KR101915610B1 - Source for steam - Google Patents

Source for steam Download PDF

Info

Publication number
KR101915610B1
KR101915610B1 KR1020170025963A KR20170025963A KR101915610B1 KR 101915610 B1 KR101915610 B1 KR 101915610B1 KR 1020170025963 A KR1020170025963 A KR 1020170025963A KR 20170025963 A KR20170025963 A KR 20170025963A KR 101915610 B1 KR101915610 B1 KR 101915610B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
container
insulating layer
steam
heat insulating
steam generating
Prior art date
Application number
KR1020170025963A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20180099033A (en
Inventor
이국환
최대규
Original Assignee
(주)엔피홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)엔피홀딩스 filed Critical (주)엔피홀딩스
Priority to KR1020170025963A priority Critical patent/KR101915610B1/en
Publication of KR20180099033A publication Critical patent/KR20180099033A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101915610B1 publication Critical patent/KR101915610B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
    • H01L21/02052—Wet cleaning only
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking

Abstract

본 발명은 스팀 생성 용기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단열재와 방폭구조체를 구비함으로써, 고순도의 스팀을 제공하고, 공정시, 증기압의 영향으로 취성이 약한 용기의 사용으로 인해 발생할 수 있는 문제를 구조적으로 차단하여 사용자 안전성을 향상시키기 위한 것이다. 액체를 수용하는 공간부를 구비하는 용기; 상기 용기에 삽입된 히터; 상기 용기 외측에 마련된 단열층; 상기 용기와 상기 단열층을 수용하도록 구비되며, 상기 용기 및 상기 단열층이 일정기준 이상의 변형을 억제 또는 방지하는 메탈 재질의 방폭케이스;가 구비될 수 있다.The present invention relates to a steam generating container, and more particularly, to a steam generating container which is provided with a heat insulating material and an explosion-proof structure to provide a high-purity steam and to solve the problems that may occur due to the use of a vessel, In order to improve user safety. A container having a space for receiving liquid; A heater inserted in the vessel; A heat insulating layer provided outside the container; And an explosion-proof case made of a metal, which is provided to receive the container and the heat insulating layer, and which suppresses or prevents deformation of the container and the heat insulating layer above a predetermined standard.

Description

스팀 생성 용기{SOURCE FOR STEAM}A steam generating vessel {SOURCE FOR STEAM}

본 발명은 스팀 생성 용기에 관한 것으로, 구체적으로는 단열재와 방폭구조체를 구비한 스팀 생성 용기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a steam generating container, and more particularly, to a steam generating container having a heat insulating material and an explosion-proof structure.

일반적으로 반도체 웨이퍼, 화면표시 장치의 기판은 여러 공정을 거쳐 제조되며, 각 공정에서 미립자, 여러 금속을 함유한 무기물 및 폴리머화합물 등의 유기오염물이 발생한다. 이 오염물은 기판의 품질에 큰 영향을 미치는 문제를 발생한다. 또한, 산업이 발달함에 따라 기판의 미세화 동향은 90 → 65 → 45nm로, 점점 미세화되며 이에 따라 회로 패턴의 미세화, 고밀도화, 고집적화, 배선의 다층화가 진행됨에 따라 제조공정이 복잡해지고 제조 공정수도 계속 증가하고 있다. 뿐만 아니라, 칩 면적도 증대되고 웨이퍼 지름도 200mm에서 300mm로 대구경화되어 파티클(이물 미립자), 금속불순물, 표면 흡착 화학물질 등 미세(미량) 오염물질을 줄일 수 있는 세정공정이 요구되고 있는 실정이다.Generally, semiconductor wafers and substrates of screen display devices are manufactured through various processes, and organic contaminants such as fine particles, inorganic substances containing various metals, and polymer compounds are generated in each process. This contaminant causes a problem that greatly affects the quality of the substrate. Also, as the industry develops, the miniaturization trend of the substrate becomes gradually from 90 → 65 → 45 nm, and as a result, miniaturization, high density, high integration and wiring multi-layering are progressed, . In addition, the chip area is increased and the diameter of the wafer is also increased from 200 mm to 300 mm, and a cleaning process is required to reduce minute contaminants such as particles (foreign particles), metal impurities, and surface adsorption chemicals .

이때, 스팀을 생성하는 메탈재질의 용기 내부 또는 메탈재질의 히터를 통해 미량의 무기물과 유기물이 생성된 스팀과 함께 공급되어 기판의 금속오염을 발생시키는 원인이며, 이는 곧 완성된 기판의 수율에 영향을 미친다.In this case, the metal is contaminated with metal by supplying a trace amount of inorganic material and steam generated by the organic material through a metal material container or a metal material heater which generates steam, which causes the metal contamination of the substrate. .

금속오염을 발생시키는 원인은 알칼리 금속(Na, K), 중금속(Fe, Ni, Cu, Au 등), 기타금속(Al, Ca 등) 등이며, 각각의 금속들은 공정상에서 각각의 영향을 미친다.The causes of metal contamination are alkali metals (Na, K), heavy metals (Fe, Ni, Cu, Au etc) and other metals (Al, Ca etc.).

알칼리 금속의 경우에 MOS트랜지스터 불안정과 게이트 산화막의 내압 열화의 원인이 되며, 중금속의 경우에는 PN접합 역방향 리크 전류 증대 및 게이트산화막의 내압열화, 소수 캐리어 라이프 타임 열화, 산화 여기적층 결합발생의 원인이 된다. 또한, 기타금속의 경우에는 알루미늄에 의한 도팬트로서 작용되고 칼슘에 의한 절연막 내압불량이 발생한다.In the case of alkali metal, it causes instability of the MOS transistor and deterioration of the breakdown voltage of the gate oxide. In the case of the heavy metal, the increase of the PN junction reverse leak current and the deterioration of the breakdown voltage of the gate oxide film, the deterioration of the life time of the minority carrier, do. In the case of other metals, it acts as a dopant due to aluminum, and a dielectric breakdown pressure of the insulating film due to calcium is generated.

이에 따라 전체 공정의 30%이상을 차지하는 세정공정은 기판 제조간 반복적으로 사용되고 있으며, 기판의 미세화에 따라 더욱 엄격한 오염관리가 요구되고 있어 세정을 위한 공정장비의 설계와 공정조건의 최적화 등을 위한 다양한 기술개발이 요구되어지고 있는 실정이다.Accordingly, the cleaning process, which accounts for more than 30% of the entire process, is repeatedly used between substrate fabrication, and more strict contamination control is required due to the miniaturization of the substrate. Thus, various processes for designing process equipment for cleaning and optimization of process conditions Technology development has been demanded.

본 발명의 목적은 세정 공정간 발생하는 금속오염 물질이 배제된 고순도의 스팀을 생성하는 스팀 생성 용기를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a steam generating container for generating high purity steam from which metal contaminants generated during a washing process are excluded.

또한, 본 발명의 다른 목적은 고순도의 스팀을 생성하기 위해 사용되는 석영의 안전성을 확보하는 스팀 생성 용기를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a steam generating container for securing safety of quartz used for producing high purity steam.

본 발명의 스팀 생성 용기는 액체를 수용하는 공간부를 구비하는 용기; 상기 용기에 삽입된 히터; 상기 용기 외측에 마련된 단열층; 상기 용기와 상기 단열층을 수용하도록 구비되며, 상기 용기 및 상기 단열층이 일정기준 이상의 변형을 억제 또는 방지하는 메탈 재질의 방폭케이스;가 구비될 수 있다.The steam generating vessel of the present invention comprises: a vessel having a space portion for receiving liquid; A heater inserted in the vessel; A heat insulating layer provided outside the container; And an explosion-proof case made of a metal, which is provided to receive the container and the heat insulating layer, and which suppresses or prevents deformation of the container and the heat insulating layer above a predetermined standard.

상기 단열층은 상기 용기의 주위를 덮도록 구비될 수 있다.The heat insulating layer may be provided to cover the periphery of the container.

상기 용기는 개구부를 갖는 관형상의 프레임으로, 내부가 구획되도록 칸막이체를 구비할 수 있다.The container may be a tubular frame having an opening, and may have a partition for partitioning the interior.

상기 용기는 상기 개구부를 폐쇄하는 커버를 포함할 수 있다.The container may include a cover that closes the opening.

상기 히터는 상기 칸막이체 내부로 삽입되어 용기를 가열하여 스팀을 생성할 수 있다.The heater may be inserted into the partition body to heat the container to generate steam.

상기 용기는 석영재질로 구성될 수 있다.The container may be made of quartz.

상기 단열층은 내열성 수지를 포함할 수 있다.The heat insulating layer may include a heat resistant resin.

상기 방폭케이스는 SUS 304(오스테나이트계 스테인리스강)을 포함할 수 있다.The explosion-proof case may include SUS 304 (austenitic stainless steel).

상기 방폭케이스는 니켈 7~12%과 크롬 17~22%를 함유한 강을 포함할 수 있다.The explosion-proof case may include a steel containing 7-12% nickel and 17-22% chromium.

상기 용기는 수위조절센서, 압력계, 압력센서 및 온도계 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.The container may include at least one of a water level sensor, a pressure gauge, a pressure sensor, and a thermometer.

상기 단열층과 상기 방폭케이스는 일정 크기 이상의 단차를 포함할 수 있다.The heat insulating layer and the explosion-proof case may include steps of a predetermined size or more.

상술한 바와 같이, 본 발명은 석영재질의 용기를 사용하여 스팀을 생성함으로써, 금속오염의 원인이 되는 유기물 및 무기물이 함유되지 않은 고순도의 스팀을 제공할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention can provide a high-purity steam containing no organic matter or an inorganic substance that causes metal contamination by generating steam using a quartz container.

또한, 본 발명은 스팀 생성시 증기압의 영향으로 취성이 약한 용기의 사용으로 인해 발생될 수 있는 문제를 차단하는 구조를 제공함으로써, 사용자 안전성을 확보할 수 있다.Further, the present invention provides a structure that blocks problems that may occur due to the use of a weak brittleness container due to the influence of vapor pressure during steam generation, thereby ensuring user safety.

도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 단면도.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 단면도.
도 4는 본 발명의 제 2실시예에 따른 스팀 생성 용기의 사시도.
도 5는 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 단면도.
도 6는 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 단면도.
도 7은 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 사시도.1 is a sectional view of a steam generating vessel according to a first embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of a steam generating container according to a first embodiment of the present invention;
3 is an exploded cross-sectional view of a steam generating vessel according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of a steam generating container according to a second embodiment of the present invention; FIG.
5 is a sectional view of a steam generating vessel according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an exploded cross-sectional view of a steam generating vessel according to a third embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 7 is a perspective view of a steam generating container according to a third embodiment of the present invention; FIG.

본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.For a better understanding of the present invention, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified into various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described in detail below. The present embodiments are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention. Therefore, the shapes and the like of the elements in the drawings can be exaggeratedly expressed to emphasize a clearer description. It should be noted that in the drawings, the same members are denoted by the same reference numerals. Detailed descriptions of well-known functions and constructions which may be unnecessarily obscured by the gist of the present invention are omitted.

도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 단면도이며, 도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 단면도이다. FIG. 1 is a cross-sectional view of a steam generating container according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a steam generating container according to a first embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross- FIG. 2 is an exploded cross-sectional view of the steam generating container according to the present invention.

도 1을 참조하면, 스팀 생성 용기(100)는 용기(110), 히터(120), 단열층(130) 및 방폭케이스(140)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the steam generating container 100 may include a container 110, a heater 120, a heat insulating layer 130, and an explosion-proof case 140.

용기(110)는 액체를 수용하는 공간부가 구비되어 별도의 공급관을 통해 액체가 공급되고 사용된 액체를 외부로 배출하는 배출관이 구비될 수 있다. 또한, 용기 내부에서 생성된 스팀을 공급하는 공급관이 구비될 수 있다. 이때, 용기의 공간부로 수용되는 액체는 스팀을 생성하기 위한 것으로 초순수, 물 및 오존수 등을 사용할 수 있다.The container 110 may be provided with a space for receiving the liquid, and may be provided with a discharge pipe through which a liquid is supplied through a separate supply pipe and the used liquid is discharged to the outside. Further, a supply pipe for supplying steam generated inside the vessel may be provided. At this time, the liquid contained in the space of the container is used for producing steam, and ultrapure water, water, ozone water, or the like can be used.

히터(120)는 전원을 인가하여 열을 발생시키는 구조로, 용기(110) 내부에 삽입 설치되고, 용기(110)내부에 수용된 액체를 약 100~150℃로 가열하여 기화시킨다.The heater 120 is inserted into the container 110 to heat the liquid contained in the container 110 to about 100 to 150 ° C. to vaporize the liquid.

단열층(130)은 용기(110)의 외측에 마련되어 용기(110)로부터 방폭케이스(140)에 까지 걸치는 영역에 두꺼운 층으로 형성될 수 있다. 그러므로, 스팀 생성시 발생되는 고온의 열이 용기(110)로 부터 방폭케이스(140)까지 전열되는 것을 대폭 저감시킬 수 있으며, 용기의 강도가 저하되어 취화되거나 급격한 열수축에 의해 파손되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 장시간에 걸쳐서 용기(110)의 온도를 유지함으로써 스팀 생성 시간을 증가시킬 수 있다.The heat insulating layer 130 may be formed on the outer side of the container 110 and formed as a thick layer in a region extending from the container 110 to the explosion-proof case 140. Therefore, it is possible to greatly reduce the heat transferred from the container 110 to the explosion-proof case 140 by the high temperature generated at the time of steam generation, and to suppress the damage of the container due to brittleness or abrupt heat shrinkage have. In addition, the steam generation time can be increased by maintaining the temperature of the vessel 110 for a long time.

방폭케이스(140)는 용기(110)와 단열층(130)을 수용하도록 구비되며, 히터(120)에서 발생되는 열에 의한 용기(110) 및 단열층(130)에 대해 일정기준 이상의 변형을 억제 또는 방지하는 메탈재질을 포함할 수 있다.The explosion-proof case 140 is provided to receive the container 110 and the heat insulating layer 130 and is capable of preventing or preventing deformation of the container 110 and the heat insulating layer 130 due to heat generated by the heater 120, Metal material.

구체적으로 본 발명의 스팀 생성 용기는 도 2 및 도 3을 이용하여 상세히 설명한다.Specifically, the steam generating container of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 용기(110)는 프레임(111), 칸막이체(112) 및 커버(113)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the container 110 may include a frame 111, a partition body 112, and a cover 113.

용기(110)는 석영재질로 구성될 수 있다. 스팀 생성시 액체는 여러가지의 양이온과 음이온이 제거되며 화학적 변화를 가지는데 이때, 메탈재질의 용기에서는 화학적 변화에 의해 스팀과 메탈재질의 용기와의 마찰로 생성된 금속오염의 원인이 되는 유기물 및 무기물이 혼합되지만 석영재질의 용기에서는 금속오염의 원인이 되는 유기물 및 무기물을 함유되지 않은 고순도의 스팀을 생성할 수 있다. 또한, 용기(110)는 수용된 액체의 양을 확인할 수 있는 수위조절센서, 압력을 확인하는 압력계와 압력센서 및 온도계가 구비될 수 있다.The container 110 may be made of quartz. During the production of steam, the liquid removes various cations and anions and has a chemical change. In this case, in the case of metal containers, organic substances and minerals which cause metal contamination caused by friction between the steam and the metal containers due to chemical changes But in a quartz container it is possible to produce high purity steam that does not contain organic and inorganic substances that cause metal contamination. In addition, the container 110 may be equipped with a water level sensor capable of checking the amount of the liquid contained therein, a pressure gauge for checking the pressure, a pressure sensor, and a thermometer.

프레임(111)은 개구부를 갖는 관형상을 가지며, 원형 및 다각형 형상의 관이라면 어떠한 것을 사용해도 무방하다. 또한, 프레임(111) 일단에는 칸막이체(112)가 구비되어 프레임(111) 내부가 복수의 구획으로 구획되도록 결합될 수 있다. 이때, 프레임(111)과 칸막이체(112)가 결합된 면은 액체가 누수되지 않도록 밀봉하여 하나의 용기로서 기능을 할 수 있다.The frame 111 has a tubular shape having an opening, and any tube having a circular or polygonal shape may be used. Further, a partition body 112 may be provided at one end of the frame 111 so that the inside of the frame 111 is divided into a plurality of compartments. At this time, the surface where the frame 111 and the partition body 112 are combined can function as a single container by sealing the liquid from leaking.

커버(113)는 칸막이체(112)가 구비되는 방향과 대향되도록 구비되며, 프레임에 구비된 개구부를 폐쇄할 수 있다. 또한, 커버(113)는 생성된 스팀이 용기(110) 외부로 누출되는 것을 방지하고, 생성된 스팀의 용기(110) 내부에서 일정 압력을 유지하도록 할 수 있다. 이때, 커버(113)에는 스팀을 기판처리를 위해 공급하는 공급관이 구비될 수 있으며, 액체를 공급 받는 공급관이 구비될 수 있다.The cover 113 is provided to face the direction in which the partition body 112 is provided, and the opening provided in the frame can be closed. The cover 113 prevents the generated steam from leaking to the outside of the container 110 and maintains a predetermined pressure in the generated steam container 110. At this time, the cover 113 may be provided with a supply pipe for supplying steam to the substrate, and a supply pipe for supplying the liquid may be provided.

히터(120)는 용기(110)를 가열하는 방법과 액체를 직접 가열하는 방법을 선택적으로 사용할 수 있으며, 가열방식은 전자유도 가열 방식 등의 다양한 방식을 적용하여 스팀을 생성할 수 있다.The heater 120 can selectively use a method of heating the container 110 and a method of directly heating the liquid, and the heating method can generate steam by applying various methods such as an electromagnetic induction heating method.

단열층(130)는 용기(110)의 주위를 덮도록 구비되며, 단열을 위한 내열성 수지는 Teflon(테프론)과 PEEK(폴리에테르에테르케톤)를 포함할 수 있다. 이때, 단열층(130)을 구성하는 내열성 수지는 Teflon과 PEEK을 각각의 단열층(130)으로 구비할 수 있으며, Teflon과 PEEK을 이중으로 결합하여 하나의 단열층(130)으로 구비될 수 있다. 즉 용기를 단열하기 위한 단열층(130)의 구성을 용기를 기준으로 용기와 Teflon, 용기와 PEEK, 용기와 Teflon과 PEEK 또는 용기와 PEEK과 Teflon으로 구성될 수 있다. 이러한 단열층(130)은 스팀 생성간 발생되는 고온이 용기(110)의 외부로 전열되는 것을 방지하고, 용기 주위를 덮음으로써, 고온의 용기가 유지되어 스팀 생성 시간을 증가시킬 수 있다. 또한, 생성된 스팀이 용기 내부에서 온도차로 인해 발생되는 결로현상을 줄일 수 있어 생성된 스팀의 손실을 줄일 수 있다.The heat insulating layer 130 is provided to cover the periphery of the container 110, and the heat resistant resin for heat insulation may include Teflon (Teflon) and PEEK (polyether ether ketone). At this time, the heat-resistant resin constituting the heat insulating layer 130 may include Teflon and PEEK as the respective heat insulating layers 130, and may be provided as one heat insulating layer 130 by joining the Teflon and the PEEK together. That is, the construction of the insulating layer 130 for insulating the container may be composed of a container and Teflon, a container and a PEEK, a container, a Teflon and a PEEK or a container, and a PEEK and a Teflon. The insulating layer 130 prevents the high temperature generated during the steam generation from being transferred to the outside of the vessel 110, and by covering the vessel periphery, the high-temperature vessel can be maintained and the steam generation time can be increased. In addition, the generated steam can reduce the condensation caused by the temperature difference inside the vessel, thereby reducing the loss of generated steam.

방폭케이스(140)는 SUS304(오스테나이트계 스테인레스강)와 같은 스테인레스강 재질로 구비되며, 니켈 7~12%와 크롬 17~22%가 함유한 강으로 구비될 수 있다. 오스테나이트계 강의 결정구조는 철 특유의 자성이 없어 자기장에 의한 유도전류 발생시키는 히터의 가열방식에서도 사용할 수 있다. 또한, 가공성이 우수하고 가격도 저렴하여 생산 단가를 절감할 수 있다. 이때, 단열층(130)과 방폭케이스(140)는 일정 크기 이상의 단차가지고 구비될 수 있다.The explosion-proof case 140 is made of a stainless steel material such as SUS304 (austenitic stainless steel), and may be made of steel containing 7 to 12% of nickel and 17 to 22% of chromium. The crystal structure of the austenitic steel can be used in a heating method of a heater in which induction current is generated by a magnetic field because there is no magnetic characteristic unique to iron. In addition, since the processability is excellent and the price is low, the production cost can be reduced. At this time, the heat insulating layer 130 and the explosion-proof case 140 may be provided with steps of a predetermined size or more.

도 4는 본 발명의 제 2실시예에 따른 스팀 생성 용기의 사시도이다.4 is a perspective view of a steam generating container according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 스팀 생성 용기(100)는 복수개의 스팀 생성 용기(100-1내지 100-n)로 구비되어 종방향 또는 횡방향으로 배열될 수 있다. 이때, 각각의 스팀 생성 용기(100-1내지 100-n)에서 생성된 스팀은 스팀 응집관(101)으로 공급된다. 이러한 스팀 응집관(101)은 각각의 스팀 생성 용기(100-1내지 100-n)마다 분기관(102)이 구비되어 분기관(102)을 통해 공급된 스팀은 스팀 응집관(101)에서 응집되어 기판세정을 위한 장치로 공급될 수 있다. 또한, 스팀 응집관(101)을 통해 공급되는 스팀은 사용자의 적용 공정에 따라 바로 분사하거나 별도의 방식을 통해 재가열 및 화학적 혼합성분 등의 함유 공정을 통해 생성된 스팀을 기판에 분사할 수 있다.Referring to FIG. 4, the steam generating vessel 100 may include a plurality of steam generating vessels 100-1 to 100-n and may be longitudinally or laterally arranged. At this time, the steam generated in each of the steam generating vessels 100-1 to 100-n is supplied to the steam condensing tube 101. [ The steam condensing pipe 101 is provided with a branch pipe 102 for each of the steam generating vessels 100-1 to 100-n, and the steam supplied through the branch pipe 102 is condensed in the steam condensing pipe 101 And can be supplied to an apparatus for substrate cleaning. In addition, the steam supplied through the steam condensing tube 101 may be sprayed directly according to the application process of the user, or sprayed to the substrate through steam containing the reheating and chemical mixing components through a separate method.

도 5는 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 단면도이며, 도 6은 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 분해 단면도이고 도 7은 본 발명의 제 3실시예에 따른 스팀 생성 용기의 사시도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of a steam generating container according to a third embodiment of the present invention, FIG. 6 is an exploded sectional view of a steam generating container according to a third embodiment of the present invention, and FIG. Figure 2 is a perspective view of a steam generating vessel.

도 5와 같이, 스팀 생성 용기는 용기(110), 히터(120), 단열층(130) 및 방폭케이스(140)를 포함한다.5, the steam generating vessel includes a vessel 110, a heater 120, a heat insulating layer 130, and an explosion-proof casing 140.

히터(120)는 용기(110)내부로 삽입되어 용기에 수용된 액체를 직접 가열하여 스팀을 생성한다. 이때, 히터(120)에 구비되어 액체를 가열하는 복수개의 가열체(121)는 석영재질로 구비될 수 있다.The heater 120 is inserted into the vessel 110 to directly heat the liquid contained in the vessel to generate steam. At this time, the plurality of heating elements 121 provided in the heater 120 and heating the liquid may be made of quartz.

도 6 및 도 7을 참조하면, 단열층(130)은 상부 단열층(131), 중간 단열층(132), 하부 단열층(133)으로 구비될 수 있다. 이는 용기(110)의 형상, 크기 및 길이에 따라 다양하게 적용할 수 있으며, 단열층(130)을 구성하는 내열성 수지는 Teflon과 PEEK을 각각의 단열층(130)으로 구비할 수 있으며, Teflon과 PEEK을 이중으로 결합하여 하나의 단열층(130)으로 구비할 수 있다. 즉 용기를 단열하기위한 단열층(130)의 구성을 용기를 기준으로 용기와 Teflon, 용기와 PEEK, 용기와 Teflon과 PEEK 또는 용기와 PEEK과 Teflon 등으로 다양하게 구성될 수 있다.6 and 7, the heat insulating layer 130 may include an upper insulating layer 131, a middle insulating layer 132, and a lower insulating layer 133. The heat resistant resin constituting the heat insulating layer 130 may include Teflon and PEEK as the respective heat insulating layers 130. Teflon and PEEK may be used as the heat insulating layer 130. [ They may be combined as a single heat insulating layer 130. That is, the constitution of the heat insulating layer 130 for insulating the container may be variously configured as a container based on a container and Teflon, a container and a PEEK, a container, a Teflon and a PEEK or a container, and a PEEK and a Teflon.

상술한 바와 같이, 본 발명은 석영재질의 용기를 사용하여 스팀을 생성함으로써, 금속오염의 원인이 되는 유기물 및 무기물이 함유되지 않은 고순도의 스팀을 제공할 수 있으며, 스팀 생성시 기압의 영향으로 취성이 약한 용기의 사용으로 인해 발생될 수 있는 문제를 차단하여 사용자 안전성을 확보할 수 있다.As described above, the present invention can provide a high-purity steam containing no organic matter or an inorganic substance, which is a cause of metal contamination, by producing steam by using a container made of quartz, The problem that may be caused by the use of this weak container can be blocked and user safety can be ensured.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그럼으로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and equivalent arrangements may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims. It is also to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 스팀 생성 용기 101 : 분기관
102 : 스팀 응집관 110 : 용기
111 : 프레임 112 : 칸막이체
113 : 커버 120 : 히터
121 : 가열체 130 : 단열층
131 : 상부 단열층 132 : 중간 단열층
133 : 하부 단열층 140 : 방폭케이스100: steam generating vessel 101:
102: steam condenser tube 110: container
111: frame 112:
113: cover 120: heater
121: heating body 130: insulating layer
131: upper insulation layer 132: middle insulation layer
133: Lower insulation layer 140: Explosion-proof case

Claims (11)

액체를 수용하는 공간부를 구비하는 용기;
상기 용기에 삽입된 히터;
상기 용기 외측에 마련된 단열층;
상기 용기와 상기 단열층을 수용하도록 구비되며, 상기 용기 및 상기 단열층이 일정기준 이상의 변형을 억제 또는 방지하는 메탈 재질의 방폭케이스;가 구비되되,
상기 용기는, 석영재질로 구성되고,
상기 방폭케이스는, SUS 304(오스테나이트계 스테인리스강)을 포함하는 스팀 생성 용기.A container having a space for receiving liquid;
A heater inserted in the vessel;
A heat insulating layer provided outside the container;
And an explosion-proof case made of a metal material, which is provided to receive the container and the heat insulating layer, and which suppresses or prevents deformation of the container and the heat insulating layer above a predetermined standard,
The container is made of a quartz material,
Wherein the explosion-proof case includes SUS 304 (austenitic stainless steel). 제 1항에 있어서,
상기 단열층은,
상기 용기의 주위를 덮도록 구비되는 것을 특징으로 하는 스팀 생성 용기.The method according to claim 1,
The heat insulating layer
Wherein the steam generating vessel is provided so as to cover the periphery of the vessel. 제 1항에 있어서,
상기 용기는,
개구부를 갖는 관형상의 프레임으로, 내부가 구획되도록 칸막이체를 구비하는 것을 특징으로 하는 스팀 생성 용기.The method according to claim 1,
The container may include:
A steam generating container as claimed in any one of claims 1 to 3, wherein the tubular frame has an opening. 제 3항에 있어서,
상기 용기는,
상기 개구부를 폐쇄하는 커버를 포함하는 것을 특징으로하는 스팀 생성 용기.The method of claim 3,
The container may include:
And a cover for closing the opening portion. 제 3항에 있어서,
상기 히터는,
상기 칸막이체 내부로 삽입되어 용기를 가열하여 스팀을 생성하는 것을 특징으로 하는 스팀 생성 용기.The method of claim 3,
The heater
Wherein the steam generating container is inserted into the partition body and heating the container to generate steam. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 단열층은,
내열성 수지를 포함하는 스팀 생성 용기.The method according to claim 1,
The heat insulating layer
A steam generating container comprising a heat resistant resin. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 방폭케이스는,
니켈 7~12%과 크롬 17~22%를 함유한 강을 포함하는 스팀 생성 용기The method according to claim 1,
The explosion-
A steam generating vessel comprising a steel containing 7-12% nickel and 17-22% chromium 제 1항에 있어서,
상기 용기는,
수위조절센서, 압력계, 압력센서 및 온도계 중 적어도 하나 이상을 포함하는 스팀 생성 용기.The method according to claim 1,
The container may include:
A steam level sensor, a pressure gauge, a pressure sensor, and a thermometer. 제 1항에 있어서,
상기 단열층과 상기 방폭케이스는,
일정 크기 이상의 단차를 포함하는 스팀 생성 용기.
The method according to claim 1,
The heat insulating layer and the explosion-
Wherein the steam generating container includes a stepped portion having a predetermined size or more.
KR1020170025963A 2017-02-28 2017-02-28 Source for steam KR101915610B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170025963A KR101915610B1 (en) 2017-02-28 2017-02-28 Source for steam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170025963A KR101915610B1 (en) 2017-02-28 2017-02-28 Source for steam

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180099033A KR20180099033A (en) 2018-09-05
KR101915610B1 true KR101915610B1 (en) 2018-11-06

Family

ID=63594363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170025963A KR101915610B1 (en) 2017-02-28 2017-02-28 Source for steam

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101915610B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3100056B2 (en) * 1989-11-21 2000-10-16 アグフア―ゲヴエルト・ナームローゼ・フエンノートシヤツプ Method of manufacturing radiation sensitive device
KR100775103B1 (en) * 2007-08-13 2007-11-08 김복산 Fumigation device for treatment of skin-disease

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3100056B2 (en) * 1989-11-21 2000-10-16 アグフア―ゲヴエルト・ナームローゼ・フエンノートシヤツプ Method of manufacturing radiation sensitive device
KR100775103B1 (en) * 2007-08-13 2007-11-08 김복산 Fumigation device for treatment of skin-disease

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180099033A (en) 2018-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100495551B1 (en) Ozone treatment device of semiconductor process system
TWI677591B (en) Solid material container and solid material product in which said solid material container is filled with a solid material
TW201943075A (en) Method to fabricate thermally stable low k-FinFET spacer
TW200920871A (en) Vacuum processing apparatus
JP2010212433A (en) Atomic layer deposition apparatus
JP6804392B2 (en) Plasma processing equipment and gas shower head
JP2010048415A (en) Cross purge valve and container assembly
CN110047775A (en) Semiconductor device manufacturing equipment and manufacturing method
KR102030214B1 (en) Exhaust system
KR101915610B1 (en) Source for steam
CN209389011U (en) The ceramic panel of heating
KR20150107632A (en) Separation and regeneration apparatus and substrate processing apparatus
KR20210030484A (en) Face plate with built-in heater
TW594875B (en) Apparatus for fabricating semiconductor device and method of cleaning the same
TWI667685B (en) Reaction chamber for wafer processing
KR100629172B1 (en) Apparatus for forming a layer
JP2008192641A (en) Container for immersion exposure liquid
KR101935574B1 (en) Apparatus for heating liquid
WO2021210583A1 (en) Plasma source and plasma processing apparatus
US20130075053A1 (en) Heat retention barrel and vertical heat treatment apparatus provided with heat retention barrel
CN107978545A (en) Wafer boat component and the substrate-treating apparatus for including wafer boat component
JP2012181092A (en) Heating concentrator, and heating concentration method
JP2011040416A (en) Plasma processing apparatus and external air shielding vessel
JP2017010820A (en) Plasma processing device
CN112786422B (en) Focusing ring, plasma processor and method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant