KR101936217B1 - FOD adhesive film of semiconductor controller embedding type and Semiconductor package - Google Patents

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Abstract

본 발명은 FOD(Film on die) 적용 방식의 반도체 패키지에 적용되는 컨트롤러 다이 매립형 접착필름 및 이를 이용한 반도체 패키지에 관한 것으로서, 좀 더 구체적을 설명하면, 컨트롤러 다이를 효과적으로 매립하여 공극에 의한 보이드를 억제하여 신뢰성을 향상시키는 동시에, 외곽으로 흘러나오는 접착층의 양을 최소화하여 접착층의 오염없이 와이어 본딩을 용이할 수 있는 컨트롤러 다이 매립형 접착필름 및 이를 이용한 반도체 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a controller die-embedded type adhesive film applied to a semiconductor package of a film on die (FOD) type and a semiconductor package using the same. More specifically, the present invention embeds the controller die effectively to suppress voids To a controller die-embedded type adhesive film capable of improving reliability and minimizing the amount of an adhesive layer flowing out to the outside, thereby facilitating wire bonding without contamination of the adhesive layer, and a semiconductor package using the same.

Description

컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름 및 이를 포함하는 반도체 패키지{FOD adhesive film of semiconductor controller embedding type and Semiconductor package}[0001] The present invention relates to an FOD adhesive film and a semiconductor package including the FOD adhesive film,

본 발명은 FOD(Film on die) 적용 방식의 반도체 패키지에 적용되는 컨트롤러 다이 매립형 접착필름 및 이를 이용한 반도체 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a controller die-embedded adhesive film applied to a semiconductor package of a film on die (FOD) application type and a semiconductor package using the same.

종래의 반도체 패키지 제조과정에서는 리드 프레임이나 회로기판 부재에 반도체 칩을 부착함에 있어서 우선 다이 고정용 패드 부위에 액상 접착제를 주입, 도포하고 여기에 반도체 칩을 탑재한 후, 액상의 접착제 층을 일정 시간 고온 경화시킨 후, 반도체 칩의 본딩패드와 기판의 본딩 영역간을 전기적 신호 교환이 가능하게 와이어로 본딩하는 공정과 반도체 칩과 와이어 등을 감싸는 몰딩 공정을 행하는 다단계 과정의 공정법이 채택되어 왔다. 종래에 많이 사용되었던 액상 접착제는 돌출 또는 반도체 소자의 경사에 기인하는 와이어 본딩(wire bonding)시의 이상발생, 기포발생, 두께의 제어가 어려운 점 등의 단점이 있었다. 따라서, 최근에는 액상 접착제를 대신하여 접착 필름이 주로 사용되고 있는 추세이다.In the conventional semiconductor package manufacturing process, when a semiconductor chip is attached to a lead frame or a circuit board member, a liquid adhesive is firstly applied to the pad for fixing the die, the semiconductor chip is mounted thereon, There has been adopted a multi-step process for bonding a bonding pad between a bonding pad of a semiconductor chip and a bonded region of a substrate so that electrical signals can be exchanged therebetween, and a molding process for wrapping semiconductor chips and wires. The conventional liquid adhesive has disadvantages such as occurrence of abnormality during wire bonding due to protrusion or inclination of a semiconductor element, occurrence of bubbles and control of thickness. Therefore, in recent years, an adhesive film has been mainly used instead of a liquid adhesive.

최근 전자기기의 소형화, 고기능화, 대용량화 추세가 확대되고 이에 따른 반도체 패키지의 고밀도화, 고집적화에 대한 필요성이 급격히 커짐에 따라 반도체 칩 크기가 점점 커지고 있으며 집적도 측면에서도 개선하기 위하여 칩을 다단으로 적층하는 스택 패키지 방법이 점차로 증가하고 있다.In recent years, there has been a growing demand for miniaturization, high performance and large capacity of electronic devices, and accordingly, a demand for high density and high integration of semiconductor packages has been drastically increased. As a result, the sizes of semiconductor chips are becoming larger and stacked The method is gradually increasing.

이러한 반도체 패키지에서는 반도체 소자 간의 신호나 동작을 제어하기 위한 컨트롤러 다이(Controller die)가 사용되며, 컨트롤러 다이는 통상적으로 구조적 특성으로 인하여 반도체 외곽부 또는 반도체 상부측에 위치하고 있다.In such a semiconductor package, a controller die is used to control signals or operations between semiconductor elements, and the controller die is usually located on the semiconductor outer side or the upper side of the semiconductor due to its structural characteristics.

하지만, 컨트롤러 다이가 반도체 외곽부에 위치하게 될 경우, 반도체 패키지의 면적이 증가하여 패키지 축소에 한계를 가지고 있으며, 반도체 상부측에 위치할 경우, 컨트롤러 접속에 필요한 와이어 길이가 길어짐에 따라, 저항이 증가하게 되어 고속 전송에 어려움을 지니고 있다.However, when the controller die is located at the outer periphery of the semiconductor, the area of the semiconductor package increases to limit package shrinkage. When the controller die is located on the upper side of the semiconductor, And thus it has a difficulty in high-speed transmission.

따라서, 이 컨트롤러 다이를 반도체 적층부 하단에 매립함으로써 패키지 면적의 효율적 활용 및 신호의 고속 전송에 뛰어난 구조를 확보 할 수 있다.Therefore, by embedding the controller die in the lower end of the semiconductor stacked portion, it is possible to efficiently utilize the package area and secure an excellent structure for high-speed signal transmission.

그러나, 컨트롤러 매립을 위한 접착층의 경우 컨트롤러를 매립하기 위해 컨트롤러 보다 두께가 두꺼워야 함으로 유동성이 너무 높은 경우에 다이어태치 시 접착층이 과다하게 흘러나와 외곽부의 본딩 패드를 오염시킬 수 있으며, 이에 따라 2차적인 와이어 본딩이 불가능하게 된다.However, in the case of the adhesive layer for embedding the controller, when the fluidity is too high because the thickness of the adhesive layer must be thicker than that of the controller in order to embed the controller, the adhesive layer may excessively flow out during the diathermy to contaminate the bonding pad of the outer portion, Wire bonding becomes impossible.

대한민국 등록특허번호 10-1030032호(2011.04.12)Korean Registered Patent No. 10-1030032 (Apr. 12, 2011)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 컨트롤러 다이를 반도체 적층부 하단에 매립되는 타입의 반도체 패키지에 사용하기 적합한 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름 및 이를 적용하여 제조한 반도체 패키지를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a controller die-embedded type FOD adhesive film suitable for use in a semiconductor package of a type in which a controller die is embedded at the bottom of a semiconductor stacked portion, ≪ / RTI >

상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름은 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제를 포함한다.In order to solve the above-mentioned problems, the controller-embedded FOD adhesive film of the present invention comprises a thermoplastic resin, a thermosetting resin, an inorganic filler, a curing agent and a curing accelerator.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 하기 수학식 1을 만족할 수 있다.As one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention can satisfy the following expression (1).

[수학식 1][Equation 1]

3≤(B+C)/A≤83? (B + C) / A? 8

수학식 1에서, A는 접착필름 조성 전체 중량 중 열가소성수지의 중량%이고, B는 접착필름 조성 전체 중량 중 열경화성 수지 중량%이며, C는 접착필름 조성 전체 중량 중 무기충전제 중량%이다.In the formula (1), A represents the weight percentage of the thermoplastic resin in the total weight of the adhesive film composition, B represents the weight percent of the thermosetting resin in the total weight of the adhesive film composition, and C represents the weight percentage of the inorganic filler in the total weight of the adhesive film composition.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름은 열가소성 수지 10 ~ 35 중량%, 열경화성 수지 15 ~ 45 중량%, 무기충진제 18 ~ 65 중량%, 경화제 5 ~ 30 중량% 및 경화촉진제 0.01 ~ 4 중량%를 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the controller-embedded FOD adhesive film of the present invention comprises 10 to 35 wt% of a thermoplastic resin, 15 to 45 wt% of a thermosetting resin, 18 to 65 wt% of an inorganic filler, 5 to 30 wt% 0.01 to 4% by weight of a curing accelerator.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 열가소성 수지는 유리전이온도 0℃ ~ 20℃ 및 중량평균분자량 300,000 ~ 1,400,000인 아크릴 공중합체를 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the thermoplastic resin may include an acrylic copolymer having a glass transition temperature of 0 ° C to 20 ° C and a weight average molecular weight of 300,000 to 1,400,000.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 아크릴 공중합체는 에폭시기 함유 아크릴 공중합체로서, 글리시딜아크릴레이트 또는 글리시딜메타크릴레이트 2 ~ 20 중량%를 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the acrylic copolymer is an epoxy group-containing acrylic copolymer and may contain 2 to 20% by weight of glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 열경화성 수지는 에폭시 수지를 포함하며, 비스페놀계 에폭시 수지, 바이페닐계 에폭시 수지, 나프탈렌계 에폭시 수지, 플로렌계 에폭시 수지, 페놀노볼락계 에폭시 수지, 크레졸노볼락계 에폭시 수지, 트리스하이드록 실페닐메탄계 에폭시 수지 및 테트라페닐메탄계 에폭시 수지 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the thermosetting resin includes an epoxy resin, and is selected from the group consisting of a bisphenol-based epoxy resin, a biphenyl-based epoxy resin, a naphthalene-based epoxy resin, a fluorene- A boric acid-based epoxy resin, a boric-based epoxy resin, a trishydroxyl phenylmethane-based epoxy resin, and a tetraphenylmethane-based epoxy resin.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 에폭시 수지는 2종 이상의 에폭시 수지를 포함할 수도 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the epoxy resin may include two or more kinds of epoxy resins.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 에폭시 수지는 10℃ ~ 35℃에서 액상인 에폭시 수지; 및 10℃ ~ 35℃에서 고상인 에폭시 수지;를 포함할 수도 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the epoxy resin is an epoxy resin which is in a liquid phase at 10 占 폚 to 35 占 폚; And an epoxy resin which is solid at 10 占 폚 to 35 占 폚.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 액상의 에폭시 수지는 에폭시 당량 135 ~ 210 g/eq 및 점도 8,000 ~ 17,000 cps(25℃)일 수 있으며, 상기 고상의 에폭시 수지는 에폭시 당량 180 ~ 250 g/eq일 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the liquid epoxy resin may have an epoxy equivalent of 135 to 210 g / eq and a viscosity of 8,000 to 17,000 cps (25 ° C), and the solid epoxy resin may have an epoxy equivalent of 180 to 250 g / eq.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 에폭시 수지는 상기 무기충진제는 평균입경은 0.1㎛ ~ 10㎛인 구상 분말을 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the inorganic filler may include a spherical powder having an average particle diameter of 0.1 to 10 mu m.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 구상 분말은 알루미나, 실리카, 수산화마그네슘, 탄산칼슘, 티탄산바륨 및 이산화티타늄 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the spherical powder may include at least one selected from alumina, silica, magnesium hydroxide, calcium carbonate, barium titanate, and titanium dioxide.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 경화제는 평균 수산기 당량 100g/eq 이상이고, 연화점이 105℃ 이상인 페놀 수지를 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the curing agent may include a phenolic resin having an average hydroxyl equivalent weight of 100 g / eq or more and a softening point of 105 ° C or higher.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 페놀수지는 페놀노볼락계 페놀수지, 비스페놀 A계 페놀수지, 크레졸노볼락계 페놀수지, 아미노트리아진노볼락계 페놀수지 및 자일록계 페놀수지 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the phenol resin is at least one selected from the group consisting of phenol novolac phenol resin, bisphenol A phenol resin, cresol novolak phenol resin, aminotriazine phenol resin and xylox phenol resin . ≪ / RTI >

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 상기 경화촉진제는 아민계 경화촉진제, 이미다졸계 경화촉진제, 인계 경화촉진제, 붕소계 경화촉진제 및 인-붕소계 경화촉진제 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the curing accelerator may include at least one selected from an amine-based curing accelerator, an imidazole-based curing accelerator, a phosphorus-based curing accelerator, a boron-based curing accelerator, and a phosphorus-based curing accelerator.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 실란커플링제를 더 포함할 수도 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may further include a silane coupling agent.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 B-스테이지(B-stage) 타입일 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may be of the B-stage type.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 단층 구조 또는 다층 구조일 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 전단강도가 10 ~ 40 kgf/cm2일 수 있다. In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may have a shear strength of 10 to 40 kgf / cm 2 .

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 용융점도가 하기 수학식 2를 만족할 수 있다.As one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention can satisfy the following formula (2).

[수학식 2]&Quot; (2) "

1.1 ≤ (90℃ 용융점도/110℃ 용융점도) ≤1.71.1? (90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity)? 1.7

수학식 2에서 90℃ 용융점도 및 110℃ 용융점도는 페러럴 플레이트법에 의거하여 측정한 용융점도값(Pa·s)이다.The melt viscosity at 90 ° C and the melt viscosity at 110 ° C in the formula (2) are melt viscosity values (Pa · s) measured according to the parallel plate method.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 110℃ 용융점도가 2,000 ~ 6,000 Pa·s일 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may have a melt viscosity at 110 ° C of 2,000 to 6,000 Pa · s.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 전염소 함량이 180 ppm 이하일 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may have a total chlorine content of 180 ppm or less.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 FOD 접착필름은 일면 또는 양면에 이형필름을 더 포함할 수도 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the FOD adhesive film of the present invention may further include a release film on one side or both sides thereof.

본 발명의 다른 목적은 앞서 설명한 다양한 형태의 FOD 접착필름을 이용하여 제조한 반도체 패키지에 관한 것으로서, 기판; 상기 기판 상부에 실장된 컨트롤러 다이; 상기 기판 상부에 형성된 상기 FOD 접착필름; 및 상기 FOD 접착필름 상에 적층된 반도체 다이;를 포함하며, 상기 컨트롤러 다이의 전부 또는 일부는 FOD 접착필름 내부에 매립되어 있다.Another object of the present invention is a semiconductor package manufactured using the above-described various types of FOD adhesive films, comprising: a substrate; A controller die mounted on the substrate; The FOD adhesive film formed on the substrate; And a semiconductor die stacked on the FOD adhesive film, wherein all or part of the controller die is embedded in the FOD adhesive film.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 반도체 패키지에 있어서, 상기 FOD 접착필름 내 수동소자, 본딩 패드 및 와이어 본드(wire bond) 중에서 선택된 1종 이상을 더 포함할 수 있다.As a preferred embodiment of the present invention, the semiconductor package of the present invention may further include at least one selected from a passive element, a bonding pad, and a wire bond in the FOD adhesive film.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 반도체 패키지에 있어서, 상기 기판 및 실장된 컨트롤러 다이 상에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함할 수도 있다.As a preferred embodiment of the present invention, in the semiconductor package of the present invention, a dicing die attach film may be included on the substrate and the mounted controller dies.

본 발명의 바람직한 일실시예로서, 본 발명의 반도체 패키지에 있어서, 상기 FOD 접착필름과 반도체 다이 사이에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함할 수도 있다.As a preferred embodiment of the present invention, in the semiconductor package of the present invention, a dicing die attach film may be included between the FOD adhesive film and the semiconductor die.

본 발명에 따른 FOD 접착필름은 반도체 공정 상에서 다이 어태치(Die attach) 시에 컨트롤러 다이를 효과적으로 매립하여 공극에 의한 보이드를 억제하여 신뢰성을 향상시키는 동시에, 외곽으로 흘러나오는 접착층의 양을 최소화하여 접착층의 오염없이 와이어 본딩을 용이하게 진행할 수 있다.The FOD adhesive film according to the present invention effectively embeds the controller die at the time of die attach in the semiconductor process to suppress voids caused by voids to improve reliability and minimize the amount of adhesive layer flowing out to the outside, The wire bonding can be facilitated without the contamination of the wire.

도 1은 본 발명의 단층 구조의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 2층 구조의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름을 적용하여 제조한 반도체 패키지의 개략적인 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a cross-sectional view of a controller-embedded FOD adhesive film of the single-layer structure of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a two-layer structure controller-embedded FOD adhesive film of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view of a semiconductor package manufactured by applying the controller-embedded FOD adhesive film of the present invention.

본 발명에서 사용하는 용어인 "접착필름"의 필름은 일반적인 필름 형태뿐만 아니라, 시트 형태도 포함하는 폭 넓은 의미이다.The term " adhesive film " used in the present invention has a broad meaning including not only general film form but also sheet form.

이하, 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름(이하 FOD 접착필름으로 정의함)은 단층 또는 다층 구조로서, 도 1의 개략도로 나타낸 바와 같이 단층 구조의 접착필름(1)일 수 있으며, 바람직하게는 도 2에 개략도로 나타낸 바와 같이 단층 구조 보다 얇은 접착필름을 2층 이상으로 적층시킨 복층 구조의 접착필름(1, 1')일 수 있다. 그리고, FOD 접착필름의 일면 또는 양면에 이형필름(10, 10')을 더 포함할 수도 있다.The controller-embedded FOD adhesive film (hereinafter, referred to as FOD adhesive film) of the present invention may be a single-layered or multi-layered structure and may be a single-layered adhesive film 1 as shown in the schematic diagram of FIG. 1, (1, 1 ') having a multilayer structure in which two or more adhesive films thinner than the single-layer structure are laminated, as shown schematically in FIG. Further, the FOD adhesive film may further include release films 10 and 10 'on one or both sides.

본 발명의 FOD 접착필름은 적정 필릿(fillet), 우수한 컨트롤러 다이 매립성, 와이어 본드 눌림성 방지, 적정 경화성, 내습성 및 내열성을 확보하기 위해 하기와 같은 조성을 이용하여 이들의 최적의 조성비로 혼합하여 제조할 수 있다.The FOD adhesive film of the present invention is mixed at an optimal composition ratio thereof by using the following composition in order to ensure an adequate fillet, excellent controller die embedding property, wire bond pressability, proper curability, moisture resistance and heat resistance Can be manufactured.

본 발명의 FOD 접착필름은 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제를 포함하며, 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제의 FOD 접착필름 내 함량은 하기 수학식 1을 만족한다.The FOD adhesive film of the present invention comprises a thermoplastic resin, a thermosetting resin, an inorganic filler, a curing agent and a curing accelerator, and the content of the thermoplastic resin, the thermosetting resin and the inorganic filler in the FOD adhesive film satisfies the following formula (1).

[수학식 1][Equation 1]

3≤(B+C)/A≤8, 바람직하게는 3.2 ≤ (B+C)/A ≤ 7.5, 더욱 바람직하게는 3.2 ≤ (B+C)/A ≤ 7.2(B + C) / A? 8, preferably 3.2? (B + C) / A? 7.5, more preferably 3.2?

수학식 1에서, A는 접착필름 조성 전체 중량 중 열가소성 수지의 중량%이고, B는 접착필름 조성 전체 중량 중 열경화성 수지 중량%이며, C는 접착필름 조성 전체 중량 중 무기충전제 중량%이다. 이때, 수학식 1의 값이 3 미만이면 컨트롤러 다이의 매립성 저하 및 접착필름의 접착력 저하가 문제될 수 있고, 수학식 1의 값이 8을 초과하면 본딩패드 오염 및 치수 안정성이 저하되는 문제가 있을 수 있다.In the formula (1), A represents the weight percentage of the thermoplastic resin in the total weight of the adhesive film composition, B represents the weight percent of the thermosetting resin in the total weight of the adhesive film composition, and C represents the weight percentage of the inorganic filler in the total weight of the adhesive film composition. At this time, if the value of Equation 1 is less than 3, the embedding property of the controller die may deteriorate and the adhesive strength of the adhesive film may deteriorate. If the value of Equation 1 exceeds 8, the bonding pad contamination and dimensional stability are degraded Can be.

본 발명에서 상기 열가소성 수지는 접착필름 전체 중량 중 10 ~ 35 중량%를, 바람직하게는 10 ~ 25 중량%를, 더욱 바람직하게는 12 ~ 23 중량%를 포함할 수 있으며, 이때, 열가소성 수지 함량이 10 중량% 미만이면 접착필름의 열경화성이 증가하여 작업성이 떨어지는 문제가 있을 수 있고, 35 중량%를 초과하면 접착필름의 용융점도가 증가하여 컨트롤로 다이와 기판 사이에 보이드가 발생할 수 있고 이로 인해 신뢰성이 떨어지는 문제가 있을 수 있다.In the present invention, the thermoplastic resin may contain 10 to 35% by weight, preferably 10 to 25% by weight, more preferably 12 to 23% by weight of the total weight of the adhesive film, If it is less than 10% by weight, the thermosetting property of the adhesive film may increase, resulting in poor workability. If the content of the adhesive film exceeds 35% by weight, the melt viscosity of the adhesive film may increase, resulting in voids between the die and the substrate. There may be a falling problem.

상기 열가소성 수지는 유리전이온도 0℃ ~ 20℃ 및 중량평균분자량 300,000 ~ 1,400,000인 아크릴 공중합체를 사용할 수 있으며, 바람직하게는 유리전이온도 5℃ ~ 18℃ 및 중량평균분자량 500,000 ~ 1,250,000인 아크릴 공중합체를, 더욱 바람직하게는 유리전이온도 5℃ ~ 15℃ 및 중량평균분자량 650,000 ~ 1,150,000인 아크릴 공중합체를 사용할 수 있다. 이때, 아크릴 공중합체의 중량평균분자량이 300,000 미만인 경우, 필름형성이 어렵고 또한 접착층의 유동성이 과다하여 와이어 본딩 패드 오염을 야기시키며, 경화공정에서도 유동성이 과다하여 열경화성 수지와의 상용성이 저하되는 문제가 있을 수 있고, 아크릴 공중합체의 중량평균분자량이 1,400,000을 초과하면 중합이 어려워 실제적으로 적용은 어려울 뿐만 아니라, 또한 적용 시에도 에폭시와의 상용성이 부족하여 코팅성이 불량 우려가 있다. 또한, 아크릴 공중합체의 유리전이온도가 0℃ 미만인 경우, 접착층 자체의 tack (끈적임) 특성이 강하게 발현하여 픽업(pick up) 공정에서 수율이 저하될 우려가 있으며, 유리전이온도가 20℃을 초과하면 부착 특성이 저하되어, 마운트(mount) 공정에서 보이드를 유발할 수 있다.The thermoplastic resin may be an acrylic copolymer having a glass transition temperature of 0 ° C to 20 ° C and a weight average molecular weight of 300,000 to 1,400,000, preferably an acrylic copolymer having a glass transition temperature of 5 ° C to 18 ° C and a weight average molecular weight of 500,000 to 1,250,000 More preferably an acrylic copolymer having a glass transition temperature of 5 ° C to 15 ° C and a weight average molecular weight of 650,000 to 1,150,000. When the weight average molecular weight of the acrylic copolymer is less than 300,000, film formation is difficult and the fluidity of the adhesive layer is excessive, causing contamination of the wire bonding pads and excessive fluidity in the curing process, resulting in poor compatibility with the thermosetting resin And when the weight average molecular weight of the acrylic copolymer exceeds 1,400,000, polymerization is difficult to be practically applied, and also when applied, there is a fear of poor coating property due to lack of compatibility with epoxy. When the glass transition temperature of the acrylic copolymer is less than 0 ° C, the tack (tackiness) property of the adhesive layer itself is strongly developed, which may lower the yield in the pick-up process. When the glass transition temperature exceeds 20 ° C The adhesion properties of the lower surface may be lowered, which may cause voids in the mount process.

그리고, 상기 아크릴 공중합체는 에폭시기 함유 아크릴 공중합체로서, 전체 중량 중 글리시딜아크릴레이트 또는 글리시딜메타크릴레이트를 1 ~ 20 중량%로 에폭시기를 포함할 수 있고, 바람직하게는 글리시딜아크릴레이트 또는 글리시딜메타크릴레이트를 1.5 ~ 15 중량%, 더욱 바람직하게는 2.0 ~ 8.5 중량%로 포함할 수 있다. 이때, 아크릴 공중합체 내 에폭시기 함량이 1 중량% 미만이면 에폭시 수지와 상용성이 충분하지 않으며, 20 중량%를 초과하면 경화에 의한 점도 상승 속도가 너무 빨라 가압오븐 경화 공정에서 열압에 의한 2차 매립이 충분히 이루어 지지 않을 수가 있다.The acrylic copolymer is an epoxy group-containing acrylic copolymer. The acrylic copolymer may contain an epoxy group in an amount of 1 to 20% by weight of glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate in the total weight, preferably glycidyl acrylate Or glycidyl methacrylate in an amount of 1.5 to 15% by weight, more preferably 2.0 to 8.5% by weight. If the content of epoxy groups in the acrylic copolymer is less than 1% by weight, compatibility with the epoxy resin is not sufficient. If it exceeds 20% by weight, the rate of viscosity increase due to curing is too fast. May not be sufficiently achieved.

본 발명에서 상기 열경화성 수지는 접착필름 전체 중량 중 15 ~ 45 중량%를, 바람직하게는 15 ~ 42 중량%를, 더욱 바람직하게는 15 ~ 35 중량%를 포함하는 것이 열가소성 수지와의 상용성, 접착필름 제조시 수지의 흐름성 제어 등을 고려할 때 적절하다.In the present invention, the thermosetting resin preferably contains 15 to 45% by weight, preferably 15 to 42% by weight, more preferably 15 to 35% by weight in the total weight of the adhesive film in terms of compatibility with the thermoplastic resin, It is appropriate when considering the flow control of resin during film production.

상기 열경화성 수지로는 에폭시 수지를 사용할 수 있고, 바람직하게는 상온(10℃ ~ 35℃)에서 액상인 에폭시 수지와 상온(10℃ ~ 35℃)에서 고체인 에폭시 수지를 혼용하여 사용할 수 있다. As the thermosetting resin, an epoxy resin can be used, and a mixture of an epoxy resin which is in a liquid state at room temperature (10 ° C to 35 ° C) and an epoxy resin which is solid at room temperature (10 ° C to 35 ° C) can be used in combination.

좀 더 구체적으로 상기 에폭시 수지는 비스페놀계 에폭시 수지, 바이페닐계 에폭시 수지, 나프탈렌계 에폭시 수지, 플로렌계 에폭시 수지, 페놀노볼락계 에폭시 수지, 크레졸노볼락계 에폭시 수지, 트리스하이드록실페닐메탄계 에폭시 수지 및 테트라페닐메탄계 에폭시 수지 중에서 선택된 단종 또는 2종을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 비스페놀계 에폭시 수지, 페놀노볼락계 에폭시 수지 및 크레졸노볼락계 에폭시 수지 중에서 선택된 단종 또는 2종 이상으로 혼합하여 사용할 수 있다. 이때, 상기 비스페놀계 에폭시 수지로는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 수소첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 AF형 에폭시 수지 등이 있다.More specifically, the epoxy resin may be at least one selected from the group consisting of bisphenol epoxy resin, biphenyl epoxy resin, naphthalene epoxy resin, fluorene epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, trishydroxyl phenyl methane Epoxy resin and tetraphenylmethane epoxy resin, and preferably one or two or more selected from the group consisting of bisphenol-based epoxy resin, phenol novolak-based epoxy resin and cresol novolak-based epoxy resin Can be mixed and used. Examples of the bisphenol-based epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, and bisphenol AF type epoxy resin.

그리고, 에폭시계 수지로서 현재 시판되고 있는 제품에는 비스페놀 A형 에폭시 수지로서는 국도화학의 YD-020, YD-020L, YD-019K, YD-019, YD-017H, YD-017R, YD-017, YD-014, YD-014ER, YD-013K, YD-012, YD-011H, YD-011S, YD-011 등이 있다. 그리고, 크레졸노볼락형 에폭시 수지로는 국도화학의 YDCN-500-80PCA60, YDCN-500-80PBC60, YDCN-500-90PA75, YDCN-500-90P, YDCN-500-80P, YDCN-500-10P, YDCN-500-8P, YDCN-500-7P, YDCN-500-5P, YDCN-500-4P, YDCN-500-1P이 있고 일본화약주식회사의 EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, EOCN-1012, EOCN-1025, EOCN-1027, 동도화성의 YDCN-701, YDCN-702, YDCN-703, YDCN-704, YDCN-701P, YDCN-702P, YDCN-703P, YDCN-704P, YDCN-701S, YDCN-702S, YDCN-703S 등이 있다. 또한, 페놀노볼락형 에폭시 수지로는 YDPN-638A80, YDPN-644, YDPN-637, YDPN-636, YDPN-638, YDPN-631 등이 있다.YD-019K, YD-019, YD-017H, YD-017R, YD-017, YD-017K, and YD-017B of National Tohoku Chemical Co., Ltd. were used as bisphenol A type epoxy resins, -014, YD-014ER, YD-013K, YD-012, YD-011H, YD-011S and YD-011. Examples of the cresol novolac epoxy resin include YDCN-500-80PCA60, YDCN-500-80PBC60, YDCN-500-90PA75, YDCN-500-90P, YDCN-500-80P, YDCN-500-10P, YDCN EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, EOCN-1012, and YCN-500P, EOCN-1025, EOCN-1027, YDCN-701, YDCN-702, YDCN-703, YDCN-704, YDCN-701P, YDCN-702P, YDCN-703P, YDCN-704P, , And YDCN-703S. Examples of the phenol novolac epoxy resin include YDPN-638A80, YDPN-644, YDPN-637, YDPN-636, YDPN-638 and YDPN-631.

열경화성 수지로서 2종의 에폭시 수지를 혼용하여 사용하는 경우의 바람직한 일례를 들면, 상온(10℃ ~ 35℃)에서 액상인 에폭시 수지와 상온(10℃ ~ 35℃)에서 고체인 에폭시 수지를 1 : 0.4 ~ 1 중량비로, 바람직하게는 1 : 0.42 ~ 0.75 중량비로 혼합하여 사용할 수 있다. 이때, 고상 에폭시 수지 사용량이 액상 에폭시 수지에 대해 0.4 중량비 미만이면 다이 어태치 공정 시 수지가 과다하게 흘러나와 와이어 본딩 패드가 오염될 우려가 있으며, 또한 접착층의 끈적임 특성이 강하여, 픽업(pick up) 특성이 현저히 저하될 수 있다. 또한, 고상 에폭시 수지 사용량이 액상 에폭시 수지에 대해 1 중량비를 초과하여 사용하면 열가소성 수지와의 상용성, 반응성 측면에서 불리할 수 있으므로, 상기 중량비 범위 내로 혼합하여 사용하는 것이 좋다.As a preferable example of the case where two kinds of epoxy resins are mixedly used as the thermosetting resin, an epoxy resin which is liquid at room temperature (10 to 35 DEG C) and an epoxy resin which is solid at room temperature (10 to 35 DEG C) 0.4 to 1 weight ratio, preferably 1: 0.42 to 0.75 weight ratio. If the solid epoxy resin is used in an amount less than 0.4 parts by weight with respect to the liquid epoxy resin, excess resin may flow out during the die attaching process to contaminate the wire bonding pads, The characteristics may be significantly deteriorated. When the amount of the solid epoxy resin used is more than 1 part by weight based on the liquid epoxy resin, it may be disadvantageous from the viewpoint of compatibility with the thermoplastic resin and reactivity.

상기 액상 에폭시 수지는 에폭시 당량 135 ~ 210 g/eq 및 점도 8,000 ~ 17,000 cps(25℃)일 수 있으며, 바람직하게는 에폭시 당량 150 ~ 205 g/eq 및 점도 10,000 ~ 15,000 cps(25℃)일 수 있다. The liquid epoxy resin may have an epoxy equivalent of 135 to 210 g / eq and a viscosity of 8,000 to 17,000 cps (25 ° C), preferably an epoxy equivalent of 150 to 205 g / eq and a viscosity of 10,000 to 15,000 cps (25 ° C) have.

그리고, 상기 고상 에폭시 수지는 에폭시 당량 180 ~ 250 g/eq 및 연화점 50℃ ~ 70℃일 수 있으며, 바람직하게는 에폭시 당량 195 ~ 238 g/eq 및 연화점 50℃ ~ 65℃일 수 있다.The solid epoxy resin may have an epoxy equivalent of 180 to 250 g / eq and a softening point of 50 to 70 ° C, preferably an epoxy equivalent of 195 to 238 g / eq and a softening point of 50 to 65 ° C.

본 발명에서 상기 무기충진제는 평균입경 0.1㎛ ~ 10㎛, 바람직하게는 0.1㎛ ~ 2㎛, 더욱 바람직하게는 0.2㎛ ~ 1.5㎛의 구상 분말을 포함할 수 있다. 이때, 무기충진제의 평균입경이 0.1㎛ 미만이면 가격이 비쌀뿐만 아니라, 접착필름 내 뭉쳐서 존재하는 문제가 있을 수 있고, 10㎛을 초과하면 컨트롤러 다이 및/또는 반도체 칩이 무기 충진제에 의한 패턴 손상이나 크랙이 발생, 접착성 저하가 발생할 수 있다.In the present invention, the inorganic filler may include a spherical powder having an average particle diameter of 0.1 to 10 탆, preferably 0.1 to 2 탆, more preferably 0.2 to 1.5 탆. If the average particle size of the inorganic filler is less than 0.1 mu m, the cost may be high as well as there may be a problem in the adhesive film. If the average particle diameter is more than 10 mu m, the controller die and / Cracks may occur and adhesiveness may be lowered.

상기 구상 분말은 알루미나, 실리카, 수산화마그네슘, 탄산칼슘, 티탄산바륨 및 이산화티타늄 중에서 선택된 단종 또는 2종 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 알루미나, 실리카 티탄산바륨 및 이산화티타늄 중에서 선택된 단종 또는 2종 이상을 포함할 수 있다.The spherical powder may include one or more selected from the group consisting of alumina, silica, magnesium hydroxide, calcium carbonate, barium titanate and titanium dioxide, preferably two or more species selected from among alumina, barium silica titanate and titanium dioxide . ≪ / RTI >

또한, 본 발명의 FOD 접착필름은 무기 충진제 외에 필요에 따라서는 안료나 염료 등도 첨가하여 사용할 수도 있다.In addition to the inorganic filler, the FOD adhesive film of the present invention may also contain pigments or dyes if necessary.

본 발명에서 무기충진제의 함량은 상기 열가소성 수지 및 열경화성 수지에 의해 상대적으로 결정되는데, 즉, 상기 수학식 1을 만족하도록 열가소성 수지와 열경화성 수지 함량에 따라 무기충진제의 사용량을 조절할 수 있으며, 일례를 들면, 무기충진제는 FOD 접착필름 전체 중량 중 18 ~ 65 중량%, 바람직하게는 20 ~ 60 중량%, 더욱 바람직하게는 25 ~ 56 중량%를 사용할 수 있다.In the present invention, the content of the inorganic filler is relatively determined by the thermoplastic resin and the thermosetting resin. That is, the amount of the inorganic filler to be used may be controlled according to the content of the thermoplastic resin and the thermosetting resin to satisfy the expression (1) And the inorganic filler may be used in an amount of 18 to 65% by weight, preferably 20 to 60% by weight, more preferably 25 to 56% by weight based on the total weight of the FOD adhesive film.

본 발명 FOD 접착필름 성분 중 상기 경화제로는 페놀 수지를 사용할 수 있다. 그리고, 상기 페놀 수지는 평균 수산기 당량 100g/eq 이상, 바람직하게는 100 ~ 150 g/eq, 더욱 바람직하게는 110 ~ 130 g/eq 인 것을 사용할 수 있는데, 수산기 당량이 100 g/eq 미만인 경우, 흡수율이 높고, 내리플로우성이 악화되는 문제점이 발생할 수 있고, 150g/eq를 초과하는 경우 느린 경화속도로 접착필름 생산성, 작업공정성이 떨어지는 문제가 있을 수 있다. As the curing agent among the components of the FOD adhesive film of the present invention, a phenol resin may be used. The phenolic resin may have an average hydroxyl group equivalent of 100 g / eq or more, preferably 100 to 150 g / eq, and more preferably 110 to 130 g / eq. When the hydroxyl equivalent is less than 100 g / eq, There may be a problem that the water absorption rate is high and the flow property is deteriorated. When it exceeds 150 g / eq, there may be a problem that the adhesive film productivity and workability are poor with a slow curing rate.

그리고, 상기 페놀수지는 연화점이 105℃ 이상, 바람직하게는 110℃ ~ 135℃, 더욱 바람직하게는 115℃ ~ 125℃인 것이 좋은데, 연화점이 105℃ 미만이면 다이본딩 시 열압에 의해 레진이 과다하게 흘러나와 주변을 오염 시키는 문제가 있을 수 있다.The phenol resin preferably has a softening point of 105 ° C or higher, preferably 110 ° C to 135 ° C, more preferably 115 ° C to 125 ° C. When the softening point is lower than 105 ° C, There may be a problem of flowing and polluting the environment.

그리고, 상기 페놀 수지로는 페놀노볼락계 수지, 비스페놀 A계 수지, 크레졸노볼락계 수지, 아미노트리아진노볼락계 수지 및 자일록계 수지 중에서 선택된 단독 또는 2종 이상을 포함할 수 있고, 바람직하게는 페놀노볼락계 수지 및 비스페놀 A계 수지 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다. 이러한, 페놀노볼락계 페놀수지의 구체적인 예로는 다이니폰잉크 화학공업의 TD-2131, TD-2106, TD-2093Y, TD-2091, TD-2090이 있고 코오롱 유화주식회사의 KPE-F2000, KPE-B2100, KPE-F2300, KPH-F-2001, KPH-F2002, KPH-F2003, KPH-F2004등이 있다. 또한, 비스페놀 A계 페놀수지의 구체적인 예로는 다이니폰잉크 화학공업의 VH-4150, VH-4170, VH-4240, KH-6021, LF-7911, LF-6161, LF-4871이 있고 코오롱유화 주식회사의 KBE-F4113, KBE-F4123, KBE-F4127 등이 있다. 또한, 크레졸노볼락계 페놀수지 의 구체적인 예로는 다이니폰잉크화학공업의 KA-1160, KA-1163, KA-1165가 있고, 코오롱 유화주식회사의 KCE-F2015, KCE-F2020, KCE-F2078, KCE-F2081, KCE-F2094, KCE-F2100, KCE-F2110, KCE-F2115, KCE-F2120, KCE-F2118, KCE-F2123, KCE-F2125 등이 있다. 아미노트리아진노볼락계 페놀수지의 구체적인 예로는 다이니폰잉크 화학공업의 LA-7052, LA-7054, LA-7751, LA-1356, LA-3018-50P가 있고 코오롱유화 주식회사의 KPH-F3005, KPH-F3010, KPH-F3020 등이 있으며, 자일록계 페놀수지의 구체적인 예로는 코오롱유화 주식회사의 KPH-F3060, KPH-F3065 등이 있다.The phenol resin may include one or more selected from the group consisting of phenol novolak resin, bisphenol A resin, cresol novolak resin, aminotriazine phenol resin and xylol resin, A phenol novolak resin, and a bisphenol A resin. Specific examples of the phenol novolak type phenol resin include TD-2131, TD-2106, TD-2093Y, TD-2091 and TD-2090 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, KPE-F2000, KPE-B2100 , KPE-F2300, KPH-F-2001, KPH-F2002, KPH-F2003 and KPH-F2004. Specific examples of the bisphenol A-based phenol resin include VH-4150, VH-4170, VH-4240, KH-6021, LF-7911, LF-6161 and LF-4871 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, KBE-F4113, KBE-F4123, and KBE-F4127. Specific examples of the cresol novolac phenolic resin include KA-1160, KA-1163 and KA-1165 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, KCE-F2015, KCE-F2020, KCE- F2081, KCE-F2094, KCE-F2100, KCE-F2110, KCE-F2115, KCE-F2120, KCE-F2118, KCE-F2123 and KCE-F2125. LA-7052, LA-7751, LA-1356 and LA-3018-50P of Dainippon Ink and Chemicals, Inc. and KPH-F3005 and KPH- F3010, and KPH-F3020. Specific examples of the xylol-based phenol resin include KPH-F3060 and KPH-F3065 of Kolon Oil &

본 발명에 있어서, 상기 경화제의 함량은 FOD 접착필름 전체 중량 중 5 ~ 30 중량%, 바람직하게는 7 ~ 25 중량%, 더욱 바람직하게는 8 ~ 22 중량%를 포함할 수 있으며, 경화제 함량이 5 중량% 미만이면 열경화성 수지의 경화효과가 부족하여 내열성 저하가 초래할 수 있고, 30 중량%를 초과하여 사용하면 수지와의 반응성이 높아지게 되어 접착필름의 취급성, 장기보관성 등의 물성특성이 크게 떨어지는 문제가 발생할 수 있다.In the present invention, the content of the curing agent may be 5 to 30% by weight, preferably 7 to 25% by weight and more preferably 8 to 22% by weight based on the total weight of the FOD adhesive film. When the content of the curing agent is 5 If the amount is more than 30% by weight, the reactivity with the resin increases, and the properties of the adhesive film such as handling property and long-term storage property are greatly reduced. Problems can arise.

본 발명 FOD 접착필름 성분 중 상기 경화촉진제로는 당업계에서 일반적으로 사용하는 것을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 아민계 경화촉진제, 이미다졸계 경화촉진제, 인계 경화촉진제, 붕소계 경화촉진제 및 인-붕소계 경화촉진제 중에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있다.Among the components of the FOD adhesive film of the present invention, those commonly used in the art can be used as the above-mentioned curing accelerator, and examples thereof include amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, And a curing accelerator may be used.

그리고, 경화촉진제의 함량은 FOD 접착필름 전체 중량 중 0.01 ~ 4 중량%, 바람직하게는 0.05 ~ 1.5 중량%, 더욱 바람직하게는 0.08 ~ 1 중량%를 사용할 수 있다.The content of the curing accelerator may be 0.01 to 4% by weight, preferably 0.05 to 1.5% by weight, and more preferably 0.08 to 1% by weight based on the total weight of the FOD adhesive film.

본 발명의 FOD 접착필름은 실란커플링제를 배합하여 사용할 수 있으며 실란커플링제는 무기 충진제의 표면과 유기물질 간의 화학적 결합으로 인한 접착력 증진시키는 작용을 할 수 있다. 그리고, 실란커플링제는 에폭시가 함유된 2-(3,4 에폭시사이클로헥실)-에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸-디에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 아미노기가 함유된 N-2(아미노에틸)3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필-트리메톡시실란, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필-트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡실리-N-(1,3 디메틸-부틸리덴)프로필아민, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, 머캅토가 함유된 3-머캅토프로필메틸디메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등을 사용할 수 있다.The FOD adhesive film of the present invention can be used in combination with a silane coupling agent, and the silane coupling agent can act to enhance adhesion due to chemical bonding between the surface of the inorganic filler and the organic material. The silane coupling agent may be selected from the group consisting of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) -ethyltrimethoxysilane containing epoxy, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyl-diethoxysilane, Aminopropyltrimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane containing an amino group, N-2 (aminoethyl) Aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane containing mercapto, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like can be used.

또한, 실란커플제 사용시, 이의 사용량은 상기 FOD 접착필름 성분인 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제를 혼합한 혼합물 100 중량부에 대하여 0.5 ~ 5 중량부, 바람직하게는 1 ~ 3 중량부를 사용할 수 있으며, 0.5 중량부 미만이면 접착력 증대 효과가 미비할 수 있고, 5 중량부를 초과하여 사용하는 것은 비경제적이다. When the silane coupling agent is used, the amount of the silane coupling agent to be used is 0.5 to 5 parts by weight, preferably 1 to 3 parts by weight per 100 parts by weight of the mixture of the thermoplastic resin, the thermosetting resin, the inorganic filler, the curing agent and the curing accelerator If the amount is less than 0.5 parts by weight, the effect of increasing the adhesive strength may be insufficient. If the amount is more than 5 parts by weight, it is uneconomical.

본 발명의 FOD 접착필름은 앞서 설명한 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제를 혼합한 후, 이를 이형필름에 평균두께 50㎛ ~ 180㎛, 바람직하게는 평균두께 85㎛ ~ 145㎛로, 더욱 바람직하게는 100㎛ ~ 140㎛로 코팅시킨 후, 120℃ ~ 140℃로 열풍건조시켜서 B-스테이지 상태의 단층 구조를 가지는 FOD 접착필름을 제조할 수 있다.The FOD adhesive film of the present invention is obtained by mixing the thermoplastic resin, the thermosetting resin, the inorganic filler, the curing agent and the curing accelerator as described above and then adding the same to the release film in an average thickness of 50 탆 to 180 탆, , More preferably 100 탆 to 140 탆, followed by hot-air drying at 120 캜 to 140 캜 to prepare an FOD adhesive film having a single-layer structure in a B-stage state.

또는 본 발명의 FOD 접착필름은 앞서 설명한 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제를 혼합한 후, 이를 이형필름에 평균두께 25㎛ ~ 90㎛로, 바람직하게는 평균두께 42.5㎛ ~ 72.5㎛로, 더욱 바람직하게는 50㎛ ~ 70㎛로 코팅시킨 후, 120℃ ~ 140℃로 열풍건조시켜서 B-스테이지 상태의 단층 구조를 가지는 FOD 접착필름을 2개 이상 제조한 후, 제조한 FOD 필름을 2개 이상 적층시킨 다음 롤 라미네이터로 50℃ ~ 90℃ 하에서 합지시켜서 다층 구조의 FOD 접착필름을 제조할 수도 있다.Alternatively, the FOD adhesive film of the present invention may be produced by mixing the above-described thermoplastic resin, thermosetting resin, inorganic filler, curing agent and curing accelerator and then adding the resulting mixture to an average thickness of 25 to 90 μm, preferably an average thickness of 42.5 to 72.5 More preferably 50 to 70 mu m, followed by hot air drying at 120 to 140 DEG C to prepare two or more FOD adhesive films having a single-layer structure in a B-stage state, May be laminated and then laminated with a roll laminator at 50 DEG C to 90 DEG C to prepare an FOD adhesive film having a multilayer structure.

그리고, 앞서 설명한 열가소성 수지, 열경화성 수지, 무기충진제, 경화제 및 경화촉진제 등의 조성물의 혼합물 자체로서 접착필름 형성을 위한 코팅이 가능하지만, 코팅성 확보 차원에서 상기 혼합물과 용매를 1 : 0.6 ~ 1 중량비로 혼합 및 희석하여 코팅액을 제조한 후, 이를 이용하여 접착필름을 형성시킬 수도 있다.The mixture of the above-mentioned thermoplastic resin, thermosetting resin, inorganic filler, curing agent, curing accelerator and the like can be coated for forming an adhesive film. However, in order to ensure the coating property, the mixture and the solvent are mixed at a ratio of 1: 0.6 to 1 To prepare a coating liquid, and then an adhesive film may be formed using the coating liquid.

이렇게 제조한 본 발명의 FOD 접착필름은 전단강도가 10 ~ 40 kgf/cm2 바람직하게는 10 ~ 35 kgf/cm2일 수 있다. The thus prepared FOD adhesive film of the present invention has a shear strength of 10-40 kgf / cm < 2 > Preferably 10 to 35 kgf / cm < 2 >.

또한, 본 발명의 FOD 접착필름은 용융점도가 하기 수학식 2를 만족할 수 있다.Further, the FOD adhesive film of the present invention can satisfy the following formula (2).

[수학식 2]&Quot; (2) "

1.1 ≤ (90℃ 용융점도/110℃ 용융점도) ≤1.7, 바람직하게는 1.2 ≤ (90℃ 용융점도/110℃ 용융점도) ≤1.65, 더욱 바람직하게는 1.3 ≤ (90℃ 용융점도/110℃ 용융점도) ≤1.61.1? (90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity)? 1.7, preferably 1.2? 90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity? 1.65, more preferably 1.3? 90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 Melting point Degrees) ≤1.6

수학식 2에서 90℃ 용융점도 및 110℃ 용융점도는 페러럴 플레이트법에 의거하여 측정한 용융점도값(Pa·s)이다. The melt viscosity at 90 ° C and the melt viscosity at 110 ° C in the formula (2) are melt viscosity values (Pa · s) measured according to the parallel plate method.

이때, 용융점도가 1.7을 초과하면 기판 상에서 흐름성 과다로 필렛(fillet)이 발생하는 문제가 있을 수 있다.At this time, if the melt viscosity exceeds 1.7, there may be a problem that fillets are generated on the substrate excessively over flow.

그리고, FOD 접착필름은 상기 110℃ 용융점도가 2,000 ~ 6,000 Pa·s, 바람직하게는 2,500 ~ 5,500 Pa·s일 수 있으며, 110℃ 용융점도가 2,000 Pa·s 미만이면 필렛(fillet)이 과다하게 발생할 수 있고, 110℃ 용융점도가 6,000 Pa·s 를 초과하면 컨트롤러 다이의 매립 불량 및 와이어 본드의 눌림이 발생할 수 있으므로, FOD 접착필름은 상기의 용융점도를 만족하는 것이 좋다.The FOD adhesive film may have a melt viscosity at 110 ° C of from 2,000 to 6,000 Pa · s, preferably from 2,500 to 5,500 Pa · s, and if the melt viscosity of 110 ° C is less than 2,000 Pa · s, fillet is excessively If the melt viscosity of 110 ° C exceeds 6,000 Pa · s, embedding failure of the controller die and pressing of the wire bond may occur. Therefore, the FOD adhesive film preferably satisfies the above-mentioned melt viscosity.

또한, 본 발명의 FOD 접착필름은 전염소 함량이 150 ppm 이하, 바람직하게는 130 ppm 이하, 더욱 바람직하게는 100 ppm 이하로 포함하기 때문에 내습성, 내열성 등이 우수하여 전반적인 HAST(highly accelerated stress test)특성이 우수하다.Further, since the FOD adhesive film of the present invention has a total chlorine content of 150 ppm or less, preferably 130 ppm or less, more preferably 100 ppm or less, it is excellent in moisture resistance and heat resistance, ).

앞서 설명한 본 발명의 FOD 접착필름을 이용하여 다양한 반도체 패키지를 조립할 수 있으며, 일례를 들면, 기판; 상기 기판 상부에 실장된 콘트롤러 다이; 상기 기판 상부에 형성된 앞서 설명한 본 발명의 FOD 접착필름; 및 상기 FOD 접착필름 상에 적층된 반도체 다이;를 포함하며, 상기 콘트롤러 다이의 전부 또는 일부가 FOD 접착필름 내부에 매립되어 있는 반도체 패키지를 제공할 수 있다.Various semiconductor packages can be assembled using the above-described FOD adhesive film of the present invention, for example, a substrate; A controller die mounted on the substrate; The above-described FOD adhesive film of the present invention formed on the substrate; And a semiconductor die stacked on the FOD adhesive film, wherein all or a part of the controller die is embedded in the FOD adhesive film.

그리고, 상기 FOD 접착필름 내 수동소자 및 와이어 본드(wire bond)를 더 포함할 수 있으며, 상기 기판 및 실장된 콘트롤러 다이 상에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함할 수도 있다.Further, it may further include a passive element and a wire bond in the FOD adhesive film, and may include a dicing die attach film on the substrate and the mounted controller die.

또한, 상기 FOD 접착필름과 반도체 다이 사이에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함할 수도 있다.Further, a dicing die attach film may be included between the FOD adhesive film and the semiconductor die.

또한, 상기 FOD 접착필름 내 단수 또는 복수개의 수동소자; 단수 또는 복수개의 본딩패드; 및 단수 또는 복수개의 와이어 본드(wire bond); 중에서 선택된 1종 이상을 더 포함할 수도 있다.Further, a single or a plurality of passive elements in the FOD adhesive film; Single or plural bonding pads; And one or more wire bonds; , And the like.

이하, 본 발명을 하기 실시예들을 통해 설명한다. 이때, 하기 실시예들은 발명을 예시하기 위하여 제시된 것일 뿐, 본 발명의 권리범위가 하기 실시예들에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the following examples. The following examples are provided to illustrate the invention, but the scope of the present invention is not limited by the following examples.

[[ 실시예Example ] ]

준비예Preparation Example :  : 다이싱Dicing 필름의 제조 Production of film

냉각수를 이용하여 80로 온도를 유지할 수 있는 1리터 유리 반응기에 교반기와 환류콘덴서를 설치하고 온도계로 반응시간에 따른 온도변화를 감지할 수 있는 장치를 이용하여 중합하였다. 에틸아세테이트와 중합하려고 하는 부틸아크릴레이트 48.17 g, 에틸아크릴레이트 10.01 g 및 2-히드록시에틸메타아크릴레이트 3.26 g을 중합 반응기에 넣고 질소를 충진한 후 30분간 교반하면서 가스를 제거하였다. 그리고, 중합개시제로서 벤조일퍼옥사이드(70%) 0.54g을 에틸아세테이트에 녹여 적하깔대기를 이용하여 적하시킨 후, 80℃에서 12시간 환류시켜 중합을 실시하였다. 중합 후의 고형분의 함량을 40%가 되도록 에틸아세테이트 용매로 보정하여 점도가 23℃ 온도에서 10,000 ~ 15,000 cps 이내인 아크릴 점착제 용액을 얻었다. A stirrer and a reflux condenser were installed in a 1 liter glass reactor capable of maintaining the temperature at 80 by using cooling water, and polymerization was carried out using a thermometer capable of detecting the temperature change according to the reaction time. 48.17 g of butyl acrylate to be polymerized with ethyl acetate, 10.01 g of ethyl acrylate and 3.26 g of 2-hydroxyethyl methacrylate were charged into a polymerization reactor, and nitrogen was charged, followed by degassing with stirring for 30 minutes. Then, 0.54 g of benzoyl peroxide (70%) as a polymerization initiator was dissolved in ethyl acetate, and the mixture was dropped using a dropping funnel. The mixture was refluxed at 80 DEG C for 12 hours to effect polymerization. An acryl pressure-sensitive adhesive solution having a viscosity within a range of 10,000 to 15,000 cps at a temperature of 23 DEG C was obtained by calibrating the solid content after the polymerization with an ethyl acetate solvent to 40%.

상기 아크릴 점착제 용액 35g에 방향족 다가 이소시아네이트 경화제로 코로네이트-L(니폰폴리우렌탄사) 0.8g, 광경화형 올리고머로 CN-940(우레탄아크릴레이트, 사토머사) 8g 및 광개시제로 이가큐어184(시바스페셜티사) 0.5g을 용제 내에서 잘 혼합한 후 두께가 100um 인 폴리프로필렌 필름 재질의 기재필름 상에 상기 광경화형 점착제 조성물을 두께가 10um가 되도록 균일하게 도포한 후 80, 10분 건조시킴으로써 자외선 경화형 다이싱 필름을 제조하였다.0.8 g of Coronate-L (Nippon Polyurethane) as an aromatic polyisocyanate curing agent, 8 g of a photo-curable oligomer of CN-940 (urethane acrylate, Satomma) and 35 g of a photoacid generator were added to 35 g of the acryl pressure- ) Was uniformly mixed in a solvent and then uniformly coated on a substrate film of polypropylene film having a thickness of 100 μm so that the thickness of the photo-curable pressure-sensitive adhesive composition was 10 μm, followed by drying for 80 minutes for 10 minutes. Thus, A film was prepared.

실시예Example 1 : 접착필름의 제조 1: Production of adhesive film

열가소성 수지로서 아크릴 공중합체(네가미 KGX-4017, 수평균분자량 1,000,000, 유리전이온도 15℃)을 준비하였으며, 이때, 상기 아크릴 공중합체는 글리시딜아크릴레이트를 3 중량%로 포함하는 에폭시기 아크릴 공중합체이다.An acrylic copolymer (Negami KGX-4017, number average molecular weight 1,000,000, glass transition temperature 15 DEG C) was prepared as a thermoplastic resin, and the acrylic copolymer was an epoxy acrylate copolymer containing 3 wt% of glycidyl acrylate It is united.

상온(15 ~ 35℃)에서 액상인 에폭시 수지인 비스페놀A 에폭시 수지(국도화학 YD-128, 에폭시 당량:184 ~ 190g/eq, 점도 11,500 ~ 13,500cps(25℃)) 및 상온(15 ~ 35℃)에서 고상인 에폭시 수지인 크레졸노볼락 에폭시 수지(국도화학 YDCN-500-1, 에폭시당량:200g/eq, 연화점:52℃)를 열경화성 수지로서 준비하였다.(Epoxy equivalent of 184 to 190 g / eq, viscosity of 11,500 to 13,500 cps at 25 ° C) and room temperature (15 to 35 ° C) at room temperature (15 to 35 ° C), which is a liquid epoxy resin ), Cresol novolac epoxy resin (National Chemical Co., Ltd. YDCN-500-1, epoxy equivalent: 200 g / eq, softening point: 52 캜), which is a solid epoxy resin, was prepared as a thermosetting resin.

경화제로서, 페놀노볼락 수지(코오롱유화 KPH-F2004, OH 당량:106g/eq, 연화점:120℃)를 준비하였으며, 무기충진제로서 구상 실리카(전기화학공업주식회사 SFP-30M, 평균 입경 0.7㎛)를 준비하였다.As the curing agent, phenol novolac resin (Kolon Emulsion KPH-F2004, OH equivalent: 106 g / eq, softening point: 120 占 폚) was prepared and spherical silica (SFP-30M, Prepared.

또한, 경화촉진제로서 이미다졸계 경화촉진제(큐아조르 C11Z)를 준비하였다.As the curing accelerator, an imidazole-based curing accelerator (QQAZOR C11Z) was also prepared.

다음으로, 상기 열가소성 수지, 열경화성 수지, 경화제, 무기충진제 및 경화촉진제를 하기 표 1의 배합비로 혼합하여 혼합액을 제조하였다.Next, the thermoplastic resin, the thermosetting resin, the curing agent, the inorganic filler and the curing accelerator were mixed at the compounding ratios shown in Table 1 below to prepare a mixed solution.

다음으로, 코팅성 확보 차원에서 상기 혼합액을 메틸에틸케톤(MEK)와 1:0.9 중량비로 혼합하여 접착 코팅액을 제조하였다.Next, to ensure coating properties, the mixed solution was mixed with methyl ethyl ketone (MEK) at a weight ratio of 1: 0.9 to prepare an adhesive coating solution.

이형처리한 폴리에스테르 필름 상에 상기 접착 코팅액을 도포한 후 130℃에서 5분 동안 열풍 건조기 내에서 혼합용제를 건조, 제거시킴으로써 두께가 60㎛인 B-스테이지 특성의 반도체 패키지용 접착시트를 제작하였다. 이어서, 제작한 접착시트를 롤 라미네이터를 이용하여 60℃에서 2장 합지함으로써 120㎛ 두께의 FOD 접착필름을 제조하였다. The adhesive coating solution was coated on the release-treated polyester film, and then the mixed solvent was dried and removed in a hot-air dryer at 130 DEG C for 5 minutes to prepare an adhesive sheet for a semiconductor package having a thickness of 60 mu m with B-stage characteristics . Subsequently, two sheets of the thus-prepared adhesive sheets were laminated at 60 DEG C using a roll laminator to prepare an FOD adhesive film having a thickness of 120 mu m.

실시예Example 2 ~  2 ~ 실시예Example 9 및  9 and 비교예Comparative Example 1 ~  1 ~ 비교예Comparative Example 7 7

상기 실시예 1과 동일한 방법으로 FOD 접착필름을 제조하되, 하기 표 1 및 표 2와 같은 조성비를 가지도록 배합하여 120㎛ 두께의 FOD 접착필름을 각각 제조하여 실시예 2 ~ 실시예 9 및 비교예 1 ~ 비교예 7을 실시하였다. An FOD adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1, except that FOD adhesive films each having a thickness of 120 탆 were prepared by mixing the components so as to have composition ratios as shown in Tables 1 and 2, respectively, to obtain Examples 2 to 9 and Comparative Examples 1 to Comparative Example 7 were carried out.

비교예Comparative Example 8 8

상기 실시예 1과 동일한 방법으로 FOD 접착필름을 제조하되, 열가소성 수지로서, 실시예 1의 아크릴 공중합체 대신 글리시딜아크릴레이트를 12 중량%로 포함하는 에폭시기 아크릴 공중합체를 사용하여 FOD 접착필름을 제조하였다.An FOD adhesive film was prepared in the same manner as in Example 1 except that an epoxy-group acrylic copolymer containing 12 wt% of glycidyl acrylate instead of the acrylic copolymer of Example 1 was used as the thermoplastic resin, .

구분
(중량%)division
(weight%) 실시예1Example 1 실시예2Example 2 실시예3Example 3 실시예4Example 4 실시예5Example 5 실시예6Example 6 실시예7Example 7 실시예8Example 8 실시예9Example 9 열가소성 수지Thermoplastic resin 18.318.3 15.315.3 21.421.4 20.320.3 12.312.3 20.320.3 15.815.8 11.311.3 21.421.4 액상 에폭시(A)The liquid epoxy (A) 14.214.2 15.215.2 14.214.2 17.217.2 14.214.2 20.220.2 17.217.2 21.221.2 10.210.2 고상 에폭시(B)Solid phase epoxy (B) 10.210.2 10.710.7 9.79.7 11.711.7 8.78.7 13.713.7 8.78.7 14.714.7 6.76.7 무기충진제Inorganic filler 44.844.8 45.845.8 42.842.8 35.835.8 53.853.8 30.830.8 45.345.3 34.834.8 49.849.8 경화제Hardener 12.312.3 12.812.8 11.811.8 14.814.8 10.810.8 14.814.8 12.812.8 17.817.8 11.811.8 경화촉진제Hardening accelerator 0.20.2 0.20.2 0.10.1 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.10.1 A:B 중량비A: B weight ratio 1:0.721: 0.72 1:0.701: 0.70 1:0.681: 0.68 1:0.681: 0.68 1:0.611: 0.61 1:0.681: 0.68 1:0.511: 0.51 1:0.691: 0.69 1:0.661: 0.66 수학식 1
값Equation 1
value 4.634.63 3.753.75 4.634.63 3.113.11 3.163.16 6.156.15 3.163.16 4.464.46 6.166.16 [수학식 1]
(B+C)/A
수학식 1에서, A는 접착필름 조성 전체 중량 중 열가소성수지의 중량%이고, B는 접착필름 조성 전체 중량 중 열경화성 수지 중량%이며, C는 접착필름 조성 전체 중량 중 무기충전제 중량%이다.[Equation 1]
(B + C) / A
In the formula (1), A represents the weight percentage of the thermoplastic resin in the total weight of the adhesive film composition, B represents the weight percent of the thermosetting resin in the total weight of the adhesive film composition, and C represents the weight percentage of the inorganic filler in the total weight of the adhesive film composition.

구분
(중량%)division
(weight%) 비교예1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 비교예 5Comparative Example 5 비교예 6Comparative Example 6 비교예 7Comparative Example 7 비교예8Comparative Example 8 열가소성 수지Thermoplastic resin 7.57.5 26.326.3 37.937.9 6.26.2 6.86.8 28.028.0 10.210.2 10.310.3 액상 에폭시(A)The liquid epoxy (A) 18.018.0 13.613.6 9.59.5 22.722.7 33.033.0 5.75.7 3.63.6 29.229.2 고상 에폭시(B)Solid phase epoxy (B) 13.113.1 9.49.4 5.05.0 15.215.2 23.923.9 4.94.9 28.328.3 4.74.7 무기충진제Inorganic filler 48.448.4 39.739.7 38.638.6 38.038.0 17.017.0 56.056.0 42.942.9 40.840.8 경화제Hardener 12.812.8 10.810.8 8.98.9 17.817.8 19.019.0 5.35.3 14.814.8 14.814.8 경화촉진제Hardening accelerator 0.20.2 0.20.2 0.10.1 0.10.1 0.30.3 0.10.1 0.20.2 0.20.2 A:B 중량비A: B weight ratio 1:0.731: 0.73 1:0.691: 0.69 1:0.531: 0.53 1:0.671: 0.67 1:0.721: 0.72 1:0.861: 0.86 1:7.861: 7.86 1:0.161: 0.16 수학식 1
값Equation 1
value 10.6410.64 2.372.37 1.401.40 12.2412.24 10.4110.41 2.372.37 7.217.21 7.137.13 [수학식 1]
(B+C)/A
수학식 1에서, A는 접착필름 조성 전체 중량 중 열가소성수지의 중량%이고, B는 접착필름 조성 전체 중량 중 열경화성 수지 중량%이며, C는 접착필름 조성 전체 중량 중 무기충전제 중량%이다.[Equation 1]
(B + C) / A
In the formula (1), A represents the weight percentage of the thermoplastic resin in the total weight of the adhesive film composition, B represents the weight percent of the thermosetting resin in the total weight of the adhesive film composition, and C represents the weight percentage of the inorganic filler in the total weight of the adhesive film composition.

실험예Experimental Example 1 :  One : FODFOD 접착필름의 물성 측정 Measurement of properties of adhesive film

상기 실시예 및 비교예에서 제조한 FOD 접착필름의 전단강도, 용융점도, 컨트롤러 메움성, 본딩패드 오염특성, 접착필름 수축 특성을 측정하였고, 그 결과를 하기 표 3 및 표 4에 나타내었다.The shear strength, melt viscosity, controller filling property, bonding pad fouling characteristics and adhesive film shrinkage characteristics of the FOD adhesive films prepared in the above Examples and Comparative Examples were measured and the results are shown in Tables 3 and 4.

(1) 전단강도(1) Shear strength

접착층 시편을 크기 5mm×5mm(가로×세로), 두께 500㎛으로 절단된 실리콘 웨이퍼에 롤라미네이터(온도 60℃)를 이용하여 합지한 다음 실리콘 웨이퍼에 맞게 접착층을 재단 후 두께 500㎛의 실리콘 웨이퍼에 롤라미네이터(온도 120℃)를 이용하여 접착하였다. 이를 180℃에서 3시간(약 20℃으로부터 승온 30분)동안 경화 후, Dage4000(상품명, Nordson) 장치를 사용하여, 250℃에서 전단 속도 0.5mm/초의 속도로 전단강도를 측정하였다.The adhesive layer specimen was laminated to a silicon wafer cut to a size of 5 mm × 5 mm (width × length) and 500 μm thick using a roll laminator (temperature: 60 ° C.), and then the adhesive layer was cut in accordance with the silicon wafer. Using a roll laminator (temperature 120 캜). After curing at 180 占 폚 for 3 hours (temperature rise from about 20 占 폚 for 30 minutes), the shear strength was measured at a shear rate of 0.5 mm / sec at 250 占 폚 using a Dage4000 (trade name, Nordson)

(2) 용융점도(2) Melting point

접착필름 시편을 600 ~ 800㎛로 롤라미네이터를 이용하여 적층후 8mm 지름의 원형으로 절단한 다음, ARES G2 Rheometer(상품명, TA사 제조)를 이용하여 페러럴 플레이트법으로 온도 25℃~180℃(승온속도 20℃/분), strain 10%, frequency 5rad/초, force 0.5N으로 측정하였다.The adhesive film specimen was cut to a circular shape with a diameter of 8 mm after being laminated with a roll laminator using a roll laminator at a temperature of 25 ° C to 180 ° C (with a temperature of 25 ° C to 180 ° C) using an ARES G2 Rheometer (trade name, Speed 20 ° C / min), strain 10%, frequency 5 rad / sec, force 0.5 N.

(3) 접착필름 수축특성(3) Shrinkage property of adhesive film

접착필름을 롤라미네이터를 이용하여 3층으로 합지를 진행한 다음 25mm×25mm(가로×세로)의 크기로 절단하여 150℃에서 1시간(상온으로부터의 승온 시간 30분) 경화 후 광학 현미경을 이용하여 초기 대비 수축된 양을 하기 식 1로부터 계산하여 5%를 초과한 경우 "X", 5% 이하의 경우를 "O로 판정하였다.The adhesive film was laminated in three layers using a roll laminator, cut into a size of 25 mm x 25 mm (width x length), cured at 150 ° C for 1 hour (temperature rise time from room temperature) The initial shrinkage amount was calculated from the following formula 1, and it was judged as "X" when it exceeded 5% and "0" when it was 5% or less.

[식 1][Formula 1]

(초기 시편길이 - 경화 후 시편길이) / 초기 시편길이(Initial specimen length - specimen length after curing) / initial specimen length

구분
(중량%)division
(weight%) 실시예1Example 1 실시예2Example 2 실시예3Example 3 실시예4Example 4 실시예5Example 5 실시예6Example 6 실시예7Example 7 실시예8Example 8 실시예9Example 9 전단강도1 ) Shear Strength 1 ) AA AA AA BB AA AA AA AA AA 90℃ 용융점도
(Pa?s)90 ° C Melting point
(Pa? S) 48294829 64196419 48294829 78317831 44024402 81918191 38293829 35173517 34583458 110℃ 용융점도
(Pa?s)110 ° C Melting point
(Pa? S) 30533053 44584458 30533053 54495449 28492849 58195819 24012401 28792879 21552155 용융점도비2 ) Melt viscosity ratio 2 ) 1.581.58 1.441.44 1.581.58 1.441.44 1.551.55 1.411.41 1.591.59 1.221.22 1.601.60 접착필름 수축특성Shrinkage characteristics of adhesive film ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ 1) 전단강도 측정값 : A > 30kgf/cm2, 30kgf/cm2 ≥ B > 10kgf/cm2, A ≤ 10kgf/cm2
2) [수학식 2]
용융점도비=(90℃ 용융점도 / 110℃ 용융점도)1) Shear strength measurement value: A> 30 kgf / cm 2 , 30 kgf / cm 2 ≥ B> 10 kgf / cm 2 , A ≤ 10 kgf / cm 2
2) " (2) "
Melting point ratio = (90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity)

구분
(중량%)division
(weight%) 비교예1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 비교예 5Comparative Example 5 비교예 6Comparative Example 6 비교예 7Comparative Example 7 비교예 8Comparative Example 8 전단강도1 ) Shear Strength 1 ) AA AA BB AA AA CC BB AA 90℃ 용융점도
(Pa?s)90 ° C Melting point
(Pa? S) 60636063 81018101 1579315793 2349.32349.3 10671067 2211322113 29152915 57835783 110℃ 용융점도
(Pa?s)110 ° C Melting point
(Pa? S) 14821482 77117711 1489914899 1089.81089.8 699699 1934819348 20852085 21732173 용융점도비2 ) Melt viscosity ratio 2 ) 4.094.09 1.051.05 1.061.06 2.162.16 1.531.53 1.141.14 1.401.40 2.662.66 접착필름 수축특성Shrinkage characteristics of adhesive film ○○ ○○ ○○ ×× ×× ○○ ×× ○○ 1) 전단강도 측정값 : A > 30kgf/cm2, 30kgf/cm2 ≥ B > 10kgf/cm2, A ≤ 10kgf/cm2
2) [수학식 2]
용융점도비=(90℃ 용융점도 / 110℃ 용융점도)1) Shear strength measurement value: A> 30 kgf / cm 2 , 30 kgf / cm 2 ≥ B> 10 kgf / cm 2 , A ≤ 10 kgf / cm 2
2) " (2) "
Melting point ratio = (90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity)

상기 표 3 및 표 4의 물성 측정 결과를 살펴보면, 실시예 1 ~ 9의 경우, 전반적으로 우수한 전단강도를 가지며, 적정 온도별 용융점도를 가지는 바 우수한 접착필름 수축 특성을 가지는 것을 확인할 수 있었다.The results of the physical properties measurement of Tables 3 and 4 show that Examples 1 to 9 have excellent shear strength as a whole and excellent adhesive film shrinkage characteristics with an appropriate temperature-dependent melt viscosity.

이에 반해, 수학식 1 값이 8을 초과한 비교예 1의 경우, 용융점도비가 크게 증가하는 문제가 있었으며, 수학식 1 값이 3미만인 비교예 2의 경우, 용융점도비가 1.1 미만의 값을 보였다.On the other hand, in the case of Comparative Example 1 in which the value of Equation 1 exceeds 8, there was a problem that the melt viscosity ratio greatly increased, and in Comparative Example 2 in which the value of Equation 1 was less than 3, the melt viscosity ratio was found to be less than 1.1 .

그리고, 열가소성 수지를 35 중량% 초과한 비교예 3의 경우, 열가소성 수지 함량이 매우 높아 용융점도가 과다하며, 용융점도비가 낮은 문제가 있었으며, 열가소성 수지 함량이 10 중량% 미만인 비교예 4의 경우, 흐름성이 과다하여 용융점도가 다소 낮아지는 문제가 있었다. In the case of Comparative Example 3 in which the thermoplastic resin content exceeded 35% by weight, the content of the thermoplastic resin was so high that the melt viscosity was excessive and the melt viscosity ratio was low. In Comparative Example 4 in which the thermoplastic resin content was less than 10% The flowability is excessive and the melt viscosity is somewhat lowered.

또한, 열경화성 수지 함량이 45 중량%를 초과한 비교예 5의 경우, 용융점도가 오히려 크게 낮아지는 문제가 있었고, 열경화성 수지 함량이 15 중량% 미만이었던 비교예 6의 경우, 용융점도비 자체는 적정하지만 110℃에서의 용융점도가 너무 높은 문제가 있었으며, 전단강도가 좋지 않은 문제가 있었다.In the case of Comparative Example 5 in which the content of the thermosetting resin exceeds 45% by weight, there was a problem that the melt viscosity was rather lowered. In Comparative Example 6 where the thermosetting resin content was less than 15% by weight, the melt viscosity ratio itself was adequate There was a problem that the melt viscosity at 110 DEG C was too high and the shear strength was poor.

그리고, 액상 에폭시 수지 및 고상 에폭시 수지의 중량비가 1:0.2 중량비 미만인 비교예 7의 경우, 경화 진행 중 필름 수축이 크게 발생하였고 상온에서 끈적임이 심하여 취급성이 매우 불량하였다. 또한, 액상 에폭시 수지 및 고상 에폭시 수지의 중량비가 1:0.7 중량비를 초과한 비교예 8의 경우, 고상 에폭시 과다사용으로 인해 90℃ 용융점도 대비 110℃ 점도가 너무 낮았으며, 상온에서의 취성이 증가하여 물성 측정시 필름의 깨짐 현상이 발생하는 문제가 있었다.In the case of Comparative Example 7 in which the weight ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin was less than 1: 0.2 by weight, the shrinkage of the film greatly occurred during the curing, and the stickiness was severe at room temperature. In addition, in Comparative Example 8 in which the weight ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin was more than 1: 0.7 by weight, the viscosity at 110 ° C was too low relative to the 90 ° C melting point due to excessive use of the solid epoxy, There is a problem that the film is cracked when the physical properties are measured.

실험예Experimental Example 2 :  2 : FODFOD 접착필름 내 염소 함량 측정 Determination of chlorine content in adhesive films

실시예 1 ~ 6에서 제조한 접착필름 내 염소 함량을 측정하였고, 그 결과를 하기 표 5에 나타내었다.The chlorine content in the adhesive films prepared in Examples 1 to 6 was measured, and the results are shown in Table 5 below.

이때, 염소 함량은 접착층 시편 10g을 채취하여 EN 14582법에 의거하여, 산소를 이용하여 연소시킨 다음, 그 기체를 흡착 용매에 채취하여 이온크로마토그래피를 사용하여 염소 함량을 측정하였다.At this time, 10g of the adhesive layer specimen was collected by using oxygen according to EN 14582 method, and the gas was collected in an adsorption solvent and chlorine content was measured by ion chromatography.

구분
(중량%)division
(weight%) 실시예1Example 1 실시예2Example 2 실시예3Example 3 실시예4Example 4 실시예5Example 5 실시예6Example 6 실시예7Example 7 실시예8Example 8 실시예9Example 9 염소함량
(ppm)Chlorine content
(ppm) 8181 9090 7979 9898 6969 112112 9191 124124 5151

전반적으로 실시예 1 ~ 9의 접착필름이 염소 함량 180 ppm 이하, 바람직하게는 150 ppm 이하, 더욱 바람직하게는 130 ppm 이하의 염소함량을 가지는 것을 확인할 수 있었다.Overall, it was confirmed that the adhesive films of Examples 1 to 9 had a chlorine content of not more than 180 ppm, preferably not more than 150 ppm, more preferably not more than 130 ppm.

제조예Manufacturing example 1 One

(1) 컨트롤러 (1) a controller 다이가Dai 매립된 기판 제작 Fabrication of Embedded Substrate

시판되는 10㎛ 다이어태치용 필름을 사용하여 두께 50㎛, 길이 3mm×5mm(가로×세로) 사이즈의 컨트롤러 칩(다이)을 온도 120℃, 압력 1kg, 시간 1초의 조건으로 PCB 기판 위에 부착하여 컨트롤러가 포함된 기판을 제작하였다.A controller chip (die) having a thickness of 50 μm and a length of 3 mm × 5 mm (width × length) was attached to a PCB substrate at a temperature of 120 ° C., a pressure of 1 kg, and a time of 1 second using a commercially available 10 μm diathertic film, Was prepared.

실시예 1의 접착필름을 준비예에서 제조한 다이싱테이프의 점착제 표면에 롤 라미네이터를 이용하여 상온에서 합지하여, 접착필름과 다이싱테이프가 적층 형태로 만든 다음, 마운트 장치 DT-MWM1030A(상품명, 다이나테크사 제조)를 이용하여 두께 50㎛, 크기 8인치의 웨이퍼에 온도 70℃, 10mm/sec 속도로 라미네이트를 진행하여 다이싱테이프가 포함된 접착필름면에 웨이퍼를 부착하였다. The adhesive film of Example 1 was coated on the surface of the pressure-sensitive adhesive of the dicing tape prepared in Preparation Example The laminate was laminated at room temperature using a roll laminator to form a laminate of an adhesive film and a dicing tape. Then, a wafer having a thickness of 50 占 퐉 and a size of 8 inches was mounted on a wafer at a temperature of 50 占 퐉 using a mounting apparatus DT-MWM1030A (trade name, Laminating was carried out at 70 캜 and at a rate of 10 mm / sec to attach the wafer to the adhesive film surface containing the dicing tape.

이를 다이싱 장치 DFD-6361(상품명, 디스코사 제조)를 이용하여 다이싱 블레이드 ZH05-SD3000-N1-50 CC(상품명, 디스코사 제조)로 회전수 45,000rpm, 블레이드 높이 80㎛, 40mm/초의 속도로 크기 9mm×12mm로 접착필름과 칩을 절단하였다.This (Manufactured by DISCO Corporation) with a dicing blade ZH05-SD3000-N1-50 CC (trade name, manufactured by DISCO Corporation) using a dicing machine DFD-6361 (trade name, manufactured by DISCO Corporation) at a rotation speed of 45,000 rpm and a blade height of 80 m at a speed of 40 mm / The adhesive film and chips were cut with a size of 9 mm x 12 mm.

그 후 자외선 조사 장치 TRSH-3000 (상품명, 세명벡트론)을 이용하여 80 mW/cm2 고압 수은등 하에서 3초간 방치하여 다이싱테이프층을 방사선 경화를 진행하였다.Thereafter, the film was allowed to stand under a high-pressure mercury lamp of 80 mW / cm 2 for 3 seconds by using an ultraviolet irradiator TRSH-3000 (trade name, Semi-Vectron), and the dicing tape layer was irradiated with radiation.

방사선 경화 후 상온에서 30분간 안정화를 위해 방치한 다음 다이본딩 장치 SPA-300S(상품명, 신카와)를 이용하여 니들(NEEDLE) 개수 21, 니들 높이 0.30mm으로 픽업을 진행하여 다이싱테이프로부터 접착필름이 부착된 칩을 떼어낸 다음, 온도 120℃, 압력 1kgf, 시간 1초로 앞서 제작한 컨트롤러 칩이 부착된 기판에 접착하였다.After radiation curing, the film was allowed to stand at room temperature for 30 minutes for stabilization, and pick-up was carried out using a die bonding apparatus SPA-300S (trade name, Shin Kawa) The attached chip was detached, and then bonded to the substrate with the controller chip formed thereon at a temperature of 120 캜, a pressure of 1 kgf, and a time of 1 second.

제조예Manufacturing example 2 ~ 9 및  2 to 9 and 비교제조예Comparative Manufacturing Example 1 ~ 8 1 to 8

상기 제조예 1과 동일한 방법으로 컨트롤러 기판을 제작하되, 상기 실시예 1의 접착필름 대신 실시예 2 ~ 9 및 비교예 1 ~ 8의 접착필름 각각을 사용하여 컨트롤러 다이가 매립된 기판을 각각 제조함으로서, 제조예 2 ~ 9 및 비교제조예 1 ~ 9를 각각 실시하였다.A controller substrate was manufactured in the same manner as in Production Example 1 except that the substrates having the controller dies embedded therein were respectively manufactured using the adhesive films of Examples 2 to 9 and Comparative Examples 1 to 8 instead of the adhesive film of Example 1 , Production Examples 2 to 9 and Comparative Production Examples 1 to 9, respectively.

실험예Experimental Example 3  3

제조예 1 ~ 9 및 비교제조예 1 ~ 8에서 제조한 컨트롤러 다이가 매립된 기판에서 컨트롤러 메움성 및 본딩패트 오염특성을 측정하였고, 그 결과를 하기 표 6에 나타내었다.Controller filling properties and bonding pad fouling characteristics were measured on the substrates on which the controller dies manufactured in Manufacturing Examples 1 to 9 and Comparative Manufacturing Examples 1 to 8 were embedded. The results are shown in Table 6 below.

(1) 컨트롤러 (1) a controller 메움성Burial castle 평가 evaluation

제작된 시편을 가압오븐 PC-01S(상품명, 이레테크사 제조)를 사용하여, 온도 150℃, 1시간(약 25℃부터의 승온 시간 30분), 7기압을 적용하여 경화를 진행한 다음, 초음파 영상 장치 2CH5-LS(상품명, SONIX사 제조)를 이용하여 관찰하여, 보이드가 차지하는 면적이 접착제의 면적 대비 10% 초과한 경우를 "×", 10% 이하의 경우를 "○"로 판정하였다. The prepared specimen was cured using a pressure oven PC-01S (trade name, manufactured by IRE TECH CO., LTD.) At a temperature of 150 ° C for 1 hour (temperature rise time from about 25 ° C for 30 minutes) Was observed using an ultrasound imaging apparatus 2CH5-LS (trade name, manufactured by SONIX), and the case where the area occupied by voids exceeded 10% with respect to the area of the adhesive was evaluated as " X " .

(2) (2) 본딩패드Bonding pad 오염특성 평가 Evaluation of pollution characteristics

제작된 시편을 광학 현미경을 이용하여 관찰하여, 상부 웨이퍼 경계면으로부터 빠져나온 접착층의 길이를 수직으로 계산하여 200㎛을 초과한 경우를 "×", 200um 이하의 경우를 "○"로 판정하였다.The prepared specimens were observed using an optical microscope, and the length of the adhesive layer extending from the upper wafer interface was calculated as "×" when the length exceeded 200 μm and "○" when the length was 200 μm or less.

구분
(중량%)division
(weight%) 실시예1Example 1 실시예2Example 2 실시예3Example 3 실시예4Example 4 실시예5Example 5 실시예6Example 6 실시예7Example 7 실시예8Example 8 실시예9Example 9 컨트롤러 메움성Controller filling property ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ 본딩패드 오염특성Bonding Pad Contamination Characteristics ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ ○○ 구분
(중량%)division
(weight%) 비교예1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 비교예 5Comparative Example 5 비교예 6Comparative Example 6 비교예 7Comparative Example 7 비교예 8Comparative Example 8 컨트롤러 메움성Controller filling property ○○ ×× ×× ○○ ○○ ×× ○○ ○○ 본딩패드 오염특성Bonding Pad Contamination Characteristics ×× ○○ ○○ ×× ×× ○○ ○○ ××

상기 표 6의 물성 측정 결과를 살펴보면, 제조예 1 ~ 9의 경우, 컨트롤러 메움성이 우수하면서도 본딩패드 오염성이 적은 결과를 보임을 확인할 수 있었다.As a result of the measurement of physical properties in Table 6, it was confirmed that, in the case of Production Examples 1 to 9, the controller was excellent in the filling property and the bonding pad stain was little.

열가소성 수지를 35 중량% 초과하여 사용하였던 비교예 3의 경우, 전단강도, 접착필름 수축 특성은 우수했으나(표 4 참조), 상기 표 6의 측정결과를 살펴보면, 컨트롤러 메움성이 좋지 않은 결과를 보였다.In Comparative Example 3 in which the thermoplastic resin was used in an amount exceeding 35% by weight, the shear strength and adhesive film shrinkage characteristics were excellent (see Table 4). However, .

그리고, 다른 비교예 1 ~ 2, 비교예 4 ~ 8의 경우, 컨트롤러 메움성이 좋지 않거나 또는 본딩패드에 대한 오염특성이 좋지 않은 결과를 보였다.In the case of the other comparative examples 1 to 2 and the comparative examples 4 to 8, the controller had poor filling properties or poor bonding properties to the bonding pads.

상기 실시예 및 실험예를 통하여, 본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 접착필름이 컨트롤러 다이를 효과적으로 매립하여 공극에 의한 보이드를 억제하여 신뢰성을 향상시키는 동시에, 외곽으로 흘러나오는 접착층의 양을 최소화하여 접착층의 오염없이 와이어 본딩을 용이할 수 있음을 확인할 수 있었으며, 이러한 본 발명의 컨트롤러 다이 매립형 접착필름은 반도체 패키지, 바람직하게는 FOD 적용 방식의 반도체 패키지에 적용하기에 적합함을 확인할 수 있었다. Through the above-described Examples and Experimental Examples, the controller die-embedded adhesive film of the present invention effectively embeds a controller die to suppress voids caused by voids to improve reliability, while minimizing the amount of adhesive layer flowing out to the outside, And it is confirmed that the controller die-embedded adhesive film of the present invention is suitable for application to a semiconductor package, preferably a semiconductor package of FOD application type.

1, 1' : FOD 접착필름 5: 무기충진제 10, 10' : 기재필름
20 : 컨트롤러 다이 매립형 FOD(Film Over Die) 접착필름
30 : 컨트롤러 다이(칩) 41, 42 : DAF 필름
60 : 본딩 패드 50 : 반도체 칩 70:EMC(Epoxy molding compound)
90 : 와이어 100 : PCB 기판1, 1 ': FOD adhesive film 5: inorganic filler 10, 10': base film
20: Controller Die-buried FOD (Film Over Die) Adhesive Film
30: controller die (chip) 41, 42: DAF film
60: Bonding pad 50: Semiconductor chip 70: Epoxy molding compound (EMC)
90: wire 100: PCB substrate

Claims (13)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 유리전이온도 5℃ ~ 15℃ 및 중량평균분자량 650,000 ~ 1,150,000인 아크릴 공중합체를 포함하는 열가소성 수지 12 ~ 23 중량%; 열경화성 수지 15 ~ 35 중량%; 무기충진제 25 ~ 56 중량%; 경화제 8 ~ 22 중량%; 및 경화촉진제 0.05 ~ 1.5 중량%;를 포함하며,
상기 아크릴 공중합체는 에폭시기 함유 아크릴 공중합체로서, 글리시딜아크릴레이트 2 ~ 20 중량%를 포함하고,
상기 열경화성 수지는 10℃ ~ 35℃에서 액상인 에폭시 수지 및 10℃ ~ 35℃에서 고상인 에폭시 수지를 1 : 0.42 ~ 0.72 중량비로 포함하며,
상기 액상인 에폭시 수지는 에폭시 당량 150 ~ 205 g/eq 및 점도 10,000 ~ 15,000 cps(25℃)이고,
상기 고상인 에폭시 수지는 에폭시 당량 195 ~ 238 g/eq 및 연화점 50 ~ 65℃이며,
상기 경화제는 평균 수산기 당량 110 ~ 130 g/eq 및 연화점 115℃ ~ 125℃인 페놀노볼락계 수지를 포함하며,
상기 열가소성 수지, 열경화성 수지 및 무기충전제를 하기 수학식 1을 만족하도록 포함하고,
FOD 접착필름은 단층 구조 또는 다층 구조로서, FOD 접착필름은 평균두께 50㎛ ~ 180㎛이며,
FOD 접착필름은 전단강도가 30 kgf/cm2 초과 ~ 40 kgf/cm2 이하이고, 전염소 함량이 150 ppm 이하이며, 용융점도가 하기 수학식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 다이 매립형 FOD(Film Over Die) 접착필름;
[수학식 1]
3.2 ≤ (B+C)/A ≤ 7.2
수학식 1에서, A는 접착필름 조성 전체 중량 중 열가소성 수지의 중량%이고, B는 접착필름 조성 전체 중량 중 열경화성 수지 중량%이며, C는 접착필름 조성 전체 중량 중 무기충전제 중량%이고,
[수학식 2]
1.3 ≤ (90℃ 용융점도/110℃ 용융점도) ≤ 1.6
수학식 2에서 90℃ 용융점도 및 110℃ 용융점도는 페러럴 플레이트법에 의거하여 측정한 용융점도값(Pa·s)이며, 상기 110℃ 용융점도는 2,500 ~ 6,000 Pa·s이다.
12 to 23% by weight of a thermoplastic resin comprising an acrylic copolymer having a glass transition temperature of 5 占 폚 to 15 占 폚 and a weight average molecular weight of 650,000 to 1,150,000; 15 to 35% by weight of a thermosetting resin; 25 to 56% by weight of an inorganic filler; 8 to 22% by weight of a hardener; And 0.05 to 1.5% by weight of a curing accelerator,
The acrylic copolymer is an epoxy group-containing acrylic copolymer, which comprises 2 to 20% by weight of glycidyl acrylate,
Wherein the thermosetting resin comprises an epoxy resin in a liquid state at 10 ° C to 35 ° C and an epoxy resin in a solid state at 10 ° C to 35 ° C in a weight ratio of 1: 0.42 to 0.72,
The liquid epoxy resin has an epoxy equivalent of 150 to 205 g / eq and a viscosity of 10,000 to 15,000 cps (25 DEG C)
The solid epoxy resin has an epoxy equivalent of 195 to 238 g / eq and a softening point of 50 to 65 ° C,
Wherein the curing agent comprises a phenol novolac resin having an average hydroxyl equivalent weight of 110 to 130 g / eq and a softening point of 115 to 125 DEG C,
Wherein the thermoplastic resin, the thermosetting resin and the inorganic filler satisfy the following formula (1)
The FOD adhesive film has a single layer structure or a multi-layer structure, and the FOD adhesive film has an average thickness of 50 탆 to 180 탆,
Wherein the FOD adhesive film has a shear strength of more than 30 kgf / cm 2 to less than 40 kgf / cm 2 , a total chlorine content of less than 150 ppm, and a melt viscosity of the controller die-buried type FOD ( Film Over Die) Adhesive Film;
[Equation 1]
3.2? (B + C) / A? 7.2
In the formula (1), A represents the weight% of the thermoplastic resin in the total weight of the adhesive film composition, B represents the weight percentage of the thermosetting resin in the total weight of the adhesive film composition, C represents the weight percentage of the inorganic filler in the total weight of the adhesive film composition,
&Quot; (2) "
1.3? (90 占 폚 melt viscosity / 110 占 폚 melt viscosity)? 1.6
In the formula (2), the melting point of 90 ° C and the melting point of 110 ° C are melt viscosity values (Pa · s) measured according to the parallel plate method, and the 110 ° C melt viscosity is 2,500 to 6,000 Pa · s.
제5항에 있어서, 상기 무기충진제는 평균입경은 0.1㎛ ~ 10㎛인 구상 분말로서, 상기 구상 분말은 알루미나, 실리카, 수산화마그네슘, 탄산칼슘, 티탄산바륨 및 이산화티타늄 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 다이 매립형 FOD 접착필름.
6. The method of claim 5, wherein the inorganic filler is a spherical powder having an average particle diameter of 0.1 to 10 mu m, and the spherical powder includes at least one selected from alumina, silica, magnesium hydroxide, calcium carbonate, barium titanate, and titanium dioxide Wherein the FOD adhesive film is embedded in a controller die.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판;
상기 기판 상부에 실장된 컨트롤러 다이;
상기 기판 상부에 형성된 제5항 또는 제6항의 FOD 접착필름; 및
상기 FOD 접착필름 상에 적층된 반도체 다이;를 포함하며,
상기 컨트롤러 다이의 전부 또는 일부는 FOD 접착필름 내부에 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
Board;
A controller die mounted on the substrate;
An FOD adhesive film according to claim 5 or 6 formed on the substrate; And
And a semiconductor die stacked on the FOD adhesive film,
Wherein all or a part of the controller die is embedded in the FOD adhesive film.
제11항에 있어서, 상기 FOD 접착필름 내 단수 또는 복수개의 수동소자; 및 단수 또는 복수개의 와이어 본드(wire bond);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
12. The method of claim 11, further comprising: providing a single or multiple passive elements in the FOD adhesive film; And a single or a plurality of wire bonds.
제11항에 있어서, 상기 기판 및 실장된 컨트롤러 다이 상에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함하고,
상기 FOD 접착필름과 반도체 다이 사이에 다이싱 다이 어태치 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.12. The method according to claim 11, further comprising a dicing die attach film on the substrate and the mounted controller die,
And a dicing die attach film between the FOD adhesive film and the semiconductor die.
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