KR101856563B1 - Organic thin film transistor having liquid crystalline properties and method for fabricating the same - Google Patents

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KR101856563B1 KR1020170094277A KR20170094277A KR101856563B1 KR 101856563 B1 KR101856563 B1 KR 101856563B1 KR 1020170094277 A KR1020170094277 A KR 1020170094277A KR 20170094277 A KR20170094277 A KR 20170094277A KR 101856563 B1 KR101856563 B1 KR 101856563B1
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Abstract

본 발명의 일 측면은 기판, 게이트전극, 게이트절연층, 활성층, 및 전극물질층을 순차적으로 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터에 있어서, 상기 게이트절연층이 직선 편광된 UV에 대해 수직 광배향된 시나메이트계 고분자를 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal organic thin film transistor comprising a substrate, a gate electrode, a gate insulating layer, an active layer, and an electrode material layer sequentially, wherein the gate insulating layer is a vertically photo- Mate based polymer and a method of manufacturing the same.

Description

액정성 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법{ORGANIC THIN FILM TRANSISTOR HAVING LIQUID CRYSTALLINE PROPERTIES AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a liquid crystal organic thin film transistor and a method of manufacturing the same. BACKGROUND ART < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 액정성 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal organic thin film transistor and a manufacturing method thereof.

정보통신기술의 발달과 함께 작고, 가볍고, 사용하기 편리한 정보통신기기와 이를 가능하게 하는 소자, 전자재료에 대한 수요가 늘어나고 있다. 그 중에서도 유기박막 트랜지스터(OTFT)는 종래의 비정질 실리콘 및 폴리실리콘을 이용한 유기박막 트랜지스터에 비해 제조공정이 간단하고, 플렉서블 디스플레이의 구현을 위한 플라스틱 기판들과 호환성이 뛰어나 최근 많은 연구가 이루어지고 있다.Along with the development of information and communication technology, there is an increasing demand for small, light and easy-to-use information communication devices and devices and electronic materials that enable such information communication devices. Among them, organic thin film transistors (OTFTs) are simpler in manufacturing process than conventional organic thin film transistors using amorphous silicon and polysilicon, and have excellent compatibility with plastic substrates for implementing flexible displays, and many studies have been made recently.

유기박막 트랜지스터의 성능을 평가하기 위한 주요 물성으로는 전하이동도와 점멸비(on/off ratio)를 들 수 있고, 특히, 전하이동도는 반도체 재료의 종류, 박막 형성방법(구조 및 형태학), 구동전압 등에 따라 다르게 나타난다.The major physical properties for evaluating the performance of the organic thin film transistor are the charge mobility and the on / off ratio. In particular, the charge mobility is determined by the kind of the semiconductor material, the thin film forming method (structure and morphology) Voltage and so on.

도 1은 기판(11), 게이트전극(16), 게이트절연층(12), 활성층(13), 및 전극물질층(14, 15)으로 이루어진 일반적인 유기박막 트랜지스터의 층상 구조를 나타낸 단면도이다. 이 중 활성층을 구성하는 반도체 물질은 분자량에 따라 저분자 유기 반도체 및 고분자 유기 반도체로, 전자 또는 정공 전달 여부에 따라 n-형 유기 반도체 또는 p-형 유기 반도체로 나뉠 수 있다.1 is a sectional view showing a layered structure of a general organic thin film transistor composed of a substrate 11, a gate electrode 16, a gate insulating layer 12, an active layer 13, and electrode material layers 14 and 15. The semiconductor material constituting the active layer may be divided into a low-molecular organic semiconductor and a high-molecular organic semiconductor depending on the molecular weight, and may be divided into an n-type organic semiconductor or a p-type organic semiconductor depending on whether electrons or holes are transmitted.

상기 저분자 유기 반도체는 정제가 용이하고 불순물을 대부분 제거할 수 있어 전하이동성이 우수하나 스핀 코팅 또는 프린팅이 불가능하여 진공 증착을 통해 박막을 제조해야 하므로, 공정이 복잡하다. 반면, 고분자 유기 반도체는 고순도의 정제는 어려우나 내열성이 우수하고 스핀 코팅 또는 프린팅이 가능하여 대량 생산에 적합하다.The low molecular weight organic semiconductors are easy to purify and can remove most impurities, so they have excellent charge mobility but can not be spin coated or printed, so that a thin film must be produced through vacuum deposition, which complicates the process. On the other hand, polymer organic semiconductors are difficult to purify with high purity, but have excellent heat resistance and can be spin coated or printed, making them suitable for mass production.

이에 대해, 고분자 유기 반도체 재료의 전하이동도를 개선하기 위한 다양한 연구가 수행되고 있다. 예를 들어, 대한민국등록특허 제10-0668763호는 열 안정성이 우수한 액정성 유기 고분자를 도입하여 분자의 배열성에 기한 전하이동도 향상을 도모하였으나, 액정성 고분자의 배열성을 분자 자체의 전기화학적 성질에 의존할 수 밖에 없어 전하이동도를 일정 수준 이상으로 향상시키기 어렵다.On the other hand, various studies have been conducted to improve the charge mobility of the polymer organic semiconductor material. Korean Patent No. 10-0668763, for example, has attempted to improve the charge mobility due to the alignment of molecules by introducing liquid crystalline organic polymer having excellent thermal stability. However, the arrangement of the liquid crystalline polymer is changed from the electrochemical property of the molecule itself It is difficult to improve the charge mobility to a certain level or more.

또한, 대한민국등록특허 제10-1096695호는 시나마이드기를 가지는 광배향막을 이용하여 액정 분자의 배향성을 정밀하게 제어할 수 있음을 개시하고 있으나, 이는 액정 표시 소자 중 유기박막 트랜지스터와 분리되어 구비된 것으로서 액정(층)의 배향에 관여하는 것에 불과하고, 유기박막 트랜지스터의 반도체층, 즉, 활성층과 접촉하여 그것의 배향성과 물성에까지 영향을 미치도록 설계된 것은 아니다.Korean Patent Registration No. 10-1096695 discloses that alignment of liquid crystal molecules can be precisely controlled by using a photo alignment layer having a cinnamide group, but this is provided separately from an organic thin film transistor among liquid crystal display elements And it is not designed to affect the orientation and physical properties of the semiconductor layer of the organic thin film transistor, that is, the active layer.

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 유기박막 트랜지스터의 활성층에 액정성 유기 고분자를 도입하되 그 배향성이 정밀하게 제어되고, 그에 따른 전하이동도가 향상되며, 열 안정성이 우수한 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an organic thin film transistor, in which a liquid crystalline organic polymer is introduced into an active layer of an organic thin film transistor, its orientation is precisely controlled, An organic thin film transistor excellent in thermal stability and a method of manufacturing the same.

본 발명의 일 측면은 기판, 게이트전극, 게이트절연층, 활성층, 및 전극물질층을 순차적으로 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터에 있어서, 상기 게이트절연층이 직선 편광된 UV에 대해 수직 광배향된 시나메이트계 고분자를 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal organic thin film transistor comprising a substrate, a gate electrode, a gate insulating layer, an active layer, and an electrode material layer sequentially, wherein the gate insulating layer is a vertically photo- Mate based polymer is provided.

일 실시예에 있어서, 상기 활성층이 티오펜계 고분자를 포함할 수 있다.In one embodiment, the active layer may include a thiophene-based polymer.

일 실시예에 있어서, 상기 티오펜계 고분자가 하기 화학식 1로 표시될 수 있다.In one embodiment, the thiophene-based polymer may be represented by the following formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure 112017071632753-pat00001
Figure 112017071632753-pat00001

상기 식에서, R1 및 R2가 상호 독립적으로 C1 내지 C20 알킬기이고, X가

Figure 112017071632753-pat00002
,
Figure 112017071632753-pat00003
, 및
Figure 112017071632753-pat00004
로 이루어진 군에서 선택된 하나이고, n이 1 내지 10,000의 정수이다.Wherein R 1 and R 2 are, independently of one another, a Cl to C20 alkyl group, and X is
Figure 112017071632753-pat00002
,
Figure 112017071632753-pat00003
, And
Figure 112017071632753-pat00004
And n is an integer of 1 to 10,000.

일 실시예에 있어서, 상기 티오펜계 고분자가 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)일 수 있다.In one embodiment, the thiophene-based polymer may be poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene).

일 실시예에 있어서, 상기 시나메이트계 고분자가 폴리비닐시나메이트, 폴리비닐메톡시시나메이트, 폴리비닐불화시나메이트, 및 폴리실록산시나메이트로 이루어진 군에서 선택된 하나일 수 있다.In one embodiment, the cinnamate-based polymer may be selected from the group consisting of polyvinylcinnamate, polyvinylmethoxycinnamate, polyvinylfluorinated cinnamate, and polysiloxane cinnamate.

일 실시예에 있어서, 상기 시나메이트계 고분자가 폴리비닐시나메이트일 수 있다.In one embodiment, the cinnamate-based polymer may be polyvinylcinnamate.

일 실시예에 있어서, 상기 폴리비닐시나메이트의 중량평균분자량(Mw)이 50,000 내지 500,000일 수 있다.In one embodiment, the polyvinyl cinnamate may have a weight average molecular weight (Mw) of 50,000 to 500,000.

또한, 본 발명의 다른 일 측면은 (a) 시나메이트계 및 티오펜계 고분자를 각각 제1 및 제2 용매에 용해시켜 제1 및 제2 용액을 제조하는 단계; (b) 게이트전극이 구비된 기판 상에 상기 제1 용액을 코팅하여 게이트절연층을 형성하는 단계; (c) 상기 게이트절연층에 직선 편광된 UV를 조사하여 상기 시나메이트계 고분자를 상기 UV에 대해 수직 광배향시키는 단계; (d) 광배향된 상기 게이트절연층 상에 상기 제2 용액을 코팅하여 활성층을 형성하는 단계; (e) 상기 활성층을 100 내지 300℃에서 어닐링하는 단계; 및 (f) 상기 활성층 상에 금을 증착시켜 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for preparing a polymer electrolyte membrane, comprising: (a) dissolving a cinnamate-based polymer and a thiophene-based polymer in a first solvent and a second solvent, respectively; (b) coating the first solution on a substrate provided with a gate electrode to form a gate insulating layer; (c) vertically aligning the cinnamate-based polymer to the UV by irradiating the gate insulating layer with linearly polarized UV light; (d) coating the second solution on the photo-aligned gate insulating layer to form an active layer; (e) annealing the active layer at 100 to 300 캜; And (f) depositing gold on the active layer to form a source electrode and a drain electrode.

일 실시예에 있어서, 상기 티오펜계 고분자가 하기 화학식 1로 표시될 수 있다.In one embodiment, the thiophene-based polymer may be represented by the following formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure 112017071632753-pat00005
Figure 112017071632753-pat00005

상기 식에서, R1 및 R2가 상호 독립적으로 C1 내지 C20 알킬기이고, X가

Figure 112017071632753-pat00006
,
Figure 112017071632753-pat00007
, 및
Figure 112017071632753-pat00008
로 이루어진 군에서 선택된 하나이고, n이 1 내지 10,000의 정수이다.Wherein R 1 and R 2 are, independently of one another, a Cl to C20 alkyl group, and X is
Figure 112017071632753-pat00006
,
Figure 112017071632753-pat00007
, And
Figure 112017071632753-pat00008
And n is an integer of 1 to 10,000.

일 실시예에 있어서, 상기 티오펜계 고분자가 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)일 수 있다.In one embodiment, the thiophene-based polymer may be poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene).

일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 용매가 각각 상호 독립적으로 클로로에탄, 디클로로에탄, 클로로벤젠, 디클로로벤젠, 및 트리클로로벤젠으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상일 수 있다.In one embodiment, the first and second solvents may each independently be at least one selected from the group consisting of chloroethane, dichloroethane, chlorobenzene, dichlorobenzene, and trichlorobenzene.

일 실시예에 있어서, 상기 (b) 및 (d) 단계에서 상기 코팅이 스핀 코팅에 의해 수행될 수 있다.In one embodiment, in the steps (b) and (d), the coating may be performed by spin coating.

일 실시예에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 직선 편광된 UV의 세기가 5 내지 50J/cm2일 수 있다.In one embodiment, the intensity of the linearly polarized UV in step (c) may be 5 to 50 J / cm 2 .

본 발명의 일 측면에 따른 액정성 유기박막 트랜지스터는 액정성 유기 고분자를 포함하는 활성층의 하부에 위치한 게이트절연층이 기본적인 절연성을 가질 뿐만 아니라, 일정 방향으로 광배향된 시나메이트계 고분자를 포함하여 상기 활성층의 배향성을 정밀하게 제어함으로써 전하이동성을 크게 향상시킬 수 있다.The liquid crystalline organic thin film transistor according to one aspect of the present invention includes a cinnamate-based polymer having a basic insulating property and a photo orientation in a predetermined direction, the gate insulating layer being located below the active layer including the liquid crystalline organic polymer, The charge mobility can be greatly improved by precisely controlling the orientation of the active layer.

또한, 본 발명의 다른 일 측면에 따른 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법은 별도의 정제 공정 없이 광배향 처리 및 어닐링 공정을 포함하여 고성능 유기박막 트랜지스터의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal organic thin film transistor, including the steps of performing a photo alignment process and an annealing process without a separate purification process, thereby improving the productivity of the high performance organic thin film transistor.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the effects described above, but include all effects that can be deduced from the description of the invention or the composition of the invention set forth in the claims.

도 1은 일반적인 유기박막 트랜지스터의 층상 구조를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리비닐시나메이트의 UV/Vis 스펙트럼 및 사이클로첨가(cycloaddition) 반응을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리비닐시나메이트의 열중량분석(TGA) 결과 및 AFM 이미지이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리비닐시나메이트의 정전용량 및 누설전류밀도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시예 및 비교예에 따른 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)의 UV/Vis 스펙트럼을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예 및 비교예에 따른 유기박막 트랜지스터의 전달 특성을 나타낸다.
1 is a cross-sectional view showing a layered structure of a general organic thin film transistor.
Figure 2 shows UV / Vis spectra and cycloaddition reactions of polyvinyl cinnamate according to one embodiment of the present invention.
3 is a thermogravimetric analysis (TGA) result and an AFM image of a polyvinylcinnamate according to one embodiment of the present invention.
Figure 4 shows the electrostatic capacity and leakage current density of polyvinyl cinnamate according to one embodiment of the present invention.
Figure 5 shows the UV / Vis spectra of poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene) according to one embodiment of the invention and comparative example .
6 shows transfer characteristics of an organic thin film transistor according to an embodiment and a comparative example of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" . Also, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements unless specifically stated otherwise.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

액정성Liquid crystal property 유기박막Organic thin film 트랜지스터 transistor

본 발명의 일 측면은 기판, 게이트전극, 게이트절연층, 활성층, 및 전극물질층을 순차적으로 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터에 있어서, 상기 게이트절연층이 직선 편광된 UV(Linear Polarized UV, 이하, 'LPUV')에 대해 수직 광배향된 시나메이트계 고분자를 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal organic thin film transistor including a substrate, a gate electrode, a gate insulating layer, an active layer, and an electrode material layer sequentially, wherein the gate insulating layer is a linear polarized UV The present invention provides a liquid crystalline organic thin film transistor including a cinnamate-based polymer vertically aligned with respect to a liquid crystal polymer (hereinafter, &quot; LPUV &quot;).

본 명세서에 사용된 용어, "수직"은 2개의 선 또는 면이 이루는 각이 90°인 경우, 또는 복수의 선 또는 면이 이루는 각의 평균 값이 90°이어서 그 각을 실질적으로 90°로 볼 수 있는 경우를 의미한다. 또한, 본 명세서에 사용된 용어, "평행"은 2개의 선 또는 면이 이루는 각이 0°인 경우, 또는 복수의 선 또는 면이 이루는 각의 평균 값이 0°이어서 그 각을 실질적으로 0°로 볼 수 있는 경우를 의미한다.As used herein, the term "vertical" refers to an angle formed by two lines or faces of 90 degrees, or an average value of angles formed by a plurality of lines or faces of 90 degrees, And the like. As used herein, the term "parallel ", as used herein, refers to the case where the angle formed by two lines or faces is 0 DEG, or the average value of the angle formed by a plurality of lines or faces is 0 DEG, As shown in Fig.

상기 액정성 유기박막 트랜지스터는 평판 디스플레이의 일종인 액정 표시 소자에 적용될 수 있다. 액정 표시 소자에는 광투과성, 응답시간, 시야각, 콘트라스트 등과 같은 표시 소자로서의 기능이 요구되며, 이러한 기능은 액정 표시 소자의 액정 분자의 배열 특성에 따라 결정되므로 액정 분자의 배향을 균일하게 제어하는 것이 중요하다.The liquid crystal organic thin film transistor may be applied to a liquid crystal display device which is a kind of flat panel display. The liquid crystal display element is required to have a function as a display element such as light transmittance, response time, viewing angle, contrast, and the like. Since such a function is determined according to the arrangement characteristic of the liquid crystal molecules of the liquid crystal display element, it is important to control the alignment of the liquid crystal molecules uniformly Do.

액정 분자를 균일하게 배향시키기 위한 방법으로는 유기 고분자 물질로 이루어진 막 또는 필름의 표면을 특수 형태의 천으로 러빙(rubbing)하는 방법을 들 수 있다. 다만, 러빙은 공정이 단순한 반면에, 공정 간 사용된 특수 형태의 천에 붙은 분진에 의해 배향막을 오염시킬 수 있고 배향막의 소재에 따라 호환성이 상이한 문제가 있다.As a method for uniformly orienting the liquid crystal molecules, a method of rubbing a surface of a film or film made of an organic polymer material with a special type of cloth can be mentioned. However, while rubbing is simple in process, there is a problem that the alignment film can be contaminated by dust adhering to a special type cloth used between processes, and compatibility is different depending on the material of the alignment film.

이러한 러빙법의 문제점을 해결하기 위해 넌러빙 처리법(rubbing free treatment)에 대한 연구, 개발이 이루어지고 있으며, 그 중, 광배향법이 주목받고 있다. 관련하여, 상기 시나메이트계 고분자는 측쇄에 시나모일기를 가지는 고분자로서, 폴리비닐시나메이트, 폴리비닐메톡시시나메이트, 폴리비닐불화시나메이트, 및 폴리실록산시나메이트로 이루어진 군에서 선택된 하나일 수 있고, 이들 각각의 구조는 하기 화학식 2로 표시될 수 있다.In order to solve the problems of the rubbing method, research and development of a rubbing free treatment have been carried out, and a photo alignment method has been attracting attention. In the related art, the cinnamate-based polymer is a polymer having a cinnamoyl group in the side chain, and may be selected from the group consisting of polyvinylcinnamate, polyvinylmethoxycinnamate, polyvinylfluorinated cinnamate, and polysiloxane cinnamate , Each of these structures may be represented by the following formula (2).

<화학식 2>(2)

Figure 112017071632753-pat00009
Figure 112017071632753-pat00009

Figure 112017071632753-pat00010
Figure 112017071632753-pat00010

Figure 112017071632753-pat00011
Figure 112017071632753-pat00011

Figure 112017071632753-pat00012
Figure 112017071632753-pat00012

상기 시나메이트계 고분자의 화학적 구조는 광반응에 의해 액정 분자를 한 방향으로 배열시키는 역할을 하는 주쇄(main chain or backbone)와, 프리틸트각을 형성 및 개선하는 역할을 하는 측쇄(side chain)로 구분될 수 있다. 예를 들어, 상기 시나메이트계 고분자가 폴리비닐시나메이트(이하, 'PVCN')일 수 있다. 상기 PVCN의 중량평균분자량(Mw)이 50,000 내지 500,000일 수 있고, 바람직하게는 100,000 내지 300,000일 수 있다.The chemical structure of the cinnamate-based polymer includes a main chain (backbone) serving to align the liquid crystal molecules in one direction by a photoreaction and a side chain serving to form and improve a pretilt angle Can be distinguished. For example, the cinnamate-based polymer may be polyvinyl cinnamate (hereinafter referred to as 'PVCN'). The weight average molecular weight (Mw) of the PVCN may be 50,000 to 500,000, and preferably 100,000 to 300,000.

도 2(b)를 참고하면, 상기 PVCN에 LPUV를 조사하는 경우 상기 PVCN의 측쇄인 시나모일기가 LPUV에 의해 [2+2] 사이클로첨가(cycloaddition) 반응을 하여 사이클로부탄(cyclobutane)이 형성될 수 있고, 이에 따라 상기 PVCN 분자를 상기 LPUV에 대해 수직 방향으로 배열시킬 수 있다.Referring to FIG. 2 (b), when the PVCN is irradiated with LPUV, the cinnamoyl group, which is the side chain of the PVCN, is cycled by [2 + 2] cycles by LPUV to form cyclobutane And thus the PVCN molecules can be arranged in a direction perpendicular to the LPUV.

도 2(a)는 LPUV로 광배향된 PVCN 필름(두께: 400nm)의 UV/Vis 스펙트럼을 나타낸다. 도 2(a)를 참고하면, 상기 게이트절연층은 LPUV에 대해 수직 배향된 PVCN 뿐만 아니라 평행 배향된 PVCN을 포함함을 알 수 있고, 양자 모두 275nm 파장에서 PVCN의 시나모일기에 상응하는 뚜렷한 피크가 관찰된다. 또한, 275nm에서의 2색비(dichroic ratio, A/A//)가 1.1으로 나타나, 수직 배향된 PVCN이 수평 배향된 것에 비해 상대적으로 우세하다. 본 명세서에 사용된 용어, "2색비"는 일정 물질에 대한 UV/Vis 스펙트럼에서, LPUV에 대해 수평 광배향된 분자 또는 고분자의 흡수 강도(A//)에 대한 수직 광배향된 분자 또는 고분자의 흡수 강도(A)의 비를 의미한다.Figure 2 (a) shows the UV / Vis spectrum of a PVCN film (thickness: 400 nm) optically oriented with LPUV. Referring to FIG. 2 (a), it can be seen that the gate insulating layer includes PVCN vertically oriented as well as parallel oriented PVCN to LPUV, and both have a distinct peak corresponding to the cinnamoyl group of PVCN at a wavelength of 275 nm Is observed. Also, the dichroic ratio (A / A // ) at 275 nm is 1.1, and the vertically oriented PVCN is relatively dominant as compared with the horizontally oriented PVCN. As used herein, the term "two-color ratio" refers to the absorption intensity (A // ) of a horizontally oriented molecule or polymer for LPUV in a UV / Vis spectrum for a given material. It means the ratio of the absorption intensity (a ⊥).

다만, 이러한 2색비는 상기 PVCN 필름의 전 영역에 대해 측정된 값이며, 필름의 표면으로부터 전체 두께의 10 내지 20%에 해당하는 표면 영역에서 PVCN은 LPUV에 대해 수직 방향으로 더 균일한 배향성을 가질 수 있으므로, 상기 활성층을 이루는 물질에 일정한 배향성을 부여할 수 있다.However, the dichroic ratio is a value measured over the entire area of the PVCN film. In a surface region corresponding to 10 to 20% of the total thickness from the surface of the film, PVCN has a more uniform orientation in the vertical direction with respect to LPUV Therefore, it is possible to impart a certain orientation to the material forming the active layer.

도 3(a)를 참고하면, 질소 분위기 하에서 광배향된 PVCN의 중량 감소가 220℃, 285℃에서 각각 1중량% 미만, 5중량% 미만으로 나타나, 광배향된 PVCN 필름이 후술할 어닐링 단계에서의 고온 조건을 견딜 수 있는 양호한 열 안정성을 가짐을 알 수 있다. 또한, 도 3(b)를 참고하면, 광배향된 PVCN의 제곱평균제곱근(root mean square, RMS) 표면 조도가 0.18로 측정되었고, 이는 평활한 SiO2의 표면 조도(~0.4nm)와 유사하다.3 (a), the weight loss of optically oriented PVCN under nitrogen atmosphere was less than 1 wt% and less than 5 wt% at 220 ° C and 285 ° C, respectively, and the optically oriented PVCN film was found to be in an annealing step It has good thermal stability to withstand the high temperature conditions of &lt; RTI ID = 0.0 &gt; 3 (b), the root mean square (RMS) surface roughness of photo-oriented PVCN was measured to be 0.18, which is similar to that of smooth SiO 2 (~ 0.4 nm) .

한편, 상기 PVCN 필름의 표면장력은 물 및 디아이오도메탄의 접촉각으로 측정될 수 있는데, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.On the other hand, the surface tension of the PVCN film can be measured by the contact angle of water and diiodomethane, and the results are shown in Table 1 below.

구분division 접촉각 (°)Contact angle (°) 표면에너지
(mN/m)
Surface energy
(mN / m)
표면조도
RMS (nm)
Surface roughness
RMS (nm)
water 디아이오도메탄Diiodomethane 미처리 PVCNUntreated PVCN 77.777.7 35.335.3 42.342.3 0.130.13 LPUV에 대해
수직 광배향 PVCN
About LPUV
Vertical photoinduced PVCN
77.777.7 35.335.3 42.342.3 0.180.18
LPUV에 대해
평행 광배향 PVCN
About LPUV
Parallel photo-oriented PVCN
77.977.9 35.735.7 42.242.2 0.140.14

상기 표 1을 참고하면, LPUV에 대해 수직 및 수평 광배향된 PVCN의 접촉각과 표면장력(표면에너지)은 거의 유사하므로, LPUV의 방향과 무관하게 광배향된 PVCN 필름이 쉽고 균일하게 제조될 수 있다.Referring to Table 1 above, the photo-aligned PVCN film can be easily and uniformly produced regardless of the direction of the LPUV, since the contact angle and the surface tension (surface energy) of the PVCN of the vertical and horizontal photo-aligned to the LPUV are almost similar .

MIM 커패시터 구조를 이용하여 상기 광배향된 PVCN 필름의 정전용량, 누설전류밀도, 및 항복전압(breakdown voltage)을 측정한 결과를 도 4에 나타내었다. 먼저, 도 4(a)를 참고하면, 1kHz에서 상기 광배향된 PVCN 필름의 정전용량 및 유전상수가 각각 7.6nF/cm2 및 3.35이고, 정전용량은 100Hz에서 1MHz까지 거의 변하지 않는데, 이는 필름 내에 이동성 불순물이 거의 존재하지 않음을 의미한다.FIG. 4 shows the results of measuring the electrostatic capacity, leakage current density, and breakdown voltage of the photo-oriented PVCN film using the MIM capacitor structure. First, referring to Figure 4 (a), and at 1kHz a capacitance and dielectric constant of the optical film respectively oriented PVCN 7.6nF / cm 2 and 3.35, the capacitance does not change substantially from 100Hz to 1MHz, in which the film It means that there is almost no mobile impurity.

도 4(b)를 참고하면, 상기 광배향된 PVCN 필름이 2.5MV/cm를 초과하는 항복전계(breakdown field)에서 10-7A/cm2을 초과하는 안정한 게이트 누설전류밀도를 가진다. 상기 광배향된 PVCN의 낮은 누설전류밀도와 높은 항복전압은 중합, 경화에 따른 가교 효과(crosslinking effect)에 따른 것으로 분석된다. 또한, 누설전류의 이동이 주로 불순물 또는 결함을 통해 발생하므로 누설전류밀도가 낮은 상기 광배향된 PVCN 필름은 유기박막 트랜지스터의 게이트절연층으로 적합하다.Referring to Fig. 4 (b), the optically oriented PVCN film has a stable gate leakage current density exceeding 10 -7 A / cm &lt; 2 &gt; in a breakdown field exceeding 2.5 MV / cm. The low leakage current density and high breakdown voltage of the optically oriented PVCN are analyzed to be due to the crosslinking effect due to polymerization and curing. In addition, since the migration of the leakage current mainly occurs through impurities or defects, the optically oriented PVCN film having a low leakage current density is suitable as a gate insulation layer of the organic thin film transistor.

상기 활성층이 티오펜계 고분자를 포함할 수 있고, 상기 티오펜계 고분자가 하기 화학식 1로 표시될 수 있다.The active layer may include a thiophene-based polymer, and the thiophene-based polymer may be represented by the following formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure 112017071632753-pat00013
Figure 112017071632753-pat00013

상기 식에서, R1 및 R2가 상호 독립적으로 C1 내지 C20 알킬기이고, X가

Figure 112017071632753-pat00014
,
Figure 112017071632753-pat00015
, 및
Figure 112017071632753-pat00016
로 이루어진 군에서 선택된 하나이고, n이 1 내지 10,000의 정수이다. 상기
Figure 112017071632753-pat00017
,
Figure 112017071632753-pat00018
, 및
Figure 112017071632753-pat00019
가 상기 화학식 1의 구조 내에서 C-C 결합을 형성하도록 포함될 수 있다. 즉, 상기 X 중 황(S)을 제외한 임의의 탄소가 상기 X의 양단에 위치한 작용기 치환된 티오펜 중 고리 부분에 위치한 임의의 탄소와 결합될 수 있다. 상기 화학식 1로 표시될 수 있는 티오펜계 고분자는, 예를 들어, 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)(이하, 'PBTTT')일 수 있다.Wherein R 1 and R 2 are, independently of one another, a Cl to C20 alkyl group, and X is
Figure 112017071632753-pat00014
,
Figure 112017071632753-pat00015
, And
Figure 112017071632753-pat00016
And n is an integer of 1 to 10,000. remind
Figure 112017071632753-pat00017
,
Figure 112017071632753-pat00018
, And
Figure 112017071632753-pat00019
May be included to form a CC bond within the structure of Formula 1 above. That is, any carbon other than the X sulfur (S) may be combined with any carbon located in the ring portion of the functional group substituted thiophene located at both ends of the X. The thiophene-based polymer represented by Formula 1 may be, for example, a poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2- , 'PBTTT').

상기 PBTTT는 HOMO 에너지 준위가 낮은 공기 중 안정한 p-형 유기 반도체로서, 주쇄가 견고하고 측쇄가 유연한 구조적 특성에 의해 120 내지 180℃에서 스멕틱 액정상을 가진다. 상기 PBTTT는 액정성 고분자이므로 상기 광배향된 PVCN 필름 상에서 일정한 배향성을 가질 수 있다.The PBTTT is a stable p-type organic semiconductor in the air having a low HOMO energy level, and has a Smectic liquid crystal phase at 120 to 180 ° C due to the structural characteristics of the main chain being rigid and the side chains being flexible. Since the PBTTT is a liquid crystalline polymer, it can have a uniform orientation on the optically oriented PVCN film.

구체적으로, 상기 광배향된 PVCN 필름은 활성층과 접촉하는 영역, 즉, 표면 영역에서 LPUV에 대해 수직 방향으로 더 균일한 배향성을 가질 수 있으므로, 이종의 액정성 고분자인 PBTTT를 LPUV에 대해 수직 방향으로 배향시킬 수 있다.Specifically, the optically oriented PVCN film can have a more uniform orientation in the direction perpendicular to the LPUV in the region in contact with the active layer, that is, the surface region, so that PBTTT, which is a kind of liquid crystalline polymer, .

상기 광배향된 PVCN 필름과의 접촉에 의해 상기 PBTTT에 부여된 수직 배향은 후술할 어닐링 공정에 의해 더 강화될 수 있다. 예를 들어, 상기 PBTTT의 2색비(dichroic ratio, A/A//)는 1.2 내지 1.5일 수 있고, 이는 상기 게이트절연층에 비해 상기 활성층에서 LPUV에 대해 수직 배향된 액정 분자가 더 우세하게 존재함을 의미한다.The vertical orientation imparted to the PBTTT by contact with the optically oriented PVCN film can be further enhanced by the annealing process described below. For example, the dichroic ratio (A / A // ) of the PBTTT may be 1.2 to 1.5 because liquid crystal molecules vertically aligned with respect to the LPUV in the active layer are more dominant than the gate insulating layer It means that it exists.

액정성Liquid crystal property 유기박막Organic thin film 트랜지스터의 제조방법 Method of manufacturing a transistor

또한, 본 발명의 다른 일 측면은 (a) 시나메이트계 및 티오펜계 고분자를 각각 제1 및 제2 용매에 용해시켜 제1 및 제2 용액을 제조하는 단계; (b) 게이트전극이 구비된 기판 상에 상기 제1 용액을 코팅하여 게이트절연층을 형성하는 단계; (c) 상기 게이트절연층에 직선 편광된 UV(Linear Polarized UV, 이하, 'LPUV')를 조사하여 상기 시나메이트계 고분자를 상기 UV에 대해 수직 광배향시키는 단계; (d) 광배향된 상기 게이트절연층 상에 상기 제2 용액을 코팅하여 활성층을 형성하는 단계; (e) 상기 활성층을 100 내지 300℃에서 어닐링하는 단계; 및 (f) 상기 활성층 상에 금을 증착시켜 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for preparing a polymer electrolyte membrane, comprising: (a) dissolving a cinnamate-based polymer and a thiophene-based polymer in a first solvent and a second solvent, respectively; (b) coating the first solution on a substrate provided with a gate electrode to form a gate insulating layer; (c) vertically aligning the cinnamate-based polymer with the UV by irradiating linearly polarized UV (hereinafter, referred to as LPUV) to the gate insulating layer; (d) coating the second solution on the photo-aligned gate insulating layer to form an active layer; (e) annealing the active layer at 100 to 300 캜; And (f) depositing gold on the active layer to form a source electrode and a drain electrode.

상기 시나메이트계 및 티오펜계 고분자의 종류와 이로부터 각각 형성된 상기 게이트절연층과 활성층의 성질, 및 상기 게이트절연층과 활성층의 접촉, 결합에 따른 작용효과에 관해서는 전술한 것과 같다.The nature of the cinnamate- and thiophene-based polymer and the properties of the gate insulating layer and the active layer formed therefrom, and the action and effect of the contact and bonding between the gate insulating layer and the active layer are as described above.

상기 (a) 단계에서 시나메이트계 및 티오펜계 고분자 각각을 제1 및 제2 용매에 용해시켜 일정 농도를 가지는 제1 및 제2 용액을 제조할 수 있다. 상기 제1 및 제2 용매가 각각 상호 독립적으로 클로로에탄, 디클로로에탄, 클로로벤젠, 디클로로벤젠, 및 트리클로로벤젠으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상일 수 있다. 상기 제1 및 제2 용매는 각각 혼합 또는 단일 용매로서 동종의 것일 수 있고, 필요에 따라 이종의 것일 수도 있다. 예를 들어, 상기 제1 용매가 1,2-디클로로에탄 및 클로로벤젠이 각각 1 : 1로 혼합된 것일 수 있고, 상기 제2 용매가 1,2-디클로로벤젠일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 제1 및 제2 용액의 농도는 각각 1 내지 10중량%, 및 5 내지 20mg/mL일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In the step (a), each of the cinnamate-based and thiophene-based polymers may be dissolved in the first and second solvents to prepare first and second solutions having a certain concentration. The first and second solvents may each independently be at least one selected from the group consisting of chloroethane, dichloroethane, chlorobenzene, dichlorobenzene, and trichlorobenzene. The first and second solvents may be homogeneous as a mixture or a single solvent, respectively, and may be heterogeneous as necessary. For example, the first solvent may be a 1: 1 mixture of 1,2-dichloroethane and chlorobenzene, and the second solvent may be 1,2-dichlorobenzene, but the present invention is not limited thereto. Also, the concentration of the first and second solutions may be 1 to 10 wt% and 5 to 20 mg / mL, respectively, but is not limited thereto.

상기 (b) 단계에서 게이트전극이 구비된 기판 상에 상기 제1 용액을 코팅하여 게이트절연층을 형성할 수 있다. 유기박막 트랜지스터의 생산성을 고려하면, 상기 코팅이 스핀 코팅에 의해 수행될 수 있다. 또한, 상기 제1 용액은 다량의 용매를 포함하므로 상기 코팅이 종료된 후 일정 온도 하에서 일정 시간 동안 건조하여 이를 증발, 제거할 수 있다.In the step (b), the first solution may be coated on a substrate having a gate electrode to form a gate insulating layer. Considering the productivity of the organic thin film transistor, the coating can be performed by spin coating. Also, since the first solution contains a large amount of solvent, it may be evaporated and removed by drying for a predetermined time at a predetermined temperature after the coating is completed.

상기 (c) 단계에서 상기 게이트절연층에 LPUV를 조사하여 상기 시나메이트계 고분자를 상기 LPUV에 대해 수직 광배향시킬 수 있다. 이 때, 상기 LPUV의 세기가 5 내지 50J/cm2, 바람직하게는 10 내지 30J/cm2일 수 있다. 상기 LUPV의 세기가 5J/cm2 미만이면 상기 시나메이트계 고분자의 광배향을 충분히 유도할 수 없고, 50J/cm2 초과이면 상기 시나메이트계 고분자가 불균일하게 광배향되거나 고분자의 결정성이 손상될 수 있다.In the step (c), LPUV may be irradiated to the gate insulating layer to vertically align the cinnamate-based polymer to the LPUV. At this time, the intensity of the LPUV is 5 to 50J / cm 2, preferably can be from 10 to 30J / cm 2. If the intensity of the LUPV is less than 5 J / cm 2, the photo-alignment of the cinnamate-based polymer can not be sufficiently induced. If the intensity of the LUPV exceeds 50 J / cm 2, the cinnamate-based polymer may be ununiformly photo- .

상기 (d) 단계에서 광배향된 상기 게이트절연층 상에 상기 제2 용액을 코팅하여 활성층을 형성할 수 있다. 상기 (b) 단계에서와 같이, 상기 코팅을 스핀 코팅 방식으로 수행하여 유기박막 트랜지스터의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 제2 용액은 다량의 용매를 포함하므로 상기 코팅이 종료된 후 일정 온도 하에서 일정 시간 동안 건조하여 이를 증발, 제거할 수 있다. 상기 (b) 및 (d) 단계에서의 건조 조건은 상기 제1 및 제2 용액의 농도와 이들 각각에 포함된 용매의 종류에 따라 동일하거나 상이하게 설정될 수 있다.The active layer may be formed by coating the second solution on the photo-aligned gate insulating layer in the step (d). As in the step (b), the coating may be performed by spin coating to improve the productivity of the organic thin film transistor. In addition, since the second solution contains a large amount of solvent, it may be dried for a predetermined time at a predetermined temperature after evaporating and removing the coating. The drying conditions in steps (b) and (d) may be set to the same or different depending on the concentrations of the first and second solutions and the types of the solvents contained in the first and second solutions.

상기 (e) 단계에서 상기 활성층을 100 내지 300℃, 바람직하게는 150 내지 250℃에서 어닐링하여 상기 활성층을 이루는 티오펜계 고분자의 상기 LPUV에 대한 수직 광배향성을 더 강화할 수 있다. 상기 어닐링 온도가 100℃ 미만이면 상기 티오펜계 고분자의 2색비(dichroic ratio, A/A//)를 1.2 내지 1.5의 범위로 조절할 수 없고, 300℃ 초과이면 상기 게이트 절연층을 이루는 상기 시나메이트계 고분자가 열 분해되어 유기박막 트랜지스터의 구조가 불안정해질 수 있다.In the step (e), the active layer may be annealed at 100 to 300 ° C, preferably 150 to 250 ° C, to further enhance the vertical optical orientation of the thiophene-based polymer constituting the active layer to the LPUV. If the annealing temperature is less than 100 ° C., the dichroic ratio (A / A // ) of the thiophene polymer can not be controlled within the range of 1.2 to 1.5. If the annealing temperature is higher than 300 ° C., The structure of the organic thin film transistor may become unstable due to thermal decomposition of the mate polymer.

상기 (f) 단계에서 상기 활성층 상에 섀도 마스크를 통해 금을 증착시켜 소스 전극 및 드레인 전극을 형성할 수 있다. 이 때, 상기 금의 증착 속도 및 시간을 0.1 내지 5ÅA/s로 조절하여 상기 전극의 두께를 10 내지 100nm로 조절할 수 있고, 상기 섀도 마스크의 형상을 통해 채널 길이, 채널 폭, 및 채널 방향을 다변화할 수 있다.In step (f), gold may be deposited on the active layer through a shadow mask to form a source electrode and a drain electrode. At this time, the deposition rate and time of the gold can be adjusted to 0.1 to 5 Å / s to control the thickness of the electrode to 10 to 100 nm, and the channel length, channel width, and channel direction can be diversified through the shape of the shadow mask can do.

실시예Example

n-형 실리콘 저면게이트(bottom-gate) 기판을 아세톤, 에탄올, 및 탈이온수로 순차적으로 10분 간 세척하였다. 중량평균분자량이 230,000인 폴리비닐시나메이트(이하, 'PVCN')를 1,2-디클로로에탄 및 클로로벤젠이 각각 1 : 1로 혼합된 용매에 용해시켜 5중량%의 PVCN 용액을 제조하였다. 상기 기판 상에 상기 PVCN 용액을 3,000rpm으로 60초 간 400nm 두께로 스핀 코팅한 후, 80℃에서 1시간 동안 건조시켜 잔여 용매를 제거하였다.The n-type silicon bottom-gate substrate was sequentially cleaned with acetone, ethanol, and deionized water for 10 minutes. Polyvinyl cinnamate (hereinafter referred to as 'PVCN') having a weight average molecular weight of 230,000 was dissolved in a solvent in which 1,2-dichloroethane and chlorobenzene were mixed at a ratio of 1: 1 to prepare a 5% by weight PVCN solution. The PVCN solution was spin-coated on the substrate to a thickness of 400 nm at 3,000 rpm for 60 seconds and then dried at 80 ° C for 1 hour to remove residual solvent.

1.1kW 중압수은 UV램프에서 발생한 UV를 글랜-테일러 편광기(Glan-Taylor polarizer)를 이용하여 직선 편광시켜 15J/cm2 세기로 PVCN 필름 상에 조사함으로써 PVCN의 광배향을 유도하였다. 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)(이하, 'PBTTT')을 1,2-디클로로벤젠에 용해시켜 10mg/mL 농도의 용액을 제조하였고, 이를 광배향된 PVCN 필름 상에 2,000rpm으로 60초 간 스핀 코팅한 다음, 110℃에서 30분 간 건조시켰다. 이후, 아르곤 기체 분위기, 180℃ 하에서 30분 간 어닐링하여 PBTTT의 단축 배향(uniaxial alignment)을 유도하였다.The optical orientation of PVCN was induced by irradiating UVN from a 1.1 kW medium pressure mercury UV lamp onto a PVCN film at a linear intensity of 15 J / cm 2 using a Glan-Taylor polarizer using a Glan-Taylor polarizer. (Hereinafter abbreviated as 'PBTTT') was dissolved in 1,2-dichlorobenzene to prepare a solution of 10 mg / mL of poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [ , Which was spin-coated on photo-oriented PVCN film at 2,000 rpm for 60 seconds and then dried at 110 ° C for 30 minutes. Thereafter, the uniaxial alignment of PBTTT was induced by annealing in an argon gas atmosphere at 180 ° C for 30 minutes.

단축 배향된 PBTTT 필름 상에 섀도 마스크를 통해 금을 1ÅA/s의 속도로 증착시켜 50nm 두께의 소스 및 드레인 전극을 형성(채널 길이: 20~100㎛, 채널 폭: 0.5~1mm, 채널 방향: LPUV에 대해 수직)함으로써 액정성 유기박막 트랜지스터를 완성하였다.Gold was deposited on the monoaxially oriented PBTTT film through a shadow mask at a rate of 1 A / s to form source and drain electrodes of 50 nm thickness (channel length: 20 to 100 탆, channel width: 0.5 to 1 mm, channel direction: LPUV , Thereby completing the liquid crystalline organic thin film transistor.

비교예Comparative Example 1 One

PBTTT 필름을 어닐링하지 않은 것을 제외하면, 상기 실시예와 동일한 방법으로 액정성 유기박막 트랜지스터를 완성하였다.A liquid crystalline organic thin film transistor was completed in the same manner as in the above example except that the PBTTT film was not annealed.

비교예Comparative Example 2 2

UV를 편광시키지 않고 PVCN 필름 상에 조사한 것을 제외하면, 상기 실시예와 동일한 방법으로 액정성 유기박막 트랜지스터를 완성하였다.A liquid crystalline organic thin film transistor was completed in the same manner as in the above example, except that UVN was irradiated on the PVCN film without polarizing.

비교예Comparative Example 3 3

채널 방향이 LPUV에 대해 평행하도록 소스 및 드레인 전극을 형성한 것을 제외하면, 상기 실시예와 동일한 방법으로 액정성 유기박막 트랜지스터를 완성하였다.Liquid crystal organic thin film transistors were completed in the same manner as in the above example except that source and drain electrodes were formed so that the channel direction was parallel to the LPUV.

실험예Experimental Example 1:  One: PBTTT의PBTTT 배향 특성 평가 Evaluation of orientation property

상기 실시예 및 비교예 1의 PBTTT 필름의 배향 특성을 평가하기 위해 UV/Vis/NIR 스펙트로미터(Jasco V-570)를 사용하여 각각에 대한 UV/Vis 스펙트럼을 얻었다. 도 5는 본 발명의 일 실시예 및 비교예에 따른 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)의 UV/Vis 스펙트럼을 나타낸다.UV / Vis spectra were obtained for each of the PBTTT films of Examples and Comparative Example 1 using a UV / Vis / NIR spectrometer (Jasco V-570). Figure 5 shows the UV / Vis spectra of poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene) according to one embodiment of the invention and comparative example .

도 5를 참고하면, PBTTT의 π-π 전이에 의해 400nm 내지 630nm의 파장 영역에서 흡수 밴드가 나타나며, 어닐링 여부에 관계없이 모두 2색성(dichroism)을 가진다. 특히, 도 5(b)를 참고하면, 상기 실시예 1의 PBTTT 필름은 530nm에서 1.36의 2색비(dichroic ratio, A/A//)를 가지는 것으로 나타나, 비교예 1에 비해 수직 배향된 PBTTT가 상대적으로 우세하였다. 이를 통해, LPUV에 대해 수직 배향된 PVCN이 그 상부에 코팅된 PBTTT의 수직 배향을 유도하였고, 일정 온도 조건 하에서 수행된 어닐링 공정이 이러한 PBTTT의 수직 배향을 강화하였음을 알 수 있다.Referring to FIG. 5, absorption bands appear in a wavelength range of 400 nm to 630 nm due to? -Π transfer of PBTTT, and all have dichroism irrespective of annealing. In particular, Referring to FIG. 5 (b), the first embodiment of the PBTTT film is shown as having a dichroic ratio (dichroic ratio, A ⊥ / A //) of 1.36 at 530nm, compared to Comparative Example 1, the vertically aligned PBTTT Was relatively dominant. Through this, it can be seen that the vertically oriented PVCN for the LPUV induced the vertical orientation of the PBTTT coated thereon, and the annealing process performed under the constant temperature condition enhanced the vertical orientation of the PBTTT.

실험예Experimental Example 2:  2: 유기박막Organic thin film 트랜지스터의 성능 평가 Evaluation of transistor performance

상기 실시예 및 비교예 2, 3의 유기박막 트랜지스터의 이방성 전달 특성(transfer characteristic)을 측정하여 그 결과를 도 6과 하기 표 2에 나타내었다.The anisotropic transfer characteristics of the organic thin film transistors of Examples and Comparative Examples 2 and 3 were measured. The results are shown in FIG. 6 and Table 2 below.

구분division 이동도 (cm2·V-1·s-1)Mobility (cm 2 · V -1 · s -1 ) Ion/Ioff I on / I off Vth (V)V th (V) 실시예Example 0.0250.025 2.1E+032.1E + 03 2.902.90 비교예 2Comparative Example 2 0.0130.013 1.8E+031.8E + 03 -0.18-0.18 비교예 3Comparative Example 3 0.0080.008 1.6E+031.6E + 03 2.792.79

먼저, 도 6(b), 6(c)를 참고하면, 비교예 3의 경우 전계효과 이동도(field effect mobility), 온/오프 전류비(Ion/Ioff), 및 임계 전압(threshold voltage, Vth) 각각 0.008cm2/Vs, 1.6*103, 및 2.79V인 반면에, 실시예의 경우 각각 0.025cm2/Vs, 2.1*103, 및 2.90V로 나타나, 실시예의 전하이동도와 구동 효율이 상대적으로 우수하였다.Referring to FIGS. 6 (b) and 6 (c), the field effect mobility, the on / off current ratio I on / I off , and the threshold voltage , V th ) of 0.008 cm 2 / Vs, 1.6 * 10 3 and 2.79 V, respectively, while in the case of the embodiment, 0.025 cm 2 / Vs, 2.1 * 10 3 and 2.90 V, respectively, The efficiency was relatively good.

*상기 표 2에 기재된 값은 상기 실시예 및 비교예 2, 3의 유기박막 트랜지스터를 각각 36개씩 동일한 방법으로 제조하여 그에 대한 이방성 전달 특성을 측정한 평균 값을 가리킨다. 상기 표 2를 참고하면, 실시예의 경우 전계효과 이동도가 0.025cm2/Vs로서, 비교예 3의 0.008cm2/Vs에 비해 약 3배 높았고, 비교예 2의 0.013cm2/Vs에 비해서도 약 2배 높았다. 이는 PBTTT의 주쇄의 배향 방향에 대해 수직 방향으로의 전하이동이 강화된 반면에, 평행 방향으로의 전하이동은 억제되었기 때문인 것으로 분석된다.The values shown in Table 2 indicate average values obtained by measuring the anisotropic transfer characteristics of the organic thin film transistors manufactured in the above example and comparative examples 2 and 3 by the same method for each of the 36 organic thin film transistors. Bihaeseodo to Referring to Table 2, the embodiment as a field effect mobility is 0.025cm 2 / Vs, in Comparative Example 3 of 0.013cm 2 / Vs of 0.008cm Comparative Example 2, about 3 times higher than the 2 / Vs about 2 times higher. It is analyzed that the charge transfer in the direction perpendicular to the alignment direction of the main chain of PBTTT is enhanced, while the charge transfer in the parallel direction is suppressed.

이와 같이, 광배향된 PVCN 필름은 그 상부에 위치하는 PBTTT 분자의 배향성을 향상시킬 수 있다. 유전성 표면으로 부적합한 스크래치를 가지는 러빙된 폴리이미드 표면과 달리, 광배향된 PVCN 필름은 표면배향층의 기능 뿐만 아니라 게이트절연층의 기능도 수행할 수 있다. 또한, 상기 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조 간 수반되는 광배향, 코팅, 및 어닐링 조건을 조절, 최적화함으로써 유기박막 트랜지스터의 전기적 성능을 더 향상시킬 수 있다.Thus, the optically oriented PVCN film can improve the orientation of the PBTTT molecules located thereon. Unlike the rubbed polyimide surface with scratches that are unsuitable for dielectric surfaces, the optically oriented PVCN film can also function as a gate insulating layer as well as a function of the surface orientation layer. Further, the electrical performance of the organic thin film transistor can be further improved by adjusting and optimizing the optical alignment, coating, and annealing conditions during the manufacture of the liquid crystal organic thin film transistor.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

Claims (12)

기판, 게이트전극, 게이트절연층, 활성층, 및 전극물질층을 순차적으로 포함하는 액정성 유기박막 트랜지스터에 있어서,
상기 활성층이 상기 게이트절연층 상에만 형성되고,
상기 전극물질층 및 상기 게이트절연층이 상기 활성층에 의해 상호 이격되고,
상기 게이트절연층이 직선 편광된 UV에 대해 수직 광배향된 시나메이트계 고분자를 포함하고,
상기 활성층이 상기 직선 편광된 UV에 대해 수직 배향된 티오펜계 고분자를 포함하고,
상기 활성층의 2색비(dichloric ratio)가 1.2 내지 1.5이고,
상기 활성층에서 상기 티오펜계 고분자가 단축 배향(uniaxial alignment)되고,
상기 전극물질층이 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고,
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이의 채널 방향이 상기 직선 편광된 UV에 대해 수직인 액정성 유기박막 트랜지스터.
A liquid crystal organic thin film transistor comprising a substrate, a gate electrode, a gate insulating layer, an active layer, and an electrode material layer sequentially,
The active layer is formed only on the gate insulating layer,
The electrode material layer and the gate insulating layer are spaced apart from each other by the active layer,
Wherein the gate insulating layer comprises a cinnamate-based polymer vertically photo-aligned with respect to linearly polarized UV,
Wherein the active layer comprises a thiophene polymer vertically oriented with respect to the linearly polarized UV,
Wherein the active layer has a dichloric ratio of 1.2 to 1.5,
The thiophene-based polymer is uniaxial aligned in the active layer,
Wherein the electrode material layer includes a source electrode and a drain electrode,
And a channel direction between the source electrode and the drain electrode is perpendicular to the linearly polarized UV.
제1항에 있어서,
상기 티오펜계 고분자가 하기 화학식 1로 표시되는 액정성 유기박막 트랜지스터:
<화학식 1>
Figure 112017071632753-pat00020

상기 식에서,
R1 및 R2가 상호 독립적으로 C1 내지 C20 알킬기이고,
X가
Figure 112017071632753-pat00021
,
Figure 112017071632753-pat00022
, 및
Figure 112017071632753-pat00023
로 이루어진 군에서 선택된 하나이고,
n이 1 내지 10,000의 정수이다.
The method according to claim 1,
Wherein the thiophene-based polymer is represented by the following Formula 1:
&Lt; Formula 1 >
Figure 112017071632753-pat00020

In this formula,
R 1 and R 2 are, independently of one another, a Cl to C20 alkyl group,
X is
Figure 112017071632753-pat00021
,
Figure 112017071632753-pat00022
, And
Figure 112017071632753-pat00023
, &Lt; / RTI &gt;
and n is an integer of 1 to 10,000.
제2항에 있어서,
상기 티오펜계 고분자가 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)인 액정성 유기박막 트랜지스터.
3. The method of claim 2,
Wherein the thiophene-based polymer is poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene).
제1항에 있어서,
상기 시나메이트계 고분자가 폴리비닐시나메이트, 폴리비닐메톡시시나메이트, 폴리비닐불화시나메이트, 및 폴리실록산시나메이트로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 액정성 유기박막 트랜지스터.
The method according to claim 1,
Wherein the cinnamate-based polymer is at least one selected from the group consisting of polyvinylcinnamate, polyvinylmethoxycinnamate, polyvinylfluorinated cinnamate, and polysiloxane cinnamate.
제4항에 있어서,
상기 시나메이트계 고분자가 폴리비닐시나메이트인 액정성 유기박막 트랜지스터.
5. The method of claim 4,
Wherein the cinnamate-based polymer is polyvinyl cinnamate.
제5항에 있어서,
상기 폴리비닐시나메이트의 중량평균분자량(Mw)이 50,000 내지 500,000인 액정성 유기박막 트랜지스터.
6. The method of claim 5,
Wherein the polyvinyl cinnamate has a weight average molecular weight (Mw) of 50,000 to 500,000.
(a) 시나메이트계 및 티오펜계 고분자를 각각 제1 및 제2 용매에 용해시켜 제1 및 제2 용액을 제조하는 단계;
(b) 게이트전극이 구비된 기판 상에 상기 제1 용액을 코팅하여 게이트절연층을 형성하는 단계;
(c) 상기 게이트절연층에 직선 편광된 UV를 조사하여 상기 시나메이트계 고분자를 상기 UV에 대해 수직 광배향시키는 단계;
(d) 광배향된 상기 게이트절연층 상에 상기 제2 용액을 코팅하여 활성층을 형성하는 단계;
(e) 상기 활성층을 100 내지 300℃에서 어닐링하여 상기 활성층의 2색비(dichloric ratio)를 1.2 내지 1.5로 조절하고, 상기 티오펜계 고분자를 단축 배향(uniaxial alignment)시키는 단계; 및
(f) 상기 활성층 상에 금을 증착시켜 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 활성층에서 상기 티오펜계 고분자가 상기 UV에 대해 수직 배향되고,
상기 활성층이 상기 게이트절연층 상에만 형성되고,
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극이 상기 활성층에 의해 상기 게이트절연층과 상호 이격되고,
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이의 채널 방향이 상기 직선 편광된 UV에 대해 수직인 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법.
(a) dissolving cinnamate- and thiophene-based polymers in a first solvent and a second solvent, respectively, to prepare first and second solutions;
(b) coating the first solution on a substrate provided with a gate electrode to form a gate insulating layer;
(c) vertically aligning the cinnamate-based polymer to the UV by irradiating the gate insulating layer with linearly polarized UV light;
(d) coating the second solution on the photo-aligned gate insulating layer to form an active layer;
(e) annealing the active layer at 100 to 300 캜 to adjust the dichloric ratio of the active layer to 1.2 to 1.5 and uniaxial alignment of the thiophene polymer; And
(f) depositing gold on the active layer to form a source electrode and a drain electrode,
Wherein the thiophene-based polymer in the active layer is vertically oriented with respect to the UV,
The active layer is formed only on the gate insulating layer,
The source electrode and the drain electrode are spaced apart from each other by the active layer,
And a channel direction between the source electrode and the drain electrode is perpendicular to the linearly polarized UV.
제7항에 있어서,
상기 티오펜계 고분자가 하기 화학식 1로 표시되는 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법:
<화학식 1>
Figure 112017071632753-pat00024

상기 식에서,
R1 및 R2가 상호 독립적으로 C1 내지 C20 알킬기이고,
X가
Figure 112017071632753-pat00025
,
Figure 112017071632753-pat00026
, 및
Figure 112017071632753-pat00027
로 이루어진 군에서 선택된 하나이고,
N이 1 내지 10,000의 정수이다.
8. The method of claim 7,
Wherein the thiophene-based polymer is represented by the following Formula 1:
&Lt; Formula 1 >
Figure 112017071632753-pat00024

In this formula,
R 1 and R 2 are, independently of one another, a Cl to C20 alkyl group,
X is
Figure 112017071632753-pat00025
,
Figure 112017071632753-pat00026
, And
Figure 112017071632753-pat00027
, &Lt; / RTI &gt;
And N is an integer of 1 to 10,000.
제8항에 있어서,
상기 티오펜계 고분자가 폴리(2,5-비스(3-도데실티오펜-2-일)티에노[3,2-b]티오펜)인 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the thiophene-based polymer is poly (2,5-bis (3-dodecylthiophen-2-yl) thieno [3,2-b] thiophene).
제7항에 있어서,
상기 제1 및 제2 용매가 각각 상호 독립적으로 클로로에탄, 디클로로에탄, 클로로벤젠, 디클로로벤젠, 및 트리클로로벤젠으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the first and second solvents are independently at least one selected from the group consisting of chloroethane, dichloroethane, chlorobenzene, dichlorobenzene, and trichlorobenzene.
제7항에 있어서,
상기 (b) 및 (d) 단계에서 상기 코팅이 스핀 코팅에 의해 수행되는 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the coating is performed by spin coating in the steps (b) and (d).
제7항에 있어서,
상기 (c) 단계에서 상기 직선 편광된 UV의 세기가 5 내지 50J/cm2인 액정성 유기박막 트랜지스터의 제조방법.
8. The method of claim 7,
And the intensity of the linearly polarized UV in step (c) is 5 to 50 J / cm 2 .
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