KR101944277B1

KR101944277B1 - Cooling device

Info

Publication number: KR101944277B1
Application number: KR1020160140772A
Authority: KR
Inventors: 준이치 야수다; 요시노부 무라야마; 신지 후루야
Original assignee: 아루박ㆍ크라이오 가부시키가이샤
Priority date: 2015-11-11
Filing date: 2016-10-27
Publication date: 2019-01-31
Also published as: TWI627353B; JP2017089519A; JP6348094B2; TW201728834A; CN107043918B; KR20170055416A; CN107043918A

Abstract

냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제하는 것을 가능하게 한 냉각 장치가 제공된다. 냉각 장치는 냉각부 및 냉각부에 의해 냉각되는 냉각체 (12)를 구비한다. 냉각체(12)는 냉각부에 접속되는 제1 면(12a) 및 제1 면(12a)과 반대측의 제2 면(12b)을 포함한다. 냉각체(12)는 또한 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이에서 기체가 흐르는 통로(21s)를 포함한다. There is provided a cooling device capable of suppressing a decrease in the exhaust speed in a space in which a cooling object is accommodated. The cooling apparatus has a cooling body (12) cooled by a cooling section and a cooling section. The cooling body 12 includes a first surface 12a connected to the cooling portion and a second surface 12b opposite to the first surface 12a. The cooling body 12 also includes a passage 21s through which gas flows between the first surface 12a and the second surface 12b.

Description

[0001] COOLING DEVICE [0002]

본 발명은 냉각 대상을 냉각하는 냉각 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a cooling device for cooling an object to be cooled.

성막 장치나 증착 장치 등의 진공 처리 장치는 크라이오 기구를 구비하며, 이러한 크라이오 기구는 장치 내의 기체를 응축시켜서 포착함으로써 진공 처리 장치 내를 감압하고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 또한, 상기 진공 처리 장치에서는 처리의 대상인 기판을, 예를 들어 열방사에 의해 냉각하는 냉각 플레이트가 이용되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조). 냉각 플레이트는 냉각 플레이트의 내부에 배치되는 배관을 흐르는 냉각수에 의해 냉각되고, 기판에 대향하는 냉각 플레이트의 대향면이 기판으로부터 흡열함으로써, 기판을 냉각한다. A vacuum processing apparatus such as a film forming apparatus or a vapor deposition apparatus is provided with a cryo mechanism. The cryo mechanism condenses the gas in the apparatus and captures it, thereby decompressing the inside of the vacuum processing apparatus (see, for example, Patent Document 1). In the vacuum processing apparatus, a cooling plate for cooling a substrate to be processed by, for example, a heat radiation is used (see, for example, Patent Document 2). The cooling plate is cooled by the cooling water flowing through the piping disposed inside the cooling plate, and the opposite surface of the cooling plate facing the substrate absorbs heat from the substrate to cool the substrate.

[특허문헌][Patent Literature]

특허 문헌 1: 일본 공개 특허 평11-166477호 공보Patent Document 1: JP-A-11-166477

특허 문헌 2: 일본 공개 특허 2005-332619호 공보Patent Document 2: JP-A-2005-332619

그런데, 냉각 플레이트에 의해 기판을 냉각할 때에는 냉각 플레이트의 대향면의 크기를 기판의 크기에 가깝게 하고, 기판과 대향면 사이의 거리를 작게 하는 것이 바람직하다. 다만, 냉각 플레이트의 대향면이 커질수록 냉각 플레이트와 진공 처리 장치의 내주면과의 간극이 작아지며, 기판에 냉각 플레이트의 대향면을 가깝게 할수록 냉각 플레이트와 기판과의 간극이 작아진다. 그 결과, 배기 능력을 의미하는 컨덕턴스, 즉 배기 속도가 저하된다. When the substrate is cooled by the cooling plate, it is preferable that the size of the opposed surface of the cooling plate is made close to the size of the substrate, and the distance between the substrate and the opposed surface is made small. However, the larger the opposing surface of the cooling plate, the smaller the gap between the cooling plate and the inner circumferential surface of the vacuum processing apparatus becomes, and the closer the opposing surface of the cooling plate to the substrate, the smaller the gap between the cooling plate and the substrate. As a result, the conductance, that is, the exhaust speed, which means the exhaust ability, is lowered.

더욱이, 이러한 사항은 냉각체가 냉각수에 의해 냉각되는 냉각 장치로 한정되지 않고, 크라이오 기구에 의해 냉각되는 냉각 장치에도 공통적으로 발생된다.Moreover, such matters are not limited to the cooling apparatuses in which the cooling body is cooled by the cooling water, but are also common to the cooling apparatuses that are cooled by the cryo mechanism.

본 발명은 냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제하는 것을 가능하게 하는 냉각 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a cooling device capable of suppressing a decrease in the exhaust speed in a space where a cooling object is accommodated.

본 발명의 일 양태에 의한 냉각 장치는 냉각부 및 상기 냉각부에 접속하는 제1 면과 상기 제1 면과 반대측의 제2 면을 포함하며, 상기 냉각부에 의해 냉각되는 냉각체를 구비한다. 상기 냉각체는 또한 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에서 기체가 흐르는 통로를 포함한다. A cooling device according to an embodiment of the present invention includes a cooling part including a cooling part, a first surface connected to the cooling part, and a second surface opposite to the first surface, the cooling part being cooled by the cooling part. The cooling body also includes a passage through which gas flows between the first surface and the second surface.

상술한 구성에 의하면, 상기 제1 면과 제2 면 사이에서 기체가 흐르는 통로가 냉각체에 형성되어 있기 때문에, 통로를 갖지 않는 구성에 비해 상기 냉각체의 제1 면을 따른 기체의 흐름 및 제2 면을 따른 기체의 흐름이 촉진된다. 따라서, 상기 냉각체로 향하여 기체가 유입되기 쉬워져서, 결과적으로 냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. According to the above-described configuration, since the passage through which the gas flows between the first surface and the second surface is formed in the cooling body, the flow of the gas along the first surface of the cooling body and the flow of the gas The flow of gas along the two sides is facilitated. Therefore, the gas easily flows toward the cooling body, and as a result, it is possible to suppress the decrease in the exhaust speed in the space where the cooling object is accommodated.

일 실시예에 있어서, 상기 냉각체는 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판 형상을 가질 수 있다. 상기 통로는 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 냉각체를 복수의 냉각 부재들로 구획하는 슬릿이어도 된다. 이 경우에 있어서, 상기 복수의 냉각 부재들은 2종류 이상의 다른 크기들을 가질 수 있다. In one embodiment, the cooling body may have a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other. The passage extends in the first direction and may be a slit that divides the cooling body into a plurality of cooling members. In this case, the plurality of cooling members may have two or more different sizes.

일 실시예에 있어서, 상기 냉각체는 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판 형상을 가질 수 있다. 상기 냉각체는 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 냉각체를 복수의 냉각 부재들로 구획하는 적어도 2개의 슬릿들을 포함할 수 있다. 이러한 구성에서는 각 슬릿이 상기 통로로서 기능한다. 상기 복수의 냉각 부재들은 상기 제2 방향에서의 상기 냉각체의 양단에 위치하는 2개의 단부재들과 상기 2개의 단부재들 사이에 위치하는 적어도 하나의 중간 부재를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 2개의 단부재들 중의 적어도 하나는 상기 중간 부재보다 작을 수 있다. In one embodiment, the cooling body may have a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other. The cooling body may include at least two slits extending in the first direction and partitioning the cooling body into a plurality of cooling members. In this configuration, each slit functions as the passage. The plurality of cooling members may include two end members positioned at both ends of the cooling body in the second direction and at least one intermediate member positioned between the two end members. In this case, at least one of the two end members may be smaller than the intermediate member.

상술한 구성에 의하면, 냉각체의 양단 가까이에 통로(슬릿)가 위치하기 때문에, 상기 냉각체의 둘레를 흐르는 기체가 냉각체의 통로로 유입되기 쉬워진다. 따라서, 제1 면을 따른 기체의 흐름 및 제2 면을 따른 기체의 흐름이 촉진되어, 냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. According to the above-described configuration, since the passage (slit) is located near both ends of the cooling body, the gas flowing around the cooling body is likely to flow into the passage of the cooling body. Therefore, the flow of the gas along the first surface and the flow of the gas along the second surface are promoted, so that the decrease in the exhaust speed can be suppressed in the space in which the object to be cooled is accommodated.

일 실시예에 있어서, 상기 냉각체는 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판 형상을 가질 수 있다. 상기 냉각체는 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 냉각체를 복수의 냉각 부재들로 구획하는 적어도 2개의 슬릿들을 포함할 수 있다. 이러한 구성에서는 각 슬릿이 상기 통로로서 기능한다. 상기 복수의 냉각 부재들은 상기 제2 방향에서의 상기 냉각체의 양단에 위치하는 2개의 단부재들과 상기 2개의 단부재들 사이에 위치하는 적어도 하나의 중간 부재를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 적어도 하나의 중간 부재 중의 적어도 하나는 상기 2개의 단부재들 각각보다 작을 수 있다. In one embodiment, the cooling body may have a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other. The cooling body may include at least two slits extending in the first direction and partitioning the cooling body into a plurality of cooling members. In this configuration, each slit functions as the passage. The plurality of cooling members may include two end members positioned at both ends of the cooling body in the second direction and at least one intermediate member positioned between the two end members. In this case, at least one of the at least one intermediate member may be smaller than each of the two end members.

상술한 구성에 의하면, 냉각체의 둘레를 흐르는 기체는 냉각체의 중앙 가까이에 위치하는 통로(슬릿)로 유입되기 때문에, 상기 냉각체의 제1 면을 따른 기체의 흐름 및 제2 면을 따른 기체의 흐름이 촉진된다. 이에 따라, 냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. According to the above-described configuration, since the gas flowing around the cooling body flows into the passage (slit) located near the center of the cooling body, the flow of gas along the first face of the cooling body and the flow of gas . This makes it possible to suppress a decrease in the exhaust speed in the space in which the cooling object is accommodated.

일 실시예에 있어서, 상기 냉각체는 서로 교차하는 제1 방향 및 제2 방향으로 연장되는 판 형상을 가질 수 있다. 상기 통로는 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 냉각체를 복수의 냉각 부재들로 구획하는 슬릿이어도 된다. 이 경우, 상기 복수의 냉각 부재들은 거의 동일한 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 복수의 냉각 부재들은 상기 제2 방향으로 등간격으로 배치될 수 있다. In one embodiment, the cooling body may have a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other. The passage extends in the first direction and may be a slit that divides the cooling body into a plurality of cooling members. In this case, the plurality of cooling members may have substantially the same shape. The plurality of cooling members may be disposed at regular intervals in the second direction.

상술한 구성에 의하면, 제1 면의 전체에 있어서 제1 면을 따르는 기체의 흐름이 촉진된다. 또한, 제2 면의 전체에 있어서도 제2 면을 따르는 기체의 흐름이 촉진된다. 이에 따라, 냉각 대상이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. According to the above-described configuration, the flow of the gas along the first surface on the entire first surface is promoted. Also, the flow of the gas along the second surface is promoted in the entire second surface. This makes it possible to suppress a decrease in the exhaust speed in the space in which the cooling object is accommodated.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 냉각 부재들 중의 적어도 하나가 상기 제1 및 제2 방향에 의해 규정되는 기준면에 대하여 경사지는 경사 부재인 것이 바람직하다. 상기 경사 부재는 상기 제2 방향에서의 일단에 테두리를 가진다. 이 경우, 상기 테두리는 상기 제2 방향에 있어서 이웃하는 상기 복수의 냉각 부재들 중의 하나에 겹쳐 있는 것이 바람직하다. In one embodiment, it is preferable that at least one of the plurality of cooling members is an inclined member inclined with respect to a reference plane defined by the first and second directions. The inclined member has a rim at one end in the second direction. In this case, it is preferable that the rim overlaps one of the plurality of cooling members adjacent to each other in the second direction.

상술한 구성에 의하면, 경사 부재의 테두리가 이웃하는 냉각 부재에 겹쳐 있기 때문에, 제2 면과 대향하는 위치에서 냉각체를 보았을 때, 2개의 냉각 부재들 사이의 간극(즉, 슬릿)이 눈으로 확인되지 않는다. 즉, 복수의 냉각 부재들에 의해 제2 면의 전체면이 냉각 대상과 대향하는 방향으로 간극 없이 형성된다. 결과적으로, 냉각 장치가 냉각 대상을 냉각하는 효율이 향상된다. According to the above-described configuration, since the rim of the inclined member overlaps with the adjacent cooling member, when the cooling member is viewed at the position facing the second surface, the gap (i.e., slit) Not confirmed. That is, the entire surface of the second surface is formed by a plurality of cooling members without a gap in a direction opposite to the object to be cooled. As a result, the efficiency with which the cooling device cools the object to be cooled is improved.

도 1은 진공 처리 장치에 탑재되는 냉각 장치의 일 실시예를 나타내는 개략적인 블록도이다.
도 2는 냉각체를 기준면과 함께 나타내는 사시도이다.
도 3은 냉각체의 제2 면을 나타내는 평면도이다.
도 4는 냉각체 및 냉매 통로를 나타내는 단면도이다.
도 5는 냉각체의 제1 면을 나타내는 평면도이다.
도 6은 변형예에 따른 냉각체의 제2 면을 나타내는 평면도이다.
도 7은 변형예에 따른 냉각체를 기준면과 함께 나타내는 사시도이다.
도 8은 다른 변형예에 따른 냉각체를 기준면과 함께 나타내는 사시도이다.
도 9는 변형예에 따른 냉각체의 제2 면을 나타내는 평면도이다. 1 is a schematic block diagram showing an embodiment of a cooling apparatus mounted in a vacuum processing apparatus.
2 is a perspective view showing a cooling body together with a reference plane.
3 is a plan view showing the second surface of the cooling body.
4 is a cross-sectional view showing a coolant and a coolant passage.
5 is a plan view showing the first surface of the cooling body.
6 is a plan view showing a second surface of a cooling body according to a modification.
7 is a perspective view showing a cooling body according to a modified example together with a reference plane.
8 is a perspective view showing a cooling body according to another modified example together with a reference plane.
9 is a plan view showing a second surface of a cooling body according to a modification.

도 1 내지 도 5를 참조하여 냉각 장치의 일 실시예를 설명한다. 또한, 본 발명의 실시예들에서, 냉각 장치는 진공 처리 장치의 일 예인 성막 장치에 탑재되어 있다. 이하에서는, 성막 장치의 개략적인 구성, 냉각 장치의 구성 및 냉각 장치의 작용을 순차적으로 설명한다. One embodiment of the cooling apparatus will be described with reference to Figs. 1 to 5. Fig. Further, in the embodiments of the present invention, the cooling apparatus is mounted on a film forming apparatus which is an example of a vacuum processing apparatus. Hereinafter, the schematic configuration of the film forming apparatus, the configuration of the cooling apparatus, and the function of the cooling apparatus will be sequentially described.

성막Tabernacle 장치의 개략적인 구성 A schematic configuration of the device

도 1을 참조하여 성막 장치의 개략적인 구성을 설명한다. 도 1은 성막 장치를 상면에서 바라본 구성을 모식적으로 나타내는 블록도이다. A schematic configuration of the film forming apparatus will be described with reference to Fig. Fig. 1 is a block diagram schematically showing a structure of the film forming apparatus viewed from above.

도 1에 나타내는 바와 같이, 냉각 장치(10)는 냉각부(11)와 냉각부(11)에 의해 냉각되는 냉각체(12)를 구비하며, 냉각체(12)는 냉각부(11)에 접속되는 제1 면(12a) 및 제1 면(12a)과 반대측의 제2 면(12b)을 포함한다. 1, the cooling apparatus 10 includes a cooling body 12 cooled by a cooling section 11 and a cooling section 11, and the cooling body 12 is connected to a cooling section 11 And a second surface 12b opposite to the first surface 12a.

냉각 장치(10)는 성막 장치(100)에 탑재되어 있다. 성막 장치(100)는, 예를 들어 스퍼터 장치 및 증착 장치 중의 어느 하나이다. 성막 장치(100)는 냉각 장치(10)의 냉각 대상(Tg)(성막 대상)을 수용하는 진공조(101), 냉각 대상(Tg)을 향하여 성막종을 방출하는 성막부(102), 그리고 냉각 대상(Tg)의 하단을 지지하는 지지부(103)를 구비한다. 성막 장치(100)가 스퍼터 장치일 때, 성막부(102)는 캐소드장치이며, 성막 장치(100)가 증착 장치일 때에는 성막부(102)는 증착원이다. The cooling apparatus 10 is mounted on the film forming apparatus 100. The deposition apparatus 100 is, for example, any one of a sputtering apparatus and a deposition apparatus. The film forming apparatus 100 includes a vacuum tank 101 for accommodating a cooling object Tg (object to be coated) of the cooling apparatus 10, a film forming unit 102 for discharging a film forming species toward the cooling object Tg, And a support portion 103 for supporting the lower end of the object Tg. When the film forming apparatus 100 is a sputtering apparatus, the film forming unit 102 is a cathode apparatus, and when the film forming apparatus 100 is a deposition apparatus, the film forming unit 102 is an evaporation source.

성막 장치(100)에 있어서, 냉각 장치(10)는 냉각체(12)의 제2 면(12b)이 성막부(102)와 대향하는 상태로 배치되고, 냉각체(12)와 성막부(102)가 대향하는 방향에 있어서의 지지부(103)는 냉각체(12)와 성막부(102) 사이에 위치되어 있다. In the film forming apparatus 100, the cooling apparatus 10 is arranged such that the second surface 12b of the cooling body 12 is opposed to the film forming section 102, and the cooling body 12 and the film forming section 102 The supporting portion 103 is located between the cooling body 12 and the film forming portion 102. [

성막 장치(100)는 성막 장치(100)의 내부를 소정의 압력으로 감압하며, 성막 장치(100)의 내부에 기체의 흐름을 형성하는 배기부(104)를 구비하고 있다. The film forming apparatus 100 includes an exhaust unit 104 for decompressing the inside of the film forming apparatus 100 to a predetermined pressure and forming a flow of gas inside the film forming apparatus 100.

냉각 장치(10)는 냉각 대상(Tg)에 대한 성막 처리가 행해질 때, 냉각 대상(Tg)을 냉각한다. 또한, 냉각 장치(10)는 진공조(101) 내의 기체를 응축함으로써, 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간의 압력을 내린다. 냉각체(12)의 제2 면(12b)과 냉각 대상(Tg) 사이의 거리는 제1 거리(L1)로 규정되어 있다. 이러한 제1 거리(L1)는 예를 들어 몇 십㎜ 정도이다. 또한, 냉각체(12)의 테두리 및 이러한 냉각체(12)의 테두리와 대향하는 진공조(101)의 내주면과의 거리는 제2 거리(L2)로 규정되어 있다. 이와 같은 제2 거리(L2)의 최소값은 예를 들어 몇 십㎜ 정도이다. The cooling device 10 cools the object Tg to be cooled when film formation is performed on the object Tg to be cooled. The cooling device 10 also reduces the pressure in the space in which the cooling object Tg is accommodated by condensing the gas in the vacuum chamber 101. [ The distance between the second surface 12b of the cooling body 12 and the cooling object Tg is defined as the first distance L1. The first distance L1 is, for example, several tens mm. The rim of the cooling body 12 and the distance between the rim of the cooling body 12 and the inner circumferential surface of the vacuum chamber 101 are defined as the second distance L2. The minimum value of the second distance L2 is, for example, several tens mm.

냉각 장치의 구성Configuration of cooling system

도 2 내지 도 5를 참조하여 냉각 장치(10)의 구성을 보다 자세하게 설명한다. The configuration of the cooling apparatus 10 will be described in more detail with reference to Figs. 2 to 5. Fig.

도 2에 나타내는 바와 같이, 냉각체(12)는 서로 교차하는 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)로 연장되는 판 형상을 가지고 있다. 본 발명의 실시예에서, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)은 서로 직교하고 있다. 냉각체(12)는 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이에서 기체가 취소되는 적어도 하나의 통로를 포함한다. 본 발명의 실시예에서, 냉각체(12)는 냉각체(12)를 복수의 냉각 부재(21)들로 구획하는 복수의 슬릿(21s)들을 포함하며, 각 슬릿(21s)이 통로로서 설치되어 있다. 각 슬릿(21s)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 있다. 복수의 냉각 부재(21)들은 모두 거의 동일한 형상을 가지며, 제2 방향(D2)으로 등간격으로 나란하게 배치되어 있다. As shown in Fig. 2, the cooling body 12 has a plate shape extending in a first direction D1 and a second direction D2 intersecting with each other. In the embodiment of the present invention, the first direction D1 and the second direction D2 are orthogonal to each other. The cooling body 12 includes at least one passageway in which gas is canceled between the first face 12a and the second face 12b. In the embodiment of the present invention, the cooling body 12 includes a plurality of slits 21s for partitioning the cooling body 12 into a plurality of cooling members 21, and each slit 21s is installed as a passage have. Each slit 21s extends in the first direction D1. The plurality of cooling members 21 all have substantially the same shape and are arranged at regular intervals in the second direction D2.

이러한 냉각체(12)에 의하면, 제1 면(12a)의 전체에 있어서 제1 면(12a)을 따르는 기체의 흐름이 형성되기 쉬워지며, 또한 제2 면(12b)의 전체에 있어서도 제2 면(12b)을 따르는 기체의 흐름이 형성되기 쉬워진다. 이에 따라, 진공조(101) 내, 즉 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. According to the cooling body 12, a flow of gas along the first surface 12a is easily formed on the entire first surface 12a, and also on the entire second surface 12b, The flow of the gas along the second flow path 12b is easily formed. This makes it possible to suppress a decrease in the exhaust speed in the vacuum chamber 101, that is, the space in which the cooling object Tg is accommodated.

본 발명의 실시예에서, 각 냉각 부재(21)는 제1 및 제2 방향(D1, D2)에 의해 규정되는 기준면(R)에 대하여 경사지는 경사 부재(21t)로서 설치되어 있다. 즉, 각 경사 부재(21t)는 냉각쌍(12)의 기준면(R)에 대하여 경사져 있다. 각 경사 부재(21t)는 제2 방향(D2)에 있어서의 일단에 테두리(21e)를 가진다. 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)는 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있다. In the embodiment of the present invention, each cooling member 21 is provided as an inclined member 21t inclined with respect to a reference plane R defined by the first and second directions D1 and D2. That is, each of the inclined members 21t is inclined with respect to the reference plane R of the cooling pair 12. Each of the inclined members 21t has a rim 21e at one end in the second direction D2. The rim 21e of each slant member 21t overlaps the adjacent slant member 21t in the second direction D2.

복수의 경사 부재(21t)들은 거의 평행하게 설치되어 있다. 기준면(R)에 대한 각 경사 부재(21t)의 경사 각도(θ)는, 0°보다 크고 90°이하이면 되며, 30°이상 60°이하인 것이 바람직하다. 경사 각도(θ)는 냉각체(12)에 의한 흡열의 효율과 배기 속도를 고려하여 설정되면 된다. The plurality of inclined members 21t are provided substantially in parallel. The angle of inclination? Of each of the inclined members 21t with respect to the reference plane R may be greater than 0 and less than or equal to 90 and preferably not less than 30 and less than or equal to 60. The inclination angle? May be set in consideration of the efficiency of heat absorption by the cooling body 12 and the exhaust speed.

각 경사 부재(21t)는 냉각부(11)에 접속되는 제1 경사면(21a)과 냉각 대상(Tg)과 대향하는 제2 경사면(2lb)을 갖고 있다. 또한, 복수의 제1 경사면(21a)들은 냉각부(11)에 접속되는 냉각체(12)의 제1 면(12a)을 구성하고 있다. 또한, 복수의 제2 경사면(2lb)들은 냉각 대상(Tg)과 대향하는 냉각체(12)의 제2 면(12b)을 구성하고 있다. 다시 말하면, 각 제1 경사면(21a)은 제1 면(12a)의 다른 일부를 포함하고, 각 제2 경사면(2lb)은 제2 면(12b)의 다른 일부를 포함한다. Each inclined member 21t has a first inclined surface 21a connected to the cooling part 11 and a second inclined surface 21b facing the cooling object Tg. The plurality of first inclined surfaces 21a constitute the first surface 12a of the cooling body 12 connected to the cooling portion 11. [ The plurality of second inclined surfaces 21b form the second surface 12b of the cooling body 12 opposed to the cooling object Tg. In other words, each first inclined surface 21a includes another portion of the first surface 12a, and each second inclined surface 21b includes another portion of the second surface 12b.

즉, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있기 때문에, 복수의 경사 부재(21t)들은 기준면(R)의 일방측에 제1 면(12a)을 구성하고, 기준면(R)의 타방측에 제2 면(12b)을 구성한다. 2 and 3, since the rim 21e of each slant member 21t overlaps with the adjacent slant member 21t in the second direction D2, the plurality of slant members 21t Form a first surface 12a on one side of the reference surface R and a second surface 12b on the other side of the reference surface R. [

따라서, 성막 장치(100)에 있어서, 냉각 대상(Tg)에서 냉각체(12)를 보았을 때, 제2 면(12b)은 단일면으로서 눈으로 확인되며, 제2 면(12b)과 제1 면(12a) 사이를 관통하는 간극이 존재하지 않는 것처럼 눈으로 확인된다. 즉, 제2 면(12b)과 대향하는 냉각 대상(Tg)의 모든 부분이 냉각 부재(21)와 대향한다. 다시 말하면, 복수의 냉각 부재(21)들에 의해 제2 면(12b)의 전면이 냉각 대상(Tg)과 대향하는 방향에 있어서 간극 없이 형성된다. Therefore, in the film forming apparatus 100, when the cooling body 12 is viewed from the object to be cooled Tg, the second surface 12b is visually recognized as a single surface, and the second surface 12b and the first surface 12b, The gap is not visible through the gap 12a. That is, all portions of the cooling object Tg opposed to the second surface 12b face the cooling member 21. In other words, the front surface of the second surface 12b is formed by a plurality of cooling members 21 without gaps in the direction opposite to the cooling target Tg.

이와 같이, 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있기 때문에, 제2 면(12b)과 대향하는 위치에서 냉각체(12)를 보았을 때, 2개의 경사 부재(21t)들 사이의 간극이 눈으로 확인되지 않는다. 즉, 제2 면(12b)과 대향하는 냉각 대상(Tg)의 모든 부분이 경사 부재(21t)와 대향한다. 결과적으로, 냉각 장치(10)가 냉각 대상(Tg)을 냉각하는 효율이 향상된다. Since the rim 21e of each slant member 21t overlaps the adjacent slant member 21t in the second direction D2 as described above, the cooling member 12 , The gap between the two inclined members 21t is not visually recognized. That is, all portions of the cooling object Tg opposed to the second surface 12b face the inclined member 21t. As a result, the efficiency of cooling of the cooling object Tg by the cooling device 10 is improved.

각 경사 부재(21t)는 금속재의 판 부재이며, 경사 부재(21t)의 형성 재료는, 예를 들어 스테인리스 스틸, 티타늄 합금, 또는 구리 등이면 된다. Each of the inclined members 21t is a plate member of a metal material, and the material for forming the inclined member 21t may be stainless steel, a titanium alloy, copper, or the like.

각 경사 부재(21t)에 있어서, 제2 경사면(2lb)의 적어도 일부가 흑색을 가지는 것이 바람직하고, 제2 경사면(2lb)의 전체가 흑색을 가지는 것이 보다 바람직하다. 또한, 이 경우, 제2 경사면(2lb)의 흑색 부분의 방사율이 0.8 이상인 것이 바람직하고, 제2 경사면(2lb)의 전체에서의 방사율이 0.8 이상인 것이 보다 바람직하다. 제2 경사면(2lb)이 흑색을 가짐으로써, 냉각 대상(Tg)으로부터 방사된 열을 냉각체(12)가 흡수하는 효율이 높아져, 결과적으로 냉각체(12)에 의한 냉각 대상(Tg)의 냉각 효율이 향상된다. In each of the inclined members 21t, at least a part of the second inclined surface 21b is preferably black, and it is more preferable that the entire second inclined surface 21b has a black color. In this case, the emissivity of the black portion of the second inclined surface 21b is preferably 0.8 or more, and more preferably 0.8 or more in the entire second inclined surface 21b. The efficiency of the cooling body 12 absorbing the heat radiated from the cooling object Tg is increased and the cooling of the cooling object Tg by the cooling body 12 is performed by cooling the second inclined face 21b The efficiency is improved.

더욱이, 각 경사 부재(21t)에 있어서, 제1 경사면(21a)의 적어도 일부가 흑색을 가져도 된다. 예를 들어, 각 경사 부재(21t)에 있어서, 제1 경사면(21a)의 적어도 일부에서의 방사율이 0.8 이상이어도 된다. 각 경사 부재(21t)에서는 상술한 경사 각도(θ)가 커질수록 냉각 대상(Tg)과 제2 경사면(2lb) 사이의 거리와 냉각 대상(Tg)과 제1 경사면(21a) 사이의 거리와의 차가 작아진다. 따라서, 경사 각도(θ)가 커질수록 제1 경사면(21a)이 냉각 대상(Tg)의 냉각에 기여하는 정도가 커지기 때문에, 제1 경사면(21a)의 적어도 일부도 흑색을 가지는 것이 바람직하다.Further, in each of the inclined members 21t, at least a part of the first inclined surface 21a may have a black color. For example, in each of the inclined members 21t, the emissivity of at least a part of the first inclined surface 21a may be 0.8 or more. The distance between the cooling object Tg and the second inclined surface 21b and the distance between the cooling object Tg and the first inclined surface 21a increase as the inclination angle? The car becomes smaller. Therefore, it is preferable that at least a part of the first inclined surface 21a also has a black color, because the degree of the first inclined surface 21a contributing to the cooling of the cooling object Tg becomes larger as the inclination angle?

더욱이, 흑색을 가진 제1 경사면(21a) 및 제2 경사면(2lb)은, 예를 들어 경사 부재(21t)의 제1 경사면(21a) 및 제2 경사면(2lb)의 각각을 산화시킴으로써, 형성될 수 있다. 또한, 경사 부재(21t)를 구성하는 판 부재에 흑색을 가진 도료를 도포함으로써, 제1 경사면(21a) 및 제2 경사면(2lb)의 색을 흑색으로 바꿀 수도 있다. Further, the first inclined surface 21a and the second inclined surface 21b with black may be formed by oxidizing each of the first inclined surface 21a and the second inclined surface 21b of the inclined member 21t, for example, . The color of the first inclined surface 21a and the second inclined surface 21b may be changed to black by applying a black paint to the plate member constituting the inclined member 21t.

이에 대하여, 제2 경사면(2lb)에 있어서 기체의 응축을 일어나기 쉽게 하기 위하여, 제1 경사면(21a)의 표면 거칠기는 제2 경사면(2lb)의 표면 거칠기보다 작아도 된다. 여기서, 제1 경사면(21a)은 경사 부재(21t)에서의 방사율을 바꾸지 않는 한편, 경사 부재(21t)에서의 흡열량을 약간 바꾸는 정도의 단차를 가진 단차면이어도 된다. 또는, 제1 경사면(21a)은 경사 부재(21t)에서의 방사율을 바꾸는 정도의 미세한 단차를 가진 단차면이어도 된다. On the other hand, the surface roughness of the first inclined surface 21a may be smaller than the surface roughness of the second inclined surface 21b in order to facilitate the condensation of gas on the second inclined surface 21b. Here, the first inclined surface 21a may be a stepped surface having a level difference which does not change the emissivity of the inclined member 21t but slightly changes the amount of heat absorbed by the inclined member 21t. Alternatively, the first inclined surface 21a may be a stepped surface having a minute step that varies the emissivity of the inclined member 21t.

또한, 제1 경사면(21a)은 이들 2종류의 단차들의 양쪽을 가진 단차면이어도 된다. 제1 경사면(21a)이 이들 2종류의 단차들 중의 어느 것을 갖는 경우라도 제1 경사면(21a)의 단차를 제2 경사면(2lb)의 단차보다 작게 함으로써, 제1 경사면(21a)에서의 흡열량을 작게 할 수 있다. Also, the first inclined surface 21a may be a stepped surface having both of these two kinds of steps. Even when the first inclined surface 21a has any of these two kinds of steps, the step difference of the first inclined surface 21a is made smaller than the step of the second inclined surface 21b so that the amount of heat absorbed by the first inclined surface 21a Can be reduced.

따라서, 제1 경사면(21a)의 표면 거칠기를 제2 경사면(2lb)의 표면 거칠기보다 작게함으로써, 제1 경사면(21a)의 표면 거칠기가 제2 경사면(2lb)의 표면 거칠기 이상인 구성에 비해 제1 경사면(21a)이 흡열하기 어려워진다. 결과적으로, 제1 경사면(21a)의 온도가 올라가기 어려운 만큼, 제1 경사면(21a)에 있어서 기체의 응축이 일어나기 쉬워진다.Therefore, by making the surface roughness of the first inclined surface 21a smaller than the surface roughness of the second inclined surface 21b, the surface roughness of the first inclined surface 21a is higher than the surface roughness of the second inclined surface 21b, The inclined surface 21a becomes difficult to absorb heat. As a result, as the temperature of the first inclined surface 21a is hardly increased, condensation of the gas tends to occur on the first inclined surface 21a.

제1 경사면(21a)의 표면 거칠기는, 예를 들어 제1 경사면(21a)에 대하여 경면 가공을 수행함으로써 제2 경사면(2lb)의 표면 거칠기보다 작게 할 수 있다. The surface roughness of the first inclined surface 21a can be made smaller than the surface roughness of the second inclined surface 21b by, for example, performing mirror-surface processing on the first inclined surface 21a.

도 4는 기준면(R)와 직교하는 면을 따른 냉각체(12) 및 냉매 통로(냉각부(11))를 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing a cooling body 12 and a coolant passage (cooling section 11) along a plane orthogonal to the reference plane R. Fig.

도 4에 나타내는 바와 같이, 냉각부(11)는 냉각체(12)을 냉각하는 냉매가 통과하는 관상의 냉매 통로(11a)와 냉매 통로(11a)에 접속되는 냉매 순환부(1lb)를 구비한다. 냉매 순환부(1lb)는 냉매 통로(11a)에서의 2개의 단부들에 접속되고, 냉매의 온도를 소정의 온도로 유지하면서 냉매 통로(11a)의 일방의 단부에서 타방의 단부를 향하여 냉매를 순환시킨다. 4, the cooling section 11 includes a tubular refrigerant passage 11a through which refrigerant for cooling the cooling body 12 passes and a refrigerant circulation section 11b connected to the refrigerant passage 11a . The refrigerant circulation section 11b is connected to two ends of the refrigerant passage 11a and circulates the refrigerant from one end of the refrigerant passage 11a toward the other end while maintaining the temperature of the refrigerant at a predetermined temperature .

냉매 통로(11a)는 금속재의 관 부재이며, 냉매 통로(11a)의 형성 재료는, 예를 들어 구리 또는 구리와 같은 정도의 열전도율을 갖는 금속인 것이 바람직하다. 냉매 통로(11a)는 냉매 통로(11a)의 내부를 흐르는 냉매에 의해 바로 냉각되고, 냉매 통로(11a)의 온도는, 예를 들어 약 90K 이상 약 150K 이하까지 냉각된다. 이로 인해, 냉매 통로(11a)의 외표면에 있어서 기체가 응축되고, 진공조(101) 내부가 감압된다. The coolant passage 11a is a pipe member made of a metal material, and the material for forming the coolant passage 11a is preferably a metal having a thermal conductivity similar to that of copper or copper, for example. The coolant passage 11a is immediately cooled by the coolant flowing in the coolant passage 11a and the temperature of the coolant passage 11a is cooled to, for example, about 90K or more and about 150K or less. As a result, the gas is condensed on the outer surface of the refrigerant passage 11a, and the inside of the vacuum chamber 101 is reduced in pressure.

각 경사 부재(21t)의 제1 경사면(21a)이 냉매 통로(11a)의 일부에 설치되고, 각 경사 부재(21t)는 냉매 통로(11a)를 흐르는 냉매에 의해 냉각된다. 경사 부재(21t)의 온도는, 예를 들어 냉매 통로(11a)와 같은 정도로까지 냉각되며, 각 경사 부재(21t)의 제1 경사면(21a) 및 제2 경사면(2lb)에 있어서 기체가 응축된다. The first inclined surface 21a of each inclined member 21t is provided in a part of the refrigerant passage 11a and each inclined member 21t is cooled by the refrigerant flowing in the refrigerant passage 11a. The temperature of the inclined member 21t is cooled to the same level as the refrigerant passage 11a and the gas condenses on the first inclined surface 21a and the second inclined surface 21b of each inclined member 21t .

더욱이, 냉매 통로(11a)의 외표면은 흑색을 가져도 되고, 흑색을 가진 외표면은 냉매 통로(11a)의 외표면을 산화시킴으로써 형성될 수 있다. 또는, 냉매 통로(11a)를 구성하는 관 부재의 외표면에 도금법에 의해 흑색을 가진 금속막을 형성해도 된다. 또한, 냉매 통로(11a)를 구성하는 관 부재에 흑색을 가진 도료를 도포함으로써, 냉매 통로(11a)의 외표면의 색을 흑색으로 바꿀 수도 있다. Furthermore, the outer surface of the coolant passage 11a may have a black color, and the outer surface having a black color may be formed by oxidizing the outer surface of the coolant passage 11a. Alternatively, a black metal film may be formed on the outer surface of the pipe member constituting the coolant passage 11a by a plating method. The color of the outer surface of the refrigerant passage 11a may be changed to black by applying a paint having black color to the tube member constituting the refrigerant passage 11a.

냉매 통로(11a)는 냉각 대상(Tg)이 방사하는 열을 적지 않게 받는다. 냉매 통로(11a)의 외표면이 흑색인 것에 의해, 냉매 통로(11a)의 외표면이 흑색 이외의 색인 경우에 비해 냉각 장치(10)에 의한 냉각 대상(Tg)의 냉각 효율을 향상시킬 수 있다. The coolant passage 11a receives little heat radiated by the cooling object Tg. Since the outer surface of the coolant passage 11a is black, the cooling efficiency of the cooling object Tg by the cooling device 10 can be improved as compared with the case where the outer surface of the coolant passage 11a has a color other than black .

또한, 제2 방향(D2)에서 이웃하는 2개의 경사 부재(21t)들 사이의 거리(이웃하는 2개의 테두리(21e)들 사이의 거리)(L)는 50㎜ 이상 100㎜ 이하인 것이 바람직하다. 거리(L)이 50㎜ 이상인 것에 의해, 진공조(101) 내의 기체가 슬릿(21s)에 흘러 들어오기 쉬워진다. 또한, 거리(L)가 100㎜ 이하인 것에 의해, 제2 방향(D2)에서의 경사 부재(21t)의 폭을 냉매 통로(11a)에 의해 냉각되기 쉬운 크기로 할 수 있다. It is also preferable that the distance L between adjacent two oblique members 21t in the second direction D2 (the distance between two adjacent rims 21e) is 50 mm or more and 100 mm or less. When the distance L is 50 mm or more, the gas in the vacuum chamber 101 easily flows into the slit 21s. Further, the distance L is 100 mm or less, whereby the width of the slant member 21t in the second direction D2 can be made large enough to be cooled by the coolant passage 11a.

도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 면(12a)과 대향하는 위치에서 보았을 때, 냉매 통로(11a)는 복수의 굴곡 부분들을 가진 절선 형상을 가진다. 예를 들어, 냉매 통로(11a)는 제1 방향(D1)으로 연장되는 복수의 직선 부분(11a1)들 및 인접하는 2개의 직선 부분(11a1)들 사이에 하나씩 위치하고, 제2 방향(D2)으로 연장되는 복수의 굴곡 부분(11a2)들로 구성되어 있다. As shown in Fig. 5, the refrigerant passage 11a has a bent shape with a plurality of bent portions when viewed from a position facing the first surface 12a. For example, the coolant passage 11a is located one by one between a plurality of straight portions 11a1 extending in the first direction D1 and two adjacent straight portions 11a1, and in the second direction D2 And is composed of a plurality of bent portions 11a2 extending.

제1 방향(D1)을 따른 각 직선 부분(11a1)의 길이는 거의 같고, 복수의 직선 부분(11a1)들은 제2 방향(D2)으로 등간격으로 배치되어 있다. The lengths of the linear portions 11a1 along the first direction D1 are substantially equal to each other and the plurality of straight portions 11a1 are arranged at equal intervals in the second direction D2.

각 직선 부분(11a1)이 하나의 경사 부재(21t)의 제1 경사면(21a)에 설치됨으로써, 복수의 경사 부재(21t)들이 제2 방향(D2)으로 이어져 있다. 제1 방향(D1)을 따른 각 경사 부재(21t)의 길이는 제1 방향(D1)을 따른 각 직선 부분(11a1)의 길이보다 크다. 이로 인하여, 냉매가 직선 부분(11a1)을 흐르고 있는 동안, 직선 부분(11a1)과 경사 부재(21t) 사이에서 상기 냉매에 의해 열교환이 행해진다. 따라서, 제1 방향(D1)에 있어서 직선 부분(11a1)이 경사 부재(21t)로부터 밀려나오는 구성에 비해 경사 부재(21t)를 냉각하는 효율이 향상된다. Each of the straight portions 11a1 is provided on the first inclined surface 21a of one inclined member 21t so that the plurality of inclined members 21t extend in the second direction D2. The length of each inclined member 21t along the first direction D1 is greater than the length of each linear portion 11a1 along the first direction D1. As a result, heat exchange is performed between the linear portion 11a1 and the inclined member 21t by the refrigerant while the refrigerant flows through the linear portion 11a1. Therefore, the cooling efficiency of the inclined member 21t is improved as compared with a configuration in which the straight portion 11a1 is pushed out of the inclined member 21t in the first direction D1.

냉각 장치의 작용Action of cooling system

냉각 장치(10)의 작용을 이하에서 설명한다. The operation of the cooling device 10 will be described below.

도 1에 있어서, 제1 거리(L1)가 몇 십㎜ 정도일 때, 진공조(101) 내의 기체는 냉각 대상(Tg)과 냉각체(12)의 제2 면(12b) 사이로 거의 흘러들어오지 않는다. 이로 인해, 냉각체(12)가 종래와 같은 단일 플레이트로 이루어질 때에는 냉각체(12)의 제2 면(12b)에서는 거의 기체의 흐름이 발생되지 않는다. 이에 따라, 냉각체(12)의 제2 면(12b)에서는 기체의 응축이 거의 일어나지 않기 때문에, 제2 면(12b)에서의 배기 속도가 저하된다. 1, the gas in the vacuum chamber 101 hardly flows between the cooling object Tg and the second surface 12b of the cooling body 12 when the first distance L1 is several tens mm. Therefore, when the cooling body 12 is made of a single plate as in the conventional case, almost no gas flows on the second surface 12b of the cooling body 12. [ As a result, the gas does not substantially condense on the second surface 12b of the cooling body 12, so that the exhaust speed on the second surface 12b is lowered.

또한, 제2 거리(L2)가 몇 십㎜ 정도일 때에는 냉각체(12)의 테두리와 진공조(101)의 내주면 사이에도 기체가 들어가기 어렵다. 이로 인해, 냉각체(12)가 종래와 같은 단일 플레이트로 이루어질 때에는 냉각체(12)의 제1 면(12a)에서도 거의 기체의 흐름이 발생되지 않는다. 결과적으로, 제1 면(12a)에서의 배기 속도도 저하된다. Further, when the second distance L2 is several tens mm, it is difficult for gas to enter between the rim of the cooling body 12 and the inner peripheral surface of the vacuum chamber 101. Therefore, when the cooling body 12 is made of a single plate as in the prior art, almost no gas flows on the first face 12a of the cooling body 12. [ As a result, the exhaust speed at the first surface 12a also decreases.

이에 비하여, 상술한 냉각 장치(10)에서는 냉각체(12)가 냉각체(12)의 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이를 관통하는 적어도 하나의 통로로서 슬릿(21s)을 가진다. 이에 따라, 슬릿을 갖지 않는 단일 플레이트로 이루어지는 종래의 냉각체에 비해 슬릿(21s)에 있어서 압력이 저하되고, 진공조(101) 내의 기체가 슬릿(21s)을 통해 제2 면(12b)과 제1 면(12a) 사이를 흐른다. 이로 인해, 냉각체(12)의 제1 면(12a)과 제2 면(12b)의 각각에 있어서 기체의 흐름이 발생되고, 기체의 응축도 일어나기 쉬워진다. 결과적으로, 냉각 장치(10)에 의해 배기 속도가 저하되는 것을 억제할 수 있다. In contrast, in the above-described cooling apparatus 10, the cooling body 12 is provided with at least one passage through which the slit 21s passes between the first surface 12a and the second surface 12b of the cooling body 12 I have. As a result, the pressure in the slit 21s is lowered compared with the conventional cooling body made of a single plate having no slit, and the gas in the vacuum chamber 101 is supplied to the second surface 12b through the slit 21s, And flows between the first surfaces 12a. As a result, a flow of gas is generated on each of the first surface 12a and the second surface 12b of the cooling body 12, and condensation of the gas is likely to occur. As a result, it is possible to suppress the exhaust speed from being lowered by the cooling device 10.

앞서 설명한 바와 같이, 상기 냉각 장치의 일 실시예에 의하면, 이하에 열거하는 효과들을 얻을 수 있다. As described above, according to the embodiment of the cooling device, the following effects can be obtained.

(1) 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이에서 기체가 흐르는 통로가 냉각체(12)에 형성되어 있기 때문에, 통로를 갖지 않는 구성에 비해 냉각체(12)의 제1 면(12a)에 따른 기체의 흐름 및 제2 면(12b)에 따른 기체의 흐름이 촉진된다. 따라서, 냉각체(12)를 향하여 기체가 유입하기 쉬워져, 결과적으로 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. (1) Since the passage through which the gas flows between the first surface 12a and the second surface 12b is formed in the cooling body 12, compared to the configuration in which the passage is not provided, The flow of gas along the second surface 12a and the flow of gas along the second surface 12b are promoted. Therefore, the gas easily flows toward the cooling body 12, and as a result, it is possible to suppress the decrease in the exhaust speed in the space in which the cooling object Tg is accommodated.

(2) 복수의 냉각 부재(21)들이 거의 같은 형상을 가지며, 제2 방향(D2)으로 등간격으로 병렬되어 있다. 이에 따라, 제1 면(12a)의 전체에 있어서 제1 면(12a)을 따르는 기체의 흐름이 촉진된다. 더욱이, 제2 면(12b)의 전체에 있어서도 제2 면(12b)을 따르는 기체의 흐름이 촉진된다. 결과적으로, 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. (2) The plurality of cooling members 21 have almost the same shape, and are arranged at regular intervals in the second direction D2. As a result, the flow of the gas along the first surface 12a on the entire first surface 12a is promoted. Furthermore, the flow of the gas along the second surface 12b is also promoted in the entire second surface 12b. As a result, it is possible to suppress the decrease of the exhaust speed in the space in which the cooling object Tg is accommodated.

(3) 각 경사 부재(21t)는 제2 방향(D2)에서의 일단에 테두리(21e)를 가지며, 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)는 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있다. 이에 따라, 제2 면(12b)과 대향하는 위치(즉, 냉각 대상(Tg))에서 보아 2개의 경사 부재(21t)들 사이의 간극은 눈으로 확인되지 않는다. 이로 인해, 복수의 경사 부재(21t)들에 의해 제2 면(12b)의 전면이 냉각 대상(Tg)과 대향하는 방향에 있어서 간극 없이 형성된다. 결과적으로, 냉각 장치(10)가 냉각 대상(Tg)을 냉각하는 효율이 향상된다. (3) Each of the inclined members 21t has a rim 21e at one end in the second direction D2, and the rim 21e of each of the inclined members 21t is inclined in a second direction D2, And is superimposed on the member 21t. Thus, the gap between the two inclined members 21t in the position opposed to the second surface 12b (i.e., the cooling object Tg) is not visually recognized. Thus, the front surface of the second surface 12b is formed by the plurality of inclined members 21t without any gap in the direction opposite to the cooling target Tg. As a result, the efficiency of cooling of the cooling object Tg by the cooling device 10 is improved.

또한, 상술한 실시예는 이하와 같이 적절하게 변경하여 실시할 수도 있다. The above-described embodiments may be modified as appropriate as follows.

ㆍ복수의 경사 부재(21t)들의 경사 각도(θ)가 서로 달라도 된다. 이러한 구성이라도 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있으면, 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. The inclination angles? Of the plurality of inclined members 21t may be different from each other. Even if such a configuration is employed, if the rim 21e of each slant member 21t is overlapped with the adjacent slant member 21t in the second direction D2, the same effect as the above-mentioned item (3) can be obtained.

ㆍ각 경사 부재(21t)는 테두리(21e)에 의해 규정되고, 냉각부(11)의 근방에 위치하는 기단과 제2 방향(D2)에 있어서 기단(테두리(21e))과 반대측에 위치하는 선단을 갖고 있다. 상술한 실시예에서는, 각 경사 부재(21t)가 기단(테두리(21e))이 선단보다 상방에 위치하도록 기준면(R)에 대하여 양의 기울기로 경사져 있지만(도 2 및 도 4 참조), 기단(테두리(21e))이 선단보다 하방에 위치하도록 기준면(R)에 대하여 음의 기울기로 경사져 있어도 된다. 또는, 복수의 경사 부재(21t)들이 양의 기울기로 경사지는 것과 음의 기울기로 경사지는 것을 포함하고 있어도 된다. Each inclined member 21t is defined by a rim 21e and has a proximal end located in the vicinity of the cooling section 11 and a proximal end located on the opposite side of the proximal end (rim 21e) in the second direction D2 Lt; / RTI > Although the inclined members 21t are inclined at a positive slope with respect to the reference plane R so that the base end (the rim 21e) is positioned above the front end (see Figs. 2 and 4) (Rim 21e) may be inclined at a negative slope with respect to the reference plane R so as to be positioned below the tip. Alternatively, the plurality of inclined members 21t may be inclined at a positive slope and inclined at a negative slope.

이러한 구성이라도 각 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹쳐 있으면, 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. Even if such a configuration is employed, if the rim 21e of each slant member 21t is overlapped with the adjacent slant member 21t in the second direction D2, the same effect as the above-mentioned item (3) can be obtained.

ㆍ복수의 경사 부재(21t)들 중의 일부의 경사 부재(21t)의 테두리(21e)만이 이웃하는 경사 부재(21t)와 겹쳐 있어도 된다. 이러한 구성이라도 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 이웃하는 경사 부재(21t)에 겹치는 부분에서는 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. Only the rim 21e of the slant member 21t of a plurality of the slant members 21t may overlap with the adjacent slant member 21t. Even in such a configuration, the same effect as the above-described item (3) can be obtained in the portion where the rim 21e of the oblique member 21t overlaps with the adjacent oblique member 21t.

ㆍ복수의 냉각 부재(21)들 중의 일부의 냉각 부재(21)만을 경사 부재(21t)에 의해 구성하고, 나머지의 냉각 부재(21)를 기준면(R)을 따라 또는 기준면(R)에 평행하게 배치해도 된다. 이러한 구성이라도 경사 부재(21t)의 테두리(21e)가 이웃하는 냉각 부재(21)에 겹치는 부분에서는 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 복수의 냉각 부재(21)들이 제2 방향(D2)에 있어서 슬릿(21s)에 의해 구획되고, 복수의 냉각 부재(21)들이 거의 동일한 형상을 가지면, 상술한 사항 (1) 및 사항 (2)와 동등한 효과를 얻을 수 있다. Only a part of the cooling members 21 of the plurality of cooling members 21 are constituted by the inclined members 21t and the remaining cooling members 21 are arranged along the reference plane R or parallel to the reference plane R . Even in such a configuration, the same effect as the above-described item (3) can be obtained in the portion where the rim 21e of the inclined member 21t overlaps with the adjacent cooling member 21. [ If the plurality of cooling members 21 are partitioned by the slits 21s in the second direction D2 and the plurality of cooling members 21 have almost the same shape, 2) can be obtained.

ㆍ도 6에 나타내는 바와 같이, 냉각체(12)의 복수의 냉각 부재(31)들의 모두를 기준면(R)을 따라 또는 기준면(R)에 평행하게 배치해도 된다. 이러한 구성이라도 복수의 냉각 부재(31)들이 슬릿(31s)에 의해 구획되고, 복수의 냉각 부재(31)들이 거의 동일한 형상을 가지고 있으면, 상술한 사항 (1) 및 사항 (2)와 동등한 효과를 얻을 수 있다. 6, all of the plurality of cooling members 31 of the cooling body 12 may be arranged along the reference plane R or parallel to the reference plane R. [ Even in such a configuration, if the plurality of cooling members 31 are partitioned by the slits 31s and the plurality of cooling members 31 have substantially the same shape, the same effect as the above-mentioned items (1) and (2) Can be obtained.

ㆍ냉각체(12)가 복수의 냉각 부재들로 구성되는 경우에 있어서, 복수의 냉각 부재들이 2종류 이상의 다른 형상들 또는 2종류 이상의 다른 크기들을 가지고 있어도 된다. In the case where the cooling body 12 is constituted by a plurality of cooling members, the plurality of cooling members may have two or more different shapes or two or more different sizes.

예를 들어, 도 7에 나타내는 바와 같이, 냉각체(12)는 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 연장되는 판 형상을 가지고 있다. 냉각체(12)는 냉각체(12)를 복수의 냉각 부재(41)들로 구획하는 복수의 슬릿(41s)들(본 발명의 실시예에서는 2개의 슬릿(41s)들)을 포함하고, 각 슬릿(41s)이 통로로서 설치되어 있다. 각 슬릿(41s)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 있다. 복수의 냉각 부재(41)들은 제2 방향(D2)에서의 냉각체(12)의 양단에 위치하는 2개의 단부재(41a)들 및 제2 방향(D2)에 있어서 2개의 단부재(41a)들 사이에 위치하는 적어도 하나의 중간 부재(4lb)(본 발명의 실시예에서는 하나의 중간 부재(4lb))를 포함한다. 각 단부재(41a)의 크기는 중간 부재(4lb)의 크기보다 작다. For example, as shown in Fig. 7, the cooling body 12 has a plate shape extending in the first direction D1 and the second direction D2. The cooling body 12 includes a plurality of slits 41s (two slits 41s in the embodiment of the present invention) for partitioning the cooling body 12 into a plurality of cooling members 41, And a slit 41s is provided as a passage. Each slit 41s extends in the first direction D1. The plurality of cooling members 41 are formed by two end members 41a located at both ends of the cooling body 12 in the second direction D2 and two end members 41a located at both ends of the end member 41a in the second direction D2. At least one intermediate member 41b (one intermediate member 41b in the embodiment of the present invention) positioned between the two intermediate members 41b. The size of each end member 41a is smaller than the size of the intermediate member 41b.

본 발명의 실시예에서는, 제1 방향(D1)에 있어서, 각 단부재(41a)의 길이는 중간 부재(4lb)의 길이와 같다. 한편, 제2 방향(D2)에 있어서, 각 단부재(41a)의 길이는 중간 부재(4lb)의 길이보다 작다. In the embodiment of the present invention, in the first direction D1, the length of each end member 41a is the same as the length of the intermediate member 41b. On the other hand, in the second direction D2, the length of each end member 41a is smaller than the length of the intermediate member 41b.

각 냉각 부재(41)는 기준면(R)에 대하여 경사지는 경사 부재이며, 제2 방향(D2)에서의 일단에 테두리(41e)를 가지고 있다. 그리고, 각 냉각 부재(41)의 테두리(41e)는 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 냉각 부재(41)와 겹쳐져 있다. Each cooling member 41 is an inclined member inclined with respect to the reference plane R and has a rim 41e at one end in the second direction D2. The rim 41e of each cooling member 41 overlaps the neighboring cooling member 41 in the second direction D2.

도 7의 구성에 의하면, 상술한 사항 (1) 및 사항 (3)의 효과에 덧붙여서 이하에 기술되는 효과들을 얻을 수 있다.According to the configuration of Fig. 7, the following effects can be obtained in addition to the effects of items (1) and (3).

(4) 냉각체(12)가 제2 방향(D2)에서의 양단 가까이에 통로(슬릿(41s))를 포함하기 때문에, 냉각체(12)의 둘레를 흐르는 기체가 냉각체(12)의 통로로 유입되기 쉬워진다. 이로 인해, 냉각체(12)의 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이에서 기체가 흐르기 쉬워진다. 따라서, 제1 면(12a)을 따른 기체의 흐름 및 제2 면(12b)을 따른 기체의 흐름이 촉진되어, 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. (4) Since the cooling body 12 includes the passages (slits 41s) near both ends in the second direction D2, the gas flowing around the cooling body 12 flows into the passage . This makes it easier for the gas to flow between the first surface 12a and the second surface 12b of the cooling body 12. Accordingly, the flow of the gas along the first surface 12a and the flow of the gas along the second surface 12b are promoted, so that the decrease in the exhaust speed can be suppressed in the space in which the cooling object Tg is accommodated.

ㆍ도 7의 구성에서는, 복수의 냉각 부재(41)들 중의 일부의 냉각 부재(41)의 테두리(41e)만이 이웃하는 냉각 부재(41)에 겹쳐 있어도 된다. 이러한 구성이라도 냉각 부재(41)의 테두리(41e)가 이웃하는 냉각 부재(41)에 겹치는 부분에서는 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 복수의 냉각 부재(41)들 중의 일부의 냉각 부재(41)만을 경사 부재에 의해 구성해도 되고, 복수의 냉각 부재(41)들의 모두를 기준면(R)을 따라, 또는 기준면(R)에 평행하게 배치해도 된다. 이러한 구성이라도 냉각체(12)가 슬릿(41s)을 가지만 하면 상술한 사항 (1)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. In the configuration of Fig. 7, only the rim 41e of a part of the cooling members 41 of the plurality of cooling members 41 may overlap with the adjacent cooling member 41. [ Even in such a configuration, the same effect as the above-described item (3) can be obtained in the portion where the rim 41e of the cooling member 41 overlaps the neighboring cooling member 41. [ Only a part of the cooling members 41 of the plurality of cooling members 41 may be constituted by inclined members or all of the plurality of cooling members 41 may be provided along the reference surface R or on the reference surface R It may be arranged in parallel. Even in such a configuration, if the cooling body 12 has the slit 41s, the same effect as the above-mentioned item (1) can be obtained.

ㆍ도 7의 구성에서는 2개의 단부재(41a)들 사이에 위치하는 중간 부재(4lb)가 각 단부재(41a)보다 클 경우, 냉각체(12)는 2개 이상의 중간 부재(4lb)를 포함해도 된다. 이러한 구성이라도 각 중간 부재(4lb)가 각 단부재(41a)보다 크기만 하면, 상술한 사항 (4)와 동등한 효과를 얻을 수 있다. 7, when the intermediate member 41b positioned between the two end members 41a is larger than each end member 41a, the cooling body 12 includes two or more intermediate members 41b You can. Even in such a configuration, if each of the intermediate members 41b is larger than each of the end members 41a, the same effect as the above-mentioned item (4) can be obtained.

ㆍ도 7의 구성에서는 2개의 단부재(41a)들 중의 일방만이 다른 냉각부재(41)(타방의 단부재(41a) 및 중간 부재(4lb))보다 작아도 된다. 이러한 구성이라도 일방의 단부재(41a)(작은 단부재(41a))가 위치하는 부분에서는 상술한 사항 (4)와 동등한 효과를 얻을 수 있다. In the configuration of Fig. 7, only one of the two end members 41a may be smaller than the other cooling member 41 (the other end member 41a and the intermediate member 41b). Even in such a configuration, the same effect as the above-described item (4) can be obtained in a portion where one end member 41a (small end member 41a) is located.

ㆍ냉각체(12)가 복수의 냉각 부재들로 구성되는 경우에 있어서, 복수의 냉각 부재들을 도 8에 나타내는 형상이나 크기로 형성해도 된다. In the case where the cooling body 12 is constituted by a plurality of cooling members, a plurality of cooling members may be formed in the shape and size shown in Fig.

도 8에 나타내는 바와 같이, 냉각체(12)는 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 연장되는 판 형상을 가진다. 냉각체(12)는 냉각체(12)를 복수의 냉각 부재(51)들로 구획하는 복수의 슬릿(51s)들(본 발명의 실시예에서는 2개의 슬릿(51s)들)을 포함하고, 각 슬릿(51s)이 통로로서 설치되어 있다. 각 슬릿(51s)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 있다. 복수의 냉각 부재(51)들은 제2 방향(D2)에서의 냉각체(12)의 양단에 위치하는 2개의 단부재(5lb)들과 제2 방향(D2)에 있어서 2개의 단부재(5lb)들 사이에 위치하는 적어도 하나의 중간 부재(51a)(본 발명의 실시예에서는 하나의 중간 부재(51a))를 포함한다. 중간 부재(51a)의 크기는 각 단부재(5lb)의 크기보다 작다. As shown in Fig. 8, the cooling body 12 has a plate shape extending in the first direction D1 and the second direction D2. The cooling body 12 includes a plurality of slits 51s (two slits 51s in the embodiment of the present invention) for partitioning the cooling body 12 into a plurality of cooling members 51, And a slit 51s is provided as a passage. Each of the slits 51s extends in the first direction D1. The plurality of cooling members 51 are connected to the two end members 51b located at both ends of the cooling body 12 in the second direction D2 and the two end members 51b in the second direction D2, At least one intermediate member 51a (one intermediate member 51a in the embodiment of the present invention) positioned between the two intermediate members 51a and 51b. The size of the intermediate member 51a is smaller than the size of each end member 51b.

본 발명의 실시예에서, 제1 방향(D1)에 있어서 중간 부재(51a)의 길이는 각 단부재(5lb)의 길이와 같다. 한편, 제2 방향(D2)에 있어서, 중간 부재(51a)의 길이는 각 단부재(5lb)의 길이보다 작다. In the embodiment of the present invention, the length of the intermediate member 51a in the first direction D1 is equal to the length of each end member 51b. On the other hand, in the second direction D2, the length of the intermediate member 51a is smaller than the length of each end member 51b.

각 냉각 부재(51)는 기준면(R)에 대하여 경사진 경사 부재이며, 제2 방향(D2)에서의 일단에 테두리(51e)를 가지고 있다. 그리고, 각 냉각 부재(51)의 테두리(51e)는 제2 방향(D2)에 있어서 이웃하는 냉각 부재(51)에 겹쳐 있다. Each cooling member 51 is an inclined member inclined with respect to the reference plane R and has a rim 51e at one end in the second direction D2. The rim 51e of each cooling member 51 overlaps the neighboring cooling member 51 in the second direction D2.

도 8의 구성에 의하면, 상술한 사항 (1) 및 사항 (3)의 효과에 덧붙여서 이하에 기재되는 효과들을 얻을 수 있다. According to the configuration of Fig. 8, the effects described below can be obtained in addition to the effects of the matters (1) and (3).

(5) 냉각체(12)의 둘레를 흐르는 기체는 냉각체(12)의 중앙 가까이에 위치하는 통로(슬릿(51s))로 유입하기 때문에, 냉각체(12)의 제1 면(12a)을 따른 기체의 흐름 및 제2 면(12b)을 따른 기체의 흐름이 촉진된다. 이에 따라, 냉각 대상(Tg)이 수용되는 공간에서 배기 속도의 저하를 억제할 수 있다. (5) Since the gas flowing around the cooling body 12 flows into the passage (slit 51s) located near the center of the cooling body 12, the first face 12a of the cooling body 12 The flow of gas along the second surface 12b and the flow of gas along the second surface 12b are promoted. This makes it possible to suppress a decrease in the exhaust speed in the space in which the cooling object Tg is accommodated.

ㆍ도 8의 구성에서는 복수의 냉각 부재(51)들 중의 일부의 냉각 부재(51)의 테두리(51e)만이 이웃하는 냉각 부재(51)에 겹쳐 있어도 된다. 이러한 구성이라도 냉각 부재(51)의 테두리(51e)가 이웃하는 냉각 부재(51)에 겹치는 부분에서는 상술한 사항 (3)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 복수의 냉각 부재(51)들 중의 일부의 냉각 부재(51)만을 경사 부재에 의해 구성해도 되고, 복수의 냉각 부재(51)들의 모두를 기준면(R)을 따라, 또는 기준면(R)에 평행하게 배치해도 된다. 이러한 구성이라도 냉각체(12)가 슬릿(51s)을 갖기만 하면 상술한 사항 (1)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. In the configuration of Fig. 8, only the rim 51e of a part of the cooling members 51 of the plurality of cooling members 51 may overlap with the neighboring cooling member 51. Fig. Even in such a configuration, the same effect as the above-described item (3) can be obtained in the portion where the rim 51e of the cooling member 51 overlaps the neighboring cooling member 51. [ Only a part of the cooling members 51 of the plurality of cooling members 51 may be constituted by inclined members or all of the plurality of cooling members 51 may be provided along the reference plane R or on the reference plane R It may be arranged in parallel. Even in such a configuration, if the cooling body 12 has the slit 51s, the same effect as the above-mentioned item (1) can be obtained.

ㆍ도 8의 구성에서는 중간 부재(51a)가 다른 냉각 부재(51)보다 작으면, 냉각체(12)는 4개 이상의 냉각 부재(51)들을 포함하여도 된다. 예를 들어, 냉각체(12)는 2개의 단부재(5lb)들 및 이들 2개의 단부재(5lb)들 사이에 위치하는 2개의 중간 부재(51a)들을 포함해도 된다. 이 경우, 각 중간 부재(51a)가 각 단부재(5lb)보다 작아도 되고, 2개의 중간 부재(51a)들 중의 일방이 각 단부재(5lb)보다 작아도 된다. 즉, 도 8의 구성은 2개의 단부재(5lb)들 사이에 위치하는 적어도 하나의 중간 부재(51a) 중의 적어도 하나가 각 단부재(5lb)보다 작게 형성되는 구성을 포함한다. 이러한 구성이라도 중간 부재(51a)가 다른 냉각 부재(51)보다 작기만 하면, 상술한 사항 (5)와 동등한 효과를 얻을 수 있다. In the configuration of Fig. 8, if the intermediate member 51a is smaller than the other cooling members 51, the cooling body 12 may include four or more cooling members 51. Fig. For example, the cooling body 12 may include two end members 51b and two intermediate members 51a positioned between these two end members 51b. In this case, each intermediate member 51a may be smaller than each of the end members 51b, and one of the two intermediate members 51a may be smaller than each end member 51b. That is, the configuration of FIG. 8 includes a configuration in which at least one of the at least one intermediate member 51a positioned between the two end members 51b is formed smaller than each end member 51b. Even in such a configuration, if the intermediate member 51a is smaller than the other cooling member 51, the same effect as the above-mentioned item (5) can be obtained.

ㆍ도 1 내지 도 8에 있어서, 냉각체(12)는 3개 이상의 냉각 부재들로 구성되어 있으나, 2개의 냉각 부재들로 구성되어도 된다. 즉, 냉각체(12)는 2개의 냉각 부재들 및 이들 2개의 냉각 부재들을 구획하는 단일 슬릿(통로)을 포함하는 구성이어도 된다. 이 경우, 2개의 냉각 부재들은 서로 다른 형상으로 형성되어도 되고, 일방의 냉각 부재가 타방의 냉각 부재와 다른 크기로 형성되어도 된다. 1 to 8, the cooling body 12 is composed of three or more cooling members, but it may be composed of two cooling members. That is, the cooling body 12 may include two cooling members and a single slit (passage) for partitioning the two cooling members. In this case, the two cooling members may be formed in different shapes, and one cooling member may be formed in a size different from that of the other cooling member.

ㆍ 도 9에 나타내는 바와 같이, 냉각체(12)는 판 형상을 갖는 하나의 냉각 부재(61)로 구성되어도 된다. 냉각체(12)는 냉각 부재(61)의 두께 방향으로 냉각 부재(61)를 관통하는 적어도 하나의 관통공(61a)(도 9에서는 9개의 관통공(61a)들)을 통로로서 포함하며, 각 관통공(61a)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 있다. 복수의 관통공(61a)들은 제2 방향(D2)으로 나란하게 배치되어 있다. 또한, 관통공(61a)은 제2 방향(D2)으로 연장되어 있어도 되고, 원형공 등이어도 된다. As shown in Fig. 9, the cooling body 12 may be constituted by one cooling member 61 having a plate shape. The cooling body 12 includes at least one through hole 61a (nine through holes 61a in Fig. 9) passing through the cooling member 61 in the thickness direction of the cooling member 61 as a passage, Each of the through holes 61a extends in the first direction D1. The plurality of through holes 61a are arranged in parallel in the second direction D2. The through hole 61a may extend in the second direction D2, or may be a circular hole or the like.

이러한 구성이라도 냉각체(12)가 제1 면(12a)과 제2 면(12b) 사이에서 기체가 흐르는 통로를 갖기만 하면, 상술한 사항 (1)과 동등한 효과를 얻을 수 있다. Even in this configuration, if the cooling body 12 has a passage through which the gas flows between the first surface 12a and the second surface 12b, the same effect as the above-described matter (1) can be obtained.

ㆍ제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)에 대하여 직교하는 방향으로 한정되지 않고, 제1 방향(D1)에 대하여 교차하는 방향이면 된다. 즉, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 90°이외의 각도로 서로 교차하고 있어도 된다. The second direction D2 is not limited to a direction orthogonal to the first direction D1 but may be any direction intersecting the first direction D1. That is, the first direction D1 and the second direction D2 may intersect each other at an angle other than 90 degrees.

ㆍ냉각부(11)는 냉매를 이용하여 냉각체(12)를 냉각하는 기구로 한정되지 않으며, 크라이오 기구여도 된다. 이러한 크라이오 기구는 냉동기와 냉각체(12)의 냉각 부재에 냉동기를 접속하기 위한 접속부를 구비하고 있으면 된다. 더욱이, 냉각체(12)가 복수의 냉각 부재들로 구성되는 경우에, 냉각 장치(10)가 하나의 크라이오 기구를 구비하고, 이러한 크라이오 기구의 냉동기가 접속부를 개재하여 복수의 냉각 부재들에 접속되어도 된다. 또는, 냉각 장치(10)가 복수의 크라이오 기구들을 구비하고, 각 크라이오 기구의 냉동기가 대응하는 접속부를 개재하여 복수의 냉각 부재들 중의 하나에 접속되어도 된다. The cooling unit 11 is not limited to a mechanism for cooling the cooling body 12 using a coolant, and may be a cryo mechanism. The cryo mechanism may be provided with a connecting portion for connecting the freezer and the freezing device to the cooling member of the cooling member 12. [ Further, in the case where the cooling body 12 is constituted by a plurality of cooling members, the cooling device 10 is provided with one cryo mechanism, and the refrigerator of this cryo mechanism is connected to the plurality of cooling members . Alternatively, the cooling device 10 may include a plurality of cryo mechanisms, and the refrigerator of each cryo mechanism may be connected to one of the plurality of cooling members via a corresponding connecting portion.

10: 냉각 장치 11: 냉각부
11a: 냉매 통로 11a1: 직선 부분
11a2: 굴곡 부분 1lb: 냉매 순환부
12: 냉각체 12a: 제1 면
12b: 제2 면 21, 31, 41, 51, 61: 냉각 부재
21a: 제1 경사면 2lb: 제2 경사면
21e, 41e, 51e: 테두리 21s, 31s, 41s, 51s: 슬릿
21t: 경사 부재 41a, 5lb: 단부재
4lb, 51a: 중간 부재 61a: 관통공
100: 성막 장치 101: 진공조
102: 성막부 103: 지지부
104: 배기부 R: 기준면
Tg: 냉각 대상 10: Cooling unit 11: Cooling unit
11a: refrigerant passage 11a1: straight portion
11a2: bent portion 1lb: refrigerant circulation part
12: cooling body 12a: first side
12b: second surface 21, 31, 41, 51, 61: cooling member
21a: first inclined plane 2lb: second inclined plane
21e, 41e, 51e: rim 21s, 31s, 41s, 51s:
21t: inclined member 41a, 51b:
4lb, 51a: intermediate member 61a: through hole
100: Film forming apparatus 101: Vacuum tank
102: Film forming part 103: Support part
104: exhaust part R: reference surface
Tg: Cooling object

Claims

A cooling section,
And a cooling body including a first surface connected to the cooling portion and a second surface opposite to the first surface, the cooling body being cooled by the cooling portion,
Wherein the cooling body further comprises a passage through which gas flows between the first surface and the second surface,
The second surface is a surface facing the object to be cooled,
Wherein the surface roughness of the first surface is smaller than the surface roughness of the second surface.

The method according to claim 1,
Wherein the cooling body has a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other,
Wherein the first surface has a first step that changes an amount of heat absorbed by the first surface.

3. The method of claim 2,
Wherein the first surface further has a second step smaller than the first step that changes the emissivity of the first surface.

The method according to claim 1,
Wherein the cooling body has a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other,
Wherein the first surface is mirror-finished.

The method according to claim 1,
Wherein the cooling body has a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other,
Wherein the emissivity at the front face of the second face and the emissivity of at least a part of the first face are 0.8 or more.

The method according to claim 1,
And the temperature of the cooling part is cooled to 90K or more and 150K or less.

A cooling device comprising: a cooling device according to any one of claims 1 to 6;
In addition,
And a support for supporting the object to be cooled,
Wherein the cooling body has a plate shape extending in first and second directions intersecting with each other,
The passage extending in the first direction and dividing the cooling body into a plurality of cooling members,
Wherein at least one of the plurality of cooling members is an inclined member inclined with respect to a reference plane defined by the first and second directions,
A distance between adjacent inclined members is 50 mm or more and 100 mm or less,
The distance between the vacuum chamber and the cooling body is 10 mm or more and less than 100 mm,
Wherein the support part supports the object to be cooled so that a distance between the object to be cooled and the coolant is 10 mm or more and less than 100 mm.