KR101848307B1 - Exhaust purge valve unit for prevention of a gas alarm - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm.
반도체 제조 공정의 챔버에 있어서, 챔버 내부에서 공정 중 유해 가스가 발생된다. 그래서 이러한 유해 가스를 배출시키기 위한 장치가 별도로 마련되어 있다.In the chamber of the semiconductor manufacturing process, noxious gas is generated during the process inside the chamber. Therefore, a device for discharging such harmful gas is separately provided.
이러한 가스 배출 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌의 그 것들이다.Examples of such gas discharging devices are those of the patent documents given below.
여기서 종래의 가스 배출 장치를 포함한 아래의 특허문헌을 살펴보면, 단순히 유해 가스를 배출할 수 있는 시스템임을 알 수 있다. 그러나, 높은 농도의 유해 가스가 단시간에 갑자기 배출되면 유해 가스가 배출되면 작업장에 악영향을 끼쳐 유해 가스의 배출을 조정하여야 했다. 그래서 이러한 배출되는 유해 가스의 농도를 측정하여 유해 가스의 위험 기준이 되는 농도에 도달하면 알람을 울려주는 장치가 이미 개발되어 많이 사용되고 있다.Here, the following patent document including the conventional gas discharge apparatus is merely a system capable of discharging noxious gas. However, if a high concentration of harmful gas is suddenly discharged in a short period of time, harmful gas is discharged, and the discharge of harmful gas has to be adjusted by adversely affecting the workplace. Therefore, a device that sounds an alarm when the concentration of harmful gas emitted is measured and reaches a concentration that is a dangerous standard of harmful gas has already been developed and widely used.
즉, 이러한 알람 장치가 챔버에서 배출되는 유해 가스의 농도가 미리 지정한 위험하다고 판단되는 농도를 넘길 시 알람을 울려 작업자에게 알리고, 이러한 알람이 울리면 유해 가스 배출 작업을 수동 또는 자동으로 중단시킨다.That is, when the concentration of the harmful gas discharged from the chamber exceeds the concentration determined to be dangerous by the alarm, the alarm sounds to inform the operator, and if the alarm sounds, the discharge of the harmful gas is manually or automatically stopped.
위와 같이 알람 장치가 구비된 작업장에서 유해 가스의 배출 작업을 시작할 때, 알람 장치 주변이 상대적으로 유해 가스의 농도가 급작스럽게 높아지면서 유해 가스의 농도가 위험하다고 판단하여 알람이 매번 울리거나, 유해 가스 배출 작업도중 알람이 수시로 울려 작업을 방해하는 단점이 있었다. 그래서 수시로 울리는 알람을 끄기 위해 알람이 울릴 때마다 가스 배출 작업을 중단하였고, 이로 인해 유해 가스 배출 작업에 걸리는 시간이 지체가 되는 결과를 초래하였다.When the discharge of hazardous gas is started at the workplace equipped with the alarm device as described above, since the concentration of the noxious gas is suddenly increased around the alarm device, it is determined that the concentration of the noxious gas is dangerous, There was a disadvantage that the alarm was intermittently interrupted during the discharge operation to interfere with the operation. Thus, to stop the alarm from time to time, the gas discharge operation was interrupted whenever the alarm sounded, which resulted in a delay in the time required for the discharge of the toxic gas.
또한, 유해 가스 배출에 사용되는 펌프 장치에서는 유해 가스가 점차 배출됨에 따라 챔버 내의 압력이 점차 내려가면서 유해 가스 배출을 위한 펌핑이 실패되면서 유해 가스의 배출이 제대로 이루어지지 않는 문제점도 발생하였다.In addition, in the pump device used for discharging noxious gas, as the noxious gas is gradually discharged, the pressure in the chamber gradually decreases and the pumping for discharging the noxious gas is failed, so that the noxious gas is not properly discharged.
본 발명은 챔버 내의 유해 가스가 원활하게 배출될 수 있도록 챔버 내의 압력을 유지해주면서, 유해 가스 농도에 따라 알람이 울리는 알람 장치의 알람이 울리지 않도록 챔버 내에 외기를 주입하여 유해 가스를 미리 희석시켜주는 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.The present invention relates to an apparatus and a method for controlling an internal combustion engine in which a pressure in a chamber is maintained so that noxious gas in a chamber can be smoothly discharged, An object of the present invention is to provide an outside air purifying valve unit for preventing an alarm.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛은 반도체 공정을 위한 챔버 내부로 외기를 주입하는 것으로서, 몸체; 상기 몸체로 상기 외기를 주입시키도록 상기 몸체와 연결된 주입 연결체; 상기 챔버와 상기 몸체를 연결하되, 상기 주입 연결체에서 상기 몸체로 주입된 상기 외기가 상기 챔버 내부로 주입되도록 그 내부에 주입 홀이 형성되어 있는 챔버 연결체; 상기 몸체의 상기 외기가 상기 주입 홀을 통해 상기 챔버 내부로 유동될 수 있도록 개폐 동작을 조정하는 개폐 밸브; 상기 몸체로 흡입되는 상기 외기의 양을 제어하여 상기 챔버 내부의 압력을 조정시키는 압력 조정 밸브; 및 상기 챔버 연결체와 상기 몸체 사이에 개재되어 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재;를 포함하고, 상기 균형 감지 부재는 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 케이스와, 상기 균형 감지 케이스 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링과, 상기 회동 연결 링에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고 상기 회동 연결 링과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성되는 회동체와, 상기 회동체의 말단부에 배치되는 회동 마그넷과, 상기 균형 감지 케이스의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서와, 상기 균형 감지 케이스의 내부의 하측면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 접촉을 감지할 수 있는 균형 감지 접촉 센서를 포함하고, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체가 기울어지기 시작하면, 기울어진 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체가 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 기울어지기 시작함이 감지될 수 있고, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체가 최댓값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷의 위치 변동에 따른 자력 변화가 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷이 상기 균형 감지 접촉 센서와 접촉됨으로써, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 최대 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm injects outside air into a chamber for a semiconductor process, comprising: a body; An injection connector connected to the body to inject the outside air into the body; A chamber connecting body connecting the chamber and the body, wherein an injection hole is formed in the chamber so that the outside air injected into the body from the injection connection body is injected into the chamber; An opening / closing valve for adjusting the opening / closing operation so that the outside air of the body can flow into the chamber through the injection hole; A pressure regulating valve for controlling an amount of the outside air sucked into the body to adjust a pressure inside the chamber; And a balance sensing member interposed between the chamber connection body and the body for sensing a verticality of the chamber connection body or the body, wherein the balance sensing member is formed in an empty circular cylinder shape, A rotation connecting ring projecting in a hemispherical shape at an upper end of the inside of the balance sensing case, and a rotation connecting ring rotatably mounted on the rotation connecting ring so as to be pivotable toward the gravity direction and gradually increasing toward a distal end remote from the rotation connecting ring And a balance sensing hole sensor for sensing a change in magnetic force of the rotation magnet which is disposed on a bottom surface of the balance sensing case and is pivotally suspended from the pivoting body, wherein the rotation sensing magnet is disposed at a distal end of the pivoting body. And a balance sensing case disposed on the lower side of the inside of the balance sensing case, And a balance sensing contact sensor capable of sensing the contact of the rotating magnet when the chamber connecting body or the body starts to be tilted. When the chamber connecting body or the body starts to be inclined, the chamber connecting body or the body is tilted by the tilting degree The chamber coupling body or the body can be sensed as being tilted by changing the magnetic force sensed by the balance sensing hall sensor as the position of the rotation magnet is changed while the body is rotated, When the body is tilted to its maximum value, a change in magnetic force due to a change in the position of the rotation magnet is detected by the balance detection hall sensor, and the rotation magnet is brought into contact with the balance detection contact sensor, The maximum inclination can be detected.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛에 의하면,According to the gas alarm prevention outdoor air purification valve unit according to one aspect of the present invention,
반도체 공정을 위한 챔버 내부로 외기를 주입하는 것으로서, 몸체; 상기 몸체로 상기 외기를 주입시키도록 상기 몸체와 연결된 주입 연결체; 상기 챔버와 상기 몸체를 연결하되, 상기 주입 연결체에서 상기 몸체로 주입된 상기 외기가 상기 챔버 내부로 주입되도록 그 내부에 주입 홀이 형성되어 있는 챔버 연결체; 상기 몸체의 상기 외기가 상기 주입 홀을 통해 상기 챔버 내부로 유동될 수 있도록 개폐 동작이 조정되는 개폐 밸브; 및 상기 몸체로 흡입되는 상기 외기의 양을 제어하여 상기 챔버 내부의 압력을 조정시키는 압력 조정 밸브;를 포함함으로써, 챔버 내의 유해 가스가 원활하게 배출될 수 있도록 챔버 내의 압력을 유지해주면서, 유해 가스 농도에 따라 알람이 울리는 알람 장치의 알람이 울리지 않도록 챔버 내에 외기를 주입하여 유해 가스를 미리 희석시켜 줄 수 있는 효과가 있다.A method for injecting outside air into a chamber for a semiconductor process, comprising: a body; An injection connector connected to the body to inject the outside air into the body; A chamber connecting body connecting the chamber and the body, wherein an injection hole is formed in the chamber so that the outside air injected into the body from the injection connection body is injected into the chamber; An opening / closing valve whose opening / closing operation is adjusted so that the outside air of the body can flow into the chamber through the injection hole; And a pressure regulating valve for regulating the pressure inside the chamber by controlling the amount of the outside air sucked into the body, thereby maintaining the pressure in the chamber so that the noxious gas in the chamber can be smoothly discharged, It is possible to preliminarily dilute the noxious gas by injecting the outside air into the chamber so that the alarm of the alarm device that sounds the alarm will not be triggered.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버에 펌프 및 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛이 설치된 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부에 유해 가스가 차있는 모습을 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛이 챔버 내부로 외기를 주입한 모습을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부의 외기 및 유해 가스가 펌프관을 통해 펌프로 이동되는 모습을 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 개폐 밸브가 오프된 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 연결체를 주입구 쪽에서 바라본 도면.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 감지 부재의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 마그넷이 기울어진 모습을 보이는 도면.
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 마그넷이 균형 감지 접촉 센서에 접촉된 모습을 보이는 도면.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 챔버 내부의 외기 및 유해 가스가 펌프관을 통해 펌프로 이동되는 모습을 나타낸 도면.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of a chamber according to a first embodiment of the present invention in which a pump and an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm are installed. FIG.
2 is a view showing a state where noxious gas is present inside a chamber according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a state where an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to the first embodiment of the present invention injects outside air into a chamber. FIG.
4 is a view showing a state in which outside air and noxious gas inside the chamber according to the first embodiment of the present invention are moved by a pump through a pump tube.
5 is a front view of a gas alarm prevention outer air purification valve unit according to the first embodiment of the present invention.
6 is a view showing a state in which the opening and closing valve is turned off according to the first embodiment of the present invention.
7 is a view of the chamber connecting body according to the first embodiment of the present invention viewed from the inlet side.
8 is a front view of a gas alarm prevention outer air purification valve unit according to a second embodiment of the present invention.
9 is a schematic view of a structure of a balance sensing member according to a second embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state in which the balance magnet according to the second embodiment of the present invention is inclined.
11 is a view showing a balance magnet according to a second embodiment of the present invention in contact with a balance sensing contact sensor.
12 is a view showing a state in which outside air and noxious gas inside the chamber according to the third embodiment of the present invention are moved by a pump through a pump tube.
13 is a front view of an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to the third embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛에 대하여 설명한다.Hereinafter, an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버에 펌프 및 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛이 설치된 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부에 유해 가스가 차있는 모습을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛이 챔버 내부로 외기를 주입한 모습을 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 내부의 외기 및 유해 가스가 펌프관을 통해 펌프로 이동되는 모습을 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 개폐 밸브가 오프된 모습을 보이는 도면이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 챔버 연결체를 주입구 쪽에서 바라본 도면이다.FIG. 1 is a schematic view of a chamber according to a first embodiment of the present invention in which a pump and an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm are installed. FIG. 2 is a schematic view of a chamber according to the first embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing a state in which an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to the first embodiment of the present invention injects outside air into a chamber, and FIG. 4 is a cross- FIG. 5 is a front view of the outer air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to the first embodiment of the present invention. FIG. FIG. 6 is a view showing a state in which the opening / closing valve according to the first embodiment of the present invention is turned off, FIG. 7 is a view showing the chamber connecting body according to the first embodiment of the present invention, A rabon drawings.
도 1 내지 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(100)은 반도체 공정을 위한 챔버(10) 내부로 외기(70)를 주입하는 것으로서, 몸체(130)와, 주입 연결체(150)와, 챔버 연결체(140)와, 개폐 밸브(110)와, 압력 조정 밸브(120)를 포함한다.1 to 7, the outer air purifying
상기 챔버(10)는 반도체 제조 라인에 있어 그 내부에서 웨이퍼와 같은 대상체에 공정을 실시할 수 있도록 공간을 제공하는 것이다.The
도면번호 20은 상기 챔버(10) 내부에서 공정 중 발생되는 유해 가스이고, 도면번호 70은 상기 챔버(10) 외부에 존재해있다가 상기 챔버(10) 내부로 유입되어 상기 챔버(10) 내의 유해 가스(20)를 희석해줄 수 있는 외기이고, 도면번호 80은 상기 챔버(10) 내부의 압력을 측정하는 챔버용 압력 부재(80)이고, 도면번호 60은 상기 챔버(10) 내부의 유해 가스(20)가 펌핑에 의해 배출되도록 상기 챔버(10)에 연결되어 배출 펌프(60)이고, 도면번호 30은 상기 배출 펌프(60)와 상기 챔버(10)를 연결하되 상기 유해 가스(20) 또는 상기 외기(70)가 유동될 수 있도록 내부가 빈 펌프측 유동관이고, 도면번호 40은 상기 배출 펌프(60)에서 배출되는 유해 가스(20)의 농도를 측정하고 상기 유해 가스(20)의 농도가 위험 수준에 도달하면 알람을 울려주는 농도 알람 장치(40)이다.
상기 몸체(130)는 그 내부로 상기 외기(70)가 주입될 수 있는 것으로, 후술 설명될 상기 주입 연결체(150)와, 상기 챔버 연결체(140)와, 상기 개폐 밸브(110)와, 상기 압력 조정 밸브(120)가 결합되어 있다.The
상기 주입 연결체(150)는 상기 몸체(130)로 상기 외기(70)를 주입시키도록 상기 몸체(130)와 연결된 것으로, 상기 외기(70)가 상기 주입 연결체(150) 내부를 지나 상기 몸체(130)로 유입된다.The
여기서, 상기 주입 연결체(150)는 그 자체가 상기 외기(70)가 주입되도록 형성되거나, 상기 외기(70)가 주입되는 별도의 주입용 배관이 설치될 수 있다.Here, the
상기 챔버 연결체(140)는 상기 챔버(10)와 상기 몸체(130)를 연결하되, 상기 주입 연결체(150)에서 상기 몸체(130)로 주입된 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내부로 유동될 수 있도록 관통 형성된 주입 홀(141)이 형성되어 있는 것이다.The
자세히, 상기 챔버 연결체(140)는 상기 몸체(130)의 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내로 유동되도록 상기 몸체(130)와 상기 챔버(10)를 연결하되 상기 몸체(130)와 상기 챔버(10)의 결합 부분에서 상기 외기(70)가 새어나가지 않도록 단단하게 패킹되어 있다. 이러한 상기 챔버 연결체(140)는 상기 몸체(130)와 일체 성형되어 형성될 수 있음은 물론이다.More specifically, the
상기 주입 홀(141)은 상기 몸체(130)에서 상기 챔버(10)를 향해 관통 형성되어 있고, 상기 몸체(130)쪽으로 개방된 부분보다 상기 챔버(10)쪽으로 개방된 부분이 상대적으로 그 지름이 점차 좁아지도록 형성되어 있다. 그러면, 상기 주입 홀(141)의 그 내부가 상기 챔버(10)를 향해 점차 좁아지는 형태로 형성되어 있어, 상기 주입 홀(141)에서 상기 챔버(10)로 상기 외기(70)가 유동될 때 상기 외기(70)의 압력이 점차 높아지면서 상기 챔버(10)로 토출될 때 빠르게 토출된다. 그러면 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내로 빠르게 주입되면서 상기 유해 가스(20)와 원활하게 섞일 수 있다.The
상기와 같이 형성되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10) 내부에서 상기 유해 가스(20)가 상기 외기(70)와 섞여 상기 유해 가스(20)의 농도가 낮아지고, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)와 상기 외기(70)가 함께 상기 펌프측 유동관(30)을 따라 상기 배출 펌프(60)로 유입될 수 있다. 그러면, 상기 유해 가스(20) 농도에 따라 알람이 울리는 상기 농도 알람 장치(40)에서 상기 유해 가스(20)의 농도가 측정될 때, 상기 외기(70)에 의해 희석되어 그 농도가 낮아진 상기 유해 가스(20)의 농도가 측정되어 상기 알람이 울리지 않게 된다. 즉, 상기 챔버(10) 내에 상기 외기(70)를 주입되어 상기 유해 가스(20)를 미리 희석해줌으로써, 상기 농도 알람 장치(40)의 알람이 울리는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.3, the
상기 개폐 밸브(110)는 상기 몸체(130)의 상기 외기(70)가 상기 주입 홀(141)을 통해 상기 챔버(10) 내부로 유동될 수 있도록 개폐 동작이 조정되는 것으로, 작업자가 직접 온오프 하는 수동형 매뉴얼 밸브(manual valve)나 또는 솔레노이드 밸브 등의 자동형 조절 밸브로 형성될 수 있다.The opening and
도 5는 상기 개폐 밸브(110)가 켜있는 상태를 도시한 것으로, 이러한 상태에서는 상기 몸체(130)의 상기 외기(70)가 상기 주입 홀(141)을 통해 상기 챔버(10) 내부로 유동될 수 있고, 도 6은 상기 개폐 밸브(110)가 오프된 상태를 도시한 것으로, 이러한 상태에서는 상기 개폐 밸브(110)가 상기 주입 홀(141)을 통해 상기 몸체(130)의 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내부로 유동되지 못하도록 막는 역할을 한다.5 shows a state in which the open /
상기 압력 조정 밸브(120)는 상기 몸체(130)로 흡입되는 상기 외기(70)의 양을 제어하여 상기 챔버(10) 내부의 압력을 조정시키는 것으로, 본 실시예에서는 상기 압력 조정 밸브(120)의 상단부를 돌려 상기 외기(70)의 양을 제어할 수 있도록 형성되어 있으며, 예를 들어 에어 레귤레이터로 형성될 수 있다.The
만약 상기 챔버(10)의 내부 압력이 계속 낮아지면 어느 순간 상기 배출 펌프(60)에서 펌프질이 잘 이루어지지 않는다. 그러면 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)가 원활하게 배출되지 못하고 상기 챔버(10)에 잔류되는 현상이 발생한다. 그러므로 상기 챔버(10) 내부의 압력을 일정 압력 이상으로 유지해주는 것이 상기 배출 펌프(60)에서 상기 유해 가스(20)의 배출을 원활하게 하는 중요한 조건이다.If the internal pressure of the
상기와 같이 형성되면, 상기 압력 조정 밸브(120)를 이용하여 상기 챔버용 압력 부재(80)에서 측정되는 상기 챔버(10) 내부의 압력이 미리 지정한 압력에 맞게 일정하게 유지되도록 상기 외기(70)의 양을 제어시킬 수 있다. 여기서 미리 지정한 압력은 상기 배출 펌프(60)에서 펌핑 실패(pump fail)를 방지하는 압력 값을 말한다.When the pressure inside the
그러면, 그러면 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)가 원활하게 배출될 수 있고 상기 챔버(10)에 상기 유해 가스(20)가 잔류되는 현상을 방지할 수 있다.Then, the
이하에서는 상기 농도 알람 장치(40)의 알람이 울리지 않도록 상기 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(100)을 이용하여 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)를 희석하여 배출하는 과정에 대하여 간략하게 설명한다.Hereinafter, the process of diluting and discharging the
우선, 도 2에 도시된 바와 같이 그 내부에서 공정이 끝나면서 상기 유해 가스(20)가 형성된 상기 챔버(10)가 준비된다.First, as shown in FIG. 2, the
여기서, 상기 챔버(10) 내부에서 공정이 끝날 때까지, 상기 개폐 밸브(110)는 오프된 상태를 유지한다.Here, the on / off
그런 다음, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 개폐 밸브(110)를 켜서 상기 외기(70)를 상기 챔버(10)로 주입시킨다. 그러면, 상기 챔버(10)의 상기 유해 가스(20)가 희석된다.Then, as shown in FIG. 3, the open /
그런 다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10) 내에서 혼합된 상기 유해 가스(20)와 상기 외기(70)를 함께 상기 배출 펌프(60)로 유동시켜 그 외부로 배출한다.Then, as shown in FIG. 4, the
여기서, 상기 배출 펌프(60)로 배출되는 상기 유해 가스(20)와 상기 외기(70)에 의해 상기 챔버(10) 내부의 압력이 미리 지정한 압력보다 낮아지지 않도록, 상기 압력 조정 밸브(120)를 이용하여 상기 챔버(10)로 주입되는 상기 외기(70)의 양을 제어시켜준다.The
상기와 같이 상기 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(100)을 이용하여 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)를 배출하면, 상기 챔버(10) 내의 상기 유해 가스(20)가 원활하게 배출될 수 있도록 상기 챔버(10) 내의 압력을 유지해주면서, 상기 농도 알람 장치(40)에서 상기 알람이 울리는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.The
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out the above description, the description overlapping with the content already described in the embodiment of the present invention described above will be omitted and it will be omitted here.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면이고, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 감지 부재의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 마그넷이 기울어진 모습을 보이는 도면이고, 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 균형 마그넷이 균형 감지 접촉 센서에 접촉된 모습을 보이는 도면이다.FIG. 8 is a front view of an outside air purifying valve unit for preventing a gas alarm according to a second embodiment of the present invention, FIG. 9 is a view schematically showing a structure of a balance sensing member according to a second embodiment of the present invention, FIG. 10 is a view showing a state in which the balance magnet according to the second embodiment of the present invention is inclined, and FIG. 11 is a view showing a state in which the balance magnet according to the second embodiment of the present invention is in contact with the balance sensing sensor .
도 8 내지 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(200)은 반도체 공정을 위한 챔버 내부로 외기를 주입하는 것으로서, 몸체(230)와, 주입 연결체(250)와, 챔버 연결체(240)와, 개폐 밸브(210)와, 압력 조정 밸브(220)와, 균형 감지 부재(260)를 포함한다.8 to 11, the outer air
상기 균형 감지 부재(260)는 상기 챔버 연결체(240)와 상기 몸체(230) 사이에 개재되어 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230)의 수직도를 감지하는 것으로, 균형 감지 케이스(261)와, 회동 연결 링(262)과, 회동체(263)와, 회동 마그넷(264)과, 균형 감지 홀 센서(266)와, 균형 감지 접촉 센서(265)를 포함한다.The
상기 균형 감지 케이스(261)는 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성된 것이고, 상기 회동 연결 링(262)은 상기 균형 감지 케이스(261) 내부의 상단에서 반구형으로 돌출된 것이고, 상기 회동체(263)는 상기 회동 연결 링(262)에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고 상기 회동 연결 링(262)과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성된 것이고, 상기 회동 마그넷(264)은 상기 회동체(263)의 말단부에 배치된 것이고, 상기 균형 감지 홀 센서(266)는 상기 균형 감지 케이스(261)의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체(263)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(264)의 자력 변화를 감지하는 것이고, 상기 균형 감지 접촉 센서(265)는 상기 균형 감지 케이스(261)의 내부의 하측면에 배치되어 상기 회동체(263)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(264)의 접촉을 감지할 수 있는 것으로 예를 들어 압력 감지 센서 등으로 형성된다.The
상기 회동 마그넷(264)은 상기 균형 감지 홀 센서(266)에서 감지될 수 있도록 자성을 띄는 자성체로 형성된다.The
상기 회동체(263)와 상기 회동 마그넷(264)은 자중에 의해 상기 회동 연결 링(262)에 연결된 상태로 항상 중력 방향을 향하게 된다.The
감지 효과를 증진하기 위하여, 상기 균형 감지 홀 센서(266)는 상기 균형 감지 케이스(261)의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치된다.In order to enhance the sensing effect, the balance
상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상이 흔들리지 않고 정상적인 자세를 유지하는 동안, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 회동 마그넷(264)은 복수 개의 상기 균형 감지 홀 센서(266) 중 중앙의 것에 의해 감지되는 상태를 유지한다.As shown in FIG. 9, the
그러다가, 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상이 임의로 기울어지기 시작하면, 도 10에 도시된 바와 같이, 기울어진 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230)의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체(263)가 중력에 의해 회동되면서 상기 회동 마그넷(264)의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서(266)에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상이 기울어지기 시작함이 감지될 수 있다.When at least one of the
그러다가 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상이 최댓값으로 기울어지면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 회동 마그넷(264)의 위치 변동에 따른 자력 변화 최댓값이 상기 균형 감지 홀 센서(266)에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷(264)이 상기 균형 감지 접촉 센서(265)와 접촉됨으로써, 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.When at least one of the
상기와 같은 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상의 기울어짐과 그 기울어지는 정도에 대한 정보는 상기 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(200)의 외부에 마련된 제어 시스템에 전달될 수 있다.Information about the inclination and inclination of at least one of the
상기 제어 시스템은 상기 정보를 작업자에게 알람 또는 모니터링 등의 방식으로 알려줄 수 있는 것으로, 상기 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛(200)의 외부에 형성될 수 있다.The control system may inform the operator of the information by an alarm or a monitoring method, and may be formed outside the gas alarm-preventing outside air
상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상이 기울어지거나 흔들리면, 상기 챔버 연결체(240)와 상기 챔버의 결합이 풀릴 위험이 있는데 상기와 같이 구성됨으로써, 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상의 임의적인 기울어짐과 그 기울어지는 정도가 신속하게 감지될 수 있다. 나아가 상기 챔버 연결체(240) 또는 상기 몸체(230) 둘 중 하나 이상의 임의적인 기울어짐이 신속하게 감지되면, 그 기울어짐이 더이상 진행되지 않도록 조취를 취하거나, 상기 챔버 연결체(240)와 상기 챔버 사이의 결합이 안전한지 확인할 수 있다.There is a risk that the
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 챔버 내부의 외기 및 유해 가스가 펌프관을 통해 펌프로 이동되는 모습을 나타낸 도면이고, 도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛을 정면에서 바라본 도면이다.FIG. 12 is a view showing a state in which outside air and noxious gas inside the chamber according to the third embodiment of the present invention are moved by a pump through a pump tube, and FIG. 13 is a cross- Fig. 5 is a front view of the purge valve unit. Fig.
도 12 내지 도 13을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 알람 방지용 외기(70) 정화 밸브 유닛은 반도체 공정을 위한 챔버(10) 내부로 외기(70)를 주입하는 것으로서, 몸체(330)와, 주입 연결체(350)와, 챔버 연결체(340)와, 개폐 밸브(310)와, 압력 조정 밸브(320)와, 제어부(320)를 포함한다.12 to 13, the purge valve unit for preventing the
상기 제어부(320)는 상기 챔버(10) 내부의 압력을 감지하는 챔버용 압력 부재(80)로부터 상기 챔버(10)의 내부 압력 값을 입력받아 상기 내부 압력 값으로 미리 지정된 적정 내부 압력 값에 맞게 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내부로 주입되도록 상기 압력 조정 밸브(320)를 자동 조정시키는 것이다.The
그러면, 작업자가 상기 챔버용 압력 부재(80)로 상기 챔버(10) 내부의 압력 값을 확인하여 상기 압력 조정 밸브(320)를 수시로 조정하지 않아도 되어 작업의 편의성이 높아진다.Then, the operator confirms the pressure value inside the
도면번호 40은 상기 배출 펌프에서 배출되는 유해 가스(20)의 농도를 측정하고 상기 유해 가스(20)의 농도가 위험 수준에 도달하면 알람을 울려주는 농도 알람 장치로, 상기 유해 가스(20)의 농도 값을 출력하여 상기 제어부(320)로 전송하는 기능을 포함한다.
그러면, 상기 제어부(320)에서는 상기 챔버(10)에서 토출되는 희석된 상기 유해 가스(20)의 농도를 측정하는 상기 농도 알람 장치(40)에서 상기 유해 가스(20)의 상기 농도 값을 전송받고, 상기 농도 값이 미리 지정된 적정 농도 값에 맞게 상기 외기(70)가 상기 챔버(10) 내부로 주입되어 상기 챔버(10) 내부의 상기 유해 가스(20)를 희석시키도록 상기 압력 조정 밸브(320)를 자동 조정시킬 수 있다. 그러면 상기 작업자가 수동으로 상기 압력 조정 밸브(320)를 조정시키지 않아도 되고, 상기 알람이 임의로 울리는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.The
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims And can be changed. However, it is intended that the present invention covers the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛에 의하면, 챔버 내의 유해 가스가 원활하게 배출될 수 있도록 챔버 내의 압력을 유지해주면서, 유해 가스 농도에 따라 알람이 울리는 알람 장치의 알람이 울리지 않도록 챔버 내에 외기를 주입하여 유해 가스를 미리 희석시켜 줄 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to an aspect of the present invention, there is provided an outside air purifying valve unit for preventing gas alarm, in which the pressure in the chamber is maintained so that the noxious gas in the chamber can be discharged smoothly while the alarm of the alarm device The ambient air can be injected into the chamber to dilute the noxious gas in advance, so that the possibility of industrial use is high.
10 : 챔버 20 : 유해 가스
30 : 펌프측 유동관 40 : 농도 알람 장치
60 : 배출 펌프 70 : 외기 80 : 챔버용 압력 부재
100 : 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛
110 : 개폐 밸브
120 : 압력 조정 밸브
130 : 몸체
150 : 주입 연결체
140 : 챔버 연결체
260 : 균형 감지 부재
370 : 제어부10: chamber 20: noxious gas
30: Pump side flow tube 40: Concentration alarm device
60: exhaust pump 70: outside air 80: pressure member for chamber
100: Exhaust purification valve unit for gas alarm prevention
110: opening / closing valve
120: Pressure regulating valve
130: Body
150: injection connector
140: chamber connecting body
260: Balance sensing member
370:
Claims (4)
몸체;
상기 몸체로 상기 외기를 주입시키도록 상기 몸체와 연결된 주입 연결체;
상기 챔버와 상기 몸체를 연결하되, 상기 주입 연결체에서 상기 몸체로 주입된 상기 외기가 상기 챔버 내부로 주입되도록 그 내부에 주입 홀이 형성되어 있는 챔버 연결체;
상기 몸체의 상기 외기가 상기 주입 홀을 통해 상기 챔버 내부로 유동될 수 있도록 개폐 동작을 조정하는 개폐 밸브;
상기 몸체로 흡입되는 상기 외기의 양을 제어하여 상기 챔버 내부의 압력을 조정시키는 압력 조정 밸브; 및
상기 챔버 연결체와 상기 몸체 사이에 개재되어 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재;를 포함하고,
상기 균형 감지 부재는 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 케이스와, 상기 균형 감지 케이스 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링과, 상기 회동 연결 링에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고 상기 회동 연결 링과 멀어지는 말단부 쪽으로 갈수록 상대적으로 점차 커지도록 형성되는 회동체와, 상기 회동체의 말단부에 배치되는 회동 마그넷과, 상기 균형 감지 케이스의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서와, 상기 균형 감지 케이스의 내부의 하측면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 접촉을 감지할 수 있는 균형 감지 접촉 센서를 포함하고,
상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체가 기울어지기 시작하면, 기울어진 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체가 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 기울어지기 시작함이 감지될 수 있고,
상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체가 최댓값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷의 위치 변동에 따른 자력 변화가 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷이 상기 균형 감지 접촉 센서와 접촉됨으로써, 상기 챔버 연결체 또는 상기 몸체의 최대 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 가스 알람 방지용 외기 정화 밸브 유닛.A method for injecting outside air into a chamber for a semiconductor process,
Body;
An injection connector connected to the body to inject the outside air into the body;
A chamber connecting body connecting the chamber and the body, wherein an injection hole is formed in the chamber so that the outside air injected into the body from the injection connection body is injected into the chamber;
An opening / closing valve for adjusting the opening / closing operation so that the outside air of the body can flow into the chamber through the injection hole;
A pressure regulating valve for controlling an amount of the outside air sucked into the body to adjust a pressure inside the chamber; And
And a balance sensing member interposed between the chamber connecting body and the body to sense the verticalness of the chamber connecting body or the body,
Wherein the balance sensing member comprises a balance sensing case formed in an empty circular cylinder shape, a pivoting connection ring protruding hemispherically at an upper end of the balance sensing case, a pivotable connection ring rotatably engaged with the pivoting connection ring, And a rotation magnet disposed at a distal end of the rotary body, wherein the rotary magnet is disposed on a bottom surface of the interior of the rotary sensing ring, A balance sensing hole sensor for sensing a change in the magnetic force of the rotation magnet that is suspended from the rotary sensing magnet, a balanced sensing hole sensor disposed on a lower side of the interior of the sensing sensing case for sensing a contact of the rotation magnet, Comprising a contact sensor,
When the chamber connecting body or the body starts to be inclined, the rotating body is rotated by the degree of tilting of the chamber connecting body or the body, and the position of the rotating magnet is changed by the balance detecting hall sensor As the magnetic force is changed, the start of the tilting of the chamber connecting body or the body can be detected,
When the chamber connector or the body is tilted to the maximum value, a change in magnetic force due to a change in the position of the rotation magnet is detected by the balance detection hall sensor, and the rotation magnet is brought into contact with the balance detection contact sensor, And the maximum inclination of the connecting body or the body can be detected.
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---|---|---|---|
KR1020170133235A KR101848307B1 (en) | 2017-10-13 | 2017-10-13 | Exhaust purge valve unit for prevention of a gas alarm |
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KR20210101029A (en) | 2020-02-07 | 2021-08-18 | 주식회사 티마스트 | Purge Kit |
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2017
- 2017-10-13 KR KR1020170133235A patent/KR101848307B1/en active IP Right Grant
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