KR101947282B1 - Epoxy resin composition - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 소자에 관한 것이다.The present invention relates to an epoxy resin composition and a semiconductor device sealed with the epoxy resin composition.
최근 전자기기의 경량화, 소형화, 박형화 추세에 따라 극소형 패키지 부품의 사용이 증가하고 있다. IC(Integrated Circuit) 등의 반도체 공정으로 제조된 칩을 인쇄회로기판에 실장할 때, 외부의 물리적, 화학적 충격으로부터 반도체 소자를 보호하기 위해서 반도체 밀봉재료가 사용된다. 이러한 반도체 밀봉재료에는 우수한 내열성, 흐름성, 성형성, 신뢰성이 요구된다.2. Description of the Related Art Recently, the use of ultra-small package parts has been increasing due to the weight reduction, miniaturization and thinning of electronic devices. When a chip manufactured by a semiconductor process such as an IC (Integrated Circuit) is mounted on a printed circuit board, a semiconductor sealing material is used to protect the semiconductor device from external physical and chemical impacts. Such semiconductor encapsulating materials are required to have excellent heat resistance, flowability, moldability, and reliability.
BOC(Board on chip)형 적층 패키지는 제조 시 저온 및 고온 상태에 반복적으로 노출된다. 이때, 기판-칩-밀봉재료 간에 열팽창 정도의 차가 클 경우, 패키지 내부에 휨이나 크랙이 발생하게 되고, 이로 인해 패키지의 밀봉 시 기공이 생기거나 불완전 성형이 일어나는 등, 성형 불량이 빈번히 발생하고 있다. BOC (Board on Chip) type stacked packages are repeatedly exposed at low and high temperature conditions during manufacture. At this time, if the difference in the degree of thermal expansion between the substrate and the chip-sealing material is large, warpage or cracks are generated in the package, and pores are formed or incomplete molding occurs during sealing of the package, .
따라서, 휨 특성 및 내크랙성이 우수할 뿐만 아니라, 유리전이온도와 열팽창계수가 높고, 굴곡 탄성율이 낮으며, 흐름성이 우수한 새로운 봉지재의 개발이 요구되고 있다. Therefore, there is a demand for the development of a new encapsulant having excellent glass transition temperature and thermal expansion coefficient, low flexural modulus, and excellent flowability as well as excellent flexural characteristics and crack resistance.
본 발명은 휨 특성, 내크랙성, 성형성, 내열성, 흐름성 등이 우수한 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 소자를 제공한다. The present invention provides an epoxy resin composition excellent in flexural characteristics, crack resistance, formability, heat resistance, flowability, and the like and a semiconductor device sealed using the composition.
본 발명의 에폭시 수지 조성물은 하기 화학식 1로 표시되는 제1 에폭시 수지 및 하기 화학식 2로 표시되는 제2 에폭시 수지를 함유하는 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 충진제를 포함하고, 상기 제1 에폭시 수지와 제2 에폭시 수지의 혼합 비율이 1 : 1-2 중량 비율이고, 상기 충진제의 함량이 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 80-85 중량%이다.The epoxy resin composition of the present invention comprises an epoxy resin containing a first epoxy resin represented by the following formula (1) and a second epoxy resin represented by the following formula (2), a curing agent, a curing accelerator and a filler, The mixing ratio of the second epoxy resin is 1: 1-2 weight ratio, and the content of the filler is 80-85 weight% based on the total weight of the epoxy resin composition.
(상기 화학식 1 및 2에서,(In the above formulas (1) and (2)
R1 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소 또는 C1-C12의 알킬기로 이루어진 군에서 선택되고,R 1 to R 9 are the same or different and are each independently selected from the group consisting of hydrogen or a C 1 -C 12 alkyl group,
a, b, c, d, e 및 f는 각각 1 내지 4의 정수이고,a, b, c, d, e and f are each an integer of 1 to 4,
x는 0 또는 1이고,x is 0 or 1,
n의 평균치는 1 내지 7의 정수임).n is an integer of 1 to 7).
본 발명의 에폭시 수지 조성물은 유리전이온도(Tg) 및 열팽창계수(CTE)가 높고 굴곡탄성율(flexural modulus)이 낮아, 내크랙성, 휨 특성, 내열성, 성형성, 흐름성, 성형성, 신뢰성이 우수한 경화물을 형성할 수 있다. The epoxy resin composition of the present invention has a high glass transition temperature (Tg) and a high thermal expansion coefficient (CTE) and a low flexural modulus, and is excellent in crack resistance, flexural characteristics, heat resistance, moldability, flowability, moldability and reliability An excellent cured product can be formed.
이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 그러나, 하기 내용에 의해서만 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 각 구성요소가 다양하게 변형되거나 선택적으로 혼용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail. However, it should be understood that the present invention is not limited to the following embodiments, and various elements may be modified or selectively mixed according to need. Accordingly, it is to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
<에폭시 수지 조성물>≪ Epoxy resin composition &
본 발명의 에폭시 수지 조성물은 하기 화학식 1로 표시되는 제1 에폭시 수지 및 하기 화학식 2로 표시되는 제2 에폭시 수지를 함유하는 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제 및 충진제를 포함하고, 상기 제1 에폭시 수지와 제2 에폭시 수지의 혼합 비율이 1 : 1-2 중량 비율이고, 상기 충진제의 함량이 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 80-85 중량%이다. The epoxy resin composition of the present invention comprises an epoxy resin containing a first epoxy resin represented by the following formula (1) and a second epoxy resin represented by the following formula (2), a curing agent, a curing accelerator and a filler, The mixing ratio of the second epoxy resin is 1: 1-2 weight ratio, and the content of the filler is 80-85 weight% based on the total weight of the epoxy resin composition.
이하, 본 발명의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물의 각 구성에 대하여 살펴본다.Hereinafter, each constitution of the epoxy resin composition for sealing semiconductor devices of the present invention will be described.
에폭시 수지Epoxy resin
본 발명에 따른 에폭시 수지 조성물에서, 에폭시 수지는 열에 의해 경화제와 반응하여 경화되고, 경화 후 삼차원 망상 구조를 형성함으로써 반도체 소자에 강하고 견고하게 접착할 수 있다. In the epoxy resin composition according to the present invention, the epoxy resin reacts with the curing agent by heat to cure, and forms a three-dimensional network structure after curing, so that the epoxy resin can be firmly and strongly adhered to the semiconductor element.
본 발명에서는 경화물의 유리전이온도(Tg)를 높이면서 굴곡탄성율(flexural modulus)를 낮추고, 더불어 흐름성을 향상시키기 위해서, 하기 화학식 1로 표시되는 제1 에폭시 수지와 하기 화학식 2로 표시되는 제2 에폭시 수지를 혼용한다. 일례로, 상기 제1 에폭시 수지와 상기 제2 에폭시 수지는 1 : 1-2 중량 비율로 혼용한다. 상기 제1 에폭시 수지 및 제2 에폭시 수지 중 어느 하나를 단독으로 사용하거나, 제1 에폭시 수지와 제2 에폭시 수지의 혼합 비율이 전술한 범위를 벗어날 경우, 내열성, 휨 특성, 흐름성, 내크랙성 등이 저하될 수 있다.In the present invention, in order to lower the flexural modulus while improving the glass transition temperature (Tg) of the cured product and to improve the flowability, a first epoxy resin represented by the following formula (1) and a second epoxy resin represented by the following formula Epoxy resin is mixed. For example, the first epoxy resin and the second epoxy resin are mixed in a ratio of 1: 1 to 2: 1. When any one of the first epoxy resin and the second epoxy resin is used alone or when the mixing ratio of the first epoxy resin and the second epoxy resin is out of the above range, heat resistance, flexural characteristics, flowability, crack resistance And the like may be deteriorated.
[화학식 1][Chemical Formula 1]
[화학식 2](2)
(상기 화학식 1 및 2에서,(In the above formulas (1) and (2)
R1 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소 또는 C1-C12의 알킬기로 이루어진 군에서 선택되고,R 1 to R 9 are the same or different and are each independently selected from the group consisting of hydrogen or a C 1 -C 12 alkyl group,
a, b, c, d, e 및 f는 각각 1 내지 4의 정수이고,a, b, c, d, e and f are each an integer of 1 to 4,
x는 0 또는 1이고,x is 0 or 1,
n의 평균치는 1 내지 7의 정수임).n is an integer of 1 to 7).
상기 화학식 1로 표시되는 에폭시 수지는 분자 내 3개의 에폭시기를 갖는 다관능형 에폭시 수지의 일종으로, 경화물의 가교 밀도 및 유리전이온도가 높고, 경화 수축량이 작기 때문에, 접착성, 신뢰성, 내열성, 휨 특성, 내크랙성 등이 향상될 수 있다. The epoxy resin represented by the above formula (1) is one kind of a multifunctional epoxy resin having three epoxy groups in the molecule. Since the cross-linking density and the glass transition temperature of the cured product are high and the curing shrinkage is small, the adhesive property, reliability, heat resistance, , Crack resistance and the like can be improved.
이러한 화학식 1로 표시되는 에폭시 수지의 예로는 하기 화학식 1a로 표시되는 다관능형 에폭시 수지, 하기 화학식 1b로 표시되는 다관능형 에폭시 수지 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다. Examples of the epoxy resin represented by the formula (1) include a multifunctional epoxy resin represented by the following formula (1a) and a multifunctional epoxy resin represented by the following formula (1b).
[화학식 1a][Formula 1a]
[화학식 1b][Chemical Formula 1b]
상기 화학식 1로 표시되는 에폭시 수지는 에폭시 당량이 특별히 한정되지 않으나, 예컨대 에폭시 당량이 약 200-250 g/eq 일 경우 경화물의 내크랙성을 더 향상시킬 수 있다. 상기 화학식 1로 표시되는 에폭시 수지의 연화점은 특별히 한정되지 않으나, 예컨대 약 50-70℃ 일 경우 경화물의 내크랙성, 내열성을 향상시킬 수 있다.The epoxy equivalent of the epoxy resin represented by Formula 1 is not particularly limited. For example, when the epoxy equivalent is about 200-250 g / eq, the crack resistance of the cured product can be further improved. The softening point of the epoxy resin represented by the above formula (1) is not particularly limited. However, when the temperature is about 50-70 ° C, crack resistance and heat resistance of the cured product can be improved.
상기 화학식 2로 표시되는 에폭시 수지는 페놀아랄킬형 에폭시 수지의 일종으로, 수지 조성물의 유동성, 패키지의 난연성 및 성형 특성을 개선할 수 있다. 특히, 페놀아랄킬형 에폭시 수지는 페놀 골격을 바탕으로 하면서 주사슬 내 바이페닐 구조를 갖기 때문에, 흡습성, 인성, 내산화성 및 내크랙성을 확보할 수 있다. The epoxy resin represented by Formula 2 is a kind of phenol aralkyl type epoxy resin and can improve the fluidity of the resin composition, the flame retardancy of the package, and the molding characteristics. Particularly, since the phenol aralkyl type epoxy resin has a biphenyl structure in the main chain based on the phenol skeleton, hygroscopicity, toughness, oxidation resistance and crack resistance can be secured.
상기 화학식 2로 표시되는 에폭시 수지의 예로는 하기 화학식 2a로 표시되는 페놀아랄킬형 에폭시 수지 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다.Examples of the epoxy resin represented by Formula 2 include phenol aralkyl type epoxy resins represented by Formula 2a, but are not limited thereto.
[화학식 2a](2a)
(상기 화학식 2a에서, n의 평균치는 1 내지 7의 정수임.)(In the formula (2a), the average value of n is an integer of 1 to 7.)
이러한 화학식 2로 표시되는 에폭시 수지는 에폭시 당량이 특별히 한정되지 않으나, 약 250-300 g/eq 일 경우 경화물의 흐름성, 내열성, 휨 특성 등을 더 향상시킬 수 있다. 상기 화학식 2로 표시되는 에폭시 수지의 연화점은 특별히 한정되지 않으나, 예컨대 약 50-70℃ 일 경우 경화물의 내열성이 더 향상될 수 있다. 또한, 상기 화학식 2로 표시되는 에폭시 수지의 점도는 특별히 한정되지 않으나, 예컨대 점도가 약 0.5-1.0 poise 일 수 있다.The epoxy equivalent of the epoxy resin represented by the general formula (2) is not particularly limited, but the flowability, heat resistance, flexural characteristics and the like of the cured product can be further improved when it is about 250-300 g / eq. The softening point of the epoxy resin represented by the formula (2) is not particularly limited, but the heat resistance of the cured product can be further improved, for example, at about 50-70 ° C. The viscosity of the epoxy resin represented by the formula (2) is not particularly limited, but may be, for example, about 0.5-1.0 poise.
본 발명의 에폭시 수지 조성물은 필요에 따라 전술한 화학식 1의 에폭시 수지와 화학식 2의 에폭시 수지 이외, 당 분야에 통상적으로 알려진 에폭시 수지를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 비스페놀A, 비스페놀E, 비스페놀F, 비스페놀M, 비스페놀S, 비스페놀 H등의 비스페놀형 에폭시 수지, 글리시딜 에테르계 에폭시 수지, 글리시딜 아민계 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 다이머산 변성 에폭시 수지 등을 들 수 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 이러한 에폭시 수지의 함량은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 0.1-5 중량%, 다른 예로 약 0.2-4 중량% 일 수 있다.The epoxy resin composition of the present invention may further comprise an epoxy resin commonly known in the art other than the epoxy resin of Formula 1 and the epoxy resin of Formula 2, if necessary. Examples thereof include bisphenol type epoxy resins such as bisphenol A, bisphenol E, bisphenol F, bisphenol M, bisphenol S and bisphenol H, glycidyl ether type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, phenol novolak type epoxy resins , Cresol novolak type epoxy resin, dimeric acid-modified epoxy resin, etc. These may be used alone or in combination of two or more kinds. The content of such an epoxy resin is not particularly limited, and may be, for example, 0.1-5 wt% based on the total weight of the epoxy resin composition, and in another example, about 0.2-4 wt%.
본 발명의 수지 조성물에서, 에폭시 수지의 함량은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 약 5-15 중량%, 다른 예로 약 7-12 중량% 일 수 있다. 상기 에폭시 수지가 전술한 범위를 가질 경우, 접착성, 내열성, 흐름성, 성형성 등이 더 향상될 수 있다. In the resin composition of the present invention, the content of the epoxy resin is not particularly limited and may be, for example, about 5-15% by weight based on the total weight of the epoxy resin composition, and in another example about 7-12% by weight. When the epoxy resin has the above-mentioned range, adhesiveness, heat resistance, flowability, moldability and the like can be further improved.
경화제Hardener
본 발명에 따른 에폭시 수지 조성물에서, 경화제는 에폭시 수지와 반응하여 조성물의 경화를 진행시키는 성분이다.In the epoxy resin composition according to the present invention, the curing agent is a component that reacts with the epoxy resin to advance the curing of the composition.
본 발명에서 사용 가능한 경화제는 당해 기술분야에서 통상적으로 알려진 것이라면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 페놀아랄킬형 페놀수지, 페놀노볼락형 페놀수지, 자일록형 페놀수지, 크레졸노볼락형 페놀수지, 나프톨형 페놀수지, 테르펜형 페놀수지, 다관능형 페놀수지, 디시클로펜타디엔계 페놀수지, 나프탈렌형 페놀수지, 비스페놀A와 레졸로부터 합성된 노볼락형 페놀수지, 트리스(하이드록시페닐)메탄, 디하이드록시바이페닐을 포함하는 다가페놀 화합물, 무수 말레인산 및 무수 프탈산을 포함하는 산무수물, 메타페닐렌디아민, 디아미노디페닐메탄, 디아미노디페닐설폰 등의 방향족 아민 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼용될 수 있다. The curing agent usable in the present invention is not particularly limited as long as it is commonly known in the art. Examples thereof include phenol aralkyl type phenol resins, phenol novolac type phenol resins, xylock type phenol resins, cresol novolak type phenol resins, naphthol type phenol resins, terpene type phenol resins, multifunctional type phenol resins, dicyclopentadiene type phenol Resin, naphthalene type phenol resin, novolak type phenol resin synthesized from bisphenol A and resole, polyhydric phenol compound including tris (hydroxyphenyl) methane, dihydroxybiphenyl, acid anhydride including maleic anhydride and phthalic anhydride , Aromatic amines such as metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone, but are not limited thereto. These may be used alone or in combination of two or more.
특히, 다관능형 페놀수지계 경화제일 경우, 유리전이온도를 더 향상시켜 패키지의 휨(warpage) 감소 효과를 상승시킬 수 있다. 이러한 다관능형 페놀수지계 경화제의 비제한적인 예로는 하기 화학식 3으로 표시되는 페놀수지 등이 있다.In particular, in the case of a multifunctional phenol resin-based curing agent, the glass transition temperature can be further improved to increase the warpage reduction effect of the package. Non-limiting examples of such a multifunctional phenol resin-based curing agent include a phenol resin represented by the following formula (3).
[화학식 3](3)
(상기 화학식 3에서, n의 평균치는 1 내지 7임).(In the formula 3, the average value of n is 1 to 7).
상기 다관능형 페놀수지계 경화제는 OH 당량이 특별히 한정되지 않으나, OH 당량이 약 90-115 g/eq 일 경우, 경화물의 접착성이 더 향상될 수 있다. 상기 다관능형 페놀수지계 경화제는 연화점이 약 70-95℃ 일 경우, 흐름성을 향상시킬 수 있다.The OH equivalent of the multifunctional phenol resin-based curing agent is not particularly limited, but when the OH equivalent is about 90-115 g / eq, the adhesion of the cured product can be further improved. The polyfunctional phenol resin-based curing agent can improve the flowability when the softening point is about 70-95 ° C.
이와 같은 경화제는 기계적 성질, 내습 신뢰성의 요구에 따라 에폭시 수지와의 혼합 비율을 조절할 수 있다. 예컨대, 상기 경화제와 에폭시 수지의 혼합 비율은 1 : 1-2 중량비율, 다른 예로 1 : 1.4-1.7 중량비율일 수 있다.Such a curing agent can control the mixing ratio with the epoxy resin in accordance with the requirements of mechanical properties and moisture resistance reliability. For example, the mixing ratio of the curing agent to the epoxy resin may be 1: 1 to 2: 1 by weight, and may be 1: 1.4 to 1.7: 1 by weight.
본 발명의 수지 조성물에서, 경화제의 함량은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 약 1-10 중량%, 다른 예로 약 3-8 중량% 일 수 있다.In the resin composition of the present invention, the content of the curing agent is not particularly limited and may be, for example, about 1-10% by weight, and in another example about 3-8% by weight based on the total weight of the epoxy resin composition.
경화촉진제Hardening accelerator
본 발명의 에폭시 수지 조성물에서, 경화촉진제는 에폭시 수지와 경화제의 경화반응을 촉진시키는 성분이다. In the epoxy resin composition of the present invention, the curing accelerator is a component that accelerates the curing reaction between the epoxy resin and the curing agent.
본 발명에서 사용 가능한 경화촉진제는 당해 기술분야에서 통상적으로 사용되는 것이라면 특별히 한정되지 않는다. 예컨대, 3급 아민, 유기금속화합물, 유기인화합물, 이미다졸, 붕소화합물 등이 있다. The curing accelerator usable in the present invention is not particularly limited as long as it is commonly used in the art. Examples thereof include tertiary amines, organometallic compounds, organic phosphorus compounds, imidazoles, and boron compounds.
상기 3급 아민의 비제한적인 예로는, 벤질디메틸아민, 트리에탄올아민, 트리에틸렌디아민, 디에틸아미노에탄올, 트리(디메틸아미노메틸)페놀, 2-2-(디메틸아미노메틸)페놀, 2,4,6-트리스(디아미노메틸)페놀 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나 2종 이상이 혼합되어 사용될 수 있다.Nonlimiting examples of the tertiary amine include benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylenediamine, diethylaminoethanol, tri (dimethylaminomethyl) phenol, 2-2- (dimethylaminomethyl) 6-tris (diaminomethyl) phenol, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
상기 유기금속화합물의 비제한적인 예로는, 크로뮴아세틸아세토네이트, 징크세틸아세토네이트, 니켈아세틸아세토네이트 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나 2종 이상이 혼합되어 사용될 수 있다.Non-limiting examples of the organometallic compound include chromium acetylacetonate, zinc cetylacetonate, nickel acetylacetonate, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
상기 유기인화합물의 비제한적인 예로는, 트리스-4-메톡시포스핀, 테트라부틸포스포늄브로마이드, 부틸트리페닐포스포늄브로마이드, 페닐포스핀, 디페닐포스핀, 트리페닐포스핀, 트리페닐포스핀트리페닐보란, 트리페닐포스핀-1,4-벤조퀴논 부가물 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나 2종 이상이 혼합되어 사용될 수 있다.Non-limiting examples of the organic phosphorus compound include tris-4-methoxyphosphine, tetrabutylphosphonium bromide, butyltriphenylphosphonium bromide, phenylphosphine, diphenylphosphine, triphenylphosphine, triphenylphosphine Triphenylphosphine borane, triphenylphosphine-1,4-benzoquinone adduct, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
상기 이미다졸류의 비제한적인 예로는, 2-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-아미노이미다졸, 2메틸-1-비닐이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-헵타데실이미다졸 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나 2종 이상이 혼합되어 사용될 수 있다.Non-limiting examples of the imidazoles include 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-aminoimidazole, 2-methyl-1-vinylimidazole, Sol, 2-heptadecyl imidazole, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
상기 붕소화합물의 비제한적인 예로는, 테트라페닐포스포늄-테트라페닐보레이트, 트리페닐포스핀 테트라페닐보레이트, 테트라페닐보론염, 트리플루오로보란-n-헥실아민, 트리플루오로보란모노에틸아민, 테트라플루오로보란트리에틸아민, 테트라플루오로보란아민 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나 2종 이상이 혼합되어 사용될 수 있다. Non-limiting examples of the boron compound include tetraphenylphosphonium-tetraphenylborate, triphenylphosphine tetraphenylborate, tetraphenylboron salt, trifluoroborane-n-hexylamine, trifluoroborane monoethylamine, Tetrafluoroborane triethylamine, tetrafluoroborane amine, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
본 발명의 수지 조성물에서, 경화촉진제의 함량은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 약 0.05-5 중량%, 다른 예로 0.1-2 중량% 일 수 있다. 상기 경화촉진제의 함량이 전술한 범위일 경우, 경화성의 저하 및 과경화 없이 흐름성을 향상시킬 수 있다.In the resin composition of the present invention, the content of the curing accelerator is not particularly limited, and may be, for example, about 0.05-5% by weight based on the total weight of the epoxy resin composition, and alternatively 0.1-2% by weight. When the content of the curing accelerator is in the range described above, the flowability can be improved without lowering the curability and reducing the hardening.
충진제Filler
본 발명에 따른 에폭시 수지 조성물에서, 충진제는 경화물의 기계적 물성(예, 강도 등)을 향상시키는 역할을 한다. In the epoxy resin composition according to the present invention, the filler serves to improve the mechanical properties (e.g., strength, etc.) of the cured product.
본 발명에서 사용 가능한 충진제는 당해 기술분야에서 통상적으로 사용되는 충진제라면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 실리카, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 알루미나, 마그네시아, 클레이, 탈크, 규산칼슘, 산화티탄, 산화안티몬, 질화알루미늄, 질화규소, 질화붕소, 유리섬유 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다. The fillers usable in the present invention are not particularly limited as long as they are fillers conventionally used in the art. Examples include, but are not limited to, silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, alumina, magnesia, clay, talc, calcium silicate, titanium oxide, antimony oxide, aluminum nitride, silicon nitride, boron nitride and glass fiber.
상기 충진제의 형태는 특별히 제한되지 않으며, 각상 및 구상 형태의 충진제를 모두 사용할 수 있다. 이러한 충진제의 평균입경은 특별히 제한되지 않으며, 예컨대 약 5-20 ㎛, 다른 예로 약 8-17 ㎛ 일 수 있다. 상기 충진제의 평균입경이 전술한 범위일 경우, 경화물의 기계적 물성이 더 향상될 수 있다.The form of the filler is not particularly limited, and fillers of various shapes and spheres may be used. The average particle diameter of such a filler is not particularly limited, and may be, for example, about 5-20 mu m, and in another example about 8-17 mu m. When the average particle diameter of the filler is in the above-mentioned range, the mechanical properties of the cured product can be further improved.
본 발명의 에폭시 수지 조성물에서, 충진제의 함량은 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 약 80-85 중량%인 것이 바람직하다. 이는 종래 에폭시 수지 조성물에 사용된 충진제의 함량보다 적은 함량으로, 상기 충진제의 함량이 전술한 범위일 경우, 높은 열팽창계수(CTE)를 갖는 경화물이 형성되기 때문에, 기판 및 반도체 소자 간의 열팽창계수 차이가 작아 휨 특성 및 내크랙성이 향상될 수 있다.In the epoxy resin composition of the present invention, the content of the filler is preferably about 80-85 wt% based on the total weight of the epoxy resin composition. This is because a cured product having a high thermal expansion coefficient (CTE) is formed when the content of the filler is in the above-described range with a content smaller than that of the filler used in the conventional epoxy resin composition, The warpage characteristics and crack resistance can be improved.
첨가제additive
본 발명에 따른 에폭시 수지 조성물은 전술한 성분들 이외에, 당 분야에서 통상적으로 사용되는 첨가제를 당해 조성물의 사용 목적 및 사용 환경에 따라 선택적으로 더 포함할 수 있다. The epoxy resin composition according to the present invention may further include additives commonly used in the art in addition to the above-described components, depending on the purpose of use of the composition and the use environment thereof.
상기 첨가제의 예로는, 고급 지방산, 고급 지방산 금속염, 천연 지방산, 파라핀계 왁스, 에틸렌계 왁스, 에스테르계 왁스 등의 이형제; 카본블랙, 유기염료, 무기염료 등의 착색제; 에폭시실란, 아미노실란, 알킬실란, 머캡토실란, 알콕시실란 등의 커플링제; 변성 실리콘 오일, 실리콘 파우더, 실리콘 레진, 오르가노폴리실록산(organopolysiloxane); 포스파젠, 붕산아연, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘 등의 난연제; 소포제; 안료; 염료 등이 있는데, 이들은 단독으로 사용되거나, 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of the additive include releasing agents such as higher fatty acids, higher fatty acid metal salts, natural fatty acids, paraffin wax, ethylene wax, and ester wax; Coloring agents such as carbon black, organic dyes and inorganic dyes; Coupling agents such as epoxy silane, aminosilane, alkylsilane, mercaptosilane, and alkoxysilane; Modified silicone oils, silicone powders, silicone resins, organopolysiloxanes; Flame retardants such as phosphazene, zinc borate, aluminum hydroxide, and magnesium hydroxide; Defoamer; Pigments; Dyes, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
첨가제의 함량은 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 약 0.05-10 중량%, 다른 예로 약 0.1-5 중량% 포함할 수 있다. 일례로, 상기 첨가제로 커플링제, 응력완화제, 이형제 및 착색제를 혼용할 경우, 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 0.1-1 중량%의 커플링제, 0.1-1 중량%의 응력완화제, 0.05-1 중량%의 이형제 및 0.1-1 중량%의 착색제를 포함할 수 있다.The content of the additive is not particularly limited, and may be, for example, about 0.05-10% by weight, and in another example about 0.1-5% by weight. For example, when a coupling agent, a stress relieving agent, a releasing agent and a coloring agent are mixed with the additive, 0.1 to 1 wt% of a coupling agent, 0.1 to 1 wt% of a stress relaxation agent, 0.05 to 1 wt%, based on the total weight of the epoxy resin composition, By weight of release agent and 0.1 to 1% by weight of colorant.
전술한 에폭시 수지 조성물은 당해 기술분야에 통상적으로 알려진 방법, 예컨대 반바리 믹서, 니더, 롤, 단축 또는 이축의 압출기 및 코니더 등을 이용한 공지된 용융 혼련 방법으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 상술한 각 성분들을 균일하게 섞은 후, 용융 혼합기(heat kneader)를 이용하여 약 100-130의 온도에서 용융 혼합하고, 상온으로 냉각시킨 다음, 분말상태로 분쇄한 후, 블렌딩하는 일반적인 과정을 거쳐 본 발명의 조성물을 수득할 수 있다.The above-mentioned epoxy resin composition can be produced by a method commonly known in the art, for example, a known melt-kneading method using a Banbury mixer, a kneader, a roll, a single or twin extruder, and a cone. For example, the above-mentioned respective components are uniformly mixed, melt-mixed at a temperature of about 100-130 using a heat kneader, cooled to room temperature, pulverized into a powder state, The composition of the present invention can be obtained.
이와 같은 본 발명의 에폭시 수지 조성물은 종래 에폭시 수지 조성물에 비해 내열성, 성형성, 흐름성, 신뢰성, 휨 특성 및 내크랙성이 우수하다. 따라서, 본 발명의 에폭시 수지 조성물로 반도체 소자를 밀봉 시, 반도체 소자의 성형 불량율을 낮출 수 있다.The epoxy resin composition of the present invention is superior to conventional epoxy resin compositions in heat resistance, moldability, flowability, reliability, warpage characteristics and crack resistance. Therefore, when the semiconductor element is sealed with the epoxy resin composition of the present invention, the defective formation rate of the semiconductor element can be lowered.
<반도체 소자><Semiconductor device>
본 발명은 전술한 에폭시 수지 조성물을 이용하여 밀봉된 반도체 소자를 제공한다. 이러한 반도체 소자는 내열성, 성형성, 흐름성, 신뢰성, 휨 특성 및 내크랙성이 우수한 에폭시 수지 조성물로 밀봉되기 때문에, 밀봉 시 성형 불량율이 감소될 수 있고, 내구 신뢰성, 수명 등이 개선될 수 있다.The present invention provides a semiconductor device sealed with the above-described epoxy resin composition. Such a semiconductor device is sealed with an epoxy resin composition excellent in heat resistance, moldability, flowability, reliability, bending property and crack resistance, so that the defective molding rate can be reduced during sealing, and durability and life can be improved .
상기 반도체 소자는 당해 기술분야에서 통상적으로 공지된 방법에 의해 밀봉될 수 있다. 예컨대 트랜스퍼 몰드, 컴프레션 몰드, 인젝션 몰드 등의 성형방법이 있는데, 이에 한정되지 않는다.The semiconductor device may be sealed by a method commonly known in the art. A molding method such as a transfer mold, a compression mold, and an injection mold, but the present invention is not limited thereto.
이와 같이 밀봉된 반도체 소자의 예로는 트랜지스터, 다이오드, 마이크로프로세서, 반도체 메모리 등이 있다. 이들은 다양한 패키지 구조를 가질 수 있고, 예컨대 BOC(Board on chip) 패키지 구조일 수 있다.Examples of such sealed semiconductor devices include transistors, diodes, microprocessors, semiconductor memories, and the like. They may have a variety of package structures, for example, a BOC (Board on Chip) package structure.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 그러나, 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 것일 뿐 어떠한 의미로든 본 발명의 범위가 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described more specifically by way of examples. However, the following examples are provided to aid understanding of the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention in any sense.
[[ 실시예Example 1-4] 및 [ 1-4] and [ 비교예Comparative Example 1-6] - 에폭시 수지 조성물의 제조 1-6] -Preparation of Epoxy Resin Composition
하기 표 1에 나타난 조성에 따라 에폭시 수지, 경화제, 충진제, 이형제, 경화촉진제, 응력완화제, 커플링제, 착색제를 사용하여 실시예 1-4 및 비교예 1-6의 에폭시 수지 조성물을 각각 제조하였다. 이때, 각 성분의 함량 단위는 중량%로, 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 한다. 한편, 각 조성물을 구성하는 원료물질의 사양은 하기 표 2와 같다.Epoxy resin compositions of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-6 were prepared using epoxy resin, curing agent, filler, releasing agent, curing accelerator, stress relieving agent, coupling agent and colorant according to the composition shown in Table 1 below. Here, the content unit of each component is% by weight based on the total weight of the resin composition. The specifications of the raw materials constituting each composition are shown in Table 2 below.
[[ 실험예Experimental Example 1] - 에폭시 수지 조성물의 물성 평가 1] - Property Evaluation of Epoxy Resin Composition
실시예 1-4 및 비교예 1-6에서 각각 제조된 에폭시 수지 조성물 및 상기 조성물을 이용하여 밀봉된 BOC형 적층 패키지에 대하여, 하기 평가방법에 따라 물성 평가를 실시하였고, 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.The epoxy resin compositions prepared in Examples 1-4 and Comparative Examples 1-6 and the BOC type laminated packages sealed with the above compositions were evaluated for physical properties according to the following evaluation methods, Respectively.
1) One) 스파이럴Spiral 플로우Flow (spiral flow)(spiral flow)
에폭시 수지 조성물을 스파이럴 플로우 몰드를 이용하여 가열 이송 성형기(압력: 70kg/㎠, 온도: 175℃, 경화시간: 120초)에서 몰딩한 후, 제조물의 흐름성을 측정하였다.The epoxy resin composition was molded using a spiral flow mold in a heat transfer molding machine (pressure: 70 kg / cm 2, temperature: 175 ° C, curing time: 120 seconds), and then the flowability of the product was measured.
2) 유리전이온도(2) Glass transition temperature ( TgTg ))
TMA(Thermomechanical Analyser)로 평가하였다.TMA (Thermomechanical Analyzer).
3) 3) 선팽창계수Coefficient of linear expansion
TMA(Thermomechanical Analyser)로 평가하였다. a1은 Tg 보다 낮은 온도에서의 선팽창계수를 나타내고, a2는 Tg 보다 높은 온도에서의 선팽창계수를 나타낸다.TMA (Thermomechanical Analyzer). a1 represents a coefficient of linear expansion at a temperature lower than Tg, and a2 represents a coefficient of linear expansion at a temperature higher than Tg.
4) 굴곡강도(Flexural strength), 4) Flexural strength, 굴곡탄성율Flexural modulus (Flexural modulus)(Flexural modulus)
ASTM D-790에 준하여, 표준시편(125 mm×12.6 mm×6.4 mm)을 만든 후 175℃에서 4시간 동안 경화시킨 다음, UTM(Universal Testing Machine)으로 상온에서 측정하였다.A standard specimen (125 mm x 12.6 mm x 6.4 mm) was prepared in accordance with ASTM D-790, cured at 175 DEG C for 4 hours, and then measured at room temperature using a UTM (Universal Testing Machine).
5) 휨(warpage)5) Warpage
가열 이송 성형기를 이용하여 175℃에서 70초간 트랜스퍼 몰딩으로 성형시켜 BOC(62 mm×240 mm×1.1 mm) 패키지를 제작한 다음, 이를 175℃에서 4시간 동안 후경화(PMC: post mold cure)시킨 후 상온으로 냉각하였다. 제작된 패키지에 대하여 비접촉식 레이저(laser) 측정기를 사용하여 각각 상면의 대각선 방향의 중심과 끝에서의, 지면으로부터의 높이 차를 측정하였다.(62 mm x 240 mm x 1.1 mm) package by molding with transfer molding at 175 DEG C for 70 seconds using a heat transfer molding machine and then post-cured (PMC) at 175 DEG C for 4 hours And then cooled to room temperature. The fabricated packages were measured for height differences from the ground at the center and ends of the upper diagonal direction using a non-contact laser measuring machine.
6) T/C cycle6) T / C cycle
상기 휨 특성 평가를 마친 패키지를 125℃에서 24시간 동안 건조시킨 후, 3,000 사이클(1 사이클은 패키지를 -65℃에서 10분, 25℃에서 5분, 150℃에서 10분씩 방치하는 것을 의미함)의 열충격 시험을 수행한 다음, 패키지의 크랙 발생 유무를 육안으로 평가하였다. 만약, 이 단계에서 크랙이 발생한 경우, 이후 평가를 진행하지 않았다.After the package having been subjected to the evaluation of the warpage characteristics was dried at 125 ° C for 24 hours, 3,000 cycles (one cycle means that the package was left at -65 ° C for 10 minutes, at 25 ° C for 5 minutes, and at 150 ° C for 10 minutes) , And the presence or absence of cracks in the package was visually evaluated. If a crack occurred at this stage, the evaluation was not carried out.
상기 표 3에 나타난 바와 같이, 본원발명에 따른 실시예 1-4의 에폭시 수지 조성물의 경우, 흐름성이 우수하고, 유리전이온도 및 열팽창계수가 높고, 굴곡탄성률이 낮으며, 휨 특성 및 내크랙성 우수함을 확인할 수 있다. 반면, 본원발명에 따른 에폭시 수지를 사용하지 않거나(비교예 1, 3-6), 에폭시 수지 혼합비율이 벗어나는 경우(비교예2), 흐름성, 휨 특성 및/또는 내크랙성이 열악하고/거나, 유리전이온도 및 열팽창계수가 낮고/거나, 굴곡탄성률이 높게 나타남을 확인할 수 있다.As shown in Table 3, the epoxy resin composition of Example 1-4 according to the present invention had excellent flow properties, high glass transition temperature and thermal expansion coefficient, low flexural modulus, Can be confirmed. On the other hand, when the epoxy resin according to the present invention is not used (Comparative Examples 1 and 3-6) and the epoxy resin mixing ratio is out of the range (Comparative Example 2), the flowability, the bending property and / Or the glass transition temperature and the thermal expansion coefficient are low and / or the flexural modulus is high.
Claims (6)
상기 제1 에폭시 수지와 상기 제2 에폭시 수지의 혼합 비율이 1 : 1-2 중량 비율이고,
상기 충진제의 함량이 에폭시 수지 조성물의 총 중량을 기준으로 80-85 중량%인 에폭시 수지 조성물:
[화학식 1]
[화학식 2]
(상기 화학식 1 및 2에서,
R1 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소 또는 C1-C12의 알킬기로 이루어진 군에서 선택되고,
a, b, c, d, e 및 f는 각각 1 내지 4의 정수이고,
x는 0 또는 1이고,
n의 평균치는 1 내지 7의 정수임.)An epoxy resin composition comprising a first epoxy resin represented by the following formula (1) and a second epoxy resin represented by the following formula (2), a curing agent, a curing accelerator and a filler,
Wherein the mixing ratio of the first epoxy resin and the second epoxy resin is 1: 1-2 weight ratio,
Wherein the content of the filler is 80-85% by weight based on the total weight of the epoxy resin composition:
[Chemical Formula 1]
(2)
(In the above formulas (1) and (2)
R 1 to R 9 are the same or different and are each independently selected from the group consisting of hydrogen or a C 1 -C 12 alkyl group,
a, b, c, d, e and f are each an integer of 1 to 4,
x is 0 or 1,
the average value of n is an integer of 1 to 7.)
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