KR101937317B1 - Capacitive force sensor - Google Patents

Capacitive force sensor Download PDF

Info

Publication number
KR101937317B1
KR101937317B1 KR1020170062519A KR20170062519A KR101937317B1 KR 101937317 B1 KR101937317 B1 KR 101937317B1 KR 1020170062519 A KR1020170062519 A KR 1020170062519A KR 20170062519 A KR20170062519 A KR 20170062519A KR 101937317 B1 KR101937317 B1 KR 101937317B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
variable
variable electrode
capacitance
force sensor
Prior art date
Application number
KR1020170062519A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20180127109A (en
Inventor
민철홍
신재욱
김병호
남기준
Original Assignee
주식회사 시노펙스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 시노펙스 filed Critical 주식회사 시노펙스
Priority to KR1020170062519A priority Critical patent/KR101937317B1/en
Publication of KR20180127109A publication Critical patent/KR20180127109A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101937317B1 publication Critical patent/KR101937317B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0414—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using force sensing means to determine a position
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0448—Details of the electrode shape, e.g. for enhancing the detection of touches, for generating specific electric field shapes, for enhancing display quality

Abstract

본 발명은 장시간 사용 후에도 포스 센서가 원상태를 유지하도록 함으로써, 시간에 따른 감도의 저하를 최소화하는 구조를 가지는 정전용량 포스 센서에 관한 것이다.
상기 정전용량 포스 센서는, 고정전극부(110); 상기 고정전극부(110)의 둘레에 배치되는 가변전극단자부(120); 및 상기 가변전극단자부에 접속되는 탄성지지체(133)와 상기 탄성지지체(133)에 의해 상기 고정전극부(110)와 일정 간격 이격 지지되어 고정전극부(110)와의 사이에 정전용량을 형성하고 외부 압력에 의해 가변되어 정전용량을 변화시키는 가변전극(131)을 구비한 가변전극부(130);를 포함하여 구성될 수 있다.The present invention relates to a capacitive force sensor having a structure that minimizes deterioration of sensitivity over time by allowing a force sensor to maintain its original state even after long use.
The capacitive force sensor includes a fixed electrode unit 110; A variable electrode terminal portion 120 disposed around the fixed electrode portion 110; And an elastic supporter 133 connected to the variable electrode terminal unit and an elastic supporter 133. The elastic supporter 133 is spaced apart from the fixed electrode unit 110 by a predetermined distance to form a capacitance between the fixed electrode unit 110, And a variable electrode unit 130 having a variable electrode 131 that is varied by pressure and changes its capacitance.

Description

정전용량 포스 센서{CAPACITIVE FORCE SENSOR}[0001] CAPACITIVE FORCE SENSOR [0002]

본 발명은 정전용량 포스 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 장시간 사용 후에도 포스 센서가 원상태를 유지하도록 함으로써, 시간에 따른 감도의 저하를 최소화하는 구조를 가지는 정전용량 포스 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a capacitive force sensor, and more particularly, to a capacitive force sensor having a structure that minimizes deterioration of sensitivity over time by allowing a force sensor to maintain its original state even after prolonged use.

일반적으로 정전용량 포스 센서는 압력에 의해 가변되는 용량변화를 감지하여 정압이나 동압을 측정하거나, 연속적 변화를 가지는 스위칭 신호를 생성하도록 적용된다.Generally, a capacitive force sensor is applied to measure a static or dynamic pressure by detecting a change in capacitance that is variable by pressure, or to generate a switching signal having a continuous change.

도 1은 일반적인 비접지식 정전용량 포스 센서의 구조를 나타내는 도면이고, 도 2는 종래기술의 접지식 정전용량 포스 센서의 구성도이다.FIG. 1 is a view showing the structure of a general non-contact type capacitive force sensor, and FIG. 2 is a diagram showing the structure of a conventional inductive capacitive force sensor.

도 1과 같이, 종래기술의 비접지식 정전용량 포스 센서는 절연체 기판 상에 장착되는 고정전극과 고정전극과 일정 간격 이격 배치되는 타 전극으로서의 다이어프램 등의 가변 전극을 포함하여 구성된다. 즉, 본 발명에서는 가변전극과 고정전극이 접지됨이 없이 정전용량을 형성하여 구성된 포스 센서를 비접지식 정전용량 포스 센서라 정의한다.As shown in FIG. 1, the non-conductive capacitive force sensor of the related art includes a fixed electrode mounted on an insulator substrate and a variable electrode such as a diaphragm as another electrode disposed at a fixed distance from the fixed electrode. That is, in the present invention, the force sensor constituted by forming the electrostatic capacitance without grounding the variable electrode and the fixed electrode is defined as a non-contact capacitive force sensor.

그리고 도 2와 같이, 종래기술의 접지식 정전용량 포스 센서는 절연체 기판 상에 장착되는 정전용량부와 접지되어 정전용량부와 일정 간격 이격 배치되는 가변전극을 가지는 가변전극부를 포함하여 구성된다. 즉, 본 발명에서는 정전용량부가 스위칭을 위한 정전용량을 형성하고 정전용량부의 정전용량을 가변시키는 가변전극이 접지되는 구조를 가지는 포스 센서를 접지식 정전 용량 포스 센서라 정의한다.As shown in FIG. 2, the conventional inductive capacitive force sensor includes a capacitance portion mounted on an insulator substrate, and a variable electrode portion having a variable electrode arranged to be spaced apart from the capacitance portion by a predetermined distance. That is, in the present invention, a force sensor having a structure in which a capacitance for switching a capacitance portion is formed and a variable electrode for varying a capacitance of the capacitance portion is grounded is defined as a grounded capacitance force sensor.

상술한 구성의 종래기술의 정전용량 포스 센서는 외부의 압력에 의해 가변 전극이 변형되는 경우, 용량이 가변되어 용량의 가변에 따른 정압, 동압을 측정하거나, 정압 또는 동압에 대응하는 스위칭 신호를 출력하도록 구성된다.When the variable electrode is deformed by an external pressure, the capacitive force sensor according to the related art having the above-described configuration measures the static pressure and the dynamic pressure according to the variation of the capacitance, or outputs the switching signal corresponding to the static pressure or dynamic pressure .

이를 일반적인 텍트 스위치와 비교하면, 일반적인 텍트 스위치의 경우에는 기구물 오차를 가지는 경우 0점 조정을 수행하지 못하게 된다. 이에 따라, 종래기술의 텍트 스위치는 기구물 오차로 인해 원하지 않는 스위칭 동작을 수행하는 문제점을 가진다. 이에 반해, 포스 센서의 경우 가변 전극의 변형 시 해당 위치에서의 정전용량 값을 0점으로 설정하는 것에 의해 기구물 오차에도 불구하고 0점 조절을 용이하게 하고, 감지 감도가 현저히 높은 장점을 가진다. 따라서 근래 들어 정전용량 포스 센서가 널리 사용되고 있다.Compared with general tect switch, it can not perform 0 point adjustment in case of general tect switch with instrument error. Accordingly, the conventional tect switch has a problem of performing an undesired switching operation due to a mechanical error. On the other hand, in the case of the force sensor, when the variable electrode is deformed, the capacitance value at the corresponding position is set to zero, thereby facilitating adjustment of the zero point despite the error of the mechanism, and the sensitivity is remarkably high. Recently, capacitive force sensors have been widely used.

이러한 정전용량 포스 센서는 포스 터치 기능을 갖는 전자기기, 압력감응 터치패널, 자동차용 터치식 죠그 셔틀, 메탈 터치패널 스위치 등에 적용되어 외부의 압력에 따라 가변 전극이 가변되어 고정전극과의 사이의 정전 용량을 변화시키고, 변화된 정전용량을 감지하여 압력신호 또는 스위칭 신호를 출력하도록 동작된다.The capacitive force sensor is applied to an electronic device having a force touch function, a pressure sensitive touch panel, a touch jog shuttle for automobile, a metal touch panel switch, etc., so that the variable electrode is varied according to the external pressure, To change the capacitance, to sense the changed capacitance, and to output a pressure signal or a switching signal.

이 경우, 상술한 정전용량 포스 센서를 구성하는 가변 전극은 반복적으로 변형된 후 탄성력에 의해 복원되는데, 이러한 탄성력에 의한 복원은 가변전극의 변형을 완전하게 원상태로 복구시키지 못하게 된다. 따라서 정전용량 포스 센서를 장시간 지속적으로 사용하는 경우 변형이 누적되는 것에 의해 가변 전극이 지속적으로 변형되어 정확한 압력 검출이 수행되지 못하는 문제점을 가진다. 이에 따라, 반복적 인 0점 조절을 수행해야하는 사용상의 번거로움 또한 발생하는 문제점을 가진다.In this case, the variable electrode constituting the above-described capacitive force sensor is repeatedly deformed and then restored by the elastic force. Such restoration by the elastic force prevents the deformable electrode from being completely restored to its original state. Therefore, when the capacitive force sensor is continuously used for a long period of time, the variable electrode is continuously deformed due to accumulation of deformation, so that accurate pressure detection can not be performed. Accordingly, there is a problem that the user is required to perform repetitive zero-point adjustment.

대한민국 공개특허공보 제10-2017-0038479호Korean Patent Publication No. 10-2017-0038479 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0003874호Korean Patent Publication No. 10-2017-0003874

따라서 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 장시간 사용하는 경우에도 가변 전극의 변형이 최소화되어 정확한 압력검출을 수행하는 것에 의해 포스 센서의 감지 성능을 지속적으로 유지할 수 있도록 하는 정전용량 포스 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art and it is an object of the present invention to provide an electrostatic capacity detecting apparatus and a force sensor which can minimize the deformation of the variable electrode, A force sensor is provided.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정전용량 포스 센서는,According to an aspect of the present invention, there is provided a capacitive force sensor comprising:

고정전극부(110);A fixed electrode unit 110;

상기 고정전극부(110)의 둘레에 배치되는 가변전극단자부(120); 및A variable electrode terminal portion 120 disposed around the fixed electrode portion 110; And

상기 가변전극단자부에 접속되는 탄성지지체(133)와 상기 탄성지지체(133)에 의해 상기 고정전극부(110)와 일정 간격 이격 지지되어 고정전극부(110)와의 사이에 정전용량을 형성하고 외부 압력에 의해 가변되어 정전용량을 변화시키는 가변전극(131)을 구비한 가변전극부(130);를 포함하여 구성되는 비접지식 정전용량 포스 센서(100)로 구성될 수 있다.An elastic supporter 133 connected to the variable electrode terminal portion and an elastic supporter 133 are formed to be spaced apart from the fixed electrode portion 110 by a predetermined distance to form an electrostatic capacitance between the fixed electrode portion 110, And a variable electrode unit 130 having a variable electrode 131 varying the capacitance by varying the capacitance of the variable capacitance element.

상기 고정전극부(110)는,The fixed electrode unit 110 includes:

축전되는 전하량의 용량 크기에 따라 전하 축전 표면적의 조절을 위해 양 측면에서 서로 교대로 지그재그 형상으로 형성되는 다수의 절개홈(113)을 가지는 고정전극패턴이 형성되는 원판형의 고정 전극(111)을 포함하여 구성된다.Shaped fixed electrode 111 having a plurality of cut-out grooves 113 formed in alternate zigzag shapes on both sides for controlling the charge storage surface area according to the capacity size of the stored charge amount, .

상기 탄성지지체(133)는,The elastic supporter (133)

상기 가변전극(131)에서 등각도 간격으로 돌출된 후, 상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 굽어져 연장되는 형상을 가지고 2개 이상으로 구성될 수 있다.And may be formed of two or more shapes having a shape that protrudes at equal angular intervals from the variable electrode 131 and then extends along the outer periphery of the variable electrode 131.

상기 탄성지지체(133)는,The elastic supporter (133)

상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 연장되는 연장부 상에 단차를 가지는 복원 단차(135) 및 상기 탄성지지체(133)의 단부측 측면에서 돌출 형성되어 상기 가변전극단자부에 접속되는 탄성지지체단자(136)를 포함하여 구성될 수 있다.A restoring step 135 having a step on an extension extending along the outer periphery of the variable electrode 131 and a resilient support 135 protruding from an end side of the elastic supporter 133 and connected to the variable electrode terminal, And a terminal 136 as shown in Fig.

상기 탄성지지체(133)와 상기 가변전극(131)은,The elastic supporter 133 and the variable electrode 131 are connected to each other,

일체형의 판스프링으로 구성될 수 있다.And can be configured as an integral plate spring.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 정전용량 포스 센서는,According to another aspect of the present invention, there is provided a capacitive force sensor comprising:

정전용량부(210);A capacitance unit 210;

접지되어 상기 정전용량부(210)의 둘레에 배치되는 다수의 접지단자부(220); 및A plurality of ground terminal portions 220 that are grounded and are disposed around the capacitive portion 210; And

상기 접지단자부(220)들에 접속되는 탄성지지체(133)과 상기 탄성지지체(133)에 의해 상기 정전용량부(210)와 일정 간격 이격 지지되어 외부 압력에 의해 가변되어 정전용량부(210)의 정전용량을 변화시키는 가변전극(131)을 구비한 가변전극부;를 포함하는 접지식 정전용량 포스 센서(200)로 구성될 수도 있다.The elastic supporting member 133 connected to the ground terminal units 220 and the elastic supporting member 133 are spaced apart from the capacitance unit 210 by a predetermined distance to be varied by external pressure, And a variable electrode unit having a variable electrode 131 for changing the capacitance of the capacitive force sensor.

상기 정전용량부(210)는,The capacitance unit 210 includes:

축전되는 전하량의 용량 크기에 따라 전하 축전 표면적의 조절을 위해 정전용량부 패턴을 생성하도록 지그재그 형상으로 형성되는 이격부(211)를 사이에 두고 이격 배치되는 RX 전극(212)과 TX 전극(215)을 포함하여 구성된다.An RX electrode 212 and a TX electrode 215 spaced apart from each other by a spacing portion 211 formed in a staggered shape to generate a capacitive portion pattern for controlling the charge storage surface area according to a capacity amount of the stored charge amount, .

상기 탄성지지체(133)는,The elastic supporter (133)

상기 가변전극(131)에서 등각도 간격으로 돌출된 후, 상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 굽어져 연장되는 형상을 가지고 2개 이상으로 구성될 수 있다.And may be formed of two or more shapes having a shape that protrudes at equal angular intervals from the variable electrode 131 and then extends along the outer periphery of the variable electrode 131.

상기 탄성지지체(133)는,The elastic supporter (133)

상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 연장되는 연장부 상에 단차를 가지는 복원 단차(135) 및 상기 탄성지지체(133)의 단부측 측면에서 돌출 형성되어 상기 접지단자부(220)에 접속되는 탄성지지체단자(136)를 포함하여 구성될 수 있다.A restoring step 135 having a step on an extension extending along the outer circumference of the variable electrode 131 and a resilient step 135 protruding from an end side of the elastic supporter 133 and connected to the ground terminal 220 And an elastic support terminal 136.

상기 탄성지지체(133)과 상기 가변전극(131)은,The elastic supporter 133 and the variable electrode 131,

일체형의 판스프링으로 구성될 수 있다.And can be configured as an integral plate spring.

상술한 구성의 본 발명의 정전용량 포스 센서는, 가변전극부의 가변전극(131)과 가변전극(131)을 지지하는 탄성지지체(133)이 일체형의 판스프링으로 제작되는 것에 의해, 외부에서 압력이 가해지는 경우 탄성지지체(133)이 변형되어 가변전극(131)의 변형이 최소화되고, 탄성지지체(133)이 가변전극(131)의 위치를 복원하는 탄성력을 제공하여 가변전극(131)의 위치 복원 성능을 높이게 되므로, 장시간 사용되는 경우에도 가변전극(131)의 형상 변형 및 위치 변형이 발생하지 않거나 최소화되어 정확한 센서 기능을 지속적으로 수행할 수 있도록 함으로써 정전용량 포스 센서의 성능을 향시키는 효과를 제공한다.In the capacitive force sensor according to the present invention having the above-described configuration, since the variable electrode 131 of the variable electrode unit and the elastic supporter 133 supporting the variable electrode 131 are made of the integral plate spring, The elastic support 133 is deformed to minimize deformation of the variable electrode 131 and the elastic support 133 provides an elastic force for restoring the position of the variable electrode 131 to restore the position of the variable electrode 131 So that the shape and deformation of the variable electrode 131 do not occur or are minimized even when the electrode is used for a long period of time, so that accurate sensor functions can be continuously performed, thereby improving the performance of the capacitive force sensor. do.

또한, 본 발명은 상술한 포스 센서의 성능 향상에 따라 포스 센서의 장기간 사용 시 0점 조정을 빈번하게 수행해야 하는 사용상의 번거로움 또한 해소하는 효과를 제공한다.In addition, the present invention provides the effect of eliminating the need for frequent adjustment of the zero point when the force sensor is used for a long period of time according to the performance improvement of the force sensor.

도 1은 종래기술의 비접지식 정전용량 포스 센서의 구성도.
도 2는 종래기술의 접지식 정전용량 포스 센서의 구성도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따르는 비접지식 정전용량 포스 센서(100)의 구성도.
도 4는 고정전극(110)들의 변형 실시예들을 나타내는 도면.
도 5는 가변전극부(130)의 사시도.
도 6 및 도 7은 상기 가변전극부(130)의 변형 실시예들을 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 실시예에 따르는 접지식 정전용량 포스 센서(200)의 구성도.
도 9는 가변정전용량부(210)들의 변형 실시예들을 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a conventional torsionless capacitive force sensor. FIG.
2 is a block diagram of a prior art grounded capacitive force sensor.
3 is a configuration diagram of a non-tactile capacitive force sensor 100 according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing modified embodiments of the fixed electrodes 110;
5 is a perspective view of the variable electrode unit 130. Fig.
6 and 7 are views showing modified embodiments of the variable electrode unit 130. Fig.
8 is a configuration diagram of a grounded capacitive force sensor 200 according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing modified embodiments of the variable capacitance portions 210. Fig.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 명세서에서 단어 "예시적인" 은 "예로서, 일례로서, 또는 예증으로서 역할을 한다."라는 것을 의미하기 위해 이용된다. "예시적"으로서 본 명세서에서 설명된 임의의 양태들은 다른 양태들에 비해 반드시 선호되거나 또는 유리하다는 것으로서 해석되어야 하는 것만은 아니다.The embodiments according to the concept of the present invention can be variously modified and can take various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the specification or the application. It is to be understood, however, that the intention is not to limit the embodiments according to the concepts of the invention to the specific forms of disclosure, and that the invention includes all modifications, equivalents and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Also, the word "exemplary" is used herein to mean "serving as an example, instance, or illustration." Any aspect described herein as "exemplary " is not necessarily to be construed as preferred or advantageous over other aspects.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises ", or" having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.

이하, 본 발명의 실시예를 나타내는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따르는 비접지식 정전용량 포스 센서(100)의 구성도이고, 도 4는 고정전극(110)들의 변형 실시예들을 나타내는 도면이다, FIG. 3 is a configuration diagram of a torsional capacitive force sensor 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view showing modified embodiments of the fixed electrodes 110. FIG.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 비접지식 포스 센서(100)는, 고정전극부(110), 가변전극단자부(120) 및 외부의 압력에 따라 탄성 변형된 후 복원되는 구조를 가지고 고정전극부(110)와 정전용량을 형성하도록 가변전극단자부(120)에 접속된 상태로 고정전극부(110)와 일정 간격 이격되어 배치되는 가변전극부(130)를 포함하여 PCB 또는 FPCB 등의 기판에 일체로 장착되도록 구성된다.3 and 4, the non-contact force sensor 100 has a structure in which the fixed electrode unit 110, the variable electrode terminal unit 120, And a variable electrode unit 130 disposed at a predetermined distance from the fixed electrode unit 110 while being connected to the variable electrode terminal unit 120 so as to form an electrostatic capacitance with the electrode unit 110, As shown in FIG.

상기 고정전극부(110)는, 양 측면에서 서로 교대로 지그재그 형태로 형성되는 다수의 절개홈(113)을 가지는 고정전극패턴이 형성되는 원판형의 고정 전극(111)을 포함하여 구성된다.The fixed electrode unit 110 includes a disk-shaped fixed electrode 111 having a fixed electrode pattern having a plurality of cut-out grooves 113 formed in alternate zigzags on both sides.

상기 절개홈(113)은 포스 센서의 감지 감도 요구에 따른 정전용량을 가지도록 전하의 축전 표면적을 증가시키는 것으로서, 필요 용량에 따라 개수 및 폭이 조절될 수 있다. 이에 따라, 상기 고정전극(110)은 도 4와 같이, 절개홈(113)들에 의해 형성되는 다양한 고정전극패턴을 가지도록 다양하게 변형되어 실시될 수 있다.The cut-off groove 113 increases the surface area of the charge so as to have a capacitance corresponding to the sensitivity requirement of the force sensor, and the number and width of the cut-off groove 113 can be adjusted according to the required capacitance. As shown in FIG. 4, the fixed electrode 110 may be variously modified to have various fixed electrode patterns formed by the cutout grooves 113.

도 5는 도 3에 형성되는 가변전극부(130)의 사시도이고, 도 6 및 도 7은 상기 가변전극부(130)의 변형 실시예들을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a perspective view of the variable electrode unit 130 formed in FIG. 3, and FIGS. 6 and 7 are views showing modified embodiments of the variable electrode unit 130.

도 5 및 도 6과 같이, 상기 가변전극부(130)는 가변전극단자부(120)에 접속되는 탄성지지체(133)와 상기 탄성지지체(133)에 의해 지지되는 가변전극(131)을 포함하는 일체형의 판스프링으로 제작된다.5 and 6, the variable electrode unit 130 includes an elastic support body 133 connected to the variable electrode terminal unit 120 and a variable electrode 131 supported by the elastic support body 133 As shown in Fig.

상기 탄성지지체(133)는 가변전극(131)의 변형 시 탄성 복원력을 제공하는 것으로서, 가변전극(131)에서 등각도 간격으로 돌출된 후, 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 굽어져 연장되는 형상을 가지고 2개 이상으로 구성되어 가변전극(131)을 균등하게 지지하도록 구성된다.The elastic supporter 133 protrudes at equal angular intervals from the variable electrode 131 and is bent along the outer circumference of the variable electrode 131 to extend And is configured to support the variable electrodes 131 evenly.

또한, 상기 탄성지지체(133)는, 가변전극(131)의 탄성 복원 성능을 높이기 위해 상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 연장되는 연장부 상에 단차를 가지는 복원 단차(135)가 형성될 수 있다. 그리고 탄성지지체(133)의 단부측 측면에는 가변전극단자부(120)에 접속되는 탄성지지체단자(136)가 돌출 형성된다.The resilient supporter 133 is formed with a restoring step 135 having a step on an extension extending along the outer periphery of the variable electrode 131 in order to improve elastic restoring performance of the variable electrode 131 . An elastic supporter terminal 136 connected to the variable electrode terminal portion 120 is protruded from the end side of the elastic supporter 133.

상기 탄성지지체(133)와 상기 가변전극(131)은 원판형을 이루는 일체형의 판스프링으로 구성될 수 있다.The elastic supporter 133 and the variable electrode 131 may be integrally formed with leaf springs having a disk shape.

도 6과 같이, 상술한 구성을 가지는 가변전극부(130)는 가해지는 압력 범위와 탄성 복원력의 필요 정도에 따라 등각도 간격을 가지고 형성되는 2 개 이상의 탄성지지체(133)를 가지도록 다양하게 변형 실시될 수 있다. 도 6과 같이 상기 탄성지지체(133)는 복원 단차(135)를 가지지 않을 수도 있다.As shown in FIG. 6, the variable electrode unit 130 having the above-described configuration is variously deformed so as to have two or more elastic supports 133 formed at equal angular intervals according to the applied pressure range and the required degree of elastic restoring force . As shown in FIG. 6, the elastic support 133 may not have the restoring step 135.

또한, 상기 가변전극부(130)는 도 7과 같이, 가변전극(131)이 사각 판상으로 형성되고, 가변전극(131)을 뜬 상태로 지지하도록 사각 판상의 각각의 모서리 중 꼭지점 측으로부터 절개되어 연장되면서 하방향 경사를 가지는 경사부(139)가 형성된 2개 이상의 탄성지지체(133)를 포함하고, 전체 형상이 사각판을 이루도록 구성될 수도 있다.7, the variable electrode unit 130 is formed in a rectangular plate shape, and is cut from the vertex side of each corner of the rectangular plate-like shape so as to support the variable electrode 131 in a floating state And two or more elastic supports 133 formed with inclined portions 139 having a downward inclination while being extended, and the overall shape may be configured to form a rectangular plate.

상술한 구성을 가지는 비접지식 정전용량 포스 센서(100)는, 도 3과 같이, 기판 상에 고정전극부(110)와 가변전극단자부(120)가 인쇄 성형되어 일체로 형성된다. 이때 가변전극단자부(120)는 고정전극부(110)의 둘레를 따라 탄성지지체(133)의 단부와 대향하는 위치를 가지도록 등각도 각도로 형성된다. 상기 가변전극부(130)는 탄성지지체(133)의 탄성지지체단자(136)가 형성된 단부가 가변전극단자부(120)와 접촉되도록 납땜 등에 의해 고정되어 고정전극부(110)과 대향하도록 기판 상에 장착된다. 이 경우, 고정전극부(110)와 가변전극부(130)는 접지됨이 없이 고정전극부(110)는 캐패시터의 RX를 형성하고, 가변전극부(130)는 캐패시터의 TX를 형성하도록 구성되는 것에 의해 비접지식 정전용량 포스 센서(100)를 형성하게 된다.3, the non-conductive capacitive force sensor 100 having the above-described configuration is formed integrally with the fixed electrode portion 110 and the variable electrode terminal portion 120 by printing and molding on a substrate. At this time, the variable electrode terminal portion 120 is formed at an equiangular angle so as to have a position facing the end portion of the elastic supporter 133 along the circumference of the fixed electrode portion 110. The variable electrode unit 130 is fixed by soldering or the like so that an end portion of the elastic supporter 133 where the elastic supporter terminal 136 is formed is brought into contact with the variable electrode terminal unit 120 to be opposed to the fixed electrode unit 110 Respectively. In this case, the fixed electrode unit 110 and the variable electrode unit 130 are not grounded, the fixed electrode unit 110 forms the RX of the capacitor, and the variable electrode unit 130 forms the TX of the capacitor Thereby forming the non-tactile capacitive force sensor 100.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따르는 접지식 정전용량 포스 센서(200)의 구성도이고, 도 9는 정전용량부(210)들의 변형 실시예들을 나타내는 도면이다.FIG. 8 is a configuration diagram of the grounded capacitive force sensor 200 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a diagram showing modified embodiments of the capacitance units 210. FIG.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 접지식 포스 센서(200)는, 정전용량부(210), 접지되는 접지단자부(220) 및 외부의 압력에 따라 탄성 변형된 후 복원되는 구조를 가지고 접지단자부(220)에 접속된 상태로 정전용량부(210)와 일정 간격 이격되어 배치되는 가변전극부(130)를 포함하여 구성된다.8 and 9, the earthing force sensor 200 has a structure that is resiliently deformed and restored in response to the external force, the ground terminal portion 220, and the grounding terminal portion 220 And a variable electrode unit 130 connected to the ground terminal unit 220 and spaced apart from the capacitance unit 210 by a predetermined distance.

상기 정전용량부(210)는, 정전용량을 형성하도록 이격부(211)에 의해 이격 배치되는 RX전극(212)과 TX전극(215)을 포함하여 구성된다. 이때 상기 이격부(211)는 유전체가 충진되거나 공기층이 유전체의 기능을 수행하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 이격부(211)는 접지식 포스 센서의 감지 감도 요구에 따른 정전용량을 가지도록 전하의 축전 표면적을 증가시키기 위해 정전용량부 패턴을 생성하도록 지그재그 형상으로 형성되고, 이때 지그재그 패턴을 형성하는 이격부의 폭 및 지그재그 패턴의 수는 필요 정전 용량에 따라 가변될 수 있다. 이에 따라, 상기 정전용량부(210)는 도 9와 같이, 이격부(211)들에 의해 형성되는 다양한 정전용량부 패턴을 가지도록 다양하게 변형되어 실시될 수 있다.The capacitance unit 210 includes an RX electrode 212 and a TX electrode 215 spaced apart from each other by a spacing unit 211 to form a capacitance. At this time, the spacing portion 211 may be filled with a dielectric or the air layer may function as a dielectric. The spacing portion 211 is formed in a zigzag shape to generate a capacitance portion pattern so as to increase the charge accumulating surface area so as to have an electrostatic capacitance corresponding to the sensitivity sensitivity requirement of the grounding force sensor. The width of the spacing and the number of zigzag patterns may vary depending on the required capacitance. Accordingly, as shown in FIG. 9, the capacitance unit 210 may be variously modified so as to have various capacitive portion patterns formed by the spacers 211.

도 8 및 도 9의 접지식 포스 센서(200)를 구성하는 가변전극부(130) 또한 도 5 및 도 6의 가변전극부(130)와 동일한 구성으로 다양하게 변형 실시될 수 있다. 즉, 상기 가변전극부(130)을 구성하는 탄성지지체(133)들에도 복원 단자(135), 접지단자부(220)에 접속되는 탄성지지체단자(136)가 형성될 수 있다.The variable electrode unit 130 constituting the grounding force sensor 200 of FIGS. 8 and 9 may also be modified in various ways to have the same configuration as the variable electrode unit 130 of FIGS. 5 and 6. That is, the resilient support terminals 136 connected to the restoring terminal 135 and the grounding terminal unit 220 may be formed on the elastic supporting bodies 133 constituting the variable electrode unit 130.

상술한 구성을 가지는 포스 센서(200)는, 도 8과 같이, 기판 상에 정전용량부(210)와 접지단자부(220)가 인쇄 형성되고, 가변전극부(130)의 탄성지지체(133)들이 접지단자부(220)에 납땜되어 일체로 기판 상에 장착되어 접지식 정전용량 포스 센서(200)를 형성하게 된다.8, the capacitive sensor 210 and the ground terminal 220 are printed on the substrate, and the elastic supporters 133 of the variable electrode unit 130 Is soldered to the ground terminal unit 220 and mounted on the substrate as one body to form the grounded capacitive force sensor 200.

상술한 구성의 포스 센서(100, 200)는 가변전극부(130)의 가변전극(131)과 가변전극(131)을 지지하는 탄성지지체(133)이 일체형의 판스프링으로 제작되는 것에 의해, 외부에서 압력이 가해지는 경우 탄성지지체(133)가 변형되어 가변전극(131)의 변형이 최소화된다, 그리고 탄성지지체(133)이 가변전극(131)의 위치를 복원하는 탄성력을 제공하여 가변전극(131)의 위치 복원 성능을 높이게 된다. 이에 따라, 상술한 구성의 포스 센서(100, 200)는 장시간 사용되는 경우에도 가변전극(131)의 형상 변형 및 위치 변형이 발생하지 않거나 최소화되어 정확한 센서 기능을 지속적으로 수행할 수 있게 된다. 이에 따라, 포스 센서(100, 200)의 장기간 사용 시 0점 조정을 빈번하게 수행해야 하는 사용상의 번거로움 또한 해소된다.The force sensors 100 and 200 having the above-described structure are constructed by the plate spring of the integral type having the variable electrode 131 of the variable electrode unit 130 and the elastic support member 133 supporting the variable electrode 131, The elastic support 133 is deformed and the deformation of the variable electrode 131 is minimized and the elastic support 133 provides an elastic force for restoring the position of the variable electrode 131, ) Is improved. Accordingly, even when the force sensors 100 and 200 having the above-described structure are used for a long time, the shape and deformation of the variable electrode 131 do not occur or are minimized, and the accurate sensor function can be continuously performed. This eliminates the need for frequent adjustment of the zero point when the force sensors 100 and 200 are used for a long period of time.

또한, 고정전극부(110)와 정전용량부(210)는 절개홈(113) 또는 이격부(211)의 개수 또는 폭을 조절하는 것에 의해 다양한 정전용량을 가지도록 용이하게 설계 변경될 수 있도록 하는 장점을 가진다.The fixed electrode unit 110 and the capacitance unit 210 can be easily designed to have various capacitances by adjusting the number or the width of the cutout groove 113 or the spacing unit 211 .

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술적 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100, 200: 정전용량 포스 센서
110: 고정전극부 111: 고정전극
113: 절개홈 115: RX단자
120: 가변전극단자부 130: 가변전극부
131: 가변전극 133: 탄성지지체
135: 복원 단차 136: 탄성지지체단자
210: 정전용량부 211: 이격부
212: RX전극 213: RX전극단자
215: TX전극 216: TX전극단자
220: 접지단자부100, 200: Capacitive force sensor
110: fixed electrode part 111: fixed electrode
113: incision groove 115: RX terminal
120: variable electrode terminal part 130: variable electrode part
131: variable electrode 133: elastic support
135: Restoring step 136: Elastic support terminal
210: capacitance portion 211:
212: RX electrode 213: RX electrode terminal
215: TX electrode 216: TX electrode terminal
220: ground terminal portion

Claims (10)

고정전극부(110);
상기 고정전극부(110)의 둘레에 배치되는 가변전극단자부; 및
상기 가변전극단자부에 접속되는 탄성지지체(133)와 상기 탄성지지체(133)에 의해 상기 고정전극부(110)와 일정 간격 이격 지지되어 고정전극부(110)와의 사이에 정전용량을 형성하고 외부 압력에 의해 가변되어 정전용량을 변화시키는 가변전극(131)을 구비한 가변전극부;를 포함하여 구성되고,
상기 탄성지지체(133)는,
상기 가변전극(131)에서 등각도 간격으로 돌출된 후, 상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 굽어져 연장되는 형상을 가지고 2개 이상으로 구성되는 정전용량 포스 센서.
A fixed electrode unit 110;
A variable electrode terminal portion disposed around the fixed electrode portion 110; And
An elastic supporter 133 connected to the variable electrode terminal portion and an elastic supporter 133 formed at an interval between the fixed electrode portion 110 and the fixed electrode portion 110 to form an electrostatic capacity, And a variable electrode portion having a variable electrode (131) which is varied by the capacitance portion
The elastic supporter (133)
Wherein the variable capacitance element is formed by two or more protrusions protruding at equal angular intervals from the variable electrode and then bent and extending along the outer circumference of the variable electrode.
청구항 1에 있어서, 상기 고정전극부(110)는,
축전되는 전하량의 용량 크기에 따라 전하 축전 표면적의 조절을 위해 양 측면에서 서로 교대로 지그재그 형상으로 형성되는 다수의 절개홈(113)을 가지는 고정전극패턴이 형성되는 원판형의 고정 전극(111)을 포함하여 구성되는 정전용량 포스 센서.
[3] The apparatus of claim 1, wherein the fixed electrode unit (110)
Shaped fixed electrode 111 having a plurality of cut-out grooves 113 formed in alternate zigzag shapes on both sides for controlling the charge storage surface area according to the capacity size of the stored charge amount, Wherein the capacitive force sensor comprises:
삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 탄성지지체(133)는,
상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 연장되는 연장부 상에 단차를 가지는 복원 단차(135) 및 상기 탄성지지체(133)의 단부측 측면에서 돌출 형성되어 상기 가변전극단자부에 접속되는 탄성지지체단자(136)를 포함하여 구성되는 정전용량 포스 센서.
[2] The method according to claim 1, wherein the elastic supporter (133)
A restoring step 135 having a step on an extension extending along the outer periphery of the variable electrode 131 and a resilient support 135 protruding from an end side of the elastic supporter 133 and connected to the variable electrode terminal, And a terminal (136).
청구항 1에 있어서, 상기 탄성지지체(133)와 상기 가변전극(131)은,
일체형의 판스프링으로 구성되는 정전용량 포스 센서.
[2] The electrostatic actuator according to claim 1, wherein the elastic supporter (133) and the variable electrode (131)
A capacitive force sensor comprising an integral plate spring.
정전용량부(210);
접지되어 상기 정전용량부(210)의 둘레에 배치되는 다수의 접지단자부; 및
상기 접지단자부에 접속되는 탄성지지체(133)과 상기 탄성지지체(133)에 의해 상기 정전용량부(210)와 일정 간격 이격 지지되어 외부 압력에 의해 가변되어 정전용량부(210)의 정전용량을 변화시키는 가변전극(131)을 구비한 가변전극부;를 포함하는 접지식 정전용량 포스 센서(200)로 구성되고,
상기 탄성지지체(133)는,
상기 가변전극(131)에서 등각도 간격으로 돌출된 후, 상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 굽어져 연장되는 형상을 가지고 2개 이상으로 구성되는 정전용량 포스 센서.
A capacitance unit 210;
A plurality of ground terminal portions that are grounded and disposed around the capacitance portion 210; And
An elastic supporting member 133 connected to the ground terminal unit and the elastic supporting member 133 are spaced apart from the capacitance unit 210 by a predetermined distance to be varied by an external pressure to change the capacitance of the capacitance unit 210 And a variable electrode unit having a variable electrode 131 for applying an electric field to the substrate,
The elastic supporter (133)
Wherein the variable capacitance element is formed by two or more protrusions protruding at equal angular intervals from the variable electrode and then bent and extending along the outer circumference of the variable electrode.
청구항 6에 있어서, 상기 정전용량부(210)는,
축전되는 전하량의 용량 크기에 따라 전하 축전 표면적의 조절을 위해 정전용량부 패턴을 생성하도록 지그재그 형상으로 형성되는 이격부(211)를 사이에 두고 이격 배치되는 RX 전극(212)과 TX 전극(215)을 포함하여 구성되는 정전용량 포스 센서.
[7] The capacitive sensing device of claim 6,
An RX electrode 212 and a TX electrode 215 spaced apart from each other by a spacing portion 211 formed in a staggered shape to generate a capacitive portion pattern for controlling the charge storage surface area according to a capacity amount of the stored charge amount, And a capacitive force sensor.
삭제delete 청구항 6에 있어서, 상기 탄성지지체(133)는,
상기 가변전극(131)의 외주연 둘레를 따라 연장되는 연장부 상에 단차를 가지는 복원 단차(235) 및 상기 탄성지지체(133)의 단부측 측면에서 돌출 형성되어 상기 접지단자부(220)에 접속되는 탄성지지체단자(136)을 포함하여 구성되는 정전용량 포스 센서.
[Claim 7] The elastic support according to claim 6,
A restoring step 235 having a step on an extension extending along the outer circumference of the variable electrode 131 and a rest step 235 protruding from an end side of the elastic supporter 133 and connected to the ground terminal 220 And an elastic support terminal (136).
청구항 6에 있어서, 상기 탄성지지체(133)와 상기 가변전극(131)은,
일체형의 판스프링으로 구성되는 정전용량 포스 센서.[Claim 7] The method of claim 6, wherein the elastic supporter (133) and the variable electrode (131)
A capacitive force sensor comprising an integral plate spring.
KR1020170062519A 2017-05-19 2017-05-19 Capacitive force sensor KR101937317B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170062519A KR101937317B1 (en) 2017-05-19 2017-05-19 Capacitive force sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170062519A KR101937317B1 (en) 2017-05-19 2017-05-19 Capacitive force sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180127109A KR20180127109A (en) 2018-11-28
KR101937317B1 true KR101937317B1 (en) 2019-01-11

Family

ID=64561763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170062519A KR101937317B1 (en) 2017-05-19 2017-05-19 Capacitive force sensor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101937317B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101652029B1 (en) * 2015-04-13 2016-08-30 주식회사 하이딥 Pressure detection module and smartphone including the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101652029B1 (en) * 2015-04-13 2016-08-30 주식회사 하이딥 Pressure detection module and smartphone including the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180127109A (en) 2018-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7027553B2 (en) Force sensor mounts, associated housings, and systems incorporating them
US8487901B2 (en) Display device
CN108432138B (en) Input device with function triggering or control based on capacitively measured operating force and adaptation by capacitive touch detection
US20200004288A1 (en) Input device, input system
KR20150145283A (en) Capacitor type Humidity Sensor
US11262852B2 (en) Input device
US11280692B2 (en) Pressure sensor device and pressure sensor module including same
KR101937317B1 (en) Capacitive force sensor
KR101939280B1 (en) Capacitive force sensor switch
US10444087B2 (en) Capacitive force sensor having improved attachment
KR101956745B1 (en) Metal touch switch assembly adapted capacitive force sensor
JP2017067500A (en) Acceleration correction data calculation device and method for manufacturing acceleration sensor
KR101489302B1 (en) Pressure senser
JPH03125917A (en) Capacitance type linear encoder
KR102022958B1 (en) Capacitive sensor having parasitic capacitance cancel circuit
CN212989980U (en) Operating element with improved haptic properties
CN112154313B (en) Pressure sensor
JP6443989B2 (en) Input device
KR101998659B1 (en) Capacitive force sensor switch with coil spring
JP7058409B2 (en) Capacitance type sensor with high degree of freedom of installation
US11156518B2 (en) Pressure sensor including a contact restrictor
WO2021070660A1 (en) Input device
KR102299747B1 (en) Capacitance Pre-Discharge Type Pressure Sensor Module
JP2005127784A (en) Noncontact voltage measuring device
JP2015190764A (en) Capacitor sensor, sensor device, and external force detection method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right