KR101852071B1 - 전자기파 필터를 위한 메타물질 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전자기파 필터를 위한 메타물질로서, 기판; 및 상기 기판 상에 배치되는 필름을 포함하되, 상기 필름은, 상기 필름에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율이 제어되도록, 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 슬롯들의 집합이 음각 패터닝 되거나 또는 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 구조물들의 집합이 양각 패터닝 되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 메타물질에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 전자기파 필터의 소자로서, 입사하는 전자기파의 편광 상태에 영향을 받지 않는 메타물질에 관한 것이다.
일반적으로, 전자기파 필터는 투과 및 반사 효율을 극대화하기 위하여 단방향으로 배열된 슬롯들로 구성된 메타물질을 이용하였다. 그러나, 메타물질의 이러한 구조는 메타물질에 입사하는 전자기파의 편광 및 메타물질의 회전각, 즉, 단방향으로 배열된 슬롯들의 회전각에 대하여 전자기파의 투과 효율이 말러스 법칙(Malus' law)을 따라 급격히 감소한다. 도 1을 참조하면, x축은 전자기파의 주파수, y축은 전자기파 투과효율, 및 z축은 메타물질을 구성하는 슬롯의 회전각을 나타내는 그래프로서, 단방향으로 배열된 슬롯들로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터는 슬롯들의 회전각에 따라 180도를 주기로 하여 투과효율이 변하는 것을 볼 수 있다.
미국등록특허 제8,710,444호에서 제시되는 슬롯 구조의 메타물질은 강한 전자기파 증폭 효과를 기대할 수 있으며 이를 통해 극미량 물질 센싱과 같은 응용을 기대할 수 있으나, 이와 같은 구조 또한 메타물질의 회전각 및 전자기파의 입사 편광에 따라 투과 효율이 크게 변하게 되므로, 센서로 사용할 시, 샘플의 투과율 측정에 있어서 오차가 발생하게 되는 문제가 여전히 있다.
즉, 극미량의 물질을 검출하는 등의 정밀한 측정이 요구되는 조건에서는 메타물질의 배치와 실험 환경으로부터 오차가 발생할 수 있어 주의가 요구되고, 또한, 이러한 전자기파 반응 효율의 변화는 검출 대상 물질에 의해 발생하는 광특성 변화와 구분이 어렵기 때문에 고민감도 분자 검출 및 정밀 측정에 있어서 치명적인 약점이 될 수 있다. 따라서 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 배치 및 회전에 의한 전자기파의 투과 특성이 변하지 않는 메타물질이 요구된다.
Polarization-dependent transmission through subwavelength anisotropic aperture arrays, Jeffrey R. DiMaio and John Ballato, Optics Express, vol. 14, 6, 2006
본 발명의 목적은 입사하는 전자기파의 편광 및 메타물질의 회전각에 영향을 받지 않는 전자기파 필터를 위하여, 전자기파의 편광 방향의 변화에 따른 투과 및 반사 효율의 변화를 억제하는 구조로 형성된 메타물질을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은, 전자기파 필터를 위한 메타물질로서, 기판; 및 상기 기판 상에 배치되는 필름을 포함하되, 상기 필름은, 상기 필름에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율이 제어되도록, 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 슬롯들의 집합이 음각 패터닝 되거나 또는 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 구조물들의 집합이 양각 패터닝 된다.
바람직하게, 상기 슬롯들 또는 구조물들은, 상기 필름에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율 및 반사율이 상기 필름의 회전에 대하여 일정한 값을 가지도록, 배열되는 각도가 결정될 수 있다.
바람직하게, 상기 슬롯들 또는 구조물들은 수직방향을 기준으로 O도, 120도, 및 240도의 각도를 가지고 배열된 벌집구조 패턴을 형성할 수 있다.
바람직하게, 상기 슬롯들 또는 구조물들은 5각형과 6각형으로 배열된 엽록체분자구조 패턴을 형성할 수 있다.
바람직하게, 상기 기판은 석영, 실리콘, 사파이어, 또는 유리로 구성될 수 있다.
바람직하게, 상기 필름은 금, 은, 구리, 또는 알루미늄으로 구성될 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명에 의하면, 전자기파 필터를 구성하는 메타물질의 슬롯 근처에서 국소적으로 유도되는 전자기파 증폭을 이용해 고민감도 센싱에 이용할 수 있는 효과가 있고, 메타물질의 회전각에 따른 전자기파 투과 효율의 변화를 억제하여 전자기파 필터를 이용한 실험 또는 측정에서 발생할 수 있는 오차를 최소화 하여 극미량의 물질 검출의 효용성을 극대화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 메타물질을 구성하는 슬롯들의 길이를 나노미터~마이크로미터 수준으로 조정하여, 넓은 영역에서 주파수 특성을 변화시킬 수 있고 슬롯의 폭에 따라 전자기파의 증폭비를 조정할 수 있기 때문에 목적에 맞춘 설계를 통해 다양한 응용 가능성을 가질 수 있는 효과가 있다. 특히 전자기파의 증폭에 의해 유도되는 양자역학적 흡수단면적 증가 현상을 통해 기존 분광분석에 비해서 민감도를 높은 수준으로 증가시킬 수 있으므로, 메타물질을 검출하고자 하는 물질의 공명주파수에 최적화된 슬롯들로 구성하여 극미량의 물질 검출 및 분석을 위한 소자로 응용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 단방향으로 배열된 슬롯들의 구조에서 발생되는 강한 전자기파 증폭 효과를 바탕으로 하는 고민감도 극미량 물질 센싱칩에서 기존 구조의 단점 중 하나인 측정 오차를 미연에 방지하여, 측정 시료에 대한 특성 변화만을 정확하게 광학적으로 검출할 수 있으므로 다양한 응용 분야에 적용 가능한 효과가 있다.
도 1은 단방향으로 배열된 메타물질의 회전에 따른 전자기파의 투과 스펙트럼 변화를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 메타물질에 대한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이다.
도 5는 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 스펙트럼을 나타내는 도면이다.
도 6은 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 효율 변화를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 메타물질에 대한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이다.
도 5는 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 스펙트럼을 나타내는 도면이다.
도 6은 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 효율 변화를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함한다(comprises)" 및/또는 “포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 메타물질에 대한 단면도이다.
도 2의 (a)를 참조하면, 전자기파 필터의 소자에 해당하는 메타물질(210)은 필름(211) 및 기판(212)으로 구성된다. 여기에서, 메타물질(210)은 슬롯이 음각 형태로 남은 필름(211)이 기판(212) 상에 올라간 구조 자체를 의미한다.
바람직하게, 필름(211)은 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 슬롯들의 집합이 음각 패터닝 되어 기판(212) 상에 배치되고, 필름(211)은 금, 은, 구리, 또는 알루미늄으로 구성될 수 있다. 바람직하게, 기판(212)은 석영, 실리콘, 사파이어, 또는 유리로 구성될 수 있다.
또는, 도 2의 (b)를 참조하면, 전자기파 필터의 소자에 해당하는 메타물질(220)은 필름(221) 및 기판(222)으로 구성되되, 양각으로 구조만 남은 필름(221)이 기판(222) 상에 올라간 구조에 해당할 수도 있다.
바람직하게, 필름(221)은 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 구조물들의 집합이 양각 패터닝 되어 기판(222) 상에 배치되고, 필름(222)은 금, 은, 구리, 또는 알루미늄으로 구성될 수 있다. 바람직하게, 기판(222)은 석영, 실리콘, 사파이어, 또는 유리로 구성될 수 있다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 전자기파 필터를 위한 메타물질(210 및 220)에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
본 발명은 전자기파 필터의 소자에 해당하는 메타물질에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 메타물질은 입사하는 전자기파의 편광 방향에 영향을 받지 않고 입사된 전자기파가 일정 수준으로 투과되도록 하는 것으로서, 메타물질을 구성하는 슬롯들 및 구조물들의 배열에 특징이 있다.
즉, 단방향으로 배열된 슬롯들로 구성된 메타물질은 그 회전각 및 입사하는 전자기파의 편광 방향에 따라 투과율이 말러스 법칙에 따라 급격히 감소하는 반면, 본 발명에 따른 회전대칭적인 특정 패턴으로 슬롯들 및 구조물들이 배열된 메타물질은 그 회전각 및 입사하는 전자기파의 편광 방향에 영향을 받지 않고 투과율이 유지될 수 있다.
또한, 이러한 메타물질은 슬롯들 및 구조물들의 표면에서 발생하는 국소적인 전자기파 증폭 현상을 활용하여 다양한 광학적 응용이 가능하며, 이를 통하여 다양한 소자 개발이 가능할 수 있다. 구체적으로, 본 발명에 따른 메타물질은 전자기파에 의해 유도되는 바나듐산화물(VO2)의 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition) 현상을 이용한 광 변조기(Optical modulator)에 활용될 수 있고, 광 세기 증가에 따른 비선형 광학현상을 신장(Boost nonlinear optical process)하는데 활용될 수 있고, 흡수단면적 증가와 목표 물질에 대한 최적화를 통해 고민감도 및 고선택성 센서 소자 구현으로 극미량의 물질을 검출하는데 활용될 수 있다.
본 발명의 메타물질(210 및 220)은 필름(211 및 222)이 특정 패턴을 형성하는 직사각형 모양의 슬롯들 또는 구조물들의 집합으로 음각 또는 양각으로 패터닝 되어 기판(212 및 221) 위에 배치되도록 구성될 수 있고, 이하에서는, 필름(211)에 회전대칭적인 특정 패턴으로 형성된 슬롯들의 집합을 중심으로 설명한다. 여기에서, 필름(221)이 특정 패턴으로 형성된 구조물들의 집합으로 기판(222) 상에 배치된 경우에도 이하의 슬롯에 대한 설명이 동일하게 적용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 형성된 패턴을 나타내는 도면이다.
도 3 및 도 4에 도시된 메타물질은 필름(211)에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율이 제어되도록, 즉, 필름(211)에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율 및 반사율이 필름(211)의 회전에 대하여 일정한 값을 가지도록, 메타물질을 구성하는 직사각형 모양의 각 슬롯이 배열되는 각도가 결정될 수 있다.
일 실시예에서, 도 3을 참조하면, 직사각형 모양의 각 슬롯(slot)은 수직방향을 기준으로 O도, 120도, 및 240도의 각도(ø)를 가지고 배열된 벌집구조 패턴으로 형성될 수 있다. 다른 실시예에서, 도 4를 참조하면, 직사각형 모양의 각 슬롯은 5각형과 6각형으로 배열된, 즉, 특정 각도(ø)로 배열된 엽록체분자구조 패턴으로 형성될 수 있다.
바람직하게, 도 3 및 도 4에 도시된 패턴은 모두 회전대칭적인 패턴으로서, 도 3 및 도 4에 도시된 패턴의 실시예 이외에도 다양한 회전대칭적인 패턴이 본 발명에 따른 메타물질에 적용될 수 있다. 여기에서, 슬롯이 음각으로 패터닝 되는 경우, 기판(212) 상에 올려진 필름(211)에 슬롯(구멍)이 형성될 수 있고, 구조물 형태로 양각 패터닝 되는 경우에는, 구조물의 필름(221)이 기판(222) 상에 배열될 수 있다.
보다 구체적으로, 직사각형 모양의 단일 슬롯을 포함하는 메타물질은 말러스 법칙(Malus' law)에 따라 T(θ)=T(0)cos2 θ 로 투과율이 변하는데, 본 발명의 메타물질과 같이 직사각형 모양의 슬롯들이 회전대칭적인 패턴을 형성하면, 즉 360°를 n개로 균등 분할하여 직사각형 모양의 슬롯을 배열하면, 배열을 이루는 m번째 직사각형 모양의 슬롯의 투과율은 아래의 [식 1]과 같다.
[식 1] 
여기에서, T(θ)는 슬롯과 입사편광이 θ각도일 때의 투과율이고, n은 360도를 분할한 개수이고, m은 360도를 n개로 균등분할 했을 때 해당 배열을 이루는 m 번째 슬롯이다.
이와 같이, 360°를 n개로 균등 분할하여 직사각형 모양의 슬롯을 배열한 단위 셀(unit cell)을 반복적으로 배열하여 회전대칭정인 패턴이 형성된 메타물질을 구성하면, 단위 셀의 투과율은 단위셀을 구성하는 각 직사각형 모양의 슬롯의 투과율의 합과 같으므로 아래의 [식 2]와 같다.
[식 2] 
즉, 본 발명에 따른 다양한 회전대칭적인 패턴으로 직사각형 모양의 슬롯들이 배열된 메타물질은 [식 2]에 나타난 바와 같이 투과율이 상수이므로, 각도(θ)에 따라 투과율이 변하지 않는다.
또한, 직사각형 모양의 슬롯은 폭(w)이 수십nm~수um에 해당하고, 두께가 100nm~1um에 해당하고, 길이(l)가 수십um~수mm에 해당할 수 있고, 직사각형 모양의 슬롯의 폭(w), 두께, 또는 길이(l)를 조정하여 광대역 전자기파 필터를 위한 메타물질이 설계될 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 회전대칭적인 패턴을 형성하는 각 직사각형 모양의 슬롯은 검출하고자 하는 물질의 공명주파수에 최적화되어 메타물질을 구성할 수 있다. 보다 구체적으로, 단일 직사각형 모양의 슬롯의 공명 주파수는 아래의 [식 3]과 같다.
[식 3] 
여기에서, c는 광속이고, L은 슬롯의 길이이고, neff은 실효굴절률(effective refractive index)로서 메타물질을 이루는 재료에 의해 결정된다. [식 3]을 참조하면, 직사각형 모양의 슬롯의 공명주파수는 메타물질을 이루는 물질의 특성과 슬롯의 길이 L에 의해 결정되므로, 원하는 공명 주파수를 얻기 위해서는 직사각형 모양의 슬롯의 길이 등이 조절될 수 있다. 본 발명에 따른 회전대칭적인 패턴을 형성하는 직사각형 모양의 슬롯들 또한 위의 [식 2]에서 본 바와 같이, 각 직사각형 모양의 슬롯의 회전은 공명주파수에 영향을 주지 않으므로, 회전대칭적인 패턴을 형성하는 직사각형 모양의 슬롯들의 길이를 조정하는 것을 통하여 공명주파수가 결정될 수 있다.
즉, 대부분의 분자들은 고유의 모드(예를 들어, 특정 주파수에서의 회전, 진동, 또는 분자간 상호작용)를 가지며 적외선에서 테라헤르츠 영역에 이르러 넓게 분포하고, 다양한 파장 또는 주파수의 전자기파를 이용하여 이러한 물질 고유의 모드를 검출하는 것이 분광법의 기본 원리인바, 본 발명에 따르면, 회전각으로부터 자유롭고, 각 직사각형 모양의 슬롯들의 길이를 조정하여 검출하고자 하는 생화학 물질들의 고유 모드(예를 들어, 특정 파장 또는 주파수)와 같은 주파수에서 공명을 일으키는 메타물질이 설계될 수 있으므로, 이와 같은 메타물질을 이용하여 분광을 수행하면, 매우 높은 민감도와 선택도를 가지고 특정 분자를 검출할 수 있는 효과가 있다.
바람직하게, 도 3 및 도 4에 도시된 메타물질의 각 슬롯 근처에서는 높은 전자기파의 증폭 현상이 발생되고, 또한, 본 발명에 따른 벌집구조 패턴 및 엽록체분자구조 패턴에서는 단일 슬롯에 의해 뚫린 영역으로 통과할 것으로 기대되는 투과율 보다 각각 7.2배 및 5.0배 높은 투과율을 가지므로, 본 발명에 따르면 슬롯 근처에서 종래보다 더 강한 전자기파가 유도될 수 있다.
즉, 도 3 및 도 4에 도시된 각 슬롯들로 형성된 패턴은, 슬롯들이 서로 다른 각도로 배열되도록 구성되므로, 입사하는 전자기파의 편광 방향에 따라 각 슬롯들에서 발생할 수 있는 투과율 감소를 상호 보완하므로, 메타물질 전체에서의 투과 및 반사율은 전자기파의 편광 방향 및 메타물질의 회전에 대하여 일정한 값을 가질 수 있도록 한다.
도 3 및 4를 참조하여 설명한 상기 내용은 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 직사각형 모양의 슬롯이 필름(211)에 음각으로 패터닝된 경우에 대한 설명으로서, 이와 같은 설명은 직사각형 모양의 구조물이 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 필름(221)에 양각으로 패터닝된 경우에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 5는 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 스펙트럼을 나타내는 도면이고, 도 6은 메타물질 기반 전자기파 필터의 회전각에 따른 전자기파의 투과 효율 변화를 나타내는 도면이다.
도 5의 (a)를 참조하면, 단방향으로 배열된 슬롯들(또는 구조물들) 또는 단일 슬롯(또는 구조물)으로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터의 투과 스펙트럼을 나타낸 것으로서, 대략 0.8THz의 전자기파가 입사하는 경우의 투과 스펙트럼을 나타낸다. 도 5의 (a)와 함께 도 6에 도시된 검은색 사각형으로 표시된 그래프를 참조하면, 단방향으로 배열된 슬롯들(또는 구조물들) 또는 단일 슬롯(또는 구조물)으로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터는 슬롯(구조물)의 회전각, 즉, 메타물질의 회전각이 0도에 해당할 때에는 투과율이 매우 높으나, 메타물질의 회전각이 30도, 60도로 커짐에 따라 투과율이 점점 감소하여 90도에 해당하는 경우에는 투과율이 0에 해당하는 것을 볼 수 있다. 여기에서, 회전각도가 0도에 해당할 때는 단일 슬롯(또는 구조물)으로 구성된 메타물질이 최대 투과율을 나타내는 각도에 해당할 때로 설정하고, 예를 들어, 세로로 긴 모양의 슬롯인 경우에는 슬롯의 길이방향에 수직인 선형 편광의 빛이 입사하는 경우를 회전각도가 0도에 해당할 때로 설정하고, 세로로 긴 모양의 양각 구조물인 경우에는 구조물의 길이방향에 평행한 선형 편광의 빛이 입사하는 경우를 회전각도가 0도에 해당하는 때로 설정할 수 있다.
도 5의 (b)를 참조하면, 본 발명에 따라 회전대칭적인 패턴으로 배열된 슬롯들(또는 구조물들)의 집합으로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터의 투과 스펙트럼을 나타낸 것으로서, 대략 0.8THz의 전자기파가 입사하는 경우의 투과 스펙트럼을 나타낸다. 도 5의 (b)와 함께 도 6에 도시된 빨간색 별표로 표시된 그래프를 참조하면, 본 발명에 따라 회전대칭적인 패턴으로 배열된 슬롯들(또는 구조물들)의 집합으로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터는 슬롯들(구조물들)의 회전각, 즉 메타물질의 회전각이 0도, 30도, 60도, 90도 등으로 변하더라도 투과율이 일정하게 유지되는 것을 볼 수 있다.
즉, 단방향으로 배열된 슬롯들(또는 구조물들) 또는 단일 슬롯(또는 구조물)으로 구성된 메타물질 기반의 전자기파 필터는 메타물질의 회전각에 따라 투과율이 급격하게 변하는 반면, 본 발명에 따른 메타물질, 즉, 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 슬롯들(구조물들)의 집합이 배열된 메타물질 기반의 전자기파 필터는 메타물질이 회전하더라도 이에 영향을 받지 않고 투과율이 일정 수준으로 유지되는 효과가 있다.
따라서, 본 발명에 따른 메타물질을 이용한 전자기파 필터는, 메타물질이 회전대칭적으로 슬롯들(구조물들)이 배열된 구조이므로 슬롯들(구조물들)의 상호 보완을 통해 일정한 투과 또는 반사 반응의 특성을 구현할 수 있고, 메타물질의 회전 및 입사편광에 대한 광 특성을 억제함으로써 전자기파 필터의 메타물질 활용 시 발생할 수 있는 오차를 제거할 수 있는 효과가 있다.
전술한 본 발명에 따른 전자기파 필터를 위한 메타물질에 대한 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
210 및 220: 메타물질
211 및 221: 필름
212 및 222: 기판
211 및 221: 필름
212 및 222: 기판
Claims (6)
- 기판; 및
상기 기판 상에 배치되는 필름을 포함하되,
상기 필름은, 상기 필름에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율이 제어되도록, 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 슬롯들의 집합이 음각 패터닝 되거나 또는 회전대칭적인 패턴을 형성하도록 배열된 구조물들의 집합이 양각 패터닝 되고,
상기 슬롯들 또는 구조물들은, 상기 필름에 입사하는 전자기파의 편광에 따른 투과율 및 반사율이 상기 필름의 회전에 대하여 일정한 값을 가지도록, 배열되는 각도가 결정되고, 5각형과 6각형으로 배열된 엽록체분자구조 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 전자기파 필터를 위한 메타물질.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 슬롯들 또는 구조물들은
수직방향을 기준으로 O도, 120도, 및 240도의 각도를 가지고 배열된 벌집구조 패턴을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 전자기파 필터를 위한 메타물질.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 기판은
석영, 실리콘, 사파이어, 또는 유리로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자기파 필터를 위한 메타물질.
- 제1항에 있어서, 상기 필름은
금, 은, 구리, 또는 알루미늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자기파 필터를 위한 메타물질.
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