 및 탭홈(125)의 개수 조절이 가능하다.As the length of the long hole 223 is made longer, the angle adjustment width of the sensor fitting portion 300 becomes larger. Therefore, the number of the long holes 223 and the number of the tab grooves 125 can be adjusted according to the length of the long hole 223 Do.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100: 밸브바디부 105: 밸브유로
110: 밸브본체 120: 바디플랜지
125: 탭홈 130: 스템부
200: 플랜지부 205: 플랜지유로
210: 중공원통부 215: 측정공
220: 체결플랜지 223: 장공
225: 히팅공 227: 히팅봉
230: 연결플랜지 240: 안착부
300: 센서피팅부 301: 압력센서
310: 피팅바디 315: 단턱
320: 피통홀 330: 플러그
331: 렌치홈 333: 돌출단
335: 통공 337: 오링
340: 격막100: valve body part 105: valve flow path
110: valve body 120: body flange
125: tab groove 130: stem portion
200: flange portion 205: flange flow passage
210: hollow cylindrical part 215: measuring hole
220: fastening flange 223: long hole
225: Heating ball 227: Heating rod
230: connecting flange 240: seat part
300: sensor fitting part 301: pressure sensor
310: fitting body 315: step
320: Pipe hole 330: Plug
331: Wrench groove 333: protruding end
335: through hole 337: O-ring
340: diaphragm

Claims (5)

유체가 통과하는 밸브유로(105)가 내부에 복수로 분기되어 있는 밸브본체(110),
상기 밸브본체(110)의 측면에 상기 밸브유로(105)에 연결되어 형성되되, 축방향 외주면에 다수의 탭홈(125)이 형성되는 복수의 바디플랜지(120), 및
상기 밸브유로(105)를 개폐하는 스템부(130)를 포함하는 밸브바디부(100);
상기 밸브유로(105)와 연통되는 플랜지유로(205)가 형성되는 중공원통부(210),
상기 중공원통부(210)의 외주면에 돌출 형성되어 상기 바디플랜지(120)에 결합되는 체결플랜지(220), 및
상기 체결플랜지(220)로부터 일정 간격 이격되어 상기 중공원통부(210)의 일단에 구비되되, 배관에 연결되는 연결플랜지(230),를 포함하는 복수의 플랜지부(200);
상기 복수의 플랜지부(200) 중 적어도 어느 하나에 구비되되, 상기 체결플랜지(220)와 상기 연결플랜지(230) 사이의 상기 중공원통부(210) 외주면 일측에 형성되는 센서피팅부(300);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서피팅부를 구비한 밸브.A valve body 110 in which a plurality of valve passages 105 through which fluids pass are internally divided,
A plurality of body flanges 120 connected to the valve passage 105 on the side surface of the valve body 110 and having a plurality of tab grooves 125 formed on an outer circumferential surface of the valve body 110,
A valve body part (100) including a stem part (130) for opening and closing the valve flow path (105);
A hollow cylindrical portion 210 in which a flange flow path 205 communicating with the valve flow path 105 is formed,
A coupling flange 220 protruding from the outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion 210 and coupled to the body flange 120,
A plurality of flange portions 200 spaced apart from the fastening flange 220 and provided at one end of the hollow cylindrical portion 210 and having a connection flange 230 connected to the pipe;
A sensor fitting portion 300 provided at at least one of the plurality of flange portions 200 and formed at one side of the outer circumferential surface of the hollow cylindrical portion 210 between the coupling flange 220 and the coupling flange 230;
And a valve body having a sensor fitting portion. 제1항에 있어서,
상기 체결플랜지(220)에 연장 형성되어 상기 밸브본체(110) 내부로 삽입되는 안착부(240)가 더 형성되며,
상기 체결플랜지(220)에는 다수의 장공(223)이 형성되고,
상기 센서피팅부(300)가 소정 각도로 위치한 상태에서 탭볼트(TB)가 상기 장공(223)을 통해 삽입되어 상기 탭홈(125)에 나사 결합됨으로써 상기 플랜지부(200)가 상기 밸브바디부(100)에 결합되는 것을 특징으로 하는 센서피팅부를 구비한 밸브.The method according to claim 1,
A seating part 240 extending from the fastening flange 220 and inserted into the valve body 110 is further formed,
A plurality of slots 223 are formed in the fastening flange 220,
When the sensor fitting portion 300 is positioned at a predetermined angle, the tab bolt TB is inserted through the elongated hole 223 and screwed into the tab groove 125 so that the flange portion 200 is inserted into the valve body portion 100). ≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 센서피팅부(300)는
상기 중공원통부(210)의 일측에 형성된 측정공(215)에 연결되어 상기 중공원통부(210)의 외주면으로부터 돌출되어 구비되는 피팅바디(310),
상기 피팅바디(310)의 중심부를 관통하되 그 내주면에 나사산이 형성되는 피팅홀(320),
상기 피팅홀(320)에 결합되되, 그 상면에는 렌치의 형상에 대응하는 내주면을 갖는 렌치홈(331)이 형성되고, 그 하면에는 원형의 돌출단(333)이 형성되며, 상기 렌치홈(331)의 중심 하부로 통공(335)이 형성되는 플러그(330), 및
상기 플러그(330)의 하단에 구비되되 주름진 형상을 갖는 격막(340)을 포함하며,
상기 피팅홀(320)에 상기 플러그(330)의 상부로 압력센서(301)가 나사 체결되는 것을 특징으로 하는 센서피팅부를 구비한 밸브.The method according to claim 1,
The sensor fitting portion 300
A fitting body 310 connected to the measurement hole 215 formed at one side of the hollow cylindrical part 210 and protruding from the outer circumferential surface of the hollow cylindrical part 210,
A fitting hole 320 passing through the center of the fitting body 310 and having a thread on an inner peripheral surface thereof,
A wrench groove 331 having an inner circumferential surface corresponding to the shape of the wrench is formed on the upper surface of the fitting hole 320. A circular protruding end 333 is formed on the lower surface of the wrench groove 331. The wrench groove 331 A plug 330 in which a through hole 335 is formed at the center of the center of the plug 330,
And a diaphragm (340) provided at a lower end of the plug (330) and having a corrugated shape,
And a pressure sensor (301) is screwed to the upper portion of the plug (330) in the fitting hole (320). 제3항에 있어서,
상기 압력센서(301)와 상기 격막(340) 사이의 내부 공간은 비압축성 유체로 채워지는 것을 특징으로 하는 센서피팅부를 구비한 밸브.The method of claim 3,
Wherein the internal space between the pressure sensor (301) and the diaphragm (340) is filled with an incompressible fluid. 제1항에 있어서,
상기 체결플랜지(220)에는 복수의 히팅공(225)이 형성되고, 상기 히팅공(225)에는 히팅봉(227)이 삽입되는 것을 특징으로 하는 센서피팅부를 구비한 밸브.The method according to claim 1,
Wherein a plurality of heating holes 225 are formed in the fastening flange 220 and a heating rod 227 is inserted into the heating hole 225.
KR1020180164147A 2018-12-18 2018-12-18 Valve Having Sensor Fitting Portion KR101952551B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180164147A KR101952551B1 (en) 2018-12-18 2018-12-18 Valve Having Sensor Fitting Portion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180164147A KR101952551B1 (en) 2018-12-18 2018-12-18 Valve Having Sensor Fitting Portion

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101952551B1 true KR101952551B1 (en) 2019-02-26

Family

ID=65562421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180164147A KR101952551B1 (en) 2018-12-18 2018-12-18 Valve Having Sensor Fitting Portion

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101952551B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100227822B1 (en) 1996-08-26 1999-11-01 윤종용 Pipe pressure sensor assembly for and leakage prevent system for semiconductor manufacture apparatus
KR20090107988A (en) * 2009-08-31 2009-10-14 세메스 주식회사 Valve with sensor for process solution, Apparatus for treating substrate using the same and Method thereof
KR20180001145U (en) * 2016-10-17 2018-04-25 한전케이피에스 주식회사 Pipe fitting leakage detecting cap structure
KR20180068339A (en) * 2016-11-21 2018-06-22 주식회사 기하정밀 Valve apparatus for separating air-conditioning pipe and air-conditioning equipment
KR20180078473A (en) * 2016-12-30 2018-07-10 주식회사 두산 Flow path connecting structure

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100227822B1 (en) 1996-08-26 1999-11-01 윤종용 Pipe pressure sensor assembly for and leakage prevent system for semiconductor manufacture apparatus
KR20090107988A (en) * 2009-08-31 2009-10-14 세메스 주식회사 Valve with sensor for process solution, Apparatus for treating substrate using the same and Method thereof
KR20180001145U (en) * 2016-10-17 2018-04-25 한전케이피에스 주식회사 Pipe fitting leakage detecting cap structure
KR20180068339A (en) * 2016-11-21 2018-06-22 주식회사 기하정밀 Valve apparatus for separating air-conditioning pipe and air-conditioning equipment
KR20180078473A (en) * 2016-12-30 2018-07-10 주식회사 두산 Flow path connecting structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8220839B2 (en) Pipe insert
US20210131592A1 (en) Backflow prevention assembly having a variable lay-length and orientation
US8196892B2 (en) Fluid control valve
US7278320B1 (en) Omni-directional pressure pickup probe
EP3201572B1 (en) Lugged wafer alignment ring
US11131405B1 (en) Angle ball valve having integrated sensor
AU731517B2 (en) System for measuring differential pressure, flow, and level
KR101952551B1 (en) Valve Having Sensor Fitting Portion
AU2005218073B2 (en) Pipe insert
US20180238469A1 (en) Tap with integral ball valve
WO2019070488A1 (en) Diaphragm seal with integral flushing ring
KR101685195B1 (en) Ball valve with a dual pressure measuring device
KR200396420Y1 (en) Flange type valve of flang coupling structure
KR100460940B1 (en) Short lift valve
US10047868B2 (en) Adjustable curtain style port valve device
EP2681494B1 (en) An adapter device for connecting a radiator element to a plumbing system
KR101608394B1 (en) The butterfly valve that have a pressure gauge and thermometer
EP2320119B1 (en) Connection module and connector
CN213982150U (en) Backflow prevention assembly
US20080110272A1 (en) Universal converter plate for pressure transmitters
RU2680533C1 (en) Ball valve and method for manufacturing thereof
CN220016183U (en) Flow dividing valve
US11421805B2 (en) Telescoping meter flange
RU166128U1 (en) PIPELINE FITTINGS
WO1991002186A1 (en) Pipework insert device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant