KR101914881B1 - Small type time of flight mass spectrometer - Google Patents

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KR101914881B1
KR101914881B1 KR1020170144801A KR20170144801A KR101914881B1 KR 101914881 B1 KR101914881 B1 KR 101914881B1 KR 1020170144801 A KR1020170144801 A KR 1020170144801A KR 20170144801 A KR20170144801 A KR 20170144801A KR 101914881 B1 KR101914881 B1 KR 101914881B1
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ion
microchannel plate
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ions
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KR1020170144801A
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여명
김승용
정완섭
이봉윤
어재영
양모
김현식
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한국기초과학지원연구원
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
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Abstract

According to one embodiment of the present invention, a small type time of flight mass spectrometer capable of having a compact configuration may comprise: an electron beam emitting unit emitting an electron beam; a substrate unit exposed to the outside of the mass spectrometer so that the substrate unit can directly contact a sample and receiving the electron beam emitted from the electron beam emitting unit to ionize the sample; an ion separation unit through which the electron beam is passed and which passes ions emitted from the sample; and an ion detecting unit capable of detecting the ions passed through the ion separation unit. The ion detecting unit and the electron beam emitting unit may be disposed adjacent to each other.

Description

소형 비행시간 질량 분석기{SMALL TYPE TIME OF FLIGHT MASS SPECTROMETER}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a mass air mass spectrometer,

본 발명은 소형 비행시간 질량 분석기에 관한 것이다.The present invention relates to a small flight time mass analyzer.

비행시간 질량분석기는 시료에서 서로 다른 질량을 갖는 분자들을 이온화시키고, 발생한 이온의 전류를 측정할 수 있다. 그 중 비행 시간 질량 분석기(Time of Flight Mass Spectrometer)는 시료를 이온화 시킨 후 방출되는 이온 입자들의 비행 시간을 이용하여 질량을 측정하는 장치이다.Time-of-flight mass spectrometers can ionize molecules with different masses in a sample and measure the currents of generated ions. Among them, Time of Flight Mass Spectrometer is a device that measures the mass using ion flight times of ion particles after ionizing a sample.

비행 시간 질량 분석기는, 시료를 이온화 시키기 위한 전자 빔 또는 이온 빔을 방출하는 장치와 시료에서 방출되는 이온을 검출하는 장치가 분리되어 있고, 두 장치에서 생성되는 빔의 경로가 다르기 때문에, 비행 시간 질량 분석기의 부피 및 질량이 증가하여 휴대하거나 소형으로 제작 하기 어렵다는 문제점이 존재하였다.Since the flight time mass spectrometer has a device for emitting an electron beam or an ion beam for ionizing a sample and a device for detecting ions emitted from the sample are separated and a path of a beam generated from the two devices is different, There is a problem that it is difficult to make the analyzer portable or small because of the increase in the volume and mass of the analyzer.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The background art described above is possessed or acquired by the inventor in the derivation process of the present invention, and can not be said to be a known art disclosed in general public before application of the present invention.

일 실시 예의 목적은 소형 비행시간 질량 분석기를 제공하는 것이다.An object of one embodiment is to provide a small flight time mass analyzer.

일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기는, 전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부; 질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부; 상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및 상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함할 수 있고, 상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치될 수 있다.The miniature flying time mass spectrometer according to one embodiment includes: an electron beam emitting unit that emits an electron beam; A substrate part which is exposed to the outside of the mass spectrometer and which can directly contact the sample and can receive the electron beam emitted from the electron beam emitting part and ionize the sample; An ion separation unit through which the electron beam is passed and ions emitted from the sample are passed; And an ion detector capable of detecting ions passing through the ion separator, wherein the ion detector and the electron beam emitter can be disposed adjacent to each other.

상기 전자 빔 방출부는, 자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및 자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함할 수 있다.The electron beam emitter includes an ultraviolet beam source emitting ultraviolet rays; And a first microchannel plate that converts ultraviolet radiation into an electron beam.

상기 이온 검출부는, 상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 가질 수 있다.The ion detector may have an annular shape with a hollow surrounding the periphery of at least a portion of the first microchannel plate.

상기 제 1 마이크로채널 플레이트는, 상기 자외선 빔 소스로부터 방출되는 자외선을 수용하여 전자를 생성하는 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판; 및 상기 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 생성된 전자를 증배하여 상기 시료를 향해 전자 빔을 방출하는 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함할 수 있다.The first microchannel plate includes a first microchannel plate front plate receiving ultraviolet rays emitted from the ultraviolet beam source to generate electrons; And a first microchannel plate rear plate for multiplying electrons generated from the front plate of the first microchannel plate to emit an electron beam toward the sample.

상기 이온 검출부는, 상기 시료로부터 방출된 이온의 전하량을 증폭시켜주는 제 2 마이크로채널 플레이트; 및 상기 제 2 마이크로채널 플레이트에서 증폭된 이온을 검출하는 이온 검출 장치를 포함할 수 있따.The ion detector may further include: a second microchannel plate for amplifying a charge amount of the ions emitted from the sample; And an ion detection device for detecting ions amplified in the second microchannel plate.

상기 제 2 마이크로채널 플레이트는, 상기 시료로부터 방출되는 이온을 수용하는 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판; 및 상기 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 수용된 이온의 전하량을 증폭하여 상기 이온 검출 장치를 향해 이온을 방출하는 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함할 수 있다.The second microchannel plate may include: a second microchannel plate front plate for receiving ions emitted from the sample; And a second microchannel plate rear plate for amplifying the amount of charge of the ions received from the front surface of the second microchannel plate and discharging ions toward the ion detection device.

상기 제 2 마이크로채널 플레이트 및 이온 검출 장치는 서로의 중공이 연통되는 환형으로 형성될 수 있고, 상기 이온 검출부는, 환형 형상을 가진 상기 이온 검출부의 중공의 내면에 전기장을 차폐하기 위한 절연막을 더 포함할 수 있다.The second microchannel plate and the ion detecting device may be formed in an annular shape in which the hollows communicate with each other. The ion detecting unit further includes an insulating film for shielding an electric field on the hollow inner surface of the ion detecting part having an annular shape can do.

상기 이온 분리부는, 상기 전자 빔의 진행 방향으로 평행하게 연장되고, 내부에서 전자 빔 및 상기 시료에서 방출되는 이온의 진행 경로가 서로 평행할 수 있다.The ion separator may extend parallel to the traveling direction of the electron beam, and the traveling paths of the electron beam and ions emitted from the sample may be parallel to each other.

상기 이온 분리부는, 전압을 인가할 수 있는 전도체; 및 상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 이온 분리부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함할 수 있다.The ion separator may include: a conductor capable of applying a voltage; And an insulator formed on an outer wall of the ion separator to prevent ions released from the sample from escaping.

상기 기질부는, 상기 시료에 전압을 인가할 수 있는 전도체; 및 상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 기질부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함할 수 있다.The substrate may include a conductor capable of applying a voltage to the sample; And an insulator formed on an outer wall of the substrate to prevent the release of ions released from the sample.

상기 전도체는, 상기 시료에 직접 접촉하는 메쉬부를 포함할 수 있다.The conductor may include a mesh portion that directly contacts the sample.

일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기에 의하면, 전자 빔 방출부 및 이온 검출부가 인접하게 또는 일체화되어 설치될 수 있기 때문에, 소형으로 컴팩트하게 구성될 수 있다.According to the small flying time mass spectrometer according to the embodiment, since the electron beam emitting unit and the ion detecting unit can be installed adjacent to or integrated with each other, they can be compact and compact.

일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기에 의하면, 전자 빔 및 이온들이 이온 분리부 내에서 공통된 진행 경로를 공유하며 진행될 수 있기 때문에, 단순하고, 컴팩트한 구성을 가질 수 있으므로 소형화에 유리한 장점을 갖는다. According to the small flying time mass spectrometer according to the embodiment, since the electron beam and the ions can proceed in a common path in the ion separator, they can have a simple and compact configuration, which is advantageous for miniaturization .

일 실시 예에 따른 제 2 마이크로채널 플레이트에 의하면, 제 2 마이크로채널 플레이트가 환형으로 형성되어 전자 빔 방출부를 감싸도록 형성되기 때문에, 소형화에 유리한 장점을 갖는다. According to the second microchannel plate according to the embodiment, since the second microchannel plate is formed in an annular shape so as to surround the electron beam emitting portion, it is advantageous in downsizing.

도 1은 일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기를 나타내는 도면이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 일체형 모듈을 나타내는 도면이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기를 나타내는 블록도이다.FIG. 1 is a view showing a compact flight time mass analyzer according to an embodiment.
2 is a diagram of an integrated module in accordance with one embodiment.
3 is a block diagram illustrating a compact time-of-flight mass spectrometer according to an embodiment of the present invention.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to exemplary drawings. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements are denoted by the same reference symbols as possible even if they are shown in different drawings. In the following description of the embodiments, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the best of an understanding clear.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. When a component is described as being "connected", "coupled", or "connected" to another component, the component may be directly connected or connected to the other component, Quot; may be "connected," "coupled," or "connected. &Quot;

도 1은 일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기를 나타내는 도면이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 일체형 모듈을 나타내는 도면이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기를 나타내는 블록도이다.FIG. 2 is a block diagram of an integrated module according to an embodiment. FIG. 3 is a block diagram illustrating a compact flight time mass spectrometer according to an embodiment of the present invention. to be.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 소형 비행시간 질량 분석기(100)는, 일체형 모듈(1), 이온 분리부(2), 기질부(3), 오실로스코프(5) 및 제어부(6)를 포함할 수 있다.1 to 3, the small flight time mass spectrometer 100 according to one embodiment includes an integrated module 1, an ion separation unit 2, a substrate unit 3, an oscilloscope 5, and a control unit 6).

예를 들어, 일체형 모듈(1), 이온 분리부(2) 및 기질부(3)는 서로 내부 공간이 연통될 수 있다. 예를 들어, 일체형 모듈(1), 이온 분리부(2) 및 기질부(3)의 순차적으로 직선형으로 연결되어 하나의 하우징을 형성할 수 있다.For example, the integrated module 1, the ion separation portion 2, and the substrate portion 3 can communicate with each other with an inner space. For example, the integrated module 1, the ion separator 2, and the substrate 3 may be sequentially connected in a straight line to form a single housing.

예를 들어, 일체형 모듈(1), 이온 분리부(2) 및 기질부(3)의 내부는 진공으로 형성될 수 있고, 이 경우, 내부의 압력은 예를 들어, 10^(-10) torr 내지 10^(-4) torr 일수 있다. 예를 들어, 우주 공간과 같이 소형 비행시간 질량 분석기(100)는 외부가 진공인 환경에서 사용될 수 있으나, 실시 예의 사용 환경이 반드시 이와 같이 제한되는 것은 아님을 밝혀둔다.For example, the interior of the integrated module 1, the ion separation portion 2 and the substrate portion 3 may be formed in a vacuum, in which case the internal pressure may be, for example, 10 ^ (- 10) torr To 10 ^ (- 4) torr. For example, a compact flight time mass spectrometer 100, such as an outer space, may be used in an environment where the exterior is a vacuum, but the use environment of the embodiment is not necessarily limited in this way.

일체형 모듈(1)은, 시료(4)를 이온화 시키기 위해 전자 빔(e)을 방출할 수 있고, 시료(4)에서 이온화되어 방출된 이온(I)이 일체형 모듈(1)까지 도달하는 시간을 측정함으로써 이온(I)의 질량을 측정할 수 있다.The integrated module 1 can emit the electron beam e to ionize the sample 4 and can measure the time it takes for the ions I ionized and emitted from the sample 4 to reach the integrated module 1 The mass of the ion (I) can be measured by measurement.

예를 들어, 일체형 모듈(1)은, 전자 빔 방출부(11) 및 이온 검출부(12)를 포함할 수 있다.For example, the integrated module 1 may include an electron beam emitting portion 11 and an ion detecting portion 12. [

전자 빔 방출부(11)는, 전자 빔(e)을 형성할 수 있고, 시료(4)를 향해 전자 빔(e)을 방출할 수 있다.The electron beam emitting portion 11 can form the electron beam e and emit the electron beam e toward the sample 4. [

예를 들어, 전자 빔 방출부(11)는, 자외선 빔 소스(111) 및 제 1 마이크로채널 플레이트(112)를 포함할 수 있다.For example, the electron beam emitting portion 11 may include an ultraviolet beam source 111 and a first microchannel plate 112.

자외선 빔 소스(111)는, 자외선을 제 1 마이크로채널 플레이트(112)로 방출할 수 있다.The ultraviolet beam source 111 may emit ultraviolet rays to the first microchannel plate 112.

제 1 마이크로채널 플레이트(112)는, 자외선 빔 소스(111)에서 방출되는 자외선을 수용하여 전자 빔(e)을 생성할 수 있다. 예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)는 전자 빔(e)을 증폭시킬 수 있고, 시료(4)를 향해 전자 빔(e)을 방출할 수 있다.The first microchannel plate 112 may receive ultraviolet light emitted from the ultraviolet beam source 111 to generate an electron beam e. For example, the first microchannel plate 112 can amplify the electron beam e and emit the electron beam e toward the sample 4. [

예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)는, 자외선 빔 소스(111)에서 자외선 빔(e)이 진행하는 선을 중심으로 원형인 형상을 가질 수 있다.For example, the first microchannel plate 112 may have a circular shape around a line on which the ultraviolet beam e propagates in the ultraviolet beam source 111.

예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)는, 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121) 및 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판(1122)을 포함할 수 있다.For example, the first microchannel plate 112 may include a first microchannel plate front plate 1121 and a first microchannel plate rear plate 1122.

제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)은, 자외선 빔 소스(111)와 마주보는 쪽에 배치된 마이크로채널 플레이트로서, 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)은 자외선 빔 소스(111)에서 방출되는 자외선 빔을 수용하여 광전자들을 생성할 수 있다.The first microchannel plate front plate 1121 is a microchannel plate disposed on a side opposite to the ultraviolet beam source 111. The first microchannel plate front plate 1121 is a plate The beam can be received to produce photoelectrons.

예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)은 음 전압을 가질 수 있다.For example, the first microchannel plate front plate 1121 may have a negative voltage.

제 1 마이크로채널 플레이트 후면판(1122)은, 자외선 빔의 진행 방향을 기준으로 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)의 다음에 위치할 수 있고, 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)과 평행하게 배치될 수 있다.The first microchannel plate rear plate 1122 may be positioned next to the first microchannel plate front plate 1121 with respect to the traveling direction of the ultraviolet beam and may be parallel to the first microchannel plate front plate 1121 .

예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판(1122)은 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)에서 방출되는 광전자를 증배(multiply)하여 시료를 향해 방출되는 전자 빔(e)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 전자가 증배되는 크기는 10^4배 내지 10^9배 일 수 있다.For example, the first microchannel plate rear plate 1122 can multiply the photoelectrons emitted from the first microchannel plate front plate 1121 to form an electron beam e that is emitted toward the sample . For example, the size at which electrons are multiplied may be 10 ^ 4 times to 10 ^ 9 times.

예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판(1122)은, 음 전압을 가질 수 있다. 예를 들어, 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판(1121)은 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판(1122)보다 더 낮은 음 전압이 인가될 수 있다.For example, the first microchannel plate rear plate 1122 may have a negative voltage. For example, a lower negative voltage may be applied to the first microchannel plate front plate 1121 than the first microchannel plate rear plate 1122.

이온 검출부(12)는, 전자 빔(e)이 시료(4)에 인가되어 시료(4)를 이온화 시킨 후, 시료(4)로부터 방출되는 이온들(I)을 입력 받아, 이온들(I)의 속도를 측정할 수 있다.The ion detector 12 receives the ions I emitted from the specimen 4 after the electron beam e is applied to the specimen 4 to ionize the specimen 4. The ion detector 12 detects the ions I, Can be measured.

예를 들어, 이온 검출부(12)는 전자 빔 방출부(11)와 인접하게 설치될 수 있고, 예를 들어, 일체형으로 형성될 수 있다.For example, the ion detector 12 may be installed adjacent to the electron beam emitting portion 11, and may be integrally formed, for example.

예를 들어, 이온 검출부(12)는, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)의 적어도 일부를 둘러 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 환형으로 형성된 이온 검출부(12)의 원형 중심은, 원형으로 형성된 제 1 마이크로채널 플레이트(112)의 중심과 일치할 수 있다. 다시 말하면, 이온 검출부(12) 및 제 1 마이크로채널 플레이트(1120)는 동축형 배치를 가질 수 있다. For example, the ion detection portion 12 may have an annular shape with a hollow surrounding at least a portion of the first microchannel plate 112. In this case, the circular center of the ion detecting portion 12 formed in an annular shape can coincide with the center of the first microchannel plate 112 formed in a circular shape. In other words, the ion detection portion 12 and the first microchannel plate 1120 may have a coaxial arrangement.

예를 들어, 이온 검출부(12)는 제 2 마이크로채널 플레이트(121), 이온 검출 장치(122) 및 절연막(123)을 포함할 수 있다.For example, the ion detecting section 12 may include a second microchannel plate 121, an ion detecting device 122, and an insulating film 123.

제 2 마이크로채널 플레이트(121)는, 시료(4)에서 방출되는 이온들(I)을 수용하고, 이온의 전하량을 증폭(amplify)할 수 있다. 예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트(121)는 제 1 마이크로채널 플레이트(112)와 평행하게 배치될 수 있다.The second microchannel plate 121 can receive the ions I emitted from the sample 4 and amplify the amount of charge of the ions. For example, the second microchannel plate 121 may be disposed in parallel with the first microchannel plate 112.

예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트(121)는, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211) 및 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)을 포함할 수 있다.For example, the second microchannel plate 121 may include a second microchannel plate front plate 1211 and a second microchannel plate rear plate 1212.

제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)은, 시료(4)를 마주보는 쪽에 형성된 마이크로채널 플레이트로서, 시료(4)에서 방출되는 이온을 수용할 수 있다. 예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)은 환형으로 형성될 수 있다.The second microchannel plate front plate 1211 is a microchannel plate formed on the side facing the sample 4 and can receive ions emitted from the sample 4. For example, the second microchannel plate front plate 1211 may be formed in an annular shape.

예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)에는, 음 전압이 인가될 수 있다.For example, negative voltage may be applied to the second microchannel plate front plate 1211.

제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)은, 시료(4)로부터 방출되는 이온(I)의 진행 방향을 기준으로, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)의 다음의 위치, 즉 자외선 빔 소스(111)와 가까운 쪽에 설치될 수 있고, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)과 평행하게 설치될 수 있다. 예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)은, 환형으로 형성될 수 있다.The second microchannel plate rear plate 1212 is positioned at a position next to the second microchannel plate front plate 1211, that is, at the position of the ultraviolet beam source (not shown), based on the traveling direction of the ions I emitted from the sample 4. [ 111, and may be installed in parallel with the second microchannel plate front plate 1211. For example, the second microchannel plate rear plate 1212 may be formed in an annular shape.

예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)은, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)에 수용된 이온의 전하량을 증폭시킬 수 있고, 증폭된 이온을 이온 검출 장치(122)를 향해 방출할 수 있다.For example, the second microchannel plate rear plate 1212 can amplify the amount of charge of ions contained in the second microchannel plate front plate 1211, and emit the amplified ions toward the ion detection device 122 can do.

예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)에 의해 이온(I)이 증폭되는 크기는 10^4배 내지 10^9배일 수 있다.For example, the magnitude of the amplification of the ions I by the second microchannel plate backplane 1212 may be between 10 4 and 10 9.

예를 들어, 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)은, 음 전압을 가질 수 있다. 예를 들어 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)은 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판(1212)보다 더 낮은 음 전압을 가질 수 있다.For example, the second microchannel plate rear plate 1212 may have a negative voltage. For example, the second microchannel plate front plate 1211 may have a lower negative voltage than the second microchannel plate rear plate 1212.

제 2 마이크로채널 플레이트(121)에서 생성되는 음 전압에 의하면, 시료(4)에서 방출되는 이온들(I)이 이온 분리부(2)를 지나서 이온 검출부(12)의 근처로 진입하는 경우, 환형으로 형성된 제 2 마이크로채널 플레이트(121)에서 형성된 전기장에 의해서, 이온 검출부(12)의 중공, 즉, 전자 빔 방출부(11)를 향해서 진행하는 이온들(I)은 이온 검출부(12)의 중공 바깥쪽으로 휘어져서 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)으로 입사될 수 있다.According to the negative voltage generated in the second microchannel plate 121, when ions (I) emitted from the sample (4) enter the vicinity of the ion detector (12) through the ion separator (2) The ions I traveling toward the hollow of the ion detector 12, that is, toward the electron beam emitter 11, are detected by the electric field formed in the second microchannel plate 121 formed by the ion detector 12, And may be bent to the outside to be incident on the second microchannel plate front plate 1211.

또한, 이온 분리부(2)의 중심으로부터 이온 분리부(2)의 반경보다 바깥쪽으로 입사되는 이온들(I) 역시 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211)을 향해 휘어져 입사될 수 있다.Also, the ions (I) incident from the center of the ion separating section 2 to the outside of the radius of the ion separating section 2 may also be bent toward the second microchannel plate front plate 1211 to be incident thereon.

이온 검출 장치(122)는 제 2 마이크로채널 플레이트(121)에서 수용되고 증폭된 이온 입자를 검출할 수 있다.The ion detecting device 122 can detect the ion particles received and amplified in the second microchannel plate 121.

예를 들어, 이온 검출 장치(122)는, 제 2 마이크로채널 플레이트(121)에 평행하게 설치될 수 있고, 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211) 및 후면판(1212)과 동일하게 환형으로 형성될 수 있다.For example, the ion detection device 122 may be installed parallel to the second microchannel plate 121, and may be formed in an annular shape like the second microchannel plate front plate 1211 and the rear plate 1212 .

예를 들어, 환형으로 형성된 이온 검출 장치(122)의 중공은 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판(1211) 및 후면판(1212)의 중공과 같은 크기를 가질 수 있고, 같은 중심축을 공유할 수 있다.For example, the hollow of the ion detection device 122 formed in an annular shape may have the same size as the hollow of the second microchannel plate front plate 1211 and the rear plate 1212, and may share the same center axis.

절연막(123)은, 이온 검출부(12)의 중공의 내면을 감싸도록 설치될 수 있다. 절연막(123)에 의하면, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)로부터 방사되는 전기장이 이온 검출부(12)에 미치는 영향을 차단할 수 있다. 또한, 절연막(123)은 제 2 마이크로채널 플레이트(121)로부터 방사되는 전기장이 전자 빔 방출부(11)에 미치는 영향을 차단할 수 있다.The insulating film 123 may be provided so as to surround the hollow inner surface of the ion detecting portion 12. [ According to the insulating film 123, the influence of the electric field radiated from the first microchannel plate 112 on the ion detecting unit 12 can be blocked. Also, the insulating film 123 can prevent the electric field emitted from the second microchannel plate 121 from affecting the electron beam emitting portion 11.

일체형 모듈(1)에 의하면, 전자 빔 방출부(11) 및 이온 검출부(12)가 인접하게 설치되거나 일체형으로 설치될 수 있고, 전자 빔(e) 및 이온(I)의 이동 경로가 공통된 경로를 공유할 수 있으며, 소형 비행시간 질량 분석기(100)의 구성을 컴팩트하게 형성할 수 있고, 소형으로 제작하기 용이할 수 있다.According to the integrated module 1, the electron beam emitting portion 11 and the ion detecting portion 12 can be installed adjacent to each other or can be integrally installed, and the moving path of the electron beam e and the ion And it is possible to form the compact flight time mass spectrometer 100 compactly, and it is easy to make it compact.

이온 분리부(2)는, 전자 빔 방출부(11)에서 방출되는 전자 빔(e)이 통과할 수 있고, 시료(4)에서 방출되는 이온들(I)이 이동할 수 있는 관으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 이온 분리부(2)는, 전자 빔(e)의 진행 방향으로 곧은 형태를 가질 수 있고, 전자 빔(e) 및 이온(I)의 이동 경로는 이온 분리부(2) 내에서 서로 평행할 수 있다.The ion separating section 2 can be understood as a tube through which the electron beam e emitted from the electron beam emitting section 11 can pass and the ions I emitted from the sample 4 can move have. For example, the ion separation section 2 may have a straight shape in the traveling direction of the electron beam e, and the movement path of the electron beam e and the ion I may be formed in the ion separation section 2 They can be parallel to each other.

예를 들어, 이온 분리부(2)의 외경은 이온 검출부(12)의 외경보다 클 수 있다.For example, the outer diameter of the ion separation portion 2 may be larger than the outer diameter of the ion detection portion 12.

예를 들어, 이온 분리부(2)는, 제 1 절연체(21) 및 제 1 전도체(22)를 포함할 수 있다.For example, the ion isolation portion 2 may include a first insulator 21 and a first conductor 22.

제 1 절연체(21)는, 이온 분리부(2)의 내부를 통과하는 전자 빔(e) 및 이온(I)이 외부로 누설되는 것을 방지하고 외부로부터 전자기장의 영향을 차폐할 수 있다.The first insulator 21 prevents the electron beam e and the ions I passing through the interior of the ion separator 2 from leaking to the outside and can shield the influence of the electromagnetic field from the outside.

제 1 전도체(22)는, 제 1 절연체(21)의 내면에 배치되어 이온 분리부(2)의 내부 공간의 둘레를 감싸도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 1 전도체(22)에는 음 전압이 인가될 수 있다.The first conductor 22 may be disposed on the inner surface of the first insulator 21 and may surround the inner space of the ion separator 2. For example, negative voltage may be applied to the first conductor 22.

제 1 전도체(22)에 의하면, 이온 분리부(2)의 내부 공간이 등전위를 형성하도록 할 수 있으므로, 이온 분리부(2)에 진입하여 이동하는 이온(I)의 초기 속도를 일정하게 유지시킬 수 있다. According to the first conductor 22, since the internal space of the ion separating section 2 can form the equal potential, the initial velocity of the moving ions I entering the ion separating section 2 can be kept constant .

이온 분리부(2)에 의하면, 전자 빔(e) 및 이온(I)이 공통된 진행 경로를 공유하며 진행될 수 있다. 이에 따라, 전자 빔(e) 및 이온(I)의 진행 경로가 분리되어 있는 질량 분석기와 비교할 때, 보다 단순하고, 컴팩트한 구성을 가질 수 있으므로 소형화에 유리할 수 있다.According to the ion separating section 2, the electron beam e and the ions I can proceed with sharing a common path. This makes it possible to have a simpler and more compact structure as compared with a mass spectrometer in which the traveling path of the electron beam e and the ions I are separated, which can be advantageous for miniaturization.

기질부(3)는, 시료(4)에 직접 접촉하여 시료(4)에 바이어스 전압을 인가시킬 수 있다. 기질부(3)는, 질량 분석기(100)의 외부로 노출되어 시료(4)에 직접 접촉 가능하고, 전자 빔 방출부(11)로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 시료(4)를 이온화 시킬 수 있다. The substrate portion 3 can be brought into direct contact with the sample 4 to apply a bias voltage to the sample 4. The substrate portion 3 is exposed to the outside of the mass spectrometer 100 and can directly contact the sample 4 and can receive the electron beam emitted from the electron beam emitting portion 11 to ionize the sample 4 have.

예를 들어, 기질부(3)는, 이온 분리부(2)의 단부에 연결될 수 있다. 예를 들어, 기질부(3)는 이온 분리부(2)의 외경과 동일한 외경을 가진 원통형 형상을 가질 수 있다. For example, the substrate portion 3 may be connected to the end of the ion-separating portion 2. For example, the substrate portion 3 may have a cylindrical shape having an outer diameter equal to the outer diameter of the ion-separating portion 2.

예를 들어, 기질부(3)는, 제 2 전도체(33) 및 제 2 절연체(31)를 포함할 수 있다.For example, the substrate portion 3 may include a second conductor 33 and a second insulator 31.

제 2 전도체(33)는, 기질부(3)의 시료(4)와 접촉하는 방향의 단부에 설치될 수 있고, 양 전압이 인가될 수 있다.The second conductor 33 may be provided at an end of the substrate portion 3 in contact with the sample 4, and a positive voltage may be applied.

예를 들어, 제 2 전도체(33)에서 생성되는 전기장에 의하면, 기질부(3)로 진입한 전자 빔(e)이 시료(4)를 향해 조사되도록 유도할 수 있다. 또한, 시료(4)가 이온화되어 방출되는 이온들(I)이 전자 빔(e)의 진행 방향과 반대 방향으로 방출될 수 있도록 척력을 제공할 수 있다. For example, according to the electric field generated by the second conductor 33, it is possible to induce the electron beam e entering the substrate portion 3 to be irradiated toward the sample 4. In addition, it is possible to provide a repulsive force such that the ions (I) ionized and discharged by the sample (4) can be emitted in a direction opposite to the traveling direction of the electron beam (e).

예를 들어, 제 2 전도체(33)는 시료(4)에 직접 접촉하는 접촉부(32)를 포함할 수 있다. 접촉부(32)는 다수의 중공을 갖는 부분으로, 예를 들면, 메쉬(mesh) 형상을 갖는 메쉬부일 수 있다. 접촉부(32)는 상기 다수의 중공을 통해 전자 빔 방출부(11)에서 방출되는 전자 빔(e)이 시료(4)로 조사되게 할 수 있다. For example, the second conductor 33 may include a contact portion 32 that is in direct contact with the sample 4. The contact portion 32 may be a portion having a plurality of hollow portions, for example, a mesh portion having a mesh shape. The contact portion 32 can cause the sample 4 to be irradiated with the electron beam e emitted from the electron beam emitting portion 11 through the plurality of hollows.

제 2 절연체(31)는, 기질부(3)의 둘레를 감싸도록 형성되고, 기질부(3) 및 이온 분리부(2)를 서로 절연시킬 수 있다. 제 2 절연체(31)는, 기질부(3)의 내부를 통과하는 전자 빔(e) 및 이온(I)이 외부로 누설되는 것을 방지하고 외부로부터 전자기장의 영향을 차폐할 수 있다.The second insulator 31 is formed so as to surround the periphery of the substrate portion 3 and can isolate the substrate portion 3 and the ion separation portion 2 from each other. The second insulator 31 prevents the electron beam e and the ions I passing through the inside of the substrate portion 3 from leaking to the outside and can shield the influence of the electromagnetic field from the outside.

오실로스코프(5)는, 이온 검출 장치(122)에 이온들(I)이 입사 되어 발생하는 신호를 시간에 따라 변화하는 파형 신호로 출력할 수 있다.The oscilloscope 5 is capable of outputting a signal generated as a result of the ions (I) incident on the ion detection device 122 as a waveform signal varying with time.

제어부(6)는, 소형 비행시간 질량 분석기(100)의 동작을 제어할 수 있다.The control unit 6 can control the operation of the small flight time mass analyzer 100. [

예를 들어, 제어부(6)는, 전자 빔 방출부(11)의 동작을 제어하여, 전자 빔(e)을 시료(4)를 향해 조사되도록 할 수 있다.For example, the control unit 6 can control the operation of the electron beam emitting unit 11 to irradiate the electron beam e toward the sample 4. [

예를 들어, 제어부(6)는, 제 1 마이크로채널 플레이트(112)에 전압을 인가하여, 전자를 형성할 수 있고, 이를 증폭하여 시료(4)를 향해 방출되는 전자 빔(e)을 형성할 수 있다.For example, the control unit 6 may apply a voltage to the first microchannel plate 112 to form electrons, amplify the electrons, and form an electron beam e emitted toward the sample 4 .

예를 들어, 제어부(6)는, 제 2 마이크로채널 플레이트(121)에 전압을 인가하여, 제 2 마이크로채널 플레이트(121)에 수용되는 이온(I)을 증폭시킬 수 있다.For example, the control unit 6 may apply a voltage to the second micro-channel plate 121 to amplify the ions I accommodated in the second micro-channel plate 121.

예를 들어, 제어부(6)는, 제 1 전도체(22) 및 제 2 전도체(33)에 전압을 인가할 수 있다.For example, the control section 6 can apply a voltage to the first conductor 22 and the second conductor 33. [

예를 들어, 제어부(6)는, 이온 검출 장치(122)에 입사되는 이온들(I)의 속도 및 속도 차이를 통해서, 이온들(I)의 질량을 측정할 수 있다.For example, the control section 6 can measure the mass of the ions I through the velocity and the velocity difference of the ions I incident on the ion detection device 122. [

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. For example, it is contemplated that the techniques described may be performed in a different order than the described methods, and / or that components of the described structures, devices, and the like may be combined or combined in other ways than the described methods, Appropriate results can be achieved even if they are replaced or replaced.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시 예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments and equivalents to the claims are within the scope of the following claims.

Claims (11)

전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부;
질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부;
상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및
상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,
상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,
상기 전자 빔 방출부는,
자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및
자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,
상기 이온 검출부는,
상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,
상기 이온 분리부는,
상기 전자 빔의 진행 방향으로 평행하게 연장되고, 내부에서 전자 빔 및 상기 시료에서 방출되는 이온의 진행 경로가 서로 평행한 것을 특징으로 하는 소형 비행시간 질량 분석기.
An electron beam emitting unit emitting an electron beam;
A substrate part which is exposed to the outside of the mass spectrometer and which can directly contact the sample and can receive the electron beam emitted from the electron beam emitting part and ionize the sample;
An ion separation unit through which the electron beam is passed and ions emitted from the sample are passed; And
And an ion detector capable of detecting ions passing through the ion separator,
Wherein the ion detecting portion and the electron beam emitting portion are disposed adjacent to each other,
Wherein the electron beam emitting portion comprises:
An ultraviolet beam source for emitting ultraviolet rays; And
And a first microchannel plate for converting ultraviolet rays into electron beams,
Wherein the ion detector comprises:
The first microchannel plate having an annular shape with a hollow surrounding the periphery of at least a portion of the first microchannel plate,
The ion-
Wherein the electron beam and ions emitted from the sample extend in parallel to the traveling direction of the electron beam and are parallel to each other.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 마이크로채널 플레이트는,
상기 자외선 빔 소스로부터 방출되는 자외선을 수용하여 전자를 생성하는 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판; 및
상기 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 생성된 전자를 증배하여 상기 시료를 향해 전자 빔을 방출하는 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
The method according to claim 1,
Wherein the first microchannel plate comprises:
A first microchannel plate front plate receiving ultraviolet rays emitted from the ultraviolet beam source to generate electrons; And
And a first microchannel plate rear plate for multiplying electrons generated from the front plate of the first microchannel plate and emitting an electron beam toward the sample.
제 1 항에 있어서,
상기 이온 검출부는,
상기 시료로부터 방출된 이온의 전하량을 증폭시켜주는 제 2 마이크로채널 플레이트; 및
상기 제 2 마이크로채널 플레이트에서 증폭된 이온을 검출하는 이온 검출 장치를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
The method according to claim 1,
Wherein the ion detector comprises:
A second microchannel plate for amplifying a charge amount of the ions emitted from the sample; And
And an ion detection device for detecting ions amplified in the second microchannel plate.
제 5 항에 있어서,
상기 제 2 마이크로채널 플레이트는,
상기 시료로부터 방출되는 이온을 수용하는 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판; 및
상기 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 수용된 이온의 전하량을 증폭하여 상기 이온 검출 장치를 향해 이온을 방출하는 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
6. The method of claim 5,
Wherein the second microchannel plate comprises:
A second microchannel plate front plate receiving ions emitted from the sample; And
And a second microchannel plate back plate for amplifying the amount of charge of the ions received from the second microchannel plate front plate and discharging ions toward the ion detection device.
전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부;
질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부;
상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및
상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,
상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,
상기 전자 빔 방출부는,
자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및
자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,
상기 이온 검출부는,
상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,
상기 이온 검출부는,
상기 시료로부터 방출된 이온의 전하량을 증폭시켜주는 제 2 마이크로채널 플레이트; 및
상기 제 2 마이크로채널 플레이트에서 증폭된 이온을 검출하는 이온 검출 장치를 포함하고,
상기 제 2 마이크로채널 플레이트 및 이온 검출 장치는 서로의 중공이 연통되는 환형으로 형성되고,
상기 이온 검출부는,
환형 형상을 가진 상기 이온 검출부의 중공의 내면에 전기장을 차폐하기 위한 절연막을 더 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
An electron beam emitting unit emitting an electron beam;
A substrate part which is exposed to the outside of the mass spectrometer and which can directly contact the sample and can receive the electron beam emitted from the electron beam emitting part and ionize the sample;
An ion separation unit through which the electron beam is passed and ions emitted from the sample are passed; And
And an ion detector capable of detecting ions passing through the ion separator,
Wherein the ion detecting portion and the electron beam emitting portion are disposed adjacent to each other,
Wherein the electron beam emitting portion comprises:
An ultraviolet beam source for emitting ultraviolet rays; And
And a first microchannel plate for converting ultraviolet rays into electron beams,
Wherein the ion detector comprises:
The first microchannel plate having an annular shape with a hollow surrounding the periphery of at least a portion of the first microchannel plate,
Wherein the ion detector comprises:
A second microchannel plate for amplifying a charge amount of the ions emitted from the sample; And
And an ion detection device for detecting ions amplified in the second microchannel plate,
The second microchannel plate and the ion detection device are formed in an annular shape in which the hollows of the second microchannel plate and the ion detection device communicate with each other,
Wherein the ion detector comprises:
Further comprising an insulating film for shielding an electric field on a hollow inner surface of the ion detecting portion having an annular shape.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 이온 분리부는,
전압을 인가할 수 있는 전도체; 및
상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 이온 분리부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
The method according to claim 1,
The ion-
A conductor capable of applying a voltage; And
And an insulator formed on an outer wall of the ion separator to prevent ions from being released from the sample.
전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부;
질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부;
상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및
상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,
상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,
상기 전자 빔 방출부는,
자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및
자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,
상기 이온 검출부는,
상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,
상기 기질부는,
상기 시료에 전압을 인가할 수 있는 전도체; 및
상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 기질부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.
An electron beam emitting unit emitting an electron beam;
A substrate part which is exposed to the outside of the mass spectrometer and which can directly contact the sample and can receive the electron beam emitted from the electron beam emitting part and ionize the sample;
An ion separation unit through which the electron beam is passed and ions emitted from the sample are passed; And
And an ion detector capable of detecting ions passing through the ion separator,
Wherein the ion detecting portion and the electron beam emitting portion are disposed adjacent to each other,
Wherein the electron beam emitting portion comprises:
An ultraviolet beam source for emitting ultraviolet rays; And
And a first microchannel plate for converting ultraviolet rays into electron beams,
Wherein the ion detector comprises:
The first microchannel plate having an annular shape with a hollow surrounding the periphery of at least a portion of the first microchannel plate,
The substrate portion may include:
A conductor capable of applying a voltage to the sample; And
And an insulator formed on an outer wall of the substrate to prevent ions from being released from the sample.
제 10 항에 있어서,
상기 전도체는, 상기 시료에 직접 접촉하는 메쉬부를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기.11. The method of claim 10,
Wherein the conductor includes a mesh portion that is in direct contact with the sample.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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