KR101839536B1 - System ceiling for a semiconductor clean room - Google Patents
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Abstract
본 발명의 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 천장 그리드의 몰드바; 상기 그리드에 결합되는 블라인드 패널; 상기 몰드바에 블라인드 패널을 고정하는 탄성 클립; 및 상기 탄성클립의 상단부가 고정되도록 몰드바 측면을 따라 길이방향으로 형성된 걸림 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 블라인드 패널을 몰드바에 고정하는 탄성클립에 의해 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다. The system sealing for a semiconductor clean room of the present invention comprises: a mold bar of a ceiling grid; A blind panel coupled to the grid; An elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar; And an engaging member formed in the longitudinal direction along the side surface of the mold bar so that the upper end of the elastic clip is fixed.
Accordingly, it is easy to install and detach the blind panel by the elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar, thereby improving convenience of maintenance.
Description
본 발명은 반도체 클린룸용 시스템 실링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 블라인드 패널 조립이 용이한 반도체 클린룸용 시스템 실링에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system sealing for a semiconductor clean room, and more particularly, to a system sealing for a semiconductor clean room that facilitates blind panel assembly.
일반적으로 클린룸은 실내의 공기 중의 부유입자를 정해진 제한 값 이하로 제어하는 룸을 말하며, 상기 클린룸은 일반적으로 반도체, 전자부품, 정밀기기 또는 식품·의약품 공업 등에서의 생산시설, 검사실, 연구실 및 병원의 의료시설 등 고도의 먼지방지기능이 요구되는 다양한 분야에서 이용되고 있다.Generally, a clean room is a room in which suspended particles in the air in the room are controlled to a predetermined limit value or lower. The clean room is generally used in production facilities, laboratories, laboratories and laboratories in semiconductor, electronic components, precision instruments, It is used in various fields requiring high dust prevention function such as hospital medical facilities.
이러한 클린룸은 전체적으로는 실외에 설치한 공조설비에 의해 실내 공기를 순환시키고 순환되는 실내공기가 공조설비를 통과하는 과정에서 필터를 통과하여 공기 중의 먼지 등 미세입자를 제거하는 것이 일반적이다. Generally, in such a clean room, indoor air is circulated by an air conditioner installed outdoors, and indoor air circulated through the air conditioner is passed through a filter to remove fine particles such as dust in the air.
구체적으로, 클린룸은 순환공조장치에 의하여 지하 층의 공기가 풍도를 통하여 천장으로 보내져 상기 천장부분에 일정한 압력이 형성되고 천장에 구비된 고효율 입자 여과장치의 필터에 의해서 공기 압력의 영향을 받아 입자가 여과된 고순도의 청정공기가 실내로 유입되며, 실내의 공기는 순환공조장치의 흡입에 의해 바닥에 미세한 통공이 형성된 타일을 경유하여 지하로 빠져나가는 일련의 순환과정에 의하여 클린룸의 청정도를 유지하게 되는 것이다. Specifically, in the clean room, the air in the underground layer is sent to the ceiling through the airway by the circulating air conditioner, so that a certain pressure is formed in the ceiling portion, and the air is pressurized by the filter of the high efficiency particle filtering device installed in the ceiling, Clean air of high purity is introduced into the room and air in the room is kept clean of the clean room by a series of circulation processes that pass through the tile passing through the tile having fine holes at the bottom due to the suction of the circulating air- It will be done.
이때, 상기 클린룸의 상측인 천장에는 반도체 클린룸용 시스템 실링이 설치된다. At this time, a system seal for a semiconductor clean room is installed on the ceiling above the clean room.
이와 같은 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 천장의 슬래브에 천장 그리드가 고정설치되고, 상기 천장 그리드에는 공기 차단을 위한 블라인드 패널 또는 팬필터유닛이 선택적으로 설치된다. In the system sealing for a semiconductor clean room, a ceiling grid is fixed to a ceiling slab, and a blind panel or a fan filter unit for air blocking is selectively installed in the ceiling grid.
이를 좀더 보충설명하면, 상기 클린룸의 천장에는 천장 그리드가 간격을 두고 장착되고, 상기 천장 그리드의 개방된 단부에는 블라인드 패널이나 팬필터유닛이 장착되는 것이다. To be more specific, a ceiling grid is mounted on the ceiling of the clean room with an interval, and a blind panel or a fan filter unit is mounted on an open end of the ceiling grid.
이와 같은 천장 그리드에 관한 대표적인 예가 하기 특허문헌 1(이하, '종래기술'이라 한다)에 개시되어 있다. A representative example of such a ceiling grid is disclosed in Patent Document 1 (hereinafter referred to as " Prior Art ").
종래기술의 천장 그리드는 블라인드 판넬을 고정하기 위하여 탄성클립 및 클립 체결구를 이용하여야 한다. 상기 클립 체결구는 탄성클립을 관통하여 천장 그리드에 회전에 의해 체결 또는 분리되는 것으로, 체결을 위하여 전용 공구 또는 '일(一)'자 드라이버를 이용해야 하는 문제점이 있다.Prior art ceiling grids must use resilient clips and clip fasteners to secure the blind panel. The clip fastener is fastened to or separated from the ceiling grid by rotation through the elastic clip, which requires the use of a special tool or a 'one' child driver for fastening.
뿐만 아니라, 클립 체결구에 형성된 공구삽입홈에 전용공구를 이용하여야 하므로 이용가능한 공구가 제한되어 작업자들의 불편함이 가중된다. In addition, since a dedicated tool must be used for the tool insertion groove formed in the clip fastener, available tools are limited and the inconvenience of the workers is increased.
또한, 탄성 클립은 몰드바의 높이를 덮을 수 있는 크기가 요구된다. Further, the elastic clip is required to be large enough to cover the height of the mold bar.
이러한 종래기술의 탄성클립은 그 체결 구조가 복잡하여 탄성클립을 이용하여 블라인드 패널을 고정하는 공수가 늘어나게 된다. 이는 작업시간이 길어짐에 따라 작업자의 피로도를 높여주게 된다.Such a conventional elastic clip has a complicated fastening structure, which increases the number of holes for fixing the blind panel using the elastic clip. This increases worker fatigue as work time increases.
또한 공구 등 이용하여 탄성클립을 고정시키는데 있어 조작의 번거로운 문제점이 있었다. In addition, there has been a problem of troublesome operation for fixing the elastic clip using a tool or the like.
따라서, 블라인드 패널의 설치시간 단축 및 설치 편의성이 향상된 반도체 클린룸용 시스템 실링의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, there is a need to develop a system sealing for a semiconductor clean room with improved installation time and installation convenience of a blind panel.
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 블라인드 패널의 설치시간 단축 및 설치 편의성이 향상된 반도체 클린룸용 시스템 실링을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a system sealing for a semiconductor clean room with improved installation time and installation convenience of a blind panel.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 몰드바; 상기 몰드바에 결합되는 블라인드 패널; 상기 몰드바에 블라인드 패널을 고정하는 탄성클립; 및 상기 탄성클립의 상단부가 고정되도록 몰드바 측면을 따라 길이방향으로 형성된 걸림 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, the present invention provides a system seal for a semiconductor clean room comprising: a mold bar; A blind panel coupled to the mold bar; An elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar; And an engaging member formed in the longitudinal direction along the side surface of the mold bar so that the upper end of the elastic clip is fixed.
또한, 상기 걸림 부재의 외측에는 가이드 면이 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, a guide surface is formed on the outer side of the engaging member.
또한, 상기 걸림 부재의 내측에는 걸림 턱이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, a latching protrusion is formed inside the latching member.
또한, 상기 가이드 면은 호형으로 형성되며, 상기 탄성클립은 호형의 가이드 면을 타고 넘어가 걸림 부재 내측의 걸림 턱에 삽입되는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide surface is formed in an arc shape, and the elastic clip rides over the arcuate guide surface and is inserted into the latching jaw inside the latching member.
또한, 상기 탄성클립은 상기 걸림 부재 내측으로 결합되도록 상단부가 형성된 연결부재와, 상기 몰드바와 블라인드 패널의 사이에 삽입되는 끼움부재 및 상기 연결부재와 끼움부재 사이에 배치되어 탄성복원력을 발생시키는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 한다. The elastic clip may include a connecting member having an upper end formed to be coupled to the inside of the engaging member, a fitting member inserted between the mold bar and the blind panel, and an elastic member disposed between the connecting member and the fitting member, .
또한, 상기 탄성부재는 'V'자 단면으로 형성되며, 상기 'V'자 단면으로 형성된 탄성부재는 벌어지는 방향으로 탄성복원력이 작용하는 것을 특징으로 한다.Further, the elastic member is formed to have a V-shaped cross-section, and the elastic member formed with the V-shaped cross-section has an elastic restoring force in a widening direction.
또한, 상기 탄성클립에는 관통공이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the elastic clip is characterized in that a through hole is formed.
본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링에 따르면, 블라인드 패널을 몰드바에 고정하는 탄성클립에 의해 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다.According to the system sealing for a semiconductor clean room according to the present invention, the installation and separation of the blind panel can be facilitated by the elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar, thereby improving convenience of maintenance.
또한 블라인드 패널의 설치시간 단축 및 설치 편의성이 향상되는 효과가 있다. In addition, the installation time of the blind panel can be shortened and the installation convenience can be improved.
또한, 종래기술보다 단순화된 탄성클립을 제공하는 효과가 있다. In addition, there is an effect of providing an elastic clip simpler than the prior art.
또한, 종래기술의 탄성클립은 몰드바의 상부를 감싸는 디자인이었지만 본 발명은 걸림 부재가 위치한 높이까지만 요구되므로 보다 소형화된 탄성클립을 제공할 수 있다. In addition, although the conventional elastic clip is designed to wrap the upper portion of the mold bar, since the present invention requires only the height of the latching member, a more compact elastic clip can be provided.
또한, 탄성클립이 단순화 및 소형화됨으로써 탄성클립의 제조 비용 및 시간이 절감된다. In addition, the elastic clip is simplified and miniaturized, thereby reducing the manufacturing cost and time of the elastic clip.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링의 일부를 확대 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 탄성 클립의 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing an enlarged view of a part of a system sealing for a semiconductor clean room according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the coupled state of FIG. 1. FIG.
3 is a cross-sectional view of Fig.
4 is a perspective view of an elastic clip according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링의 일부를 확대 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 단면도이다. FIG. 1 is an exploded perspective view showing an enlarged view of a part of a system seal for a semiconductor clean room according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a coupled state of FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view of FIG.
본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 몰드바(100)와, 상기 몰드바(100)에 결합되는 블라인드 패널(200)과, 상기 몰드바(100)에 블라인드 패널(200)을 고정하는 탄성클립(300) 및 상기 탄성클립의 상단부(310)가 고정되도록 몰드바 측면을 따라 길이방향으로 형성된 걸림 부재(120)로 구성된다.The system seal for a semiconductor clean room according to the present invention includes a
먼저, 천장에는 클린룸의 천장 슬래브에 간격을 두고 천장 그리드가 장착된다.First, the ceiling is fitted with a ceiling grid with gaps in the ceiling slabs of the cleanroom.
구체적으로, 상기 천장 그리드는 격자 형태로 배치된 복수의 몰드바(100) 및 복수의 몰드바(100)를 상호 연결하는 크로스조인트(미도시)로 구성되며, 상기 몰드바(100)는 천장의 슬래브와 턴버클(또는 행거볼트, 미도시)에 의해 부착된다.Specifically, the ceiling grid is composed of a plurality of
또한, 상기 몰드바(100)는 역'T'자형 단면으로 형성되어 양측으로 안착부재(111)가 돌출형성되고, 상기 안착부재(110)에 블라인드 패널(200)이 얹혀지게 된다. The
그리고, 상기 안착부재(110)와 블라인드 패널(200)의 사이에는 씰(500)이 개재되며, 상기 안착부재(110)와 씰(500)은 서로 끼움구조로 체결된다. A
이때, 상기 블라인드 패널(200)은 탄성클립(300)의 탄성력에 의해 씰(500)과 밀착되어 밀봉효과를 향상시키게된다.At this time, the
한편, 몰드바(100)의 중간 높이에서, 몰드바(100)의 측면을 따라 길이방향으로 상기 걸림 부재(120)가 형성된다.On the other hand, at the middle height of the
이때, 걸림 부재(120)는 하향 경사지게 형성되며, 걸림 부재의 외측은 가이드 면(121)이 형성되고, 걸림 부재의 내측은 걸림 턱(122)이 형성된다. At this time, the
이때, 걸림 부재(120) 내측의 걸림 턱으로 탄성클립(300)의 상단부(310)가 위치 및 고정된다. At this time, the
이때, 탄성 클립이 몰드바(100) 및 블라인드 패널(200) 사이로 끼워지면 a 및 b방향으로 생기는 탄성 복원력에 의해 몰드바(100) 및 블라인드 패널(200)이 더 긴밀하게 유지 및 고정된다.At this time, when the elastic clip is sandwiched between the
이에 따라, 상기 블라인드 패널(200)을 몰드바(100)에 고정하는 탄성클립(300)에 의해 블라인드 패널(200)의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상된다. Accordingly, the
즉, 작업자의 눌러주거나 당겨주는 힘만으로 간단하게 탄성클립(300)의 상단부(310)를 몰드바(100)의 걸림 부재(120)에 위치시키거나 분리시키는 것이 용이하기 때문이다. That is, it is easy to position or separate the
한편, 상기 탄성클립(300)은 몰드바(100) 측면의 걸림 부재(120)에 형성된 걸림 턱(122)에 위치되는 상단부(310), 몰드바(100)와 블라인드 패널(200)의 사이에 삽입되는 끼움부재(320), 상기 상단부(310)를 포함하는 연결부재(330) 및 연결부재에 형성된 관통공(360)으로 구성된다.The
이때, 연결부재(330)에 형성된 관통공(360)에 드라이버 등 소공구를 이용하여 체결 및 분리시킬 수 있게 된다. 작업자의 힘만으로 탄성클립(300)의 체결 또는 분리가 어려운 경우, 상기 관통공(360)에 드라이버 또는 전용 공구 등을 삽입하여 작업성을 향상시키게 된다.At this time, the
상기 연결부재(330)와 끼움부재(320)의 사이에는 'V'자 단면의 탄성부재(340)가 형성된다.A
이에 따라, 상기 탄성클립(300)은 블라인드 패널(200)을 탄성지지하여 안정적으로 고정하게 된다. Accordingly, the
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.
예를 들어, 전술한 설명 및 도면에서는 블라인드 패널을 고정하는 것을 예로하여 설명하였지만, 이를 특별히 한정하는 것은 아니며 팬필터유닛의 고정에도 동일하게 적용할 수 있음을 밝혀둔다. For example, in the above description and drawings, the fixing of the blind panel has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and the same is applicable to the fixing of the fan filter unit.
100 : 몰드바 110 : 안착부재
120: 걸림 부재 121 : 가이드 면
122 : 걸림 턱 200 : 블라인드 패널
300 : 탄성클립 310 : 상단부
320 : 끼움부재 330 : 연결부재
340 : 탄성부재 360 : 관통공
500 : 씰100: mold bar 110:
120: engaging member 121: guide surface
122: hanging jaw 200: blind panel
300: elastic clip 310: upper end
320: fitting member 330: connecting member
340: elastic member 360: through hole
500: Seal
Claims (7)
상기 몰드바에 결합되는 블라인드 패널;
상기 몰드바에 블라인드 패널을 고정하는 탄성클립; 및
상기 탄성클립의 상단부가 고정되도록 몰드바 측면을 따라 길이방향으로 형성된 걸림 부재;를 포함하되,
상기 걸림 부재는 하향 경사지게 형성되며, 상기 걸림부재의 외측에는 가이드 면이 형성되며 상기 걸림 부재의 내측에는 걸림 턱이 형성되고,
상기 가이드 면은 호형으로 형성되며, 상기 탄성클립은 호형의 가이드 면을 타고 넘어가 걸림 부재 내측의 걸림 턱에 삽입되는 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.Mold bars;
A blind panel coupled to the mold bar;
An elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar; And
And an engaging member formed longitudinally along a side surface of the mold bar so that the upper end of the elastic clip is fixed,
Wherein the engaging member is formed to be downwardly inclined, a guide surface is formed on an outer side of the engaging member, a locking protrusion is formed on the inner side of the engaging member,
Wherein the guide surface is formed in an arcuate shape, and the elastic clip passes over the arcuate guide surface and is inserted into the latching jaw inside the latching member.
상기 걸림 부재 내측으로 결합되도록 상단부가 형성된 연결부재와, 상기 몰드바와 블라인드 패널의 사이에 삽입되는 끼움부재 및 상기 연결부재와 끼움부재 사이에 배치되어 탄성복원력을 발생시키는 탄성부재로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.2. The device of claim 1,
A connecting member having an upper end formed to be coupled to the inside of the engaging member, a fitting member inserted between the mold bar and the blind panel, and an elastic member disposed between the connecting member and the fitting member to generate an elastic restoring force. System sealing for semiconductor clean room.
The system seal of claim 1, wherein the elastic clip is formed with a through-hole.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |