KR101577694B1 - System ceiling for a semiconductor clean room - Google Patents

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KR101577694B1
KR101577694B1 KR1020140051286A KR20140051286A KR101577694B1 KR 101577694 B1 KR101577694 B1 KR 101577694B1 KR 1020140051286 A KR1020140051286 A KR 1020140051286A KR 20140051286 A KR20140051286 A KR 20140051286A KR 101577694 B1 KR101577694 B1 KR 101577694B1
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문형일
이신환
박현우
유진선
장석호
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(주)신성이엔지
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    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation

Abstract

본 발명의 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 천장 그리드; 상기 천장 그리드에 결합되는 블라인드 패널; 상기 천장 그리드에 블라인드 패널을 고정하는 탄성클립; 및 상기 탄성클립을 관통하여 천장 그리드에 회전에 의해 체결 또는 분리되는 클립 체결구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 블라인드 패널을 몰드바에 고정하는 탄성클립 및 상기 탄성클립을 고정하는 클립 체결구에 의해 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다.The system sealing for a semiconductor clean room of the present invention comprises a ceiling grid; A blind panel coupled to the ceiling grid; An elastic clip for fixing the blind panel to the ceiling grid; And a clip fastener that passes through the elastic clip and is fastened or separated by rotation to the ceiling grid.
Accordingly, the elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar and the clip fastener for fixing the elastic clip can facilitate the installation and separation of the blind panel, thereby improving convenience of maintenance.

Description

반도체 클린룸용 시스템 실링{SYSTEM CEILING FOR A SEMICONDUCTOR CLEAN ROOM}{SYSTEM CEILING FOR A SEMICONDUCTOR CLEAN ROOM}

본 발명은 반도체 클린룸용 시스템 실링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 블라인드 패널 조립이 용이한 반도체 클린룸용 시스템 실링에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system sealing for a semiconductor clean room, and more particularly, to a system sealing for a semiconductor clean room that facilitates blind panel assembly.

일반적으로 클린룸은 실내의 공기 중의 부유입자를 정해진 제한 값 이하로 제어하는 룸을 말하며, 상기 클린룸은 일반적으로 반도체, 전자부품, 정밀기기 또는 식품·의약품 공업 등에서의 생산시설, 검사실, 연구실 및 병원의 의료시설 등 고도의 먼지방지기능이 요구되는 다양한 분야에서 이용되고 있다.Generally, a clean room is a room in which suspended particles in the air in the room are controlled to a predetermined limit value or lower. The clean room is generally used in production facilities, laboratories, laboratories and laboratories in semiconductor, electronic components, precision instruments, It is used in various fields requiring high dust prevention function such as hospital medical facilities.

이러한 클린룸은 전체적으로는 실외에 설치한 공조설비에 의해 실내 공기를 순환시키고 순환되는 실내공기가 공조설비를 통과하는 과정에서 필터를 통과하여 공기 중의 먼지 등 미세입자를 제거하는 것이 일반적이다.Generally, in such a clean room, indoor air is circulated by an air conditioner installed outdoors, and indoor air circulated through the air conditioner is passed through a filter to remove fine particles such as dust in the air.

구체적으로, 클린룸은 순환공조장치에 의하여 지하 층의 공기가 풍도를 통하여 천장으로 보내져 상기 천장부분에 일정한 압력이 형성되고 천장에 구비된 고효율 입자 여과장치의 필터에 의해서 공기 압력의 영향을 받아 입자가 여과된 고순도의 청정공기가 실내로 유입되며, 실내의 공기는 순환공조장치의 흡입에 의해 바닥에 미세한 통공이 형성된 타일을 경유하여 지하로 빠져나가는 일련의 순환과정에 의하여 클린룸의 청정도를 유지하게 되는 것이다.Specifically, in the clean room, the air in the underground layer is sent to the ceiling through the airway by the circulating air conditioner, so that a certain pressure is formed in the ceiling portion, and the air is pressurized by the filter of the high efficiency particle filtering device installed in the ceiling, Clean air of high purity is introduced into the room and air in the room is kept clean of the clean room by a series of circulation processes that pass through the tile passing through the tile having fine holes at the bottom due to the suction of the circulating air- It will be done.

이때, 상기 클린룸의 상측인 천장에는 반도체 클린룸용 시스템 실링이 설치된다.At this time, a system seal for a semiconductor clean room is installed on the ceiling above the clean room.

이와 같은 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 천장의 슬래브에 천장 그리드가 고정설치되고, 상기 천장 그리드에는 공기 차단을 위한 블라인드 패널 또는 팬필터유닛이 선택적으로 설치된다.In the system sealing for a semiconductor clean room, a ceiling grid is fixed to a ceiling slab, and a blind panel or a fan filter unit for air blocking is selectively installed in the ceiling grid.

이를 좀더 보충설명하면, 상기 클린룸의 천장에는 천장 그리드가 간격을 두고 장착되고, 상기 천장 그리드의 개방된 단부에는 블라인드 패널이나 팬필터유닛이 장착되는 것이다.To be more specific, a ceiling grid is mounted on the ceiling of the clean room with an interval, and a blind panel or a fan filter unit is mounted on an open end of the ceiling grid.

이와 같은 천장 그리드에 관한 대표적인 예가 하기 특허문헌 1(이하, '종래기술'이라 한다)에 개시되어 있다.A representative example of such a ceiling grid is disclosed in Patent Document 1 (hereinafter referred to as " Prior Art ").

그러나, 종래기술의 천장 그리드는 블라인드 패널을 천장 그리드의 상부에 얹는 구성으로서 블라인드 패널을 천장 그리드에 안정적으로 고정하기 힘든 문제점이 있었다.However, the conventional ceiling grid has a problem in that it is difficult to stably fix the blind panel to the ceiling grid by arranging the blind panel on the ceiling grid.

이를 해결하기 위해 블라인드 패널과 천장 그리드의 사이에 클립을 억지 끼움으로 고정하는 구성이 제안되었지만, 클립의 억지 끼움으로 인해 조립이 어려움과 동시에 블라인드 패널의 분리가 어려워 유지보수가 어려웠다.In order to solve this problem, a configuration has been proposed in which the clip is fixed between the blind panel and the ceiling grid by interference fit. However, it is difficult to assemble the blind panel due to the interference of the clip and detachment of the blind panel.

뿐만 아니라, 클립은 분리 후 변형이 발생하여 재사용이 어려운 문제점도 동반한다.In addition, there is a problem that the clip is deformed after the separation and reusable.

따라서, 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이한 반도체 클린룸용 시스템 실링의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
Therefore, there is a need to develop a system sealing for a semiconductor clean room, which facilitates the installation and detachment of the blind panel.

한국공개특허 제2012-0026222호(2012.03.19)Korean Patent Publication No. 2012-0026222 (Mar. 19, 2012)

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상되는 반도체 클린룸용 시스템 실링을 제공하는데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a system sealing for a semiconductor clean room in which the installation and removal of a blind panel is easy and the convenience of maintenance is improved.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 클린룸용 시스템 실링은, 천장 그리드; 상기 천장 그리드에 결합되는 블라인드 패널; 상기 천장 그리드에 블라인드 패널을 고정하는 탄성클립; 및 상기 탄성클립을 관통하여 천장 그리드에 회전에 의해 체결 또는 분리되는 클립 체결구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, a system sealing for a semiconductor clean room of the present invention includes: a ceiling grid; A blind panel coupled to the ceiling grid; An elastic clip for fixing the blind panel to the ceiling grid; And a clip fastener that passes through the elastic clip and is fastened or separated by rotation to the ceiling grid.

또한, 상기 클립 체결구는 파지부 및 상기 파지부의 하단에 형성된 한 쌍의 걸림구로 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the clip fastener is formed of a grip portion and a pair of fastening means formed at the lower end of the grip portion.

또한, 상기 천장 그리드에는 상기 걸림구에 대응되는 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the ceiling grid is provided with a catching protrusion corresponding to the catching hole.

또한, 상기 한 쌍의 걸림구에는 경사면이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the pair of latching openings are formed with inclined surfaces.

또한, 상기 파지부를 상면에서 바라볼 때, 상기 경사면은 시계 방향으로 기울어진 것을 특징으로 한다.Further, when the grip portion is viewed from above, the inclined surface is inclined in a clockwise direction.

또한, 상기 한 쌍의 걸림구의 사이에는 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다.Further, an opening is formed between the pair of latching openings.

또한, 상기 파지부에는 한 쌍의 공구삽입홈이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the grip portion is characterized in that a pair of tool insertion grooves are formed.

또한, 상기 파지부에는 드라이버홈이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the grip portion is formed with a driver groove.

또한, 상기 탄성클립은, 상기 천장 그리드를 감싸는 걸림부재와, 상기 천장 그리드와 블라인드 패널의 사이에 삽입되는 끼움부재 및 상기 걸림부재와 끼움부재를 연결하는 연결부재로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the elastic clip is formed of a latching member for surrounding the ceiling grid, a fitting member inserted between the ceiling grid and the blind panel, and a connecting member for connecting the latching member and the fitting member.

또한, 상기 연결부재에는 'V'자 단면의 탄성부재가 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the connecting member is formed with an elastic member having a 'V' -shaped section.

또한, 상기 걸림부재에는 클립 체결구가 관통하는 관통공이 형성된 것을 특징으로 한다.
Further, the engaging member is formed with a through-hole through which the clip fastener passes.

본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링에 따르면, 블라인드 패널을 몰드바에 고정하는 탄성클립 및 상기 탄성클립을 고정하는 클립 체결구에 의해 블라인드 패널의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다.
According to the system sealing for a semiconductor clean room according to the present invention, the installation and separation of the blind panel can be easily performed by the elastic clip for fixing the blind panel to the mold bar and the clip fastener for fixing the elastic clip, .

도 1은 본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 반도체 클린룸용 시스템 실링의 일부를 확대 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 도 2의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 고정용 볼트를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing a system sealing for a semiconductor clean room according to the present invention.
2 is an exploded perspective view showing an enlarged view of a part of the system seal for the semiconductor clean room of Fig.
FIG. 3 is a perspective view showing the coupled state of FIG. 2. FIG.
4 is a cross-sectional view of Fig.
5 is a view showing a fixing bolt according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링을 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 반도체 클린룸용 시스템 실링의 일부를 확대 도시한 분해 사시도이며, 도 3은 도 2의 결합상태를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 고정용 볼트를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a perspective view showing a system sealing for a semiconductor clean room according to the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing an enlarged part of a system sealing for a semiconductor clean room of FIG. 1, and FIG. Fig. 4 is a sectional view of Fig. 3, and Fig. 5 is a view showing a fixing bolt according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체 클린룸용 시스템 실링(C)은, 천장 그리드(100)와, 상기 천장 그리드(100)에 결합되는 블라인드 패널(200)과, 상기 천장 그리드(100)에 블라인드 패널(200)을 고정하는 탄성클립(300) 및 상기 탄성클립(300)을 관통하여 천장 그리드(100)에 체결 또는 분리되는 클립 체결구(400)로 구성된다.The system seal C for a semiconductor clean room according to the present invention includes a ceiling grid 100, a blind panel 200 coupled to the ceiling grid 100, and a blind panel 200 to the ceiling grid 100 And a clip fastener 400 which is fastened to or separated from the ceiling grid 100 through the elastic clip 300.

먼저, 상기 천장 그리드(100)는 클린룸의 천장의 슬래브에 간격을 두고 장착된다.First, the ceiling grid 100 is mounted at intervals on the ceiling slab of the clean room.

구체적으로, 상기 천장 그리드(100)는 격자 형태로 배치된 복수의 몰드바(110) 및 복수의 몰드바(110)를 상호 연결하는 크로스조인트(120)로 구성되며, 상기 몰드바(110)는 천장의 슬래브와 턴버클(또는 행거볼트)에 의해 부착된다.Specifically, the ceiling grid 100 includes a plurality of mold bars 110 arranged in a lattice pattern and a cross joint 120 connecting the plurality of mold bars 110, Attached by a slab on the ceiling and a turnbuckle (or hanger bolt).

또한, 상기 몰드바(110)는 역 'T'자형 단면으로 형성되어 양측으로 안착부재(111)가 돌출형성되고, 상기 안착부재(111)에 블라인드 패널(200)이 얹혀지게 된다.The mold bar 110 is formed in an inverted 'T' shape so that a seating member 111 protrudes from both sides of the mold bar 110, and the blind panel 200 is placed on the seating member 111.

그리고, 상기 안착부재(111)와 블라인드 패널(200)의 사이에는 씰(500)이 개재되며, 상기 안착부재(111)와 씰(500)은 서로 끼움구조로 체결된다.A seal 500 is interposed between the seating member 111 and the blind panel 200. The seating member 111 and the seal 500 are fastened to each other with a fitting structure.

이때, 상기 블라인드 패널(200)은 탄성클립(300)의 탄성력에 의해 씰(500)과 밀착되어 밀봉효과를 향상시키게 된다.At this time, the blind panel 200 is brought into close contact with the seal 500 by the elastic force of the elastic clip 300, thereby improving the sealing effect.

한편, 상기 클립 체결구(400)는 사람이 파지할 수 있는 형태인 파지부(410) 및 상기 파지부(410)의 하단에 형성된 한 쌍의 걸림구(420)로 형성된다.The clip fastener 400 is formed of a gripper 410 and a pair of fasteners 420 formed at the lower end of the gripper 410.

이때, 상기 파지부(410)는 원형 또는 다각형으로 형성되어 사용자가 쉽게 파지한 상태에서 회전을 시킬 수 있게 된다.At this time, the gripper 410 may be formed in a circular or polygonal shape so that the gripper 410 can rotate in a state where the user can easily grip the gripper.

또한, 상기 천장 그리드(100)의 몰드바(110)에는 상기 걸림구(420)에 대응되는 걸림턱(112)이 형성된다. 상기 걸림턱(112)을 제외한 내부는 'ㅗ'자 단면의 공간이 형성된다.In addition, the mold bar 110 of the ceiling grid 100 is formed with a latching protrusion 112 corresponding to the latching hole 420. A space having a cross-sectional shape of 'ㅗ' is formed inside the interior except the latching jaws 112.

이에 따라, 상기 블라인드 패널(200)을 몰드바(110)에 고정하는 탄성클립(300) 및 상기 탄성클립(300)을 고정하는 클립 체결구(400)에 의해 블라인드 패널(200)의 설치 및 분리가 용이하여 유지보수의 편의성이 향상된다.The mounting and dismounting of the blind panel 200 is performed by the elastic clip 300 fixing the blind panel 200 to the mold bar 110 and the clip fastener 400 fixing the elastic clip 300. [ The convenience of maintenance can be improved.

즉, 상기 클립 체결구(400)의 걸림구(420)와 몰드바(110)의 걸림턱(112)에 의해 클립 체결구(400)의 회전에 의해 블라인드 패널(200)을 고정하는 탄성클립(300)의 체결 및 분리가 용이하기 때문이다.That is, an elastic clip (not shown) for fixing the blind panel 200 by the rotation of the clip fastener 400 by the fastener 420 of the clip fastener 400 and the fastener 112 of the mold bar 110 300 are easily fastened and separated.

그리고, 상기 한 쌍의 걸림구(420)의 사이에는 개구부(430)가 형성되어 상기 걸림구(420)는 개구부(430)에 의해 탄성변형이 발생하게 된다.An opening 430 is formed between the pair of latches 420 so that the latch 420 is elastically deformed by the opening 430.

그리고, 상기 걸림구(420)의 개구부(430)와 대면하지 않는 반대 단부에는 경사면(421)이 형성된다.An inclined surface 421 is formed at the opposite end of the latching member 420 that does not face the opening 430.

더욱이, 상기 파지부(410)를 상면에서 바라볼 때, 상기 경사면(421)은 시계 방향으로 기울어지도록 형성되어 상기 클립 체결구(400)를 걸림턱(112)에 삽입한 후 시계방향으로 회전할 때에 회전이 용이하게 된다.Further, when the gripper 410 is viewed from above, the inclined surface 421 is formed to be inclined in a clockwise direction, and the clip fastener 400 is inserted into the engaging jaw 112 and then rotated clockwise The rotation is facilitated.

즉, 상기 경사면(421)에 의해 걸림구(420)는 회전 방향으로 몰드바(110)와의 접촉이 억제되기 때문이다.That is, because the inclined surface 421 restricts the engagement of the engagement hole 420 with the mold bar 110 in the rotation direction.

한편, 상기 파지부(410)에는 한 쌍의 공구삽입홈(411)이 형성되어 전용공구(T)로 상기 클립 체결구(400)를 체결 또는 분리시의 편의성을 향상시킨다.Meanwhile, a pair of tool insertion grooves 411 are formed in the gripper 410 to improve the convenience of fastening or separating the clip fastener 400 with the special tool T.

더욱이, 전용공구(T)를 사용함에 따라 작은 힘으로도 상기 클립 체결구(400)를 체결 또는 분리시킬 수 있게 된다.Further, by using the special tool T, the clip fastener 400 can be fastened or separated even with a small force.

뿐만 아니라, 상기 파지부(410)에는 드라이버홈(412)이 형성되어 상기 드라이버홈(412)에 공지의 '一'자 드라이버를 삽입하여 체결 또는 분리시킬 수 있게 된다.In addition, a driver groove 412 is formed in the gripper 410 so that a known 'I' driver can be inserted into the driver groove 412 to fasten or separate the driver.

또한, 상기 탄성클립(300)은 상기 천장 그리드(100)의 몰드바(110)를 감싸는 걸림부재(310)와, 상기 천장 그리드(100)의 몰드바(110)와 블라인드 패널(200)의 사이에 삽입되는 끼움부재(320) 및 상기 걸림부재(310)와 끼움부재(320)를 연결하는 연결부재(330)로 형성된다.The elastic clip 300 includes an engaging member 310 for enclosing the mold bar 110 of the ceiling grid 100 and a fixing member 310 for supporting the ceiling grid 100 between the mold bar 110 and the blind panel 200. [ And a connecting member 330 for connecting the engaging member 310 and the engaging member 320. [

그리고, 상기 연결부재(330)와 끼움부재(320)의 사이에는 'V'자 단면의 탄성부재(340)가 형성된다.The elastic member 340 having a V-shaped cross section is formed between the connecting member 330 and the fitting member 320.

한편, 상기 걸림부재(310)에는 클립 체결구(400)가 관통하는 관통공(311)이 형성된다.Meanwhile, a through hole 311 through which the clip fastener 400 passes is formed in the latching member 310.

이에 따라, 상기 탄성클립(300)은 블라인드 패널(200)을 탄성지지하여 안정적으로 고정하게 된다.
Accordingly, the elastic clip 300 elastically supports the blind panel 200 and stably fixes the blind panel 200.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

예를 들어, 전술한 설명 및 도면에서는 블라인드 패널을 고정하는 것을 예로하여 설명하였지만, 이를 특별히 한정하는 것은 아니며 팬필터유닛의 고정에도 동일하게 적용할 수 있음을 밝혀둔다.
For example, in the above description and drawings, the fixing of the blind panel has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and the same is applicable to the fixing of the fan filter unit.

C - 반도체 클린룸용 시스템 실링 100 - 천장 그리드
110 - 몰드바 200 - 블라인드 패널
300 - 탄성클립 400 - 클립 체결구C - System Sealing 100 - Ceiling Grid for Semiconductor Clean Room
110 - Molded bar 200 - Blind panel
300 - Elastic clip 400 - Clip fastener

Claims (11)

천장 그리드;
상기 천장 그리드에 결합되는 블라인드 패널;
상기 천장 그리드에 블라인드 패널을 고정하는 탄성클립; 및
상기 탄성클립을 관통하여 천장 그리드에 회전에 의해 체결 또는 분리되는 클립 체결구;를 포함하되,
상기 클립 체결구는 파지부 및 상기 파지부의 하단에 형성된 한 쌍의 걸림구로 형성되며, 상기 한 쌍의 걸림구의 사이에는 개구부가 형성되고,
상기 천장 그리드에는 상기 걸림구에 대응되는 걸림턱이 형성되며,
상기 한 쌍의 걸림구에는 경사면이 형성되며, 상기 파지부를 상면에서 바라볼 때, 상기 경사면은 시계 방향으로 기울어진 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
Ceiling grid;
A blind panel coupled to the ceiling grid;
An elastic clip for fixing the blind panel to the ceiling grid; And
And a clip fastener that passes through the elastic clip and is fastened to or separated from the ceiling grid by rotation,
Wherein the clip fastener is formed with a grip portion and a pair of fastening portions formed at a lower end of the grip portion, an opening is formed between the pair of fastening means,
The ceiling grid is provided with a latching protrusion corresponding to the latching opening,
Wherein the pair of latching portions is formed with an inclined surface and the inclined surface is inclined clockwise when viewed from the upper surface of the gripping portion.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 파지부에는 한 쌍의 공구삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
The method according to claim 1,
And a pair of tool insertion grooves are formed in the grip portion.
제 1항에 있어서,
상기 파지부에는 드라이버홈이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
The method according to claim 1,
And a driver groove is formed in the grip portion.
제 1항에 있어서,
상기 탄성클립은,
상기 천장 그리드를 감싸는 걸림부재와, 상기 천장 그리드와 블라인드 패널의 사이에 삽입되는 끼움부재 및 상기 걸림부재와 끼움부재를 연결하는 연결부재로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
The method according to claim 1,
The elastic clip may include:
And a connecting member for connecting the engaging member and the fitting member. The system seal for a semiconductor clean room according to any one of claims 1 to 3, wherein the ceiling grid is attached to the ceiling grid.
제 9항에 있어서,
상기 연결부재에는 'V'자 단면의 탄성부재가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
10. The method of claim 9,
Wherein the connecting member is formed with an elastic member having a V-shaped cross section.
제 9항에 있어서,
상기 걸림부재에는 클립 체결구가 관통하는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 클린룸용 시스템 실링.
10. The method of claim 9,
And a through hole through which the clip fastener passes is formed in the latching member.
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