KR101924481B1

KR101924481B1 - A Nozzle for a Plasma Generating Block

Info

Publication number: KR101924481B1
Application number: KR1020180012879A
Authority: KR
Inventors: 강동원
Original assignee: (주)뉴젠텍
Priority date: 2018-02-01
Filing date: 2018-02-01
Publication date: 2018-12-03
Also published as: KR20180103690A

Abstract

본 발명은 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이고, 구체적으로 플라즈마 생성을 위한 블록으로 플라즈마 생성 기체가 효율적으로 주입되도록 하는 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이다. 플라즈마 생성 블록용 노즐은 실린더 형상으로 연장되는 유도 몸체(11); 유도 몸체(11)의 한쪽 끝에 유도 몸체(11)의 연장 방향에 대하여 경사지도록 형성되는 주입 면(12); 유도 몸체(11)의 다른 끝에 형성되는 체결 몸체(13); 체결 몸체(13)로부터 유도 몸체(11)를 따라 연장되는 유도 경로(16); 및 주입 면(12)에 형성된 다수 개의 주입 홀 그룹(121, 122, 123)을 포함하고, 유도 경로(16)의 끝 부분은 주입 면(12)과 분리되고, 주입 면(12)과 다른 방향으로 경사진 형태가 된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle for a plasma generation block, and more particularly, to a nozzle for a plasma generation block for efficiently introducing a plasma generation gas into a block for generating plasma. The nozzle for a plasma generating block includes an induction body (11) extending in a cylinder shape; An injection surface 12 formed at one end of the induction body 11 so as to be inclined with respect to the extending direction of the induction body 11; A fastening body 13 formed at the other end of the induction body 11; An induction path 16 extending from the fastening body 13 along the induction body 11; And a plurality of injection hole groups 121, 122 and 123 formed on the injection surface 12 and the end portion of the induction path 16 is separated from the injection surface 12, As shown in FIG.

Description

A Nozzle for a Plasma Generating Block for a Plasma Generating Block [

본 발명은 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이고, 구체적으로 플라즈마 생성을 위한 블록으로 플라즈마 생성 기체가 효율적으로 주입되도록 하는 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle for a plasma generation block, and more particularly, to a nozzle for a plasma generation block for efficiently introducing a plasma generation gas into a block for generating plasma.

반도체 또는 엘시디 장비의 세척을 위하여 플라즈마가 사용될 수 있고, 플라즈마는 플라즈마 블록을 포함하는 플라즈마 발생기에 의하여 발생되어 세척을 위하여 챔버와 같은 공정 장비로 이송될 수 있다. 특허공개번호 제10-2005-0103183호는 플라즈마 생성과 공정 장비에 관한 것으로 플라즈마 용기의 플라즈마 점화 및 냉각을 위한 방법 및 장치에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제10-2008-0051669호는 대면적의 균일한 플라즈마를 발생할 수 있는 다중 루프 코어 플라즈마 발생기를 구비한 플라즈마 발생기에 대하여 개시한다. 선행기술에서 개시된 플라즈마 발생기에서 트랜스포머에 의하여 둘러싸인 몸체 또는 플라즈마 블록에서 플라즈마가 생성될 수 있다. 플라즈마의 생성을 위하여 예를 들어 NF3, Ar 또는 이와 유사한 플라즈마의 생성을 위한 기체가 플라즈마 블록의 내부에 형성된 경로로 주입이 되어야 한다. 그리고 이러한 기체는 노즐을 통하여 주입될 수 있고, 노즐은 기체의 공급을 제어할 수 있는 구조를 가질 필요가 있다. 상기 선행기술은 이러한 노즐 구조에 대하여 개시하지 않는다. Plasma can be used to clean semiconductor or LCD equipment, and the plasma can be generated by a plasma generator comprising a plasma block and transferred to process equipment, such as a chamber, for cleaning. Patent Publication No. 10-2005-0103183 relates to plasma generation and processing equipment, and discloses a method and apparatus for plasma ignition and cooling of a plasma vessel. Patent Publication No. 10-2008-0051669 also discloses a plasma generator having a multi-loop core plasma generator capable of generating a large-area uniform plasma. Plasma can be generated in a body or plasma block surrounded by a transformer in the plasma generator disclosed in the prior art. Gas for the generation of plasma, for example, NF3, Ar or a similar plasma, must be injected into the path formed inside the plasma block. Such a gas can be injected through a nozzle, and the nozzle needs to have a structure capable of controlling the supply of gas. The prior art does not disclose such a nozzle structure.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

선행기술 1: 특허공개번호 제10-2005-0103183호(엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드, 2005년10월27일 공개) 플라즈마 점화 장치, 플라즈마 장치, 유도 결합형 플라즈마 공정 장치, 플라즈마 점화 방법, 플라즈마 공정 방법Prior Art 1: Patent Publication No. 10-2005-0103183 (published by MCS Instruments, Inc., October 27, 2005) Plasma ignition device, plasma device, inductively coupled plasma process device, plasma ignition method, plasma Process method 선행기술 2: 특허공개번호 제10-2008-0051669호(주식회사 뉴파워 프라즈마, 2008년06월11일 공개) 다중 루프 코어 플라즈마 발생기를 구비한 플라즈마 반응기Prior Art 2: Patent Publication No. 10-2008-0051669 (New Power Plasma Co., Ltd., published on Jun. 11, 2008) Plasma Reactor with Multiple Loop Core Plasma Generators

본 발명의 목적은 플라즈마 발생기에 배치되는 플라즈마 블록의 내부로 플라즈마 발생을 위한 기체가 조절된 형태로 주입될 수 있도록 하는 플라즈마 생성 블록용 노즐을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a nozzle for a plasma generation block which allows a gas for plasma generation to be injected into a plasma block arranged in a plasma generator in a controlled manner.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 플라즈마 생성 블록용 노즐은 실린더 형상으로 연장되는 유도 몸체; 유도 몸체의 한쪽 끝에 유도 몸체의 연장 방향에 대하여 경사지도록 형성되는 주입 면; 유도 몸체의 다른 끝에 형성되는 체결 몸체; 체결 몸체로부터 유도 몸체를 따라 연장되는 유도 경로; 및 주입 면에 형성된 다수 개의 주입 홀 그룹을 포함하고, 유도 경로의 끝 부분은 주입 면과 분리되고, 주입 면과 다른 방향으로 경사진 형태가 된다.According to a preferred embodiment of the present invention, the nozzle for a plasma generating block comprises: an induction body extending in a cylinder shape; An injection surface formed at one end of the induction body so as to be inclined with respect to the extending direction of the induction body; A fastening body formed at the other end of the induction body; An induction path extending from the fastening body along the induction body; And a plurality of injection hole groups formed on the injection surface, wherein an end portion of the induction path is separated from the injection surface and is inclined in a direction different from the injection surface.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 주입 면과 유도 경로 사이에 조절 공간이 형성된다.According to another preferred embodiment of the present invention, an adjustment space is formed between the injection surface and the guide path.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개의 주입 홀 그룹의 적어도 일부는 서로 다른 직경을 가진다.According to another preferred embodiment of the present invention, at least some of the plurality of injection hole groups have different diameters.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 주입 면과 유도 경로의 끝 부분은 서로 직각이 되도록 경사진다.According to another preferred embodiment of the present invention, the injection surface and the end portion of the guide path are inclined at right angles to each other.

본 발명에 따른 노즐은 플라즈마 블록의 내부로 플라즈마가 효과적으로 주입되도록 하고, 이에 의하여 플라즈마가 효과적으로 발생되도록 한다. 플라즈마의 발생 용량에 따라 서로 다른 방식으로 플라즈마 발생 기체가 주입되도록 하는 것에 의하여 플라즈마가 미리 결정된 범위에서 발생되도록 한다. The nozzle according to the present invention allows plasma to be effectively injected into the plasma block, thereby effectively generating plasma. The plasma is generated in a predetermined range by injecting the plasma generating gas in different ways depending on the generating capacity of the plasma.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 블록용 노즐의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 노즐에 적용되는 주입 면 및 조절 덮개의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 플라즈마 블록용 노즐의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 다양한 용량을 가지는 플라즈마 블록용 노즐의 주입 면의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 노즐이 플라즈마 블록에 적용되는 실시 예를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of a nozzle for a plasma block according to the present invention.
Figure 2 shows an embodiment of an injection surface and an adjustment lid applied to the nozzle of Figure 1;
3A and 3B illustrate another embodiment of a nozzle for a plasma block according to the present invention.
Fig. 4 shows an embodiment of the injection surface of a nozzle for a plasma block having various capacities.
FIG. 5 illustrates an embodiment in which the nozzle according to the present invention is applied to a plasma block.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 블록용 노즐의 실시 예를 도시한 것이다. 1 shows an embodiment of a nozzle for a plasma block according to the present invention.

도 1을 참조하면, 플라즈마 블록용 노즐은 실린더 형상으로 연장되는 유도 몸체(11); 유도 몸체(11)의 한쪽 끝에 유도 몸체(11)의 연장 방향에 대하여 경사지도록 형성되는 주입 면(12); 유도 몸체(11)의 다른 끝에 형성되는 체결 몸체(13); 체결 몸체(13)로부터 유도 몸체(11)를 따라 연장되는 유도 경로(16); 및 주입 면(12)에 형성된 다수 개의 주입 홀 그룹(121)을 포함하고, 유도 경로(16)의 끝 부분은 주입 면(12)과 분리되고, 주입 면(12)과 다른 방향으로 경사진 형태가 된다. Referring to FIG. 1, the nozzle for a plasma block includes a guide body 11 extending in a cylinder shape; An injection surface 12 formed at one end of the induction body 11 so as to be inclined with respect to the extending direction of the induction body 11; A fastening body 13 formed at the other end of the induction body 11; An induction path 16 extending from the fastening body 13 along the induction body 11; And a plurality of injection hole groups 121 formed in the injection surface 12. The end portion of the induction path 16 is separated from the injection surface 12 and has a shape inclined in a direction different from the injection surface 12. [ .

유도 몸체(11)는 플라즈마 블록의 내부로 삽입되는 부분에 해당되고, 플라즈마 블록에 형성된 경로에 삽입될 수 있는 구조로 만들어질 수 있다. 예를 들어 플라즈마 블록에 실린더 형상의 플라즈마 생성 기체 또는 플라즈마의 유동 경로가 형성될 수 있다. 그리고 유동 경로는 플라즈마 블록의 외부와 연결되는 입구 및 출구를 형성할 수 있고, 유도 몸체(11)는 입구에 결합되는 구조로 만들어질 수 있다. The induction body 11 corresponds to a portion to be inserted into the plasma block, and can be made into a structure that can be inserted into the path formed in the plasma block. For example, a flow path of a plasma-generating gas or plasma in the form of a cylinder may be formed in the plasma block. And the flow path can form an inlet and an outlet connected to the outside of the plasma block, and the induction body 11 can be made to be coupled to the inlet.

유도 몸체(11)의 한쪽 끝에 주입 면(12)이 형성될 수 있고 주입 면(12)은 유도 몸체(11)의 연장 방향에 대하여 경사 단면을 형성하는 방법으로 만들어질 수 있다. 예를 들어 유도 몸체(11)의 한쪽 끝에 유도 몸체(11)의 연장 방향에 대하여 예를 들어 30 내지 60도의 경사 단면이 될 수 있고, 이에 따라 경사 단면은 타원 형상이 될 수 있다. 그리고 경사 단면을 주입 면(12)에 형성된 주입 홀 그룹(121)을 통하여 플라즈마 생성 기체가 플라즈마 블록에 형성된 유동 경로로 주입될 수 있다. The injection surface 12 may be formed at one end of the induction body 11 and the injection surface 12 may be formed by forming the inclined section with respect to the extending direction of the induction body 11. [ For example, the induction body 11 may have an inclined section at one end of the induction body 11, for example, at an angle of 30 to 60 degrees with respect to the extending direction of the induction body 11, so that the inclined section may have an elliptical shape. And a slope section may be injected through the injection hole group 121 formed on the injection surface 12 into the flow path formed in the plasma block.

유도 몸체(11)의 다른 끝에 체결 몸체(13)가 형성될 수 있고, 체결 몸체(13)는 전체적으로 드럼 형상이 될 수 있고, 유도 몸체(11)와 일체로 형성될 수 있다. 체결 몸체(13)는 플라즈마 블록에 형성된 유동 경로의 입구에 결합되어 노즐을 고정시키는 기능을 가질 수 있다. 체결 몸체(13)에 플라즈마 블록과 결합을 위한 다수 개의 체결 홀(B1, B2)이 형성될 수 있고, 밀폐 홈(SG)이 또한 형성될 수 있다. 또한 체결 몸체(13)의 중앙 부분에 외부로부터 플라즈마 발생 기체의 이송을 위한 유닛이 결합되는 연결 입구(17)가 형성될 수 있다. 연결 입구(17)는 유도 경로(16)와 연결될 수 있다. The fastening body 13 may be formed at the other end of the induction body 11 and the fastening body 13 may be integrally formed with the induction body 11 as a whole. The fastening body 13 may be coupled to an inlet of the flow path formed in the plasma block to fix the nozzle. A plurality of fastening holes B1 and B2 for coupling with the plasma block may be formed in the fastening body 13, and a sealing groove SG may also be formed. Also, a connection inlet 17 may be formed at a central portion of the fastening body 13 to connect a unit for transferring the plasma generating gas from the outside. The connection inlet 17 can be connected to the induction path 16.

유도 경로(16)는 체결 몸체(13)에 형성된 연결 입구(17)로부터 유도 몸체(11)의 길이 방향의 중심을 따라 주입 면(12)의 아래쪽 부분에 이르도록 연장될 수 있다. 유도 경로(16)는 선형이 될 수 있고, 끝 부분이 주입 면(12)의 경사 방향과 다른 방향으로 경사지는 형상이 될 수 있고, 예를 들어 주입 면(12)이 우측으로 경사진 형상이 되는 경우 유도 경로(16)의 끝 부분은 좌측으로 경사진 형상이 될 수 있다. 이에 따라 주입 면(12)과 유도 경로(16)의 끝 부분은 서로 직각 면을 형성할 수 있고, 이와 같은 구조에 의하여 주입 면(12)의 아래쪽 부분에 조절 공간(RV)이 형성되도록 한다. 조절 공간(RV)은 유도 경로(16)를 따라 유도된 기체가 주입 면(12)을 통하여 직접 배출되지 않고 플라즈마 블록 내부에 형성된 유동 경로의 압력 또는 온도와 같은 조건에 따라 조절된 형태로 주입되도록 하는 기능을 가질 수 있다. 조절 공간(RV)에 조절 입구(BO)가 형성될 수 있고, 조절 입구(BO)에 아래에서 설명되는 조절 덮개가 분리 가능하도록 결합될 수 있다. The induction path 16 may extend from the connection inlet 17 formed in the fastening body 13 to the lower portion of the injection surface 12 along the longitudinal center of the induction body 11. The induction path 16 may be linear and may have a shape in which the end portion is inclined in a direction different from the direction of inclination of the injection surface 12 and, for example, the injection surface 12 may have a shape inclined to the right The end portion of the guide path 16 may have a shape inclined to the left. Accordingly, the injection surface 12 and the end portion of the induction path 16 can form a right angle with each other, and the regulation space RV is formed in the lower portion of the injection surface 12 by this structure. The control space RV is arranged such that the gas induced along the induction path 16 is injected in a regulated form according to conditions such as the pressure or temperature of the flow path formed inside the plasma block without being discharged directly through the injection surface 12. [ . &Lt; / RTI > The regulation inlet BO can be formed in the regulation space RV and the regulation cover described below can be detachably coupled to the regulation inlet BO.

연결 입구(17)를 통하여 주입된 플라즈마 발생을 위한 기체는 유도 경로(16)를 따라 유도되어 조절 공간(RV)으로 이송될 수 있다. 조절 공간에서 필요에 따라 주입 조건이 설정될 수 있고, 주입 조건이 설정된 기체는 주입 면(12)에 형성된 주입 홀 그룹(121)을 통하여 플라즈마 블록의 내부에 설치된 플라즈마 발생 전극으로 주입될 수 있다. 주입 홀 그룹(121)은 다수 개가 될 수 있고, 다양한 구조로 주입 면(12)에 배열될 수 있다. 예를 들어 주입 홀 그룹(121)은 유도 경로(16)의 연장되는 부분 또는 주입 면(12)의 중심을 기준으로 원형으로 배치될 수 있다. 각각의 주입 홀 그룹(121)은 주입 면(12)에 수직이 되는 직선에 대하여 경사지는 방향으로 형성될 수 있고, 서로 다른 직경을 가진 주입 홀 그룹(121)이 주입 면(12)에 형성될 수 있다. 주입 홀 그룹(121)은 플라즈마 발생기의 용량 또는 플라즈마 블록의 구조에 따라 다양한 방법으로 형성될 수 있다. The gas for plasma generation injected through the connection inlet 17 can be guided along the induction path 16 and transferred to the regulation space RV. In the control space, an injection condition may be set according to need, and the gas to which the injection condition is set may be injected into the plasma generation electrode installed in the plasma block through the injection hole group 121 formed on the injection surface 12. [ The injection hole group 121 may be a plurality of and may be arranged on the injection surface 12 in various structures. For example, the injection hole group 121 may be arranged in a circular shape with respect to the extending portion of the guide path 16 or the center of the injection surface 12. Each injection hole group 121 may be formed in a direction inclined with respect to a straight line perpendicular to the injection surface 12, and the injection hole group 121 having different diameters may be formed on the injection surface 12 . The injection hole group 121 may be formed in various ways depending on the capacity of the plasma generator or the structure of the plasma block.

도 2는 도 1의 노즐에 적용되는 주입 면 및 조절 덮개의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 2 shows an embodiment of an injection surface and an adjustment lid applied to the nozzle of Figure 1;

도 2의 (가)를 참조하면, 서로 다른 직경에 동일 또는 서로 다른 직경을 가지는 주입 홀 그룹(121, 122, 123)이 형성될 수 있다. 1 주입 홀 그룹(121)은 중심 축(CA)으로 상대적으로 큰 직경을 가지는 원주에 배치되고, 예를 들어 10 내지 20개의 홀을 포함할 수 있다. 각각의 홀은 타원 형상의 단면을 가질 수 있고, 타원의 장축이 서로 다른 경사를 가질 수 있고, 예를 들어 타원이 장축이 중심 축(CA)을 기준으로 회전하는 형상으로 홀이 형성될 수 있다. 2, 3 주입 홀 그룹(122, 123)은 상대적으로 작은 직경을 가질 수 있고, 원형의 단면을 가지면서 2, 3 주입 홀 그룹(122, 123)은 예를 들어 4 내지 8개의 홀을 포함할 수 있다. 또한 2, 3 주입 홀 그룹(122, 123)은 중심 축(CA)을 기준으로 서로 다른 직경을 가진 원주에 배치되면서 서로 다른 중심각을 가지도록 배치될 수 있다. Referring to FIG. 2 (a), injection hole groups 121, 122 and 123 having the same or different diameters at different diameters may be formed. 1 The injection hole group 121 is disposed on a circumference having a relatively large diameter as the central axis CA and may include, for example, 10 to 20 holes. Each of the holes may have an elliptical cross section, and the long axes of the ellipses may have different inclination. For example, the holes may be formed in such a shape that the ellipse rotates with respect to the central axis CA . 2 and 3 injection hole groups 122 and 123 may have a relatively small diameter and two or three injection hole groups 122 and 123 may have a circular cross section and may include, for example, 4 to 8 holes . Further, the two or three injection hole groups 122 and 123 may be arranged so as to have different center angles while being disposed on circumferences having different diameters with respect to the center axis CA.

도 2의 (나)는 조절 공간의 조절 입구에 결합되는 조절 덮개(14)의 정면도 및 측면도를 도시한 것으로 조절 덮개(14)는 조절 공간의 내부로 돌출되면서 위쪽 방향으로 돌출된 경사 유도 면(141); 체결 홀(142) 및 경사 체결 면(143)을 포함할 수 있다. 조절 덮개(14)는 유도 경로(16)를 통하여 유도된 기체가 와류 또는 소용돌이가 형성되지 않으면서 주입 홀 그룹(121, 122, 123)을 통하여 주입될 수 있도록 한다. FIG. 2 (B) shows a front view and a side view of the adjusting cover 14 coupled to the adjusting opening of the adjusting space. The adjusting cover 14 protrudes into the inside of the adjusting space, (141); And may include a fastening hole 142 and an inclined fastening surface 143. The control lid 14 allows the gas guided through the induction path 16 to be injected through the injection hole group 121, 122, 123 without any eddy or vortex being formed.

플라즈마 블록의 용량에 따라 주입 면(12) 또는 조절 덮개(14)는 다양한 구조로 만들어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. Depending on the capacity of the plasma block, the injection surface 12 or the regulating lid 14 can be made in various configurations and the invention is not limited to the embodiments shown.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 플라즈마 블록용 노즐의 다른 실시 예를 도시한 것이다. 3A and 3B illustrate another embodiment of a nozzle for a plasma block according to the present invention.

도 3a 및 도 3b에 제시된 노즐은 도 1에서 설명된 노즐에 비하여 큰 용량을 가지는 플라즈마 블록에 적용될 수 있고, 예를 들어 4 내지 8 L의 용량에 적용되는 도 1의 노즐과 달리 20 내지 25 L의 용량을 가지는 플라즈마 블록에 적용될 수 있다. The nozzles shown in FIGS. 3A and 3B can be applied to a plasma block having a larger capacity than the nozzle described in FIG. 1, and unlike the nozzle of FIG. 1, which is applied to a capacity of, for example, 4 to 8 L, Lt; RTI ID = 0.0 > of plasma < / RTI >

도 3a는 노즐의 사시도, 도 3b는 단면도 및 배면도를 각각 도시한 것이다. Fig. 3A is a perspective view of the nozzle, Fig. 3B is a sectional view and a rear view, respectively.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 노즐은 실린더 형상을 가지면서 끝 부분에 주입 면(32)이 형성된 유도 몸체(31); 유도 몸체(31)의 아래쪽에 형성된 체결 몸체(33); 및 체결 몸체(33)로부터 주입 면(32)의 아래쪽에 이르도록 연장되는 유도 경로(36)를 포함할 수 있다. 유도 몸체(31), 체결 몸체(33) 및 유도 경로(36)는 도 1에서 설명이 된 유도 몸체, 체결 몸체 및 유도 경로와 크기를 제외하면 동일 또는 유사한 구조를 가질 수 있고, 동일 또는 유사한 기능을 가질 수 있으므로 별도로 설명되지 않는다. 3A and 3B, the nozzle includes a guide body 31 having a cylindrical shape and having an injection surface 32 formed at an end thereof; A fastening body 33 formed below the induction body 31; And an induction path 36 extending from the fastening body 33 down to the injection surface 32. The guide body 31, the fastening body 33 and the guide path 36 may have the same or similar structure except for the guide body, the fastening body, and the guide path described in FIG. 1, It is not described separately.

주입 면(32)과 유도 경로(36)의 위쪽 끝 사이에 조절 공간(RV)이 형성될 수 있고, 조절 공간(RV)에 분리 유닛(35a, 35b)이 배치될 수 있다. 조절 공간(RV)은 전체적으로 아래쪽 부분은 사각형상이 되고, 위쪽 부분의 양쪽은 바깥쪽으로 볼록한 형상이 될 수 있다. 분리 유닛(35a, 35b)은 서로 마주보도록 형성된 볼록 형상을 기준으로 대각선 방향으로 서로 마주보도록 배치될 수 있다. An adjustment space RV may be formed between the injection surface 32 and the upper end of the guide path 36 and a separation unit 35a or 35b may be disposed in the adjustment space RV. The regulation space RV as a whole may be rectangular in shape at the lower part, and both sides of the upper part may be convex in shape outward. The separation units 35a and 35b may be arranged to face each other diagonally with respect to the convex shape formed to face each other.

주입 면(32)에 다수의 주입 홀 그룹이 형성될 수 있고, 예를 들어 1 주입 홀 그룹(321)이 타원 형상의 주입 면(32)의 중앙 부분에 형성될 수 있고, 한 쌍의 2 주입 홀 그룹(322a, 322b)이 1 주입 홀 그룹(321)의 양쪽에 형성되고, 한 쌍의 3 주입 홀 그룹(323a, 323b)이 1 주입 홀 그룹(321)의 상하 또는 장축 방향으로 양쪽 부분에 형성될 수 있다. 각각의 주입 홀 그룹(321 내지 323b)은 다수 개의 홀을 포함할 수 있고, 서로 다른 직경을 가질 수 있다. 예를 들어 1 주입 홀 그룹(321)의 홀에 비하여 2 주입 홀 그룹(322a, 322b)의 홀이 큰 직경을 가지고, 2 주입 홀 그룹(322a, 322b)의 홀에 비하여 3 주입 홀 그룹(323a, 323b)의 홀이 큰 직경을 가질 수 있다. A plurality of injection hole groups may be formed in the injection surface 32, for example, one injection hole group 321 may be formed in the central portion of the elliptical injection surface 32, Hole groups 322a and 322b are formed on both sides of one injection hole group 321 and a pair of three injection hole groups 323a and 323b are formed on both sides of the upper and lower portions of the injection hole group 321 . Each of the injection hole groups 321 to 323b may include a plurality of holes and may have different diameters. The holes of the two injection hole groups 322a and 322b are larger in diameter than the holes of the one injection hole group 321 and the holes of the three injection hole groups 323a , And 323b may have a large diameter.

분리 유닛(35a, 35b)은 3 주입 홀 그룹(323a, 323b)이 형성된 주입 면(32)의 안쪽에 형성될 수 있다. 그리고 분리 유닛(35a, 35b)에 분리 판(37)이 배치될 수 있고, 분리 판은 1 주입 홀 그룹(321) 및 3 주입 홀 그룹(323a 323b)을 유도 경로(36)의 끝 부분으로부터 차단하는 형태로 조절 공간(RV)의 내부에 배치될 수 있다. 이와 같은 분리 판(37)의 배치에 의하여 유도 경로(16)를 통하여 유도된 플라즈마 발생 기체가 큰 직경을 가진 3 주입 홀 그룹(323a, 323b)을 통하여 직접적으로 배출되지 않도록 한다. The separation units 35a and 35b may be formed inside the injection surface 32 in which the three injection hole groups 323a and 323b are formed. The separation plate 37 can be disposed in the separation units 35a and 35b and the separation plate blocks the one injection hole group 321 and the three injection hole groups 323a 323b from the end portion of the induction path 36 (RV) in the form of a rectilinear motion. By arranging the separation plate 37 as described above, the plasma generating gas introduced through the induction path 16 is prevented from being directly discharged through the three injection hole groups 323a and 323b having a large diameter.

도 2에 도시된 실시 예와 유사하게 유도 몸체(31)의 뒤쪽에 형성되는 조절 입구(BO)에 조절 덮개(38)가 결합될 수 있고, 조절 덮개(38)의 앞쪽 면에 계단 면에 형성될 수 있다. 조절 덮개(38)는 체결 홀(382)에 결합되는 고정 수단에 의하여 유도 몸체(31)에 결합될 수 있다. A control lid 38 can be coupled to the regulating inlet BO formed on the rear side of the induction body 31 in a manner similar to the embodiment shown in Fig. . The adjustment cover 38 may be coupled to the guide body 31 by fastening means coupled to the fastening holes 382.

본 발명에 따른 노즐은 플라즈마 블록의 용량에 따라 주입 면(32)에 다양한 구조로 형성된 홀을 포함한다. The nozzle according to the present invention includes holes formed in the injection surface 32 in various structures according to the capacity of the plasma block.

도 4는 다양한 용량을 가지는 플라즈마 블록용 노즐의 주입 면의 실시 예를 도시한 것이다. Fig. 4 shows an embodiment of the injection surface of a nozzle for a plasma block having various capacities.

도 4의 (가) 내지 (라)는 서로 다른 용량을 가진 플라즈마 블록에 적용되는 노즐의 주입 면(12, 12a, 32, 42)의 실시 예를 도시한 것이다. 도 4의 (가), (나), (다) 및 (라)는 예를 들어 각각 1 내지 3 L, 4 내지 8 L, 4 내지 8 L 및 20 내지 24 L의 용량을 가진 플라즈마 블록에 적용되는 노즐에 형성된 주입 면(12, 12a, 32, 42)을 각각 도시한 것이다. 4 (a) to 4 (d) illustrate embodiments of the nozzle injection surfaces 12, 12a, 32, and 42 applied to plasma blocks having different capacities. 4 (a), 4 (b), 4 (c) and 4 (d) are applied to plasma blocks having capacities of, for example, 1 to 3 L, 4 to 8 L, 4 to 8 L and 20 to 24 L, respectively 12a, 32, and 42, respectively, formed in the nozzle.

도 4의 (가)를 참조하면, 주입 면(42)의 중앙 부분에 중앙 주입 홀(421)이 형성되고, 중앙 주입 홀(421)의 양쪽에 서로 마주보도록 한 쌍의 분리 주입 홀(424)이 형성될 수 있다. 그리고 중앙 주입 홀(421)과 분리 주입 홀(424) 사이에 서로 다른 직경을 가지는 원주를 따라 1 주입 홀 그룹(422) 및 2 주입 홀 그룹(423)이 형성될 수 있다. 4A, a central injection hole 421 is formed at a central portion of the injection surface 42, and a pair of separation injection holes 424 are formed on both sides of the central injection hole 421 so as to face each other. Can be formed. In addition, one injection hole group 422 and two injection hole groups 423 may be formed along the circumference having different diameters between the central injection hole 421 and the separation injection hole 424.

도 4의 (나)는 도 2에서 설명된 주입 면(12)과 실질적으로 동일하고, 도 4의 (다)는 동일 용량을 가지는 플라즈마 블록에 적용되는 다른 구조를 가진 주입 면(12a)을 도시한 것이다. 4 (b) is substantially the same as the injection surface 12 described in Fig. 2, and Fig. 4 (c) shows the injection surface 12a having another structure applied to the plasma block having the same capacity It is.

1 주입 홀 그룹(121a)은 작은 직경을 가지면서 다수 개의 1 직선을 따라 배치되고, 2 주입 홀 그룹(122b)은 1 주입 홀 그룹(121a)의 배치 기준이 되는 1 직선과 수직이 되는 적어도 하나의 2 직선을 따라 배치될 수 있다. 2 주입 홀 그룹(121b)은 주입 면(12a)의 한쪽 부분에 형성될 수 있고, 예를 들어 타원 형상의 주입 면(12a)의 한쪽 영역에 서로 분리된 2개의 직선을 따라 배치될 수 있다. 또한 2 주입 홀 그룹(122b)을 형성하는 각각의 홀은 1 주입 홀 그룹(122a)을 형성하는 각각의 홀의 직경에 비하여 클 수 있다. One injection hole group 121a is arranged along a plurality of one straight lines with a small diameter and the two injection hole groups 122b are arranged so as to form at least one injection hole group 121a perpendicular to one straight line As shown in FIG. The two injection hole groups 121b may be formed in one portion of the injection surface 12a and may be arranged along two straight lines separated from each other in one region of the injection surface 12a having an elliptical shape, for example. Further, each hole forming the two injection hole groups 122b may be larger than the diameter of each hole forming one injection hole group 122a.

도 4의 (라)에 제시된 주입 면(32)은 실질적으로 도 3에 제시된 실시 예와 동일하므로 다시 설명되지 않는다. The injection surface 32 shown in FIG. 4 (d) is substantially the same as the embodiment shown in FIG. 3 and will not be described again.

다양한 주입 면(12, 12a, 32, 42)을 가지는 노즐이 플라즈마 블록에 결합되어 플라즈마 발생 기체를 유동 경로의 내부로 주입시켜 플라즈마가 발생되도록 할 수 있다. A nozzle having various injection surfaces 12, 12a, 32 and 42 may be coupled to the plasma block to inject the plasma generating gas into the flow path to generate plasma.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 노즐이 플라즈마 블록에 적용되는 실시 예를 도시한 것이다. 5A and 5B show an embodiment in which the nozzle according to the present invention is applied to a plasma block.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 플라즈마 블록(50)은 두 개의 서브 블록(51, 51a, 51b, 51c, 52, 52a, 52b, 52c)이 서로 결합된 구조가 될 수 있고, 용량에 따라 서브 블록(51 내지 52c)의 구조 및 결합된 플라즈마 블록(50)이 서로 다른 구조를 가질 수 있다. 5A and 5B, the plasma block 50 may have a structure in which two sub blocks 51, 51a, 51b, 51c, 52, 52a, 52b and 52c are coupled to each other, The structure of blocks 51 to 52c and the combined plasma block 50 may have different structures.

도 5a의 위쪽에 도시된 실시 예는 용량의 3L가 되는 플라즈마 블록(50)을 도시한 것으로 하나의 서브 블록(51)에 주입구(511)가 형성되고, 다른 하나의 서브 블록(52)에 배출구가 형성될 수 있다. 노즐의 유도 몸체(11)가 주입구(511)로 삽입될 수 있고, 체결 몸체(13)가 플라즈마 블록(50)에 결합될 수 있다. 플라즈마 블록(50)에 플라즈마의 발생을 위한 전극, 트랜스포머 또는 점화 유닛이 배치될 수 있고, 체결 몸체(13)에 플라즈마 발생 기체의 공급을 위한 공급 유닛이 결합될 수 있다. 기체는 조절된 형태로 주입 면(12)을 통하여 플라즈마 블록(50)의 내부에 형성된 유동 경로로 공급되어 플라즈마를 생성시킬 수 있다. 이후 플라즈마는 배출구를 통하여 정해진 장소로 이송될 수 있다. 5A shows a plasma block 50 having a capacity of 3L. An injection hole 511 is formed in one sub-block 51 and a discharge port 511 is formed in another sub- Can be formed. The induction body 11 of the nozzle can be inserted into the injection port 511 and the fastening body 13 can be coupled to the plasma block 50. [ An electrode, a transformer, or an ignition unit for generating plasma can be disposed in the plasma block 50, and a supply unit for supplying the plasma generating gas to the fastening body 13 can be coupled. The gas may be supplied to the flow path formed in the interior of the plasma block 50 through the injection surface 12 in a controlled manner to generate plasma. The plasma can then be transferred to a defined location through the outlet.

도 5a의 아래쪽에 도시된 실시 예는 1L의 용량을 가진 플라즈마 블록을 도시한 것으로 두 개의 서브 블록(51a, 51b)의 결합에 의하여 형성될 수 있다. 위에서 설명된 것과 유사하게 1 서브 블록(51a)에 형성된 주입구에 도 4에서 설명된 주입 면(42)을 가진 노즐이 삽입되어 결합될 수 있다. The embodiment shown in the lower portion of FIG. 5A shows a plasma block having a capacity of 1 L, and may be formed by combining two sub-blocks 51a and 51b. A nozzle having the injection surface 42 described in FIG. 4 may be inserted and coupled to the injection port formed in one sub-block 51a, similarly to the above description.

도 5b의 위쪽 및 아래쪽은 각각 6L 및 22L 용량의 플라즈마 블록을 나타낸 것으로 각각 두 개의 서브 블록(51b, 51c, 52b, 52c)에 의하여 형성될 수 있다. 6L의 용량을 가진 플라즈마 블록의 주입구(511)에 도 1에 예시된 노즐이 결합될 수 있고, 22L의 용량을 가진 플라즈마 블록의 주입구(511)에 도 3에 예시된 노즐이 각각 주입될 수 있다. 이와 같이 플라즈마 블록은 용량에 따라 서로 다른 구조를 가질 수 있고, 그에 적합한 노즐이 플라즈마 블록에 결합될 수 있다.The upper and lower portions of FIG. 5B represent plasma blocks of 6L and 22L capacitances, respectively, and may be formed by two sub blocks 51b, 51c, 52b and 52c, respectively. The nozzle illustrated in FIG. 1 may be coupled to the injection port 511 of the plasma block having the capacity of 6 L and the nozzle illustrated in FIG. 3 may be injected into the injection port 511 of the plasma block having the capacity of 22 L, respectively . Thus, the plasma block may have a different structure depending on the capacity, and a nozzle suitable for the plasma block may be coupled to the plasma block.

제시된 실시 예에서 각각의 용량을 가지는 플라즈마 블록의 구조는 예시적인 것이며 각각의 플라즈마 블록의 주입구에 결합되는 노즐도 또한 실시 예로 제시된 것이다. 본 발명에 따른 노즐은 다양한 구조를 가지는 플라즈마 블록(50)에 결합될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The structure of the plasma block having the respective capacities in the illustrated embodiment is exemplary and a nozzle coupled to the inlet of each plasma block is also shown in the embodiment. The nozzle according to the present invention can be coupled to the plasma block 50 having various structures, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

11: 유도 몸체 12, 12a, 32, 42: 주입 면
13: 체결 몸체 14: 조절 덮개
16: 유도 경로 17: 연결 입구
31: 유도 몸체 33: 체결 몸체
35a, 35b: 분리 유닛 36: 유도 경로
37: 분리 판 50: 플라즈마 블록
51, 51a, 51b, 51c, 52, 52a, 52b, 52c: 서브 블록
121, 122, 123: 1, 2, 3 주입 홀 그룹
121a: 1 주입 홀 그룹 122b: 2 주입 홀 그룹
141: 경사 유도 면 142: 체결 홀
143: 경사 체결 면 321: 1 주입 홀 그룹
322a, 322b: 2 주입 홀 그룹
323a, 323b: 3 주입 홀 그룹
421: 중앙 주입 홀 422: 1 주입 홀 그룹
423: 2 주입 홀 그룹 424: 분리 주입 홀
511: 주입구 B1, B2: 체결 홀
BO: 조절 입구 CA: 중심 축
RV: 조절 공간 SG: 밀폐 홈11: induction body 12, 12a, 32, 42: injection surface
13: fastening body 14: adjustable cover
16: guide path 17: connection inlet
31: induction body 33: fastening body
35a, 35b: separation unit 36: guide path
37: separation plate 50: plasma block
51, 51a, 51b, 51c, 52, 52a, 52b, 52c:
121, 122, 123: 1, 2, 3 injection hole group
121a: 1 injection hole group 122b: 2 injection hole group
141: inclined guide surface 142: fastening hole
143: inclined fastening surface 321: 1 injection hole group
322a, 322b: two injection hole groups
323a, 323b: 3 injection hole group
421: central injection hole 422: 1 injection hole group
423: 2 injection hole group 424: separation injection hole
511: inlet B1, B2: fastening hole
BO: Control inlet CA: Center axis
RV: Control space SG: Closed groove

Claims

A nozzle for a plasma generation block including an induction body 31 having an injection surface 32 formed at an end thereof, a fastening body 33 formed on the side of the induction body 31 on the side of the induction body 31 and an induction path 36 extending from the injection surface As a result,
A separation unit (35a, 35b) formed between the injection surface (32) and the upper end of the guide path (36) and arranged to face each other;
A plurality of injection hole groups 321 to 323b formed in the injection surface 32; And
And a separation plate (37) arranged inside the regulation space (RV) for blocking the induction path of the different injection hole groups (321 - 323b)
Wherein each of the plurality of injection hole groups (321 to 323b) includes a plurality of injection holes, and injection holes of different injection hole groups (321 to 323b) have different diameters.

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