KR101835650B1 - 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 소구경 금속 배관의 비파괴검사를 위하여 원주형으로 배열한 자기센서의 바이어스오차, 히스테리시스오차, 감도오차를 측정하여 개별적으로 보정하는 보정장치에 관한 것이다.
본 발명의 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 의하면 원주형으로 배열한 각각의 자기센서에 일정한 자기장을 동시에 인가함으로써 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력을 측정할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 의하면 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 센서의 바이어스오차, 감도오차, 히스테리시스오차를 보정할 수 있는 효과가 있다.

Description

원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치{Compensation apparatus of circumferentially arrayed magnetic sensors}
본 발명은 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 소구경 금속 배관의 비파괴검사를 위하여 원주형으로 배열한 자기센서의 바이어스오차, 히스테리시스오차, 감도오차를 측정하여 개별적으로 보정하는 보정장치에 관한 것이다.
전열관은 얇은 금속벽을 경계로 고온 및 저온 매질이 유동함으로써 열에너지를 전달하는 목적으로 사용된다. 이때 고온, 고압, 이물질, 매질의 유동 및 화학 반응에 의하여 전열관의 금속벽에 균열, 부식결함 또는 마모가 발생할 수 있다.
이러한 전열관은 일반적으로 소구경이면서 다발로 이루어져 있으므로 결함탐상장치를 전열관의 외부에서 접근하여 검사하기 곤란하다. 따라서, 전열관의 내부로부터 결함탐상장치를 삽입하여 검사하는 것이 일반적이다.
한편, 전열관의 부식 및 마모는 전열관의 두께가 일정 부분 남아 있기 때문에 허용치 이하인 경우에는 다음 검사 주기까지 사용할 수 있다. 그러나, 전열관의 피로 균열의 경우에는 교체 등의 정비를 수행해야 한다.
따라서, 전열관의 부식, 마모 및 피로 균열을 정확하게 판정하기 위해 정량적으로 평가해야 할 필요가 있다.
이를 해결하기 위한 종래 기술로서, 팬케익 코일을 전열관 내벽에 밀착시켜 나선형으로 회전하면서 결함의 존재에 기인한 전자기장의 왜곡을 정량적으로 측정하여 평가하는 방법이 사용되고 있다. 그러나, 이러한 방법은 전열관 내벽과 밀착된 상태에서 나선형으로 회전해야 하기 때문에 기계 기구물이 복잡하고, 마모되기 쉬울뿐만 아니라, 검사 시간이 오래 소요된다는 단점을 가지고 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 원주형으로 배열한 자기센서를 이용한 전열관 비파괴검사법이 개발되었다.
도 1은 종래 원주형으로 배열한 자기센서를 이용한 전열관 비파괴검사 방법을 보여주는 도면이고, 도 2는 전열관의 결함부위에서의 자기장분포를 보여주는 그림이다.
도 1을 참조하면, 피측정체인 전열관(10) 내부에 폭이 넓은 보빈형 코일(11)과 원주형으로 배열한 자기센서(12)가 구비되어 있음을 알 수 있다. 이때, 상기 보빈형 코일(11)에 교류전류를 인가하면 상기 전열관(10)의 원주방향으로 유도전류(13)가 발생하게 되며, 상기 전열관(10) 벽을 따라 흐르는 유도전류(13)와 상기 보빈형 코일(11)에 흐르는 전류에 의하여 x축 방향의 자기장이 발생하게 된다.
여기서, 상기 전열관(10)에 존재하는 결함(14)에 의해 원주방향으로 흐르는 유도전류(13)는 상기 결함(14) 부위에서 왜곡되어 흐르게 되어, 결과적으로는 상기 결함(140)의 양 선단에서 상기 전열관(10)의 반지름 방향(r방향)의 교번 자기장(15a, 15b)이 발생하게 된다.
도 2를 참조하면, 상기 전열관(10)에 결함이 없는 경우에는 z방향 성분의 균일한 자기장이 존재하지만, 도 1에서와 같이 상기 결함(14)이 존재하는 경우에는 r방향 성분(15a, 15b)과 불균일한 z방향 성분(16a, 16b)의 자기장이 상기 결함(14) 부위에서 발생하게 된다. 따라서, r방향 성분 또는 z방향 성분의 자기장 분포를 측정하면 상기 결함(14)의 유무와 형태 및 크기를 정량적으로 측정할 수 있다.
이러한 측정에는 r방향과 z방향에 민감한 자기센서를 원주형으로 배열하여 사용할 수 있는데, 상기 전열관(10)의 반지름 방향(r방향)에 민감한 자기센서(12)로서 홀센서 또는 팬케익코일을 배열하여 사용할 수 있으며, z방향에 민감한 자기센서(120)로서 자기저항센서, 자기임피던스센서 또는 거대자기저항센서를 배열하여 사용할 수 있다.
도 3은 자기센서로서 홀센서를 사용한 결함탐상장치의 센서별 출력을 보여주는 그림이다.
도 3에서는 64개의 홀센서를 평면상에 배열하고 솔레노이드에 의하여 동일 방향의 자기장을 인가하였을 때 각 센서별 출력을 보여주고 있는데, 64개의 센서 모두 동일한 센서임에도 불구하고, 바이어스오차(α)와 감도오차(β)가 서로 상이함을 알 수 있다.
이러한 경우에는 하기 [식 1]로 표현되는 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식을 구한 후, 각각의 센서에 대한 출력을 역으로 계산하여 보정할 수 있다. 여기에서 a는 직선의 기울기 또는 감도오차를 나타내고, b는 직선의 y축 절편 또는 바이어스 오차를 나타낸다.
[식 1]
VH(i)= a(i) BZ + b(i)
상기 [식 1]로부터 하기 [식 2]를 얻을 수 있으며, 하기 [식 2]의 보정식을 각각의 센서에 적용함으로써 전자기장의 분포를 정량적으로 측정하여 상호 비교할 수 있다.
[식 2]
BZ= VH(i)/a(i) - b(i)/a(i)
여기서 중요한 것은 모든 센서(64개)에 대하여 동일한 최적감도 방향으로 일정한 자기장을 동시에 인가하면서 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력을 측정해야 상기 [식 2]를 얻을 수 있다는 것이다.
하지만, 도 1 및 도 2에서 알 수 있는 바와 같이 원주형으로 배열한 모든 자기센서에 대해 r방향 또는 z방향으로 일정한 자기장을 동시에 인가하는 것은 기구적으로 매우 어렵다는 문제점이 있다.
공개특허번호 제10-2013-0130529호(2013.12.02. 공개)
본 발명자들은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 연구 노력한 결과 모든 자기센서에 일정한 자기장을 동시에 인가할 수 있는 보정장치를 개발함으로써 본 발명을 완성하였다.
따라서, 본 발명의 목적은 원주형으로 배열한 자기센서의 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 자기센서의 바이어스오차, 감도오차, 히스테리시스오차를 보정할 수 있는 보정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복수의 자기센서가 원주형으로 배열된 센서부 및 상기 센서부의 외면을 따라 권취되는 코일을 포함하는 배관 결함탐상수단; 상기 결함탐상수단이 삽입되는 본체; 상기 본체의 외면을 따라 각각 권취되는 제1외부코일 및 제2외부코일; 상기 제1외부코일 및 상기 제2외부코일에 전류를 인가하는 전원공급부; 상기 센서부로부터 출력되는 데이터를 수집하는 데이터수집부; 및 상기 데이터수집부의 데이터에 기초하여, 입력 전류의 세기에 따른 각각의 자기센서의 자속밀도분포를 정량적으로 수치화하는 데이터처리부;를 포함하며, 상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일은 상기 센서부를 중심으로 각각 좌우에 배치되는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치를 제공한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일은 상기 센서부로부터 동일한 거리에 각각 배치되며, 동일한 크기 및 권수로 구비된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체의 일 측 단부에 고정되며, 상기 결함탐상수단의 삽입시 상기 센서부가 상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일 사이의 중심에 위치하도록 지지하는 고정기구;를 더 포함한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체는 피측정체인 배관과 동일한 내경을 갖도록 구비된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 본체는 비금속 또는 비자성체 소재로 이루어진다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1외부코일과 상기 전원공급부 사이 또는 상기 제2외부코일과 상기 전원공급부 사이에는 코일에 입력하는 전류의 방향을 조정하기 위한 자화방향스위치로서 제1스위치와 제2스위치가 구비된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1스위치를 온(on)시키면 자화방향은 r방향(센서부의 반지름 방향)으로 형성되며, 상기 제2스위치를 온(on)시키면 자화방향은 z축방향으로 형성된다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 자기센서는 상기 배관의 반지름 방향(r방향)에 민감한 홀센서 또는 홀IC 또는 팬케익코일을 사용한다.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 자기센서는 상기 배관의 z방향에 민감한 자기저항센서 또는 자기임피던스센서 또는 거대자기저항센서를 사용한다.
본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 갖는다.
먼저, 본 발명의 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 의하면 원주형으로 배열한 각각의 자기센서에 일정한 자기장을 동시에 인가함으로써 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력을 측정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 의하면 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 센서의 바이어스오차, 감도오차, 히스테리시스오차를 보정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치에 의하면 피측정체인 전열관의 결함의 존재에 기인한 전자기장의 왜곡을 정량적으로 정확하게 측정할 수 있는바, 부식, 마모 및 균열을 판별하고 정량적으로 수치화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 원주형으로 배열한 자기센서를 이용한 전열관 비파괴검사 방법을 보여주는 도면이다.
도 2는 전열관의 결함부위에서의 자기장분포를 보여주는 그림이다.
도 3은 자기센서로서 홀센서를 사용한 결함탐상장치의 센서별 출력을 보여주는 그림이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 보정장치에 원주형으로 배열된 자기센서를 보여주는 사진들이다.
본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.
이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.
그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 보정장치에 원주형으로 배열된 자기센서를 보여주는 사진들이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치(100)는 결함탐상수단(20), 본체(110), 제1외부코일(120), 제2외부코일(130), 전원공급부(140), 데이터수집부(150) 및 데이터처리부(160)을 포함하여 구성되며, 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)이 상기 센서부(12)를 중심으로 각각 좌우에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 결함탐상수단20)은 복수의 자기센서가 원주형으로 배열된 센서부(12) 및 상기 센서부(12)의 외면을 따라 권취되는 코일을 포함하며, 피측정체인 배관의 결함을 측정할 수 있다.
상기 센서부(12) 및 코일은 결함탐상수단본체에 감싸는 형태로 구비된다.
상기 센서부(12)에 구비되는 자기센서는 상기 배관의 반지름 방향(r방향)에 민감한 홀센서 또는 홀IC 또는 팬케익코일을 사용할 수 있으며 또한, 상기 배관의 z방향에 민감한 자기저항센서(MR) 또는 자기임피던스센서(GMI) 또는 거대자기저항센서(GMR)를 사용할 수도 있다.
도 5의 상부 사진은 자기센서로서 홀센서(12a)가 원주형으로 배열된 결함탐상수단의 일 실시예 사진이며, 도 5의 하부 사진은 자기센서로서 자기저항센서(GMR, 12b)이 원주형으로 배열된 결함탐상수단의 일 실시예 사진이다.
상기 본체(110)는 자기센서를 구성하는 모든 센서의 오차를 보정할 수 있도록 상기 결함탐상수단(20)이 삽입되는 구성이다. 따라서, 상기 본체(110)는 피측정체인 배관과 동일한 내경을 갖도록 구비되는 바람직하며, 자기장 발생에 영향을 주지 않는 비금속 소재 또는 비자성체 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 제1외부코일(120) 및 상기 제2외부코일(130)은 상기 본체(110)의 외면을 따라 각각 권취되어 있다.
이때, 본 발명의 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치(100)는 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)을 상기 센서부(12)를 중심으로 하여 각각 좌우에 배치되도록 하였다.
그리고, 상기 본체(110)의 반지름방향(r방향) 또는 z방향으로 균일한 자기장을 발생시키기 위하여 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)을 상기 센서부(12)로부터 동일한 거리에 위치하도록 각각 배치하는 것이 바람직하며, 각 외부코일에 있어서도 동일한 크기 및 동일한 권수로 구비하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)은 상기 센서부(12)로부터 동일한 거리에 위치하도록 각각 배치하는 것이 바람직한데, 이를 위해 본 발명의 실시예에서는 고정기구(170)를 더 구비하였다.
상기 고정기구(170)는 상기 본체(110)의 일 측 단부에 고정되어 상기 결함탐상수단(20)을 지지하는데, 상기 결함탐상수단(20)이 상기 본체(110) 내로 삽입시 상기 센서부(12)가 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130) 사이의 중심에 위치하도록 미리 설계되어 있다.
상기 전원공급부(140)는 상기 제1외부코일(120) 및 상기 제2외부코일(130)에 전류를 인가하도록 연결되어 있다.
상기 데이터수집부(150)는 상기 센서부(12)로부터 출력되는 데이터를 수집한다.
상기 데이터처리부(160)는 상기 데이터수집부(150)에서 수집된 데이터에 기초하여, 입력 전류의 세기에 따른 각각의 자기센서의 자속밀도분포를 정량적으로 수치화한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치(100)에 의하면 원주형으로 배열한 자기센서에 일정한 자기장을 동시에 인가함으로써 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력을 측정할 수 있으며, 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 센서의 바이어스오차, 감도오차, 히스테리시스오차를 보정할 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치(100)는 상기 센서부(12)에 사용되는 다양한 자기센서에 따라 일정한 자기장을 동시에 인가할 수 있도록 하기 위하여 자화방향스위치(180)를 구비하였다.
상기 자화방향스위치(180)는 코일에 입력하는 전류의 방향을 조정하기 위한 것으로, 상기 제1외부코일(120)과 상기 전원공급부(140) 사이 또는 상기 제2외부코일(130)과 상기 전원공급부(140) 사이에 제1스위치(181)와 제2스위치(182)를 구비한다.
예를 들면, 상기 제2외부코일(130)의 일단자는 상기 전원공급부(140)의 (+)단자에 연결하고, 상기 제2외부코일(130)의 타단자는 상기 전원공급부(140)의 (-)단자에 연결하여 둔다.
그리고, 상기 제1외부코일(120)과 상기 전원공급부(140) 사이에는 상기 제1스위치(181)와 상기 제2스위치(182)를 구비시킨다.
이때, 상기 제1스위치(181)는 2개의 스위치로 구성되어 동시에 작동하는데, 그 중 하나의 스위치가 상기 전원공급부(140)의 (+)단자를 온/오프 할 수 있도록 구비되면, 나머지 하나의 스위치는 상기 전원공급부(140)의 (-)단자를 온/오프 할 수 있도록 구비된다.
이와 함께, 상기 제2스위치(182) 역시 2개의 스위치로 구성되어 동시에 작동하는데, 그 중 하나의 스위치가 상기 전원공급부(140)의 (+)단자를 온/오프 할 수 있도록 구비되면, 나머지 하나의 스위치는 상기 전원공급부(140)의 (-)단자를 온/오프 할 수 있도록 구비된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 결함탐상수단(20)은 상기 본체(110)의 반지름방향(r방향)과 z방향에 민감한 자기센서를 원주형으로 배열하여 사용할 수 있는바, 각 방향에 민감한 자기센서에 따라 상기 자화방향스위치(180)를 조절하여 일정한 자기장을 발생시키도록 유도할 수 있다.
홀센서와 같이 상기 본체(110)의 반지름방향(r방향)에 민감한 자기센서를 원주형으로 배열하여 사용할 경우에는 상기 제1외부코일(120)과 상기 전원공급부(140) 사이에 구비된 상기 제1스위치(181)를 온(on) 시키고, 제2스위치(182)를 오프(off)하여 사용한다.
이 경우, 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)에 흐르는 전류방향(서로 반대방향)에 의해 자기장은 상기 본체(110)의 반지름방향(r방향)으로 발생하게 된다.
또한, 자기저항센서(MR), 자기임피던스센서(GMI) 또는 거대자기저항센서(GMR)와 같이 상기 본체(110)의 z방향에 민감한 자기센서를 원주형으로 배열하여 사용할 경우에는 상기 제1외부코일(120)과 상기 전원공급부(140) 사이에 구비된 상기 제2스위치(182)를 온(on) 시키고, 제1스위치(182)를 오프(off)하여 사용한다.
이 경우, 상기 제1외부코일(120)과 상기 제2외부코일(130)에 흐르는 전류방향(서로 같은 방향)에 의해 자기장은 z방향으로 발생하게 된다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 결함탐상수단(20)은 상기 센서부(12)에 구비된 모든 자기센서에 일정한 자기장을 동시에 인가할 수 있는바, 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력을 측정할 수 있으며, 외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 센서의 바이어스오차, 감도오차, 히스테리시스오차를 보정할 수 있게 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
10: 전열관 20: 결함탐상수단
110: 본체 120: 제1외부코일
130: 제2외부코일 140: 전원공급부
150: 데이터수집부 160: 데이터처리부
170: 고정기구 180: 자화방향스위치
181: 제1스위치 182: 제2스위치

Claims (10)

  1. 복수의 자기센서가 원주형으로 배열된 센서부 및 상기 센서부의 외면을 따라 권취되는 코일을 포함하는 배관 결함탐상수단의 자기센서를 보정하는 보정장치에 있어서,
    상기 결함탐상수단이 삽입되는 본체;
    상기 본체의 외면을 따라 각각 권취되는 제1외부코일 및 제2외부코일;
    상기 제1외부코일 및 상기 제2외부코일에 전류를 인가하는 전원공급부;
    상기 센서부로부터 출력되는 데이터를 수집하는 데이터수집부; 및
    상기 데이터수집부의 데이터에 기초하여, 입력 전류의 세기에 따른 각각의 자기센서의 자속밀도분포를 정량적으로 수치화하는 데이터처리부;를 포함하며,
    상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일은 상기 센서부를 중심으로 각각 좌우에 배치되어 상기 센서부의 모든 자기센서에 자기장을 동시에 인가하며, 자기장 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일은 상기 센서부로부터 동일한 거리에 각각 배치되며, 동일한 크기 및 권수로 구비되는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 본체의 일 측 단부에 고정되며, 상기 결함탐상수단의 삽입시 상기 센서부가 상기 제1외부코일과 상기 제2외부코일 사이의 중심에 위치하도록 지지하는 고정기구;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 본체는 피측정체인 배관과 동일한 내경을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 본체는 비금속 또는 비자성체 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1외부코일과 상기 전원공급부 사이 또는 상기 제2외부코일과 상기 전원공급부 사이에는 코일에 입력하는 전류의 방향을 조정하기 위한 자화방향스위치로서 제1스위치와 제2스위치가 구비되는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1스위치를 온(on)시키면 자화방향은 r방향(센서부의 반지름 방향)으로 형성되며, 상기 제2스위치를 온(on)시키면 자화방향은 z축 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 자기센서는 상기 배관의 반지름 방향(r방향)에 민감한 홀센서 또는 홀IC 또는 팬케익코일을 사용하는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 자기센서는 상기 배관의 z방향에 민감한 자기저항센서 또는 자기임피던스센서 또는 거대자기저항센서를 사용하는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치는
    외부 자기장의 세기에 대한 센서 출력의 관계식으로부터 모든 자기센서의 바이어스오차, 감도오차 및 히스테리시스오차를 보정하는 것을 특징으로 하는 원주형으로 배열된 자기센서의 보정장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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