KR101906139B1 - 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법 - Google Patents

검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101906139B1
KR101906139B1 KR1020170033626A KR20170033626A KR101906139B1 KR 101906139 B1 KR101906139 B1 KR 101906139B1 KR 1020170033626 A KR1020170033626 A KR 1020170033626A KR 20170033626 A KR20170033626 A KR 20170033626A KR 101906139 B1 KR101906139 B1 KR 101906139B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
image
inspection
pcb
circuit board
printed circuit
Prior art date
Application number
KR1020170033626A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180087090A (ko
Inventor
강필현
강경훈
Original Assignee
주식회사 래온
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 래온 filed Critical 주식회사 래온
Publication of KR20180087090A publication Critical patent/KR20180087090A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101906139B1 publication Critical patent/KR101906139B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전에 대한 기술로서, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하는 기준 영상 획득부, 상기 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성하는 검사 기준 생성부, 검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어하는 이동 제어부, 상기 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 조명 조절부, 및 상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 스캔하고, 상기 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하는 영상 처리부를 포함할 수 있다.

Description

검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법{MACHINE VISION SYSTEM OF AUTOMATIC LIGHT SETTING USING INSPECTION STANDARD IMAGE}
본 발명은 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전에 대한 기술로서, 구체적으로는 검사 대상의 기준 인쇄회로기판의 영상을 획득한 후에 검사 대상의 전부 또는 일부의 특성을 판별한 검사 기준 화상을 생성하고, 카메라와 조명을 이용하여 검사 대상을 스캔 하면서 검사 기준 화상에서 판별한 패턴 영역에 따라 조명의 파장 및 특성을 변경하여 검사 대상의 특성에 따라 최적화된 영상으로 획득하는 기술적 사상에 관한 것이다.
머신 비전은 기계(Machine)에 사람의 눈(Vision)을 대신할 수 있는 카메라를 결합하여 시각과 판단 능력을 가지고 있는 시스템을 말한다.
기존 산업 현장에서는 생산품의 불량 유무, 생산 수량 확인 등을 사람에 의존 했지만, 이러한 경우 집중도, 피로도 등의 외부 변수로 인하여 오차 등이 발생한다. 이러한 문제점의 대안으로 측정, 인식, 판단 등에 대한 자동화와 정확도를 확보할 수 있는 시스템을 요구하게 되었으며, 이러한 요구 조건을 만족하기 위하여 머신 비전 시스템이 필요하게 되었다.
현재는 다양한 산업 현장에서 제품 검사, 불량 검출, 위치 검출 등 다양하게 응용되고 있으며, 카메라 기술에 따라 영역 스캔(Area Scan) 방식과 라인 스캔(Line Scan) 방식으로 구분된다.
영역 스캔 방식은 영역 카메라를 이용하여 전체 검사 영역을 이동하면서 분할된 영역을 촬영하는 방식으로 검사 시간이 길고, 검사 대상의 특성에 따라 조명의 특성을 수동으로 입력해야 하는 불편함이 따르며, 다양한 대상을 빠르게 검사할 수 없는 문제점이 있다.
그리고 라인 스캔 방식은 라인 카메라를 이용하여 전체 검사 영역을 한 번에 촬영할 수 있으나, 다양한 대상을 검사하기 위하여 여러 개의 조명 장치를 포함하거나 검사 대상에 맞는 조명으로 수동 변경하여 검사해야 하고, 다양한 대상을 빠르게 검사할 수 없는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-0609107호 "인쇄회로 기판의 패턴 검사장치 및 방법" 한국등록특허 제10-1691242호 "다중 모드 이미징"
본 발명은 라인 카메라와 다파장 조명을 이용하여 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 다양한 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성을 자동으로 변경하여 스캔함으로써 각 대상에 따라 최적화된 영상으로 획득하여 빠르게 판별 및 검사하는 것을 목적으로 한다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하는 기준 영상 획득부, 상기 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성하는 검사 기준 생성부, 검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어하는 이동 제어부, 상기 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 조명 조절부, 및 상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 스캔하고, 상기 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하는 영상 처리부를 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 영상 처리부는, 상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 조명 조절부는, 상기 검사 대상에 대한 제품 특성을 고려하여, 상기 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 조명 조절부는, 다파장 조명을 제어하여 상기 파장 및 상기 특성 중에서 적어도 하나를 조절할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 적어도 하나 이상의 부품이 배치된 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 획득할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 빈 인쇄회로기판(Bare PCB)에서 상기 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상을 획득할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 상기 획득한 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 상기 획득한 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상 중에서 적어도 하나의 영상에 대한 히스토그램을 생성하고, 상기 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거하며, 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하고, 상기 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 또는 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 리커시브 필터(Recursive Filter), 저대역 필터(Low pass Filter), 고대역 필터(High-pass Filter), 중앙치 필터(Median Filter) 중에서 적어도 하나를 이용해서, 상기 생성된 히스토그램에 대한 상기 노이즈를 제거할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 라인 플러드-필 알고리즘(Line Flood-Fill Algorithm)을 이용하여 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 기준 영상 획득부는, 상기 축출된 대상 가장 자리에 대한 위쪽 기준 및 아래쪽 기준을 확인하여 상기 대상 기울기를 확인할 수 있다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하는 단계, 상기 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성하는 단계, 검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어하는 단계, 상기 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 단계, 및 상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔하고, 상기 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 단계는, 상기 검사 대상에 대한 제품 특성을 고려하여, 상기 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 상기 획득한 검사 대상 영상과 상기 검사 기준 화상을 비교하여 상기 검사 대상에 대한 결함 여부를 판별하되, 상기 검사 대상에 대한 전체를 한번에 풀 패턴 매칭(Full Pattern Matching) 방식으로 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 상기 획득한 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 상기 획득한 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상 중에서 적어도 하나의 영상에 대한 히스토그램을 생성하는 단계, 상기 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거하는 단계, 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하는 단계, 및 상기 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 또는 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 노이즈를 제거하는 단계는, 리커시브 필터(Recursive Filter), 저대역 필터(Low pass Filter), 고대역 필터(High-pass Filter), 중앙치 필터(Median Filter) 중에서 적어도 하나를 이용해서, 상기 생성된 히스토그램에 대한 상기 노이즈를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
일실시예에 따른 상기 대상 가장자리를 축출하는 단계는, 라인 플러드-필 알고리즘(Line Flood-Fill Algorithm)을 이용하여 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하는 단계를 포함할 수 있다.
일실시예에 따르면, 라인 카메라와 다파장 조명을 이용하여 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다.
일실시예에 따르면, 다양한 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성을 자동으로 변경하여 스캔함으로써 각 대상에 따라 최적화된 영상으로 획득하여 빠르게 판별 및 검사할 수 있다.
일실시예에 따르면, 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성이 자동으로 변경되므로 빠른 시스템 설정이 가능하다.
일실시예에 따르면, 라인 카메라와 하나의 조명을 이용한다는 점에서 머신 비전 시스템의 제조 단가를 낮출 수 있다.
일실시예에 따르면, 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다는 점에서 고속 촬영이 가능하여 검사 시간을 줄일 수 있다.
도 1은 일실시예에 따른 머신 비전 시스템을 설명하는 도면이다.
도 2는 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 촬영 방식을 설명하는 실시예이다.
도 3은 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 촬영 구간을 설명하는 도면이다.
도 4는 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 영상 획득 과정에 필요한 대체 처리를 설명하는 도면이다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만, 예를 들어 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 표현들, 예를 들어 "~사이에"와 "바로~사이에" 또는 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 특허출원의 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 일실시예에 따른 머신 비전 시스템(100)을 설명하는 도면이다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템(100)은 라인 카메라와 다파장 조명을 이용하여 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다. 뿐만 아니라, 다양한 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성을 자동으로 변경하여 스캔함으로써 각 대상에 따라 최적화된 영상으로 획득하여 빠르게 판별 및 검사할 수 있다.
이를 위해, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템(100)은 기준 영상 획득부, 이동 제어부(130), 및 영상 처리부(160)를 포함할 수 있다. 또한, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템(100)은 검사 기준 화상을 생성하기 위해, 기준 영상 획득부(미도시)와 검사 기준 생성부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 기준 영상 획득부는 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득할 수 있다. 또한, 검사 기준 생성부는 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성할 수 있다.
빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상은 부품이 배치되어 있지 않은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB)을 촬영하여 생성되는 영상으로 해석될 수 있다. 기준 영상 획득부는 빈 인쇄회로기판(Bare PCB)에서 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상을 획득할 수 있다.
적어도 하나 이상의 종류의 패턴은 삼각형, 사각형, 원, 타원, 사다리꼴, 마름모 등과 같은 2차원 도형의 형태일 수 있다.
한편, 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상은 부품이 배치되어 있는 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)을 촬영하여 생성되는 영상으로 해석될 수 있다. 마찬가지로, 기준 영상 획득부는 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 획득할 수 있다.
예를 들어, 기준 영상 획득부는 적어도 하나 이상의 종류의 패턴별로 할당된 주파수 대역을 반영하여 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 획득할 수 있다.
일실시예에 따른 기준 영상 획득부는 검사 대상에 대한 위치를 확인할 수도 있다. 이를 위해, 기준 영상 획득부는 획득한 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상에 대한 히스토그램을 생성하거나, 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상에 대한 히스토그램을 생성할 수 있다.
다음으로, 기준 영상 획득부는 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거하고, 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출할 수 있다. 이때, 대상 가장자리는 영상의 패턴에 포함된 테두리로 해석될 수 있다.
일실시예에 따른 기준 영상 획득부는 리커시브 필터(Recursive Filter), 저대역 필터(Low pass Filter), 고대역 필터(High-pass Filter), 중앙치 필터(Median Filter) 중에서 적어도 하나를 이용해서, 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거할 수 있다. 또한, 일실시예에 따른 기준 영상 획득부는 라인 플러드-필 알고리즘(Line Flood-Fill Algorithm)을 이용하여 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출할 수 있다.
또한, 기준 영상 획득부는 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인함으로써, 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 또는 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인할 수 있다. 이때, 기준 영상 획득부는 축출된 대상 가장 자리에 대한 위쪽 기준 및 아래쪽 기준을 확인하여 대상 기울기를 확인할 수 있다.
일실시예에 따른 기준 영상 획득부는 검사 대상에 대한 위치를 확인하여 검사 대상에 대한 부품의 종류 및 개수를 확인할 수도 있다.
일례로, 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)과 상기 검사 대상에 대한 인쇄회로기판은 서로 동일한 종류의 기판일 수 있다.
다음으로, 검사 기준 생성부는 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성할 수 있다.
구체적으로, 검사 기준 생성부는 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상에서 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상을 빼서 검사 기준 화상을 생성할 수 있다.
일례로, 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상은 테두리(대상 가장자리)가 포함된 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 해당하고, 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상은 테두리만 포함할 수 있다. 따라서, 검사 기준 생성부는 테두리가 포함된 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에서 테두리만이 제거된 영상을 검사 기준 화상으로 생성할 수 있다.
이렇게 생성된 검사 기준 화상에 따라 실제로 검사 대상을 이동 시키면서 검사 대상 영상을 생성할 수 있다.
구체적으로, 이동 제어부(130)는 검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치(140)를 제어할 수 있다. 검사 이동 장치(140)는 컨베이어를 포함하여 검사 대상을 시프트 이동 시킬 수 있는 수단으로 해석될 수 있다. 이동 제어부(130)는 검사 이동 장치(140)를 제어하여 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다.
조명 조절부(110)는 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 조절된 조명을 검사 대상에 조사할 수 있다. 일례로, 조명 조절부(110)는 검사 대상에 대한 제품 특성을 고려하여, 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절할 수 있다. 이를 위해, 조명 조절부(110)는 다파장 조명(120)을 제어할 수 있다. 본 발명에서는 조명 조절부(110)를 통해 다양한 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성을 자동으로 변경하여 스캔함으로써 각 대상에 따라 최적화된 영상으로 획득하여 빠르게 판별 및 검사할 수 있다.
영상 처리부(160)는 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 스캔하고, 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성할 수 있다. 이를 위해, 영상 처리부(160)는 라인 카메라(150)를 통해 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔할 수 있다. 본 발명에 따르면, 라인 카메라와 하나의 조명을 이용한다는 점에서 머신 비전 시스템의 제조 단가를 낮출 수 있고, 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다는 점에서 고속 촬영이 가능하여 검사 시간을 줄일 수 있다.
도 2는 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 촬영 방식을 설명하는 실시예(200)이다.
실시예(200)의 예시와 같이 하나의 미리 생성된 검사 기준 화상의 판별 패턴에 따라 인쇄회로기판에서 각 영역을 자동으로 특정된 파장 및 특성으로 조명하여 촬영하면 최적화된 영상 구성이 가능해진다.
또한, 연속 이송되는 각 제품 특성에 따라 자동으로 특정된 파장 및 특성으로 조명하여 촬영 가능하며, 픽셀 라인(Pixel Line) 단위의 자동 파장 및 특성으로 조명하여 촬영하면 영상 분리가 가능하여 다양한 영상 분석 결과를 얻을 수도 있다.
구체적으로 살펴보면, 검사 이동 장치는 검사 대상인 PCB(210)를 일정 방향으로 지속적으로 이동시켜, 검사 대상에 대해 촬영이 가능하도록 한다.
예를 들어, 검사 이동 장치에 의해 일정 방향으로 이동하는 PCB(210)에는 검사 기준 화상에 상응하는 다양한 패턴들의 조명들이 조사될 수 있다. 도면부호 220은 제1 파장에 의한 R(red) 컬러의 사각형 패턴에 해당한다. 또한, 도면부호 230은 제2 파장에 의한 G(green) 컬러의 삼각형 패턴에 해당한다. 또한, 도면부호 240은 제3 파장에 의한 B(blue) 컬러의 원형 패턴에 해당한다.
각각의 패턴들은 검사 이동 장치의 이동에 따라서 서로 다른 시간 대에 PCB(210)에 조사될 수 있다. 예를 들어, R(red) 컬러의 사각형 패턴(220)은 T+1 시점부터 일정 시간 동안 조사될 수 있고, G(green) 컬러의 삼각형 패턴(230)은 T+2 시점부터 일정 시간 동안 조사될 수 있으며, B(blue) 컬러의 원형 패턴(240)은 T+3 시점부터 일정 시간 동안에 조사될 수 있다.
도 3은 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 촬영 구간을 설명하는 실시예(300)이다.
자동으로 특정된 파장 및 특성으로 PCB(340)에 조명하여 획득된 영상은 실시예(300)와 같이 각 영역 또는 패턴에 최적화된 결과를 얻을 수 있다.
제1 촬영구간(310)에서는 부품의 종류 등을 고려하여 특정된 파장 및 특성으로 조명할 수 있다. 예를 들어, 제1 촬영구간(310)에서는 해당 구간에 실장된 부품의 종류 등을 고려하여 R(red) 컬러의 사각형 패턴(311)이 조사될 수 있다.
또한, 제2 촬영구간(320)에서는 해당 구간에 실장된 부품의 종류 등을 고려하여 G(green) 컬러의 삼각형 패턴(321)이 조사될 수 있다. 또한, 제3 촬영구간(330)에서는 해당 구간에 실장된 부품의 종류 등을 고려하여 원형 패턴(331)이 조사될 수 있다.
도 4는 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법을 설명하는 도면이다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 우선 검사 기준 화상을 생성할 수 있다(401). 또한, 생성된 검사 기준 화상을 이용해서 검사 대상 영상을 획득할 수 있다.
구체적으로, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하고, 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성할 수 있다.
다음으로, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 검사 대상 영상의 획득을 시작할 수 있다(단계 402). 이를 위해, 머신 비전 시스템의 동작 방법은 머신 비전 시스템의 동작 방법은 카메라 및 조명을 켜고(단계 403), 검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어할 수 있다.
일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 검사 대상이 현재 T+n 위치에 있는지 여부를 판단할 수 있다(단계 404).
검사 대상은 T 시점부터 T+n의 시점까지 검사 이동 장치를 통해 이동할 수 있다. 따라서, 검사 대상이 현재 T+n 위치에 있다면 검사 대상의 스캔이 완료 되었음을 나타낼 수 있다.
단계 404에서의 T+n에서는 n이 1부터 증가하는 자연수의 형태로 해석될 수 있어, 'T+1', 'T+2', 'T+3' 등으로 해석될 수 있다.
단계 404의 판단 결과 검사 대상이 T+n에 위치하지 않는 다면 카메라 및 조명을 켜서 검사 대상에 조사를 수행할 수 있다.
다음으로, 검사 대상이 T+n에 위치해 있다면, 제n 파장으로 조명을 설정하고 촬영을 진행할 수 있다. 즉, 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사할 수 있다. 또한, 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔할 수 있다.
또한, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 단계 406을 통해 촬영이 완료 되었는지 여부를 판단할 수 있다. 촬영 완료 여부는, T+n에 있어서 n이 사전에 설정한 자연수에 해당하는 경우 촬영이 완료 되었다고 판단할 수 있다. 일례로, 검사 대상이 T 시점부터 T+10까지 이동 및 촬영하는 스케줄인 경우, n이 '10'인지를 판별하여 촬영 완료 여부를 판단할 수 있다.
다음으로, 일실시예에 따른 머신 비전 시스템의 동작 방법은 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하고(단계 407), 검사 대상 영상을 생성하면 카메라 및 조명을 turn off시켜 검사를 종료할 수 있다(단계 408).
도 5는 영상 획득 과정에 필요한 대체 처리를 설명하는 도면이다.
영상 획득 과정에 필요한 대체 처리를 위해, 일실시예에 따른 결함 검사 방법은 우선 영상을 획득할 수 있다(단계 501). 영상은 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 상기 획득한 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상, 검사 대상에 대한 인쇄회로기판의 검사 대상 영상 중에서 적어도 하나의 영상으로 해석될 수 있다.
다음으로, 일실시예에 따른 결함 검사 방법은 획득한 영상에 대한 히스토그램을 생성하고(단계 502), 생성된 히스토그램에 대해 노이즈를 제거 할 수 있다(단계 503). 또한, 일실시예에 따른 결함 검사 방법은 노이즈 제거된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB)에 대한 대상 가장자리를 축출할 수 있다(단계 504).
또한, 일실시예에 따른 결함 검사 방법은 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인하여 빈 인쇄회로기판(Bare PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인할 수 있다(단계 505).
다음으로, 일실시예에 따른 결함 검사 방법은 검사 대상에 대한 위치에 대한 기울기를 더 확인하여 검사 대상에 대한 위치를 확인할 수 있다.
만약, 위치를 확인한 결과 확인된 검사 대상의 대상 기울기가 '0'인지 여부를 판단하고(단계 506), 대상 기울기가 '0'이라면, 즉 기울어 지지 않았다면 검사 대상에 대한 위치 확인이 바로 가능하다(단계 507).
한편, 단계 506의 판단 결과 기울기가 '0'이 아니라면 검사 대상 위치를 확인하지 않고, 에러 레포트(508)를 작성하고, 단계 501로 분기하여 다시 영상 획득에 임할 수 있다.
결국, 본 발명을 이용하는 경우 라인 카메라와 다파장 조명을 이용하여 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다. 또한, 다양한 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성을 자동으로 변경하여 스캔함으로써 각 대상에 따라 최적화된 영상으로 획득하여 빠르게 판별 및 검사할 수 있고, 검사 대상의 특성에 따라 조명의 파장 및 특성이 자동으로 변경되므로 빠른 시스템 설정이 가능하다. 뿐만 아니라, 라인 카메라와 하나의 조명을 이용한다는 점에서 머신 비전 시스템의 제조 단가를 낮출 수 있고, 검사 대상을 멈추지 않고 한 번의 이동으로 전체 검사 영역을 스캔할 수 있다는 점에서 고속 촬영이 가능하여 검사 시간을 줄일 수 있다.
이상에서 설명된 장치는 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 콘트롤러, ALU(arithmetic logic unit), 디지털 신호 프로세서(digital signal processor), 마이크로컴퓨터, FPA(field programmable array), PLU(programmable logic unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다. 처리 장치는 운영 체제(OS) 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는, 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(processing element) 및/또는 복수 유형의 처리 요소를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(parallel processor)와 같은, 다른 처리 구성(processing configuration)도 가능하다.
소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.
실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.
100: 머신 비전 시스템 110: 기준 영상 획득부
120: 다파장 조명 130: 이동 제어부
140: 검사 이동 장치 150: 라인 카메라
160: 영상 처리부

Claims (16)

  1. 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하는 기준 영상 획득부;
    상기 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성하는 검사 기준 생성부;
    검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어하는 이동 제어부;
    상기 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 조명 조절부; 및
    상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 스캔하고, 상기 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하는 영상 처리부를 포함하고,
    상기 기준 영상 획득부는,
    상기 획득한 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 상기 획득한 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상 중에서 적어도 하나의 영상에 대한 히스토그램을 생성하고,
    상기 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거하며,
    상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하고,
    상기 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 또는 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인하는 머신 비전 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 영상 처리부는,
    상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔하는 머신 비전 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 조명 조절부는,
    상기 검사 대상에 대한 제품 특성을 고려하여, 상기 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하는 머신 비전 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 조명 조절부는,
    다파장 조명을 제어하여 상기 파장 및 상기 특성 중에서 적어도 하나를 조절하는 머신 비전 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기준 영상 획득부는,
    적어도 하나 이상의 부품이 배치된 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 획득하는 머신 비전 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기준 영상 획득부는,
    빈 인쇄회로기판(Bare PCB)에서 상기 적어도 하나 이상의 종류의 패턴에 상응하는 영역들에 대한 영상을 촬영하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상을 획득하는 머신 비전 시스템.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기준 영상 획득부는,
    리커시브 필터(Recursive Filter), 저대역 필터(Low pass Filter), 고대역 필터(High-pass Filter), 중앙치 필터(Median Filter) 중에서 적어도 하나를 이용해서, 상기 생성된 히스토그램에 대한 상기 노이즈를 제거하는 머신 비전 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기준 영상 획득부는,
    라인 플러드-필 알고리즘(Line Flood-Fill Algorithm)을 이용하여 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하는 머신 비전 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기준 영상 획득부는,
    상기 축출된 대상 가장 자리에 대한 위쪽 기준 및 아래쪽 기준을 확인하여 상기 대상 기울기를 확인하는 머신 비전 시스템.
  11. 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상을 각각 획득하는 단계;
    상기 획득된 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상으로부터 검사 기준 화상을 생성하는 단계;
    검사 대상이 이동하도록 검사 이동 장치를 제어하는 단계;
    상기 생성된 검사 기준 화상에 상응하도록 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하고, 상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 단계; 및
    상기 조명이 조사되어 이동하는 검사 대상을 라인 스캔하고, 상기 스캔 결과를 합성하여 검사 대상 영상을 생성하는 단계;
    상기 획득한 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 영상 및 상기 획득한 기준 인쇄회로기판(Golden PCB) 영상 중에서 적어도 하나의 영상에 대한 히스토그램을 생성하는 단계;
    상기 생성된 히스토그램에 대한 노이즈를 제거하는 단계;
    상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하는 단계; 및
    상기 축출된 대상 가장 자리에 따라 대상 기울기를 확인하여 상기 빈 인쇄회로기판(Bare PCB) 또는 상기 기준 인쇄회로기판(Golden PCB)에서 검사 대상에 대한 위치를 확인하는 단계
    를 포함하는 머신 비전 시스템의 동작 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 조절된 조명을 상기 검사 대상에 조사하는 단계는,
    상기 검사 대상에 대한 제품 특성을 고려하여, 상기 조명의 파장 및 특성 중에서 적어도 하나를 조절하는 단계
    를 포함하는 머신 비전 시스템의 동작 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 획득한 검사 대상 영상과 상기 검사 기준 화상을 비교하여 상기 검사 대상에 대한 결함 여부를 판별하되, 상기 검사 대상에 대한 전체를 한번에 풀 패턴 매칭(Full Pattern Matching) 방식으로 검사하는 단계
    를 더 포함하는 머신 비전 시스템의 동작 방법.
  14. 삭제
  15. 제11항에 있어서,
    상기 노이즈를 제거하는 단계는,
    리커시브 필터(Recursive Filter), 저대역 필터(Low pass Filter), 고대역 필터(High-pass Filter), 중앙치 필터(Median Filter) 중에서 적어도 하나를 이용해서, 상기 생성된 히스토그램에 대한 상기 노이즈를 제거하는 단계
    를 포함하는 머신 비전 시스템의 동작 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 대상 가장자리를 축출하는 단계는,
    라인 플러드-필 알고리즘(Line Flood-Fill Algorithm)을 이용하여 상기 노이즈 제거된 적어도 하나의 영상에 대한 대상 가장자리를 축출하는 단계
    를 포함하는 머신 비전 시스템의 동작 방법.
KR1020170033626A 2017-01-24 2017-03-17 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법 KR101906139B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20170011024 2017-01-24
KR1020170011024 2017-01-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180087090A KR20180087090A (ko) 2018-08-01
KR101906139B1 true KR101906139B1 (ko) 2018-10-10

Family

ID=63228142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170033626A KR101906139B1 (ko) 2017-01-24 2017-03-17 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101906139B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102662889B1 (ko) 2023-01-31 2024-05-03 주식회사 크레셈 동판 시트 이물질 검사장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113533375A (zh) * 2021-08-26 2021-10-22 惠州市特创电子科技股份有限公司 一种印刷线路板正反向扫描建模检测方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100609107B1 (ko) 2005-02-24 2006-08-08 에이티아이 주식회사 인쇄회로 기판의 패턴 검사장치 및 방법
US8144973B2 (en) 2009-03-24 2012-03-27 Orbotech Ltd. Multi-modal imaging

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102662889B1 (ko) 2023-01-31 2024-05-03 주식회사 크레셈 동판 시트 이물질 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180087090A (ko) 2018-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6425755B2 (ja) 基板の異物質検査方法
US20220084183A1 (en) Defect detection device, defect detection method, and program
KR101241175B1 (ko) 실장기판 검사장치 및 검사방법
US20020001405A1 (en) Defect inspection method and defect inspection apparatus
JP2016145887A (ja) 検査装置および検査方法
JP2014038045A (ja) 検査装置、照明、検査方法、プログラム及び基板の製造方法
CN107110789B (zh) 贴装有部件的基板检查方法及检查装置
KR101906139B1 (ko) 검사 기준 화상을 통한 자동 조명 설정 방식의 머신 비전 시스템 및 동작 방법
JP3597484B2 (ja) はんだ印刷検査装置
KR101684244B1 (ko) 기판 검사방법
KR101511089B1 (ko) Ａｏｉ 장비의 티칭 데이터 자동 생성 방법
KR101442666B1 (ko) 복수 행의 조명부재를 포함하는 비전검사장치
WO2021084773A1 (ja) 画像処理システム、設定方法およびプログラム
KR101906137B1 (ko) 인쇄회로기판의 결함을 검사하는 장치 및 방법
JP4285613B2 (ja) 検査装置及び検査方法並びにパターン基板の製造方法
JP2007333661A (ja) 電子部品の外観検査方法および外観検査装置
JP2012225716A (ja) 基板の外観検査装置および外観検査方法
JP6688629B2 (ja) 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム
JP3803677B2 (ja) 欠陥分類装置及び欠陥分類方法
JP2011185715A (ja) 検査装置及び検査方法
KR102203441B1 (ko) 전자부품 분류장치 및 그 방법
KR102005345B1 (ko) 라인 스캔 카메라를 이용한 자동차 정션 박스 터미널 단자 비전 검사 방법
JPH06229737A (ja) 周期性パターンの表面欠陥検査方法
JP2008304311A (ja) 周期性パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2014178284A (ja) 画像取得システム、画像取得方法および画像取得プログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant