KR101903034B1 - Magnetic levitation overhead hoist transfer system - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 자기부상 카세트를 이송 레일로부터 부상시켜 추진하고, 메인 레일로부터 분기된 서브 레일들을 가지는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 측면에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치는, 천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일, 및 상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며, 상기 이송 레일은 메인 레일, 및 상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일을 포함하고, 상기 자기부상 카세트는 상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재를 포함한다.One embodiment of the present invention is to provide a magnetically levitated overhead hoist transfer device having a magnetic levitation cassette floated up from a transfer rail and having sub-rails diverged from the main rail. A magnetic levitation overhead hoist transfer device according to one aspect of the present invention includes a conveying rail installed on a ceiling and having a floating facing surface and a floating electromagnet facing the floating facing surface so as to be magnetically levitated and propelled from the conveying rail Wherein the conveying rail includes a main rail and a first sub-rail and a second sub-rail which branch at a branch point from the main rail, and wherein the magnetic levitation cassette is located at the branch point or the floating- And a selecting member for providing a moving force to the conveying rail in the width direction of the conveying rail to select the first sub-rail or the second sub-rail.

Description

자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치 {MAGNETIC LEVITATION OVERHEAD HOIST TRANSFER SYSTEM}[0001] MAGNETIC LEVITATION OVERHEAD HOIST TRANSFER SYSTEM [0002]

본 발명은 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분기 구조의 레일을 가지는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation overhead hoist transfer device, and more particularly, to a levitated overhead hoist transfer device having a rail having a branched structure.

일례를 들면, 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transfer system)는 반도체 제조 공정에서 반도체 웨이퍼들을 이송시키는데 사용되고 있다. 알려진 바에 따르면, 오버헤드 호이스트 이송 장치는 천정에 고정되는 이송 레일, 및 이송 레일에 바퀴로 주행하는 셔틀을 포함한다. 바퀴는 이송 레일과 접촉하면서 소음, 진동 및 분진을 발생시킨다.For example, an overhead hoist transfer system is being used to transport semiconductor wafers in semiconductor manufacturing processes. BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] As known, overhead hoist transport devices include a transport rail fixed to the ceiling, and a shuttle traveling on wheels to the transport rail. The wheels come into contact with the feed rail, generating noise, vibration and dust.

이러한 소음, 진동 및 분진의 감소와 구성 부품의 마모에 의한 고장을 예방하기 위하여, 수시로 해당 구성 부품을 점검하고 교체 및 수리 등을 주기적으로 수행해야만 한다. 유지 보수비가 증가된다.In order to prevent such noise, vibration and dust reduction and component parts from being damaged by wear, the components must be inspected, replaced and repaired from time to time. Maintenance costs are increased.

반도체 제조 라인에서 반도체 웨이퍼의 이송은 청정도가 1클래스인 고도의 청정도를 요구한다. 그러나 반도체 제조 라인 전체를 1클래스로 유지하는 데에는 많은 비용이 발생된다.The transfer of semiconductor wafers from a semiconductor manufacturing line requires a high degree of cleanliness, which is one class of cleanliness. However, it costs a great deal to maintain the entire semiconductor manufacturing line as one class.

이 문제를 극복하기 위하여, 반도체 웨이퍼를 풉(FOUP, front opening unified pod)이라는 카세트에 담아서 이송하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치가 반도체 제조 라인에 사용된다.To overcome this problem, a magnetic levitation overhead hoist transfer device for transferring a semiconductor wafer in a cassette called FOUP (FOUP, front opening unified pod) is used in a semiconductor manufacturing line.

자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치는 카세트 내부의 청정도를 1클래스(class)에 맞추고, 라인 전체의 청정도를 1000클래스 정도로 맞추어 비용을 획기적으로 줄이고 있다.The self-lifting overhead hoist transfer system has a cleanliness level in the cassette set to one class, and the cleanliness level of the entire line is set to about 1000 class, which drastically reduces the cost.

자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치는 전기 자기력에 의하여 자기부상 카세트를 이송 레일로부터 일정한 높이로 부상시켜 추진한다. 이러한 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치는 자기부상 카세트를 전자석과 비접촉 상태로 추진하므로 소음, 진동 및 분진을 줄이고, 고속 추진을 구현할 수 있다.The magnetic levitation overhead hoist transfer device propels the levitated cassette by the electromagnetic force to a certain height from the transfer rail. Such a magnetic levitation overhead hoist transfer device drives the magnetic levitation cassette in a non-contact state with the electromagnet, thereby reducing noise, vibration and dust, and realizing high-speed propulsion.

미국 등록특허공보 8,651,025(등록일 2014년 2월 18일). 오버헤드 호이스트 이송 장치는 오버헤드 호이스트 이송 트랙과 셔틀을 구비한다. 오버헤드 호이스트 이송 레일은 메인 레일과 분기된 2개의 래터럴 레일을 구비하다. 셔틀은 트랙 인터페이스 어셈블리를 구비하여 분기된 래터럴 레일을 선택적으로 진행한다. 분기휠들 중 일부가 승강되어 래터럴 레일들을 선택하므로 셔틀은 분기된 래터럴 레일을 따라 이송될 수 있다.U.S. Patent Publication No. 8,651,025 (registered Feb. 18, 2014). The overhead hoist transport device has an overhead hoist transport track and a shuttle. The overhead hoist transfer rail has two main lateral rails and two lateral lateral rails. The shuttle includes a track interface assembly for selectively advancing the branched lateral rails. Some of the branch wheels are lifted to select the lateral rails so that the shuttle can be transported along the branched lateral rails.

본 발명의 일 실시예는 자기부상 카세트를 이송 레일로부터 부상시켜 추진하고, 메인 레일로부터 분기된 서브 레일들을 가지는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치를 제공하는 것이다.One embodiment of the present invention is to provide a magnetically levitated overhead hoist transfer device having a magnetic levitation cassette floated up from a transfer rail and having sub-rails diverged from the main rail.

본 발명의 일 측면에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치는, 천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일, 및 상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며, 상기 이송 레일은 메인 레일, 및 상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일을 포함하고, 상기 자기부상 카세트는 상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재를 포함한다.A magnetic levitation overhead hoist transfer device according to one aspect of the present invention includes a conveying rail installed on a ceiling and having a floating facing surface and a floating electromagnet facing the floating facing surface so as to be magnetically levitated and propelled from the conveying rail Wherein the conveying rail includes a main rail and a first sub-rail and a second sub-rail which branch at a branch point from the main rail, and wherein the magnetic levitation cassette is located at the branch point or the floating- And a selecting member for providing a moving force to the conveying rail in the width direction of the conveying rail to select the first sub-rail or the second sub-rail.

상기 이송 레일은 상기 분기점에 대응하여 상기 메인 레일의 폭 방향 중앙에 구비되는 안내 전자석을 포함하고, 상기 선택부재는 상기 안내 전자석에 대응하도록 상부에 구비되어 상기 안내 전자석의 작동에 따라 상기 이송 레일의 폭 방향으로 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 힘을 받는 선택 영구자석으로 형성될 수 있다.Wherein the conveying rail includes a guide electromagnet provided at the center of the main rail in the width direction corresponding to the branch point and the selection member is provided at an upper portion corresponding to the guide electromagnet, And a selection permanent magnet which receives force to select the first sub-rail or the second sub-rail in the width direction.

상기 이송 레일은 상기 부상 대향면의 일측에 추진 전자석을 구비하고, 상기 자기부상 카세트는 상기 추진 전자석에 대응하는 추진 영구자석을 구비할 수 있다.The conveying rail may include a propulsion electromagnet on one side of the floating opposing face, and the magnetic levitation cassette may include a propelling permanent magnet corresponding to the propulsion electromagnet.

상기 부상 전자석은 상기 자기부상 카세트의 상면 네 모퉁이에 구비되는 제1전자석과 제2전자석을 포함하고, 상기 선택 영구자석은 상기 상면의 상기 폭 방향 중앙에서 상기 자기부상 카세트의 진행 방향의 양단에 구비될 수 있다.Wherein the floating electromagnet includes a first electromagnet and a second electromagnet provided at four corners of an upper surface of the magnetic levitation cassette, and the selected permanent magnet is provided at both ends of the magnetic levitation cassette in the widthwise center of the upper surface, .

상기 제1서브 레일과 상기 제2서브 레일은 상기 분기점의 전방에서 각각의 내측 레일로 서로 교차하는 교차점을 형성할 수 있다.The first sub-rail and the second sub-rail may form an intersection point that intersects each of the inner rails at the front of the branch point.

상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은 상기 분기점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고, 상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성될 수 있다.The first sub-rail and the second sub-rail may be formed at the bifurcation point such that the flotation-facing surface is formed as a flat plate and wider than the width of the flotation electromagnet in the width direction of the transfer rail.

상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은 상기 분기점과 상기 교차점 사이에서, 상기 제1전자석과 상기 제2전자석에 대응하는 제11부상 대향면과 제12부상 대향면, 및 상기 제11부상 대향면과 상기 제12부상 대향면의 각 측방에 구비되어, 상기 제1전자석 및 상기 제2전자석에 대응하는 제21부상 대향면과 제22부상 대향면을 포함할 수 있다.The first sub-rail and the second sub-rail are arranged between the branch point and the intersection point, the eleventh floating-facing surface and the twelfth floating-facing surface corresponding to the first electromagnet and the second electromagnet, and the eleventh floating- And a twenty-first floating-facing surface and a twenty-second floating facing surface, which are provided on each side of the twelfth floating-facing surface and correspond to the first and second electromagnets, respectively.

상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은 상기 교차점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고, 상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성될 수 있다.The first sub-rail and the second sub-rail may be formed at the intersection with the floating-facing surface as a flat plate and wider than the width of the floating electromagnet in the width direction of the feeding rail.

상기 이송 레일은 상기 부상 대향면의 상측에 이동 통로를 형성하고, 상기 이동 통로에 연결되는 개구를 형성하며, 상기 자기부상 카세트는 상기 개구에 설치되어 상하 방향으로 연결되는 수직 연결부재, 및 상기 수직 연결부재의 상단에서 상기 폭 방향으로 설치되어 상기 이동 통로에 지지되는 수평 연결부재를 포함할 수 있다.Wherein the conveying rail forms a moving passage above the floating opposing surface and forms an opening connected to the moving passage, the magnetic levitation cassette including a vertical connecting member installed in the opening and connected in the vertical direction, And a horizontal connecting member installed at the upper end of the connecting member in the width direction and supported by the moving passage.

상기 이송 레일은 폭 방향 중앙에 형성되는 개구의 양측에 추진 전자석을 구비하고, 상기 수평 연결부재는 상기 추진 전자석에 대응하여 추진 영구자석을 구비할 수 있다.The conveying rail may include a propelling electromagnet at both sides of an opening formed at a widthwise center thereof, and the horizontal connecting member may include a propelling permanent magnet corresponding to the propelling electromagnet.

상기 제1서브 레일과 상기 제2서브 레일은 상기 메인 레일 및 각각의 내측 레일에서 분리는 제1분리 레일과 제2분리 레일을 각각 포함하고, 상기 선택부재는 상기 자기부상 카세트의 상면에 네 모퉁이에 구비되는 제11전자석과 제12전자석, 및 상기 제11전자석과 상기 제12전자석의 내측에 각각 구비되는 제21전자석과 제22전자석을 포함할 수 있다.Wherein the first sub-rail and the second sub-rail each include a first separating rail and a second separating rail for separating from the main rails and the respective inner rails, and the selecting member includes four corners on the upper surface of the magnetic levitation cassette A twelfth electromagnet and a twelfth electromagnet provided in the first electromagnet, and a twenty-first electromagnet and a twenty-second electromagnet provided respectively inside the eleventh electromagnet and the twelfth electromagnet.

상기 제1분리 레일과 상기 제2분리 레일은 상기 분기점의 전방에서 교차하는 교차점을 형성할 수 있다.The first separating rail and the second separating rail may form an intersection intersecting in front of the branching point.

상기 이송 레일은 상기 분기점에서, 상기 제11전자석과 상기 제12전자석에 대응하는 제11부상 대향면과 제12부상 대향면, 및 상기 제21전자석과 상기 제22전자석에 대응하는 제21부상 대향면과 제22부상 대향면을 구비할 수 있다.Wherein the conveying rail includes an eleventh floating facing surface and a twelfth floating facing surface corresponding to the eleventh electromagnet and the twelfth electromagnet and a twenty second floating facing surface corresponding to the twenty first electromagnet and the twenty second electromagnet, And a twenty-second floating facing surface.

상기 제1분리 레일 및 상기 제2분리 레일은 상기 교차점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고, 상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성될 수 있다.The first separating rail and the second separating rail may be formed at the intersection with the flotation facing surface as a flat plate and wider than the width of the flotation electromagnet in the width direction of the feeding rail.

상기 제1서브 레일은 상기 교차점 이후에서, 상기 제11전자석에 대응하는 제11부상 대향면, 및 상기 제22전자석과 상기 제12전자석에 대응하는 제22부상 대향면과 제12부상 대향면을 구비할 수 있다.The first sub-rail has an eleventh floating facing surface corresponding to the eleventh electromagnet after the intersection point, and a twenty-second floating facing surface and a twelfth floating facing surface corresponding to the twenty-second electromagnet and the twelfth electromagnet can do.

상기 이송 레일은 상기 메인 레일의 상기 분기점에서 더 분기되는 제3서브 레일을 포함할 수 있다.The feed rail may include a third sub-rail further diverging at the branch point of the main rail.

상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은 상기 분기점의 전방에서 각각의 내측 레일로 교차 후 분리되는 공동 구간을 형성할 수 있다.The first sub-rail and the second sub-rail may form a cavity section that is separated from the front of the branch point after intersection with each inner rail.

상기 제3서브 레일은 상기 공동 구간의 전방에서 상기 폭 방향의 일측으로 휘어진 후 반대 방향으로 휘어져서 제1서브 레일의 내측 레일과 제1교차점을 형성하고, 상기 제2서브 레일의 내측 레일과 제2교차점을 형성하며, 상기 제1교차점과 상기 제2교차점은 상기 자기부상 카세트의 진행 방향에서 설정된 이격 거리를 유지할 수 있다.The third sub-rail is bent in a direction opposite to the width direction in front of the cavity section and then bent in the opposite direction to form a first intersection with the inner rail of the first sub-rail, and the inner rail and the inner rail of the second sub- 2 crossing points, and the first intersection point and the second intersection point can maintain a predetermined distance in the traveling direction of the magnetic levitation cassette.

본 발명의 일 실시예는 부상 대향면을 가지는 이송 레일을 천정에 설치하고, 이송 레일을 메인 레일에서 제1, 제2서브 레일로 분기하며, (제1)분기점 또는 부상 대향면에서 선택부재로 자기부상 카세트에 폭 방향으로 이동력을 제공하므로 자기부상 추진되는 자기부상 카세트가 제1, 제2서브 레일을 선택하여 안정적으로 이송될 수 있다.An embodiment of the present invention is characterized in that a conveying rail having a floating surface is provided on the ceiling and the conveying rail is branched from the main rail to the first and second sub rails, The magnetic levitation cassette propelled by the magnetic levitation can be stably transported by selecting the first and second sub rails because it provides the moving force in the width direction to the magnetic levitation cassette.

이와 같이, 자기부상 카세트가 메인 레일 및 제1, 제2서브 레일 상에서 비접촉 상태로 이송되므로 반도체 제조 라인에서 고청정 환경이 구현될 수 있다. 이때, 반도체 웨이퍼들을 이송하는 자기부상 카세트 내부만을 고청정 환경으로 구현하므로 비용이 줄어들 수 있다.Thus, since the magnetic levitation cassette is transported in the non-contact state on the main rail and the first and second sub rails, a highly clean environment can be realized in the semiconductor manufacturing line. At this time, since only the inside of the magnetic levitation cassette for transporting the semiconductor wafers is implemented in a highly clean environment, the cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 자기부상 카세트 상면을 도시한 평면도이다.
도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 5는 도 1의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 Ⅵ-Ⅵ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치에서, 자기부상 카세트의 상면을 도시한 평면도이다.
도 8은 도 7의 Ⅷ-Ⅷ 선을 따라 자른 이송 레일과 자기부상 카세트를 연결하는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이다.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 11은 도 10의 자기부상 카세트 상면을 도시한 평면도이다.
도 12는 도 9의 ⅩⅡ-ⅩⅡ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 13는 도 9의 ⅩⅢ-ⅩⅢ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 14는 도 9의 ⅩⅣ-ⅩⅣ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제4실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
Fig. 3 is a plan view showing the top surface of the magnetic levitation cassette of Fig. 2; Fig.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
5 is a cross-sectional view cut along the line V-V in FIG.
6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG.
7 is a plan view showing an upper surface of a magnetic levitation cassette in a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating the connection of a transport rail cut along the line VIII-VIII of FIG. 7 and a magnetic levitation cassette.
9 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a third embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view cut along the line X-X of Fig.
11 is a plan view showing the upper surface of the magnetic levitation cassette of Fig.
12 is a cross-sectional view cut along the line XII-XII in Fig.
13 is a sectional view cut along the line XIII-XIII in Fig.
Fig. 14 is a cross-sectional view cut along the line XIV-XIV in Fig. 9;
15 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치(1)는 천정에 설치되는 이송 레일(10) 및 이송 레일(10)로부터 자기부상되어 추진되는 자기부상 카세트(20)를 포함한다.FIG. 1 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view cut along the line II-II in FIG. 1 and 2, a magnetic levitation overhead hoist conveying apparatus 1 according to a first embodiment includes a conveying rail 10 installed on a ceiling and a magnetic levitation cassette (20).

일례를 들면, 이송 레일(10)은 부상 대향면(30)을 구비하고, 자기부상 카세트(20)는 부상 대향면(30)에 마주하는 부상 전자석(40)을 구비한다. 부상 전자석(40)은 부상 대향면(30)에 대하여 흡인력을 제어하므로 자기부상 카세트(20)를 자기부상시킨다. 도시하지 않았으나, 부상 대향면이 자기부상 카세트에 구비되고, 부상 전자석이 이송 레일에 구비될 수도 있다.For example, the conveying rail 10 has a floating facing surface 30 and the magnetic levitation cassette 20 has a floating electromagnet 40 facing the floating facing surface 30. The levitation electromagnet 40 controls the attracting force of the levitation facing surface 30 so that the levitated magnetic cassette 20 is levitated. Although not shown, a floating surface may be provided in the magnetic levitation cassette, and a floating electromagnet may be provided in the transfer rail.

또한, 이송 레일(10)은 부상 대향면(30)의 일측에 추진 전자석(50)을 구비하고, 자기부상 카세트(20)는 추진 전자석(50)에 대응하는 추진 영구자석(60)을 구비한다. 도시된 바와 같이, 추진 전자석(50)이 이송 레일(10)의 상방에 도시되어 있다. 도시하지 않았으나 추진 전자석은 이송 레일의 측방에 구비되고, 추진 영구자석이 추진 전자석에 대응하여 자기부상 카세트의 측방에 구비될 수도 있다. 또한 도시하지 않았으나, 추진 전자석이 자기부상 카세트에 구비되고, 추진 영구자석이 이송 레일에 구비될 수도 있다.The transfer rail 10 also has a propelling electromagnet 50 on one side of the flotation facing surface 30 and the magnetic levitation cassette 20 has a propelling permanent magnet 60 corresponding to the propelling electromagnet 50 . As shown, the propulsion electromagnet 50 is shown above the conveying rail 10. Although not shown, the propulsion electromagnet may be provided on the side of the conveying rail, and the propelling permanent magnet may be provided on the side of the magnetic levitation cassette corresponding to the propelling electromagnet. Although not shown, a propelling electromagnet may be provided in the magnetic levitation cassette, and a propelling permanent magnet may be provided in the transfer rail.

자기부상 카세트(20)는 양측으로 돌출되는 가이드 부재(22)를 구비하고, 이송 레일(10)은 가이드 부재(22)의 하측에 대응하여 배치되는 롤러(23)를 구비한다. 따라서 자기부상 카세트(20)가 자기부상을 중단할 때, 하강되고, 가이드 부재(22)는 롤러(23)에 맞닿아 구름 접촉으로 이동될 수 있다. 따라서 자기부상 카세트(20)는 이송 레일(10)로부터 추락 방지될 수 있다.The magnetic levitation cassette 20 has a guide member 22 protruding on both sides and the conveying rail 10 has a roller 23 arranged corresponding to the lower side of the guide member 22. [ Therefore, when the magnetic levitation cassette 20 stops magnetic levitation, it is lowered, and the guide member 22 can be moved to the rolling contact by abutting against the roller 23. Thus, the magnetic levitation cassette 20 can be prevented from falling off the conveying rail 10.

도 1, 도 2 및 도 9, 도 10을 참조하면, 이송 레일(10, 310)은 메인 레일(14), 및 분기점(DP)에서 메인 레일(14)로부터 분기되는 제1서브 레일(11, 15)과 제2서브 레일(12, 16)을 포함한다. 따라서 자기부상 카세트(20, 320)는 이송 레일(10, 310)로 이동되다가 분기점(DP) 또는 부상 대향면(30)에서 제1서브 레일(11, 15) 또는 제2서브 레일(12, 16)로 선택적으로 이동될 수 있다.1, 2, 9 and 10, the conveying rails 10 and 310 include a main rail 14 and first sub rails 11 and 12 branched from the main rail 14 at a branch point DP. 15 and the second sub rails 12, 16. The magnetic levitation cassettes 20 and 320 are moved to the conveying rails 10 and 310 so that the first sub rails 11 and 15 or the second sub rails 12 and 16 ). ≪ / RTI >

이를 위하여, 자기부상 카세트(20, 320)는 제1서브 레일(11, 15) 또는 제2서브 레일(12, 16)을 선택하는 선택부재를 포함한다. 선택부재는 분기점(DP) 또는 부상 대향면(30)에서 이송 레일(10, 310)에 대하여 이송 레일(10, 310)의 폭 방향(x축 방향)으로 이동력을 제공하도록 구성된다.To this end, the magnetic levitation cassette 20, 320 comprises a selection member for selecting the first sub-rails 11, 15 or the second sub-rails 12, 16. The selection member is configured to provide a moving force in the width direction (x-axis direction) of the feed rail 10, 310 with respect to the feed rail 10, 310 at the branch point DP or the floating opposing face 30.

이를 위하여, 다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 이송 레일(10)은 분기점(DP)에 대응하여 메인 레일(14)의 폭 방향 중앙(x축 방향)에 구비되는 안내 전자석(71)을 포함한다. 선택부재는 선택 영구자석(72)으로 형성된다.1 and 2, the feed rail 10 includes a guide electromagnet 71 provided in the widthwise center (x-axis direction) of the main rail 14 in correspondence with the branch point DP do. The selection member is formed by the selected permanent magnet (72).

선택 영구자석(72)은 안내 전자석(71)에 대응하도록 자기부상 카세트(20)의 상부에 구비되어 안내 전자석(71)의 작동에 따라 이송 레일(10)의 폭 방향(x축 방향)으로 힘을 받는다. 따라서 선택 영구자석(72) 및 자기부상 카세트(20)는 메인 레일(14)에서 제1서브 레일(11) 또는 제2서브 레일(12)을 선택하게 된다.The selected permanent magnet 72 is provided on the upper portion of the magnetic levitation cassette 20 so as to correspond to the electromagnet 71 so that the electromagnet 71 is rotated in the width direction . Thus, the selected permanent magnet 72 and the magnetic levitation cassette 20 select the first sub-rail 11 or the second sub-rail 12 at the main rail 14.

이송 레일(10)은 자기부상 카세트(20)의 측방을 향하는 안내 갭 센서(73)를 더 구비한다. 안내 갭 센서(73)는 이송 레일(10)의 측면과 자기부상 카세트(20)의 측면 사이의 갭(G)(도 1 및 도 4 참조)을 감지하여, 안내 전자석(71)과 선택 영구자석(72) 사이에 형성되는 폭 방향 힘을 제어하여 자기부상 카세트(20)가 이송 레일(10)의 측면에 충돌되는 것을 방지할 수 있게 한다.The feed rail 10 further includes a guide gap sensor 73 facing the side of the magnetic levitation cassette 20. The guiding gap sensor 73 senses a gap G (see Figs. 1 and 4) between the side surface of the conveying rail 10 and the side surface of the magnetic levitation cassette 20 so that the electromagnet 71 and the selected permanent magnet So that the magnetic levitation cassette 20 can be prevented from colliding with the side surface of the conveyance rail 10 by controlling the width direction force formed between the conveyance rail 72 and the conveyance rail 10.

도 3은 도 2의 자기부상 카세트 상면을 도시한 평면도이다. 도 3을 참조하면, 부상 전자석(40)은 자기부상 카세트(20)의 상면 네 모퉁이에 구비되는 제1전자석(41)과 제2전자석(42)을 포함한다. 따라서 제1, 제2전자석(41, 42)은 x, y축 방향에서 자기부상 카세트(20)를 이송 레일(10)로부터 균형적이고 안정적으로 부상시킬 수 있다.Fig. 3 is a plan view showing the top surface of the magnetic levitation cassette of Fig. 2; Fig. Referring to FIG. 3, the floating electromagnet 40 includes a first electromagnet 41 and a second electromagnet 42 provided at four corners of the upper surface of the magnetic levitation cassette 20. Therefore, the first and second electromagnets 41 and 42 can float the magnetic levitation cassette 20 from the conveying rail 10 in a balanced and stable manner in the x and y axis directions.

선택 영구자석(72)은 자기부상 카세트(20) 상면의 폭 방향(x축 방향) 중앙에서 자기부상 카세트(20)의 진행 방향(y축 방향)의 양단에 구비된다. 따라서 선택 영구자석(72)은 y축 방향에서 자기부상 카세트(20)가 제1, 제2서브 레일(11, 12)을 균형적이고 안정적으로 선택할 수 있게 한다.The selected permanent magnet 72 is provided at both ends in the moving direction (y axis direction) of the magnetic levitation cassette 20 at the center in the width direction (x axis direction) of the upper surface of the magnetic levitation cassette 20. Therefore, the selective permanent magnet 72 allows the magnetic levitation cassette 20 to select the first and second sub rails 11 and 12 in a balanced and stable manner in the y-axis direction.

다시 도 1을 참조하면, 제1, 제2서브 레일(11, 12)은 분기점(DP)의 전방에서 각각의 내측 레일(111, 121)로 서로 교차하는 교차점(CP)을 형성한다. 교차점(CP)을 지나면, 제1, 제2서브 레일(11, 12)은 메인 레일(14)로부터 완전히 분기된다. 편의상, 교차점(CP)은 제1, 제2서브 레일(11, 12) 중 분기되는 내측에 위치하는 내측 레일(111, 121)에 구비되는 부상 대향면(30)이 교차되는 위치를 지칭한다.Referring again to FIG. 1, the first and second sub rails 11 and 12 form an intersection point CP intersecting each of the inner rails 111 and 121 at the front of the branch point DP. The first and second sub rails 11 and 12 are completely branched from the main rail 14 when the crossing point CP passes. For convenience, the intersection point CP refers to a position where the floating opposing face 30 provided on the inner rails 111 and 121 located on the inner side of the first and second sub rails 11 and 12 is intersected.

도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 4를 참조하면, 제1, 제2서브 레일(11, 12)은 분기점(DP)에서, 부상 대향면(31, 32)을 평판으로 형성한다. 부상 대향면(31, 32)은 부상 대향면(30)에 이어지고, 분기점(DP)에서 평판으로 형성된다. 평판의 부상 대향면(31, 32)은 이송 레일(10)의 폭 방향(x축 방향)에서 부상 전자석(40)의 폭보다 더 넓게 형성된다.4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. Referring to Fig. 4, the first and second sub rails 11 and 12 form a flat plate at the bifurcation point DP, and the floating opposing surfaces 31 and 32 are flat plates. The floating opposing surfaces 31 and 32 extend to the floating opposing surface 30 and are formed as a flat plate at the turning point DP. The floating opposing faces 31 and 32 of the flat plate are formed to be wider than the width of the floating electromagnet 40 in the width direction (x-axis direction) of the conveying rail 10.

따라서 안내 전자석(71)과 선택 영구자석(72)의 상호 작용에 따라, 자기부상 카세트(20)가 폭 방향(x축 방향)으로 이동할 때, 부상 전자석(40), 즉 제1전자석(41)과 제2전자석(42)이 부상 대향면(31, 32)에 안정적으로 대향할 수 있다. 즉 분기점(DP)에서, 자기부상 카세트(20)가 안정적으로 부상력을 유지하게 된다. 이때, 안내 갭 센서(73)의 감지 신호에 따라 안내 전자석(71)이 제어된다.Therefore, when the magnetic levitation cassette 20 moves in the width direction (x-axis direction), the floating electromagnet 40, that is, the first electromagnet 41, And the second electromagnet (42) can stably oppose the floating opposing surfaces (31, 32). That is, at the branch point DP, the levitated cassette 20 stably maintains the levitation force. At this time, the guidance electromagnet 71 is controlled in accordance with the detection signal of the guide gap sensor 73.

도 5는 도 1의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 5를 참조하면, 제1, 제2서브 레일(11, 12)은 분기점(DP)과 교차점(CP) 사이에서, 제1전자석(41)과 제2전자석(42)에 대응하는 제11부상 대향면(331)과 제12부상 대향면(332), 및 제21부상 대향면(341)과 제22부상 대향면(342)을 포함한다.5 is a cross-sectional view cut along the line V-V in FIG. 5, the first and second sub rails 11 and 12 are disposed between the branch point DP and the intersection point CP so that the first and second sub rails 11 and 12, A twelfth rising facing surface 332 and a twenty first rising facing surface 341 and a twenty second rising facing surface 342.

제21부상 대향면(341)과 제22부상 대향면(342)은 폭 방향(x축 방향)에서 제11부상 대향면(331)과 제12부상 대향면(332)의 각 측방에 구비되어, 제1전자석(41) 및 제2전자석(42)에 대응한다.The twenty-first floating facing surface 341 and the twenty second floating facing surface 342 are provided on either side of the eleventh floating facing surface 331 and the twelfth floating facing surface 332 in the width direction (x axis direction) Corresponds to the first electromagnet (41) and the second electromagnet (42).

제11부상 대향면(331)과 제12부상 대향면(332)은 제1서브 레일(11)이 선택되었을 때, 제1전자석(41) 및 제2전자석(42)에 대응한다(도 5 참조). 즉 자기부상 카세트(20)가 메인 레일(14)에서 제1서브 레일(11)을 선택하고 있는 과정이다.The eleventh floating facing surface 331 and the twelfth floating facing surface 332 correspond to the first electromagnet 41 and the second electromagnet 42 when the first sub rail 11 is selected ). That is, the magnetic levitation cassette 20 selects the first sub-rail 11 from the main rail 14. [

제21부상 대향면(341)과 제22부상 대향면(342)은 제2서브 레일(12)이 선택되었을 때, 제1전자석(41) 및 제2전자석(42)에 대응한다(도시하지 않았으나 도 5에서 자기부상 카세트가 우측으로 이동된 상태임). 즉 자기부상 카세트가 메인 레일에서 제2서브 레일을 선택하고 있는 과정이다.The twenty-first rising surface 341 and the twenty second rising facing surface 342 correspond to the first electromagnet 41 and the second electromagnet 42 when the second sub-rails 12 are selected (not shown) The magnetic levitation cassette is moved to the right in Fig. 5). That is, the magnetic levitation cassette is the process of selecting the second sub-rail in the main rail.

도 6은 도 1의 Ⅵ-Ⅵ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 6을 참조하면, 제1, 제2서브 레일(11, 12)은 교차점(CP)에서, 부상 대향면(35)을 평판으로 형성한다. 부상 대향면(35)은 제21부상 대향면(341)과 제12부상 대향면(332)에 이어지고, 교차점(CP)에서 평판으로 형성된다. 평판의 부상 대향면(35)은 이송 레일(10)의 폭 방향(x축 방향)에서 부상 전자석(40)의 폭보다 더 넓게 형성된다.6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG. Referring to FIG. 6, the first and second sub rails 11 and 12 form a flat plate at the intersection point CP, and the floating opposing face 35 is a flat plate. The floating opposing face 35 is connected to the twenty first floating opposing face 341 and the twelfth floating opposing face 332 and is formed as a flat plate at the intersection CP. The floating opposing face 35 of the flat plate is formed to be wider than the width of the floating electromagnet 40 in the width direction (x-axis direction) of the conveying rail 10.

따라서 교차점(CP)에서 자기부상 카세트(20)가 이송될 때, 부상 전자석(40), 즉 제1전자석(41)과 제2전자석(42)이 부상 대향면(30, 35)에 안정적으로 대향할 수 있다. 즉 교차점(CP)에서도, 자기부상 카세트(20)가 안정적으로 부상력을 유지할 수 있게 된다.Therefore, when the magnetic levitation cassette 20 is transferred at the intersection CP, the floating electromagnet 40, that is, the first electromagnet 41 and the second electromagnet 42 stably oppose the floating opposing faces 30, can do. That is, even at the point of intersection CP, the magnetic levitation cassette 20 can stably maintain the levitation force.

이와 같이. 자기부상 카세트(20)는 메인 레일(14)에서 제1, 제2서브 레일(11,12)을 선택하여 자기부상되어 이송된다. 따라서 비접촉 상태로 자기부상 카세트(20)가 이송되므로 소음, 진동 및 분진이 감소될 수 있다. 또한 반도체 웨이퍼들을 수용하는 자기부상 카세트(20)가 이송 레일(10)과 같은 외부 환경에 노출되지 않으므로 내부에서 더욱 높은 고청정 환경이 유지될 수 있다.like this. The magnetic levitation cassette 20 selects the first and second sub rails 11 and 12 from the main rail 14 and is magnetically levitated and transported. Therefore, since the magnetic levitation cassette 20 is transported in a non-contact state, noise, vibration and dust can be reduced. Further, since the magnetic levitated cassette 20 accommodating the semiconductor wafers is not exposed to the external environment such as the transfer rail 10, a higher high clean environment can be maintained therein.

이하 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 설명한다. 제1실시예 및 기 설명된 실시예들과 비교하여, 동일한 구성을 생략하고 서로 다른 구성에 대하여 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described. The same configuration will be omitted and different configurations will be described in comparison with the first embodiment and the previously described embodiments.

도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치에서, 자기부상 카세트의 상면을 도시한 평면도이고, 도 8은 도 7의 Ⅷ-Ⅷ 선을 따라 자른 이송 레일과 자기부상 카세트를 연결하는 단면도이다.FIG. 7 is a plan view showing a top surface of a magnetic levitation cassette in a magnetic levitation overhead hoist transporting apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a plan view showing a transport rail cut along the line VIII- Sectional view for connecting the cassette.

도 7 및 도 8을 참조하면, 제2실시예의 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치(2)에서 이송 레일(210)은 부상 대향면(30)의 상측에 이동 통로(211)를 형성하고, 이동 통로(211)에 연결되는 개구(212)를 형성한다.7 and 8, in the magnetic levitation overhead hoist conveying apparatus 2 of the second embodiment, the conveying rail 210 forms the moving passage 211 on the upper side of the floating opposing face 30, (Not shown).

자기부상 카세트(220)는 개구(212)에 설치되어 상하 방향(z축 방향)으로 연결되는 수직 연결부재(221), 및 수직 연결부재(221)의 상단에서 폭 방향(x축 방향)으로 설치되어 이동 통로(211)에 지지되는 수평 연결부재(222)를 포함한다.The magnetic levitation cassette 220 includes a vertical connecting member 221 installed in the opening 212 and connected in the vertical direction (z-axis direction), and a vertical connecting member 221 installed in the width direction And a horizontal connecting member 222 supported by the moving passage 211.

수직 연결부재(221)가 자기부상 카세트(220)의 상면의 폭 방향(x축 방향) 중앙에서 자기부상 카세트(20)의 진행 방향(y축 방향)의 양단에 구비된다. 따라서 수직 연결부재(221)는 y축 방향에서 자기부상 카세트(20)가 수평 상태를 균형적이고 안정적으로 유지할 수 있게 한다.The vertical connecting member 221 is provided at both ends in the moving direction (y-axis direction) of the magnetic levitation cassette 20 at the center in the width direction (x-axis direction) of the upper surface of the magnetic levitation cassette 220. Therefore, the vertical connecting member 221 allows the magnetic levitation cassette 20 to maintain the horizontal state in a balanced and stable manner in the y-axis direction.

이송 레일(210)은 폭 방향(x축 방향) 중앙에 형성되는 개구(212)의 양측에 추진 전자석(51, 52)을 구비한다. 수평 연결부재(222)는 추진 전자석(51, 52)에 대응하여 추진 영구자석(61, 62)을 구비한다.The conveying rail 210 has propulsion electromagnets 51 and 52 on both sides of an opening 212 formed at the center in the width direction (x-axis direction). The horizontal connecting member 222 has a propelling permanent magnet 61, 62 corresponding to the propulsion electromagnets 51, 52.

수평 연결부재(222)는 양단에 롤러(23)를 구비한다. 자기부상 카세트(20)가 자기부상을 중단할 때, 하강되고, 이동 통로(211)의 이송 레일(210)은 수평 연결부재(222)의 롤러(23)에 맞닿는다. 따라서 자기부상 카세트(220)는 롤러(23)와 이동 통로(211)의 구름 접촉으로 이동될 수 있다.The horizontal connecting member 222 has rollers 23 at both ends thereof. When the magnetic levitation cassette 20 stops magnetic levitation, it is lowered and the conveyance rail 210 of the moving path 211 abuts against the roller 23 of the horizontal connecting member 222. Therefore, the magnetic levitation cassette 220 can be moved in the rolling contact between the roller 23 and the moving passage 211.

또한, 자기부상 카세트(220)의 중앙에 수직 연결부재(221)가 설치되므로 선택 영구자석(72)은 수직 연결부재(221)의 일측에 구비된다. 이에 따라 안내 전자석(71)이 선택 영구자석(72)에 대응하도록 분기점(DP)에서 일측에 구비될 수 있다.Further, since the vertical connecting member 221 is provided at the center of the magnetic levitation cassette 220, the selected permanent magnet 72 is provided at one side of the vertical connecting member 221. The guide electromagnet 71 can be provided at one side of the branch point DP so as to correspond to the selected permanent magnet 72. [

도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이고, 도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 9 및 도 10을 참조하면, 제3실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치(3)에서, 제1, 제2서브 레일(15, 16)은 메인 레일(14) 및 각각의 내측 레일에서 분리는 제1분리 레일(151)과 제2분리 레일(161)을 각각 포함한다.FIG. 9 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a sectional view cut along the line X-X of FIG. 9 and 10, in the magnetic levitation overhead hoist transfer device 3 according to the third embodiment, the first and second sub rails 15 and 16 are connected to the main rail 14 and the respective inner rails 14, The first separating rail 151 and the second separating rail 161 are separated from each other.

도 11은 도 10의 자기부상 카세트 상면을 도시한 평면도이다. 도 10 및 도 11을 참조하면, 자기부상 카세트(320)는 제1서브 레일(15) 또는 제2서브 레일(16)을 선택하는 선택부재를 포함한다. 선택부재는 자기부상 카세트(320)의 상면에 네 모퉁이에 구비되는 부상 전자석인 제11전자석(451)과 제12전자석(452) 및 제21전자석(461)과 제22전자석(462)을 포함한다.11 is a plan view showing the upper surface of the magnetic levitation cassette of Fig. 10 and 11, the magnetic levitation cassette 320 includes a selection member for selecting the first sub-rail 15 or the second sub-rail 16. The selection member includes a eleventh electromagnet 451, a twelfth electromagnet 452, a twenty-first electromagnet 461, and a twenty-second electromagnet 462, which are floating electromagnets provided at four corners on the upper surface of the magnetic levitation cassette 320 .

제21전자석(461)과 제22전자석(462)은 폭 방향(x축 방향)에서 제11전자석(451)과 제12전자석(452)의 내측에 각각 구비된다. 따라서 제11, 제12전자석(451, 452) 및 제21, 제22전자석(461, 462)은 x, y축 방향에서 자기부상 카세트(320)를 균형적이고 안정적으로 부상시키며, 안정적으로 제1, 제2서브 레일(15, 16)을 선택할 수 있다.The twenty-first electromagnet 461 and the twenty-second electromagnet 462 are provided on the inner sides of the eleventh electromagnet 451 and the twelfth electromagnet 452 in the width direction (x-axis direction), respectively. Accordingly, the eleventh and twelfth electromagnets 451 and 452 and the twenty-first and twenty-second electromagnets 461 and 462 float the magnetic levitation cassette 320 in a balanced and stable manner in the x and y axis directions, The second sub rails 15 and 16 can be selected.

도 12는 도 9의 ⅩⅡ-ⅩⅡ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 12를 참조하면, 제1, 제2분리 레일(151, 161)은 분기점(DP)의 전방에서 교차하는 교차점(CP)을 형성한다. 편의상, 제1, 제2분리 레일(151, 161)은 여기에 구비되는 제21, 제22부상 대향면(321, 322)으로 도시한다.12 is a cross-sectional view cut along the line XII-XII in Fig. Referring to FIG. 12, the first and second separation rails 151 and 161 form an intersection CP intersecting in front of the branch point DP. For convenience, the first and second separation rails 151 and 161 are shown as the 21st and 22nd rising surfaces 321 and 322, respectively.

이송 레일(310; 14, 15, 16)은 분기점(DP)에서, 제11전자석(451)과 제12전자석(452)에 대응하는 제11부상 대향면(311)과 제12부상 대향면(312), 및 제21전자석(461)과 제22전자석(462)에 대응하는 제21부상 대향면(321)과 제22부상 대향면(322)을 구비한다.The elevation of the elevation direction of the eleventh electromagnet 451 and eleventh elevation electromagnet 452 is the same as that of eleventh elevating electromagnet 452 And a twenty-first floating facing surface 321 and a twenty second floating facing surface 322 corresponding to the twenty-first electromagnet 461 and the twenty-second electromagnet 462, respectively.

다시 도 9를 참조하면, 메인 레일(14)에서 제11, 제12전자석(451, 452)이 온 되고, 제21, 제22전자석(461, 462)이 오프 되면, 제11, 제12전자석(451, 452)이 부상 대향면(30)에 작용하여 자기부상 카세트(320)가 부상된다.Referring again to FIG. 9, when the eleventh and twelfth electromagnets 451 and 452 are turned on and the twenty-first and twenty-second electromagnets 461 and 462 are turned off in the main rail 14, 451 and 452 act on the floating surface 30 to float the magnetic levitation cassette 320.

도 12를 참조하면, 분기점(DP)에서, 제11전자석(451)과 제21전자석(461)이 온 되고, 제21전자석(461)과 제12전자석(452)이 오프 되면, 제11부상 대향면(311)과 제22부상 대향면(322)에 의하여 제1서브 레일(15) 및 제1분리 레일(151)이 선택된다.12, when the eleventh electromagnet 451 and the twenty-first electromagnet 461 are turned on at the branch point DP and the twenty-first electromagnet 461 and the twelfth electromagnet 452 are turned off, The first sub rail 15 and the first separating rail 151 are selected by the surface 311 and the twenty second floating facing surface 322. [

도시하지 않았으나, 제11전자석(451)과 제21전자석(461)이 오프 되고, 제21전자석(461)과 제12전자석(452)이 온 되면, 제21부상 대향면(321)과 제12부상 대향면(312)에 의하여 제2서브 레일(16) 및 제2분리 레일(161)이 선택된다.Although the eleventh electromagnet 451 and the twenty-first electromagnet 461 are turned off and the twenty-first electromagnet 461 and the twelfth electromagnet 452 are turned on, the eleventh electromagnet 451 and the twelfth electromagnet 452 are turned on, The second sub-rail 16 and the second separating rail 161 are selected by the opposed surface 312. [

도 13은 도 9의 ⅩⅢ-ⅩⅢ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 13을 참조하면, 제1, 제2분리 레일(151, 161)은 교차점(CP)에서, 부상 대향면(323)을 평판으로 형성한다. 부상 대향면(323)은 제21부상 대향면(321)과 제22부상 대향면(322)에 이어지고, 교차점(CP)에서 평판으로 형성된다. 평판의 부상 대향면(323)은 이송 레일(310)의 폭 방향(x축 방향)에서 부상 전자석, 즉 제11, 제21전자석(451, 461) 및 제12, 제22전자석(452, 462)의 폭보다 더 넓게 형성된다.13 is a cross-sectional view cut along the line XIII-XIII in Fig. Referring to FIG. 13, the first and second separation rails 151 and 161 form a flat plate at the intersection point CP, and the floating opposite surface 323 is a flat plate. The floating opposing face 323 is connected to the twenty first floating opposing face 321 and the twenty second floating opposing face 322 and is formed as a flat plate at the intersection CP. The floating opposing face 323 of the flat plate is supported by the floating electromagnets 451 and 461 and the twelfth and twenty second electromagnets 452 and 462 in the width direction (x-axis direction) As shown in FIG.

따라서 교차점(CP)에서 제11, 제21전자석(451, 461)과 제12, 제22전자석(452, 462) 및 부상 대향면(323)의 상호 작용에 따라, 자기부상 카세트(320)가 폭 방향(x축 방향)으로 이송될 때, 부상 전자석, 즉 제11, 제21전자석(451, 461) 및 제12, 제22전자석(452, 462)이 부상 대향면(323)에 안정적으로 대향할 수 있다. 이때, 제11, 제2전자석(451, 452)는 제11, 제22부상 대향면(331, 342)에 안정적으로 대향할 수 있다. 즉 교차점(CP)에서, 자기부상 카세트(320)가 안정적으로 부상력을 유지하면서 제1, 제2서브 레일(15, 16)을 균형적이고 안정적으로 선택할 수 있게 된다.Therefore, according to the interaction of the eleventh and twenty-first electromagnets 451 and 461 with the twelfth and twenty-second electromagnets 452 and 462 and the floating opposing face 323 at the point of intersection CP, the magnetic levitation cassette 320 has a width That is, the eleventh and twenty-first electromagnets 451 and 461 and the twelfth and twenty-second electromagnets 452 and 462 are stably opposed to the floating opposing face 323 . At this time, the eleventh and the second electromagnets 451 and 452 can stably oppose the eleventh and twenty second rising surfaces 331 and 342. That is, at the intersection CP, the first and second sub rails 15 and 16 can be balancedly and stably selected while the magnetic levitation cassette 320 stably holds the levitation force.

도 14는 도 9의 ⅩⅣ-ⅩⅣ 선을 따라 잘라서 도시한 단면도이다. 도 14를 참조하면, 제1서브 레일(15)은 교차점(CP) 이후에서, 제11전자석(451)에 대응하는 제11부상 대향면(331), 및 제22, 제12전자석(462, 452)에 대응하는 제22, 제12부상 대향면(322, 332)을 구비한다. 이때, 제11전자석(451)과 제12전자석(452)이 온으로 작동되어 제1서브 레일(15)로의 분기가 완료된다.Fig. 14 is a cross-sectional view cut along the line XIV-XIV in Fig. 9; 14, the first sub-rail 15 includes an eleventh floating facing surface 331 corresponding to the eleventh electromagnet 451, and a twelfth and twelfth electromagnets 462 and 452 And the twenty-second and twelfth rising surfaces 322 and 332 corresponding to the twenty-second and twelfth rising surfaces. At this time, the eleventh electromagnet 451 and the twelfth electromagnet 452 are turned on and the branching to the first sub-rail 15 is completed.

도 15는 본 발명의 제4실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치의 평면도이다. 도 15를 참조하면, 제4실시예에 따른 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치(4)에서, 이송 레일(410)은 메인 레일(14)의 분기점(DP)에서 분기되는 제1, 제2, 제3서브 레일(11, 12, 13)을 포함한다.15 is a plan view of a magnetic levitation overhead hoist transfer device according to a fourth embodiment of the present invention. Referring to Figure 15, in the magnetic levitation overhead hoist transport device 4 according to the fourth embodiment, the transport rail 410 is divided into a first, a second, And three sub rails 11, 12, 13.

제1, 제2서브 레일(11, 12)은 분기점(DP)의 전방에서 각각의 내측 레일(111,121)로 교차 후 분리되는 공동 구간(CL)을 형성한다. 편의상, 공동 구간(CL)은 제1, 제2서브 레일(11, 12) 중 분기되는 내측에 위치하는 내측 레일(111, 121)에 구비되는 부상 대향면(30)이 교차되는 위치를 지칭한다. 도시하지 않았으나, 제1, 제2서브 레일은 분기점의 전방에서 도 1에 도시된 바와 같은 교차점(CP)을 형성할 수도 있다.The first and second sub rails 11 and 12 form a cavity section CL which is separated from the inner rail 111 and 121 in front of the branch point DP and then separated from each other. For convenience, the common section CL refers to a position where the floating opposing face 30 provided on the inner rails 111 and 121 located on the inner side of the first and second sub rails 11 and 12 intersects with each other . Although not shown, the first and second sub rails may form an intersection CP as shown in Fig. 1 at the front of the branch point.

제3서브 레일(13)은 공동 구간(CL)의 전방에서 폭 방향(x축 방향)의 일측(우측)으로 휘어진 후 반대 방향(좌측)으로 휘어져서 제1서브 레일(11)의 내측 레일(111)과 제1교차점(CP1)을 형성하고, 제2서브 레일(12)의 내측 레일(121)과 제2교차점(CP2)을 형성한다.The third sub rail 13 is bent to one side (right side) of the width direction (x axis direction) in front of the cavity section CL and then bent in the opposite direction (left side) 111 and the first intersection CP1 to form the second intersection CP2 with the inner rail 121 of the second sub-rail 12, respectively.

편의상, 제1교차점(CP1)은 제3서브 레일(13)의 좌측 레일(131)과 제1서브 레일(11)의 내측 레일(111)에 구비되는 부상 대향면(30)이 교차되는 위치를 지칭한다. 제2교차점(CP2)은 제3서브 레일(13)의 우측 레일(132)과 제2서브 레일(12)의 내측 레일(121)에 구비되는 부상 대향면(30)이 교차되는 위치를 지칭한다.The first intersection point CP1 is located at a position where the left rail 131 of the third sub rail 13 intersects the floating opposing face 30 provided on the inner rail 111 of the first sub rail 11 Quot; The second intersection point CP2 refers to a position where the right rail 132 of the third sub rail 13 intersects the floating opposing face 30 provided on the inner rail 121 of the second sub rail 12 .

제1, 제2교차점(CP1, CP2)은 자기부상 카세트(20)의 진행 방향(y축 방향)에서 설정된 이격 거리(L)를 유지한다. 이격 거리(L)는 자기부상 카세트(20)가 제1, 제2, 제3서브 레일(11, 12, 13)으로 분기될 때, 2개의 교차점이 동시에 형성되는 것을 제거한다. 따라서 자기부상 카세트(20)는 제1, 제2, 제3서브 레일(11, 12, 13)로 분기될 때에도, 안정적으로 자기부상 및 추진될 수 있다.The first and second intersections CP1 and CP2 maintain the separation distance L set in the traveling direction (y-axis direction) of the magnetic levitation cassette 20. The separation distance L eliminates the simultaneous formation of two intersection points when the magnetic levitation cassette 20 branches to the first, second and third sub rails 11, 12 and 13. Therefore, the magnetic levitation cassette 20 can be stably levitated and propelled even when branched to the first, second and third sub rails 11, 12 and 13.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. And it goes without saying that they belong to the scope of the present invention.

1, 2, 3, 4: 오버헤드 호이스트 이송 장치 10, 210, 310, 410: 이송 레일
11, 12, 13: 제1, 제22, 제3서브 레일 14: 메인 레일
15, 16: 제1, 제2서브 레일 20, 220, 320: 자기부상 카세트
22: 가이드 부재 23: 롤러
30, 31, 32, 35: 부상 대향면 40: 부상 전자석
41, 42: 제1, 제2전자석 50, 51, 52: 추진 전자석
60, 61, 62: 추진 영구자석 71: 안내 전자석
72: 선택 영구자석 73: 안내 갭 센서
111, 121: 내측 레일 151: 제1분리 레일
161: 제2분리 레일 211: 이동 통로
212: 개구 221: 수직 연결부재
222: 수평 연결부재 311: 제11부상 대향면
312: 제12 부상 대향면 321: 제21부상 대향면
322: 제22부상 대향면 323: 부상 대향면
331: 제11부상 대향면 332: 제12부상 대향면
341: 제21부상 대향면 342: 제22부상 대향면
451: 제11전자석 452: 제12전자석
461: 제21전자석 462: 제22전자석
CL: 공동 구간 CP: 교차점
CP1, CP2: 제1, 제2교차점 DP: 분기점
L: 이격 거리1, 2, 3, 4: overhead hoist transport device 10, 210, 310, 410:
11, 12, 13: first, 22nd, 3rd sub rails 14: main rail
15, 16: first and second sub rails 20, 220, 320: magnetic levitation cassette
22: guide member 23: roller
30, 31, 32, 35: floating opposite face 40: floating electromagnet
41, 42: first and second electromagnets 50, 51, 52: propulsion electromagnet
60, 61, 62: propelling permanent magnet 71: guidance electromagnet
72: selected permanent magnet 73: guide gap sensor
111, 121: inner rail 151: first separation rail
161: second separating rail 211:
212: opening 221: vertical connecting member
222: horizontal connecting member 311: eleventh floating facing surface
312: twelfth floating facing surface 321: twenty first floating facing surface
322: 22nd floating facing surface 323: floating facing surface
331: eleventh floating facing surface 332: twelfth floating facing surface
341: the twenty-first floating-facing surface 342: the twenty-second floating-facing surface
451: eleventh electromagnet 452: twelfth electromagnet
461: the 21st electromagnet 462: the 22nd electromagnet
CL: Joint section CP: Intersection
CP1, CP2: First and second intersection points DP:
L: separation distance

Claims (18)

천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일; 및
상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며,
상기 이송 레일은
메인 레일, 및
상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일
을 포함하고,
상기 자기부상 카세트는
상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재
를 포함하며,
상기 이송 레일은
상기 부상 대향면의 일측에 추진 전자석을 구비하고,
상기 자기부상 카세트는
상기 추진 전자석에 대응하는 추진 영구자석을 구비하는
자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.A conveyance rail installed on the ceiling and having a floating opposing face; And
And a magnetic levitation cassette having a levitation electromagnet facing the levitation facing surface and being magnetically levitated and propelled from the conveying rail,
The conveying rail
Main rail, and
A first sub-rail branched at a branch point from the main rail and a second sub-
/ RTI >
The magnetic levitation cassette
And a selection member for selecting the first sub-rail or the second sub-rail by providing a moving force in the width direction of the conveying rail with respect to the conveying rail at the bifurcation point or the floating-
/ RTI >
The conveying rail
A propelling electromagnet provided on one side of the floating surface,
The magnetic levitation cassette
And a propelling permanent magnet corresponding to said propelling electromagnet
Magnetic levitation overhead hoist transfer device. 제1항에 있어서,
상기 이송 레일은
상기 분기점에 대응하여 상기 메인 레일의 폭 방향 중앙에 구비되는 안내 전자석을 포함하고,
상기 선택부재는
상기 안내 전자석에 대응하도록 상부에 구비되어 상기 안내 전자석의 작동에 따라 상기 이송 레일의 폭 방향으로 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 힘을 받는 선택 영구자석으로 형성되는
자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.The method according to claim 1,
The conveying rail
And a guide electromagnet provided at the center of the main rail in the width direction corresponding to the branch point,
The selection member
And a permanent magnet disposed on the upper portion corresponding to the electromagnet and receiving a force to select the first sub-rail or the second sub-rail in the width direction of the conveying rail in accordance with the operation of the electromagnet
Magnetic levitation overhead hoist transfer device. 삭제delete 제2항에 있어서,
상기 부상 전자석은
상기 자기부상 카세트의 상면 네 모퉁이에 구비되는 제1전자석과 제2전자석을 포함하고,
상기 선택 영구자석은
상기 상면의 상기 폭 방향 중앙에서 상기 자기부상 카세트의 진행 방향의 양단에 구비되는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.3. The method of claim 2,
The floating electromagnet
And a first electromagnet and a second electromagnet provided at four corners of an upper surface of the magnetic levitation cassette,
The selected permanent magnet
Wherein the magnetic levitation cassette is provided at both ends in the traveling direction of the magnetic levitation cassette at the widthwise center of the upper surface. 제4항에 있어서,
상기 제1서브 레일과 상기 제2서브 레일은
상기 분기점의 전방에서 각각의 내측 레일로 서로 교차하는 교차점을 형성하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.5. The method of claim 4,
The first sub-rail and the second sub-
And forms crossing points that intersect each other with respective inner rails at the front of the branch point. 제5항에 있어서,
상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은
상기 분기점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고,
상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성되는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.6. The method of claim 5,
The first sub-rail and the second sub-
At the bifurcation point, the flotation-facing surface is formed into a flat plate,
And is formed to be wider than the width of the floating electromagnet in the width direction of the conveying rail. 제5항에 있어서,
상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은
상기 분기점과 상기 교차점 사이에서, 상기 제1전자석과 상기 제2전자석에 대응하는 제11부상 대향면과 제12부상 대향면, 및
상기 제11부상 대향면과 상기 제12부상 대향면의 각 측방에 구비되어, 상기 제1전자석 및 상기 제2전자석에 대응하는 제21부상 대향면과 제22부상 대향면을 포함하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.6. The method of claim 5,
The first sub-rail and the second sub-
An eleventh floating facing surface and a twelfth floating facing surface corresponding to the first electromagnet and the second electromagnet,
And a magnetically floating overhead surface provided on each of said eleventh floating facing surface and said twelfth floating facing surface and including a twenty-first floating facing surface and a twenty second floating facing surface corresponding to said first electromagnet and said second electromagnet, Hoist transport device. 천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일; 및
상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며,
상기 이송 레일은
메인 레일, 및
상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일
을 포함하고,
상기 자기부상 카세트는
상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재
를 포함하며,
상기 이송 레일은
상기 분기점에 대응하여 상기 메인 레일의 폭 방향 중앙에 구비되는 안내 전자석을 포함하고,
상기 선택부재는
상기 안내 전자석에 대응하도록 상부에 구비되어 상기 안내 전자석의 작동에 따라 상기 이송 레일의 폭 방향으로 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 힘을 받는 선택 영구자석으로 형성되며,
상기 부상 전자석은
상기 자기부상 카세트의 상면 네 모퉁이에 구비되는 제1전자석과 제2전자석을 포함하고,
상기 선택 영구자석은
상기 상면의 상기 폭 방향 중앙에서 상기 자기부상 카세트의 진행 방향의 양단에 구비되며,
상기 제1서브 레일과 상기 제2서브 레일은
상기 분기점의 전방에서 각각의 내측 레일로 서로 교차하는 교차점을 형성하고,
상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은
상기 교차점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고,
상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성되는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.A conveyance rail installed on the ceiling and having a floating opposing face; And
And a magnetic levitation cassette having a levitation electromagnet facing the levitation facing surface and being magnetically levitated and propelled from the conveying rail,
The conveying rail
Main rail, and
A first sub-rail branched at a branch point from the main rail and a second sub-
/ RTI >
The magnetic levitation cassette
And a selection member for selecting the first sub-rail or the second sub-rail by providing a moving force in the width direction of the conveying rail with respect to the conveying rail at the bifurcation point or the floating-
/ RTI >
The conveying rail
And a guide electromagnet provided at the center of the main rail in the width direction corresponding to the branch point,
The selection member
And a permanent magnet disposed on the upper portion corresponding to the guide electromagnet and receiving a force to select the first sub-rail or the second sub-rail in the width direction of the conveying rail in accordance with the operation of the electromagnet,
The floating electromagnet
And a first electromagnet and a second electromagnet provided at four corners of an upper surface of the magnetic levitation cassette,
The selected permanent magnet
The magnetic levitation cassette is provided at both ends in the traveling direction of the magnetic levitation cassette at the widthwise center of the upper surface,
The first sub-rail and the second sub-
Forming an intersection intersecting each of the inner rails at the front of the branch point,
The first sub-rail and the second sub-
Wherein said floating-facing surface is formed as a flat plate at said intersection,
And is formed to be wider than the width of the floating electromagnet in the width direction of the conveying rail. 제2항에 있어서,
상기 이송 레일은
상기 부상 대향면의 상측에 이동 통로를 형성하고, 상기 이동 통로에 연결되는 개구를 형성하며,
상기 자기부상 카세트는
상기 개구에 설치되어 상하 방향으로 연결되는 수직 연결부재, 및
상기 수직 연결부재의 상단에서 상기 폭 방향으로 설치되어 상기 이동 통로에 지지되는 수평 연결부재
를 포함하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.3. The method of claim 2,
The conveying rail
Forming a moving passage above the floating surface, forming an opening connected to the moving passage,
The magnetic levitation cassette
A vertical connecting member installed in the opening and connected in the vertical direction,
A horizontal connection member installed in the width direction at an upper end of the vertical connection member and supported by the movement passage,
And a magnetic levitation overhead hoist transfer device. 천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일; 및
상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며,
상기 이송 레일은
메인 레일, 및
상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일
을 포함하고,
상기 자기부상 카세트는
상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재
를 포함하며,
상기 이송 레일은
상기 분기점에 대응하여 상기 메인 레일의 폭 방향 중앙에 구비되는 안내 전자석을 포함하고,
상기 선택부재는
상기 안내 전자석에 대응하도록 상부에 구비되어 상기 안내 전자석의 작동에 따라 상기 이송 레일의 폭 방향으로 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 힘을 받는 선택 영구자석으로 형성되며,
상기 이송 레일은
상기 부상 대향면의 상측에 이동 통로를 형성하고, 상기 이동 통로에 연결되는 개구를 형성하며,
상기 자기부상 카세트는
상기 개구에 설치되어 상하 방향으로 연결되는 수직 연결부재, 및
상기 수직 연결부재의 상단에서 상기 폭 방향으로 설치되어 상기 이동 통로에 지지되는 수평 연결부재
를 포함하고,
상기 이송 레일은
폭 방향 중앙에 형성되는 개구의 양측에 추진 전자석을 구비하고,
상기 수평 연결부재는
상기 추진 전자석에 대응하여 추진 영구자석을 구비하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.A conveyance rail installed on the ceiling and having a floating opposing face; And
And a magnetic levitation cassette having a levitation electromagnet facing the levitation facing surface and being magnetically levitated and propelled from the conveying rail,
The conveying rail
Main rail, and
A first sub-rail branched at a branch point from the main rail and a second sub-
/ RTI >
The magnetic levitation cassette
And a selection member for selecting the first sub-rail or the second sub-rail by providing a moving force in the width direction of the conveying rail with respect to the conveying rail at the bifurcation point or the floating-
/ RTI >
The conveying rail
And a guide electromagnet provided at the center of the main rail in the width direction corresponding to the branch point,
The selection member
And a permanent magnet disposed on the upper portion corresponding to the guide electromagnet and receiving a force to select the first sub-rail or the second sub-rail in the width direction of the conveying rail in accordance with the operation of the electromagnet,
The conveying rail
Forming a moving passage above the floating surface, forming an opening connected to the moving passage,
The magnetic levitation cassette
A vertical connecting member installed in the opening and connected in the vertical direction,
A horizontal connection member installed in the width direction at an upper end of the vertical connection member and supported by the movement passage,
Lt; / RTI >
The conveying rail
The propulsion electromagnets are provided on both sides of the opening formed at the center in the width direction,
The horizontal connecting member
And a propelling permanent magnet corresponding to said propelling electromagnet. 천정에 설치되고 부상 대향면을 구비하는 이송 레일; 및
상기 부상 대향면에 마주하는 부상 전자석을 구비하여 상기 이송 레일로부터 자기부상되고 추진되는 자기부상 카세트를 포함하며,
상기 이송 레일은
메인 레일, 및
상기 메인 레일로부터 분기점에서 분기되는 제1서브 레일과 제2서브 레일
을 포함하고,
상기 자기부상 카세트는
상기 분기점 또는 상기 부상 대향면에서 상기 이송 레일에 대하여 상기 이송 레일의 폭 방향으로 이동력을 제공하여, 상기 제1서브 레일 또는 상기 제2서브 레일을 선택하는 선택부재
를 포함하며,
상기 제1서브 레일과 상기 제2서브 레일은
상기 메인 레일 및 각각의 내측 레일에서 분리는 제1분리 레일과 제2분리 레일을 각각 포함하고,
상기 선택부재는
상기 자기부상 카세트의 상면에 네 모퉁이에 구비되는 제11전자석과 제12전자석 및
상기 제11전자석과 상기 제12전자석의 내측에 각각 구비되는 제21전자석과 제22전자석
을 포함하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.A conveyance rail installed on the ceiling and having a floating opposing face; And
And a magnetic levitation cassette having a levitation electromagnet facing the levitation facing surface and being magnetically levitated and propelled from the conveying rail,
The conveying rail
Main rail, and
A first sub-rail branched at a branch point from the main rail and a second sub-
/ RTI >
The magnetic levitation cassette
And a selection member for selecting the first sub-rail or the second sub-rail by providing a moving force in the width direction of the conveying rail with respect to the conveying rail at the bifurcation point or the floating-
/ RTI >
The first sub-rail and the second sub-
Wherein the separation at the main rail and each inner rail comprises a first separation rail and a second separation rail,
The selection member
An eleventh electromagnet and a twelfth electromagnet provided at four corners on the upper surface of the magnetic levitation cassette,
A twenty-first electromagnet and a twenty-second electromagnet provided respectively inside the eleventh electromagnet and the twelfth electromagnet,
And a magnetic levitation overhead hoist transfer device. 제11항에 있어서,
상기 제1분리 레일과 상기 제2분리 레일은
상기 분기점의 전방에서 교차하는 교차점을 형성하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.12. The method of claim 11,
The first separating rail and the second separating rail
And forms an intersection point crossing in front of the branch point. 제12항에 있어서,
상기 이송 레일은
상기 분기점에서, 상기 제11전자석과 상기 제12전자석에 대응하는 제11부상 대향면과 제12부상 대향면, 및
상기 제21전자석과 상기 제22전자석에 대응하는 제21부상 대향면과 제22부상 대향면을 구비하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.13. The method of claim 12,
The conveying rail
An eleventh floating facing surface and a twelfth floating facing surface corresponding to the eleventh electromagnet and the twelfth electromagnet at the bifurcation point,
And a twenty-second floating facing surface corresponding to the twenty-first electromagnet and the twenty-second electromagnet, and a twenty-second floating facing surface. 제12항에 있어서,
상기 제1분리 레일 및 상기 제2분리 레일은
상기 교차점에서, 상기 부상 대향면을 평판으로 형성하고,
상기 이송 레일의 폭 방향에서 상기 부상 전자석의 폭보다 더 넓게 형성되는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.13. The method of claim 12,
The first separating rail and the second separating rail
Wherein said floating-facing surface is formed as a flat plate at said intersection,
And is formed to be wider than the width of the floating electromagnet in the width direction of the conveying rail. 제12항에 있어서,
상기 제1서브 레일은
상기 교차점 이후에서, 상기 제11전자석에 대응하는 제11부상 대향면, 및
상기 제22전자석과 상기 제12전자석에 대응하는 제22부상 대향면과 제12부상대향면을 구비하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.13. The method of claim 12,
The first sub-
The eleventh floating facing surface corresponding to the eleventh electromagnet after the intersection point, and
And a twenty-second floating facing surface corresponding to the twenty-second electromagnet and the twelfth electromagnet, and a twelfth floating facing surface. 제1항에 있어서,
상기 이송 레일은
상기 메인 레일의 상기 분기점에서 더 분기되는 제3서브 레일을 포함하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.The method according to claim 1,
The conveying rail
And a third sub-rail further diverging at said branch point of said main rail. 제16항에 있어서,
상기 제1서브 레일 및 상기 제2서브 레일은
상기 분기점의 전방에서 각각의 내측 레일로 교차 후 분리되는 공동 구간을 형성하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.17. The method of claim 16,
The first sub-rail and the second sub-
And forms a cavity section that is separated after crossing with each inner rail at the front of the branch point. 제17항에 있어서,
상기 제3서브 레일은
상기 공동 구간의 전방에서 상기 폭 방향의 일측으로 휘어진 후 반대 방향으로 휘어져서 제1서브 레일의 내측 레일과 제1교차점을 형성하고,
상기 제2서브 레일의 내측 레일과 제2교차점을 형성하며,
상기 제1교차점과 상기 제2교차점은
상기 자기부상 카세트의 진행 방향에서 설정된 이격 거리를 유지하는 자기부상 오버헤드 호이스트 이송 장치.18. The method of claim 17,
The third sub-
A first intersection point is formed between the inner rail of the first sub-rail and the first sub-rail,
Forming a second intersection with the inner rail of the second sub-rail,
The first intersection point and the second intersection point
And maintains a set distance in the traveling direction of the magnetic levitation cassette.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP3109737B2 (en) * 1988-01-25 2000-11-20 株式会社東芝 Floating transfer device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08172706A (en) * 1994-12-20 1996-07-02 Hitachi Ltd Gas float conveyor
JPH1023612A (en) * 1996-07-02 1998-01-23 Toshiba Mechatronics Kk Magnetically levitating transporting equipment
TWI473194B (en) 2011-09-08 2015-02-11 Inotera Memories Inc Overhead hoist transmission system
KR101531656B1 (en) * 2013-10-16 2015-06-25 한국전기연구원 Magnetically levitated transportation apparatus
KR101652036B1 (en) * 2014-11-20 2016-08-29 한국기계연구원 Magnetic levitation system having hyblid plate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109737B2 (en) * 1988-01-25 2000-11-20 株式会社東芝 Floating transfer device

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