KR101927105B1 - Substrate drying device - Google Patents

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KR101927105B1
KR101927105B1 KR1020180043682A KR20180043682A KR101927105B1 KR 101927105 B1 KR101927105 B1 KR 101927105B1 KR 1020180043682 A KR1020180043682 A KR 1020180043682A KR 20180043682 A KR20180043682 A KR 20180043682A KR 101927105 B1 KR101927105 B1 KR 101927105B1
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김은호
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김은호
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    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/227—Drying of printed circuits
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
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    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/02—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
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Abstract

The present invention relates to a substrate drying apparatus including: a rail (100); a roller (200) which rotates around a rotation center shaft (210) and moves horizontally along the rail (100); a conveying means (300) horizontally moved by the movement of the roller (200); a substrate (700) vertically movable with respect to the conveying means (300); and a drying unit (400) for drying the substrate (700). Accordingly, the present invention can save a space and simplify a process.

Description

기판 건조 장치 {SUBSTRATE DRYING DEVICE} [0001] SUBSTRATE DRYING DEVICE [0002]

본 발명은 인쇄 회로 기판의 기판 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate drying apparatus for a printed circuit board.

이미 알려진 것처럼, 인쇄 회로 기판은 에칭 처리 등의 화학 처리에 의해서 패턴 배선이 형성되고 이 패턴 배선에 의한 복수의 전자 부품을 상호 접속하는 것이다. 이러한 인쇄 회로 기판을 제작하기 위한 하나의 장치로서 전자 부품을 장착하기 위한 구멍을 형성하고 도금 처리를 한 후, 인쇄 회로 기판의 표면을 세척한 후 기판을 건조하는 기판 건조 장치가 있다. As already known, a printed wiring board is formed with pattern wiring by a chemical process such as an etching process, and interconnects a plurality of electronic parts by the pattern wiring. As a device for manufacturing such a printed circuit board, there is a substrate drying apparatus in which a hole for mounting an electronic component is formed, a plating process is performed, the surface of the printed circuit board is cleaned, and the substrate is dried.

이러한 기판 건조 장치는 수평 이송되는 프린트 기판을 건조 처리하기 때문에, 에어 블로우 공정(불로어에 의해 남은 수분을 날리는 공정), 온풍 건조 공정의 각 공정을 실행하는 장치가 수평이고 직선적으로 배치되고 있다.Since such a substrate drying apparatus performs a drying process on a horizontally transported printed substrate, a device for executing each step of an air blow process (a process of blowing moisture left by the blower) and a hot air drying process is horizontally and linearly arranged.

프린트 기판은 위 각 공정을 실행하는 장치에 차례로 이송되면서 건조가 이루어진다.The printed substrate is transferred to the apparatus for executing the above processes one after another and dried.

그러나 이와 같은 각 공정을 실행하는 장치는 수평이며 직선적으로 배치되어 큰 공간을 차지하게 된다.However, the devices for executing each of these processes are arranged horizontally and linearly to occupy a large space.

또한, 에어 블로우 공정 및 온풍 건조 공정 각 장치에는 바람을 발생시키는 블로어(송풍기)를 설치해야 되므로 소비 전력이 커지고 비용이 증가한다.In addition, each device of the air blowing process and the hot air drying process is required to install a blower (blower) for generating wind, so that the power consumption is increased and the cost is increased.

이에 본 발명은 다수의 기판을 수평으로 이송시키는 이송 수단과 상기 이송 수단에 상기 기판을 수직으로 이동하게 하는 벨트를 설치하여 다수의 기판을 동시에 건조하도록 해서 공간 절약화, 전력 절약화 및 저비용을 구현하고자 한다.Accordingly, the present invention provides a space saving, a power saving, and a low cost by arranging a plurality of substrates at the same time by installing a conveying means for horizontally conveying a plurality of substrates and a belt for vertically moving the substrate to the conveying means I want to.

기판 건조 장치와 관련하여 등록 특허 10-1350885호와 10-1342618호가 있으나 이러한 장치들은 다수의 기판을 수평방향 움직임과 수직 방향 움직임을 하게 하는 것과는 차이가 있다.In relation to the substrate drying apparatus, there are the registered patents 10-1350885 and 10-1342618, but these devices are different from the horizontal moving and vertical moving of a plurality of substrates.

본 발명은 다수의 기판이 함께 수평 움직임과 수직 움직임이 이루어지면서 건조할 수 있도록 하여 공간 절약화 및 공정 단순화를 이루고자 한다.In the present invention, a plurality of substrates can be dried together with horizontal movement and vertical movement, thereby achieving space saving and process simplification.

본 발명은 레일(100); 회전 중심축(210)을 중심으로 회전하며 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200); 상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300); 상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700); 상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 포함하는 기판 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rail (100); A roller 200 that rotates about a rotation center axis 210 and moves horizontally along the rail 100; A conveying means 300 horizontally moved by the movement of the roller 200; A substrate (700) vertically movable with respect to the conveying means (300); And a drying unit (400) for drying the substrate (700).

또한, 본 발명에서 상기 레일(100)에는 롤러(200)가 지나가는 속도를 측정하는 센서부(240)가 설치되고, 상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되어 있을 수 있다.In the present invention, the rail 100 is provided with a sensor unit 240 for measuring the speed at which the roller 200 passes, and the rotation center shaft 220 is connected to the chain 220 at the inside of the roller, And may be connected to the transfer plate 310 by two inclined bars 230 on the outer side of the transfer plate 310.

또한, 본 발명에서 상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310), 상기 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390), 상기 4개의 쌍 각각에서 움직이는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381), 및 상기 8개의 벨트 풀리가 각각 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394), 상기 이송 플레이트(310)의 후면부의 하부에 설치되는 3개의 쌍을 이루는 6개의 벨트 풀리(328, 348, 349, 368, 369, 388), 상기 3개의 쌍 각각에서 움직이는 3개의 벨트(323, 343,363)를 포함할 수 있다.The conveying means 300 includes a conveying plate 310 and four pairs of belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, and 370 disposed in front of the conveying plate 310 341, 361, 381 moving in each of the four pairs, and eight rotary shafts (324, 334, 344, 354, 364, Three pairs of six belt pulleys 328, 348, 349, 368, 369, 388 installed at the bottom of the rear portion of the transfer plate 310, Three belts 323, 343, and 363.

또한, 본 발명에서 상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치될 수 있다.In the present invention, eight belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390 constituting the four pairs and eight rotary shafts 324, 334, 344, 354 , 364, 374, 384, and 394 may be installed at the lower portion of the transfer plate 310 and the remaining four may be installed at the upper portion.

또한, 본 발명에서 하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이루고, 상기 3개의 벨트에 의하여 상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 하부에 설치된 회전축(324, 344, 364, 384)이 동시에 회전할 수 있다.In the present invention, the belt pulleys 320, 340, 360 and 380 installed at the lower part and the belt pulleys 330, 350, 370 and 390 installed at the upper part are paired, The rotating shafts 324, 344, 364, and 384 provided at the lower portion of the rotating shaft 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384,

또한, 본 발명에서 상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함하고, 상기 8개의 회전축 각각은 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)에 의하여 이송플레이(310)에 상대적인 회전이 이루어질 수 있다.In the present invention, the drying unit 400 includes an upper opening 410, an internal compressed air injection nozzle 420, and a hot air fan 430 installed below the compressed air injection nozzle 420, Each of the rotating shafts is provided with a pair of bearings 325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b, Relative to the transporting platform 310 by brackets 327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b, Rotation can be achieved.

또한, 본 발명에서 상기 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 4개의 기판이 동시에 이송 플레이트(310)에 대하여 수직으로 이동이 가능하다.Further, in the present invention, the substrate fixing portions 322, 342, 362, and 382 are provided at the ends of the four belts, so that the four substrates can be moved vertically to the transfer plate 310 at the same time.

또한, 본 발명에서 상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394) 각각에는 쌍을 이루는 나사산부(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)와 각각의 나사산부에 체결되는 너트(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)가 설치되어 상기 8개의 회전축 각각이 베어링에 대하여 축방향 움직임이 고정될 수 있다.324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 344b, 344b, 344b, 344b, 344a, 344b, 364a, 364b, 374a, 374b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b and the nuts 324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 384a, 384b, 394a, 394b are provided so that the axial movement of each of the eight rotary shafts with respect to the bearing can be fixed.

또한, 본 발명에서 상기 기판 건조 장치는 압축 공기 분사 노즐(420)에 압축 공기를 공급하는 압축기(600)와 상기 온풍기(430)에 전력을 공급하는 전원부(500)를 추가로 포함하고, 상기 레일(100)에는 센서부(240)에서 측정한 롤러(200)의 이동 속도에 기초하여 윤활유를 공급하는 윤활유 공급부(250)가 설치되어 있고, 상게 센서부(240)는 제1 수평바(241), 상기 제1 수평바와 평행한 제2 수평바(242), 상기 제1수평바와 제2수평바를 연결하는 수직바, 상기 제1 수평바 및 제2수평바에 설치된 발광 소자(244) 및 수광 소자(245)를 포함할 수 있다.The apparatus for drying a substrate according to the present invention may further include a compressor 600 for supplying compressed air to the compressed air injection nozzle 420 and a power source 500 for supplying power to the fan 430, A lubricant supply part 250 for supplying a lubricant based on the moving speed of the roller 200 measured by the sensor part 240 is installed in the first horizontal bar 241, , A second horizontal bar (242) parallel to the first horizontal bar, a vertical bar connecting the first horizontal bar and the second horizontal bar, a light emitting element (244) provided on the first horizontal bar and the second horizontal bar, 245).

또한, 본 발명에서 상기 롤러(200)의 회전 중심축(210)은 상기 발광 소자와 수광 소자 사이를 지나갈 수 있다.In addition, in the present invention, the rotation center axis 210 of the roller 200 may pass between the light emitting element and the light receiving element.

또한, 본 발명에서 상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란할 수 있다.Also, in the present invention, the belt pulleys installed at the upper and lower portions may be parallel to each other in the horizontal direction.

또한, 본 발명에서 상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결되고, 상기 4개의 회전축중 앞면에서 보았을때 가장 오른쪽에 있는 제4 회전축(384)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제6 벨트 풀리(388)가 설치되며, 상기 4개의 회전축 중 제1 회전축(324)의 바로 옆의 제2 회전축(344)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제2 내지 제3 벨트 풀리(348, 349)가 설치될 수 있다.In the present invention, one of the four rotary shafts 324, 344, 364, and 384 installed on the lower side is provided with a first belt pulley 324 on the rear side of the transfer plate 310, And an end of the rotary shaft 324 is connected to the shaft of the motor 800 by a coupling 329. A fourth rotary shaft 384, which is the rightmost one of the four rotary shafts, A sixth belt pulley 388 is provided on the rear side of the transfer plate 310 and a second rotary shaft 344 of the four rotary shafts is provided on the rear side of the transfer plate 310, Two second to third belt pulleys 348 and 349 may be installed.

또한, 본 발명에서 상기 4개의 회전축 중 제4 회전축(384)의 바로 옆의 제3 회전축(364)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제4 내지 제5 벨트 풀리(369, 368)가 설치되고, 제1 벨트 풀리(328)와 제2벨트 풀리(348), 제3 벨트 풀리(349)와 제4벨트 풀리(369), 제5벨트 풀리(368)와 제6벨트 풀리(388)가 각각 벨트(323, 343, 363)에 의해 연결되어 쌍을 이루게 된다.In the present invention, two fourth to fifth belt pulleys 369 and 368 are provided at the rear side of the transfer plate 310 at the third rotary shaft 364 immediately adjacent to the fourth rotary shaft 384 of the four rotary shafts And the first belt pulley 328 and the second belt pulley 348, the third belt pulley 349 and the fourth belt pulley 369, the fifth belt pulley 368 and the sixth belt pulley 388 And are connected by belts 323, 343, and 363, respectively, to form a pair.

본 발명에서는 다수의 기판이 함께 수평 움직임과 수직 움직임이 이루어질 수 있도록 하여 적은 시간에 많은 기판을 건조시킬 수 있다.In the present invention, a plurality of substrates can be horizontally moved and vertically moved together, thereby drying a large number of substrates in a short time.

또한, 기판이 수평 움직임과 수직 움직임이 모두 이루어지므로 장치가 설치되는 장소의 공간을 최대한 이용할 수 있게 되었다.In addition, since the horizontal movement and the vertical movement of the substrate are both performed, it is possible to maximize the use of the space where the apparatus is installed.

도 1은 본 발명의 기판 건조 장치의 전체 도면이다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 부분에 대한 확대 도면이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에서 표시된 화살표 방향에서 본 투시도면이다.
도 4는 본 발명 이송 레일부의 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 기판 건조부의 확대도이다.1 is an overall view of a substrate drying apparatus of the present invention.
2 is an enlarged view of the substrate transfer portion of the present invention.
3A to 3D are perspective views seen from the arrow direction shown in Fig.
4 is an enlarged perspective view of a conveyance rail according to the present invention.
5 is an enlarged view of the substrate drying section of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.

도 1은 본 발명의 기판 건조 장치의 전체 도면으로, 레일(100), 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200), 상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300), 상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700), 상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 도시하고 있다.FIG. 1 is an overall view of a substrate drying apparatus according to the present invention, which includes a rail 100, a roller 200 moving horizontally along the rail 100, a conveying means 300 horizontally moved by the movement of the roller 200 A substrate 700 capable of moving vertically with respect to the conveying means 300, and a drying unit 400 for drying the substrate 700.

상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함한다.The drying unit 400 includes an upper opening 410, an internal compressed air injection nozzle 420 and a hot air fan 430 installed under the compressed air injection nozzle 420.

또한, 상기 기판 건조 장치는 압축 공기 분사 노즐(420)에 배관(620)을 통해 압축 공기를 공급하는 압축기(600)와 상기 온풍기(430)에 전력을 공급하는 전원부(500)를 추가로 포함하고 있으며, 배관(620)에는 밸브(610)가 설치되어 공급되는 압축 공기를 제어할 수 있다.The substrate drying apparatus further includes a compressor 600 for supplying compressed air to the compressed air injection nozzle 420 through a pipe 620 and a power supply unit 500 for supplying power to the fan motor 430 And a valve 610 is installed in the pipe 620 to control the compressed air supplied.

도 2는 본 발명의 기판 이송 부분에 대한 확대 도면이며 도 3a 내지 도 3d는 도 2에서 표시된 화살표 방향에서 본 투시도이다. Fig. 2 is an enlarged view of the substrate transferring portion of the present invention, and Figs. 3a to 3d are perspective views seen in the direction of an arrow shown in Fig.

레일(100)을 따라 이송하는 롤러(200)는 회전 중심축(210)을 중심으로 회전한다.The roller 200 that moves along the rail 100 rotates about the rotation center shaft 210.

상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되어 있다.The rotation center shaft 220 is connected to the chain 220 at the inner side of the roller and to the transfer plate 310 by two inclined bars 230 at the outer side of the roller.

상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)가 설치되고, 상기 4개의 쌍 각각에서는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381)가 작동된다.The conveying means 300 is provided with four pairs of belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390 arranged in the front portion of the conveying plate 310, In each pair, four belts 321, 341, 361 and 381 are operated.

상기 8개의 벨트 풀리는 각각 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)에 체결되어 있다.The eight belt pulleys are fastened to eight rotation shafts 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, and 394, respectively.

상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치되며, 하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이룬다.The four pairs of eight belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390 and the eight rotary shafts 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384 and 394 are installed at the lower part of the transfer plate 310 and the remaining four are installed at the upper part and the belt pulleys 320, 340, 360 and 380 installed at the lower part and the belt pulleys 330, 350, 370, 390).

상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란하다.The belt pulleys installed at the upper and lower portions are parallel to each other in the horizontal direction.

상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결된다.One first belt pulley 328 is installed at the rear side of the transfer plate 310 at the first rotary shaft 324 located at the leftmost side of the four rotary shafts 324, 344, 364, And the end of the rotation shaft 324 is connected to the shaft of the motor 800 by a coupling 329.

상기 모터는 브라켓(810)에 의하여 이송 플레이트(310)에 고정된다.The motor is fixed to the transfer plate 310 by a bracket 810.

상기 모터(800)가 회전하면 제1회전축(324)이 회전하면서, 전면부 쪽의 벨트 풀리(320)와 후면 쪽의 제1 벨트 풀리(328)가 회전한다.When the motor 800 rotates, the first rotation shaft 324 rotates, and the belt pulley 320 on the front side and the first belt pulley 328 on the rear side rotate.

벨트 풀리(320)가 회전하면 쌍을 이루는 벨트 풀리(330)도 회전하면서 벨트(321)의 길이가 조절되어 벨트(321)에 연결된 기판(700)도 위 아래로 움직인다.When the belt pulley 320 rotates, the pair of belt pulleys 330 rotate, and the length of the belt 321 is adjusted so that the board 700 connected to the belt 321 also moves up and down.

제1 벨트 풀리(328)가 회전하면 벨트(323)가 움직여서 제2벨트 풀리(348)가 회전하고 이로 인하여 제2회전축(344)도 회전한다.When the first belt pulley 328 rotates, the belt 323 moves and the second belt pulley 348 rotates, thereby rotating the second rotation shaft 344. [

제2 회전축(344)가 회전함에 따라, 전면부의 풀리(340)가 회전하고 벨트(341)도 풀리(350)을 경유하면 위 아래로 움직인다.As the second rotating shaft 344 rotates, the pulley 340 of the front part rotates and the belt 341 also moves up and down when passing the pulley 350.

따라서, 풀리(341)에 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.Therefore, the board connected to the pulley 341 also moves up and down.

제2회전축(344)이 회전할때 또한, 제3 벨트 풀리(349)가 회전하고 제3벨트 풀리(349)와 연결된 제4 벨트 풀리(369)도 회전하고 이와 연결된 제3회전축(364)이 회전한다.The third belt pulley 349 rotates and the fourth belt pulley 369 connected to the third belt pulley 349 also rotates and the third rotating shaft 364 connected thereto rotates when the second rotation shaft 344 rotates Rotate.

제3회전축(364)이 회전함에 따라 제5벨트 풀리(368)와 전면부의 벨트 풀리(360)가 회전한다.As the third rotation shaft 364 rotates, the fifth belt pulley 368 and the front belt pulley 360 rotate.

벨트 풀리(360)가 회전함에 따라 이와 연결된 벨트(361)가 풀리(370)를 경유하며 길이가 조정되고 이로 인하여 벨트(361)와 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.As the belt pulley 360 rotates, the belt 361 connected thereto is passed through the pulley 370 and the length thereof is adjusted, whereby the board connected to the belt 361 also moves up and down.

제5 벨트 풀리(368)가 회전함에 따라 벨트((363)에 의해 제6 벨트 풀리(388)가 회전하고 이로 인하여 제4 회전축(383)와 이와 연결된 벨트 풀리(380)가 회전한다.As the fifth belt pulley 368 rotates, the sixth belt pulley 388 is rotated by the belt 363, thereby rotating the fourth rotation shaft 383 and the belt pulley 380 connected thereto.

벨트 풀리(380)가 회전함에 따라 벨트(381)가 벨트 풀리(390)을 경유하며 길이가 조정되고 이로 인하여 벨트(381)에 연결된 기판도 위 아래로 움직인다.As the belt pulley 380 rotates, the belt 381 is passed through the belt pulley 390 and its length is adjusted so that the board connected to the belt 381 also moves up and down.

이와 같이 모터(8000)의 작동에 의하여 벨트 풀리(320)와 제1 벨트 풀리(328)가 회전하고 제1 벨트 풀리(328)와 벨트에 의해 연결된 제2벨트 풀리(348)가 회전하고, 순차적으로 제3 내지 제6 벨트 풀리가 회전하면서 하부의 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)가 회전하고 상기 회전축과 연결된 전면부의 하부에 설치된 4개의 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)도 회전한다.The belt pulley 320 and the first belt pulley 328 are rotated by the operation of the motor 8000 and the second belt pulley 348 connected to the first belt pulley 328 by the belt rotates, Four belt pulleys 320, 340, 360, and 380 installed on the lower portion of the front portion connected to the rotary shaft, and the lower four rotary shafts 324, 344, 364, and 384 rotate while the third through sixth belt pulleys rotate. .

상기 전면부의 하부에 설치된 4개의 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)가 회전하면서, 4개의 벨트(321, 341, 361, 381)는 상부의 4개의 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)을 경유하면서 길이가 조정되고 이로 인하여 4개의 벨트(321, 341, 361, 381) 각각에 연결된 4개의 기판이 동시에 상하로 움직인다.As the four belt pulleys 320, 340, 360 and 380 installed on the lower part of the front part rotate, the four belts 321, 341, 361 and 381 are rotated by the upper four belt pulleys 330, 350, 370 and 390 The four substrates connected to each of the four belts 321, 341, 361, and 381 move up and down simultaneously.

상기 8개의 회전축 각각의 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)이 설치되어, 각각의 회전축은 베어링에 지지되며 이송 플레이트(310)에 상대적인 회전이 이루어진다.The pair of bearings 325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b, And brackets 327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b fixed to the transfer plate 310 are provided, Is supported on the bearing and is rotated relative to the transfer plate (310).

상기 이송 플레이트(310) 전면부에 설치된 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 벨트의 길이가 조정됨에 따라 기판이 위 아래로 움직일 수 있다.The substrate fixing portions 322, 342, 362, and 382 are provided at the ends of the four belts installed at the front portion of the transfer plate 310 so that the substrate can move up and down as the length of the belt is adjusted.

상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394) 각각에는 쌍을 이루는 나사산부(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)와 각각의 나사산부에 체결되는 너트(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)에 의하여 회전축을 베어링에 대하여 축방향 움직임을 고정할 수 있다.Pairs of threaded portions 324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a 374a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 344a, 344b, 344a, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b, , 394b, the axial movement of the rotating shaft relative to the bearing can be fixed.

도 4에 도시된 것과 같이 상기 레일(100)에는 센서부(240)가 설치되어 롤러(200)의 이동 속도를 측정할 수 있다.As shown in FIG. 4, the sensor unit 240 is installed on the rail 100 to measure the moving speed of the roller 200.

보다 자세하게는 상기 센서부(240)는 제1 수평바(241), 상기 제1 수평바와 평행한 제2 수평바(242), 상기 제1 수평바와 제2 수평바를 연결하는 수직바, 상기 제1수평파 및 제2수평바에 설치된 발광 소자(244) 및 수광 소자(245)를 포함하고, 상기 롤러(200)의 회전 중심축(210)은 상기 발광 소자와 수광 소자 사이를 지나간다.More specifically, the sensor unit 240 includes a first horizontal bar 241, a second horizontal bar 242 parallel to the first horizontal bar, a vertical bar connecting the first horizontal bar and the second horizontal bar, A light emitting element 244 and a light receiving element 245 provided in the horizontal bar and the second horizontal bar and the rotation center axis 210 of the roller 200 passes between the light emitting element and the light receiving element.

또한, 상기 센서부(240)에 의해 측정한 롤러의 속도에 기초하여 윤활유 공급부(250)는 윤활유를 롤러에 공급할 수 있다.Further, based on the speed of the roller measured by the sensor unit 240, the lubricant supply unit 250 can supply lubricant to the roller.

도 5에 도시된 것과 같이, 4개의 기판(700)이 동시에 아래로 움직이면서 건조부(400)의 상부 개구(410)를 통해 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 온풍기(430)를 지나가고 다시 올라오면서 건조부(400)를 빠져 나온후 이송한다.As shown in FIG. 5, the four substrates 700 move downward simultaneously and pass through the upper compressed air injection nozzle 420 and the fan unit 430 through the upper opening 410 of the drying unit 400, And then exits the drying unit 400 and transports it.

상기 압축 공기 분사 노즐은 기판에 있는 물방울들을 불어서 날려 보내고 온풍기는 기판의 축축함을 건조시키는 작용을 한다.The compressed air injection nozzle blows water droplets on the substrate and blows the air, and the hot air blower functions to dry the dampness of the substrate.

이와 같이 동시에 4개의 기판을 수직 방향으로 이송시키면서 건조작업을 하게 되므로, 공간 활용과 공정을 줄여 저비용을 초래할 수 있다.In this way, the four substrates are transported in the vertical direction at the same time, and the drying operation is performed. Therefore, the space utilization and the process can be reduced, resulting in low cost.

이상의 설명은 본 발명의 기술사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로 본 발명이 속하는 기술분야에서 통 상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것 이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래 의 특허청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위 에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The description above is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made without departing from the essential characteristics of the present invention if those skilled in the art to which the present invention belongs. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the scope of the present invention but to limit the scope of the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of the claims should be construed as being included in the scope of the present invention.

100: 레일 200: 롤러
300: 이송 수단 310: 이송 플레이트
400: 건조부 500: 전원
600:압축기 210: 회전 중심축
220: 체인 320, 330, 340, 350, 360, 370. 380. 390: 벨트 풀리
321. 341, 361, 381: 벨트100: rail 200: roller
300: transfer means 310: transfer plate
400: Drying part 500: Power source
600: compressor 210: rotation center axis
220: chain 320, 330, 340, 350, 360, 370. 380. 390: belt pulley
321. 341, 361, 381: belt

Claims (5)

레일(100);
회전 중심축(210)을 중심으로 회전하며 상기 레일(100)을 따라 수평으로 움직이는 롤러(200);
상기 롤러(200)의 움직임에 의하여 수평 이동되는 이송 수단(300);
상기 이송 수단(300)에 대하여 수직으로 움직임이 가능한 기판(700);
상기 기판(700)을 건조시키기 위한 건조부(400)를 포함하고,
상기 레일(100)에는 롤러(200)가 지나가는 속도를 측정하는 센서부(240)가 설치되고,
상기 회전 중심축(220)은 롤러의 안쪽에서는 체인(220)과 연결되고 롤러의 바깥쪽에서는 경사진 2개의 바(230)에 의해서 이송 플레이트(310)와 연결되고,
상기 이송 수단(300)은 이송 플레이트(310), 상기 이송 플레이트(310)의 전면부에 설치된 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390), 상기 4개의 쌍 각각에서 움직이는 4개의 벨트(321, 341, 361, 381), 및 상기 8개의 벨트 풀리가 각각 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394), 상기 이송 플레이트(310)의 후면부의 하부에 설치되는 3개의 쌍을 이루는 6개의 벨트 풀리(328, 348, 349, 368, 369, 388), 상기 3개의 쌍 각각에서 움직이는 3개의 벨트(323, 343,363)를 포함하고,
상기 4개의 쌍을 이루는 8개의 벨트 풀리(320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390)와 상기 벨트 풀리가 체결되는 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 4개는 이송 플레이트(310)의 하부에 설치되고 나머지 4개는 상부에 설치되며,
하부에 설치된 벨트 풀리(320, 340, 360, 380)와 상부에 설치된 벨트 풀리(330, 350, 370, 390)가 쌍을 이루고,
상기 3개의 벨트에 의하여 상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394)중 하부에 설치된 회전축(324, 344, 364, 384)이 동시에 회전하고,
상기 건조부(400)는 상부의 개구(410), 내부의 압축 공기 분사 노즐(420) 및 상기 압축 공기 분사 노즐(420) 아래에 설치된 온풍기(430)를 포함하고,
상기 8개의 회전축 각각은 외주에는 쌍을 이루는 베어링(325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b)과 상기 베어링을 덮으며 이송 플레이트(310)에 고정되는 브라켓(327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b)에 의하여 이송플레이(310)에 상대적인 회전이 이루어질 수 있고,
상기 4개의 벨트의 단부 각각에는 기판 고정부((322, 342, 362, 382)가 설치되어 4개의 기판이 동시에 이송 플레이트(310)에 대하여 수직으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. A rail 100;
A roller 200 that rotates about a rotation center axis 210 and moves horizontally along the rail 100;
A conveying means 300 horizontally moved by the movement of the roller 200;
A substrate (700) vertically movable with respect to the conveying means (300);
And a drying unit (400) for drying the substrate (700)
The rail 100 is provided with a sensor unit 240 for measuring the speed at which the roller 200 passes,
The rotation center shaft 220 is connected to the chain 220 at the inside of the roller and to the conveyance plate 310 by two inclined bars 230 at the outside of the roller,
The conveying means 300 includes a conveying plate 310 and eight pairs of belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390 provided on the front surface of the conveying plate 310, Four belts 321, 341, 361 and 381 moving in each of the four pairs and eight rotational shafts 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384 and 394 Three pairs of belt pulleys 328, 348, 349, 368, 369, and 388 disposed at the lower portion of the rear portion of the transfer plate 310, three belts 323 , 343, 363)
The four pairs of eight belt pulleys 320, 330, 340, 350, 360, 370, 380, 390 and the eight rotary shafts 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384 and 394 are installed at the lower part of the transfer plate 310 and the remaining four are installed at the upper part,
A pair of belt pulleys 320, 340, 360, and 380 installed at the lower portion and belt pulleys 330, 350, 370, and 390 installed at the upper portion are paired,
The rotating shafts 324, 344, 364, and 384 provided at the bottom of the eight rotating shafts 324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, and 394 rotate simultaneously by the three belts,
The drying unit 400 includes an upper opening 410, an internal compressed air injection nozzle 420 and a hot air fan 430 installed below the compressed air injection nozzle 420,
Each of the eight rotary shafts has a pair of bearings 325a, 325b, 335a, 335b, 345a, 345b, 355a, 355b, 365a, 365b, 375a, 375b, 385a, 385b, 395a, 395b, The transporting plate 310 is moved by the brackets 327a, 327b, 337a, 337b, 347a, 347b, 357a, 357b, 367a, 367b, 377a, 377b, 387a, 387b, 397a, 397b fixed to the transport plate 310, Relative rotation can be achieved,
(322, 342, 362, 382) are provided on each of the ends of the four belts so that four substrates can be simultaneously moved vertically with respect to the transfer plate (310). 제1항에 있어서,
상기 8개의 회전축(324, 334, 344, 354, 364, 374, 384, 394) 각각에는 쌍을 이루는 나사산부(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)와 각각의 나사산부에 체결되는 너트(324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b)가 설치되어 상기 8개의 회전축 각각이 베어링에 대하여 축방향 움직임이 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치. The method according to claim 1,
Pairs of threaded portions 324a, 324b, 334a, 334b, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a 374a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 344a, 344b, 344a, 344a, 344b, 354a, 354b, 364a, 364b, 374a, 374b, 384a, 384b, 394a, 394b, And 394b, respectively, so that each of the eight rotary shafts is fixed in the axial direction with respect to the bearing. 제2항에 있어서,
상기 기판 건조 장치는 압축 공기 분사 노즐(420)에 압축 공기를 공급하는 압축기(600)와 상기 온풍기(430)에 전력을 공급하는 전원부(500)를 추가로 포함하고,
상기 레일(100)에는 센서부(240)에서 측정한 롤러(200)의 이동 속도에 기초하여 윤활유를 공급하는 윤활유 공급부(250)가 설치되어 있고,
상게 센서부(240)는 제1 수평바(241), 상기 제1 수평바와 평행한 제2 수평바(242), 상기 제1수평바와 제2수평바를 연결하는 수직바, 상기 제1 수평바 및 제2수평바에 설치된 발광 소자(244) 및 수광 소자(245)를 포함하고,
상기 롤러(200)의 회전 중심축(210)은 상기 발광 소자와 수광 소자 사이를 지나가는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.3. The method of claim 2,
The substrate drying apparatus further includes a compressor 600 for supplying compressed air to the compressed air injection nozzle 420 and a power supply unit 500 for supplying power to the hot air fan 430,
The rail 100 is provided with a lubricating oil supply part 250 for supplying lubricating oil based on the moving speed of the roller 200 measured by the sensor part 240,
The upper sensor unit 240 includes a first horizontal bar 241, a second horizontal bar 242 parallel to the first horizontal bar, a vertical bar connecting the first horizontal bar and the second horizontal bar, A light emitting element 244 and a light receiving element 245 provided in the second horizontal bar,
Wherein a center axis of rotation (210) of the roller (200) passes between the light emitting element and the light receiving element. 제3항에 있어서,
상부 및 하부에 설치된 벨트 풀리들은 수평 방향에서 서로 나란한 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.The method of claim 3,
Wherein the belt pulleys installed on the upper and lower sides are parallel to each other in the horizontal direction. 제4항에 있어서,
상기 하부에 설치된 4개의 회전축(324, 344, 364, 384)중 앞면에서 보았을때 제일 왼쪽에 있는 제1 회전축(324)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제1벨트 풀리(328)가 설치되며, 상기 회전축(324)의 단부는 모터(800)의 축과 커플링(329)에 의해서 연결되고,
상기 4개의 회전축중 앞면에서 보았을때 가장 오른쪽에 있는 제4 회전축(384)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 1개의 제6 벨트 풀리(388)가 설치되며,
상기 4개의 회전축 중 제1 회전축(324)의 바로 옆의 제2 회전축(344)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제2 내지 제3 벨트 풀리(348, 349)가 설치되고,
상기 4개의 회전축 중 제4 회전축(384)의 바로 옆의 제3 회전축(364)에는 이송 플레이트(310) 후면 쪽에서 2개의 제4 내지 제5 벨트 풀리(369, 368)가 설치되고,
제1 벨트 풀리(328)와 제2벨트 풀리(348), 제3 벨트 풀리(349)와 제4벨트 풀리(369), 제5벨트 풀리(368)와 제6벨트 풀리(388)가 각각 벨트(323, 343, 363)에 의해 연결되어 쌍을 이루는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
5. The method of claim 4,
One first belt pulley 328 is installed at the rear side of the transfer plate 310 at the first rotary shaft 324 located at the leftmost side of the four rotary shafts 324, 344, 364, And the end of the rotating shaft 324 is connected to the shaft of the motor 800 by a coupling 329,
One sixth belt pulley 388 is provided at the rear side of the transfer plate 310 at the fourth rotary shaft 384 located at the rightmost side of the four rotary shafts,
Two second to third belt pulleys 348 and 349 are provided at the rear side of the transfer plate 310 at the second rotary shaft 344 adjacent to the first rotary shaft 324 of the four rotary shafts,
Four fourth to fifth belt pulleys 369 and 368 are provided at the rear side of the transfer plate 310 at the third rotary shaft 364 immediately adjacent to the fourth rotary shaft 384,
The first belt pulley 328 and the second belt pulley 348, the third belt pulley 349 and the fourth belt pulley 369, the fifth belt pulley 368 and the sixth belt pulley 388, (323, 343, 363) to form a pair.
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101040696B1 (en) 2008-11-25 2011-06-10 세메스 주식회사 Apparatus for transferring a substrate
KR101331507B1 (en) 2010-08-09 2013-11-20 엘지디스플레이 주식회사 Substrate cleaning/drying apparatus and substrate processing apparatus comprising the same, substrate cleaning/drying method, and method for manufacturing of display device the same

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