KR101923410B1 - Lapping Device - Google Patents

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KR101923410B1
KR101923410B1 KR1020180079566A KR20180079566A KR101923410B1 KR 101923410 B1 KR101923410 B1 KR 101923410B1 KR 1020180079566 A KR1020180079566 A KR 1020180079566A KR 20180079566 A KR20180079566 A KR 20180079566A KR 101923410 B1 KR101923410 B1 KR 101923410B1
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Abstract

The present invention relates to a lapping apparatus to process a gate valve for discharging hazardous gas generated in manufacturing of a semiconductor, which has an increased precision or facilitates operation to enhance sealing force of an opening/closing door for discharging hazardous gas generated and used in manufacturing of an advanced material, such as a semiconductor. According to the present invention, the lapping apparatus to process a gate valve for discharging hazardous gas generated in manufacturing of a semiconductor comprises: a sandpaper mounting and rotating body including a space groove formed on a center, a front head having a sandpaper attachment surface formed on a circular edge of the space groove, a rear head having a front pin fixing hole for rotating and vertically moving the front head, and a support rod connected to the rear head, and having a thread and a rear pin fixing hole formed at an end to adjust the tension of a spring; a body part including a rear head mounting groove formed therein to fix the sandpaper mounting and rotating body, a front guide groove formed to interconnect the front and rear pin fixing holes of the rear head with a pin, an elastic member mounting groove formed on the rear side of the rear head mounting groove to include an elastic body for providing elastic force, and a rear guide groove; and a washer and a fixing nut formed on the rear side of the body part to adjust the elastic force of the elastic body.

Description

반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기{Lapping Device}[0001] Lapping Device for Processing Gate Valve Emission Generated in Semiconductor Manufacturing [

본 발명은 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 등의 첨단소재를 제조시에 발생, 사용되는 유해가스 배출를 위한 개폐도어의 밀폐력을 높일 수 있도록 도금부를 정밀가공하여 정밀도를 높이거나 작업이 편리한 래핑기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lapping machine for gate valve for processing noxious gas discharged from a semiconductor manufacturing process and more particularly to a lapping machine for processing noxious gas generated by a high- The present invention relates to a lapping machine that is precision-machined to increase accuracy or is easy to operate.

일반적으로 연삭기 등에 의해 다듬질한 원통형의 외면과 내면, 평면, 기어 등의 공작물 표면을 더욱 정밀하게 경면(鏡面) 가공하기 위하여 래핑기(Lapping)를 사용하고 있으며, 이러한 종래의 래핑기는 공작물의 표면 사이에 미세한 분말로 되어 있는 탄화규소, 산화알루미늄 등과 같은 랩제를 넣고 랩을 상기 공작물과 미세하게 접하면서 가공한다.In general, a lapping machine is used to more precisely mirror surface machining of the outer surface of a cylinder shaped by a grinder or the like and the surface of a work such as an inner surface, a plane surface, a gear surface, etc. Such a conventional lapping machine is used between surfaces of a workpiece Such as silicon carbide, aluminum oxide, or the like, which is made of fine powder, is put into the container and the lap is finely contacted with the work.

따라서, 상기 랩과 공작물의 표면 사이에 마모작용이 발생하여 공작물의 표면이 미세하게 정밀가공 되므로 공작물의 표면이 거울면과 같이 매끄럽게 된다.Therefore, a wear action is generated between the lap and the surface of the workpiece, and the surface of the workpiece is finely precisely machined, so that the surface of the workpiece becomes smooth like a mirror surface.

그러나, 이러한 종래의 래핑기는 공작물의 표면이 완전 평면일 경우에만 작업이 가능하며, 다양한 형태의 요철이 있는 경우에는 래핑기가 돌출된 부분을 절삭해서 평면 상태로 만들어 버리거나 상기 요철로 인해 래핑가공이 불가능한 것이 현실이다.However, such a conventional lapping machine can work only when the surface of the workpiece is perfectly flat. In the case where there are various types of unevenness, the lapping machine cuts the protruded portion into a flat state, It is a reality.

이러힌 문제점을 해결하기 위한 공작물의 표면에 곡면 등의 요철이 있는 경우에도 그 형태를 유지시킨 상태에서 래핑이 가능한 래핑기를 형성하였으나 Even when there is a concavity and a convexity such as a curved surface on the surface of the work for solving the above problem, the lapping machine capable of lapping is formed in a state in which the shape is maintained

상기 공개발명은 곡면, 돌출된면 등을 가공하는 정밀을 요하지 않는 부분을 가공하기 위한 것에 사용되는 기술이다.The disclosed invention is a technique used for machining a portion that does not require precision for processing a curved surface, a protruding surface, or the like.

종래 기술에 따른 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구는 도 8과 도 9에 보이듯이, 'T'자 형상을 형성하게 손잡이부(10)에 수직하게 고정된 중심축(11)과, 이런 중심축(11)의 끝단부에 결합된 래핑플레이트(12)로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 8 and 9, the end fitting wrapping tool of the nuclear fuel pipe according to the prior art includes a center shaft 11 vertically fixed to the handle 10 so as to form a T shape, And a lapping plate 12 coupled to an end of the lapping plate 11.

이런 래핑플레이트(12)에는 원자력발전소의 압력관의 엔드피팅의 내경에 삽입될 수 있는 돌출부(13)가 형성되어 있다 그리고, 원형의 돌출부(13)를 제외한 래핑플레이트(12)의 접촉면(14)은 엔드피팅의 수평밀봉면을 평활하게 래핑할 수 있도록 되어 있다The lapping plate 12 is provided with a protrusion 13 which can be inserted into the inner diameter of the end fitting of the pressure tube of the nuclear power plant. The contact surface 14 of the lapping plate 12, except for the circular protrusion 13, So that the horizontal sealing surface of the end fitting can be smoothly wrapped

그러나, 종래 기술에 따른 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구는 중심에 형성된 둘출부로 엔드피팅의 내경에 미끄럼접촉하여 래핑플레이트의 회전중심을 맞추기 때문에 정밀하게 엔드피팅의 래핑작업을 수행할 수 없는 단점이 있다.However, the end fitting lapping tool of the conventional fuel pipe according to the prior art has a disadvantage in that the lapping operation of the end fitting can not be performed precisely because the lapping tool is in sliding contact with the inner diameter of the end fitting by the toe formed at the center, .

또한, 종래의 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구는 숙련된 작업자가 손잡이부를 잡고 사용할 수 있도록 수공구로 제작되어 있기 때문에, 다수개의 핵연료관의 엔드피팅을 래핑작업시, 수많은 작업인력과 작업시간이 필요한 단점이 있다.In addition, since the end fitting wrapping tool of the conventional nuclear fuel pipe is manufactured as a hand tool so that a skilled worker can grasp the handle portion, the end fitting of a large number of fuel tubes is required to have a large number of workforce and a disadvantage .

또한, 종래의 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구를 사용하는 작업자가 고방사선구역에서 오랜 작업시간동안작업을 할 경우에는 방사선 피폭량에 대한 안전사고의 위험을 가져온다.In addition, if a worker using an end fitting wrapping tool of a conventional nuclear fuel tube operates for a long working time in a high radiation area, there is a risk of a safety accident to radiation exposure.

또한, 종래의 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구는 작업자가 수작업으로 다수개의 엔드피팅을 래핑작업하기 때문에 작업자의 피로를 누적시키는 단점이 있다.In addition, the conventional end fitting wrapping tool of the nuclear fuel tube has a disadvantage of accumulating fatigue of a worker because the worker manually laps a plurality of end fittings.

종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서. 레핑플레이트를 구동모터로 회전시키는 구동부와, 핵연료관의 엔드피팅에 장착하기 위한 내부고정장치 및, 외부고정장치를 구비하여, 엔드피팅의 래핑작업의 작업시간을 단축하고, 방사선 피폭량과 투입인력을 줄일 수 있는 핵연료관의 엔드피팅 래핑공구를 제공하려는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art. And an external fixation device for mounting the end fitting on the end fitting of the nuclear fuel tube to shorten the working time of the lapping operation of the end fitting and reduce the radiation exposure amount and the attraction force And to provide an end fitting lapping tool of a nuclear fuel tube which can be reduced.

상기 공개실용신안은 넓은 면을 가공하기 위한 구성으로 좁은 면을 보다 정밀하게 면가공하는 본원발명과는 서로 다른 발명입니다.The public utility model described above is a different invention from the present invention in which a narrow side is more precisely processed by a structure for machining a wide side.

1. 대한민국특허청 등록특허 제10-0893067호1. Korea Patent Office Registration No. 10-0893067 2. 대한민국특허청 공개실용신안 제2000-0007821호2. Korea Intellectual Property Office Published Utility Model No. 2000-0007821

본 발명의 해결하고자 하는 과제는SUMMARY OF THE INVENTION [0006]

부식성과 유동성이 있는 가스관 또는 기기의 개폐도어의 밀폐면을 정밀하게 가공하기 위한 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기를 제공하는 데 있다.There is provided a lapping machine for processing a noxious gas discharge gate valve for manufacturing a semiconductor device for precisely machining a sealing surface of a gas pipe or an opening / closing door of a machine having corrosion and fluidity.

본 발명의 다른 목적은 유압 또는 스프링의 장력을 조절하여 표면의 정밀가공이 이루어지도록 형성한 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a lapping machine for gate valve for processing noxious gas generated during semiconductor manufacturing, in which precision machining of the surface is controlled by controlling the tension of hydraulic pressure or spring.

본 발명의 과제의 해결 수단은Means for Solving the Problems of the Present Invention

중앙에 공간홈을 형성하고 원형테두리에 사포부착면을 형성한 전방헤드와 상기 전방헤드의 회전과 상하이동을 위한 전방핀고정구가 형성된 후방헤드와 상기 후방헤드와 연결되며 끝단에는 스프링의 장력을 조절하도록 나사산과 후방핀고정구가 형성된 지지봉으로 이루어진 사포장착회전체;A rear head formed with a space groove in the center and having a circular rim with a sandwich attachment surface formed thereon and a front pin fixture for rotation and vertical movement of the front head and a rear head connected to the rear head, A support shaft having a thread and a rear pin fixture formed thereon;

상기 사포장착회전체를 고정하도록 내부에는 후방헤드안착홈을 형성하고, 상기 후방헤드의 전후방핀고정구와 핀으로 서로 체결되도록 전방가이드홈이 형성되고, 후방헤드 안착홈의 후방에는 탄성력을 갖도록 탄성체가 형성된 탄성체안착홈과, 후방가이드홈으로 이루어진 몸체부;A rear head seating groove is formed in the interior of the rear head so as to fix the sandwich mounting rotation body, a front guide groove is formed to be engaged with the front and rear pin fixing holes of the rear head by a pin, and an elastic body A body portion formed of an elastic seat and a rear guide groove;

상기 몸체부의 후방에는 탄성체의 탄성력을 조절하도록 형성한 와셔와 고정너트를 형성하여 달성하였다.And a washer and a fixing nut are formed at the rear of the body to adjust the elastic force of the elastic body.

본 발명은 상기 탄성체와 오일을 형성하여 미세하게 탄성력을 제어하도록 한 특징이 있다.The present invention is characterized in that the elastic force is controlled finely by forming the elastic body and the oil.

본 발명은 반도체 등의 제조시 발생, 배출되는 유독한 가스에 노출된 배출관의 개폐도어의 밀폐면을 정밀하게 가공하여 누출되지 않도록 형성한 효과가 있다.The present invention has the effect of precisely processing the closed surface of the opening and closing door of the discharge pipe exposed to the toxic gas generated in the production of semiconductor or the like and preventing it from leaking.

또한, 개폐도어의 코팅면의 가공 정밀도를 높일 수 있으며, 특히 좁은 면을 가공시에 사용자가 사용하기에 편리한 매우 유용한 발명인 것이다.In addition, it is possible to enhance the machining precision of the coated surface of the opening and closing door, and it is a very useful invention particularly convenient for a user to use when processing a narrow surface.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기를 도시한 분해사시도.
도 3은 본 발명의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기의 A-A'선의 단면도.
도 4는 본 발명의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기의 단차가 형성된 다른 실시예의 사시도.
도 5는 도 4의 분해시시도.
도 6은 도 4의 B-B'선의 단면도.
도 7은 본 발명의 스프링과 오일을 형성한 다른 실시예의 단면도.
도 8은 종래의 래핑기를 도시한 상태도.
도 9는 종래의 래핑기를 도시한 상태도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing a lapping machine for processing a noxious gas discharge gate valve in a semiconductor manufacturing process according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
2 is an exploded perspective view showing a lapping machine for processing a gate valve for discharging noxious gas generated during semiconductor manufacturing according to the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'of a lapping machine for gate valve processing of a noxious gas generated during semiconductor manufacturing according to the present invention.
4 is a perspective view of another embodiment in which a step of a lapping machine for processing a noxious gas discharge gate valve is formed during semiconductor manufacturing according to the present invention.
5 is an exploded perspective view of Fig.
6 is a cross-sectional view taken along the line B-B 'in FIG.
7 is a cross-sectional view of another embodiment of forming a spring and oil of the present invention.
8 is a state diagram showing a conventional lapping machine.
9 is a state diagram showing a conventional lapping machine.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해 질 것이다. 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다 오히려 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 다르게 정의되지 않는 한 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Advantages and features of the present invention and methods for accomplishing them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. . The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be construed as meaning consistent with meaning in the context of the related art and are not to be construed as ideal or overly formal unless explicitly defined in the present application.

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 구체적으로 살펴본다.Preferred embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 7에 도시한 본 발명의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기는The lapping machine for processing noxious gas discharge gate valves, which is produced in the semiconductor manufacturing process of the present invention shown in Figs. 1 to 7,

도넛츠형사포(250); 중앙에 형성한 공간홈(100)과, 상기 공간홈의 원형테두리에 사포부착면(110)을 형성한 전방헤드(120)와, 상기 전방헤드의 회전과 상하이동을 위해 전방핀고정구(130)가 형성된 후방헤드(140)와, 상기 후방헤드와 연결되며 끝단에는 스프링의 장력을 조절하도록 나사산(150)과, 후방핀고정구(160)가 형성된 지지봉(170)으로 이루어진 사포장착회전체(200);A donut crimp foil 250; A front head 120 formed with a space groove 100 formed at the center thereof and having a sandwiching surface 110 formed on a circular rim of the space groove and a front pin fixture 130 for rotating and vertically moving the front head, And a support rod 170 connected to the rear head and having a screw 150 and a rear pin fixing hole 160 for adjusting a tension of a spring at an end thereof, ;

상기 사포장착회전체(200)를 고정하도록 내부에는 후방헤드안착홈(210)을 형성하고, 상기 후방헤드의 전방핀고정구(130)와 핀(190)으로 서로 체결되도록 형성한 전방가이드홈(220)과, 후방헤드안착홈(210)의 후방에는 탄성력을 갖도록 탄성체가 형성된 탄성체안착홈(230)과, 후방가이드홈(240)으로 이루어진 몸체부(300);A rear head seating groove 210 is formed in the interior of the rear head so as to fix the sandwich mounting rotation body 200 and a front guide groove 220 formed to be fastened to each other by a front pin fixing hole 130 of the rear head and a pin 190 An elastic receiving groove 230 having an elastic body to have an elastic force at the rear of the rear head receiving groove 210 and a body 300 including a rear guide groove 240;

상기 전방헤드와 몸체부의 전방면과의 간극을 형성하여 전방헤드가 일정구간 이동할 수 있는 유동간극(L)을 형성하고 상기 유동간극(L)은 2~20mm 정도 형성함이 바람직하다.It is preferable that a clearance L is formed between the front head and the front face of the body so that the front head can move a certain distance and the flow clearance L is about 2 to 20 mm.

상기 몸체부(300)의 후방에는 탄성체의 탄성력을 조절하도록 형성한 와셔(260)와 고정너트(270)를 형성한 특징이 있다.A washer 260 and a fixing nut 270 are formed at the rear of the body 300 to adjust the elastic force of the elastic body.

사포는 면사포를 사용하며, 사포거칠기는 220＃~600＃으로 사용하여 개폐도어의 알루미늄에 도금처리한 후에 도금면을 정밀가공하기 위한 래핑작업이 이루어진다.The sandpaper is used as a razor, and the roughness of the sandpaper is 220 # ~ 600 #, and the aluminum of the opening and closing door is plated, and then the lapping operation is performed to precisely process the plated surface.

상기 사포는 사포장착회전체(200)에 장착하기 위해 도넛츠형태로 가공한 도넛츠형사포(250)를 접착재(280)를 이용하여 부착한다. 상기 접착재는 양면테이프 또는 순간접착재로 고정한다.The sandpaper is attached to the donut-shaped crimped cloth 250, which is processed into a donut shape, to be attached to the sandwiching rotator 200 by using the adhesive 280. The adhesive is fixed with double-sided tape or instant adhesive.

상기 도너츠형사포(250)를 형성함으로 래핑시에 발생되는 미분가루가 중앙에 모이거나 외부로 쉽게 배출이 이루어지므로 초정밀도가 필요시에 적합하다.By forming the donut shaped blanket (250), fine powder generated at the time of lapping is collected at the center or easily discharged to the outside, which is suitable when super precision is required.

상기 본 발명은 탄성체로 스프링(180)을 사용하면 스프링은 금형스프링 또는 원형스프링을 각각 사용하거나 금형스프링과 원형스프링의 2중구조로 사용이 가능하다.In the present invention, when the spring 180 is used as the elastic body, the spring can be used as a mold spring or a circular spring, or as a double mold of a mold spring and a circular spring.

상기와 같이 형성한 래핑장치에 본 발명의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트용 래핑기를 고정하여 개폐도어인 알루미늄에 도금한 면을 가공시에 스프링의 장력만큼 탄성을 갖도록 사포장착회전체(200)가 전후방가이드홈에 따라 이동하도록 형성하였다. 상기 전후방가이드홈(220,240)은 가압하는 압력에 따라 핀(190)이 이동하도록 형성하였다.The lapping device for the noxious gas discharge gate generated during the manufacturing of the semiconductor of the present invention is fixed to the lapping device formed as described above, so that the surface plated on the aluminum door, which is the opening and closing door, Are formed to move along the front and rear guide grooves. The front and rear guide grooves 220 and 240 are formed so that the pin 190 moves according to the pressing pressure.

상기 사포장착회전체(200)의 끝단에 형성한 조절너트(270)를 조이면 장력이 강해지고 풀어주면 장력이 약해지도록 형성하였다. 상기 조절너트는 한 개의 너트를 사용하거나 두 개의 너트를 사용하여 락기능을 하도록 형성하였다.When the adjustment nut 270 formed at the end of the sandblasted rotating body 200 is tightened, the tension is strengthened, and when the adjustment nut 270 is loosened, the tension is weakened. The adjusting nut is formed to have a locking function by using one nut or using two nuts.

상기 본 발명의 도 4 내지 도 6에 도시 한 다른 실시예는 협소한 부분을 가공하기 위해 테두리면에 단차(290)을 가공한 사포장착회전체(200-1)를 형성하였다.In another embodiment shown in Figs. 4 to 6 of the present invention, a sandblasted rotating body 200-1 in which a step 290 is machined on a rim surface is formed to process a narrow portion.

상기 사포장착회전체(200-1)는 중앙에 형성한 공간홈(100)과, 상기 공간홈의 원형테두리에 사포부착면(110)을 형성하고, 상기 사포부착면의 외곽에 전방헤드(120-1) 보다 지름이 작은 단차(290)을 형성한 특징이 있다.The sandblasted rotating body 200-1 has a space groove 100 formed at the center and a sandwiching surface 110 formed on a circular rim of the space groove and a front head 120 -1), which is smaller than the diameter of the step 290.

상기와 같이 전방헤드(120-1) 보다 지름이 작은 단차(290)을 형성하여 협소한 부분을 쉽게 가공함과 동시에 직접 눈으로 보면서 가공이 정밀하게 이루어지도록 하였다.As described above, the step 290 having a smaller diameter than the front head 120-1 is formed to easily process a narrow portion and to precisely process while observing with eyes.

본 발명의 도 7에 도시한 다른 실시예의 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트용 래핑기는 몸체부(300)내에 스프링(180)과 오일(180-1)을 형성하여 일정한 가압을 주도록 한 특징이 있다.7 is characterized in that a spring 180 and oil 180-1 are formed in the body part 300 to apply a constant pressure to the body part 300 have.

상기 탄성체인 스프링(180)과 오일(180-1)을 같이 형성한 구조를 갖는 특징이 있다. 상기 스프링(180)과 오일(180-1)을 동시에 사용하여 불필요한 순간 가압시 압력의 균형을 맞출 수 있도록 한 특징이 있다.And the spring 180 and the oil 180-1 are formed in the same manner as the elastic body. The spring 180 and the oil 180-1 are used at the same time so that the pressure can be balanced when an instantaneous pressurization is unnecessary.

상기 사포장착회전체(200)의 후방헤드(140)의 면에 오일링(310)을 전방핀고정구(130)의 전후방에 각각 형성하여 오일이 새는 것을 방지하고, 지지봉(170)에는 오일이 이동하도록 형성한 오일이동구(350)와, 가이드패킹(320)을 전후방부에 형성한 후방마개(340)를 나사체결한 특징이 있다.An oil ring 310 is formed on the front surface of the rear head 140 of the sandblasted rotating body 200 in front of and behind the front pin fixing hole 130 to prevent leakage of oil, And the rear stopper 340 having the guide packing 320 formed on the front and rear portions thereof are screwed together.

상기 후방마개(340)는 오일의 밀폐력을 높일 수 있도록 가이드패킹을 형성하여 지지봉의 밀폐력을 높이도록 형성한 특징이 있다.The rear stopper 340 is formed to increase the sealing force of the support rod by forming a guide packing so as to increase the sealing force of the oil.

상기 후방헤드는 핀(190)이 끼워지는 전방핀고정구(130)의 전후방에 오일링(310)을 형성하고, 몸체부(300)에는 전방가이드패킹(320-1)을 더 형성하여 2중으로 오일의 누수를 방지하도록 한 특징이 있다.The rear head includes an oil ring 310 on the front and rear sides of the front pin fixture 130 in which the pin 190 is inserted and a forward guide packing 320-1 is further formed on the body part 300, Thereby preventing leakage of water.

상기 오일이동구(350)는 강한 가압을 방지하도록 오일이동구를 형성하여 입출입이 되도록 형성하고 끝단에는 완충밸브(360)를 형성한 특징이 있다.The oil passages 350 are formed in such a way that the oil is formed into and out of the groove so as to prevent strong pressure, and the buffer valve 360 is formed at the end.

상기 완충밸브는 오일이동구(350)와 연결된 관통구와 상기 관통구에 형성한 입구개폐밸브(370)와 스프링(380)으로 형성되어 순간 가압이 형성시에 오일공간홈(390)에서 오일이 유입되어 완충할 수 있도록 형성하였다. The buffer valve is formed by a through hole connected to the opening 350 and an inlet opening / closing valve 370 and a spring 380 formed in the through hole, so that the oil flows in the oil space groove 390 when instantaneous pressurization is formed. So that they can be buffered.

100: 공간홈 110: 사포부착면
120: 전방헤드 130: 전방핀고정구
140: 후방헤드 150: 나사산
160: 후방핀고정구 170: 지지봉
180: 스프링 190: 핀
200: 사포장착회전체 210: 후방헤드안착홈
220: 전방가이드홈 230: 탄성체안착홈
240: 후방가이드홈 250: 도넛츠형사포
280: 접착제 300: 몸체부100: space groove 110: sandpaper attachment surface
120: front head 130: front pin fixture
140: rear head 150: threaded
160: rear pin fixing member 170:
180: spring 190: pin
200: Sandwich mounting rotator 210: Rear head seating groove
220: front guide groove 230: elastomer seat groove
240: rear guide groove 250:
280: adhesive 300: body part

Claims (4)

중앙에 형성한 공간홈과, 상기 공간홈의 원형테두리에 사포를 부착한 사포부착면을 형성한 전방헤드와, 상기 전방헤드의 회전과 상하이동을 위한 전방핀고정구가 형성된 후방헤드와, 상기 후방헤드와 연결되며 끝단에는 스프링의 장력을 조절하도록 나사산과, 후방핀고정구가 형성된 지지봉으로 이루어진 사포장착회전체;
상기 사포장착회전체를 고정하도록 내부에는 후방헤드안착홈을 형성하고, 상기 후방헤드의 전후방핀고정구와 핀으로 서로 체결되도록 형성한 전방가이드홈과, 후방헤드안착홈의 후방에는 탄성력을 갖도록 탄성체가 형성된 탄성체안착홈과, 후방가이드홈으로 이루어진 몸체부;
상기 전방헤드와 몸체부의 전방면과의 간극을 형성하여 전방헤드가 일정구간 이동할 수 있는 유동간극을 형성하고,
상기 몸체부의 후방에는 탄성체의 탄성력을 조절하도록 형성한 와셔와 고정너트를 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기.
A front head having a space groove formed at the center thereof, a front head having a sandwiching surface with a sandpaper attached to a circular rim of the space groove, a rear head having a front pin fixture for rotation and vertical movement of the front head, And a support rod connected to the head and having a screw and a rear pin fixture for adjusting a tension of the spring at an end thereof;
A front guide groove formed so as to be coupled with the front and rear pin fixing holes of the rear head by a pin and an elastic body provided to the rear of the rear head mounting groove so as to have an elastic force, A body portion formed of an elastic seat and a rear guide groove;
A gap between the front head and the front surface of the body portion is formed to form a flow gap through which the front head can move for a predetermined interval,
And a washer and a fixing nut formed at the rear of the body to adjust the elastic force of the elastic body.
청구항 1에 있어서, 상기 사포는
도넛츠형사포를 형성하고 사포거칠기는 220＃~600＃을 사용한 것을 특징으로 하는 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기.The absorbent article as set forth in claim 1,
Characterized in that the donut-shaped crimped cloth is formed and the sandwich roughness is 220 # to 600 #. 청구항 1에 있어서, 상기 사포장착회전체는
협소한 부분을 가공하기 위해 공간홈의 원형테두리에 사포부착면을 형성하되, 상기 사포부착면의 외곽에 전방헤드 보다 지름이 작은 단차를 형성한 것을 특징으로 하는 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기.
[3] The apparatus according to claim 1,
Wherein a sandwich attachment surface is formed on a circular rim of the space groove to process a narrow portion, and a stepped portion having a diameter smaller than that of the front head is formed on an outer periphery of the sandpaper attachment surface. Lapping machines for valve processing.
청구항 1에 있어서,
상기 몸체부내에 스프링과 오일을 구비하여 미세하게 탄성력을 조절할 수 있도록 형성하되,
사포장착회전체의 후방헤드의 면에 오일링을 전방핀고정구의 전후방에 각각 형성하고, 지지봉에는 오일이 이동하도록 형성한 오일이동구와, 가이드패킹을 전후방부에 형성한 후방마개를 나사체결하고, 상기 후방헤드는 핀이 끼워지는 전방핀고정구의 전후방에 오일링을 형성하고, 몸체부에는 전방가이드패킹을 형성하여 2중으로 오일의 누수를 방지하도록 하고, 상기 오일이동구는 강한 순간가압을 방지하도록 오일이동구를 형성하여 오일이 입출입이 되도록 형성하고 끝단에는 오일이동구와 연결된 관통구와 상기 관통구에 형성한 입구개폐밸브와 스프링으로 형성되어 순간가압이 형성시에 오일공간홈에서 완충할 수 있도록 완충밸브로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조시 발생되는 유해가스배출 게이트 밸브 가공용 래핑기.The method according to claim 1,
Wherein a spring and an oil are provided in the body part so that the elastic force can be finely adjusted,
An oil ring is formed on the front and rear sides of the front pin fixing hole on the surface of the rear head of the sandwich mounting rotary body. The rear oil pan formed in the support rod for oil movement and the rear stopper having the guide packing formed on the front and rear sides are screwed , The rear head forms an oil ring on the front and rear sides of the front pin fixing hole in which the pin is fitted and a front guide packing is formed on the body part to prevent double leakage of oil, The oil is formed into a tongue so as to allow the oil to flow in and out. At the end, the oil is formed by a through-hole connected to the tongue and an inlet opening and closing valve and a spring formed in the through-hole. Wherein the valve is made of a damping valve.
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