KR101848515B1 - Vacuum pump - Google Patents

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다카시 가바사와
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에드워즈 가부시키가이샤
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Abstract

고부하에 견딜 수 있는 강도를 가짐과 동시에 저비용화가 가능한, 섬유 강화 플라스틱재를 성형해 이루어지는 원통 로터를 사용한 복합형 진공 펌프를 제공한다. 터보 분자 펌프부(14)와 나사홈 펌프부(15)를 갖고, 나사홈 펌프부(15)의 섬유 강화 플라스틱재로 성형된 원통 로터(21)의 상단부에, 터보 분자 펌프부(14)의 로터(17)의 접합부(20a)를 압입 끼워맞춰져 이루어지는 복합형 진공 펌프에 있어서, 로터(17)의 접합부(20a)는, 로터(17)의 하단측에 로터(17)와 일체적으로, 또한, 단면 L자 형상을 한 원통형으로 형성되어 있음과 더불어, 원통 로터(21)의 내주면에 압입 끼워맞춤 가능한 외경을 갖는 접촉부(28)와, 상기 접촉부(28)의 상방에 위치하고, 또한, 상기 원통 로터(21)의 내경보다 작은 외경으로 원통 로터(21)의 내주면과 떨어져 원통 로터(21) 내에 배치 가능한 소경부(29)를 설치했다.Provided is a composite type vacuum pump using a cylindrical rotor formed by molding a fiber reinforced plastic material capable of withstanding a high load and at low cost. Molecular pump unit 14 and a threaded groove pump unit 15 are provided on the upper end of a cylindrical rotor 21 formed of a fiber-reinforced plastic material of the screw groove pump unit 15, The joint portion 20a of the rotor 17 is integrally formed with the rotor 17 on the lower end side of the rotor 17 and in a state in which the rotor 17 is joined to the joint portion 20a, A contact portion 28 having an outer diameter capable of press-fitting into the inner circumferential surface of the cylindrical rotor 21 and a contact portion 28 located above the contact portion 28, Diameter portion 29 which is located outside the inner circumferential surface of the cylindrical rotor 21 at an outer diameter smaller than the inner diameter of the rotor 21 and can be arranged in the cylindrical rotor 21 is provided.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}Vacuum pump {VACUUM PUMP}

본 발명은 진공 펌프에 관한 것이며, 특히 반도체 제조나 고에너지 물리학 등의 공업 진공 장치에 있어서, 저진공에서부터 고진공 및 초고진공에 걸친 압력 범위에서 이용 가능한 진공 펌프에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump, and more particularly, to a vacuum pump usable in a vacuum range ranging from a low vacuum to a high vacuum and an ultra-high vacuum in an industrial vacuum apparatus such as semiconductor manufacturing or high energy physics.

본 명세서에서는, 터보 분자 펌프부와 나사홈 펌프부를 구비하는 복합형 진공 펌프를 예로 들어 설명한다. 종래, 이러한 종류의 복합형 진공 펌프는, 도 12에 나타낸 종래의 일실시예의 복합형 진공 펌프의 종단면도와 같이, 흡기구(101)와 배기구(102)를 갖는 하우징(103) 내에, 상기 흡기구(101)측으로부터 터보 분자 펌프부(104)와 원통형 나사홈 펌프부(105)를 순차적으로 설치한 구조로 되어 있다. 또한, 도 13은 도 12의 B부 확대도이다.In the present specification, a hybrid type vacuum pump having a turbo molecular pump unit and a screw groove pump unit will be described as an example. This type of hybrid type vacuum pump has a structure in which a housing 103 having an intake port 101 and an exhaust port 102 is provided with the intake port 101 Molecular pump section 104 and a cylindrical screw groove pump section 105 are sequentially arranged from the side of the turbo molecular pump section 104 side. 13 is an enlarged view of a portion B in Fig.

또한, 도 12에서, 부호 106은 상기 터보 분자 펌프부(104) 및 원통형 나사홈 펌프부(105)의 로터(107)의 회전축, 108은 상기 회전축(106)을 회전시키는 모터이다.12, reference numeral 106 denotes a rotary shaft of the rotor 107 of the turbo molecular pump unit 104 and the cylindrical screw groove pump unit 105, and 108 denotes a motor that rotates the rotary shaft 106.

또, 종래의 복합형 진공 펌프(100)에서는, 상기 원통형 나사홈 펌프부(105)의 로터(107)는 알루미늄 합금제이며, 복합형 진공 펌프의 회전수의 고속화는, 원통형 나사홈 펌프부(105)의 로터(107)의 강도로 제한된다.In the conventional hybrid type vacuum pump 100, the rotor 107 of the cylindrical screw groove pump unit 105 is made of an aluminum alloy, and the speed of rotation of the hybrid type vacuum pump is increased by a cylindrical screw groove pump unit 105) of the rotor (107).

여기서, 상기 복합형 진공 펌프의 나사홈 펌프부의 로터에, 섬유 강화 플라스틱재(Fiber　Reinforced　Plastics, 통칭 「FRP재」라고 함)를 원통형으로 성형해 이루어지는 원통 로터(109)를 사용해, 강도 상승을 도모하도록 한 구조도 알려져 있다.Here, a cylindrical rotor 109 formed by molding a fiber reinforced plastic material (referred to as " FRP material ") into a cylindrical shape is used for the rotor of the screw groove pump part of the composite type vacuum pump to increase the strength The structure is also known.

섬유 강화 플라스틱재로는, 아라미드 섬유, 보론 섬유, 탄소 섬유, 유리 섬유, 폴리에틸렌 섬유 등을 이용한 것이 있다.Examples of the fiber reinforced plastic material include aramid fiber, boron fiber, carbon fiber, glass fiber, and polyethylene fiber.

그러나 복합형 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부(104)의 로터(107)의 하단부에, 섬유 강화 플라스틱재(이하, 「FRP재」라고 함)의 원통 로터(109)를 설치하는 경우, 이종 재료를 조합한 것이 되기 때문에, 열팽창량이나 원심력에 의한 변형량에 차가 발생한다. 이 때문에, 접합부가 헐거워지는 문제점이나, 반대로 높은 부하가 걸려 FRP재제의 원통 로터(109)가 파손될 우려가 있었다. 특히 원통의 단면에서 섬유가 끊어져 버리기 때문에, 단면 부근의 강도는, 다른 부분에 비해 낮아, 이 부분에 부하가 걸리면 쉽게 파손될 우려가 있었다.However, when the cylindrical rotor 109 of the fiber reinforced plastic material (hereinafter referred to as " FRP material ") is provided at the lower end of the rotor 107 of the turbo molecular pump unit 104 in the hybrid type vacuum pump, Materials are combined, a difference occurs between the amount of thermal expansion and the deformation amount due to the centrifugal force. For this reason, there is a problem that the joint portion is loosened, and conversely, a high load is applied, and the cylindrical rotor 109 made of FRP is damaged. Particularly, since the fibers are cut off from the cross section of the cylinder, the strength in the vicinity of the cross section is lower than that in the other sections, and there is a fear that if a load is applied to this section, it is easily broken.

또, 일반적으로, 접합부의 형상은, 원통 로터(109)의 기울어짐을 방지해 같은 축도를 확보하는 관점, 및 경량화를 도모하는 관점에서, 로터(107)의 접합부(110)는, 원판 부분(110a)과 접합 부분(110b)으로 이루어지는 단면 L자 형상으로 되어 있다. 이 구조의 경우, 접합 부분(110b)의 하부측이 휘어져, 부하를 완화하는 작용이 있지만, FRP의 구조상, 가장 강도가 약한 단면 부근은 거의 휘지 않아서, 부하를 완화하는 작용은 거의 없다.Generally, the shape of the joint portion is such that the joint portion 110 of the rotor 107 is formed in the shape of a circular plate portion 110a (110a) in view of securing the same shaft degree by preventing inclination of the cylindrical rotor 109, And a joining portion 110b. In the case of this structure, the lower side of the joint portion 110b is bent to relax the load. However, due to the structure of the FRP, the vicinity of the weakest section is hardly bent, and there is little effect of relieving the load.

그래서, 종래부터, 그 대책으로서, 예를 들면 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에서 알려진 바와 같이, 여러 가지 수단이 제안되어 있다.Therefore, conventionally, various countermeasures have been proposed as countermeasures, for example, as known from Patent Documents 1 and 2.

즉, 특허 문헌 1의 복합형 진공 펌프에서는, 터보 분자 펌프부와 나사홈 펌프부의 열팽창의 차 및 원심력에 의한 변형량의 차를 완화하기 위해서, FRP재의 지지판을 통해 상기 터보 분자 펌프부의 로터와 상기 나사홈 펌프부의 원통 로터를 접합하고 있다.That is, in the hybrid type vacuum pump of Patent Document 1, in order to alleviate the difference in thermal expansion between the turbo molecular pump unit and the screw groove pump unit and the difference in deformation amount due to the centrifugal force, the rotor of the turbo molecular pump unit and the screw And the cylindrical rotor of the groove pump portion is joined.

특허 문헌 2의 복합형 진공 펌프에서는, 터보 분자 펌프부와 나사홈 펌프부의 열팽창의 차 및 원심력에 의한 변형량의 차를 완화하기 위해서, FRP재에 있어서의 섬유의 감김 각, 및, 수지 함유량 등의 성형 조건과 형상을 고안하고 있다.In the composite type vacuum pump of Patent Document 2, in order to alleviate the difference in the thermal expansion between the turbo molecular pump section and the screw groove pump section and the deformation amount due to the centrifugal force, the winding angle of the fiber in the FRP material and the resin content Molding conditions and shapes are devised.

일본국 특허 제 3098139호 공보.Japanese Patent No. 3098139 discloses. 일본국 특허 공개 2004－278512호 공보.Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-278512.

그러나 상기 터보 분자 펌프부의 로터와 상기 나사홈 펌프부의 앞원통 로터를 FRP재의 지지판을 통해 접합하도록 한 특허 문헌 1에 기재된 구조에서는, 부품 점수 및 조립 공수가 증가하기 때문에 비용이 상승한다는 문제점이 있었다. 또, 정밀하게 조립하는 것이 어렵고, 고정부와의 접촉을 피하기 위해 클리어런스를 종래보다 넓히는 것이 필요해져, 그 결과, 배기 성능이 저하한다는 문제점이 있었다.However, in the structure described in Patent Document 1 in which the rotor of the turbo molecular pump portion and the front cylindrical rotor of the thread groove pump portion are joined through the support plate of the FRP material, there is a problem in that the cost increases because the number of parts and the assembling number are increased. In addition, it is difficult to assemble precisely and it is necessary to widen the clearance more than ever in order to avoid contact with the fixed portion, and as a result, there is a problem that the exhaust performance is lowered.

또, 상술한 특허 문헌 2에 기재된 구조, 즉 FRP재에 있어서의 섬유의 감김 각, 및, 수지 함유량 등의 성형 조건이나 형상을 고안한 구조에서는, FRP재의 형상이 복잡하게 되기 때문에, 생산성이 나쁘고, 비용이 상승한다는 문제점이 있었다.In addition, in the structure described in the above-mentioned Patent Document 2, that is, the structure in which molding conditions and shapes such as the winding angle of the fiber and the resin content in the FRP material are devised, the shape of the FRP material becomes complicated, , The cost is increased.

그래서, 고부하에 견딜 수 있는 강도를 가짐과 더불어 저비용화가 가능한, 섬유 강화 플라스틱재를 성형해 이루어지는 원통 로터를 사용한 복합형 진공 펌프를 제공하기 위해서 해결해야 할 기술적 과제가 발생하는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.Therefore, there is a technical problem to be solved in order to provide a composite type vacuum pump using a cylindrical rotor formed by molding a fiber-reinforced plastic material having a strength capable of withstanding a high load and being able to be reduced in cost, And to solve the problem.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명에서는, 적어도 나사홈 펌프부 혹은 게데(Gaede) 펌프부 등을 구성하는 원통 로터와, 상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고, 상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해, 상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서, 상기 원통 로터의 상단면은, 상기 원통 로터와 상기 제2의 로터의 접촉부보다 상측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공한다.The present invention has been proposed in order to achieve the above object. In the invention as set forth in claim 1, there is provided a rotary compressor comprising at least a cylindrical rotor constituting a screw groove pump section or a Gaede pump section, Wherein the upper surface of the cylindrical rotor is formed by joining a portion of a side surface of the cylindrical rotor to a joint portion attached to a rim ring portion formed in the second rotor, And the second rotor protrudes upward from the contact portion of the rotor and the second rotor.

청구항 2에 기재된 발명에서는, 적어도 나사홈 펌프부 혹은 게데 펌프부 등을 구성하는 원통 로터와, 상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고, 상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해, 상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서, 상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면은, 상기 테두리형상 원환부의 하면보다 하측으로 퇴피되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotary compressor comprising: a cylindrical rotor constituting at least a screw groove pump section or a pump section; and a second rotor connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft, A vacuum pump comprising a cylindrical rotor and a cylindrical rotor, the cylindrical rotor having a cylindrical portion and a cylindrical portion, wherein the cylindrical portion has an L-shaped projecting downwardly from the rim, And the upper surface of the rotor is retracted to a lower side than the lower surface of the rim-shaped ring portion.

청구항 3에 기재된 발명에서는, 적어도 나사홈 펌프부 혹은 게데 펌프부 등을 구성하는 원통 로터와, 상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고, 상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해, 상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서, 상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 상방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면이 상기 테두리형상 원환부의 상측으로 설치되어, 상기 접합부는 상기 원통 로터를 설치함에 의해 휘어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a turbomolecular pump comprising a cylindrical rotor constituting at least a screw groove pump section or a pump section, and a second rotor connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft, The vacuum pump according to claim 1, wherein a portion of the side surface of the cylindrical rotor is joined to a joint portion attached to the ring portion, wherein the joint portion is formed in an L shape protruding upward from the rim ring portion, The upper surface of the rotor is provided on the upper side of the ring-shaped ring portion, and the joint portion is bent by installing the cylindrical rotor.

청구항 4에 기재된 발명에서는, 적어도 나사홈 펌프부 혹은 게데 펌프부 등을 구성하는 원통 로터와, 상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고, 상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해, 상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서, 상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 접합부의 상부에 소경부를 설치하고, 상기 원통 로터와 상기 제2의 로터의 접촉부는, 상기 테두리형상 원환부의 하측으로 퇴피되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면은, 상기 접촉부보다 상측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공한다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a turbomolecular pump comprising a cylindrical rotor constituting at least a thread groove pump section or a pump section, and a second rotor connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft, A vacuum pump comprising a cylindrical rotor and a cylindrical rotor, the cylindrical rotor comprising a cylindrical rotor and a cylindrical rotor, the circular rotor having an annular shape, And the contact portion between the cylindrical rotor and the second rotor is retreated to the lower side of the rim ring portion and the upper end face of the cylindrical rotor protrudes upward from the contact portion A vacuum pump is provided.

청구항 5에 기재된 발명에서는, 상기 원통 로터의 돌출 부분의 길이는, 상기 원통 로터 두께의 2배 이상인 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 4에 기재된 진공 펌프를 제공한다.According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the vacuum pump according to the first or fourth aspect, wherein the length of the protruding portion of the cylindrical rotor is twice or more the thickness of the cylindrical rotor.

청구항 6에 기재된 발명에서는, 상기 제 2의 로터는, 적어도 터보 분자 펌프부 혹은 와류 펌프부 등의 펌프 기구를 구성하는 것을 특징으로 하는 청구항 1, 2, 3, 4 또는 5에 기재된 진공 펌프를 제공한다.The invention according to claim 6 provides the vacuum pump according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, characterized in that the second rotor constitutes at least a pump mechanism such as a turbo molecular pump section or a vortex pump section do.

청구항 1에 기재된 발명에서는, 원통 로터의 상단면을, 원통 로터와 제2의 로터의 접촉부보다 상측으로 돌출시킴으로써, 다른 부분에 비해 재료 강도가 낮은 원통의 상단면에 고부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.In the invention according to claim 1, by projecting the upper end face of the cylindrical rotor upward from the contact portion between the cylindrical rotor and the second rotor, it is possible to prevent the high load from being applied to the upper face of the cylinder having a lower material strength than other portions .

청구항 2에 기재된 발명에서는, 접합부를 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성함과 더불어, 원통 로터의 상단면을 상기 테두리형상 원환부의 하측으로 퇴피시킴으로써, 접합부의 돌출부가 휘어져 부하를 완화할 수 있기 때문에, 다른 부분에 비해 재료 강도가 낮은 원통의 상단면에 고부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.In the invention according to claim 2, the joining portion is formed in an L-shape protruding downward from the rim-shaped ring portion, and the upper end face of the cylindrical rotor is retracted to the lower side of the rim-shaped ring portion, It is possible to prevent the high load from being applied to the upper surface of the cylinder having a lower material strength than other portions.

청구항 3에 기재된 발명에서는, 접합부를 테두리형상 원환부보다 상방으로 돌출한 L자 형상으로 형성함과 더불어, 원통 로터의 상단면을 상기 테두리형상 원환부의 상측에 설치함으로써, 접합부의 돌출부가 휘어져 부하를 완화할 수 있기 때문에, 다른 부분에 비해 재료 강도가 낮은 원통의 상단면에 고부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.In the invention according to claim 3, the joining portion is formed in an L-shape protruding upward from the rim-shaped ring portion, and the upper end surface of the cylindrical rotor is provided on the rim portion of the rim-shaped ring portion, It is possible to prevent the high load from being applied to the upper surface of the cylinder having a lower material strength than other portions.

청구항 4에 기재된 발명에서는, 상기 접합부를 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성함과 더불어, 접합부의 상부에 소경부를 설치하고, 원통 로터와 제2의 로터의 접촉부를 테두리형상 원환부의 하측으로 퇴피시킴으로써, 접합부의 돌출부가 휘어져 부하를 완화할 수 있다. 또한, 원통 로터의 상단면을, 접촉부보다 상측으로 돌출시킴으로써, 다른 부분에 비해 재료 강도가 낮은 원통의 상단면에 고부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.In the invention according to claim 4, the joining portion is formed in an L shape protruding downward from the rim-shaped ring portion, and a small-diameter portion is provided on an upper portion of the joining portion, and a contact portion between the cylindrical rotor and the second rotor is formed into a rim- By evacuating to the underside of the affected part, the projecting part of the joint part is bent and the load can be relaxed. Further, by projecting the upper end surface of the cylindrical rotor upward from the contact portion, it is possible to prevent the high load from being applied to the upper end surface of the cylinder having a lower material strength than other portions.

청구항 5에 기재된 발명에서는, 원통 로터의 돌출 부분의 길이를, 원통 로터 두께의 2배 이상으로 함으로써, 다른 부분에 비해 재료 강도가 낮은 원통의 상단면에 고부하가 걸리는 것을 충분히 방지할 수 있다.According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to sufficiently prevent the high load from being applied to the upper surface of the cylinder having a lower material strength than other portions by making the length of the projecting portion of the cylindrical rotor two or more times the thickness of the cylindrical rotor.

청구항 6에 기재된 발명에서는, 제2의 로터에 터보 분자 펌프부 혹은 와류 펌프부 등의 펌프 기구를 구성함으로써, 넓은 압력 범위에서 동작 가능한 진공 펌프를 제공할 수 있다.According to the sixth aspect of the present invention, a vacuum pump capable of operating in a wide pressure range can be provided by configuring a pump mechanism such as a turbo molecular pump unit or a swirl pump unit in the second rotor.

도 1은 본 발명의 일실시예로서 나타낸 복합형 진공 펌프의 종단면도이다.
도 2는 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 접합 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 3은 도 2의 A부 확대도이다.
도 4는 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 접합 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 3에 나타낸 접합 구조의 일변형예를 나타내는 도면이다.
도 6은 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 다른 접합 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 접합 구조의 일변형예를 나타내는 도면이다.
도 8은 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 또다른 접합 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 9는 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 또다른 접합 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 10은 상기 진공 펌프에 있어서의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 또다른 접합 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예로서 나타낸 진공 펌프의 종단면도이다.
도 12는 종래의 하나의 실시예로서 나타낸 복합형 진공 펌프의 종단면도이다.
도 13은 도 12의 B부 확대도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a longitudinal sectional view of a composite type vacuum pump shown as one embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 2 is a longitudinal sectional view showing a bonding structure of the rotor of the turbo-molecular pump section and the cylindrical rotor of the screw groove pump section in the vacuum pump. Fig.
3 is an enlarged view of part A of Fig.
4 is a view for explaining a method of joining the rotor of the turbo-molecular pump section and the cylindrical rotor of the screw groove pump section in the vacuum pump.
5 is a view showing a modification of the bonding structure shown in Fig.
6 is a vertical cross-sectional view showing another bonding structure of the rotor of the turbo molecular pump unit and the cylindrical rotor of the screw groove pump unit in the vacuum pump.
7 is a view showing a modification of the bonding structure shown in Fig.
8 is a vertical sectional view showing another bonding structure of the rotor of the turbo molecular pump unit and the cylindrical rotor of the screw groove pump unit in the vacuum pump.
9 is a longitudinal sectional view showing another bonding structure of the rotor of the turbo-molecular pump section and the cylindrical rotor of the screw groove pump section in the vacuum pump.
10 is a longitudinal sectional view showing another bonding structure of the rotor of the turbo molecular pump unit and the cylindrical rotor of the screw groove pump unit in the vacuum pump.
11 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump as another embodiment of the present invention.
12 is a longitudinal sectional view of a composite type vacuum pump shown as one conventional example.
13 is an enlarged view of a portion B in Fig.

본 발명은, 고부하에 견딜 수 있는 강도를 가짐과 더불어 저비용화가 가능한, 섬유 강화 플라스틱재를 성형해 이루어지는 원통 로터를 사용한 복합형 진공 펌프를 제공한다고 하는 목적을 달성하기 위해서, 적어도 나사홈 펌프부 혹은 게데 펌프부 등을 갖는 원통 로터와, 터보 분자 펌프부 혹은 와류 펌프부 등을 갖는 로터를 구비하고, 상기 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해 상기 원통 로터의 측면의 일부가 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서, 상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부와 일체적으로, 또한 L자 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공함으로써 실현되었다.In order to achieve the object of the present invention, there is provided a composite type vacuum pump using a cylindrical rotor formed by molding a fiber-reinforced plastic material having a strength capable of withstanding a high load, And a rotor having a turbomolecular pump section or a swirl pump section, and a part of a side surface of the cylindrical rotor is joined to a joint section attached to a rim-shaped ring section formed on the rotor In the vacuum pump thus constructed, the joining portion is realized by providing a vacuum pump which is integrally formed with the rim-shaped ring portion and is formed in an L shape.

실시예 Example

이하, 본 발명의 복합형 진공 펌프에 대해서, 적절한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 복합형 진공 펌프를 나타내는 것이며, 도 1은 그 종단면도, 도 2는, 그 펌프의 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 접합 구조를 나타내는 종단면도, 도 3은 도 2의 A부 확대 단면도, 도 4는, 도 2에 나타낸 터보 분자 펌프부의 로터와 나사홈 펌프부의 원통 로터의 접합 부분을 분해해 나타낸 종단면도이다.Best Mode for Carrying Out the Invention Hereinafter, a preferred embodiment of a composite type vacuum pump of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of the composite type vacuum pump according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a bonding structure of the rotor of the turbo molecular pump section of the pump and the cylindrical rotor of the screw groove pump section. Fig. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line A in Fig. 2, and Fig. 4 is a longitudinal sectional view of the rotor of the turbo-molecular pump shown in Fig. 2 and the cylindrical rotor of the screw groove pump portion.

동 도면에서, 복합형 진공 펌프(10)는, 흡기구(11)와 배기구(12)를 갖는 하우징(13)을 구비하고 있다. 이 하우징(13) 내에는, 상부에 터보 분자 펌프부(14)와, 그 하방에 원통형의 나사홈 펌프부(15)가 설치되어 있음과 더불어, 상기 터보 분자 펌프부(14) 내와 상기 나사홈 펌프부(15) 내를 통과해 상기 흡기구(11)와 상기 배기구(12)를 연통해 이루어지는 배기 경로(24)가 형성되어 있다.In the figure, the composite type vacuum pump 10 is provided with a housing 13 having an intake port 11 and an exhaust port 12. In the housing 13, a turbo molecular pump unit 14 and a cylindrical screw groove pump unit 15 are provided below the turbomolecular pump unit 14 and the turbo molecular pump unit 14, And an exhaust path 24 is formed through the inside of the groove pump section 15 to connect the intake port 11 and the exhaust port 12. [

상기 배기 통로(24)는, 보다 구체적으로는, 상기 터보 분자 펌프부(14)의 후술하는 상대하고 있는 로터(17)의 외주면과 상기 하우징(13)의 내주면 사이의 간극 및 상기 나사홈 펌프부(15)의 후술하는 원통 로터(21)의 외주면과 스테이터(23)의 내주면 사이의 간극을 서로 연통시킴과 더불어, 상기 터보 분자 펌프부(14)측의 간극 상단측을 상기 흡기구(11)에 연통시키고, 또한, 상기 나사홈 펌프부(15)측의 간극 하단측을 상기 배기구(12)에 연통해 형성되어 있다.More specifically, the exhaust passage 24 includes a gap between the outer circumferential surface of the rotor 17, which will be described later, of the turbo molecular pump unit 14 and the inner circumferential surface of the housing 13, A gap between the outer circumferential surface of the cylindrical rotor 21 and the inner circumferential surface of the stator 23 which will be described later of the turbo molecular pump unit 15 is communicated with the gap upper end side of the turbo molecular pump unit 14 side, And is formed so as to communicate with the exhaust port (12) at the lower end side of the gap on the side of the screw groove pump section (15).

상기 터보 분자 펌프부(14)는, 회전축(16)에 고정 설치된 알루미늄 합금제의 로터(17)의 외주면에 돌출 설치된 다수의 회전 날개(18, 18…)와, 상기 하우징(13)의 내주면에 돌출 설치된 다수의 고정 날개(19, 19…)의 조합으로 이루어진다.The turbo molecular pump unit 14 includes a plurality of rotary blades 18 protruding from the outer circumferential surface of a rotor 17 made of an aluminum alloy and fixed to the rotary shaft 16, And a plurality of fixed vanes (19, 19, ...) provided in a protruding manner.

상기 나사홈 펌프부(15)는, 상기 터보 분자 펌프부(14)에 있어서의 로터(17)의 하단부의 외주면에 단면 L자 형상으로 돌출 설치된 테두리형상 원환부(20)의 외주, 즉 접합부(20a)에 압입 고착되어 부착된 원통 로터(21)와, 이 원통 로터(21)의 외주와 소간극을 갖고 대향하고, 상기 소간극과 함께 상기 배기 경로(24)의 일부를 형성하여 이루어지는 나사홈(22)이 형성된 스테이터(23)로 이루어진다.The threaded groove pump unit 15 has an outer periphery of the rim ring portion 20 protruding in an L-shaped cross section on the outer peripheral surface of the lower end of the rotor 17 of the turbo molecular pump unit 14, A cylindrical rotor 21 which is press-fitted and fixed to the cylinder block 20a and has a screw groove 22a formed in the cylinder block 21 so as to face the outer periphery of the cylindrical rotor 21 and form a part of the exhaust passage 24 together with the small clearance, And a stator 23 formed with a stator 22.

상기 스테이터(23)의 상기 나사홈(22)은, 하방으로 감에 따라 깊이가 얕아지도록 해서 형성되어 있다. 또, 상기 스테이터(23)는, 상기 하우징(13)의 내면에 고정되어 있다. 그리고 상기 나사홈(22)의 하단은 상기 배기 경로(24)의 최하류측에서 상기 배기구(12)에 연통되고, 상기 터보 분자 펌프부(14)의 상기 로터(17)와 상기 나사홈 펌프부(15)의 상기 원통 로터(21)의 접합 부분은, 상기 배기 경로(24)의 상류측에 설치되어 있다.The screw groove 22 of the stator 23 is formed so as to have a shallower depth as it goes downward. The stator 23 is fixed to the inner surface of the housing 13. The lower end of the screw groove 22 communicates with the exhaust port 12 at the most downstream side of the exhaust path 24 and is connected to the rotor 17 of the turbo molecular pump unit 14, (15) is provided on the upstream side of the exhaust path (24).

또, 상기 회전축(16)의 중간부에는, 모터 하우징(25) 내에 설치한 유도 전동기 등의 고주파 모터(26)의 로터(26a)가 고정되어 있다. 상기 회전축(16)은, 자기베어링으로 받쳐지고, 상부 및 하부에 보호 베어링(27, 27)이 설치되어 있다.A rotor 26a of a high-frequency motor 26 such as an induction motor provided in the motor housing 25 is fixed to an intermediate portion of the rotary shaft 16. [ The rotary shaft 16 is supported by a magnetic bearing, and protective bearings 27, 27 are provided at upper and lower portions thereof.

상기 원통 로터(21)는, 원주 방향과 축방향 양방에 힘이 분담되도록 섬유를 배향시키고, 복합층으로 해서 원통형으로 형성하여 이루어진다.The cylindrical rotor 21 is formed into a cylindrical shape as a composite layer by orienting fibers so as to share a force in both the circumferential direction and the axial direction.

상기 접합부(20a)는, 상기 원통 로터(21)의 내경보다 약간 크고, 상기 원통 로터(21) 내에 압입 끼워맞춤 가능한 외경을 갖는 접촉부(28)와, 접촉부(28)의 상방에 위치하고, 또한, 상기 원통 로터(21)의 내경보다 작은 외경을 갖는 소경부(29)를 설치하여 이루어진다.The abutting portion 20a has a contact portion 28 slightly larger than the inner diameter of the cylindrical rotor 21 and having an outer diameter capable of press-fitting into the cylindrical rotor 21, Diameter portion 29 having an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical rotor 21 is provided.

그리고 상기 로터(17)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 원통 로터(21)의 상단측에 상기 접합부(20a)를 대응시키고, 또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 접합부(20a)를 상기 원통 로터(21) 내에 삽입시켜 상기 접합부(20a)의 상기 접촉부(28)를 원통 로터(21)의 내면에 압접시켜 상기 원통 로터(21)에 부착된다. 또, 필요에 따라서, 상기 접촉부(28)와 원통 로터(21) 사이를 접착제로 고정한다.4, the rotor 17 has the joining portion 20a on the upper end side of the cylindrical rotor 21, and the joining portion 20a, as shown in Figs. 1 and 2, Is inserted into the cylindrical rotor 21 so that the abutment portion 28 of the abutting portion 20a is pressed against the inner surface of the cylindrical rotor 21 and attached to the cylindrical rotor 21. [ If necessary, the contact portion 28 and the cylindrical rotor 21 are fixed with an adhesive.

즉, 본 실시예의 구조에서는, 도 3에 상세하게 나타낸 바와 같이, 접합부(20a)는, 상기 접합부(20a)의 상면과 원통 로터(21)의 상단면이 거의 일치하는 위치까지 삽입하면, 상기 접촉부(28)의 외주면이 상기 원통 로터(21)의 내주면과 압접하고, 또 상기 소경부(29)의 외주면과 상기 원통 로터(21)의 내주면 사이에 간극(S3)이 설치된다. 또한, 본 실시예의 구조에서는, 상기 원통 로터(21)의 상단면으로부터 상기 접촉부(28)까지의 거리, 즉 상기 소경부(29)의 거리(S1)는 상기 원통 로터(21)의 두께(t)의 2배 이상, 또 상기 터보 분자 펌프부(14)의 상기 로터(17)의 바닥면에서 상기 접촉부(28)까지의 거리(S2)를 충분히 얻을 수 있도록 해서 형성되어 있다.3, when the joining portion 20a is inserted to a position where the upper surface of the joining portion 20a and the upper end surface of the cylindrical rotor 21 substantially coincide with each other, And the gap S3 is provided between the outer circumferential surface of the small diameter portion 29 and the inner circumferential surface of the cylindrical rotor 21. The clearance S3 is formed between the outer circumferential surface of the cylindrical rotor 21 and the inner circumferential surface of the cylindrical rotor 21, The distance S1 from the upper end surface of the cylindrical rotor 21 to the contact portion 28, that is, the distance S1 of the small diameter portion 29 is smaller than the thickness t of the cylindrical rotor 21 And the distance S2 from the bottom surface of the rotor 17 of the turbo molecular pump unit 14 to the contact portion 28 can be sufficiently obtained.

다음에, 상기 실시예의 복합형 진공 펌프의 동작을 설명한다. 상기 고주파 모터(26)의 구동에 의해 상기 흡기구(11)로부터 유입되는 기체는, 분자류 혹은 그에 가까운 중간류 상태에 있고, 그 기체 분자는 상기 터보 분자 펌프부(14)가 회전하는 상기 회전 날개(18, 18…)와 상기 하우징(13)으로부터 돌출 설치한 상기 고정 날개(19, 19…)의 작용에 의해, 아래 방향으로 운동량이 주어져, 상기 회전 날개(18, 18…)의 구속 회전과 함께 압축 이동한다.Next, the operation of the hybrid vacuum pump of the above embodiment will be described. The gas introduced from the intake port 11 by the driving of the high-frequency motor 26 is in the state of a molecular flow or an intermediate current close to the molecular flow, and the gas molecules are injected into the turbo molecular pump unit 14 The movable wings 18, 18 ... and the stationary wings 19, 19 ... protruding from the housing 13 are given a momentum in the downward direction, Move together.

또, 상기 압축 이동된 기체는, 상기 나사홈 펌프부(15)에서, 회전하는 상기 원통 로터(21)와, 소간극을 갖고 형성된 상기 스테이터(23)를 따라 흐름에 따라 깊이가 얕아지는 상기 나사홈(22)에 유도되도록 하여, 점성류 상태까지 압축되면서 상기 배기 통로(24) 내를 흘러 상기 배기구(12)로부터 배출된다.The compressed and displaced gas is supplied to the screw groove pump unit 15 through the rotating cylindrical rotor 21 and the screw 23 having a shallower depth along the stator 23 formed with a small clearance And then flows into the exhaust passage 24 while being compressed to the state of viscous flow so as to be discharged from the exhaust port 12. [

그리고 상기 원통 로터(21)와 상기 로터(17)는, 상기 원통 로터(21)의 단면에서 충분한 거리(S1)만큼 떨어진 위치에서 접촉하고 있으므로, 상기 접촉부(28)와 상기 원통 로터(21) 사이에 고부하가 걸렸을 때, 상기 접촉부(28)가 상기 소경부(29)에 대해 휘어져, 부하를 흡수해 상기 원통 로터(21)를 보호할 수 있다. 이로써 간단한 구조임에도 불구하고, 고부하에 견딜 수 있는 강도를 구비하고, 회전의 고속화를 가능하게 한다. 또, 상기 접촉부(28)와 상기 원통 로터(21)가, 상기 터보 분자 펌프부(14)의 로터(17)의 바닥면보다 하측에서 접촉하고 있으므로, 상기 접촉부(28)와 상기 원통 로터(21) 사이에 고부하가 걸렸을 때, 상기 접촉부(28)의 휨이 더욱 한층 얻어지게 된다.Since the cylindrical rotor 21 and the rotor 17 are in contact with each other at a position spaced apart by a sufficient distance S1 from the end face of the cylindrical rotor 21, the distance between the contact portion 28 and the cylindrical rotor 21 The contact portion 28 is bent with respect to the small diameter portion 29 so that the load can be absorbed to protect the cylindrical rotor 21. Thus, despite its simple structure, it has strength enough to withstand a high load and enables high-speed rotation. Since the contact portion 28 and the cylindrical rotor 21 are in contact with each other at a position lower than the bottom surface of the rotor 17 of the turbo molecular pump portion 14, the contact portion 28 and the cylindrical rotor 21, The warp of the contact portion 28 is further obtained.

또한, 상기 복합형 진공 펌프(10)의 구조에 있어서, 예를 들면 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 접촉부(28)의 하단부에, 상기 원통 로터(21)의 내경보다 작은 외경으로 경사지는 가이드 경사면(30)을 설치하여 이루어지는 구성으로 하면, 상기 로터(17)의 접합부(20a)를 상기 원통 로터(21)의 상단부에 삽입할 때, 상기 가이드 경사면(30)을 가이드로 하여 원활하게 삽입시킬 수 있어, 조립 작업을 용이하게 하여 저비용화할 수 있다. 또, 조립시, 접합부(20a)를 냉각하여, 미리 외경 치수를 축소시킨 상태로 해서 삽입, 즉 냉각 끼워맞춤하여 삽입하면 조립 작업을 더 용이하게 할 수 있다.5, the lower end of the contact portion 28 is provided with a guide sloped surface inclined at an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical rotor 21, for example, When the joining portion 20a of the rotor 17 is inserted into the upper end portion of the cylindrical rotor 21, it is possible to smoothly insert the joining portion 20a using the guide inclined surface 30 as a guide Therefore, the assembly work can be facilitated and the cost can be reduced. Further, at the time of assembling, the joining portion 20a can be cooled and the insertion operation can be facilitated by inserting, that is, by cold fitting and inserting in a state in which the outer diameter is reduced in advance.

또한, 상기 복합형 진공 펌프(10)의 구조에 있어서, 예를 들면 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 터보 분자 펌프부(14)의 상기 로터(17)측, 즉 상기 소경부(29)의 상단부에, 상기 원통 로터(21)의 삽입량을 규제하는 스토퍼(31)를 설치해 이루어지는 구성으로 하고, 상기 원통 로터(21)의 상단부에, 상기 로터(17)의 접합부(20a)를 삽입할 때, 상기 스토퍼(31)에 상기 원통 로터(21)의 상부 단면이 맞닿을 때까지 삽입시키도록 하면, 상기 로터(17)와 원통 로터(21)를 간단하게 소정의 위치에 부착할 수 있어, 조립 정밀도를 안정화시킬 수 있다.6, the turbomolecular pump section 14 is provided on the side of the rotor 17, that is, on the upper end of the small-diameter section 29, for example, And a stopper 31 for limiting the amount of insertion of the cylindrical rotor 21 is provided in the cylindrical rotor 21. When the joint portion 20a of the rotor 17 is inserted into the upper end of the cylindrical rotor 21, The rotor 17 and the cylindrical rotor 21 can be easily attached to the predetermined position by inserting the stopper 31 until the upper end surface of the cylindrical rotor 21 comes into contact with each other, Can be stabilized.

또한, 도 6에 나타낸 변형예에 있어서, 예를 들면 도 7에 나타낸 바와 같이, 도 5에서 나타낸 구조와 동일하게 해서 상기 접촉부(28)의 하단부에, 상기 원통 로터(21)의 내경보다 작은 외경으로 경사지는 가이드 경사면(30)을 설치해 이루어지는 구성으로 하면, 상기 로터(17)의 접합부(20a)를 상기 원통 로터(21)의 상단부에 삽입할 때, 상기 가이드 경사면(30)을 가이드로 하여 원활하게 삽입시킬 수 있어, 조립 작업을 용이하게 해 저비용화할 수 있다.7, the lower end of the contact portion 28 is provided with an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical rotor 21, for example, as shown in Fig. 7, When the joining portion 20a of the rotor 17 is inserted into the upper end portion of the cylindrical rotor 21, the guide inclined surface 30 is smoothly guided by the guide inclined surface 30, So that the assembly work can be facilitated and the cost can be reduced.

또, 상기 복합형 진공 펌프(10)의 구조에 있어서, 예를 들면 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 원통 로터(21)의 상단부를 상기 접합부(20a)의 상단면보다 상방으로 크게 돌출한 구조, 혹은 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 원통 로터(21)의 상단부를 상기 테두리형상 원환부(20)의 하면보다 하방으로 크게 퇴피시킨 구조로 해도 된다. 또한, 도 8 및 도 9의 구조에 있어서, 도 5 및 도 7에 나타낸 접합부(20a)의 구조와 동일하게, 가이드 경사면을 설치하면, 상기 로터(17)의 접합부(20a)를 상기 원통 로터(21)의 상단부에 삽입할 때, 상기 가이드 경사면(30)을 가이드로 하여 원활하게 삽입시킬 수 있다. 또한, 도 9의 구조는, 원통 로터의 상단을 테두리형상 원환부의 하방으로 퇴피시킴으로써, 원통 로터 상단에 걸리는 응력을 저감시킬 수 있다. 이때, 원통 로터의 상단이 테두리형상 원환부보다 상측에 없어도, L자의 부분이 휨으로써 원통 로터 상단에 걸리는 응력을 저감시킬 수 있다. 이와 같이, 원통 로터 상단에 걸리는 응력을 저감시키는 방법이라는 점에서 발명의 단일성은 존재한다.8, a structure in which the upper end of the cylindrical rotor 21 is largely protruded upward from the upper surface of the joining portion 20a, 9, the upper end of the cylindrical rotor 21 may be retracted downward from the lower surface of the ring-shaped ring portion 20 as shown in FIG. 8 and 9, when the guiding surface is provided as in the case of the joining portion 20a shown in Figs. 5 and 7, the joining portion 20a of the rotor 17 is connected to the cylindrical rotor 21, it can be inserted smoothly using the guide sloping surface 30 as a guide. The structure of Fig. 9 can reduce the stress applied to the upper end of the cylindrical rotor by retracting the upper end of the cylindrical rotor to the lower side of the rim-shaped ring portion. At this time, even if the upper end of the cylindrical rotor is not on the upper side than the rim-shaped ring portion, the L-shaped portion is warped, so that the stress applied to the upper end of the cylindrical rotor can be reduced. As described above, there is a unity of the invention in that it is a method of reducing the stress applied to the upper end of the cylindrical rotor.

또한, 도 8에 나타낸 바와 같이, 원통 로터(21)의 상단부를 접합부(20a)의 상단면보다 상방으로 크게 돌출한 구조, 혹은, 도 9에 나타낸 바와 같이, 원통 로터(21)의 상단부를 테두리형상 원환부(20)의 하면보다 하방으로 크게 퇴피시킨 구조에서는, 소경부(29)가 없어도 원통 로터(21)의 상단부에 작용하는 응력을 작게 할 수 있다. 또는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 접합부를 테두리형상 원환부보다 상방으로 돌출한 L자 형상으로 형성하고, 원통 로터의 상단면을 상기 테두리형상 원환부의 상측으로 퇴피시켜도 된다.9, the upper end portion of the cylindrical rotor 21 may protrude upward from the upper end surface of the joint portion 20a, or a structure in which the upper end portion of the cylindrical rotor 21 is formed in a rim shape The stress exerted on the upper end portion of the cylindrical rotor 21 can be reduced even when the small diameter portion 29 is not provided. Alternatively, as shown in Fig. 10, the joining portion may be formed in an L-shape protruding upward from the rim-shaped ring portion, and the upper end surface of the cylindrical rotor may be retracted to the upper side of the rim-shaped ring portion.

이상, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명했는데, 본 발명의 진공 펌프는 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한, 여러 가지 변경을 행할 수 있고, 그리고, 본 발명이 상술한 변형예 이외의 개편된 것에 미치는 것은 당연하다.While the present invention has been described with respect to specific embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes may be made without departing from the spirit of the invention, and that the invention is not limited to the above- It is a matter of course.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 복합형 진공 펌프 이외의, FRP재로 원통형으로 성형해 이루어지는 원통 로터를 사용하는 장치에도 응용할 수 있다. 예를 들면, 도 11에 나타낸 본 발명의 다른 실시예의 진공 펌프의 종단면도와 같이, 나사홈 펌프부만을 구비하는 진공 펌프에도 응용할 수 있다. 이 경우, 회전축(16)에 고정 설치된 테두리형상 원환부(40)의 외주, 즉 접합부(40a)에, 원통 로터(41)가 압입 고착되어 설치된다. 또한, 동작은, 도 1의 나사홈 펌프부(15)의 동작과 같다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention can also be applied to an apparatus using a cylindrical rotor formed by molding an FRP material into a cylindrical shape other than the hybrid vacuum pump. For example, the present invention can be applied to a vacuum pump having only a screw groove pump section as in the longitudinal section of a vacuum pump of another embodiment of the present invention shown in Fig. In this case, the cylindrical rotor 41 is press-fitted and fixed to the outer periphery of the ring-shaped ring portion 40 fixed to the rotary shaft 16, that is, to the joint portion 40a. The operation is the same as that of the screw groove pump unit 15 of Fig.

또, 본 발명은, FRP재를 사용한 원통 로터를 예로 하여 설명했는데, 금속제의 원통 로터이어도 동일한 효과를 기대할 수 있다. 즉, 원통 로터의 상부 단면에 걸리는 응력이 저감되어, 단면 부근에 생긴 흠 등으로 인해 균열이 진전되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 금속제의 원통 로터이어도, 로터의 강도를 높게 할 수 있다.Further, although the present invention has been described taking a cylindrical rotor using FRP material as an example, the same effect can be expected even with a metal cylindrical rotor. That is, the stress applied to the upper end face of the cylindrical rotor is reduced, and cracks can be prevented from being developed due to flaws or the like in the vicinity of the end face, so that the strength of the rotor can be increased even with a metal cylindrical rotor.

10：복합형 진공 펌프 11：흡기구
12：배기구 13：하우징
14：터보 분자 펌프부 15：나사홈 펌프부
16：회전축 17：로터
18：회전 날개 19：고정 날개
20, 40：테두리형상 원환부 20a：접합부
21, 41：원통 로터 22：나사홈
23：스테이터 24：배기 통로
25：모터 하우징 26：고주파 모터
26a：로터 27：보호 베어링
28：접촉부 29：소경부
30：가이드 경사면 31：스토퍼
38：접촉부 39：소경부
40a：접합부 10: Combined vacuum pump 11: Intake port
12: exhaust port 13: housing
14: turbo molecular pump unit 15: screw groove pump unit
16: rotating shaft 17: rotor
18: rotating blade 19: fixed blade
20, 40: rim-shaped ring portion 20a:
21, 41: cylindrical rotor 22: screw groove
23: stator 24: exhaust passage
25: motor housing 26: high frequency motor
26a: rotor 27: protective bearing
28: contact portion 29: small diameter portion
30: Guide slope 31: Stopper
38: contact portion 39: small diameter portion
40a:

Claims (7)

원통형으로 성형된 원통 로터와,
상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고,
상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해,
상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서,
상기 원통 로터의 상단면은, 상기 원통 로터와 상기 제2의 로터의 접촉부보다 상측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.A cylindrical rotor formed into a cylindrical shape,
And a second rotor for connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft,
To the joint portion attached to the ring-shaped ring portion formed on the second rotor,
And a part of the side surface of the cylindrical rotor is joined to the cylindrical rotor,
Wherein an upper end surface of the cylindrical rotor protrudes upward from a contact portion between the cylindrical rotor and the second rotor. 원통형으로 성형된 원통 로터와,
상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고,
상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해,
상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서,
상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면은, 상기 테두리형상 원환부의 하면보다 하측으로 퇴피되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.A cylindrical rotor formed into a cylindrical shape,
And a second rotor for connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft,
To the joint portion attached to the ring-shaped ring portion formed on the second rotor,
And a part of the side surface of the cylindrical rotor is joined to the cylindrical rotor,
Wherein the joining portion is formed in an L shape protruding downward from the rim-shaped ring portion, and the upper end surface of the cylindrical rotor is retracted to a lower side than a lower surface of the rim-shaped ring portion Pump. 원통형으로 성형된 원통 로터와,
상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고,
상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해,
상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서,
상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 상방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면이 상기 테두리형상 원환부의 상측으로 설치되어 있고, 상기 접합부는 상기 원통 로터를 설치함에 의해 휘어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.A cylindrical rotor formed into a cylindrical shape,
And a second rotor for connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft,
To the joint portion attached to the ring-shaped ring portion formed on the second rotor,
And a part of the side surface of the cylindrical rotor is joined to the cylindrical rotor,
Wherein the joining portion is formed in an L shape protruding upward from the rim-shaped ring portion, an upper end surface of the cylindrical rotor is provided on an upper side of the rim-shaped ring portion, And is bent by the installation of the vacuum pump. 원통형으로 성형된 원통 로터와,
상기 원통 로터와 회전축을 접속하는 제2의 로터를 구비하고,
상기 제2의 로터에 형성된 테두리형상 원환부에 부설된 접합부에 대해,
상기 원통 로터의 측면의 일부를 접합해 구성된 진공 펌프에 있어서,
상기 접합부는, 상기 테두리형상 원환부보다 하방으로 돌출한 L자 형상으로 형성되어 있음과 더불어, 상기 접합부의 상부에 소경부(小徑部)를 설치하고,
상기 원통 로터와 상기 제2의 로터의 접촉부는, 상기 테두리형상 원환부의 하측으로 퇴피되어 있음과 더불어, 상기 원통 로터의 상단면은, 상기 접촉부보다 상측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.A cylindrical rotor formed into a cylindrical shape,
And a second rotor for connecting the cylindrical rotor and the rotary shaft,
To the joint portion attached to the ring-shaped ring portion formed on the second rotor,
And a part of the side surface of the cylindrical rotor is joined to the cylindrical rotor,
The joining portion is formed in an L shape protruding downward from the rim-shaped ring portion, and a small-diameter portion is provided on an upper portion of the joining portion,
Wherein the contact portion between the cylindrical rotor and the second rotor is retracted to the lower side of the rim ring portion and the upper end surface of the cylindrical rotor protrudes upward from the contact portion. 청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,
상기 원통 로터의 돌출 부분의 길이는, 상기 원통 로터 두께의 2배 이상인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.The method according to claim 1 or 4,
And the length of the protruding portion of the cylindrical rotor is twice or more the thickness of the cylindrical rotor. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2의 로터는, 적어도 터보 분자 펌프부 혹은 와류 펌프부를 구성하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.The method according to any one of claims 1 to 4,
And the second rotor constitutes at least a turbo molecular pump unit or an eddy current pump unit. 청구항 5에 있어서,
상기 제2의 로터는, 적어도 터보 분자 펌프부 혹은 와류 펌프부를 구성하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.The method of claim 5,
And the second rotor constitutes at least a turbo molecular pump unit or an eddy current pump unit.
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