KR101859467B1 - Spherical metal powder manufacturing apparatus and the manufacturing method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 회전하는 피용융체(금속체 ; 예 : Ti6AL4V)의 선단부에 용융에너지(예 : 플라즈마)를 형성시켜, 피용융체에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치로서, 특히, 상기 용융에너지 생성을 위한 구동신호를 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 제공하여 에너지 변위차(變位差)에 의해 입력구동신호 대비 높은 레벨의 용융 에너지를 얻어내거나, 피용융체의 용용된 부분에서 파동형태의 에너지가 작용하되 그 작용되는 포인트가 상이한 복수의 포인트에서 작용이 일어나도록 하여 각 작용 포인트에서 발생되는 파동들의 공진점 부분에서 에너지의 증대를 유도함으로써, 회전하는 피용융체에서 용융된 금속의 표면장력을 저하시킴으로써, 피용융체에서 원심력에 의해 떨어져 나가는 용융금속의 크기를 감소시켜, 미세한 크기의 구형 금속 분말을 생성시킬 수 있는 구형 금속 분말 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention is characterized in that melting energy (for example, plasma) is formed at the tip of a rotating body (metal body; for example, Ti6AL4V) to cause a molten portion of the body to be melted to free space by centrifugal force, (Spherical metal powder) is produced by cooling and solidifying the spherical metal powder in the form of a spherical metal powder. In particular, a driving signal for generating the melting energy is provided in a pulse form (AC pulse or DC pulse) Or a high level of melting energy with respect to the input drive signal is obtained by the change of the input drive signal, or the action of the wave form energy is applied to the melted portion of the molten material, By inducing an increase in energy at the resonance point portion of the waves generated at the point, the molten metal By lowering the surface tension, it is possible to reduce the size of molten metal falling off from the blood by centrifugal force the melt, to a spherical metal powder production apparatus and a production method that can produce a spherical metal powder of fine size.

Description

구형 금속 분말 제조장치 및 그 제조방법{Spherical metal powder manufacturing apparatus and the manufacturing method}Technical Field [0001] The present invention relates to a spherical metal powder manufacturing apparatus and a manufacturing method thereof,

본 발명은 구형 금속 분말 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회전하는 피용융체의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an apparatus for manufacturing a spherical metal powder and a method of manufacturing the spherical metal powder, and more particularly to a spherical metal powder production apparatus and a method of manufacturing the spherical metal powder, To form spherical metal powder, and to a method for producing the same.

3D프린터는 플레이트에 연속적으로 물질을 뿌리면서 적층을 하여 3차원 물체를 만들어내는 부가 제조기로서, 컴퓨터와 센서 등의 신호를 입체물로 제작하는 장치를 말하며, 다른 부가 제조 기술에 비해 사용하기 편리하고 확장성이 높아 제조업에서 의료기기업 분야까지 확장 가능하다. 이러한 3D프린터의 프린트 물질로는 구형 금속분말을 예로 들 수 있는데, 구형 금속 분말의 크기는 통상 50~100㎛이다.A 3D printer is an add-on manufacturing machine that produces a three-dimensional object by stacking materials while spraying the material on a plate continuously. It is a device that manufactures computer and sensor signals as a three-dimensional object. It is possible to expand from manufacturing to medical device companies. As a printing material for such a 3D printer, a spherical metal powder is exemplified, and the size of the spherical metal powder is usually 50 to 100 탆.

종래 구형 금속 분말의 제조장치는 회전하는 피용융체의 선단부에 용융에너지를 제공하여, 용융된 부분이 원심력에 의해 피용융체로부터 자유공간으로 벗어나면서 응고되는 과정에서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태가 되도록 하는 것을 예로 들 수 있다.Conventionally, the apparatus for producing spherical metal powder has a structure in which molten energy is supplied to the tip of a rotating molten metal so that the molten portion is formed into a fine bead shape by the surface tension in the process of solidifying while freeing from the molten material to free space by centrifugal force For example.

이러한 종래 구형 금속 분말 제조장치는 챔버 내에서 피용융체를 회전시키는 회전장치와 DC전압을 동작신호로 하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생장치로 이루어지는데, 이와 관련된 선행기술을 예로 들자면, 대한민국등록특허공보 제10-0335382호(명칭 : 회전 전극 플라즈마 장치 및 이를 이용한 탄소 나노체합성 방법 ; 출원일 : 2000.05.23.자)가 있다.The conventional apparatus for manufacturing spherical metal powder includes a rotating device for rotating a molten material in a chamber and a plasma generating device for generating plasma by using a DC voltage as an operation signal. For example, in the related art, 10-0335382 (titled "Rotary Electrode Plasma Apparatus and Method for Synthesizing Carbon Nanocyte Using the Same" filed on May 23, 2000).

상기 선행기술은 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 일측 내부에 설치된 음극; 상기 음극과 대향되어 상기 진공 챔버 내에 배치되고 회전할 수 있는 양극; 상기 진공 챔버 내의 양극 및 음극의 상하로 위치하는 기판 홀더; 상기 기판 홀더 상에 설치되고 상하 및 전후로 이동할 수 있는 기판; 상기 음극에 연결되어 상기 양극과 음극간의 거리를 조절하기 위한 위치 제어 장치; 상기 양극에 연결되어 상기 양극을 회전시킬 수 있는 양극 회전 장치; 및 상기 위치 제어 장치를 통하여 상기 음극에 음전압을 인가하고 상기 양극 회전 장치를 통하여 상기 양극에 양전압을 인가하여 음극과 양극 간에 아크 방전을 발생시켜 양극을 소모시킬 수 있고 음극과 양극 사이에 플라즈마를 발생시킬 수 있는 전원 장치를 포함하여 이루어진 것임을 해당 공보를 통해 알 수 있다.The prior art includes a vacuum chamber; A negative electrode disposed inside the vacuum chamber; A cathode disposed in the vacuum chamber and facing the cathode, the anode being rotatable; A substrate holder positioned above and below the anode and the cathode in the vacuum chamber; A substrate mounted on the substrate holder and movable up and down and back and forth; A position controller connected to the cathode to adjust a distance between the anode and the cathode; A positive electrode rotating device connected to the positive electrode to rotate the positive electrode; And a positive voltage is applied to the negative electrode through the position control device and positive voltage is applied to the positive electrode through the positive electrode rotating device to generate an arc discharge between the negative electrode and the positive electrode to consume the positive electrode, And a power supply device capable of generating the power supply voltage.

상기와 같은 종래 구형 금속 분말 제조장치와 관련된 선행기술은 양전압이 인가되는 양극을 양극 회전 장치를 통해 회전시키면서 음극에 음전압을 인가하여 플라즈마를 발생시킴으로써, 양극을 소모 즉, 양극을 용융시켜 회전에 따른 원심력에 의해 구형 금속 분말이 떨어져 나가도록 하는 것이다.In the prior art related to the above-described prior art metal powder manufacturing apparatus, a positive voltage is applied to a negative electrode while a positive voltage applied to the negative electrode is rotated through a positive electrode rotating device to generate a plasma, thereby consuming the positive electrode, So that the spherical metal powder is separated by the centrifugal force.

이때, 상기 양극 또는 음극에 가해지는 전압은 DC전압으로써, 항상 일정한 레벨을 가지며 공급됨으로 인해 에너지의 변위차가 발생하지 않아 높은 에너지를 얻지 못하는 것이다. 이와 같이 DC전압에 의해 발생된 아크방전 내지 플라즈마는 에너지 역시 일정하게 유지되므로, 구형 금속 분말의 입자를 더욱 미세하게 생성하는데 제약이 따르며, 이를 해결하기 위해서는 양극을 회전시키는 양극 회전 장치의 회전력을 증대시켜 원심력을 키울 수밖에 없다.At this time, the voltage applied to the anode or the cathode is a DC voltage, which is always supplied at a constant level, so that a difference in energy does not occur and high energy can not be obtained. Since the arc discharge generated by the DC voltage or the plasma maintains the energy constantly, there is a restriction to finely generate the particles of the spherical metal powder. To solve this problem, the rotating force of the anode rotating device for rotating the anode is increased I have to grow the centrifugal force.

그러나, 상기와 같이 양극 회전 장치의 회전력을 증대시킬 경우 그에 따른 전력 소모가 커 생산비용이 높아지고 장치의 안정성 확보를 장담할 수 없는 문제점이 있다. 또한, 양극 회전 장치의 회전력을 증대시키는 것에 한계가 있어 구형 금속 분말의 입자를 일정 크기 이하로 미세하게 제조하는데 제약이 따르는 문제점이 있다. 특히, 최근에는 프린트물의 품질을 고려하여 더 미세한 크기(예 : 20~30㎛ 또는 그 이하의 크기)의 구형 금속 분말이 요구되고 있어 상기한 문제점의 해결이 과제로 떠오르고 있다.However, when the rotational force of the anode rotating device is increased as described above, the power consumption is increased due to the increase of the rotational force, which increases the production cost and can not assure the stability of the device. In addition, there is a limitation in increasing the rotational force of the anode rotating device, and there is a problem in that it is difficult to finely manufacture particles of spherical metal powder to a predetermined size or less. Particularly, in recent years, a spherical metal powder having a finer size (for example, a size of 20 to 30 mu m or less) is required in view of the quality of the printed material, and the above-described problem has been solved.

상기와 같은 구형 금속 분말 제조장치의 선행되는 기술 문헌은 다음과 같다.The following technical literatures of the above-mentioned apparatus for manufacturing spherical metal powder are as follows.

문헌1 : 대한민국등록특허공보 제10-0335382호(명칭 : 회전 전극 플라즈마 장치, 및 이를 이용한 탄소 나노체합성 방법 ; 출원일 : 2000.05.23.자)Document 1: Korean Patent Publication No. 10-0335382 (entitled: Rotary Electrode Plasma Apparatus and Carbon Nanocyte Synthesis Method Using the Same) filed on May 23, 2000)

문헌2 : 대한민국등록특허공보 제10-0793162호(명칭 : 전자파 플라즈마 장치를 이용한 알루미늄 나노분말제조방법 ; 출원일 : 2006.06.30.자)
Document 2: Korean Registered Patent Application No. 10-0793162 (Title: Method of manufacturing aluminum nano powder using electromagnetic wave plasma apparatus; filing date: 2006.06.30)

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점 내지 개선점을 고려하여 창출된 것으로, 회전하는 피용융체(금속체 ; 예 : Ti6AL4V)의 선단부에 용융에너지(예 : 플라즈마)를 형성시켜, 피용융체에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치로서, 특히, 상기 용융에너지 생성을 위한 구동신호를 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 제공하여 에너지 변위차(變位差)에 의해 입력구동신호 대비 높은 레벨의 용융 에너지를 얻어내거나, 피용융체의 용용된 부분에서 파동형태의 에너지가 작용하되 그 작용되는 포인트가 상이한 복수의 포인트에서 작용이 일어나도록 하여 각 작용 포인트에서 발생되는 파동들의 공진점 부분에서 에너지의 증대를 유도함으로써, 회전하는 피용융체에서 용융된 금속의 표면장력을 저하시킴으로써, 피용융체에서 원심력에 의해 떨어져 나가는 용융금속의 크기를 감소시켜, 미세한 크기의 구형 금속 분말을 생성시킬 수 있는 구형 금속 분말 제조장치 및 그 제조방법을 제공하는데 목적을 두고 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems and improvements of the related art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a metal body (e.g., Ti6AL4V) Wherein the spherical metal powder is produced by cooling and solidifying the spherical metal powder with a fine bead shape due to surface tension while being separated from the free space by centrifugal force. It is possible to obtain a high level of melt energy in relation to the input drive signal by the energy displacement difference by providing it in the form of a pulse (alternating pulse or direct current pulse), or a wave form energy acts on the melted portion of the melt. So that the action occurs at a plurality of points at which the applied points are different from each other, so that the resonance point portion By reducing the surface tension of the molten metal in the rotating molten body by inducing the increase of energy in the molten metal, it is possible to reduce the size of the molten metal falling off by the centrifugal force in the molten material, An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a spherical metal powder and a manufacturing method thereof.

상기와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은 회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치(10)에 있어서, 챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)를 사전에 설정된 속도로 회전시키는 회전부(12); 용융에너지 발생을 위해 사전에 설정된 구동신호를 직류 또는 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 제공하는 구동부(13); 상기 구동부(13)의 구동신호에 따라 극성 교번 또는 레벨 변화하면서 상기 피용융체(11)와 작용하는 용융에너지와 용융된 금속 부분에서 파동 에너지가 일어나도록 하면서 상기 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융시키는 용융부(14); 를 포함하여서 됨을 특징으로 한다.
According to the present invention for achieving the above object, melting energy is formed at the tip end of a rotating molten object (11), and a molten part of the molten object (11) is deviated to a free space by a centrifugal force, (12) for rotating a molten metal (11) placed in a chamber (1) at a predetermined speed, the spherical metal powder producing apparatus (10) ; A driving unit 13 for supplying a driving signal set in advance for generating the melting energy in a DC or pulse form (AC pulses or DC pulses); The working tip of the molten metal 11 is melted and melted in the molten metal portion while the molten energy acting on the molten metal 11 and the wave energy are generated in the molten metal portion while changing the polarity alternation or level according to the driving signal of the driving portion 13. [ A fused portion 14; And < / RTI >

상기와 같은 과제해결수단에 의한 본 발명은 상기 용융부(14)의 작용을 활성화시키는 구동부(13)의 구동신호를 펄스형태로 제공함으로써, 에너지 변위차(變位差)에 의해 입력구동신호 대비 높은 레벨의 용융 에너지를 얻어낼 수 있으며, 용융된 부분에서 파동 에너지가 발생되도록 하는 효과를 얻는다. According to the present invention, the driving signal of the driving unit (13) for activating the action of the fused portion (14) is provided in the form of a pulse so that the input driving signal contrast A high level of melt energy can be obtained, and an effect of causing wave energy to be generated in the melted portion is obtained.

상기와 같이 얻어낸 높은 레벨의 용융 에너지 및 2차적으로 용융된 부분에서 발생되는 파동 에너지가 상기 회전부(12)에 의해 회전하는 피용융체(11) 및 피용융체(11)의 용융되는 부분에 작용하여 용융된 부분의 표면장력을 저하 내지 붕괴시킴으로써, 상기 피용융체(11)로부터 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나는 금속 분말의 입자들이 동일한 입력구동신호와 회전력이 제공되는 조건에서 30% 작은 크기로 제조될 수 있도록 하는 효과를 얻는다.
The high level of melting energy obtained as described above and the wave energy generated in the secondary molten portion act on the melted portion of the molten material 11 and the molten material 11 which are rotated by the rotating portion 12, So that the particles of the metal powder deviating from the molten body 11 to the free space by the centrifugal force can be manufactured in a size 30% smaller under the condition that the same input driving signal and rotational force are provided. .

도 1은 종래 구형 금속 분말을 제조하는 장치의 구성 내지 구조를 도시한 블록구성도.
도 2는 본 발명의 구성을 간략히 도시한 블록구성도.
도 3은 본 발명의 교류 구동신호와 종래 직류 구동신호의 예를 비교 도시한 파형도.
도 4는 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 도시한 블록구성작용도.
도 5는 본 발명의 작용을 도시한 작용상태도.
도 6은 본 발명 중 단일의 용융에너지 작용 포인트와 복수의 용융에너지 작용 포인트에서 공진이 발생되는 상태를 비교 도시한 파장예시도.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing the structure and structure of a conventional apparatus for producing spherical metal powder; FIG.
2 is a block diagram schematically showing a configuration of the present invention;
3 is a waveform diagram showing a comparison between an AC drive signal of the present invention and a conventional DC drive signal.
FIG. 4 is a block diagram illustrating the configuration and operation of the present invention. FIG.
5 is an operational state diagram showing the operation of the present invention.
Fig. 6 is a wavelength diagram showing a comparison between a single melting energy action point and a state where resonance occurs at a plurality of melting energy action points in the present invention. Fig.

이와 같이 제시한 첨부 도면을 참고로 하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다. The present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명인 구형 금속 분말 제조장치(10)는 첨부 도면 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치(10)에 있어서, 챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)를 사전에 설정된 속도로 회전시키는 회전부(12); 용융에너지 발생을 위해 사전에 설정된 구동신호를 직류 또는 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 제공하는 구동부(13); 상기 구동부(13)의 구동신호에 따라 극성 교번 또는 레벨 변화하면서 상기 피용융체(11)와 작용하는 용융에너지와 용융된 금속 부분에서 파동 에너지가 일어나도록 하면서 상기 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융시키는 용융부(14); 를 포함하여서 될 수 있다.First, as shown in FIGS. 2 to 5, the apparatus 10 for producing a rectangular metal powder of the present invention forms melting energy at the tip of a rotating molten metal 11, (10) for producing a spherical metal powder, wherein the spherical metal powder is cooled and solidified in a fine bead-like state by surface tension while being separated from the free space by centrifugal force. A rotation unit 12 for rotating the molten metal 11 at a predetermined speed; A driving unit 13 for supplying a driving signal set in advance for generating the melting energy in a DC or pulse form (AC pulses or DC pulses); The working tip of the molten metal 11 is melted and melted in the molten metal portion while the molten energy acting on the molten metal 11 and the wave energy are generated in the molten metal portion while changing the polarity alternation or level according to the driving signal of the driving portion 13. [ A fused portion 14; . ≪ / RTI >

여기서, 본 발명 중 상기 챔버(1)는 진공 환경으로 이루어질 수 있고, 내부 작업 분위기를 조성하는 불활성가스(예 : 헬륨가스 또는 아르곤가스)가 충진될 수도 있으며, 하방에는 제조된 구형 금속 분말이 낙하하여 회수되는 배출구가 마련될 수 있다.Herein, the chamber 1 may be a vacuum environment, and may be filled with an inert gas (for example, helium gas or argon gas) for forming an internal working atmosphere. In the lower part, And a discharge port to be recovered may be provided.

한편, 본 발명 중 상기 피용융체(11)는 금속봉(선재, 블록 포함)으로써, 반응성향이 강한 금속 및 텅스텐, 몰리브덴과 같은 고융점 금속 또는 이들 각각의 합금일 수 있으며, 예시적으로 Ti6AL4V(티타늄 합금)를 들 수 있다.The molten metal (11) in the present invention is a metal rod (including wire and block), and may be a highly reactive metal and a refractory metal such as tungsten or molybdenum, or an alloy thereof. Illustratively, Ti6AL4V Alloy).

또 한편, 본 발명 중 상기 회전부(12)는 사전 설정값에 따라 속도 제어되는 모터 및 상기 모터의 회전축에 마련되어 챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)의 일측 단을 고정시키는 클램프 및 회전축과 챔버의 연결부분을 포함하여서 된 것일 수 있다.The rotation unit 12 of the present invention includes a motor speed-controlled according to a preset value and a clamp and rotation shaft provided on the rotation axis of the motor for fixing one end of the molten body 11 located in the chamber 1, And a connection part of the connecting part.

이때, 상기 회전부(12)의 회전 속도는 예시적으로 5,000 ~ 50,000rpm일 수 있다.At this time, the rotation speed of the rotation unit 12 may be, for example, 5,000 to 50,000 rpm.

또 한편, 본 발명 중 상기 구동부(13)는 용융부(14)의 작용을 활성화시키는 구동신호를 제공하는 기기 내지 회로로서, 직류 또는 펄스형태 즉, 교류펄스 또는 직류펄스를 제공하는 것일 수 있다.In the present invention, the driving unit 13 may be a device or a circuit for providing a driving signal for activating the action of the fused portion 14, and may be a DC or pulse type, that is, an AC pulse or a DC pulse.

이때, 상기 직류는 일정 레벨을 유지하는 것이고, 교류펄스는 극성이 바뀌는 교류의 파형이 부드럽게 변화하는 정현파 또는 급하게 갑자기 바뀌는 펄스파일 수 있으며, 상기 직류펄스는 직류 레벨이 순간적으로 높아졌다 낮아지는 극성 전환없거나 있는 펄스파일 수 있다.In this case, the direct current maintains a constant level, and the alternating current pulse may be a sinusoidal wave or a suddenly suddenly changing pulse file in which the waveform of the alternating current whose polarity is changed smoothly changes, and the direct current pulse is a polarity reversal in which the direct current level is instantaneously increased or decreased You can have a pulse file.

또 한편, 본 발명 중 상기 용융부(14)는 아크발생기일 수 있으며, 그 예로 플라즈마발생기일 수 있다.In the meantime, the fused portion 14 of the present invention may be an arc generator, for example, a plasma generator.

이때, 상기 용융부(14)는 고주파발생기를 사용하여 텅스텐전극과 구속노즐(인서드 짚) 사이에 파일럿 아크를 발생시키는 것일 수 있다. 상기 아크는 파일럿 가스류에 의하여 구속노즐의 구멍으로부터 플라즈마가 분출하는 것으로, 텅스텐전극과 피용융체(11) 사이에 구동전압을 차차 증가시킴으로써 플라즈마(메인 아크)가 발생하게 되고, 상기 플라즈마 아크는 수냉되어 있는 구속노즐공으로 구속되며, 쉴드 가스에 의해 극단으로 냉각되는 고 에너지밀도의 용융에너지를 발생시키는 것일 수 있다.At this time, the melting portion 14 may generate a pilot arc between the tungsten electrode and the constraining nozzle (insert straw) using a high frequency generator. The arc generates plasma (main arc) by gradually increasing the driving voltage between the tungsten electrode and the molten metal 11 by the plasma being ejected from the hole of the constraining nozzle by the pilot gas flow, And may generate high energy density melting energy that is confined by the constraining nozzle holes and is extensively cooled by the shield gas.

참고로, 플라즈마 아크는 외부에서 냉각시키고 냉각된 주변의 플라즈마 안에 이온(Ion)하고 전자는 재결합하고, 전기적으로 중성의 원자 또는 분자로 되돌아 오고, 원자하고 분자에 되돌아간 기체는 이미 전류를 흐르지 못하게 억제하므로, 아크는 중앙부로만 통과한다. 따라서, 플라즈마 아크의 중앙부는 전류밀도가 증대되고, 그 결과 주울열이 증대해서 큰 에너지 밀도의 높은 플라즈마가 형성된다.For reference, the plasma arc is cooled externally and ions (Ion) in the cooled surrounding plasma recombine and electrons are returned to neutral atoms or molecules, and the gas returned to the atoms and molecules does not flow any current So that the arc passes only through the center. Accordingly, the central portion of the plasma arc has an increased current density, and as a result, Joule heat is increased, so that a plasma having a large energy density is formed.

또 한편, 본 발명은 피용융체(11)의 용융면이 고르게 융융되지 않고 어긋나서(언밸런스) 회전 동작에 편심에 의한 로드가 발생하는 것을 감지하는 로드감지수단(15a) 및 상기 로드감지수단(15a)의 감지 신호가 인가되면 용융부(14)의 위치 또는 피용융체(11)를 포함한 클램프의 위치를 이동시켜 보정하는 위치이동수단(15b)을 포함하는 정위치유지부(15)를 더 포함하여서 될 수 있다.In the meantime, the present invention is characterized in that the load sensing means (15a) for sensing that the molten surface of the molten object (11) does not melt evenly and is displaced (unbalanced) And a position shifting means 15b for shifting and correcting the position of the molten portion 14 or the position of the clamp including the molten object 11 when the sensing signal of the molten material 14 is applied .

상기한 로드감지수단(15a)은 피용융체(11)를 파지하는 클램프 또는 회전축에 마련되어, 회전하는 피용융체(11)의 언밸런스로 인한 편중 회전에서 오는 로드(부하)를 감지하는 센서일 수 있으며, 상기 위치이동수단(15b)은 챔버(1)의 내벽에 마련되는 가이드레일과, 상기 용융부(14)가 고정된 상태로 가이드레일을 따라 이동 가능한 랙기어가 구비된 베이스와, 상기 베이스의 랙기어와 치합된 피니언을 회전시키는 스텝모터(챔버에 고정)를 포함하여서 될 수 있다.The load sensing means 15a may be a sensor provided on a clamp or a rotary shaft for gripping the molten object 11 and detecting a load due to unbalanced rotation of the molten object 11 rotating, The position shifting means 15b includes a base having a guide rail provided on the inner wall of the chamber 1 and a rack gear movable along the guide rail in a state where the molten portion 14 is fixed, And a step motor (fixed to the chamber) for rotating the pinion meshing with the gear.

이때, 상기 위치이동수단(15b)을 구성하는 요소들은 X축(수직방향)과 Y축(수평방향)으로 이동이 이루어지도록 '+'자 형태로 배치될 수 있다.At this time, the elements constituting the position shifting means 15b may be arranged in a '+' shape so as to move in the X-axis (vertical direction) and the Y-axis (horizontal direction).

그리고, 본 발명은 용융부(14)와 피용융체(11) 사이의 전압을 일정하게 유지시키거나 간격을 조절하거나 조절된 간격을 일정하게 유지시키거나 피용융체(11)의 불균일한 용융으로 어긋나는 밸런스를 보정하는 정위치유지부(미도시)가 더 마련될 수도 있다. (상기 용융부(14)를 이루는 아크 전극 예컨대, 플라즈마 건의 선단부와 피용융체(11)의 작용 선단부의 간격 또는 작용 포인트를 조절하거나 조절된 간격 또는 작용 포인트를 일정하게 유지시키는 것)The present invention is also applicable to a method of manufacturing a semiconductor device in which the voltage between the molten part (14) and the molten metal (11) is kept constant, the gap is adjusted or the adjusted gap is kept constant, (Not shown) may be further provided. (Adjusting the interval or action point between the tip of the plasma gun and the tip of the action of the molten body 11 or keeping the adjusted gap or the action point constant)

이러한, 상기 정위치유지부는 항상 일정한 작업 조건에서 피용융체(11)가 용융되는 속도 내지 용융 소진되는 길이를 산출하거나 센싱하고, 산출 또는 센싱된 값만큼 용융부(14)와 피용융체(11)의 간격을 조절하여 이동시키는 프로그램이 탑재된 마이크로프로세서를 갖는 제어부(미도시)를 포함한 것으로, 항상 일정한 작업 조건에서 피용융체(11)가 용융되는 속도 내지 용융 소진되는 길이를 산출 또는 센싱하고, 산출 또는 센싱된 값만큼 피용융체(11)를 파지한 부위를 이동시켜 피용융체(11)를 용융부(14)로 근접시키는 것일 수 있다.The fixed position holding unit always calculates or senses the speed at which the molten body 11 is melted or melted and the length of the molten unit 14 and the temperature of the molten solder 11 by the calculated or sensed value, A control unit (not shown) having a microprocessor equipped with a program for shifting and shifting the gap, and calculating or sensing the speed at which the molten object 11 is melted or melted at all times under constant working conditions, It is possible to move the portion held by the molten body 11 by the sensed value to bring the molten object 11 into the molten portion 14.

이때, 상기 피용융체(11)를 파지한 부위를 이동시키는 것은, 상기와 같이 산출 또는 센싱된 값에 대응하도록, 상기 회전부(12)가 회전 운동과 함께 직선 운동을 제공하여 피용융체(11)의 위치를 이동시키는 것일 수 있다. 상기에서, 회전부(12)는 모터의 회전축에 나사산이 형성되어 회전과 동시에 일정한 속도와 길이만큼 직선 이동이 이루어지는 것일 수 있다.At this time, the movement of the gripped portion of the molten body 11 is performed such that the rotation part 12 provides a linear motion together with the rotation movement so as to correspond to the calculated or sensed value as described above, It may be to move the position. In this case, the rotary part 12 may be formed with a thread on the rotary shaft of the motor, and linearly move at a constant speed and length simultaneously with the rotation.

이때, 또한 상기 피용융체(11)를 파지한 부위를 이동시키는 것은, 용융부(14)의 선단부와 피용융체(11)의 작용 선단부의 위치를 센싱하여 위치를 벗어나 간격이 변경된 경우 및 피용융체(11)의 불균일한 용융으로 밸런스가 흐트러지는 경우, 상기 피용융체(11)를 파지한 부위를 이동시키는 별도의 이송장치(미도시)일 수 있다.At this time, the movement of the gripped portion of the molten body (11) is carried out by sensing the position of the tip of the molten portion (14) and the action tip of the molten material (11) (Not shown) for moving the gripped portion of the molten metal 11 when the unbalanced melting of the molten metal 11 is disturbed by uneven melting of the molten metal 11.

그리고, 본 발명의 구형 금속 분말 제조방법은 회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조방법에 있어서, 상기에 기재된 구형 금속 분말 제조장치(10)의 제조 과정에 의해 진행되는 것일 수 있다.According to the method for manufacturing a spherical metal powder of the present invention, melting energy is formed at the tip end of a rotating molten body (11), and a molten part of the molten body (11) is deviated to free space by a centrifugal force, The spherical metal powder may be cooled and solidified in a bead shape so that the spherical metal powder is produced by the manufacturing process of the spherical metal powder production apparatus 10 described above.

좀 더 구체적으로 구형 금속 분말 제조방법은, 챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)를 파지한 회전부(12)가 사전에 설정된 속도로 회전시키고, 전원 또는 주파수 형태의 구동신호를 발생시키는 구동부(13)에서 용융 에너지 발생을 위해 사전에 설정된 구동신호를 직류 또는 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 용융부(14)에 제공하면, 상기 용융부(14)는 구동신호에 따라 극성 교번 또는 레벨 변화하면서 상기 피용융체(11)와 작용하는 용융 에너지와 용융된 금속 부분에서 파동 에너지가 일어나도록 상기 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융 자극하여, 용융된 금속의 표면장력이 저하 내지 붕괴되도록 하고, 이러한 상태에서 용융된 금속이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 것일 수 있다.
More specifically, the method for manufacturing a spherical metal powder includes a step of rotating the rotating body 12 gripped by the molten body 11 located in the chamber 1 at a predetermined speed to generate a driving signal 13, a predetermined drive signal is supplied to the melted portion 14 in the form of a direct current or a pulse (alternating current pulse or DC pulse) for generation of the melt energy. The melted portion 14 generates a polarity alternating or level The working tip of the molten metal 11 is melted and stimulated so that the molten energy acting on the molten metal 11 and the ripple energy occur in the melted metal part while changing the surface tension of the molten metal 11 so that the surface tension of the molten metal is lowered or collapsed In this state, the molten metal escapes into the free space by the centrifugal force and cools and coagulates in the form of fine beads by the surface tension, so that the spherical metal powder is produced It may be to.

이와 같이 제시하는 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이, 회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치(10)에 있어서, 챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)를 사전에 설정된 속도로 회전시키는 회전부(12); 용융에너지 발생을 위해 사전에 설정된 구동신호를 펄스형태(교류펄스 또는 직류펄스)로 제공하는 구동부(13); 상기 구동부(13)의 구동신호에 따라 극성 교번 또는 레벨 변화하면서 상기 피용융체(11)와 작용하는 용융에너지와 용융된 금속 부분에서 파동 에너지가 일어나도록 하면서 상기 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융시키는 용융부(14);를 포함하되, 상기 피용융체(11)의 용융 밸런스가 어긋나는 것이 감지되면 구동부(13) 또는 용융부(14)의 위치를 보정하는 정위치유지부(15)를 더 포함하여서 된 것이다.As shown in FIG. 2, the present invention forms molten energy at the tip end of a rotating molten body 11 so that the molten part of the molten object 11 is free from the free space due to the centrifugal force, A spherical metal powder production apparatus (10) for cooling and solidifying a spherical metal powder with a fine bead shape by a tensile force, characterized in that the molten body (11) placed in the chamber (1) (12); A drive unit 13 for providing a predetermined drive signal in the form of pulses (AC pulses or DC pulses) for generation of melt energy; The working tip of the molten metal 11 is melted and melted in the molten metal portion while the molten energy acting on the molten metal 11 and the wave energy are generated in the molten metal portion while changing the polarity alternation or level according to the driving signal of the driving portion 13. [ And a positional correction unit 15 for correcting the position of the driving unit 13 or the fused portion 14 when it is sensed that the melt balance of the molten body 11 is deviated, .

이때, 물론 도시하지는 않았으나, 상기 각 구성요소 중 전기적인 동작을 발생시키는 요소의 동작 제어를 위해, 설정 및 설정 상태로 동작하도록 제어신호를 제공하는 컨트롤부와 동작 전원을 공급하는 전원부가 더 구비되는 것은 자명한 것이나, 이는 전기적인 장치에서 통상적인 기술에 속하는 것으로 판단되어, 이들에 대한 구체적인 언급은 생략하였다.At this time, although not shown, a control unit for providing a control signal to operate in the setting and setting states and a power supply unit for supplying operation power are further provided for controlling the operation of the elements that generate electric operation among the respective components However, it is considered that this belongs to a conventional technique in an electric device, and a detailed description thereof is omitted.

이와 같은 본 발명은 상기 구동부(13)에서 구동신호로 펄스 예컨대, 교류펄스(극성이 바뀌는 교류의 파형이 부드럽게 변화하는 정현파 또는 급하게 갑자기 바뀌는 펄스파) 또는 직류펄스(직류 레벨이 순간적으로 높아졌다 낮아지는(극성 전환없는) 펄스파)가 제공되면, 이를 제공받은 용융부(14)에서 아크 발생으로 피용융체(11) 방향으로 아크, 궁극적으로 플라즈마가 발생하여 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융시킨다.In the present invention as described above, the driving unit 13 may be configured so that the driving signal includes a pulse, for example, an AC pulse (a sinusoidal waveform in which the polarity of the AC changes smoothly or a pulsed wave in which the polarity changes suddenly) or a DC pulse (in which the DC level instantaneously rises or falls An arc is generated in the direction of the molten body 11 by the generation of an arc in the molten portion 14 provided with the pulse, and ultimately plasma is generated to melt the action tip of the molten body 11 .

이때, 본 발명은 상기와 같이, 구동신호가 일정 레벨을 항상 유지시키는 직류전압(┏━━━━ )일 수도 있으나, 본 발명에서는 이보다 극성이 바뀌는 교류펄스 또는 극성 전환없이 직류 레벨이 순간적으로 높아졌다 낮아지는 직류펄스로 제공되므로, 이들 펄스의 에너지 변위차(變位差) 내지 극성 전환 및 교번하는 구형파에 의해 입력구동신호 대비 높은 레벨의 용융 에너지 제공 및 용융되는 금속에 파동을 유발하는 (진폭과 레벨이 변화하는) 플라즈마를 발생시킬 수 있다.At this time, although the present invention may be a DC voltage (┏━━━━) which always maintains a constant level of the driving signal as described above, in the present invention, the DC level instantaneously increases without changing the polarity of the AC pulse or polarity change The pulse width of the pulses is set to be a pulse width of the pulse width of the pulses, The plasma can be generated at a high level.

즉, 상기 구동부(13)에서 제공되는 구동신호는 첨부 도면 도 3에 도시된 종래 구동신호(DC전압(┏━━━━ ))와 달리 극성이 바뀌는 교류펄스 또는 극성 전환없이 직류 레벨이 순간적으로 높아졌다 낮아지거나 극성이 변하는 직류펄스로 제공되는데, 종래와 같은 DC전압은 구동신호의 변위차 내지 파동이 없이 일정하게 유지되므로 입력구동신호 대비 출력의 증대가 이루어지지 않는 반면, 본 발명의 구동신호(예1 ~ 예3)과 같이 극성 변화없는 직류펄스 또는 극성 변화를 가지며 진폭 내지 파형 변화를 갖는 교류펄스 또는 교류펄스와 직류펄스가 복합된 펄스의 에너지 변위차(變位差) 내지 파동에 의해 입력구동신호 대비 높은 레벨을 갖는 파동형(진폭과 레벨이 변화하는) 플라즈마 형태의 용융 에너지가 발생되어 피용융체(11)에 작용하게 되고, 이를 통해 용융되는 피용융체(11) 및 용융되는 부분에 파동 에너지가 발생하게 된다. In other words, the driving signal provided by the driving unit 13 may be an alternating current pulse whose polarity is changed or a direct current level without polarity switching, which is different from the conventional driving signal (DC voltage (┏━━━━) The DC voltage is kept constant without any displacement or fluctuation of the driving signal, so that the output is not increased as compared with the input driving signal. On the other hand, the driving signal of the present invention An alternating current pulse having a polarity change or a polarity change and having an amplitude to a waveform change or an energy displacement difference or pulse of a pulse including an alternating current pulse and a direct current pulse as in the examples 1 to 3) (The amplitude and the level change) having a high level with respect to the driving signal is generated and acts on the molten metal 11, The wave energy is generated in the raised portion that blood melt 11 and is melted.

이와 같이 발생된 고에너지대의 파동형 플라즈마 및 2차적인 파동 에너지가가 회전부(12)에 의해 회전하는 피용융체(11)의 작용 선단부에 작용하게 되면, 용융된 부분의 표면장력이 저하 내지 붕괴되며, 이러한 상태에서 첨부 도면 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나는 금속 분말의 입자들이 동일한 입력구동신호와 회전력이 제공되는 조건보다 30% 미세한 크기를 띠면서 벗어나고, 냉각 응고되어 챔버(1) 하방으로 낙하된 후 배출되는 것에 의해 미세한 입자로 된 구형 금속 분말을 제조할 수 있게 된다.When the thus generated high-frequency wave plasma and secondary wave energy are applied to the action tip of the molten body 11 rotated by the rotary part 12, the surface tension of the molten part is lowered or collapsed In this state, as shown in FIGS. 4 and 5, the particles of the metal powder deviating to the free space due to the centrifugal force deviate from the condition of providing the same input driving signal and rotational force by a factor of 30% Solidified and dropped to the downside of the chamber 1 and then discharged, thereby making it possible to produce spherical metal powder of fine particles.

그리고, 본 발명은 첨부 도면 도 6에 도시된 바와 같이, 파동형태의 플라즈마를 피용융체(11)의 작용 선단부에 제공하되, 그 작용 포인트를 달리하면서 복수의 포인트에 제공하여, 각 작용 포인트에서 발생되는 파장들의 공진점 부분에서 에너지의 증대를 유도함으로써 더욱 높은 레벨의 에너지를 얻어내 용융 금속의 표면장력을 감소시키는 것도 가능하다.6, it is possible to provide a plasma in the form of a wave to the working tip of the molten metal 11, which is provided at a plurality of points with different operating points, It is also possible to reduce the surface tension of the molten metal by obtaining an energy of a higher level by inducing an increase in energy at the resonance point portion of the wavelengths.

상기에서, 작용 포인트는 파장의 위치에 따라 달라질 수 있으며, 도시된 것에 따르면 2부분의 작용 포인트가 예시되어 있으나, 피용융체(11)의 회전속도와 주파수의 상관관계 및 피용융체에 공급되는 플라즈마 위치로 그 이상의 작용 포인트가 위치할 수 있다.
In the above description, the point of action may vary depending on the position of the wavelength, and two points of action are exemplified according to the illustrated example. However, the relationship between the rotational speed of the molten body 11 and the frequency and the plasma position More action points can be located.

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

그 밖에도, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. In addition, those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims.

따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
Accordingly, all such appropriate modifications and changes, and equivalents thereof, should be regarded as within the scope of the present invention.

10 : 구형 금속 분말 제조장치 11 :피용융체
12 : 회전부 13 : 구동부
14 : 용융부 15 : 정위치유지부
1 : 챔버
10: spherical metal powder production apparatus 11:
12: rotation part 13:
14: melted portion 15: stationary healing portion
1: chamber

Claims (5)

회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되어, 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조장치(10)에 있어서,
챔버(1) 내에 위치한 피용융체(11)를 사전에 설정된 속도로 회전시키는 회전부(12); 용융에너지 발생을 위해 사전에 설정된 구동신호를 직류 또는 교류펄스 또는 직류펄스 형태로 제공하는 구동부(13); 상기 구동부(13)의 구동신호에 따라 극성 교번 또는 레벨 변화하면서 상기 피용융체(11)와 작용하는 용융에너지와 용융된 금속 부분에서 파동 에너지가 일어나도록 하면서 상기 피용융체(11)의 작용 선단부를 용융시키는 용융부(14); 상기 피용융체(11)의 용융 밸런스가 어긋나는 것이 감지되면 용융부(14) 또는 피용융체(11)의 위치를 보정하도록, 피용융체(11)의 용융면이 고르게 융융되지 않고 어긋나서 회전 동작에 편심에 의한 로드가 발생하는 것을 감지하는 로드감지수단(15a) 및 상기 로드감지수단(15a)의 감지 신호가 인가되면 용융부(14)의 위치 또는 피용융체(11)를 포함한 클램프의 위치를 이동시켜 보정하는 위치이동수단(15b)을 포함하는 정위치유지부(15); 를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 구형 금속 분말 제조장치.
The molten energy is formed at the tip end of the rotating molten body 11 so that the molten part of the molten solder 11 is cooled and solidified in a fine bead shape due to the surface tension while being deviated to the free space by the centrifugal force, A spherical metal powder producing apparatus (10) for producing a metal powder,
A rotation unit (12) for rotating the molten object (11) placed in the chamber (1) at a predetermined speed; A drive unit 13 for supplying a predetermined drive signal to generate a melt energy in the form of a direct current, an alternating current pulse or a direct current pulse; The working tip of the molten metal 11 is melted and melted in the molten metal portion while the molten energy acting on the molten metal 11 and the wave energy are generated in the molten metal portion while changing the polarity alternation or level according to the driving signal of the driving portion 13. [ A fused portion 14; The molten surface of the molten material 11 is not melted evenly and is shifted so as to correct the position of the molten portion 14 or the molten material 11 when the deviation of the melt balance of the molten material 11 is sensed, The load sensing means 15a for detecting that the load is caused by the load sensing means 15a and the position of the melting portion 14 or the position of the clamp including the molten object 11 when the sensing signal of the load sensing means 15a is applied (15) including a position shifting means (15b) for correcting the position of the finger; Wherein the metal powder comprises a metal powder.
청구항1에 있어서,
상기 구동부(13)의 구동신호인 교류펄스는 극성이 바뀌는 교류파로서, 파형이 부드럽게 변화하는 정현파 또는 급하게 갑자기 바뀌는 펄스파이고, 상기 직류펄스는 직류 레벨이 순간적으로 높아졌다 낮아지는 극성 전환이 없거나 있는 펄스파인 것을 특징으로 하는 구형 금속 분말 제조장치.
The method according to claim 1,
The alternating current pulse, which is a drive signal of the driving unit 13, is a sinusoidal wave whose waveform smoothly changes or a pulsed wave which suddenly changes suddenly. The direct current pulse has no polarity switching that instantaneously increases or decreases the direct current level Wherein the pulverized powder is a pulsed powder.
청구항1에 있어서,
상기 용융부(14)는 플라즈마발생기로서, 파동형태의 플라즈마를 피용융체(11)의 작용 선단부에 제공하여, 피용융체(11)의 용융된 부분에서 파동 에너지가 발생하도록 하되, 파동의 작용 포인트를 달리하면서 각 작용 포인트에서 발생되는 파동들의 공진점 부분에서 에너지의 증대를 유도하는 것을 특징으로 하는 구형 금속 분말 제조장치.
The method according to claim 1,
The molten portion 14 is a plasma generator which is provided with a pulsed plasma at the working tip of the molten metal 11 so as to generate wave energy at the melted portion of the molten metal 11, Wherein the energy is increased at the resonance point portion of the waves generated at each of the working points in different ways.
삭제delete 회전하는 피용융체(11)의 선단부에 용융에너지를 형성시켜, 피용융체(11)에서 용융된 부분이 원심력에 의해 자유공간으로 벗어나면서 표면장력에 의해 미세한 구슬 형태를 띤 상태로 냉각 응고되면서 구형 금속 분말이 제조되도록 하는 구형 금속 분말 제조방법에 있어서,
상기 청구항1에 기재된 구형 금속 분말 제조장치(10)의 제조 과정에 의해 진행되는 것을 특징으로 하는 구형 금속 분말 제조방법.
The molten energy is formed at the tip end of the rotating molten body 11 so that the molten part of the molten object 11 is free from the free space due to the centrifugal force and cools and solidifies in a state of a fine bead by the surface tension, A method for manufacturing a spherical metal powder,
The method of manufacturing a spherical metal powder according to claim 1, wherein the spherical metal powder is produced by a manufacturing process of the spherical metal powder production apparatus (10).
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