KR101935296B1

KR101935296B1 - Suction dampening apparatus

Info

Publication number: KR101935296B1
Application number: KR1020170059024A
Authority: KR
Inventors: 하루히로 마츠나가; 히데카즈 이토; 시게루 하야시모토; 마사토키 이토; 심페이 다케우치
Original assignee: 씨케이디 가부시키 가이샤
Priority date: 2016-11-24
Filing date: 2017-05-12
Publication date: 2019-01-04
Also published as: JP6518643B2; CN108100662A; JP2018085457A; TWI660812B; KR20180058609A; TW201819099A; CN108100662B

Abstract

본 발명은, XYZ 액추에이터의 선단에의 장착에 의해 사용 가능한 흡착 완충 장치로서, 간편하고 저비용인 구성이며, 이송 대상물의 탑재 위치에서의 회전 위치를 장기적으로도 고정밀도의 위치 결정을 가능하게 하는 것을 과제로 한다. 회전축(14a)과 연결되는 구동축(15)의 외주면에 구동축 자석(20)이 설치되고, 가동축(17)과 연결되는 종동축(16)의 내주면에 종동축 자석(21)이 설치되어 있다. 그리고, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 서로 다른 자극으로 착자됨으로써, 구동축(15)과 종동축(16)이 비접촉이고 또한 회전 방향으로는 일체적으로 회전 가능하게 되어 있다. 가동축(17)은, 베어링(30)에 의해, 본체 하우징(13)에 대해 가동축(17)의 축 방향에 직교하는 방향으로 지지된 상태에서, 가동축(17)에 있어서의 축 방향으로의 이동 및 가동축(17)의 회전이 허용되어 있다.The present invention relates to an adsorption shock absorber which can be used by mounting the XYZ actuator on the front end thereof and which has a simple and low-cost structure and is capable of positioning the rotational position at the mounting position of the object to be transported with high precision We will do it. A driving shaft magnet 20 is provided on the outer circumferential surface of a driving shaft 15 connected to the rotating shaft 14a and a driven shaft magnet 21 is provided on the inner circumferential surface of a driven shaft 16 connected to the moving shaft 17. [ The outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 are magnetized with mutually different magnetic poles so that the drive shaft 15 and the driven shaft 16 are not in contact with each other, And is rotatable in all directions. The movable shaft 17 is supported by the bearing 30 in the axial direction of the movable shaft 17 in a state in which the movable shaft 17 is supported in the direction perpendicular to the axial direction of the movable shaft 17 with respect to the main body housing 13 And the rotation of the movable shaft 17 is permitted.

Description

SUCTION DAMPENING APPARATUS

본 발명은 전자 부품 등의 이송 대상물을 흡착하는 흡착 완충 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adsorption shock absorber for adsorbing an object to be conveyed such as an electronic part.

일반적으로, 전자 부품 등의 이송 대상물을 흡착하는 흡착 완충 장치는 액추에이터에 부착되어 있다. 흡착 완충 장치는 이송 대상물을 흡착하는 흡착부를 갖는다. 그리고, 이송 대상물을 흡착부에 의해 흡착할 때에는, 액추에이터를 구동시키고 흡착 완충 장치를 이송 대상물을 향해 이동시켜, 흡착부를 이송 대상물에 가압한다. 이 때, 이송 대상물에 대해 작용하는 가압력이 너무 크면, 이송 대상물이 파손되게 될 우려가 있다. 그러나, 이송 대상물에 대해 작용하는 가압력이 너무 작으면, 흡착부에 의해 이송 대상물을 흡착할 수 없을 우려가 있다.Generally, an adsorption shock absorber for adsorbing an object to be conveyed, such as an electronic part, is attached to an actuator. The adsorption damping device has an adsorption section for adsorbing the object to be conveyed. When the object to be conveyed is attracted by the attracting portion, the actuator is driven to move the attracting shock absorbing device toward the object to be conveyed, and the attracting portion is pressed against the object to be conveyed. At this time, if the pressing force acting on the conveying object is too large, the conveying object may be damaged. However, if the pressing force acting on the conveying object is too small, there is a possibility that the conveying object can not be attracted by the attracting portion.

그래서, 흡착부를 이송 대상물에 가압했을 때, 흡착부에 작용하는 가압 반력을 흡수함으로써, 이송 대상물에 대해 가압력이 과잉으로 작용하게 되는 것을 억제하고, 또한 이송 대상물에 작용하는 가압력을 일정하게 하는 것이, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1의 흡착 패드 홀더는, 고정축의 내주면 및 가동축의 외주면에, 각각 대향하는 면의 자극이 서로 다른 마그넷을 설치한 것이다.It is therefore an object of the present invention to suppress the excessive pressing force on the conveying object by absorbing the pressing reaction force acting on the attracting portion when the attracting portion is pressed against the conveying object and to make the pressing force acting on the conveying object constant, For example, in Patent Document 1. In the suction pad holder of Patent Document 1, magnets having mutually different magnetic poles are provided on the inner circumferential surface of the fixed shaft and the outer circumferential surface of the movable shaft, respectively.

그리고, 가동축의 일 단부인 흡인(吸引)부에 부착된 패드를 이송 대상물에 가압했을 때, 가동축이 고정축에 대해 흡인부와는 반대 측으로 이동한다. 이 때, 고정축의 마그넷과 가동축의 마그넷이 어긋나, 두 마그넷 사이에 어긋남을 원래대로 되돌리고자 하는 자력에 의한 흡인력이 작용한다. 이 흡인력이, 가동축의 이동에 반발하도록 작용하기 때문에, 패드에 작용하는 가압 반력이 흡수된다. 또한, 두 마그넷 사이에 작용하는 흡인력은, 고정축의 마그넷과 가동축의 마그넷의 상대 거리에 관계없이, 거의 동일한 크기이기 때문에, 패드로부터 이송 대상물에 작용하는 가압력이 일정해진다. 이와 같이, 흡착 작업시에 항시 일정한 힘을 작용시키는 자기(磁氣) 스프링에 의한 완충 기능을 제안하고 있다.When the pad attached to the suction part, which is one end of the movable shaft, is pressed against the object to be conveyed, the movable shaft moves to the side opposite to the suction part with respect to the fixed shaft. At this time, the magnet of the fixed shaft is displaced from the magnet of the movable shaft, and a suction force by a magnetic force for returning the deviation between the two magnets is applied. Since this attractive force acts to repel the movement of the movable shaft, the pressing reaction force acting on the pad is absorbed. Further, the attraction force acting between the two magnets is almost the same regardless of the relative distance between the magnets of the fixed shaft and the magnet of the movable shaft, so that the pressing force acting on the object to be conveyed from the pad becomes constant. As described above, a buffering function by a magnetic spring that constantly applies a constant force at the time of the adsorption work is proposed.

일본국 특허 제4522611호 공보Japanese Patent No. 4522611

종래 기술의 흡착 완충 장치에 있어서는, 자신을, XYZ 방향으로 이동 가능한 액추에이터의 선단에 부착함으로써, 이송 대상물의 흡착과 흡착 및 이탈시에 일정 하중으로 완충시킬 수 있지만, 이송 대상물의 탑재 각도의 위치 조정이 필요한 경우에는, 정밀한 위치 조정이 곤란했다. 각도 조정의 방법으로서는, 예를 들면, 모터의 회전축을 흡착 패드 홀더에 연결하고, 이송 대상물이 패드에 흡착된 상태에서, 모터의 회전축을 회전시켜, 흡착 패드 홀더 전체를 가동축의 축선을 회전 중심으로 한 회전 방향으로 회전시킴으로써, 이송 대상물에 있어서의 가동축의 축선을 회전 중심으로 한 회전 방향의 방향을 조정할 수 있다. 그러나, 모터의 회전축의 축선과 가동축의 축선이 일치한 상태에서, 흡착 패드 홀더가 모터의 회전축에 연결되어 있지 않고, 모터의 회전축과 가동축에 축 어긋남이 생겨 있었을 경우, 이송 대상물이 모터의 회전축의 회전에 따라 회전했을 때, 가동축의 축선에 직교하는 평면 방향에서 이송 대상물의 위치가 어긋나게 된다. 모터의 회전축의 축선과 가동축의 축선을 일치시키면서, 흡착 패드 홀더와 모터의 회전축의 연결 작업을 행하는 것은 매우 수고가 든다. 또한, 동작에 의해 발생하는 발진(發塵)에 의해 위치 결정 정밀도의 열화의 우려나, 이재면(移載面)에의 낙하의 우려 등의 과제가 있었다.In the adsorption shock absorber of the prior art, by adhering itself to the tip of the actuator which can be moved in the X, Y, and Z directions, it is possible to buffer the object to be conveyed with a constant load at the time of adsorption and adsorption and desorption of the object to be conveyed. It is difficult to precisely adjust the position. As a method of adjusting the angle, for example, a rotation shaft of a motor is connected to a suction pad holder, and the rotary shaft of the motor is rotated in a state in which the object to be conveyed is attracted to the pad so that the entirety of the suction pad holder is rotated around the axis of the movable shaft It is possible to adjust the direction of the rotation direction with the axis of the movable shaft in the conveyance object as the rotation center. However, when the suction pad holder is not connected to the rotation shaft of the motor in a state in which the axis of the rotation axis of the motor coincides with the axis of the movable axis, and a shaft misalignment occurs between the rotation axis of the motor and the movable axis, The position of the object to be conveyed is shifted in the plane direction orthogonal to the axis of the movable shaft. It is very troublesome to perform the connection operation between the suction pad holder and the rotation shaft of the motor while aligning the axis of the rotation shaft of the motor and the axis of the movable shaft. In addition, there has been a problem of deterioration of the positioning accuracy due to oscillation generated by the operation, and a fear of falling on the transfer surface.

본 발명의 목적은, XYZ 액추에이터의 선단에의 장착에 의해 사용 가능한 흡착 완충 장치로서, 간편하고 저비용인 구성이며, 이송 대상물의 탑재 위치에서의 회전 위치를 장기적으로도 고정밀도의 위치 결정을 가능하게 하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a suction damping device which can be used by mounting the XYZ actuator on the front end thereof and which has a simple and low cost structure and is capable of positioning the rotational position at the mounting position of the object to be transported in a long- .

상기 과제를 해결하는 흡착 완충 장치는, 하우징과, 상기 하우징에 회전 가능하게 지지되는 회전축과, 상기 하우징 내에 수용되고, 상기 회전축과 일체적으로 회전하는 구동축과, 상기 구동축이 내측에 삽입됨과 함께 상기 구동축에 대해 축 방향으로 이동 가능한 통 형상의 종동축과, 상기 종동축과 일체적으로 상기 축 방향으로 이동 가능함과 함께 상기 종동축과는 반대 측의 단부에 이송 대상물을 흡착하는 흡착부를 갖는 가동축과, 상기 구동축의 외주면에 설치되는 통 형상의 구동축 자석과, 상기 종동축의 내주면에 설치됨과 함께 상기 구동축 자석에 대해 상기 축 방향에 직교하는 방향에서 대향 배치되는 통 형상의 종동축 자석을 구비한다. 상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석은, 둘레 방향으로 복수로 자극(磁極)으로서 분할되도록, N극과 S극이 번갈아 착자(着磁)되고, 상기 구동축 자석의 외주면과 상기 종동축 자석의 내주면의 서로 대향하는 면이 서로 다른 자극으로 착자됨으로써, 상기 구동축과 상기 종동축이 비접촉이고 또한 회전 방향으로는 일체적으로 회전 가능하게 되어 있고, 상기 구동축 자석 및 상기 종동축 자석이 비접촉이고 또한 축 방향의 자극의 겹침을 오프셋시키고, 복귀하려고 하는 축 방향의 흡인(吸引)력을 상기 가동축에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능하다. 상기 하우징에는, 상기 가동축이 삽입 통과되는 삽입 통과 구멍이 형성되어 있다. 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에는, 상기 가동축을 상기 하우징에 대해 상기 축 방향에 직교하는 방향으로 지지한 상태에서, 상기 가동축에 있어서의 상기 축 방향으로의 이동 및 상기 가동축의 회전을 허용하는 베어링이 설치되어 있다.A suction damping device for solving the above-mentioned problems comprises a housing, a rotating shaft rotatably supported by the housing, a driving shaft accommodated in the housing and rotating integrally with the rotating shaft, A driven shaft which is movable in the axial direction integrally with the driven shaft and which has an attracting portion for attracting the object to be conveyed on an end opposite to the driven shaft, A tubular drive shaft magnet provided on the outer peripheral surface of the drive shaft and a tubular driven shaft magnet provided on the inner peripheral surface of the driven shaft and disposed opposite to the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction . Wherein the driving shaft magnet and the driven shaft magnet are alternately magnetized in such a manner that the N pole and the S pole are alternately divided into a plurality of magnetic poles in the circumferential direction and the outer peripheral surface of the driving shaft magnet and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet The driving shaft and the slave shaft are noncontact with each other and are integrally rotatable in the rotating direction, and the driving shaft magnet and the slave shaft magnet are not in contact with each other, And is capable of moving in the axial direction while offsetting the overlapping of the magnetic poles and applying an axial attraction force to the movable shaft to return. In the housing, an insertion hole through which the movable shaft is inserted is formed. The movable shaft is moved in the axial direction and the movable shaft is moved between the outer peripheral surface of the movable shaft and the inner peripheral surface of the insertion hole in a state in which the movable shaft is supported in the direction orthogonal to the axial direction with respect to the housing, Bearings are provided to allow rotation.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 베어링은, 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에 배치되는 베어링 외통과, 상기 베어링 외통의 내주면과 상기 가동축의 외주면 사이에 배치됨과 함께 상기 베어링 외통의 내주면과 상기 가동축의 외주면에 접촉하는 복수의 볼과, 상기 베어링 외통의 내주면과 상기 가동축의 외주면 사이에 배치되고, 상기 복수의 볼을 유지하는 통 형상의 유지 부재를 갖고 있으면 된다.Wherein the bearing is disposed between an outer circumferential surface of the movable shaft and an inner circumferential surface of the insertion hole and a bearing outer cylinder disposed between the inner circumferential surface of the bearing outer cylinder and the outer circumferential surface of the movable shaft, And a cylindrical holding member disposed between the inner peripheral surface of the bearing outer cylinder and the outer peripheral surface of the movable shaft and holding the plurality of balls.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 가동축은, 상기 흡착부에 상기 이송 대상물을 흡착하기 위해 공기를 흡인하는 흡인구와, 상기 흡인구와 상기 삽입 통과 구멍의 내부를 연통하는 축내 통로를 갖고, 상기 하우징은, 상기 삽입 통과 구멍의 내부에 연통함과 함께 상기 흡인구, 상기 축내 통로, 및 상기 삽입 통과 구멍 내부의 공기를 빼는 진공 배기용 포트를 갖고, 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에 있어서의 상기 진공 배기용 포트보다 상기 흡인구 측에는, 제1 시일 부재가 설치되어 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, the movable shaft may have a suction port for sucking air to suck the object to be conveyed to the suction section, and an in-shaft passage communicating the inside of the suction port and the insertion hole, And a vacuum exhaust port which communicates with the interior of the insertion hole and through which the suction port, the axial passage, and the air inside the insertion hole are exhausted, wherein a gap between the outer peripheral surface of the movable shaft and the inner peripheral surface of the insertion hole The first seal member may be provided on the suction port side of the vacuum exhaust port of the second vacuum cleaner.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 하우징은, 상기 제1 시일 부재를 수용하는 제1 수용부를 갖고, 상기 제1 시일 부재는 환상(環狀)이고, 상기 가동축의 외주면과의 극간 시일을 구성하는 제1 내주면과, 상기 제1 내주면에 수직인 제1 단부면을 갖고, 대기압과 진공압의 압력차를 작용시킴으로써 상기 제1 단부면에서의 시일력이 작용하고, 상기 제1 시일 부재의 외형 및 두께 방향의 치수는, 상기 제1 수용부에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이면 된다.In the above-described adsorption shock absorber, the housing has a first accommodating portion for accommodating the first seal member, the first seal member is annular, and the first seal member is made of a material that forms a gap between the outer peripheral surface of the movable shaft 1, and a first end surface perpendicular to the first inner circumferential surface, wherein a sealing force acts on the first end surface by operating a pressure difference between an atmospheric pressure and a vacuum pressure, and an outer shape and a thickness The dimension in the direction may be a shape or dimension that is not constrained by the first accommodating portion.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에 있어서의 상기 진공 배기용 포트보다 상기 흡인구와는 반대 측에는, 제2 시일 부재가 설치되어 있고, 상기 하우징은, 상기 제2 시일 부재를 수용하는 제2 수용부를 갖고, 상기 제2 시일 부재는 환상이고, 상기 가동축의 외주면과의 극간 시일을 구성하는 제2 내주면과, 상기 제2 내주면에 수직인 제2 단부면을 갖고, 대기압과 진공압의 압력차를 작용시킴으로써 상기 제2 단부면에서의 시일력이 작용하고, 상기 제2 시일 부재의 외형 및 두께 방향의 치수는, 상기 제2 수용부에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이고, 상기 제2 시일 부재에 있어서의 상기 제2 단부면과는 반대 측의 단부면은, 상기 종동축에 있어서의 상기 가동축 측의 단부면이 맞닿음 가능한 맞닿음 면으로 되어 있으면 된다.The second sealing member is provided on the opposite side of the suction port from the vacuum exhaust port between the outer circumferential surface of the movable shaft and the inner circumferential surface of the insertion hole in the adsorption damping device, Wherein the second seal member has an annular shape and has a second inner peripheral surface constituting a gap between the outer peripheral surface of the movable shaft and a second end surface perpendicular to the second inner peripheral surface , A sealing force acts on the second end surface by operating a pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure, and the outer shape and the dimension in the thickness direction of the second sealing member are not restricted by the second accommodating portion Wherein an end surface of the second sealing member opposite to the second end surface is an abutment surface on which the end surface of the driven shaft on the movable shaft side can abut If the surface is.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 종동축에 있어서의 상기 가동축 측의 단부면이 상기 맞닿음 면에 맞닿아 있는 상태에 있어서, 상기 종동축 자석에 있어서의 상기 가동축 측의 단부면이, 상기 구동축 자석에 있어서의 상기 가동축 측의 단부면보다 상기 가동축과는 반대 측에 위치해 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, in the state in which the end surface of the driven shaft on the movable shaft side abuts against the abutment surface, the end surface of the driven shaft magnet on the side of the movable shaft It may be located on the opposite side of the movable shaft from the end surface of the drive shaft magnet on the side of the movable shaft.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 제1 시일 부재 및 상기 제2 시일 부재는 수지제이면 된다.In the adsorption shock absorber, the first seal member and the second seal member may be made of a resin.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 제1 시일 부재는, 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에 있어서의 상기 베어링보다 상기 흡인구 측에 설치되어 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, the first seal member may be provided on the suction port side of the bearing between the outer circumferential surface of the movable shaft and the inner circumferential surface of the insertion hole.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 가동축의 외주면과 상기 삽입 통과 구멍의 내주면 사이에 있어서의 상기 제1 시일 부재보다 상기 흡인구 측에는, 상기 가동축의 외주면을 따른 협소한 외주 공간이 설치되어 있고, 상기 외주 공간은, 진공 발생기에 접속되어 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, a narrow outer circumferential space is provided along the outer circumferential surface of the movable shaft on the suction side of the first seal member between the outer circumferential surface of the movable shaft and the inner circumferential surface of the insertion hole, The space may be connected to a vacuum generator.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 베어링에 있어서의 상기 복수의 볼에 의해 사이가 떨어지는 상기 가동축과 상기 베어링 외통 사이의 배출 공간은, 진공 발생기에 접속되어 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, the discharge space between the movable shaft and the bearing outer cylinder, which are separated by the plurality of balls in the bearing, may be connected to the vacuum generator.

상기 흡착 완충 장치에 있어서, 상기 배출 공간에는, 대기압과 진공압을 전환 가능하게 공급하기 위한 전환 밸브가 접속되어 있으면 된다.In the adsorption shock absorber, a switching valve for switchingably supplying the atmospheric pressure and the vacuum pressure may be connected to the discharge space.

본 발명에 따르면, 간편하고 저비용인 구성이며, 이송 대상물의 탑재 위치에서의 회전 위치를 장기적으로도 고정밀도의 위치 결정을 가능하게 할 수 있다.According to the present invention, it is possible to position the rotational position at the mounting position of the object to be transported with high accuracy even in the long term.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 흡착 완충 장치를 나타내는 단면도.
도 2는 구동축 자석과 종동축 자석의 관계를 나타내는 단면도.
도 3은 흡착 완충 장치의 일 부분을 확대한 단면도.
도 4는 가동축 및 종동축이 모터 하우징 측을 향해 이동한 상태를 나타내는 단면도.
도 5는 가동축 및 종동축이 모터 하우징 측을 향해 더 이동한 상태를 나타내는 단면도.
도 6은 이송 대상물이 가동축의 돌출 단부의 단부면에 흡착된 상태에서 재치면으로부터 떨어진 상태를 나타내는 단면도.
도 7a는 제2 시일 부재가 수용 구멍으로부터 수용실 측으로 튀어나온 상태를 나타내는 단면도, 도 7b는 제2 시일 부재가 원래의 위치로 복귀한 상태를 나타내는 단면도.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시형태에 있어서의 흡착 완충 장치의 일 부분을 나타내는 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a cross-sectional view showing an adsorption damping device in an embodiment of the present invention. Fig.
2 is a cross-sectional view showing the relationship between a drive shaft magnet and a driven shaft magnet;
3 is an enlarged cross-sectional view of a portion of the adsorption shock absorber.
4 is a cross-sectional view showing a state in which the movable shaft and the driven shaft are moved toward the motor housing side;
5 is a sectional view showing a state in which the movable shaft and the driven shaft are further moved toward the motor housing side;
6 is a cross-sectional view showing a state in which the object to be conveyed is separated from the placement surface in a state in which the object is attracted to the end face of the projecting end of the movable shaft;
Fig. 7A is a cross-sectional view showing a state in which the second seal member protrudes from the receiving hole toward the receiving chamber side, and Fig. 7B is a cross-sectional view showing a state in which the second seal member returns to its original position.
8A and 8B are cross-sectional views showing a part of the adsorption shock absorber according to another embodiment of the present invention.

이하, 흡착 완충 장치를 구체화한 본 발명의 일 실시형태를 도 1 내지 도 7에 따라 설명한다. 본 실시형태의 흡착 완충 장치는, 전자 부품 등의 이송 대상물을 흡착한다. 또한, 흡착 완충 장치는, 도시하지 않은 XYZ 액추에이터의 선단에 장착되어 사용된다.Hereinafter, an embodiment of the present invention in which the adsorption shock absorber is embodied will be described with reference to Figs. 1 to 7. Fig. The adsorption damping device of the present embodiment adsorbs objects to be conveyed such as electronic parts. The adsorption shock absorber is mounted on the tip of an XYZ actuator (not shown).

도 1에 나타내는 바와 같이, 흡착 완충 장치(10)의 하우징(11)은, 모터 하우징(12)과, 모터 하우징(12)에 연결되는 통 형상의 본체 하우징(13)을 갖고 있다. 모터 하우징(12) 내에는, 회전축(14a)을 갖는 모터의 회전자(14)가 내장되어 있다. 본체 하우징(13)은, 본체 하우징(13)의 축 방향이 회전축(14a)의 축 방향과 일치하도록 모터 하우징(12)에 연결되어 있다.1, the housing 11 of the adsorption shock absorber 10 has a motor housing 12 and a cylindrical main housing 13 connected to the motor housing 12. As shown in Fig. A rotor 14 of a motor having a rotation shaft 14a is built in the motor housing 12. [ The main housing 13 is connected to the motor housing 12 such that the axial direction of the main housing 13 coincides with the axial direction of the rotary shaft 14a.

회전축(14a)은, 모터 하우징(12)에 대해 베어링(12a)을 개재하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 회전축(14a)의 양단은, 모터 하우징(12)을 관통해서 모터 하우징(12)의 외부로 돌출되어 있다. 회전축(14a)에 있어서의 본체 하우징(13) 측의 단부는, 모터 하우징(12)을 관통해서 본체 하우징(13)의 내부로 돌출해 있다.The rotary shaft 14a is rotatably supported by the motor housing 12 via a bearing 12a. Both ends of the rotary shaft 14a protrude from the motor housing 12 through the motor housing 12. [ An end of the rotary shaft 14a on the side of the main housing 13 protrudes into the main housing 13 through the motor housing 12. [

흡착 완충 장치(10)는, 회전축(14a)에 연결됨과 함께 회전축(14a)과 일체적으로 회전하는 구동축(15)을 구비하고 있다. 구동축(15)의 축 방향은, 회전축(14a)의 축 방향과 일치한다. 구동축(15)은 회전축(14a) 측에 위치하는 원통 형상의 대(大)직경부(15a), 대직경부(15a)에 연속함과 함께 대직경부(15a)보다 외경이 작은 원 기둥 형상의 소(小)직경부(15b)를 갖는다. 소직경부(15b)는, 대직경부(15a)로부터 회전축(14a)과는 반대 측을 향해 연장되어 있다.The adsorption shock absorber 10 is provided with a drive shaft 15 which is connected to the rotation shaft 14a and rotates integrally with the rotation shaft 14a. The axial direction of the drive shaft 15 coincides with the axial direction of the rotary shaft 14a. The drive shaft 15 has a cylindrical large diameter portion 15a located on the rotary shaft 14a side and a cylindrical cylindrical portion 15b continuous to the large diameter portion 15a and having a smaller outer diameter than the large diameter portion 15a. (Small) diameter portion 15b. The small diameter portion 15b extends from the large diameter portion 15a toward the side opposite to the rotating shaft 14a.

대직경부(15a)의 내측에는, 회전축(14a)에 있어서의 본체 하우징(13) 측의 단부가 삽입되어 있다. 회전축(14a)에 있어서의 대직경부(15a)의 내측에 삽입되어 있는 부위의 외주면에는, 평탄면(14b)이 형성되어 있다. 또한, 회전축(14a)의 직경 방향에 있어서, 대직경부(15a)에 있어서의 평탄면(14b)과 대향하는 부분에는, 암나사 구멍(15h)이 형성되어 있다. 암나사 구멍(15h)에는, 나사(14c)가 나사 결합되어 있다. 나사(14c)의 선단은, 회전축(14a)의 평탄면(14b)에 맞닿아 있다. 이에 따라, 회전축(14a)과 구동축(15)이 나사(14c)를 통해 연결되어 있다.An end of the rotating shaft 14a on the side of the main housing 13 is inserted into the large diameter portion 15a. A flat surface 14b is formed on the outer circumferential surface of a portion of the rotary shaft 14a which is inserted into the inside of the large diameter portion 15a. A female screw hole 15h is formed in a portion of the large diameter portion 15a opposite to the flat surface 14b in the radial direction of the rotary shaft 14a. A screw 14c is screwed into the female thread hole 15h. The tip end of the screw 14c is in contact with the flat surface 14b of the rotary shaft 14a. Thus, the rotary shaft 14a and the drive shaft 15 are connected through the screw 14c.

흡착 완충 장치(10)는, 구동축(15)이 내측에 삽입되는 바닥을 갖는 원통 형상의 종동축(16)을 구비하고 있다. 종동축(16)의 축 방향은 구동축(15)의 축 방향과 일치한다. 종동축(16)은 구동축(15)에 대해 축 방향으로 이동 가능하다. 구동축(15) 및 종동축(16)은, 본체 하우징(13)의 내부에 있어서의 모터 하우징(12) 측에 형성된 수용실(13a) 내에 수용되어 있다. 구동축(15)의 외주면과 종동축(16)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다.The adsorption damping device (10) has a cylindrical driven shaft (16) having a bottom on which the drive shaft (15) is inserted. The axial direction of the driven shaft 16 coincides with the axial direction of the drive shaft 15. [ The driven shaft 16 is movable in the axial direction with respect to the drive shaft 15. The drive shaft 15 and the driven shaft 16 are accommodated in a housing chamber 13a formed on the motor housing 12 side inside the main body housing 13. [ There is a clearance between the outer peripheral surface of the drive shaft 15 and the inner peripheral surface of the driven shaft 16.

흡착 완충 장치(10)는, 종동축(16)에 연결되어 종동축(16)과 일체적으로 축 방향으로 이동 가능한 가동축(17)을 구비하고 있다. 가동축(17)의 축 방향은 종동축(16)의 축 방향과 일치한다. 종동축(16)의 바닥부(16e)에는 나사 삽입 통과 구멍(16h)이 형성되어 있다. 가동축(17)에 있어서의 종동축(16) 측의 단부에는, 암나사 구멍(17h)이 형성되어 있다. 그리고, 나사 삽입 통과 구멍(16h)에 삽입 통과된 체결 나사(18)가 암나사 구멍(17h)에 나사 결합됨으로써, 가동축(17)이, 종동축(16)의 바닥부(16e)에 체결 나사(18)를 통해 연결되어 있다.The adsorption shock absorber 10 is provided with a movable shaft 17 connected to the driven shaft 16 and movable in the axial direction integrally with the driven shaft 16. The axial direction of the movable shaft (17) coincides with the axial direction of the driven shaft (16). A screw insertion hole 16h is formed in the bottom portion 16e of the driven shaft 16. A female screw hole 17h is formed at an end of the movable shaft 17 on the side of the driven shaft 16 side. The fastening screw 18 inserted into the screw insertion hole 16h is screwed into the female screw hole 17h so that the fastening screw 17 is fastened to the bottom portion 16e of the driven shaft 16, (18).

본체 하우징(13)에는, 가동축(17)이 삽입되는 삽입 통과 구멍(13h)이 형성되어 있다. 가동축(17)에 있어서의 종동축(16)과는 반대 측의 단부는, 삽입 통과 구멍(13h)을 통해 본체 하우징(13)의 외부로 돌출되어 있다. 가동축(17)은, 삽입 통과 구멍(13h)으로부터 출몰 가능하게 되어 있다. 가동축(17)은, 흡인구(17a)와, 흡인구(17a)와 삽입 통과 구멍(13h)의 내부를 연통하는 축내(軸內) 통로(17b)를 갖는 중공 기둥 형상이다. 흡인구(17a)는, 가동축(17)에 있어서의 종동축(16)과는 반대 측의 단부인 돌출 단부의 단부면(17e)에 개구하고 있다. The body housing 13 is formed with an insertion hole 13h through which the movable shaft 17 is inserted. An end portion of the movable shaft 17 opposite to the driven shaft 16 is projected to the outside of the main body housing 13 through the insertion hole 13h. The movable shaft 17 is capable of projecting and retracting from the insertion hole 13h. The movable shaft 17 is in the form of a hollow column having a suction port 17a and an axial passage 17b communicating with the inside of the suction port 17a and the insertion hole 13h. The suction port 17a opens at the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17 which is the end opposite to the driven shaft 16.

축내 통로(17b)는, 가동축(17)의 축 방향으로 연장되는 축로(軸路)(171b)와, 가동축(17)의 직경 방향으로 연장되는 경로(徑路)(172b)를 갖는다. 축로(171b)에 있어서의 종동축(16)과는 반대 측의 개구는, 상술한 흡인구(17a)에 상당한다. 또한, 축로(171b)에 있어서의 종동축(16) 측은 암나사 구멍(17h)에 연속되어 있고, 체결 나사(18)와 종동축(16)에 의해, 축로(171b)에 있어서의 종동축(16) 측의 단부가 폐색되어 있다. 경로(172b)는, 축로(171b)에 있어서의 종동축(16) 측과 삽입 통과 구멍(13h)의 내부를 연통하고 있다.The axial passage 17b has an axial passage 171b extending in the axial direction of the movable shaft 17 and a passage 172b extending in the radial direction of the movable shaft 17. The opening of the shaft 171b on the side opposite to the driven shaft 16 corresponds to the aforementioned suction port 17a. The driven shaft 17 side of the shaft 171b is continuous with the female screw hole 17h and is engaged with the driven shaft 16b of the shaft 171b by the tightening screw 18 and the driven shaft 16 Is closed. The path 172b communicates the inside of the insertion hole 13h with the slave axis 16 side of the shaft 171b.

구동축(15)의 소직경부(15b)의 외주면에는, 원통 형상의 구동축 자석(20)이 설치되어 있다. 종동축(16)의 내주면에는, 원통 형상의 종동축 자석(21)이 설치되어 있다. 종동축 자석(21)은, 구동축 자석(20)에 대해 축 방향에 직교하는 방향에서 대향 배치되어 있다. 구동축 자석(20)에 있어서의 축 방향의 길이와 종동축 자석(21)에 있어서의 축 방향의 길이는 같게 되어 있다. 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다.On the outer peripheral surface of the small diameter portion 15b of the drive shaft 15, a cylindrical drive shaft magnet 20 is provided. On the inner peripheral surface of the driven shaft 16, a cylindrical driven shaft magnet 21 is provided. The subordinate axis magnets 21 are opposed to the drive shaft magnet 20 in a direction perpendicular to the axial direction. The axial length of the drive shaft magnet 20 and the axial length of the driven shaft magnet 21 are the same. There is a clearance between the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the follower axis magnet 21.

도 2에 나타내는 바와 같이, 구동축 자석(20)은 둘레 방향으로 복수(본 실시형태에서는 4개)로 자극(磁極)으로서 분할되도록, N극(20a)과 S극(20b)이 번갈아 착자(着磁)해서 구성되어 있다. 종동축 자석(21)은 둘레 방향으로 복수(본 실시형태에서는 4개)로 분할되어, N극(21a)과 S극(21b)이 번갈아 착자되도록 구성되어 있다. 구동축 자석(20)의 각 N극(20a)의 외주면은, 종동축 자석(21)의 각 S극(21b)의 내주면에 대향하고 있다. 구동축 자석(20)의 각 S극(20b)의 외주면은, 종동축 자석(21)의 각 N극(21a)의 내주면에 대향하고 있다. 이와 같이, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 서로 다른 자극으로 착자됨으로써, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면에 있어서 서로 다른 자극끼리가 자력에 의해 마주보고, 서로 끌어당긴 비접촉 상태로 해서, 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전 가능하게 되어 있다. 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이에는 클리어런스가 마련되고, 구동축(15)과 종동축(16)의 축의 편심이 있어도, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면이 접촉하지 않는 구성으로 되어 있다.2, the N-pole 20a and the S-pole 20b are alternately magnetized so that the drive shaft magnet 20 is divided into a plurality of (four in this embodiment) magnetic poles in the circumferential direction, Magnetic). The subordinate axis magnet 21 is divided into a plurality of (four in this embodiment) in the circumferential direction so that the N pole 21a and the S pole 21b are alternately magnetized. The outer circumferential surfaces of the N poles 20a of the drive shaft magnet 20 are opposed to the inner circumferential surfaces of the S poles 21b of the driven shaft magnet 21. [ The outer circumferential surfaces of the S poles 20b of the drive shaft magnet 20 are opposed to the inner circumferential surfaces of the N poles 21a of the driven shaft magnet 21. [ The outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 are magnetized with different magnetic poles so that the outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 The drive shaft 15 and the driven shaft 16 are integrally rotatable in a noncontact state in which mutually different magnetic poles are opposed to each other and are attracted to each other by the magnetic force. A clearance is provided between the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the follower shaft magnet 21 so that even if there is an eccentricity between the axes of the drive shaft 15 and the follower shaft 16, And the inner circumferential surface of the outer circumferential surface 21 does not contact.

도 3에 나타내는 바와 같이, 삽입 통과 구멍(13h)은, 수용실(13a)에 연속하는 원형 구멍 형상의 수용 구멍(131h)과, 수용 구멍(131h)에 있어서의 수용실(13a)과는 반대 측에 연속함과 함께 수용 구멍(131h)의 구멍 직경보다 작은 직경의 소직경 구멍(132h)을 갖는다. 그리고, 수용 구멍(131h)과 소직경 구멍(132h) 사이에는, 가동축(17)의 직경 방향으로 연장되는 환상(環狀)의 단차면(135h)이 형성되어 있다. 또한, 삽입 통과 구멍(13h)은 소직경 구멍(132h)에 있어서의 수용 구멍(131h)과는 반대 측에 연속함과 함께 소직경 구멍(132h)보다 구멍 직경이 큰 직경의 베어링 수용 구멍(133h)과, 베어링 수용 구멍(133h)에 있어서의 소직경 구멍(132h)과는 반대 측에 연속함과 함께 베어링 수용 구멍(133h)보다 구멍 직경이 큰 직경의 원형 구멍 형상의 수용 구멍(134h)을 갖는다. 그리고, 수용 구멍(134h)과 베어링 수용 구멍(133h) 사이에는, 가동축(17)의 직경 방향으로 연장되는 환상의 단차면(136h)이 형성되어 있다.3, the insertion hole 13h has a circular hole-like receiving hole 131h continuous with the receiving chamber 13a and a circular hole-like receiving hole 131h which is continuous with the receiving chamber 13a in the receiving hole 131h Diameter hole 132h having a diameter smaller than the hole diameter of the receiving hole 131h with a continuity on the side of the receiving hole 131h. An annular stepped surface 135h extending in the radial direction of the movable shaft 17 is formed between the receiving hole 131h and the small diameter hole 132h. The insertion hole 13h is continuous with the side opposite to the receiving hole 131h in the small diameter hole 132h and is formed with a bearing receiving hole 133h having a diameter larger than the small diameter hole 132h Diameter hole 132h in the bearing receiving hole 133h and a circular hole-shaped receiving hole 134h having a diameter larger than that of the bearing receiving hole 133h is formed on the side opposite to the small-diameter hole 132h in the bearing receiving hole 133h . An annular stepped surface 136h extending in the radial direction of the movable shaft 17 is formed between the receiving hole 134h and the bearing receiving hole 133h.

가동축(17)의 외주면과 베어링 수용 구멍(133h)의 내주면 사이에는, 베어링(30)이 설치되어 있다. 베어링(30)은, 가동축(17)의 외주면과 베어링 수용 구멍(133h)의 내주면 사이에 배치되는 원통 형상의 베어링 외통(31)과, 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에 배치됨과 함께 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면에 접촉하는 복수의 볼(32)과, 복수의 볼(32)을 유지하는 원통 형상의 유지 부재(33)를 갖고 있다. 유지 부재(33)는, 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에 배치되어 있다. 유지 부재(33)의 축 방향의 길이는, 베어링 외통(31)의 축 방향의 길이보다 짧다. 유지 부재(33)는, 복수의 볼(32)을 전동(轉動) 가능하게 유지하고 있다.A bearing 30 is provided between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the bearing receiving hole 133h. The bearing 30 includes a cylindrical bearing outer cylinder 31 disposed between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the bearing receiving hole 133h and a cylindrical bearing outer cylinder 31 disposed between the inner circumferential surface of the bearing outer cylinder 31 and the inner circumferential surface of the movable shaft 17 A plurality of balls 32 disposed between the outer circumferential surfaces and in contact with the inner circumferential surface of the bearing outer tube 31 and the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and a cylindrical holding member 33 holding a plurality of balls 32 I have. The holding member 33 is disposed between the inner peripheral surface of the bearing outer tube 31 and the outer peripheral surface of the movable shaft 17. The length of the retaining member 33 in the axial direction is shorter than the length of the bearing outer cylinder 31 in the axial direction. The holding member 33 holds a plurality of balls 32 so as to be able to roll.

복수의 볼(32)이 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면에 접촉하고 있기 때문에, 가동축(17)은, 삽입 통과 구멍(13h)의 내부에 있어서, 가동축(17)의 직경 방향으로 예압이 작용한 상태에서 위치 결정되어 있다. 또한, 복수의 볼(32)이 전동 가능하게 유지 부재(33)에 유지되어 있기 때문에, 가동축(17)은 삽입 통과 구멍(13h)의 내부에 있어서, 가동축(17)의 축 방향으로의 이동 및 회전이 가능하다. 따라서, 베어링(30)은, 가동축(17)을 본체 하우징(13)에 대해 가동축(17)의 축 방향에 직교하는 방향으로 지지한 상태에서, 가동축(17)에 있어서의 가동축(17)의 축 방향으로의 이동 및 가동축(17)의 회전을 허용한다.Since the plurality of balls 32 are in contact with the inner peripheral surface of the bearing outer tube 31 and the outer peripheral surface of the movable shaft 17, the movable shaft 17 is movable in the insertion hole 13h by the movable shaft 17 ) In the radial direction of the rotor. Since the plurality of balls 32 are retained in the retaining member 33 so as to be movable in the axial direction of the movable shaft 17 in the insertion hole 13h, Movement and rotation are possible. The bearing 30 is supported by the movable shaft 17 of the movable shaft 17 in a state in which the movable shaft 17 is supported in the direction perpendicular to the axial direction of the movable shaft 17 with respect to the main housing 13 17 in the axial direction and the rotation of the movable shaft 17 are permitted.

본체 하우징(13)은, 삽입 통과 구멍(13h)의 내부에 연통함과 함께, 흡인구(17a), 축내 통로(17b), 및 삽입 통과 구멍(13h)의 내부의 공기를 빼는 진공 배기용 포트(13b)를 갖는다. 진공 배기용 포트(13b)는, 소직경 구멍(132h) 및 베어링 수용 구멍(133h)에 연통하고 있다. 진공 배기용 포트(13b)는, 베어링 외통(31)에 있어서의 소직경 구멍(132h) 측의 개구를 통해 베어링 외통(31)의 내측에 연통하고 있다. 베어링 외통(31)의 내측은, 복수의 볼(32)에 의해 사이가 떨어지는 가동축(17)과 베어링 외통(31) 사이의 배출 공간(31k)이다. 또한, 배출 공간(31k)은 경로(172b)에 연통하고 있다. 진공 배기용 포트(13b)에는, 전환 밸브(13c)를 통해 이젝터 등의 진공 발생기(13d)가 접속되어 있다. 따라서, 배출 공간(31k)은, 진공 배기용 포트(13b)를 통해 전환 밸브(13c)에 접속되어 있다. 또한, 배출 공간(31k)은, 진공 배기용 포트(13b) 및 전환 밸브(13c)를 통해 진공 발생기(13d)에 접속되어 있다. 배출 공간(31k)(진공 배기용 포트(13b))에는, 전환 밸브(13c)의 전환에 의해, 대기압과 진공압이 전환 가능하게 공급된다.The main body housing 13 communicates with the interior of the insertion hole 13h and has a suction port 17a, an axial passage 17b, and a vacuum exhaust port (13b). The vacuum exhaust port 13b communicates with the small-diameter hole 132h and the bearing receiving hole 133h. The vacuum exhaust port 13b communicates with the inside of the bearing outer cylinder 31 through an opening on the small diameter hole 132h side of the bearing outer cylinder 31. [ The inside of the bearing outer cylinder 31 is a discharge space 31k between the movable shaft 17 and the bearing outer cylinder 31 between which the balls 32 fall. Further, the discharge space 31k communicates with the path 172b. A vacuum generator 13d such as an ejector is connected to the vacuum exhaust port 13b through a switching valve 13c. Therefore, the discharge space 31k is connected to the switching valve 13c through the vacuum exhaust port 13b. The discharge space 31k is connected to the vacuum generator 13d via the vacuum exhaust port 13b and the switching valve 13c. The atmospheric pressure and the vacuum pressure are switchably supplied to the discharge space 31k (the vacuum exhaust port 13b) by switching the switching valve 13c.

수용 구멍(134h) 내에는, 수지제의 제1 시일 부재(41)가 수용되어 있다. 따라서, 수용 구멍(134h)은 제1 시일 부재(41)를 수용하는 제1 수용부이다. 제1 시일 부재(41)는, 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 진공 배기용 포트(13b) 및 베어링(30)보다 흡인구(17a) 측에 설치되어 있다. 제1 시일 부재(41)는 둥근 환상이다. 가동축(17)은, 가동축(17)의 외주면이 제1 시일 부재(41)의 내주면에 슬라이딩 접한 상태에서, 제1 시일 부재(41)의 내측에 삽입되어 있고, 가동축(17)의 외주면과 제1 시일 부재(41)의 내주면 사이가 시일되어 있다. 따라서, 제1 시일 부재(41)의 내주면은, 가동축(17)의 외주면과의 극간 시일을 구성하는 제1 내주면(41a)이다.A first sealing member 41 made of resin is accommodated in the receiving hole 134h. Therefore, the receiving hole 134h is the first receiving portion for receiving the first sealing member 41. [ The first seal member 41 is installed on the suction port 17a side from the vacuum exhaust port 13b and the bearing 30 between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the insertion hole 13h . The first seal member 41 is a round annular shape. The movable shaft 17 is inserted into the first seal member 41 while the outer peripheral surface of the movable shaft 17 is in sliding contact with the inner peripheral surface of the first seal member 41, The outer circumferential surface and the inner circumferential surface of the first seal member 41 are sealed. Therefore, the inner circumferential surface of the first seal member 41 is the first inner circumferential surface 41a constituting the gap between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the outer circumferential surface.

또한, 제1 시일 부재(41)는, 진공 배기용 포트(13b)에 진공압이 공급되어 있을 경우에는, 진공 압력과 대기압의 압력차에 의한 힘이 제1 시일 부재(41)의 축 방향으로 작용하여, 단차면(136h)에 맞닿고 단차면(136h)과 제1 시일 부재(41) 사이가 시일된다. 따라서, 제1 시일 부재(41)에 있어서의 단차면(136h)에 맞닿는 단부면은 제1 내주면(41a)에 수직인 제1 단부면(41b)이고, 대기압과 진공압의 압력차를 작용시킴으로써 제1 단부면(41b)에서의 시일력이 작용한다. 제1 시일 부재(41)의 축 방향의 두께는, 수용 구멍(134h)의 깊이보다 얇게 설정되어 있고, 압력차가 생기지 않는 상태에서는 두께 방향의 힘은 발생하지 않는다.The first seal member 41 is configured such that when a vacuum pressure is supplied to the vacuum exhaust port 13b, a force due to a pressure difference between a vacuum pressure and an atmospheric pressure is applied to the first seal member 41 in the axial direction of the first seal member 41 And is in contact with the stepped surface 136h, and the stepped surface 136h and the first sealing member 41 are sealed. Therefore, the end surface of the first seal member 41 abutting against the stepped surface 136h is the first end surface 41b perpendicular to the first inner circumferential surface 41a. By operating the pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure A sealing force acts on the first end face 41b. The thickness of the first seal member 41 in the axial direction is set to be thinner than the depth of the receiving hole 134h and no force in the thickness direction is generated in a state where there is no pressure difference.

제1 시일 부재(41)의 외경은 수용 구멍(134h)의 내경보다 작게 되어 있고, 제1 시일 부재(41)의 외주면과 수용 구멍(134h)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다. 따라서, 직경 방향에도 극간이 마련되어 있기 때문에, 제1 시일 부재(41)는 구속되는 일 없이 가동축(17)에의 슬라이딩 저항을 작게 억제할 수 있음과 함께, 가동축(17)과 제1 시일 부재(41)의 축 어긋남의 영향을 배제하고 있다. 따라서, 제1 시일 부재(41)의 외형 및 두께 방향의 치수는, 수용 구멍(134h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다.The outer diameter of the first seal member 41 is smaller than the inner diameter of the receiving hole 134h and there is a clearance between the outer peripheral surface of the first sealing member 41 and the inner peripheral surface of the receiving hole 134h. Therefore, since the gap is also provided in the radial direction, the sliding resistance of the first seal member 41 to the movable shaft 17 can be suppressed to a small degree without restraint, and the movable shaft 17 and the first seal member The influence of the axial misalignment of the base 41 is eliminated. Therefore, the outer shape and the dimension in the thickness direction of the first seal member 41 are a shape or dimension that is not constrained by the receiving hole 134h.

본체 하우징(13)에 있어서의 모터 하우징(12)과는 반대 측의 단부면에는, 제1 시일 부재(41)에 있어서의 수용 구멍(134h)으로부터의 빠짐을 저지하는 빠짐 방지용 캡(39)이 부착되어 있다. 캡(39)은, 본체 하우징(13)의 외형과 동일 형상이고, 중앙에 관통 구멍(39h)을 갖는다. 가동축(17)은 캡(39)의 관통 구멍(39h)을 통과하고 있다. A stopper cap 39 for preventing the first seal member 41 from coming off from the receiving hole 134h is provided at an end surface of the main housing 13 opposite to the motor housing 12 Respectively. The cap 39 has the same shape as the outer shape of the main housing 13 and has a through hole 39h at the center. The movable shaft 17 passes through the through hole 39h of the cap 39. [

수용 구멍(131h)에는, 수지제의 제2 시일 부재(42)가 수용되어 있다. 따라서, 수용 구멍(131h)은 제2 시일 부재(42)를 수용하는 제2 수용부이다. 제2 시일 부재(42)는, 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 진공 배기용 포트(13b)보다 수용실(13a) 측에 설치되어 있다. 제2 시일 부재(42)는 둥근 환상이다. 가동축(17)은, 가동축(17)의 외주면이 제2 시일 부재(42)의 내주면에 슬라이딩 접한 상태에서, 제2 시일 부재(42)의 내측에 삽입되어 있고, 가동축(17)의 외주면과 제2 시일 부재(42)의 내주면 사이가 시일되어 있다. 따라서, 제2 시일 부재(42)의 내주면은, 가동축(17)의 외주면과의 극간 시일을 구성하는 제2 내주면(42a)이다.The second sealing member 42 made of resin is housed in the receiving hole 131h. Therefore, the receiving hole 131h is the second receiving portion for receiving the second seal member 42. [ The second seal member 42 is provided on the storage chamber 13a side with respect to the vacuum exhaust port 13b between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the insertion hole 13h. The second seal member 42 is a round annular shape. The movable shaft 17 is inserted into the second seal member 42 while the outer peripheral surface of the movable shaft 17 is in sliding contact with the inner peripheral surface of the second seal member 42, The outer circumferential surface and the inner circumferential surface of the second seal member 42 are sealed. The inner circumferential surface of the second seal member 42 is the second inner circumferential surface 42a constituting the gap between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the outer circumferential surface.

또한, 제2 시일 부재(42)는, 진공 배기용 포트(13b)에 진공압이 공급되어 있을 때에는, 진공압과 대기압의 압력차에 의한 힘이 제2 시일 부재(42)의 축 방향으로 작용해서, 단차면(135h)에 맞닿고, 단차면(135h)과 제2 시일 부재(42) 사이가 시일된다. 따라서, 제2 시일 부재(42)에 있어서의 단차면(135h)에 맞닿는 단부면은 제2 내주면(42a)에 수직인 제2 단부면(42b)이고, 대기압과 진공압의 압력차를 작용시킴으로써 제2 단부면(42b)에서의 시일력이 작용한다.The second seal member 42 is configured such that when a vacuum pressure is supplied to the vacuum exhaust port 13b, a force due to a pressure difference between the vacuum pressure and the atmospheric pressure acts in the axial direction of the second seal member 42 So that it abuts against the stepped surface 135h, and the gap between the stepped surface 135h and the second sealing member 42 is sealed. Therefore, the end surface of the second seal member 42 abutting against the step surface 135h is the second end surface 42b perpendicular to the second inner circumferential surface 42a, and by operating the pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure A sealing force acts on the second end face 42b.

제2 시일 부재(42)의 외경은 수용 구멍(131h)의 내경보다 작게 되어 있고, 제2 시일 부재(42)의 외주면과 수용 구멍(131h)의 내주면 사이에는 클리어런스가 있다. 따라서, 직경 방향에도 극간이 마련되어 있기 때문에, 제2 시일 부재(42)는 구속되는 일 없이 가동축(17)으로의 슬라이딩 저항을 작게 억제할 수 있음과 함께, 가동축(17)과 제2 시일 부재(42)의 축 어긋남의 영향을 배제하고 있다. 따라서, 제2 시일 부재(42)의 외형 및 두께 방향의 치수는, 수용 구멍(131h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다.The outer diameter of the second seal member 42 is smaller than the inner diameter of the receiving hole 131h and there is a clearance between the outer peripheral surface of the second sealing member 42 and the inner peripheral surface of the receiving hole 131h. Therefore, since the gap is also provided in the radial direction, the sliding resistance of the second seal member 42 to the movable shaft 17 can be suppressed to a small degree without being constrained, and the movable shaft 17 and the second seal The influence of the axis deviation of the member 42 is excluded. Therefore, the outer shape and the dimension in the thickness direction of the second seal member 42 are a shape or dimension that is not constrained by the receiving hole 131h.

도 1에 나타내는 바와 같이, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면은 제2 시일 부재(42)에 맞닿음 가능하게 되어 있다. 따라서, 제2 시일 부재(42)에 있어서의 제2 단부면(42b)과는 반대 측의 단부면은, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 맞닿음 가능한 맞닿음 면(42c)이 되어 있다. 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태에 있어서, 종동축 자석(21)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면은, 구동축 자석(20)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면보다 가동축(17)과는 반대 측에 위치해 있다.As shown in Fig. 1, the end surface of the driven shaft 16 on the movable shaft 17 side is capable of abutting against the second seal member 42. As shown in Fig. The end face of the second seal member 42 on the opposite side to the second end face 42b is formed so that the end face of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 can be abutted And a contact surface 42c. In the state in which the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42, The end surface on the shaft 17 side is located on the opposite side of the end surface of the drive shaft magnet 20 on the side of the movable shaft 17 from the side of the movable shaft 17.

종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태는, 가동축(17)이 삽입 통과 구멍(13h)으로부터 가장 돌출된 상태이다. 또한, 종동축(16)에 있어서의 모터 하우징(12) 측의 단부면이 모터 하우징(12)에 맞닿아 있는 상태는, 가동축(17)이 삽입 통과 구멍(13h)으로부터 가장 몰입한 상태이다. 가동축(17)이 삽입 통과 구멍(13h)으로부터 가장 몰입한 상태여도, 가동축(17)에 있어서의 종동축(16)과는 반대 측의 단부는, 삽입 통과 구멍(13h)을 통해 본체 하우징(13)의 외부로 돌출되어 있다.The state in which the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42 is a state in which the movable shaft 17 is inserted into the insertion hole 13h As shown in FIG. The state in which the end face of the driven shaft 16 on the motor housing 12 side is in contact with the motor housing 12 is the state in which the movable shaft 17 is most immovable from the insertion hole 13h . The end of the movable shaft 17 on the side opposite to the driven shaft 16 is inserted through the insertion hole 13h into the main body housing 13a even if the movable shaft 17 is most immersed from the insertion hole 13h. (13).

도 4에 나타내는 바와 같이, 도시하지 않은 액추에이터가 구동해서, 액추에이터의 구동에 의해, 흡착 완충 장치(10)가 재치면(W1)에 재치되어 있는 이송 대상물(W)을 향해 이동하여, 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)이 이송 대상물(W)에 축 방향으로부터 가압된다.As shown in Fig. 4, an actuator (not shown) is driven so that the suction damping device 10 is moved toward the conveying object W placed on the placement surface W1 by the driving of the actuator, The end face 17e of the protruding end portion of each of the first and second projecting portions 17 is pressed against the conveying object W in the axial direction.

종동축(16)은, 수용실(13a) 내에서 축 방향으로 이동 가능하게 수용되어 있다. 종동축(16)의 축 방향으로의 이동 가능 범위에 있어서, 종동축 자석(21)은 구동축 자석(20)보다, 자석 단부가 모터 하우징(12) 측에 돌출하도록 배치되어 있다. 따라서, 종동축 자석(21)과 구동축 자석(20)의 단부가 일치하는 방향으로 축 방향의 흡인력이 작용하고 있다. 즉, 가동축(17)이 돌출하는 방향으로 흡인력이 작용하고, 종동축(16)의 바닥부(16e)가 제2 시일 부재(42)의 단부면에 흡인력이 가압력으로서 작용하고 있다. 흡인력인 이 가압력은, 종동축(16)의 가동 범위에 있어서는 위치에 관계없이 일정해지도록, 종동축 자석(21)과 구동축 자석(20)을 축 방향으로 오프셋시켜 구성하고 있다. 구동축 자석(20) 및 종동축 자석(21)은 비접촉이며 또한 축 방향의 자극의 겹침을 오프셋시켜, 복귀하려고 하는 축 방향의 흡인력을 가동축(17)에 작용시키면서 축 방향으로 이동 가능하다.The follower shaft 16 is accommodated movably in the axial direction in the accommodating chamber 13a. The driven shaft magnet 21 is arranged such that the magnet end portion protrudes toward the motor housing 12 side as compared with the drive shaft magnet 20 in the movable range of the driven shaft 16 in the axial direction. Accordingly, the suction force in the axial direction acts in the direction in which the end portions of the driven shaft magnet 21 and the drive shaft magnet 20 coincide with each other. That is, the suction force acts in the direction in which the movable shaft 17 projects, and the suction force acts on the end surface of the second seal member 42 at the bottom portion 16e of the driven shaft 16 as a pressing force. This pressing force which is a suction force is constituted by axially offsetting the driven shaft magnet 21 and the drive shaft magnet 20 so as to become constant regardless of the position in the movable range of the driven shaft 16. [ The driving shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21 are not in contact with each other and offset the overlapping of the magnetic poles in the axial direction and are movable in the axial direction while exerting an axial attraction force on the movable shaft 17 to return.

가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)이 이송 대상물(W)에 가압되면, 가동축(17)에는, 이송 대상물(W)로부터의 가압 반력이 작용하지만, 상기 흡인력에 의한 가압력을 넘을 때까지는, 가동축(17)은 이동을 행하지 않는다. 또한, 가압 동작을 행해 가면, 상기 가압 반력이 흡인력에 의한 가압력과 일치하여 밸런스 상태가 되고, 이송 대상물(W)에는 일정한 가압력이 가해진 상태에서, 가동축(17)이 모터 하우징(12) 측에 이동 가능해진다. 상기 가압력은 일정한 흡인력에 의하기 때문에, 이송 대상물(W)의 높이 방향의 치수 변화가 있어도, 일정한 가압력이 작용하는 완충 기능으로서 작용한다.When the end face 17e of the projecting end of the movable shaft 17 is pressed against the conveying object W, a pressing reaction force from the conveying object W acts on the movable shaft 17, The movable shaft 17 does not move until it is over. When the pressing operation is performed, the pressing reaction force coincides with the pressing force by the suction force and becomes a balanced state. When the movable shaft 17 is moved to the motor housing 12 side in a state where a constant pressing force is applied to the conveying object W It becomes movable. Since the pressing force is based on a constant suction force, even if there is a dimensional change in the height direction of the conveying object W, the pressing force acts as a buffer function by which a constant pressing force acts.

또한, 도 4와 같이 종동축(16)의 바닥부(16e)가 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)으로부터 떨어지면, 제2 시일 부재(42)의 외형 외에도, 두께 방향의 구속이 없어진다. 동작마다 이와 같이 축 어긋남 해제함으로써, 가동축(17)과 제2 시일 부재(42)의 축 어긋남이 있었을 경우에도, 가동축(17)에의 슬라이딩 저항을 낮게 억제한 상태가 유지된다.When the bottom portion 16e of the driven shaft 16 is separated from the abutment surface 42c of the second seal member 42 as shown in Fig. 4, in addition to the outer shape of the second seal member 42, . By releasing the axial displacement in each operation as described above, the state in which the sliding resistance on the movable shaft 17 is suppressed to a low level is maintained even when there is a shaft misalignment between the movable shaft 17 and the second seal member 42.

도 6에 나타내는 바와 같이, 이어서, 전환 밸브(13c)가 구동해서, 진공 배기용 포트(13b)가 진공 발생기(13d)와 접속되고, 흡인구(17a)와 이송 대상물(W) 사이의 공기가 흡인구(17a)로부터 흡인되고, 흡인구(17a)로부터 흡인된 공기가 축내 통로(17b) 및 배출 공간(31k)을 흘러 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나온다. 이에 따라, 이송 대상물(W)에 가압된 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)과 이송 대상물(W) 사이가 진공 상태가 되어, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)에 흡착된다. 따라서, 흡인구(17a)는, 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)에 이송 대상물(W)을 흡착하기 위해 공기를 흡인한다. 그리고, 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)은, 이송 대상물(W)을 흡착하는 흡착부로서 기능한다.The switching valve 13c is driven so that the vacuum exhaust port 13b is connected to the vacuum generator 13d and the air between the suction port 17a and the conveyed object W The air sucked from the suction port 17a and sucked from the suction port 17a flows through the in-shaft passage 17b and the discharge space 31k and sucked from the vacuum exhaust port 13b. This causes a vacuum between the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17 pressed against the conveying object W and the conveying object W so that the conveying object W moves And is adsorbed on the end face 17e of the projecting end portion. The suction port 17a sucks the air to attract the object W to the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17. [ The end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17 functions as a suction portion for suctioning the object W to be conveyed.

그런데, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 가동축(17)이 모터 하우징(12) 측을 향해 이동하면, 가동축(17)의 외주면과 제2 시일 부재(42)의 내주면 사이의 슬라이딩 저항에 의해, 제2 시일 부재(42)가 수용 구멍(131h)으로부터 수용실(13a) 측으로 튀어나오게 되는 경우가 있다. 이 경우에도, 진공 발생기(13d)가 구동하면, 수용실(13a) 내의 공기가 수용 구멍(131h) 및 소직경 구멍(132h)을 흘러 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나옴으로써, 제2 시일 부재(42)가, 이 도 7b에 나타내는 바와 같이, 원래의 위치로 복귀하여, 제2 시일 부재(42)의 제2 단부면(42b)이 단차면(135h)에 맞닿은 상태가 된다. 이 때문에, 제2 시일 부재(42)의 축심은 유지되어 있다.7A, when the movable shaft 17 moves toward the motor housing 12 side, due to the sliding resistance between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the second seal member 42, The second seal member 42 may protrude from the receiving hole 131h toward the containing chamber 13a. In this case also, when the vacuum generator 13d is driven, the air in the storage chamber 13a flows through the receiving hole 131h and the small-diameter hole 132h and sucked from the vacuum exhaust port 13b, The member 42 returns to the original position as shown in Fig. 7B and the second end face 42b of the second seal member 42 comes into contact with the stepped surface 135h. Therefore, the axial center of the second seal member 42 is held.

도 6에 나타내는 바와 같이, 이어서, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)에 흡착된 상태에서, 액추에이터가 Z축 방향으로 구동하고, 액추에이터의 구동에 의해, 흡착 완충 장치(10)가 재치면(W1)과는 반대 측으로 이동한다. 그러면, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21) 사이에 작용하는 흡인력에 의해, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿을 때까지, 이송 대상물(W)을 흡인력에 의한 일정한 힘으로 재치면(W1)에 가압한 상태에서, 가동축(17) 및 종동축(16)이 일체적으로 이동한다. 그리고, 종동축(16)의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿은 상태가 되고, 이송 대상물(W)은 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)에 흡착된 상태에서 재치면(W1)으로부터 떨어진다. 이 후, 이송 대상물(W)을 목적의 이송 위치로 이송한다.6, the actuator is driven in the Z-axis direction in a state in which the object to be transported W is attracted to the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17. By driving the actuator, The adsorption dampers 10 move to the side opposite to the placement surface W1. The end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is abutted against the second seal member 42 by the suction force acting between the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21, The movable shaft 17 and the driven shaft 16 are integrally moved in a state in which the transported object W is pressed against the surface W1 by a constant force by the suction force until it abuts against the surface 42c . The end face of the driven shaft 16 is in contact with the abutment face 42c of the second seal member 42 and the conveyed object W is brought into contact with the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17 (W1) in a state of being adsorbed on the substrate W1. Thereafter, the conveying object W is transferred to a desired conveying position.

이 때, 이송 대상물(W)에 있어서의 가동축(17)의 축선을 회전 중심으로 한 회전 방향의 방향을 조정하는 것이 행해진다. 구체적으로는, 이송 대상물(W)이 가동축(17)의 단부면(17e)에 흡착된 후, 흡착 완충 장치(10)가 상방으로 이동하고, 종동축(16)의 바닥부(16e)가 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 다시 맞닿으면 이송 대상물(W)이 재치면(W1)으로부터 떨어진다. 이 상태에서는, 종동축(16)의 바닥부(16e)는 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 일정 하중으로 가압된 상태이고, 가동축(17)의 상하 이동을 억제하는 힘으로서 작용하고 있다. 다음으로 장치 측에서는, 이송 대상물(W)을 촬상 및 화상 처리함으로써, 탑재 위치에의 보정 거리 및 보정 각도가 연산된다. XYZ 액추에이터는 이재 위치로 XY 이동하면서, 흡착 완충 장치(10) 측은, 회전자(14)가 구동해서, 회전축(14a)이 회전하고, 회전축(14a)의 회전에 따라 구동축(15)이 회전축(14a)과 일체적으로 회전한다. 여기서, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 서로 다른 자극으로 착자되어 있기 때문에, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면에 있어서 서로 다른 자극끼리가 마주보는 상태에서, 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전한다. 이에 따라, 가동축(17)도 종동축(16)과 일체로 회전하고, 이송 대상물(W)에 있어서의 가동축(17)의 축선을 회전 중심으로 한 회전 방향의 방향이 조정된다. 이와 같이, 이 이송 대상물(W)에 있어서의 XY 위치와 회전 방향의 방향(각도)의 조정이 행해진 후, 액추에이터가 Z축 방향으로 강하하고, 이송 대상물(W)이 목적의 이송 위치로 이송된다. 이 때, 도 4에 나타나는 바와 같이, 다시 완충 동작 모드가 되어, 이송 대상물(W)에의 완충이 행해지고, 전환 밸브(13c)에 의해 대기압으로 전환됨으로써, 흡착이 해제된다.At this time, the direction of the rotation direction with the axis of the movable shaft 17 as the rotation center in the conveyance object W is adjusted. Specifically, after the object W to be conveyed is attracted to the end face 17e of the movable shaft 17, the suction damping device 10 moves upward and the bottom portion 16e of the follower shaft 16 When the abutment surface 42c of the second seal member 42 comes into contact again, the conveyed object W falls off the placement surface W1. The bottom portion 16e of the driven shaft 16 is pressed against the abutting surface 42c of the second seal member 42 under a constant load and the vertical movement of the movable shaft 17 is suppressed It acts as a force. Next, on the apparatus side, the correction distance to the mounting position and the correction angle are calculated by imaging and image processing the object W to be transferred. The XYZ actuator moves XY to the disengaged position while the rotor 14 is driven by the suction damping device 10 to rotate the rotary shaft 14a so that the drive shaft 15 rotates along the rotation axis 14a. Since the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the driven shaft magnet 21 are magnetized to different magnetic poles, the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the driven shaft magnet 21 The drive shaft 15 and the driven shaft 16 integrally rotate in a state in which mutually different magnetic poles face each other on the mutually facing surfaces. Thus, the movable shaft 17 also rotates integrally with the driven shaft 16, and the direction of the rotational direction with the axis of the movable shaft 17 as the rotational center of the conveying object W is adjusted. After the adjustment of the XY position and the direction (angle) of the rotation direction of the conveying object W is performed, the actuator is lowered in the Z-axis direction and the conveying object W is conveyed to the desired conveying position . At this time, as shown in Fig. 4, the buffer operation mode is again set to buffer the transfer object W, and the switching valve 13c is switched to the atmospheric pressure to release the adsorption.

여기까지는 이송 대상물(W)의 이송에 대해 설명했지만, 이송처에서, 이송 대상물(W)을 재치면(W1)에, 예를 들면 압입 등의 작업이 필요한 경우가 있다. 이 경우, 도 5에 나타내는 바와 같이, 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)이 이송 대상물(W)에 더 가압되면, 가동축(17) 및 종동축(16)이 일체적으로 더 모터 하우징(12) 측을 향해 이동한다. 그리고, 종동축(16)에 있어서의 모터 하우징(12) 측의 단부면이, 모터 하우징(12)에 맞닿으면, 구동축(15) 및 종동축(16)의 자석에 의한 일정한 흡인력을 넘어, 액추에이터의 구동에 의한 힘이 직접 작용하게 된다. 따라서, 가압력이 일정한 완충 기능 모드로부터, 이송 대상물(W)을 재치면(W1)에 압입하는 압입 기능 모드로 이행한다. 이 때의 압입 조작력은 액추에이터 측의 가압력의 제어에 의해 행해진다.Up to this point, the conveyance of the conveying object W has been described. However, when the conveying object W is placed at the conveying destination, a work such as press-fitting may be required for the conveying object W1 for example. 5, when the end face 17e of the projecting end portion of the movable shaft 17 is further pressed against the conveying object W, the movable shaft 17 and the driven shaft 16 integrally And moves toward the motor housing 12 side. When the end face of the driven shaft 16 on the side of the motor housing 12 abuts on the motor housing 12, the drive force of the drive shaft 15 and the driven shaft 16 exceeds a predetermined attraction force by the magnets, The force by the driving of the actuator directly acts. Therefore, the mode shifts to the push-in function mode in which the object to be conveyed W is pressed into the surface W1 from the buffer function mode in which the pressing force is constant. The press-in operation force at this time is performed by controlling the pressing force on the actuator side.

다음으로, 본 실시형태의 작용에 대해 설명한다.Next, the operation of the present embodiment will be described.

회전축(14a)의 축선과 가동축(17)의 축선이 일치해 있지 않고, 회전축(14a)과 가동축(17)에 축 어긋남이 생겨 있을 경우가 있다. 이 경우에도, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이의 클리어런스가, 회전축(14a)과 가동축(17)의 축 어긋남을 흡수하면서, 회전축(14a)의 회전에 따라, 구동축(15), 종동축(16) 및 가동축(17)이 일체적으로 회전한다. 따라서, 회전축(14a)과 가동축(17)에 축 어긋남이 생겨 있었다고 해도, 이송 대상물(W)이 회전축(14a)의 회전에 따라 회전했을 때, 가동축(17)의 축선에 직교하는 평면 방향에서 이송 대상물(W)의 위치가 어긋나게 되는 것이 억제된다.The axis of the rotary shaft 14a and the axis of the movable shaft 17 do not coincide with each other and the axis of rotation of the rotary shaft 14a and the movable shaft 17 may be displaced. The clearance between the outer circumferential surface of the drive shaft magnet 20 and the inner circumferential surface of the follower axis magnet 21 absorbs the offsets between the axes of the rotary shaft 14a and the movable shaft 17, The driving shaft 15, the driven shaft 16, and the movable shaft 17 integrally rotate. Therefore, even when the axis of rotation of the rotary shaft 14a and the axis of the movable shaft 17 is shifted, when the object W is rotated in accordance with the rotation of the rotary shaft 14a, The position of the conveyed object W is prevented from being shifted.

또한, 가동축(17)이 축 방향으로 이동하거나, 회전하거나 하면, 가동축(17)의 외주면이 제1 시일 부재(41)의 내주면에 슬라이딩 접해서 마모 가루가 발생할 경우가 있다. 또한, 가동축(17)이 축 방향으로 이동하거나, 회전하거나 하면, 가동축(17)의 외주면과 복수의 볼(32)이 슬라이딩 접해서 마모 가루가 발생하거나, 복수의 볼(32)과 베어링 외통(31)의 내주면이 슬라이딩 접해서 마모 가루가 발생하거나 하는 경우가 있다.When the movable shaft 17 moves in the axial direction or rotates, the outer circumferential surface of the movable shaft 17 may come into sliding contact with the inner circumferential surface of the first seal member 41 to cause abrasive dust. When the movable shaft 17 moves in the axial direction or rotates, the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the plurality of balls 32 are in sliding contact with each other to cause abrasive dust, The inner circumferential surface of the outer cylinder 31 may be in sliding contact with the outer circumferential surface of the outer tube 31 to cause abrasion powder.

진공 발생기(13d)가 구동하면, 배출 공간(31k)의 공기가 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나가기 때문에, 상술한 마모 가루도, 가동축(17)의 외주면과 유지 부재(33)의 내주면 사이, 유지 부재(33)의 외주면과 베어링 외통(31)의 내주면 사이, 및 배출 공간(31k)을 통해 공기와 함께 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나간다. 따라서, 마모 가루가 가동축(17)의 외주면과 제1 시일 부재(41)의 내주면 사이를 통해 본체 하우징(13)의 외부로 방출되게 되는 것이 억제된다.When the vacuum generator 13d is driven, the air in the discharge space 31k is sucked from the vacuum exhaust port 13b, so that the abrasion dust described above is also absorbed by the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the holding member 33 The air is sucked from the vacuum exhaust port 13b together with the air through the outer circumferential surface of the retaining member 33 and the inner circumferential surface of the bearing outer tube 31 and through the exhaust space 31k. Therefore, the abrasive powder is prevented from being discharged to the outside of the main housing 13 through the space between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the first seal member 41. [

또한, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태여도, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21) 사이에는, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21)의 축 방향의 어긋남을 되돌리려고 하는 흡인력이 작용한 상태로 되어 있다. 따라서, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태에서는, 제2 시일 부재(42)에 대해 종동축(16)으로부터의 가압력이 작용해 있다. 이 상태에서 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전하면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면과 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)이 슬라이딩한다. 그러나, 제2 시일 부재(42)는 수지제이기 때문에, 예를 들면, 제2 시일 부재(42)가 고무제인 경우에 비하면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면과 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c) 사이의 슬라이딩 저항이 억제되어 있다.Even if the end face of the driven shaft 16 on the movable shaft 17 side is in contact with the abutment face 42c of the second seal member 42, the drive shaft magnet 20 and the driven- A suction force is applied between the drive shaft magnet 20 and the follower shaft magnet 21 to reverse the displacement of the drive shaft magnet 20 in the axial direction. In the state in which the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42, A pressing force is applied from the driven shaft 16. When the driving shaft 15 and the driven shaft 16 are integrally rotated in this state, the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 and the abutting surface 42c slide. Since the second seal member 42 is made of a resin, the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17, as compared with the case where the second seal member 42 is made of rubber, And the abutment surface 42c of the second seal member 42 are suppressed.

상기 실시형태에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.In the above-described embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 회전축(14a)과 연결되는 구동축(15)의 외주면에 구동축 자석(20)이 설치되고, 가동축(17)과 연결되는 종동축(16)의 내주면에 종동축 자석(21)이 설치되어 있다. 그리고, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면의 서로 대향하는 면이 서로 다른 자극으로 착자됨으로써, 구동축(15)과 종동축(16)이 비접촉이며 또한 회전 방향으로는 일체적으로 회전 가능하게 되어 있다. 가동축(17)은, 베어링(30)에 의해, 본체 하우징(13)에 대해 가동축(17)의 축 방향에 직교하는 방향으로 지지된 상태에서, 가동축(17)에 있어서의 축 방향으로의 이동 및 가동축(17)의 회전이 허용되어 있다. 회전축(14a)의 축선과 가동축(17)의 축선이 일치해 있지 않고, 회전축(14a)과 가동축(17)에 축 어긋남이 생겨 있을 경우에도, 구동축 자석(20)의 외주면과 종동축 자석(21)의 내주면 사이에서, 회전축(14a)과 가동축(17)의 축 어긋남이 흡수되면서, 회전축(14a)의 회전에 따라, 구동축(15), 종동축(16) 및 가동축(17)이 일체적으로 회전한다. 따라서, 회전축(14a)과 가동축(17)에 축 어긋남이 생겨 있었다고 해도, 이송 대상물(W)이 회전축(14a)의 회전에 따라 회전했을 때, 가동축(17)의 축선에 직교하는 평면 방향에서 이송 대상물(W)의 위치가 어긋나게 되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 간편하고 저비용인 구성이며, 이송 대상물(W)의 탑재 위치에서의 회전 위치를 장기적으로도 고정밀도의 위치 결정을 가능하게 할 수 있다.(1) A drive shaft magnet 20 is provided on the outer circumferential surface of a drive shaft 15 connected to the rotation shaft 14a and a slave axis magnet 21 is installed on the inner circumferential surface of a slave shaft 16 connected to the movable shaft 17 . The outer peripheral surface of the drive shaft magnet 20 and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet 21 are magnetized with mutually different magnetic poles so that the drive shaft 15 and the driven shaft 16 are not in contact with each other, And is rotatable in all directions. The movable shaft 17 is supported by the bearing 30 in the axial direction of the movable shaft 17 in a state in which the movable shaft 17 is supported in the direction perpendicular to the axial direction of the movable shaft 17 with respect to the main body housing 13 And the rotation of the movable shaft 17 is permitted. Even when the axis of the rotary shaft 14a and the axis of the movable shaft 17 do not coincide with each other and an axis deviation occurs between the rotary shaft 14a and the movable shaft 17, The driving shaft 15, the driven shaft 16, and the movable shaft 17 are driven by the rotation of the rotary shaft 14a while the offsets between the rotary shaft 14a and the movable shaft 17 are absorbed between the inner peripheral surfaces of the rotary shaft 14a and the inner peripheral surface of the rotary shaft 21, Thereby rotating integrally. Therefore, even when the axis of rotation of the rotary shaft 14a and the axis of the movable shaft 17 is shifted, when the object W is rotated in accordance with the rotation of the rotary shaft 14a, The position of the object W to be transferred can be prevented from being shifted. Therefore, it is possible to position the rotational position at the mounting position of the object W with high precision even in the long-term.

(2) 베어링(30)은 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 배치되는 베어링 외통(31)과, 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에 배치됨과 함께 베어링 외통(31)의 내주면과 가동축(17)의 외주면에 접촉하는 복수의 볼(32)과, 복수의 볼(32)을 유지하는 통 형상의 유지 부재(33)를 갖고 있다. 복수의 볼(32)을 이용한 베어링(30)은, 삽입 통과 구멍(13h)의 내부에 있어서, 가동축(17)을, 가동축(17)의 직경 방향으로 예압을 작용시킨 상태에서 위치 결정 정밀도가 높고, 구름 마찰화로 슬라이딩 저항이 극히 낮고, 또한 가동축(17)의 축 방향으로의 이동 및 회전을 허용하는 구성으로서 적합하다.(2) The bearing 30 includes a bearing outer tube 31 disposed between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the insertion hole 13h, an inner circumferential surface of the bearing outer tube 31, And a plurality of balls 32 that contact the inner peripheral surface of the bearing outer tube 31 and the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and a cylindrical holding member 33 for holding the plurality of balls 32 have. The bearing 30 using the plurality of balls 32 is capable of moving the movable shaft 17 in the insertion hole 13h in the radial direction of the movable shaft 17 in a state where a pre- Sliding resistance is extremely low due to rolling friction, and it is suitable as a constitution allowing movement and rotation of the movable shaft 17 in the axial direction.

(3) 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 진공 배기용 포트(13b)보다 흡인구(17a) 측에는, 수지제의 제1 시일 부재(41)가 설치되어 있다. 제1 시일 부재(41)는, 삽입 통과 구멍(13h)의 내부의 공기가, 삽입 통과 구멍(13h)에 있어서의 진공 배기용 포트(13b)보다 흡인구(17a) 측의 개구를 통해 본체 하우징(13)의 외부로 누출되게 되는 것을 억제한다. 또한, 가동축(17)이 축 방향으로 이동하거나 회전하거나 하면, 가동축(17)의 외주면이 제1 시일 부재(41)의 내주면에 슬라이딩 접해서 마모 가루가 발생할 경우가 있다. 삽입 통과 구멍(13h) 내부의 공기가 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나가기 때문에, 마모 가루도 공기와 함께 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나간다. 따라서, 마모 가루가 가동축(17)의 외주면과 제1 시일 부재(41)의 내주면 사이를 통해 본체 하우징(13)의 외부로 방출되게 되는 것을 억제할 수 있다.(3) A resin first sealing member 41 is provided on the suction port 17a side of the vacuum exhaust port 13b between the outer circumferential surface of the movable shaft 17 and the inner circumferential surface of the insertion hole 13h . The first seal member 41 is configured such that the air in the insertion hole 13h passes through the opening on the suction port 17a side of the vacuum exhaust port 13b in the insertion hole 13h, (13). In addition, when the movable shaft 17 is moved or rotated in the axial direction, the outer peripheral surface of the movable shaft 17 may be in sliding contact with the inner peripheral surface of the first seal member 41 to cause abrasive dust. Since the air in the insertion hole 13h is sucked from the vacuum exhaust port 13b, the abrasion dust is sucked from the vacuum exhaust port 13b together with the air. Therefore, it is possible to prevent the abrasive powder from being discharged to the outside of the main body housing 13 through the space between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the first seal member 41. [

(4) 제1 시일 부재(41)의 외형 및 두께 방향의 치수는, 수용 구멍(134h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다. 이에 의하면, 가동축(17)을 제1 시일 부재(41)의 내측에 삽입해 갈 때, 제1 시일 부재(41)에 있어서의 수용 구멍(134h)의 내측에서의 가동축(17)의 직경 방향으로의 이동이 허용된다. 따라서, 가동축(17)과 제1 시일 부재(41)의 장착시의 동축성이나 치수 정밀도에 영향을 받지 않고, 슬라이딩 저항을 낮게 유지할 수 있어, 회전 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.(4) The outer shape and the dimension in the thickness direction of the first seal member 41 are a shape or dimension that is not constrained by the receiving hole 134h. The diameter of the movable shaft 17 inside the receiving hole 134h of the first seal member 41 is set to be larger than the diameter of the movable shaft 17 when the movable shaft 17 is inserted into the first seal member 41. [ Lt; / RTI > Therefore, the sliding resistance can be kept low without being influenced by the coaxiality and the dimensional accuracy at the time of mounting the movable shaft 17 and the first seal member 41, and the rotational positioning accuracy can be improved.

(5) 제2 시일 부재(42)의 외형 및 두께 방향의 치수는, 수용 구멍(131h)에 의해 구속되지 않는 형상 또는 치수이다. 이에 의하면, 가동축(17)을 제2 시일 부재(42)의 내측에 삽입해 갈 때, 제2 시일 부재(42)에 있어서의 수용 구멍(131h)의 내측에서의 가동축(17)의 직경 방향으로의 이동이 허용된다. 따라서, 가동축(17)과 제2 시일 부재(42)의 장착시의 동축성이나 치수 정밀도에 영향을 받지 않고, 슬라이딩 저항을 낮게 유지할 수 있어, 회전 위치 결정 정밀도를 높일 수 있다.(5) The outer shape and the dimension in the thickness direction of the second seal member 42 are a shape or dimension that is not constrained by the receiving hole 131h. The diameter of the movable shaft 17 at the inside of the receiving hole 131h of the second seal member 42 when the movable shaft 17 is inserted into the inside of the second seal member 42 Lt; / RTI > Therefore, the sliding resistance can be kept low without being influenced by the coaxiality and the dimensional accuracy at the time of mounting the movable shaft 17 and the second seal member 42, and the rotational positioning accuracy can be improved.

(6) 제1 시일 부재(41) 및 제2 시일 부재(42)에 의해, 진공 배기용 포트(13b)의 압력 변동이 생기더라도, 제1 시일 부재(41) 및 제2 시일 부재(42)에 작용하는 압력이 밸런스되기 때문에 가동축(17)에 압력 변동이 작용하지 않는다. 또한, 제2 시일 부재(42)에 있어서의 제2 단부면(42b)과는 반대 측의 단부면이, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 맞닿음 가능한 맞닿음 면(42c)으로 되어 있다. 이에 의하면, 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)이, 각도 조정 동작시의 종동축(16)의 스러스트 하중을 받는 베어링을 겸용하고, 각도 조정시의 마찰계수를 감소시킬 수 있어, 회전 위치 오차를 감소시킬 수 있다.(6) Even if the pressure fluctuation of the vacuum exhaust port 13b occurs due to the first seal member 41 and the second seal member 42, the first seal member 41 and the second seal member 42, The pressure acting on the movable shaft 17 does not act. The end face of the second seal member 42 on the opposite side to the second end face 42b is positioned so that the end face of the driven shaft 16 on the movable shaft 17 side can abut And a contact surface 42c. According to this, the abutment surface 42c of the second seal member 42 can also serve as a bearing that receives the thrust load of the driven shaft 16 in the angle adjusting operation, and can reduce the friction coefficient at the time of angle adjustment , The rotational position error can be reduced.

(7) 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태에 있어서, 종동축 자석(21)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면은, 구동축 자석(20)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면보다 가동축(17)과는 반대 측에 위치해 있다. 이에 의하면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태에도, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21) 사이에는, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21)의 축 방향의 어긋남을 되돌리려는 흡인력이 작용한 상태로 되어 있다. 따라서, 종동축(16)의 이동 초기에도, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21) 사이에는, 구동축 자석(20)과 종동축 자석(21)의 축 방향의 어긋남을 되돌리려는 흡인력이 작용하기 때문에, 종동축(16)의 이동 초기에도, 가동축(17)의 돌출 단부의 단부면(17e)이 이송 대상물(W)에 가압받는 가압력을 일정한 가압력으로 할 수 있다.(7) In the state in which the end surface of the driven shaft 16 on the movable shaft 17 side is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42, The end surface of the drive shaft magnet 20 on the side of the movable shaft 17 is located on the opposite side of the end surface of the drive shaft magnet 20 on the side of the movable shaft 17 from the side of the movable shaft 17. Even when the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42, A suction force is applied between the magnets 21 to reverse the displacement of the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21 in the axial direction. Therefore, even in the initial stage of the movement of the driven shaft 16, a suction force is applied between the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21 to return the displacement of the drive shaft magnet 20 and the driven shaft magnet 21 in the axial direction The pressing force that the end face 17e of the projecting end of the movable shaft 17 is pressed against the conveying object W can be set to a constant pressing force even at the beginning of the movement of the driven shaft 16. [

(8) 제1 시일 부재(41) 및 제2 시일 부재(42)는 수지제이다. 이에 의하면, 제1 시일 부재(41) 및 제2 시일 부재(42)가 탄성 부재와 같은 변형이 생기기 어렵고 안정된 저저항 슬라이딩이 얻어진다. 구체적으로는, 예를 들면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)에 맞닿아 있는 상태에서는, 제2 시일 부재(42)에 대해 종동축(16)으로부터의 가압력이 작용하고 있다. 이 때문에, 이 상태에서 구동축(15)과 종동축(16)이 일체적으로 회전하면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면과 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c)이 슬라이딩한다. 그러나, 제2 시일 부재(42)는 수지제이기 때문에, 예를 들면, 제2 시일 부재(42)가 고무제인 경우에 비하면, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면과 제2 시일 부재(42)의 맞닿음 면(42c) 사이의 슬라이딩 저항을 줄일 수 있다.(8) The first seal member 41 and the second seal member 42 are made of resin. According to this, the first seal member 41 and the second seal member 42 are hardly deformed like the elastic member, and stable low-resistance sliding is obtained. Specifically, for example, in a state in which the end surface of the driven shaft 16 on the movable shaft 17 side is in contact with the abutment surface 42c of the second seal member 42, A pressing force is applied to the member 42 from the driven shaft 16. Therefore, when the drive shaft 15 and the driven shaft 16 integrally rotate in this state, the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 and the end surface of the second seal member 42 The contact surface 42c slides. Since the second seal member 42 is made of a resin, the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17, as compared with the case where the second seal member 42 is made of rubber, And the abutment surface 42c of the second seal member 42 can be reduced.

(9) 제1 시일 부재(41)는, 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 베어링(30)보다 흡인구(17a) 측에 설치되어 있다. 이에 의하면, 베어링(30)에서 발진이 생겼다고 해도, 삽입 통과 구멍(13h)의 내부의 공기가 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나가기 때문에, 마모 가루도 공기와 함께 진공 배기용 포트(13b)로부터 빨려 나간다. 따라서, 마모 가루가 가동축(17)의 외주면과 제1 시일 부재(41)의 내주면 사이를 통해 본체 하우징(13)의 외부로 방출되게 되는 것을 억제할 수 있다.(9) The first seal member 41 is provided on the suction port 17a side of the bearing 30 between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the insertion hole 13h. Since the air in the insertion hole 13h is sucked from the vacuum exhaust port 13b even when the bearing 30 generates oscillation, the abrasion dust is discharged from the vacuum exhaust port 13b together with the air It sucks. Therefore, it is possible to prevent the abrasive powder from being discharged to the outside of the main body housing 13 through the space between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the first seal member 41. [

(10) 배출 공간(31k)은 진공 발생기(13d)에 접속되어 있다. 이에 의하면, 진공 발생기(13d)에 의한 진공에 의해 발진의 배출이 행해지기 때문에, 회전 위치 정밀도의 장기 안정화를 도모할 수 있다.(10) The discharge space 31k is connected to the vacuum generator 13d. According to this, since the oscillation is discharged by the vacuum generated by the vacuum generator 13d, the accuracy of the rotational position can be stabilized for a long period of time.

(11) 배출 공간(31k)에는, 대기압과 진공을 전환 가능하게 공급하기 위한 전환 밸브(13c)가 접속되어 있다. 이에 의하면, 전환 밸브(13c)에 의한 전환에 의해, 대기로부터 진공 도달까지를 고속으로 행함으로써, 공기의 배출 속도가 높아져, 배출 효과가 높아진다. 배출 효과가 높아짐으로써, 회전 위치 결정 정밀도의 장기 안정화를 도모할 수 있다.(11) A switching valve 13c for switchingably supplying the atmospheric pressure and the vacuum is connected to the discharge space 31k. According to this, by switching from the atmospheric air to the vacuum by the switching valve 13c at a high speed, the discharge speed of the air is increased, and the discharge effect is enhanced. As the discharge effect is enhanced, the long-term stability of the rotational positioning accuracy can be achieved.

(12) 상기 구성의 흡착 완충 장치(10)에서는, 흡착 완충 장치(10)를 조립할 때에, 회전축(14a)의 축선과 가동축(17)의 축선이 일치하도록, 각 부품의 조립을 행할 필요가 없기 때문에, 흡착 완충 장치(10)의 조립 작업을 용이한 것으로 할 수 있다.(12) In the adsorption shock absorber 10 having the above-described structure, it is necessary to assemble each component so that the axis of the rotary shaft 14a and the axis of the movable shaft 17 coincide with each other when assembling the adsorption shock absorber 10 The assembly work of the adsorption dampers 10 can be facilitated.

또한, 상기 실시형태는 이하와 같이 변경해도 된다.The above embodiment may be modified as follows.

· 도 8a에 나타내는 바와 같이, 본체 하우징(13)은 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 제1 시일 부재(41)보다 진공 배기용 포트(13b)와는 반대 측에 흡인 포트(43)를 더 갖고 있어도 된다. 흡인 포트(43)에는, 배관(43c)을 통해 진공 발생기(13d)가 접속되어 있다. 배관(43c)에 있어서의 진공 발생기(13d) 측의 단부는, 진공 발생기(13d)와 전환 밸브(13c)를 접속하는 접속 배관(13e)에 접속되어 있다.8A, the main housing 13 is connected to the vacuum exhaust port 13b rather than the first seal member 41 between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the insertion hole 13h And the suction port 43 may be further provided on the opposite side. A vacuum generator 13d is connected to the suction port 43 through a pipe 43c. The end of the pipe 43c on the side of the vacuum generator 13d is connected to the connection pipe 13e for connecting the vacuum generator 13d and the switching valve 13c.

삽입 통과 구멍(13h) 내에 있어서, 제1 시일 부재(41)에 대해 베어링(30)과는 반대 측에는 환상의 스페이서(44)가 설치되어 있다. 스페이서(44)의 내측에는 가동축(17)이 삽입 통과되어 있다. 스페이서(44)의 내주면과 가동축(17)의 외주면 사이에는 클리어런스가 있다. 이 클리어런스는, 가동축(17)의 외주면을 따라 협소한 외주 공간(44k)이다. 스페이서(44)에는, 흡인 포트(43)에 연통하는 연통 구멍(44a)이 형성되어 있다. 외주 공간(44k)은, 연통 구멍(44a), 흡인 포트(43), 배관(43c) 및 접속 배관(13e)을 통해 진공 발생기(13d)에 접속되어 있다.An annular spacer 44 is provided on the side opposite to the bearing 30 with respect to the first seal member 41 in the insertion hole 13h. The movable shaft (17) is inserted into the spacer (44). There is a clearance between the inner circumferential surface of the spacer 44 and the outer circumferential surface of the movable shaft 17. This clearance is an outer peripheral space 44k narrowed along the outer peripheral surface of the movable shaft 17. [ A communicating hole 44a communicating with the suction port 43 is formed in the spacer 44. [ The outer peripheral space 44k is connected to the vacuum generator 13d through the communication hole 44a, the suction port 43, the pipe 43c and the connection pipe 13e.

진공 발생기(13d)가 구동하면, 가동축(17)의 외주면과 제1 시일 부재(41)의 내주면 사이에서 발생한 마모 가루가, 외주 공간(44k) 및 연통 구멍(44a)을 흐르는 공기와 함께 흡인 포트(43)로부터 빨려 나간다. 따라서, 마모 가루가 본체 하우징(13)의 외부로 방출되게 되는 것이 억제된다. 이와 같이, 마모 가루를 빨아 내기 위한 흡인 포트(43)를 본체 하우징(13)에 별도 설치함으로써, 항시 흡인 포트(43)로부터 마모 가루를 빨아 내는 것이 가능해진다. 외주 공간(44k)은, 협소하기 때문에, 외주 공간(44k)으로부터 연통 구멍(44a)을 통해 흡인 포트(43)에 빨려 나가는 공기의 유속이 높아져 배출 효과가 크다.When the vacuum generator 13d is driven, the abrasion dust generated between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the first sealing member 41 is sucked together with the air flowing in the outer peripheral space 44k and the communication hole 44a And sucked out from the port 43. Therefore, the abrasion powder is prevented from being discharged to the outside of the main housing 13. As described above, by separately providing the suction port 43 for sucking the abrasive powder in the main housing 13, it is possible to suck the abrasive dust from the suction port 43 at all times. Since the outer circumferential space 44k is narrow, the flow rate of the air sucked from the outer circumferential space 44k through the communication hole 44a to the suction port 43 is increased, and the discharge effect is great.

· 도 8b에 나타내는 바와 같이, 제1 시일 부재(41)가 가동축(17)의 외주면과 삽입 통과 구멍(13h)의 내주면 사이에 있어서의 진공 배기용 포트(13b)보다 흡인구(17a) 측이고, 또한 베어링(30)보다 진공 배기용 포트(13b) 측에 배치되어 있어도 된다. 삽입 통과 구멍(13h)의 내부에는, 가동축(17)의 축 방향에 있어서 제1 시일 부재(41)와 제2 시일 부재(42) 사이에 배치되는 스페이서(45)가 마련되어 있다. 스페이서(45)에는, 경로(172b)와 진공 배기용 포트(13b)를 연통하는 연통 구멍(45a)이 형성되어 있다.The first seal member 41 is located closer to the suction port 17a side than the vacuum exhaust port 13b between the outer peripheral surface of the movable shaft 17 and the inner peripheral surface of the insertion hole 13h And may be disposed closer to the vacuum exhaust port 13b than the bearing 30. A spacer 45 disposed between the first seal member 41 and the second seal member 42 in the axial direction of the movable shaft 17 is provided in the insertion hole 13h. The spacer 45 is formed with a communication hole 45a for communicating the path 172b with the vacuum exhaust port 13b.

· 실시형태에 있어서, 종동축(16)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이 제2 시일 부재(42)에 맞닿아 있는 상태에서, 종동축 자석(21)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면과, 구동축 자석(20)에 있어서의 가동축(17) 측의 단부면이, 가동축(17)의 축 방향에서 동일한 위치여도 된다.In the state in which the end surface of the driven shaft 16 on the side of the movable shaft 17 is in contact with the second seal member 42 in the embodiment, 17 and the end surface of the drive shaft magnet 20 on the side of the movable shaft 17 may be positioned at the same position in the axial direction of the movable shaft 17. [

· 실시형태에 있어서, 베어링(30)으로서, 원통 형상의 미끄럼 베어링을 이용해도 된다.In the embodiment, as the bearing 30, a cylindrical sliding bearing may be used.

· 실시형태에 있어서, 제1 시일 부재(41) 및 제2 시일 부재(42)는 고무제나 금속제여도 된다.In the embodiment, the first seal member 41 and the second seal member 42 may be made of rubber or metal.

· 실시형태에 있어서, 모터가 하우징(11)에 내장되어 있지 않아도 되고, 하우징(11)의 외부에 설치된 모터의 모터축의 회전을, 동력 전달 기구를 통해 회전축(14a)에 전달하는 것과 같은 구성이어도 된다.In the embodiment, the motor may not be housed in the housing 11, or may be configured such that the rotation of the motor shaft of the motor provided outside the housing 11 is transmitted to the rotating shaft 14a through the power transmitting mechanism do.

W…이송 대상물, 10…흡착 완충 장치, 11…하우징, 13b…진공 배기용 포트, 13c…전환 밸브, 13d…진공 발생기, 13h…삽입 통과 구멍, 14a…회전축, 15…구동축, 16…종동축, 17…가동축, 17a…흡인구, 17b…축내 통로, 17e…흡착부로서 기능하는 단부면, 20…구동축 자석, 20a, 21a…N극, 20b, 21b…S극, 21…종동축 자석, 30…베어링, 31…베어링 외통, 31k…배출 공간, 32…볼, 33…유지 부재, 41…제1 시일 부재, 41a…제1 내주면, 41b…제1 단부면, 42…제2 시일 부재, 42a…제2 내 주면, 42b…제2 단부면, 42c…맞닿음 면, 44k…외주 공간, 131h…제2 수용부인 수용 구멍, 134h…제1 수용부인 수용 구멍W ... The transfer object, 10 ... Adsorption buffer, 11 ... Housing, 13b ... Port for vacuum exhaust, 13c ... Switching valve, 13d ... Vacuum generator, 13h ... Insertion hole, 14a ... Rotation shaft, 15 ... Drive shaft, 16 ... Slave axis, 17 ... The movable shaft, 17a ... Suction port, 17b ... The inside passage, 17e ... An end surface serving as a suction portion, 20 ... Drive shaft magnets, 20a, 21a ... N pole, 20b, 21b ... S pole, 21 ... Slave coaxial magnet, 30 ... Bearings, 31 ... Bearing outer tube, 31k ... Discharge space, 32 ... The ball, 33 ... Holding member, 41 ... The first seal member 41a, The first inner circumferential surface, 41b ... The first end face, 42 ... The second seal member, 42a ... The second inner circumferential surface, 42b ... Second end face, 42c ... On the contact surface, 44k ... Outside space, 131h ... The second accommodation accommodating hole, 134h ... The receiving hole

Claims

A housing,
A rotating shaft rotatably supported by the housing,
A drive shaft accommodated in the housing and rotating integrally with the rotation shaft,
A tubular slave shaft having the drive shaft inserted therein and being axially movable with respect to the drive shaft,
A movable shaft which is movable in the axial direction integrally with the driven shaft and has an attracting portion for attracting the object to be conveyed at an end opposite to the driven shaft;
A cylindrical driving shaft magnet provided on the outer peripheral surface of the drive shaft,
And a tubular driven shaft magnet provided on an inner peripheral surface of the driven shaft and disposed opposite to the drive shaft magnet in a direction orthogonal to the axial direction,
Wherein the driving shaft magnet and the driven shaft magnet are alternately magnetized in such a manner that the N pole and the S pole are alternately divided into a plurality of magnetic poles in the circumferential direction and the outer peripheral surface of the driving shaft magnet and the inner peripheral surface of the driven shaft magnet The driving shaft and the slave shaft are noncontact with each other and are integrally rotatable in the rotating direction, and the driving shaft magnet and the slave shaft magnet are not in contact with each other, The movable member being capable of moving in the axial direction while offsetting the overlapping of the magnetic poles and acting on the movable shaft in an axial direction suction force for returning,
The housing has an insertion hole through which the movable shaft is inserted,
The movable shaft is moved in the axial direction and the movable shaft is moved between the outer peripheral surface of the movable shaft and the inner peripheral surface of the insertion hole in a state in which the movable shaft is supported in the direction orthogonal to the axial direction with respect to the housing, A bearing that allows rotation is provided,
The bearing
A bearing outer cylinder disposed between an outer peripheral surface of the movable shaft and an inner peripheral surface of the insertion hole,
A plurality of balls disposed between an inner circumferential surface of the bearing outer tube and an outer circumferential surface of the movable shaft and contacting an inner circumferential surface of the bearing outer tube and an outer circumferential surface of the movable shaft;
And a cylindrical holding member which is disposed between the inner peripheral surface of the bearing outer tube and the outer peripheral surface of the movable shaft and holds the plurality of balls,
Wherein the movable shaft has a suction port for sucking air to suck the object to be conveyed to the suction portion and an in-shaft passage for communicating the inside of the suction hole and the insertion hole,
Wherein the housing has a port for vacuum exhaust which communicates with the inside of the insertion hole and which draws air out of the suction port, the in-shaft passage, and the inside of the insertion hole,
Wherein a first seal member is provided on the suction side of the vacuum exhaust port between the outer peripheral surface of the movable shaft and the inner peripheral surface of the insertion hole.

delete

The method according to claim 1,
The housing has a first accommodating portion for accommodating the first seal member,
Wherein the first seal member is annular and has a first inner circumferential surface constituting a gap between the outer circumferential surface of the movable shaft and a first end surface perpendicular to the first inner circumferential surface,
A sealing force acts on the first end surface by acting a pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure,
Wherein the outer shape and the dimension in the thickness direction of the first seal member are a shape or dimension that is not constrained by the first accommodating portion.

5. The method of claim 4,
A second seal member is provided on the side opposite to the suction port than the vacuum exhaust port between the outer peripheral surface of the movable shaft and the inner peripheral surface of the insertion hole,
The housing has a second accommodating portion for accommodating the second seal member,
The second seal member is annular and has a second inner circumferential surface constituting a gap between the outer circumferential surface of the movable shaft and a second end surface perpendicular to the second inner circumferential surface,
A sealing force acts on the second end face by acting a pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum pressure,
The outer shape and the dimension in the thickness direction of the second seal member are a shape or dimension that is not constrained by the second accommodating portion,
Characterized in that the end surface of the second seal member opposite to the second end surface is a contact surface on which the end surface on the movable shaft side of the follower shaft can abut. shock.

6. The method of claim 5,
Wherein an end surface of the driven shaft magnet on the side of the movable shaft is in contact with the movable surface of the drive shaft magnet in a state in which the end surface of the driven shaft on the side of the movable shaft is in contact with the contact surface, Is located on the opposite side of the movable shaft from the end surface of the shaft side.

6. The method of claim 5,
Wherein the first sealing member and the second sealing member are made of resin.

8. The method according to any one of claims 4 to 7,
Wherein the first seal member is provided on the suction port side of the bearing between the outer circumferential surface of the movable shaft and the inner circumferential surface of the insertion hole.

8. The method according to any one of claims 4 to 7,
A narrow outer circumferential space along the outer circumferential surface of the movable shaft is provided on the suction port side of the first seal member between the outer circumferential surface of the movable shaft and the inner circumferential surface of the insertion hole,
And the outer peripheral space is connected to a vacuum generator.

The method according to claim 1,
Wherein the discharge space between the movable shaft and the bearing outer cylinder separated by the plurality of balls in the bearing is connected to a vacuum generator.

11. The method of claim 10,
Wherein the discharge space is connected to a switching valve for switchingably supplying the atmospheric pressure and the vacuum pressure.