KR101936595B1 - 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자기파를 발생시키는 마그네트론; 상기 마그네트론으로부터 발생되는 전자기파를 전송 및 집중시키는 웨이브가이드; 상기 웨이브가이드에서 집중되는 상기 전자기파가 외측으로 토출되도록 가이드하고, 절연재질로 이루어지는 가이드튜브; 및 상기 가이드튜브 내에 끼워지고, 코일 형태를 이루되, 일단에 중심부를 향하도록 절곡되는 방전팁이 형성되며, 상기 웨이브가이드를 통해서 상기 가이드튜브 내로 유입되는 전자기파에 의한 절연 파괴에 의해 발생되는 불꽃을 상기 방전팁에 의해 중심부로 이동시킴으로써 전자기파의 점화에 의해 플라즈마 불꽃이 형성되도록 하는 방전코일;을 포함하도록 한 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 점화플러그 없이도 전자기파를 이용한 자연 방전에 의한 점화가 가능하도록 함으로써, 점화플러그의 구비에 따른 비용을 절감할 수 있고, 점화플러그의 손상으로 인한 가동률 저하를 방지함으로써 가동에 대한 신뢰성과 내구성을 증대시킬 수 있으며, 점화플러그의 설치에 따른 제약을 해소할 수 있고, 유지 및 보수가 간편하도록 할 수 있다.

Description

셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치{Atmospheric pressure microwave plasma generating device with self-ignition function}

본 발명은 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 점화플러그를 필요로 하지 않는 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.

일반적으로, 플라즈마는 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체 상태를 말하는데, 고온의 가스 상태를 띠며, 전기에너지를 열로 전환할 수 있도록 한다. 이러한 플라즈마는 반도체 공정, 신소재 합성 등에 이용되는 저온 글로우 플라즈마나 아크플라즈마 등을 비롯하여 소재의 용접 및 절단 등에 사용되는 등 그 사용 분야가 다양해지고 있다.

이와 같은 종래의 플라즈마 발생장치에 대한 기술로는 한국공개실용신안 제20-2014-0001813호의 "복합 플라즈마 발생장치"가 제시된 바 있는데, 이는, 중공부를 가지며 일측에 도파관이 형성되며, 내부에 석영관이 장착된 하우징; 상기 하우징에 가스를 공급하는 가스주입구; 상기 하우징의 내부에 삽입되며 전원이 인가되어 스파크가 발생되는 점화플러그가 하단에 형성된 전극봉; 상기 전극봉을 승강시켜 점화플러그의 높이를 조절하는 높이조절장치;를 포함한다.

그러나, 이와 같은 종래 기술의 플라즈마 발생장치는, 점화를 위해서 점화플러그를 반드시 요구하게 됨으로써, 이로 인한 비용의 증가를 초래할 뿐만 아니라, 점화플러그의 잦은 고장으로 인해 가동률이 크게 저하될 뿐만 아니라, 유지 및 관리에 많은 비용과 시간이 소요되는 문제점을 가지고 있었다.

상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 점화플러그 없이도 점화가 가능하도록 함으로써, 점화플러그의 구비에 따른 비용을 절감하고, 점화플러그의 손상으로 인한 가동률 저하를 방지함으로써 가동에 대한 신뢰성과 내구성을 증대시키며, 점화플러그의 설치에 따른 제약을 해소하고, 유지 및 보수가 간편하도록 하는데 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 전자기파를 발생시키는 마그네트론; 상기 마그네트론으로부터 발생되는 전자기파를 전송 및 집중시키는 웨이브가이드; 상기 웨이브가이드에서 집중되는 상기 전자기파가 외측으로 토출되도록 가이드하고, 절연재질로 이루어지는 가이드튜브; 및 상기 가이드튜브 내에 끼워지고, 코일 형태를 이루되, 일단에 중심부를 향하도록 절곡되는 방전팁이 형성되며, 상기 웨이브가이드를 통해서 상기 가이드튜브 내로 유입되는 전자기파에 의한 절연 파괴에 의해 발생되는 불꽃을 상기 방전팁에 의해 중심부로 이동시킴으로써 전자기파의 점화에 의해 플라즈마 불꽃이 형성되도록 하는 방전코일;을 포함하는, 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 포함할 수 있다.

상기 웨이브가이드는, 일단에 교차하도록 마련되는 중공의 커버튜브 내에 중공로 이루어지는 상기 가이드튜브가 수용되고, 상기 가이드튜브의 일단에 와류를 형성하는 공기를 공급하는 와류공급부가 설치될 수 있다.

상기 와류공급부는, 공기를 송풍하는 송풍팬; 상기 송풍팬과 상기 웨이브가이드 사이에 다수로 적층되어 개재되도록 고정되고, 상기 송풍팬으로부터 송풍되는 공기가 상기 가이드튜브에 공급되기 위한 통로가 각각 형성되는 통로디스크; 상기 통로디스크 사이에 개재되도록 설치되고, 상기 송풍팬으로부터 공급되는 공기를 중심부의 둘레를 따라 다수로 배열되도록 형성되는 분배홀을 통해 분배시키는 분배디스크; 및 상기 분배디스크와 상기 웨이브가이드 측으로 위치하는 상기 통로디스크 사이에 개재되도록 설치되고, 상기 분배홀 각각을 통해 유입되는 공기가 소용돌이를 이루도록 형성되는 소용돌이유로를 통해서 중심부에 형성되는 개구에 모여서 상기 통로를 통해 상기 가이드튜브로 와류로서 공급되도록 하는 와류디스크;를 포함할 수 있다.

상기 방전코일은, 금속의 와이어로 이루어지고, 1.5 ~ 7 회로 권선되며, 상기 가이드튜브에서 전자기파가 배출되는 측에 위치하는 끝단에 상기 방전팁이 형성될 수 있다.

상기 방전코일은, 상기 웨이브가이드의 끝단으로부터 중심부까지의 거리가 전자기파 관내 파장의 1/4일 수 있다.

본 발명에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에 의하면, 점화플러그 없이도 전자기파를 이용한 자연 방전에 의한 점화가 가능하도록 함으로써, 점화플러그의 구비에 따른 비용을 절감할 수 있고, 점화플러그의 손상으로 인한 가동률 저하를 방지함으로써 가동에 대한 신뢰성과 내구성을 증대시킬 수 있으며, 점화플러그의 설치에 따른 제약을 해소할 수 있고, 유지 및 보수가 간편하도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에서 방전코일을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치에서 와류형성부를 도시한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 측단면도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 측단면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(100)는 마그네트론(110), 웨이브가이드(120), 가이드튜브(130) 및 방전코일(140)을 포함할 수 있다.

마그네트론(110)은 전원을 공급받아 전자기파, 예컨대 마이크로 웨이브를 발생시키고, 이러한 전자기파의 출구 역할을 하는 프로브(111)가 마련될 수 있다. 또한 마그네트론(110)은 전원의 공급을 위하여 접속되기 위한 커넥터(112)가 일측에 마련될 수 있다. 마그네트론(110)은 일례로, 내부가 밀폐된 챔버로 이루어질 수 있고, 이와 달리 다른 예로서, 본 실시례에서처럼 냉각팬(160)으로부터 송풍되는 냉각용 공기가 내측으로 공급되어 배출됨과 아울러, 라디에이터 등의 방열수단 등이 부착되기 위한 개방 구조를 가질 수 있다. 냉각팬(160)은 일례로 마그네트론(110)에 직접 고정되거나, 다른 예로서 웨이브가이드(120)에 고정되는 고정프레임(123)을 통해서 볼트 등으로 고정될 수도 있다.

웨이브가이드(120)는 마그네트론(110)으로부터 발생되는 전자기파를 전송 및 집중시키도록 하는데, 일례로 전자기파의 이동 경로를 제공하기 위한 일부 또는 전부가 절연재질로 이루어질 수 있다. 또한 웨이브가이드(120)는 일단에 공급홀(121)이 형성됨으로써 마그네트론(110)이 프로브(111)를 공급홀(121)에 삽입된 상태에서 고정부(113)에 의해 볼트 등으로 고정프레임(123)에 고정될 수 있고, 타단에 가이드튜브(130)가 삽입되도록 방출홀(122)이 형성될 수 있으며, 마그네트론(110)과 후술하게 될 냉각팬(160)의 고정을 위하여 일단측에 고정프레임(123)이 마련될 수 있고, 방출홀(122)의 상측과 하측에 후술하게 될 커버튜브(126)와 와류공급부(150)의 고정을 위한 상부고정부재(124) 및 하부고정부재(125)가 각각 마련될 수 있다.

웨이브가이드(120)는 일단에 교차하도록 마련되는 중공의 커버튜브(126) 내에 중공로 이루어지는 가이드튜브(130)가 수용되고, 가이드튜브(130)의 일단에 와류를 형성하는 공기를 공급하는 와류공급부(150)가 설치될 수 있다.

가이드튜브(130)는 양측으로 관통되는 중공부재로 이루어질 수 있으며, 웨이브가이드(120)에서 집중되는 전자기파가 외측으로 토출되도록 가이드하고, 쿼츠나 세라믹 등의 절연재질로 이루어진다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 방전코일(140)은 가이드튜브(130) 내에 끼워지고, 코일 형태를 이루어지며, 일단에 중심부를 향하도록 절곡되는 방전팁(141)이 형성되며, 웨이브가이드(120)를 통해서 가이드튜브(130) 내로 유입되는 전자기파에 의한 절연 파괴에 의해 발생되는 불꽃을 방전팁(141)에 의해 가이드튜브(130)의 중심부로 이동시킴으로써 전자기파의 점화에 의해 플라즈마 불꽃이 형성되도록 한다. 이렇듯 방전코일(140)은 전자기파와의 공진에 의한 에너지 집속에 의해서 절연 파괴를 유발하는 안테나 역할을 할 수 있다.

방전코일(140)은 외경이 가이드튜브(130)의 내경과 거의 동일하게 형성되도록 함으로써 가이드튜브(130) 내측에 끼워지도록 할 수 있으며, 텅스텐 등과 같은 금속의 와이어로 이루어질 수 있고, 절연파괴의 가능함과 효율성을 고려하여, 1.5 ~ 7 회로 권선될 수 있으며, 가이드튜브(130)에서 전자기파가 배출되는 측에 위치하는 끝단에 방전팁(141)이 형성될 수 있다. 또한 방전코일(140)은 웨이브가이드(120)의 끝단으로부터 중심부까지의 거리(A; 도 3에 도시)가 전자기파 관내 파장의 1/4일 수 있다. 이로 인해 웨이브가이드(120)에서 강한 전기장을 얻게 되는 곳에 방전코일(140)이 위치하도록 하며, 이로 인해 방전코일(1400에 의한 절연 파괴의 효율을 높일 수 있다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 와류공급부(150)는 송풍팬(151), 통로디스크(152), 분배디스크(153) 및 와류디스크(154)를 포함할 수 있다.

송풍팬(151)은 가이드튜브(130)로 공급되기 위한 공기를 송풍하도록 하는데, 통로디스크(152)에 볼트 등으로 직접 고정되거나, 본 실시례에서처럼 브라켓디스크(155)를 매개로 하여 직접 고정될 수 있다. 여기서 브라켓디스크(155)는 송풍을 위하여 통로(155a)가 중심부에 형성될 수 있다.

통로디스크(152)는 송풍팬(151)과 웨이브가이드(120) 사이에 다수로 적층되어 개재되도록 고정되고, 송풍팬(151)으로부터 송풍되는 공기가 가이드튜브(130)에 공급되기 위한 통로(152a)가 각각 형성될 수 있다. 통로디스크(152)는 브라켓디스크(155), 분배디스크(153) 및 와류디스크(154) 등과 함께 적층된 상태에서 관통하는 볼트를 통해 하부고정부재(125)에 고정됨으로써, 서로 적층된 상태를 유지하도록 고정될 수 있다.

분배디스크(153)는 다수의 통로디스크(152) 사이에 개재되도록 설치되고, 송풍팬(151)으로부터 공급되는 공기를 중심부의 둘레를 따라 다수로 배열되도록 형성되는 분배홀(153a)을 통해 분배시키도록 한다.

와류디스크(154)는 분배디스크(153)와 통로디스크(152) 사이에 개재되도록 설치되는데, 여기서 통로디스크(152)는 다수의 통로디스크(152) 중에서 분배디스크(153)를 기준으로 웨이브가이드(120) 측으로 위치하는 통로디스크(152)를 의미할 수 있다. 또한 와류디스크(154)는 분배홀(153a) 각각을 통해 유입되는 공기가 소용돌이를 이루도록 형성되는 소용돌이유로(154a)를 통해서 중심부에 형성되는 개구(154b)에 모여서 통로(152a)를 통해 가이드튜브(130)에 와류로서 공급되도록 한다. 여기서 와류디스크(154)의 소용돌이유로(154a)는 중심부의 개구(154b)로부터 소용돌이 형태로 형성될 수 있고, 각각의 끝단이 분배홀(153a) 각각에 연결된다. 따라서, 분배홀(153a)을 통해 공급되는 공기는 소용돌이유로(154a)를 통해서 개구(154b)로 집중되면서 와류를 형성하고, 통로(152a)를 통해서 가이드튜브(130) 내측으로 공급된다.

한편, 도 3에서와 같이, 통로디스크(152)는 송풍팬(151)과 분배디스크(153) 사이에 위치하는 것의 통로(152a)가 와류디스크(154)와 웨이브가이드(120) 사이에 위치하는 것의 통로(152a)보다 큰 직경이나 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 이는 송풍팬(151)으로부터 송풍되는 공기가 와류디스크(154)를 통과하면서 집중되도록 함으로써, 와류의 형성 효율 및 출력을 높이도록 하기 위함이다.

본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(100)는 마그네트론(110)에 대한 전원 공급과 동작 제어를 위하여, 컨트롤부(미도시)가 마련될 수 있다. 컨트롤부는 외부의 전원공급부로부터 공급되는 전원을 마그네트론(110)에 공급되도록 제어할 수 있으며, 사용자에 의한 조작부(미도시)의 조작에 의해 발생되는 조작신호를 수신받아 조작신호에 상응하는 동작, 예컨대 동작의 온(on)/오프(off)나, 전자기파의 세기 조절 등을 수행하도록 마그네트론(110)을 제어할 수 있다.

또한 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(100)는 웨이브가이드(120)가 직선형인 경우로서, 웨이브가이드(120)의 전체적인 길이에 대하여 교차하는 방향, 예컨대 수직인 방향으로 플라즈마를 토출시키도록 구성됨을 나타내나, 이에 반드시 한하는 것은 아니다.

이와 같은 본 발명의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치의 작용을 설명하기로 한다.

마그네트론(110)을 동작시키면, 마그네트론(110)의 프로브(111)를 통해 방출되는 전자기파가 웨이브가이드(120)를 통해서 이동하여 가이드튜브(130)에 집중된다. 가이드튜브(130)에 집중되는 전자기파가 방전코일(140)에 절연파괴를 유발시켜서, 방전코일(140)의 방전팁(141)과 와류공급부(150)의 구동에 의한 와류에 의해 절연파괴를 통한 불꽃이 가이드튜브(130)의 중심부에 밀집되도록 하여, 플라즈마 불꽃을 발생시키고, 이러한 플라즈마 불꽃이 전자기파의 파워를 흡수하여 성장하여 외부로 방출되도록 한다.

와류공급부(150)에 의한 와류에 의해, 전자와 이온들이 가이드튜브(130)의 중심부에 집중하도록 하고, 이는 플라즈마의 형성 효율과 출력 증대에 유리하도록 한다.

도 6은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 사시도이고, 도 7은 본 발명의 제 2 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치를 도시한 측단면도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(200)는 마그네트론(210), 웨이브가이드(220), 가이드튜브(230) 및 방전코일(240)을 포함할 수 있고, 나아가서, 와류공급부(250) 및 냉각팬(260) 등을 더 포함할 수 있다. 본 실시례에서 웨이브가이드(220)의 형태와 이를 통한 플라즈마의 토출 방향을 제외한 모든 구성이 이전의 제 1 실시례에 따른 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(100)에서 상응하는 구성과 동일하므로, 이와의 차이점을 제외하고는 동일한 구성 및 작용에 대해서 설명을 생략하기로 한다.

본 실시례에서 웨이브가이드(220)는 꺾임부(221)를 형성함으로써, "ㄱ"자 내지 "ㄴ"자 형태를 가질 수 있으며, 이로 인해 웨이브가이드(220)의 전체적인 길이 방향과 플라즈마의 토출 방향이 동일하도록 구성될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 점화플러그 없이도 전자기파를 이용한 자연 방전에 의한 점화가 가능하도록 함으로써, 점화플러그의 구비에 따른 비용을 절감할 수 있다.

또한 본 발명에 따르면, 점화플러그의 손상으로 인한 가동률 저하를 방지함으로써 가동에 대한 신뢰성과 내구성을 증대시킬 수 있으며, 점화플러그의 설치에 따른 제약을 해소할 수 있고, 유지 및 보수가 간편하도록 할 수 있다.

이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

110,210 : 마그네트론 111 : 프로브
112 : 커넥터 113 : 고정부
120,220 : 웨이브가이드 121 : 공급홀
122 : 방출홀 123 : 고정프레임
124 : 상부고정부재 125 : 하부고정부재
126 : 커버튜브 130,230 : 가이드튜브
140,240 : 방전코일 141 : 방전팁
150,250 : 와류공급부 151 : 송풍팬
152 : 통로디스크 152a : 통로
153 : 분배디스크 153a : 분배홀
154 : 와류디스크 154a : 소용돌이유로
154b : 개구 155 : 브라켓디스크
155a : 통로 160,260 : 냉각팬
221 : 꺾임부

Claims (5)

1. 전자기파를 발생시키는 마그네트론;
   상기 마그네트론으로부터 발생되는 전자기파를 전송 및 집중시키는 웨이브가이드;
   상기 웨이브가이드에서 집중되는 상기 전자기파가 외측으로 토출되도록 가이드하고, 절연재질로 이루어지는 가이드튜브; 및
   상기 가이드튜브 내에 끼워지고, 코일 형태를 이루되, 일단에 중심부를 향하도록 절곡되는 방전팁이 형성되며, 상기 웨이브가이드를 통해서 상기 가이드튜브 내로 유입되는 전자기파에 의한 절연 파괴에 의해 발생되는 불꽃을 상기 방전팁에 의해 중심부로 이동시킴으로써 전자기파의 점화에 의해 플라즈마 불꽃이 형성되도록 하는 방전코일;
   을 포함하고,
   상기 웨이브가이드는,
   일단에 교차하도록 마련되는 중공의 커버튜브 내에 중공로 이루어지는 상기 가이드튜브가 수용되고, 상기 가이드튜브의 일단에 와류를 형성하는 공기를 공급하는 와류공급부가 설치되고,
   상기 와류공급부는,
   공기를 송풍하는 송풍팬;
   상기 송풍팬과 상기 웨이브가이드 사이에 다수로 적층되어 개재되도록 고정되고, 상기 송풍팬으로부터 송풍되는 공기가 상기 가이드튜브에 공급되기 위한 통로가 각각 형성되는 통로디스크;
   상기 통로디스크 사이에 개재되도록 설치되고, 상기 송풍팬으로부터 공급되는 공기를 중심부의 둘레를 따라 다수로 배열되도록 형성되는 분배홀을 통해 분배시키는 분배디스크; 및
   상기 분배디스크와 상기 웨이브가이드 측으로 위치하는 상기 통로디스크 사이에 개재되도록 설치되고, 상기 분배홀 각각을 통해 유입되는 공기가 소용돌이를 이루도록 형성되는 소용돌이유로를 통해서 중심부에 형성되는 개구에 모여서 상기 통로를 통해 상기 가이드튜브로 와류로서 공급되도록 하는 와류디스크;
   를 포함하고,
   상기 방전코일은,
   상기 웨이브가이드의 끝단으로부터 중심부까지의 거리가 전자기파 관내 파장의 1/4인 것을 특징으로 하는 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 방전코일은,
   금속의 와이어로 이루어지고, 1.5 ~ 7 회로 권선되며, 상기 가이드튜브에서 전자기파가 배출되는 측에 위치하는 끝단에 상기 방전팁이 형성되는, 셀프 이그니션 기능을 가지는 대기압 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치.
5. 삭제

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