KR101921653B1 - 벨로우즈 히터밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 벨로우즈 히터밸브에 관한 것으로, 그 목적은, 밸브개폐체의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 하는 벨로우즈 히터밸브를 제공함에 있다. 이는 가스의 출입을 위한 입구와 출구를 가지는 밸브바디; 상기 밸브바디의 내부에 이동가능하게 설치되어 입구를 개폐하는 밸브개폐체; 상기 밸브바디에 결합되어 밸브개폐체를 이동시키기 위한 구동유닛; 상기 구동유닛과 상기 밸브개폐체를 연결하는 연결축; 상기 밸브개폐체의 상부에 결합됨과 아울러 상기 연결축을 감싸도록 하는 벨로즈; 상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디에 열을 가하는 적어도 하나 이상의 바디히터; 상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디의 온도를 측정하는 적어도 하나 이상의 제1써머커플; 을 포함하며, 상기 밸브개폐체는, 하단부가 밸브바디의 입구측 내측에 밀착되고, 내부에 공간부가 형성되어진 개폐체하우징과, 상기 개폐체하우징의 내부에 매설되고, 일단부가 상기 연결축의 내부를 통해 외측으로 인출되는 개폐체히터와, 상기 개폐체히터를 상기 개폐체하우징에 밀봉시키는 밀봉부재와, 상기 밀봉부재의 상부에 결합되어 개폐체하우징을 폐쇄시키는 덮개부재와, 상기 밀봉부재에 중심축에서 반경방향으로 형성된 복수의 관통공 중 어느 하나에 결합되어, 상기 밸브개폐체의 온도를 측정하는 제2써머커플로 이루어진 것이다.

Description

벨로우즈 히터밸브{BELLOWS HEATER VALVE}

본 발명은 벨로우즈 히터밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 밸브개폐체의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 하는 벨로우즈 히터밸브에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체나 LCD의 제조 시에 발생하는 유해 가스를 배출하는 배기 라인이나 공기를 배출시키는 진공 라인 등에는 가스의 흐름을 제어하기 위한 수단으로 밸브 장치가 사용되는데, 이러한 밸브 장치에 유해 가스로 인한 파우더(By-product)가 증착되면서 각종 부품들의 막힘 현상이 발생하게 되고, 이와 관련한 부대 설비의 크리닝 주기가 잦아 결국 양산에 지장을 초래하고 있다.

이러한, 문제점을 해결하기 위해 한국 등록특허 10-1272279호의 "밸브 장치"가 개시되어 있다.

도 1 및 도 2는 종래에 따른 밸브 장치를 나타낸 도면이다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 종래에 따른 밸브 장치는, 가스의 출입을 위한 입구(1a)와 출구(1b)를 가지는 밸브바디(1); 상기 밸브바디(1)의 내부에 이동가능하게 설치되어 입구(1a)를 개폐하는 밸브개폐체(2); 상기 밸브바디(1)에 결합되어 밸브개폐체(2)를 동작시켜주는 수단으로서 연결축(3b)을 통해 밸브개폐체(2)와 연결되는 구동유닛(3); 상기 연결축(3b)의 둘레에 배치되는 동시에 구동유닛(3)측과 밸브개폐체(2)측 사이에 연결 설치되면서 기밀을 유지시켜주는 벨로우즈(4); 및 내부가 비어 있는 원통 형상으로 상기 밸브바디(1)와 구동유닛(3) 사이에 설치되며 상기 벨로우즈(4)를 내측으로 수용하는 벨로우즈가드(5);를 포함하며, 상기 밸브개폐체(2)의 이동에 의한 밸브 오픈 시에 상기 밸브개폐체(2)가 상기 벨로우즈가드(5)의 선단부에 밀착되면서 상기 벨로우즈(4)가 속해 있는 벨로우즈가드(5) 내부 공간이 밀폐되어 상기 벨로우즈(4)가 상기 밸브바디(1)의 입구로 유입되는 가스에 노출되는 것을 막아주는 것이다.

또한, 상기 밸브바디(1)에 설치되는 바디히터(6) 및 상기 밸브개폐체(2)에 설치되는 개폐체히터(7)를 더 포함하고, 상기 바디히터(6)와 개폐체히터(7)는 길다란 바 형태로 이루어져, 바디히터(6)는 구동유닛(3) 몸체를 관통하여, 개폐체히터(7)는 구동유닛 연결축(3b)을 관통하여 각각 삽입되는 구조로 설치되는 것이다.

또한, 상기 바디히터(6)와 개폐체히터(7)는 밸브바디(1) 외부와 내부의 온도를 각각 측정하기 위한 내장형의 써머커플(8)을 포함하는 것이다.

또한, 구동유닛(3)의 피스톤(3a)에는 중공의 파이프 형태로 이루어진 연결축(3b)이 너트 체결구조로 연결되고, 이렇게 연결되는 피스톤(3a)의 선단부는 실린더(3c) 몸체의 선단부를 관통하여 앞쪽으로 연장되면서 밸브개폐체(2)와 결합된다.

또한, 상기 연결축(3b)과 피스톤(3a)이 결합되는 부위에는 오링(9)이 결합되어 있다.

그리고, 상기 연결축(3b)의 후단에는 피스톤 인디게이터(3d)가 너트 체결구조로 연결되면서 동축선상에 놓이게 되고, 이렇게 연결되는 피스톤 인디게이터(3d)는 실린더(3c) 몸체의 후단부를 관통하여 외부로 일정길이 연장되며, 이렇게 외부로 연장되는 부분을 이용하여 구동유닛(3)의 작동상태를 감지할 수 있게 된다.

그러나, 종래에 따른 밸브장치는 개폐체히터(7)와 이의 온도를 측정하는 내장형의 써머커플(8)에 의해 밸브개폐체(2)의 온도를 외부에 디스플레이 하게 되는데, 밸브개폐체(2)와 개폐체히터(7)와의 온도차이로 인해 실제 밸브개폐체(2)와 디스플레이의 온도편차가 심하게 발생되는 문제점이 있다.

또한, 밸브바디(1)에 결합되는 바디히터(6)도 내장형의 써머커플(8)에 의해 밸브바디(1)와 바디히터(6)와의 온도차이로 인해 실제 밸브바디(1)와 디스플레이의 온도편차가 심하게 발생되는 문제점이 있다.

또한, 밸브바디(1)와 구동유닛(3)을 결합시키는 조립볼트가 밸브바디의 열에 의해 나사산 등의 변형이 발생되어 조립력이 약해지는 문제점이 있다.

또한, 밸브개폐체(2)에 결합되는 개폐체히터(7)의 온도가 밸브개폐체(2)에 결합되어 입구를 차단하는 입구측 밀폐부재(1c)에 열을 가하지 못하는 구조로 인해 입구측 밀폐부재(1c)에 파우더 등이 증착되어 가스 리크가 발생되는 문제점이 있다.

또한, 피스톤(3a)과 연결축(3b) 사이를 조립시키는 조립너트(3e)에 결합되어진 오링(9)이 파손되면 실린더(3c) 내부에 공급되는 공기가 외부로 배출되지 못하고, 실린더(3c) 내부의 또 다른 챔버로 이동하여 밸브가 이상 작동되는 문제점이 있다.

특허1: 등록특허 10-1272279호{등록일자 2013년 05월 31일}

본 발명은 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 밸브개폐체의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 하는 벨로우즈 히터밸브를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 밸브바디의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 하는 벨로우즈 히터밸브를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 밸브바디와 구동유닛 사이에 결합되는 조립볼트의 밸브바디 나사산부의 내구성을 높이도록 하는 벨로우즈 히터밸브를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 피스톤과 연결축 사이의 오링이 파손되더라도 실린더 내부에 공급되는 압축공기를 외부로 배출하도록 하는 벨로우즈 히터밸브를 제공함에 있다.

본 발명을 달성하기 위한 기술적 사상으로 벨로우즈 히터밸브는, 가스의 출입을 위한 입구와 출구를 가지는 밸브바디; 상기 밸브바디의 내부에 이동가능하게 설치되어 입구를 개폐하는 밸브개폐체; 상기 밸브바디에 결합되어 밸브개폐체를 이동시키기 위한 구동유닛; 상기 구동유닛과 상기 밸브개폐체를 연결하는 연결축; 상기 밸브개폐체의 상부에 결합됨과 아울러 상기 연결축을 감싸도록 하는 벨로즈; 상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디에 열을 가하는 적어도 하나 이상의 바디히터; 상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디의 온도를 측정하는 적어도 하나 이상의 제1써머커플; 을 포함하며, 상기 밸브개폐체는, 하단부가 밸브바디의 입구측 내측에 밀착되고, 내부에 공간부가 형성되어진 개폐체하우징과, 상기 개폐체하우징의 내부에 매설되고, 일단부가 상기 연결축의 내부를 통해 외측으로 인출되는 개폐체히터와, 상기 개폐체히터를 상기 개폐체하우징에 밀봉시키는 밀봉부재와, 상기 밀봉부재의 상부에 결합되어 개폐체하우징을 폐쇄시키는 덮개부재와, 상기 밀봉부재에 중심축에서 반경방향으로 형성된 복수의 관통공 중 어느 하나에 결합되어, 상기 밸브개폐체의 온도를 측정하는 제2써머커플로 이루어진 것이다.

또한, 상기 바디히터 및 제1써머커플은 상기 밸브바디의 외측에서 셋트스크류로 상기 밸브바디에 밀착되도록 하는 것이다.

또한, 상기 밸브바디와 구동유닛은 체결볼트로 결합하되, 상기 밸브바디의 외측에 형성된 결합홈에 너트를 결합하고, 상기 너트에 상기 체결볼트의 단부가 결합되도록 하는 것이다.

또한, 상기 구동유닛은, 내측에 공간부가 형성되고, 외측에 적어도 하나 이상의 공기포트가 형성된 실린더와, 상기 실린더의 공간부에 설치되고, 상기 공기포트에 공급되는 공기에 의해 전,후진되는 피스톤과, 상기 피스톤의 중앙에 관통되어진 연결축을 고정시키는 조립너트와, 상기 조립너트가 결합된 상기 피스톤의 상부면에 볼트로 결합되는 몸체부와 상기 몸체부의 상부에 돌출되어 상기 실린더의 외측에 위치되는 지지파이프로 이루어지는 인디게이터와, 상기 인디게이터의 몸체부와 피스톤의 접촉면 상에 결합되는 제1오링과, 상기 연결축의 외주면과 피스톤 사이에 설치된 제2오링을 포함하며, 상기 연결축으로의 열전달에 의해 상기 제2오링이 파손되더라도 제1오링으로 밀폐를 유지하여 상기 인디게이터의 몸체부와 연결축 사이의 틈새를 통해 상기 인디게이터의 지지파이프로 실린더 내부로 유입된 공기가 배출되도록 하는 것이다.

본 발명을 달성하기 위한 기술적 사상으로 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브는, 밸브바디의 입구를 개폐하는 밸브개폐체의 개폐체하우징에 개폐체히터를 매설하고, 밀봉부재로 상기 개폐체히터를 밀봉시키되, 밀봉부재의 형성된 관통공에 제2써머커플을 설치하고, 덮개부재로 폐쇄하도록 함으롯, 밸브개폐체의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브는, 바디히터 및 제1써머커플을 상기 밸브바디의 외측에서 셋트스크류로 상기 밸브바디에 밀착되도록 함으로서, 밸브바디의 실제온도와 디스플레이에서 표시되는 감지온도 사이의 온도편차를 최소화하도록 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브는, 밸브바디와 구동유닛은 체결볼트로 결합하되, 상기 밸브바디의 외측에 형성된 결합홈에 너트를 결합하고, 상기 너트에 상기 체결볼트의 단부가 결합되도록 함으로서, 밸브바디와 구동유닛 사이에 결합되는 조립볼트의 밸브바디 나사산부의 내구성을 높이도록 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브는, 연결축으로의 열전달에 의해 오링이 파손되면, 인디게이터의 몸체부와 연결축 사이의 틈새를 통해 상기 인디게이터의 지지파이프로 실린더 내부로 유입된 공기가 배출되도록 함으로서, 피스톤과 연결축 사이의 오링이 파손되더라도 실린더 내부에 공급되는 압축공기를 외부로 배출하도록 할 수 있다.

도 1 및 도 2는 종래에 따른 밸브 장치를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 분해사시도.
도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 밸브개폐체에 대한 분해사시도.
도 7은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 바디히터 및 제1써머커플과 셋트스크류의 관계를 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 체결볼트와 너트와의 관계를 나타낸 단면도.
도 9는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 단면도로서, 밸브가 개방된 상태를 나타낸 도면.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참고로 그 구성 및 작용을 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 분해사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 밸브개폐체에 대한 분해사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 바디히터 및 제1써머커플과 셋트스크류의 관계를 나타낸 단면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 체결볼트와 너트와의 관계를 나타낸 단면도이며, 도 9는 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브의 단면도로서, 밸브가 개방된 상태를 나타낸 도면이다.

도 3 및 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브(100)는, 밸브바디(10), 밸브개폐체(20), 구동유닛(30), 연결축(40), 벨로우즈(50), 바디히터(60), 및 제1써머커플(70)을 포함한다.

상기 밸브바디(10)는, 가스의 출입을 위한 입구(11)와 출구(12)를 가지는 것이다.

상기 밸브개폐체(20),는, 상기 밸브바디(10)의 내부에 이동가능하게 설치되어 입구(11)를 개폐하는 것으로, 개폐체하우징(21), 개폐체히터(22), 밀봉부재(23), 덮개부재(24) 및 제2써머커플(25)로 이루어진다.

상기 개폐체하우징(21)은, 하단부가 밸브바디(10)의 입구측 내측에 밀착되고, 내부에 공간부가 형성되어진다.

또한, 상기 개폐체하우징(21)의 하단부에는 밀폐부재(26)가 설치되어 가스의 출입을 위한 입구(11)의 차폐력을 향상시키며, 종래에 비해 밀폐부재(26)와 개폐체히터(22)가 근접설치되어 가스에 의한 파우더의 증착을 방지하게 된다.

상기 개폐체히터(22)는, 상기 개폐체하우징(21)의 내부에 매설되고, 일단부가 상기 연결축(40)의 내부를 통해 외측으로 인출되는 것이다.

상기 밀봉부재(23)는, 상기 개폐체히터(22)를 상기 개폐체하우징(21)에 밀봉시키는 것으로, 내열성이 우수한 엑폭시 등이 바람직하다.

상기 덮개부재(24)는, 상기 밀봉부재(23)의 상부에 결합 후 용접으로 개폐체하우징(21)을 폐쇄시키는 것이다.

상기 제2써머커플(25)은, 상기 밀봉부재(23)에 중심축에서 반경방향으로 형성된 복수의 관통공 중 어느 하나에 결합되어 상기 밸브개폐체(20)의 온도를 측정하는 것이다.

즉, 상기 제2써머커플(25)은, 개폐체히터(22)의 실제온도가 덮개부재(24)와 개폐체하우징(21)에 전도되는데, 이를 측정하여 디스플레이부에 표시하도록 하여 실제온도와 디스플레이의 표시온도와의 차이를 최소화하게 된다.

상기 구동유닛(30)은, 상기 밸브바디(10)에 결합되어 밸브개폐체(20)를 이동시키기 위한 것으로, 실린더(31), 피스톤(32), 조립너트(33), 인디게이터(34), 제1오링(35) 및 제2오링(36)을 포함한다.

상기 실린더(31)는, 내측에 공간부가 형성되고, 외측에 적어도 하나 이상의 공기포트(31a)가 형성된 것이다.

상기 공기포트(31a)는 제1공기포트(31a-1)와 제2공기포트(31a-2)로 이루어지고, 동작용 압축공기가 공급되도록 하여 피스톤(32)을 전,후진시키게 된다.

상기 피스톤(32)은, 상기 실린더(31)의 공간부에 설치되고, 상기 공기포트(31a)에 공급되는 공기에 의해 전,후진되는 것이다.

상기 조립너트(33)는, 상기 피스톤(32)의 중앙에 관통되어진 연결축(40)을 고정시키는 것이다.

상기 인디게이터(34)는, 상기 조립너트(33)가 결합된 상기 피스톤(32)의 상부면에 볼트로 결합되는 몸체부(34a)와 상기 몸체부(34a)의 상부에 돌출되어 상기 실린더(31)의 외측에 위치되는 지지파이프(34b)로 이루어지는 것이다.

상기 제1오링(35)은, 상기 인디게이터(34)의 몸체부(34a)와 피스톤(32)의 접촉면 상에 결합되는 것이다.

상기 제2오링(36)은, 상기 연결축(40)의 외주면과 피스톤(32) 사이에 설치된 것이다.

또한, 상기 연결축(40)으로의 열전달에 의해 상기 제2오링(36)이 파손되면, 상기 인디게이터(34)의 몸체부와 연결축(40) 사이의 틈새를 통해 상기 인디게이터(34)의 지지파이프(34b)로 실린더(31) 내부로 유입된 공기가 배출되도록 하는 것이다.

즉, 피스톤(32)의 공기포트(31a)로 유입된 압축공기가 제2오링(36)이 파손되더라도 제1오링(35)으로 밀폐를 유지하여 피스톤(32)의 동작에는 영향을 미치지 않고, 외부로 배출되도록 하여 종래와 같은 오동작을 방지할 수 있는 것이다.

또한, 상기 밸브바디(10)와 구동유닛(30)은 체결볼트(90)로 결합하되, 상기 밸브바디(10)의 외측에 형성된 결합홈에 너트(91)를 결합하고, 상기 너트(91)에 상기 체결볼트(90)의 단부가 결합되록 하여 밸브바디(10)에 가해지는 열로 인해 체결볼트(90)의 밸브바디 나사산부 변형에 의한 리크를 방지하게 된다.

즉, 상기 밸브바디(10)의 재질이 알루미늄 등으로 이루어지게 되는데, 바디히터(60)에서 가해지는 열을 상대적으로 내열성이 강한 스텐레스 등으로 이루어진 체결볼트(90)와 너트(91)를 이용하여 열에 의해 변형을 방지하여 체결력을 유지시키게 된다.

상기 연결축(40)은, 상기 구동유닛(30)과 상기 밸브개폐체(20)를 연결하는 것이다.

상기 벨로우즈(50)는, 상기 밸브개폐체(20)의 상부에 결합됨과 아울러 상기 연결축(40)을 감싸도록 하는 것이다.

상기 바디히터(60)는, 상기 밸브바디(10)에 결합되어져 상기 밸브바디(10)의 열을 가하는 것으로, 적어도 하나 이상으로 설치된다.

상기 제1써머커플(70)은, 상기 밸브바디(10)에 결합되어져 상기 밸브바디(10)의 온도를 측정하는 것으로, 적어도 하나 이상으로 이루어진다.

또한, 상기 바디히터(60) 및 제1써머커플(70)은 상기 밸브바디(10)의 외측에서 셋트스크류(80)로 상기 밸브바디(10)에 밀착되도록 하여 밸브바디(10)의 자체의 온도와 이를 측정해서 디스플레이 되는 온도와의 편차를 최소화하게 한다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브(100)는, 밸브바디(10)의 내부에 밸브개폐체(20)를 결합하게 되는데, 상기 밸브개폐체(20)는, 개폐체하우징(21)의 내부에 개폐체히터(22)를 설치하고, 상기 개폐체히터(22)를 상기 개폐체하우징(21)에 밀봉부재(23)를 이용하여 밀봉시키되, 상기 밀봉부재(23)의 상면에 형성된 중심축에서 반경방향으로 형성된 복수의 관통공 중 어느 하나에 제2써머커플(25)을 설치하게 된다.

상기 제2써머커플(25)의 위치는 디스플레이부에서 표시되는 온도와 편차가 최소화하는 지점에 설치하도록 여러번 설치위치를 변경하게 되고, 덮개부재(24)로 상기 개폐체하우징(21)을 폐쇄시키며, 중심에 연결축(40)을 연결하여 구동유닛(30)의 피스톤(32)에 조립너트(33)로 결합하게 된다.

또한, 상기 밸브바디(10)의 상측에는 구동유닛(30)을 체결볼트(90)로 조립하게 되는데, 상기 밸브바디(10)의 외측에 형성된 결합홈에 너트(91)를 결합하고, 상기 너트(91)에 상기 체결볼트(90)의 단부가 결합되도록 하여 체결볼트(90)의 체결을 유지하게 된다.

또한, 상기 구동유닛(30)과 밸브바디(10)를 관통하여 복수의 바디히터(60)를 결합함과 아울러 제1써머커플(70)을 설치하되, 상기 밸브바디(10)의 외측에서 셋트스크류(80)로 상기 바디히터(60)와 제1써머커플(70)을 상기 밸브바디(10)에 밀착되도록 하여 밸브바디(10) 자체의 온도를 디스플레이부에 표시되는 온도와의 편차를 최소화되도록 한다.

그리고, 상기 구동유닛(30)의 실린더(31)에 설치된 피스톤(32)과 연결축(40) 사이에 설치된 제2오링(36)이 밸브 자체의 온도에 의해 파손되더라도, 인디게이터(34)의 몸체부(34a)와 연결축(40) 사이의 틈새를 통해 상기 인디게이터(34)의 지지파이프(34b)로 실린더(31) 내부로 유입된 공기가 배출되도록 하여 오링의 파손으로 인한 피스톤(32)의 오동작을 방지할 수 있게 된다.

이와 같이 조립된 본 발명에 따른 벨로우즈 히터밸브(100)의 작동상태는, 밸브바디(10)의 내부에 설치된 밸브개폐체(20)를 승하강시켜 가스의 출입을 위한 입구를 개방 또는 폐쇄시키게 되는데, 이는 밸브개폐체(20)와 연결된 연결축(40)과 결합된 구동유닛(30)의 피스톤(32)에 의해 가능하게 된다.

즉, 밸브가 개방되기 위해서는 제1공기포트(31a-1)로 압축공기가 유입되면 실린더(31)의 내부에 설치된 피스톤(32)을 일측으로 이동시킴과 아울러 밸브바디(10)의 입구를 폐쇄시키고 있던 밸브개폐체(20)를 개방시켜 가스를 출구측으로 배출하게 된다.

이때 밸브바디(10)와 밸브개폐체(20)에 각각 설치된 바디히터(60)와 개폐체히터(22)가 발열하여 가스가 밸브바디(10) 내부에서 증착되는 것을 방지하게 되며, 제1써머커플(70) 및 제2써머커플(25)에서 측정된 온도를 디스플레이에 표시하게 되는데, 밸브바디(10)와 밸브개폐체(20)의 실제온도를 디스플레이하여 온도편차를 최소화하게 되는 것이다.

또한, 밸브를 폐쇄시키기 위해서는 제2공기포트(31a-2)로 압축공기가 유입되면 실린더(31)의 내부에 설치된 피스톤(32)을 타측으로 이동시킴과 아울러 밸브바디(10)의 입구를 개방시키고 있던 밸브개폐체(20)를 폐쇄시켜 가스의 이동을 차단하게 된다.

이때 밸브개폐체(20)의 하부에 설치된 밀폐부재(26)에 개폐체히터(22)가 근접되게 설치되어 파우더가 증착되지 않는다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명한 것이나, 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자들에게는 다양한 변형 및 다른 실시예가 가능하다는 점이 이해될 것이다.

100: 벨로우즈 히터 밸브
10: 밸브바디 11: 입구
12: 출구 20: 밸브개폐체
21: 개폐체하우징 22: 개폐체히터
23: 밀봉부재 24: 덮개부재
25: 제2써머커플 26: 밀폐부재
30: 구동유닛 31: 실린더
31a: 공기포트 32: 피스톤
33: 조립너트 34: 인디게이터
34a: 몸체부 34b: 지지파이프
35: 제1오링 36: 제2오링
40: 연결축 50: 벨로우즈
60: 바디히터 70: 제1써머커플
80: 셋트스크류 90: 체결볼트
91: 너트

Claims (4)

1. 가스의 출입을 위한 입구와 출구를 가지는 밸브바디;
   상기 밸브바디의 내부에 이동가능하게 설치되어 입구를 개폐하는 밸브 개폐체;
   상기 밸브바디에 결합되어 밸브 개폐체를 이동시키기 위한 구동유닛;
   상기 구동유닛과 상기 밸브 개폐체를 연결하는 연결축;
   상기 밸브 개폐체의 상부에 결합됨과 아울러 상기 연결축을 감싸도록 하는 벨로우즈;
   상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디에 열을 가하는 적어도 하나 이상의 바디 히터;
   상기 밸브바디에 결합되어져 상기 밸브바디의 온도를 측정하는 적어도 하나 이상의 제1써머커플; 을 포함하며,
   상기 밸브 개폐체는, 하단부가 밸브바디의 입구측 내측에 밀착되고, 내부에 공간부가 형성되어진 개폐체하우징과, 상기 개폐체하우징의 내부에 매설되고, 일단부가 상기 연결축의 내부를 통해 외측으로 인출되는 개폐체히터와, 상기 개폐체히터를 상기 개폐체하우징에 밀봉시키는 밀봉부재와, 상기 밀봉부재의 상부에 결합되어 개폐체하우징을 폐쇄시키는 덮개부재와, 상기 밀봉부재에 중심축에서 반경방향으로 형성된 복수의 관통공 중 어느 하나에 결합되어, 상기 밸브 개폐체의 온도를 측정하는 제2써머커플로 이루어지며,
   상기 구동유닛은, 내측에 공간부가 형성되고, 외측에 적어도 하나 이상의 공기포트가 형성된 실린더와, 상기 실린더의 공간부에 설치되고, 상기 공기포트에 공급되는 공기에 의해 전,후진되는 피스톤과, 상기 피스톤의 중앙에 관통되어진 연결축을 고정시키는 조립너트와, 상기 조립너트가 결합된 상기 피스톤의 상부면에 볼트로 결합되는 몸체부와 상기 몸체부의 상부에 돌출되어 상기 실린더의 외측에 위치되는 지지파이프로 이루어지는 인디게이터와, 상기 인디게이터의 몸체부와 피스톤의 접촉면 상에 결합되는 제1오링과, 상기 연결축의 외주면과 피스톤 사이에 설치된 제2오링을 포함하며, 상기 연결축으로의 열전달에 의해 상기 제2오링이 파손되더라도 제1오링으로 밀폐를 유지하여 상기 인디게이터의 몸체부와 연결축 사이의 틈새를 통해 상기 인디게이터의 지지파이프로 실린더 내부로 유입된 공기가 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 히터밸브.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 바디 히터 및 제1써머커플은 상기 밸브바디의 외측에서 셋트스크류로 상기 밸브바디에 밀착되도록 하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 히터밸브.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 밸브바디와 구동유닛은 체결볼트로 결합하되, 상기 밸브바디의 외측에 형성된 결합홈에 너트를 결합하고, 상기 너트에 상기 체결볼트의 단부가 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 히터밸브.
   
4. 삭제

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