KR101883004B1 - Piezo vibration piece and piezo device using piezo vibration piece - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
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- H03H9/2478—Single-Ended Tuning Fork resonators
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Abstract
본 발명은 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부;를 포함하고, 상기 제1 및 제2 암부는 1회 이상 굴곡한 형상을 가지며, 상기 베이스부로부터 상기 제1 및 제2 암부로 연장되는 방향으로 소정의 길이만큼 상기 제1 및 제2 암부 사이의 거리가 멀어지는 압전 진동편을 제공한다. 본 발명에 따르면, 소형 크기의 압전 진동편을 제공함과 동시에 안정적인 주파수를 구현할 수 있다.The present invention relates to a semiconductor device, And first and second arm portions extending from the base portion, wherein the first and second arm portions have a shape bent at least once, and a direction extending from the base portion to the first and second arm portions And the distance between the first and second arm portions is increased by a predetermined length. According to the present invention, it is possible to provide a small-sized piezoelectric vibrating element and to realize a stable frequency.
Description
본 발명은 저항값을 낮춤으로써 안정적인 주파수를 구현할 수 있는 압전 진동편에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric vibrating element capable of realizing a stable frequency by lowering the resistance value.
일반적으로 압전소자는 외부에서 전압을 가하면, 압전현상에 의해 진동하고, 그 진동을 통해서 주파수를 발생시키는 장치이다. 압전 진동자는 안정된 주파수를 얻을 수 있어 일반적으로 주파수 발진기, 주파수 조정기, 주파수 변환기 등의 여러 용도로 사용되며, 특히 컴퓨터(하드, 디스크, 드라이브) 또는 IC카드 등의 소형 정보기기나 통신기기의 발진회로에서 사용되며, 신호의 기준이 되는 핵심부품으로서 사용되기도 한다. Generally, a piezoelectric element is a device that vibrates by a piezoelectric phenomenon when a voltage is applied from the outside, and generates a frequency through the vibration. Piezoelectric transducers are used for various purposes such as frequency oscillators, frequency adjusters, frequency converters, etc. Generally, small-sized information devices such as computers (hard disks, drives) or IC cards, It is also used as a key part of the signal.
이러한 압전 진동자는 압전소재로서 주로, 뛰어난 압전특성을 갖는 수정(crystal)을 사용하게 되는데, 이때 수정은 안정한 기계적 진동 발생기의 역할을 하게 된다.Such piezoelectric vibrators mainly use piezoelectric crystals having excellent piezoelectric characteristics as piezoelectric materials, and the crystal serves as a stable mechanical vibration generator.
이때 수정은 낮은 위상 노이즈(phase noise)와 높은 Q값(Quality value), 그리고 시간과 환경변화에 대한 낮은 주파수 변화율을 갖도록 형성되어야 한다. 여기서, 상기 Q값은 공진기, 여파기, 발진기 등에서의 밴드 선택 특성을 나타내는 값이며, 품질계수라고도 한다. 그리고, 상기 Q값은 3데이벨(dB) 대역폭에 대한 중심주파수의 비로 계산되며, 상기 Q값이 클수록 주파수 선택 특성이 좋은 발진기가 된다.At this time, the correction should be formed to have a low phase noise, a high Q value, and a low frequency change rate with respect to time and environment changes. Here, the Q value is a value indicating a band selection characteristic in a resonator, a filter, an oscillator, etc., and is also referred to as a quality factor. The Q value is calculated as a ratio of the center frequency to the 3-dB (dB) bandwidth, and the larger the Q value becomes, the better the frequency selection characteristic becomes.
다양한 종류의 압전 진동자 중 소리 굽쇠(tuning fork)형의 압전 진동편은, 평행하게 배치되는 한 쌍의 진동 완부와, 한 쌍의 진동 완부를 고정하는 기부로 형성되며, 진동 완부와 기부의 외주면에 전극이 형성된다. 압전 진동편에 소정의 전압이 인가되면, 한 쌍의 진동 완부에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 공진 주파수가 발생한다.
Among various types of piezoelectric vibrators, a tuning fork type piezoelectric vibrating element is composed of a pair of vibration wave parts arranged in parallel to each other and a base part fixing the pair of vibration wave parts, and the vibration wave part is formed on the outer peripheral surface of the base part An electrode is formed. When a predetermined voltage is applied to the piezoelectric vibrating reed, a resonance frequency is generated in a direction approaching or separating from the pair of vibrating reed.
최근 휴대폰과 같은 이동통신 단말기의 기능이 다양화되고, 복합화됨에 따라 이에 구비되는 부품도 소형화, 박형화를 요구하고 있다. 따라서, 압전 진동자를 구성하는 압전 진동편에 대해서도 소형화가 요구된다. 2. Description of the Related Art Recently, as the functions of mobile communication terminals such as mobile phones have diversified and become complex, the parts provided therefor are also required to be downsized and thinned. Therefore, miniaturization of the piezoelectric vibrating element constituting the piezoelectric vibrator is also required.
다만, 소형화를 구현하기 위하여 압전 진동편의 진동 완부의 길이가 짧아지고, 압전 진동편 상에 형성되는 전극면적 또한 줄어들게 되어 저항값이 상승하고, 저항값이 상승하면 저전력으로 압전 진동자를 작동하는 것이 어렵게 되는 문제가 발생하여, 이를 해결하기 위해 선행기술문헌1은 높은 주파수 안정성을 가지고 등가 직렬 저항 값이 작은 초소형 수정진동자를 제공한다.However, in order to realize miniaturization, the length of the vibration waveguide of the piezoelectric vibrating element is shortened, the electrode area formed on the piezoelectric vibrating element is also reduced, and the resistance value is increased. When the resistance value is increased, it is difficult to operate the piezoelectric vibrator with low power In order to solve this problem, the prior art reference 1 provides an ultra miniature quartz oscillator having a high frequency stability and a small equivalent series resistance value.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 소형화를 구현하면서 저항값을 낮춰 안정적인 주파수를 발생시키는 압전 진동편을 제공할 수 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a piezoelectric resonator having a reduced resistance while generating a stable frequency.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 베이스부; 및 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부;를 포함하고, 상기 제1 및 제2 암부는 각각 굴곡부와 평행부로 나뉘며, 상기 굴곡부는 상기 베이스부에 연결되고, 상기 베이스부에서 평행부 방향으로 갈수록 상기 굴곡부 사이의 간격이 점진적으로 멀어지는 압전 진동편을 제공한다.According to an embodiment of the present invention, And first and second arm portions extending from the base portion, wherein the first and second arm portions are respectively divided into a bent portion and a parallel portion, the bent portion is connected to the base portion, and the parallel portion direction The distance between the bent portions gradually increases toward the center of the piezoelectric vibrating piece.
상기 베이스부는 노치부를 포함하고, 상기 노치부는 상기 베이스부와 상기 제1 및 제2 암부 사이에 형성될 수 있다.The base portion may include a notch portion, and the notch portion may be formed between the base portion and the first and second arm portions.
상기 제1 및 제2 암부에 헤드부가 각각 형성되고, 상기 헤드부는 상기 평행부의 끝단에 배치되며, 상기 헤드부의 너비는 상기 평행부의 너비보다 넓을 수 있다.The head portion may be disposed at an end of the parallel portion, and the width of the head portion may be wider than the width of the parallel portion.
상기 베이스부 및 상기 제1 및 제2 암부의 외주부에 전극이 형성될 수 있다.
Electrodes may be formed on the outer circumferential portion of the base portion and the first and second arm portions.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 세라믹 패키지; 상기 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 베이스부와 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부를 포함하는 압전 진동편; 및 상기 세라믹 패키지 밑면의 양단에 형성되며, 상기 압전 진동편과 전기적으로 연결되는 단자;를 포함하며, 상기 제1 및 제2 암부는 각각 굴곡부와 평행부로 나뉘며, 상기 굴곡부는 상기 베이스부에 연결되고, 상기 베이스부에서 평행부 방향으로 갈수록 상기 굴곡부 사이의 간격이 점진적으로 멀어지는 압전 디바이스를 제공한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a ceramic package comprising: a ceramic package; A piezoelectric vibrating element formed inside the ceramic package and including a base portion and first and second arm portions extending from the base portion; And a terminal formed at both ends of the bottom surface of the ceramic package and electrically connected to the piezoelectric vibrating piece, wherein the first and second arm portions are divided into a bent portion and a parallel portion, respectively, and the bent portion is connected to the base portion And a distance between the bent portions gradually increases toward the parallel portion in the base portion.
상기 베이스부는 노치부를 포함하고, 상기 노치부는 상기 베이스부와 상기 제1 및 제2 암부 사이에 형성될 수 있다.The base portion may include a notch portion, and the notch portion may be formed between the base portion and the first and second arm portions.
상기 제1 및 제2 암부에 헤드부가 각각 형성되고, 상기 헤드부는 상기 평행부의 끝단에 배치되며, 상기 헤드부의 너비는 상기 평행부의 너비보다 넓을 수 있다.The head portion may be disposed at an end of the parallel portion, and the width of the head portion may be wider than the width of the parallel portion.
상기 베이스부 및 상기 제1 및 제2 암부의 외주부에 전극이 형성될 수 있다.Electrodes may be formed on the outer circumferential portion of the base portion and the first and second arm portions.
본 발명에 따르면, 압전 진동편의 암부 구조 설계를 통해 소형 크기를 유지하면서 안정적인 주파수 값을 구현할 수 있다. 이에 따라, 신뢰성이 우수한 압전 진동편을 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to realize a stable frequency value while maintaining a small size by designing the arm portion structure of the piezoelectric vibrating piece. Thus, it is possible to provide a piezoelectric resonator element having excellent reliability.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시형태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4은 본 발명의 다른 실시형태를 설명하기 위한 평면도이다.1 and 2 are plan views for explaining an embodiment of the present invention.
3 is a plan view for explaining another embodiment of the present invention.
4 is a plan view for explaining another embodiment of the present invention.
본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시 형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상 동일한 도면 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
The embodiments of the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Furthermore, embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shapes and sizes of the elements in the drawings and the like can be exaggerated for clarity of description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 실시 형태의 압전 진동편에 있어서, '길이방향'은 베이스부에서 암부로 연장되는 방향으로 정의한다.
In the piezoelectric resonator element of this embodiment, the "longitudinal direction" is defined as a direction extending from the base portion to the arm portion.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 압전 진동편은 베이스부(10); 및 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부(20,25);를 포함하고, 상기 제1 및 제2 암부(20,25)는 굴곡부(A)와 평행부(B)로 나뉘며, 상기 굴곡부(A)는 상기 베이스부(10)에 연결되고, 상기 베이스부(10)에서 평행부(B) 방향으로 갈수록 상기 굴곡부(A) 사이의 간격이 점진적으로 멀어질 수 있다.1 and 2, a piezoelectric resonator element according to an embodiment of the present invention includes a
상기 베이스부(10) 및 상기 제1 및 제2 암부(20,25)의 상하 표면에 서로 대향하여 제1 및 제2 전극을 구비할 수 있다. 전극이 형성된 압전 진동편에 전압을 가하면 제1 및 제2 암부 사이에 진동이 발생하는 압전 효과에 의해 전극에 일정한 주파수를 갖는 교류 전압이 발생할 수 있다.First and second electrodes may be provided on upper and lower surfaces of the
상기 전극을 이루는 물질은 Ag, Au, Ni 또는 Cu 등으로 이루어 질 수 있으며 이에 제한되는 것은 아니다.
The material forming the electrode may be Ag, Au, Ni, Cu, or the like, but is not limited thereto.
일반적으로 소리 굽쇠형 압전 진동편의 주파수 값은 길이가 짧아질수록 커지게 된다.Generally, the frequency value of a bending type piezoelectric vibrating piece becomes larger as the length becomes shorter.
상기 식으로부터 압전 진동편의 주파수 값은 압전 진동편의 암부의 세로길이의 제곱에 반비례함을 알 수 있다.
It can be seen from the above equation that the frequency value of the piezoelectric vibrating piece is inversely proportional to the square of the vertical length of the dark portion of the piezoelectric vibrating piece.
본 발명은 베이스부에 연결된 제1 및 제2 암부가 굴곡부(A)를 가지며, 길이방향으로 소정의 길이만큼 상기 제1 및 제2 암부 사이의 거리가 멀어지는 형상을 갖음으로써 암부의 길이를 길게 할 수 있다.The present invention is characterized in that the first and second arm portions connected to the base portion have a bent portion A and the distance between the first and second arm portions is increased by a predetermined length in the longitudinal direction, .
즉, 제1 및 제2 암부(20,25)가 서로 평행한 것에 비해, L1과 L2의 차이만큼 제1 및 제2 암부의 길이가 길어지게 되므로 주파수 값을 낮출 수 있다. In other words, since the first and
도 1의 L2은 제1 및 제2 암부가 굴곡한 형상 없이 서로 평행할 것을 가정한 경우의 길이이며, L1는 제1 및 제2 암부가 길이방향으로 서로 점점 멀어지는 소정의 길이를 나타내는 것이다.
In FIG. 1, L2 is a length in the case where the first and second arm portions are assumed to be parallel to each other without a curved shape, and L1 denotes a predetermined length in which the first and second arm portions are gradually moved away from each other in the longitudinal direction.
또한, 본 발명에 따르면 주파수 값을 낮추지 않더라도 길어진 암부의 세로길이만큼 암부의 가로 길이를 길게 하여 전극 형성 면적을 넓힐 수 있다. 전극 형성 면적이 넓어지면 저항값이 낮아져 저 전력으로 압전 진동편을 동작시킬 수 있다.
Further, according to the present invention, even if the frequency value is not lowered, the length of the arm portion is increased by the length of the longer arm portion, and the electrode formation area can be widened. When the electrode formation area is widened, the resistance value is lowered, and the piezoelectric vibrating element can be operated with low power.
따라서, 제1 및 제2 암부(20,25)가 1회 이상 굴곡한 형상을 갖고, 길이방향으로 소정의 길이만큼 상기 제1 및 제2 암부 사이의 거리가 점점 멀어지는 굴곡부(A)를 형성함으로써 길어진 암부의 길이만큼 주파수 값을 낮출 수 있고, 주파수 값을 낮추지 않더라도 종래의 주파수 값을 유지하면서 길어진 암부의 길이만큼 암부의 가로길이를 길게 하여 전극형성 면적을 넓힘으로써, 안정적인 주파수 값을 구현할 수 있고 전극 물질 형성 공정을 용이하게 할 수 있다.
Therefore, the first and
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동편은 베이스부에 노치부가 형성될 수 있다. 상기 노치부는 상기 제1 및 제2 암부의 바깥쪽에 형성될 수 있다.
Referring to FIG. 3, the piezoelectric resonator element according to an embodiment of the present invention may have a notch portion formed in a base portion thereof. The notch portion may be formed outside the first and second arm portions.
본 발명에 따르면 상기 노치부의 길이(L3)만큼 압전 진동편의 암부의 길이가 길어지게 되므로 주파수 값을 낮출 수 있다. According to the present invention, since the length of the arm portion of the piezoelectric vibrating piece is made longer by the length L3 of the notch portion, the frequency value can be lowered.
즉, 베이스부(10)에 연결된 제1 및 제2 암부(20,25)가 1회 이상 굴곡한 형상을 가지며, 길이방향으로 소정의 길이만큼 상기 제1 및 제2 암부 사이의 거리가 멀어지는 굴곡부로 인해 L1와 L2의 차이만큼 암부의 길이가 길어지고, 노치부의 길이 만큼 암부의 길이가 더 길어지므로 압전 진동편을 소형 크기로 유지하면서 주파수 조정에 유리한 압전 진동편을 제공할 수 있다.
That is, the first and
본 발명은 압전 진동편을 소형 크기로 유지하면서 제1 및 제2 암부의 실질적인 길이를 길게 할 수 있으므로, 길어진 길이만큼 제1 및 제2 암부의 가로길이를 길게하여 전극 형성 면적을 넓게 할 수 있다. The present invention can extend the substantial length of the first and second arm portions while maintaining the size of the piezoelectric resonator element at a small size so that the transverse lengths of the first and second arm portions can be lengthened by a long length to widen the electrode formation area .
따라서 전극 물질 형성 공정을 용이하게 할 수 있으며 저항값을 낮춰 저 전력으로 압전 진동편을 구현할 수 있다.
Therefore, the electrode material forming process can be facilitated and the resistance value can be lowered to realize the piezoelectric vibrating piece with low power.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동편은 상기 제1 및 제2 암부(20,25)에 각각 형성된 헤드부를 더 포함하고, 상기 헤드부는 상기 평행부보다 너비(W1, W2)가 더 넓을 수 있다. 4, the piezoelectric vibrating element according to an embodiment of the present invention further includes a head portion formed on each of the first and
베이스부와 한 쌍의 암부를 포함하는 소리굽쇠형 진동편에 있어서, 전극 형성 면적이 좁으면 진동편의 저항값이 커지고, 전극 형성 면적을 늘이기 위해 암부의 세로 또는 가로 길이를 길게 하면 소형 크기를 구현할 수 없고, 특히 암부의 가로 길이를 길게 하면 주파수 값이 커져 진동편의 특성이 불안정해 질 수 있다.
In a tuning fork-type vibrating element including a base portion and a pair of arm portions, if the electrode forming area is narrow, the resistance value of the vibrating element becomes large, and if the longitudinal or transverse length of the arm portion is increased to increase the electrode forming area, In particular, when the transverse length of the arm portion is elongated, the frequency value becomes large, and the characteristics of the vibration member may become unstable.
본 발명에 따르면 제1 및 제2 암부가 1회 이상 굴곡한 형상을 가지고, 길이방향으로 소정의 길이만큼 제1 및 제2 암부의 거리가 멀어지게 하여 압전 진동편의 크기는 유지하되 실질적인 암부의 길이를 길게 할 수 있고, 제1 및 제2 암부의 끝에 상기 평행부보다 너비(W1, W2)가 더 넓은 헤드부를 형성함으로써 주파수 값은 높이지 않으면서 전극 물질 형성 면적을 넓힐 수 있다. According to the present invention, the first and second arm portions are bent at least once, and the distances between the first and second arm portions are increased by a predetermined length in the longitudinal direction to maintain the size of the piezoelectric resonator element, And the head portion having the wider widths W1 and W2 than the parallel portion is formed at the ends of the first and second arm portions, so that the electrode material forming area can be increased without increasing the frequency value.
즉, L1과 L2의 차이만큼 암부의 길이를 길게 하여 전극 형성 면적을 넓힐 수 있고, 여기에 헤드부로 인해 늘어난 전극 형성 면적이 추가되어 낮은 저항값과 안정적인 주파수 값을 갖는 압전 진동편을 구현할 수 있다. That is, the electrode forming area can be widened by increasing the length of the arm portion by the difference between L1 and L2, and the electrode forming area increased by the head portion is added thereto, thereby realizing a piezoelectric resonator having a low resistance value and a stable frequency value .
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 디바이스는 세라믹 패키지; 상기 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 베이스부와 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부를 포함하는 압전 진동편; 및 상기 세라믹 패키지 밑면의 양단에 형성되며, 상기 압전 진동편과 전기적으로 연결되는 단자;를 포함하며, 상기 제1 및 제2 암부는 1회 이상 굴곡한 형상을 가지며, 상기 베이스부로부터 상기 제1 및 제2 암부로 연장되는 길이방향으로 소정의 길이만큼 상기 제1 및 제2 암부 사이의 거리가 멀어질 수 있다.
5, a piezoelectric device according to another embodiment of the present invention includes a ceramic package; A piezoelectric vibrating element formed inside the ceramic package and including a base portion and first and second arm portions extending from the base portion; And a terminal formed at both ends of the bottom surface of the ceramic package and electrically connected to the piezoelectric vibrating piece, wherein the first and second arm portions are bent at least once, And the distance between the first and second arm portions may be increased by a predetermined length in the longitudinal direction extending to the second arm portion.
상기 압전 진동편은 외주부에 전극을 포함할 수 있으며, 도전성 접착 물질을 이용하여 상기 세라믹 패키지 밑면에 형성된 단자와 전기적으로 연결될 수 있다.
The piezoelectric resonator element may include an electrode at an outer peripheral portion thereof and may be electrically connected to a terminal formed on a bottom surface of the ceramic package using a conductive adhesive material.
본 발명의 실시예에 따른 압전 진동편은 베이스부에 노치부가 형성될 수 있다. The piezoelectric resonator element according to the embodiment of the present invention may have a notch portion formed in the base portion.
본 발명의 실시예에 따른 압전 진동편은 상기 제1 및 제2 암부에 각각 형성된 헤드부를 더 포함하고, 상기 헤드부는 상기 평행부보다 너비(W1, W2)가 더 넓을 수 있다.The piezoelectric vibrating element according to an embodiment of the present invention may further include a head portion formed on each of the first and second arm portions, and the head portion may have wider widths W1 and W2 than the parallel portion.
본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 디바이스에서, 상술한 본 발명의 일 실시예에 다른 압전 진동편의 특징과 동일한 내용을 생략하도록 한다.
In the piezoelectric device according to another embodiment of the present invention, the same contents as those of the piezoelectric vibrating piece according to the above-described embodiment of the present invention will be omitted.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, Those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the above-described embodiments, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, I will say.
10: 베이스부
20,25: 제1 및 제2 암부
A: 굴곡부
B: 평행부10: Base portion
20, 25: first and second arm portions
A: Bend
B: parallel portion
Claims (8)
상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부;를 포함하고,
상기 제1 및 제2 암부는 각각 굴곡부와 평행부로 나뉘며, 상기 굴곡부는 상기 베이스부에 연결되고, 상기 베이스부에서 평행부 방향으로 갈수록 상기 굴곡부 사이의 간격이 점진적으로 멀어지는 압전 진동편.A base portion; And
And first and second arm portions extending from the base portion,
Wherein the first and second arm portions are divided into a bend portion and a parallel portion, the bend portion is connected to the base portion, and the distance between the bend portions gradually increases toward the parallel portion from the base portion.
상기 베이스부는 노치부를 포함하고, 상기 노치부는 상기 베이스부와 상기 제1 및 제2 암부 사이에 형성된 압전 진동편.The method according to claim 1,
The base portion includes a notch portion, and the notch portion is formed between the base portion and the first and second arm portions.
상기 제1 및 제2 암부에 헤드부가 각각 형성되고, 상기 헤드부는 상기 평행부의 끝단에 배치되며, 상기 헤드부의 너비는 상기 평행부의 너비보다 넓은 압전 진동편.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein a head portion is formed on each of the first and second arm portions, the head portion is disposed at an end of the parallel portion, and the width of the head portion is larger than the width of the parallel portion.
상기 베이스부 및 상기 제1 및 제2 암부의 외주부에 전극이 형성된 압전 진동편.The method according to claim 1,
And an electrode is formed on the outer peripheral portion of the base portion and the first and second arm portions.
상기 세라믹 패키지 내부에 형성되며, 베이스부와 상기 베이스부로부터 연장되는 제1 및 제2 암부를 포함하는 압전 진동편; 및
상기 세라믹 패키지 밑면의 양단에 형성되며, 상기 압전 진동편과 전기적으로 연결되는 단자;를 포함하며,
상기 제1 및 제2 암부는 각각 굴곡부와 평행부로 나뉘며, 상기 굴곡부는 상기 베이스부에 연결되고, 상기 베이스부에서 평행부 방향으로 갈수록 상기 굴곡부 사이의 간격이 점진적으로 멀어지는 압전 디바이스.Ceramic package;
A piezoelectric vibrating element formed inside the ceramic package and including a base portion and first and second arm portions extending from the base portion; And
And a terminal formed at both ends of the bottom surface of the ceramic package and electrically connected to the piezoelectric vibrating piece,
Wherein the first and second arm portions are divided into a bend portion and a parallel portion, the bend portion is connected to the base portion, and the gap between the bend portions gradually increases toward the parallel portion from the base portion.
상기 베이스부는 노치부를 포함하고, 상기 노치부는 상기 베이스부와 상기 제1 및 제2 암부 사이에 형성된 압전 디바이스.6. The method of claim 5,
The base portion includes a notch portion, and the notch portion is formed between the base portion and the first and second arm portions.
상기 제1 및 제2 암부에 헤드부가 각각 형성되고, 상기 헤드부는 상기 평행부의 끝단에 배치되며, 상기 헤드부의 너비는 상기 평행부의 너비보다 넓은 압전 디바이스.6. The method of claim 5,
Wherein a head portion is formed on each of the first and second arm portions, the head portion is disposed at an end of the parallel portion, and the width of the head portion is larger than the width of the parallel portion.
상기 베이스부 및 상기 제1 및 제2 암부의 외주부에 전극이 형성된 압전 디바이스.6. The method of claim 5,
And electrodes are formed on the outer peripheral portion of the base portion and the first and second arm portions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020110139996A KR101883004B1 (en) | 2011-12-22 | 2011-12-22 | Piezo vibration piece and piezo device using piezo vibration piece |
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| Country | Link |
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2004200917A (en) | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibrating piece, piezoelectric device employing the same, cellular telephone device employing the piezoelectric device, and electronic equipment employing the piezoelectric device |
| JP2011160391A (en) | 2010-01-09 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration piece, method of manufacturing the same, piezoelectric vibrator and oscillator |
| JP2011239132A (en) | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Seiko Epson Corp | Vibration piece, vibrator and oscillator |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4411494B2 (en) | 2003-06-30 | 2010-02-10 | 有限会社ピエデック技術研究所 | Crystal oscillator |
-
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| JP2011160391A (en) | 2010-01-09 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration piece, method of manufacturing the same, piezoelectric vibrator and oscillator |
| JP2011239132A (en) | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Seiko Epson Corp | Vibration piece, vibrator and oscillator |
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| KR20130072530A (en) | 2013-07-02 |
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